JP2006170831A - 材質判別装置 - Google Patents
材質判別装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2006170831A JP2006170831A JP2004364309A JP2004364309A JP2006170831A JP 2006170831 A JP2006170831 A JP 2006170831A JP 2004364309 A JP2004364309 A JP 2004364309A JP 2004364309 A JP2004364309 A JP 2004364309A JP 2006170831 A JP2006170831 A JP 2006170831A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- discrimination
- light
- materials
- wavelength
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Abstract
【解決手段】 材質判別処理部は、予め、材質判別の対象となる複数N種類の材質、各々の、透過特性およびまたは反射特性から、前記複数N種類の各々を判別できる特定波長の組として決められた、1以上n個(nは正の整数)の判別波長λi(i=1、2・・・n)の組の、各判別波長において、それぞれ、判別波長における測定データと、該判別波長に対応する前記データベースに保管された、N種類の材質についての透過特性およびまたは反射特性に関するデータとを比較して、試料の材質を判別するものである。
【選択図】 図1
Description
これに伴い、液晶用表示装置用のカラーフィルタを形成したガラス基板からなる液晶表示パネルおよびプラズマディスプレイ装置用の表示パネル等に用いられるガラス基板からなる表示パネルの作製も、大サイズ化したガラス基板での量産化対応が必要となってきた。
このような中、例えば、表示装置メーカにより、サイズ、液晶ディスプレイにする方式が異なるため、カラーフィルタ基板を製造する製造側では、表示装置メーカから指定された材質、サイズのガラス基板を用いて、該ガラス基板の面上にカラーフィルタを形成したカラーフィルタ基板の製造を行っている。
各表示装置メーカにより、カラーフィルタ基板用のガラス基板の材質の種類が異なることがあり、その種類も多い。
そのため、基板サイズや厚みに他と違いがある場合には、その種類を目視で確認できるが、同じ大きさの基板サイズや厚みのもの同士の種類の区分けには、材質の区分けをしなければならなかった。
従来は、その材質の区分けを、ガラス基板のコーナー部(角部とも言う)に設けた切り欠き(以下、オリフラ:オリエンテーションフラットとも言う)により、行っていた。
基板の角部に、ガラス基板の材質によって、異なる角度や大きさを変えてガラス基板の種類毎に固有のカットがなされていた。
そして、このようなガラス基板におけるオリフラを測定する装置は開発はされており、従来は、そのようなオリフラを測定する装置により、ガラス基板の種類の区分けを行っていた。
例えば、図5(a)に示す、2つの角部に切り欠き41を設けたものと、図5(b)に示す、1つの角部に切り欠き41を設けたものとで、区分けする。
あるいは、図5(c)に示す、ように、切り欠き42の形状を、図5(a)や図5(b)に示すものと異なるようにして区分けする。
尚、図5中、31、32、33はガラス基板である。
しかし、表示装置用のガラス基板は、第5世代サイズ(一般的に1100mm×1250mmもしくは1100mm×1300mmのサイズ)では、その材質の種類も多く、異なった材質のガラス基板でオリフラが同一であったり、あるいはまた、同じ材質のガラス基板でオリフラが異なる場合があった。
それに伴い、カラーフィルタ基板の製造現場においては、基板が誤って表裏もしくは上下反転して投入されてしまうことが多々あるが、表裏もしくは上下反転して投入されてしまうと、全く異なった材質でも、オリフラ認識により、検査機では同じ材質とみなされてしまい、誤った材質のガラス基板が振り分けられず、そのまま誤った材質のガラス基板にカラーフィルタを製造してしまうこともあった。
このため、このようなオリフラ認識によらずガラス基板の材質を、簡単にしかも確実に選別できる方法が求められていた。
本発明はこれに対応するもので、従来のオリフラ認識によらずにガラス基板の材質を、簡単にしかも確実に選別できる、材質判別装置を提供しようとするものである。
そして、上記の材質判別装置であって、前記光源部は、前記n個の各判別波長λi(i=1、2・・・n)の検査光を、それぞれ個別に選択的に照射することができるものであることを特徴とするものである。
そしてまた、上記の材質判別装置であって、前記試料は、表示装置用のガラス基板であることを特徴とするものであり、該表示装置用のガラス基板は無アルカリガラス基板であり、前記判別波長が、紫外線領域であることを特徴とするものである。
また、上記いずれかの材質判別装置であって、製造ライン上に設置して前記試料の材質判別を行うものであることを特徴とするものであり、前記試料の材質判別結果に対応して、試料を仕分けする仕分け部を備えていることを特徴とするものである。
そして、上記いずれかの材質判別装置であって、前記試料の材質判別結果において試料が目的とする材質のものでない場合に、アラームを出力するアラーム部を備えていることを特徴とするものである。
また、上記いずれかの材質判別装置であって、材質判別の結果等を表示あるいは印刷により出力する出力部を備えていることを特徴とするものである。
ここで、「AおよびまたはB」とは、A、AとB、Bの全ての場合を含むものである。 また、無アルカリガラスとは、ナトリウムやカリウムの含有量がゼロで、ホウ素やアルミニウムを含むもので、二酸化ケイ素100%のシリカ(石英)ガラスとは、ホウ素やアルミニウムが含まれている点で異なるもので、無アルカリガラス基板は、非晶質(アルモファス)シリコンタイプのTFTを使用の液晶表示装置用のガラス基板として、あるいは、低温で多結晶(ポリ)シリコンタイプのTFTを使用の液晶表示装置用のガラス基板として用いられており、シリカ(石英)ガラスに比べ安価である。
尚、アクティブマトリクス・タイプの液晶表示装置用のガラス基板としては、ナトリウムやカリウムが含まれているガラスを用いると、ナトリウムやカリウムが溶け出し、それが不純物としてさまざまな問題を引き起こすため、上記シリカ(石英)ガラスや無アルカリガラスが用いられている。
本発明の材質判別装置は、このような構成にすることにより、従来のオリフラ認識によらずにガラス基板の材質を、簡単にしかも確実に選別できる、材質判別装置の提供を可能としている。
特に、特定波長の透過率およびまたは反射率を用いて材質判別する為、スペクトル特性( 波形) を用い、複雑な画像処理を用いて材質判別する装置とは異なり、簡単な処理で正確に判別可能である。
具体的には、複数N種類の材質について、予め、判別に必要な、透過特性およびまたは反射特性に関するデータを保管しておくデータベースと、試料へ検査光を照射するための光源部と、前記検査光による試料からの透過光を受光する透過光受光部、およびまたは、前記検査光による試料からの反射光を受光する反射光受光部と、前記各受光部の受光結果から、試料の透過特性およびまたは反射特性に関する測定データを得て、得られた試料の透過特性およびまたは反射特性に関する測定データと、前記データベースに保管された、材質判別の対象となる複数N種類の材質についての透過特性およびまたは反射特性に関するデータとを、比較することにより材質の判別処理を行う材質判別処理部とを備えており、前記材質判別処理部は、予め、材質判別の対象となる複数N種類の材質、各々の、透過特性およびまたは反射特性から、前記複数N種類の各々を判別できる特定波長の組として決められた、1以上n個(nは正の整数)の判別波長λi(i=1、2・・・n)の組の、各判別波長において、それぞれ、判別波長における測定データと、該判別波長に対応する前記データベースに保管された、N種類の材質についての透過特性およびまたは反射特性に関するデータとを比較して、試料の材質を判別するものであることにより、これを達成している。
光源部としては、前記n個の各判別波長λi(i=1、2・・・n)の検査光を、それぞれ個別に選択的に照射することができるものが挙げられる。
この場合、分光器を必要としない為、スペクトル特性( 波形) を用いて材質判別する装置よりも、安価で作製可能である。
簡単な装置構成で、基板の異品種混入防止や、基板の仕分けに、使用することが可能である。
例えば、光学フィルタにより光源の波長を制御してこれを達成することができる。
この形態には限定されず、受光部側で波長を選択する方式でも良い。
液晶表示装置のカラーフィルタ形成用のガラス基板としては、例えば、HNテクノガラス製のNA35、NA45、日電ガラス製のOA10、OA2、旭硝子製のAN100、AN635、コーニング製の1737、コーニング製のEAGLE2000、7059等がある。
本願発明者は、これらの無アルカリガラス基板は、可視光領域では透過率に殆ど差はないが、紫外線領域において若干の差が見られることを見出し、更に、特定の波長においては、透過率の差から互いに判別可能であることを見出し、即ち、判別波長として、紫外線領域の特定波長を選ぶことにより、これら無アルカリガラスの材質の違いを判別できるとし、本願請求項3の発明を成したものである。
例えば、材質A1〜材質A7の無アルカリガラス基板については、透過率特性は図2に示すようになる。
各材質の無アルカリガラス基板の透過率特性の測定は、汎用の分光光度計にて測定できる。
この場合、判別のための透過率の分解能を1.8%とすれば、図2に示す各ガラス基板材質の透過特性から、材質A1と材質A2とは、228nm〜234nmのλ1波長で判別可能で、材質A3と材質A4とは、237nm〜256nmのλ2波長あるいは、268〜307nmのλ3波長で判別可能であり、そしてまた、材質A3、材質A4、材質A5、材質A6、材質A7は、λ3波長で互いに判別可能である。
このことから、対象とする試料が材質A1〜材質A7のいずれかの材質であることが分かっていれば、λ1波長、および、λ3波長の2波長にて、試料の透過光特性とデータベースに保存された各材質の透過特特性とを、それぞれ比較するだけで、試料の材質を特定することができる。
勿論、対象とする試料を、処理対象の目的とする材質であるか否かを判別するだけの場合には、上記波長λ1、λ2、λ3のいずれか1つを選別して検査光として用いれば良い。
尚、液晶表示装置のカラーフィルタ基板の製造においては、カラーフィルタ基板用のガラス基板としての、無アルカリガラス基板の組成が若干異なる材質種類の種類毎に、対応する表示装置メーカからの要望により、あるいは、処理特性等が異なることがあるため、必要に応じて処理条件を変えて製造することがある。
このためにも、このような組成が若干異なる材質種類の正確な判別が必要で、量産化に対応するには、簡単に正確な判別ができる材質判別装置が必要とされる。
これにより、製造ラインにおける材質混在を防止できるものとしている。
そして、該請求項4の形態のものにおいて、前記試料の材質判別結果に対応して、試料を仕分けする仕分け部を備えている請求項5の形態が挙げられる。
これにより、製造ラインにおいて、材質判別結果に対応して、試料を所望の方へ仕分けすることを可能としている。
勿論、ガラス基板の材質の仕分けにも使用できる。
また、アラーム部を備えている請求項6の構成とすることにより、材質判別結果に対応して、材質の混在を作業者等に喚起することができる。
また、出力部を備えている請求項7の構成とすることにより、材質判別の結果等を表示、あるいは印刷して、材質の混在を作業者等に喚起することができ、また、印刷して、材質判別結果の履歴を残し、確認することを可能としている。
勿論、製造ライン上に設置して使用する形態のものでなく、全体をコンパクトにしたハンディタイプの形態としても良い。
図1は本発明の材質判別装置の実施の形態の1例の概略構成図で、図2は液晶表示装置のカラーフィルタ基板用のガラス基板の材質の透過率特性を示したグラフで、図3は処理の1例を示した処理フロー図で、図4は別の処理例を示した処理フロー図である。
図3中のS11〜S19、図4中のS21〜S35は処理ステップを示している。
図1〜図2中、11は光源部、12は受光部(透過光受光部とも言う)、13は材質判定処理部、14はデータベース、15は表示部(出力部とも言う)、16はアラーム部、17は仕分け部、18は搬送方向、20は試料(ガラス基板とも言う)である。
本例の材質判別装置は、無アルカリガラス基板を用いて液晶表示装置のカラーフィルタ基板を形成する製造ラインにおいて、ガラス基板の材質を判別するための材質判別装置で、材質を判別しようとする試料20の材質が、予め知られている異なる複数N種類の材質の中のどれかに該当する場合に、前記試料20に検査光11aを照射し、その透過光11bの特性から試料20の材質を判別する材質判別装置である。
そして、前記複数N種類の材質について、予め、判別に必要な、透過特性に関するデータを保管しておくデータベース14と、試料20へ検査光11aを照射するための光源部11と、前記検査光11aによる試料20からの透過光11bを受光する透過光の受光部12と、受光部11bの受光結果から、試料20の透過特性に関する測定データを得て、該測定データと、データベース14に保管された、材質判別の対象となる複数N種類の材質についての透過特性に関するデータとを、比較することにより材質の判別処理を行う材質判別処理部13とを備え、更にまた、材質判別処理部13の材質判別結果に対応して、試料20を仕分けする仕分け部17と、試料20が目的とする材質のものでない場合に、アラームを出力するアラーム部16と、材質判別の結果等を表示する表示部15とを備えている。
そして、前記材質判別処理部13は、予め、材質判別の対象となる複数N種類の材質、各々の、透過特性から、前記複数N種類の各々を判別できる特定波長の組として決められた、1以上n個(nは正の整数)の判別波長λi(i=1、2・・・n)の組の、各判別波長において、それぞれ、判別波長における測定データと、該判別波長に対応する前記データベース14に保管された、N種類の材質についての透過特性に関するデータとを比較して、試料の材質を判別するものである。
本例における光源部11は、前記n個の各判別波長λi(i=1、2・・・n)の検査光を、それぞれ個別に選択的に照射することができるもので、各選別波長に対応する光学フィルタにより光源の波長を制御している。
分光器を必要としない構造の為、公知のスペクトル特性( 波形) を用いて材質判別する装置を用いた場合よりも、簡単な装置構成にでき、また、簡単にしかも確実に材質選別できるものとしている。
受光部12は、例えば、透過率の判別分解能が1.8%で、図2に示す228nm〜234nmのλ1波長において、材質A1と材質A2の透過率の差を確実に判断できるものであり、また、268〜307nmのλ3波長において、材質A3〜材質A7の各材質間の透過率の差を確実に判断できるものである。
材質判別処理部13は、所定のメモリ部を有し、測定データとデータベース14から得たデータとの比較を行うことができるものである。
表示部15、アラーム部16は、特に限定はされない。
仕分け部17は、ロボットを用いた仕分けでも、単に搬送ラインを分けるだけの仕分けでもよく、特に限定されない。
試料20が、予め知られた、図2に示すような、透過率特性を有する各ガラス基板材質7種、材質A1〜材質A7の中のいずれかである場合、材質A1と材質A2とは、228nm〜234nmのλ1波長で判別可能で、材質A3と材質A4とは、237nm〜256nmのλ2波長あるいは、268〜307nmのλ3波長で判別可能であり、そしてまた、材質A3〜材質A7は、λ3波長で互いに判別可能であることが分かる。
したがって、対象とする試料が材質A1〜材質A7のいずれかの材質であることが分かっていれば、λ1波長、および、λ3波長の2波長を判別用波長として、それぞれ、各判別波長における測定データと、各判別波長に対応するデータベース14に保管された、上記の7種類の材質についての透過特性に関するデータとを比較して、試料の材質を特定することができる。
勿論、対象とする試料を、処理対象の目的とする材質であるか否かを判別するだけの場合には、上記波長λ1、λ2、λ3のいずれか1つを選別して検査光11aとして用いれば良い。
尚、これを以って各部の動作説明にも代える。
本処理例は、試料が材質A1〜材質A7の中の、処理対象の材質であるか否かを判別する例である。
そして、材質A1〜材質A7について、予め、データベース14に、少なくとも、これらを判別できる波長λ1、λ3における透過率に関するデータを保管しており、試料20の材質を判別して、処理対象の材質である場合には、試料20を処理ラインに流し、それ以外の材質である場合には、試料20を回収ラインに流すものである。
先ず、処理対象のガラス基板の材質を決定し(S11)、処理対象の材質を判別できる特定波長λを決める。(S12)
処理対象のガラス基板の材質が、材質A1あるいは材質A2である場合には、特定波長λとしては前述のλ1にし、また、それ以外の材質である場合には、特定波長λとしては前述のλ3とする。
次いで、特定波長λの光を検査光11aとして、光源部11から試料20に照射し、その透過光11bを受光部12にて受光し、試料20の特定波長λにおける透過率を測定データとして得る。(S13)
次いで、材質判別処理部13において、得られた特定波長λにおける透過率の測定データと、該特定波長λに対応する、データベース14に保管されている各材質の透過率のデータとを、それぞれ、比較することにより、試料20の材質を特定する。(S14)
その結果を表示部15により表示する。(S15)
そして、試料20が処理対象の材質である場合(S16)には、仕分け部17により、処理ラインに流し(S17)、試料20が処理対象の材質でない場合(S16)には、アラーム部16によりアラームを発生し(S18)、仕分け部17により、試料20を回収ラインに流す。(S19)
本処理例は、試料が材質A1〜材質A7の中の、どの材質であるかを判別する例である。
そして、材質A1〜材質A7について、予め、データベース14に、少なくとも、これらを判別できる波長λ1、λ3における透過率に関するデータを保管しており、試料の材質が材質A1の場合は、所定のライン1に試料を流し、試料の材質が材質A7の場合には、所定のライン2に試料を流し、且つ、それ以外の材質の場合にはアラームを発生し、試料を回収ラインに流すものである。
先ず、試料を、透過率を測定する位置に配置し、特定波長λ1の検査光、λ3の検査光にて、それぞれ、試料の検査光を照射して、その透過光を受光することにより、それぞれ、特定波長λ1、λ3における透過率データを測定データとして得る。(S21)
次いで、材質判別処理部13において、先ず、λ1波長において、測定データと、データベースの対応する各材質のデータとを比較する。(S22)
これにより、対象とする試料20が材質A1である(S24)か、あるいは材質A2である(S23)か、あるいは、残りの材質A3〜材質A7のいずれかである(S25)か、を判別できる。
試料20が材質A1であると判別された場合(S24)、結果を表示部15に表示し、仕分け部17において該試料20を材質A1用の処理ラインである所定のライン1(図示していない)に流す。(S33)
試料20が材質A2であると判別された場合(S23)、結果を表示部15に表示し、アラーム部16によりアラームを発生し、仕分け部17において該試料20を回収ラインに流す。(S35)
試料20が材質A2でも、材質A1でもないと判別された場合(S25)、即ち、残りの材質A3〜材質A7のいずれかであると判別された場合には、λ3波長において、測定データと、データベースの対応する各材質のデータとを比較する。(S26)
そして、試料20が材質A7と判別された場合(S31)には、結果を表示部15に表示し、仕分け部17において該試料20を材質A7用の処理ラインである所定のライン2(図示していない)に流す。(S32)
そしてまた、試料20が材質A3〜材質A6の中のいずれかに判別された場合(S27〜S30)、結果を表示部15に表示し、アラーム部16によりアラームを発生し、仕分け部17において該試料20を回収ラインに流す。(S35)
本例の第1の変形例としては、図1に示す実施の形態例において、受光部が試料からの検査光の反射光を受光する形態のもので、且つ、特定波長における各材質の反射率データを保管したデータベースを備え、材質判別処理部において、特定波長において、試料の反射率の測定データと、各材質の反射率データとを比較するものが挙げられる。
尚、判別対象の透過特性や反射特性と、受光部の分解能に応じて、適宜、検査光の波長を選定する必要がある。
第2の変形例としては、本例と第1の変形例の折衷で、試料の透過光を受光する透過受光部と、試料の反射光を受光する反射受光部とをともに備えた形態が挙げられる。
この場合、判別する材質によっては、検査光として透過光を用いるか、反射光を用いるか適宜選択できる形態とすることができる。
尚、各変形例については、各部や、その処理は、基本的に、本例と同じで、ここでは説明を省く。
12 受光部(透過光受光部とも言う)
13 材質判定処理部
14 データベース
15 表示部(出力部とも言う)
16 アラーム部
17 仕分け部
18 搬送方向
20 試料(ガラス基板とも言う)
Claims (8)
- 材質を判別しようとする試料の材質が、予め知られている異なる複数N種類の材質の中のどれかに該当する場合に、前記試料に検査光を照射し、その透過光およびまたは反射光の特性からその試料の材質を判別する材質判別装置であって、前記複数N種類の材質について、予め、判別に必要な、透過特性およびまたは反射特性に関するデータを保管しておくデータベースと、試料へ検査光を照射するための光源部と、前記検査光による試料からの透過光を受光する透過光受光部、およびまたは、前記検査光による試料からの反射光を受光する反射光受光部と、前記各受光部の受光結果から、試料の透過特性およびまたは反射特性に関する測定データを得て、得られた試料の透過特性およびまたは反射特性に関する測定データと、前記データベースに保管された、材質判別の対象となる複数N種類の材質についての透過特性およびまたは反射特性に関するデータとを、比較することにより材質の判別処理を行う材質判別処理部とを備えており、前記材質判別処理部は、予め、材質判別の対象となる複数N種類の材質、各々の、透過特性およびまたは反射特性から、前記複数N種類の各々を判別できる特定波長の組として決められた、1以上n個(nは正の整数)の判別波長λi(i=1、2・・・n)の組の、各判別波長において、それぞれ、判別波長における測定データと、該判別波長に対応する前記データベースに保管された、N種類の材質についての透過特性およびまたは反射特性に関するデータとを比較して、試料の材質を判別するものであることを特徴とする材質判別装置。
- 請求項1に記載の材質判別装置であって、前記光源部は、前記n個の各判別波長λi(i=1、2・・・n)の検査光を、それぞれ個別に選択的に照射することができるものであることを特徴とする材質判別装置。
- 請求項1ないし2のいずれか1項に記載の材質判別装置であって、前記試料は、表示装置用のガラス基板であることを特徴とする材質判別装置。
- 請求項3に記載の材質判別装置であって、前記表示装置用のガラス基板は無アルカリガラス基板であり、前記判別波長が、紫外線領域であることを特徴とする材質判別装置。
- 請求項1ないし4のいずれか1項に記載の材質判別装置であって、製造ライン上に設置して前記試料の材質判別を行うものであることを特徴とする材質判別装置。
- 請求項5に記載の材質判別装置であって、前記試料の材質判別結果に対応して、試料を仕分けする仕分け部を備えていることを特徴とする材質判別装置。
- 請求項1ないし6のいずれか1項に記載の材質判別装置であって、前記試料の材質判別結果において試料が目的とする材質のものでない場合に、アラームを出力するアラーム部を備えていることを特徴とする材質判別装置。
- 請求項1ないし7のいずれか1項に記載の材質判別装置であって、材質判別の結果等を表示あるいは印刷により出力する出力部を備えていることを特徴とする材質判別装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004364309A JP4468151B2 (ja) | 2004-12-16 | 2004-12-16 | 材質判別装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004364309A JP4468151B2 (ja) | 2004-12-16 | 2004-12-16 | 材質判別装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006170831A true JP2006170831A (ja) | 2006-06-29 |
JP4468151B2 JP4468151B2 (ja) | 2010-05-26 |
Family
ID=36671749
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004364309A Expired - Fee Related JP4468151B2 (ja) | 2004-12-16 | 2004-12-16 | 材質判別装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4468151B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101876578B1 (ko) * | 2011-07-05 | 2018-07-09 | 가부시기가이샤 디스코 | 사파이어 기판의 가공 방법 |
-
2004
- 2004-12-16 JP JP2004364309A patent/JP4468151B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101876578B1 (ko) * | 2011-07-05 | 2018-07-09 | 가부시기가이샤 디스코 | 사파이어 기판의 가공 방법 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4468151B2 (ja) | 2010-05-26 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5169194B2 (ja) | 板ガラス欠陥検出装置、板ガラスの製造方法 | |
CN101346623B (zh) | 根据图像分析进行缺陷检查的缺陷检查装置 | |
US7283227B2 (en) | Oblique transmission illumination inspection system and method for inspecting a glass sheet | |
JP2008519755A (ja) | ガラス製造バッチを分析及び最適化するシステムとその方法 | |
KR101702841B1 (ko) | 편광 필름의 결함 모니터링 방법 | |
US10247677B2 (en) | Diamond identification apparatus | |
CN106502046A (zh) | 光掩模坯的缺陷检查方法、分选方法和制备方法 | |
Langley et al. | Optical chemical barcoding based on polarization controlled plasmonic nanopixels | |
CN101995671A (zh) | 液晶显示面板边缘缺陷的测试系统及其测试方法 | |
JP6434886B2 (ja) | グラフィックユーザインターフェースを備えたガラス容器検査機 | |
Wereszczak et al. | Method for identifying and mapping flaw size distributions on glass surfaces for predicting mechanical response | |
US20030016349A1 (en) | Film quality inspecting method and film quality inspecting apparatus | |
JP4468151B2 (ja) | 材質判別装置 | |
EP1408326A2 (en) | Surface inspection method and apparatus | |
JP2016064932A (ja) | シリカガラスルツボ | |
JP2007078498A (ja) | 光透過性容器充填液体中の異物検査装置 | |
US20100182674A1 (en) | System including enclosure having smart glass panel and related method | |
JP2020165666A (ja) | 分光検査方法および分光検査装置 | |
CN102713583A (zh) | 玻璃基板的不均率测量系统及方法 | |
CN110646432A (zh) | 玻璃裂纹检查系统及方法 | |
JP7349066B2 (ja) | 欠陥分類方法、欠陥分類装置及びガラス物品の製造方法 | |
JP2010026241A (ja) | 蛍光顕微鏡装置及び焦点検出装置 | |
US7006228B2 (en) | Methods for quantifying the oxidation state of glass | |
JP2004132953A (ja) | 光学結晶内局所構造判定方法 | |
Engel | Progress of optical materials characterization with time |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20071121 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20091118 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20091201 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100125 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20100223 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20100224 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4468151 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130305 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130305 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140305 Year of fee payment: 4 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |