JP2006142242A - マイクロ液体制御デバイス - Google Patents
マイクロ液体制御デバイス Download PDFInfo
- Publication number
- JP2006142242A JP2006142242A JP2004337752A JP2004337752A JP2006142242A JP 2006142242 A JP2006142242 A JP 2006142242A JP 2004337752 A JP2004337752 A JP 2004337752A JP 2004337752 A JP2004337752 A JP 2004337752A JP 2006142242 A JP2006142242 A JP 2006142242A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- liquid
- control device
- gas
- groove
- opening
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
- Micromachines (AREA)
Abstract
【解決手段】マイクロ液体制御デバイスは、シリコン基板11とガラス基板16とを、陽極接合法を用いて接合することにより作成する。そして、上記シリコン基板11に液体が流れる流路17として、深さの異なる第1の溝12及び第2の溝13を形成する。更に、シリコン基板11とガラス基板16が対向する部分で、上記流路と空間的に接続されていると共に、上記流路17の深さ及び幅のどちらか狭い方よりも狭い間隙を有する部分に狭間隙部17aを形成する。また、狭間隙部17aのシリコン基板11側に、撥水性金属膜14を形成する。
【選択図】 図1
Description
先ず、図1乃至図5を参照して、本発明のマイクロ液体制御デバイスの第1の実施形態について説明する。
次に、図6乃至図9を参照して、本発明のマイクロ液体制御デバイスの第2の実施形態について説明する。
次に、本発明のマイクロ液体制御デバイスの第3の実施形態について説明する。
Claims (11)
- ガラス部材と半導体部材とを陽極接合法を用いて接合することにより作成した、液体の動きを制御するマイクロ液体制御デバイスに於いて、
上記液体が流れる流路と、
上記流路と空間的に接続されていると共に、上記流路の深さ及び幅のどちらか狭い方よりも狭い間隙を有する上記ガラス部材と上記半導体部材が対向する狭間隙部と、
を具備し、
上記狭間隙部の上記半導体部材側に撥水性金属膜が形成されていることを特徴とするマイクロ液体制御デバイス。 - 上記撥水性金属膜として、撥水性粒子分散金属膜が形成されていることを特徴とする請求項1に記載のマイクロ液体制御デバイス。
- 上記狭間隙部に対向するガラス部材の面は撥水処理が施されている部分を含むことを特徴とする請求項1に記載のマイクロ液体制御デバイス。
- 上記撥水処理として、上記狭間隙部の上記ガラス部材側に上記撥水性金属膜が形成されていることを特徴とする請求項3に記載のマイクロ液体制御デバイス。
- 上記狭間隙に於いて気液界面が形成されることを特徴とする請求項1に記載のマイクロ液体制御デバイス。
- 上記気液界面は、上記液体が流れる方向に対して垂直方向に形成されることを特徴とする請求項5に記載のマイクロ液体制御デバイス。
- 上記気液界面は、上記液体が流れる方向に対して平行に形成されることを特徴とする請求項5に記載のマイクロ液体制御デバイス。
- 上記気液界面は、上記液体の流れる流路と上記流路に平行して形成された気体の流路となる上記狭間隙部分との間に形成されることを特徴とする請求項7に記載のマイクロ液体制御デバイス。
- 上記気液界面は、上記液体が流れる方向に対して垂直に形成される状態と、平行に形成される状態とを含む少なくとも2つの状態をとることを特徴とする請求項5に記載のマイクロ液体制御デバイス。
- 上記液体が流れる流路につながる第1の開口部を有する上記ガラス部材と、
上記ガラス部材と接合して固定された第1の半導体部材と、上記ガラス部材に対して上記狭間隙を有すると共に相対的に移動可能に設けられ、且つ上記液体が流れる流路につながる第2の開口部を有する第2の半導体部材とで構成された上記半導体部材と、
を具備し、
上記第1の開口部と上記第2の開口部との位置を相対的に変化させることにより、上記開口部同士が接続した状態と離れた状態とを切り替えることが可能であることを特徴とする請求項1に記載のマイクロ液体制御デバイス。 - 上記第1の開口部と上記第2の開口部との位置を相対的に変化させることによって、上記狭間隙部に形成される気液界面が、上記液体の流れる方向に対して垂直に形成される状態と平行に形成される状態とを含む少なくとも2つの状態をとることを特徴とする請求項10に記載のマイクロ液体制御デバイス。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004337752A JP2006142242A (ja) | 2004-11-22 | 2004-11-22 | マイクロ液体制御デバイス |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004337752A JP2006142242A (ja) | 2004-11-22 | 2004-11-22 | マイクロ液体制御デバイス |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006142242A true JP2006142242A (ja) | 2006-06-08 |
Family
ID=36622523
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004337752A Pending JP2006142242A (ja) | 2004-11-22 | 2004-11-22 | マイクロ液体制御デバイス |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2006142242A (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008286519A (ja) * | 2007-05-15 | 2008-11-27 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | 液体導入用デバイス |
WO2009081722A1 (ja) | 2007-12-21 | 2009-07-02 | Konica Minolta Medical & Graphic, Inc. | マイクロチップ及びマイクロチップの送液方法 |
JP2009150810A (ja) * | 2007-12-21 | 2009-07-09 | Konica Minolta Medical & Graphic Inc | マイクロチップ |
JP2010528676A (ja) * | 2007-06-11 | 2010-08-26 | 和光純薬工業株式会社 | 集積リアルタイムce検出を用いるマイクロチップ大容量pcr |
JP2013075247A (ja) * | 2011-09-29 | 2013-04-25 | Dexerials Corp | マイクロリアクタ及び反応生成物の製造方法 |
JP2022514294A (ja) * | 2018-12-21 | 2022-02-10 | ロベルト・ボッシュ・ゲゼルシャフト・ミト・ベシュレンクテル・ハフツング | Mems素子内の通路の封鎖方法 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09329518A (ja) * | 1996-06-11 | 1997-12-22 | Yokogawa Electric Corp | 圧力測定装置及びその製造方法 |
JPH10212598A (ja) * | 1997-01-28 | 1998-08-11 | Osaka Gas Co Ltd | 複合メッキ被膜、複合メッキ液および複合メッキ被膜の形成方法 |
JP2001252896A (ja) * | 2000-03-06 | 2001-09-18 | Hitachi Ltd | マイクロ流路及びそれを用いたマイクロポンプ |
JP2002527250A (ja) * | 1998-10-13 | 2002-08-27 | バイオマイクロ システムズ インコーポレイテッド | 受動流体力学に基づく流体回路構成要素 |
WO2003052428A1 (en) * | 2001-02-07 | 2003-06-26 | Biomicro Systems, Inc. | Three-dimensional microfluidics incorporating passive fluid control structures |
JP2004108285A (ja) * | 2002-09-19 | 2004-04-08 | Foundation For The Promotion Of Industrial Science | マイクロ流体デバイス |
-
2004
- 2004-11-22 JP JP2004337752A patent/JP2006142242A/ja active Pending
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09329518A (ja) * | 1996-06-11 | 1997-12-22 | Yokogawa Electric Corp | 圧力測定装置及びその製造方法 |
JPH10212598A (ja) * | 1997-01-28 | 1998-08-11 | Osaka Gas Co Ltd | 複合メッキ被膜、複合メッキ液および複合メッキ被膜の形成方法 |
JP2002527250A (ja) * | 1998-10-13 | 2002-08-27 | バイオマイクロ システムズ インコーポレイテッド | 受動流体力学に基づく流体回路構成要素 |
JP2001252896A (ja) * | 2000-03-06 | 2001-09-18 | Hitachi Ltd | マイクロ流路及びそれを用いたマイクロポンプ |
WO2003052428A1 (en) * | 2001-02-07 | 2003-06-26 | Biomicro Systems, Inc. | Three-dimensional microfluidics incorporating passive fluid control structures |
JP2004108285A (ja) * | 2002-09-19 | 2004-04-08 | Foundation For The Promotion Of Industrial Science | マイクロ流体デバイス |
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008286519A (ja) * | 2007-05-15 | 2008-11-27 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | 液体導入用デバイス |
JP2010528676A (ja) * | 2007-06-11 | 2010-08-26 | 和光純薬工業株式会社 | 集積リアルタイムce検出を用いるマイクロチップ大容量pcr |
WO2009081722A1 (ja) | 2007-12-21 | 2009-07-02 | Konica Minolta Medical & Graphic, Inc. | マイクロチップ及びマイクロチップの送液方法 |
JP2009150810A (ja) * | 2007-12-21 | 2009-07-09 | Konica Minolta Medical & Graphic Inc | マイクロチップ |
US8920749B2 (en) | 2007-12-21 | 2014-12-30 | Konica Minolta Medical & Graphic, Inc. | Microchip and liquid sending method for microchip |
JP2013075247A (ja) * | 2011-09-29 | 2013-04-25 | Dexerials Corp | マイクロリアクタ及び反応生成物の製造方法 |
JP2022514294A (ja) * | 2018-12-21 | 2022-02-10 | ロベルト・ボッシュ・ゲゼルシャフト・ミト・ベシュレンクテル・ハフツング | Mems素子内の通路の封鎖方法 |
JP7223853B2 (ja) | 2018-12-21 | 2023-02-16 | ロベルト・ボッシュ・ゲゼルシャフト・ミト・ベシュレンクテル・ハフツング | Mems素子内の通路の封鎖方法 |
US11851324B2 (en) | 2018-12-21 | 2023-12-26 | Robert Bosch Gmbh | Method for sealing entries in a MEMS element |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5196422B2 (ja) | マイクロバルブ形成のための選択的ボンディング | |
US8398866B2 (en) | Microchip for forming emulsion and method for manufacturing the same | |
US8037903B2 (en) | Micromachined electrowetting microfluidic valve | |
US20070039920A1 (en) | Method of fabricating nanochannels and nanochannels thus fabricated | |
WO2003068672A2 (en) | Fabrication of ultra-shallow channels for microfluidic devices and systems | |
CA2318468C (en) | Method of forming interconnections between channels and chambers | |
Huang et al. | Fabrication of through-wafer 3D microfluidics in silicon carbide using femtosecond laser | |
JP2006142242A (ja) | マイクロ液体制御デバイス | |
TWI695120B (zh) | 微流體致動器 | |
JP2005334874A (ja) | マイクロチャネルとその製造方法およびマイクロシステム | |
JP2005083505A (ja) | スライド式バルブ装置 | |
CN209940465U (zh) | 微流体致动器 | |
JP2016109499A (ja) | 液滴駆動装置およびその製造方法 | |
WO2014027435A1 (ja) | 流体取扱装置および流体取扱方法 | |
TWI258456B (en) | Fluid driving device | |
JP2006142448A (ja) | パッシブバルブ | |
TWM580642U (zh) | Microfluidic actuator | |
KR100485317B1 (ko) | 마이크로 혼합기 및 그의 제조방법 | |
CN109081302B (zh) | 一种微通道加工方法、微通道 | |
DE102011075127A1 (de) | Mikroventilstruktur mit einem Polymeraktor und Lab-on-a-chip Modul | |
Tamaki et al. | Liquid filling method for nanofluidic channels utilizing the high solubility of CO2 | |
JP2006144963A (ja) | スライド式バルブ及びその製造方法 | |
JP5309786B2 (ja) | マイクロバルブ、マイクロポンプ、及びマイクロバルブの製造方法 | |
JP6372227B2 (ja) | 流路デバイス及びその製造方法 | |
CN111217317B (zh) | 微流体致动器的制造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Written amendment |
Effective date: 20060419 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20071115 |
|
A711 | Notification of change in applicant |
Effective date: 20071115 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20071115 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20100201 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100518 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20101026 |