JP2006154161A - 表示装置の製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】 液体を電極間で移動させて表示を行なう表示装置の製造方法において、１画素に対応する液体の量を常に必要十分な量とすることができるようにする。
【解決手段】 表面側空間２１内および裏面側空間２２内には、それぞれ、例えば、黒色に着色した水を凍結してなる凍結液体２３ａが配置されている。そして、これらの凍結液体２３ａを溶かし、これにより得られた液体のすべてが表面側空間２１内にある状態（裏面側空間２２内は例えば空気で満たされている）と裏面側空間２２内にある状態（表面側空間２１内は例えば空気で満たされている）とで表示状態が切り換えられる。この場合、凍結液体２３ａを用いるため、両空間２１、２２のいずれか一方の空間内に充填される１画素に対応する液体の量を常に必要十分な量とすることができる。
【選択図】 図１０

Description

この発明は、液体を電極間で移動させて表示を行なう表示装置の製造方法に関する。

液体を電極間で移動させて表示を行なう従来の表示装置には、１画素を構成する容器内に着色液体（誘電体）および気泡を封入し、容器の一方側の外面に互いに対向して設けられた一対の第１の電極に電圧が印加されると、静電力により、着色液体を容器内の一方側に移動させるとともに、気泡を容器内の他方側に移動させ、容器の他方側の外面に互いに対向して設けられた一対の第２の電極に電圧が印加されると、静電力により、着色液体を容器内の他方側に移動させるとともに、気泡を容器内の一方側に移動させ、容器の一方側のみを視認可能な画素とすることにより、表示を行なうようにしたものがある（例えば、特許文献１参照）。

特開平８−２５４９６２号公報

ところで、最近では、表面側透明板と裏面側透明板との間に液体移動用孔を有する中間層形成体を配置し、表面側透明板、中間層形成体およびその間に設けられた表面側側壁によって囲まれた表面側空間と、裏面側透明板、中間層形成体およびその間に設けられた裏面側側壁によって囲まれた裏面側空間とによって１画素を構成し、液体が表面側空間内にある状態（裏面側空間内は例えば空気で満たされている）と裏面側空間内にある状態（表面側空間内は例えば空気で満たされている）とで表示状態を切り換えるようにしたものが考えられている。

しかしながら、このような表示装置では、液体が表面側空間内にある状態（裏面側空間内は例えば空気で満たされている）と裏面側空間内にある状態（表面側空間内は例えば空気で満たされている）とで表示状態を切り換えるようにしているので、１画素に対応する液体の量を片方の空間のみを常に必要十分に満たす量としなければならず、そのための技術的方法が要求される。

そこで、この発明は、１画素に対応する液体の量を常に必要十分な量とすることができる表示装置の製造方法を提供することを目的とする。

この発明は、上記目的を達成するため、画素単位に空間を区切る空間形成体の前記空間内の少なくとも一部に充填された液体を電場による力の作用にしたがって移動して表示する表示装置の製造方法であって、前記液体を凍結した状態で前記空間形成体の空間内に配置することを特徴とするものである。

この発明によれば、空間形成体の空間内の少なくとも一部に充填される液体を当初凍結させ、該凍結液体を空間形成体の空間内に配置し、その後に凍結液体を溶かして、空間形成体の空間内の少なくとも一部に液体を充填しているので、空間形成体の空間内の少なくとも一部に充填される液体を当初凍結させることにより、１画素に対応する液体の量を常に必要十分な量とすることができる。

図１はこの発明の後述する製造方法により製造された表示装置の一例で白色表示状態の一部を示す断面図である。この表示装置は、画素単位に区切られた空間を形成する空間形成体１、空間形成体１内の１画素に対応する空間を２つの空間２１、２２に区切る中間層形成体１１、２つの空間２１、２２のうちのいずれか一方の空間内に設けられた液体２３などを備えている。

空間形成体１は、ガラスや樹脂などの無色透明な材料からなる表面側透明板（基板）２および裏面側透明板（基板）３を備えている。表面側透明板２の内面にはＩＴＯなどからなる複数の第１の電極板４が各画素に対応して設けられ、その内面には酸化シリコンなどからなる絶縁膜５が設けられている。裏面側透明板３の内面にはＩＴＯなどからなる複数の第２の電極板６が各画素に対応して設けられ、その内面には酸化シリコンなどからなる絶縁膜７が設けられている。

中間層形成体１１は、銅箔などからなる第３の電極板１２の表裏両面に表面側絶縁膜１３および裏面側絶縁膜１４が設けられ、各画素の中央部に対応する部分に液体移動用孔１５が設けられた構造となっている。この場合、表面側絶縁膜１３は、白色の樹脂によって形成されている。裏面側絶縁膜１４は、同様の樹脂によって形成してもよい。液体移動用孔１５の形状は、円形状、正方形状、長方形状などのいずれであってもよい。表面側絶縁膜１３および裏面側絶縁膜１４の各外面において液体移動用孔１５を除く領域には、紫外線硬化型の無色透明な表面側接着層１６および裏面側接着層１７が設けられている。

そして、表面側透明板２下の絶縁膜５と中間層形成体１１上の表面側接着層１６とは、後述する材料からなる平面格子状の表面側側壁１８を介して、互いに貼り合わされている。また、裏面側透明板３上の絶縁膜７と中間層形成体１１下の裏面側接着層１７とは、後述する材料からなる平面格子状の裏面側側壁１９を介して、互いに貼り合わされている。この状態では、第１〜第３の電極板４、６、１２は、互いに平行となるように配置されている。

つまり、空間形成体１は、主として、表面側透明板２、裏面側透明板３および両側壁１８、１９によって囲まれた空間によって画素単位に区切られた空間を形成する構造となっており、この空間形成体１の１画素に対応する空間は、両透明板２、３間に設けられた、液体移動用孔１５を有する中間層形成体１１によって２つの空間２１、２２に区切られている。

すなわち、表面側透明板２下の絶縁膜５、中間層形成体１１上の表面側接着層１６および表面側側壁１８によって囲まれた空間によって表面側空間２１が形成され、裏面側透明板３上の絶縁膜７、中間層形成体１１下の裏面側接着層１７および裏面側側壁１９によって囲まれた空間によって裏面側空間２２が形成され、両空間２１、２２は液体移動用孔１５を介して連通されている。

この場合、表面側空間２１の容積と裏面側空間２２の容積とはほぼ同じとなっている。そして、後述するように、図１に示す白色表示状態では、裏面側空間２２内および液体移動用孔１５内に例えば黒色に着色した水などの液状誘電体からなる液体２３が満たされ、表面側空間２１内に例えば空気が満たされている。なお、表面側空間２１と裏面側空間２２の平面形状は多少異なっていても、その容量がほぼ同じであればよい。

次に、この表示装置の表示動作について簡単に説明する（詳細は後述する）。図１に示す状態において、第１〜第３の電極板４、６、１２に第１の条件で電圧が印加されると、電場による力により、裏面側空間２２内にある液体２３（誘電体）は液体移動用孔１５を介して表面側空間２１内に移動し、図２に示すように、表面側空間２１内および液体移動用孔１５内に液体２３が満たされ、裏面側空間２２内に例えば空気が満たされる。

一方、図２に示す状態において、第１〜第３の電極板４、６、１２に第２の条件で電圧が印加されると、電場による力により、表面側空間２１内にある液体２３は液体移動用孔１５を介して裏面側空間２２内に移動し、図１に示すように、裏面側空間２２内および液体移動用孔１５内に液体２３が満たされ、表面側空間２１内に例えば空気が満たされる。

そして、図１に示す状態では、表面側空間２１内に液体２３がないため、中間層形成体１１の白色の表面側絶縁膜１３が画素表面側から目視され、白色表示となる。この場合、表面側側壁１８は白色の材料によって形成してもよい。一方、図２に示す状態では、表面側空間２１内に例えば黒色の液体２３があるため、黒色表示となる。

次に、この表示装置における電場による力での表示動作について、詳細に説明する。誘電体である液体２３は、電場がかかると分極する。分極した液体２３にかかっている電場が一様でない（空間的に変化している）ところでは、液体２３はその分極の向きと電場成分の偏微分との関係に応じて電場から力を受ける。液体２３の各部分が受ける力の大きさと向きは、液体２３の各部分の分極を双極子モーメントで近似し、各双極子モーメントの成分とそれぞれの双極子の位置での電場成分の偏微分とから考察することができる。

双極子が受ける力Ｆは、双極子モーメントをＰ、電場をＥとしたとき、次の式（１）から求められる。ただし、Ｐ、Ｅ、Ｆはベクトル、▽はナブラである。
Ｆ＝（Ｐ・▽）Ｅ……（１）

この双極子が受ける力Ｆは、電場強度の２乗の勾配の大きいところで大きくなる。このため、表面側空間２１、裏面側空間２２、液体移動用孔１５内に適切な電場（電位の変化）を作り出すことで、液体２３を表面側空間２１から裏面側空間２２へあるいは裏面側空間２２から表面側空間２１へと移動させる主たる動力が得られる。

図３は、上記表示装置において、第２の電極板６と第３の電極板１２の電圧を０Ｖとし、第１の電極板４に例えば１０Ｖの正電圧を印加した場合の画素内空間の電位分布イメージを示す図である。この電位分布イメージ図は、画素内空間断面の各点での電位を３次元的に表現した図である。

画素内空間断面の各点での電位は上方向の高さで表され、３次元の図の底面を構成する辺のうち、図示手前側の長辺（横軸）が第２の電極板６に対応する位置であり、当該軸上での電位は０Ｖとなり、図示奥側にあるこれと平行な長辺（横軸）が第１の電極板４に対応する位置であり、当該軸上での電位は１０Ｖとなる。すなわち、この２つの長辺に直交する短辺に沿う方向に、奥側が表面側空間２１の電位、手前側が裏面側空間２２の電位、その半分あたりのところが中間層形成体１１の電位となる。

第１、第２の電極板４、６のそれぞれの軸方向の座標は図１の左右方向の座標に対応しており、軸方向の中央の座標は液体移動用孔１５の位置に対応している。表面側空間２１では、第１の電極板４の１０Ｖから第３の電極板１２の０Ｖ近くへと電位が急激に変化するが、液体移動用孔１５の位置に対応した中央付近の上層部分では、電位がそれよりも緩やかに変化し、下層部分でさらになだらかに変化して第２の電極板６で０Ｖとなる。そして、液体移動用孔１５の下方あたりを除く裏面側空間２２の電位はどこもほぼ０Ｖである。

図４は、図３で示した画素内空間の電位分布イメージに対応する電場分布イメージを示す図である。電場については、電位の傾きから求めることができる。図４に示す３次元の電場分布イメージ図では、上方向の高さが電場の強さ（大きさ・絶対値）を表すもので、第１の電極板４側の表面側空間２１の電場は非常に強いが、第２の電極板６側の裏面側空間２２の電場は非常に弱いことが分かる。

表面側空間２１において、第１の電極板４と第３の電極板１２との電位差による電場が支配的であるが、液体移動用孔１５に対応する部分には第３の電極板１２がないために、第１の電極板４と第２の電極板６との電位差による電場の作用が生じている。このため、表面側空間２１に対応する電場同士を比べると、液体移動用孔１５の上あたりの電場はそれ以外の電場よりも弱い。液体移動用孔１５の上下方向に対応した電場については、表面側空間２１、液体移動用孔１５内、裏面側空間２２と下に行くほど電場は弱くなる。

裏面側空間２２において、第３の電極板１２と第２の電極板６との電位差による電場が支配的であるが、液体移動用孔１５に対応する部分では第１の電極板４と第２の電極板６との電位差による電場の作用が生じている。このため、液体移動用孔１５の下から外側に行くほど電場は弱くなり、液体移動用孔１５から十分離れた中間層形成体１１の下では電場はほとんどない。

すなわち、図１に示すように、液体２３がすべて裏面側空間２２内にあるときに、第２の電極板６と第３の電極板１２とを０Ｖにして第１の電極板４に１０Ｖの正電圧を印加すると（第１の条件）、図４で示した電場分布イメージからも分かるように、液体移動用孔１５から離れたところの液体２３はほとんど分極しないが、液体移動用孔１５内と液体移動用孔１５の下とその周辺の液体２３が分極する。この液体２３における分極の概略の方向は、図３で示した電位分布イメージから推測可能である。

この際、液体移動用孔１５内の液体２３と裏面側空間２２内の液体移動用孔１５の下方の液体２３にはほぼ上向きの力が加わって表面側空間２１に移動しようとする。また、この液体２３の移動に追随するように、裏面側空間２２の液体２３で液体移動用孔１５の下方より外側の液体２３には概ね液体移動用孔１５の下方へと向かう力が加わる。これにより、液体移動用孔１５内にある液体２３は表面側空間２１へと上がり、また液体移動用孔１５の下方にある液体２３は液体移動用孔１５へと上がり、さらに液体移動用孔１５の下方の外側にある液体２３は液体移動用孔１５の下方へと集まって行く。

そして、液体移動用孔１５から表面側空間２１に上がって来た液体２３は、同じ原理による力を受けて、その一部はさらに上へ、一部は液体移動用孔１５の上から離れて表面側空間２１の端へと入って行く。この際、表面側空間２１に入って来た液体２３は、そこの強い電場により強く分極はするが、当該電場は端のあたりを除いてほぼ一様なので、特には力を受けない。しかし、液体移動用孔１５を介して後から次々と表面側空間２１に入って来る液体２３に押される形で表面側空間２１の端の方へと移動して行く。

一方、裏面側空間２２内の大部分の液体２３については、裏面側空間２２の電場はほぼ０なので力をほとんど受けない。しかし、液体２３には表面張力により表面積を小さくしようとする力が働くので、裏面側空間２２内の液体２３も、液体移動用孔１５を通って表面側空間２１へと移動する液体２３に引っ張られて液体移動用孔１５の方向へと移動して行く。

このように、第２の電極板６と第３の電極板１２を０Ｖにして第１の電極板４に１０Ｖの正電圧を印加することにより得られる電場空間と液体２３の表面張力および後から押される力などの総合作用の結果、全体としての液体２３は、電場の弱い裏面側空間２２の領域から電場の強い表面側空間２１の領域へと移動して行く。

一方、図２に示すように、液体２３がすべて表面側空間２１にあるときに、これをすべて裏面側空間２２へと移動させる場合には、第１の電極板４と第３の電極板１２を０Ｖとし、第２の電極板６に例えば１０Ｖの正電圧を印加すると（第２の条件）、上記同様の原理により、表面側空間２１内の液体２３は液体移動用孔１５を通って裏面側空間２２へと移動する。

そして、この表示装置では、液体２３を表面側空間２１または裏面側空間２２に一旦移動させてしまうと、その状態を維持するのに各電極板４、６、１２間に電圧をかける必要はない。すなわち、例えば、各電極板４、６、１２に対する印加電圧をすべて０Ｖにした場合には、表示画素空間内のすべての点で電位は０Ｖであり電場が無いので、液体２３は電場から全く力を受けることはないが、次のような力が寄与して表面側空間２１または裏面側空間２２に移動し終えた液体２３はその場所に留まる。

通常、液体２３には表面張力により一つになって丸まろうとする性質があるが、この表示画素空間内の液体２３の体積はとても小さいのでその影響は大きい。表面側空間２１または裏面側空間２２へと移動し終えて一つにまとまった液体２３が、液体移動用孔１５を通って再び他方の空間へと入り込むには、この表面張力によって一つになって丸まろうとする性質の力に逆らわなければならない。すなわち、液体２３の表面張力は、当該液体２３が現在の空間内に留まろうとする力として寄与する。

また、液体移動用孔１５の面積は小さいので、液体移動用孔１５を通過する際に液体２３は通過摩擦などによる抵抗力を受け、この通過摩擦などによる抵抗力も液体２３が現在の空間内に留まろうとする力として寄与する。さらに、液体２３が接している面との付着力も、当該液体２３が現在の空間内に留まろうとする力として寄与する。

このように、中間層形成体１１の液体移動用孔１５を介して上下分離した表面側空間２１と裏面側空間２２とのそれぞれにおける液体２３の表面張力や静止力として働く付着力の寄与により、通常の重力や振動などによる外力が加わった場合でも、液体２３が他の空間へ勝手に移動してしまうのを阻止することができる。したがって、この表示装置によれば、表示内容を変えない限りは電力を加える必要はなく、非常に低消費電力で、高コントラスト、且つ広い視野角の見やすい表示装置を実現することができる。

ところで、図１および図２に示す表示装置では、両側壁１８、１９が平面格子状であるため、複数の画素はマトリクス状に配置されている。この場合、両側壁１８、１９は、空間形成体１の空間を画素単位に区切るための隔壁となる。また、この例では、第３の電極板１２は、白色表示と黒色表示のいずれの場合も０Ｖの電圧が印加されるため、べた状の共通電極となっている。

第１、第２の電極板４、６は、０Ｖの電圧と例えば１０Ｖの正電圧とが選択的に印加されるため、例えばアクティブマトリクス型液晶表示装置の画素電極のように、各画素に対応して島状に分離されている。そして、薄膜トランジスタなどのスイッチング素子を用いて、第１、第２の電極板４、６に０Ｖの電圧と１０Ｖの正電圧を選択的に印加するようにしてもよい。

また、第１、第２の電極板４、６の大きさは、両側壁１８、１９によって囲まれた表示領域よりもやや広い面積として側壁１８、１９に食い込むような面積としてもよく、また表示領域にぴったりと当て嵌まる面積としてもよく、さらに表示領域よりもやや狭い面積としてもよい。また、表示領域（画素）の平面形状は、正方形に限らず、長方形などの他の形状であってもよい。

次に、図１に示す表示装置の製造方法の一例について説明する。まず、図５に示すように、ガラスや樹脂などの無色透明な材料からなる裏面側透明板３の上面に、スパッタ法などにより成膜されたＩＴＯ膜をフォトリソグラフィ法によりパターニングすることにより、複数の第２の電極板６を各画素に対応して形成する。次に、第２の電極板６を含む裏面側透明板３の上面に、スパッタ法やプラズマＣＶＤ法などにより、酸化シリコンなどからなる絶縁膜７を形成する。

次に、絶縁膜７の上面の所定の箇所に、塗布されたレジスト膜またはラミネートされたドライフィルムレジスト膜をフォトリソグラフィ法によりパターニングすることにより、平面格子状の裏面側側壁１９を形成する。次に、平面格子状の裏面側側壁１９間における絶縁膜７の上面ほぼ中央部に、液体２３（誘電体）として、例えば黒色に着色された水を凍結してなる平面正方形状で直方体形状の凍結液体（裏面側凍結液体）２３ａを配置する。

ここで、凍結液体２３ａの形成方法および配置方法の一例について説明する。まず、図６（Ａ）に示す凍結液体形成装置３１を用意する。この凍結液体形成装置３１は、型３２の平面正方形状の貫通孔３３内に平面正方形状の押し上げ部材３４が上下方向移動可能に設けられ、型３２の上面に平板状のカバー３５が左右方向移動可能に設けられた構造となっている。この場合、押し上げ部材３４の上面は平坦となっている。

そして、押し上げ部材３４を下限位置に位置させ、且つ、カバー３５を開放位置に位置させた状態で、貫通孔３３内に液体３６を表面張力によりやや盛り上がるように供給する。次に、図６（Ｂ）に示すように、カバー３５で貫通孔３３を塞ぎ、液量を必要十分な量に調整する。そして、カバー３５を開放位置に戻す。この状態で貫通孔３３内の液体３６を凍結させると、平面正方形状で直方体形状の凍結液体２３ａが形成される。（凍結による体積増により、若干上面が膨れた形状となる。）次に、図６（Ｃ）に示すように、押し上げ部材３４を上昇させると、凍結液体２３ａが貫通孔３３上に取り出される。

次に、図７（Ａ）に示す凍結液体配置装置４１を用意する。この凍結液体配置装置４１は、角筒形状のホッパ４２の下側に押し出し部材４３が左右方向移動可能に設けられ、ホッパ４２の下側において押し出し部材４３の先端部側に排出口４４が設けられた構造となっている。なお、この凍結液体配置装置４１は、全体的に、ＸＹ方向に微小移動可能となっているが、裏面側透明板３が載置されるステージ（図示せず）をＸＹ方向に微小移動可能としてもよい。

そして、押し出し位置に位置する押し出し部材４３上におけるホッパ４２内に複数の凍結液体２３ａを積層させて収納した状態で、排出口４４を、平面格子状の裏面側側壁１９間における絶縁膜７の上面ほぼ中央部上方に位置させる。次に、図７（Ｂ）に示すように、押し出し部材４３を待機位置に移動させると、ホッパ４２内の最下層の凍結液体２３ａが自然落下して押し出し位置に位置する状態となる。

次に、図７（Ｃ）に示すように、押し出し部材４３を押し出し位置に移動させると、最下層の凍結液体２３ａが押し出されて排出口４４から排出され、平面格子状の裏面側側壁１９間における絶縁膜７の上面ほぼ中央部に配置される。この後、凍結液体配置装置４１を微小移動させて上記と同様の工程を繰り返すと、平面格子状の裏面側側壁１９の各間における絶縁膜７の上面ほぼ中央部に凍結液体２３ａが配置される。ところで、凍結液体２３ａの体積は、溶けて液体となったときの容積が図１に示す裏面側空間２２（液体移動用孔１５を含む）の容積の約半分となるようにし、且つ、凍結液体２３ａの厚さは裏面側空間２２の厚さよりも薄くなるようにしているが、その理由については後で説明する。

次に、銅箔などの遮光性金属からなる第３の電極板１２の表裏両面に白色の樹脂からなる表面側絶縁膜１３および裏面側絶縁膜１４が形成された中間層形成体１１を用意する。中間層形成体１１は、画素の中央部に対応する部分に液体移動用孔１５がパンチングなどにより形成された構造となっている。

そして、図示していないが、例えば、スプレー型の接着剤塗布装置を用い、表面側絶縁膜１３および裏面側絶縁膜１４の各外面に紫外線硬化型の無色透明な接着剤を霧状に吹き付けて塗布し、表面側接着層１６および裏面側接着層１７を形成する。この場合、接着剤を霧状に吹き付けて塗布するため、中間層形成体１１の液体移動用孔１５内に接着剤が付着せず、表面側絶縁膜１３および裏面側絶縁膜１４の各外面において液体移動用孔１５を除く領域に表面側接着層１６および裏面側接着層１７が形成される。なお、スプレーを用いず、ディスペンサ法などにより、紫外線硬化型の無色透明な接着剤を塗布してもよい。

次に、図８に示すように、上記で用意した液体移動用孔１５を有する中間層形成体１１の表裏両面に紫外線硬化型の無色透明な表面側接着層１６および裏面側接着層１７が設けられたものを、裏面側側壁１９の上面に、その裏面側接着層１７側を下にして位置合わせし配置する。

ところで、上述の如く、凍結液体２３ａの体積は、溶けて液体となったときの容積が図１に示す裏面側空間２２（液体移動用孔１５を含む）の容積の約半分となるようにし、且つ、凍結液体２３ａの厚さは裏面側空間２２の厚さよりも薄くなるようにしているが、ここで、その理由について説明する。第１に、液体は凍結すると体積が増大するので、凍結液体２３ａの体積を裏面側空間２２（液体移動用孔１５を含む）の容積と同じとすると、溶けて液体となったときに、液体の容積が裏面側空間２２の容積よりも少なくなり、裏面側空間２２（液体移動用孔１５を含む）内に液体を満たすことができなくなってしまうからである。

第２に、凍結液体２３ａの体積を、溶けて液体となったときに裏面側空間２２内（液体移動用孔１５を含む）を満たせることができる程度とした場合には、凍結液体２３ａの大きさ（体積）が裏面側空間２２の大きさ（容量）よりも大きくなり、図８に示す状態において、凍結液体２３ａが裏面側側壁１９の上方に突出し、裏面側側壁１９の上面に中間層形成体１１下の裏面側接着層１７を配置することができなくなってしまうからである。

以上のことから、凍結液体２３ａの体積は、溶けて液体となったときの容積が裏面側空間２２（液体移動用孔１５を含む）の容積の約半分となるようにし、且つ、凍結液体２３ａの厚さは裏面側空間２２の厚さよりも薄くなるようにしている。そして、後で説明するが、もう１つの凍結液体（表面側凍結液体）を用い、２つの凍結液体が溶けて液体となったときの容積が裏面側空間２２（液体移動用孔１５を含む）の容積とほぼ同じとなるようにしている。

なお、２つの凍結液体の外形形状は異なっていてもよく、要は、２つの凍結液体が溶けて液体となったときの容積が表面側空間２１、または裏面側空間２２（液体移動用孔１５を含む）の容積とほぼ同じとなればよい。ただし、凍結液体の形成や配置などを考慮すると、２つの凍結液体の外形形状は同一である方が好ましい。

次に、図８に示す状態において、裏面側透明板３の下面側から紫外線を照射する。すると、中間層形成体１１下の紫外線硬化型の裏面側接着層１７が硬化して裏面側側壁１９の上面に接着される。これにより、中間層形成体１１下の裏面側接着層１７と裏面側透明板３上の絶縁膜７とは裏面側側壁１９を介して互いに貼り合わされ、裏面側空間２２が形成される。この状態では、中間層形成体１１の第３の電極板１２は銅箔などの遮光性金属からなるため、表面側接着層１６は未硬化状態のままである。

次に、図９に示すように、図５に示す場合と同様に、表面側透明板２の上面に複数の第１の電極板４が形成され、その上面に絶縁膜５が形成され、その上面に平面格子状の表面側側壁１８が形成され、平面格子状の表面側側壁１８間における絶縁膜５の上面ほぼ中央部に平面正方形状で直方体形状の凍結液体（表面側凍結液体）２３ａが配置されたものを用意する。なお、両側壁１８、１９は、フォトリソグラフィ法ではなく、インクジェット法などの他の方法によって形成するようにしてもよい。

次に、図１０に示すように、表面側側壁１８の上面に、図８に示すものの上下を反転して、中間層形成体１１下の表面側接着層１６を位置合わせして配置する。この状態では、裏面側空間２２内に配置された凍結液体２３ａは、自重により落下して、中間層形成体１１上の裏面側接着層１７の上面に配置されている。この場合、裏面側空間２２内に配置された凍結液体２３ａの位置がずれても、別に支障はない。

次に、図１０に示す状態において、表面側透明板２の下面側から紫外線を照射する。すると、中間層形成体１１下の紫外線硬化型の表面側接着層１６が硬化して表面側側壁１８の上面に接着される。これにより、中間層形成体１１下の表面側接着層１６と表面側透明板２上の絶縁膜５とは表面側側壁１８を介して互いに貼り合わされ、表面側空間２１が形成される。

ところで、以上の工程は、凍結液体２３ａが溶けない程度の低温下で行なう。そして、次に、図１０に示すものの上下を反転して、常温下でまたはヒーターなどによる加熱により両凍結液体２３ａを溶かすと、図１１に示すように、両空間２１、２２内の各半分に液体２３が収容された状態となる。この状態では、表面側空間２１内の液体２３は、表面張力により液体移動用孔１５を通ることができず、表面側空間２１内に留められる。なお、上記凍結液体２３ａを溶かす工程は上記凍結液体２３ａを配置する工程より後であれば、必ずしも最後の工程である必要はない。

そして、図１１に示す状態において、第１〜第３の電極板４、６、１２に第２の条件で電圧が印加されると、電場による力により、表面側空間２１内にある液体２３は液体移動用孔１５を介して裏面側空間２２内に移動し、図１に示すように、裏面側空間２２内および液体移動用孔１５内に液体２３が満たされ、表面側空間２１内に例えば空気が満たされる。かくして、図１に示す表示装置が得られる。

以上のように、上記製造方法では、空間形成体１の片方の空間である表面側空間２１および裏面側空間２２（液体移動用孔１５を含む）内に充填される液体２３を当初凍結させ、すなわち、表面側および裏面側の２つの凍結液体２３ａとして配置し、その後に２つの凍結液体２３ａを溶かし、空間形成体１の表面側空間２１および裏面側空間２２（液体移動用孔１５を含む）内に液体２３を充填しているので、液体２３の量を表面側空間２１または裏面側空間２２（液体移動用孔１５を含む）内のみを常に必要十分に満たす量とすることができ、ひいては１画素に対応する液体２３の量を常に必要十分な量とすることができる。

また、上記製造方法では、空間形成体１の空間形成体１の片方の空間である表面側空間２１および裏面側空間２２（液体移動用孔１５を含む）内に充填される液体２３を当初凍結させ、すなわち、表面側および裏面側の２つの凍結液体２３ａとしているので、製造段階において表面側空間２１または裏面側空間２２（液体移動用孔１５を含む）内に充填される一定量の液体２３を凍結液体２３ａつまり一種の固体として取り扱うことができ、その取り扱いを用意とすることができる。

次に、図１に示す表示装置の製造方法の他の例について説明する。まず、図１２に示すように、凍結液体形成装置３１として、押し上げ部材３４の上面中央部に平面正方形状の凸部３４ａが設けられたものを用いる。そして、図６で説明した方法と同様に、凍結液体２３ａとして、凸部３４ａに対応する凹部２３ｂを有するものを形成する。この場合、凍結液体２３ａの平面方向の外形寸法は、図１に示す裏面側空間２２の寸法と同じであり、凍結液体２３ａの高さは裏面側空間２２の高さに等しく、凍結液体２３ａの体積は溶けて液体になったときに裏面側空間２２（液体移動用孔１５を含む）の容積の約半分となるようにする。

次に、図１３に示す凍結液体用トレー５１を用意する。この凍結液体用トレー５１は、透明な樹脂からなる平板状のトレー本体５２の上面に複数の凍結液体収容用凹部５３がマトリクス状に設けられ、凍結液体収容用凹部５３間に格子状に設けられた隔壁５４の上部両側面にテーパー部５５が設けられた構造となっている。この場合、隔壁５４の最大幅は、図１に示す側壁１８、１９の幅と同じとなっている。そして、例えば図７に示す凍結液体配置装置４１を用い、凍結液体用トレー５１の複数の凍結液体収容用凹部５３内に複数の凍結液体（裏面側凍結液体）２３ａをその各凹部２３ｂを上側にしてマトリクス状に配置する。

次に、図１４に示すように、凍結液体２３ａの上面に、液体移動用孔１５を有する中間層形成体１１の表裏両面に紫外線硬化型の無色透明な表面側接着層１６および裏面側接着層１７が設けられたものを用意し、裏面側接着層１７を位置合わせして配置する。次に、凍結液体用トレー５１の下面側から紫外線を照射する。すると、中間層形成体１１下の紫外線硬化型の裏面側接着層１７が硬化して凍結液体２３ａの上面に接着される。この状態では、中間層形成体１１の第３の電極板１２は銅箔などの遮光性金属からなるため、表面側接着層１６は未硬化状態のままである。

次に、凍結液体２３ａなどを含む中間層形成体１１を凍結液体用トレー５１から取り外し、その上下を反転すると、図１５に示す状態となる。次に、図１６に示すように、別の凍結液体用トレー５１の複数の凍結液体収容用凹部５３内に複数の凍結液体（表面側凍結液体）２３ａをその各凹部２３ｂを上側にしてマトリクス状に配置したものを用意する。

次に、図１７に示すように、図１６に示す別の凍結液体用トレー５１上に配置された凍結液体２３ａの上面に、図１５に示すものを位置合わせして配置する。次に、別の凍結液体用トレー５１の下面側から紫外線を照射する。すると、中間層形成体１１下の紫外線硬化型の表面側接着層１６が硬化して、別の凍結液体用トレー５１上の配置された凍結液体２３ａの上面に接着される。次に、両凍結液体２３ａなどを含む中間層形成体１１を別の凍結液体用トレー５１から取り外すと、図１８に示す状態となる。

次に、図１９に示すように、第１の電極板４を含む表面側透明板２の上面に設けられた絶縁膜５の上面に、紫外線硬化型の無色透明な接着剤からなる表面側側壁形成用材料１８ａを適当な量だけ塗布する。次に、表面側側壁形成用材料１８ａの上面側に、図１８に示すものを最大に押し付けると、図２０に示すように、表面側接着層１６下の凍結液体２３ａの下面が表面側側壁形成用材料１８ａを押し退けて表面側透明板２上の絶縁膜５の上面に（ほぼ）当接され、且つ、表面側接着層１６下の凍結液体２３ａ間に表面側側壁形成用材料１８ａが充填された状態となる。

表面側接着層１６下の凍結液体２３ａの下面で表面側側壁形成用材料１８ａを押し退け、余分の表面側側壁形成用材料１８ａは外側に押し出される。このとき、表面側接着層１６下の凍結液体２３ａと表面側透明板２上の絶縁膜５との間に表面側側壁形成用材料１８ａが若干残っても、別に支障はない。

次に、図２０に示す状態において、表面側透明板２の下面側から紫外線を照射する。すると、紫外線硬化型の表面側側壁形成用材料１８ａが硬化して表面側側壁１８が形成され、且つ、この表面側側壁１８がその周囲の絶縁膜５、表面側接着層１６および凍結液体２３ａに接着される。これにより、中間層形成体１１下の表面側接着層１６と表面側透明板２上の絶縁膜５とは表面側側壁１８を介して互いに貼り合わされ、表面側空間２１が形成される。

次に、図２１に示すように、第２の電極板６を含む裏面側透明板２の上面に設けられた絶縁膜７の上面に、紫外線硬化型の無色透明な接着剤からなる裏面側側壁形成用材料１９ａを適当な量だけ塗布する。次に、裏面側側壁形成用材料１９ａの上面側に、図２０に示すものの上下を反転してなるものを最大に押し付けると、図２２に示すように、裏面側接着層１７下の凍結液体２３ａの下面が裏面側側壁形成用材料１９ａを押し退けて裏面側透明板３上の絶縁膜７の上面に（ほぼ）当接され、且つ、裏面側接着層１７下の凍結液体２３ａ間に裏面側側壁形成用材料１９ａが充填された状態となる。

この場合も、裏面側接着層１７下の凍結液体２３ａの下面で裏面側側壁形成用材料１９ａを押し退け、余分の裏面側側壁形成用材料１９ａは外側に押し出される。このとき、裏側接着層１７下の凍結液体２３ａと裏面側透明板３上の絶縁膜７との間に裏面側側壁形成用材料１９ａが若干残っても、別に支障はない。

次に、図２２に示す状態において、裏面側透明板３の下面側から紫外線を照射する。すると、紫外線硬化型の裏面側側壁形成用材料１９ａが硬化して裏面側側壁１９が形成され、且つ、この裏面側側壁１９がその周囲の絶縁膜７、裏面側接着層１７および凍結液体２３ａに接着される。これにより、中間層形成体１１下の裏面側接着層１７と裏面側透明板３上の絶縁膜７とは裏面側側壁１９を介して互いに貼り合わされ、裏面側空間２２が形成される。

次に、常温下でまたはヒーターなどによる加熱により両凍結液体２３ａを溶かすと、図１１に示すように、両空間２１、２２内の各半分に液体２３が収容された状態となる。この状態では、表面側空間２１内の液体２３は、表面張力により液体移動用孔１５を通ることができず、表面側空間２１内に留められる。

次に、図１１に示す状態において、第１〜第３の電極板４、６、１２に第２の条件で電圧が印加されると、電場による力により、表面側空間２１内にある液体２３は液体移動用孔１５を介して裏面側空間２２内に移動し、図１に示すように、裏面側空間２２内および液体移動用孔１５内に液体２３が満たされ、表面側空間２１内に例えば空気が満たされる。かくして、図１および図２に示す表示装置が得られる。

ところで、上記製造方法では、図２０に示すように、表面側接着層１６下にマトリクス状に配置された凍結液体２３ａ間に表面側側壁形成用材料１８ａを充填し、次いで紫外線を照射することにより、表面側側壁１８を形成し、また、同様の工程により、図２２に示すように、裏面側側壁１９を形成しているので、マトリクス状に配置された凍結液体２３ａを一種の型として、格子状の両側壁１８、１９を形成することができる。

次に、図２３はこの発明のもう一つの後述する製造方法により製造された表示装置の一例で白色表示状態の一部を示す断面図である。この表示装置において、図１に示す表示装置と異なる点は、中間層形成体１１の裏面に裏面側接着層１７が設けられておらず、その代わりに、裏面側透明板３上の絶縁膜７の上面に接着層２４を設けた点である。

次に、図２３に示す表示装置の製造方法の一例について説明する。まず、図２４に示すように、凍結液体用トレー５１の複数の凍結液体収容用凹部５３内に複数の凍結液体（裏面側凍結液体）２３ａをその各凹部２３ｂを下側にしてマトリクス状に配置する。次に、図２５に示すように、凍結液体２３ａの上面に、第２の電極板６を含む裏面側透明板３の下面に設けられた絶縁膜７の下面に紫外線硬化型の無色透明な接着層２４が設けられたものを用意し、接着層２４を位置合わせして配置する。次に、凍結液体用トレー５１の下面側から紫外線を照射する。すると、紫外線硬化型の接着層２４が硬化して凍結液体２３ａの上面に接着される。

次に、凍結液体２３ａなどを含む裏面側透明板３を凍結液体用トレー５１から取り外し、その上下を反転すると、図２６に示す状態となる。次に、図２７に示すように、凍結液体２３ａ間における接着層２４の上面に、ディスペンサ法などにより、紫外線硬化型の無色透明な接着剤からなる裏面側側壁形成用材料１９ａを注入する。次に、図２８に示すように、凍結液体２３ａおよび裏面側側壁形成用材料１９ａの上面に、液体移動用孔１５を有する中間層形成体１１の表面に紫外線硬化型の無色透明な表面側接着層１６が設けられたものを用意し、裏面側絶縁膜１４を位置合わせして配置する。

次に、裏面側透明板３の下面側から紫外線を照射する。すると、紫外線硬化型の裏面側側壁形成用材料１９ａが硬化して裏面側側壁１９が形成され、且つ、この裏面側側壁１９がその周囲の接着層２４、裏面側絶縁膜１４および凍結液体２３ａに接着される。これにより、中間層形成体１１と裏面側透明板３上の接着層２４とは裏面側側壁１９を介して互いに貼り合わされ、裏面側空間２２が形成される。この状態では、中間層形成体１１の第３の電極板１２は銅箔などの遮光性金属からなるため、表面側接着層１６は未硬化状態のままである。

次に、図２９に示すように、別の凍結液体用トレー５１の複数の凍結液体収容用凹部５３内に複数の凍結液体（表面側凍結液体）２３ａをその各凹部２３ｂを下側にしてマトリクス状に配置したものを用意する。次に、図３０に示すように、別の凍結液体用トレー５１上の配置された凍結液体２３ａの上面に、図２８に示すものの上下を反転して、表面側接着層１６を位置合わせして配置する。

次に、図３０に示す状態において、別の凍結液体用トレー５１の下面側から紫外線を照射する。すると、紫外線硬化型の表面側接着層１６が硬化して、別の凍結液体用トレー５１上に配置された凍結液体２３ａの上面に接着される。次に、中間層形成体１１およびその下面側に接着された凍結液体２３ａなどを含む裏面側透明板３を別の凍結液体用トレー５１から取り外し、その上下を反転すると、図３１に示す状態となる。

次に、図３２に示すように、表面側接着層１６上に接着された凍結液体２３ａ間における表面側接着層１６の上面に、ディスペンサ法などにより、紫外線硬化型の無色透明な接着剤からなる表面側側壁形成用材料１８ａを塗布する。次に、図３３に示すように、表面側接着層１６上に接着された凍結液体２３ａおよび表面側側壁形成用材料１８ａの上面に、第１の電極板４と絶縁膜５が設けられた表面側透明板２を用意し、絶縁膜５を位置合わせして配置する。

次に、表面側透明板２の上面側から紫外線を照射する。すると、紫外線硬化型の表面側側壁形成用材料１８ａが硬化して表面側側壁１８が形成され、且つ、この表面側側壁１８がその周囲の表面接着層１６、絶縁膜５および凍結液体２３ａに接着される。これにより、中間層形成体１１と表面側透明板２下の絶縁層５とは表面側側壁１８を介して互いに貼り合わされ、表面側空間２１が形成される。

次に、常温下でまたはヒーターなどによる加熱により両凍結液体２３ａを溶かすと、図３４に示すように、両空間２１、２２内の各半分に液体２３が収容された状態となる。この状態では、表面側空間２１内の液体２３は、表面張力により液体移動用孔１５を通ることができず、表面側空間２１内に留められる。

次に、図３４に示す状態において、第１〜第３の電極板４、６、１２に第２の条件で電圧が印加されると、電場による力により、表面側空間２１内にある液体２３は液体移動用孔１５を介して裏面側空間２２内に移動し、図２３に示すように、裏面側空間２２内および液体移動用孔１５内に液体２３が満たされ、表面側空間２１内に例えば空気が満たされる。かくして、図２３に示す表示装置が得られる。

なお、図２４および図２９にそれぞれ示す場合において、凍結液体用トレー５１の凍結液体収容用凹部５３内に凍結液体２３ａをその凹部２３ｂを上側にして配置するようにしてもよい。また、この実施形態の場合には、図２０および図２３にそれぞれ示すように、凍結液体２３ａの平坦な面で側壁形成用材料１８ａ、１９ａを押し退ける必要はないので、凍結液体２３ａを角筒形状としてもよい。

また、例えば、図１に示す表示装置は、上下方向に対称な構造であるので、図５に示す当初の工程において、表面側透明板２上の絶縁膜５上に表面側側壁１８を形成し、図９に示す所定の工程において、裏面側透明板３上の絶縁膜７上に裏面側側壁１９を形成するようにしてもよい。すなわち、当初の工程の対象は、両透明板２、３のいずれであってもよい。

また、上記実施形態において、液体２３の色は黒色以外の青色、赤色などであってもよい。また、上記実施形態において、液体移動用孔１５を設ける位置は中間層形成体１１の中央部でなくてもよく、また液体移動用孔１５は複数であってもよい。液体移動用孔１５を複数とする場合には、液体移動用孔１５の大きさや形状は同じであってもよく、異なっていてもよい。

また、上記実施形態において、強い衝撃などが加わっても表示が乱れないようにするには、表示内容が変更されないときでも電圧をかけるようにすればよいが、その場合低消費電力化を図るため、表示内容を変更するときよりも弱い電圧をかける構成としてもよく、あるいは、表示内容が変更されないときには、間歇的に電圧をかけて、乱されたかもしれない表示を一定時間ごとに復元する構成としてもよい。

また、上記実施形態では、各電極板４、６、１２に直流電圧をかける場合について説明したが、交流電圧をかけるようにしてもよい。例えば、液体２３を表面側空間２１へ移動させる場合、第１の電極板４には第３の電極板１２と逆相で、第２の電極板６には第３の電極板１２と同相で、３つの電極板４、６、１２に対して１０Ｖと０Ｖを一定周期で切り換えてかけるようにしてもよい。なお、電極板の数は３つに限定されるものではなく、誘電体である液体２３を表面側空間２１と裏面側空間２２との間で電場の強さの違いにより移動させるものであれば、それ以上の電極板数あるいはそれ以下の電極板数であってもよい。

なお、上記実施形態では、空間形成体１の構成要素として、裏面側透明板３を用いているが、紫外線硬化型の接着剤を硬化させる紫外線に対してある程度の透過率を有するものであれば、可視領域の光に対して必ずしも透過率が高い必要はない（透明である必要はない）。

この発明の製造方法により製造された表示装置の一例で白色表示状態の一部 を示す断面図。 図１に示す表示装置の黒色表示状態の断面図。 図１および図２に示す表示装置のある条件での画素内空間の電位分布イメー ジを示す図。 図３で示した画素内空間の電位分布イメージに対応する電場分布イメージを 示す図。 図１および図２に示す表示装置の製造方法の一例において、当初の工程の断 面図。 （Ａ）〜（Ｃ）は凍結液体の形成方法を説明するために示す断面図。 （Ａ）〜（Ｃ）は凍結液体の配置方法を説明するために示す断面図。 図５に続く工程の断面図。 図８に続く工程の断面図。 図９に続く工程の断面図。 図１０に続く工程の断面図。 図１および図２に示す表示装置の製造方法の他の例において、凍結液体の 形成方法を説明するために示す断面図。 図１２に続く工程の断面図。 図１３に続く工程の断面図。 図１４に続く工程の断面図。 図１５に続く工程の断面図。 図１６に続く工程の断面図。 図１７に続く工程の断面図。 図１８に続く工程の断面図。 図１９に続く工程の断面図。 図２０に続く工程の断面図。 図２１に続く工程の断面図。 この発明の製造方法により製造された表示装置の他の例の一部の白色表示 状態を示す断面図。 図２３に示す表示装置の製造方法の一例において、当初の工程の断面図。 図２４に続く工程の断面図。 図２５に続く工程の断面図。 図２６に続く工程の断面図。 図２７に続く工程の断面図。 図２８に続く工程の断面図。 図２９に続く工程の断面図。 図３０に続く工程の断面図。 図３１に続く工程の断面図。 図３２に続く工程の断面図。 図３３に続く工程の断面図。

符号の説明

１ 空間形成体
２ 表面側透明板
３ 裏面側透明板
４ 第１の電極板
５ 絶縁膜
６ 第２の電極板
７ 絶縁膜
１１ 中間層形成体
１２ 第３の電極板
１３ 表面側絶縁膜
１４ 裏面側絶縁膜
１５ 液体移動用孔
１６ 表面側接着層
１７ 裏面側接着層
１８ 表面側側壁
１８ａ 表面側側壁形成用材料
１９ 裏面側側壁
１９ａ 裏面側側壁形成用材料
２１ 表面側空間
２２ 裏面側空間
２３ 液体
２３ａ 凍結液体
２３ｂ 凹部
２４ 接着層
３１ 凍結液体形成装置
３２ 型
３３ 貫通孔
３４ 押し上げ部材
３５ カバー
３６ 液体
４１ 凍結液体配置装置
４２ ホッパ
４３ 押し出し部材
４４ 排出口
４２ ホッパ
５１ 凍結液体用トレー
５２ トレー本体
５３ 凍結液体収容用凹部
５４ 隔壁
５５ テーパー部

Claims (11)

1. 画素単位に空間を区切る空間形成体の前記空間内の少なくとも一部に充填された液体を電場による力の作用にしたがって移動して表示する表示装置の製造方法であって、
   前記液体を凍結した状態で前記空間形成体の空間内に配置することを特徴とする表示装置の製造方法。
2. 請求項１に記載の発明において、前記空間形成体は表面側基板および裏面側基板を有し、前記空間形成体内の１画素に対応する空間は、前記両基板間に設けられた、液体移動用孔を有する中間層形成体によって２つに区切られた表面側空間と裏面側空間とからなることを特徴とする表示装置の製造方法。
3. 請求項２に記載の発明において、前記表面側空間は、前記表面側基板、前記中間層形成体およびその間に設けられた格子状の表面側側壁によって囲まれた空間からなり、前記裏面側空間は、前記裏面側基板、前記中間層形成体およびその間に設けられた格子状の裏面側側壁によって囲まれた空間からなることを特徴とする表示装置の製造方法。
4. 請求項３に記載の発明において、前記凍結液体は、前記表面側空間内に配置された表面側凍結液体と、前記裏面側空間内に配置された裏面側凍結液体とからなることを特徴とする表示装置の製造方法。
5. 請求項４に記載の発明において、
   前記各基板上にそれぞれ前記各側壁を格子状に形成する側壁形成工程と、
   前記各側壁内における前記各基板上にそれぞれ前記各凍結液体を配置する凍結液体配置工程と、
   前記中間層形成体の両面にそれぞれ前記各側壁を接着する側壁接着工程と、
   を含むことを特徴とする表示装置の製造方法。
6. 請求項５に記載の発明において、前記側壁接着工程は、前記一方の基板上の前記一方の側壁上に紫外線硬化型の接着層を介して前記中間層形成体の一面を接着し、前記中間層形成体の他面に紫外線硬化型の接着層を介して前記他方の基板上の前記他方の側壁を接着する工程であり、さらに、前記両凍結液体を溶かして、前記両空間のうちの一方の空間内に前記液体移動用孔を介して液体を満たす工程を含むことを特徴とする表示装置の製造方法。
7. 請求項４に記載の発明において、
   前記中間層形成体の少なくとも片側の面に複数の前記各凍結液体をマトリクス状に配置して接着する凍結液体配置接着工程と、
   前記各凍結液体間における前記中間層形成体の少なくとも片側の面に前記側壁を形成するとともに、前記少なくとも片側の側壁にそれぞれ前記各基板を接着する側壁接着工程と、
   を含むことを特徴とする表示装置の製造方法。
8. 請求項７に記載の発明において、前記凍結液体は前記中間層形成体側に対する面が凹状であり、且つ、前記凍結液体は互いに同一形状であることを特徴とする表示装置の製造方法。
9. 請求項７に記載の発明において、前記側壁接着工程は、前記基板上に設けられた紫外線硬化型の接着剤からなる側壁形成用材料に前記中間層形成体に設けられた前記各凍結液体を前記基板の前記側壁形成用材料に押し付けて、前記中間層形成体と前記基板とに挟まれ且つ前記各凍結液体の周囲の空間に充填された前記側壁形成用材料に紫外線を照射して硬化させる工程であることを特徴とする表示装置の製造方法。
10. 請求項４に記載の発明において、
    前記一方の基板上に複数の前記一方の凍結液体をマトリクス状に配置して接着する工程と、
    前記一方の凍結液体間における前記一方の基板上に前記一方の側壁を形成するとともに、前記一方の側壁上に前記中間層形成体を接着する工程と、
    前記中間層形成体上に複数の前記他方の凍結液体をマトリクス状に配置して接着する工程と、
    前記他方の凍結液体間における前記中間層形成体上に前記他方の側壁を形成するとともに、前記他方の側壁上に前記他方の基板を接着する工程と、
    を含むことを特徴とする表示装置の製造方法。
11. 請求項１０に記載の発明において、前記凍結液体は前記中間層形成体側に対する面またはその反対側の面が凹状であり、且つ、前記凍結液体は互いに同一形状であることを特徴とする表示装置の製造方法。
    

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