JP2006147558A - Manufacturing device and method for fluorescent lamp - Google Patents
Manufacturing device and method for fluorescent lamp Download PDFInfo
- Publication number
- JP2006147558A JP2006147558A JP2005323912A JP2005323912A JP2006147558A JP 2006147558 A JP2006147558 A JP 2006147558A JP 2005323912 A JP2005323912 A JP 2005323912A JP 2005323912 A JP2005323912 A JP 2005323912A JP 2006147558 A JP2006147558 A JP 2006147558A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- chamber
- processing space
- manufacturing
- lamp
- fluorescent lamp
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J9/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
- H01J9/24—Manufacture or joining of vessels, leading-in conductors or bases
- H01J9/245—Manufacture or joining of vessels, leading-in conductors or bases specially adapted for gas discharge tubes or lamps
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J61/00—Gas-discharge or vapour-discharge lamps
- H01J61/02—Details
- H01J61/12—Selection of substances for gas fillings; Specified operating pressure or temperature
- H01J61/18—Selection of substances for gas fillings; Specified operating pressure or temperature having a metallic vapour as the principal constituent
- H01J61/20—Selection of substances for gas fillings; Specified operating pressure or temperature having a metallic vapour as the principal constituent mercury vapour
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J61/00—Gas-discharge or vapour-discharge lamps
- H01J61/02—Details
- H01J61/36—Seals between parts of vessels; Seals for leading-in conductors; Leading-in conductors
- H01J61/361—Seals between parts of vessel
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J65/00—Lamps without any electrode inside the vessel; Lamps with at least one main electrode outside the vessel
- H01J65/04—Lamps in which a gas filling is excited to luminesce by an external electromagnetic field or by external corpuscular radiation, e.g. for indicating plasma display panels
- H01J65/042—Lamps in which a gas filling is excited to luminesce by an external electromagnetic field or by external corpuscular radiation, e.g. for indicating plasma display panels by an external electromagnetic field
- H01J65/046—Lamps in which a gas filling is excited to luminesce by an external electromagnetic field or by external corpuscular radiation, e.g. for indicating plasma display panels by an external electromagnetic field the field being produced by using capacitive means around the vessel
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J9/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
- H01J9/38—Exhausting, degassing, filling, or cleaning vessels
- H01J9/385—Exhausting vessels
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J9/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
- H01J9/38—Exhausting, degassing, filling, or cleaning vessels
- H01J9/395—Filling vessels
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Manufacture Of Electron Tubes, Discharge Lamp Vessels, Lead-In Wires, And The Like (AREA)
- Vessels And Coating Films For Discharge Lamps (AREA)
Abstract
Description
本発明は、蛍光ランプを容易に製造でき、特に外部電極を有する蛍光ランプを簡単な工程で大量生産することができる蛍光ランプ製造装置及び方法に関する。 The present invention relates to a fluorescent lamp manufacturing apparatus and method which can easily manufacture a fluorescent lamp, and in particular, can mass-produce fluorescent lamps having external electrodes in a simple process.
一般的に、冷陰極蛍光ランプは、内壁に蛍光物質が形成されたガラス管内部にランプの発光駆動のための一定量のガスと水銀が封入され、管の両端内側に2個の電極が形成された構造を有する。 In general, in a cold cathode fluorescent lamp, a certain amount of gas and mercury for energizing the lamp are enclosed in a glass tube having a fluorescent material formed on the inner wall, and two electrodes are formed inside both ends of the tube. Has a structured.
前記ランプの発光作用は、前記2個の電極に高電圧を印加すれば、管内部に存在する電子が電極(正極)側に移動しながら衝突して2次電子が放出されて放電が行われ、このような放電によって流動する電子は、管内部の水銀原子と衝突してほぼ253.7nmの紫外線を放出すると同時に、この紫外線が蛍光物質を励起させて可視光線を発光する。 The light emitting action of the lamp is that if a high voltage is applied to the two electrodes, electrons existing inside the tube collide while moving to the electrode (positive electrode) side, and secondary electrons are emitted to discharge. Electrons that flow by such discharge collide with mercury atoms inside the tube and emit ultraviolet rays of approximately 253.7 nm, and at the same time, the ultraviolet rays excite the fluorescent material to emit visible light.
前記冷陰極蛍光ランプの製造のための一連の工程を簡単に説明すれば、ガラス管内部に蛍光体を形成する工程、形成された蛍光体を焼結させる工程、及びガラス管内部を排気及び密封させる工程からなる。 Briefly explaining a series of steps for manufacturing the cold cathode fluorescent lamp, a step of forming a phosphor inside the glass tube, a step of sintering the formed phosphor, and exhausting and sealing the inside of the glass tube Process.
前記において、排気及び密封工程は、前記ガラス管内部を真空排気して、アルゴンガスと水銀を各々一定量注入した後、前記ガラス管の開放された端部側を熱で密封処理することをいう。 In the above, the evacuation and sealing step means that the inside of the glass tube is evacuated and a predetermined amount of argon gas and mercury are injected, respectively, and then the opened end side of the glass tube is sealed with heat. .
この時、前記ガラス管内部へ注入される水銀は、ランプの駆動及び発光品質などに直接的な影響を及ぼすので、良質の水銀注入によりランプの性能が向上するように水銀カプセル法やアマルガム法、水銀合金法などのような水銀注入方法が提示されているが、例えば、前記水銀カプセル法は液状の水銀をカプセル化する作業が難しく、前記アマルガム法は、Bi−In−Hg、Zn−Hgなどのような固体アマルガム粒子の融点がほぼ100乃至200℃であって比較的低いため、シーリングや排気工程などで気化し易いという問題がある。 At this time, the mercury injected into the glass tube directly affects the driving of the lamp and the light emission quality, so that the mercury capsule method, the amalgam method, Mercury injection methods such as the mercury alloy method have been proposed. For example, the mercury capsule method is difficult to encapsulate liquid mercury, and the amalgam method includes Bi-In-Hg, Zn-Hg, etc. Since the melting point of such solid amalgam particles is approximately 100 to 200 ° C. and relatively low, there is a problem that the solid amalgam particles are easily vaporized in a sealing or exhaust process.
そして、前記水銀合金法は、ガラス管内部に水銀とゲッター材が形成された金属環を設置しなければならないため、比較的直径の大きいガラス管には適用可能であるが、管直径が小さいコンパクト型蛍光ランプやLCDバックライト用冷陰極管などには適用が難しい。このような水銀注入方法が有する問題点は、多くの場合、ガラス管内部に水銀を投入するための過程で発生する。 The mercury alloy method is applicable to a glass tube having a relatively large diameter because a metal ring in which mercury and a getter material are formed must be installed inside the glass tube. It is difficult to apply to a fluorescent lamp or a cold cathode tube for LCD backlight. In many cases, such a mercury injection method has a problem in the process of introducing mercury into the glass tube.
したがって、前記方法の短所を改善した代表的な水銀注入方法としては、2002年に特許出願されて、2004年4月29日付けで公開された下記特許文献1がある。
Therefore, as a typical mercury injection method for improving the disadvantages of the above method, there is the following
水銀分配器を利用した蛍光ランプの製造方法を簡単に説明すれば、直径1.0mm乃至4.0mm、長さ1.0mm乃至5.0mmの底部の塞がったカップ形状のニッケルまたはステンレス容器に水銀−ゲッター材が入っている蛍光ランプ用水銀分配器を利用して、排気管に前記水銀分配器が放電管中へ入らないようにする収縮部を形成し、排気後に水銀分配器を高周波で加熱して水銀を注入できるようにする。 To briefly describe a method for manufacturing a fluorescent lamp using a mercury distributor, mercury is placed in a cup-shaped nickel or stainless steel container having a diameter of 1.0 mm to 4.0 mm and a length of 1.0 mm to 5.0 mm and closed at the bottom. -Using a mercury distributor for fluorescent lamps containing getter material, forming a contraction in the exhaust pipe to prevent the mercury distributor from entering the discharge tube, and heating the mercury distributor at high frequency after exhaust To be able to inject mercury.
特に、前記方法は、前記水銀分配器をガラス管内部に設置せず、排気管の区間上に形成される収縮部側にかかるように設置した後、このような状態に加熱して水銀を注入し、水銀を分離注入させた後には前記排気管から水銀分配器が位置した収縮部を切断処理することにより、前記水銀カプセル法やアマルガム法、水銀合金法が有する作業及び工程上の問題点を解決することができる。
しかし、前記従来の技術による蛍光ランプ製造方法は、前記水銀分配器をガラス管の排気管側に毎回設置及び除去する段階を経て水銀注入作業が行われるため、このような工程を一般蛍光ランプ製造のための排気及びガス注入密封作業のような一連の工程と連係されるようにシステムを構築しようとする場合、構造が複雑になるだけでなく、製作や維持補修などに過剰な費用及び時間など所要されるという問題がある。特に、このような方式の水銀注入工程によっては満足するほどの作業能率及び生産性などを得るのが難しいため、ランプを大量生産する場合には限界がある。 However, in the conventional fluorescent lamp manufacturing method, since the mercury injection operation is performed through the step of installing and removing the mercury distributor on the exhaust pipe side of the glass tube every time, such a process is performed in general fluorescent lamp manufacturing. When building a system to be linked with a series of processes such as evacuation and gas injection sealing work, not only the structure becomes complicated, but also excessive cost and time for manufacturing, maintenance, etc. There is a problem that it is required. In particular, since it is difficult to obtain satisfactory work efficiency and productivity by such a mercury injection process, there is a limit in mass production of lamps.
さらに、前記従来の蛍光ランプ製造方法は、水銀注入工程の特性上、ガラス管内部に電極が形成される冷陰極蛍光ランプの製造にのみ限定される構造であるため、かかる冷陰極蛍光ランプに比べ、例えば、電極がガラス管の両端部外側に形成され、発光品質が良好で、重量が軽く体積を大幅に低減することができ、ランプ寿命及び消費電力、組立互換性などに優れていることが知られている外部電極蛍光ランプのように高付加価値を有する蛍光ランプの製造には適用し難いいという問題があり、満足するほどの作業互換性及び設備の効率性などを期待するには無理があった。 Furthermore, the conventional fluorescent lamp manufacturing method has a structure limited only to the manufacture of a cold cathode fluorescent lamp in which an electrode is formed inside the glass tube due to the characteristics of the mercury injection process. For example, the electrodes are formed on both ends of the glass tube, the light emission quality is good, the weight is light, the volume can be greatly reduced, and the lamp life, power consumption, and assembly compatibility are excellent. There is a problem that it is difficult to apply to the production of fluorescent lamps with high added value like known external electrode fluorescent lamps, and it is impossible to expect satisfactory work compatibility and equipment efficiency. was there.
本発明は、前記のような従来の問題点を解決するために発明されたものであって、本発明の目的は、外部電極を有する蛍光ランプの製造工程、及び構造が簡単であるだけでなく、良質のランプを大量生産することのできる蛍光ランプ製造装置及び方法を提供することにある。 The present invention was invented to solve the above-mentioned conventional problems, and the object of the present invention is not only to simplify the manufacturing process and structure of a fluorescent lamp having an external electrode. Another object of the present invention is to provide a fluorescent lamp manufacturing apparatus and method capable of mass-producing high-quality lamps.
前記のような本発明の一つの目的を実現するために、一定の大きさの処理空間を有するチャンバーと、このチャンバーの処理空間側に対応して複数個のランプ製造用ガラス管を分離可能に装着することのできるカセットと、前記チャンバーの処理空間内部を排気してガス及び水銀を注入することができるように、排気口、ガス供給口、及び水銀注入口との連結状態を制御する調節手段とを含む蛍光ランプ製造装置を提供する。 In order to achieve one object of the present invention as described above, it is possible to separate a chamber having a certain size processing space and a plurality of lamp manufacturing glass tubes corresponding to the processing space side of the chamber. Adjustable means for controlling the connection state between the cassette that can be mounted and the exhaust port, the gas supply port, and the mercury injection port so that gas and mercury can be injected by exhausting the inside of the processing space of the chamber. An apparatus for manufacturing a fluorescent lamp is provided.
前記本発明の他の目的を実現するために、ランプ製造のために、一定の大きさの処理空間を有するチャンバー側に複数個のランプ製造用ガラス管をドッキングして密閉されたチャンバー雰囲気を形成する工程と、前記処理空間を介して前記ガラス管内部の不純物を除去し、真空状態になるように排気する工程と、前記処理空間を介して前記ガラス管内部にガスを注入する工程と、前記処理空間を介して前記ガラス管内部に水銀を注入する工程と、管内部にガスと水銀が注入された状態で前記ガラス管を密封する工程とを含む蛍光ランプ製造方法を提供する。 In order to realize the other object of the present invention, a sealed chamber atmosphere is formed by docking a plurality of glass tubes for manufacturing a lamp on the side of a chamber having a predetermined processing space for manufacturing a lamp. Removing the impurities inside the glass tube through the processing space, evacuating to a vacuum state, injecting a gas into the glass tube through the processing space, Provided is a fluorescent lamp manufacturing method including a step of injecting mercury into the glass tube through a processing space and a step of sealing the glass tube in a state where gas and mercury are injected into the tube.
本発明による蛍光ランプ製造装置は、蛍光ランプ製造のための排気及びガス注入、ガラス管の密封はもちろん、水銀注入のような作業を、調節手段によって内部雰囲気が転換されるチャンバーの処理空間を通して容易に行うことができるので、作業能率及び設備の効率性などを大幅に向上させることができる。 The fluorescent lamp manufacturing apparatus according to the present invention facilitates operations such as mercury injection as well as exhaust and gas injection and glass tube sealing for manufacturing the fluorescent lamp through the processing space of the chamber in which the internal atmosphere is changed by the adjusting means. Therefore, work efficiency, equipment efficiency, etc. can be greatly improved.
特に、ランプ製造用ガラス管がカセット側に複数個同時に収納され、このように収納された状態で前記チャンバー側に分離可能に装着されて一連のランプ製造のための作業が行われるので、良質のランプを大量生産することができ、ガラス管の保管及び運搬性なども大幅に向上させることができる。 In particular, a plurality of lamp manufacturing glass tubes are simultaneously stored on the cassette side, and in such a stored state, they are separably mounted on the chamber side, and a series of operations for lamp manufacturing are performed. The lamp can be mass-produced, and the storage and transportability of the glass tube can be greatly improved.
また、前記調節手段は、前記チャンバーの処理空間で、決められた区間に沿って移動する動作により位置が変化して、前記処理空間の雰囲気を簡単に転換させることができるので、チャンバー内部の構造を大幅簡素化することができる。 Further, the adjustment means can change the atmosphere in the processing space of the chamber by an operation that moves along a predetermined section, and can easily change the atmosphere of the processing space. Can be greatly simplified.
そして、本発明による蛍光ランプ製造方法は、チャンバー内部の処理空間内で蛍光ランプ製造のための排気及びガス注入、ガラス管の密封などのような一連の工程はもちろん、これら工程と連係して水銀注入作業の併行処理も可能であるので、工程効率性と作業能率及び生産性などを大幅に向上させることができる。 The fluorescent lamp manufacturing method according to the present invention includes a series of processes such as exhaust and gas injection and glass tube sealing for manufacturing the fluorescent lamp in the processing space inside the chamber, as well as mercury in conjunction with these processes. Since parallel processing of injection work is also possible, process efficiency, work efficiency, productivity, and the like can be greatly improved.
以下、本発明の好ましい実施例を、添付した図面を参照してさらに詳細に説明する。 Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
図1、図2、図3を参照すれば、本発明による蛍光ランプ製造装置は、ランプ製造のための排気及びガス注入、水銀注入が可能な処理空間(C)を有するチャンバー2と、このチャンバー2の処理空間(C)側に対応して複数個のランプ製造用ガラス管(G)を同時に分離可能に装着することのできるカセット4と、前記チャンバー2の処理空間(C)内部を排気して、ガス及び水銀を注入が可能な状態に転換することができるように設置される調節手段6とを含む。
1, 2, and 3, a fluorescent lamp manufacturing apparatus according to the present invention includes a
前記チャンバー2には、耐久性及び耐腐食性、そして耐薬品性、耐熱性などが優れた金属を用いることができ、図1のように段差のあるように形成されるボックス形態で構成され、内部には、図3のように処理空間(C)が形成される。
The
前記チャンバー2の上側面には別途の屋根のようなカバープレート10が分離可能に取り付けられ、このカバープレート10によって、前記処理空間(C)を開放または遮断できるようになる。
A
前記カバープレート10と前記チャンバー2との間には、図3のように周知のシール用ゴム環12が設置されており、その他にも公知の方法でシール処理されることができる。
Between the
前記チャンバー2は、後述のカセット4によって複数個のランプ製造用ガラス管(G、以下、「ガラス管」とする)が分離可能に装着され、このような状態で容易にランプを製造することができるように、図1のような作業台(W)に図示するような姿勢に設置される。
The
そして、前記チャンバー2側には、図示していないが、前記処理空間(C)を真空雰囲気または大気圧雰囲気に容易に転換することができるように、内部圧力の調節が可能な周知の圧力調節用バルブや真空ポンプ、ガス注入ポンプが設置される。
On the
前記処理空間(C)は少なくとも2列以上の配列により、前記チャンバー2側に固定装着される複数個のガラス管(G)に対応する空間構造からなり、前記チャンバー2は、前記処理空間(C)内部で、ランプ製造のための排気とガス注入及び水銀注入などの作業が可能であるように構成される。
The processing space (C) has a spatial structure corresponding to a plurality of glass tubes (G) fixedly mounted on the
まず、前記処理空間(C)側に、排気及びガス注入を行うために、図1、図3のように排気のための排気管(L1)と、ガス注入のためのガス管(L2)とが前記処理空間(C)と連通するように各々設置される。 First, in order to exhaust and inject gas into the processing space (C), an exhaust pipe (L1) for exhaust and a gas pipe (L2) for gas injection as shown in FIGS. Are installed so as to communicate with the processing space (C).
前記排気管(L1)は、蛍光体が形成及び焼結処理された状態で後述のカセット4によって前記チャンバー2の処理空間(C)に対応して位置する、複数個のガラス管(G)内部に存在する有害ガスや異物粒子のような不純物などを排気して除去するためのものであって、図示してはいないが、前記排気管(L1)の排出側に別途の真空ポンプが連結されて、前記のように排気作用が行われるように装着される。
The exhaust pipe (L1) has a plurality of glass tubes (G) that are positioned corresponding to the processing space (C) of the
そして、前記ガス管(L2)は、前記チャンバー2の処理空間(C)側に、例えば、アルゴンガスなどのように蛍光ランプの発光作用のためのガスを供給して前記ガラス管(G)内部に注入するためのものであって、このガス管(L2)の流入側の端部には、図示してはいないが、一定量のガスが保存された別途のガス供給桶に連結されてこのようなガス供給が可能であるように装着される。
The gas pipe (L2) supplies a gas for light emission of a fluorescent lamp, such as argon gas, to the processing space (C) side of the
前記排気管(L1)及びガス管(L2)側には、図示してはいないが、バルブが各々設置されて、このバルブによって周知の方法で流路の開閉が制御される。 Although not shown in the drawing, valves are installed on the exhaust pipe (L1) and gas pipe (L2) side, and the opening and closing of the flow path is controlled by a known method.
そして、前記処理空間(C)側には、前記チャンバー2の上側で前記空間(C)を開放できるように設置されるカバープレート10を開放して、後述の調節手段6側に直接一定量の水銀が供給できるように装着される。
Then, on the processing space (C) side, a
前記ガラス管(G)内部に注入される水銀は、図3のように一定の大きさを有する固体形態の水銀粒子(M)が用いられ、このような固体水銀粒子(M)は、液体に比べて蒸発熱を一層昇温させることができるので、前記チャンバー2内部で熱による蒸発現象によって失われることを防止できる。
As the mercury injected into the glass tube (G), solid form mercury particles (M) having a certain size as shown in FIG. 3 are used. Such solid mercury particles (M) are converted into liquid. In comparison, since the evaporation heat can be further raised, it can be prevented from being lost due to the evaporation phenomenon due to heat inside the
前記では、チャンバー2のカバープレート10を利用して前記処理空間(C)側に水銀粒子(M)が供給されることを例に挙げて説明したが、これに限られるものではない。例えば、図示してはいないが、別途の供給管を設置してこの管を通して一定量の水銀粒子(M)が前記調節手段6側に均一に供給できるように装着されることもでき、その他にも本発明の目的を満足する水銀供給方法は多様に実施されることができる。
In the above description, the case where the mercury particles (M) are supplied to the processing space (C) using the
また、前記チャンバー2は、前記処理空間(C)側に対応して位置するガラス管(G)の開口側端部を熱で密封処理できるように構成される。このために、前記チャンバー2の下側面に図3のようなセラミック材質の加熱板26が取り付けられ、この加熱板26には前記複数個のガラス管(G)に対応する加熱孔28が形成され、この孔28の間に、図面のように発熱線30が内蔵された構造も可能である。
Further, the
前記加熱板26は、前記チャンバー2側で、後述のカセット4が図2のように分離可能に装着される時に前記チャンバー2の下側に開口された部分が完全密閉できるように、前記チャンバー2の下側面から内側に入った状態で設置される。
The
そして、前記チャンバー2は、前記加熱板26の発熱時に前記処理空間(C)側に高熱が伝導されるのを遮断すると共に、低温雰囲気となるようにして、水銀粒子(M)の蒸発を防止できるように構成される。このために、図3のように前記処理空間(C)と前記加熱板26との間で、この加熱板26の加熱孔28に対応するように図3のようなガイド孔32が形成された冷却板34が設置され、この冷却板34には図面のような冷却管36が内蔵される。
The
前記冷却板34は、前記冷却管36を通して公知の方法で冷却流体が循環しながら冷却が行われる水冷式または空冷式冷却構造のうちでいずれか一つを用いることができる。
The cooling
図3を参照すれば、前記チャンバー2、つまり前記処理空間(C)の底面側には、前記加熱板26のガイド孔32に対応する孔が図面のように各々形成された熱遮断板38をさらに設置することができる。この熱遮断板38は、熱伝導性の低い材質からなって、前記冷却板34と共に前記加熱板26側で発生する熱をさらに効果的に遮断することができるので、前記加熱板26の熱損失を大幅に減らして前記ガラス管(G)の密封などのような作業時に発熱効率をさらに向上させるだけでなく、前記処理空間(C)側で低温雰囲気が維持されるようにして、ガラス管(G)側に注入されるための固体水銀粒子(M)が熱により蒸発されて失われることを防止できる。
Referring to FIG. 3, a
前記カセット4は、複数個のガラス管(G)を纏めて縦に収納積載し、前記処理空間(C)側に対応してランプ製造が可能であるように分離可能に装着するためのものであって、図4を参照すれば、ガラス管(G)を各々一本ずつ収納するホルダー14と、このホルダー14を前記チャンバー2の処理空間(C)側に分離可能に固定するための天井板のようなドッキングプレート16とを含む。
The
前記ホルダー14は、前記ガラス管(G)が図5のような状態で分離可能に嵌合される溝部18を有し、この溝部18は、前記ガラス管(G)の上側端部が前記ドッキングプレート16で図4のように突出した状態で固定可能であるように構成される。
The
前記ホルダー14の材質は、前記ガラス管(G)が嵌合された後に物理的な接触などにより表面が損傷・変形されるのを防止できるよう、耐久性及び耐熱性などが優れた金属を用いることができる。
The
前記ホルダー14は、前記溝部18の下側端部を容易に開放できるように、図5のようなキャップ20がネジ結合などにより分離可能に結合された構造とすることができる。このような構造は、例えば、前記溝部18を清掃、維持補修などを行う際にさらに向上した便宜性を提供することができる。
The
そして、前記ホルダー14は、後述のドッキングプレート16に取り付けられた後、姿勢が変わることを防止できるように、例えば、図4及び図6のようなバインダー40により、一つ以上の地点で間隔維持が可能であるように装着される。
The
前記ドッキングプレート16は、前記複数個のホルダー14を、前記チャンバー2の処理空間(C)側に対応してランプ製造が可能な雰囲気及び姿勢に分離可能に取り付けるためのものであって、前記ホルダー14が一定の配列で離隔し、図4のような姿勢に貫通できるように構成される。
The
前記ドッキングプレート16は、前記チャンバー2の下側で物理的な加圧力により分離できるように取り付けられる。このために、前記チャンバー2の下側に図3のような固定具22が設置され、この固定具22の回転または直線運動による加圧力により、前記チャンバー2側に前記ドッキングプレート16が分離可能に取り付けられる構造とすることができる。
The
このような固定具22の作用のための動力伝達は、図示してはいないが、例えば、前記固定具22がシリンダーやモーターのような駆動源から動力の伝達を受けてこのような動作が行われる構造であるか、レバーやペダルなどを設け、作業者の手や足を利用した加圧力により作動する構造とすることができる。
The power transmission for the action of the fixing
前記ドッキングプレート16の材質は前記ホルダー14と同一な金属が使用され、前記チャンバー2側に取り付けられる時にシールが維持されるように、図3のように前記ドッキングプレート16の上側面やこれに対応する前記チャンバー2の下側面にシールのためのゴム環24が設置されて、公知の方法でシールが維持されるように構成される。
The
つまり、前記カセット4は、複数個のガラス管(G)を前記チャンバー2側に同時に分離可能であるように装着することができ、このようなカセット4の装着状態によって、前記チャンバー2内部の処理空間(C)がランプ製造の可能な状態である密閉雰囲気とされている。
That is, the
一方、前記チャンバー2側には、前記処理空間(C)を排気して、ガス注入及び水銀注入を可能な状態に転換できるように調節手段6が設置される。
On the other hand, on the
前記調節手段6は、図13のように前記チャンバー2、つまり処理空間(C)の底面で所定の案内装置に沿って移動可能な板状の形態からなり、この調節手段6が移動する時に、前記チャンバー2側に装着されたガラス管(G)の上側開口部が前記処理空間(C)と物理的に遮断された状態または互いに連通した状態になるようにすることによって、作業雰囲気を転換することが可能になる。
As shown in FIG. 13, the adjusting means 6 has a plate-like form movable along a predetermined guide device on the bottom surface of the
このため、前記調節手段6は図13に示す移動可能な穴開き板になっていて、各ガラス管(G)に対応して排気及びガス注入のための第1調節孔42と、水銀注入のための第2調節孔44とが1組の貫通通路群を構成するとともに、複数個のガラス管(G)に対応するように各々形成される。
For this reason, the adjusting means 6 is a movable perforated plate shown in FIG. 13, and includes a
そして、前記ガラス管(G)を密封処理する時には、前記処理空間(C)と前記ガラス管(G)の開口側とが互いに遮断された状態になるように、前記第1および第2の調節孔42、44に隣接した地点で前記冷却板34のガイド孔32を直接遮って、遮断された状態が維持できるようにする。
When the glass tube (G) is sealed, the first and second adjustments are performed so that the processing space (C) and the opening side of the glass tube (G) are blocked from each other. The
前記調節手段6には、図13のように、連結ロッド46が前記チャンバー2の外側に図面のように突き出すように連結されて、例えば、前記連結ロッド46の突出側端部がシリンダーやモーターのような別途の駆動源に連結され、前記処理空間(C)内部で決められた区間に沿って往復移動が可能であるように装着される。
As shown in FIG. 13, a connecting
前記第2調節孔44は、固体状態の水銀粒子(M)が複数個入った状態で、これに対応するガラス管(G)内部に一つずつ投入できるように、図3のように排出側に向かって傾いた構造を有する。 The second adjustment holes 44 are arranged on the discharge side as shown in FIG. 3 so that a plurality of solid mercury particles (M) can be introduced into the corresponding glass tubes (G) one by one. It has a structure inclined toward.
前記調節手段6の位置調節のための動力伝達構造は、このような駆動源を利用した構造以外にも、例えば、作業者の手を利用して位置調節が可能であるようにレバーやハンドルなどが設置されることもできる。 The power transmission structure for adjusting the position of the adjusting means 6 is not limited to such a structure using a drive source, for example, a lever, a handle or the like so that the position can be adjusted using the operator's hand. Can also be installed.
前記構造の調節手段6は、前記チャンバー2の処理空間(C)でランプの製造のための排気及びガス注入、水銀注入、そして密封などの作業が可能であるように決められた区間に沿って移動しながら、前記処理空間(C)の雰囲気を容易に転換することができ、特にこのような構造は、前記チャンバー2、つまり単一の処理空間(C)で排気やガス注入はもちろん、水銀注入作業を容易に併行処理することができる。
The adjusting means 6 of the structure is along a section determined so that operations such as exhaust and gas injection, mercury injection, and sealing for manufacturing a lamp can be performed in the processing space (C) of the
また、前記本発明による蛍光ランプ製造装置は、図1のような加熱手段8をさらに含んで構成される。 The fluorescent lamp manufacturing apparatus according to the present invention further includes a heating means 8 as shown in FIG.
前記加熱手段8は、発熱作用によって前記ガラス管(G)内部の排気作用を促進させることはもちろん、例えば、ガラス管(G)の密封後に行なわれる水銀粒子(M)の蒸発処理時にさらに円滑に蒸発されるようにしたものであって、このために、図1のように前記作業台(W)で前記チャンバー2側に設置されるカセット4に向かって移動可能に設置される壁状の移動プレート48側に、例えば、奉形状の発熱部材50が複数個設置された構造を有することができる。
The heating means 8 not only promotes the exhausting action inside the glass tube (G) by the heat generation action, but also more smoothly, for example, during the evaporation process of mercury particles (M) performed after the glass tube (G) is sealed. For this purpose, as shown in FIG. 1, a wall-like movement is installed so as to be movable toward the
この時、前記発熱部材50は、前記移動プレート48において、図2のように前記ホルダー14の間で発熱作用が可能であるように配列される。
At this time, the
そして、前記移動プレート48は、図1のように、例えばモーターのような駆動源(D)の動力を直線運動に転換可能なスクリュー52側に設置され、このスクリュー52の回転時にネジ部に沿って周知の方法で移動する構造である。
As shown in FIG. 1, the moving
次に、前記構造の本発明による蛍光ランプ製造装置を利用した蛍光ランプの好ましい製造方法を詳細に説明する。 Next, a preferred method for manufacturing a fluorescent lamp using the fluorescent lamp manufacturing apparatus according to the present invention having the above structure will be described in detail.
図7は、本発明による蛍光ランプ製造のための全体工程図であって、ランプ製造のために、一定の大きさの処理空間を有するチャンバー側に複数個のランプ製造用ガラス管をドッキングして、密閉されたチャンバー雰囲気を形成する工程(S1)と、前記チャンバーの処理空間を通して前記ガラス管内部の不純物を除去して、真空状態になるように排気する工程(S2)と、前記チャンバーの処理空間を通して前記ガラス管内部にガスを注入する工程(S3)と、前記チャンバーの処理空間を通して前記ガラス管内部に水銀を注入する工程(S4)と、管内部にガスと水銀が注入された状態で前記ガラス管を密封する工程(S5)とを含む。 FIG. 7 is an overall process diagram for manufacturing a fluorescent lamp according to the present invention. For lamp manufacturing, a plurality of lamp manufacturing glass tubes are docked on the side of a chamber having a predetermined processing space. Forming a sealed chamber atmosphere (S1); removing impurities inside the glass tube through the processing space of the chamber; and evacuating the chamber to a vacuum state (S2); and processing the chamber A step of injecting gas into the glass tube through the space (S3), a step of injecting mercury into the glass tube through the processing space of the chamber (S4), and a state in which the gas and mercury are injected into the tube. Sealing the glass tube (S5).
前記チャンバー雰囲気を形成する工程(S1)は、まず、前記カセット4のホルダー14側に前記ガラス管(G)を各々挿入収納した後、前記ホルダー14を固定するドッキングプレート16を図8のような方向に前記チャンバー2側に装着すればよい。
In the step (S1) of forming the chamber atmosphere, first, the glass tube (G) is inserted and stored in the
この時、前記ホルダー14側に収納されるガラス管(G)は、図5のように公知の方法で管内部に蛍光体(P)が形成及び焼結処理され、大気中でほぼ1000℃乃至1200℃範囲内に加熱されて、一側端部だけ密封処理された状態で図面のような方向に収納され、開放側端部は、前記ドッキングプレート16側で一定部分突き出して、図3のように前記加熱板26の加熱孔28内側に装着された状態となる。
At this time, the glass tube (G) housed on the
そして、前記チャンバー2の処理空間(C)内部に位置する調節手段6の第2調節孔44には、図3のように固体状態の水銀粒子(M)が一定量入った状態とされる。
The
このような工程(S1)が完了すれば、前記チャンバー2の処理空間(C)を通して前記ガラス管(G)の内部異物や残存ガスなどを除去し、真空雰囲気になるように排気工程(S2)を行う。
When such step (S1) is completed, the foreign matter and residual gas in the glass tube (G) are removed through the processing space (C) of the
この時、前記ガイド手段6は、前記チャンバー2の処理空間(C)を通して前記ガラス管(G)内部が排気作用の可能な雰囲気になるように、前記第1調節孔42が図9及び図10のように位置した状態になり、この状態で、前記排気管(L1)に連結される真空ポンプによって排気作用が行われる。
At this time, the guide means 6 has the
そして、このような排気作用時、前記作業台(W)側に設置された加熱手段8は、図2のように複数個の発熱部材50が前記ホルダー14の間で各々位置するように前記スクリュー52に沿ってカセット4領域に移動した後、ほぼ300℃乃至350℃の範囲内で発熱するので、このような発熱作用により前記ガラス管(G)内部でさらに円滑な排気作用が行われる。
In such exhaust operation, the heating means 8 installed on the work table (W) side is arranged so that the plurality of
前記排気作用が完了すれば、前記排気管(L1)はバルブによって遮断され、前記ガラス管(G)内部と前記処理空間(C)内部は真空雰囲気になり、前記加熱手段8は前記作業台(W)で再び元来の位置に復帰する。 When the exhaust operation is completed, the exhaust pipe (L1) is blocked by a valve, the inside of the glass tube (G) and the inside of the processing space (C) are in a vacuum atmosphere, and the heating means 8 is connected to the work table ( Return to the original position again in W).
このような排気過程後には、前記ガラス管(G)内部にガスを注入する工程(S3)を行う。この工程(S3)は、前記排気工程(S2)を行う時と同一に前記チャンバー2、つまり、処理空間(C)で前記調節手段6の第1調節孔42が図11のように位置した状態で行われる。
After such an exhaust process, a step (S3) of injecting a gas into the glass tube (G) is performed. In this step (S3), the
つまり、このようなチャンバー2雰囲気で、前記ガス管(L2)を通して外部のガス保存桶からアルゴンガスが供給されて、前記処理空間(C)と第1調節孔42とを経由しながら前記ガラス管(G)内部に一定量注入されることであり、このようなガス注入が完了すれば、前記ガス管(L2)はバルブによって再び遮断される。
That is, in such a
前記水銀注入工程(S4)は、前記チャンバー2内部に設置された調節手段6により、前記第2調節孔44を図12のように前記ガラス管(G)の開口側端部に対応するように装着すれば、前記第2調節孔44側に入った水銀粒子(M)が排出側に落下しながら前記ガラス管(G)内部に投入される。特に、このように調節手段6を利用して簡単な操作で前記チャンバー2内に水銀を注入する方法は、従来の水銀注入方法の問題点を根本的に解決することができるので、作業能率及び工程の効率性などを大幅に向上させることができる。
In the mercury injection step (S4), the adjusting means 6 installed in the
このような工程によってガラス管(G)内部にガス及び水銀注入が完了すれば、前記ガラス管(G)の開口側端部を密封する工程(S5)を行う。この工程(S5)は、前記調節手段6によって図13のように、前記ガラス管(G)内部と前記チャンバー2の処理空間(C)が互いに遮断された状態で行われる。
If the gas and mercury injection are completed inside the glass tube (G) by such a process, a step (S5) of sealing the opening side end of the glass tube (G) is performed. This step (S5) is performed in a state where the inside of the glass tube (G) and the processing space (C) of the
つまり、このような状態で、前記チャンバー2の下部に設置された加熱板26の発熱線30に電気を印加して、ほぼ1000℃乃至1200℃の範囲内での通常の密封温度まで加熱すれば、内部にガスと水銀粒子(M)が入った状態で前記ガラス管(G)の開放側端部が密封されることになる。
That is, in this state, if electricity is applied to the
この時、前記加熱板26側で高熱が発生しても、前記処理空間(C)を間に置いて図3のように冷却板34と熱遮断板38が各々設置されて、前記チャンバー2の処理空間(C)はもちろん、この空間(C)内部に設置された調節手段6側に熱が伝導されることを根本的に遮断できるので、前記処理空間(C)内部を常に一定の低温(低温)雰囲気に維持し、前記調節手段6の第2調節孔44側に入った残りの水銀粒子(M)が熱により蒸発して失われることを防止できる。
At this time, even if high heat is generated on the
そして、このような過程によってガラス管(G)の開口側を密封し、前記加熱手段8を図2のように前記カセット4のホルダー14の間に再び位置するように作動させた後、このような状態で前記発熱部材50を発熱させて、前記ガラス管(G)内部に投入された固体状態の水銀粒子(M)を管内部で均一に蒸発させればよい。
Then, the opening side of the glass tube (G) is sealed by such a process, and the heating means 8 is operated so as to be positioned again between the
このような加熱手段8の発熱作用で水銀粒子(M)が蒸発処理されれば、前記チャンバー2の処理空間2が真空状態から大気圧状態になるように圧力調節バルブなどで内部圧力を調節した後、前記チャンバー2側から前記カセット4を分離すればよい。
When the mercury particles (M) are evaporated by the heating action of the heating means 8, the internal pressure is adjusted by a pressure control valve or the like so that the
そして、図示してはいないが、このような工程を経たガラス管(G)の両側端に、公知の方法で外部電極、つまりメタルキャップ(metal cap)を装着すればよい。 And although not shown in figure, an external electrode, ie, a metal cap, should just be attached to the both ends of the glass tube (G) which passed through such a process by a well-known method.
したがって、このような工程により、前記チャンバー2に形成される単一の処理空間(C)内で蛍光ランプの製造のための一連の工程を容易に行うことができる。
Therefore, according to such a process, a series of processes for manufacturing a fluorescent lamp can be easily performed in a single processing space (C) formed in the
そして、前記排気工程(S2)、ガス注入工程(S3)、水銀注入工程(S4)、及び密封工程(S5)は、各工程が作業者の手動操作によって作動が制御される構造であるか、例えば、センサーやタイマーなどで構成される各種制御装置を設置して、公知の方法で自動制御を可能にする構造とすることもできる。 The exhaust process (S2), the gas injection process (S3), the mercury injection process (S4), and the sealing process (S5) have a structure in which the operation is controlled by an operator's manual operation, For example, various control devices composed of sensors, timers, and the like may be installed to provide a structure that enables automatic control by a known method.
以上、本発明による蛍光ランプ製造装置及び方法の好ましい実施例について説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、特許請求の範囲と発明の詳細な説明及び添付した図面の範囲内で多様に変形して実施することが可能であり、これもまた本発明の範囲に属する。 Although the preferred embodiments of the fluorescent lamp manufacturing apparatus and method according to the present invention have been described above, the present invention is not limited thereto, and is within the scope of the claims, the detailed description of the invention and the attached drawings. Various modifications can be made and this is also within the scope of the present invention.
2 チャンバー
4 カセット
6 調節手段
8 加熱手段
10 カバープレート
12 ゴム環
14 ホルダー
16 ドッキングプレート
18 溝部
20 キャップ
22 固定具
26 加熱板
28 加熱孔
30 発熱線
32 ガイド孔
34 冷却板
36 冷却管
38 熱遮断板
40 バインダー
42 第1調節孔
44 第2調節孔
46 連結ロッド
48 移動プレート
50 発熱部材
52 スクリュー
Claims (11)
前記ホルダーにより、少なくとも2個以上のランプ製造用ガラス管を、前記チャンバーの処理空間側に対応してランプ製造が可能な雰囲気及び姿勢に分離可能に装着する、請求項1に記載の蛍光ランプ製造装置。 The cassette includes a plurality of holders for storing lamp manufacturing glass tubes, and a docking plate for detachably attaching the holders corresponding to the processing space side of the chamber,
The fluorescent lamp manufacturing according to claim 1, wherein at least two or more glass tubes for manufacturing a lamp are mounted by the holder so as to be separable into an atmosphere and posture capable of manufacturing the lamp corresponding to the processing space side of the chamber. apparatus.
前記加熱手段は、前記チャンバー側に分離可能に取り付けられた複数個のランプ製造用ガラス管に対応して、熱伝導の可能な状態に位置しながら発熱作用が行われる複数個の発熱部材からなる、請求項1に記載の蛍光ランプ製造装置。 The manufacturing apparatus further includes heating means for exhausting the inside of the lamp manufacturing glass tube,
The heating means includes a plurality of heat generating members that perform heat generation while being in a state where heat conduction is possible, corresponding to a plurality of glass tubes for manufacturing a lamp that are separably attached to the chamber side. The fluorescent lamp manufacturing apparatus according to claim 1.
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020040096999A KR100674880B1 (en) | 2004-11-24 | 2004-11-24 | Appratus and method for manufacturing Fluorescent Lamp |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006147558A true JP2006147558A (en) | 2006-06-08 |
JP4072171B2 JP4072171B2 (en) | 2008-04-09 |
Family
ID=36626960
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005323912A Expired - Fee Related JP4072171B2 (en) | 2004-11-24 | 2005-11-08 | Fluorescent lamp manufacturing apparatus and method |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4072171B2 (en) |
KR (1) | KR100674880B1 (en) |
CN (1) | CN100483603C (en) |
TW (1) | TWI282579B (en) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN108597975A (en) * | 2018-06-07 | 2018-09-28 | 山东广达源照明电器有限公司 | For in fluorescent tube process feeding and positioning device |
Families Citing this family (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100698591B1 (en) * | 2005-02-16 | 2007-03-21 | 주식회사 디엠에스 | A torch assembly and a apparatus for manufacturing fluorescent lamp using the same |
KR100698592B1 (en) * | 2005-03-15 | 2007-03-21 | 주식회사 디엠에스 | Apparatus for manufacturing fluorescent lamp |
KR100873311B1 (en) * | 2006-03-31 | 2008-12-12 | 주식회사 에이디피엔지니어링 | Apparatus for manufacturing fluorescent lamp |
KR100836243B1 (en) * | 2006-11-17 | 2008-06-09 | 주식회사 디엠에스 | appratus for manufacturing fluorescent lamp and external electrode making method using the same |
KR100828663B1 (en) * | 2006-12-15 | 2008-05-09 | 주식회사 디엠에스 | Apparatus for manufacturing fluorescent lamp |
KR100891081B1 (en) * | 2007-08-03 | 2009-03-30 | 주식회사 에이디피엔지니어링 | Apparatus for manufacturing fluorescent lamp |
KR100867877B1 (en) * | 2007-09-20 | 2008-11-10 | 주식회사 에이디피엔지니어링 | Gas supply apparatus for manufacturing lamp |
KR100896257B1 (en) * | 2007-09-28 | 2009-05-08 | 문승호 | Apparatus for Manufacturing Fluorescent Lamp |
KR100912659B1 (en) * | 2007-10-22 | 2009-08-17 | (주)북두엔지니어링 | The manufacturing instrument for a tube that contain a getter materal |
KR100911490B1 (en) * | 2008-01-17 | 2009-08-11 | 주식회사 디엠에스 | Apparatus for exhausting gas from fluorescent lamp |
KR100894616B1 (en) * | 2008-07-18 | 2009-04-22 | 주식회사 에이디피엔지니어링 | Bulb coating apparatus and bulb coating method |
KR100899177B1 (en) * | 2008-09-19 | 2009-05-27 | 주식회사 에이디피엔지니어링 | Manufacturing apparatus for fluorescent lamps and gas supply apparatus thereof |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN1163944C (en) * | 1998-03-16 | 2004-08-25 | 松下电器产业株式会社 | Discharge lamp and manufacture method thereof |
-
2004
- 2004-11-24 KR KR1020040096999A patent/KR100674880B1/en not_active IP Right Cessation
-
2005
- 2005-11-08 JP JP2005323912A patent/JP4072171B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2005-11-16 TW TW094140247A patent/TWI282579B/en not_active IP Right Cessation
- 2005-11-24 CN CNB2005101260416A patent/CN100483603C/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN108597975A (en) * | 2018-06-07 | 2018-09-28 | 山东广达源照明电器有限公司 | For in fluorescent tube process feeding and positioning device |
CN108597975B (en) * | 2018-06-07 | 2024-06-04 | 山东广达源照明电器有限公司 | Feeding and positioning device for lamp tube processing |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4072171B2 (en) | 2008-04-09 |
CN1779882A (en) | 2006-05-31 |
KR100674880B1 (en) | 2007-01-26 |
TWI282579B (en) | 2007-06-11 |
TW200618038A (en) | 2006-06-01 |
KR20060057818A (en) | 2006-05-29 |
CN100483603C (en) | 2009-04-29 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4072171B2 (en) | Fluorescent lamp manufacturing apparatus and method | |
JP5220091B2 (en) | Deposition source, vapor deposition device, organic EL device manufacturing device | |
US8459923B2 (en) | Apparatus for substrate alignment, apparatus for substrate processing having the same, and substrate alignment method | |
CN1950537A (en) | Evaporator, vapor deposition apparatus, and method of switching evaporator in vapor deposition apparatus | |
KR100936378B1 (en) | Unit for supplying source and apparatus for depositioning thin film and method for depositioning thin film | |
EP1983548A1 (en) | Emitter chamber, charged particle apparatus and method for operating same | |
JP2006229168A (en) | Heating method and apparatus | |
CN108573849A (en) | Plasma chamber with concatenation processing region | |
JP4339860B2 (en) | Torch assembly and fluorescent lamp manufacturing apparatus using the torch assembly | |
KR100731645B1 (en) | Glove box with high temperature and vaccum furnace | |
JP2013089538A (en) | Charged particle beam apparatus, and degasification method | |
KR100698592B1 (en) | Apparatus for manufacturing fluorescent lamp | |
TWI242789B (en) | Ion source, method of operating the same, and ion source system | |
KR101134951B1 (en) | Evaporation source of a deposition system and control method thereof | |
KR101643382B1 (en) | An apparatus for storing while maintaining high temperature | |
KR100828663B1 (en) | Apparatus for manufacturing fluorescent lamp | |
TWI418721B (en) | Opening and closing valve | |
KR100713460B1 (en) | Apparatus for sintering optical fiber preform | |
CN1323052A (en) | Cleaning method and apparatus for discharge lamp light-transmission tube and discharge lamp | |
KR101176998B1 (en) | An easily exchangeable evaporating source and evaporating system | |
US20230084826A1 (en) | Substrate processing apparatus | |
KR101394481B1 (en) | Gas injection appartus and Apparatus for depositing the organic thin film using the same | |
KR20040096808A (en) | Method of manufacturing external electrode fluorescent lamps having various shapes and sizes and glass tube unit structure used for the method | |
JPS6335477Y2 (en) | ||
KR20170045500A (en) | Apparatus to deposition substrate and method to fill crucible with deposition material thereof |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20070829 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20070911 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20071205 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20071221 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20080118 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110125 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110125 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120125 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120125 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130125 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140125 Year of fee payment: 6 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |