JP2006143562A - カーボンナノチューブとその低温合成方法 - Google Patents
カーボンナノチューブとその低温合成方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2006143562A JP2006143562A JP2004339469A JP2004339469A JP2006143562A JP 2006143562 A JP2006143562 A JP 2006143562A JP 2004339469 A JP2004339469 A JP 2004339469A JP 2004339469 A JP2004339469 A JP 2004339469A JP 2006143562 A JP2006143562 A JP 2006143562A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- carbon nanotubes
- low
- carbon nanotube
- temperature synthesis
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Carbon And Carbon Compounds (AREA)
Abstract
【課題】 どのような材料の基板上にもCNTを合成することが可能な低温合成方法であって、かつ安価で簡便に合成することができるカーボンナノチューブの低温合成方法を提供する。
【解決手段】 基板(4a,4b)表面近傍に対向配置した金属ポルフィリン錯体(5)を加熱し蒸発させながら、真空蒸着法により基板(4a,4b)表面上に、または低出力の高周波放電プラズマを発生させて基板(4a,4b)表面上にカーボンナノチューブを合成することとする。
【選択図】図1
【解決手段】 基板(4a,4b)表面近傍に対向配置した金属ポルフィリン錯体(5)を加熱し蒸発させながら、真空蒸着法により基板(4a,4b)表面上に、または低出力の高周波放電プラズマを発生させて基板(4a,4b)表面上にカーボンナノチューブを合成することとする。
【選択図】図1
Description
この出願の発明は、カーボンナノチューブとその低温合成方法に関するものである。
従来より、カーボンナノチューブ(CNT)は炭素または炭素原料を必要に応じて触媒の存在下、高温条件に置くことにより合成されることが知られている。例えば、大気圧よりやや低い圧力のアルゴンや水素雰囲気下、炭素棒の間にアーク放電を行い陰極堆積物の中にCNTを合成するアーク放電法や、ニッケル/コバルトなどの触媒を混ぜた炭素にYAGレーザの強いパルス光を照射しCNTを合成するレーザ蒸発法が挙げられる。さらに、炭素源となる炭素化合物を触媒金属微粒子と接触させることによりCNTを合成するCVD法や、熱分解法など様々なCNTの合成法も提案されている。
これらの合成法は、上述したように高温条件下で合成されるものであり、具体的には、アーク放電法では5000−20000℃、レーザ蒸発法では4000−5000℃、CVDやPECVD法では600−1000℃、熱分解法では1100−1200℃程度で合成されている(例えば、非特許文献1〜4参照)。
Qin, L. C., Zhou, D., Krauss, A. R., Gruen, D. M., Growing carbon nanotubes bay microwave plasma enhanced chemical vapor deposition. Appl. Phys. Lett. 72, 3437-3439 (1998) Ajayan, P. M., Zhou, O. Z., Application of carbon Nanotubes. Carbon nanotubes, Topics Appl. Phys. Dresselhaus, M. S., Dresslhaus, G., Ph. Avouris (Eds) Springer-Verlag Berlin Heidelberg 2001 80, 391-425 (2001) Sateke, N., Production of carbon nanotubes by controlling radio frequency glow discharge with reactive gases. Physica B 323, 290-292 (2002) Rao, C. N. R., Govindraj A., Carbon nanotubes from organometallic precursors. Acc. Chem. Res. 35, 998-1007 (2002)
Qin, L. C., Zhou, D., Krauss, A. R., Gruen, D. M., Growing carbon nanotubes bay microwave plasma enhanced chemical vapor deposition. Appl. Phys. Lett. 72, 3437-3439 (1998) Ajayan, P. M., Zhou, O. Z., Application of carbon Nanotubes. Carbon nanotubes, Topics Appl. Phys. Dresselhaus, M. S., Dresslhaus, G., Ph. Avouris (Eds) Springer-Verlag Berlin Heidelberg 2001 80, 391-425 (2001) Sateke, N., Production of carbon nanotubes by controlling radio frequency glow discharge with reactive gases. Physica B 323, 290-292 (2002) Rao, C. N. R., Govindraj A., Carbon nanotubes from organometallic precursors. Acc. Chem. Res. 35, 998-1007 (2002)
しかしながら、上記の方法によれば、CNTはいずれも高温条件下で合成されるため、エレクトロニクス産業などで大量に用いられているガラス基板やプラスチック基板上に直接CNTを作製することが不可能であった。このため、これらの基板材料に附帯する機能性への影響からCNTの利用範囲が制限されているというのが現状である。
そこで、この出願の発明は、以上のような背景から、上記の点を改善し、どのような材料の基板上にもCNTを合成することが可能な低温合成方法であって、かつ安価で簡便に合成することができるカーボンナノチューブの低温合成方法とそれによって得られたカーボンナノチューブを提供することを課題としている。
この出願の発明は、上記の課題を解決するものとして、第1には、基板表面近傍に対向配置した金属ポルフィリン錯体を加熱し蒸発させながら、真空蒸着法により基板表面上に、または低出力で高周波放電プラズマを発生させて基板表面上にカーボンナノチューブを合成することを特徴とするカーボンナノチューブの低温合成方法を提供する。
この出願の発明は、第2には、上記のカーボンナノチューブの低温合成方法において、高周波放電プラズマの出力は、0Wより大きく100W未満であることを特徴とするカーボンナノチューブの低温合成方法を提供する。
そして、この出願の発明は、第3には、上記のカーボンナノチューブの低温合成方法において、金属ポルフィリン錯体の中心金属が、コバルト、鉄、ニッケル、またはマンガン等の遷移金属であることを特徴とするカーボンナノチューブの低温合成方法を提供し、第4には、基板近傍の雰囲気温度が270〜290℃の範囲であることを特徴とするカーボンナノチューブの低温合成方法を提供し、第5には、基板は、ガラス基板、ハロゲン化アルカリ金属基板、プラスチック基板、金属基板、またはシリコン基板であることを特徴とするカーボンナノチューブの低温合成方法を提供する。
また、この出願の発明は、第6には、上記のいずれかの方法によって合成されたカーボンナノチューブであって、直径0.1〜15nm、長さ5nm〜500μmの単層カーボンナノチューブが束状で構成され、その直径が3nm〜4μmの範囲であることを特徴とするカーボンナノチューブを提供する。
上記第1の発明によれば、基板を高温で直接加熱することがないため、従来と比べて低温で基板上にカーボンナノチューブを合成することができる。さらに、特別な装置を用いることなく、通常の真空蒸着装置や高周波電源を具備した装置によって合成することができるなど、安価で簡便に合成することができる。
上記第2の発明によれば、高周波放電プラズマの出力を0Wより大きく100W未満の出力範囲とすることにより、副生成物をあまり生じさせることなく、より高品質のカーボンナノチューブを効果的に合成することができる。
上記第3の発明によれば、特定の金属ポルフィリン錯体を用いることで、上記の効果をより一層向上させることができる。
上記第4の発明によれば、基板近傍の雰囲気温度がより具体的に特定されて、基板上のカーボンナノチューブの合成が実現される。
上記第5の発明によれば、エレクトロニクス産業などで大量に用いられているガラス基板、ハロゲン化アルカリ金属基板、プラスチック基板、金属基板、シリコン基板など、どのような基板上にも直接カーボンナノチューブを合成することができ、PFD(平面型パネルディスプレイ)への応用展開が可能になるなど産業上の適用範囲に制限がなくなり、有用な合成方法が実現される。
上記第6の発明によれば、どのような基板上にも束状のカーボンナノチューブが低温で合成される。したがって、PFDへの応用展開が可能になるなど産業上有用なカーボンナノチューブが提供される。
この出願の発明は上記のとおりの特徴をもつものであるが、以下にその実施の形態について説明する。
この出願の発明は、まず、基板表面近傍に対向配置した金属ポルフィリン錯体を加熱し蒸発させながら、真空蒸着法(高周波放電出力が0W)により基板表面上にカーボンナノチューブを合成することを特徴としている。または、低出力で高周波放電プラズマを発生させて(高周波プラズマ法)基板表面上にカーボンナノチューブを合成することを特徴としている。
真空蒸着法で基板表面上にカーボンナノチューブを合成する際には、Ar(アルゴン)、He(ヘリウム)等の希ガスをはじめとする各種の不活性ガスを導入してもよい。
金属ポルフィルン錯体を加熱する方法としては、通常の真空蒸着法で用いる方法、すなわち、抵抗加熱式、電子ビーム式、高周波誘導式、レーザー式などで加熱してもよい。加熱温度としては、金属ポルフィリン錯体が蒸発する温度であればよく、例えば、室温〜390℃の範囲が考慮される。
この出願の発明の高周波放電プラズマは、例えば、マッチングボックスを介して高周波電源が接続された電極から発生させるものであり、高周波周波数は10kHzから1GHzの範囲で、その出力は0Wより大きく100Wより小さい出力範囲の高周波を利用することが好ましい。高周波放電プラズマの出力範囲が100W以上の場合には、副生物が生成し易くカーボンナノチューブの品質が落ちる場合があるため好ましくない。
基板としては、特に制限されることはなく、ガラス基板、ハロゲン化アルカリ金属基板、プラスチック基板、金属基板、シリコン基板など、目的に応じて、各種の基板を選択することができる。
金属ポルフィリン錯体としては、中心金属を遷移金属とし、ポルフィリン骨格を含む広い環状平面配位子を有するものであればよい。このようなポルフィリン錯体としては、プロトポルフィリン、ジューテロポルフィリン、メソポルフィリン、ヘマトポルフィリン、テトラフェニルポルフィリン、テトラナフチルポルフィリンなどが例示され、遷移金属としては、コバルト、鉄、ニッケル、マンガンなどが例示される。さらに、遷移金属にはF-、Cl-、Br-、I-のハロゲンイオンが結合していてもよい。これらの中でも特に好適な中心金属としてはコバルト、塩化鉄、ニッケルが挙げられる。好適な金属ポルフィリン錯体の具体例として、コバルトテトラフェニルポルフィリン錯体や塩化鉄テトラフェニルポルフィリン錯体が挙げられる。
この出願の発明によれば、基板表面近傍に対向配置した金属ポルフィリン錯体を加熱し蒸発させながら、真空蒸着法や低出力の高周波放電プラズマ中で反応を進行させ、基板表面上に合成する。このため、基板を直接的に加熱することなく、金属ポルフィリン錯体を加熱することによる輻射によってのみ基板が加熱されるため、従来の基板表面にカーボンナノチューブを合成する方法に比べて低温で合成することができる。具体的には、基板近傍の雰囲気温度が270〜290℃の範囲で基板表面上にカーボンナノチューブを合成することができる。
以上のような、この発明によるカーボンナノチューブの低温合成方法によって、直径0.1〜15nm、長さ5nm〜500μmの単層カーボンナノチューブが束状で構成され、その直径が3nm〜4μmの範囲であり、湾曲せずに真直ぐなカーボンナノチューブを、基板表面上に平行方向に配向して合成することができる。したがって、このカーボンナノチューブは切断やカッティングなどの加工のための処理過程を必要とすることがないため、ナノテクノロジーなどの分野で産業上有効に利用することができる。
以下、実施例を示してこの出願の発明についてさらに詳細に説明する。もちろん、この出願の発明は、以下の実施例に限定されるものではないことはいうまでもない。
図1は、基板上にカーボンナノチューブを低温合成するための装置の構成の一例を模式的に示した図である。この図によれば、チャンバー(1)内に上部電極(2)と下部電極(3)が設置され、上部電極(2)の下方にガラス基板(4a)またはNaCl基板(4b)が配置され、下部電極(3)の上方には試料(5)が配置されている。上部電極(2)にはマッチングボックス(6)を介してRF(Radio Frequency)発生器(7)(周波数:13.56MHz、出力:50W)が接続されており、この上部電極(2)により高周波放電プラズマを発生させる。
上部電極(2)と下部電極(3)との間にはシャッター(8)が設けられ、電極間の距離は25mmに設定されている。下部電極(3)の下方には、ヒーター(9)が配設されており、このヒーター(9)によって下部電極(3)および試料が加熱される。なお、図1の装置では、電極間距離を25mmとしているが、試料(5)、加熱温度、高周波電源などの条件に応じて、電極間距離は適宜に設定される。
(実施例1)
まず、チャンバー(1)内を真空排気ポンプ(図示せず)で真空にした後、排気バルブ(10)を閉め、導入バルブ(11)を開けてマスフローコントローラー(図示せず)で設定した流量のArなどの不活性ガスをチャンバー(1)内に導入する。このとき、チャンバー(1)内を10Paとし、ガスの流量を5ml/minとした。試料(5)としては、5,10,15,20 Tetraphenyl-21H,23H porphyne cobalt(II) (CoTPP) (Aldrich Chem.co製)の粉末状のものを用いた。
(実施例1)
まず、チャンバー(1)内を真空排気ポンプ(図示せず)で真空にした後、排気バルブ(10)を閉め、導入バルブ(11)を開けてマスフローコントローラー(図示せず)で設定した流量のArなどの不活性ガスをチャンバー(1)内に導入する。このとき、チャンバー(1)内を10Paとし、ガスの流量を5ml/minとした。試料(5)としては、5,10,15,20 Tetraphenyl-21H,23H porphyne cobalt(II) (CoTPP) (Aldrich Chem.co製)の粉末状のものを用いた。
次に、上部電極(2)と下部電極(3)の間のシャッター(8)を開放しつつ、下部電極(3)を390℃まで加熱した後、高周波放電プラズマを90秒間発生させた。ガラス基板(4a)、NaCl基板(4b)表面に堆積物が膜状に形成されていることが確認された。ガラス基板(4a)、NaCl基板(4b)が配置されている上部電極(2)の雰囲気温度は、輻射によって約280℃に達していることが確認された。この結果を図2に示す。
次いで、この堆積物を走査型電子顕微鏡(SEM、JEOL JSM 7400F)観察、透過型電子顕微鏡観察(TEM、JEOL JEM 2200FS)、高分解能TEM(HR−TEM、Hitachi HF−2200)観察、ラマン分光分析(514.5nm、Ar laser、Uniphase、Model 2213−75GLYJ)により詳細に調べた。TEM、HR−TEM観察では、この堆積物を蒸留水の入ったペトリ皿に移してNaCl基板(4b)から膜上の堆積物を分離し、Cuグリッドで回収して室温で乾燥させて試料とした。SEM、ラマン分光分析では、ガラス基板(4a)上の堆積物を試料とした。
<SEM観察>
図3にガラス基板(4a)上で成長したカーボンナノチューブのSEM像を示す。この図から、細長いカプセルのような形状で束状になっている単層カーボンナノチューブ(SWNTs)が確認され、さらにこの束状のナノチューブの直径が30nm〜400nm、数十μm長であることが確認された。
<TEM観察>
図4(a)は、この単層カーボンナノチューブのTEM像を示し、束状のナノチューブは非黒鉛状炭素の堆積物で覆われていることが観察される。図4(b)は、図4(a)の単層カーボンナノチューブの一部分を拡大した図である。図4(c)(d)は、さらに図4(a)の単層カーボンナノチューブを拡大したもので、直径約1nmの単層カーボンナノチューブの細部を詳しく観察することができる。
<SEM観察>
図3にガラス基板(4a)上で成長したカーボンナノチューブのSEM像を示す。この図から、細長いカプセルのような形状で束状になっている単層カーボンナノチューブ(SWNTs)が確認され、さらにこの束状のナノチューブの直径が30nm〜400nm、数十μm長であることが確認された。
<TEM観察>
図4(a)は、この単層カーボンナノチューブのTEM像を示し、束状のナノチューブは非黒鉛状炭素の堆積物で覆われていることが観察される。図4(b)は、図4(a)の単層カーボンナノチューブの一部分を拡大した図である。図4(c)(d)は、さらに図4(a)の単層カーボンナノチューブを拡大したもので、直径約1nmの単層カーボンナノチューブの細部を詳しく観察することができる。
図5は、カプセル状に形成された束状のナノチューブの端部を示したTEM像である。
試料中には束状の単層カーボンナノチューブとともに、数ナノメートルから約20nmの範囲の大きさのコバルトナノ粒子も観察された。しかしながら、単層カーボンナノチューブとコバルトナノ粒子が直接連結されている単層カーボンナノチューブは観察されなかった。
<HR−TEM観察>
図6に、HR−TEM像を示す。この図によれば、束状の単層カーボンナノチューブとともに、非黒鉛状の直線状の構造が存在することが観察された。さらに拡大してみると、完全に端が閉じている約80nmの長さの分離したナノチューブ構造が観察された。しかしながら、この分離したナノチューブは、束状のナノチューブに比べて多数観察されなかった。
<ラマン分光分析>
図7にラマン散光スペクトルを示す。この図より、G,Dバンド(それぞれ、1590cm-1、1370cm-1)とラジアルブリージングモード(RBM,204cm-1)のピークが観察された。これらのピークは、試料中に単層カーボンナノチューブが存在していることを示すものである。さらに、RBMピークより単層カーボンナノチューブの直径を算出した結果、約1.2nmであった。この直径はTEM像で観察した結果と一致している。
(実施例2)
チャンバー(1)内の圧力、不活性ガス、試料(5)は実施例1と同様の条件で実施した。そして、シャッター(8)を開放しつつ、下部電極(3)の試料(5)を390℃まで加熱し、高周波放電プラズマを90秒間発生させた。この方法では、ガラス基板(4a)によく付着した強固な膜が得られるとともに、ナノチューブが観察された。
(実施例3)
チャンバー(1)内の圧力、不活性ガス、試料(5)は実施例1と同様の条件で実施した。そして、シャッター(8)を閉じたままCoTPPを380℃まで加熱した。380℃に達した後は、ガラス基板(4a)上にその試料(8)を堆積させるために390℃を上限としてシャッター(8)を開放し、高周波放電プラズマを90秒間発生させた。この方法でも単層カーボンナノチューブを得ることができ、試料(5)中にカーボンファイバーが増加していることが観察された。
(実施例4)
実施例1において、コバルトテトラフェニルポルフィリン錯体に替えて塩化鉄テトラフェニルポルフィリン錯体を用いた。この場合でも、実施例1と同様にガラス基板(4a)、NaCl基板(4b)上にカーボンナノチューブが合成されていることが観察された。
(実施例5)
シャッター(8)と高周波放電プラズマを用いないこと以外は、上記実施例1と同様の条件で実施し、ガラス基板(4a)、NaCl基板(4b)上にCoTPPを直接堆積させた。この場合でも、実施例1と同様に基板上にカーボンナノチューブが合成されていることが観察された。ただし、この方法で形成された膜は非常にもろく、NaCl基板(4b)からこの膜を分離するときに壊れてしまった。TEMにてナノチューブを観察することができたものの、電子ビームによって膜が壊れてしまった。
<HR−TEM観察>
図6に、HR−TEM像を示す。この図によれば、束状の単層カーボンナノチューブとともに、非黒鉛状の直線状の構造が存在することが観察された。さらに拡大してみると、完全に端が閉じている約80nmの長さの分離したナノチューブ構造が観察された。しかしながら、この分離したナノチューブは、束状のナノチューブに比べて多数観察されなかった。
<ラマン分光分析>
図7にラマン散光スペクトルを示す。この図より、G,Dバンド(それぞれ、1590cm-1、1370cm-1)とラジアルブリージングモード(RBM,204cm-1)のピークが観察された。これらのピークは、試料中に単層カーボンナノチューブが存在していることを示すものである。さらに、RBMピークより単層カーボンナノチューブの直径を算出した結果、約1.2nmであった。この直径はTEM像で観察した結果と一致している。
(実施例2)
チャンバー(1)内の圧力、不活性ガス、試料(5)は実施例1と同様の条件で実施した。そして、シャッター(8)を開放しつつ、下部電極(3)の試料(5)を390℃まで加熱し、高周波放電プラズマを90秒間発生させた。この方法では、ガラス基板(4a)によく付着した強固な膜が得られるとともに、ナノチューブが観察された。
(実施例3)
チャンバー(1)内の圧力、不活性ガス、試料(5)は実施例1と同様の条件で実施した。そして、シャッター(8)を閉じたままCoTPPを380℃まで加熱した。380℃に達した後は、ガラス基板(4a)上にその試料(8)を堆積させるために390℃を上限としてシャッター(8)を開放し、高周波放電プラズマを90秒間発生させた。この方法でも単層カーボンナノチューブを得ることができ、試料(5)中にカーボンファイバーが増加していることが観察された。
(実施例4)
実施例1において、コバルトテトラフェニルポルフィリン錯体に替えて塩化鉄テトラフェニルポルフィリン錯体を用いた。この場合でも、実施例1と同様にガラス基板(4a)、NaCl基板(4b)上にカーボンナノチューブが合成されていることが観察された。
(実施例5)
シャッター(8)と高周波放電プラズマを用いないこと以外は、上記実施例1と同様の条件で実施し、ガラス基板(4a)、NaCl基板(4b)上にCoTPPを直接堆積させた。この場合でも、実施例1と同様に基板上にカーボンナノチューブが合成されていることが観察された。ただし、この方法で形成された膜は非常にもろく、NaCl基板(4b)からこの膜を分離するときに壊れてしまった。TEMにてナノチューブを観察することができたものの、電子ビームによって膜が壊れてしまった。
1 チャンバー
2 上部電極
3 下部電極
4a ガラス基板
4b NaCl基板
5 試料
6 マッチングボックス
7 RF発生器
8 シャッター
9 ヒーター
10 排気バルブ
11 導入バルブ
2 上部電極
3 下部電極
4a ガラス基板
4b NaCl基板
5 試料
6 マッチングボックス
7 RF発生器
8 シャッター
9 ヒーター
10 排気バルブ
11 導入バルブ
Claims (6)
- 基板表面近傍に対向配置した金属ポルフィリン錯体を加熱し蒸発させながら、真空蒸着法により基板表面上に、または低出力で高周波放電プラズマを発生させて基板表面上にカーボンナノチューブを合成することを特徴とするカーボンナノチューブの低温合成方法。
- 高周波放電プラズマの出力は、0Wより大きく100W未満であることを特徴とする請求項1のカーボンナノチューブの低温合成方法。
- 金属ポルフィリン錯体の中心金属が、コバルト、鉄、ニッケル、またはマンガン等の遷移金属であることを特徴とする請求項1または2に記載のカーボンナノチューブの低温合成方法。
- 基板近傍の雰囲気温度が270〜290℃の範囲であることを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載のカーボンナノチューブの低温合成方法。
- 基板は、ガラス基板、ハロゲン化アルカリ金属基板、プラスチック基板、金属基板、またはシリコン基板であることを特徴とする請求項1から4のいずれかに記載のカーボンナノチューブの低温合成方法。
- 請求項1から5のいずれかの方法によって合成されたカーボンナノチューブであって、直径0.1〜15nm、長さ5nm〜500μmの単層カーボンナノチューブが束状で構成され、その直径が3nm〜4μmの範囲であることを特徴とするカーボンナノチューブ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004339469A JP2006143562A (ja) | 2004-11-24 | 2004-11-24 | カーボンナノチューブとその低温合成方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004339469A JP2006143562A (ja) | 2004-11-24 | 2004-11-24 | カーボンナノチューブとその低温合成方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006143562A true JP2006143562A (ja) | 2006-06-08 |
Family
ID=36623681
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004339469A Pending JP2006143562A (ja) | 2004-11-24 | 2004-11-24 | カーボンナノチューブとその低温合成方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2006143562A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7781756B2 (en) * | 2004-09-13 | 2010-08-24 | Board Of Trustees Of The University Of Arkansas | Nanotube-porphyrin molecular structure and applications of same |
US8323439B2 (en) | 2009-03-08 | 2012-12-04 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Depositing carbon nanotubes onto substrate |
US10961618B2 (en) | 2014-07-16 | 2021-03-30 | Imperial College Innovations Limited | Process for producing carbon-nanotube grafted substrate |
-
2004
- 2004-11-24 JP JP2004339469A patent/JP2006143562A/ja active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7781756B2 (en) * | 2004-09-13 | 2010-08-24 | Board Of Trustees Of The University Of Arkansas | Nanotube-porphyrin molecular structure and applications of same |
US8323439B2 (en) | 2009-03-08 | 2012-12-04 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Depositing carbon nanotubes onto substrate |
US10961618B2 (en) | 2014-07-16 | 2021-03-30 | Imperial College Innovations Limited | Process for producing carbon-nanotube grafted substrate |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
Ma et al. | Synthesis of luminescent carbon quantum dots by microplasma process | |
Lin et al. | Microplasma: a new generation of technology for functional nanomaterial synthesis | |
US7468097B2 (en) | Method and apparatus for hydrogen production from greenhouse gas saturated carbon nanotubes and synthesis of carbon nanostructures therefrom | |
RU2483022C2 (ru) | Способ изготовления функционализированной фуллеренами углеродной нанотрубки, композиционный материал, толстая или тонкая пленка, провод и устройство, выполненные с использованием получаемых нанотрубок | |
Zheng et al. | Plasma‐assisted approaches in inorganic nanostructure fabrication | |
Srivastava et al. | Enhanced field emission characteristics of nitrogen-doped carbon nanotube films grown by microwave plasma enhanced chemical vapor deposition process | |
Shoukat et al. | Carbon nanotubes/nanofibers (CNTs/CNFs): A review on state of the art synthesis methods | |
US20060222850A1 (en) | Synthesis of a self assembled hybrid of ultrananocrystalline diamond and carbon nanotubes | |
TW452604B (en) | Process for synthesizing one-dimensional nanosubstances by electron cyclotron resonance chemical vapor deposition | |
JP2006063440A (ja) | 酸化チタン薄膜の製造方法 | |
WO2013008209A2 (en) | Methods for the preparation of carbon nanotubes doped with different elements | |
JP4443423B2 (ja) | 単層カーボンナノチューブの製造方法および製造装置 | |
Mariotti et al. | Atmospheric-microplasma-assisted nanofabrication: Metal and metal–oxide nanostructures and nanoarchitectures | |
Bartolome et al. | Preparation and characterization of carbon nano-onions by nanodiamond annealing and functionalization by radio-frequency Ar/O2 plasma | |
Roy et al. | Synthesis of single-walled, bamboo-shaped and Y-junction carbon nanotubes using microwave plasma CVD on low-temperature and chemically processed catalysts | |
Wang et al. | Structure and photoluminescence properties of carbon nanotip-vertical graphene nanohybrids | |
Chatei et al. | Growth and characterisation of carbon nanostructures obtained by MPACVD system using CH4/CO2 gas mixture | |
EP2716600A1 (en) | Apparatus and method for producing oriented carbon nanotube aggregate | |
Shukrullah et al. | Effect of ferrocene concentration on the quality of multiwalled CNTs grown by floating catalytic chemical vapor deposition technique | |
Chen et al. | Rapid formation of diamond-like nano-carbons in a gas bubble discharge in liquid ethanol | |
JP2006143562A (ja) | カーボンナノチューブとその低温合成方法 | |
JP3783057B2 (ja) | 電界電子放出特性を利する自己造形的表面形状を有するsp3結合性窒化ホウ素薄膜とその製造方法及びその用途 | |
JP6476759B2 (ja) | カーボンナノチューブ配向集合体の製造方法 | |
JP2012176865A (ja) | 窒化炭素及び窒化炭素の製造方法 | |
Alrefae et al. | Plasma chemical and physical vapour deposition methods and diagnostics for 2D materials |