JP2006106099A - Dye-containing negative curable composition, color filter and method for producing the same - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a dye-containing negative curable composition suitable for use of a dye, excellent in rectangularity of a pattern shape, ensuring a very small change in the rectangularity by heating after development, and obtaining high hardness, and to provide a color filter using the composition and a method for producing the color filter. <P>SOLUTION: The dye-containing negative curable composition contains (A) an alkali-soluble binder, (B) an organic-solvent-soluble dye, (C) a photopolymerizable compound, (D) a photopolymerization initiator, (E) an organic solvent, (F) a higher fatty acid or at least one derivative thereof, and (G) a surfactant. The color filter is obtained using the composition. The method for producing the color filter is also provided. <P>COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

Description

本発明は、液晶表示素子(LCD)や固体撮像素子(CCD、CMOSなど)等に用いられるカラーフィルターを構成する着色画像の形成に好適な染料含有ネガ型硬化性組成物、並びに該染料含有ネガ型硬化性組成物を用いたカラーフィルターおよびその製造方法に関する。   The present invention relates to a dye-containing negative curable composition suitable for forming a colored image constituting a color filter used in a liquid crystal display device (LCD), a solid-state image pickup device (CCD, CMOS, etc.), and the dye-containing negative. The present invention relates to a color filter using a mold curable composition and a method for producing the same.

液晶表示素子や固体撮像素子に用いられるカラーフィルターを作製する方法としては、染色法、印刷法、電着法および顔料分散法が知られている。   As a method for producing a color filter used for a liquid crystal display device or a solid-state imaging device, a dyeing method, a printing method, an electrodeposition method, and a pigment dispersion method are known.

このうち、顔料分散法は、顔料を種々の感光性組成物に分散させた着色感放射線性組成物を用いてフォトリソ法によってカラーフィルターを作製する方法であり、顔料を使用しているために光や熱等に安定であるという利点を有している。また、フォトリソ法によってパターニングするため、位置精度が高く、大画面、高精細カラーディスプレイ用カラーフィルターを作製するのに好適な方法として広く利用されている。   Among these, the pigment dispersion method is a method for producing a color filter by a photolithographic method using a colored radiation-sensitive composition in which a pigment is dispersed in various photosensitive compositions. It has the advantage of being stable to heat and the like. In addition, since patterning is performed by a photolithography method, it is widely used as a suitable method for producing a color filter for a large-screen, high-definition color display with high positional accuracy.

顔料分散法によってカラーフィルターを作製する場合、ガラス基板上に感放射線性組成物をスピンコーターやロールコーター等によって塗布し乾燥させて塗膜を形成し、該塗膜をパターン露光・現像することによって着色された画素が形成され、この操作を各色ごとに繰り返し行なうことでカラーフィルターを得ることができる。   When producing a color filter by a pigment dispersion method, a radiation sensitive composition is applied on a glass substrate by a spin coater or a roll coater and dried to form a coating film, and the coating film is subjected to pattern exposure and development. Colored pixels are formed, and a color filter can be obtained by repeating this operation for each color.

上記の顔料分散法としては、アルカリ可溶性樹脂に光重合性モノマーと光重合開始剤とを併用したネガ型感光性組成物を用いたものが提案されている(例えば、特許文献1〜4参照。)。   As said pigment dispersion method, the thing using the negative photosensitive composition which used together the photopolymerizable monomer and the photoinitiator for alkali-soluble resin is proposed (for example, refer patent documents 1-4). ).

一方、近年、固体撮像素子用のカラーフィルターにおいては更なる高精細化が望まれている。しかしながら、従来の顔料分散系では解像度を更に向上させることは困難であり、顔料の粗大粒子によって色ムラが発生する等の問題があるため、固体撮像素子のように微細パターンが要求される用途には適さなかった。   On the other hand, in recent years, there has been a demand for higher definition in color filters for solid-state imaging devices. However, it is difficult to further improve the resolution in the conventional pigment dispersion system, and there are problems such as color unevenness caused by coarse particles of the pigment, so that it is used for applications requiring a fine pattern such as a solid-state imaging device. Was not suitable.

かかる問題を解決すべく、従来から顔料に代えて染料を使用する技術が提案されている(例えば、特許文献5参照)。しかしながら、染料含有の硬化性組成物は、例えば、耐光性、耐熱性、溶解性、および、塗布均一性など様々な性能につき、一般的に顔料に比べて劣るという問題があった。更に、固体撮像素子用カラーフィルター作製用途の場合には特に1.5μm以下の膜厚が要求されるため、硬化性組成物中に多量の色素を添加しなければならず、これにより基板との密着が不充分となったり、十分な硬化が得られなかったり、露光部でも染料が抜けてしまうなどと、パターン形状の矩形成性が著しく困難であるといった問題も生じていた。   In order to solve such a problem, a technique of using a dye instead of a pigment has been conventionally proposed (for example, see Patent Document 5). However, the dye-containing curable composition has a problem that it is generally inferior to the pigment in various performances such as light resistance, heat resistance, solubility, and coating uniformity. Furthermore, in the case of the use for producing a color filter for a solid-state imaging device, a film thickness of 1.5 μm or less is particularly required. Therefore, a large amount of dye must be added to the curable composition, thereby When the adhesion is insufficient, sufficient curing cannot be obtained, or the dye is lost even in the exposed area, there is a problem that the rectangularity of the pattern shape is extremely difficult.

特開平2−181704号公報JP-A-2-181704 特開平2−199403号公報JP-A-2-199403 特開平5−273411号公報Japanese Patent Laid-Open No. 5-273411 特開平7−140654号公報JP-A-7-140654 特開平6−75375号公報JP-A-6-75375

本発明は、染料の使用に好適であり、パターン形状の矩形性に優れ、且つ、現像処理後の加熱による矩形性の変化も非常に小さく、硬度の高い染料含有ネガ型硬化性組成物およびこれを用いたカラーフィルターを提供することを目的とする。同時に、優れたカラーフィルターを製造することができ、コストパフォーマンスの高いカラーフィルターの製造方法を提供することを目的とする。   INDUSTRIAL APPLICABILITY The present invention is suitable for the use of dyes, is excellent in pattern shape rectangularity, has a very small change in rectangularity due to heating after development processing, and has high hardness and contains a dye-containing negative curable composition. An object of the present invention is to provide a color filter using the. At the same time, an object is to provide a method for producing a color filter that can produce an excellent color filter and has high cost performance.

前記課題を解決するための具体的手段は以下の通りである。
<1> (A)アルカリ可溶性バインダー、(B)有機溶剤可溶性染料、(C)光重合性化合物、(D)光重合開始剤、(E)有機溶剤、(F)高級脂肪酸またはその誘導体の少なくとも一種、並びに、(G)界面活性剤を含むことを特徴とする染料含有ネガ型硬化性組成物である。
Specific means for solving the above problems are as follows.
<1> (A) an alkali-soluble binder, (B) an organic solvent-soluble dye, (C) a photopolymerizable compound, (D) a photopolymerization initiator, (E) an organic solvent, (F) a higher fatty acid or a derivative thereof It is a dye-containing negative curable composition characterized by containing one type and (G) a surfactant.

<2> 全固形分に対する前記(F)高級脂肪酸またはその誘導体の含有量が0.01〜40質量%であることを特徴とする上記<1>の染料含有ネガ型硬化性組成物である。   <2> The dye-containing negative curable composition according to <1>, wherein the content of the (F) higher fatty acid or derivative thereof is 0.01 to 40% by mass relative to the total solid content.

<3> 全固形分に対する前記(F)高級脂肪酸またはその誘導体の含有量が0.1〜25質量%であることを特徴とする上記<1>の染料含有ネガ型硬化性組成物である。   <3> The dye-containing negative curable composition according to <1>, wherein the content of the (F) higher fatty acid or derivative thereof is 0.1 to 25% by mass relative to the total solid content.

<4> 前記(F)高級脂肪酸またはその誘導体の1分子当たりの炭素数が11以上であることを特徴とする上記<1>〜<3>の染料含有ネガ型硬化性組成物である。   <4> The dye-containing negative curable composition according to <1> to <3> above, wherein the (F) higher fatty acid or derivative thereof has 11 or more carbon atoms per molecule.

<5> 前記(F)高級脂肪酸またはその誘導体の少なくとも1種が、1分子当たりの炭素数が11以上の飽和脂肪酸またはその誘導体であることを特徴とする上記<1>〜<4>の染料含有ネガ型硬化性組成物である。   <5> The dye according to <1> to <4> above, wherein at least one of the (F) higher fatty acid or a derivative thereof is a saturated fatty acid having 11 or more carbon atoms per molecule or a derivative thereof. It is a negative curable composition.

<6> 前記(F)高級脂肪酸またはその誘導体の少なくとも1種が、1分子当たりの炭素数が11以上の不飽和脂肪酸またはその誘導体であることを特徴とする上記<1>〜<4>の染料含有ネガ型硬化性組成物である。   <6> The above-mentioned <1> to <4>, wherein at least one of the (F) higher fatty acid or its derivative is an unsaturated fatty acid having 11 or more carbon atoms per molecule or a derivative thereof It is a dye-containing negative curable composition.

<7> 前記(F)高級脂肪酸またはその誘導体として、1分子当たりの炭素数が11以上の飽和脂肪酸またはその誘導体と、1分子当たりの炭素数が11以上の不飽和脂肪酸またはその誘導体と、を含むことを特徴とする上記<1>〜<4>の染料含有ネガ型硬化性組成物である。   <7> As the (F) higher fatty acid or derivative thereof, a saturated fatty acid having 11 or more carbon atoms per molecule or a derivative thereof, and an unsaturated fatty acid having 11 or more carbon atoms per molecule or a derivative thereof, The dye-containing negative curable composition according to the above <1> to <4>, characterized in that

<8> (F)高級脂肪酸またはその誘導体の少なくとも1種が、パルミチン酸、ステアリン酸、ベヘン酸、アラキン酸、ミリスチン酸、および、これらの誘導体から選ばれる化合物であることを特徴とする上記<1>〜<7>の染料含有ネガ型硬化性組成物である。   <8> (F) At least one of higher fatty acids or derivatives thereof is a compound selected from palmitic acid, stearic acid, behenic acid, arachidic acid, myristic acid, and derivatives thereof. It is a dye-containing negative curable composition of 1> to <7>.

<9> 前記(G)界面活性剤が、ノニオン性界面活性剤またはアニオン性界面活性剤であることを特徴とする上記<1>〜<8>の染料含有ネガ型硬化性組成物。
<10> 前記(F)高級脂肪酸またはその誘導体と前記(G)界面活性剤との質量比((G)/(F))が、1以下であることを特徴とする上記<1>〜<9>の染料含有ネガ型硬化性組成物。
<9> The dye-containing negative curable composition according to the above <1> to <8>, wherein the (G) surfactant is a nonionic surfactant or an anionic surfactant.
<10> A mass ratio ((G) / (F)) of the (F) higher fatty acid or a derivative thereof and the (G) surfactant is 1 or less. 9> A dye-containing negative curable composition.

<11> 上記<1>〜<10>の染料含有ネガ型硬化性組成物を用いてなることを特徴とするカラーフィルターである。   <11> A color filter using the dye-containing negative curable composition according to <1> to <10> above.

<12> 上記<1>〜<10>の染料含有ネガ型硬化性組成物を支持体上に塗布後、マスクを通して露光し、現像してパターンを形成する工程を含むことを特徴とするカラーフィルターの製造方法である。   <12> A color filter comprising the steps of applying the dye-containing negative curable composition of the above <1> to <10> on a support, exposing through a mask, and developing to form a pattern It is a manufacturing method.

本発明によれば、高級脂肪酸および/または誘導体と界面活性剤とを染料含有ネガ型硬化性組成物に添加することにより、染料の使用に好適であり、パターン形状の矩形性に優れ、且つ、現像処理後の加熱による矩形性の変化も非常に小さく、硬度の高い染料含有ネガ型硬化性組成物、並びに、これを用いたカラーフィルターおよびその製造方法を提供することができる。   According to the present invention, by adding a higher fatty acid and / or derivative and a surfactant to a dye-containing negative curable composition, it is suitable for use of a dye, has excellent rectangular shape of a pattern shape, and A change in rectangularity due to heating after development processing is very small, and a dye-containing negative curable composition having high hardness, a color filter using the same, and a method for producing the same can be provided.

以下、本発明の染料含有ネガ型硬化性組成物、並びに該染料含有ネガ型硬化性組成物を用いて構成されるカラーフィルターおよびその製造方法について詳述する。   Hereinafter, the dye-containing negative curable composition of the present invention, a color filter constituted using the dye-containing negative curable composition, and a method for producing the same will be described in detail.

本発明の染料含有ネガ型硬化性組成物は、(A)アルカリ可溶性バインダー、(B)有機溶剤可溶性染料、(C)光重合性化合物、(D)光重合開始剤、(E)有機溶剤、(F)高級脂肪酸およびその誘導体の少なくとも一種(以下、単に「本発明における高級脂肪酸」という場合がある。)、(G)界面活性剤を少なくとも含んでなり、更に架橋剤等の他の成分を含んでいてもよい。   The dye-containing negative curable composition of the present invention comprises (A) an alkali-soluble binder, (B) an organic solvent-soluble dye, (C) a photopolymerizable compound, (D) a photopolymerization initiator, (E) an organic solvent, (F) at least one of higher fatty acids and derivatives thereof (hereinafter sometimes simply referred to as “higher fatty acids in the present invention”), (G) at least a surfactant and further containing other components such as a crosslinking agent. May be included.

本発明によれば、本発明における高級脂肪酸と界面活性剤とを併用し、染料を使用した系に併用することで、染料含有ネガ型硬化性組成物のパターン形状の矩形性を向上させることができ、更に、現像処理後の加熱による矩形性の変化も非常に小さく、硬度の高いパターンを形成することができる。   According to the present invention, it is possible to improve the rectangularity of the pattern shape of the dye-containing negative curable composition by using the higher fatty acid and the surfactant in the present invention in combination and using them in a system using a dye. In addition, the change in rectangularity due to heating after development is very small, and a pattern with high hardness can be formed.

−(A)アルカリ可溶性バインダー−
上記アルカリ可溶性バインダーについて説明する。本発明におけるアルカリ可溶性バインダーは、水可溶性またはアルカリ可溶性であれば特に限定はないが、耐熱性、現像性、入手性等の観点から選ばれることが好ましい。
-(A) Alkali-soluble binder-
The alkali-soluble binder will be described. The alkali-soluble binder in the present invention is not particularly limited as long as it is water-soluble or alkali-soluble, but is preferably selected from the viewpoints of heat resistance, developability, availability, and the like.

上記アルカリ可溶性バインダーとしては、線状有機高分子重合体であり、有機溶剤に可溶で、弱アルカリ水溶液で現像できるものが好ましい。このような線状有機高分子重合体としては、側鎖にカルボン酸を有するポリマー、例えば、特開昭59−44615号、特公昭54−34327号、特公昭58−12577号、特公昭54−25957号、特開昭59−53836号、特開昭59−71048号の各公報に記載されている、メタクリル酸共重合体、アクリル酸共重合体、イタコン酸共重合体、クロトン酸共重合体、マレイン酸共重合体、部分エステル化マレイン酸共重合体等が挙げられる。また同様に、上記線状有機高分子重合体としては、側鎖にカルボン酸を有する酸性セルロース誘導体が有用である。   The alkali-soluble binder is preferably a linear organic polymer, soluble in an organic solvent, and developable with a weak alkaline aqueous solution. Examples of such linear organic high molecular polymers include polymers having a carboxylic acid in the side chain, such as JP-A-59-44615, JP-B-54-34327, JP-B-58-12577, and JP-B-54-. 25957, JP-A-59-53836, JP-A-59-71048, methacrylic acid copolymer, acrylic acid copolymer, itaconic acid copolymer, crotonic acid copolymer , Maleic acid copolymer, partially esterified maleic acid copolymer, and the like. Similarly, an acidic cellulose derivative having a carboxylic acid in the side chain is useful as the linear organic polymer.

上述のほか、上記線状有機高分子重合体としては、水酸基を有するポリマーに酸無水物を付加させたもの等や、ポリヒドロキシスチレン系樹脂、ポリシロキサン系樹脂、ポリ(2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート)、ポリビニールピロリドンやポリエチレンオキサイド、ポリビニールアルコール、等も有用である。
また、上記線状有機高分子重合体としては、親水性を有するモノマーを共重合したものであってもよく、この例としては、アルコキシアルキル(メタ)アクリレート、ヒドロキシアルキル(メタ)アクリレート、グリセロール(メタ)アクリレート、(メタ)アクリルアミド、N−メチロールアクリルアミド、2級または3級のアルキルアクリルアミド、ジアルキルアミノアルキル(メタ)アクリレート、モルホリン(メタ)アクリレート、N−ビニルピロリドン、N−ビニルカプロラクタム、ビニルイミダゾール、ビニルトリアゾール、メチル(メタ)アクリレート、エチル(メタ)アクリレート、分岐または直鎖のプロピル(メタ)アクリレート、分岐または直鎖のブチル(メタ)アクリレート、フェノキシヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、等が挙げられる。
In addition to the above, examples of the linear organic polymer include those obtained by adding an acid anhydride to a polymer having a hydroxyl group, polyhydroxystyrene resins, polysiloxane resins, poly (2-hydroxyethyl (meta) ) Acrylate), polyvinylpyrrolidone, polyethylene oxide, polyvinyl alcohol, and the like are also useful.
The linear organic polymer may be a copolymer of hydrophilic monomers, and examples thereof include alkoxyalkyl (meth) acrylate, hydroxyalkyl (meth) acrylate, glycerol ( (Meth) acrylate, (meth) acrylamide, N-methylolacrylamide, secondary or tertiary alkylacrylamide, dialkylaminoalkyl (meth) acrylate, morpholine (meth) acrylate, N-vinylpyrrolidone, N-vinylcaprolactam, vinylimidazole, Vinyl triazole, methyl (meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate, branched or linear propyl (meth) acrylate, branched or linear butyl (meth) acrylate, phenoxyhydroxypropyl (meth) Acrylate, and the like.

その他、上記親水性を有するモノマーとして、テトラヒドロフルフリル基、リン酸、リン酸エステル、4級アンモニウム塩、エチレンオキシ鎖、プロピレンオキシ鎖、スルホン酸およびその塩、モルホリノエチル基等を含んでなるモノマー等も有用である。   In addition, monomers having a tetrahydrofurfuryl group, phosphoric acid, phosphate ester, quaternary ammonium salt, ethyleneoxy chain, propyleneoxy chain, sulfonic acid and its salt, morpholinoethyl group, etc. as the above-mentioned hydrophilic monomers Etc. are also useful.

また、上記アルカリ可溶性バインダーは、架橋効率を向上させるために、重合性基を側鎖に有してもよく、アリル基、(メタ)アクリル基、アリルオキシアルキル基等を側鎖に含有するポリマー等も有用である。上記重合性基を含有するポリマーの例としては、市販品の、KSレジスト−106(大阪有機化学工業(株)製)、サイクロマーPシリーズ(ダイセル化学工業(株)製)等が挙げられる。また、硬化皮膜の強度を上げるためにアルコール可溶性ナイロンや2,2−ビス−(4−ヒドロキシフェニル)−プロパンとエピクロルヒドリンのポリエーテル等も本発明におけるアルカリ可溶性バインダーとして有用である。   The alkali-soluble binder may have a polymerizable group in the side chain in order to improve the crosslinking efficiency, and is a polymer containing an allyl group, a (meth) acryl group, an allyloxyalkyl group or the like in the side chain. Etc. are also useful. Examples of the polymer containing the polymerizable group include KS resist-106 (manufactured by Osaka Organic Chemical Industry Co., Ltd.), cyclomer P series (manufactured by Daicel Chemical Industries, Ltd.), and the like. In order to increase the strength of the cured film, alcohol-soluble nylon, polyether of 2,2-bis- (4-hydroxyphenyl) -propane and epichlorohydrin, etc. are also useful as the alkali-soluble binder in the present invention.

これら各種アルカリ可溶性バインダーの中でも、耐熱性の観点からは、ポリヒドロキシスチレン系樹脂、ポリシロキサン系樹脂、アクリル系樹脂、アクリルアミド系樹脂、アクリル/アクリルアミド共重合体樹脂が好ましく、現像性制御の観点からは、アクリル系樹脂、アクリルアミド系樹脂、アクリル/アクリルアミド共重合体樹脂が好ましい。   Among these various alkali-soluble binders, from the viewpoint of heat resistance, polyhydroxystyrene resins, polysiloxane resins, acrylic resins, acrylamide resins, and acrylic / acrylamide copolymer resins are preferable, and from the viewpoint of development control. Are preferably acrylic resins, acrylamide resins, and acrylic / acrylamide copolymer resins.

上記アクリル系樹脂としては、ベンジル(メタ)アクリレート、(メタ)アクリル酸、ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、(メタ)アクリルアミド等から選ばれるモノマーからなる共重合体や、市販品の、KSレジスト−106(大阪有機化学工業(株)製)、サイクロマーPシリーズ(ダイセル化学工業(株)製)等が好ましい。   Examples of the acrylic resin include copolymers composed of monomers selected from benzyl (meth) acrylate, (meth) acrylic acid, hydroxyethyl (meth) acrylate, (meth) acrylamide, and the like, and commercially available KS resist 106. (Osaka Organic Chemical Co., Ltd.), Cyclomer P series (Daicel Chemical Industries, Ltd.) and the like are preferable.

上記アルカリ可溶性バインダーとしては、重量平均分子量(GPC法で測定されたポリスチレン換算値)が1000〜2×105の重合体が好ましく、2000〜1×105の重合体が更に好ましく、5000〜5×104の重合体が特に好ましい。 As the alkali-soluble binder, a polymer having a weight average molecular weight (polystyrene conversion value measured by GPC method) of 1000 to 2 × 10 5 is preferable, a polymer of 2000 to 1 × 10 5 is more preferable, and 5000 to 5 is preferable. A polymer of × 10 4 is particularly preferred.

本発明の染料含有ネガ型硬化性組成物における上記アルカリ可溶性バインダーの含有量としては、組成物の全固形分(質量)に対して、10〜90質量%が好ましく、20〜80質量%が更に好ましく、30〜70質量%が特に好ましい。   As content of the said alkali-soluble binder in the dye-containing negative curable composition of this invention, 10-90 mass% is preferable with respect to the total solid (mass) of a composition, and 20-80 mass% is further. 30 to 70% by mass is preferable.

−(B)有機溶剤可溶性染料−
本発明における有機溶剤可溶性染料は、有機溶剤に可溶な染料であれば特に制限なく使用することができ、例えば、従来カラーフィルター用として公知の染料などが挙げられる。具体的には、特開昭64−90403号公報、特開昭64−91102号公報、特開平1−94301号公報、特開平6−11614号公報、特登2592207号、米国特許第4,808,501号明細書、米国特許第5,667,920号明細書、米国特許第5,059,500号明細書、特開平5−333207号公報、特開平6−35183号公報、特開平6−51115号公報、特開平6−194828号公報等に記載の色素が挙げられる。化学構造の観点からは、トリフェニルメタン系、アントラキノン系、ベンジリデン系、オキソノール系、シアニン系、フェノチアジン系、ピロロピラゾールアゾメチン系、キサンテン系、フタロシアニン系、ベンゾピラン系、インジゴ系、等の染料を使用することができる。上記有機溶剤可溶性染料として特に好ましくは、ピラゾールアゾ系、アニリノアゾ系、ピラゾロトリアゾールアゾ系、ピリドンアゾ系、アントラキノン系、アンスラピリドン系の染料である。
-(B) Organic solvent soluble dye-
The organic solvent-soluble dye in the present invention can be used without particular limitation as long as it is a dye soluble in an organic solvent, and examples thereof include conventionally known dyes for color filters. Specifically, JP-A 64-90403, JP-A 64-91102, JP-A-1-94301, JP-A-6-11614, JP 2592207, US Pat. No. 4,808. No. 5,501, US Pat. No. 5,667,920, US Pat. No. 5,059,500, JP-A-5-333207, JP-A-6-35183, JP-A-6- Examples thereof include dyes described in Japanese Patent No. 51115, Japanese Patent Laid-Open No. 6-194828, and the like. From the viewpoint of chemical structure, use dyes such as triphenylmethane, anthraquinone, benzylidene, oxonol, cyanine, phenothiazine, pyrrolopyrazole azomethine, xanthene, phthalocyanine, benzopyran, indigo, etc. be able to. Particularly preferable as the organic solvent-soluble dye are pyrazole azo dyes, anilinoazo dyes, pyrazolotriazole azo dyes, pyridone azo dyes, anthraquinone dyes, and anthrapyridone dyes.

また、水またはアルカリ現像を行うレジスト系の場合には現像によって上記アルカリ可溶性バインダーおよび/または染料を完全に除去するという観点から、酸性染料および/またはその誘導体を好適に使用できることがある。そのほか、直接染料、塩基性染料、媒染染料、酸性媒染染料、アゾイック染料、分散染料、油溶染料、食品染料、および/または、これらの誘導体等も有用に使用することができる。   In the case of a resist system that performs water or alkali development, acidic dyes and / or derivatives thereof may be preferably used from the viewpoint of completely removing the alkali-soluble binder and / or dye by development. In addition, direct dyes, basic dyes, mordant dyes, acid mordant dyes, azoic dyes, disperse dyes, oil-soluble dyes, food dyes, and / or derivatives thereof can also be used effectively.

〜酸性染料〜
上記酸性染料について説明する。上記酸性染料は、スルホン酸、カルボン酸またはフェノール性水酸基等の酸性基を有する色素であれば特に限定されないが、有機溶剤や現像液に対する溶解性、塩基性化合物との塩形成性、吸光度、硬化性組成物中の他の成分との相互作用、耐光性、耐熱性など必要とされる性能の全てを考慮して選択されるのが好ましい。
~ Acid dye ~
The acid dye will be described. The acid dye is not particularly limited as long as it is a dye having an acid group such as sulfonic acid, carboxylic acid, or phenolic hydroxyl group, but is soluble in an organic solvent or a developer, salt-forming with a basic compound, absorbance, curing. It is preferably selected in consideration of all the required performances such as interaction with other components in the composition, light resistance, heat resistance and the like.

以下、上記酸性染料の具体例を挙げる。但し、本発明においてはこれらに限定されるものではない。上記酸性染料としては、例えば、
acid alizarin violet N;
acid black 1,2,24,48;
acid blue 1,7,9,15,18,23,25,27,29,40,42,45,51,62,70,74,80,83,86,87,90,92,96,103,112,113,120,129,138,147,150,158,171,182,192,210,242,243,256,259,267,278,280,285,290,296,315,324:1,335,340;
acid chrome violet K;
acid Fuchsin;
acid green 1,3,5,9,16,25,27,50,58,63,65,80,104,105,106,109;
acid orange 6,7,8,10,12,26,50,51,52,56,62,63,64,74,75,94,95,107,108,169,173;
Hereinafter, specific examples of the acid dye will be given. However, the present invention is not limited to these. As the acid dye, for example,
acid alizarin violet N;
acid black 1, 2, 24, 48;
acid blue 1,7,9,15,18,23,25,27,29,40,42,45,51,62,70,74,80,83,86,87,90,92,96,103, 112, 113, 120, 129, 138, 147, 150, 158, 171, 182, 192, 210, 242, 243, 256, 259, 267, 278, 280, 285, 290, 296, 315, 324: 1, 335, 340;
acid chroma violet K;
acid Fuchsin;
acid green 1,3,5,9,16,25,27,50,58,63,65,80,104,105,106,109;
acid orange 6, 7, 8, 10, 12, 26, 50, 51, 52, 56, 62, 63, 64, 74, 75, 94, 95, 107, 108, 169, 173;

acid red 1,4,8,14,17,18,26,27,29,31,34,35,37,42,44,50,51,52,57,66,73,80,87,88,91,92,94,97,103,111,114,129,133,134,138,143,145,150,151,158,176,182,183,198,206,211,215,216,217,227,228,249,252,257,258,260,261,266,268,270,274,277,280,281,195,308,312,315,316,339,341,345,346,349,382,383,394,401,412,417,418,422,426;
acid violet 6B,7,9,17,19;
acid yellow 1,3,7,9,11,17,23,25,29,34,36,38,40,42,54,65,72,73,76,79,98,99,111,112,113,114,116,119,123,128,134,135,138,139,140,144,150,155,157,160,161,163,168,169,172,177,178,179,184,190,193,196,197,199,202,203,204,205,207,212,214,220,221,228,230,232,235,238,240,242,243,251;
acid red 1,4,8,14,17,18,26,27,29,31,34,35,37,42,44,50,51,52,57,66,73,80,87,88, 91, 92, 94, 97, 103, 111, 114, 129, 133, 134, 138, 143, 145, 150, 151, 158, 176, 182, 183, 198, 206, 211, 215, 216, 217, 227,228,249,252,257,258,260,261,266,268,270,274,277,280,281,195,308,312,315,316,339,341,345,346,349, 382, 383, 394, 401, 412, 417, 418, 422, 426;
acid violet 6B, 7, 9, 17, 19;
acid yellow 1,3,7,9,11,17,23,25,29,34,36,38,40,42,54,65,72,73,76,79,98,99,111,112, 113, 114, 116, 119, 123, 128, 134, 135, 138, 139, 140, 144, 150, 155, 157, 160, 161, 163, 168, 169, 172, 177, 178, 179, 184 190,193,196,197,199,202,203,204,205,207,212,214,220,221,228,230,232,235,238,240,242,243,251;

Direct Yellow 2,33,34,35,38,39,43,47,50,54,58,68,69,70,71,86,93,94,95,98,102,108,109,129,136,138,141;
Direct Orange 34,39,41,46,50,52,56,57,61,64,65,68,70,96,97,106,107;
Direct Red 79,82,83,84,91,92,96,97,98,99,105,106,107,172,173,176,177,179,181,182,184,204,207,211,213,218,220,221,222,232,233,234,241,243,246,250;
Direct Violet 47,52,54,59,60,65,66,79,80,81,82,84,89,90,93,95,96,103,104;
Direct Yellow 2,33,34,35,38,39,43,47,50,54,58,68,69,70,71,86,93,94,95,98,102,108,109,129, 136, 138, 141;
Direct Orange 34, 39, 41, 46, 50, 52, 56, 57, 61, 64, 65, 68, 70, 96, 97, 106, 107;
Direct Red 79, 82, 83, 84, 91, 92, 96, 97, 98, 99, 105, 106, 107, 172, 173, 176, 177, 179, 181, 182, 184, 204, 207, 211, 213, 218, 220, 221, 222, 232, 233, 234, 241, 243, 246, 250;
Direct Violet 47, 52, 54, 59, 60, 65, 66, 79, 80, 81, 82, 84, 89, 90, 93, 95, 96, 103, 104;

Direct Blue 57,77,80,81,84,85,86,90,93,94,95,97,98,99,100,101,106,107,108,109,113,114,115,117,119,137,149,150,153,155,156,158,159,160,161,162,163,164,166,167,170,171,172,173,188,189,190,192,193,194,196,198,199,200,207,209,210,212,213,214,222,228,229,237,238,242,243,244,245,247,248,250,251,252,256,257,259,260,268,274,275,293;
Direct Green 25,27,31,32,34,37,63,65,66,67,68,69,72,77,79,82;
Mordant Yellow 5,8,10,16,20,26,30,31,33,42,43,45,56,50,61,62,65;
Mordant Orange 3,4,5,8,12,13,14,20,21,23,24,28,29,32,34,35,36,37,42,43,47,48;
Direct Blue 57, 77, 80, 81, 84, 85, 86, 90, 93, 94, 95, 97, 98, 99, 100, 101, 106, 107, 108, 109, 113, 114, 115, 117, 119, 137, 149, 150, 153, 155, 156, 158, 159, 160, 161, 162, 163, 164, 166, 167, 170, 171, 172, 173, 188, 189, 190, 192, 193 194,196,198,199,200,207,209,210,212,213,214,222,228,229,237,238,242,243,244,245,247,248,250,251,252, 256, 257, 259, 260, 268, 274, 275, 293;
Direct Green 25, 27, 31, 32, 34, 37, 63, 65, 66, 67, 68, 69, 72, 77, 79, 82;
Modern Yellow 5, 8, 10, 16, 20, 26, 30, 31, 33, 42, 43, 45, 56, 50, 61, 62, 65;
Modern Orange 3, 4, 5, 8, 12, 13, 14, 20, 21, 23, 24, 28, 29, 32, 34, 35, 36, 37, 42, 43, 47, 48;

Mordant Red 1,2,3,4,9,11,12,14,17,18,19,22,23,24,25,26,30,32,33,36,37,38,39,41,43,45,46,48,53,56,63,71,74,85,86,88,90,94,95;
Mordant Violet 2,4,5,7,14,22,24,30,31,32,37,40,41,44,45,47,48,53,58;
Mordant Blue 2,3,7,8,9,12,13,15,16,19,20,21,22,23,24,26,30,31,32,39,40,41,43,44,48,49,53,61,74,77,83,84;
Mordant Green 1,3,4,5,10,15,19,26,29,33,34,35,41,43,53;
Food Yellow 3;
およびこれらの染料の誘導体が挙げられる。
Modern Red 1, 2, 3, 4, 9, 11, 12, 14, 17, 18, 19, 22, 23, 24, 25, 26, 30, 32, 33, 36, 37, 38, 39, 41, 43, 45, 46, 48, 53, 56, 63, 71, 74, 85, 86, 88, 90, 94, 95;
Modern Violet 2, 4, 5, 7, 14, 22, 24, 30, 31, 32, 37, 40, 41, 44, 45, 47, 48, 53, 58;
Modern Blue 2, 3, 7, 8, 9, 12, 13, 15, 16, 19, 20, 21, 22, 23, 24, 26, 30, 31, 32, 39, 40, 41, 43, 44, 48, 49, 53, 61, 74, 77, 83, 84;
Modern Green 1, 3, 4, 5, 10, 15, 19, 26, 29, 33, 34, 35, 41, 43, 53;
Food Yellow 3;
And derivatives of these dyes.

上記の酸性染料の中でも、
acid black 24;
acid blue 23,25,29,62,80,86,87,92,138,158,182,243,324:1;
acid orange 8,51,56,74,63,74;
acid red 1,4,8,34,37,42,52,57,80,97,114,143,145,151,183,217,249;
acid violet 7;
acid yellow 17,25,29,34,42,72,76,99,111,112,114,116,134,155,169,172,184,220,228,230,232,243;
Acid Green 25;
などの染料およびこれらの染料の誘導体が好ましい。
Among the above acid dyes,
acid black 24;
acid blue 23, 25, 29, 62, 80, 86, 87, 92, 138, 158, 182, 243, 324: 1;
acid orange 8, 51, 56, 74, 63, 74;
acid red 1,4,8,34,37,42,52,57,80,97,114,143,145,151,183,217,249;
acid violet 7;
acid yellow 17, 25, 29, 34, 42, 72, 76, 99, 111, 112, 114, 116, 134, 155, 169, 172, 184, 220, 228, 230, 232, 243;
Acid Green 25;
And the like and derivatives of these dyes are preferred.

また、上記以外の、アゾ系、キサンテン系、フタロシアニン系の酸性染料も好ましく、C.I.Solvent Blue 44,38,C.I.Solvent Orange45,Rhodamine B, Rhodamine 110,2,7−Naphthalenedisulfonic acid,3−[(5−chloro−2−phenoxyphenyl)hydrazono]−3,4−dihydro−4−oxo−5−[(phenylsulfonyl)amino]((3−[(5−クロロ−2−フェノキシフェニル)ヒドラゾノ]−3,4−ジヒドロ−4−オキソ−5−[(フェニルスフォニル)アミノ]),等の酸性染料、およびこれらの染料の誘導体も好適に使用することができる。また、上記以外の、アゾ系、キサンテン系、フタロシアニン系の酸性染料も好ましく、C.I.Solvent Blue 44が特に好ましい。   Other than the above, azo, xanthene and phthalocyanine acid dyes are also preferred. I. Solvent Blue 44, 38, C.I. I. Solvent Orange 45, Rhodamine B, Rhodamine 110, 2,7-Naphthalenedisulphonic acid, 3-[(5-chloro-2-phenoxyphenyl) hydrazono] -3,4-dihydro-4-oxo-5- [minyl] (3-[(5-chloro-2-phenoxyphenyl) hydrazono] -3,4-dihydro-4-oxo-5-[(phenylsulfonyl) amino]), and the like, and of these dyes Derivatives can also be preferably used, and azo, xanthene and phthalocyanine acid dyes other than those mentioned above are also preferred, and CI Solvent Blue 44 is particularly preferred.

上記酸性染料の誘導体としては、スルホン酸やカルボン酸等の酸性基を有する酸性染料の無機塩、酸性染料と含窒素化合物との塩、酸性染料のスルホンアミド体(酸性染料と含窒素化合物とによって形成されるアミド結合を有する化合物)等が使用でき、硬化性組成物溶液として溶解させることが出来るものであれば特に限定されないが、有機溶剤や現像液に対する溶解性、吸光度、硬化性組成物中の他の成分との相互作用、耐光性、耐熱性等必要とされる性能の全てを考慮して選択される。   Examples of the acid dye derivatives include inorganic salts of acid dyes having an acid group such as sulfonic acid and carboxylic acid, salts of acid dyes and nitrogen-containing compounds, and sulfonamides of acid dyes (depending on acid dyes and nitrogen-containing compounds). The compound having an amide bond formed) can be used and is not particularly limited as long as it can be dissolved as a curable composition solution. However, solubility in organic solvents and developers, absorbance, and curable composition It is selected in consideration of all the required performance such as interaction with other components, light resistance, heat resistance and the like.

上記酸性染料と含窒素化合物との塩について説明する。酸性染料と含窒素化合物との塩を形成する方法は、酸性染料の溶解性改良(有機溶剤への溶解性付与)や、耐熱性および耐光性改良に効果的な場合がある。   The salt of the said acid dye and a nitrogen-containing compound is demonstrated. The method of forming a salt of an acid dye and a nitrogen-containing compound may be effective for improving the solubility of the acid dye (providing solubility in an organic solvent) and improving heat resistance and light resistance.

酸性染料と塩を形成する含窒素化合物、および酸性染料とアミド結合を形成する含窒素化合物について説明する。
上記含窒素化合物は、塩またはアミド化合物の有機溶剤や現像液に対する溶解性、塩形成性、染料の吸光度・色価、硬化性組成物中の他の成分との相互作用、着色剤としての耐熱性および耐光性等の全てを勘案して選択される。吸光度・色価の観点のみで選択する場合には、上記含窒素化合物としてはできるだけ分子量の低いものが好ましく、中でも分子量300以下のものが好ましく、分子量280以下のものが更に好ましく、分子量250以下のものが特に好ましい。
The nitrogen-containing compound that forms a salt with the acid dye and the nitrogen-containing compound that forms an amide bond with the acid dye will be described.
The above nitrogen-containing compounds are the solubility of salts or amide compounds in organic solvents and developers, salt-forming properties, dye absorbance / color value, interaction with other components in the curable composition, and heat resistance as a colorant. Selected in consideration of all of light resistance and light resistance. When selecting only from the viewpoint of absorbance and color value, the nitrogen-containing compound is preferably as low as possible in molecular weight, more preferably having a molecular weight of 300 or less, more preferably having a molecular weight of 280 or less, and a molecular weight of 250 or less. Those are particularly preferred.

上記酸性染料と含窒素化合物との塩における、含窒素化合物/酸性染料のモル比(以下、「n」という。)について説明する。上記nは、酸性染料分子と対イオンであるアミン化合物とのモル比率を決定する値であり、酸性染料−アミン化合物の塩形成条件によって自由に選択することができる。具体的には、酸性染料中の酸の官能基数の0<n≦5の間の数値が実用上多く用いられ、有機溶剤や現像液に対する溶解性、塩形成性、吸光度、硬化性組成物中の他の成分との相互作用、耐光性、耐熱性等、必要とする性能の全てを考慮して選択される。吸光度のみの観点で選択する場合には、上記nは0<n≦4.5の間の数値をとることが好ましく、0<n≦4の間の数値をとることが更に好ましく、0<n≦3.5の間の数値をとることが特に好ましい。   The molar ratio of nitrogen-containing compound / acid dye (hereinafter referred to as “n”) in the salt of the acid dye and the nitrogen-containing compound will be described. The above n is a value that determines the molar ratio between the acid dye molecule and the amine compound that is a counter ion, and can be freely selected according to the salt forming conditions of the acid dye-amine compound. Specifically, a number between 0 <n ≦ 5 of the number of functional groups of the acid in the acid dye is practically used, and the solubility in organic solvents and developers, salt formation, absorbance, and curable composition It is selected in consideration of all necessary performance such as interaction with other components, light resistance, heat resistance and the like. When selecting from the standpoint of absorbance only, n is preferably a value between 0 <n ≦ 4.5, more preferably a value between 0 <n ≦ 4, and 0 <n. It is particularly preferable to take a numerical value between ≦ 3.5.

上述の酸性染料はその構造上に酸性基を導入したことによって、酸性染料となっているため、その置換基を変更することによって、非酸性染料とすることも可能である。
上記酸性染料は、アルカリ現像の際に好適に作用する場合もあるが、一方で過現像となってしまうこともある。このため、アルカリ現像の際に過現像となってしまう場合には、非酸性染料を好適に使用する場合もある。
Since the above-mentioned acidic dye has become an acidic dye by introducing an acidic group on its structure, it can be made a non-acidic dye by changing its substituent.
The acidic dye may act suitably during alkali development, but may sometimes be overdeveloped. For this reason, a non-acidic dye may be preferably used when overdevelopment occurs during alkali development.

上記有機溶剤可溶性染料の含有濃度について説明する。本発明の染料含有ネガ型硬化性組成物の全固形成分中における有機溶剤可溶性染料の含有濃度としては、染料によって異なるが、色の再現性と硬膜性とのバランスを図る観点から、0.5〜80質量%が好ましく、0.5〜60質量%が更に好ましく、0.5〜50質量%が特に好ましい。   The content concentration of the organic solvent-soluble dye will be described. The content concentration of the organic solvent-soluble dye in the total solid components of the dye-containing negative curable composition of the present invention varies depending on the dye, but from the viewpoint of balancing the color reproducibility and the film hardening property, it is preferably set to 0. 5-80 mass% is preferable, 0.5-60 mass% is still more preferable, 0.5-50 mass% is especially preferable.

−(C)光重合性化合物−
次に、本発明における光重合性化合物について説明する。本発明における光重合性化合物は、光重合開始剤によって重合される化合物であれば特に限定はないが、ラジカル重合性モノマーを好適に用いることができる。該ラジカル重合性モノマーとしては、少なくとも1つの付加重合可能なエチレン性二重結合を有し、且つ、常圧下で100℃以上の沸点を持つ化合物が好ましい。本発明の染料含有ネガ型硬化性組成物は、後述の光重合開始剤等と共に本発明における光重合性化合物を含有することによってネガ型に構成されている。
-(C) Photopolymerizable compound-
Next, the photopolymerizable compound in the present invention will be described. The photopolymerizable compound in the present invention is not particularly limited as long as it is a compound polymerized by a photopolymerization initiator, but a radical polymerizable monomer can be preferably used. The radical polymerizable monomer is preferably a compound having at least one addition polymerizable ethylenic double bond and having a boiling point of 100 ° C. or higher under normal pressure. The dye-containing negative curable composition of the present invention is formed into a negative type by containing the photopolymerizable compound according to the present invention together with a photopolymerization initiator described later.

上記ラジカル重合性モノマーの例としては、ポリエチレングリコールモノ(メタ)アクリレート、ポリプロピレングリコールモノ(メタ)アクリレート、フェノキシエチル(メタ)アクリレート、等の単官能のアクリレートやメタアクリレート;ポリエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、トリメチロールエタントリ(メタ)アクリレート、ネオペンチルグリコールジ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、ヘキサンジオール(メタ)アクリレート、   Examples of the radical polymerizable monomer include monofunctional acrylates and methacrylates such as polyethylene glycol mono (meth) acrylate, polypropylene glycol mono (meth) acrylate, and phenoxyethyl (meth) acrylate; polyethylene glycol di (meth) acrylate , Trimethylolethane tri (meth) acrylate, neopentyl glycol di (meth) acrylate, pentaerythritol tri (meth) acrylate, pentaerythritol tetra (meth) acrylate, dipentaerythritol penta (meth) acrylate, dipentaerythritol hexa (meth) ) Acrylate, hexanediol (meth) acrylate,

トリメチロールプロパントリ(アクリロイルオキシプロピル)エーテル、トリ(アクリロイロキシエチル)イソシアヌレート;グリセリンやトリメチロールエタン等の多官能アルコールにエチレンオキサイドやプロピレンオキサイドを付加させた後(メタ)アクリレート化したもの;特公昭48−41708号、特公昭50−6034号、特開昭51−37193号の各公報に記載されているようなウレタンアクリレート類;特開昭48−64183号、特公昭49−43191号、特公昭52−30490号各公報に記載されているポリエステルアクリレート類;エポキシ樹脂と(メタ)アクリル酸との反応生成物であるエポキシアクリレート類等の多官能のアクリレートやメタアクリレートおよびこれらの混合物を挙げることができる。更に、上記ラジカル重合性モノマーとしては、日本接着協会誌Vol.20、No.7、300〜308頁に光硬化性モノマーおよびオリゴマーとして紹介されているものが挙げられる。 Trimethylolpropane tri (acryloyloxypropyl) ether, tri (acryloyloxyethyl) isocyanurate; one obtained by adding ethylene oxide or propylene oxide to a polyfunctional alcohol such as glycerin or trimethylolethane; Urethane acrylates as described in JP-B-48-41708, JP-B-50-6034, JP-A-51-37193; JP-A-48-64183, JP-B-49-43191, Polyester acrylates described in JP-B-52-30490; polyfunctional acrylates and methacrylates such as epoxy acrylates which are reaction products of epoxy resin and (meth) acrylic acid, and mixtures thereof be able to. Furthermore, as said radically polymerizable monomer, Japan Adhesion Association Vol. 20, no. 7, pages 300 to 308 are introduced as photocurable monomers and oligomers.

本発明の染料含有ネガ型硬化性組成物中における上記光重合性化合物の含有量としては、塗膜の硬度と矩形性との向上を図る観点から、該組成物の全固形分(質量)に対して、0.1〜90質量が好ましく、1.0〜80質量%が更に好ましく、2.0〜70質量%が特に好ましい。   As content of the said photopolymerizable compound in the dye-containing negative curable composition of this invention, from a viewpoint of improving the hardness and rectangularity of a coating film, it is set to the total solid content (mass) of this composition. On the other hand, 0.1-90 mass% is preferable, 1.0-80 mass% is still more preferable, and 2.0-70 mass% is especially preferable.

−(D)光重合開始剤−
次に、本発明における光重合開始剤について説明する。上記光重合開始剤は、染料含有ネガ型硬化性組成物をネガ型に構成するために上記光重合性化合物と共に含有される。上記光重合開始剤としては、上記光重合性化合物を重合させ得るものであれば、特に限定されないが、特性、開始効率、吸収波長、入手性、コスト等の観点で選ばれるのが好ましい。
-(D) Photopolymerization initiator-
Next, the photopolymerization initiator in the present invention will be described. The said photoinitiator is contained with the said photopolymerizable compound in order to comprise a dye containing negative curable composition in a negative type. The photopolymerization initiator is not particularly limited as long as it can polymerize the photopolymerizable compound, but is preferably selected from the viewpoints of properties, initiation efficiency, absorption wavelength, availability, cost, and the like.

上記光重合開始剤としては、例えば、ハロメチルオキサジアゾール化合物およびハロメチル−s−トリアジン化合物から選択される少なくとも一つの活性ハロゲン化合物;3−アリール置換クマリン化合物、ロフィン2量体、ベンゾフェノン化合物、アセトフェノン化合物およびその誘導体、シクロペンタジエン−ベンゼン−鉄錯体およびその塩、オキシム系化合物、等が挙げられる。   Examples of the photopolymerization initiator include at least one active halogen compound selected from halomethyloxadiazole compounds and halomethyl-s-triazine compounds; 3-aryl-substituted coumarin compounds, lophine dimers, benzophenone compounds, acetophenones Examples thereof include compounds and derivatives thereof, cyclopentadiene-benzene-iron complexes and salts thereof, and oxime compounds.

上記ハロメチルオキサジアゾール化合物である活性ハロゲン化合物としては、特公昭57−6096号公報に記載の2−ハロメチル−5−ビニル−1,3,4−オキサジアゾール化合物等や、2−トリクロロメチル−5−スチリル−1,3,4−オキサジアゾール、2−トリクロロメチル−5−(p−シアノスチリル)−1,3,4−オキサジアゾール、2−トリクロロメチル−5−(p−メトキシスチリル)−1,3,4−オキサジアゾール、等が挙げられる。   Examples of the active halogen compound that is the halomethyloxadiazole compound include 2-halomethyl-5-vinyl-1,3,4-oxadiazole compounds described in JP-B-57-6096, 2-trichloromethyl, and the like. -5-styryl-1,3,4-oxadiazole, 2-trichloromethyl-5- (p-cyanostyryl) -1,3,4-oxadiazole, 2-trichloromethyl-5- (p-methoxy) Styryl) -1,3,4-oxadiazole, and the like.

上記ハロメチル−s−トリアジン系化合物である活性ハロゲン化合物としては、特公昭59−1281号公報に記載のビニル−ハロメチル−s−トリアジン化合物、特開昭53−133428号公報に記載の2−(ナフト−1−イル)−4,6−ビス−ハロメチル−s−トリアジン化合物および4−(p−アミノフェニル)−2,6−ジ−ハロメチル−s−トリアジン化合物、等が挙げられる。   Examples of the active halogen compound which is the halomethyl-s-triazine compound include vinyl-halomethyl-s-triazine compounds described in Japanese Patent Publication No. 59-1281 and 2- (naphtho) described in JP-A-53-133428. -1-yl) -4,6-bis-halomethyl-s-triazine compound and 4- (p-aminophenyl) -2,6-di-halomethyl-s-triazine compound.

上記光重合開始剤として、具体的には、2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−p−メトキシスチリル−s−トリアジン、2,6−ビス(トリクロロメチル)−4−(3,4−メチレンジオキシフェニル)−1,3,5−トリアジン、2,6−ビス(トリクロロメチル)−4−(4−メトキシフェニル)−1,3,5−トリアジン、2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−(1−p−ジメチルアミノフェニル−1,3−ブタジエニル)−s−トリアジン、2−トリクロロメチル−4−アミノ−6−p−メトキシスチリル−s−トリアジン、2−(ナフト−1−イル)−4,6−ビス−トリクロロメチル−s−トリアジン、2−(4−メトキシ−ナフト−1−イル)−4,6−ビス−トリクロロメチル−s−トリアジン、2−(4−エトキシ−ナフト−1−イル)−4,6−ビス−トリクロロメチル−s−トリアジン、2−(4−ブトキシ−ナフト−1−イル)−4,6−ビス−トリクロロメチル−s−トリアジン、2−〔4−(2−メトキシエチル)−ナフト−1−イル〕−4,6−ビス−トリクロロメチル−s−トリアジン、   Specific examples of the photopolymerization initiator include 2,4-bis (trichloromethyl) -6-p-methoxystyryl-s-triazine and 2,6-bis (trichloromethyl) -4- (3,4- Methylenedioxyphenyl) -1,3,5-triazine, 2,6-bis (trichloromethyl) -4- (4-methoxyphenyl) -1,3,5-triazine, 2,4-bis (trichloromethyl) -6- (1-p-dimethylaminophenyl-1,3-butadienyl) -s-triazine, 2-trichloromethyl-4-amino-6-p-methoxystyryl-s-triazine, 2- (naphth-1- Yl) -4,6-bis-trichloromethyl-s-triazine, 2- (4-methoxy-naphth-1-yl) -4,6-bis-trichloromethyl-s-triazine, 2- (4-ethoxy) -Naphth-1-yl) -4,6-bis-trichloromethyl-s-triazine, 2- (4-butoxy-naphth-1-yl) -4,6-bis-trichloromethyl-s-triazine, 2- [4- (2-methoxyethyl) -naphth-1-yl] -4,6-bis-trichloromethyl-s-triazine,

2−〔4−(2−エトキシエチル)−ナフト−1−イル〕−4,6−ビス−トリクロロメチル−s−トリアジン、2−〔4−(2−ブトキシエチル)−ナフト−1−イル〕−4,6−ビス−トリクロロメチル−s−トリアジン、2−(2−メトキシ−ナフト−1−イル)−4,6−ビス−トリクロロメチル−s−トリアジン、2−(6−メトキシ−5−メチル−ナフト−2−イル)−4,6−ビス−トリクロロメチル−s−トリアジン、2−(6−メトキシ−ナフト−2−イル)−4,6−ビス−トリクロロメチル−s−トリアジン、2−(5−メトキシ−ナフト−1−イル)−4,6−ビス−トリクロロメチル−s−トリアジン、2−(4,7−ジメトキシ−ナフト−1−イル)−4,6−ビス−トリクロロメチル−s−トリアジン、2−(6−エトキシ−ナフト−2−イル)−4,6−ビス−トリクロロメチル−s−トリアジン、2−(4,5−ジメトキシ−ナフト−1−イル)−4,6−ビス−トリクロロメチル−s−トリアジン、 2- [4- (2-Ethoxyethyl) -naphth-1-yl] -4,6-bis-trichloromethyl-s-triazine, 2- [4- (2-butoxyethyl) -naphth-1-yl] -4,6-bis-trichloromethyl-s-triazine, 2- (2-methoxy-naphth-1-yl) -4,6-bis-trichloromethyl-s-triazine, 2- (6-methoxy-5- Methyl-naphth-2-yl) -4,6-bis-trichloromethyl-s-triazine, 2- (6-methoxy-naphth-2-yl) -4,6-bis-trichloromethyl-s-triazine, 2 -(5-Methoxy-naphth-1-yl) -4,6-bis-trichloromethyl-s-triazine, 2- (4,7-dimethoxy-naphth-1-yl) -4,6-bis-trichloromethyl -S-triazine, 2- 6-Ethoxy-naphth-2-yl) -4,6-bis-trichloromethyl-s-triazine, 2- (4,5-dimethoxy-naphth-1-yl) -4,6-bis-trichloromethyl-s -Triazine,

4−〔p−N,N−ジ(エトキシカルボニルメチル)アミノフェニル〕−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−〔o−メチル−p−N,N−ジ(エトキシカルボニルメチル)アミノフェニル〕−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−〔p−N,N−ジ(クロロエチル)アミノフェニル〕−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−〔o−メチル−p−N,N−ジ(クロロエチル)アミノフェニル〕−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−(p−N−クロロエチルアミノフェニル)−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−(p−N−エトキシカルボニルメチルアミノフェニル)−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−〔p−N,N−ジ(フェニル)アミノフェニル〕−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−(p−N−クロロエチルカルボニルアミノフェニル)−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、 4- [pN, N-di (ethoxycarbonylmethyl) aminophenyl] -2,6-di (trichloromethyl) -s-triazine, 4- [o-methyl-pN, N-di (ethoxycarbonyl) Methyl) aminophenyl] -2,6-di (trichloromethyl) -s-triazine, 4- [pN, N-di (chloroethyl) aminophenyl] -2,6-di (trichloromethyl) -s-triazine 4- [o-methyl-pN, N-di (chloroethyl) aminophenyl] -2,6-di (trichloromethyl) -s-triazine, 4- (pN-chloroethylaminophenyl) -2 , 6-Di (trichloromethyl) -s-triazine, 4- (p-N-ethoxycarbonylmethylaminophenyl) -2,6-di (trichloromethyl) -s-triazine, 4- [p-N, -Di (phenyl) aminophenyl] -2,6-di (trichloromethyl) -s-triazine, 4- (pN-chloroethylcarbonylaminophenyl) -2,6-di (trichloromethyl) -s-triazine ,

4−〔p−N−(p−メトキシフェニル)カルボニルアミノフェニル〕−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−〔m−N,N−ジ(エトキシカルボニルメチル)アミノフェニル〕−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−〔m−ブロモ−p−N,N−ジ(エトキシカルボニルメチル)アミノフェニル〕−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−〔m−クロロ−p−N,N−ジ(エトキシカルボニルメチル)アミノフェニル〕−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−〔m−フロロ−p−N,N−ジ(エトキシカルボニルメチル)アミノフェニル〕−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−〔o−ブロモ−p−N,N−ジ(エトキシカルボニルメチル)アミノフェニル〕−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−〔o−クロロ−p−N,N−ジ(エトキシカルボニルメチル)アミノフェニル〕−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、 4- [pN- (p-methoxyphenyl) carbonylaminophenyl] -2,6-di (trichloromethyl) -s-triazine, 4- [mN, N-di (ethoxycarbonylmethyl) aminophenyl] -2,6-di (trichloromethyl) -s-triazine, 4- [m-bromo-pN, N-di (ethoxycarbonylmethyl) aminophenyl] -2,6-di (trichloromethyl) -s- Triazine, 4- [m-chloro-pN, N-di (ethoxycarbonylmethyl) aminophenyl] -2,6-di (trichloromethyl) -s-triazine, 4- [m-fluoro-pN, N-di (ethoxycarbonylmethyl) aminophenyl] -2,6-di (trichloromethyl) -s-triazine, 4- [o-bromo-pN, N-di (ethoxycarbonylmethyl) Minophenyl] -2,6-di (trichloromethyl) -s-triazine, 4- [o-chloro-pN, N-di (ethoxycarbonylmethyl) aminophenyl] -2,6-di (trichloromethyl)- s-triazine,

4−〔o−フロロ−p−N,N−ジ(エトキシカルボニルメチル)アミノフェニル〕−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−〔o−ブロモ−p−N,N−ジ(クロロエチル)アミノフェニル〕−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−〔o−クロロ−p−N,N−ジ(クロロエチル)アミノフェニル〕−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−〔o−フロロ−p−N,N−ジ(クロロエチル)アミノフェニル〕−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−〔m−ブロモ−p−N,N−ジ(クロロエチル)アミノフェニル〕−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−〔m−クロロ−p−N,N−ジ(クロロエチル)アミノフェニル〕−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、 4- [o-fluoro-pN, N-di (ethoxycarbonylmethyl) aminophenyl] -2,6-di (trichloromethyl) -s-triazine, 4- [o-bromo-pN, N- Di (chloroethyl) aminophenyl] -2,6-di (trichloromethyl) -s-triazine, 4- [o-chloro-pN, N-di (chloroethyl) aminophenyl] -2,6-di (trichloro Methyl) -s-triazine, 4- [o-fluoro-p-N, N-di (chloroethyl) aminophenyl] -2,6-di (trichloromethyl) -s-triazine, 4- [m-bromo-p -N, N-di (chloroethyl) aminophenyl] -2,6-di (trichloromethyl) -s-triazine, 4- [m-chloro-pN, N-di (chloroethyl) aminophenyl] -2, 6-di (trick Romechiru) -s- triazine,

4−〔m−フロロ−p−N,N−ジ(クロロエチル)アミノフェニル〕−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−(m−ブロモ−p−N−エトキシカルボニルメチルアミノフェニル)−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−(m−クロロ−p−N−エトキシカルボニルメチルアミノフェニル)−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−(m−フロロ−p−N−エトキシカルボニルメチルアミノフェニル)−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−(o−ブロモ−p−N−エトキシカルボニルメチルアミノフェニル)−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−(o−クロロ−p−N−エトキシカルボニルメチルアミノフェニル)−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、 4- [m-Fluoro-pN, N-di (chloroethyl) aminophenyl] -2,6-di (trichloromethyl) -s-triazine, 4- (m-bromo-pN-ethoxycarbonylmethylamino) Phenyl) -2,6-di (trichloromethyl) -s-triazine, 4- (m-chloro-pN-ethoxycarbonylmethylaminophenyl) -2,6-di (trichloromethyl) -s-triazine, 4 -(M-Fluoro-pN-ethoxycarbonylmethylaminophenyl) -2,6-di (trichloromethyl) -s-triazine, 4- (o-bromo-pN-ethoxycarbonylmethylaminophenyl) -2 , 6-Di (trichloromethyl) -s-triazine, 4- (o-chloro-pN-ethoxycarbonylmethylaminophenyl) -2,6-di (trichloro) Methyl) -s-triazine,

4−(o−フロロ−p−N−エトキシカルボニルメチルアミノフェニル)−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−(m−ブロモ−p−N−クロロエチルアミノフェニル)−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−(m−クロロ−p−N−クロロエチルアミノフェニル)−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−(m−フロロ−p−N−クロロエチルアミノフェニル)−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−(o−ブロモ−p−N−クロロエチルアミノフェニル)−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−(o−クロロ−p−N−クロロエチルアミノフェニル)−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−(o−フロロ−p−N−クロロエチルアミノフェニル)−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン等が挙げられる。 4- (o-Fluoro-pN-ethoxycarbonylmethylaminophenyl) -2,6-di (trichloromethyl) -s-triazine, 4- (m-bromo-pN-chloroethylaminophenyl) -2 , 6-Di (trichloromethyl) -s-triazine, 4- (m-chloro-pN-chloroethylaminophenyl) -2,6-di (trichloromethyl) -s-triazine, 4- (m-fluoro -PN-chloroethylaminophenyl) -2,6-di (trichloromethyl) -s-triazine, 4- (o-bromo-pN-chloroethylaminophenyl) -2,6-di (trichloromethyl) ) -S-triazine, 4- (o-chloro-pN-chloroethylaminophenyl) -2,6-di (trichloromethyl) -s-triazine, 4- (o-fluoro-pN-chloro) Ethylamino) -2,6-di (trichloromethyl) -s-triazine.

その他、上記光重合開始剤としては、市販品の、みどり化学(株)製のTAZシリーズ(例えば、TAZ−107、TAZ−110、TAZ−104、TAZ−109、TAZ−140、TAZ−204、TAZ−113、TAZ−123)、PANCHIM社製のTシリーズ(例えば、T−OMS、T−BMP、T−R、T−B)、チバ・スペシャルティ・ケミカルズ(株)製のイルガキュアシリーズ(例えば、イルガキュア651、イルガキュア184、イルガキュア500、イルガキュア1000、イルガキュア149、イルガキュア819、イルガキュア261)、ダロキュアシリーズ(例えばダロキュア1173)、4,4'−ビス(ジエチルアミノ)−ベンゾフェノン、2−(O−ベンゾイルオキシム)−1−[4−(フェニルチオ)フェニル]−1,2−オクタンジオン、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−4−モルホリノブチロフェノン、2,2−ジメトキシ−2−フェニルアセトフェノン、   In addition, as the above photopolymerization initiator, commercially available TAZ series (for example, TAZ-107, TAZ-110, TAZ-104, TAZ-109, TAZ-140, TAZ-204, manufactured by Midori Chemical Co., Ltd.) TAZ-113, TAZ-123), T series made by PANCHIM (for example, T-OMS, T-BMP, T-R, TB), Irgacure series made by Ciba Specialty Chemicals (for example, , Irgacure 651, Irgacure 184, Irgacure 500, Irgacure 1000, Irgacure 149, Irgacure 819, Irgacure 261), Darocur series (eg Darocur 1173), 4,4′-bis (diethylamino) -benzophenone, 2- (O-benzoyl) Oxime) -1- [4- (phenylthio) E) phenyl] -1,2-octanedione, 2-benzyl-2-dimethylamino-4-morpholinobutyrophenone, 2,2-dimethoxy-2-phenylacetophenone,

2−(o−クロルフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾリル二量体、2−(o−フルオロフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾリル二量体、2−(o−メトキシフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾリル二量体、2−(p−メトキシフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾリル二量体、2−(p−ジメトキシフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾリル二量体、2−(2,4−ジメトキシフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾリル二量体、2−(p−メチルメルカプトフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾリル二量体、ベンゾインイソプロピルエーテル、等も有用に用いられる。 2- (o-chlorophenyl) -4,5-diphenylimidazolyl dimer, 2- (o-fluorophenyl) -4,5-diphenylimidazolyl dimer, 2- (o-methoxyphenyl) -4,5 -Diphenylimidazolyl dimer, 2- (p-methoxyphenyl) -4,5-diphenylimidazolyl dimer, 2- (p-dimethoxyphenyl) -4,5-diphenylimidazolyl dimer, 2- (2, 4-Dimethoxyphenyl) -4,5-diphenylimidazolyl dimer, 2- (p-methylmercaptophenyl) -4,5-diphenylimidazolyl dimer, benzoin isopropyl ether, and the like are also useful.

これら光重合開始剤には、増感剤や光安定剤を併用することができる。
その具体例として、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾイン、9−フルオレノン、2−クロロ−9−フルオレノン、2−メチル−9−フルオレノン、9−アントロン、2−ブロモ−9−アントロン、2−エチル−9−アントロン、9,10−アントラキノン、2−エチル−9,10−アントラキノン、2−t−ブチル−9,10−アントラキノン、2,6−ジクロロ−9,10−アントラキノン、キサントン、2−メチルキサントン、2−メトキシキサントン、2−メトキシキサントン、チオキサントン、2,4−ジエチルチオキサントン、アクリドン、10−ブチル−2−クロロアクリドン、ベンジル、ジベンジルアセトン、p−(ジメチルアミノ)フェニルスチリルケトン、p−(ジメチルアミノ)フェニル−p−メチルスチリルケトン、ベンゾフェノン、p−(ジメチルアミノ)ベンゾフェノン(またはミヒラーケトン)、p−(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン、ベンゾアントロン等や特公昭51−48516号公報記載のベンゾチアゾール系化合物等や、チヌビン1130、同400等が挙げられる。
A sensitizer and a light stabilizer can be used in combination with these photopolymerization initiators.
Specific examples thereof include benzoin, benzoin methyl ether, benzoin, 9-fluorenone, 2-chloro-9-fluorenone, 2-methyl-9-fluorenone, 9-anthrone, 2-bromo-9-anthrone, 2-ethyl-9. Anthrone, 9,10-anthraquinone, 2-ethyl-9,10-anthraquinone, 2-t-butyl-9,10-anthraquinone, 2,6-dichloro-9,10-anthraquinone, xanthone, 2-methylxanthone, 2-methoxyxanthone, 2-methoxyxanthone, thioxanthone, 2,4-diethylthioxanthone, acridone, 10-butyl-2-chloroacridone, benzyl, dibenzylacetone, p- (dimethylamino) phenylstyryl ketone, p- ( Dimethylamino) phenyl-p-methyls Rilketone, benzophenone, p- (dimethylamino) benzophenone (or Michler's ketone), p- (diethylamino) benzophenone, benzoanthrone, benzothiazole compounds described in Japanese Patent Publication No. 51-48516, tinuvin 1130, 400, etc. Can be mentioned.

本発明の染料含有ネガ型硬化性組成物には、上述の光重合開始剤のほかに他の公知の光重合開始剤を使用することができる。
具体的には、米国特許第2,367,660号明細書に開示されているビシナールポリケトルアルドニル化合物、米国特許第2,367,661号および第2,367,670号明細書に開示されているα−カルボニル化合物、米国特許第2,448,828号明細書に開示されているアシロインエーテル、米国特許第2,722,512号明細書に開示されているα−炭化水素で置換された芳香族アシロイン化合物、米国特許第3,046,127号および第2,951,758号明細書に開示されている多核キノン化合物、米国特許第3,549,367号明細書に開示されているトリアーリルイミダゾールダイマー/p−アミノフェニルケトンの組合せ、特公昭51−48516号公報に開示されているベンゾチアゾール系化合物/トリハロメチール−s−トリアジン系化合物、等を挙げることができる。
In addition to the above-mentioned photopolymerization initiator, other known photopolymerization initiators can be used in the dye-containing negative curable composition of the present invention.
Specifically, the vicinal polykettle aldonyl compound disclosed in US Pat. No. 2,367,660, disclosed in US Pat. Nos. 2,367,661 and 2,367,670. Substituted α-carbonyl compounds, acyloin ethers disclosed in US Pat. No. 2,448,828, α-hydrocarbons disclosed in US Pat. No. 2,722,512 Aromatic acyloin compounds, polynuclear quinone compounds disclosed in US Pat. Nos. 3,046,127 and 2,951,758, disclosed in US Pat. No. 3,549,367. Triaryl imidazole dimer / p-aminophenyl ketone combination, benzothiazole compounds / trines disclosed in Japanese Patent Publication No. 51-48516 And halomethyl-s-triazine compounds.

光重合開始剤の総使用量としては、上記光重合性化合物(ラジカル重合性モノマー)固形分(質量)に対して、0.01質量%〜50質量%が好ましく、1質量%〜30質量%が更に好ましく、1質量%〜20質量%が特に好ましい。上記使用量が0.01〜50質量%の範囲内にあると、重合が進み易く、分子量が低くなって膜強度が弱くなるのを防止することができる。   The total amount of the photopolymerization initiator used is preferably 0.01% by mass to 50% by mass with respect to the solid content (mass) of the photopolymerizable compound (radical polymerizable monomer), and 1% by mass to 30% by mass. Is more preferable, and 1% by mass to 20% by mass is particularly preferable. When the use amount is in the range of 0.01 to 50% by mass, the polymerization can easily proceed, and the molecular weight can be prevented from being lowered and the film strength can be prevented from being weakened.

−(E)有機溶剤−
本発明の染料含有ネガ型硬化性組成物は有機溶剤を少なくとも1種含む。上記有機溶剤は、各成分の溶解性や本発明の染料含有ネガ型硬化性組成物の塗布性を満足すれば基本的に特に限定されず、特に染料、バインダーの溶解性、塗布性、および、安全性を考慮して選ばれることが好ましい。また、本発明の染料含有ネガ型硬化性組成物を調製する際、該組成物は、少なくとも2種類の有機溶剤を含むことが好ましい。
-(E) Organic solvent-
The dye-containing negative curable composition of the present invention contains at least one organic solvent. The organic solvent is not particularly limited as long as it satisfies the solubility of each component and the applicability of the dye-containing negative curable composition of the present invention, in particular, the solubility of the dye and binder, applicability, and It is preferable to select in consideration of safety. Moreover, when preparing the dye-containing negative curable composition of this invention, it is preferable that this composition contains an at least 2 type of organic solvent.

上記有機溶剤としては、エステル類(例えば、酢酸エチル、酢酸−n−ブチル、酢酸イソブチル、ギ酸アミル、酢酸イソアミル、酢酸イソブチル、プロピオン酸ブチル、酪酸イソプロピル、酪酸エチル、酪酸ブチル、アルキルエステル類、乳酸メチル、乳酸エチル、オキシ酢酸メチル、オキシ酢酸エチル、オキシ酢酸ブチル、メトキシ酢酸メチル、メトキシ酢酸エチル、メトキシ酢酸ブチル、エトキシ酢酸メチル、エトキシ酢酸エチル等);   Examples of the organic solvent include esters (for example, ethyl acetate, n-butyl acetate, isobutyl acetate, amyl formate, isoamyl acetate, isobutyl acetate, butyl propionate, isopropyl butyrate, ethyl butyrate, butyl butyrate, alkyl esters, and lactic acid. Methyl, ethyl lactate, methyl oxyacetate, ethyl oxyacetate, butyl oxyacetate, methyl methoxyacetate, ethyl methoxyacetate, butyl methoxyacetate, methyl ethoxyacetate, ethyl ethoxyacetate);

3−オキシプロピオン酸メチル、3−オキシプロピオン酸エチル等の3−オキシプロピオン酸アルキルエステル類(例えば、3−メトキシプロピオン酸メチル、3−メトキシプロピオン酸エチル、3−エトキシプロピオン酸メチル、3−エトキシプロピオン酸エチル、等);2−オキシプロピオン酸メチル、2−オキシプロピオン酸エチル、2−オキシプロピオン酸プロピル等の2−オキシプロピオン酸アルキルエステル類(例えば、2−メトキシプロピオン酸メチル、2−メトキシプロピオン酸エチル、2−メトキシプロピオン酸プロピル、2−エトキシプロピオン酸メチル、2−エトキシプロピオン酸エチル、2−オキシ−2−メチルプロピオン酸メチル、2−オキシ−2−メチルプロピオン酸エチル、2−メトキシ−2−メチルプロピオン酸メチル、2−エトキシ−2−メチルプロピオン酸エチル等);ピルビン酸メチル、ピルビン酸エチル、ピルビン酸プロピル、アセト酢酸メチル、アセト酢酸エチル、2−オキソブタン酸メチル、2−オキソブタン酸エチル、等; 3-oxypropionic acid alkyl esters such as methyl 3-oxypropionate and ethyl 3-oxypropionate (for example, methyl 3-methoxypropionate, ethyl 3-methoxypropionate, methyl 3-ethoxypropionate, 3-ethoxy Ethyl 2-propionate, etc .; 2-oxypropionic acid alkyl esters such as methyl 2-oxypropionate, ethyl 2-oxypropionate, propyl 2-oxypropionate (for example, methyl 2-methoxypropionate, 2-methoxy Ethyl propionate, propyl 2-methoxypropionate, methyl 2-ethoxypropionate, ethyl 2-ethoxypropionate, methyl 2-oxy-2-methylpropionate, ethyl 2-oxy-2-methylpropionate, 2-methoxy -2-methylpropi Methyl pyrate, ethyl 2-ethoxy-2-methylpropionate, etc.); methyl pyruvate, ethyl pyruvate, propyl pyruvate, methyl acetoacetate, ethyl acetoacetate, methyl 2-oxobutanoate, ethyl 2-oxobutanoate, etc. ;

エーテル類(例えば、ジエチレングリコールジメチルエーテル、テトラヒドロフラン、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、メチルセロソルブアセテート、エチルセロソルブアセテート、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノプロピルエーテルアセテート、等); Ethers (for example, diethylene glycol dimethyl ether, tetrahydrofuran, ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether, methyl cellosolve acetate, ethyl cellosolve acetate, diethylene glycol monomethyl ether, diethylene glycol monoethyl ether, diethylene glycol monobutyl ether, propylene glycol monomethyl ether, propylene glycol monomethyl Ether acetate, propylene glycol monoethyl ether acetate, propylene glycol monopropyl ether acetate, etc.);

ケトン類(例えば、メチルエチルケトン、シクロヘキサノン、2−ヘプタノン、3−ヘプタノン等);芳香族炭化水素類(例えば、トルエン、キシレン等)等が好ましい。 Ketones (for example, methyl ethyl ketone, cyclohexanone, 2-heptanone, 3-heptanone, etc.); aromatic hydrocarbons (for example, toluene, xylene, etc.) are preferred.

上述の通りこれらの有機溶剤は、染料およびアルカリ可溶性樹脂の溶解性、塗布面状の改良などの観点から、2種以上を混合してもよく、特に、上記3−エトキシプロピオン酸メチル、3−エトキシプロピオン酸エチル、エチルセロソルブアセテート、乳酸エチル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、酢酸ブチル、3−メトキシプロピオン酸メチル、2−ヘプタノン、シクロヘキサノン、エチルカルビトールアセテート、ブチルカルビトールアセテート、プロピレングリコールメチルエーテル、およびプロピレングリコールメチルエーテルアセテートから選択される2種以上で構成される混合溶液が好適に用いられる。   As described above, these organic solvents may be used in admixture of two or more kinds from the viewpoints of solubility of dyes and alkali-soluble resins, improvement of the coated surface, and the like. In particular, the above-mentioned methyl 3-ethoxypropionate, 3- Ethyl ethoxypropionate, ethyl cellosolve acetate, ethyl lactate, diethylene glycol dimethyl ether, butyl acetate, methyl 3-methoxypropionate, 2-heptanone, cyclohexanone, ethyl carbitol acetate, butyl carbitol acetate, propylene glycol methyl ether, and propylene glycol methyl A mixed solution composed of two or more selected from ether acetate is preferably used.

−(F)高級脂肪酸およびその誘導体−
上記高級脂肪酸およびその誘導体(本発明における高級脂肪酸)について説明する。上記高級脂肪酸とは、「R−COOH(R:CH3(CH2m)で表される鎖式モノカルボン酸であり、一分子中の総炭素数が10以上のものを意味する。炭素数が10未満の鎖式モノカルボン酸であると、膜の硬化が十分でないため本発明の効果を十分に発揮することができない。本発明における高級脂肪酸としては、1分子中の総炭素数が11以上のものが好ましく、13以上のものが更に好ましい。上記総炭素数が11以上であると、膜の硬化促進に特に有効である。尚、本発明における高級脂肪酸が誘導体の場合、「総炭素数」に誘導体部の炭素数は含まれない。
-(F) Higher fatty acids and their derivatives-
The higher fatty acid and its derivative (higher fatty acid in the present invention) will be described. The higher fatty acid is a chain monocarboxylic acid represented by “R—COOH (R: CH 3 (CH 2 ) m )” and means a compound having a total carbon number of 10 or more in one molecule. When the number of the chain monocarboxylic acid is less than 10, the effect of the present invention cannot be sufficiently exerted because the film is not sufficiently cured. Those having 11 or more are preferred, and those having 13 or more are more particularly effective when the total carbon number is 11 or more in promoting the hardening of the film. The “carbon number” does not include the carbon number of the derivative portion.

本発明における高級脂肪酸としては、上述の条件を満たす高級脂肪酸またはその誘導体であれば特に限定はなく用いることができ、具体的には、ウンデシル酸、ラウリン酸、トリデシル酸、ミリスチン酸、トリデシル酸、ペンタデシル酸、ヘプタデシル酸、パルミチン酸、ステアリン酸、ノナデカン酸、アラキン酸、ベヘン酸、リグノセリン酸、セロチン酸、ヘプタコ酸、モンタン酸、メリシン酸、および、ラクセル酸、等の飽和脂肪酸並びにその誘導体;ウンデシレン酸、オレイン酸、エライジン酸、セトレイン酸、エルカ酸、ブラシジン酸、ソルビン酸、リノール酸、リノレン酸、アラキドン酸、プロピオール酸、および、ステアロール酸、パルミトレイン酸、リンデル酸、cis−6−ヘキサデセン酸等の不飽和脂肪酸並びにその誘導体;等が挙げられる。上記誘導体に関しては、公知のエステル、アミド、ハロゲン化アシル、ケテンダイマー、アミン等の他、一般の脂肪酸に関する著書や辞典に記載されている誘導体であれば特に限定なく用いることができる。上述の中でも、本発明における高級脂肪酸としては、パルミチン酸、ステアリン酸、ベヘン酸、アラキン酸、ミリスチン酸、および、これらの誘導体から選ばれる化合物が好ましい。   As the higher fatty acid in the present invention, any higher fatty acid or derivative thereof that satisfies the above-mentioned conditions can be used without particular limitation. Specifically, undecyl acid, lauric acid, tridecylic acid, myristic acid, tridecylic acid, Saturated fatty acids such as pentadecylic acid, heptadecylic acid, palmitic acid, stearic acid, nonadecanoic acid, arachidic acid, behenic acid, lignoceric acid, serotic acid, heptacoic acid, montanic acid, melicic acid, and lactelic acid, and their derivatives; undecylene Acid, oleic acid, elaidic acid, celetic acid, erucic acid, brassic acid, sorbic acid, linoleic acid, linolenic acid, arachidonic acid, propiolic acid, and stearolic acid, palmitoleic acid, lindelic acid, cis-6-hexadecenoic acid Unsaturated fatty acids and their derivatives ; And the like. With respect to the above derivatives, any known esters, amides, acyl halides, ketene dimers, amines, etc., as well as derivatives described in books and dictionaries related to general fatty acids can be used without particular limitation. Among the above, the higher fatty acid in the present invention is preferably a compound selected from palmitic acid, stearic acid, behenic acid, arachidic acid, myristic acid, and derivatives thereof.

本発明における高級脂肪酸としては、膜の硬化促進および矩形性の向上を図る観点から、特に、1分子当たりの総炭素数が11以上の飽和脂肪酸またはその誘導体、および、1分子当たりの総炭素数が11以上の不飽和脂肪酸またはその誘導体が好ましい。これらは、単独でもよいし2種以上を併用してもよいが、更なる膜の硬化と基板との密着性の観点から、1分子当たりの総炭素数が11以上の飽和脂肪酸またはその誘導体と、1分子当たりの総炭素数が11以上の不飽和脂肪酸またはその誘導体と、を併用するのが好ましい。
このような組み合わせとしては、具体的に、ベヘン酸アミドとステアリン酸アミドとの組み合わせ、パルミチン酸とパルミトレイン酸との組み合わせ、ステアリン酸とオレイン酸との組み合わせ、ラウリン酸とリンデル酸との組み合わせ、パリミチン酸とパルミチン酸メチルとcis−6−ヘキサデセン酸との組み合わせ、等が挙げられる。
この場合、飽和脂肪酸(x)と不飽和脂肪酸(y)とのモル比(x/y)は、膜の硬化性の向上、基板への密着性、およびレジストへの相溶性の観点から、95/5〜10/90が好ましく、80/20〜50/50が更に好ましい。
As the higher fatty acid in the present invention, from the viewpoint of promoting the hardening of the film and improving the rectangularity, in particular, a saturated fatty acid having 11 or more carbon atoms per molecule or a derivative thereof, and the total number of carbon atoms per molecule. Are preferably 11 or more unsaturated fatty acids or derivatives thereof. These may be used singly or in combination of two or more. From the viewpoint of further film curing and adhesion to the substrate, saturated fatty acids having 11 or more total carbon atoms per molecule or derivatives thereof It is preferable to use an unsaturated fatty acid having 11 or more carbon atoms per molecule or a derivative thereof in combination.
Specific examples of such combinations include behenamide and stearamide, palmitic acid and palmitoleic acid, stearic acid and oleic acid, lauric acid and Linderic acid, parimitin Examples include a combination of an acid, methyl palmitate and cis-6-hexadecenoic acid.
In this case, the molar ratio (x / y) between the saturated fatty acid (x) and the unsaturated fatty acid (y) is 95 from the viewpoint of improving the curability of the film, adhesion to the substrate, and compatibility with the resist. / 5 to 10/90 is preferable, and 80/20 to 50/50 is more preferable.

本発明の染料含有ネガ型硬化性組成物中における、本発明における高級脂肪酸の含有量は、全固形分に対して、膜の硬化性の向上を図る観点から0.01〜40質量%であることが好ましく、更に、基板への密着性やレジストへの相溶性の観点から、0.1〜25質量%であることが好ましく、0.15〜15質量%であることが特に好ましい。   In the dye-containing negative curable composition of the present invention, the content of the higher fatty acid in the present invention is 0.01 to 40% by mass with respect to the total solid content from the viewpoint of improving the curability of the film. Further, from the viewpoint of adhesion to a substrate and compatibility with a resist, the content is preferably 0.1 to 25% by mass, and particularly preferably 0.15 to 15% by mass.

−(G)界面活性剤−
本発明の染料含有ネガ型硬化性組成物は、上記高級脂肪酸と共に界面活性剤を含む。上記界面活性剤としては、ノニオン系界面活性剤、カチオン系界面活性剤、アニオン系界面活性剤、両性系面活性剤の他いずれの界面活性剤をも使用することができる。また、上記界面活性剤は、二種以上を併用してもよい。
-(G) Surfactant-
The dye-containing negative curable composition of the present invention contains a surfactant together with the higher fatty acid. As the surfactant, any surfactant other than a nonionic surfactant, a cationic surfactant, an anionic surfactant, and an amphoteric surfactant can be used. Moreover, the said surfactant may use 2 or more types together.

上記ノニオン系界面活性剤の例としては、ポリオキシエチレンアルキルエーテル、ポリオキシエチレンアリールエーテル、ポリオキシエチレンアルキルアリールエーテル、その他のポリオキシエチレン誘導体オキシエチレン、オキシプロピレンブロックコポリマー、ソルビタン脂肪酸エステル、ポリオキシエチレンソルビタン脂肪酸エステル、グリセリン脂肪酸エステル、ポリオキシエチレン脂肪酸エステル、ポリオキシエチレンアルキルアミン、砂糖、または市販品の「トロイゾルS366」(トロイケミカル製)の他、「エマルゲン103」、「エマルゲン220」といったポリオキシエチレンアルキルエーテル類(花王(株)製);「レオドールSP−L10」、「エマゾールO−10V」などのソルビタン脂肪酸エステル(花王(株)製);「ニューコール1205」(日本乳化剤(株)製)などが挙げられる。   Examples of the nonionic surfactant include polyoxyethylene alkyl ether, polyoxyethylene aryl ether, polyoxyethylene alkyl aryl ether, other polyoxyethylene derivative oxyethylene, oxypropylene block copolymer, sorbitan fatty acid ester, polyoxyethylene Ethylene sorbitan fatty acid ester, glycerin fatty acid ester, polyoxyethylene fatty acid ester, polyoxyethylene alkylamine, sugar, or commercially available “Troysol S366” (manufactured by Troy Chemical), as well as “Emulgen 103” and “Emulgen 220” Oxyethylene alkyl ethers (manufactured by Kao Corporation); sorbitan fatty acid esters such as “Reodol SP-L10” and “Emazole O-10V” (Kao Corporation) Etsu Chemical Co., Ltd.); "New Call 1205" (manufactured by Nippon emulsifier Co., Ltd.), and the like.

上記アニオン系界面活性剤の例としては、ラウリルアルコール硫酸エステルナトリウム等のオレイルアルコール硫酸エステル塩類;ラウリル硫酸ナトリウムやラウリル硫酸アンモニウム等のアルキル硫酸塩類;ドデシルベンゼンスルホン酸ナトリウムやドデシルナフタレンスルホン酸ナトリウム等のアルキルアリールスルホン酸塩類;ナトリウムドデシルベンゼンスルホネート;スルホコハク酸ジ−2−エチルヘキシルエステルナトリウム塩や下記界面活性剤1が挙げられる。   Examples of the anionic surfactants include oleyl alcohol sulfates such as sodium lauryl alcohol sulfate; alkyl sulfates such as sodium lauryl sulfate and ammonium lauryl sulfate; alkyls such as sodium dodecylbenzenesulfonate and sodium dodecylnaphthalenesulfonate Examples include aryl sulfonates; sodium dodecylbenzene sulfonate; sulfosuccinic acid di-2-ethylhexyl ester sodium salt and the following surfactant 1.

Figure 2006106099
Figure 2006106099

また市販されている上記アニオン系界面活性剤としては、「エマール0」、「エマール10パウダー」、「エマールTD」といったアルキル硫酸エステル塩(花王(株)製);「エマール20C」、「ラテルムE−118B」、「エマール20T」といったポリオキシエチレンアルキルエーテル硫酸エステル塩(花王(株)製);「ネオペレックスGS」、「ネオペレックスG−25」のようなアルキルベンゼンスルフォン酸塩(花王(株)製);その他、「デモールEP」、「デモールMS」、「ホモゲノールL−100」(花王製)、「ニューコール293」(日本乳化剤(株)製)などが挙げられる。   Examples of the commercially available anionic surfactants include alkyl sulfates such as “Emar 0”, “Emar 10 Powder”, and “Emar TD” (manufactured by Kao Corporation); “Emar 20C”, “Latherm E” -118B "and" Emar 20T "polyoxyethylene alkyl ether sulfates (manufactured by Kao Corporation); alkylbenzene sulfonates such as" Neopelex GS "and" Neopelex G-25 "(Kao Corporation) In addition, “Demol EP”, “Demol MS”, “Homogenol L-100” (manufactured by Kao), “New Coal 293” (manufactured by Nippon Emulsifier Co., Ltd.) and the like can be mentioned.

上記カチオン系界面活性剤の例としては、ステアリルアミン塩酸塩やラウリルトリメチルアンモニウムクロライドのようなアミン塩または第4級アンモニウム塩が挙げられる。また市販されているカチオン系界面活性剤としては、「アセタミン24」(花王(株)製)、「コータミン86W」(花王(株)製)などが挙げられる。更に、両性界面活性剤としては、ステアリルジメチルベタイン、ラウリルアミノプロピオン酸ナトリウムが挙げられる。市販されている両性界面活性剤としては、「アンヒトール24B」(花王(株)製)、「アンヒトール24N」(花王(株)製)などが挙げられる。
本発明の染料含有ネガ型硬化性組成物に含まれる界面活性剤は、界面活性剤であれば本発明の効果は得られるが、ノニオンおよびアニオン性界面活性剤や両性界面活性剤が好ましく、さらにはノニオンおよびアニオン性界面活性剤が最も好ましい。本発明で使用する界面活性剤は、目的に応じて二種以上の併用も可能である。これらは、市販されているものからも選択できる。界面活性剤の使用量は、特に制限はなく、面状や感度、矩形性に影響を及ぼさない範囲で使用できるが、高級脂肪酸に対して質量比(界面活性剤/高級脂肪酸)で2以下であることが好ましく、1以下であることが更に好ましい。
Examples of the cationic surfactant include amine salts or quaternary ammonium salts such as stearylamine hydrochloride and lauryltrimethylammonium chloride. Examples of commercially available cationic surfactants include “Acetamine 24” (manufactured by Kao Corporation), “Cotamine 86W” (manufactured by Kao Corporation), and the like. Furthermore, examples of amphoteric surfactants include stearyl dimethyl betaine and sodium laurylaminopropionate. Examples of amphoteric surfactants that are commercially available include “Amphitor 24B” (manufactured by Kao Corporation), “Amphitor 24N” (manufactured by Kao Corporation), and the like.
If the surfactant contained in the dye-containing negative curable composition of the present invention is a surfactant, the effects of the present invention can be obtained, but nonionic and anionic surfactants and amphoteric surfactants are preferred, and Most preferred are nonionic and anionic surfactants. The surfactant used in the present invention may be used in combination of two or more depending on the purpose. These can also be selected from those commercially available. The amount of the surfactant used is not particularly limited and can be used within a range that does not affect the surface shape, sensitivity, and rectangularity, but is 2 or less in terms of mass ratio (surfactant / higher fatty acid) to higher fatty acids. Preferably, it is preferably 1 or less.

−架橋剤−
本発明においては、補足的に架橋剤を用いて更に高度に硬化させた膜を得ることも可能である。以下、架橋剤について説明する。
本発明に使用可能な架橋剤としては、架橋反応によって膜硬化を行えるものであれば特に限定はなく、例えば、(a)エポキシ樹脂、(b)メチロール基、アルコキシメチル基およびアシロキシメチル基から選ばれる少なくとも一つの置換基で置換された、メラミン化合物、グアナミン化合物、グリコールウリル化合物またはウレア化合物、(c)メチロール基、アルコキシメチル基およびアシロキシメチル基から選ばれる少なくとも一つの置換基で置換された、フェノール化合物、ナフトール化合物またはヒドロキシアントラセン化合物、が挙げられる。中でも、本発明において用いられる架橋剤としては、多官能エポキシ樹脂が好ましい。
-Crosslinking agent-
In the present invention, it is also possible to obtain a film that has been further cured by using a crosslinking agent. Hereinafter, the crosslinking agent will be described.
The crosslinking agent usable in the present invention is not particularly limited as long as the film can be cured by a crosslinking reaction. For example, (a) an epoxy resin, (b) a methylol group, an alkoxymethyl group, and an acyloxymethyl group. Substituted with at least one substituent selected from a melamine compound, a guanamine compound, a glycoluril compound or a urea compound, (c) a methylol group, an alkoxymethyl group, and an acyloxymethyl group, which is substituted with at least one selected substituent. In addition, a phenol compound, a naphthol compound, or a hydroxyanthracene compound can be used. Especially, as a crosslinking agent used in this invention, a polyfunctional epoxy resin is preferable.

上記(a)エポキシ樹脂としては、エポキシ基を有し、かつ架橋性を有するものであればいずれであってもよく、例えば、ビスフェノール−A−ジグリシジルエーテル、エチレングリコールジグリシジルエーテル、ブタンジオールジグリシジルエーテル、へキサンジオールジグリシジルエーテル、ジヒドロキシビフェニルジグリシジルエーテル、フタル酸ジグリシジルエステル、N,N−ジグリシジルアニリン等の2価のグリシジル基含有低分子化合物;同様に、トリメチロールプロパントリグリシジルエーテル、トリメチロールフェノールトリグリシジルエーテル、TrisP−PAトリグリシジルエーテル等に代表される3価のグリシジル基含有低分子化合物;同様に、ペンタエリスリトールテトラグリシジルエーテル、テトラメチロールビスフェノールAテトラグリシジルエーテル等に代表される4価のグリシジル基含有低分子化合物;同様に、ジペンタエリスリトールペンタグリシジルエーテル、ジペンタエリスリトールヘキサグリシジルエーテル等の多価グリシジル基含有低分子化合物;同様に、ポリグリシジル(メタ)アクリレート、2,2−ビス(ヒドロキシメチル)−1−ブタノールの1,2−エポキシ−4−(2−オキシラニル)シクロヘキサン付加物等に代表されるグリシジル基含有高分子化合物、等が挙げられる。   The (a) epoxy resin may be any epoxy resin as long as it has an epoxy group and has crosslinkability. For example, bisphenol-A-diglycidyl ether, ethylene glycol diglycidyl ether, butanediol di Divalent glycidyl group-containing low molecular weight compounds such as glycidyl ether, hexanediol diglycidyl ether, dihydroxybiphenyl diglycidyl ether, diglycidyl phthalate, and N, N-diglycidyl aniline; similarly, trimethylolpropane triglycidyl ether , Trivalent glycidyl group-containing low molecular weight compounds represented by trimethylolphenol triglycidyl ether, TrisP-PA triglycidyl ether and the like; similarly, pentaerythritol tetraglycidyl ether, tetramethylo Tetravalent glycidyl group-containing low molecular weight compounds represented by bisphenol A tetraglycidyl ether and the like; similarly, polyvalent glycidyl group-containing low molecular weight compounds such as dipentaerythritol pentaglycidyl ether and dipentaerythritol hexaglycidyl ether; Polyglycidyl (meth) acrylate, glycidyl group-containing polymer represented by 1,2-epoxy-4- (2-oxiranyl) cyclohexane adduct of 2,2-bis (hydroxymethyl) -1-butanol, etc. Is mentioned.

上記架橋剤(b)に含まれるメチロール基、アルコキシメチル基、アシロキシメチル基が置換している数としては、メラミン化合物の場合2〜6であり、グリコールウリル化合物、グアナミン化合物およびウレア化合物の場合は2〜4であるが、好ましくはメラミン化合物の場合5〜6であり、グリコールウリル化合物、グアナミン化合物およびウレア化合物の場合は3〜4である。
以下、上記(b)のメラミン化合物、グアナミン化合物、グリコールウリル化合物およびウレア化合物を総じて、各々(b)における、メチロール基含有化合物、アルコキシメチル基含有化合物、または、アシロキシメチル基含有化合物という場合がある。
The number of methylol groups, alkoxymethyl groups, and acyloxymethyl groups substituted in the crosslinking agent (b) is 2 to 6 in the case of melamine compounds, and in the case of glycoluril compounds, guanamine compounds, and urea compounds. Is 2 to 4, preferably 5 to 6 in the case of a melamine compound, and 3 to 4 in the case of a glycoluril compound, a guanamine compound and a urea compound.
Hereinafter, the melamine compound, guanamine compound, glycoluril compound and urea compound of the above (b) may be collectively referred to as a methylol group-containing compound, an alkoxymethyl group-containing compound, or an acyloxymethyl group-containing compound in (b), respectively. is there.

上記(b)におけるメチロール基含有化合物は、(b)におけるアルコキシメチル基含有化合物をアルコール中で塩酸、硫酸、硝酸、メタンスルホン酸等の酸触媒存在下で加熱することによって得られる。上記(b)におけるアシロキシメチル基含有化合物は、(b)におけるメチロール基含有化合物を塩基性触媒存在下でアシルクロリドと混合攪拌することによって得られる。   The methylol group-containing compound in (b) above can be obtained by heating the alkoxymethyl group-containing compound in (b) in the presence of an acid catalyst such as hydrochloric acid, sulfuric acid, nitric acid, methanesulfonic acid or the like in alcohol. The acyloxymethyl group-containing compound in (b) can be obtained by mixing and stirring the methylol group-containing compound in (b) with acyl chloride in the presence of a basic catalyst.

以下、上述の置換基を有する(b)における化合物の具体例を挙げる。
上記メラミン化合物としては、例えば、ヘキサメチロールメラミン、ヘキサメトキシメチルメラミン、ヘキサメチロールメラミンのメチロール基の1〜5個がメトキシメチル化した化合物またはその混合物、ヘキサメトキシエチルメラミン、ヘキサアシロキシメチルメラミン、ヘキサメチロールメラミンのメチロール基の1〜5個がアシロキシメチル化した化合物またはその混合物、などが挙げられる。
Hereinafter, specific examples of the compound in (b) having the above-described substituent will be given.
Examples of the melamine compound include hexamethylol melamine, hexamethoxymethyl melamine, a compound in which 1 to 5 methylol groups of hexamethylol melamine are methoxymethylated, or a mixture thereof, hexamethoxyethyl melamine, hexaacyloxymethyl melamine, hexa Examples thereof include compounds in which 1 to 5 methylol groups of methylolmelamine are acyloxymethylated, or mixtures thereof.

上記グアナミン化合物としては、例えば、テトラメチロールグアナミン、テトラメトキシメチルグアナミン、テトラメチロールグアナミンの1〜3個のメチロール基をメトキシメチル化した化合物またはその混合物、テトラメトキシエチルグアナミン、テトラアシロキシメチルグアナミン、テトラメチロールグアナミンの1〜3個のメチロール基をアシロキシメチル化した化合物またはその混合物などが挙げられる。   Examples of the guanamine compound include tetramethylolguanamine, tetramethoxymethylguanamine, a compound obtained by methoxymethylating 1 to 3 methylol groups of tetramethylolguanamine, or a mixture thereof, tetramethoxyethylguanamine, tetraacyloxymethylguanamine, tetra Examples thereof include a compound obtained by acyloxymethylating 1 to 3 methylol groups of methylolguanamine or a mixture thereof.

上記グリコールウリル化合物としては、例えば、テトラメチロールグリコールウリル、テトラメトキシメチルグリコールウリル、テトラメチロールグリコールウリルのメチロール基の1〜3個をメトキシメチル化した化合物またはその混合物、テトラメチロールグリコールウリルのメチロール基の1〜3個をアシロキシメチル化した化合物またはその混合物、などが挙げられる。   Examples of the glycoluril compound include tetramethylol glycoluril, tetramethoxymethyl glycoluril, a compound obtained by methoxymethylating 1 to 3 methylol groups of tetramethylol glycoluril, or a mixture thereof, or a methylol group of tetramethylol glycoluril. Examples thereof include compounds obtained by acylating 1 to 3 or a mixture thereof.

上記ウレア化合物としては、例えば、テトラメチロールウレア、テトラメトキシメチルウレア、テトラメチロールウレアの1〜3個のメチロール基をメトキシメチル化した化合物またはその混合物、テトラメトキシエチルウレア、などが挙げられる。
これら(b)における化合物は、単独で使用してもよく、2種以上を組合わせて使用してもよい。
Examples of the urea compound include tetramethylol urea, tetramethoxymethyl urea, a compound obtained by methoxymethylating 1 to 3 methylol groups of tetramethylol urea, a mixture thereof, and tetramethoxyethyl urea.
These compounds in (b) may be used alone or in combination of two or more.

上記(c)の架橋剤、即ち、メチロール基、アルコキシメチル基、およびアシロキシメチル基から選ばれる少なくとも一つの基で置換された、フェノール化合物、ナフトール化合物またはヒドロキシアントラセン化合物は、上記架橋剤(b)の場合と同様、熱架橋によって上塗りフォトレジストとのインターミキシングを抑制すると共に、膜強度を更に高めるものである。以下、これら化合物を総じて、それぞれ(c)における、メチロール基含有化合物,アルコキシメチル基含有化合物、アシロキシメチル基含有化合物ということがある。   The crosslinking agent (c), that is, a phenol compound, a naphthol compound, or a hydroxyanthracene compound substituted with at least one group selected from a methylol group, an alkoxymethyl group, and an acyloxymethyl group is the crosslinking agent (b As in the case of), intermixing with the overcoated photoresist is suppressed by thermal crosslinking, and the film strength is further increased. Hereinafter, these compounds may be collectively referred to as a methylol group-containing compound, an alkoxymethyl group-containing compound, and an acyloxymethyl group-containing compound in (c), respectively.

上記(c)の架橋剤に含まれるメチロール基、アシロキシメチル基またはアルコキシメチル基の数としては、一分子当り最低2個必要であり、熱架橋性および保存安定性の観点から、骨格となるフェノール化合物の2位,4位が全て置換されている化合物が好ましい。また、骨格となるナフトール化合物、ヒドロキシアントラセン化合物も、OH基のオルト位、パラ位が全て置換されている化合物が好ましい。上記フェノール化合物の3位または5位は、未置換であっても置換基を有していてもよい。
上記ナフトール化合物においても、OH基のオルト位以外は、未置換であっても置換基を有していてもよい。
The number of methylol groups, acyloxymethyl groups or alkoxymethyl groups contained in the crosslinking agent (c) above is required to be at least 2 per molecule, and it becomes a skeleton from the viewpoint of thermal crosslinkability and storage stability. A compound in which all of the 2-position and 4-position of the phenol compound are substituted is preferred. In addition, the naphthol compound and hydroxyanthracene compound as the skeleton are preferably compounds in which all of the ortho-position and para-position of the OH group are substituted. The 3-position or 5-position of the phenol compound may be unsubstituted or may have a substituent.
Also in the said naphthol compound, except the ortho position of OH group, it may be unsubstituted or may have a substituent.

上記(c)におけるメチロール基含有化合物は、フェノール性OH基の2位または4位が水素原子である化合物を原料に用い、これを水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、アンモニア、テトラアルキルアンモニウムヒドロキシド等の、塩基性触媒の存在下でホルマリンと反応させることによって得られる。
上記(c)におけるアルコキシメチル基含有化合物は、(c)におけるメチロール基含有化合物をアルコール中で塩酸、硫酸、硝酸、メタンスルホン酸等の酸触媒の存在下で加熱することによって得られる。
上記(c)におけるアシロキシメチル基含有化合物は、(c)におけるメチロール基含有化合物を塩基性触媒の存在下アシルクロリドと反応させることによって得られる。
The methylol group-containing compound in the above (c) uses, as a raw material, a compound in which the 2-position or 4-position of the phenolic OH group is a hydrogen atom, and this is used as sodium hydroxide, potassium hydroxide, ammonia, tetraalkylammonium hydroxide, etc. Obtained by reacting with formalin in the presence of a basic catalyst.
The alkoxymethyl group-containing compound in (c) can be obtained by heating the methylol group-containing compound in (c) in an alcohol in the presence of an acid catalyst such as hydrochloric acid, sulfuric acid, nitric acid, methanesulfonic acid or the like.
The acyloxymethyl group-containing compound in (c) is obtained by reacting the methylol group-containing compound in (c) with an acyl chloride in the presence of a basic catalyst.

架橋剤(c)における骨格化合物としては、フェノール性OH基のオルト位またはパラ位が未置換の、フェノール化合物、ナフトール、ヒドロキシアントラセン化合物等が挙げられ、例えば、フェノール、クレゾールの各異性体、2,3−キシレノ−ル、2,5−キシレノ−ル、3,4−キシレノール、3,5−キシレノール、ビスフェノールAなどのビスフェノール類、4,4'−ビスヒドロキシビフェニル、TrisP−PA(本州化学工業(株)製)、ナフトール、ジヒドロキシナフタレン、2,7−ジヒドロキシアントラセン、等が使用される。   Examples of the skeletal compound in the crosslinking agent (c) include phenolic compounds, naphthols, hydroxyanthracene compounds in which the ortho-position or para-position of the phenolic OH group is unsubstituted, and examples thereof include phenol and cresol isomers, 2 , 3-xylenol, 2,5-xylenol, 3,4-xylenol, 3,5-xylenol, bisphenols such as bisphenol A, 4,4'-bishydroxybiphenyl, TrisP-PA (Honshu Chemical Industry) Naphthol, dihydroxynaphthalene, 2,7-dihydroxyanthracene, etc. are used.

上記架橋剤(c)の具体例として、フェノール化合物としては、例えば、トリメチロールフェノール、トリ(メトキシメチル)フェノール、トリメチロールフェノールの1〜2個のメチロール基をメトキシメチル化した化合物、トリメチロール−3−クレゾール、トリ(メトキシメチル)−3−クレゾール、トリメチロール−3−クレゾールの1〜2個のメチロール基をメトキシメチル化した化合物、2,6−ジメチロール−4−クレゾール等のジメチロールクレゾール、テトラメチロールビスフェノールA、テトラメトキシメチルビスフェノールA、テトラメチロールビスフェノールAの1〜3個のメチロール基をメトキシメチル化した化合物、テトラメチロール−4,4'−ビスヒドロキシビフェニル、テトラメトキシメチル−4,4'−ビスヒドロキシビフェニル、TrisP−PAのヘキサメチロール体、TrisP−PAのヘキサメトキシメチル体、TrisP−PAのヘキサメチロール体の1〜5個のメチロール基をメトキシメチル化した化合物、ビスヒドロキシメチルナフタレンジオール、等が挙げられる。   Specific examples of the crosslinking agent (c) include, for example, trimethylolphenol, tri (methoxymethyl) phenol, a compound obtained by methoxymethylating one or two methylol groups of trimethylolphenol, trimethylol- Compounds obtained by methoxymethylating one or two methylol groups of 3-cresol, tri (methoxymethyl) -3-cresol, trimethylol-3-cresol, dimethylol cresol such as 2,6-dimethylol-4-cresol, Compounds obtained by methoxymethylating 1 to 3 methylol groups of tetramethylol bisphenol A, tetramethoxymethyl bisphenol A, tetramethylol bisphenol A, tetramethylol-4,4′-bishydroxybiphenyl, tetramethoxymethyl-4,4 ′ − Suhydroxybiphenyl, TrisP-PA hexamethylol, TrisP-PA hexamethoxymethyl, TrisP-PA hexamethylol compound methoxymethylated from 1 to 5 methylol groups, Bishydroxymethylnaphthalenediol, etc. Is mentioned.

また、ヒドロキシアントラセン化合物として、例えば、1,6−ジヒドロキシメチル−2,7−ジヒドロキシアントラセン等が挙げられ、アシロキシメチル基含有化合物として、例えば、上記メチロール基含有化合物のメチロール基を、一部または全部アシロキシメチル化した化合物等が挙げられる。   Examples of the hydroxyanthracene compound include 1,6-dihydroxymethyl-2,7-dihydroxyanthracene, and examples of the acyloxymethyl group-containing compound include, for example, a part of the methylol group of the methylol group-containing compound or Examples include compounds that are all acyloxymethylated.

これらの化合物の中で好ましいものとしては、トリメチロールフェノール、ビスヒドロキシメチル−p−クレゾール、テトラメチロールビスフェノールA、TrisP−PA(本州化学工業(株)製)のヘキサメチロール体またはそれらのメチロール基がアルコキシメチル基およびメチロール基とアルコキシメチル基との両方で置換されたフェノール化合物が挙げられる。
これら(c)における化合物は、単独で使用してもよく、組合わせて使用してもよい。
Among these compounds, trimethylolphenol, bishydroxymethyl-p-cresol, tetramethylolbisphenol A, trisP-PA (manufactured by Honshu Chemical Industry Co., Ltd.) or a methylol group thereof is preferable. Examples thereof include an alkoxymethyl group and a phenol compound substituted with both a methylol group and an alkoxymethyl group.
These compounds in (c) may be used alone or in combination.

染料含有ネガ型硬化性組成物における上記架橋剤の総含有量としては、素材によって異なるが、塗膜の硬化性を向上させる観点から、組成物の全固形分(質量)に対して、1〜70質量%が好ましく、5〜50質量%が更に好ましく、7〜30質量%が特に好ましい。   The total content of the crosslinking agent in the dye-containing negative curable composition varies depending on the material, but from the viewpoint of improving the curability of the coating film, the total solid content (mass) of the composition is 1 to 70 mass% is preferable, 5-50 mass% is still more preferable, 7-30 mass% is especially preferable.

−熱重合防止剤−
本発明の染料含有ネガ型硬化性組成物には、以上のほか、更に熱重合防止剤を加えておくことが好ましい。上記熱重合防止剤としては、例えば、ハイドロキノン、p−メトキシフェノール、ジ−t−ブチル−p−クレゾール、ピロガロール、t−ブチルカテコール、ベンゾキノン、4,4'−チオビス(3−メチル−6−t−ブチルフェノール)、2,2'−メチレンビス(4−メチル−6−t−ブチルフェノール)、2−メルカプトベンゾイミダゾール等が有用である。
-Thermal polymerization inhibitor-
In addition to the above, it is preferable to add a thermal polymerization inhibitor to the dye-containing negative curable composition of the present invention. Examples of the thermal polymerization inhibitor include hydroquinone, p-methoxyphenol, di-t-butyl-p-cresol, pyrogallol, t-butylcatechol, benzoquinone, 4,4′-thiobis (3-methyl-6-t -Butylphenol), 2,2'-methylenebis (4-methyl-6-t-butylphenol), 2-mercaptobenzimidazole and the like are useful.

−各種添加物−
本発明の染料含有ネガ型硬化性組成物には、必要に応じて、各種添加物、例えば充填剤、上記以外の高分子化合物、密着促進剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤、凝集防止剤等を配合することができる。
-Various additives-
In the dye-containing negative curable composition of the present invention, various additives, for example, fillers, polymer compounds other than those described above, adhesion promoters, antioxidants, ultraviolet absorbers, anti-aggregation agents, etc., if necessary Can be blended.

上記各種添加物の具体例としては、ガラス、アルミナ等の充填剤;ポリビニルアルコール、ポリアクリル酸、ポリエチレングリコールモノアルキルエーテル、ポリフロロアルキルアクリレート等の結着樹脂以外の高分子化合物;ビニルトリメトキシシラン、ビニルトリエトキシシラン、ビニルトリス(2−メトキシエトキシ)シラン、N−(2−アミノエチル)−3−アミノプロピルメチルジメトキシシラン、N−(2−アミノエチル)−3−アミノプロピルトリメトキシシラン、3−アミノプロピルトリエトキシシラン、3−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、3−グリシドキシプロピルメチルジメトキシシラン、2−(3,4−エポキシシクロヘキシル)エチルトリメトキシシラン、3−クロロプロピルメチルジメトキシシラン、3−クロロプロピルトリメトキシシラン、3−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、3−メルカプトプロピルトリメトキシシラン等の密着促進剤;2,2−チオビス(4−メチル−6−t−ブチルフェノール)、2,6−ジ−t−ブチルフェノール等の酸化防止剤;2−(3−t−ブチル−5−メチル−2−ヒドロキシフェニル)−5−クロロベンゾトリアゾール、アルコキシベンゾフェノン等の紫外線吸収剤;およびポリアクリル酸ナトリウム等の凝集防止剤を挙げることができる。   Specific examples of the various additives include fillers such as glass and alumina; polymer compounds other than binder resins such as polyvinyl alcohol, polyacrylic acid, polyethylene glycol monoalkyl ether, and polyfluoroalkyl acrylate; vinyltrimethoxysilane Vinyltriethoxysilane, vinyltris (2-methoxyethoxy) silane, N- (2-aminoethyl) -3-aminopropylmethyldimethoxysilane, N- (2-aminoethyl) -3-aminopropyltrimethoxysilane, 3 -Aminopropyltriethoxysilane, 3-glycidoxypropyltrimethoxysilane, 3-glycidoxypropylmethyldimethoxysilane, 2- (3,4-epoxycyclohexyl) ethyltrimethoxysilane, 3-chloropropylmethyldimethoxysilane Adhesion promoters such as 3-chloropropyltrimethoxysilane, 3-methacryloxypropyltrimethoxysilane, 3-mercaptopropyltrimethoxysilane; 2,2-thiobis (4-methyl-6-tert-butylphenol), 2,6 -Antioxidants such as di-t-butylphenol; ultraviolet absorbers such as 2- (3-t-butyl-5-methyl-2-hydroxyphenyl) -5-chlorobenzotriazole, alkoxybenzophenone; and sodium polyacrylate And the like.

また、非画像部のアルカリ溶解性を促進し、本発明の染料含有ネガ型硬化性組成物の現像性の更なる向上を図る場合には、該組成物に有機カルボン酸、好ましくは分子量1000以下の低分子量有機カルボン酸の添加を行うことができる。
具体的には、例えば、ギ酸、酢酸、プロピオン酸、酪酸、吉草酸、ピバル酸、カプロン酸、ジエチル酢酸、エナント酸、カプリル酸等の脂肪族モノカルボン酸;シュウ酸、マロン酸、コハク酸、グルタル酸、アジピン酸、ピメリン酸、スベリン酸、アゼライン酸、セバシン酸、ブラシル酸、メチルマロン酸、エチルマロン酸、ジメチルマロン酸、メチルコハク酸、テトラメチルコハク酸、シトラコン酸等の脂肪族ジカルボン酸;トリカルバリル酸、アコニット酸、カンホロン酸等の脂肪族トリカルボン酸;安息香酸、トルイル酸、クミン酸、ヘメリト酸、メシチレン酸等の芳香族モノカルボン酸;フタル酸、イソフタル酸、テレフタル酸、トリメリト酸、トリメシン酸、メロファン酸、ピロメリト酸等の芳香族ポリカルボン酸;フェニル酢酸、ヒドロアトロパ酸、ヒドロケイ皮酸、マンデル酸、フェニルコハク酸、アトロパ酸、ケイ皮酸、ケイ皮酸メチル、ケイ皮酸ベンジル、シンナミリデン酢酸、クマル酸、ウンベル酸等のその他のカルボン酸が挙げられる。
Further, when the alkali solubility of the non-image area is promoted and the developability of the dye-containing negative curable composition of the present invention is further improved, the composition has an organic carboxylic acid, preferably a molecular weight of 1000 or less. Of low molecular weight organic carboxylic acids can be added.
Specifically, for example, aliphatic monocarboxylic acids such as formic acid, acetic acid, propionic acid, butyric acid, valeric acid, pivalic acid, caproic acid, diethyl acetic acid, enanthic acid, caprylic acid; oxalic acid, malonic acid, succinic acid, Aliphatic dicarboxylic acids such as glutaric acid, adipic acid, pimelic acid, suberic acid, azelaic acid, sebacic acid, brassic acid, methylmalonic acid, ethylmalonic acid, dimethylmalonic acid, methylsuccinic acid, tetramethylsuccinic acid, citraconic acid; Aliphatic tricarboxylic acids such as tricarballylic acid, aconitic acid, and camphoric acid; aromatic monocarboxylic acids such as benzoic acid, toluic acid, cumic acid, hemelitic acid, and mesitylene acid; phthalic acid, isophthalic acid, terephthalic acid, trimellitic acid, Aromatic polycarboxylic acids such as trimesic acid, melophanoic acid, pyromellitic acid; phenylacetic acid Hydratropic acid, hydrocinnamic acid, mandelic acid, phenyl succinic acid, atropic acid, cinnamic acid, methyl cinnamate, benzyl cinnamate, cinnamylidene acetic acid, coumaric acid, other carboxylic acids such as umbellic acid.

《カラーフィルターおよびその製造方法》
次に、本発明のカラーフィルターについて、その製造方法を通じて詳述する。
本発明のカラーフィルターの製造方法においては、既述の本発明の染料含有ネガ型硬化性組成物が用いられる。
本発明の染料含有ネガ型硬化性組成物を支持体上に回転塗布、流延塗布、ロール塗布等の塗布方法によって塗布して感放射線性組成物層を形成し、該層を所定のマスクパターンを介して露光し、現像液で現像することによって、ネガ型の着色パターンを形成する(画像形成工程)。また、必要によって、形成された着色パターンを加熱および/または露光によって硬化する硬化工程を含んでいてもよい。
<Color filter and manufacturing method thereof>
Next, the color filter of the present invention will be described in detail through its manufacturing method.
In the method for producing a color filter of the present invention, the above-described dye-containing negative curable composition of the present invention is used.
The dye-containing negative curable composition of the present invention is applied onto a support by a coating method such as spin coating, cast coating, roll coating, etc. to form a radiation-sensitive composition layer, and the layer is formed into a predetermined mask pattern. And a negative coloring pattern is formed by developing with a developer (image forming step). Moreover, the hardening process which hardens | cures the formed coloring pattern by heating and / or exposure as needed may be included.

カラーフィルターの作製においては、上記画像形成工程(および必要によって硬化工程)を所望の色相数だけ繰り返すことによって、所望の色相よってなるカラーフィルターを作製することができる。この際に使用される光若しくは放射線としては、特にg線、h線、i線等の紫外線が好ましく用いられる。   In the production of a color filter, a color filter having a desired hue can be produced by repeating the image forming step (and curing step if necessary) by the desired number of hues. As light or radiation used at this time, ultraviolet rays such as g-line, h-line and i-line are particularly preferably used.

上記支持体としては、例えば、液晶表示素子等に用いられるソーダガラス、パイレックス(登録商標)ガラス、石英ガラスおよびこれらに透明導電膜を付着させたものや、撮像素子等に用いられる光電変換素子基板、例えばシリコン基板等や、相補性金属酸化膜半導体(CMOS)等が挙げられる。これらの支持体は、各画素を隔離するブラックストライプが形成されている場合もある。
また、これらの支持体上には、必要によって、上部の層との密着改良、物質の拡散防止あるいは基板表面の平坦化のために下塗り層を設けてもよい。
Examples of the support include soda glass, Pyrex (registered trademark) glass, and quartz glass used for liquid crystal display elements and the like, and those obtained by attaching a transparent conductive film thereto, and photoelectric conversion element substrates used for imaging elements and the like. Examples thereof include a silicon substrate and a complementary metal oxide semiconductor (CMOS). These supports may be formed with black stripes that separate pixels.
In addition, an undercoat layer may be provided on these supports, if necessary, in order to improve adhesion to the upper layer, prevent diffusion of substances, or flatten the substrate surface.

上記現像液としては、本発明の染料含有ネガ型硬化性組成物の未硬化部を溶解する一方、照射部は溶解しない組成よりなるものであればいかなるものも用いることができる。具体的には、種々の有機溶剤の組合わせやアルカリ性の水溶液を用いることができる。上記有機溶剤としては、本発明の染料含有ネガ型硬化性組成物を調製する際に使用される前述の溶剤が挙げられる。   Any developer can be used as long as it has a composition that dissolves the uncured part of the dye-containing negative curable composition of the present invention but does not dissolve the irradiated part. Specifically, a combination of various organic solvents or an alkaline aqueous solution can be used. As said organic solvent, the above-mentioned solvent used when preparing the dye-containing negative curable composition of this invention is mentioned.

上記アルカリ性の水溶液としては、例えば、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウム,硅酸ナトリウム、メタ硅酸ナトリウム、アンモニア水、エチルアミン、ジエチルアミン、ジメチルエタノールアミン、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、テトラエチルアンモニウムヒドロキシド、コリン、ピロール、ピペリジン、1,8−ジアザビシクロ−〔5.4.0〕−7−ウンデセン等のアルカリ性化合物を、濃度が0.001〜10質量%、好ましくは0.01〜1質量%となるように溶解してなるアルカリ性水溶液が好適である。尚、このようなアルカリ性水溶液からなる現像液を使用した場合は、一般に、現像後水で洗浄する。   Examples of the alkaline aqueous solution include sodium hydroxide, potassium hydroxide, sodium carbonate, sodium oxalate, sodium metasuccinate, aqueous ammonia, ethylamine, diethylamine, dimethylethanolamine, tetramethylammonium hydroxide, tetraethylammonium hydroxide. , Choline, pyrrole, piperidine, alkaline compounds such as 1,8-diazabicyclo- [5.4.0] -7-undecene, the concentration is 0.001 to 10% by mass, preferably 0.01 to 1% by mass. An alkaline aqueous solution obtained by dissolution is preferable. When a developer composed of such an alkaline aqueous solution is used, it is generally washed with water after development.

本発明のカラーフィルターは、液晶表示素子やCCD等の固体撮像素子に用いることができ、特に100万画素を超えるような高解像度のCCD素子やCMOS等に好適である。本発明のカラーフィルターは、例えば、CCDを構成する各画素の受光部と集光するためのマイクロレンズとの間に配置されるカラーフィルターとして用いることができる。   The color filter of the present invention can be used for a solid-state imaging device such as a liquid crystal display device or a CCD, and is particularly suitable for a high-resolution CCD device or a CMOS that exceeds 1 million pixels. The color filter of the present invention can be used as, for example, a color filter disposed between a light receiving portion of each pixel constituting a CCD and a microlens for condensing light.

以下、本発明を実施例によって具体的に説明するが、本発明はその主旨を越えない限り、以下の実施例に限定されるものではない。尚、特に断りのない限り、「部」は質量基準である。   EXAMPLES Hereinafter, the present invention will be specifically described with reference to examples. However, the present invention is not limited to the following examples unless it exceeds the gist thereof. Unless otherwise specified, “part” is based on mass.

[実施例1]
1)染料含有ネガ型硬化性組成物の調製
以下に示す組成で各化合物を混合して溶解し、本発明の染料含有ネガ型硬化性組成物を調製した。
〔組成〕
・乳酸エチル 43.5部
・メタクリル酸アリル/メタクリル酸共重合体(=80/20〔モル比〕)
(アルカリ可溶性バインダー) 4.1部
・ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート 6.1部
・重合禁止剤(p−メトキシフェノール) 0.0061部
・光重合開始剤 1.0部
(商品名:TAZ−107、みどり化学(株)製)
・有機溶剤可溶性染料(Valifast yellow 1101) 7.0部
・パルミチン酸 4.0部
(本発明における高級脂肪酸)
・ノニオン系界面活性剤 2部
(商品名:トロイゾルS366、Troy Chemical製)
[Example 1]
1) Preparation of dye-containing negative curable composition Each compound was mixed and dissolved in the composition shown below to prepare the dye-containing negative curable composition of the present invention.
〔composition〕
・ Ethyl lactate 43.5 parts ・ Allyl methacrylate / methacrylic acid copolymer (= 80/20 [molar ratio])
(Alkali-soluble binder) 4.1 parts, dipentaerythritol hexaacrylate 6.1 parts, polymerization inhibitor (p-methoxyphenol) 0.0061 parts, photopolymerization initiator 1.0 part (trade name: TAZ-107, (Midori Chemical Co., Ltd.)
-Organic solvent soluble dye (Valifast yellow 1101) 7.0 parts-Palmitic acid 4.0 parts (higher fatty acids in the present invention)
・ Nonionic surfactant 2 parts (trade name: Troisol S366, manufactured by Troy Chemical)

2)下塗り層付シリコンウェハーの作製
6インチシリコンウェハーにレジスト溶液(商品名:CT−2000、富士フイルムアーチ(株)製)を、膜厚2μmになるようにスピンコーターを用いて塗布した。塗布後、シリコンウェハーを、220℃で1時間加熱乾燥し、該ウェハー上に硬化膜(下塗り層)を形成した。
2) Production of silicon wafer with undercoat layer A 6-inch silicon wafer was coated with a resist solution (trade name: CT-2000, manufactured by Fuji Film Arch Co., Ltd.) using a spin coater so as to have a film thickness of 2 μm. After coating, the silicon wafer was heat-dried at 220 ° C. for 1 hour to form a cured film (undercoat layer) on the wafer.

3)染料含有ネガ型硬化性組成物の露光・現像(画像形成工程)
上記1)で得られた染料含有ネガ型硬化性組成物Aを、上記2)で得られた下塗り層付シリコンウェハーの上に膜厚が1μmになるようにスピンコーターを用いて塗布し、120℃で120秒間プリベークした。
次いで、i線ステッパー露光装置を使用して、塗布膜に365nmの波長で2μmのパターン露光を行なった。露光後、現像液(商品名:CD−2000、富士フイルムアーチ(株)製)を用い、23℃で60秒間現像処理を行った。次いで、流水でシリコンウェハーを20秒間リンスした後、スプレー乾燥し、該ウェハー上にパターン画像Aを得た。この後、200℃で10分間ウェハーを加熱し、最終的な画像B(カラーフィルター)を得た。
3) Exposure and development of dye-containing negative curable composition (image forming process)
The dye-containing negative curable composition A obtained in 1) above is applied onto the silicon wafer with an undercoat layer obtained in 2) above using a spin coater so that the film thickness becomes 1 μm. Pre-baked at 120 ° C. for 120 seconds.
Next, using an i-line stepper exposure apparatus, the coating film was subjected to pattern exposure of 2 μm at a wavelength of 365 nm. After the exposure, development processing was performed at 23 ° C. for 60 seconds using a developer (trade name: CD-2000, manufactured by Fuji Film Arch Co., Ltd.). Next, the silicon wafer was rinsed with running water for 20 seconds and then spray-dried to obtain a pattern image A on the wafer. Thereafter, the wafer was heated at 200 ° C. for 10 minutes to obtain a final image B (color filter).

[実施例2]
実施例1において、「染料含有ネガ型硬化性組成物A」の代わりに下記組成の「染料含有ネガ型硬化性組成物B」を使用した以外は実施例1と同様にして、画像(カラーフィルター)を形成した。
[Example 2]
In Example 1, an image (color filter) was prepared in the same manner as in Example 1 except that “dye-containing negative curable composition B” having the following composition was used instead of “dye-containing negative curable composition A”. ) Was formed.

〔組成〕
・乳酸エチル 43.5部
・メタクリル酸アリル/メタクリル酸共重合体(=80/20〔モル比〕)
(アルカリ可溶性バインダー) 4.1部
・ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート 6.1部
・重合禁止剤(p−メトキシフェノール) 0.0061部
・光重合開始剤 1.0部
(商品名:TAZ−107、みどり化学(株)製)
・有機溶剤可溶性染料(Valifast yellow 1101) 7.0部
・ステアリン酸ドデシル 2.0部
(本発明における高級脂肪酸)
・ドデシルベンゼンスルホン酸ナトリウム 1.0部
(アニオン系界面活性剤)
〔composition〕
・ Ethyl lactate 43.5 parts ・ Allyl methacrylate / methacrylic acid copolymer (= 80/20 [molar ratio])
(Alkali-soluble binder) 4.1 parts, dipentaerythritol hexaacrylate 6.1 parts, polymerization inhibitor (p-methoxyphenol) 0.0061 parts, photopolymerization initiator 1.0 part (trade name: TAZ-107, (Midori Chemical Co., Ltd.)
Organic solvent soluble dye (Valifast yellow 1101) 7.0 parts Dodecyl stearate 2.0 parts (higher fatty acids in the present invention)
・ 1.0 parts of sodium dodecylbenzenesulfonate (anionic surfactant)

[実施例3]
実施例1において、「染料含有ネガ型硬化性組成物A」の代わりに下記組成の「染料含有ネガ型硬化性組成物C」を使用した以外は実施例1と同様にして、画像(カラーフィルター)を形成した。
[Example 3]
In Example 1, an image (color filter) was prepared in the same manner as in Example 1 except that “dye-containing negative curable composition C” having the following composition was used instead of “dye-containing negative curable composition A”. ) Was formed.

〔組成〕
・乳酸エチル 43.5部
・メタクリル酸アリル/メタクリル酸共重合体(=80/20〔モル比〕)
(アルカリ可溶性バインダー) 4.1部
・ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート 6.1部
・重合禁止剤(p−メトキシフェノール) 0.0061部
・光重合開始剤 1.0部
(商品名:TAZ−107、みどり化学(株)製)
・有機溶剤可溶性染料(Valifast yellow 1101) 7.0部
・ベヘン酸アミド 1.0部
(本発明における高級脂肪酸)
・ステアリン酸 1.0部
(本発明における高級脂肪酸)
・下記界面活性剤1(アニオン系界面活性剤) 1.0部
〔composition〕
・ Ethyl lactate 43.5 parts ・ Allyl methacrylate / methacrylic acid copolymer (= 80/20 [molar ratio])
(Alkali-soluble binder) 4.1 parts, dipentaerythritol hexaacrylate 6.1 parts, polymerization inhibitor (p-methoxyphenol) 0.0061 parts, photopolymerization initiator 1.0 part (trade name: TAZ-107, (Midori Chemical Co., Ltd.)
Organic solvent soluble dye (Valifast yellow 1101) 7.0 parts Behenamide 1.0 part (higher fatty acid in the present invention)
Stearic acid 1.0 part (higher fatty acid in the present invention)
-1.0 part of the following surfactant 1 (anionic surfactant)

Figure 2006106099
Figure 2006106099

[実施例4]
実施例1において、「染料含有ネガ型硬化性組成物A」の代わりに下記組成の「染料含有ネガ型硬化性組成物D」を使用した以外は実施例1と同様にして、画像(カラーフィルター)を形成した。
〔組成〕
・乳酸エチル 43.5部
・メタクリル酸アリル/メタクリル酸共重合体(=80/20〔モル比〕)
(アルカリ可溶性バインダー) 4.1部
・ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート 6.1部
・重合禁止剤(p−メトキシフェノール) 0.0061部
・光重合開始剤 1.0部
(商品名:TAZ−107、みどり化学(株)製)
・有機溶剤可溶性染料(Valifast yellow 1101) 7.0部
・ステアリン酸メチル 2.0部
(本発明における高級脂肪酸)
・スルホコハク酸ジ−2−エチルヘキシルエステルナトリウム塩 1.0部
(アニオン系界面活性剤)
[Example 4]
In Example 1, an image (color filter) was prepared in the same manner as in Example 1 except that “dye-containing negative curable composition D” having the following composition was used instead of “dye-containing negative curable composition A”. ) Was formed.
〔composition〕
・ Ethyl lactate 43.5 parts ・ Allyl methacrylate / methacrylic acid copolymer (= 80/20 [molar ratio])
(Alkali-soluble binder) 4.1 parts, dipentaerythritol hexaacrylate 6.1 parts, polymerization inhibitor (p-methoxyphenol) 0.0061 parts, photopolymerization initiator 1.0 part (trade name: TAZ-107, (Midori Chemical Co., Ltd.)
Organic solvent soluble dye (Valifast yellow 1101) 7.0 parts Methyl stearate 2.0 parts (higher fatty acids in the present invention)
・ Sulfosuccinic acid di-2-ethylhexyl ester sodium salt 1.0 part (anionic surfactant)

[実施例5]
実施例1において、「染料含有ネガ型硬化性組成物A」の代わりに下記組成の「染料含有ネガ型硬化性組成物E」を使用した以外は実施例1と同様にして、画像(カラーフィルター)を形成した。
[Example 5]
An image (color filter) was prepared in the same manner as in Example 1 except that “dye-containing negative curable composition E” having the following composition was used instead of “dye-containing negative curable composition A”. ) Was formed.

・乳酸エチル 43.5部
・メタクリル酸アリル/メタクリル酸共重合体(=80/20〔モル比〕)
(アルカリ可溶性バインダー) 4.1部
・ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート 6.1部
・重合禁止剤(p−メトキシフェノール) 0.0061部
・光重合開始剤 1.0部
(商品名:TAZ−107、みどり化学(株)製)
・有機溶剤可溶性染料(Valifast yellow 1101) 7.0部
・パルミチン酸エチル 2.0部
(本発明における高級脂肪酸)
・ナトリウムドデシルベンゼンスルホネート 1.0部
(アニオン系界面活性剤)
・ Ethyl lactate 43.5 parts ・ Allyl methacrylate / methacrylic acid copolymer (= 80/20 [molar ratio])
(Alkali-soluble binder) 4.1 parts, dipentaerythritol hexaacrylate 6.1 parts, polymerization inhibitor (p-methoxyphenol) 0.0061 parts, photopolymerization initiator 1.0 part (trade name: TAZ-107, (Midori Chemical Co., Ltd.)
-Organic solvent soluble dye (Valifast yellow 1101) 7.0 parts-Ethyl palmitate 2.0 parts (higher fatty acids in the present invention)
・ 1.0 parts of sodium dodecylbenzenesulfonate (anionic surfactant)

[実施例6]
実施例1において、「染料含有ネガ型硬化性組成物A」の代わりに下記組成の「染料含有ネガ型硬化性組成物F」を使用した以外は実施例1と同様にして、画像(カラーフィルター)を形成した。
・乳酸エチル 43.5部
・メタクリル酸アリル/メタクリル酸共重合体(=80/20〔モル比〕)
(アルカリ可溶性バインダー) 4.1部
・ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート 6.1部
・重合禁止剤(p−メトキシフェノール) 0.0061部
・光重合開始剤 1.0部
(商品名:TAZ−107、みどり化学(株)製)
・有機溶剤可溶性染料(Valifast yellow 1101) 7.0部
・ベヘン酸エチル 2.0部
(本発明における高級脂肪酸)
・アニオン系界面活性剤 0.8部
(商品名:デモールEP、花王(株)製)
[Example 6]
In Example 1, an image (color filter) was prepared in the same manner as in Example 1 except that “dye-containing negative curable composition F” having the following composition was used instead of “dye-containing negative curable composition A”. ) Was formed.
・ Ethyl lactate 43.5 parts ・ Allyl methacrylate / methacrylic acid copolymer (= 80/20 [molar ratio])
(Alkali-soluble binder) 4.1 parts, dipentaerythritol hexaacrylate 6.1 parts, polymerization inhibitor (p-methoxyphenol) 0.0061 parts, photopolymerization initiator 1.0 part (trade name: TAZ-107, (Midori Chemical Co., Ltd.)
Organic solvent soluble dye (Valifast yellow 1101) 7.0 parts Ethyl behenate 2.0 parts (higher fatty acids in the present invention)
・ Anionic surfactant 0.8 parts (Brand name: Demol EP, manufactured by Kao Corporation)

[比較例1]
実施例1において、「染料含有ネガ型硬化性組成物A」の代わりに下記組成の「染料含有ネガ型硬化性組成物G」を使用した以外は実施例1と同様にして、画像(カラーフィルター)を形成した。
・乳酸エチル 36.9部
・メタクリル酸アリル/メタクリル酸共重合体(=80/20〔モル比〕)
(アルカリ可溶性バインダー) 4.8部
・ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート 7.1部
・重合禁止剤(p−メトキシフェノール) 0.0061部
・光重合開始剤 1.0部
(商品名:TAZ−107、みどり化学(株)製)
・有機溶剤可溶性染料(Valifast yellow 1101) 7.0部
[Comparative Example 1]
In Example 1, an image (color filter) was prepared in the same manner as in Example 1 except that “dye-containing negative curable composition G” having the following composition was used instead of “dye-containing negative curable composition A”. ) Was formed.
・ 36.9 parts of ethyl lactate ・ Allyl methacrylate / methacrylic acid copolymer (= 80/20 [molar ratio])
(Alkali-soluble binder) 4.8 parts, dipentaerythritol hexaacrylate 7.1 parts, polymerization inhibitor (p-methoxyphenol) 0.0061 parts, photopolymerization initiator 1.0 part (trade name: TAZ-107, (Midori Chemical Co., Ltd.)
Organic solvent soluble dye (Valifast yellow 1101) 7.0 parts

[比較例2]
実施例1において、「染料含有ネガ型硬化性組成物A」の代わりに下記組成の「染料含有ネガ型硬化性組成物H」を使用した以外は実施例1と同様にして、画像(カラーフィルター)を形成した。
・乳酸エチル 43.5部
・メタクリル酸アリル/メタクリル酸共重合体(=80/20〔モル比〕)
(アルカリ可溶性バインダー) 4.1部
・ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート 6.1部
・重合禁止剤(p−メトキシフェノール) 0.0061部
・光重合開始剤 1.0部
(商品名:TAZ−107、みどり化学(株)製)
・有機溶剤可溶性染料(Valifast yellow 1101) 7.0部
・酪酸 2.0部
[Comparative Example 2]
In Example 1, an image (color filter) was prepared in the same manner as in Example 1 except that “dye-containing negative curable composition H” having the following composition was used instead of “dye-containing negative curable composition A”. ) Was formed.
・ Ethyl lactate 43.5 parts ・ Allyl methacrylate / methacrylic acid copolymer (= 80/20 [molar ratio])
(Alkali-soluble binder) 4.1 parts, dipentaerythritol hexaacrylate 6.1 parts, polymerization inhibitor (p-methoxyphenol) 0.0061 parts, photopolymerization initiator 1.0 part (trade name: TAZ-107, (Midori Chemical Co., Ltd.)
-Organic solvent soluble dye (Valifast yellow 1101) 7.0 parts-Butyric acid 2.0 parts

4)評価
(1) パターンの矩形性
得られた画像(パターン)について、現像後の画像Aと、更に加熱処理を施した画像Bとのパターンの矩形性をSEM写真観察によって比較を行なった。パターンの矩形性は、断面SEMにて縦1μm×横2μmの得られたパターンについて断面写真の中心から膜上部の頂点までの距離で矩形性を数値化して判定した。パターンが理想的な矩形の場合、判定した角の丸みが無く中心から角までの距離が√((0.5)2+(1.0)2)=1.12となる。このため、1.12に近いほどパターンの矩形性に優れていることがわかる。
また、各実施例および比較例において、現像時間を30秒間追加(合計90秒間)として得られた画像Cの矩形性をSEM写真観察によって同様に比較した。
4) Evaluation (1) Rectangularity of pattern With respect to the obtained image (pattern), the rectangularity of the pattern between image A after development and image B after further heat treatment was compared by SEM photograph observation. The rectangularity of the pattern was determined by quantifying the rectangularity by the distance from the center of the cross-sectional photograph to the apex of the upper part of the film with respect to the obtained pattern of 1 μm in length and 2 μm in width in the cross-sectional SEM. When the pattern is an ideal rectangle, there is no rounded corner and the distance from the center to the corner is √ ((0.5) 2 + (1.0) 2 ) = 1.12. Therefore, it can be seen that the closer to 1.12, the better the rectangularity of the pattern.
Further, in each Example and Comparative Example, the rectangularity of the image C obtained by adding the development time for 30 seconds (total 90 seconds) was similarly compared by SEM photograph observation.

(2)感度
パターンが矩形になる最低露光量を測定し、感度の評価の指標とした。結果を下記表1に示す。
(2) Sensitivity The minimum exposure amount at which the pattern becomes rectangular was measured and used as an index for sensitivity evaluation. The results are shown in Table 1 below.

Figure 2006106099
Figure 2006106099

上記表1に示すように、界面活性剤と高級脂肪酸とを併用した場合には、パターンの矩形性が非常に高く、更には現像後の加熱による変化も非常に小さく好ましいことがわかる。また90秒まで現像を行なった時の形状安定性も高く、現像時間に対するラチチュードも拡がっていることがわかる。   As shown in Table 1 above, it can be seen that when a surfactant and a higher fatty acid are used in combination, the rectangularity of the pattern is very high, and further, the change due to heating after development is very small and preferable. It can also be seen that the shape stability when developing up to 90 seconds is high, and the latitude with respect to the development time is also widened.

本文中に挙げた他の化合物についても上記実施例1と同様の評価を行なったがいずれも比較例1に対して矩形性が向上し、現像時間に対するラチチュードも拡がっていた。   The other compounds listed in the text were evaluated in the same manner as in Example 1. However, the rectangularity was improved with respect to Comparative Example 1, and the latitude with respect to the development time was increased.

Claims (7)

(A)アルカリ可溶性バインダー、(B)有機溶剤可溶性染料、(C)光重合性化合物、(D)光重合開始剤、(E)有機溶剤、(F)高級脂肪酸またはその誘導体の少なくとも一種、並びに、(G)界面活性剤を含むことを特徴とする染料含有ネガ型硬化性組成物。   (A) an alkali-soluble binder, (B) an organic solvent-soluble dye, (C) a photopolymerizable compound, (D) a photopolymerization initiator, (E) an organic solvent, (F) at least one of higher fatty acids or derivatives thereof, and (G) Dye containing negative curable composition characterized by including surfactant. 前記(F)高級脂肪酸またはその誘導体の1分子当たりの総炭素数が11以上であることを特徴とする請求項1に記載の染料含有ネガ型硬化性組成物。   2. The dye-containing negative curable composition according to claim 1, wherein the (F) higher fatty acid or derivative thereof has a total carbon number of 11 or more per molecule. 前記(F)高級脂肪酸またはその誘導体の少なくとも1種が、パルミチン酸、ステアリン酸、ベヘン酸、アラキン酸、ミリスチン酸、および、これらの誘導体から選ばれる化合物であることを特徴とする請求項1または2に記載の染料含有ネガ型硬化性組成物。   The at least one of the (F) higher fatty acid or a derivative thereof is a compound selected from palmitic acid, stearic acid, behenic acid, arachidic acid, myristic acid, and derivatives thereof. The dye-containing negative curable composition according to 2, 前記(G)界面活性剤が、ノニオン性界面活性剤またはアニオン性界面活性剤であることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の染料含有ネガ型硬化性組成物。   The dye-containing negative curable composition according to any one of claims 1 to 3, wherein the (G) surfactant is a nonionic surfactant or an anionic surfactant. 前記(F)高級脂肪酸またはその誘導体と前記(G)界面活性剤との質量比((G)/(F))が、1以下であることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の染料含有ネガ型硬化性組成物。   5. The mass ratio ((G) / (F)) of the (F) higher fatty acid or derivative thereof and the (G) surfactant is 1 or less. The dye-containing negative curable composition according to Item. 請求項1〜5のいずれか1項に記載の染料含有ネガ型硬化性組成物を用いてなることを特徴とするカラーフィルター。   A color filter comprising the dye-containing negative curable composition according to any one of claims 1 to 5. 請求項1〜5のいずれか1項に記載の染料含有ネガ型硬化性組成物を支持体上に塗布後、マスクを通して露光し、現像してパターンを形成する工程を含むことを特徴とするカラーフィルターの製造方法。   A color comprising a step of applying a dye-containing negative curable composition according to any one of claims 1 to 5 on a support, exposing through a mask, and developing to form a pattern. The manufacturing method of the filter.
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