KR101176998B1 - An easily exchangeable evaporating source and evaporating system - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 다수의 점증발원을 이용하여 넓은 면적을 갖는 차세대 디스플레이인 OLED(Organic Light Emitting Diode) 소자에 균일하게 박막을 증착시킬 수 있도록 함에 있어서, 증발원의 교체가 용이하도록 하는 한편 챔버에 장착된 증발원을 증발공정의 중단없이 교체 사용할 수 있도록 하는 교체가 용이한 증발원 및 증발 시스템에 관한 것이다.The present invention enables the uniform deposition of a thin film on an OLED (Organic Light Emitting Diode) device, which is a next-generation display having a large area by using a plurality of evaporation sources, to facilitate the replacement of the evaporation source and the evaporation source mounted in the chamber. The present invention relates to an easily replaceable evaporation source and an evaporation system that can be used interchangeably without interruption of the evaporation process.
OLED(Organic Light Emitting Diode) 소자는 자발 발광형 표시 소자로서 시야각이 넓고 콘트라스트가 우수할 뿐만 아니라 응답속도가 빠르다는 장점을 가지고 있어서 차세대 표시소자로써 주목받고 있으며, 일반적인 OLED(Organic Light Emitting Diode) 소자는 기판 상부에 소정패턴의 양극층이 형성되어 있고 이 양극층 상부에는 홀 수송층, 발광층, 전자 수송층이 순차적으로 형성되고, 상기 전자 수송층의 상면에는 상기 양극층과 직교하는 방향으로 소정 패턴의 음극층이 형성되어 있게 되고, 상기 홀 수송층, 발광층 및 전자 수송층은 유기 화합물로 이루어진 유기박막들이다.OLED (Organic Light Emitting Diode) device is a spontaneous light emitting display device and has attracted attention as a next generation display device because of its advantages of wide viewing angle, excellent contrast and fast response speed. An anode layer having a predetermined pattern is formed on the substrate, and a hole transporting layer, a light emitting layer, and an electron transporting layer are sequentially formed on the anode layer, and a cathode layer having a predetermined pattern in a direction orthogonal to the anode layer on the upper surface of the electron transporting layer. And the hole transporting layer, the light emitting layer, and the electron transporting layer are organic thin films made of an organic compound.
기판에 유기박막을 증착하기 위해서는 유기재료가 채워져 고온으로 증발되게 하는 증발원과, 상기 증발원에 전원을 공급하는 전원장치 및 증발원의 내부 도가니 온도를 체크하여 증발온도를 조절하도록 하는 온도센서 등을 설치하여야 하고, 상기 증발원은 고압의 진공챔버에 설치되게 된다.In order to deposit an organic thin film on a substrate, an evaporation source for filling an organic material and evaporating to a high temperature, a power supply for supplying power to the evaporation source, and a temperature sensor for checking an internal crucible temperature of the evaporation source and adjusting an evaporation temperature must be provided. The evaporation source is installed in a high pressure vacuum chamber.
즉, 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이 점증발원(30) 및 선형 증발원(20)은 10-7torr 의 고진공 상태를 유지하는 챔버(10)에서 작업이 진행되고, 기판(11)에 진공 증착이 이루어지도록 하고 있으나, 점증발원(30)이나 선형 증발원(20)에 채워지는 유기재료의 량이 한정되는 관계로 일정시간 사용이 완료된 후에는 증착공정을 중단시킨 후 점증발원(30)이나 선형 증발원(20)에 유기재료를 채워주어야 하고, 또한 점증발원(30)이나 선형 증발원(20)은 도 3에 도시된 바와 같이 리플렉터(31)의 내측으로 히터 고정원판(33)에 끼워져 설치된 히터(32)에 의해 가열이 이루어지는 도가니(35)가 설치되나 상기 도가니(35)의 온도를 감지하기 위한 온도센서(36)와 상기 히터(32)에 전원을 공급하기 위한 전선의 연결이 베이스 플레이트(37)에 일체로 설치되는 관계로 점증발원(30)이나 선형 증발원(20)의 수리나 교체를 할 경우 베이스 플레이트(37)를 전체적으로 교체 하거나 수리할 수밖에 없고, 이로 인하여 교체와 수리에 상당한 비용과 시간이 소요되는 것이었다.That is, as shown in FIGS. 1 and 2, the
점증발원(30)이나 선형 증발원(20)은 전체적으로 이상이 발생하지 않고 개별적 또는 부분적으로 이상이 발생하는 경우에도 베이스 플레이트(37)에 결합된 점증발원(30)이나 선형 증발원(20)을 모두 교체하여야 하므로, 베이스 플레이트(37)의 분해와 교체에 시간이 많이 걸리는 한편 특히 점증발원의 경우 고장난 점증발원만 간단히 교체할 수 있음에도 불구하고 전체적으로 교체가 이루어져야 하고, 또한 점증발원(30)이나 선형 증발원(20)의 교체시에는 고진공의 진공챔버(10)에서 이루어져야 하므로, 교체 후 다시 고진공으로 배기할 때까지 상당한 시간을 필요로 하게 되어 불합리한 점이 있게 된다.The
또한 기존에는 도 4에 도시된 바와 같이 원통 형상의 도가니 외부를 증발관으로 감싸주도록 하는 형태의 선형증발원(3)을 사용하게 되므로, 유기재료의 교체 작업시 증착공정의 중단없이 교체할 수가 없고, 유기재료의 교체 작업이 쉽지 않은 것이었다.In addition, since the conventional linear evaporation source (3) is used to surround the outside of the crucible in the form of a evaporation tube as shown in Figure 4, the replacement of the organic material can not be replaced without interruption of the deposition process, Replacement of organic materials was not easy.
본 발명은 점증발원이나 선형 증발원의 교체를 위하여 베이스 플레이트까지 교체 수리하여야 하므로, 상당힌 시간과 인력의 낭비가 이루어지게 되고, 또한 기존에는 하나의 증발원에 채워진 유기재료를 소모한 후에는 챔버를 개방하여 유기재료를 재충전시키게 되므로, 유기재료의 충전시간과 함께 진공챔버에 진공을 걸어주는 시간이 오래 걸리는 문제를 해결하고자 하는 것이다.In the present invention, since the base plate must be repaired to replace the evaporation source or the linear evaporation source, considerable waste of time and manpower is made. In addition, the chamber is opened after consuming an organic material filled in one evaporation source. By recharging the organic material, it is to solve the problem of taking a long time to apply a vacuum to the vacuum chamber together with the filling time of the organic material.
본 발명은 히터로 유기재료를 가열하는 도가니와 온도센서 등이 내장된 증발원과 상기 증발원을 간단히 고정시키는 한편 상기 증발원에 전원을 공급하는 베이스 플레이트를 구분한 후 상기 증발원이 베이스 플레이트에 전기 플러그와 전기 콘센트와 같은 형태로 결합이 이루어지게 함으로써 이루어지는 것으로, 간단히 증발원을 마치 플러그를 콘센트에 끼우고 빼는 형태와 동일하게 베이스 플레이트에 장착하거나 분리하는 것이다.According to the present invention, the evaporation source having a crucible for heating organic materials with a heater and a temperature sensor and the like are simply fixed and the base plate for supplying power to the evaporation source. The coupling is made in the form of an outlet, and the evaporation source is simply mounted on or detached from the base plate in the same way as the plug is inserted into and pulled out from the outlet.
또한 본 발명은 증발원이 간단히 착탈되는 베이스 플레이트를 하나의 진공 챔버 내부에 수 개를 설치하되 각각의 베이스 플레이트는 각각의 구동원에 의해 별도로 스캔 동작이 이루어지게 함으로써, 수 개의 증발원을 순차적으로 사용하도록 함으로써 유기재료의 보충시 진공 챔버의 진공을 배기시키는 것을 줄여주도록 하는 것이다.In addition, the present invention is to install a number of base plates in a vacuum chamber simply detachable evaporation source, each base plate is to be made separately by each drive source to be scanned, by using several evaporation sources sequentially This is to reduce the evacuation of the vacuum chamber when replenishing the organic material.
본 발명은 증발원을 간단히 플러그를 콘센트에 꼿는 형태로 베이스 플레이트에 안정적으로 끼워지게 하되 베이스 플레이트에서 증발원으로 전원 및 전기적 신호의 입출력이 이루어지게 함으로써 증발원을 간단히 교체하는 한편 고장난 증발원만 선별하여 교체 수리할 수 있는 이점이 있다.The present invention is to simply plug the evaporation source to the base plate in the form of simply plugging into the outlet, but the input and output of the power and electrical signals from the base plate to the evaporation source is made to easily replace the evaporation source, while selecting only the failed evaporation source to replace and repair There is an advantage to this.
또한 본 발명은 진공챔버의 내부에 여분의 증발원까지 설치함으로써 증발원을 순차적으로 사용할 경우 연속 동작시간을 크게 늘일 수 있는 한편 진공챔버의 진공을 배기하는데 따는 시간과 에너지의 낭비를 크게 줄일 수 있다.In addition, the present invention can greatly increase the continuous operation time when the evaporation source is used sequentially by installing an extra evaporation source inside the vacuum chamber, while significantly reducing the waste of time and energy associated with evacuating the vacuum of the vacuum chamber.
도 1 및 도 2는 기존 방식의 설명도
도 3은 기존 증발원의 내부 구성도
도 4는 기존 선형증발원 사시도
도 5는 본 발명의 사시도
도 6은 본 발명에서 여분의 증발원을 사용하는 실시예 평면도
도 7은 도 6의 정단면도
도 8은 본 발명의 증발원 자동충전 시스템 설명도1 and 2 are explanatory diagrams of a conventional method.
3 is an internal configuration diagram of an existing evaporation source
4 is a perspective view of a conventional linear evaporator
5 is a perspective view of the present invention
Figure 6 is a plan view of an embodiment using an extra evaporation source in the present invention
7 is a front cross-sectional view of FIG.
8 is an explanatory view of the evaporation source automatic charging system of the present invention
본 발명은 진공챔버에서 유기재료를 증발시켜 기판에 증착시키도록 함에 있어서, 증발원을 간단히 착탈시킬 수 있도록 하는 것으로, 증발원이 베이스 플레이트와 소켓 방식으로 착탈이 이루어져 별도로 고정할 필요가 없도록 하는 것이다.In the present invention, in order to vaporize the organic material in the vacuum chamber to be deposited on the substrate, the evaporation source can be easily detached, so that the evaporation source is detachably attached to the base plate and the socket method so that it does not need to be fixed separately.
본 발명은 증발원의 하부를 플러그 형태로 제작하고, 베이스 플레이트에는 상기 플러그가 끼워지는 콘센트 형태로 제작하되 상기 증발원과 베이스 플레이트와는 전원과 신호선의 연결이 이루어지도록 함으로써 이루어지는 것으로, 간단히 증발원을 분리 착탈시키는 한편 증발원의 고정이 이루어지도록 하는 것이다.The present invention is made by making the lower portion of the evaporation source in the form of a plug, the base plate is made in the form of an outlet into which the plug is fitted, but the evaporation source and the base plate is made by connecting a power supply and a signal line, and simply separating and removing the evaporation source. Meanwhile, the evaporation source is fixed.
또한 본 발명은 챔버의 내부에 여분의 증발원을 설치하여 연속적으로 사용이 이루어지게 함으로써 챔버를 고진공 상태로 장시간 연속하여 동작시킬 수 있다.In addition, the present invention can operate the chamber continuously for a long time in a high vacuum state by installing an extra evaporation source in the chamber to be used continuously.
이러한 본 발명을 첨부된 실시예 도면에 의거 상세히 설명한다.The present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
본 발명은 챔버(10)의 내부에 설치되는 증발원(50)과, 상기 증발원(50)을 고정시키는 한편 증발원(50)에 전원을 공급하는 베이스 플레이트(60)를 분리시킬 수 있도록 하되 증발원(50)과 베이스 플레이트(60)는 플러그(51)와 콘센트(61)의 형태로 착탈과 함께 증발원(50)의 고정이 이루어지도록 하는 것이다.According to the present invention, the
본 발명의 증발원(50)은 내부에 유기재료가 채워지는 도가니가 설치되는 한편 상기 도가니를 가열하여 유기재료를 증발시키는 히터와 상기 도가니의 온도를 감지하는 온도센서가 설치되게 되고, 상기 베이스 플레이트(60)에는 증발원(50)을 소켓방식으로 고정시키는 한편 증발원(50)에 전원을 공급하고 신호를 인출하는 신호선이 내장되게 된다.In the
본 발명의 증발원(50)은 하측으로 플러그(51)가 형성되게 하고, 베이스 플레이트(60)에는 상측에 콘센트(61)를 형성함으로써 증발원(50)의 플러그(51)가 베이스 플레이트(60)의 콘센트(61)에 끼워지도록 함으로써 증발원(50)과 베이스 플레이트(60)의 결합이 이루어져 고정되도록 하며, 이때 증발원(50)과 베이트 플레이트(60) 사이의 전원은 플러그(51)와 콘센트(61)의 결합에 의하여 이루어지게 되고, 온도신호의 온도신호를 인출하기 위한 인출선은 별도의 핀을 형성하여 증발원(50)을 베이스 플레이트(60)에 결합시킬 때 핀과의 결합에 의해 온도신호의 인출이 이루어지도록 한다.The
상기 베이스 플레이트(60)는 진공챔버(10)의 내부에 설치되는 것으로, 상측으로 수 개의 콘센트(61)를 형성하여 여러 개의 증발원(50)을 설치할 수 있도록 하고, 상기 베이스 플레이트(60)는 스캔 방식으로 증착이 이루어지게 하는 경우 가이드 봉(15)을 타고 좌우로 이동할 수 있도록 한다.The
본 발명에서 증발원(50)에 채워진 유기재료를 히터로 가열하여 증발이 이루어지게 하는 과정과, 베이스 플레이트(60)에서 증발원(50)을 고정시키는 방식 및 전원을 공급하는 과정은 통상의 방식과 동일하나, 베이스 플레이트(60)에 증발원(50)을 착탈시켜 고정시키는 동시에 전원이 공급되게 하는 것이 본 발명의 핵심이며, 증발원(50)의 착탈시 전원과 신호선도 같이 착탈 되어야 한다.In the present invention, the process of heating the organic material filled in the
본 발명의 증발원(50)에 형성된 플러그(51)는 베이스 플레이트(60)의 콘센트(61)에 끼워지게 되므로, 증발원(50)이 베이스 플레이트(60)에 끼워진 채로 움직이지 않게 되고, 플러그(51)와 콘센트(61)를 통하여 전원의 공급이 이루어지는 한편 별도의 핀을 통하여 온도센서의 신호가 인출되게 하며, 상기 베이스 플레이트(60)를 통하여 전원을 공급하고, 온도신호를 감지하는 것은 도시되지 아니한 콘트롤러에서 제어되게 한다.Since the
본 발명은 증발원(50)을 교체할 때 전기 소켓과 같이 간단하게 교체할 수 있는 것으로, 증발원(50)의 플러그(51)를 베이스 플레이트(60)의 콘센트(61)에 분리시키거나 증발원(50)의 플러그(51)를 베이스 플레이트(60)의 콘센트(61)에 끼우면 된다.When the
따라서 본 발명은 증발원(50)의 교체가 간단히 이루어지는 한편 기존 방식과 같은 형태로 증발원(50)을 교체하는 경우는 증발원(50)이 부분적으로 이상이 발생하는 경우에도 증발원 전체를 교체하여야 하는 문제를 해결하는 것으로, 고장이나 이상이 발생한 증발원(50)만 새로운 증발원으로 교체하면 되고, 이로 인하여 증발원 교체에 따른 시간을 절약하는 한편 비용도 크게 줄일 수 있다.Therefore, in the present invention, the replacement of the
그리고 본 발명에서 증발원(50)의 하부에 플러그(51)를 형성하지 않고 콘센트를 형성한 후 베이스 플레이트(60)에 콘센트(61)를 형성하지 않고 플러그를 형성하여도 무방하다.In the present invention, after the outlet is formed without forming the
본 발명은 베이스 플레이트(60)의 콘센트(61)에 증발원(50)의 플러그(51)가 끼워지고, 상기 베이스 플레이트(60)는 진공챔버(10)의 내부에서 가이드 봉(15)을 따라 안정되게 이동할 수 있도록 하되 진공챔버(10)의 외부에서 베이스 플레이트(60)와 이송나사(62)를 결합시킴으로써 모터(63)로 이송나사(62)를 회전시켜 베이스 플레이트(60)를 좌우로 이동시키는 증착 장치에 있어서, 진공챔버(10)의 내부에 여분의 증발원(50)이 결합된 베이스 플레이트(60)를 설치함으로써 증착의 중단 없이 연속적으로 이루어질 수 있도록 한다.In the present invention, the
즉, 진공챔버(10)에 설치된 증발원(50)은 내부의 도가니 용량에 따라 증발 시간이 결정되게 되고, 증발원(50)에 채워진 유기재료를 증발시킨 후에는 진공챔버(10)의 진공을 배기시킨 후 증발원(50)에 유기재료를 채워넣고, 다시 진공챔버(10)의 진공을 걸어주어야 하므로, 유기재료의 보충에 따른 시간이 오래 걸리는 한편 연속적인 증착이 이루어지기 어려운 것이었다.That is, the
그리고, 유기재료를 장시간 증발시키기 위하여 도가니의 용량을 증가시킬 수는 있으나, 이 경우 유기재료의 특성이 변하는 문제가 발생하는 한편 도가니의 가열도 쉽지 않은 문제가 있기 때문에 도가니의 용량을 증가시킬 수 없는 것이었다.In addition, the capacity of the crucible may be increased to evaporate the organic material for a long time, but in this case, there is a problem that the characteristics of the organic material are changed and the heating of the crucible is not easy. Was.
특히, 유기재료의 보충을 위하여 진공챔버(10)의 진공을 배기하고 다시 걸어주어야 하는 과정을 거쳐야 하므로, 고진공을 위한 시간이 오래 걸리게 되어 생산성을 낮추는 문제가 된다.In particular, the process of exhausting the vacuum of the
본 발명은 이러한 문제를 해결하기 위하여 진공챔버(10)의 내부에 증발원(50)이 장착된 수 개의 베이스 플레이트(60)를 설치한 후 하나의 베이스 플레이트(60)를 이용하여 증발원(50)의 유기재료를 증발시킴으로써 유기재료를 사용한 후에는 미리 진공챔버(10)에 구비된 다른 베이스 플레이트(60a)에 설치된 증발원(50a)을 이용하여 증발이 중단되지 않도록 하여, 연속적인 진공증착이 이루어지도록 하는 것이다.In order to solve this problem, the present invention installs
이를 위하여 본 발명은 진공챔버(10)의 내부에 수 개의 베이스 플레이트(60)(60a)를 설치하되 상기 베이스 플레이트(60)(60a)에는 증발원(50)(50a)을 장착시키도록 하고, 상기 베이스 플레이트(60)(60a)는 가이드 봉(15)을 타고 좌우로 이동할 수 있도록 하되 상기 베이스 플레이트(60)(60a)에는 진공챔버(10)의 외부에 설치된 모터(63)(63a)의 동력을 받아 회전하는 이송나사(62)(62a)의 회전에 따라 회전하도록 함으로써 베이스 플레이트(60)(60a)는 이송나사(62)(62a)의 회전에 따라 가이드봉(15)을 타고 이동하게 된다.To this end, the present invention installs
본 발명에서 이송나사(62)는 모터(63)의 회전에 의해 회전하게 되고, 상기 이송나사(62)는 베이스 플레이트(60)에 나사캡을 이용하여 결합되게 되므로, 나사캡을 이용하여 결합된 이송나사(62)가 회전할 때 베이스 플레이트(60)가 이동하게 된다.In the present invention, the
본 발명은 진공챔버(10)의 내부에 여분의 증발원(50)을 대기시킨 상태에서 하나의 베이스 플레이트(60)에 설치된 증발원(50)을 사용한 후에는 다음 베이스 플레이트(60a)를 이용하여 증발이 이루어지게 하는 것으로, 증발의 중단없이 연속 동작시간을 늘릴 수 있다.According to the present invention, after using the
본 발명은 증발원(50)을 사용할 때 가열이 이루어지게 되므로, 기존과 같이 도가니의 용량을 키워 장시간 가열에 따는 재료의 변질을 방지할 수 있다.In the present invention, since the heating is made when using the
본원발명은 도 8과 같이 진공챔버(10)의 일측으로 증발원공급챔버(70)를 설치한 후 상기 증발원공급챔버(70)에서 증발원(50)에 자동으로 유기재료를 보충한 후 공정의 중단없이 연속적으로 공급이 가능하도록 할 수 있다.The present invention is to install the evaporation
증발원공급챔버(70)는 진공챔버(10)의 일측에 설치하여 진공챔버(70)의 내부와 같은 진공압을 갖도록 한 후 게이트밸브(71)를 열어 증발원공급챔버(70)에 놓여져 있는 증발원(50)을 로봇팔(80)로 이동하여 교체할 수 있도록 함으로써, 증발원(50) 교체시 진공챔버(10)의 내부 진공압을 변경시키지 않아 연속 공정의 수행이 가능하며, 증발원(50)의 교체가 완료되면 게이트밸브(71)를 닫아주도록 한다.The evaporation
증발원공급챔버(70)는 진공챔버(10)에서 사용된 증발원(50)을 로봇팔(80)로 이동시키면 이를 이동시켜 압축기(72)를 이용하여 증발원(50)에 유기재료가 충진되게 한 후 로봇팔(80)로 이동시키도록 대기하게 되는 것으로, 증발원공급챔버(70)는 증발원(50)이 진공챔버(10)의 내부로 이동하기 전에 미리 내부 압력을 진공챔버(10)의 압력과 같은 압력으로 높여주게 되므로, 증발원(50)의 교체 작업시 진공챔버(10)의 내부 진공이 변하지 않게 되어 연속 공정의 수행이 가능하게 된다.After the evaporation
본 발명은 진공챔버(10)와 동일한 진공압력을 갖는 증발원공급챔버(70)를 활용하여 진공챔버(10)의 증발원(50)을 교체 할 때 연속 공정의 수행이 가능하도록 하는 것으로, 증발원(50)을 이동하여 유기재료를 채우는 구조는 다양한 방식으로 수행이 가능하다.The present invention is to enable the continuous process can be performed when replacing the
10 : 챔버 15 : 가이드봉
20 : 선형 증발원 30 : 점증발원
50,50a : 증발원 51 : 플러그
60,60a : 베이스 플레이트 61 : 콘센트
62,62a : 이송나사 63,63a : 모터
70 : 증발원공급챔버 80 : 로봇팔10 chamber 15 guide rod
20: linear evaporation source 30: evaporation source
50,50a: evaporation source 51: plug
60, 60a: base plate 61: outlet
62,62a:
70: evaporation source supply chamber 80: robot arm
Claims (6)
상기 증발원(50)의 플러그(51)가 끼워져 고정되고 전원이 플러그(51)로 전달되게 하는 콘센트(61)가 다수 개 구비되고 증발원(50)의 온도신호가 증발원(50)과 베이스 플레이트(60)에 형성된 핀 결합으로 신호가 전달되게 하는 베이스 플레이트(60)를 구비하며,
상기 증발원(50)의 플러그(51)가 베이스 플레이트(60)의 콘센트(61)에 끼워져 고정된 채로 진공챔버(10)의 바닥에 설치되는 것을 특징으로 하는 교체가 용이한 증발원.Evaporation source (50) for heating the crucible containing the organic material to the evaporation of the organic material is provided to form a plug 51 for supporting the evaporation source 50 to the lower side of the evaporation source 50 is applied to the heater Power to be applied through the plug 51,
The plug 51 of the evaporation source 50 is fitted and fixed, and a plurality of outlets 61 are provided to allow the power to be transferred to the plug 51, the temperature signal of the evaporation source 50 is the evaporation source 50 and the base plate 60 It is provided with a base plate 60 to transmit a signal to the pin coupling formed in the),
Evaporation source easy to replace, characterized in that the plug 51 of the evaporation source 50 is installed in the bottom of the vacuum chamber (10) while being fixed to the outlet (61) of the base plate (60).
상기 수 개의 베이스 플레이트(60)(60a)는 모터(63)(63a)에 의해 회전하는 이송나사(62)(62a)에 의해 가이드봉(15)을 타고 이동하되 증발원(50)(50a)이 순차적으로 사용되게 베이스 플레이트(60)(60a)를 순차적으로 구동시키는 것을 특징으로 하는 교체가 용이한 증발 시스템.The plug 51 formed on the evaporation sources 50 and 50a is simply detached by being coupled to the outlet 61 of the base plates 60 and 60a, but the base plates 60 and 60a are connected to one vacuum chamber 10. ) Several,
The several base plates 60 and 60a are moved on the guide rods 15 by the transfer screws 62 and 62a which are rotated by the motors 63 and 63a. Easily replaceable evaporation system, characterized in that to drive the base plate (60) (60a) to be used sequentially.
상기 베이스 플레이트(60)에 설치된 증발원(50)의 증발이 완료되면 베이스 플레이트(60)는 진공챔버(10)의 한 쪽에 이동시켜 정지시킨 후 다른 베이스 플레이트(60a)에 설치된 증발원(50a)에서 증발이 이루어지게 하며,
진공챔버(10)에 설치된 베이스 플레이트(60)(60a)의 증발원(50)(50a) 사용이 완료되면 전체적으로 증발원(50)(50a)에 유기재료를 채워주는 것을 특징으로 하는 교체가 용이한 증발 시스템.According to claim 4, when the evaporation is made in the evaporation source 50 coupled to the base plate 60, the remaining base plate (60a) is waiting on the inner side of the vacuum chamber 10,
When the evaporation of the evaporation source 50 installed in the base plate 60 is completed, the base plate 60 is moved to one side of the vacuum chamber 10 and stopped, and then evaporated from the evaporation source 50a installed in the other base plate 60a. Make this happen,
Evaporation source 50, 50a of the base plate 60, 60a installed in the vacuum chamber 10 is completed, the evaporation source 50, 50a is replaced easily, characterized in that to fill the organic material as a whole system.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020110077689A KR101176998B1 (en) | 2011-08-04 | 2011-08-04 | An easily exchangeable evaporating source and evaporating system |
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KR101176998B1 true KR101176998B1 (en) | 2012-08-27 |
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KR (1) | KR101176998B1 (en) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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KR20240069268A (en) | 2022-11-11 | 2024-05-20 | 주식회사 야스 | Deposition system |
-
2011
- 2011-08-04 KR KR1020110077689A patent/KR101176998B1/en active IP Right Grant
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