JP2006162279A - 微粒子強度測定方法及び装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ダイヤモンド基板上に微粒子を分散させ、測定しようとする微粒子を一つ選び原子間力顕微鏡を用いて微粒子の粒径を測定し、次いで、ダイヤモンド基板をクローズドループ制御のステージにより測定しようとする微粒子がダイヤモンド圧子の真下に位置するように移動させ、その後、微粒子のサイズと同程度の大きさの平坦部を形成したダイヤモンド圧子を変位させ微粒子に負荷をかけることにより微粒子の強度を測定するようにしたことを特徴としている。
【選択図】図4
Description
(1)粒状物試料の1個毎の幾何平均径dを測定した後、粒状物試料に圧子を用いて圧縮加重を加えていき、圧縮変位が幾何平均径に対し所定の割合に達した時点の圧縮加重を測定し、圧縮強度を測定する方法(例えば、特許文献1参照。)。
(2)微細試料に圧子を用いて圧縮加重を加え、試料の変形を測定して強度特性を評価する微細試料の圧縮試験方法において、負荷する最大荷重を次第に増加させながら試料に圧縮加重を加えては除荷する負荷・除荷試験を繰り返し行い、試料の最大圧縮変位および除荷時の復元変位を測定して復元率を求め、該復元率が急減する圧縮加重を求める微細試料の圧縮試験方法(例えば、特許文献2参照。)。
(1)ダイヤモンド圧子に関する問題点
粒子の圧縮試験は図1のように、平坦な基板1の上に単粒子2を分散させ、その上から、先端が平坦な圧子3で粒子を挟むような形で圧縮試験を行う。ここで基板1と圧子3は、試料よりも硬く変形しない材質をつかわなければならない。セラミック材料の試験を行うことを考えると、基板と圧子の材質はダイヤモンドであることが不可欠である。
そして、従来の圧縮試験用のダイヤモンド圧子3は平坦部を機械加工で作成していたため最も小さくても、数10ミクロン程度あった。このようなダイヤモンド圧子3では、ミクロンサイズ以下のサイズの粒子の圧縮試験を行うと、図2に示す2つの問題点が生じるため、実際には正確な圧縮試験を行うことはできなかった。
すなわち、図2(a)に示すように、ダイヤモンド基板1とダイヤモンド圧子3の間に複数の粒子2が存在したりするため、実際には複数の粒子2の試験をしてしまったり、あるいは、図2(b)に示すように、ダイヤモンド圧子3の平坦部が粒子2に比較して大きいため、粒子2以外の場所で、ダイヤモンド圧子3とダイヤモンド基板1が接触してしまうことがあった。
また、逆に、ダイヤモンド圧子3を小さくすると、図3に示すように、ダイヤモンド圧子3が粒子2と僅かな位置がずれが生じても、斜めに押してしまうために圧縮試験を行うことができないといった問題があった。
そのため、粒子サイズと同程度の大きさの平坦部(ミクロンサイズ以下)をもった圧子を作成する必要がある。
ダイヤモンド圧子の平坦部は、先に述べたように測定する粒子サイズ程度のもので測定する必要がある。測定する粒子はダイヤモンド圧子の直下におかなければならないため、測定するダイヤモンド圧子の位置精度が、粒子のサイズであるミクロン程度よりも小さくなる、すなわちサブミクロン以下なければならない。従来の圧縮試験装置では、この位置精度を実現したものはなかった。
(3)粒子の大きさ及び形状を測定するための問題点
強度や弾性率など、機械的性質を示す物理量の単位はパスカル(単位面積あたりの力)であるので、測定する事項としては、力と粒子の大きさの両方が必要となる。粒子の測定では、各々の粒子のサイズにはばらつきがあるため、測定粒子ごとに粒子の大きさ及び形状を測定する必要がある。従来の圧縮試験装置では、ミクロンサイズ以下の粒子の大きさや形状を測定することはできなかった。
また、本発明の微粒子強度測定装置は、クローズドループ制御により精密な位置制御が可能なステージ上に微粒子を裁置するダイヤモンド基板を装着し、ステージの上方の一側には変位センサーを備えた負荷セルを設け、負荷セルの下端には微粒子のサイズと同程度の大きさの平坦部を形成したダイヤモンド圧子を装着し、また、ステージの上方の他側には微粒子の粒径を測定するための原子間力顕微鏡を設けたことを特徴としている。
そして、上記方法または装置によって得られた負荷−変位曲線と測定粒子の大きさから、粒子の強度・弾性率を見積もることを可能するものである。
(1)ある特定の応力が加わったとき、1ミクロン以下の粉体の何パーセントが破壊するかという推定ができなかったが、本発明を利用すると、個々の粒子の強度が測定できるため、同一ロット粒子からサンプリングして、強度測定を行うことにより、そのロット粒子のある応力負荷時の破壊確率を評価することが可能になった。また平均強度も見積もることができる。
(2)粒子が小さくなると、強度などの機械特性は、粒子のサイズに依存する効果(サイズ効果)があると考えられていたが、本発明により、1ミクロン以下の粒子のサイズ効果の大きさを実測することが可能になる。
図4は、微粒子強度測定装置の概略を示したものである。
図において、X−Y方向に移動自在なステージ10の上にはダイヤモンド基板11が装着されており、ダイヤモンド基板11の上には粒子12が分散されている。ステージ10の精度の高いステージ制御は、位置センサーの分解能が0.1μmのクローズドループコントロールによって行われる。
ステージ10の上方の一側には、変位センサーを備えた負荷セル14が設けられ、負荷セル14の下端には微粒子のサイズと同程度の大きさの平坦部が形成されたダイヤモンド圧子13が装着されている。
また、ステージ10の上方の他側には、原子間力顕微鏡15及び光学顕微鏡16が回転テーブル18に装着されている。
ステージ10は、負荷セル14及び原子間力顕微鏡15及び光学顕微鏡16にダイヤモンド基板11が正確に対峙するようにクローズドループコントロールによって精密に移動される。
この装置により微粒子強度を測定する手順を概略述べると、まず第一に、ダイヤモンド基板11上に分散されている微粒子のうち、測定しようとする微粒子を一つ選び原子間力顕微鏡15あるいは光学顕微鏡16を用いて粒子の粒径を測定する。次に、この測定用に選んだ粒子をダイヤモンド圧子13の真下に移動する。この微粒子移動において、位置を合わせるために、前もって原子間力顕微鏡15及び光学顕微鏡16とダイヤモンド圧子13の位置を校正しておく。次に、負荷セル14を変位させて粒子12に負荷をかけ、負荷−変位曲線から粒子12の強度を測定することができる。
〔試料の準備〕
本発明を実施するためには、粉体をダイヤモンド基板11上に単粒子に分散させる必要がある。粒子は凝着していることが多いため、粒子をそのまま、ダイヤモンド基板11上にのせただけでは単粒子が分散することはほとんどない。そこで、例えば、溶液に試料粉を入れ、この溶液をダイヤモンド基板11に滴下する。その後自然乾燥によって、粒子を基板上に分散させる。
粒子12の大きさ測定は、大きく2つの方法を用いる。
その1つは、粒子12の大きさが数ミクロン以上の場合は、光学的な測定(光学顕微鏡など)を用いて行う。
また、粒子12の大きさが数ミクロン以下の場合は、原子間力顕微鏡15を用いる。
上記の方法で作成したダイヤモンド基板11上の粒子12は、ダイヤモンド基板11上に固着させたわけではないので、原子間力顕微鏡15の計測においては、接触式の測定方法では、測定中に粒子の位置が移動してしまう。そのため、横方向に力がかからない、非接触モードもしくはタッピングモードで測定しなければならない。
さらに、ダイヤモンド基板11上の粒子12は、アスペクト比(横方向の大きさと高さ方向の大きさの比)がほぼ1である。これに対して通常の原子間力顕微鏡(AFM)用のカンチレバーの先の探針の形状では、非接触モードであっても粒子を動かしてしまう。 そこで、針先に、さらにアスペクト比の大きな(20以上)針を成長させる。このとき、針の長さは計測する粒子12の大きさ以上(例えば、2ミクロン以上)でなければならない。
単粒子12を検出、形状およびその位置を正確に測定し、ダイヤモンド圧子13の直下にもっていくためには、光学顕微鏡16の視野と原子間力顕微鏡15の視野およびダイヤモンド圧子13の位置へのステージ10の移動の座標が正確に校正されていなければならない。そこで、以下の方法で各々の位置の校正を行う。
(1)光学顕微鏡視野中心と原子間力顕微鏡視野中心のステージ座標校正
観察した場所がわかる、標準サンプルを用いる。
例えば、X、Y 方向ともに10ミクロン間隔に刻まれた格子とその格子の座標を文字で刻んである試料を用い、光学顕微鏡16の視野中心を観察したあと、原子間力顕微鏡15の最大視野像の中心で光学顕微鏡16の中心の格子が見られるように、ステージ10の移動座標を設定する。
(2)原子間力顕微鏡の視野中心とダイヤモンド圧子位置へのステージ座標校正
銅などの塑性変形しやすい金属材料の表面を平坦に研磨し、校正用サンプルとする。 このサンプル表面に先端が平坦なダイヤモンド圧子13を用いて、圧縮試験を、1mN〜 数10mN程度の負荷で行う。すると、先がとがった圧子を用いた硬度試験の時にできる圧痕と同様のわずかにへこんだ圧痕が表面にできる。ダイヤモンド圧子13の位置、原子間力顕微鏡15のカンチレバー17の先端の位置の設計値を用いて、(2回目以降の校正からは前回の校正によって得られたそれぞれの位置を用いて)ステージ10を移動させて圧痕を原子間力顕微鏡15のカンチレバー17直下に移動させる。原子間力顕微鏡15は、このへこみを原子間力顕微鏡の最大視野像で観察する。この圧痕像と観察視野中心とのずれ(X方向、Y方向)を、画像から計測し、位置座標の修正を行う。
次に、同じ場所に圧痕をつけないように、校正用サンプルをわずかに動かし、再び、先端が平坦なダイヤモンド圧子13の直下にサンプルを移動させ、圧縮負荷をかけ圧痕をつける。同様に、原子間力顕微鏡15の直下にサンプルをステージ10で移動させ、先ほどの最大視野観察の視野中心が同じになるように視野を狭め(拡大率をあげ)、さらに位置精度の高い圧痕の観察をして、圧痕の位置の中心のずれから、位置座標の修正を行う。この時の原子間力顕微鏡15の視野はダイヤモンド圧子13の平坦部分の大きさの3倍から10倍程度で行うのが適当である。
必要があれば、この手順をくりかえし、位置座標の校正精度を高める。
圧縮試験を行うダイヤモンド圧子13の平坦部分の大きさは、試験を行う粒子12の大きさと同じ程度であることが必要である。ダイヤモンド圧子13をその精度で、微細加工を行うために、集束イオンビーム加工を使う。図5の左側に示す硬度試験用の先端がとがったダイヤモンド圧子13に対して、図5の右側のように、集束イオンビーム(FIB)を長方形状に走査し、ダイヤモンド圧子13の先端をイオンビーム先端のスパッタリング効果で削り取る。
原子間力顕微鏡15の非接触モードで観察し、単粒子を探し出し、その大きさおよび形状を計測する。原子間力顕微鏡の像の一例を図6左側の写真で、また、それによるプロファイルを図6右側において示している。
粒子12の大きさの代表値は、原子間力顕微鏡15で測定した粒子の最大高さを用いる。
単粒子12を、原子間力顕微鏡15の視野の中心になるように、ステージ10で位置を調整した後、先に校正した、ダイヤモンド圧子13の位置と原子間力顕微鏡15の位置に基づいて、試料である粒子12をダイヤモンド圧子13の方に移動させ、ダイヤモンド圧子13の直下に搬送する。
所定の負荷条件に従って、負荷セル14により粒子12に負荷をかけ圧縮試験を実行する。このとき、負荷と同時にダイヤモンド圧子13の変位を負荷センサーで記録する。
負荷と変位の関係を示した図7のグラフから、粒子12が破壊した負荷力を求め、この値と、測定した粒子の大きさを用いて、公知の以下の式から、強度を算出する。
S=2.8F/ πd2
ただし、S: 強度、F: 破壊したときの負荷力、d:粒子の大きさ、である。
この実施例の実験では、d=620nm、F=2.8mN(図の矢印の部分の負荷で破壊)であったため、強度は6.9GPaとなる。
破壊前の粒子の負荷-変位曲線が、球と平面の弾性体がある負荷で接触したとき、変位は負荷力の2/3乗に比例し、その係数は球と平面の弾性率で決まるというヘルツ接触モデルを仮定して、フィティングを行い、その得られた係数から、弾性率を評価できる。
2 粒子
3 圧子
10 X−Y方向に移動自在なステージ
11 ダイヤモンド基板
12 測定しようとする粒子
13 ダイヤモンド圧子
14 負荷セル
15 原子間力顕微鏡
16 光学顕微鏡
17 原子間力顕微鏡のカンチレバー
18 回転テーブル
Claims (2)
- ダイヤモンド基板上に微粒子を分散させ、測定しようとする微粒子を一つ選び原子間力顕微鏡を用いて微粒子の粒径を測定し、次いで、ダイヤモンド基板をクローズドループ制御のステージにより測定しようとする微粒子がダイヤモンド圧子の真下に位置するように移動させ、その後、微粒子のサイズと同程度の大きさの平坦部を形成したダイヤモンド圧子を変位させ微粒子に負荷をかけることにより微粒子の強度を測定するようにしたことを特徴とする微粒子強度測定方法。
- クローズドループ制御により精密な位置制御が可能なステージ上に微粒子を裁置するダイヤモンド基板を装着し、ステージの上方の一側には変位センサーを備えた負荷セルを設け、負荷セルの下端には微粒子のサイズと同程度の大きさの平坦部を形成したダイヤモンド圧子を装着し、また、ステージの上方の他側には微粒子の粒径を測定するための原子間力顕微鏡を設けたことを特徴とする微粒子強度測定装置。
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