JP2006101631A - 静電モータ及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 まず、絶縁基板12の表面12aに、複数の電極を形成すると同時にそれら電極から独立した所定輪郭の遮光性マーク30を局所的に形成して、固定子16を作製する。次に、基板表面12aの遮光性マーク30に隣接する絶縁基板の局所的領域52に光54を照射し、それにより局所的領域52を、遮光性マーク30の縁30aに沿って遮光性マークを実質的に損傷せずに除去して、取付凹部28を形成する。そして、固定子16に形成した取付凹部28に、第1支持部材の位置決めピン40を密に嵌入する。それにより、固定子16が正確に位置決めした状態で第1支持部材に取り付けられる。可動子も同様の手順で、正確に位置決めした状態で第2支持部材に取り付けられる。
【選択図】 図4
Description
本発明の他の目的は、そのような製造方法によって安価に製造された高出力かつ高効率の静電モータを提供することにある。
なお、本明細書で「取付凹部」という用語で規定される構成要件は、後述するように、絶縁基板を厚み方向へ貫通する穴、絶縁基板の表面に凹設される有底の窪み、絶縁基板の縁から所望長さに切り込まれるスリット等、絶縁基板の他部分に対し段差を形成し得るあらゆる形態の凹部を含むものである。
図面を参照すると、図1は、本発明の一実施形態による静電モータ10の基本構成を示す分解斜視図、図2及び図3は、静電モータ10の2つの構成要素をそれぞれに示す平面図、図4及び図5は、静電モータ10を製造するための本発明の第1の実施形態による製造方法を模式図的に示す図である。
12、18 絶縁基板
14、20 電極
16 固定子
22 可動子
24 第1支持部材
26 第2支持部材
28、32 取付凹部
30、34 遮光性マーク
40、46 位置決めピン
48 接着剤層
50 絶縁層
52 局所的領域
54 レーザ光
58 マスク
60 光
Claims (11)
- 絶縁基板の一表面に複数の電極を等間隔に配置してなる固定子と、絶縁基板の一表面に複数の電極を、該固定子の該電極と同一の間隔で等間隔に配置してなる可動子と、該固定子を固定的に支持する第1支持部材と、該可動子を該固定子に対して移動可能に支持する第2支持部材とを備えた静電モータの製造方法であって、
前記絶縁基板の前記表面に、前記複数の電極を形成すると同時に、該複数の電極から独立した所定輪郭の遮光性マークを局所的に形成して、前記固定子及び前記可動子の少なくとも一方を作製し、
前記絶縁基板の前記表面に形成した前記遮光性マークに隣接する該絶縁基板の局所的領域に光を照射し、それにより、該局所的領域を、該遮光性マークの縁に沿って該遮光性マークを実質的に損傷せずに除去して、前記固定子及び前記可動子の少なくとも一方に取付凹部を形成し、
前記固定子及び前記可動子の少なくとも一方に形成した前記取付凹部を用いて、該固定子及び該可動子の少なくとも一方を、対応の前記第1支持部材及び前記第2支持部材の少なくとも一方に取り付けること、
を特徴とする静電モータの製造方法。 - 前記固定子及び前記可動子の少なくとも一方を作製するステップは、前記絶縁基板の前記表面に設けた金属皮膜から、パターニング及びエッチングにより、前記複数の電極及び前記遮光性マークを同時に形成するステップを含む、請求項1に記載の静電モータの製造方法。
- 前記遮光性マークがレーザ光を反射する材料から形成され、前記取付凹部を形成するステップは、前記絶縁基板の前記局所的領域に、前記光として該レーザ光を照射することにより、該局所的領域を熱的に除去するステップを含む、請求項1又は2に記載の静電モータの製造方法。
- 前記レーザ光を照射するステップは、該レーザ光を反射するマスクを用いて、前記局所的領域を露出させる一方で前記遮光性マークの少なくとも一部分と前記絶縁基板の該遮光性マークに隣接する他の領域とを保護した状態で行われる、請求項3に記載の静電モータの製造方法。
- 前記レーザ光が炭酸ガスを媒質としたものである、請求項3又は4に記載の静電モータの製造方法。
- 前記絶縁基板が感光性材料から作製され、前記取付凹部を形成するステップは、前記遮光性マークをマスクとして該絶縁基板の前記局所的領域を前記光により露光した後に、該局所的領域を化学的に除去するステップを含む、請求項1又は2に記載の静電モータの製造方法。
- 前記固定子及び前記可動子の少なくとも一方を作製するステップは、前記絶縁基板の前記表面に形成した前記複数の電極及び前記遮光性マークを覆うように絶縁層を形成するステップを含み、前記取付凹部を形成するステップは、前記局所的領域の除去と同時に同一手法で、該局所的領域に対応して該絶縁層を局所的に除去するステップを含む、請求項1〜6のいずれか1項に記載の静電モータの製造方法。
- 前記遮光性マークが環状の輪郭を有し、前記局所的領域が該遮光性マークの内側の領域である、請求項1〜7のいずれか1項に記載の静電モータの製造方法。
- 前記遮光性マークが中実の輪郭を有し、前記局所的領域が該遮光性マークの外側の領域である、請求項1〜7のいずれか1項に記載の静電モータの製造方法。
- 前記取付凹部が、前記絶縁基板を貫通する穴である、請求項1〜9のいずれか1項に記載の静電モータの製造方法。
- 絶縁基板の一表面に複数の電極を等間隔に配置してなる固定子と、絶縁基板の一表面に複数の電極を、該固定子の該電極と同一の間隔で等間隔に配置してなる可動子と、該固定子を固定的に支持する第1支持部材と、該可動子を該固定子に対して移動可能に支持する第2支持部材とを備えた静電モータであって、
請求項1〜10のいずれか1項に記載の方法により製造されたことを特徴とする静電モータ。
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