KR101176998B1 - An easily exchangeable evaporating source and evaporating system - Google Patents

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전성훈
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Abstract

PURPOSE: An evaporating source which is easily exchangeable and an evaporating system are provided to greatly extend continuous operation time when evaporation sources are successively used by installing an extra evaporation source inside a vacuum chamber. CONSTITUTION: An evaporation source(50) is installed inside a chamber. A plug(51) supports the evaporation source at the lower of the evaporation source. The plug is inserted into a concentric plug(61) of a base plate(60). The base plate supplies power to the evaporation source. A plurality of concentic plugs is formed on the upper of the base plate.

Description

교체가 용이한 증발원 및 증발 시스템{An easily exchangeable evaporating source and evaporating system} Easily replaceable evaporating source and evaporating system

본 발명은 다수의 점증발원을 이용하여 넓은 면적을 갖는 차세대 디스플레이인 OLED(Organic Light Emitting Diode) 소자에 균일하게 박막을 증착시킬 수 있도록 함에 있어서, 증발원의 교체가 용이하도록 하는 한편 챔버에 장착된 증발원을 증발공정의 중단없이 교체 사용할 수 있도록 하는 교체가 용이한 증발원 및 증발 시스템에 관한 것이다.The present invention enables the uniform deposition of a thin film on an OLED (Organic Light Emitting Diode) device, which is a next-generation display having a large area by using a plurality of evaporation sources, to facilitate the replacement of the evaporation source and the evaporation source mounted in the chamber. The present invention relates to an easily replaceable evaporation source and an evaporation system that can be used interchangeably without interruption of the evaporation process.

OLED(Organic Light Emitting Diode) 소자는 자발 발광형 표시 소자로서 시야각이 넓고 콘트라스트가 우수할 뿐만 아니라 응답속도가 빠르다는 장점을 가지고 있어서 차세대 표시소자로써 주목받고 있으며, 일반적인 OLED(Organic Light Emitting Diode) 소자는 기판 상부에 소정패턴의 양극층이 형성되어 있고 이 양극층 상부에는 홀 수송층, 발광층, 전자 수송층이 순차적으로 형성되고, 상기 전자 수송층의 상면에는 상기 양극층과 직교하는 방향으로 소정 패턴의 음극층이 형성되어 있게 되고, 상기 홀 수송층, 발광층 및 전자 수송층은 유기 화합물로 이루어진 유기박막들이다.OLED (Organic Light Emitting Diode) device is a spontaneous light emitting display device and has attracted attention as a next generation display device because of its advantages of wide viewing angle, excellent contrast and fast response speed. An anode layer having a predetermined pattern is formed on the substrate, and a hole transporting layer, a light emitting layer, and an electron transporting layer are sequentially formed on the anode layer, and a cathode layer having a predetermined pattern in a direction orthogonal to the anode layer on the upper surface of the electron transporting layer. And the hole transporting layer, the light emitting layer, and the electron transporting layer are organic thin films made of an organic compound.

기판에 유기박막을 증착하기 위해서는 유기재료가 채워져 고온으로 증발되게 하는 증발원과, 상기 증발원에 전원을 공급하는 전원장치 및 증발원의 내부 도가니 온도를 체크하여 증발온도를 조절하도록 하는 온도센서 등을 설치하여야 하고, 상기 증발원은 고압의 진공챔버에 설치되게 된다.In order to deposit an organic thin film on a substrate, an evaporation source for filling an organic material and evaporating to a high temperature, a power supply for supplying power to the evaporation source, and a temperature sensor for checking an internal crucible temperature of the evaporation source and adjusting an evaporation temperature must be provided. The evaporation source is installed in a high pressure vacuum chamber.

즉, 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이 점증발원(30) 및 선형 증발원(20)은 10-7torr 의 고진공 상태를 유지하는 챔버(10)에서 작업이 진행되고, 기판(11)에 진공 증착이 이루어지도록 하고 있으나, 점증발원(30)이나 선형 증발원(20)에 채워지는 유기재료의 량이 한정되는 관계로 일정시간 사용이 완료된 후에는 증착공정을 중단시킨 후 점증발원(30)이나 선형 증발원(20)에 유기재료를 채워주어야 하고, 또한 점증발원(30)이나 선형 증발원(20)은 도 3에 도시된 바와 같이 리플렉터(31)의 내측으로 히터 고정원판(33)에 끼워져 설치된 히터(32)에 의해 가열이 이루어지는 도가니(35)가 설치되나 상기 도가니(35)의 온도를 감지하기 위한 온도센서(36)와 상기 히터(32)에 전원을 공급하기 위한 전선의 연결이 베이스 플레이트(37)에 일체로 설치되는 관계로 점증발원(30)이나 선형 증발원(20)의 수리나 교체를 할 경우 베이스 플레이트(37)를 전체적으로 교체 하거나 수리할 수밖에 없고, 이로 인하여 교체와 수리에 상당한 비용과 시간이 소요되는 것이었다.That is, as shown in FIGS. 1 and 2, the evaporation source 30 and the linear evaporation source 20 are operated in a chamber 10 maintaining a high vacuum of 10 −7 torr, and the substrate 11 is vacuumed. Although the deposition is performed, the evaporation source 30 or the linear evaporation source is stopped after the evaporation process is stopped after a certain time because the amount of organic material filled in the evaporation source 30 or the linear evaporation source 20 is limited. The organic material should be filled in the 20, and the evaporation source 30 or the linear evaporation source 20 may be inserted into the heater fixing disc 33 inside the reflector 31 as shown in FIG. 3. The crucible 35 is heated by heating), but the connection of the temperature sensor 36 for sensing the temperature of the crucible 35 and the electric wire for supplying power to the heater 32 is based on the base plate 37. Incremental evaporation source (30) or linear When the evaporation source 20 is repaired or replaced, the base plate 37 cannot be replaced or repaired as a whole, and thus, a considerable cost and time are required for replacement and repair.

점증발원(30)이나 선형 증발원(20)은 전체적으로 이상이 발생하지 않고 개별적 또는 부분적으로 이상이 발생하는 경우에도 베이스 플레이트(37)에 결합된 점증발원(30)이나 선형 증발원(20)을 모두 교체하여야 하므로, 베이스 플레이트(37)의 분해와 교체에 시간이 많이 걸리는 한편 특히 점증발원의 경우 고장난 점증발원만 간단히 교체할 수 있음에도 불구하고 전체적으로 교체가 이루어져야 하고, 또한 점증발원(30)이나 선형 증발원(20)의 교체시에는 고진공의 진공챔버(10)에서 이루어져야 하므로, 교체 후 다시 고진공으로 배기할 때까지 상당한 시간을 필요로 하게 되어 불합리한 점이 있게 된다.The incremental evaporation source 30 or the linear evaporation source 20 replaces both the evaporation source 30 and the linear evaporation source 20 coupled to the base plate 37 even when abnormality does not occur entirely or individually or in part. Since it takes a long time to disassemble and replace the base plate 37, in particular, in the case of the evaporation source, even if only the failed evaporation source can be replaced simply, the whole replacement must be made, and also the evaporation source 30 or the linear evaporation source ( In the replacement of 20), since the vacuum chamber 10 of the high vacuum has to be made, there is an unreasonable point because it requires a considerable time until the exhaust to the high vacuum after the replacement.

또한 기존에는 도 4에 도시된 바와 같이 원통 형상의 도가니 외부를 증발관으로 감싸주도록 하는 형태의 선형증발원(3)을 사용하게 되므로, 유기재료의 교체 작업시 증착공정의 중단없이 교체할 수가 없고, 유기재료의 교체 작업이 쉽지 않은 것이었다.In addition, since the conventional linear evaporation source (3) is used to surround the outside of the crucible in the form of a evaporation tube as shown in Figure 4, the replacement of the organic material can not be replaced without interruption of the deposition process, Replacement of organic materials was not easy.

본 발명은 점증발원이나 선형 증발원의 교체를 위하여 베이스 플레이트까지 교체 수리하여야 하므로, 상당힌 시간과 인력의 낭비가 이루어지게 되고, 또한 기존에는 하나의 증발원에 채워진 유기재료를 소모한 후에는 챔버를 개방하여 유기재료를 재충전시키게 되므로, 유기재료의 충전시간과 함께 진공챔버에 진공을 걸어주는 시간이 오래 걸리는 문제를 해결하고자 하는 것이다.In the present invention, since the base plate must be repaired to replace the evaporation source or the linear evaporation source, considerable waste of time and manpower is made. In addition, the chamber is opened after consuming an organic material filled in one evaporation source. By recharging the organic material, it is to solve the problem of taking a long time to apply a vacuum to the vacuum chamber together with the filling time of the organic material.

본 발명은 히터로 유기재료를 가열하는 도가니와 온도센서 등이 내장된 증발원과 상기 증발원을 간단히 고정시키는 한편 상기 증발원에 전원을 공급하는 베이스 플레이트를 구분한 후 상기 증발원이 베이스 플레이트에 전기 플러그와 전기 콘센트와 같은 형태로 결합이 이루어지게 함으로써 이루어지는 것으로, 간단히 증발원을 마치 플러그를 콘센트에 끼우고 빼는 형태와 동일하게 베이스 플레이트에 장착하거나 분리하는 것이다.According to the present invention, the evaporation source having a crucible for heating organic materials with a heater and a temperature sensor and the like are simply fixed and the base plate for supplying power to the evaporation source. The coupling is made in the form of an outlet, and the evaporation source is simply mounted on or detached from the base plate in the same way as the plug is inserted into and pulled out from the outlet.

또한 본 발명은 증발원이 간단히 착탈되는 베이스 플레이트를 하나의 진공 챔버 내부에 수 개를 설치하되 각각의 베이스 플레이트는 각각의 구동원에 의해 별도로 스캔 동작이 이루어지게 함으로써, 수 개의 증발원을 순차적으로 사용하도록 함으로써 유기재료의 보충시 진공 챔버의 진공을 배기시키는 것을 줄여주도록 하는 것이다.In addition, the present invention is to install a number of base plates in a vacuum chamber simply detachable evaporation source, each base plate is to be made separately by each drive source to be scanned, by using several evaporation sources sequentially This is to reduce the evacuation of the vacuum chamber when replenishing the organic material.

본 발명은 증발원을 간단히 플러그를 콘센트에 꼿는 형태로 베이스 플레이트에 안정적으로 끼워지게 하되 베이스 플레이트에서 증발원으로 전원 및 전기적 신호의 입출력이 이루어지게 함으로써 증발원을 간단히 교체하는 한편 고장난 증발원만 선별하여 교체 수리할 수 있는 이점이 있다.The present invention is to simply plug the evaporation source to the base plate in the form of simply plugging into the outlet, but the input and output of the power and electrical signals from the base plate to the evaporation source is made to easily replace the evaporation source, while selecting only the failed evaporation source to replace and repair There is an advantage to this.

또한 본 발명은 진공챔버의 내부에 여분의 증발원까지 설치함으로써 증발원을 순차적으로 사용할 경우 연속 동작시간을 크게 늘일 수 있는 한편 진공챔버의 진공을 배기하는데 따는 시간과 에너지의 낭비를 크게 줄일 수 있다.In addition, the present invention can greatly increase the continuous operation time when the evaporation source is used sequentially by installing an extra evaporation source inside the vacuum chamber, while significantly reducing the waste of time and energy associated with evacuating the vacuum of the vacuum chamber.

도 1 및 도 2는 기존 방식의 설명도
도 3은 기존 증발원의 내부 구성도
도 4는 기존 선형증발원 사시도
도 5는 본 발명의 사시도
도 6은 본 발명에서 여분의 증발원을 사용하는 실시예 평면도
도 7은 도 6의 정단면도
도 8은 본 발명의 증발원 자동충전 시스템 설명도1 and 2 are explanatory diagrams of a conventional method.
3 is an internal configuration diagram of an existing evaporation source
4 is a perspective view of a conventional linear evaporator
5 is a perspective view of the present invention
Figure 6 is a plan view of an embodiment using an extra evaporation source in the present invention
7 is a front cross-sectional view of FIG.
8 is an explanatory view of the evaporation source automatic charging system of the present invention

본 발명은 진공챔버에서 유기재료를 증발시켜 기판에 증착시키도록 함에 있어서, 증발원을 간단히 착탈시킬 수 있도록 하는 것으로, 증발원이 베이스 플레이트와 소켓 방식으로 착탈이 이루어져 별도로 고정할 필요가 없도록 하는 것이다.In the present invention, in order to vaporize the organic material in the vacuum chamber to be deposited on the substrate, the evaporation source can be easily detached, so that the evaporation source is detachably attached to the base plate and the socket method so that it does not need to be fixed separately.

본 발명은 증발원의 하부를 플러그 형태로 제작하고, 베이스 플레이트에는 상기 플러그가 끼워지는 콘센트 형태로 제작하되 상기 증발원과 베이스 플레이트와는 전원과 신호선의 연결이 이루어지도록 함으로써 이루어지는 것으로, 간단히 증발원을 분리 착탈시키는 한편 증발원의 고정이 이루어지도록 하는 것이다.The present invention is made by making the lower portion of the evaporation source in the form of a plug, the base plate is made in the form of an outlet into which the plug is fitted, but the evaporation source and the base plate is made by connecting a power supply and a signal line, and simply separating and removing the evaporation source. Meanwhile, the evaporation source is fixed.

또한 본 발명은 챔버의 내부에 여분의 증발원을 설치하여 연속적으로 사용이 이루어지게 함으로써 챔버를 고진공 상태로 장시간 연속하여 동작시킬 수 있다.In addition, the present invention can operate the chamber continuously for a long time in a high vacuum state by installing an extra evaporation source in the chamber to be used continuously.

이러한 본 발명을 첨부된 실시예 도면에 의거 상세히 설명한다.The present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

본 발명은 챔버(10)의 내부에 설치되는 증발원(50)과, 상기 증발원(50)을 고정시키는 한편 증발원(50)에 전원을 공급하는 베이스 플레이트(60)를 분리시킬 수 있도록 하되 증발원(50)과 베이스 플레이트(60)는 플러그(51)와 콘센트(61)의 형태로 착탈과 함께 증발원(50)의 고정이 이루어지도록 하는 것이다.According to the present invention, the evaporation source 50 installed inside the chamber 10 and the base plate 60 for supplying power to the evaporation source 50 while fixing the evaporation source 50 can be separated from the evaporation source 50. ) And the base plate 60 is to be fixed to the evaporation source 50 with the attachment and detachment in the form of the plug 51 and the outlet 61.

본 발명의 증발원(50)은 내부에 유기재료가 채워지는 도가니가 설치되는 한편 상기 도가니를 가열하여 유기재료를 증발시키는 히터와 상기 도가니의 온도를 감지하는 온도센서가 설치되게 되고, 상기 베이스 플레이트(60)에는 증발원(50)을 소켓방식으로 고정시키는 한편 증발원(50)에 전원을 공급하고 신호를 인출하는 신호선이 내장되게 된다.In the evaporation source 50 of the present invention, a crucible in which organic materials are filled is installed, while a heater for heating the crucible and evaporating organic materials and a temperature sensor for sensing a temperature of the crucible are installed, and the base plate ( In 60, the evaporation source 50 is fixed in a socket manner, and a signal line for supplying power to the evaporation source 50 and withdrawing a signal is embedded therein.

본 발명의 증발원(50)은 하측으로 플러그(51)가 형성되게 하고, 베이스 플레이트(60)에는 상측에 콘센트(61)를 형성함으로써 증발원(50)의 플러그(51)가 베이스 플레이트(60)의 콘센트(61)에 끼워지도록 함으로써 증발원(50)과 베이스 플레이트(60)의 결합이 이루어져 고정되도록 하며, 이때 증발원(50)과 베이트 플레이트(60) 사이의 전원은 플러그(51)와 콘센트(61)의 결합에 의하여 이루어지게 되고, 온도신호의 온도신호를 인출하기 위한 인출선은 별도의 핀을 형성하여 증발원(50)을 베이스 플레이트(60)에 결합시킬 때 핀과의 결합에 의해 온도신호의 인출이 이루어지도록 한다.The evaporation source 50 of the present invention allows the plug 51 to be formed at the lower side, and the outlet 51 is formed at the upper side of the base plate 60 so that the plug 51 of the evaporation source 50 is connected to the base plate 60. By being fitted to the outlet 61, the combination of the evaporation source 50 and the base plate 60 is made to be fixed, wherein the power between the evaporation source 50 and the bait plate 60 is a plug 51 and the outlet 61 The lead line for drawing the temperature signal of the temperature signal is formed by the combination of the withdrawal of the temperature signal by coupling with the fin when coupling the evaporation source 50 to the base plate 60 by forming a separate fin Let this be done.

상기 베이스 플레이트(60)는 진공챔버(10)의 내부에 설치되는 것으로, 상측으로 수 개의 콘센트(61)를 형성하여 여러 개의 증발원(50)을 설치할 수 있도록 하고, 상기 베이스 플레이트(60)는 스캔 방식으로 증착이 이루어지게 하는 경우 가이드 봉(15)을 타고 좌우로 이동할 수 있도록 한다.The base plate 60 is installed inside the vacuum chamber 10, and forms a plurality of outlets 61 upward to install several evaporation sources 50, and the base plate 60 scans. When the deposition is made in a manner to allow the guide rod 15 to move from side to side.

본 발명에서 증발원(50)에 채워진 유기재료를 히터로 가열하여 증발이 이루어지게 하는 과정과, 베이스 플레이트(60)에서 증발원(50)을 고정시키는 방식 및 전원을 공급하는 과정은 통상의 방식과 동일하나, 베이스 플레이트(60)에 증발원(50)을 착탈시켜 고정시키는 동시에 전원이 공급되게 하는 것이 본 발명의 핵심이며, 증발원(50)의 착탈시 전원과 신호선도 같이 착탈 되어야 한다.In the present invention, the process of heating the organic material filled in the evaporation source 50 with a heater to evaporate, the method of fixing the evaporation source 50 in the base plate 60 and the process of supplying power are the same as in the conventional method. However, it is the core of the present invention to attach and remove the evaporation source 50 to the base plate 60 and to fix the evaporation source 50 at the same time.

본 발명의 증발원(50)에 형성된 플러그(51)는 베이스 플레이트(60)의 콘센트(61)에 끼워지게 되므로, 증발원(50)이 베이스 플레이트(60)에 끼워진 채로 움직이지 않게 되고, 플러그(51)와 콘센트(61)를 통하여 전원의 공급이 이루어지는 한편 별도의 핀을 통하여 온도센서의 신호가 인출되게 하며, 상기 베이스 플레이트(60)를 통하여 전원을 공급하고, 온도신호를 감지하는 것은 도시되지 아니한 콘트롤러에서 제어되게 한다.Since the plug 51 formed in the evaporation source 50 of the present invention is fitted into the outlet 61 of the base plate 60, the evaporation source 50 does not move while being fitted to the base plate 60, and the plug 51 Power supply through the outlet and the outlet 61 and the signal of the temperature sensor is drawn out through a separate pin, supplying power through the base plate 60, and detecting the temperature signal is not shown To be controlled by the controller.

본 발명은 증발원(50)을 교체할 때 전기 소켓과 같이 간단하게 교체할 수 있는 것으로, 증발원(50)의 플러그(51)를 베이스 플레이트(60)의 콘센트(61)에 분리시키거나 증발원(50)의 플러그(51)를 베이스 플레이트(60)의 콘센트(61)에 끼우면 된다.When the evaporation source 50 is replaced, the present invention can be easily replaced as an electric socket, and the plug 51 of the evaporation source 50 is separated from the outlet 61 of the base plate 60 or the evaporation source 50. The plug 51 of) may be inserted into the outlet 61 of the base plate 60.

따라서 본 발명은 증발원(50)의 교체가 간단히 이루어지는 한편 기존 방식과 같은 형태로 증발원(50)을 교체하는 경우는 증발원(50)이 부분적으로 이상이 발생하는 경우에도 증발원 전체를 교체하여야 하는 문제를 해결하는 것으로, 고장이나 이상이 발생한 증발원(50)만 새로운 증발원으로 교체하면 되고, 이로 인하여 증발원 교체에 따른 시간을 절약하는 한편 비용도 크게 줄일 수 있다.Therefore, in the present invention, the replacement of the evaporation source 50 can be easily performed while replacing the evaporation source 50 in the same manner as in the conventional method, even when the evaporation source 50 is partially abnormal. In order to solve, it is only necessary to replace the evaporation source 50 in which a failure or an abnormality occurs with a new evaporation source, thereby saving time by replacing the evaporation source and greatly reducing the cost.

그리고 본 발명에서 증발원(50)의 하부에 플러그(51)를 형성하지 않고 콘센트를 형성한 후 베이스 플레이트(60)에 콘센트(61)를 형성하지 않고 플러그를 형성하여도 무방하다.In the present invention, after the outlet is formed without forming the plug 51 in the lower part of the evaporation source 50, the plug may be formed without forming the outlet 61 in the base plate 60.

본 발명은 베이스 플레이트(60)의 콘센트(61)에 증발원(50)의 플러그(51)가 끼워지고, 상기 베이스 플레이트(60)는 진공챔버(10)의 내부에서 가이드 봉(15)을 따라 안정되게 이동할 수 있도록 하되 진공챔버(10)의 외부에서 베이스 플레이트(60)와 이송나사(62)를 결합시킴으로써 모터(63)로 이송나사(62)를 회전시켜 베이스 플레이트(60)를 좌우로 이동시키는 증착 장치에 있어서, 진공챔버(10)의 내부에 여분의 증발원(50)이 결합된 베이스 플레이트(60)를 설치함으로써 증착의 중단 없이 연속적으로 이루어질 수 있도록 한다.In the present invention, the plug 51 of the evaporation source 50 is inserted into the outlet 61 of the base plate 60, and the base plate 60 is stabilized along the guide rod 15 inside the vacuum chamber 10. By moving the base plate 60 and the transfer screw 62 from the outside of the vacuum chamber 10 to rotate the transfer screw 62 to the motor 63 to move the base plate 60 to the left and right In the deposition apparatus, by installing the base plate 60 to which the extra evaporation source 50 is coupled to the inside of the vacuum chamber 10 can be made continuously without interruption of deposition.

즉, 진공챔버(10)에 설치된 증발원(50)은 내부의 도가니 용량에 따라 증발 시간이 결정되게 되고, 증발원(50)에 채워진 유기재료를 증발시킨 후에는 진공챔버(10)의 진공을 배기시킨 후 증발원(50)에 유기재료를 채워넣고, 다시 진공챔버(10)의 진공을 걸어주어야 하므로, 유기재료의 보충에 따른 시간이 오래 걸리는 한편 연속적인 증착이 이루어지기 어려운 것이었다.That is, the evaporation source 50 installed in the vacuum chamber 10 has a evaporation time determined according to the internal crucible capacity, and after evaporating the organic material filled in the evaporation source 50, the vacuum of the vacuum chamber 10 is evacuated. After the organic material is filled in the evaporation source 50 and the vacuum of the vacuum chamber 10 is applied again, it takes a long time due to the replenishment of the organic material and it is difficult to achieve continuous deposition.

그리고, 유기재료를 장시간 증발시키기 위하여 도가니의 용량을 증가시킬 수는 있으나, 이 경우 유기재료의 특성이 변하는 문제가 발생하는 한편 도가니의 가열도 쉽지 않은 문제가 있기 때문에 도가니의 용량을 증가시킬 수 없는 것이었다.In addition, the capacity of the crucible may be increased to evaporate the organic material for a long time, but in this case, there is a problem that the characteristics of the organic material are changed and the heating of the crucible is not easy. Was.

특히, 유기재료의 보충을 위하여 진공챔버(10)의 진공을 배기하고 다시 걸어주어야 하는 과정을 거쳐야 하므로, 고진공을 위한 시간이 오래 걸리게 되어 생산성을 낮추는 문제가 된다.In particular, the process of exhausting the vacuum of the vacuum chamber 10 to be replenished in order to replenish the organic material takes a long time for high vacuum, thereby reducing the productivity.

본 발명은 이러한 문제를 해결하기 위하여 진공챔버(10)의 내부에 증발원(50)이 장착된 수 개의 베이스 플레이트(60)를 설치한 후 하나의 베이스 플레이트(60)를 이용하여 증발원(50)의 유기재료를 증발시킴으로써 유기재료를 사용한 후에는 미리 진공챔버(10)에 구비된 다른 베이스 플레이트(60a)에 설치된 증발원(50a)을 이용하여 증발이 중단되지 않도록 하여, 연속적인 진공증착이 이루어지도록 하는 것이다.In order to solve this problem, the present invention installs several base plates 60 equipped with an evaporation source 50 in the vacuum chamber 10, and then uses one base plate 60 to determine the evaporation source 50. After the organic material is used by evaporating the organic material, evaporation is not stopped by using the evaporation source 50a installed in the other base plate 60a provided in the vacuum chamber 10, so that continuous vacuum deposition is performed. will be.

이를 위하여 본 발명은 진공챔버(10)의 내부에 수 개의 베이스 플레이트(60)(60a)를 설치하되 상기 베이스 플레이트(60)(60a)에는 증발원(50)(50a)을 장착시키도록 하고, 상기 베이스 플레이트(60)(60a)는 가이드 봉(15)을 타고 좌우로 이동할 수 있도록 하되 상기 베이스 플레이트(60)(60a)에는 진공챔버(10)의 외부에 설치된 모터(63)(63a)의 동력을 받아 회전하는 이송나사(62)(62a)의 회전에 따라 회전하도록 함으로써 베이스 플레이트(60)(60a)는 이송나사(62)(62a)의 회전에 따라 가이드봉(15)을 타고 이동하게 된다.To this end, the present invention installs several base plates 60 and 60a inside the vacuum chamber 10, but mounts evaporation sources 50 and 50a on the base plates 60 and 60a. The base plates 60 and 60a may move left and right on the guide rod 15, but the base plates 60 and 60a may be driven by the motors 63 and 63a installed outside the vacuum chamber 10. The base plate (60) (60a) is moved by the guide rod 15 in accordance with the rotation of the feed screw (62) (62a) by rotating according to the rotation of the feed screw (62) (62a) to receive the rotation. .

본 발명에서 이송나사(62)는 모터(63)의 회전에 의해 회전하게 되고, 상기 이송나사(62)는 베이스 플레이트(60)에 나사캡을 이용하여 결합되게 되므로, 나사캡을 이용하여 결합된 이송나사(62)가 회전할 때 베이스 플레이트(60)가 이동하게 된다.In the present invention, the feed screw 62 is rotated by the rotation of the motor 63, the feed screw 62 is coupled to the base plate 60 using a screw cap, it is coupled using a screw cap The base plate 60 moves when the feed screw 62 rotates.

본 발명은 진공챔버(10)의 내부에 여분의 증발원(50)을 대기시킨 상태에서 하나의 베이스 플레이트(60)에 설치된 증발원(50)을 사용한 후에는 다음 베이스 플레이트(60a)를 이용하여 증발이 이루어지게 하는 것으로, 증발의 중단없이 연속 동작시간을 늘릴 수 있다.According to the present invention, after using the evaporation source 50 installed in one base plate 60 in a state in which an extra evaporation source 50 is placed inside the vacuum chamber 10, evaporation is performed using the following base plate 60a. By doing so, it is possible to increase the continuous operation time without interruption of evaporation.

본 발명은 증발원(50)을 사용할 때 가열이 이루어지게 되므로, 기존과 같이 도가니의 용량을 키워 장시간 가열에 따는 재료의 변질을 방지할 수 있다.In the present invention, since the heating is made when using the evaporation source 50, it is possible to increase the capacity of the crucible as in the prior art to prevent the deterioration of the material due to heating for a long time.

본원발명은 도 8과 같이 진공챔버(10)의 일측으로 증발원공급챔버(70)를 설치한 후 상기 증발원공급챔버(70)에서 증발원(50)에 자동으로 유기재료를 보충한 후 공정의 중단없이 연속적으로 공급이 가능하도록 할 수 있다.The present invention is to install the evaporation source supply chamber 70 to one side of the vacuum chamber 10 as shown in Figure 8 after the organic material is automatically replenished in the evaporation source 50 in the evaporation source supply chamber 70 without interruption of the process It can be possible to supply continuously.

증발원공급챔버(70)는 진공챔버(10)의 일측에 설치하여 진공챔버(70)의 내부와 같은 진공압을 갖도록 한 후 게이트밸브(71)를 열어 증발원공급챔버(70)에 놓여져 있는 증발원(50)을 로봇팔(80)로 이동하여 교체할 수 있도록 함으로써, 증발원(50) 교체시 진공챔버(10)의 내부 진공압을 변경시키지 않아 연속 공정의 수행이 가능하며, 증발원(50)의 교체가 완료되면 게이트밸브(71)를 닫아주도록 한다.The evaporation source supply chamber 70 is installed on one side of the vacuum chamber 10 to have the same vacuum pressure as the inside of the vacuum chamber 70, and then the gate valve 71 is opened to allow the evaporation source (evaporated on the evaporation source supply chamber 70). By moving to the robot arm 80 to replace 50, it is possible to perform a continuous process without changing the internal vacuum pressure of the vacuum chamber 10 when replacing the evaporation source 50, replacement of the evaporation source 50 When it is completed to close the gate valve (71).

증발원공급챔버(70)는 진공챔버(10)에서 사용된 증발원(50)을 로봇팔(80)로 이동시키면 이를 이동시켜 압축기(72)를 이용하여 증발원(50)에 유기재료가 충진되게 한 후 로봇팔(80)로 이동시키도록 대기하게 되는 것으로, 증발원공급챔버(70)는 증발원(50)이 진공챔버(10)의 내부로 이동하기 전에 미리 내부 압력을 진공챔버(10)의 압력과 같은 압력으로 높여주게 되므로, 증발원(50)의 교체 작업시 진공챔버(10)의 내부 진공이 변하지 않게 되어 연속 공정의 수행이 가능하게 된다.After the evaporation source supply chamber 70 moves the evaporation source 50 used in the vacuum chamber 10 to the robot arm 80, the evaporation source supply chamber 70 moves the evaporation source 50 to the evaporation source 50 using the compressor 72. Waiting to move to the robot arm 80, the evaporation source supply chamber 70 is the internal pressure before the evaporation source 50 moves into the vacuum chamber 10 in advance, such as the pressure of the vacuum chamber 10 Since the pressure is increased, the internal vacuum of the vacuum chamber 10 does not change during the replacement operation of the evaporation source 50, so that the continuous process may be performed.

본 발명은 진공챔버(10)와 동일한 진공압력을 갖는 증발원공급챔버(70)를 활용하여 진공챔버(10)의 증발원(50)을 교체 할 때 연속 공정의 수행이 가능하도록 하는 것으로, 증발원(50)을 이동하여 유기재료를 채우는 구조는 다양한 방식으로 수행이 가능하다.The present invention is to enable the continuous process can be performed when replacing the evaporation source 50 of the vacuum chamber 10 by using the evaporation source supply chamber 70 having the same vacuum pressure as the vacuum chamber 10, the evaporation source 50 The structure of filling the organic material by moving) can be performed in various ways.

10 : 챔버 15 : 가이드봉
20 : 선형 증발원 30 : 점증발원
50,50a : 증발원 51 : 플러그
60,60a : 베이스 플레이트 61 : 콘센트
62,62a : 이송나사 63,63a : 모터
70 : 증발원공급챔버 80 : 로봇팔10 chamber 15 guide rod
20: linear evaporation source 30: evaporation source
50,50a: evaporation source 51: plug
60, 60a: base plate 61: outlet
62,62a: Feed Screw 63,63a: Motor
70: evaporation source supply chamber 80: robot arm

Claims (6)

유기재료가 담긴 도가니를 히터로 가열하여 유기재료의 증발이 이루어지게 하는 증발원(50)을 구비하되 상기 증발원(50)의 하측으로 증발원(50)을 지지하는 플러그(51)를 형성하여 히터에 인가되는 전원이 플러그(51)를 통하여 인가되게 하고,
상기 증발원(50)의 플러그(51)가 끼워져 고정되고 전원이 플러그(51)로 전달되게 하는 콘센트(61)가 다수 개 구비되고 증발원(50)의 온도신호가 증발원(50)과 베이스 플레이트(60)에 형성된 핀 결합으로 신호가 전달되게 하는 베이스 플레이트(60)를 구비하며,
상기 증발원(50)의 플러그(51)가 베이스 플레이트(60)의 콘센트(61)에 끼워져 고정된 채로 진공챔버(10)의 바닥에 설치되는 것을 특징으로 하는 교체가 용이한 증발원.Evaporation source (50) for heating the crucible containing the organic material to the evaporation of the organic material is provided to form a plug 51 for supporting the evaporation source 50 to the lower side of the evaporation source 50 is applied to the heater Power to be applied through the plug 51,
The plug 51 of the evaporation source 50 is fitted and fixed, and a plurality of outlets 61 are provided to allow the power to be transferred to the plug 51, the temperature signal of the evaporation source 50 is the evaporation source 50 and the base plate 60 It is provided with a base plate 60 to transmit a signal to the pin coupling formed in the),
Evaporation source easy to replace, characterized in that the plug 51 of the evaporation source 50 is installed in the bottom of the vacuum chamber (10) while being fixed to the outlet (61) of the base plate (60). 삭제delete 삭제delete 증발원(50)(50a)에 형성된 플러그(51)를 베이스 플레이트(60)(60a)의 콘센트(61)에 결합하여 간단히 착탈되게 하되 상기 베이스 플레이트(60)(60a)는 하나의 진공 챔버(10)에 수 개를 설치하고,
상기 수 개의 베이스 플레이트(60)(60a)는 모터(63)(63a)에 의해 회전하는 이송나사(62)(62a)에 의해 가이드봉(15)을 타고 이동하되 증발원(50)(50a)이 순차적으로 사용되게 베이스 플레이트(60)(60a)를 순차적으로 구동시키는 것을 특징으로 하는 교체가 용이한 증발 시스템.The plug 51 formed on the evaporation sources 50 and 50a is simply detached by being coupled to the outlet 61 of the base plates 60 and 60a, but the base plates 60 and 60a are connected to one vacuum chamber 10. ) Several,
The several base plates 60 and 60a are moved on the guide rods 15 by the transfer screws 62 and 62a which are rotated by the motors 63 and 63a. Easily replaceable evaporation system, characterized in that to drive the base plate (60) (60a) to be used sequentially. 제4항에 있어서, 베이스 플레이트(60)에 결합된 증발원(50)에서 증발이 이루어질 때 나머지 베이스 플레이트(60a)는 진공챔버(10)의 내부 일측에 대기하고,
상기 베이스 플레이트(60)에 설치된 증발원(50)의 증발이 완료되면 베이스 플레이트(60)는 진공챔버(10)의 한 쪽에 이동시켜 정지시킨 후 다른 베이스 플레이트(60a)에 설치된 증발원(50a)에서 증발이 이루어지게 하며,
진공챔버(10)에 설치된 베이스 플레이트(60)(60a)의 증발원(50)(50a) 사용이 완료되면 전체적으로 증발원(50)(50a)에 유기재료를 채워주는 것을 특징으로 하는 교체가 용이한 증발 시스템.According to claim 4, when the evaporation is made in the evaporation source 50 coupled to the base plate 60, the remaining base plate (60a) is waiting on the inner side of the vacuum chamber 10,
When the evaporation of the evaporation source 50 installed in the base plate 60 is completed, the base plate 60 is moved to one side of the vacuum chamber 10 and stopped, and then evaporated from the evaporation source 50a installed in the other base plate 60a. Make this happen,
Evaporation source 50, 50a of the base plate 60, 60a installed in the vacuum chamber 10 is completed, the evaporation source 50, 50a is replaced easily, characterized in that to fill the organic material as a whole system. 삭제delete
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