JP2004002631A - Dye-containing curable composition, color filter using the same and method for producing the color filter - Google Patents

Dye-containing curable composition, color filter using the same and method for producing the color filter Download PDF

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JP2004002631A
JP2004002631A JP2002284160A JP2002284160A JP2004002631A JP 2004002631 A JP2004002631 A JP 2004002631A JP 2002284160 A JP2002284160 A JP 2002284160A JP 2002284160 A JP2002284160 A JP 2002284160A JP 2004002631 A JP2004002631 A JP 2004002631A
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Katsumi Araki
荒木 勝己
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To obtain a dye-containing curable composition which has high sensitivity, high transmittance, high resolving power, wide development latitude and yet has no dye elution, no heat deterioration, no photodegradation and high productivity, a color filter using the same and to provide a method for producing the color filter. <P>SOLUTION: The dye-containing curable composition comprises an alkali-soluble binder and an organic solvent-soluble dye. The organic solvent-soluble dye is a compound represented by general formula (I) (Dye is an acidic dye; X is a polymerizable group-containing amine compound; n is in 0<n≤10). <P>COPYRIGHT: (C)2004,JPO

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、液晶表示素子や固体撮像素子に用いられるカラーフィルターの着色画像を形成するのに好適なカラーフィルター用染料含有硬化性組成物、並びに、これを使用したカラーフィルターおよびその製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
液晶表示素子や固体撮像素子に用いられるカラーフィルターを作製する方法としては、染色法、印刷法、電着法および顔料分散法が知られている。
上記染色法は、ゼラチン、グリュー、カゼイン等の天然樹脂あるいはアミン変性ポリビニルアルコール等の合成樹脂からなる染着基材を酸性染料等の染料で染色してカラーフィルターを作製する方法である。
【0003】
上記染色法に於いては、染料を用いるため耐光性、耐熱性および耐湿性等に問題がある他、大画面では染色および固着特性を均一にコントロールすることが難しいため色ムラが発生し易く、また染色に際して防染層を必要とするため工程が煩雑である等の問題点を有する。
【0004】
上記電着法は、予め透明電極を所定のパターンで形成しておき、溶媒中に溶解または分散した顔料を含む樹脂をイオン化させ電圧を印加して着色画像をパターン状に形成することによってカラーフィルターを作製する方法である。
上記電着法では、表示用の透明電極以外にカラーフィルター形成用の透明電極の製膜とエッチング工程を含むフォトリソ工程が必要である。その際ショートがあると線欠陥になり歩留まりの低下をきたしてしまう。また原理上ストライプ配列以外、例えばモザイク配列には適用が困難であり、さらには透明電極の管理が難しい等の問題点がある。
【0005】
上記印刷法は、熱硬化樹脂または紫外線硬化樹脂に顔料を分散したインクを用いてオフセット印刷等の印刷によってカラーフィルターを作製する簡便な方法である。しかし、使用出来るインキが高粘度であるためフィルタリングが難しく、ゴミ、異物およびインキバインダーのゲル化した部分による欠陥が発生し易いことや、印刷精度に伴う位置精度、線幅精度および平面平滑性に問題がある。
【0006】
上記顔料分散法は、顔料を種々の感光性組成物に分散させた着色感放射線性組成物を用いてフォトリソ法によってカラーフィルターを作製する方法である。この方法は、顔料を使用しているために光や熱等に安定であると共にフォトリソ法によってパターニングするため、位置精度も十分で大画面、高精細カラーディスプレイ用カラーフィルターの作製に好適な方法である。
【0007】
上記顔料分散法によってカラーフィルターを作製するには、ガラス基板上に感放射線性組成物をスピンコーターやロールコーター等を用いて塗布し、乾燥させて塗膜を形成し、該塗膜をパターン露光し、現像することによって着色した画素を得、この操作を各色毎に行いカラーフィルターを得ている。
顔料分散法としては、アルカリ可溶性樹脂に光重合性モノマーと光重合開始剤とを用いるネガ型感光性組成物が開示されている(例えば、特許文献1、特許文献2、特許文献3、特許文献4、特許文献5、特許文献6、特許文献7、特許文献8参照。)。
【0008】
しかしながら、近年、固体撮像素子用のカラーフィルターにおいては更なる高精細化が望まれている。しかし従来の顔料分散系では解像度が向上せず、また顔料の粗大粒子による色むらが発生する等の問題があるため、固体撮像素子のように微細パターンが要求される用途には適さなかった。この問題を解決する為、従来から染料の使用が提案されている(例えば、特許文献9参照。)
【0009】
しかしながら、染料含有の硬化性組成物は以下の(1)〜(4)などのような新たな問題点を含んでいる。
すなわち、
(1)通常の色素はアルカリ水溶液または有機溶剤のいずれかに溶解性が低い為、所望のスペクトルを有する液状の硬化性組成物を得るのが困難である。
(2)染料は、硬化性組成物中の他の成分と相互作用を示す場合が多い為、硬化部、非硬化部の溶解性(現像性)の調節が困難である。
(3)染料のモル吸光係数(ε)が低い場合は、多量の染料を添加しなければならず、この為、硬化性組成物中の重合性化合物(モノマー)やバインダー、光重合開始剤等の他の成分を減らさざるを得なくなり、組成物の硬化性、硬化後の耐熱性、(非)硬化部の現像性が低下する等の問題を生じる。
(4)染料は一般的に顔料に比べ、耐光性、耐熱性に劣る。
【0010】
これらの問題の為、高精細カラーフィルター用の微細かつ薄膜の着色パターンを満足することは困難であった。
また、半導体作製用途の場合とは異なり、固体撮像素子用カラーフィルター作製用途の場合にはその膜厚が1μm以下であることが要求される。従って、所望の吸収を得るためには硬化性組成物中に多量の色素を添加しなければならず、前述の問題を生じる結果となる。
【0011】
一方、酸性染料の溶解性を向上させた、各種アミンとの塩からなる染料が知られている。例えば、アルカリ水溶液および有機溶剤に溶解性のある「acid yellow 42」のアミン塩(たとえばジトリルグアニジン塩等)等である。しかし、これらはイミン部に重合性基を有していない為、レジスト中の他の成分との相互作用によって、アルカリ現像性が著しく低下してしまう。また、「acid yellow 42」に代表されるアゾ系の酸性染料は、種々のコンフォメーションをとることが可能な為、モル吸光係数が低い場合があり、分子量の高い対イオンを有すると、色価(吸光度/質量)が下がり、依然としてレジスト組成物に多量の色素を添加しなければならない。このため、上述と同様の問題を引き起こす結果となり、その改良策が望まれていた(例えば、特許文献10参照。)。
【0012】
【特許文献1】
特開平1−102469号公報
【特許文献2】
特開平1−152499号公報
【特許文献3】
特開平2−181704号公報
【特許文献4】
特開平2−199403号公報
【特許文献5】
特開平4−76062号公報
【特許文献6】
特開平5−273411号公報
【特許文献7】
特開平6−184482号公報
【特許文献8】
特開平7−140654号公報
【特許文献9】
特開平6−75375号公報
【特許文献10】
特開昭59−30509号公報
【0013】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の目的は、高感度、高透過率、高解像力、広い現像ラチチュードを有し、しかも染料の溶出、熱劣化および光劣化がなく生産性の高い染料含有硬化性組成物並びにそれを使用したカラーフィルターおよびその製造方法を提供することにある。
【0014】
【課題を解決するための手段】
本発明によれば、下記構成のカラーフィルター用途に適した染料含有硬化性組成物、カラーフィルター、および、カラーフィルターの製造方法が提供されて、本発明の目的が達成される。
<1>−1 アルカリ可溶性バインダーおよび有機溶剤可溶性染料を含んでなる染料含有硬化性組成物であって、前記有機溶剤可溶性染料が下記一般式(I)で表される化合物であることを特徴とする染料含有硬化性組成物である。
【0015】
【化2】

Figure 2004002631
(一般式(I)中、Dyeは酸性染料を表し、Xは重合性基を有するアミン化合物を表す。nは、0<n≦10を表す。)
【0016】
<1>−2 前記一般式(I)においてXで表されるアミン化合物の分子量が、700以下であることを特徴とする上記<1>−1の染料含有硬化性組成物である。
尚、上記アミン化合物としては、分子量600以下のアミン化合物が好ましく、分子量500以下のアミン化合物がさらに好ましく、分子量400以下のアミン化合物が特に好ましい。
【0017】
<1>−3 前記一般式(I)においてXで表されるアミン化合物の重合性基が、(メタ)アクリルエステル基、(メタ)アクリルアミド基、アリル基、イソプロペニル基、ビニルエーテル基、エポキシ基、スチリル基およびビニルエステル基から選ばれる少なくとも1種を含むことを特徴とする上記<1>−1または<1>−2の染料含有硬化性組成物である。
尚、上記重合性基としては、(メタ)アクリルエステル基、(メタ)アクリルアミド基、アリル基、イソプロペニル基、ビニルエーテル基、エポキシ基およびスチリル基が好ましく、(メタ)アクリルエステル基、(メタ)アクリルアミド基、アリル基、イソプロペニル基、ビニルエーテル基およびエポキシ基がさらに好ましく、(メタ)アクリルエステル基、(メタ)アクリルアミド基、アリル基、イソプロペニル基、ビニルエーテル基およびグリシジル基が特に好ましい。
【0018】
<1>−4 前記一般式(I)においてXで表されるアミン化合物が、15個以下の重合性基を含むことを特徴とする上記<1>−1〜<1>−3の染料含有硬化性化合物である。
尚、上記アミン化合物が有する重合性基は、12個以下が好ましく、8個以下がさらに好ましく、6個以下であることが特に好ましい。
【0019】
<2> 前記一般式(I)における酸性染料が、アゾ系、アントラキノン系、アンスラピリドン系およびフタロシアニン系のいずれかの酸性染料であることを特徴とする上記<1>の染料含有硬化性組成物である。
【0020】
<3>前記アゾ系の酸性染料が、下記一般式(II)で表される化合物であることを特徴とする上記<2>の染料含有硬化性組成物である。
【0021】
【化3】
Figure 2004002631
(一般式(II)中、AおよびBは、それぞれ独立して置換基を有していてもよいピラゾール環、ベンゼン環、ナフタレン環、またはアセチルアセトン残基を表す。)
【0022】
<4>アルカリ可溶性バインダー、有機溶剤可溶性染料、光重合開始剤およびモノマーを含んでなるネガ型の染料含有硬化性組成物であって、前記有機溶剤可溶性染料が下記一般式(II)で表される化合物を含むことを特徴とするネガ型の染料含有硬化性組成物である。
【0023】
【化4】
Figure 2004002631
(一般式(II)中、AおよびBは、それぞれ独立して置換基を有していてもよいピラゾール環、ベンゼン環、ナフタレン環、またはアセチルアセトン残基を表す。)
【0024】
<5>さらに、架橋剤を含んでなることを特徴とする上記<1>〜<4>の染料含有硬化性組成物である。
【0025】
<6>上記<1>〜<5>の染料含有硬化性組成物を含有することを特徴とするカラーフィルターである。
【0026】
<7> 上記<1>〜<5>の染料含有硬化性組成物を基板上に塗布後、マスクを通して露光し、現像してパターンを形成することを特徴とするカラーフィルターの製造方法である。この製造方法は、必要により上記パターンを加熱および/または露光により硬化する工程を含んでいてもよいし、これらの工程を複数回繰り返すものであってもよい。
【0027】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の染料含有硬化性組成物並びにそれを使用したカラーフィルターおよびその製造方法について詳述する。
【0028】
《染料含有硬化性組成物》
本発明の染料含有硬化性組成物(以下、「本発明の組成物」という場合がある。)は、アルカリ可溶性バインダーと、有機溶剤可溶性染料とを含んでなる染料含有硬化性組成物であって、前記有機溶剤可溶性染料が下記一般式(I)で表される化合物であることを特徴とする。本発明の組成物は、膜の硬化度を向上させるため架橋剤を含んでいてもよい。また、本発明の組成物がネガ型の組成物である場合には、上記アルカリ可溶性バインダーおよび有機溶媒可溶性染料に加えて、モノマーおよび光重合開始剤を含み、さらに架橋剤を含んでいてもよい。
【0029】
【化5】
Figure 2004002631
(一般式(I)中、Dyeは酸性染料を表し、Xは重合性基を有するアミン化合物を表す。nは、0<n≦10を表す。)
【0030】
(有機溶剤可溶性染料)
本発明における有機溶剤可溶性染料は上記一般式(I)で表され、酸性染料とアミン化合物との塩からなる化合物である。
−酸性染料−
上記酸性染料について説明する。上記酸性染料は、スルホン酸やカルボン酸やフェノール性水酸基等の酸性基を有する色素であれば特に限定されないが、有機溶剤や現像液に対する溶解性、塩基性化合物との塩形成性、吸光度、硬化性組成物中の他の成分との相互作用、耐光性、耐熱性等の必要とされる性能の優先順位の全てを勘案して選択される。
以下に上記酸性染料の具体例を挙げるが、これらに限定されるものではない。例えば、acid alizarin violet N;acid black 1,2,24,48;acid blue 1,7,9,15,18,23,25,27,29,40,42、45,51,62,70,74,80,83,86,87,90,92,96,103,112,113,120,129,138,147,150,158,171,182,192,210,242,243,256,259,267,278,280,285,290,296,315,324:1,335,340;acid chrome violetK;acid Fuchsin;acid green 1,3,5,9,16,25,27,50,58,63,65,80,104,105,106,109;acid orange 6,7,8,10,12,26,50,51,52,56,62,63,64,74,75,94,95、107,108,169,173;acid red 1,4,8,14,17,18,26,27,29,31,34,35,37,42,44,50,51,52,57,66,73,80,87,88,91,92,94,97,103,111,114,129,133,134,138,143,145,150,151,158,176,182,183,195,198,206,211,215,216,217,227,228,249,252,257,258,260,261,266,268,270,274,277,280,281,308,312,315,316,339,341,345,346,349,382,383,394,401,412,417,418,422,426;
【0031】
acid violet 6B,7,9,17,19;acid yellow1,3,7,9,11,17,23,25,29,34,36,38,40,42,54,65,72,73,76,79,98,99,111,112,113,114,116,119,123,128,134,135,138,139,140,144,150,155,157,160,161,163,168,169,172,177,178,179,184,190,193,196,197,199,202,203,204,205,207,212,214,220,221,228,230,232,235,238,240,242,243,251;
【0032】
Direct yellow 2,33,34,35,38,39,43,47,50,54,58,68,69,70,71,86,93,94,95,98,102,108,109,129,136,138,141;DirectOrenge 34,39,41,46,50,52,56,57,61,64,65,68,70,96,97,106,107;Direct Red 79,82,83,84,91,92,96,97,98,99,105,106,107,172,173,176,177,179,181,182,184,204,207,211,213,218,220,221,222,232,233,234,241,243,246,250;Direct Violet 47,52,54,59,60,65,66,79,80,81,82,84,89,90,93,95,96,103,104;
【0033】
Direct Blue 57,77,80,81,84,85,86,90,93,94,95,97,98,99,100,101,106,107,108,109,113,114,115,117,119,137,149,150,153,155,156,158,159,160,161,162,163,164,166,167,170,171,172,173,188,189,190,192,193,194,196,198,199,200,207,209,210,212,213,214,222,228,229,237,238,242,243,244,245,247,248,250,251,252,256,257,259,260,268,274,275,293;Direct Green 25,27,31,32,34,37,63,65,66,67,68,69,72,77,79,82;
【0034】
Mordant Yellow 3,5,8,10,16,20,26,30,31,33,42,43,45,56,50,61,62,65;Mordant Orenge 3,4,5,8,12,13,14,20,21,23,24,28,29,32,34,35,36,37,42,43,47,48;Mordant Red 1,2,3,4,9,11,12,14,17,18,19,22,23,24,25,26,30,32,33,36,37,38,39,41,43,45,46,48,53,56,63,71,74,85,86,88,90,94,95;Mordant Violet 2,4,5,7,14,22,24,30,31,32,37,40,41,44,45,47,48,53,58;Mordant Blue 2,3,7,8,9,12,13,15,16,19,20,21,22,23,24,26,30,31,32,39,40,41,43,44,48,49,53,61,74,77,83,84;Mordant Green 1,3,4,5,10,15,19,26,29,33,34,35,41,43,53;Food Yellow 3;およびこれらの染料の誘導体が挙げられる。
【0035】
この中でも上記酸性染料としては、acid black 24;acid blue 23,25,29,62,80,86,87,92、138,158,182,243,324:1;acid orange 8,51,56,63,74;acid red 1,4,8,34,37,42,52,57,80,97,114,143,145,151,183,217;acid violet 7;acid yellow 17,25,29,34,38,42,65,72,76、99、111,112,114,116,134,155,169,172,184,220,228,230,232,243;Acid Green 25、Mordant Yellow 3等の染料およびこれらの染料の誘導体が好ましい。
また、上記以外のアゾ系、キサンテン系、フタロシアニン系の酸性染料も好ましく、C.I.Solvent Blue 44,38;C.I.Solvent Orenge 45;Rhodamine B;Rhodamine 110;2,7−Naphthalenedisulfonic acid;3−[(5−chloro−2−phenexyphenyl)hydrazono]−3,4−dihydro−4−oxo−5−[(phenylsulfonyl)amino]−、等の酸性染料、およびこれらの染料の誘導体も好ましく用いられる。
【0036】
酸性染料の誘導体としては、スルホン酸やカルボン酸等の酸性基を有する酸性染料の無機塩、酸性染料と含窒素化合物との塩、酸性染料の(スルホン)アミド体等が使用でき、硬化性組成物溶液として溶解させることが出来るものであれば特に限定されないが、有機溶剤や現像液に対する溶解性、吸光度、硬化性組成物中の他の成分との相互作用、耐光性、耐熱性等の必要とする性能の全てを考慮して選択される。
【0037】
また、本発明における酸性染料としてはアゾ系、アントラキノン環、アンスラピリドン系、フタロシアニン系の染料が好ましく、特にアゾ系の酸性染料としては下記一般式(II)で表される化合物を好ましく用いることができる。
【0038】
【化6】
Figure 2004002631
(一般式(II)中、AおよびBは、それぞれ独立して置換基を有していてもよいピラゾール環、ベンゼン環、ナフタレン環、またはアセチルアセトン残基を表す。)
【0039】
上記一般式(II)で表される化合物としては、以下の化合物が挙げられる。
【0040】
【化7】
Figure 2004002631
【0041】
【化8】
Figure 2004002631
【0042】
−アミン化合物−
上記酸性染料と対塩を形成するアミン化合物について説明する。本発明において、一般式(I)中Xで表されるアミン化合物は、重合性基を有する。上記アミン化合物は、有機溶剤や現像液に対する溶解性、塩形成性、染料の吸光度、硬化性組成物中の他の成分との相互作用等の全てを勘案して選択される。吸光度の観点等からは、できるだけ分子量の低いものが好ましく、そのなかで、分子量700以下であることが好ましく、分子量600以下であることがさらに好ましく、分子量500以下であることが特に好ましく、分子量400以下であることが最も好ましい。
【0043】
上記アミン化合物の有する重合性基としては、(メタ)アクリルエステル基、(メタ)アクリルアミド基、アリル基、イソプロペニル基、ビニルエーテル基、エポキシ基、スチリル基およびビニルエステル基等が挙げられ、(メタ)アクリルエステル基、(メタ)アクリルアミド基、アリル基、イソプロペニル基、ビニルエーテル基、エポキシ基およびスチリル基が好ましく、(メタ)アクリルエステル基、(メタ)アクリルアミド基、アリル基、イソプロペニル基、ビニルエーテル基およびエポキシ基がさらに好ましく、(メタ)アクリルエステル基、(メタ)アクリルアミド基、アリル基、イソプロペニル基、ビニルエーテル基およびグリシジル基が特に好ましい。
【0044】
上記アミン化合物としては、上記重合性基の中でも、アクリロイル基、メタクリロイル基、グリシジル基、アリル基、2−メチルアリル基、ビニルエーテル基等を有するアミン化合物が好ましく、さらに、重合性基としてアクリロイル基、メタクリロイル基、グリシジル基、アリル基、2−メチルアリル基を有するアミン化合物は、末端ヒドロキシ基および/または末端アミノ基を有するアミン化合物と、相当する(メタ)アクリル酸ハロゲン化物、エピクロロヒドリン、アリルハライド、2−メチル−アリルハライド等とを反応させて得られる下記の具体例に挙げる化合物が好ましい。
【0045】
また、上記アミン基の有する重合性基の数は、15個以下が好ましく、12個以下がさらに好ましく、8個以下が特に好ましく、6個以下であることが最も好ましい。
【0046】
以下に本発明における重合性基を有するアミンの具体例を挙げるが、本発明はこれらに限定されるものではない。
【0047】
【化9】
Figure 2004002631
【0048】
【化10】
Figure 2004002631
【0049】
− n −
一般式(I)中の数値nについて説明する。nは酸性染料分子と対イオンであるアミン化合物とのモル比率を決定する値であり、酸性染料−アミン化合物の塩形成条件によって自由に選択することができる。具体的には、酸性染料中に対して0<n≦10の当量の数値であり、有機溶剤や現像液に対する溶解性、塩形成性、吸光度、硬化性組成物中の他の成分との相互作用、耐光性、耐熱性等、必要とする性能の優先順位の全てを勘案して選択される。吸光度のみの観点で選択すると、上記nは酸性染料に対して0<n≦8の数値をとることが好ましく、0<n≦6の数値をとることがさらに好ましく、0<n≦4の数値をとることが特に好ましい。
【0050】
−使用濃度−
次に有機溶剤可溶性染料の使用濃度について説明する。本発明の染料含有硬化性組成物の全固形成分中の有機溶剤可溶性染料の濃度は、染料の種類によって異なるが、0.5〜80質量%が好ましく、0.5〜60質量%がより好ましく、0.5〜50質量%が特に好ましい。
【0051】
(バインダー)
次にバインダーについて説明する。本発明に使用するバインダーはアルカリ可溶性であれば、特に限定されないが、耐熱性、現像性、入手性等の観点から選ばれることが好ましい。
アルカリ可溶性のバインダーとしては、線状有機高分子重合体で、有機溶剤に可溶で、弱アルカリ水溶液で現像できるものが好ましい。このような線状有機高分子重合体としては、側鎖にカルボン酸を有するポリマー、例えば特開昭59−44615号、特公昭54−34327号、特公昭58−12577号、特公昭54−25957号、特開昭59−53836号、特開昭59−71048号明細書に記載されているようなメタクリル酸共重合体、アクリル酸共重合体、イタコン酸共重合体、クロトン酸共重合体、マレイン酸共重合体、部分エステル化マレイン酸共重合体等があり、また同様に側鎖にカルボン酸を有する酸性セルロース誘導体が有用である。この他に水酸基を有するポリマーに酸無水物を付加させたもの等やポリヒドロキシスチレン系樹脂、ポリシロキサン系樹脂、ポリ(2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート)、ポリビニールピロリドンやポリエチレンオキサイド、ポリビニールアルコール、等も有用である。
【0052】
また親水性を有するモノマーを共重合しても良く、この例としては、アルコキシアルキル(メタ)アクリレート、ヒドロキシアルキル(メタ)アクリレート、グリセロール(メタ)アクリレート、(メタ)アクリルアミド、N−メチロールアクリルアミド、2級および3級のアルキルアクリルアミド、ジアルキルアミノアルキル(メタ)アクリレート、モルホリン(メタ)アクリレート、N−ビニルピロリドン、N−ビニルカプロラクタム、ビニルイミダゾール、ビニルトリアゾール、メチル(メタ)アクリレート、エチル(メタ)アクリレート、分岐または直鎖のプロピル(メタ)アクリレート、分岐または直鎖のブチル(メタ)アクリレート、フェノキシヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート等が上げられる。その他親水性を有するモノマーとしては、テトラヒドロフルフリル基、燐酸、燐酸エステル、4級アンモニウム塩、エチレンオキシ鎖、プロピレンオキシ鎖、スルホン酸およびその塩、モルホリノエチル基等を含んだモノマー等も有用である。
また、架橋効率を向上させるために、重合性基を側鎖に有してもよく、アリル基、(メタ)アクリル基、アリルオキシアルキル基等を側鎖に含有したポリマー等も有用である。
【0053】
これらの重合性基を含有するポリマーの例としては、KSレジスト−106(大阪有機化学工業(株)製)、サイクロマーPシリーズ(ダイセル化学工業(株)製)等が挙げられる。
また、硬化皮膜の強度をあげるためにアルコール可溶性ナイロンや、2,2−ビス−(4−ヒドロキシフェニル)−プロパンとエピクロルヒドリンとのポリエーテル等も有用である。
【0054】
これら各種バインダーのなかで、本発明に用いるバインダーとしては、耐熱性の観点で、ポリヒドロキシスチレン系樹脂、ポリシロキサン系樹脂、アクリル系樹脂、アクリルアミド系樹脂、アクリル/アクリルアミド共重合体樹脂が好ましい。また、現像性制御の観点でアクリル系樹脂、アクリルアミド系樹脂、アクリル/アクリルアミド共重合体樹脂が好ましい。
上記アクリル系樹脂としては、ベンジル(メタ)アクリレート、(メタ)アクリル、ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、(メタ)アクリルアミド等から選ばれるモノマーからなる共重合体、および、KSレジスト−106(大阪有機化学工業(株)製)、サイクロマーPシリーズ等が好ましい。
【0055】
また、本発明に用いるバインダーとしては、アルカリ可溶性フェノール樹脂を用いることができる。該アルカリ可溶性フェノール樹脂は、本発明の組成物をポジ型の組成物とする場合に好適に用いることができる。アルカリ可溶性フェノール樹脂としては、例えばノボラック樹脂またはビニル重合体等が挙げられる。
上記ノボラック樹脂としては、例えばフェノール類とアルデヒド類とを酸触媒の存在下に縮合させて得られるものが挙げられる。上記フェノール類としては、例えばフェノール、クレゾール、エチルフェノール、ブチルフェノール、キシレノール、フェニルフェノール、カテコール、レゾルシノール、ピロガロール、ナフトールまたはビスフェノールA等が挙げられる。上記フェノール類は単独若しくは2種以上を組み合わせて用いることができる。上記アルデヒド類としては、例えばホルムアルデヒド、パラホルムアルデヒド、アセトアルデヒド、プロピオンアルデヒドまたはベンズアルデヒド等が挙げられる。
【0056】
上記ノボラック樹脂の具体例としては、例えば、メタクレゾール、パラクレゾールまたはこれらの混合物とホルマリンとの縮合生成物が挙げられる。上記ノボラック樹脂は分別等の手段を用いて分子量分布を調節してもよい。また、ビスフェノールCやビスフェノールA等のフェノール性水酸基を有する低分子量成分を上記ノボラック樹脂に混合してもよい。
【0057】
上記バインダーは、重量平均分子量(GPC法で測定されたポリスチレン換算値)が1000〜2×10の重合体が好ましく、2000〜1×10の重合体がさらに好ましく、5000〜5×10の重合体が特に好ましい。
上記バインダーの本発明の組成物中の使用量は、本発明の組成物中の全固形分に対して10〜90質量%が好ましく、20〜80質量%がさらに好ましく、30〜70質量%が特に好ましい。
【0058】
(架橋剤)
次に架橋剤について説明する。本発明は上記一般式(I)で表される有機溶媒可溶性染料を使用し、従来に比較して膜の硬化反応をより高度に進行させ、硬化性の良好な膜が得られることが発明の主旨であるが、補足的に、架橋剤を用いて更に高度に硬化させた膜を得ることも可能である。本発明に使用する架橋剤は、架橋反応によって膜硬化を行えるものであれば特に限定されないが、例えば(a)エポキシ樹脂、(b)メチロール基、アルコキシメチル基およびアシロキシメチル基から選ばれた少なくとも一つの置換基で置換されたメラミン化合物、グアナミン化合物、グリコールウリル化合物またはウレア化合物、(c)メチロール基、アルコキシメチル基およびアシロキシメチル基から選ばれた少なくとも一つの置換基で置換されたフェノール化合物、ナフトール化合物またはヒドロキシアントラセン化合物が挙げられ、特に多官能エポキシ樹脂が好ましい。
【0059】
(a)成分のエポキシ樹脂としては、エポキシ基を有し、かつ架橋性を有するものであれば何でも良いが、これらの化合物の例としては、ビスフェノール−A−ジグリシジルエーテル、エチレングリコールジグリシジルエーテル、ブタンジオールジグリシジルエーテル、へキサンジオールジグリシジルエーテル、ジヒドロキシビフェニルジグリシジルエーテル、フタル酸ジグリシジルエステル、N,N−ジグリシジルアニリン等の2価のグリシジル基含有低分子化合物、同様に、トリメチロールプロパントリグリシジルエーテル、トリメチロールフェノールトリグリシジルエーテル、TrisP−PAトリグリシジルエーテル等に代表される3価のグリシジル基含有低分子化合物、同様に、ペンタエリスリトールテトラグリシジルエーテル、テトラメチロールビスフェノール−A−テトラグリシジルエーテル等に代表される4価のグリシジル基含有低分子化合物、同様に、ジペンタエリスリトールペンタグリシジルエーテル、ジペンタエリスリトールヘキサグリシジルエーテル等の多価グリシジル基含有低分子化合物、ポリグリシジル(メタ)アクリレート、2,2−ビス(ヒドロキシメチル)−1−ブタノールの1,2−エポキシ−4−(2−オキシラニル)シクロヘキサン付加物等に代表されるグリシジル基含有高分子化合物等が挙げられる。
【0060】
(b)成分に含まれるメチロール基、アルコキシメチル基、アシロキシメチル基が置換している数は、メラミン化合物の場合2〜6、グリコールウリル化合物、グアナミン化合物、ウレア化合物の場合は2〜4であるが、好ましくはメラミン化合物の場合5〜6、グリコールウリル化合物、グアナミン化合物、ウレア化合物の場合は3〜4である。
【0061】
これらのメチロール基含有化合物は、上記アルコキシメチル基含有化合物をアルコール中で塩酸、硫酸、硝酸、メタンスルホン酸等の酸触媒存在下、加熱することにより得られる。アシロキシメチル基含有化合物はメチロール基含有化合物を塩基性触媒存在下、アシルクロリドと混合攪拌することにより得られる。
【0062】
以下、上記置換基を有する化合物の具体例を挙げる。
メラミン化合物として、例えば、ヘキサメチロールメラミン、ヘキサメトキシメチルメラミン、ヘキサメチロールメラミンのメチロール基の1〜5個がメトキシメチル化した化合物またはその混合物、ヘキサメトキシエチルメラミン、ヘキサアシロキシメチルメラミン、ヘキサメチロールメラミンのメチロール基の1〜5個がアシロキシメチル化した化合物またはその混合物などが挙げられる。
【0063】
グアナミン化合物として、例えば、テトラメチロールグアナミン、テトラメトキシメチルグアナミン、テトラメチロールグアナミンの1〜3個のメチロール基をメトキシメチル化した化合物またはその混合物、テトラメトキシエチルグアナミン、テトラアシロキシメチルグアナミン、テトラメチロールグアナミンの1〜3個のメチロール基をアシロキシメチル化した化合物またはその混合物などが挙げられる。
【0064】
グリコールウリル化合物としては、例えば、テトラメチロールグリコールウリル、テトラメトキシメチルグリコールウリル、テトラメチロールグリコールウリルのメチロール基の1〜3個をメトキシメチル化した化合物またはその混合物、テトラメチロールグリコールウリルのメチロール基の1〜3個をアシロキシメチル化した化合物またはその混合物などが挙げられる。
【0065】
ウレア化合物としては、例えば、テトラメチロールウレア、テトラメトキシメチルウレア、テトラメチロールウレアの1〜3個のメチロール基をメトキシメチル化した化合物またはその混合物、テトラメトキシエチルウレアなどが挙げられる。これらは単独で使用しても良く、組み合わせて使用しても良い。
【0066】
(c)成分として含有されるメチロール基、アルコキシメチル基、アシロキシメチル基から選ばれた少なくとも一つの基で置換されたフェノール化合物、ナフトール化合物またはヒドロキシアントラセン化合物は、(b)成分の場合と同様、熱架橋により上塗りフォトレジストとのインターミキシングを抑制するとともに、膜強度を更に高めるものである。
【0067】
(c)成分に含まれるメチロール基、アシロキシメチル基またはアルコキシメチル基の数としては、一分子あたり最低2個必要であり、熱架橋性および保存安定性の観点からフェノール性化合物の2位,4位が全て置換されている化合物が好ましい。
また、骨格となるナフトール化合物、ヒドロキシアントラセン化合物も、OH基のオルト位、パラ位が全て置換されている化合物が好ましい。
骨格となるフェノール化合物の3位または5位は未置換であってもよいし、置換基を有していてもよい。骨格となるナフトール化合物においても、OH基のオルト位以外は未置換であってもよいし、置換基を有していてもよい。
【0068】
これらのメチロール基含有化合物は、フェノール性OH基のオルト位またはパラ位(2位または4位)が水素原子である化合物を原料に用い、これを水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、アンモニア、テトラアルキルアンモニウムヒドロキシド等の、塩基性触媒の存在下でホルマリンと反応させることにより得られる。
また、アルコキシメチル基含有化合物は、上記メチロール基含有化合物をアルコール中で塩酸、硫酸、硝酸、メタンスルホン酸等の酸触媒の存在下で加熱する事により得られる。
アシロキシメチル基含有化合物は、上記メチロール基含有化合物を塩基性触媒の存在下アシルクロリドと反応させることにより得られる。
【0069】
骨格化合物としては、フェノール性OH基のオルト位またはパラ位が未置換のフェノール化合物、ナフトール、ヒドロキシアントラセン化合物、例えば、フェノール、クレゾールの各異性体、2,3−キシレノ−ル、2,5−キシレノ−ル、3,4−キシレノール、3,5−キシレノール、ビスフェノール−Aなどのビスフェノール類、4,4’−ビスヒドロキシビフェニル、TrisP−PA(本州化学工業(株)製)、ナフトール、ジヒドロキシナフタレン、2,7−ジヒドロキシアントラセン等が使用される。
【0070】
(c)成分の具体例としては、例えば、トリメチロールフェノール、トリ(メトキシメチル)フェノール、トリメチロールフェノールの1〜2個のメチロール基をメトキシメチル化した化合物、トリメチロール−3−クレゾール、トリ(メトキシメチル)−3−クレゾール、トリメチロール−3−クレゾールの1〜2個のメチロール基をメトキシメチル化した化合物、2,6−ジメチロール−4−クレゾール等のジメチロールクレゾール、テトラメチロールビスフェノール−A、テトラメトキシメチルビスフェノール−A、テトラメチロールビスフェノール−Aの1〜3個のメチロール基をメトキシメチル化した化合物、テトラメチロール−4,4’−ビスヒドロキシビフェニル、テトラメトキシメチル−4,4’−ビスヒドロキシビフェニル、TrisP−PAのヘキサメチロール体、TrisP−PAのヘキサメトキシメチル体、TrisP−PAのヘキサメチロール体の1〜5個のメチロール基をメトキシメチル化した化合物、ビスヒドロキシメチルナフタレンジオール等がある。
【0071】
ヒドロキシアントラセン化合物としては、例えば、1,6−ジヒドロキシメチル−2,7−ジヒドロキシアントラセン等が挙げられる。
アシロキシメチル基含有化合物としては、例えば、上記メチロール基含有化合物のメチロール基を、一部または全部アシロキシメチル化した化合物が挙げられる。
【0072】
これらの化合物の中で好ましいものは、トリメチロールフェノール、ビスヒドロキシメチル−p−クレゾール、テトラメチロールビスフェノールA、TrisP−PA(本州化学工業(株)製)のヘキサメチロール体またはそれらのメチロール基がアルコキシメチル基およびメチロール基とアルコキシメチル基の両方で置換されたフェノール化合物である。これらは単独で使用してもよく、組み合わせて使用してもよい。
【0073】
本発明の染料含有硬化性組成物中における(a)〜(c)成分の含有量は素材により異なるが、固形分に対して1〜70質量%が好ましく、5〜50質量%がより好ましく、7〜30質量%が特に好ましい。
【0074】
(モノマー)
次に本発明の組成物がネガ型の組成物である場合に含まれるモノマーについて説明する。上記モノマーとしては、少なくとも1個の付加重合可能なエチレン基を有する、常圧下で100℃以上の沸点を持つエチレン性不飽和基を持つ化合物が好ましく、その例としては、ポリエチレングリコールモノ(メタ)アクリレート、ポリプロピレングリコールモノ(メタ)アクリレート、フェノキシエチル(メタ)アクリレート、等の単官能のアクリレートやメタアクリレート;ポリエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、トリメチロールエタントリ(メタ)アクリレート、ネオペンチルグリコールジ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、ヘキサンジオール(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリ(アクリロイルオキシプロピル)エーテル、トリ(アクリロイロキシエチル)イソシアヌレート、グリセリンやトリメチロールエタン等の多官能アルコールにエチレンオキサイドやプロピレンオキサイドを付加させた後(メタ)アクリレート化したもの、特公昭48−41708号、特公昭50−6034号、特開昭51−37193号各公報に記載されているようなウレタンアクリレート類、特開昭48−64183号、特公昭49−43191号、特公昭52−30490号各公報に記載されているポリエステルアクリレート類、エポキシ樹脂と(メタ)アクリル酸との反応生成物であるエポキシアクリレート類等の多官能のアクリレートやメタアクリレートおよびこれらの混合物をあげることができる。更に、日本接着協会誌Vol.20、No.7、300〜308頁に光硬化性モノマーおよびオリゴマーとして紹介されているものが挙げられる。
上記モノマーの本発明の組成物中における含有量は、固形分に対して0.1〜90質量%が好ましく、1.0〜80質量%がさらに好ましく、2.0〜70質量%が特に好ましい。
【0075】
(光重合開始剤)
次に本発明の組成物がネガ型の組成物である場合に含まれる光重合開始剤について説明する。光重合開始剤は重合性を有するモノマーを重合させられるものであれば特に限定されないが、特性、開始効率、吸収波長、入手性、コスト等の観点で選ばれることが好ましい。
上記光重合開始剤としては、ハロメチルオキサジアゾール化合物、ハロメチル−s−トリアジン化合物から選択された少なくとも一つの活性ハロゲン化合物、3−アリール置換クマリン化合物、ロフィン2量体、ベンゾフェノン化合物、アセトフェノン化合物およびその誘導体、シクロペンタジエン−ベンゼン−鉄錯体およびその塩、オキシム系化合物等が挙げられる。
【0076】
ハロメチルオキサジアゾール等の活性ハロゲン化合物としては、特公昭57−6096号公報に記載の2−ハロメチル−5−ビニル−1,3,4−オキサジアゾール化合物等や、2−トリクロロメチル−5−スチリル−1,3,4−オキサジアゾール、2−トリクロロメチル−5−(p−シアノスチリル)−1,3,4−オキサジアゾール、2−トリクロロメチル−5−(p−メトキシスチリル)−1,3,4−オキサジアゾール等が挙げられる。
【0077】
ハロメチル−s−トリアジン系化合物の光重合開始剤としては、特公昭59−1281号公報に記載のビニル−ハロメチル−s−トリアジン化合物、特開昭53−133428号公報に記載の2−(ナフト−1−イル)−4,6−ビス−ハロメチル−s−トリアジン化合物および4−(p−アミノフェニル)−2,6−ジ−ハロメチル−s−トリアジン化合物が挙げられる。
【0078】
その他の例としては、2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−p−メトキシスチリル−s−トリアジン、2,6−ビス(トリクロロメチル)−4−(3,4−メチレンジオキシフェニル)−1,3,5−トリアジン、2,6−ビス(トリクロロメチル)−4−(4−メトキシフェニル)−1,3,5−トリアジン、2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−(1−p−ジメチルアミノフェニル−1,3−ブタジエニル)−s−トリアジン、2−トリクロロメチル−4−アミノ−6−p−メトキシスチリル−s−トリアジン、2−(ナフト−1−イル)−4,6−ビス−トリクロロメチル−s−トリアジン、2−(4−メトキシ−ナフト−1−イル)−4,6−ビス−トリクロロメチル−s−トリアジン、2−(4−エトキシ−ナフト−1−イル)−4,6−ビス−トリクロロメチル−s−トリアジン、2−(4−ブトキシ−ナフト−1−イル)−4,6−ビス−トリクロロメチル−s−トリアジン、2−〔4−(2−メトキシエチル)−ナフト−1−イル〕−4,6−ビス−トリクロロメチル−s−トリアジン、2−〔4−(2−エトキシエチル)−ナフト−1−イル〕−4,6−ビス−トリクロロメチル−s−トリアジン、2−〔4−(2−ブトキシエチル)−ナフト−1−イル〕−4,6−ビス−トリクロロメチル−s−トリアジン、2−(2−メトキシ−ナフト−1−イル)−4,6−ビス−トリクロロメチル−s−トリアジン、2−(6−メトキシ−5−メチル−ナフト−2−イル)−4,6−ビス−トリクロロメチル−s−トリアジン、2−(6−メトキシ−ナフト−2−イル)−4,6−ビス−トリクロロメチル−s−トリアジン、2−(5−メトキシ−ナフト−1−イル)−4,6−ビス−トリクロロメチル−s−トリアジン、2−(4,7−ジメトキシ−ナフト−1−イル)−4,6−ビス−トリクロロメチル−s−トリアジン、
【0079】
2−(6−エトキシ−ナフト−2−イル)−4,6−ビス−トリクロロメチル−s−トリアジン、2−(4,5−ジメトキシ−ナフト−1−イル)−4,6−ビス−トリクロロメチル−s−トリアジン、4−〔p−N,N−ジ(エトキシカルボニルメチル)アミノフェニル〕−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−〔o−メチル−p−N,N−ジ(エトキシカルボニルメチル)アミノフェニル〕−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−〔p−N,N−ジ(クロロエチル)アミノフェニル〕−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−〔o−メチル−p−N,N−ジ(クロロエチル)アミノフェニル〕−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−(p−N−クロロエチルアミノフェニル)−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−(p−N−エトキシカルボニルメチルアミノフェニル)−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−〔p−N,N−ジ(フェニル)アミノフェニル〕−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−(p−N−クロロエチルカルボニルアミノフェニル)−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−〔p−N−(p−メトキシフェニル)カルボニルアミノフェニル〕2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−〔m−N,N−ジ(エトキシカルボニルメチル)アミノフェニル〕−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−〔m−ブロモ−p−N,N−ジ(エトキシカルボニルメチル)アミノフェニル〕−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−〔m−クロロ−p−N,N−ジ(エトキシカルボニルメチル)アミノフェニル〕−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−〔m−フロロ−p−N,N−ジ(エトキシカルボニルメチル)アミノフェニル〕−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、
【0080】
4−〔o−ブロモ−p−N,N−ジ(エトキシカルボニルメチル)アミノフェニル〕−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−〔o−クロロ−p−N,N−ジ(エトキシカルボニルメチル)アミノフェニル−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−〔o−フロロ−p−N,N−ジ(エトキシカルボニルメチル)アミノフェニル〕−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−〔o−ブロモ−p−N,N−ジ(クロロエチル)アミノフェニル〕−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−〔o−クロロ−p−N,N−ジ(クロロエチル)アミノフェニル〕−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−〔o−フロロ−p−N,N−ジ(クロロエチル)アミノフェニル〕−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−〔m−ブロモ−p−N,N−ジ(クロロエチル)アミノフェニル〕−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−〔m−クロロ−p−N,N−ジ(クロロエチル)アミノフェニル〕−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、
【0081】
4−〔m−フロロ−p−N,N−ジ(クロロエチル)アミノフェニル〕−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−(m−ブロモ−p−N−エトキシカルボニルメチルアミノフェニル)−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−(m−クロロ−p−N−エトキシカルボニルメチルアミノフェニル)−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−(m−フロロ−p−N−エトキシカルボニルメチルアミノフェニル)−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−(o−ブロモ−p−N−エトキシカルボニルメチルアミノフェニル)−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−(o−クロロ−p−N−エトキシカルボニルメチルアミノフェニル)−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−(o−フロロ−p−N−エトキシカルボニルメチルアミノフェニル)−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−(m−ブロモ−p−N−クロロエチルアミノフェニル)−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−(m−クロロ−p−N−クロロエチルアミノフェニル)−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−(m−フロロ−p−N−クロロエチルアミノフェニル)−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−(o−ブロモ−p−N−クロロエチルアミノフェニル)−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−(o−クロロ−p−N−クロロエチルアミノフェニル)−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−(o−フロロ−p−N−クロロエチルアミノフェニル)−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン等が挙げられる。
【0082】
その他、緑化学社製TAZシリーズ、TAZ−107、TAZ−110、TAZ−104、TAZ−109、TAZ−140、TAZ−204、TAZ−113、TAZ−123、TAZ−104、PANCHIM社製Tシリーズ、T−OMS、T−BMP、T−R、T−B、チバガイギー社製イルガキュアシリーズ、イルガキュア369、イルガキュア784、イルガキュア651、イルガキュア184、イルガキュア500、イルガキュア1000、イルガキュア149、イルガキュア819、イルガキュア261、ダロキュアシリーズ、ダロキュア11734,4’−ビス(ジエチルアミノ)−ベンゾフェノン、2−(O−ベンゾイルオキシム)−1−[4−(フェニルチオ)フェニル]−1,2−オクタンジオン、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−4−モルホリノブチロフェノン、2,2−ジメトキシ−2−フェニルアセトフェノン、2−(o−クロルフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾリル二量体、2−(o−フルオロフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾリル二量体、2−(o−メトキシフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾリル二量体、2−(p−メトキシフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾリル二量体、2−(p−ジメトキシフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾリル二量体、2−(2,4−ジメトキシフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾリル二量体、2−(p−メチルメルカプトフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾリル二量体、ベンゾインイソプロピルエーテル等も有用に用いられる。
【0083】
これら光重合開始剤には増感剤や光安定剤を併用することができる。
その具体例として、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾイン、9−フルオレノン、2−クロロ−9−フルオレノン、2−メチル−9−フルオレノン、9−アントロン、2−ブロモ−9−アントロン、2−エチル−9−アントロン、9,10−アントラキノン、2−エチル−9,10−アントラキノン、2−t−ブチル−9,10−アントラキノン、2,6−ジクロロ−9,10−アントラキノン、キサントン、2−メチルキサントン、2−メトキシキサントン、2−メトキシキサントン、チオキサントン、2,4−ジエチルチオキサントン、アクリドン、10−ブチル−2−クロロアクリドン、ベンジル、ジベンザルアセトン、p−(ジメチルアミノ)フェニルスチリルケトン、p−(ジメチルアミノ)フェニル−p−メチルスチリルケトン、ベンゾフェノン、p−(ジメチルアミノ)ベンゾフェノン(またはミヒラーケトン)、p−(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン、ベンゾアントロン等や特公昭51−48516号公報記載のベンゾチアゾール系化合物等や、チヌビン1130、同400等が挙げられる。
【0084】
本発明の組成物には、以上の光重合開始剤の他に他の公知の光重合開始剤を使用することができる。
具体的には、米国特許第2,367,660号明細書に開示されているビシナールポリケトルアルドニル化合物、米国特許第2,367,661号および第2,367,670号明細書に開示されているα−カルボニル化合物、米国特許第2,448,828号明細書に開示されているアシロインエーテル、米国特許第2,722,512号明細書に開示されているα−炭化水素で置換された芳香族アシロイン化合物、米国特許第3,046,127号および第2,951,758号明細書に開示されている多核キノン化合物、米国特許第3,549,367号明細書に開示されているトリアリルイミダゾールダイマー/p−アミノフェニルケトンの組合せ、特公昭51−48516号公報に開示されているベンゾチアゾール系化合物/トリハロメチール−s−トリアジン系化合物等を挙げることができる。
【0085】
上記光重合開始剤の使用量は、モノマー固形分に対し、0.01質量%〜50質量%が好ましく、1質量%〜30質量%がより好ましく、1質量%〜20質量%が特に好ましい。光重合開始剤の使用量が0.01質量%より少ないと重合が進み難く、また、50質量%を超えると重合率は大きくなるが分子量が低くなり膜強度が弱くなる場合がある。
【0086】
本発明の組成物には以上の他に、更に、熱重合防止剤を加えておくことが好ましく、例えば、ハイドロキノン、p−メトキシフェノール、ジ−t−ブチル−p−クレゾール、ピロガロール、t−ブチルカテコール、ベンゾキノン、4,4’−チオビス(3−メチル−6−t−ブチルフェノール)、2,2’−メチレンビス(4−メチル−6−t−ブチルフェノール)、2−メルカプトベンゾイミダゾール等が有用である。
【0087】
本発明に使用される溶剤は組成物の溶解性、塗布性を満足すれば基本的に特に限定されないが、特に染料、バインダーの溶解性、塗布性、安全性を考慮して選ばれることが好ましい。
本発明の組成物を調製する際に使用する溶剤としては、エステル類、例えば酢酸エチル、酢酸−n−ブチル、酢酸イソブチル、ギ酸アミル、酢酸イソアミル、酢酸イソブチル、プロピオン酸ブチル、酪酸イソプロピル、酪酸エチル、酪酸ブチル、アルキルエステル類、乳酸メチル、乳酸エチル、オキシ酢酸メチル、オキシ酢酸エチル、オキシ酢酸ブチル、メトキシ酢酸メチル、メトキシ酢酸エチル、メトキシ酢酸ブチル、エトキシ酢酸メチル、エトキシ酢酸エチル、
【0088】
3−オキシプロピオン酸メチル、3−オキシプロピオン酸エチル等の3−オキシプロピオン酸アルキルエステル類;3−メトキシプロピオン酸メチル、3−メトキシプロピオン酸エチル、3−エトキシプロピオン酸メチル、3−エトキシプロピオン酸エチル、2−オキシプロピオン酸メチル、2−オキシプロピオン酸エチル、2−オキシプロピオン酸プロピル、2−メトキシプロピオン酸メチル、2−メトキシプロピオン酸エチル、2−メトキシプロピオン酸プロピル、2−エトキシプロピオン酸メチル、2−エトキシプロピオン酸エチル、2−オキシ−2−メチルプロピオン酸メチル、2−オキシ−2−メチルプロピオン酸エチル、2−メトキシ−2−メチルプロピオン酸メチル、2−エトキシ−2−メチルプロピオン酸エチル、
【0089】
ピルビン酸メチル、ピルビン酸エチル、ピルビン酸プロピル、アセト酢酸メチル、アセト酢酸エチル、2−オキソブタン酸メチル、2−オキソブタン酸エチル等;エーテル類、例えばジエチレングリコールジメチルエーテル、テトラヒドロフラン、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、メチルセロソルブアセテート、エチルセロソルブアセテート、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、
【0090】
プロピレングリコールメチルエーテル、プロピレングリコールメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールプロピルエーテルアセテート等;ケトン類、例えばメチルエチルケトン、シクロヘキサノン、2−ヘプタノン、3−ヘプタノン等;芳香族炭化水素類、例えばトルエン、キシレン等が好ましい。
【0091】
これらのうち、3−エトキシプロピオン酸メチル、3−エトキシプロピオン酸エチル、エチルセロソルブアセテート、乳酸エチル、ジエチレングリコールジメテルエーテル、酢酸ブチル、3−メトキシプロピオン酸メチル、2−ヘプタノン、シクロヘキサノン、エチルカルビトールアセテート、ブチルカルビトールアセテート、プロピレングリコールメチルエーテル、プロピレングリコールメチルエーテルアセテート等がより好ましい。
【0092】
本発明の組成物には、必要に応じて各種添加物、例えば充填剤、上記以外の高分子化合物、界面活性剤、密着促進剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤、凝集防止剤等を配合することかできる。
【0093】
これらの添加物の具体例としては、ガラス、アルミナ等の充填剤;ポリビニルアルコール、ポリアクリル酸、ポリエチレングリコールモノアルキルエーテル、ポリフロロアルキルアクリレート等の結着樹脂以外の高分子化合物;ノニオン系、カチオン系、アニオン系等の界面活性剤;ビニルトリメトキシシラン、ビニルトリエトキシシラン、ビニルトリス(2−メトキシエトキシ)シラン、N−(2−アミノエチル)−3−アミノプロピルメチルジメトキシシラン、N−(2−アミノエチル)−3−アミノプロピルトリメトキシシラン、3−アミノプロピルトリエトキシシラン、3−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、3−グリシドキシプロピルメチルジメトキシシラン、2−(3,4−エポキシシクロヘキシル)エチルトリメトキシシラン、3−クロロプロピルメチルジメトキシシラン、3−クロロプロピルトリメトキシシラン、3−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、3−メルカプトプロピルトリメトキシシラン等の密着促進剤;2,2−チオビス(4−メチル−6−t−ブチルフェノール)、2,6−ジ−t−ブチルフェノール等の酸化防止剤:2−(3−t−ブチル−5−メチル−2−ヒドロキシフェニル)−5−クロロベンゾトリアゾール、アルコキシベンゾフェノン等の紫外線吸収剤;およびポリアクリル酸ナトリウム等の凝集防止剤を挙げることができる。
【0094】
また、放射線未照射部のアルカリ溶解性を促進し、本発明の組成物の現像性の更なる向上を図る場合には、本発明の組成物に有機カルボン酸、好ましくは分子量1000以下の低分子量有機カルボン酸の添加を行うことができる。具体的には、例えばギ酸、酢酸、プロピオン酸、酪酸、吉草酸、ピバル酸、カプロン酸、ジエチル酢酸、エナント酸、カプリル酸等の脂肪族モノカルボン酸;シュウ酸、マロン酸、コハク酸、グルタル酸、アジピン酸、ピメリン酸、スベリン酸、アゼライン酸、セバシン酸、ブラシル酸、メチルマロン酸、エチルマロン酸、ジメチルマロン酸、メチルコハク酸、テトラメチルコハク酸、シトラコン酸等の脂肪族ジカルボン酸;トリカルバリル酸、アコニット酸、カンホロン酸等の脂肪族トリカルボン酸;安息香酸、トルイル酸、クミン酸、ヘメリト酸、メシチレン酸等の芳香族モノカルボン酸;フタル酸、イソフタル酸、テレフタル酸、トリメリト酸、トリメシン酸、メロファン酸、ピロメリト酸等の芳香族ポリカルボン酸;フェニル酢酸、ヒドロアトロパ酸、ヒドロケイ皮酸、マンデル酸、フェニルコハク酸、アトロパ酸、ケイ皮酸、ケイ皮酸メチル、ケイ皮酸ベンジル、シンナミリデン酢酸、クマル酸、ウンベル酸等のその他のカルボン酸が挙げられる。
【0095】
(ポジ型の組成物)
ポジ型画像を得る為、即ち本発明の組成物がポジ型の組成物の場合、本発明の組成物には、ナフトキノンジアジド化合物が含まれるのが好ましい。
上記ナフトキノンジアジド化合物としては、例えば、o−ナフトキノンジアジド−5−スルホン酸エステル、o−ナフトキノンジアジド−5−スルホン酸アミド、o−ナフトキノンジアジド−4−スルホン酸エステル、o−ナフトキノンジアジド−4−スルホン酸アミド等が挙げられる。これらのエステルやアミド化合物は、例えば特開平2−84650号公報、特開平3−49437号公報に一般式(I)で記載されているフェノール化合物等を用いて公知の方法により製造することができる。
【0096】
本発明の組成物がポジ型の組成物の場合、上記アルカリ可溶性フェノール樹脂並びに上記架橋剤は、通常、有機溶剤中にそれぞれ2〜50質量%および2〜30質量%程度の割合で溶解させるのが好ましい。上記ナフトキノンジアジド化合物および上記有機溶媒可溶性染料の使用量は通常、上記アルカリ可溶性樹脂並びに架橋剤を溶解した溶液に対して、各々2〜30質量%および2〜50質量%程度の割合で添加するのが好ましい。
【0097】
本発明のカラーフィルターは本発明の組成物を用いて製造される。本発明のカラーフィルターは、本発明の組成物を基板上に回転塗布、流延塗布、ロール塗布等の塗布方法により塗布して感放射線性組成物層を形成し、所定のマスクパターンを介して露光し、現像液で現像し、着色されたパターンを形成することで製造することができる。また、本発明のカラーフィルターの製造方法は、必要により上記レジストパターンを加熱および/または露光により硬化する工程を含んでいても良い。
この際に使用される放射線としては、特にg線、h線、i線等の紫外線が好ましく用いられる。
【0098】
上記基板としては、例えば液晶表示素子等に用いられるソーダガラス、パイレックス(R)ガラス、石英ガラスおよびこれらに透明導電膜を付着させたものや、撮像素子等に用いられる光電変換素子基板、例えばシリコン基板等や、相補性金属酸化膜半導体(CMOS)等が挙げられる。これらの基板は、各画素を隔離するブラックストライプが形成されている場合もある。
また、これらの基板上に必要により、上部の層との密着改良、物質の拡散防止あるいは基板表面の平坦化の為に、下塗り層を設けてもよい。
【0099】
上記本発明のカラーフィルターの製造方法に用いる現像液としては、本発明の組成物を溶解し、一方、放射線照射部を溶解しない組成物であればいかなるものも用いることができる。具体的には種々の有機溶剤の組み合わせやアルカリ性の水溶液を用いることができる。
有機溶剤としては、本発明の組成物を調整する際に使用される前述の溶剤が挙げられる。
【0100】
アルカリ性の水溶液としては、例えば、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウム,硅酸ナトリウム、メタ硅酸ナトリウム、アンモニア水、エチルアミン、ジエチルアミン、ジメチルエタノールアミン、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、テトラエチルアンモニウムヒドロキシド、コリン、ピロール、ピペリジン、1,8−ジアザビシクロ−〔5.4.0〕−7−ウンデセン等のアルカリ性化合物を、濃度が0.001〜10質量%、好ましくは0.01〜1質量%となるように溶解したアルカリ性水溶液が使用される。なお、このようなアルカリ性水溶液からなる現像液を使用した場合には、一般に、現像後、水で洗浄する。
【0101】
また、本発明のカラーフィルタは、液晶表示素子やCCD等の固体撮像素子に用いることができ、特に100万画素を超えるような高解像度のCCD素子やCMOS素子等に好適である。本発明のカラーフィルタは、例えば、CCDを構成する各画素の受光部と集光するためのマイクロレンズとの間に配置されるカラーフィルタとして用いることができる。
【0102】
【実施例】
本発明を実施例により更に具体的に説明するが、本発明はその主旨を越えない限り以下の実施例に限定されるものではない。なお、特に断りのない限り、「部」は質量基準である。
【0103】
Figure 2004002631
を混合して溶解し、レジスト溶液を調製した。
【0104】
2)下塗り層付ガラス基板の作製
ガラス基板(コーニング1737)を1%NaOH水で超音波洗浄した後、水洗、脱水ベーク(200℃/30分)を行った。
ついで上記1)のレジスト溶液を洗浄したガラス基板上に膜厚2μmになるようにスピンコーターを用いて塗布し、220℃で1時間加熱乾燥し、硬化膜を得た。
【0105】
3)染料レジスト溶液の調製
上記1)で得られたレジスト溶液と各種染料の塩とを、同種の染料については同じ膜吸光度が得られる様に表1の割合で混合し溶解した。
【0106】
4)染料レジストの露光・現像(画像形成)
上記3)で得られた染料レジスト溶液を2)で得られた下塗り層付ガラス基板の下塗り層の上に膜厚が2μmになるようにスピンコーターを用いて塗布し、120℃で120秒間プリベークした。
次いで、露光装置を使用して、塗布膜に365nmの波長で20μmマスクを通して800mJ/cmの露光量で照射した。露光後、60%CD−2000(富士フイルム・アーチ社製)現像液を使用して、26℃・60秒間の条件で現像した。その後、流水で20秒間リンスした後、スプレー乾燥した。
【0107】
本実施例において、画像形成は光学顕微鏡およびSEM写真観察により通常の方法で確認した。
また、相対吸光度比(relative Absorbance intensitiy)、未露光部現像性、露光部残膜率は色度計MCPD−1000(大塚電子製)で測定した。尚、未露光部現像性とは、現像前後の吸光度値の変化率を示し、露光部残膜率とは吸光度値の維持率を示す。結果を表2に示す。
【0108】
【表1】
Figure 2004002631
【0109】
[実施例2〜7]
実施例1の3)染料レジスト溶液の調製において、液組成を上記表1に示される様に変えた他はすべて実施例1と同様に行った。実施例1とあわせて結果を表2に示した。
【0110】
[実施例8〜14]
実施例1〜7のガラス基板をシリコンウエハー基板に換えた他は、全て同様の操作を行い、パターン画像を得た。未露光部現像性、露光部の残膜率は実施例1〜7と同じ結果が得られた。
実施例8〜14においては、シリコンウエハー基板を用いており、実施例1〜7と異なるが、染料レジスト溶液は実施例1〜14を通してすべて下塗り層上に塗布されているため、実質的に違いが生じることはなく、同じ諸性能が得られた。
【0111】
[比較例1〜3]
実施例1の3)染料レジスト溶液の調製において、液組成を上記表1に示される様に変えた他はすべて実施例1と同様に行った。結果を表2に合せて示した。
【0112】
[実施例15〜28、比較例4〜17]
実施例1の3)染料レジスト溶液の調製において、液組成を下記表3に示される様に変えた他はすべて実施例1と同様に行った。結果を表3にあわせて示した。
【0113】
【表2】
Figure 2004002631
【0114】
【表3】
Figure 2004002631
【0115】
【表4】
Figure 2004002631
【0116】
比較例1〜17に示すように、従来、未露光部現像性と露光部残膜率との両立は困難であったが、本発明における「重合性基を有するアミン化合物を対イオンとする染料(一般式(I)で表される染料)」を使用することによって、未露光部現像性に優れ、かつ、露光部の硬化性が向上し、露光部の残膜率も向上した硬化性組成物を得ることができた。
【0117】
また、表2〜4の結果から明白であるように、本発明における「重合性基を有するアミン化合物を対イオンとする染料(一般式(I)で表される染料)」を使用することにより、未露光部現像性に優れ、かつ、露光部の残膜率も向上した硬化性組成物を得ることができた。このことから、本発明の組成物によると十分な重合性、硬化性が得られ、未露光部現像性や画像部残膜率も良好な性能が得られ、染料含有硬化性組成物として有用な事は明らかである。
【0118】
これに対し、重合性基含まない従来のアミン化合物を使用した比較例では、染料の塩と膜中の他の成分との相互作用が強い為、未露光部は現像性が不十分であった。また、染料の添加によるモノマー量の減少により、露光部の硬化性も著しく低下し、露光部残膜率も低い結果となった。
【0119】
[実施例29]
実施例1において具体例(1)の化合物を、具体例(22)の化合物に変更し、具体例(22)の化合物の分子量にあわせた液組成に変更し、露光現像後、160℃で1分間の加熱処理を行った以外は、すべて実施例1と同様に行った。その結果、未露光部現像性は100、露光部の残膜率は98の値が得られた。
【0120】
従って、実施例29の結果から明白なように、本発明における「重合性基を有するアミン化合物を対イオンとする染料」を使用することにより、未露光部現像性に優れ、かつ、高い露光部の残膜率を示す染料含有硬化性組成物を得ることができた。
【0121】
【発明の効果】
本発明の染料含有硬化性組成物は、高い重合性が得られること等から、本発明によれば、高感度、高透過率、高解像度が可能であり、また広い現像ラチチュードを有し、かつ染料の溶出、混色、熱劣化および光劣化がなく生産性の高い溶剤可溶性染料含有硬化性組成物およびそれを使用したカラーフィルターを提供することが出来る。
また本発明の染料含有硬化性組成物を用いることで、簡便でコストパフォーマンスの高い製造方法を提供できる。[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a dye-containing curable composition for a color filter suitable for forming a colored image of a color filter used in a liquid crystal display device or a solid-state imaging device, a color filter using the same, and a method for producing the same.
[0002]
[Prior art]
As a method for producing a color filter used for a liquid crystal display device or a solid-state imaging device, a dyeing method, a printing method, an electrodeposition method, and a pigment dispersion method are known.
The dyeing method is a method for producing a color filter by dyeing a dyed substrate made of a natural resin such as gelatin, mulled or casein or a synthetic resin such as amine-modified polyvinyl alcohol with a dye such as an acid dye.
[0003]
In the above dyeing method, there is a problem in light resistance, heat resistance and moisture resistance due to the use of a dye, and color unevenness is likely to occur on a large screen because it is difficult to control the dyeing and fixing properties uniformly. Further, since a dye-proof layer is required for dyeing, there are problems such as complicated processes.
[0004]
In the electrodeposition method, a transparent electrode is previously formed in a predetermined pattern, a resin containing a pigment dissolved or dispersed in a solvent is ionized, and a voltage is applied to form a colored image in a pattern. It is a method of producing.
In the electrodeposition method, in addition to the transparent electrode for display, a photolitho process including film formation of a transparent electrode for forming a color filter and an etching process is required. In this case, if there is a short circuit, a line defect occurs and the yield decreases. In addition to the stripe arrangement, in principle, it is difficult to apply to, for example, a mosaic arrangement, and it is difficult to manage transparent electrodes.
[0005]
The printing method is a simple method for producing a color filter by printing such as offset printing using an ink in which a pigment is dispersed in a thermosetting resin or an ultraviolet curable resin. However, since the ink that can be used is highly viscous, filtering is difficult, and defects due to dust, foreign matter, and the gelled portion of the ink binder are likely to occur, and the positional accuracy, line width accuracy, and planar smoothness associated with printing accuracy There's a problem.
[0006]
The pigment dispersion method is a method for producing a color filter by a photolithography method using a colored radiation-sensitive composition in which a pigment is dispersed in various photosensitive compositions. This method is stable to light and heat due to the use of pigments and is patterned by the photolithographic method, so it is suitable for the production of color filters for large-screen, high-definition color displays with sufficient positional accuracy. is there.
[0007]
In order to produce a color filter by the pigment dispersion method, a radiation-sensitive composition is applied onto a glass substrate using a spin coater or a roll coater, and dried to form a coating film. The coating film is subjected to pattern exposure. Then, colored pixels are obtained by developing, and this operation is performed for each color to obtain a color filter.
As the pigment dispersion method, negative photosensitive compositions using a photopolymerizable monomer and a photopolymerization initiator in an alkali-soluble resin are disclosed (for example, Patent Document 1, Patent Document 2, Patent Document 3, and Patent Document). 4, see Patent Document 5, Patent Document 6, Patent Document 7, and Patent Document 8.)
[0008]
However, in recent years, there has been a demand for higher definition in color filters for solid-state imaging devices. However, the conventional pigment dispersion system does not improve the resolution and causes color unevenness due to coarse particles of the pigment, so that it is not suitable for applications requiring a fine pattern such as a solid-state imaging device. In order to solve this problem, the use of a dye has been proposed (for example, see Patent Document 9).
[0009]
However, the dye-containing curable composition contains new problems such as the following (1) to (4).
That is,
(1) Since a normal pigment has low solubility in either an alkaline aqueous solution or an organic solvent, it is difficult to obtain a liquid curable composition having a desired spectrum.
(2) Since the dye often exhibits interaction with other components in the curable composition, it is difficult to adjust the solubility (developability) of the cured part and the non-cured part.
(3) When the molar extinction coefficient (ε) of the dye is low, a large amount of dye must be added. For this reason, the polymerizable compound (monomer), binder, photopolymerization initiator, etc. in the curable composition Other components must be reduced, causing problems such as deterioration of the curability of the composition, heat resistance after curing, and developability of the (non) cured portion.
(4) Dyes are generally inferior in light resistance and heat resistance compared to pigments.
[0010]
Because of these problems, it has been difficult to satisfy a fine and thin colored pattern for a high-definition color filter.
In addition, unlike the case of a semiconductor manufacturing application, the film thickness is required to be 1 μm or less in the case of a color filter manufacturing application for a solid-state imaging device. Therefore, in order to obtain the desired absorption, a large amount of dye must be added to the curable composition, resulting in the above-mentioned problems.
[0011]
On the other hand, dyes composed of salts with various amines with improved solubility of acidic dyes are known. For example, an amine salt of “acid yellow 42” (eg, ditolylguanidine salt) that is soluble in an alkaline aqueous solution and an organic solvent. However, since these do not have a polymerizable group in the imine portion, alkali developability is significantly lowered due to the interaction with other components in the resist. In addition, since azo acid dyes represented by “acid yellow 42” can take various conformations, the molar extinction coefficient may be low, and if a counter ion having a high molecular weight is present, (Absorbance / mass) decreases and a large amount of dye still has to be added to the resist composition. For this reason, it resulted in the same problem as described above, and an improvement measure thereof was desired (for example, see Patent Document 10).
[0012]
[Patent Document 1]
Japanese Patent Laid-Open No. 1-102469 [Patent Document 2]
JP-A-1-152499 [Patent Document 3]
JP-A-2-181704 [Patent Document 4]
JP-A-2-199403 [Patent Document 5]
JP-A-4-76062 [Patent Document 6]
JP-A-5-273411 [Patent Document 7]
JP-A-6-184482 [Patent Document 8]
Japanese Patent Laid-Open No. 7-140654 [Patent Document 9]
JP-A-6-75375 [Patent Document 10]
JP 59-30509 A
[Problems to be solved by the invention]
The object of the present invention is to use a dye-containing curable composition having high sensitivity, high transmittance, high resolution, wide development latitude, high productivity without dye elution, thermal deterioration and light deterioration, and the use thereof. The object is to provide a color filter and a manufacturing method thereof.
[0014]
[Means for Solving the Problems]
According to the present invention, a dye-containing curable composition suitable for a color filter application having the following constitution, a color filter, and a method for producing the color filter are provided to achieve the object of the present invention.
<1> -1 A dye-containing curable composition comprising an alkali-soluble binder and an organic solvent-soluble dye, wherein the organic solvent-soluble dye is a compound represented by the following general formula (I): This is a dye-containing curable composition.
[0015]
[Chemical 2]
Figure 2004002631
(In general formula (I), Dye represents an acid dye, X represents an amine compound having a polymerizable group, and n represents 0 <n ≦ 10.)
[0016]
<1> -2 The dye-containing curable composition according to <1> -1, wherein the molecular weight of the amine compound represented by X in the general formula (I) is 700 or less.
The amine compound is preferably an amine compound having a molecular weight of 600 or less, more preferably an amine compound having a molecular weight of 500 or less, and particularly preferably an amine compound having a molecular weight of 400 or less.
[0017]
<1> -3 The polymerizable group of the amine compound represented by X in the general formula (I) is a (meth) acrylic ester group, a (meth) acrylamide group, an allyl group, an isopropenyl group, a vinyl ether group, or an epoxy group. The dye-containing curable composition according to <1> -1 or <1> -2 above, comprising at least one selected from styryl groups and vinyl ester groups.
The polymerizable group is preferably a (meth) acrylic ester group, (meth) acrylamide group, allyl group, isopropenyl group, vinyl ether group, epoxy group or styryl group, (meth) acrylic ester group, (meth) An acrylamide group, an allyl group, an isopropenyl group, a vinyl ether group, and an epoxy group are more preferable, and a (meth) acrylic ester group, a (meth) acrylamide group, an allyl group, an isopropenyl group, a vinyl ether group, and a glycidyl group are particularly preferable.
[0018]
<1> -4 The above-mentioned <1> -1 to <1> -3 containing a dye, wherein the amine compound represented by X in the general formula (I) contains 15 or less polymerizable groups. It is a curable compound.
In addition, 12 or less are preferable, as for the polymeric group which the said amine compound has, 8 or less are more preferable, and it is especially preferable that it is 6 or less.
[0019]
<2> The dye-containing curable composition according to <1>, wherein the acidic dye in the general formula (I) is any one of an azo-based, anthraquinone-based, anthrapyridone-based, and phthalocyanine-based acidic dye. It is.
[0020]
<3> The dye-containing curable composition according to <2>, wherein the azo acid dye is a compound represented by the following general formula (II).
[0021]
[Chemical 3]
Figure 2004002631
(In general formula (II), A and B each independently represents a pyrazole ring, benzene ring, naphthalene ring, or acetylacetone residue which may have a substituent.)
[0022]
<4> A negative dye-containing curable composition comprising an alkali-soluble binder, an organic solvent-soluble dye, a photopolymerization initiator, and a monomer, wherein the organic solvent-soluble dye is represented by the following general formula (II) A negative-type dye-containing curable composition characterized in that
[0023]
[Formula 4]
Figure 2004002631
(In general formula (II), A and B each independently represents a pyrazole ring, benzene ring, naphthalene ring, or acetylacetone residue which may have a substituent.)
[0024]
<5> The dye-containing curable composition according to the above <1> to <4>, further comprising a crosslinking agent.
[0025]
<6> A color filter comprising the dye-containing curable composition according to the above <1> to <5>.
[0026]
<7> A method for producing a color filter, wherein the dye-containing curable composition according to the above <1> to <5> is coated on a substrate, exposed through a mask, and developed to form a pattern. This manufacturing method may include a step of curing the pattern by heating and / or exposure, if necessary, and may repeat these steps a plurality of times.
[0027]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Hereinafter, the dye-containing curable composition of the present invention, the color filter using the same, and the production method thereof will be described in detail.
[0028]
<< Dye-containing curable composition >>
The dye-containing curable composition of the present invention (hereinafter sometimes referred to as “the composition of the present invention”) is a dye-containing curable composition comprising an alkali-soluble binder and an organic solvent-soluble dye. The organic solvent-soluble dye is a compound represented by the following general formula (I). The composition of the present invention may contain a crosslinking agent in order to improve the degree of curing of the film. When the composition of the present invention is a negative composition, it contains a monomer and a photopolymerization initiator in addition to the alkali-soluble binder and organic solvent-soluble dye, and may further contain a crosslinking agent. .
[0029]
[Chemical formula 5]
Figure 2004002631
(In general formula (I), Dye represents an acid dye, X represents an amine compound having a polymerizable group, and n represents 0 <n ≦ 10.)
[0030]
(Organic solvent soluble dye)
The organic solvent-soluble dye in the present invention is represented by the above general formula (I) and is a compound composed of a salt of an acid dye and an amine compound.
-Acid dyes-
The acid dye will be described. The acidic dye is not particularly limited as long as it is a pigment having an acidic group such as a sulfonic acid, a carboxylic acid, or a phenolic hydroxyl group, but is soluble in an organic solvent or a developer, salt-forming with a basic compound, absorbance, curing. It is selected in consideration of all required performance priorities such as interaction with other components in the composition, light resistance, heat resistance and the like.
Although the specific example of the said acidic dye is given to the following, it is not limited to these. For example, acid alizarin violet N; acid black 1, 2, 24, 48; acid blue 1, 7, 9, 15, 18, 23, 25, 27, 29, 40, 42, 45, 51, 62, 70, 74 80, 83, 86, 87, 90, 92, 96, 103, 112, 113, 120, 129, 138, 147, 150, 158, 171, 182, 192, 210, 242, 243, 256, 259, 267 , 278, 280, 285, 290, 296, 315, 324: 1, 335, 340; acid chroma violet K; acid Fuchsin; acid green 1, 3, 5, 9, 16, 25, 27, 50, 58, 63, 65, 80, 104, 105, 106, 109; acid orange 6, 7, , 10, 12, 26, 50, 51, 52, 56, 62, 63, 64, 74, 75, 94, 95, 107, 108, 169, 173; acid red 1, 4, 8, 14, 17, 18 , 26, 27, 29, 31, 34, 35, 37, 42, 44, 50, 51, 52, 57, 66, 73, 80, 87, 88, 91, 92, 94, 97, 103, 111, 114 , 129, 133, 134, 138, 143, 145, 150, 151, 158, 176, 182, 183, 195, 198, 206, 211, 215, 216, 217, 227, 228, 249, 252, 257, 258 260, 261, 266, 268, 270, 274, 277, 280, 281, 308, 312, 315, 316, 339, 341, 345, 346, 349, 3 2,383,394,401,412,417,418,422,426;
[0031]
acid violet 6B, 7, 9, 17, 19; acid yellow 1, 3, 7, 9, 11, 17, 23, 25, 29, 34, 36, 38, 40, 42, 54, 65, 72, 73, 76 79, 98, 99, 111, 112, 113, 114, 116, 119, 123, 128, 134, 135, 138, 139, 140, 144, 150, 155, 157, 160, 161, 163, 168, 169 172, 177, 178, 179, 184, 190, 193, 196, 197, 199, 202, 203, 204, 205, 207, 212, 214, 220, 221, 228, 230, 232, 235, 238, 240 , 242, 243, 251;
[0032]
Direct yellow 2,33,34,35,38,39,43,47,50,54,58,68,69,70,71,86,93,94,95,98,102,108,109,129, 136, 138, 141; Direct Orange 34, 39, 41, 46, 50, 52, 56, 57, 61, 64, 65, 68, 70, 96, 97, 106, 107; Direct Red 79, 82, 83, 84 91, 92, 96, 97, 98, 99, 105, 106, 107, 172, 173, 176, 177, 179, 181, 182, 184, 204, 207, 211, 213, 218, 220, 221, 222 , 232, 233, 234, 241, 243, 246, 250; Direct Violet 47, 52, 54, 59, 60, 65, 66, 79, 80, 81, 82, 84, 89, 90, 93, 95, 96, 103, 104;
[0033]
Direct Blue 57, 77, 80, 81, 84, 85, 86, 90, 93, 94, 95, 97, 98, 99, 100, 101, 106, 107, 108, 109, 113, 114, 115, 117, 119, 137, 149, 150, 153, 155, 156, 158, 159, 160, 161, 162, 163, 164, 166, 167, 170, 171, 172, 173, 188, 189, 190, 192, 193 194,196,198,199,200,207,209,210,212,213,214,222,228,229,237,238,242,243,244,245,247,248,250,251,252, 256, 257, 259, 260, 268, 274, 275, 293; Direct Gr en 25,27,31,32,34,37,63,65,66,67,68,69,72,77,79,82;
[0034]
Modern Yellow 3, 5, 8, 10, 16, 20, 26, 30, 31, 33, 42, 43, 45, 56, 50, 61, 62, 65; Modern Orange 3, 4, 5, 8, 12, 13, 14, 20, 21, 23, 24, 28, 29, 32, 34, 35, 36, 37, 42, 43, 47, 48; Modern Red 1, 2, 3, 4, 9, 11, 12, 14, 17, 18, 19, 22, 23, 24, 25, 26, 30, 32, 33, 36, 37, 38, 39, 41, 43, 45, 46, 48, 53, 56, 63, 71, 74, 85, 86, 88, 90, 94, 95; Modern Violet 2, 4, 5, 7, 14, 22, 24, 30, 31, 32, 37, 40, 41, 44, 45, 47, 48, 53, 58; Mor ant Blue 2, 3, 7, 8, 9, 12, 13, 15, 16, 19, 20, 21, 22, 23, 24, 26, 30, 31, 32, 39, 40, 41, 43, 44, 48, 49, 53, 61, 74, 77, 83, 84; Modern Green 1, 3, 4, 5, 10, 15, 19, 26, 29, 33, 34, 35, 41, 43, 53; Food Yellow 3; and derivatives of these dyes.
[0035]
Among these, the acid dyes include acid black 24; acid blue 23, 25, 29, 62, 80, 86, 87, 92, 138, 158, 182, 243, 324: 1; acid orange 8, 51, 56, Acid red 1,4,8,34,37,42,52,57,80,97,114,143,145,151,183,217; acid violet 7; acid yellow 17,25,29, 34, 38, 42, 65, 72, 76, 99, 111, 112, 114, 116, 134, 155, 169, 172, 184, 220, 228, 230, 232, 243; Acid Green 25, Modern Yellow 3, etc. The dyes and derivatives of these dyes are preferred.
Further, azo, xanthene and phthalocyanine acid dyes other than those mentioned above are also preferred. I. Solvent Blue 44, 38; I. Solvent Orange 45; Rhodamine B; Rhodamine 110; 2,7-Naphthalenedisulphonic acid; 3-[(5-chloro-2-phenethylphenyl) hydrazono] -3,4-dihydro-4-oxo-5- [ulphonyl] Acid dyes such as-, and derivatives of these dyes are also preferably used.
[0036]
As the derivative of the acid dye, an inorganic salt of an acid dye having an acid group such as sulfonic acid or carboxylic acid, a salt of an acid dye and a nitrogen-containing compound, an acid dye (sulfone) amide, and the like can be used. Although it will not specifically limit if it can be dissolved as a physical solution, Necessity of solubility in organic solvents and developers, absorbance, interaction with other components in the curable composition, light resistance, heat resistance, etc. Is selected in consideration of all of the performance.
[0037]
Further, as the acidic dye in the present invention, an azo-type, anthraquinone ring, anthrapyridone-type, or phthalocyanine-type dye is preferable, and as the azo-type acid dye, a compound represented by the following general formula (II) is preferably used. it can.
[0038]
[Chemical 6]
Figure 2004002631
(In general formula (II), A and B each independently represents a pyrazole ring, benzene ring, naphthalene ring, or acetylacetone residue which may have a substituent.)
[0039]
Examples of the compound represented by the general formula (II) include the following compounds.
[0040]
[Chemical 7]
Figure 2004002631
[0041]
[Chemical 8]
Figure 2004002631
[0042]
-Amine compound-
The amine compound that forms a counter salt with the acid dye will be described. In the present invention, the amine compound represented by X in the general formula (I) has a polymerizable group. The amine compound is selected in consideration of all of the solubility in organic solvents and developer, salt-forming properties, dye absorbance, interaction with other components in the curable composition, and the like. From the standpoint of absorbance, etc., those having a molecular weight as low as possible are preferred. Among them, the molecular weight is preferably 700 or less, the molecular weight is more preferably 600 or less, the molecular weight is particularly preferably 500 or less, and the molecular weight is 400. Most preferably:
[0043]
Examples of the polymerizable group possessed by the amine compound include (meth) acrylic ester groups, (meth) acrylamide groups, allyl groups, isopropenyl groups, vinyl ether groups, epoxy groups, styryl groups, and vinyl ester groups. ) Acrylic ester group, (meth) acrylamide group, allyl group, isopropenyl group, vinyl ether group, epoxy group and styryl group are preferred, (meth) acrylic ester group, (meth) acrylamide group, allyl group, isopropenyl group, vinyl ether Groups and epoxy groups are more preferred, with (meth) acrylic ester groups, (meth) acrylamide groups, allyl groups, isopropenyl groups, vinyl ether groups and glycidyl groups being particularly preferred.
[0044]
As the amine compound, among the polymerizable groups, an amine compound having an acryloyl group, a methacryloyl group, a glycidyl group, an allyl group, a 2-methylallyl group, a vinyl ether group, or the like is preferable, and an acryloyl group or a methacryloyl group as the polymerizable group is preferable. Group, glycidyl group, allyl group, and 2-methylallyl amine compound include an amine compound having a terminal hydroxy group and / or a terminal amino group, and a corresponding (meth) acrylic halide, epichlorohydrin, allyl halide The compounds mentioned in the following specific examples obtained by reacting 2-methyl-allyl halide and the like are preferred.
[0045]
Further, the number of polymerizable groups of the amine group is preferably 15 or less, more preferably 12 or less, particularly preferably 8 or less, and most preferably 6 or less.
[0046]
Although the specific example of the amine which has a polymeric group in this invention is given to the following, this invention is not limited to these.
[0047]
[Chemical 9]
Figure 2004002631
[0048]
[Chemical Formula 10]
Figure 2004002631
[0049]
− N −
The numerical value n in general formula (I) is demonstrated. n is a value that determines the molar ratio between the acid dye molecule and the amine compound that is a counter ion, and can be freely selected according to the salt forming conditions of the acid dye-amine compound. Specifically, it is a numerical value of an equivalent of 0 <n ≦ 10 with respect to the acid dye, and the solubility with respect to the organic solvent and the developer, the salt-forming property, the absorbance, and the mutual relationship with other components in the curable composition. It is selected in consideration of all the required priority of performance such as action, light resistance and heat resistance. From the standpoint of absorbance only, n is preferably a numerical value of 0 <n ≦ 8, more preferably a numerical value of 0 <n ≦ 6, and a numerical value of 0 <n ≦ 4. It is particularly preferable to take
[0050]
−Use concentration−
Next, the use concentration of the organic solvent-soluble dye will be described. The concentration of the organic solvent-soluble dye in the total solid component of the dye-containing curable composition of the present invention varies depending on the type of the dye, but is preferably 0.5 to 80% by mass, more preferably 0.5 to 60% by mass. 0.5 to 50% by mass is particularly preferable.
[0051]
(binder)
Next, the binder will be described. The binder used in the present invention is not particularly limited as long as it is soluble in alkali, but is preferably selected from the viewpoints of heat resistance, developability, availability, and the like.
The alkali-soluble binder is preferably a linear organic polymer, soluble in an organic solvent, and developable with a weak alkaline aqueous solution. Examples of such linear organic high molecular polymers include polymers having a carboxylic acid in the side chain, such as JP-A-59-44615, JP-B-54-34327, JP-B-58-12777, and JP-B-54-25957. Methacrylic acid copolymer, acrylic acid copolymer, itaconic acid copolymer, crotonic acid copolymer, as described in JP-A-59-53836 and JP-A-59-71048, There are maleic acid copolymers, partially esterified maleic acid copolymers and the like, and acidic cellulose derivatives having a carboxylic acid in the side chain are also useful. In addition to this, an acid anhydride added to a polymer having a hydroxyl group, polyhydroxystyrene resin, polysiloxane resin, poly (2-hydroxyethyl (meth) acrylate), polyvinylpyrrolidone, polyethylene oxide, polyvinyl Alcohol and the like are also useful.
[0052]
Moreover, you may copolymerize the monomer which has hydrophilic property, As an example, alkoxyalkyl (meth) acrylate, hydroxyalkyl (meth) acrylate, glycerol (meth) acrylate, (meth) acrylamide, N-methylol acrylamide, 2 Grade and tertiary alkyl acrylamide, dialkylaminoalkyl (meth) acrylate, morpholine (meth) acrylate, N-vinylpyrrolidone, N-vinylcaprolactam, vinylimidazole, vinyltriazole, methyl (meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate, Examples thereof include branched or linear propyl (meth) acrylate, branched or linear butyl (meth) acrylate, phenoxyhydroxypropyl (meth) acrylate, and the like. Other hydrophilic monomers include tetrahydrofurfuryl group, phosphoric acid, phosphate ester, quaternary ammonium salt, ethyleneoxy chain, propyleneoxy chain, sulfonic acid and its salts, and monomers containing morpholinoethyl group. is there.
In order to improve the crosslinking efficiency, a polymerizable group may be included in the side chain, and a polymer containing an allyl group, a (meth) acryl group, an allyloxyalkyl group or the like in the side chain is also useful.
[0053]
Examples of the polymer containing these polymerizable groups include KS resist-106 (manufactured by Osaka Organic Chemical Industry Co., Ltd.), cyclomer P series (manufactured by Daicel Chemical Industries, Ltd.), and the like.
In order to increase the strength of the cured film, alcohol-soluble nylon, polyether of 2,2-bis- (4-hydroxyphenyl) -propane and epichlorohydrin, and the like are also useful.
[0054]
Among these various binders, the binder used in the present invention is preferably a polyhydroxystyrene resin, a polysiloxane resin, an acrylic resin, an acrylamide resin, or an acrylic / acrylamide copolymer resin from the viewpoint of heat resistance. From the viewpoint of control of developability, acrylic resins, acrylamide resins, and acrylic / acrylamide copolymer resins are preferable.
Examples of the acrylic resin include copolymers composed of monomers selected from benzyl (meth) acrylate, (meth) acryl, hydroxyethyl (meth) acrylate, (meth) acrylamide, and the like, and KS resist-106 (Osaka Organic Chemical). Kogyo Co., Ltd.), cyclomer P series and the like are preferable.
[0055]
Moreover, an alkali-soluble phenol resin can be used as a binder used for this invention. The alkali-soluble phenol resin can be suitably used when the composition of the present invention is a positive composition. Examples of the alkali-soluble phenol resin include novolak resins and vinyl polymers.
Examples of the novolak resin include those obtained by condensing phenols and aldehydes in the presence of an acid catalyst. Examples of the phenols include phenol, cresol, ethylphenol, butylphenol, xylenol, phenylphenol, catechol, resorcinol, pyrogallol, naphthol, and bisphenol A. The above phenols can be used alone or in combination of two or more. Examples of the aldehydes include formaldehyde, paraformaldehyde, acetaldehyde, propionaldehyde, benzaldehyde, and the like.
[0056]
Specific examples of the novolak resin include, for example, a condensation product of metacresol, paracresol, or a mixture thereof and formalin. The novolak resin may be adjusted in molecular weight distribution using means such as fractionation. Moreover, you may mix the low molecular weight component which has phenolic hydroxyl groups, such as bisphenol C and bisphenol A, in the said novolak resin.
[0057]
The binder preferably has a weight average molecular weight (polystyrene equivalent value measured by GPC method) of 1000 to 2 × 10 5 , more preferably 2000 to 1 × 10 5 , and 5000 to 5 × 10 4. The polymer is particularly preferred.
10-90 mass% is preferable with respect to the total solid in the composition of this invention, and, as for the usage-amount in the composition of this invention of the said binder, 20-80 mass% is more preferable, and 30-70 mass% is. Particularly preferred.
[0058]
(Crosslinking agent)
Next, the crosslinking agent will be described. The present invention uses an organic solvent-soluble dye represented by the above general formula (I), allows the film curing reaction to proceed to a higher degree than before, and provides a film having good curability. As a gist, it is also possible to obtain a film that has been further cured by using a crosslinking agent. The cross-linking agent used in the present invention is not particularly limited as long as the film can be cured by a cross-linking reaction. For example, it is selected from (a) an epoxy resin, (b) a methylol group, an alkoxymethyl group, and an acyloxymethyl group. Phenol substituted with at least one substituent selected from melamine compound, guanamine compound, glycoluril compound or urea compound substituted with at least one substituent, (c) methylol group, alkoxymethyl group and acyloxymethyl group Examples thereof include compounds, naphthol compounds and hydroxyanthracene compounds, and polyfunctional epoxy resins are particularly preferable.
[0059]
The epoxy resin as component (a) may be anything as long as it has an epoxy group and has crosslinkability. Examples of these compounds include bisphenol-A-diglycidyl ether and ethylene glycol diglycidyl ether. Divalent glycidyl group-containing low molecular weight compounds such as butanediol diglycidyl ether, hexanediol diglycidyl ether, dihydroxybiphenyl diglycidyl ether, phthalic acid diglycidyl ester, N, N-diglycidylaniline, and the like, as well as trimethylol Trivalent glycidyl group-containing low molecular weight compounds represented by propanetriglycidyl ether, trimethylolphenol triglycidyl ether, TrisP-PA triglycidyl ether, and the like, similarly, pentaerythritol tetraglycidyl ether, Tetravalent glycidyl group-containing low molecular weight compounds represented by tramethylol bisphenol-A-tetraglycidyl ether and the like, as well as polyvalent glycidyl group-containing low molecular weight compounds such as dipentaerythritol pentaglycidyl ether and dipentaerythritol hexaglycidyl ether Glycidyl group-containing polymer compounds represented by polyglycidyl (meth) acrylate, 1,2-epoxy-4- (2-oxiranyl) cyclohexane adduct of 2,2-bis (hydroxymethyl) -1-butanol, and the like Is mentioned.
[0060]
The number of methylol groups, alkoxymethyl groups, and acyloxymethyl groups substituted in the component (b) is 2 to 6 for melamine compounds, and 2 to 4 for glycoluril compounds, guanamine compounds, and urea compounds. However, it is preferably 5 to 6 in the case of a melamine compound, and 3 to 4 in the case of a glycoluril compound, a guanamine compound or a urea compound.
[0061]
These methylol group-containing compounds can be obtained by heating the alkoxymethyl group-containing compound in an alcohol in the presence of an acid catalyst such as hydrochloric acid, sulfuric acid, nitric acid, methanesulfonic acid or the like. The acyloxymethyl group-containing compound can be obtained by mixing and stirring a methylol group-containing compound with an acyl chloride in the presence of a basic catalyst.
[0062]
Hereinafter, specific examples of the compound having the substituent will be given.
Examples of the melamine compound include hexamethylol melamine, hexamethoxymethyl melamine, a compound in which 1 to 5 methylol groups of hexamethylol melamine are methoxymethylated, or a mixture thereof, hexamethoxyethyl melamine, hexaacyloxymethyl melamine, hexamethylol melamine And a compound in which 1 to 5 of the methylol groups are acyloxymethylated or a mixture thereof.
[0063]
Examples of the guanamine compound include tetramethylol guanamine, tetramethoxymethyl guanamine, a compound obtained by methoxymethylating 1 to 3 methylol groups of tetramethylol guanamine, or a mixture thereof, tetramethoxyethyl guanamine, tetraacyloxymethyl guanamine, tetramethylol guanamine. The compound which acyloxymethylated 1-3 methylol groups of these, or its mixture etc. are mentioned.
[0064]
Examples of the glycoluril compound include tetramethylol glycoluril, tetramethoxymethylglycoluril, a compound obtained by methoxymethylating 1 to 3 methylol groups of tetramethylolglycoluril, or a mixture thereof, or 1 of the methylol groups of tetramethylolglycoluril. A compound obtained by acyloxymethylating ˜3 or a mixture thereof.
[0065]
Examples of the urea compound include tetramethylol urea, tetramethoxymethyl urea, a compound obtained by methoxymethylating 1 to 3 methylol groups of tetramethylol urea, a mixture thereof, and tetramethoxyethyl urea. These may be used alone or in combination.
[0066]
The phenol compound, naphthol compound or hydroxyanthracene compound substituted with at least one group selected from a methylol group, an alkoxymethyl group and an acyloxymethyl group contained as the component (c) is the same as in the case of the component (b). The thermal crosslinking suppresses intermixing with the overcoated photoresist and further increases the film strength.
[0067]
The number of methylol groups, acyloxymethyl groups or alkoxymethyl groups contained in the component (c) is at least two per molecule, and is the second position of the phenolic compound from the viewpoint of thermal crosslinkability and storage stability. Compounds in which all the 4-positions are substituted are preferred.
In addition, the naphthol compound and hydroxyanthracene compound as the skeleton are preferably compounds in which all of the ortho-position and para-position of the OH group are substituted.
The 3-position or 5-position of the phenolic compound that serves as the skeleton may be unsubstituted or may have a substituent. Also in the naphthol compound serving as the skeleton, the OH group other than the ortho position may be unsubstituted or may have a substituent.
[0068]
These methylol group-containing compounds use a compound in which the ortho-position or para-position (2-position or 4-position) of the phenolic OH group is a hydrogen atom as a raw material, and this is used as sodium hydroxide, potassium hydroxide, ammonia, tetraalkyl. It can be obtained by reacting with formalin in the presence of a basic catalyst such as ammonium hydroxide.
The alkoxymethyl group-containing compound can be obtained by heating the methylol group-containing compound in an alcohol in the presence of an acid catalyst such as hydrochloric acid, sulfuric acid, nitric acid, methanesulfonic acid or the like.
The acyloxymethyl group-containing compound can be obtained by reacting the methylol group-containing compound with an acyl chloride in the presence of a basic catalyst.
[0069]
Examples of the skeletal compound include phenol compounds in which the ortho- or para-position of the phenolic OH group is unsubstituted, naphthol, and hydroxyanthracene compounds such as phenol and cresol isomers, 2,3-xylenol, 2,5- Bisphenols such as xylenol, 3,4-xylenol, 3,5-xylenol, bisphenol-A, 4,4′-bishydroxybiphenyl, TrisP-PA (manufactured by Honshu Chemical Industry Co., Ltd.), naphthol, dihydroxynaphthalene 2,7-dihydroxyanthracene and the like are used.
[0070]
Specific examples of the component (c) include, for example, trimethylolphenol, tri (methoxymethyl) phenol, a compound obtained by methoxymethylating one or two methylol groups of trimethylolphenol, trimethylol-3-cresol, tri ( Methoxymethyl) -3-cresol, a compound obtained by methoxymethylating one or two methylol groups of trimethylol-3-cresol, dimethylolcresol such as 2,6-dimethylol-4-cresol, tetramethylolbisphenol-A, Tetramethoxymethyl bisphenol-A, a compound obtained by methoxymethylating 1 to 3 methylol groups of tetramethylol bisphenol-A, tetramethylol-4,4′-bishydroxybiphenyl, tetramethoxymethyl-4,4′-bishydroxy Biphenyl Hexamethylol of Tris P-PA, hexamethoxymethyl of Tris P-PA, compounds in which 1 to 5 methylol groups have been methoxymethylated hexamethylol of Tris P-PA, there is bishydroxymethyl naphthalene diol.
[0071]
Examples of the hydroxyanthracene compound include 1,6-dihydroxymethyl-2,7-dihydroxyanthracene.
Examples of the acyloxymethyl group-containing compound include compounds obtained by partially or fully acyloxymethylating the methylol group of the methylol group-containing compound.
[0072]
Among these compounds, preferred are trimethylolphenol, bishydroxymethyl-p-cresol, tetramethylolbisphenol A, trisP-PA (manufactured by Honshu Chemical Industry Co., Ltd.), or their methylol group is alkoxy. It is a phenol compound substituted with both a methyl group and a methylol group and an alkoxymethyl group. These may be used alone or in combination.
[0073]
Although the content of the components (a) to (c) in the dye-containing curable composition of the present invention varies depending on the material, it is preferably 1 to 70% by mass, more preferably 5 to 50% by mass, 7-30 mass% is especially preferable.
[0074]
(monomer)
Next, the monomer contained when the composition of the present invention is a negative composition will be described. As the monomer, a compound having an ethylenically unsaturated group having at least one addition-polymerizable ethylene group and a boiling point of 100 ° C. or higher under normal pressure is preferable. Examples thereof include polyethylene glycol mono (meth) Monofunctional acrylates and methacrylates such as acrylate, polypropylene glycol mono (meth) acrylate, phenoxyethyl (meth) acrylate; polyethylene glycol di (meth) acrylate, trimethylolethane tri (meth) acrylate, neopentyl glycol di (meth) ) Acrylate, pentaerythritol tri (meth) acrylate, pentaerythritol tetra (meth) acrylate, dipentaerythritol penta (meth) acrylate, dipentaerythritol hexa (meth) acrylate Ethylene oxide or propylene oxide to polyfunctional alcohols such as silicate, hexanediol (meth) acrylate, trimethylolpropane tri (acryloyloxypropyl) ether, tri (acryloyloxyethyl) isocyanurate, glycerin and trimethylolethane (Meth) acrylates, urethane acrylates as described in JP-B-48-41708, JP-B-50-6034, JP-A-51-37193, JP-A-48-64183 , Polyfunctional acrylates such as polyester acrylates and epoxy acrylates which are reaction products of epoxy resin and (meth) acrylic acid described in JP-B-49-43191 and JP-B-52-30490 And meta accelerator And it can be exemplified mixtures thereof. Furthermore, the Japan Adhesion Association Vol. 20, no. 7, pages 300 to 308 are introduced as photocurable monomers and oligomers.
The content of the monomer in the composition of the present invention is preferably 0.1 to 90% by mass, more preferably 1.0 to 80% by mass, and particularly preferably 2.0 to 70% by mass with respect to the solid content. .
[0075]
(Photopolymerization initiator)
Next, the photopolymerization initiator contained when the composition of the present invention is a negative composition will be described. The photopolymerization initiator is not particularly limited as long as it can polymerize a polymerizable monomer, but is preferably selected from the viewpoints of characteristics, initiation efficiency, absorption wavelength, availability, cost, and the like.
Examples of the photopolymerization initiator include at least one active halogen compound selected from a halomethyl oxadiazole compound, a halomethyl-s-triazine compound, a 3-aryl-substituted coumarin compound, a lophine dimer, a benzophenone compound, an acetophenone compound, and Examples thereof include cyclopentadiene-benzene-iron complexes and salts thereof, and oxime compounds.
[0076]
Examples of active halogen compounds such as halomethyloxadiazole include 2-halomethyl-5-vinyl-1,3,4-oxadiazole compounds described in JP-B-57-6096, 2-trichloromethyl-5, and the like. -Styryl-1,3,4-oxadiazole, 2-trichloromethyl-5- (p-cyanostyryl) -1,3,4-oxadiazole, 2-trichloromethyl-5- (p-methoxystyryl) -1,3,4-oxadiazole and the like.
[0077]
As photopolymerization initiators of halomethyl-s-triazine compounds, vinyl-halomethyl-s-triazine compounds described in JP-B-59-1281 and 2- (naphtho-) described in JP-A-53-133428 are disclosed. 1-yl) -4,6-bis-halomethyl-s-triazine compounds and 4- (p-aminophenyl) -2,6-di-halomethyl-s-triazine compounds.
[0078]
Other examples include 2,4-bis (trichloromethyl) -6-p-methoxystyryl-s-triazine, 2,6-bis (trichloromethyl) -4- (3,4-methylenedioxyphenyl)- 1,3,5-triazine, 2,6-bis (trichloromethyl) -4- (4-methoxyphenyl) -1,3,5-triazine, 2,4-bis (trichloromethyl) -6- (1- p-dimethylaminophenyl-1,3-butadienyl) -s-triazine, 2-trichloromethyl-4-amino-6-p-methoxystyryl-s-triazine, 2- (naphth-1-yl) -4,6 -Bis-trichloromethyl-s-triazine, 2- (4-methoxy-naphth-1-yl) -4,6-bis-trichloromethyl-s-triazine, 2- (4-ethoxy-naphth-1-) ) -4,6-bis-trichloromethyl-s-triazine, 2- (4-butoxy-naphth-1-yl) -4,6-bis-trichloromethyl-s-triazine, 2- [4- (2 -Methoxyethyl) -naphth-1-yl] -4,6-bis-trichloromethyl-s-triazine, 2- [4- (2-ethoxyethyl) -naphth-1-yl] -4,6-bis- Trichloromethyl-s-triazine, 2- [4- (2-butoxyethyl) -naphth-1-yl] -4,6-bis-trichloromethyl-s-triazine, 2- (2-methoxy-naphth-1- Yl) -4,6-bis-trichloromethyl-s-triazine, 2- (6-methoxy-5-methyl-naphth-2-yl) -4,6-bis-trichloromethyl-s-triazine, 2- ( 6-methoxy-naphtho -Yl) -4,6-bis-trichloromethyl-s-triazine, 2- (5-methoxy-naphth-1-yl) -4,6-bis-trichloromethyl-s-triazine, 2- (4,7 -Dimethoxy-naphth-1-yl) -4,6-bis-trichloromethyl-s-triazine,
[0079]
2- (6-Ethoxy-naphth-2-yl) -4,6-bis-trichloromethyl-s-triazine, 2- (4,5-dimethoxy-naphth-1-yl) -4,6-bis-trichloro Methyl-s-triazine, 4- [p-N, N-di (ethoxycarbonylmethyl) aminophenyl] -2,6-di (trichloromethyl) -s-triazine, 4- [o-methyl-pN, N-di (ethoxycarbonylmethyl) aminophenyl] -2,6-di (trichloromethyl) -s-triazine, 4- [p-N, N-di (chloroethyl) aminophenyl] -2,6-di (trichloro Methyl) -s-triazine, 4- [o-methyl-pN, N-di (chloroethyl) aminophenyl] -2,6-di (trichloromethyl) -s-triazine, 4- (pN-chloroethyla) Nophenyl) -2,6-di (trichloromethyl) -s-triazine, 4- (pN-ethoxycarbonylmethylaminophenyl) -2,6-di (trichloromethyl) -s-triazine, 4- [p- N, N-di (phenyl) aminophenyl] -2,6-di (trichloromethyl) -s-triazine, 4- (p-N-chloroethylcarbonylaminophenyl) -2,6-di (trichloromethyl)- s-triazine, 4- [pN- (p-methoxyphenyl) carbonylaminophenyl] 2,6-di (trichloromethyl) -s-triazine, 4- [m-N, N-di (ethoxycarbonylmethyl) Aminophenyl] -2,6-di (trichloromethyl) -s-triazine, 4- [m-bromo-pN, N-di (ethoxycarbonylmethyl) aminopheny ] -2,6-di (trichloromethyl) -s-triazine, 4- [m-chloro-pN, N-di (ethoxycarbonylmethyl) aminophenyl] -2,6-di (trichloromethyl) -s -Triazine, 4- [m-fluoro-pN, N-di (ethoxycarbonylmethyl) aminophenyl] -2,6-di (trichloromethyl) -s-triazine,
[0080]
4- [o-bromo-pN, N-di (ethoxycarbonylmethyl) aminophenyl] -2,6-di (trichloromethyl) -s-triazine, 4- [o-chloro-pN, N- Di (ethoxycarbonylmethyl) aminophenyl-2,6-di (trichloromethyl) -s-triazine, 4- [o-fluoro-pN, N-di (ethoxycarbonylmethyl) aminophenyl] -2,6- Di (trichloromethyl) -s-triazine, 4- [o-bromo-pN, N-di (chloroethyl) aminophenyl] -2,6-di (trichloromethyl) -s-triazine, 4- [o- Chloro-pN, N-di (chloroethyl) aminophenyl] -2,6-di (trichloromethyl) -s-triazine, 4- [o-fluoro-pN, N-di (chloroethyl) aminophenyl -2,6-di (trichloromethyl) -s-triazine, 4- [m-bromo-pN, N-di (chloroethyl) aminophenyl] -2,6-di (trichloromethyl) -s-triazine, 4- [m-chloro-p-N, N-di (chloroethyl) aminophenyl] -2,6-di (trichloromethyl) -s-triazine,
[0081]
4- [m-Fluoro-pN, N-di (chloroethyl) aminophenyl] -2,6-di (trichloromethyl) -s-triazine, 4- (m-bromo-pN-ethoxycarbonylmethylamino) Phenyl) -2,6-di (trichloromethyl) -s-triazine, 4- (m-chloro-pN-ethoxycarbonylmethylaminophenyl) -2,6-di (trichloromethyl) -s-triazine, 4 -(M-Fluoro-pN-ethoxycarbonylmethylaminophenyl) -2,6-di (trichloromethyl) -s-triazine, 4- (o-bromo-pN-ethoxycarbonylmethylaminophenyl) -2 , 6-Di (trichloromethyl) -s-triazine, 4- (o-chloro-pN-ethoxycarbonylmethylaminophenyl) -2,6-di (trichloro) Methyl) -s-triazine, 4- (o-fluoro-pN-ethoxycarbonylmethylaminophenyl) -2,6-di (trichloromethyl) -s-triazine, 4- (m-bromo-pN- Chloroethylaminophenyl) -2,6-di (trichloromethyl) -s-triazine, 4- (m-chloro-pN-chloroethylaminophenyl) -2,6-di (trichloromethyl) -s-triazine 4- (m-fluoro-pN-chloroethylaminophenyl) -2,6-di (trichloromethyl) -s-triazine, 4- (o-bromo-pN-chloroethylaminophenyl) -2 , 6-Di (trichloromethyl) -s-triazine, 4- (o-chloro-pN-chloroethylaminophenyl) -2,6-di (trichloromethyl) -s-triazine, 4 (O-FLUORO -p-N-chloroethyl aminophenyl) -2,6-di (trichloromethyl) -s-triazine.
[0082]
Others, TAZ series, TAZ-107, TAZ-110, TAZ-104, TAZ-109, TAZ-140, TAZ-204, TAZ-113, TAZ-123, TAZ-104, T series made by PANCHIM , T-OMS, T-BMP, T-R, T-B, Irgacure series, Irgacure 369, Irgacure 784, Irgacure 651, Irgacure 184, Irgacure 500, Irgacure 1000, Irgacure 149, Irgacure 819, Irgacure 261 , Darocur series, Darocur 11734, 4′-bis (diethylamino) -benzophenone, 2- (O-benzoyloxime) -1- [4- (phenylthio) phenyl] -1,2-octanedione, 2-benzyl-2 − Dimethylamino-4-morpholinobutyrophenone, 2,2-dimethoxy-2-phenylacetophenone, 2- (o-chlorophenyl) -4,5-diphenylimidazolyl dimer, 2- (o-fluorophenyl) -4,5 -Diphenylimidazolyl dimer, 2- (o-methoxyphenyl) -4,5-diphenylimidazolyl dimer, 2- (p-methoxyphenyl) -4,5-diphenylimidazolyl dimer, 2- (p- Dimethoxyphenyl) -4,5-diphenylimidazolyl dimer, 2- (2,4-dimethoxyphenyl) -4,5-diphenylimidazolyl dimer, 2- (p-methylmercaptophenyl) -4,5-diphenyl Imidazolyl dimer, benzoin isopropyl ether and the like are also usefully used.
[0083]
These photopolymerization initiators can be used in combination with a sensitizer and a light stabilizer.
Specific examples thereof include benzoin, benzoin methyl ether, benzoin, 9-fluorenone, 2-chloro-9-fluorenone, 2-methyl-9-fluorenone, 9-anthrone, 2-bromo-9-anthrone, 2-ethyl-9. Anthrone, 9,10-anthraquinone, 2-ethyl-9,10-anthraquinone, 2-t-butyl-9,10-anthraquinone, 2,6-dichloro-9,10-anthraquinone, xanthone, 2-methylxanthone, 2-methoxyxanthone, 2-methoxyxanthone, thioxanthone, 2,4-diethylthioxanthone, acridone, 10-butyl-2-chloroacridone, benzyl, dibenzalacetone, p- (dimethylamino) phenylstyryl ketone, p- (Dimethylamino) phenyl-p-methyls Rilketone, benzophenone, p- (dimethylamino) benzophenone (or Michler's ketone), p- (diethylamino) benzophenone, benzoanthrone, benzothiazole compounds described in Japanese Patent Publication No. 51-48516, tinuvin 1130, 400, etc. Can be mentioned.
[0084]
In addition to the above photopolymerization initiators, other known photopolymerization initiators can be used in the composition of the present invention.
Specifically, the vicinal polykettle aldonyl compound disclosed in US Pat. No. 2,367,660, disclosed in US Pat. Nos. 2,367,661 and 2,367,670. Substituted α-carbonyl compounds, acyloin ethers disclosed in US Pat. No. 2,448,828, α-hydrocarbons disclosed in US Pat. No. 2,722,512 Aromatic acyloin compounds, polynuclear quinone compounds disclosed in US Pat. Nos. 3,046,127 and 2,951,758, disclosed in US Pat. No. 3,549,367. Triarylimidazole dimer / p-aminophenyl ketone combination, benzothiazole compound / triha disclosed in Japanese Patent Publication No. 51-48516 And lomethyl-s-triazine compounds.
[0085]
The amount of the photopolymerization initiator used is preferably 0.01% by mass to 50% by mass, more preferably 1% by mass to 30% by mass, and particularly preferably 1% by mass to 20% by mass with respect to the monomer solid content. When the amount of the photopolymerization initiator used is less than 0.01% by mass, the polymerization is difficult to proceed, and when it exceeds 50% by mass, the polymerization rate increases, but the molecular weight decreases and the film strength may decrease.
[0086]
In addition to the above, it is preferable to add a thermal polymerization inhibitor to the composition of the present invention, for example, hydroquinone, p-methoxyphenol, di-t-butyl-p-cresol, pyrogallol, t-butyl. Catechol, benzoquinone, 4,4′-thiobis (3-methyl-6-tert-butylphenol), 2,2′-methylenebis (4-methyl-6-tert-butylphenol), 2-mercaptobenzimidazole, etc. are useful. .
[0087]
The solvent used in the present invention is not particularly limited as long as it satisfies the solubility and coating properties of the composition, but is preferably selected in consideration of the solubility, coating properties and safety of the dye and binder. .
Solvents used in preparing the composition of the present invention include esters such as ethyl acetate, n-butyl acetate, isobutyl acetate, amyl formate, isoamyl acetate, isobutyl acetate, butyl propionate, isopropyl butyrate, ethyl butyrate. Butyl butyrate, alkyl esters, methyl lactate, ethyl lactate, methyl oxyacetate, ethyl oxyacetate, butyl oxyacetate, methyl methoxyacetate, ethyl methoxyacetate, butyl methoxyacetate, methyl ethoxyacetate, ethyl ethoxyacetate,
[0088]
3-oxypropionic acid alkyl esters such as methyl 3-oxypropionate and ethyl 3-oxypropionate; methyl 3-methoxypropionate, ethyl 3-methoxypropionate, methyl 3-ethoxypropionate, 3-ethoxypropionic acid Ethyl, methyl 2-oxypropionate, ethyl 2-oxypropionate, propyl 2-oxypropionate, methyl 2-methoxypropionate, ethyl 2-methoxypropionate, propyl 2-methoxypropionate, methyl 2-ethoxypropionate , Ethyl 2-ethoxypropionate, methyl 2-oxy-2-methylpropionate, ethyl 2-oxy-2-methylpropionate, methyl 2-methoxy-2-methylpropionate, 2-ethoxy-2-methylpropionic acid ethyl,
[0089]
Methyl pyruvate, ethyl pyruvate, propyl pyruvate, methyl acetoacetate, ethyl acetoacetate, methyl 2-oxobutanoate, ethyl 2-oxobutanoate, etc .; ethers such as diethylene glycol dimethyl ether, tetrahydrofuran, ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol mono Ethyl ether, methyl cellosolve acetate, ethyl cellosolve acetate, diethylene glycol monomethyl ether, diethylene glycol monoethyl ether, diethylene glycol monobutyl ether,
[0090]
Propylene glycol methyl ether, propylene glycol methyl ether acetate, propylene glycol ethyl ether acetate, propylene glycol propyl ether acetate and the like; ketones such as methyl ethyl ketone, cyclohexanone, 2-heptanone, 3-heptanone and the like; aromatic hydrocarbons such as toluene, Xylene and the like are preferable.
[0091]
Among these, methyl 3-ethoxypropionate, ethyl 3-ethoxypropionate, ethyl cellosolve acetate, ethyl lactate, diethylene glycol dimethyl ether, butyl acetate, methyl 3-methoxypropionate, 2-heptanone, cyclohexanone, ethyl carbitol acetate Butyl carbitol acetate, propylene glycol methyl ether, propylene glycol methyl ether acetate and the like are more preferable.
[0092]
In the composition of the present invention, various additives such as fillers, polymer compounds other than the above, surfactants, adhesion promoters, antioxidants, ultraviolet absorbers, anti-aggregation agents and the like are blended as necessary. I can do it.
[0093]
Specific examples of these additives include fillers such as glass and alumina; polymer compounds other than binder resins such as polyvinyl alcohol, polyacrylic acid, polyethylene glycol monoalkyl ether, and polyfluoroalkyl acrylate; nonionic, cationic And anionic surfactants: vinyltrimethoxysilane, vinyltriethoxysilane, vinyltris (2-methoxyethoxy) silane, N- (2-aminoethyl) -3-aminopropylmethyldimethoxysilane, N- (2 -Aminoethyl) -3-aminopropyltrimethoxysilane, 3-aminopropyltriethoxysilane, 3-glycidoxypropyltrimethoxysilane, 3-glycidoxypropylmethyldimethoxysilane, 2- (3,4-epoxycyclohexyl) ) Ethyltrimetoki Adhesion promoters such as silane, 3-chloropropylmethyldimethoxysilane, 3-chloropropyltrimethoxysilane, 3-methacryloxypropyltrimethoxysilane, 3-mercaptopropyltrimethoxysilane; 2,2-thiobis (4-methyl- 6-t-butylphenol), 2,6-di-t-butylphenol and other antioxidants: 2- (3-t-butyl-5-methyl-2-hydroxyphenyl) -5-chlorobenzotriazole, alkoxybenzophenone, etc. And an anti-aggregation agent such as sodium polyacrylate.
[0094]
In addition, when promoting the alkali solubility in the unirradiated part and further improving the developability of the composition of the present invention, the composition of the present invention is an organic carboxylic acid, preferably a low molecular weight having a molecular weight of 1000 or less. An organic carboxylic acid can be added. Specifically, aliphatic monocarboxylic acids such as formic acid, acetic acid, propionic acid, butyric acid, valeric acid, pivalic acid, caproic acid, diethyl acetic acid, enanthic acid, caprylic acid; oxalic acid, malonic acid, succinic acid, glutar Aliphatic dicarboxylic acids such as acid, adipic acid, pimelic acid, suberic acid, azelaic acid, sebacic acid, brassic acid, methylmalonic acid, ethylmalonic acid, dimethylmalonic acid, methylsuccinic acid, tetramethylsuccinic acid, citraconic acid; Aliphatic tricarboxylic acids such as carbaryl acid, aconitic acid, and camphoronic acid; aromatic monocarboxylic acids such as benzoic acid, toluic acid, cumic acid, hemelitic acid, and mesitylene acid; phthalic acid, isophthalic acid, terephthalic acid, trimellitic acid, trimesin Aromatic polycarboxylic acids such as acid, merophanic acid, pyromellitic acid; phenylacetic acid, Doroatoropa acid, hydrocinnamic acid, mandelic acid, phenyl succinic acid, atropic acid, cinnamic acid, methyl cinnamate, benzyl cinnamate, cinnamylidene acetic acid, coumaric acid, other carboxylic acids such as umbellic acid.
[0095]
(Positive type composition)
In order to obtain a positive image, that is, when the composition of the present invention is a positive composition, the composition of the present invention preferably contains a naphthoquinonediazide compound.
Examples of the naphthoquinone diazide compound include o-naphthoquinone diazide-5-sulfonic acid ester, o-naphthoquinone diazide-5-sulfonic acid amide, o-naphthoquinone diazide-4-sulfonic acid ester, o-naphthoquinone diazide-4-sulfone. Examples include acid amides. These esters and amide compounds can be produced by a known method using, for example, the phenol compound described in the general formula (I) in JP-A-2-84650 and JP-A-3-49437. .
[0096]
When the composition of the present invention is a positive composition, the alkali-soluble phenol resin and the crosslinking agent are usually dissolved in an organic solvent at a ratio of about 2 to 50% by mass and 2 to 30% by mass, respectively. Is preferred. The amount of the naphthoquinone diazide compound and the organic solvent-soluble dye is usually added at a ratio of about 2 to 30% by mass and 2 to 50% by mass, respectively, with respect to the solution in which the alkali-soluble resin and the crosslinking agent are dissolved. Is preferred.
[0097]
The color filter of the present invention is produced using the composition of the present invention. The color filter of the present invention forms a radiation-sensitive composition layer by applying the composition of the present invention on a substrate by a coating method such as spin coating, cast coating, roll coating, and the like, through a predetermined mask pattern. It can be manufactured by exposing to light and developing with a developer to form a colored pattern. Moreover, the manufacturing method of the color filter of this invention may include the process of hardening the said resist pattern by heating and / or exposure as needed.
As the radiation used at this time, ultraviolet rays such as g-line, h-line and i-line are particularly preferably used.
[0098]
Examples of the substrate include soda glass, Pyrex (R) glass, and quartz glass used for liquid crystal display elements and the like, and those obtained by attaching a transparent conductive film to these, and photoelectric conversion element substrates used for imaging elements, such as silicon. Examples include a substrate and the like, and a complementary metal oxide semiconductor (CMOS). These substrates may have black stripes that separate pixels.
If necessary, an undercoat layer may be provided on these substrates in order to improve adhesion with the upper layer, prevent diffusion of substances, or planarize the substrate surface.
[0099]
As the developer used in the method for producing a color filter of the present invention, any developer can be used as long as it dissolves the composition of the present invention and does not dissolve the radiation irradiated portion. Specifically, a combination of various organic solvents or an alkaline aqueous solution can be used.
Examples of the organic solvent include the aforementioned solvents used in preparing the composition of the present invention.
[0100]
Examples of the alkaline aqueous solution include sodium hydroxide, potassium hydroxide, sodium carbonate, sodium oxalate, sodium metasuccinate, aqueous ammonia, ethylamine, diethylamine, dimethylethanolamine, tetramethylammonium hydroxide, tetraethylammonium hydroxide, Concentration of an alkaline compound such as choline, pyrrole, piperidine, 1,8-diazabicyclo- [5.4.0] -7-undecene is 0.001 to 10% by mass, preferably 0.01 to 1% by mass. An alkaline aqueous solution dissolved in this manner is used. When a developer composed of such an alkaline aqueous solution is used, it is generally washed with water after development.
[0101]
The color filter of the present invention can be used for a solid-state imaging device such as a liquid crystal display device or a CCD, and is particularly suitable for a high-resolution CCD device or a CMOS device that exceeds 1 million pixels. The color filter of the present invention can be used as, for example, a color filter disposed between a light receiving portion of each pixel constituting a CCD and a microlens for condensing light.
[0102]
【Example】
EXAMPLES The present invention will be described more specifically with reference to examples. However, the present invention is not limited to the following examples unless it exceeds the gist of the present invention. Unless otherwise specified, “part” is based on mass.
[0103]
Figure 2004002631
Were mixed and dissolved to prepare a resist solution.
[0104]
2) Preparation of glass substrate with undercoat layer A glass substrate (Corning 1737) was ultrasonically washed with 1% NaOH water, followed by washing with water and dehydration baking (200 ° C./30 minutes).
Subsequently, the resist solution of 1) above was applied onto a cleaned glass substrate using a spin coater so as to have a film thickness of 2 μm, and dried by heating at 220 ° C. for 1 hour to obtain a cured film.
[0105]
3) Preparation of Dye Resist Solution The resist solution obtained in 1) above and various dye salts were mixed and dissolved at the ratio shown in Table 1 so that the same film absorbance was obtained for the same type of dye.
[0106]
4) Exposure and development of dye resist (image formation)
The dye resist solution obtained in 3) above was applied onto the undercoat layer of the glass substrate with the undercoat layer obtained in 2) using a spin coater so as to have a film thickness of 2 μm, and prebaked at 120 ° C. for 120 seconds. did.
Next, using an exposure apparatus, the coating film was irradiated with an exposure dose of 800 mJ / cm 2 through a 20 μm mask at a wavelength of 365 nm. After the exposure, the film was developed under the conditions of 26 ° C. and 60 seconds using a 60% CD-2000 (Fuji Film Arch) developer. Thereafter, it was rinsed with running water for 20 seconds and then spray-dried.
[0107]
In this example, image formation was confirmed by an ordinary method using an optical microscope and SEM photograph observation.
Moreover, relative absorbance ratio (relative Absorbance intensity), unexposed part developability, and exposed part residual film ratio were measured with a chromaticity meter MCPD-1000 (manufactured by Otsuka Electronics). The unexposed area developability indicates the rate of change of the absorbance value before and after development, and the exposed area remaining film ratio indicates the maintenance rate of the absorbance value. The results are shown in Table 2.
[0108]
[Table 1]
Figure 2004002631
[0109]
[Examples 2 to 7]
Example 1 3) Preparation of the dye resist solution was performed in the same manner as Example 1 except that the liquid composition was changed as shown in Table 1 above. The results are shown in Table 2 together with Example 1.
[0110]
[Examples 8 to 14]
The same operation was performed except that the glass substrates of Examples 1 to 7 were replaced with silicon wafer substrates, and pattern images were obtained. The same results as in Examples 1 to 7 were obtained for the unexposed area developability and the remaining film ratio in the exposed area.
In Examples 8 to 14, a silicon wafer substrate is used, which is different from Examples 1 to 7. However, since the dye resist solution is entirely applied on the undercoat layer through Examples 1 to 14, the difference is substantially different. The same performances were obtained.
[0111]
[Comparative Examples 1-3]
Example 1 3) Preparation of the dye resist solution was performed in the same manner as Example 1 except that the liquid composition was changed as shown in Table 1 above. The results are shown in Table 2.
[0112]
[Examples 15 to 28, Comparative Examples 4 to 17]
Example 1 3) Preparation of the dye resist solution was performed in the same manner as Example 1 except that the liquid composition was changed as shown in Table 3 below. The results are shown in Table 3.
[0113]
[Table 2]
Figure 2004002631
[0114]
[Table 3]
Figure 2004002631
[0115]
[Table 4]
Figure 2004002631
[0116]
As shown in Comparative Examples 1 to 17, conventionally, it has been difficult to achieve both unexposed area developability and exposed area residual film ratio, but in the present invention, “dye having an amine compound having a polymerizable group as a counter ion” (Dye represented by the general formula (I)) is a curable composition that is excellent in unexposed area developability, improved in exposed area curability, and improved in exposed area remaining film ratio. I was able to get things.
[0117]
Further, as is apparent from the results of Tables 2 to 4, by using the “dye having an amine compound having a polymerizable group as a counter ion (a dye represented by the general formula (I))” in the present invention. Moreover, the curable composition which was excellent in the unexposed part developability and also improved the remaining film rate of the exposed part was able to be obtained. Therefore, according to the composition of the present invention, sufficient polymerizability and curability can be obtained, and unexposed area developability and image area residual film performance can be obtained, which is useful as a dye-containing curable composition. The thing is clear.
[0118]
In contrast, in the comparative example using a conventional amine compound that does not contain a polymerizable group, the unexposed area has insufficient developability because the interaction between the dye salt and the other components in the film is strong. . In addition, due to the decrease in the amount of monomer due to the addition of the dye, the curability of the exposed area was remarkably lowered, and the exposed area remaining film ratio was also low.
[0119]
[Example 29]
In Example 1, the compound of the specific example (1) was changed to the compound of the specific example (22), and the liquid composition was changed according to the molecular weight of the compound of the specific example (22). All were performed in the same manner as in Example 1 except that the heat treatment for minutes was performed. As a result, the unexposed area developability was 100, and the exposed area remaining film ratio was 98.
[0120]
Therefore, as is apparent from the results of Example 29, by using the “dye having an amine compound having a polymerizable group as a counter ion” in the present invention, the unexposed area developability is excellent and the exposed area is high. It was possible to obtain a dye-containing curable composition exhibiting a remaining film ratio.
[0121]
【The invention's effect】
According to the present invention, the dye-containing curable composition of the present invention is capable of high sensitivity, high transmittance, high resolution, and has a wide development latitude, since high polymerizability is obtained. It is possible to provide a solvent-soluble dye-containing curable composition having high productivity and free from elution, color mixing, thermal deterioration and light deterioration of a dye, and a color filter using the same.
In addition, by using the dye-containing curable composition of the present invention, a simple and cost-effective production method can be provided.

Claims (3)

アルカリ可溶性バインダーおよび有機溶剤可溶性染料を含んでなる染料含有硬化性組成物であって、
前記有機溶剤可溶性染料が下記一般式(I)で表される化合物であることを特徴とする染料含有硬化性組成物。
Figure 2004002631
(一般式(I)中、Dyeは酸性染料を表し、Xは重合性基を有するアミン化合物を表す。nは、0<n≦10を表す。)
A dye-containing curable composition comprising an alkali-soluble binder and an organic solvent-soluble dye,
The dye-containing curable composition, wherein the organic solvent-soluble dye is a compound represented by the following general formula (I).
Figure 2004002631
(In general formula (I), Dye represents an acid dye, X represents an amine compound having a polymerizable group, and n represents 0 <n ≦ 10.)
請求項1に記載の染料含有硬化性組成物を含有することを特徴とするカラーフィルター。A color filter comprising the dye-containing curable composition according to claim 1. 請求項1に記載の染料含有硬化性組成物を基板上に塗布後、マスクを通して露光し、現像してパターンを形成することを特徴とするカラーフィルターの製造方法。A method for producing a color filter, comprising: applying a dye-containing curable composition according to claim 1 onto a substrate; then exposing through a mask; and developing to form a pattern.
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