JP2006096788A - Anisotropic conductive film having nonadhesive film, electro-optic apparatus using anisotropic conductive film having nonadhesive film, method and apparatus for producing electro-optic apparatus, method for producing the same film by using the same production apparatus and electronic equipment - Google Patents

Anisotropic conductive film having nonadhesive film, electro-optic apparatus using anisotropic conductive film having nonadhesive film, method and apparatus for producing electro-optic apparatus, method for producing the same film by using the same production apparatus and electronic equipment Download PDF

Info

Publication number
JP2006096788A
JP2006096788A JP2004281101A JP2004281101A JP2006096788A JP 2006096788 A JP2006096788 A JP 2006096788A JP 2004281101 A JP2004281101 A JP 2004281101A JP 2004281101 A JP2004281101 A JP 2004281101A JP 2006096788 A JP2006096788 A JP 2006096788A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
film
adhesive film
anisotropic conductive
adhesive
electro
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
JP2004281101A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Hitoshi Kubota
人士 窪田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Seiko Epson Corp
Original Assignee
Seiko Epson Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Seiko Epson Corp filed Critical Seiko Epson Corp
Priority to JP2004281101A priority Critical patent/JP2006096788A/en
Publication of JP2006096788A publication Critical patent/JP2006096788A/en
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Adhesives Or Adhesive Processes (AREA)
  • Electric Connection Of Electric Components To Printed Circuits (AREA)
  • Structures For Mounting Electric Components On Printed Circuit Boards (AREA)
  • Non-Insulated Conductors (AREA)
  • Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
  • Liquid Crystal (AREA)
  • Adhesive Tapes (AREA)

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To stably perform conductive connection between two electrode terminals by preventing impurities, etc., from being inserted into between the electrode terminals that are about to be subjected to conductive connection. <P>SOLUTION: A bump electrode 27 of driver IC 13-15 is electrically conductively connected through an ACF 23 having a nonadhesive film to an electrode 22 on a liquid crystal substrate 1a. The ACF23 having the nonadhesive film has a resin layer 24 for adhesion having conductive particles and a nonadhesive film 26 provided on the upper surface of the resin layer 24 for adhesion. In a step before mounting a first Y driver IC14 after attaching the resin layer 24 for adhesion to the electrode 22, the ACF 23 having the nonadhesive film is kept in a condition scarcely causing adhesion of impurities such as dust by the nonadhesive film 26 provided on the upper surface. Then, driver IC 13-15 are subjected to pressing treatment from the side of the nonadhesive film 26. <P>COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

Description

本発明は、非粘着膜付き異方性導電膜、非粘着膜付き異方性導電膜を用いた電気光学装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置の製造装置、その製造装置を用いた製造方法、電子機器に関する。   The present invention uses an anisotropic conductive film with a non-adhesive film, an electro-optical device using the anisotropic conductive film with a non-adhesive film, a method for manufacturing the electro-optical device, a manufacturing apparatus for the electro-optical device, and a manufacturing apparatus therefor The present invention relates to a manufacturing method and an electronic device.

一般に、電気光学装置としての液晶表示装置は、複数の透明電極を備えた一対の基板をシール材及びスペーサを挟んで互いに接合し、そして両基板間に形成されたセルギャップ内に液晶を封入することによって形成される。液晶を挟む基板の一方又は両方には外部へ張り出す張出し部が形成され、その張出し部には上記の複数の透明電極につながる電極端子が形成される。   In general, a liquid crystal display device as an electro-optical device joins a pair of substrates having a plurality of transparent electrodes with a sealant and a spacer interposed therebetween, and encloses liquid crystal in a cell gap formed between the two substrates. Formed by. One or both of the substrates sandwiching the liquid crystal is formed with an overhang portion that protrudes to the outside, and an electrode terminal connected to the plurality of transparent electrodes is formed on the overhang portion.

液晶表示装置において、基板上に液晶駆動用ICを直接に接合する構造は、一般に、COG(Chip On Glass)方式と呼ばれる。このCOG方式においては、基板上のIC装着位置に粘着性を有するACF(Anisopic Conductive Film:異方性導電膜)等の接着用テープを接着し、さらにその接着用テープの上に液晶駆動用ICを接着する。これにより、図12に示すように、基板107と液晶駆動用IC108とは、接着用テープ106の中に含有する導電粒子109を介して、お互いを圧着することにより、電気的に接続可能状態になる。   In a liquid crystal display device, a structure in which a liquid crystal driving IC is directly bonded on a substrate is generally called a COG (Chip On Glass) system. In this COG method, an adhesive tape such as an ACF (Anisopic Conductive Film) having adhesiveness is adhered to an IC mounting position on a substrate, and a liquid crystal driving IC is further formed on the adhesive tape. Glue. Thus, as shown in FIG. 12, the substrate 107 and the liquid crystal driving IC 108 are brought into an electrically connectable state by pressure-bonding each other via the conductive particles 109 contained in the adhesive tape 106. Become.

しかしながら、接着用テープ106を基板107に貼ったあと、液晶駆動用IC108を接着するまでに時間が空いてしまった場合に、空気中に浮遊しているゴミ等が接着用テープ106の粘着面に付着してしまっていた。これにより、導電接続しようとしている2つの電極端子間101,102に不純物103,104等が挟まって、それらの電極端子間101,102の導電性が低下するおそれがあった。不純物103,104としては、例えば、樹脂製の容器の欠片や、基板に用いられているガラスの欠片や、作業者の皮膚の一部などであり、30μm程度のものである。隣り合う電極端子間105に導電性の不純物103が接触しているとショートを起こし、電極端子間101,102に絶縁性の不純物104が挟まると導通不良の状態になる。
そこで、貼付作業の間、接着用テープ106を下向きに保持することで、不純物103,104の付着を抑制している方法が開示されている(例えば、特許文献1)。
However, after the adhesive tape 106 is pasted on the substrate 107, if there is time before the liquid crystal driving IC 108 is adhered, dust or the like floating in the air will adhere to the adhesive surface of the adhesive tape 106. It had adhered. As a result, the impurities 103 and 104 are sandwiched between the two electrode terminals 101 and 102 that are to be conductively connected, and the conductivity between the electrode terminals 101 and 102 may be reduced. The impurities 103 and 104 are, for example, a piece of a resin container, a piece of glass used for a substrate, a part of an operator's skin, and the like, and about 30 μm. If the conductive impurity 103 is in contact between the adjacent electrode terminals 105, a short circuit occurs, and if the insulating impurity 104 is sandwiched between the electrode terminals 101 and 102, a poor conduction state occurs.
Accordingly, a method is disclosed in which the adhesion of the impurities 103 and 104 is suppressed by holding the adhesive tape 106 downward during the pasting operation (for example, Patent Document 1).

特開2003−57681号公報JP 2003-57681 A

しかしながら、従来の接着用テープ106では、空気中に浮遊しているゴミ等の付着を防止することは出来なかった。これにより、不純物103,104等が、基板107上に貼り付けられた接着テープ106の粘着面に付着してしまい、その結果、導電接続しようとしている2つの電極端子101,102間に不純物103,104等が挟まって、それらの電極端子101,102間の導電性(ショート、導通不良など)が低下するおそれがあった。   However, the conventional adhesive tape 106 has not been able to prevent adhesion of dust and the like floating in the air. As a result, the impurities 103, 104, etc. adhere to the adhesive surface of the adhesive tape 106 affixed on the substrate 107, and as a result, the impurities 103, 104 between the two electrode terminals 101, 102 that are to be conductively connected. There is a possibility that the conductivity (short circuit, poor conduction, etc.) between the electrode terminals 101 and 102 may be lowered due to the 104 or the like being sandwiched.

本発明は、このような従来の技術の有する未解決な課題に着目してなされたものであって、導電接続しようとしている2つの電極端子間に不純物等が挟まることを抑制して、それらの電極端子間を安定して導電接続することが可能な、非粘着膜付き異方性導電膜、非粘着膜付き異方性導電膜を用いた電気光学装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置の製造装置、その製造装置を用いた製造方法および電子機器を提供することを目的とする。   The present invention has been made paying attention to such an unsolved problem of the conventional technology, and suppresses impurities and the like from being sandwiched between two electrode terminals to be conductively connected. Anisotropic conductive film with non-adhesive film, electro-optical device using anisotropic conductive film with non-adhesive film, electro-optical device manufacturing method, electro-optical An object of the present invention is to provide a device manufacturing apparatus, a manufacturing method using the manufacturing apparatus, and an electronic apparatus.

上記問題を解決するために、本発明に係る非粘着膜付き異方性導電膜は、導電粒子を含む接着層と、前記接着層の一方の面に設けられた非粘着膜と、前記接着層の他方の面に設けられた剥離可能な保護膜とを有する。   In order to solve the above problem, an anisotropic conductive film with a non-adhesive film according to the present invention includes an adhesive layer containing conductive particles, a non-adhesive film provided on one surface of the adhesive layer, and the adhesive layer. And a peelable protective film provided on the other surface.

この構成によれば、基板に貼り付けた非粘着膜付き異方性導電膜の表面に非粘着膜を有するので、大気中に浮遊するゴミなどの不純物が、電子部品が実装される前の非粘着膜付き異方性導電膜に付着することを低減することができる。よって、非粘着膜付き異方性導電膜を介して電子部品と基板とを圧着処理するときに、電子部品と基板との電極間に異物が挟まることを抑制することができる。これにより、電極間の電気特性が安定した状態で導電接続することが可能になる。   According to this configuration, since there is a non-adhesive film on the surface of the anisotropic conductive film with a non-adhesive film attached to the substrate, impurities such as dust floating in the air are not removed before the electronic component is mounted. Adhesion to the anisotropic conductive film with an adhesive film can be reduced. Therefore, when an electronic component and a board | substrate are crimped | bonded via an anisotropic conductive film with a non-adhesion film | membrane, it can suppress that a foreign material is pinched | interposed between the electrodes of an electronic component and a board | substrate. Thereby, it is possible to conduct conductive connection in a state where the electrical characteristics between the electrodes are stable.

本発明に係る非粘着膜付き異方性導電膜では、前記非粘着膜は、前記接着層を表面改質によって形成されるようにしてもよい。   In the anisotropic conductive film with a non-adhesive film according to the present invention, the non-adhesive film may be formed by surface modification of the adhesive layer.

この構成によれば、接着層の表面改質によって非粘着膜を形成するので、非粘着膜を接着層に貼り合せるなどの製造工程を行うことなく形成することができる。よって、容易に非粘着膜を形成することが可能になる。   According to this configuration, since the non-adhesive film is formed by surface modification of the adhesive layer, the non-adhesive film can be formed without performing a manufacturing process such as bonding the non-adhesive film to the adhesive layer. Therefore, it is possible to easily form a non-adhesive film.

本発明に係る非粘着膜付き異方性導電膜では、前記接着層は、熱硬化性樹脂であることが望ましい。   In the anisotropic conductive film with a non-adhesive film according to the present invention, the adhesive layer is preferably a thermosetting resin.

この構成によれば、接着層が熱硬化性樹脂であるので、温度を加えることにより硬化させることが可能になる。よって、接着層を介して導電接続する電子部品と基板とを、固着することができる。これにより、電子部品と基板との電極間を、安定した状態で導電接続することが可能なる。   According to this configuration, since the adhesive layer is a thermosetting resin, it can be cured by applying a temperature. Therefore, the electronic component that is conductively connected via the adhesive layer and the substrate can be fixed. This makes it possible to conduct conductive connection between the electrodes of the electronic component and the substrate in a stable state.

上記問題を解決するために、本発明に係る電気光学装置は、非粘着膜付き異方性導電膜と、電気光学物質を有する基板と、電子部品とを備え、前記基板と前記電子部品とは、前記非粘着膜付き異方性導電膜を介して電気的に導通接続される。   In order to solve the above problem, an electro-optical device according to the present invention includes an anisotropic conductive film with a non-adhesive film, a substrate having an electro-optical material, and an electronic component, and the substrate and the electronic component are And electrically connected through the anisotropic conductive film with the non-adhesive film.

この構成によれば、基板に貼り付けられた非粘着膜付き異方性導電膜に電子部品を接続するとき、非粘着膜付き異方性導電膜の表面に非粘着膜があるので、大気中に浮遊するゴミなどの異物が、非粘着膜付き異方性導電膜に付着することを防止できる。よって、非粘着膜付き異方性導電膜を介して導通接続される、電子部品と基板との電極間に異物が挟まることを抑制することができる。これにより、電極間を安定した状態で導電接続することが可能になる。   According to this configuration, when an electronic component is connected to the anisotropic conductive film with a non-adhesive film attached to the substrate, there is a non-adhesive film on the surface of the anisotropic conductive film with a non-adhesive film. It is possible to prevent foreign matters such as dust floating on the sticking to the anisotropic conductive film with the non-adhesive film. Therefore, it can suppress that a foreign material is pinched | interposed between the electrodes of an electronic component and a board | substrate electrically connected through the anisotropic conductive film with a non-adhesion film | membrane. Thereby, it becomes possible to conduct conductive connection between the electrodes in a stable state.

本発明に係る電気光学装置では、前記電気光学物質は、液晶である。   In the electro-optical device according to the invention, the electro-optical material is a liquid crystal.

この構成によれば、液晶を有する液晶基板と電子部品とを接続するのに、非粘着膜付き異方性導電膜を用いているので、電子部品と液晶基板との電極間を、ゴミなどの異物が挟まることを防止し、安定した導通状態で駆動することのできる液晶表示装置を提供することが可能になる。   According to this configuration, since the anisotropic conductive film with the non-adhesive film is used to connect the liquid crystal substrate having the liquid crystal and the electronic component, there is no dust between the electronic component and the liquid crystal substrate. It is possible to provide a liquid crystal display device that can prevent foreign matter from being caught and can be driven in a stable conductive state.

上記問題を解決するために、本発明に係る電子機器は、電気光学装置を表示部として備えている。   In order to solve the above problem, an electronic apparatus according to the present invention includes an electro-optical device as a display unit.

この方法によれば、非粘着膜付き異方性導電膜を用いた電気光学装置を表示部としているので、電子部品と基板との電極間を、ゴミなどの異物が挟まることを防止し、安定した導通状態で表示することが可能な電子機器を提供することが可能になる。   According to this method, since an electro-optical device using an anisotropic conductive film with a non-adhesive film is used as a display unit, foreign substances such as dust are prevented from being caught between the electrodes of the electronic component and the substrate, and stable. Thus, it is possible to provide an electronic device that can display in a connected state.

上記問題を解決するために、本発明に係る電気光学装置の製造方法は、基板と、導電粒子を含む接着層を備えた異方性導電膜と、前記異方性導電膜を介して前記基板と電気的に導通接続される電子部品とを有する電気光学装置の製造方法であって、前記異方性導電膜は、前記接着層の一方の面に形成された非粘着膜を備えた非粘着膜付き異方性導電膜であり、前記非粘着膜付き異方性導電膜の前記接着層側を前記基板の実装領域に貼り付ける貼付工程と、貼り付けた前記非粘着膜付き異方性導電膜の前記非粘着膜側に載せられた前記電子部品を、前記非粘着膜付き異方性導電膜を介して、前記電子部品に設けられた複数のバンプ電極と、前記基板の前記実装領域に形成されている複数の電極とを、それぞれ電気的に導通可能な状態に圧着する圧着工程とを有する。   In order to solve the above problem, an electro-optical device manufacturing method according to the present invention includes a substrate, an anisotropic conductive film including an adhesive layer including conductive particles, and the substrate through the anisotropic conductive film. A non-adhesive film having a non-adhesive film formed on one surface of the adhesive layer, wherein the anisotropic conductive film is a non-adhesive film formed on one surface of the adhesive layer An affixing step of attaching the adhesive layer side of the anisotropic conductive film with a non-adhesive film to a mounting region of the substrate, and the attached anisotropic conductive film with the non-adhesive film The electronic component placed on the non-adhesive film side of the film is connected to the plurality of bump electrodes provided on the electronic component via the anisotropic conductive film with the non-adhesive film and the mounting region of the substrate. Crimp the formed electrodes to a state where they can be electrically connected to each other. And a Chakukotei.

この構成によれば、貼付工程と、圧着工程とを有しているので、非粘着膜付き異方性導電膜を基板上に形成された電極に貼り付けたままの状態にしておいたとしても、接着層が表に出ていないので、非粘着膜付き異方性導電膜にゴミなどの異物が付着しにくくすることができる。これにより、電子部品と基板との電極間に異物が挟まることを抑制することができ、電極間を安定した状態で導電接続することが可能になる。   According to this configuration, since it has a pasting step and a crimping step, even if the anisotropic conductive film with a non-adhesive film is left attached to the electrode formed on the substrate, Since the adhesive layer does not appear on the surface, foreign substances such as dust can be made difficult to adhere to the anisotropic conductive film with the non-adhesive film. Thereby, it can suppress that a foreign material is pinched | interposed between the electrodes of an electronic component and a board | substrate, and it becomes possible to conduct conductive connection in the stable state between electrodes.

本発明に係る電気光学装置の製造方法では、前記圧着工程は、前記電子部品を前記基板上の前記実装領域に仮付けする仮圧着工程と、前記電子部品に設けられた前記複数のバンプ電極と、前記基板上の前記実装領域に形成された前記複数の電極とを、前記非粘着膜付き異方性導電膜を介して電気的に導通接続する本圧着工程とを有する。   In the electro-optical device manufacturing method according to the present invention, the crimping step includes a temporary crimping step of temporarily attaching the electronic component to the mounting region on the substrate, and the plurality of bump electrodes provided on the electronic component. And a main pressure bonding step of electrically connecting the plurality of electrodes formed in the mounting region on the substrate through the anisotropic conductive film with a non-adhesive film.

この方法によれば、圧着工程を、仮圧着工程と本圧着工程とに分けているので、実装する電子部品と基板との位置決め及び仮圧着と、非粘着膜付き異方性導電膜への加熱を含む本圧着とを別々の工程で行うことができる。よって、仮圧着工程では、複雑な製造方法にすることなく、位置決めをすることができる。これにより、電子部品を所定の位置に固定することが可能になる。   According to this method, since the crimping process is divided into a temporary crimping process and a final crimping process, positioning and temporary crimping of the electronic component to be mounted and the substrate, and heating to the anisotropic conductive film with a non-adhesive film are performed. Can be performed in separate steps. Therefore, in the temporary press-bonding step, positioning can be performed without using a complicated manufacturing method. This makes it possible to fix the electronic component at a predetermined position.

上記問題を解決するために、本発明に係る電気光学装置の製造方法は、基板と、導電粒子を含む接着層を備えた異方性導電膜と、前記異方性導電膜を介して、前記基板と電気的に導通接続される少なくとも1つの電子部品とを有する電気光学装置の製造方法であって、前記異方性導電膜は、前記接着層の一方の面に設けられた非粘着膜を備えた非粘着膜付き異方性導電膜であり、前記基板上の実装領域に、前記非粘着膜付き異方性導電膜を前記接着層の粘着性によって貼り付ける貼付工程と、前記貼り付け後の前記非粘着膜付き異方性導電膜を、前記少なくとも1つの電子部品の実装領域に切り込みを入れる切込工程と、前記切り込まれた非粘着膜付き異方性導電膜のうち、実装する前記電子部品に対応する領域の非粘着膜を剥ぎ取る剥取工程と、剥ぎ取ったあとの前記接着層に載せた前記電子部品を、前記接着層を介して前記電子部品に設けられた複数のバンプ電極と、前記基板の前記実装領域に形成されている複数の電極とを、それぞれ電気的に導通可能な状態に圧着する圧着工程とを有する。   In order to solve the above problem, a method for manufacturing an electro-optical device according to the present invention includes a substrate, an anisotropic conductive film including an adhesive layer including conductive particles, and the anisotropic conductive film. A method of manufacturing an electro-optical device having at least one electronic component electrically connected to a substrate, wherein the anisotropic conductive film is a non-adhesive film provided on one surface of the adhesive layer. A non-adhesive film-attached anisotropic conductive film, and a sticking step of attaching the non-stick film-attached anisotropic conductive film to the mounting region on the substrate by the adhesiveness of the adhesive layer; Mounting the non-adhesive film-attached anisotropic conductive film of the at least one electronic component mounting region and the cut non-adhesive film-attached anisotropic conductive film. Stripping work for stripping the non-adhesive film in the area corresponding to the electronic component And the electronic component placed on the adhesive layer after peeling off, a plurality of bump electrodes provided on the electronic component via the adhesive layer, and a plurality of formed in the mounting region of the substrate A crimping step of crimping the electrodes to a state where they can be electrically connected to each other.

この方法によれば、貼付工程と、切込工程と、剥取工程と、圧着工程とを有するので、電子部品を圧着するときに、実装する電子部品に対応する非粘着膜のみを剥ぎ取り、そのあと基板と電子部品とを圧着することが可能になる。よって、接着層と異物が浮遊する大気中との接触する時間が短いので、実装する接着層に異物が付着することを低減することができる。これにより、電子部品と基板との電極間に異物が挟まることを抑制することができる。これにより、電極間を安定した状態で導電接続することが可能になる。   According to this method, since it has a pasting step, a cutting step, a stripping step, and a crimping step, when crimping the electronic component, only the non-adhesive film corresponding to the electronic component to be mounted is stripped, Thereafter, the substrate and the electronic component can be pressure-bonded. Accordingly, since the contact time between the adhesive layer and the atmosphere in which the foreign matter floats is short, the attachment of the foreign matter to the adhesive layer to be mounted can be reduced. Thereby, it can suppress that a foreign material is pinched | interposed between the electrodes of an electronic component and a board | substrate. Thereby, it becomes possible to conduct conductive connection between the electrodes in a stable state.

本発明に係る電気光学装置の製造方法では、前記圧着工程は、前記電子部品を前記基板上の前記実装領域に仮付けする仮圧着工程と、前記電子部品に設けられた前記複数のバンプ電極と、前記基板上の前記実装領域に形成された前記複数の電極とを電気的に導通接続する本圧着工程とを有する。   In the electro-optical device manufacturing method according to the present invention, the crimping step includes a temporary crimping step of temporarily attaching the electronic component to the mounting region on the substrate, and the plurality of bump electrodes provided on the electronic component. And a main press-bonding step for electrically conducting and connecting the plurality of electrodes formed in the mounting region on the substrate.

この方法によれば、圧着工程を、仮圧着工程と本圧着工程とに分けているので、実装する電子部品と基板との位置決め及び仮圧着と、非粘着膜付き異方性導電膜への加熱を含む本圧着とを別々の工程で行うことができる。よって、仮圧着工程では、複雑な製造方法にすることなく、位置決めをすることができる。これにより、電子部品を所定の位置に固定することが可能になる。   According to this method, since the crimping process is divided into a temporary crimping process and a final crimping process, positioning and temporary crimping of the electronic component to be mounted and the substrate, and heating to the anisotropic conductive film with a non-adhesive film are performed. Can be performed in separate steps. Therefore, in the temporary press-bonding step, positioning can be performed without using a complicated manufacturing method. This makes it possible to fix the electronic component at a predetermined position.

本発明に係る電気光学装置の製造方法では、前記電気光学物質は、液晶であってもよい。   In the method for manufacturing an electro-optical device according to the present invention, the electro-optical material may be a liquid crystal.

この方法によれば、液晶を封入した液晶表示装置において、電子部品と基板との電極間に異物が挟まることを抑制することができる。これにより、電極間を安定した状態で導電接続することが可能になる。   According to this method, in a liquid crystal display device in which liquid crystal is sealed, foreign matter can be prevented from being sandwiched between the electrodes of the electronic component and the substrate. Thereby, it becomes possible to conduct conductive connection between the electrodes in a stable state.

上記問題を解決するために、本発明に係る電気光学装置の製造装置は、導電粒子を含む接着層と前記接着層の一方の面に設けられた剥離可能な非粘着膜とを有する非粘着膜付き異方性導電膜と、前記非粘着膜付き異方性導電膜を介して電子部品と電気的に導通接続される、電気光学物質を有する基板および前記電子部品とを有する電気光学装置の製造装置であって、前記非粘着膜付き異方性導電膜を、前記基板上の前記電子部品の実装領域に貼り付ける貼付部と、前記貼り付けた前記非粘着膜付き異方性導電膜を、前記電子部品の実装領域に切り込みを入れる切込部と、前記切り込まれた前記非粘着膜付き異方性導電膜のうち、前記電子部品の実装領域に対応する非粘着膜を剥がす剥離部と、前記電子部品を、前記剥がしたあとの前記接着層を介して前記基板に電気的に導通接続させる圧着部とを有する。   In order to solve the above problem, an electro-optical device manufacturing apparatus according to the present invention includes a non-adhesive film having an adhesive layer containing conductive particles and a peelable non-adhesive film provided on one surface of the adhesive layer. Manufacture of an electro-optical device having a coated anisotropic conductive film, a substrate having an electro-optic material, and the electronic component electrically connected to the electronic component through the non-adhesive anisotropic conductive film An apparatus, wherein the non-adhesive film-attached anisotropic conductive film is attached to a mounting region of the electronic component on the substrate, and the non-adhesive film-attached anisotropic conductive film is attached, A notch part that cuts into the mounting region of the electronic component, and a peeling part that peels off the non-adhesive film corresponding to the mounting region of the electronic component among the cut anisotropic film with the non-adhesive film The adhesive layer after the electronic component is peeled off Through and a crimping portion for electrically conductively connected to the substrate.

この構成によれば、貼付部と、切込部と、剥離部と、圧着部とを有するので、電子部品を圧着するときに、実装する電子部品に対応する非粘着膜のみを剥ぎ取り、そのあと基板と圧着することが可能になる。よって、接着層と異物が浮遊する大気中との接触する時間が短いので、実装する接着層に異物が付着することを低減することができる。これにより、電子部品と基板との電極間に異物が挟まることを抑制することができる。これにより、電極間を安定した状態で導電接続することが可能になる。   According to this configuration, since it has an affixing part, a notch part, a peeling part, and a crimping part, when crimping an electronic component, only the non-adhesive film corresponding to the electronic component to be mounted is peeled off. After that, it is possible to crimp the substrate. Accordingly, since the contact time between the adhesive layer and the atmosphere in which the foreign matter floats is short, the attachment of the foreign matter to the adhesive layer to be mounted can be reduced. Thereby, it can suppress that a foreign material is pinched | interposed between the electrodes of an electronic component and a board | substrate. Thereby, it becomes possible to conduct conductive connection between the electrodes in a stable state.

本発明に係る電気光学装置の製造装置では、前記圧着部は、前記電子部品を前記接着層に仮圧着する仮圧着部と、前記電子部品を前記接着層を介して前記基板と導通可能な状態に圧着する本圧着部とを有する。   In the electro-optical device manufacturing apparatus according to the present invention, the crimping portion includes a temporary crimping portion that temporarily crimps the electronic component to the adhesive layer, and a state in which the electronic component can be electrically connected to the substrate via the adhesive layer. And a main press-bonding portion for press-bonding to the main body.

この構成によれば、圧着部を、仮圧着部と本圧着部とに分けているので、実装する電子部品と基板との位置決め及び仮圧着と、非粘着膜付き異方性導電膜への加熱を含む本圧着とを別々の場所で行うことができる。よって、仮圧着部を複雑な機構にすることなく、位置決めをすることができる。これにより、電子部品を所定の位置に固定することが可能になる。   According to this configuration, since the crimping part is divided into the temporary crimping part and the main crimping part, positioning and temporary crimping of the electronic component to be mounted and the substrate, and heating to the anisotropic conductive film with a non-adhesive film Can be performed at different locations. Therefore, positioning can be performed without making the temporary crimping part a complicated mechanism. This makes it possible to fix the electronic component at a predetermined position.

本発明に係る電気光学装置の製造装置では、前記電気光学物質は、液晶であってもよい。   In the electro-optical device manufacturing apparatus according to the present invention, the electro-optical material may be a liquid crystal.

この構成によれば、液晶を封入した液晶表示装置の製造装置において、電子部品と基板との電極間に異物が挟まることを抑制することができる。これにより、電極間を安定した状態で導電接続することが可能になる。   According to this configuration, in a manufacturing apparatus for a liquid crystal display device in which liquid crystal is sealed, it is possible to suppress foreign matter from being sandwiched between the electrodes of the electronic component and the substrate. Thereby, it becomes possible to conduct conductive connection between the electrodes in a stable state.

上記問題を解決するために、本発明に係る電気光学装置の製造装置を用いた製造方法は、貼付部によって、基板の実装領域に非粘着膜付き異方性導電膜を貼り付ける貼付工程と、切込部によって、前記貼り付けた前記非粘着膜付き異方性導電膜を切り込む切込工程と、剥離部によって切り込まれた前記異方性導電膜のうち、実装する電子部品に対応する領域の非粘着膜を剥がす剥離工程と、圧着部によって、剥がしたあとの接着層を介して、前記電子部品と基板とを圧着する圧着工程とを有する。   In order to solve the above problem, a manufacturing method using the electro-optical device manufacturing apparatus according to the present invention includes an attaching step of attaching an anisotropic conductive film with a non-adhesive film to a mounting region of a substrate by an attaching portion; Of the anisotropic conductive film cut by the cutting step for cutting the attached anisotropic conductive film with the non-adhesive film by the cut part, and the region corresponding to the electronic component to be mounted A peeling step for peeling the non-adhesive film, and a pressure-bonding step for pressure-bonding the electronic component and the substrate via the adhesive layer after the peeling by the pressure-bonding portion.

この方法によれば、貼付工程と、切込工程と、剥離工程と、圧着工程とを有するので、剥離部によって実装する電子部品に対応する非粘着膜のみを剥ぎ取り、そのあと、圧着部によって電子部品と基板とを圧着することが可能になる。よって、接着層と異物が浮遊する大気中との接触する時間が短いので、実装する接着層に異物が付着することを低減することができる。これにより、電子部品と基板との電極間に異物が挟まることを抑制することができる。これにより、電極間を安定した状態で導電接続することが可能になる。   According to this method, since there are a sticking step, a cutting step, a peeling step, and a crimping step, only the non-adhesive film corresponding to the electronic component to be mounted is peeled off by the peeling portion, and then the crimping portion. It becomes possible to crimp the electronic component and the substrate. Accordingly, since the contact time between the adhesive layer and the atmosphere in which the foreign matter floats is short, the attachment of the foreign matter to the adhesive layer to be mounted can be reduced. Thereby, it can suppress that a foreign material is pinched | interposed between the electrodes of an electronic component and a board | substrate. Thereby, it becomes possible to conduct conductive connection between the electrodes in a stable state.

以下、本発明に係る電気光学装置の実施形態について図面を参照して説明する。   Hereinafter, embodiments of an electro-optical device according to the invention will be described with reference to the drawings.

(第1実施形態)
図1は、本実施形態の電気光学装置を模式的に示す分解斜視図である。以下、本実施形態の電気光学装置について、図1を参照しながら説明する。同図に示すように、電気光学装置としての液晶表示装置1は、シール材2を介して対向するように貼り合わされた一対の基板である第1基板3と第2基板4と、両基板3,4の間隙にシール材2により封止された電気光学物質である液晶(図示せず)とを有する。なお、必要に応じてバックライト等の照明装置(図示せず)や、その他の付属機器(図示せず)が液晶表示装置1に取り付けられる。
液晶表示装置1としては、TFT(Thin Film Transistor)アクティブマトリクス型、パッシブマトリクス型、TFD(Thin Film Diord:薄膜ダイオード)アクティブマトリクス型の液晶表示装置などのいずれであってもよい。
(First embodiment)
FIG. 1 is an exploded perspective view schematically showing the electro-optical device of the present embodiment. Hereinafter, the electro-optical device of this embodiment will be described with reference to FIG. As shown in the figure, a liquid crystal display device 1 as an electro-optical device includes a first substrate 3 and a second substrate 4 which are a pair of substrates bonded to each other with a sealant 2 therebetween, and both substrates 3. , 4 is provided with a liquid crystal (not shown) which is an electro-optical material sealed with a sealing material 2. Note that an illumination device (not shown) such as a backlight and other accessory devices (not shown) are attached to the liquid crystal display device 1 as necessary.
The liquid crystal display device 1 may be any of a TFT (Thin Film Transistor) active matrix type, a passive matrix type, a TFD (Thin Film Diord) active matrix type liquid crystal display device, and the like.

以下、液晶表示装置1としてTFDアクティブマトリクス型を例にあげて説明する。   Hereinafter, a TFD active matrix type will be described as an example of the liquid crystal display device 1.

第1基板3および第2基板4は、例えば、ガラスや合成樹脂といった透光性を有する材料からなる板状部材である。第1基板3の内側(液晶側)表面には、X方向に信号電極5が形成されており、第2基板4の内側(液晶側)表面には、Y方向に走査電極6が形成されている。また、画素ごとに画素電極(図示せず)が形成されている。信号電極5および走査電極6は、例えば、ITO(Indium Tin Oxide:インジウムスズ酸化物)などの透明導電材料によって形成される。走査電極6は、例えば、図1に示すように、上半分が左側に、下半分が右側に引き廻されて形成される。また、各画素毎に、薄膜ダイオードDが設けられる。そして、それぞれの基板3,4上に形成された信号電極5と走査電極6との交差領域が、マトリクス状に配列された多数の画素を構成し、これら多数の画素の配列が、全体として液晶表示領域Aを構成することになる。   The first substrate 3 and the second substrate 4 are plate-like members made of a light-transmitting material such as glass or synthetic resin. A signal electrode 5 is formed in the X direction on the inner (liquid crystal side) surface of the first substrate 3, and a scanning electrode 6 is formed in the Y direction on the inner (liquid crystal side) surface of the second substrate 4. Yes. A pixel electrode (not shown) is formed for each pixel. The signal electrode 5 and the scanning electrode 6 are formed of a transparent conductive material such as ITO (Indium Tin Oxide). For example, as shown in FIG. 1, the scanning electrode 6 is formed by drawing the upper half to the left side and the lower half to the right side. A thin film diode D is provided for each pixel. And the intersection area | region of the signal electrode 5 and the scanning electrode 6 formed on each board | substrate 3 and 4 comprises many pixels arranged in matrix form, and the arrangement | sequence of these many pixels is liquid crystal as a whole. The display area A is configured.

また、第1基板3は、第2基板4の外周縁から張り出した領域(以下、「張出し領域」という)3aを有する。張り出し領域3aの面上には、出力端子群7,8,9や入力端子群10,11,12等の配線パターンが形成され、液晶駆動用の電子部品としてのXドライバIC13、第1のYドライバIC14および第2のYドライバIC15が実装されている。信号電極5は、それぞれ出力端子群7に延在して接続され、走査電極6は、それぞれ延在して出力端子群8,9に接続される。入力端子群10,11,12は、例えば、フレキシブル基板P等を介して、回路基板等の外部機器(図示せず)に接続される。   In addition, the first substrate 3 has a region 3 a that protrudes from the outer peripheral edge of the second substrate 4 (hereinafter referred to as “projected region”). On the surface of the overhang region 3a, wiring patterns such as output terminal groups 7, 8, 9 and input terminal groups 10, 11, 12 are formed, and an X driver IC 13 as a liquid crystal driving electronic component, a first Y A driver IC 14 and a second Y driver IC 15 are mounted. The signal electrode 5 extends and is connected to the output terminal group 7, and the scanning electrode 6 extends and is connected to the output terminal groups 8 and 9. The input terminal groups 10, 11, and 12 are connected to an external device (not shown) such as a circuit board via, for example, a flexible board P.

図2は、張り出し領域の接続部の構成を示す模式断面図である。以下、接続部の構成を、図2を参照しながら説明する。図2の断面図は、図1におけるB−B断面を示している。なお、XドライバIC13と第1のYドライバIC14と第2のYドライバIC15との接続構成は同じであるので、第1のYドライバIC14のみ説明する。図2に示すように、接続部21は、第1基板3と、出力端子群8および入力端子群11(いずれも、図1参照)を構成する電極22と、非粘着膜付き異方性導電膜(以下、「非粘着膜付きACF」という)23と、第1のYドライバIC14とを有する。   FIG. 2 is a schematic cross-sectional view showing the configuration of the connecting portion of the overhang region. Hereinafter, the configuration of the connecting portion will be described with reference to FIG. 2 shows a cross section taken along the line BB in FIG. Since the connection configuration of the X driver IC 13, the first Y driver IC 14, and the second Y driver IC 15 is the same, only the first Y driver IC 14 will be described. As shown in FIG. 2, the connection portion 21 includes the first substrate 3, the electrodes 22 constituting the output terminal group 8 and the input terminal group 11 (both refer to FIG. 1), and an anisotropic conductive film with a non-adhesive film. A film (hereinafter referred to as “non-adhesive film-attached ACF”) 23 and a first Y driver IC 14 are included.

電極22は、入力端子群11および出力端子群8を含み、第1基板3上に形成されている。電極22は、例えば、ピッチが38μmであり、それぞれの電極22のピッチ間が同じになるように配列される。また、それぞれの電極22との隙間は、例えば15μmである。   The electrode 22 includes the input terminal group 11 and the output terminal group 8 and is formed on the first substrate 3. The electrodes 22 have a pitch of 38 μm, for example, and are arranged so that the pitch between the electrodes 22 is the same. Further, the gap between each electrode 22 is, for example, 15 μm.

非粘着膜付きACF23には、接着層である接着用樹脂層24と、接着用樹脂層24の中に分散された導電粒子25と、接着用樹脂層24の上面に形成された非粘着膜26とを有する。接着用樹脂層24は、例えば、熱硬化性樹脂であり、エポキシ系の樹脂を主流として構成され、耐熱性に優れている。接着用樹脂層24の中には、導電粒子25が均一に散在している。なお、第1基板3に貼り付ける前の非粘着膜付きACF23は、図2における上側から順に、非粘着膜26、導電粒子25を有した接着用樹脂層24、接着用樹脂層24を保護する保護膜としてのベーステープ(図4、工程1参照)51によって構成されている。   The non-adhesive film-attached ACF 23 includes an adhesive resin layer 24 as an adhesive layer, conductive particles 25 dispersed in the adhesive resin layer 24, and a non-adhesive film 26 formed on the upper surface of the adhesive resin layer 24. And have. The adhesive resin layer 24 is, for example, a thermosetting resin, and is mainly composed of an epoxy resin, and has excellent heat resistance. In the adhesive resin layer 24, the conductive particles 25 are evenly scattered. The non-adhesive film-attached ACF 23 before being attached to the first substrate 3 protects the non-adhesive film 26, the adhesive resin layer 24 having the conductive particles 25, and the adhesive resin layer 24 in order from the upper side in FIG. A base tape (see FIG. 4, step 1) 51 is formed as a protective film.

導電粒子25は、第1のYドライバIC14を構成するバンプ電極27と電極22とを電気的に導通させるために用いられる。導電粒子25は、金属核そのもの(ニッケル(Ni)単体や金メッキ処理をおこなったNi)と、樹脂核(スチレン、アクリルおよび酸化チタン等)に金メッキ処理したもの、さらには、これらの粒子の上に熱や圧力で破壊、溶融する絶縁被膜を有したもの等様々な種類がある。本実施形態では、絶縁被膜を有した導電粒子25を用いている。導電粒子25には、電気的導通だけでなく、隣接電極間に接しない形状および適度な分散率が要求される。導電粒子25は、球形に近いものが選択され、使用される製品仕様に合わせて、例えば、5μmの粒径の材料が用いられている。   The conductive particles 25 are used to electrically connect the bump electrode 27 and the electrode 22 constituting the first Y driver IC 14. The conductive particles 25 include a metal core itself (nickel (Ni) simple substance or Ni plated with gold), a resin core (such as styrene, acrylic and titanium oxide) subjected to gold plating, and on these particles. There are various types such as those having an insulating coating that breaks and melts by heat and pressure. In the present embodiment, the conductive particles 25 having an insulating coating are used. The conductive particles 25 are required not only to have electrical continuity but also to have a shape that is not in contact with adjacent electrodes and an appropriate dispersion rate. As the conductive particles 25, those close to a spherical shape are selected, and a material having a particle diameter of 5 μm, for example, is used according to the product specifications to be used.

非粘着膜26は、例えば、熱可塑性樹脂で構成されている。熱可塑性樹脂は、加熱すると軟化し、冷却すると固化する特性を有する。非粘着膜26は、例えば、ポリエチレンテレフタレート(PET)や、アセテート樹脂などで構成してもよい。非粘着膜付きACF23は、例えば、接着用樹脂層24の一方の面上に、熱可塑性樹脂をコーティングし、そのコーティングを乾燥することにより形成するようにしてもよい。また、非粘着膜付きACF23は、接着用樹脂層24の一方の面上に熱可塑性樹脂フィルムを貼り合わせることにより形成するようにしてもよい。非粘着膜26の厚みは、例えば、5μmである。接着用樹脂層24の厚みは、例えば25μmである。   The non-adhesive film 26 is made of, for example, a thermoplastic resin. Thermoplastic resins have the property of softening when heated and solidifying when cooled. The non-adhesive film 26 may be made of, for example, polyethylene terephthalate (PET) or acetate resin. The non-adhesive film-attached ACF 23 may be formed, for example, by coating a thermoplastic resin on one surface of the adhesive resin layer 24 and drying the coating. Further, the non-adhesive film-attached ACF 23 may be formed by bonding a thermoplastic resin film on one surface of the adhesive resin layer 24. The non-adhesive film 26 has a thickness of 5 μm, for example. The thickness of the adhesive resin layer 24 is, for example, 25 μm.

第1のYドライバIC14は、IC本体28と、バンプ電極27とを有する。図2に示す第1のYドライバIC14は、接着用樹脂層24により第1基板3に接着された状態になっている。バンプ電極27のピッチは、例えば、電極22のピッチと同様に38μmであり、バンプ電極27間の隙間は、電極22間の隙間と同様に、例えば15μmである。   The first Y driver IC 14 has an IC body 28 and a bump electrode 27. The first Y driver IC 14 shown in FIG. 2 is adhered to the first substrate 3 by the adhesive resin layer 24. The pitch of the bump electrodes 27 is, for example, 38 μm, similar to the pitch of the electrodes 22, and the gap between the bump electrodes 27 is, for example, 15 μm, similar to the gap between the electrodes 22.

バンプ電極27と電極22とは、接着用樹脂層24の中に含有する導電粒子25がバンプ電極27と電極22との間に挟み込まれ潰されることによって、電気的に導通可能な状態になっている。つまり、バンプ電極27と電極22との厚み方向に対しては導電性、一方、面方向に対しては絶縁性という電気的異方性を示すことになる。
また、バンプ電極27と電極22との間に異物が挟まると、電極27,22間でショートを起こしたり導通不良が発生したりする。入力端子群11と出力端子群8とは、第1のYドライバIC14を介して、電気的に導通可能な状態になっている。
The bump electrode 27 and the electrode 22 become electrically conductive when the conductive particles 25 contained in the adhesive resin layer 24 are sandwiched and crushed between the bump electrode 27 and the electrode 22. Yes. That is, electrical anisotropy is exhibited such that the bump electrode 27 and the electrode 22 are electrically conductive in the thickness direction, while the surface direction is insulative.
Further, when a foreign object is caught between the bump electrode 27 and the electrode 22, a short circuit occurs between the electrodes 27 and 22, or a conduction failure occurs. The input terminal group 11 and the output terminal group 8 are in an electrically conductive state via the first Y driver IC 14.

図3は、第1基板にXドライバICおよびYドライバICを実装する実装装置の構成を模式的に示す概略構成図である。以下、実装装置の構成を、図3を参照しながら説明する。実装装置31は、パネル投入部32と、貼付部であるACF貼付処理部33と、仮圧着部である仮圧着処理部34と、本圧着部である本圧着処理部35と、パネル排出部36とを有する。   FIG. 3 is a schematic configuration diagram schematically showing a configuration of a mounting apparatus for mounting the X driver IC and the Y driver IC on the first substrate. Hereinafter, the configuration of the mounting apparatus will be described with reference to FIG. The mounting apparatus 31 includes a panel insertion unit 32, an ACF application processing unit 33 that is an application unit, a temporary application processing unit 34 that is a temporary application unit, a main application processing unit 35 that is a main application unit, and a panel discharge unit 36. And have.

パネル投入部32は、パネル投入口32aと、パネル供給ベルト32bとを有する。パネル投入口32aは、ドライバICが実装されていない状態の液晶基板1aを実装装置31内に入れる入り口である。パネル投入口32aから投入された液晶基板1aは、パネル供給ベルト32bによって、第1ポジション37に搬送される。   The panel insertion part 32 has a panel insertion port 32a and a panel supply belt 32b. The panel insertion port 32 a is an entrance through which the liquid crystal substrate 1 a on which no driver IC is mounted is inserted into the mounting apparatus 31. The liquid crystal substrate 1a input from the panel input port 32a is conveyed to the first position 37 by the panel supply belt 32b.

ACF貼付処理部33は、ACF貼付ユニット38と、ACF貼付テーブル39とを有する。ACF貼付ユニット38は、ACF貼付テーブル39上に固定された液晶基板1aへの、非粘着膜付きACF23の供給および貼付を行う。また、ACF貼付ユニット38は、ACF切断装置(図示せず)によって、ACFリール40から送り出された非粘着膜付きACF23が所定の長さに切断される。そして、カット(切断)された非粘着膜付きACF23から、剥取装置(図示せず)によってベーステープ(図4、工程1参照)51が剥ぎ取られる。非粘着膜付きACF23は、製造工程における利便性を考慮して、長尺のテープ状の形態としている。そして、この非粘着膜付きACF23が、前述のACFリール40に巻きつけられている。貼り付け時の非粘着膜付きACF23は、ベーステープ51を切断することなく、非粘着膜26および接着用樹脂層24を切断する、いわゆるハーフカットと呼ばれる手法にて切断される。   The ACF attachment processing unit 33 includes an ACF attachment unit 38 and an ACF attachment table 39. The ACF sticking unit 38 supplies and sticks the non-adhesive film-attached ACF 23 to the liquid crystal substrate 1 a fixed on the ACF sticking table 39. In the ACF attaching unit 38, the non-adhesive film-attached ACF 23 sent out from the ACF reel 40 is cut into a predetermined length by an ACF cutting device (not shown). Then, the base tape 51 (see FIG. 4, step 1) is peeled off from the cut (cut) ACF 23 with the non-adhesive film by a peeling device (not shown). The non-adhesive film-attached ACF 23 is in the form of a long tape in consideration of convenience in the manufacturing process. The non-adhesive film-attached ACF 23 is wound around the ACF reel 40 described above. The ACF 23 with a non-adhesive film at the time of attachment is cut by a so-called half-cut technique in which the non-adhesive film 26 and the adhesive resin layer 24 are cut without cutting the base tape 51.

なお、第1ポジション37からACF貼付テーブル39への搬送は、ピック&プレースと呼ばれるパネル搬送装置(図示せず)によって行われる。   In addition, the conveyance from the 1st position 37 to the ACF sticking table 39 is performed by the panel conveyance apparatus (not shown) called a pick and place.

仮圧着処理部34は、IC供給ユニット41と、仮圧着テーブル42と、仮圧着ヘッド(図4、工程3参照)43とを有する。IC供給ユニット41は、ICトレイテーブル(図示せず)上に載置されたXドライバIC13および第1、第2のYドライバIC14,15を、液晶基板1aの実装領域に、それぞれ供給するように構成されている。供給されたそれぞれのドライバIC13〜15は、仮圧着ヘッド43と仮圧着テーブル42とによって挟み込むことによって、非粘着膜付きACF23に仮圧着される。   The temporary pressure bonding processing unit 34 includes an IC supply unit 41, a temporary pressure bonding table 42, and a temporary pressure bonding head (see FIG. 4, step 3) 43. The IC supply unit 41 supplies the X driver IC 13 and the first and second Y driver ICs 14 and 15 placed on an IC tray table (not shown) to the mounting area of the liquid crystal substrate 1a. It is configured. The supplied driver ICs 13 to 15 are temporarily crimped to the non-adhesive film-attached ACF 23 by being sandwiched between the temporary crimping head 43 and the temporary crimping table 42.

本圧着処理部35は、本圧着テーブル44と、本圧着ヘッド(図4、工程4参照)45とを有する。仮圧着テーブル42上の液晶基板1aは、パネル搬送装置(図示せず)によって、第2ポジション46、第3ポジション47、さらに本圧着テーブル44に続けて搬送されて固定される。本圧着ヘッド45は、本圧着処理を行うとき、例えば、280℃に加熱されている。本圧着ヘッド45は、各ドライバIC13〜15を押圧して液晶基板1aに圧着するとともに、各ドライバIC13〜15を介して接着用樹脂層24への加熱を行う。この加熱により、各ドライバIC13〜15と液晶基板1aとが、非粘着膜付きACFを介して固着される。   The main crimping unit 35 includes a main crimping table 44 and a main crimping head (see FIG. 4, step 4) 45. The liquid crystal substrate 1a on the temporary pressure bonding table 42 is conveyed and fixed by the panel conveying device (not shown) following the second position 46, the third position 47, and the main pressure bonding table 44. The main pressure bonding head 45 is heated to, for example, 280 ° C. when performing the main pressure bonding process. The main pressure bonding head 45 presses the driver ICs 13 to 15 to pressure-bond them to the liquid crystal substrate 1 a and heats the adhesive resin layer 24 via the driver ICs 13 to 15. By this heating, each of the driver ICs 13 to 15 and the liquid crystal substrate 1a are fixed via the non-adhesive film-attached ACF.

パネル排出部36は、パネル排出ベルト36aと、パネル排出口36bとを有する。パネル排出ベルト36aは、各ドライバIC13〜15の実装が終了した液晶表示装置1を、パネル排出口36bに搬送している。なお、本圧着テーブル44から第3ポジション47、パネル排出ベルト36aへの液晶表示装置1の搬送は、パネル搬送装置(図示せず)によって行われる。   The panel discharge part 36 has a panel discharge belt 36a and a panel discharge port 36b. The panel discharge belt 36a conveys the liquid crystal display device 1 in which the mounting of the driver ICs 13 to 15 has been completed to the panel discharge port 36b. The liquid crystal display device 1 is transported from the main pressure bonding table 44 to the third position 47 and the panel discharge belt 36a by a panel transport device (not shown).

図4は、ドライバICを液晶基板に実装する様子を模式的に示す工程断面図である。以下、ドライバICを第1基板に実装する様子を、図4を参照にして説明する。なお、XドライバIC13と第1および第2のYドライバIC14,15とは、実装形態が同様であるので、第1のYドライバIC14のみの実装形態を説明する。   FIG. 4 is a process cross-sectional view schematically showing how the driver IC is mounted on the liquid crystal substrate. Hereinafter, how the driver IC is mounted on the first substrate will be described with reference to FIG. Since the X driver IC 13 and the first and second Y driver ICs 14 and 15 have the same mounting form, only the first Y driver IC 14 will be described.

図4に示すように、工程1は、非粘着膜付きACF23のベーステープ(第1基板側)51を剥がした状態を示している。まず、ロール状の非粘着膜付きACF23を、実装するドライバIC13〜15の長さに合わせてハーフカットする。次に、ハーフカットによって切断された非粘着膜付きACF23から、ベーステープ51を剥がす。なお、本実施形態では、ベーステープ51が剥がされた非粘着膜付きACFにおいても非粘着膜付きACF23という。   As shown in FIG. 4, step 1 shows a state where the base tape (first substrate side) 51 of the non-adhesive film-attached ACF 23 is peeled off. First, the roll-shaped non-adhesive film-attached ACF 23 is half-cut according to the length of the driver ICs 13 to 15 to be mounted. Next, the base tape 51 is peeled off from the non-adhesive film-attached ACF 23 cut by the half cut. In the present embodiment, the ACF with a non-adhesive film from which the base tape 51 has been peeled is also referred to as an ACF 23 with a non-adhesive film.

工程2は、第1基板3上のドライバIC実装領域に非粘着膜付きACF23を貼り付けた状態を示している。非粘着膜付きACF23は、接着用樹脂層24の接着特性を利用して、電極22上に貼り付けられている。   Step 2 shows a state where the non-adhesive film-attached ACF 23 is attached to the driver IC mounting region on the first substrate 3. The non-adhesive film-attached ACF 23 is affixed on the electrode 22 by utilizing the adhesive property of the adhesive resin layer 24.

工程3は、第1のYドライバIC14を、非粘着膜付きACF23に仮圧着した状態を示している。この仮圧着処理は、第1のYドライバIC14を接着用樹脂層24に仮付けするとともに、第1のドライバIC14の位置決めを行っている。まず、非粘着膜付きACF23の上に、第1のYドライバIC14を位置決めするとともに載置する。次に、第1のYドライバIC14を仮圧着ヘッド43によって押し下げ、非粘着膜付きACF23の非粘着膜26をバンプ電極で突き破る。更に、仮圧着ヘッド43を押圧して、第1のYドライバIC14のバンプ電極27を、接着用樹脂層24に埋め込む。これにより、第1のYドライバIC14と非粘着膜付きACF23との仮圧着処理が終了する。   Step 3 shows a state in which the first Y driver IC 14 is temporarily pressure-bonded to the non-adhesive film-attached ACF 23. In this temporary pressure bonding process, the first Y driver IC 14 is temporarily attached to the adhesive resin layer 24 and the first driver IC 14 is positioned. First, the first Y driver IC 14 is positioned and placed on the non-adhesive film-attached ACF 23. Next, the first Y driver IC 14 is pushed down by the temporary pressure bonding head 43, and the non-adhesive film 26 of the non-adhesive film-attached ACF 23 is pierced by the bump electrode. Further, the bump head 27 of the first Y driver IC 14 is embedded in the adhesive resin layer 24 by pressing the temporary pressure bonding head 43. Thereby, the temporary press-bonding process between the first Y driver IC 14 and the non-adhesive film-attached ACF 23 is completed.

工程4は、第1基板3と第1のYドライバIC14とを本圧着処理した状態を示している。まず、仮圧着処理した第1のYドライバIC14を、本圧着ヘッド45によって押圧しながら熱を加える。押圧することにより、第1のYドライバIC14に設けられたバンプ電極27と、第1基板3に形成された電極22との間に、適度に分散された導電粒子25が少なくとも1個以上挟み込まれる。その後、バンプ電極27と電極22とは、挟み込まれた導電粒子25が潰され、破壊された表面の絶縁被膜の中の金属と接触する。これにより、バンプ電極27と電極22とは、電気的導通状態になる。また、非粘着膜付きACF23の接着用樹脂層24には、本圧着ヘッド45によって加熱された第1のYドライバIC14を介して、熱が加えられる。これにより、熱硬化性を有した接着用樹脂層24は、バンプ電極27と電極22との間に導電粒子25を挟みこんだ状態で硬化される。よって、第1のYドライバIC14と第1基板3とが固着される。   Step 4 shows a state in which the first substrate 3 and the first Y driver IC 14 are subjected to the main pressure bonding process. First, heat is applied while pressing the first Y driver IC 14 subjected to the temporary pressure bonding by the main pressure bonding head 45. By pressing, at least one or more appropriately dispersed conductive particles 25 are sandwiched between the bump electrode 27 provided on the first Y driver IC 14 and the electrode 22 formed on the first substrate 3. . Thereafter, the bump electrode 27 and the electrode 22 are brought into contact with the metal in the insulating coating on the surface where the sandwiched conductive particles 25 are crushed. As a result, the bump electrode 27 and the electrode 22 are in an electrically conductive state. Further, heat is applied to the adhesive resin layer 24 of the non-adhesive film-attached ACF 23 through the first Y driver IC 14 heated by the main pressure bonding head 45. As a result, the thermosetting adhesive resin layer 24 is cured with the conductive particles 25 sandwiched between the bump electrodes 27 and the electrodes 22. Therefore, the first Y driver IC 14 and the first substrate 3 are fixed.

以上、第1のYドライバIC14の実装について説明したが、XドライバIC13、第2のYドライバIC15についても、工程3、工程4を繰り返すことにより、第1基板3への実装が可能になっている。   The mounting of the first Y driver IC 14 has been described above. However, the X driver IC 13 and the second Y driver IC 15 can also be mounted on the first substrate 3 by repeating Step 3 and Step 4. Yes.

図5は、ドライバICを液晶基板に実装する実装方法を示すフローチャートである。以下、実装方法を、図5を参照しながら説明する。   FIG. 5 is a flowchart showing a mounting method for mounting the driver IC on the liquid crystal substrate. Hereinafter, the mounting method will be described with reference to FIG.

まず、ステップS11では、液晶基板1aを実装装置31に投入する。まず、ハンドワークによって、液晶基板1aをパネル投入部32のパネル投入口32aからパネル供給ベルト32bに投入する。そして、投入した液晶基板1aを、パネル搬送装置によって第1ポジション37に搬送する。さらに、第1ポジション37に搬送した液晶基板1aを、ACF貼付テーブル39に搬送する。そして、液晶基板1aは、ACF貼付テーブル39に吸着固定される。   First, in step S <b> 11, the liquid crystal substrate 1 a is put into the mounting apparatus 31. First, the liquid crystal substrate 1a is loaded into the panel supply belt 32b from the panel loading port 32a of the panel loading unit 32 by handwork. The loaded liquid crystal substrate 1a is transported to the first position 37 by the panel transport device. Further, the liquid crystal substrate 1 a transported to the first position 37 is transported to the ACF attachment table 39. The liquid crystal substrate 1a is fixed to the ACF attachment table 39 by suction.

ステップS12では、非粘着膜付きACF23をカットする。まず、ACF貼付ユニット38のACFリール40を、実装するドライバIC13〜15の実装領域に合わせた長さ分送り出す。次に、ACF貼付ユニット38に備えられたACF切断装置(図示せず)によって、実装領域の長さの位置でドライバIC13〜15の3個分のハーフカットを行う。このハーフカットにより、非粘着膜付きACF23の非粘着膜26と接着用樹脂層24とは、完全に切断される。   In step S12, the ACF 23 with the non-adhesive film is cut. First, the ACF reel 40 of the ACF sticking unit 38 is sent out by a length corresponding to the mounting area of the driver ICs 13 to 15 to be mounted. Next, half cutting of the driver ICs 13 to 15 is performed at the position of the length of the mounting area by an ACF cutting device (not shown) provided in the ACF attaching unit 38. By this half-cutting, the non-adhesive film 26 and the adhesive resin layer 24 of the ACF 23 with the non-adhesive film are completely cut.

ステップS13では、非粘着膜付きACF23からベーステープ51を剥ぐ。まず、非粘着膜26と接着用樹脂層24とがカットされた非粘着膜付きACF23から、剥取装置(図示せず)によってベーステープ51を剥ぐ(工程1)。剥ぎ取ったベーステープ51は、巻取装置(図示せず)によって回収される。   In step S13, the base tape 51 is peeled from the ACF 23 with the non-adhesive film. First, the base tape 51 is peeled off from the non-adhesive film-attached ACF 23 in which the non-adhesive film 26 and the adhesive resin layer 24 are cut (step 1). The peeled base tape 51 is collected by a winding device (not shown).

ステップS14では、非粘着膜付きACF23を、第1基板3上のドライバICの実装領域に貼り付ける。まず、ACF貼付テーブル39に固定された液晶基板1aの実装領域に、貼付装置(図示せず)によって非粘着膜付きACF23を貼り付ける(工程2)。貼り付けられた非粘着膜付きACF23は、上面に非粘着膜26を有するので、大気中に浮遊する異物が付着しにくく、付着したとしても、気流等により容易に取り除かれることが可能な状態になっている。   In step S <b> 14, the non-adhesive film-attached ACF 23 is attached to the mounting area of the driver IC on the first substrate 3. First, the non-adhesive film-attached ACF 23 is attached to the mounting area of the liquid crystal substrate 1a fixed to the ACF attaching table 39 by an attaching device (not shown) (step 2). The attached non-adhesive film-attached ACF 23 has the non-adhesive film 26 on the upper surface, so that foreign matter floating in the atmosphere is difficult to adhere, and even if attached, it can be easily removed by an air current or the like. It has become.

ステップS15では、ドライバICの投入と位置合わせを行う。1個目のドライバICは、例えば、XドライバIC13とする。まず、IC供給ユニット41のICトレイテーブル(図示せず)に載せられたXドライバIC13を、搬送装置(図示せず)によって、仮圧着テーブル42に固定された液晶基板1a上の実装領域、すなわち非粘着膜付きACF23が貼付された領域のうち中央に位置するXドライバIC13の実装領域に搬送する。次に、アライメント装置(図示せず)によって、XドライバIC13をその実装領域に許容誤差範囲内で一致するように位置合わせする。   In step S15, the driver IC is inserted and aligned. The first driver IC is, for example, an X driver IC 13. First, the X driver IC 13 mounted on the IC tray table (not shown) of the IC supply unit 41 is mounted on the liquid crystal substrate 1a fixed to the temporary pressure bonding table 42 by the transport device (not shown), that is, It is conveyed to the mounting area of the X driver IC 13 located in the center of the area where the non-adhesive film-attached ACF 23 is attached. Next, the X driver IC 13 is aligned with the mounting area within an allowable error range by an alignment device (not shown).

ステップS16では、非粘着膜付きACF23とドライバICとの仮圧着処理を行う。まず、仮圧着テーブル42の上方に備えられた仮圧着ヘッド43が下降し、XドライバIC13の上面に接触し、XドライバIC13と液晶基板1aと非粘着膜付きACF23とを、仮圧着ヘッド43と仮圧着テーブル42とにより挟み込む。さらに、仮圧着ヘッド43を下降すると、XドライバIC13に設けられたバンプ電極27が、非粘着膜付きACF23の非粘着膜26を突き破り、接着用樹脂層24に接触する。さらに、XドライバIC13を、バンプ電極27が接着用樹脂層24に入り込んだ状態まで押圧する。これにより、XドライバIC13の位置決めが終了するとともに、仮圧着処理が終了する(工程3)。   In step S16, a temporary pressure bonding process between the non-adhesive film-attached ACF 23 and the driver IC is performed. First, the temporary pressure bonding head 43 provided above the temporary pressure bonding table 42 is lowered to contact the upper surface of the X driver IC 13, and the X driver IC 13, the liquid crystal substrate 1 a, and the non-adhesive film-attached ACF 23 are connected to the temporary pressure bonding head 43. It is sandwiched between the temporary crimping table 42. Further, when the temporary pressure bonding head 43 is lowered, the bump electrode 27 provided on the X driver IC 13 breaks through the non-adhesive film 26 of the ACF 23 with the non-adhesive film and comes into contact with the adhesive resin layer 24. Further, the X driver IC 13 is pressed until the bump electrode 27 enters the adhesive resin layer 24. Thereby, the positioning of the X driver IC 13 is completed, and the provisional pressure bonding process is completed (step 3).

ステップS17では、他のドライバICを仮圧着するか否かを判断する。仮圧着をするのであればステップS15に移行する。仮圧着しないのであれば、ステップS18に移行する。ステップS15〜ステップS17を繰り返すことにより、第1のYドライバIC14と第2のYドライバIC15との仮圧着処理が終了する。   In step S17, it is determined whether or not other driver ICs are temporarily bonded. If temporary pressure bonding is to be performed, the process proceeds to step S15. If not temporarily crimped, the process proceeds to step S18. By repeating step S15 to step S17, the temporary pressure bonding process between the first Y driver IC 14 and the second Y driver IC 15 is completed.

ステップS18では、ドライバICの本圧着処理を行う。まず、仮圧着処理部34の仮圧着テーブル42に載置された液晶基板1aを、パネル搬送装置を用いて、第2ポジション46、第3ポジション47、本圧着テーブル44と順に搬送し、固定する。次に、本圧着テーブル44の上方に備えられた本圧着ヘッド45を下降させて、XドライバIC13と液晶基板1aと非粘着膜付きACF23とを、本圧着ヘッド45と本圧着テーブル44とによって挟み込む。このとき、本圧着ヘッド45は、所定の温度に加熱された状態になっている。
次に、XドライバIC13を所定の圧力になるまで押圧するとともに加熱する。押圧したことにより、XドライバIC13に設けられたバンプ電極27と、第1基板3に形成された電極22との間に、接着用樹脂層24の中に含有する導電粒子25が挟み込まれる。バンプ電極27と電極22とは、その後の本圧着ヘッド45の押圧力により、導電粒子25の周囲を覆う絶縁被膜が破れ、その中の金属核と接触することにより電気的導通可能な状態になる。つまり、XドライバIC13と第1基板3とが、電気的導通可能な状態になる(工程4)。
一方、加熱されたXドライバIC13からの熱により、熱硬化性を有する接着用樹脂層24が溶融、硬化することにより、XドライバIC13と第1基板3とが、接着用樹脂層24を介して固着する。
In step S18, the main compression processing of the driver IC is performed. First, the liquid crystal substrate 1a placed on the temporary pressure bonding table 42 of the temporary pressure bonding processing unit 34 is transported and fixed in the order of the second position 46, the third position 47, and the main pressure bonding table 44 using a panel transport device. . Next, the main pressure bonding head 45 provided above the main pressure bonding table 44 is lowered, and the X driver IC 13, the liquid crystal substrate 1 a and the non-adhesive film-attached ACF 23 are sandwiched between the main pressure bonding head 45 and the main pressure bonding table 44. . At this time, the main pressure bonding head 45 is heated to a predetermined temperature.
Next, the X driver IC 13 is pressed and heated until a predetermined pressure is reached. By pressing, the conductive particles 25 contained in the adhesive resin layer 24 are sandwiched between the bump electrodes 27 provided on the X driver IC 13 and the electrodes 22 formed on the first substrate 3. The bump electrode 27 and the electrode 22 are brought into a state in which they can be electrically connected when the insulating coating covering the periphery of the conductive particles 25 is broken by the subsequent pressing force of the main pressure bonding head 45 and comes into contact with the metal core therein. . That is, the X driver IC 13 and the first substrate 3 are in an electrically conductive state (step 4).
On the other hand, the adhesive resin layer 24 having thermosetting property is melted and cured by the heat from the heated X driver IC 13, so that the X driver IC 13 and the first substrate 3 are interposed via the adhesive resin layer 24. Stick.

次に、第1のYドライバIC14と第2のYドライバIC15とを、ステップS18と同様の手順で本圧着処理を行う。第1のYドライバIC14と第2のYドライバIC15とは、1つずつ本圧着処理を行ってもよいし、2つ同時に本圧着処理を行うようにしてもよい。これにより、3つのドライバIC13〜15の本圧着処理が終了する。   Next, the main pressure bonding process is performed on the first Y driver IC 14 and the second Y driver IC 15 in the same procedure as in step S18. The first Y driver IC 14 and the second Y driver IC 15 may perform the main crimping process one by one, or two at the same time. Thereby, the main press-bonding process of the three driver ICs 13 to 15 ends.

そのあと、実装処理が終了した液晶表示装置1を、パネル搬送装置を用いて、本圧着テーブル44から第3ポジション47に搬送し、パネル排出ベルト36aに載せる。そして、液晶表示装置1を、パネル排出部36のパネル排出口36bから排出して、実装処理を終了する。   After that, the liquid crystal display device 1 for which the mounting process has been completed is transported from the main pressure bonding table 44 to the third position 47 using the panel transport device, and placed on the panel discharge belt 36a. And the liquid crystal display device 1 is discharged | emitted from the panel discharge port 36b of the panel discharge part 36, and a mounting process is complete | finished.

以上詳述したように、本実施形態によれば、以下に示す効果が得られる。
(1)本実施形態によれば、液晶基板1aに貼り付けた非粘着膜付きACF23の表面に、非粘着膜26を有するので、大気中に浮遊するゴミなどの不純物が、ドライバIC13〜15が実装される前の非粘着膜付きACF23に付着することを低減することができる。よって、圧着処理のとき、ドライバICに設けられたバンプ電極27と、第1基板3上に形成された電極22との間に不純物が挟まることを抑制することが可能になる。これにより、ドライバIC13〜15と第1基板3とを接着用樹脂層24を介して、電気特性が安定した状態で導電接続することができる。
As described above in detail, according to the present embodiment, the following effects can be obtained.
(1) According to the present embodiment, since the non-adhesive film 26 is provided on the surface of the non-adhesive film-attached ACF 23 attached to the liquid crystal substrate 1a, impurities such as dust floating in the atmosphere are caused by the driver ICs 13-15. Adhesion to the non-adhesive film-attached ACF 23 before mounting can be reduced. Therefore, it is possible to prevent impurities from being sandwiched between the bump electrode 27 provided on the driver IC and the electrode 22 formed on the first substrate 3 during the crimping process. As a result, the driver ICs 13 to 15 and the first substrate 3 can be conductively connected through the adhesive resin layer 24 with stable electrical characteristics.

(第2実施形態)
図6は、本実施形態の実装装置の構成を模式的に示す概略構成図である。以下、実装装置の構成を、図6を参照しながら説明する。図6に示すように、本実施形態の実装装置61は、ACF貼付処理部62において、非粘着膜付きACF23を液晶基板1aに貼り付けたあと、各ドライバIC13〜15の実装領域ごとに非粘着膜付きACF23をカットする切込部であるACFカットユニット63が備えられている。また、仮圧着処理部64において、非粘着膜26を剥離する剥離部である剥離ユニット65と、剥離した非粘着膜26を回収する回収装置66とが備えられている点が、第1実施形態と異なっている。なお、第1実施形態と同様の構成については、説明を省略する。
(Second Embodiment)
FIG. 6 is a schematic configuration diagram schematically showing the configuration of the mounting apparatus of the present embodiment. Hereinafter, the configuration of the mounting apparatus will be described with reference to FIG. As shown in FIG. 6, the mounting device 61 of the present embodiment has a non-adhesive for each mounting area of the driver ICs 13 to 15 after the ACF 23 with the non-adhesive film is attached to the liquid crystal substrate 1 a in the ACF application processing unit 62. An ACF cut unit 63 which is a cut portion for cutting the ACF with film 23 is provided. Further, the provisional pressure-bonding processing unit 64 includes a peeling unit 65 that is a peeling unit for peeling the non-adhesive film 26 and a recovery device 66 that collects the peeled non-adhesive film 26. Is different. The description of the same configuration as that of the first embodiment is omitted.

ACF貼付処理部62のACFカットユニット63は、液晶基板1a上に貼り付けられた非粘着膜付きACF23をカットするカッタ71と、カッタ71を伸縮移動させるエアシリンダや油圧シリンダ等の伸縮用アクチュエータ72と、カッタ71を昇降移動させる昇降用アクチュエータ(図7参照)73とを有する。カッタ71は、伸縮用アクチュエータ72のロッドの先端に固着されている。ACFカットユニット63の本体63aには、アクチュエータを上下に移動させるときにガイドするガイド溝74a(図7参照)が形成されている。   The ACF cut unit 63 of the ACF sticking processing unit 62 includes a cutter 71 for cutting the non-adhesive film-attached ACF 23 attached on the liquid crystal substrate 1a, and an expansion / contraction actuator 72 such as an air cylinder or a hydraulic cylinder for moving the cutter 71 to extend / contract. And an elevating actuator (see FIG. 7) 73 for moving the cutter 71 up and down. The cutter 71 is fixed to the tip of the rod of the expansion / contraction actuator 72. The main body 63a of the ACF cut unit 63 is formed with a guide groove 74a (see FIG. 7) for guiding the actuator when it is moved up and down.

カッタ71は、カットテーブル67上の液晶基板1aに貼り付けられた非粘着膜付きACF23の所定位置に移動するときや戻すときに、本体74の上昇位置に配置される。一方、カッタ71は、非粘着膜付きACF23をカットするときに、本体74の下降位置に配置される。
更に、カッタ71は、伸縮用アクチュエータ72によって押し出されたとき、液晶基板1a上のカット位置の上方まで達する。一方、カッタ71は、伸縮用アクチュエータ72によって引き戻されたときに、液晶基板1aおよびパネル搬送装置(図示せず)に干渉しない位置まで戻される。
The cutter 71 is disposed at the raised position of the main body 74 when moving or returning to the predetermined position of the non-adhesive film-attached ACF 23 attached to the liquid crystal substrate 1 a on the cut table 67. On the other hand, the cutter 71 is disposed at the lowered position of the main body 74 when the ACF 23 with the non-adhesive film is cut.
Furthermore, when the cutter 71 is pushed out by the telescopic actuator 72, the cutter 71 reaches above the cut position on the liquid crystal substrate 1a. On the other hand, when the cutter 71 is pulled back by the telescopic actuator 72, the cutter 71 is returned to a position where it does not interfere with the liquid crystal substrate 1a and the panel transport device (not shown).

仮圧着処理部64の剥離ユニット65は、非粘着膜26を剥がすパッド75と、パッド75を伸縮移動させる伸縮用アクチュエータ76と、パッド75を昇降移動させる昇降用アクチュエータ(図8参照)77とを有する。パッド75は、伸縮用アクチュエータ76のロッドの先端に固着されている。剥離ユニット65の本体78には、ACFカットユニット63と同様に、アクチュエータを上下に移動させるときにガイドするガイド溝78a(図8参照)が形成されている。   The peeling unit 65 of the temporary press-bonding processing section 64 includes a pad 75 for peeling the non-adhesive film 26, an expansion / contraction actuator 76 for extending / contracting the pad 75, and an elevating actuator (see FIG. 8) 77 for moving the pad 75 up / down. Have. The pad 75 is fixed to the tip of the rod of the expansion / contraction actuator 76. The main body 78 of the peeling unit 65 is formed with a guide groove 78a (see FIG. 8) that guides the actuator when the actuator is moved up and down, like the ACF cut unit 63.

パッド75は、液晶基板1aに貼られた非粘着膜付きACF23の所定位置に移動するときや戻すときに、本体78の上昇位置に配置される。一方、パッド75は、非粘着膜26を剥離するときに、本体78の下降位置に配置される。
更に、パッド75は、伸縮用アクチュエータ76によって押し出されたとき、液晶基板1a上の第1の非粘着膜26a、第2の非粘着膜26bおよび第3の非粘着膜26c(ともに図8参照)の上方まで達する。一方、パッド75は、伸縮用アクチュエータ76によって引き戻されたときに、液晶基板1aおよびパネル搬送装置(図示せず)に干渉しない位置まで戻される。
パッド75には、自身のもつ粘着性を利用して、第1〜第3の非粘着膜26a〜26cが貼り付けられる。接合されている非粘着膜26と接着用樹脂層24との接着強度は、接着用樹脂層24と電極22との接合強度より低く設定されているので、パッド75により非粘着膜26だけを剥離することが可能になっている。また、第1〜第3の非粘着膜26a〜26cを剥離する方法は、粘着を利用する方法に限らず、吸着を利用する方法でもよい。
The pad 75 is disposed at the raised position of the main body 78 when moving to a predetermined position of the non-adhesive film-attached ACF 23 affixed to the liquid crystal substrate 1a. On the other hand, the pad 75 is disposed at the lowered position of the main body 78 when the non-adhesive film 26 is peeled off.
Furthermore, when the pad 75 is pushed out by the expansion / contraction actuator 76, the first non-adhesive film 26a, the second non-adhesive film 26b, and the third non-adhesive film 26c on the liquid crystal substrate 1a (both refer to FIG. 8). To the top of On the other hand, when the pad 75 is pulled back by the telescopic actuator 76, the pad 75 is returned to a position where it does not interfere with the liquid crystal substrate 1a and the panel transport device (not shown).
The first to third non-adhesive films 26a to 26c are affixed to the pad 75 using its own adhesiveness. Since the bonding strength between the bonded non-adhesive film 26 and the adhesive resin layer 24 is set lower than the bonding strength between the adhesive resin layer 24 and the electrode 22, only the non-adhesive film 26 is peeled off by the pad 75. It is possible to do. Moreover, the method of peeling the 1st-3rd non-adhesion film | membranes 26a-26c is not restricted to the method of using adhesion | attachment, The method of using adsorption | suction may be sufficient.

仮圧着処理部64の回収装置66は、非粘着膜26を回収する本体81と、本体81上面にパッド75から非粘着膜26を剥離するために形成されたU溝部82と、本体81の一側面に形成された開口部83とを有する。この回収装置66は、開口部83から剥離ユニット65を構成するパッド75の先端とともにパッド75に貼り付けられた非粘着膜26を挿入し、U溝部82からパッド75を引き上げることにより、パッド75と非粘着膜26とを剥離する。
なお、剥離ユニット65は、回転機構(図示せず)が設けられており、仮圧着テーブル42側と回収装置66側との移動が行われる。
The recovery device 66 of the temporary pressure bonding processing unit 64 includes a main body 81 for recovering the non-adhesive film 26, a U groove portion 82 formed on the upper surface of the main body 81 for peeling the non-adhesive film 26 from the pad 75, And an opening 83 formed on the side surface. The recovery device 66 inserts the non-adhesive film 26 attached to the pad 75 together with the tip of the pad 75 constituting the peeling unit 65 from the opening 83 and lifts the pad 75 from the U-groove 82, thereby The non-adhesive film 26 is peeled off.
In addition, the peeling unit 65 is provided with a rotation mechanism (not shown), and the temporary pressing table 42 side and the collection device 66 side are moved.

図7〜図9は、ドライバICを液晶基板に実装する様子を模式的に示す工程断面図である。以下、ドライバICを実装する様子を、図7〜図9を参照しながら説明する。なお、本実施形態では、非粘着膜付きACF23を構成する非粘着膜26と接着用樹脂層24とは、剥離可能な状態に接合されているところが、第1実施形態と異なっている。   7 to 9 are process cross-sectional views schematically showing how the driver IC is mounted on the liquid crystal substrate. Hereinafter, how the driver IC is mounted will be described with reference to FIGS. In the present embodiment, the non-adhesive film 26 and the adhesive resin layer 24 constituting the ACF 23 with the non-adhesive film are different from the first embodiment in that they are joined in a peelable state.

図7に示すように、工程11は、非粘着膜付きACF23の接着用樹脂層24からベーステープ(第1基板3側)51を剥がした状態を示している。まず、非粘着膜付きACF23を、実装する3つのドライバIC13〜15に相当する長さにハーフカットする。次に、ハーフカットによって切断された接着用樹脂層24から、ベーステープ51を剥がす。   As shown in FIG. 7, Step 11 shows a state in which the base tape (first substrate 3 side) 51 is peeled from the adhesive resin layer 24 of the non-adhesive film-attached ACF 23. First, the ACF 23 with a non-adhesive film is half-cut to a length corresponding to the three driver ICs 13 to 15 to be mounted. Next, the base tape 51 is peeled off from the adhesive resin layer 24 cut by the half cut.

工程12は、第1基板3上のドライバIC実装領域に非粘着膜付きACF23を貼り付けた状態を示している。   Step 12 shows a state in which the non-adhesive film-attached ACF 23 is attached to the driver IC mounting region on the first substrate 3.

工程13は、ACFカットユニット63によって、貼り付けられた非粘着膜付きACF23を各ドライバIC13〜15の実装領域毎にカットしている状態を示している。カッタ71は、上昇位置で、ACFカットユニット63の伸縮用アクチュエータ72によって第1のカット位置85まで押し出される。その後、昇降用アクチュエータ73によって、カッタ71を下降位置まで下降させることにより、非粘着膜26と接着用樹脂層24とをカットする。また、カッタ71は、伸縮用アクチュエータ72によって第2のカット位置86まで押し出される。その後、昇降用アクチュエータ73によって、カッタ71を下降位置まで下降させることにより、非粘着膜26と接着用樹脂層24とをカットする。これにより、非粘着膜26は、第1の非粘着膜26aと、第2の非粘着膜26bと、第3の非粘着膜26cとに分割される。また、接着用樹脂層24は、第1の接着用樹脂層24aと、第2の接着用樹脂層24bと、第3の接着用樹脂層24cとに分割される。なお、カッタ71は、非粘着膜26をそれぞれ3つの非粘着膜26a〜26cにカットすることが可能な幅を有している。   Step 13 shows a state where the ACF 23 with the non-adhesive film attached is cut for each mounting area of the driver ICs 13 to 15 by the ACF cut unit 63. The cutter 71 is pushed out to the first cut position 85 by the expansion / contraction actuator 72 of the ACF cut unit 63 at the raised position. Thereafter, the non-adhesive film 26 and the adhesive resin layer 24 are cut by lowering the cutter 71 to the lowered position by the lifting actuator 73. The cutter 71 is pushed out to the second cut position 86 by the telescopic actuator 72. Thereafter, the non-adhesive film 26 and the adhesive resin layer 24 are cut by lowering the cutter 71 to the lowered position by the lifting actuator 73. Thereby, the non-adhesion film | membrane 26 is divided | segmented into the 1st non-adhesion film | membrane 26a, the 2nd non-adhesion film | membrane 26b, and the 3rd non-adhesion film | membrane 26c. The adhesive resin layer 24 is divided into a first adhesive resin layer 24a, a second adhesive resin layer 24b, and a third adhesive resin layer 24c. The cutter 71 has a width that allows the non-adhesive film 26 to be cut into three non-adhesive films 26a to 26c.

図8に示すように工程14は、剥離ユニット65によって、XドライバIC13の実装領域に対応する第1の非粘着膜26aを剥ぎ取っている状態を示している。パッド75は、本体78の上昇位置で、伸縮用アクチュエータ76によって、第1の非粘着膜26aの上方まで押し出される。その後、昇降用アクチュエータ77によって、パッド75を下降位置まで下降させることにより、パッド75の先端部75aと第1の非粘着膜26aとを接触させて、先端部75aに第1の非粘着膜26aを貼り付ける。次に、昇降用アクチュエータ77によって、パッド75を上昇位置まで上昇させることにより、貼り付けられた第1の非粘着膜26aを剥離する。その後、伸縮用アクチュエータ76によって、第1の非粘着膜26aとともにパッド75が所定の位置まで引き戻される。   As shown in FIG. 8, Step 14 shows a state where the peeling unit 65 peels off the first non-adhesive film 26 a corresponding to the mounting area of the X driver IC 13. The pad 75 is pushed out above the first non-adhesive film 26a by the telescopic actuator 76 at the rising position of the main body 78. Thereafter, the pad 75 is lowered to the lowered position by the lifting actuator 77 to bring the tip 75a of the pad 75 into contact with the first non-adhesive film 26a, and the first non-adhesive film 26a is brought into contact with the tip 75a. Paste. Next, the attached first non-adhesive film 26 a is peeled off by raising the pad 75 to the raised position by the lifting actuator 77. Thereafter, the pad 75 is pulled back to a predetermined position together with the first non-adhesive film 26 a by the expansion / contraction actuator 76.

工程15は、XドライバIC13を、実装領域に仮圧着処理した状態を示している。この仮圧着処理は、XドライバIC13を第1の接着用樹脂層24aに仮付けするとともに、XドライバIC13の位置決めを行う。まず、第1の接着用樹脂層24aの上に、XドライバIC13を位置決めを行うととともに載せる。次に、XドライバIC13を仮圧着ヘッド43(図4参照)によって押し下げ、第1の接着用樹脂層24aに埋め込む。これにより、第1の接着用樹脂層24aとXドライバIC13との仮圧着処理が終了する。   Step 15 shows a state in which the X driver IC 13 is pre-bonded to the mounting area. In this temporary press-bonding process, the X driver IC 13 is temporarily attached to the first adhesive resin layer 24a, and the X driver IC 13 is positioned. First, the X driver IC 13 is positioned and placed on the first adhesive resin layer 24a. Next, the X driver IC 13 is pushed down by the temporary pressure bonding head 43 (see FIG. 4) and embedded in the first adhesive resin layer 24a. Thereby, the temporary press-bonding process between the first adhesive resin layer 24a and the X driver IC 13 is completed.

工程16は、第1のYドライバIC14と第2のYドライバIC15とを仮圧着処理した状態を示している。第1、第2のYドライバIC14,15においても、工程14と工程15とを同様に行い、第1のYドライバIC14を第2の接着用樹脂層24bへ、第2のYドライバIC15を第3の接着用樹脂層24cへの仮圧着処理が行われる。   Step 16 shows a state in which the first Y driver IC 14 and the second Y driver IC 15 are subjected to a temporary pressure bonding process. Also in the first and second Y driver ICs 14 and 15, the steps 14 and 15 are performed in the same manner, and the first Y driver IC 14 is moved to the second adhesive resin layer 24 b and the second Y driver IC 15 is moved toward the second. 3 is temporarily bonded to the adhesive resin layer 24c.

図9に示すように、工程17は、XドライバIC13を、第1基板3に本圧着した状態を示している。まず、仮圧着したXドライバIC13を、本圧着ヘッド45(図4参照)によって加圧しながら熱を加える。加圧することにより、XドライバIC13に設けられたバンプ電極27と、第1基板3に形成された電極22との間に、適度に分散された導電粒子25が少なくとも1個以上挟み込まれる。バンプ電極27と電極22は、挟み込まれた導電粒子25が潰され、破壊された表面の絶縁被膜の中の金属と接触することにより、電気的導通状態になっている。また、第1の接着用樹脂層24aには、本圧着ヘッド45によって加熱されたXドライバIC13を介して、熱が加えられる。これにより、熱硬化性を有した第1の接着用樹脂層24aは、バンプ電極27と電極22との間に導電粒子25が挟み込まれた状態で硬化される。よって、XドライバICと第1基板とが固着される。   As shown in FIG. 9, step 17 shows a state where the X driver IC 13 is finally press-bonded to the first substrate 3. First, heat is applied to the X driver IC 13 that has been temporarily press-bonded while being pressed by the main press-bonding head 45 (see FIG. 4). By applying the pressure, at least one or more appropriately dispersed conductive particles 25 are sandwiched between the bump electrode 27 provided on the X driver IC 13 and the electrode 22 formed on the first substrate 3. The bump electrode 27 and the electrode 22 are in an electrically conductive state when the sandwiched conductive particles 25 are crushed and brought into contact with the metal in the insulating coating on the destroyed surface. Further, heat is applied to the first adhesive resin layer 24 a through the X driver IC 13 heated by the main pressure bonding head 45. Accordingly, the first adhesive resin layer 24 a having thermosetting properties is cured in a state where the conductive particles 25 are sandwiched between the bump electrode 27 and the electrode 22. Therefore, the X driver IC and the first substrate are fixed.

工程18は、第1のYドライバIC14と第2のYドライバIC15とを本圧着処理した状態を示している。第1、第2のYドライバIC14,15においても、工程17の処理を同様に行い、第1基板3への本圧着処理を終了する。   Step 18 shows a state where the first Y driver IC 14 and the second Y driver IC 15 are subjected to the main pressure bonding process. In the first and second Y driver ICs 14 and 15 as well, the process of step 17 is performed in the same manner, and the main pressure bonding process to the first substrate 3 is completed.

図10は、ドライバICを第1基板に実装する実装方法を示すフローチャートである。以下、実装する方法を、図10を参照しながら説明する。   FIG. 10 is a flowchart showing a mounting method for mounting the driver IC on the first substrate. Hereinafter, the mounting method will be described with reference to FIG.

まず、ステップS21では、液晶基板1aを実装装置61内に投入する。まず、ハンドワークによって、液晶基板1aをパネル投入部32のパネル投入口32aから供給ベルト32bに投入する。そして、投入した液晶基板1aを、パネル搬送装置によって第1ポジション37に搬送する。さらに、第1ポジション37に搬送した液晶基板1aを、ACF貼付テーブル39に搬送する。そして、液晶基板1aは、ACF貼付テーブル39に吸着固定される。   First, in step S <b> 21, the liquid crystal substrate 1 a is put into the mounting device 61. First, the liquid crystal substrate 1a is loaded into the supply belt 32b from the panel loading port 32a of the panel loading unit 32 by handwork. The loaded liquid crystal substrate 1a is transported to the first position 37 by the panel transport device. Further, the liquid crystal substrate 1 a transported to the first position 37 is transported to the ACF attachment table 39. The liquid crystal substrate 1a is fixed to the ACF attachment table 39 by suction.

ステップS22では、非粘着膜付きACF23をカットする。まず、ACF貼付ユニット38のACFリール40を、実装するドライバIC13〜15の実装領域に合わせた長さ分送り出す。次に、ACF貼付ユニット38に備えられたACF切断装置(図示せず)によって、実装領域の長さの位置でドライバIC13〜15の3個分のハーフカットを行う。このハーフカットにより、非粘着膜付きACF23の非粘着膜26と接着用樹脂層24とは、完全に切断される。   In step S22, the ACF 23 with the non-adhesive film is cut. First, the ACF reel 40 of the ACF sticking unit 38 is sent out by a length corresponding to the mounting area of the driver ICs 13 to 15 to be mounted. Next, half cutting of the driver ICs 13 to 15 is performed at the position of the length of the mounting area by an ACF cutting device (not shown) provided in the ACF attaching unit 38. By this half-cutting, the non-adhesive film 26 and the adhesive resin layer 24 of the ACF 23 with the non-adhesive film are completely cut.

ステップS23では、非粘着膜付きACF23からベーステープ51を剥ぐ。まず、非粘着膜26と接着用樹脂層24とがカットされた非粘着膜付きACF23から、剥取装置(図示せず)によってベーステープ51を剥ぐ(工程11)。剥ぎ取ったベーステープ51は、巻取装置(図示せず)によって回収される。   In step S23, the base tape 51 is peeled from the ACF 23 with the non-adhesive film. First, the base tape 51 is peeled off from the non-adhesive film-attached ACF 23 from which the non-adhesive film 26 and the adhesive resin layer 24 have been cut (step 11). The peeled base tape 51 is collected by a winding device (not shown).

ステップS24では、非粘着膜付きACF23を、第1基板3上のドライバIC実装領域に貼り付ける。まず、ACF貼付テーブル39に固定された液晶基板1aの実装領域に、貼付装置(図示せず)によって非粘着膜付きACF23を貼り付ける(工程12)。貼り付けられた非粘着膜付きACFは、上面に非粘着膜26を有するので、大気中に浮遊する異物が付着しにくく、付着したとしても、気流等により容易に取り除かれることが可能な状態になっている。   In step S <b> 24, the non-adhesive film-attached ACF 23 is attached to the driver IC mounting region on the first substrate 3. First, the non-adhesive film-attached ACF 23 is attached to the mounting area of the liquid crystal substrate 1a fixed to the ACF attaching table 39 by an attaching device (not shown) (step 12). The attached ACF with the non-adhesive film has the non-adhesive film 26 on the upper surface, so that foreign matter floating in the atmosphere is difficult to adhere, and even if attached, it can be easily removed by an air current or the like. It has become.

ステップS25では、非粘着膜26および接着用樹脂層24を、各ドライバIC13〜15の実装領域毎にカットする。まず、ACF貼付テーブル39に載置された液晶基板1aを、パネル搬送装置(図示せず)によって、カットテーブル67に搬送して固定する。次に、ACF貼付処理部62のACFカットユニット63によって、第1のカット位置85と第2のカット位置86にて、非粘着膜26と接着用樹脂層24とのカットを行う(工程13)。これにより、第1の非粘着膜26aと、第2の非粘着膜26bと、第3の非粘着膜26cとは、それぞれ独立して剥離することが可能な状態になる。   In step S25, the non-adhesive film 26 and the adhesive resin layer 24 are cut for each mounting region of the driver ICs 13-15. First, the liquid crystal substrate 1a placed on the ACF sticking table 39 is transported and fixed to the cut table 67 by a panel transport device (not shown). Next, the non-adhesive film 26 and the adhesive resin layer 24 are cut at the first cut position 85 and the second cut position 86 by the ACF cut unit 63 of the ACF sticking processing unit 62 (step 13). . Thereby, the 1st non-adhesion film | membrane 26a, the 2nd non-adhesion film | membrane 26b, and the 3rd non-adhesion film | membrane 26c will be in the state which can be peeled independently, respectively.

ステップS26では、ドライバICの実装領域に対応する非粘着膜26を剥離する。まず、カットテーブル67に載置された液晶基板1aを、パネル搬送装置(図示せず)によって、第1ポジション37、第2ポジション46、仮圧着テーブル42まで順に搬送し、固定する。次に、仮圧着処理部64の剥離ユニット65によって、第1基板3上に貼り付けられた非粘着膜26のうち、例えば、第1の非粘着膜26aを剥離する(工程14)。仮圧着するドライバICの順番は、XドライバIC13、第1のYドライバIC14、第2のYドライバIC15の順とする。   In step S26, the non-adhesive film 26 corresponding to the mounting area of the driver IC is peeled off. First, the liquid crystal substrate 1a placed on the cut table 67 is conveyed and fixed in order to the first position 37, the second position 46, and the temporary pressure bonding table 42 by a panel conveying device (not shown). Next, of the non-adhesive film 26 attached on the first substrate 3, for example, the first non-adhesive film 26a is peeled off by the peeling unit 65 of the temporary pressure-bonding processing section 64 (Step 14). The order of the driver ICs to be temporarily bonded is the order of the X driver IC 13, the first Y driver IC 14, and the second Y driver IC 15.

ステップS27では、仮圧着するドライバIC13〜15を仮圧着テーブル42に投入する。1個目のドライバICは、例えば、XドライバIC13とする。まず、IC供給ユニット41のICトレイテーブル(図示せず)に載せられたXドライバIC13を、搬送装置(図示せず)によって、仮圧着テーブル42に固定された液晶基板1a上の実装領域、すなわち非粘着膜付きACF23が貼付された領域のうち中央に位置するXドライバIC13の実装領域に搬送する。次に、アライメント装置(図示せず)によって、XドライバIC13をその実装領域に許容誤差範囲内で一致するように位置合わせする。   In step S <b> 27, driver ICs 13 to 15 to be temporarily crimped are put into the temporary crimping table 42. The first driver IC is, for example, an X driver IC 13. First, the X driver IC 13 mounted on the IC tray table (not shown) of the IC supply unit 41 is mounted on the liquid crystal substrate 1a fixed to the temporary pressure bonding table 42 by the transport device (not shown), that is, It is conveyed to the mounting area of the X driver IC 13 located in the center of the area where the non-adhesive film-attached ACF 23 is attached. Next, the X driver IC 13 is aligned with the mounting area within an allowable error range by an alignment device (not shown).

ステップS28では、接着用樹脂層24とドライバICとの仮圧着処理を行う。まず、仮圧着テーブル42の上方に備えられた仮圧着ヘッド43(図4参照)を下降し、XドライバIC13の上面に接触し、XドライバIC13と液晶基板1aと非粘着膜付きACF23とを、仮圧着ヘッド43と仮圧着テーブル42とにより挟み込む。さらに、仮圧着ヘッド43を下降させることにより、XドライバIC13に設けられたバンプ電極27が、第1の接着用樹脂層24aに入り込んだ状態になる。これにより、XドライバIC13の位置決めが終了するとともに、仮圧着処理が終了する(工程15)。   In step S28, a temporary pressure bonding process between the adhesive resin layer 24 and the driver IC is performed. First, the temporary pressure bonding head 43 (see FIG. 4) provided above the temporary pressure bonding table 42 is lowered to contact the upper surface of the X driver IC 13, and the X driver IC 13, the liquid crystal substrate 1a, and the non-adhesive film-attached ACF 23 are It is sandwiched between the temporary pressure bonding head 43 and the temporary pressure bonding table 42. Further, by lowering the provisional pressure bonding head 43, the bump electrode 27 provided on the X driver IC 13 enters the first adhesive resin layer 24a. As a result, the positioning of the X driver IC 13 is completed and the provisional pressure bonding process is completed (step 15).

ステップS29では、他のドライバICを仮圧着処理するか否かを判断する。仮圧着するのであれば、ステップS26に移行する。仮圧着しないのであれば、ステップS30に移行する。ステップS26〜ステップS29を繰り返すことにより、第1のYドライバIC14と、第2のYドライバIC15との、仮圧着処理が終了する。
このように、3つのドライバIC13〜15を仮圧着処理するとき、仮圧着する寸前でそれぞれの非粘着膜26a〜26cを剥がすので、大気中に浮遊するゴミなどの不純物がそれぞれの接着用樹脂層24a〜24cに付着することを抑制できる。
In step S29, it is determined whether or not other driver ICs are to be temporarily crimped. If it is provisional pressure bonding, the process proceeds to step S26. If not temporarily crimped, the process proceeds to step S30. By repeating Step S26 to Step S29, the provisional pressure bonding process between the first Y driver IC 14 and the second Y driver IC 15 is completed.
As described above, when the three driver ICs 13 to 15 are temporarily press-bonded, the respective non-adhesive films 26a to 26c are peeled off immediately before the temporary press-bonding, so that impurities such as dust floating in the atmosphere are adhered to the respective adhesive resin layers. It can suppress adhering to 24a-24c.

ステップS30では、ドライバICの本圧着処理を行う。まず、仮圧着処理部64の仮圧着テーブル42に載置された液晶基板1aを、パネル搬送装置(図示せず)を用いて、第2ポジション46、第3ポジション47、本圧着テーブル44と順に搬送し、固定する。次に、本圧着テーブル44の上方に備えられた本圧着ヘッド45(図4参照)を下降させて、XドライバIC13と液晶基板1aと非粘着膜付きACF23とを、本圧着ヘッド45と本圧着テーブル44とによって挟み込む。このとき、本圧着ヘッド45は、所定の温度に加熱された状態になっている。
次に、XドライバIC13を所定の圧力になるまで押圧するとともに加熱する。押圧したことにより、XドライバIC13に設けられたバンプ電極27と、第1基板3に形成された電極22との間に、第1の接着用樹脂層24aの中に含有する導電粒子25が挟み込まれる。バンプ電極27と電極22とは、その後の本圧着ヘッド45の押圧力により、導電粒子25の周囲を覆う絶縁被膜が破れ、その中の金属核と接触することにより電気的導通可能な状態になる。つまり、XドライバIC13と第1基板3とが、電気的導通可能な状態になる(工程17)。
一方、加熱されたXドライバIC13からの熱により、熱硬化性を有する第1の接着用樹脂層24aが溶融、硬化することにより、XドライバIC13と第1基板3とが非粘着膜付きACF23を介して固着する。
In step S30, the driver IC is subjected to a main pressure bonding process. First, the liquid crystal substrate 1a placed on the temporary pressure bonding table 42 of the temporary pressure bonding processing unit 64 is sequentially connected to the second position 46, the third position 47, and the main pressure bonding table 44 using a panel transport device (not shown). Transport and fix. Next, the main pressure bonding head 45 (see FIG. 4) provided above the main pressure bonding table 44 is lowered, and the X driver IC 13, the liquid crystal substrate 1a, and the non-adhesive film-attached ACF 23 are bonded to the main pressure bonding head 45 and the main pressure bonding. It is sandwiched between the table 44. At this time, the main pressure bonding head 45 is heated to a predetermined temperature.
Next, the X driver IC 13 is pressed and heated until a predetermined pressure is reached. By pressing, the conductive particles 25 contained in the first adhesive resin layer 24a are sandwiched between the bump electrode 27 provided on the X driver IC 13 and the electrode 22 formed on the first substrate 3. It is. The bump electrode 27 and the electrode 22 are brought into a state in which they can be electrically connected when the insulating coating covering the periphery of the conductive particles 25 is broken by the subsequent pressing force of the main pressure bonding head 45 and comes into contact with the metal core therein. . That is, the X driver IC 13 and the first substrate 3 are in an electrically conductive state (step 17).
On the other hand, the first adhesive resin layer 24a having thermosetting property is melted and cured by the heat from the heated X driver IC 13, whereby the X driver IC 13 and the first substrate 3 form the ACF 23 with the non-adhesive film. It sticks through.

次に、第1のYドライバIC14と第2のYドライバIC15とを、ステップS30と同様の手順で本圧着処理を行う。第1のYドライバIC14と第2のYドライバIC15とは、1つずつ本圧着処理を行ってもよいし、2つ同時に本圧着処理を行うようにしてもよい。これにより、3つのドライバIC13〜15の本圧着処理が終了する。   Next, the main pressure bonding process is performed on the first Y driver IC 14 and the second Y driver IC 15 in the same procedure as in step S30. The first Y driver IC 14 and the second Y driver IC 15 may perform the main crimping process one by one, or two at the same time. Thereby, the main press-bonding process of the three driver ICs 13 to 15 ends.

そのあと、ドライバIC13〜15の実装が終了した液晶表示装置1を、パネル搬送装置を用いて、本圧着テーブル44から第3ポジション47に搬送し、パネル排出ベルト36aに載せる。そして、液晶表示装置1を、パネル排出部36のパネル排出口36bから排出し、実装処理を終了する。   Thereafter, the liquid crystal display device 1 in which the driver ICs 13 to 15 are mounted is transported from the main pressure bonding table 44 to the third position 47 using the panel transport device, and placed on the panel discharge belt 36a. And the liquid crystal display device 1 is discharged | emitted from the panel discharge port 36b of the panel discharge part 36, and a mounting process is complete | finished.

図11は、本発明の電子機器の一実施形態である携帯電話機の構成を模式的に示す概略斜視図である。以下、携帯電話機の構成を、図11を参照しながら説明する。図11に示すように、携帯電話機91は、操作部92と、表示部93とを有する。操作部92の前面には複数の操作ボタン94,95が配列され、送話部96の内部にマイク(図示せず)が内蔵されている。また、表示部93の受話部97の内部にはスピーカ(図示せず)が配置されている。   FIG. 11 is a schematic perspective view schematically showing a configuration of a mobile phone which is an embodiment of the electronic apparatus of the present invention. Hereinafter, the configuration of the mobile phone will be described with reference to FIG. As shown in FIG. 11, the mobile phone 91 has an operation unit 92 and a display unit 93. A plurality of operation buttons 94 and 95 are arranged on the front surface of the operation unit 92, and a microphone (not shown) is built in the transmitter unit 96. In addition, a speaker (not shown) is arranged inside the reception unit 97 of the display unit 93.

上記の表示部93においては、ケース体98の内部に上述の液晶表示装置1が実装されている。ケース体98内に設置された液晶表示装置1は、表示窓99を通して表示面を視認することができるように構成されている。   In the display section 93, the liquid crystal display device 1 described above is mounted inside the case body 98. The liquid crystal display device 1 installed in the case body 98 is configured so that the display surface can be viewed through the display window 99.

なお、本発明に係る液晶表示装置を適用可能な他の電子機器としては、液晶テレビ、ビューファインダ型・モニタ直視型のビデオテープレコーダ、カーナビゲーション装置、ページャ、電子手帳、電卓、ワードプロセッサ、ワークステーション、テレビ電話、POS端末、ディジタルスチルカメラなどが挙げられる。   Other electronic devices to which the liquid crystal display device according to the present invention can be applied include a liquid crystal television, a viewfinder type / direct monitor type video tape recorder, a car navigation device, a pager, an electronic notebook, a calculator, a word processor, a workstation. Video phone, POS terminal, digital still camera, and the like.

以上詳述したように、本実施形態によれば、以下に示す効果が得られる。
(2)本実施形態によれば、液晶基板1aに貼り付けられた非粘着膜付きACF23をACFカットユニット63によって、ドライバIC13〜15の実装領域毎に非粘着膜26を切断している。剥離可能な非粘着膜26は、それぞれのドライバIC13〜15の実装領域ごとに分断されるので、分断された3つの非粘着膜26a〜26cのうち、実装するドライバICに対応する領域の非粘着膜だけを剥がすことが可能になる。従って、例えば、XドライバIC13を液晶基板1aに実装するときは、XドライバIC13の実装領域に対応する第1の非粘着膜26aだけを剥がして実装することができる。これにより、他のドライバIC14,15の実装領域には、第2、第3の非粘着膜26b,26cが残っているので、大気中に浮遊する不純物が第2、第3の接着用樹脂層24b,24cに付着することを防止することができる。
また、第1、第2のYドライバIC14,15を実装するときまでに、第2、第3の非粘着膜26b,26cにゴミ等の不純物が付着していても、第2、第3の非粘着膜26b,26cを剥がしてから実装処理するので、それぞれのドライバIC14,15に設けられたバンプ電極27と、第1基板3上に形成された電極22との間に、不純物が挟まることを低減することができる。これにより、各ドライバIC13〜15と液晶基板1aとの電極間に異物が挟まることを抑制することができる。これにより、電極間を安定した状態で導電接続することが可能になる。
As described above in detail, according to the present embodiment, the following effects can be obtained.
(2) According to the present embodiment, the non-adhesive film 26 is cut for each mounting area of the driver ICs 13 to 15 from the ACF 23 with the non-adhesive film attached to the liquid crystal substrate 1 a by the ACF cut unit 63. Since the peelable non-adhesive film 26 is divided for each mounting area of the driver ICs 13 to 15, among the divided three non-adhesive films 26 a to 26 c, the non-adhesive film in the area corresponding to the driver IC to be mounted. Only the film can be peeled off. Therefore, for example, when the X driver IC 13 is mounted on the liquid crystal substrate 1a, only the first non-adhesive film 26a corresponding to the mounting area of the X driver IC 13 can be peeled off and mounted. Thereby, since the second and third non-adhesive films 26b and 26c remain in the mounting regions of the other driver ICs 14 and 15, impurities floating in the atmosphere are exposed to the second and third adhesive resin layers. It can prevent adhering to 24b, 24c.
Even if impurities such as dust adhere to the second and third non-adhesive films 26b and 26c by the time when the first and second Y driver ICs 14 and 15 are mounted, the second and third Y driver ICs 14 and 15 are mounted. Since the mounting process is performed after the non-adhesive films 26 b and 26 c are peeled off, impurities are sandwiched between the bump electrodes 27 provided on the respective driver ICs 14 and 15 and the electrodes 22 formed on the first substrate 3. Can be reduced. Thereby, it can suppress that a foreign material is pinched | interposed between the electrodes of each driver IC13-15 and the liquid crystal substrate 1a. Thereby, it becomes possible to conduct conductive connection between the electrodes in a stable state.

なお、本実施形態は上記に限定されず、以下のような形態で実施することもできる。
(変形例1)前記第1実施形態では、接着用樹脂層24の上面に、熱可塑性樹脂をコーティングおよび乾燥させて非粘着膜26を形成したが、非粘着膜26の形成方法はこれに限定されるものではない。例えば、接着用樹脂層24を光反応系の接着用樹脂層で構成し、UV(紫外線)照射によって接着用樹脂層の粘着性をなくすことにより、その一方の面に非粘着膜を形成するようにしてもよい。また、UV照射に限らず、表面改質によって接着用樹脂層の粘着性をなくすことにより、その一方の面に非粘着膜を形成するようにしてもよい。これによれば、前記実施形態と同様に、接着用樹脂層24に不純物が付着することを防止することが可能になり、バンプ電極27と、電極22との間に不純物が挟まることを抑制することができる。
In addition, this embodiment is not limited above, It can also implement with the following forms.
(Modification 1) In the first embodiment, the non-adhesive film 26 is formed on the upper surface of the adhesive resin layer 24 by coating and drying a thermoplastic resin. However, the method of forming the non-adhesive film 26 is limited to this. Is not to be done. For example, the adhesive resin layer 24 is composed of a photoreactive adhesive resin layer, and the adhesive resin layer is made non-adhesive by UV (ultraviolet) irradiation, thereby forming a non-adhesive film on one surface thereof. It may be. In addition to UV irradiation, a non-adhesive film may be formed on one surface of the adhesive resin layer by eliminating the adhesiveness by surface modification. According to this, as in the above-described embodiment, it is possible to prevent impurities from adhering to the adhesive resin layer 24, and to suppress the impurities from being sandwiched between the bump electrode 27 and the electrode 22. be able to.

(変形例2)前記第1実施形態では、第1基板3に形成された電極22に非粘着膜付きACF23を貼り付け、そのあとにXドライバIC13を非粘着膜付きACF23に載せて、XドライバIC13と非粘着膜付きACF23と第1基板3とを挟んで圧着処理していた。これを、XドライバIC13のバンプ電極27に非粘着膜付きACF23を貼り付けておき、そのあと、非粘着膜付きACF23を貼り付けたXドライバIC13を、第1基板の電極22上に載せて、XドライバIC13と非粘着膜付きACF23と第1基板3とを挟んで圧着処理するようにしてもよい。   (Modification 2) In the first embodiment, the ACF 23 with a non-adhesive film is attached to the electrode 22 formed on the first substrate 3, and then the X driver IC 13 is placed on the ACF 23 with the non-adhesive film, and the X driver The IC 13, the non-adhesive film-attached ACF 23, and the first substrate 3 were sandwiched and subjected to pressure bonding. The ACF 23 with the non-adhesive film is pasted on the bump electrode 27 of the X driver IC 13, and then the X driver IC 13 with the non-adhesive film-attached ACF 23 is placed on the electrode 22 of the first substrate, The X driver IC 13, the non-adhesive film-attached ACF 23, and the first substrate 3 may be sandwiched and subjected to a pressure-bonding process.

(変形例3)前記第1、第2実施形態では、仮圧着処理および本圧着処理は、XドライバIC13を圧着処理してから、第1、第2のYドライバIC14,15を圧着処理するようにした。これを、第1、第2のYドライバIC14,15を圧着処理してからXドライバIC13の圧着処理を行うようにしてもよい。   (Modification 3) In the first and second embodiments, the temporary crimping process and the final crimping process are performed by crimping the X driver IC 13 and then crimping the first and second Y driver ICs 14 and 15. I made it. Alternatively, the X driver IC 13 may be crimped after the first and second Y driver ICs 14 and 15 are crimped.

(変形例4)前記第2実施形態では、ACFカットユニット63によって、非粘着膜26と接着用樹脂層24とを切断するようにした。これを、非粘着膜26のみを切断するようにしてもよい。これによれば、前記した実施形態と同様に、それぞれのドライバIC13〜15の実装領域に対応する非粘着膜26a〜26cのみを剥がすことが可能になるので、バンプ電極27と電極22との間に不純物が挟まることを抑制することができる。   (Modification 4) In the second embodiment, the non-adhesive film 26 and the adhesive resin layer 24 are cut by the ACF cut unit 63. Alternatively, only the non-adhesive film 26 may be cut. According to this, as in the above-described embodiment, only the non-adhesive films 26a to 26c corresponding to the mounting regions of the respective driver ICs 13 to 15 can be peeled, so that the gap between the bump electrode 27 and the electrode 22 can be reduced. Impurities can be prevented from being caught in the substrate.

(変形例5)前記第2実施形態では、液晶基板1aに非粘着膜付きACF23を貼り付けてから、それぞれのドライバIC13〜15の実装領域ごとに非粘着膜付きACF23を切断していた。これを、非粘着膜26がドライバIC13〜15ごとに切断された非粘着膜付きACF23をACFリール40に巻いておき、これを液晶基板1aに貼り付けるようにしてもよい。これによれば、ACFカットユニット63を使用する必要がなく、作業効率を向上させることができる。   (Modification 5) In the second embodiment, after the ACF 23 with the non-adhesive film is attached to the liquid crystal substrate 1a, the ACF 23 with the non-adhesive film is cut for each mounting area of the driver ICs 13-15. Alternatively, the ACF 23 with the non-adhesive film in which the non-adhesive film 26 is cut for each of the driver ICs 13 to 15 may be wound around the ACF reel 40 and attached to the liquid crystal substrate 1a. According to this, it is not necessary to use the ACF cut unit 63, and work efficiency can be improved.

(変形例6)前記実施形態では、COG(Chip On Glass)方式の液晶基板1aに非粘着膜付きACF23を用いてドライバIC13〜15と実装すると説明した。これを、COF(Chip On Film)方式の可撓性基板のものに非粘着膜付きACFを用いて、例えば、電源を供給するためのパワーICを実装するようにしてもよい。   (Modification 6) In the above embodiment, it has been described that the driver ICs 13 to 15 are mounted on the COG (Chip On Glass) type liquid crystal substrate 1 a using the non-adhesive film-attached ACF 23. For example, a power IC for supplying power may be mounted on a COF (Chip On Film) type flexible substrate using an ACF with a non-adhesive film.

(変形例7)前記第1、第2実施形態では、液晶ディスプレイ(液晶表示装置)を使用した場合について説明した。これを、EL(エレクトロルミネッセンス)ディスプレイ装置、プラズマディスプレイパネル、FED(フィールドエミッションディスプレイ)等の各種電気光学パネルと外部回路との接続構造に適用できる。   (Modification 7) In the first and second embodiments, the case where a liquid crystal display (liquid crystal display device) is used has been described. This can be applied to a connection structure between various electro-optical panels such as an EL (electroluminescence) display device, a plasma display panel, and an FED (field emission display) and an external circuit.

第1実施形態における、液晶表示装置の構成を模式的に示す概略斜視図。The schematic perspective view which shows typically the structure of the liquid crystal display device in 1st Embodiment. 液晶表示装置の構成を示す模式断面図。FIG. 3 is a schematic cross-sectional view illustrating a configuration of a liquid crystal display device. 実装装置の構成を模式的に示す概略構成図。The schematic block diagram which shows the structure of a mounting apparatus typically. ドライバICを基板に実装する様子を模式的に示す工程断面図。Process sectional drawing which shows a mode that a driver IC is mounted in a board | substrate typically. ドライバICを基板に実装する実装方法を示すフローチャート。The flowchart which shows the mounting method which mounts driver IC on a board | substrate. 第2実施形態における、実装装置の構成を模式的に示す概略構成図。The schematic block diagram which shows typically the structure of the mounting apparatus in 2nd Embodiment. ドライバICを基板に実装する様子を模式的に示す工程断面図。Process sectional drawing which shows a mode that a driver IC is mounted in a board | substrate typically. ドライバICを基板に実装する様子を模式的に示す工程断面図。Process sectional drawing which shows a mode that a driver IC is mounted in a board | substrate typically. ドライバICを基板に実装する様子を模式的に示す工程断面図。Process sectional drawing which shows a mode that a driver IC is mounted in a board | substrate typically. ドライバICを基板に実装する実装方法を示すフローチャート。The flowchart which shows the mounting method which mounts driver IC on a board | substrate. 電子機器である携帯電話機の構成を模式的に示す概略斜視図。The schematic perspective view which shows typically the structure of the mobile telephone which is an electronic device. 従来技術の液晶パネルの構造を模式的に示す模式断面図。FIG. 6 is a schematic cross-sectional view schematically showing a structure of a liquid crystal panel of a conventional technique.

符号の説明Explanation of symbols

1…電気光学装置としての液晶表示装置、1a…液晶表示装置を構成する液晶基板、3…液晶基板を構成する第1基板、4…液晶基板を構成する第2基板、13…電子部品としてのXドライバIC、14…電子部品としての第1のYドライバIC、15…電子部品としての第2のYドライバIC、21…液晶表示装置を構成する接続部、22…電極、23…非粘着膜付き異方性導電膜としての非粘着膜付きACF、24…接着層としての接着用樹脂層、24a…第1の接着用樹脂層、24b…第2の接着用樹脂層、24c…第3の接着用樹脂層、25…接着層を構成する導電粒子、26…非粘着膜、26a…第1の非粘着膜、26b…第2の非粘着膜、26c…第3の非粘着膜、27…バンプ電極、31,61…製造装置としての実装装置、33,62…ACF貼付処理部、34,64…圧着部を構成する仮圧着処理部、35…圧着部を構成する本圧着処理部、38…貼付部としてのACF貼付ユニット、42…仮圧着テーブル、43…仮圧着ヘッド、44…本圧着テーブル、45…本圧着ヘッド、51…非粘着膜付きACFを構成するベーステープ、63…切込部としてのACFカットユニット、65…剥離部としての剥離装置、66…回収装置、71…カッタ、75…パッド。
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Liquid crystal display device as an electro-optical device, 1a ... Liquid crystal substrate which comprises a liquid crystal display device, 3 ... 1st substrate which comprises a liquid crystal substrate, 4 ... 2nd substrate which comprises a liquid crystal substrate, 13 ... As an electronic component X driver IC, 14 ... 1st Y driver IC as an electronic component, 15 ... 2nd Y driver IC as an electronic component, 21 ... Connection part which comprises a liquid crystal display device, 22 ... Electrode, 23 ... Non-adhesive film ACF with a non-adhesive film as an attached anisotropic conductive film, 24... Adhesive resin layer as an adhesive layer, 24 a... First adhesive resin layer, 24 b ... Second adhesive resin layer, 24 c. Adhesive resin layer, 25 ... conductive particles constituting the adhesive layer, 26 ... non-adhesive film, 26a ... first non-adhesive film, 26b ... second non-adhesive film, 26c ... third non-adhesive film, 27 ... Bump electrode 31, 61 ... Mounting device as a manufacturing device, 3, 62 ... ACF sticking processing part, 34, 64 ... Temporary pressure-bonding processing part constituting the pressure-bonding part, 35 ... Main pressure-bonding processing part constituting the pressure-bonding part, 38 ... ACF sticking unit as the sticking part, 42 ... Temporary pressure-bonding table 43 ... Temporary pressure bonding head, 44 ... Main pressure bonding table, 45 ... Main pressure bonding head, 51 ... Base tape constituting non-adhesive film-attached ACF, 63 ... ACF cut unit as cut portion, 65 ... Peeling as peeling portion Device, 66 ... Recovery device, 71 ... Cutter, 75 ... Pad.

Claims (15)

導電粒子を含む接着層と、
前記接着層の一方の面に設けられた非粘着膜と、
前記接着層の他方の面に設けられた剥離可能な保護膜と
を有することを特徴とする非粘着膜付き異方性導電膜。
An adhesive layer containing conductive particles;
A non-adhesive film provided on one surface of the adhesive layer;
An anisotropic conductive film with a non-adhesive film, comprising: a peelable protective film provided on the other surface of the adhesive layer.
請求項1に記載の非粘着膜付き異方性導電膜であって、
前記非粘着膜は、前記接着層を表面改質によって形成されることを特徴とする非粘着膜付き異方性導電膜。
An anisotropic conductive film with a non-adhesive film according to claim 1,
The non-adhesive film is an anisotropic conductive film with a non-adhesive film, wherein the adhesive layer is formed by surface modification.
請求項1又は2に記載の非粘着膜付き異方性導電膜であって、
前記接着層は、熱硬化性樹脂であることを特徴とする非粘着膜付き異方性導電膜。
An anisotropic conductive film with a non-adhesive film according to claim 1 or 2,
An anisotropic conductive film with a non-adhesive film, wherein the adhesive layer is a thermosetting resin.
請求項1〜3のいずれか一項に記載の非粘着膜付き異方性導電膜と、
電気光学物質を有する基板と、
電子部品とを備え、
前記基板と前記電子部品とは、前記非粘着膜付き異方性導電膜を介して電気的に導通接続されることを特徴とする電気光学装置。
An anisotropic conductive film with a non-adhesive film according to any one of claims 1 to 3,
A substrate having an electro-optic material;
With electronic components,
The electro-optical device, wherein the substrate and the electronic component are electrically connected through the anisotropic conductive film with a non-adhesive film.
請求項4に記載の電気光学装置であって、
前記電気光学物質は、液晶であることを特徴とする電気光学装置。
The electro-optical device according to claim 4,
The electro-optical device is characterized in that the electro-optical material is a liquid crystal.
請求項4又は5に記載の電気光学装置を表示部として備えていることを特徴とする電子機器。   An electronic apparatus comprising the electro-optical device according to claim 4 as a display unit. 基板と、
導電粒子を含む接着層を備えた異方性導電膜と、
前記異方性導電膜を介して前記基板と電気的に導通接続される電子部品とを有する電気光学装置の製造方法であって、
前記異方性導電膜は、前記接着層の一方の面に形成された非粘着膜を備えた非粘着膜付き異方性導電膜であり、
前記非粘着膜付き異方性導電膜の前記接着層側を前記基板の実装領域に貼り付ける貼付工程と、
貼り付けた前記非粘着膜付き異方性導電膜の前記非粘着膜側に載せられた前記電子部品を、前記非粘着膜付き異方性導電膜を介して、前記電子部品に設けられた複数のバンプ電極と、前記基板の前記実装領域に形成されている複数の電極とを、それぞれ電気的に導通可能な状態に圧着する圧着工程と
を有することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
A substrate,
An anisotropic conductive film provided with an adhesive layer containing conductive particles;
An electro-optical device manufacturing method having an electronic component electrically connected to the substrate through the anisotropic conductive film,
The anisotropic conductive film is an anisotropic conductive film with a non-adhesive film provided with a non-adhesive film formed on one surface of the adhesive layer,
An attaching step of attaching the adhesive layer side of the anisotropic conductive film with the non-adhesive film to the mounting region of the substrate;
A plurality of the electronic components placed on the non-adhesive film side of the attached anisotropic conductive film with the non-adhesive film are provided on the electronic component via the anisotropic conductive film with the non-adhesive film. A method of manufacturing an electro-optical device, comprising: a crimping step of crimping the bump electrodes and the plurality of electrodes formed in the mounting region of the substrate in a state where they can be electrically connected to each other.
請求項7に記載の電気光学装置の製造方法であって、
前記圧着工程は、前記電子部品を前記基板上の前記実装領域に仮付けする仮圧着工程と、
前記電子部品に設けられた前記複数のバンプ電極と、前記基板上の前記実装領域に形成された前記複数の電極とを、前記非粘着膜付き異方性導電膜を介して電気的に導通接続する本圧着工程と
を有することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
A method of manufacturing the electro-optical device according to claim 7,
The crimping step includes a temporary crimping step of temporarily attaching the electronic component to the mounting region on the substrate;
The plurality of bump electrodes provided in the electronic component and the plurality of electrodes formed in the mounting region on the substrate are electrically connected through the anisotropic conductive film with a non-adhesive film. A method of manufacturing an electro-optical device, comprising:
基板と、
導電粒子を含む接着層を備えた異方性導電膜と、
前記異方性導電膜を介して、前記基板と電気的に導通接続される少なくとも1つの電子部品と
を有する電気光学装置の製造方法であって、
前記異方性導電膜は、前記接着層の一方の面に設けられた非粘着膜を備えた非粘着膜付き異方性導電膜であり、
前記基板上の実装領域に、前記非粘着膜付き異方性導電膜を前記接着層の粘着性によって貼り付ける貼付工程と、
前記貼り付け後の前記非粘着膜付き異方性導電膜を、前記少なくとも1つの電子部品の実装領域に切り込みを入れる切込工程と、
前記切り込まれた非粘着膜付き異方性導電膜のうち、実装する前記電子部品に対応する領域の非粘着膜を剥ぎ取る剥取工程と、
剥ぎ取ったあとの前記接着層に載せた前記電子部品を、前記接着層を介して前記電子部品に設けられた複数のバンプ電極と、前記基板の前記実装領域に形成されている複数の電極とを、それぞれ電気的に導通可能な状態に圧着する圧着工程と
を有することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
A substrate,
An anisotropic conductive film provided with an adhesive layer containing conductive particles;
An electro-optical device manufacturing method comprising at least one electronic component electrically connected to the substrate through the anisotropic conductive film,
The anisotropic conductive film is an anisotropic conductive film with a non-adhesive film provided with a non-adhesive film provided on one surface of the adhesive layer,
Affixing step of attaching the non-adhesive film-attached anisotropic conductive film to the mounting area on the substrate by the adhesiveness of the adhesive layer;
A cutting step of cutting the anisotropic conductive film with the non-adhesive film after the pasting into a mounting region of the at least one electronic component;
Of the cut anisotropic adhesive film with a non-adhesive film, a stripping step of stripping the non-adhesive film in a region corresponding to the electronic component to be mounted;
The electronic component placed on the adhesive layer after peeling off, a plurality of bump electrodes provided on the electronic component via the adhesive layer, and a plurality of electrodes formed in the mounting region of the substrate, And a crimping step of crimping each of them to a state where they can be electrically conducted.
請求項9に記載の電気光学装置の製造方法であって、
前記圧着工程は、前記電子部品を前記基板上の前記実装領域に仮付けする仮圧着工程と、
前記電子部品に設けられた前記複数のバンプ電極と、前記基板上の前記実装領域に形成された前記複数の電極とを電気的に導通接続する本圧着工程と
を有することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
A method of manufacturing the electro-optical device according to claim 9,
The crimping step includes a temporary crimping step of temporarily attaching the electronic component to the mounting region on the substrate;
An electro-optic comprising: a plurality of bump electrodes provided in the electronic component; and a main pressure bonding step of electrically connecting the plurality of electrodes formed in the mounting region on the substrate. Device manufacturing method.
請求項7〜8のいずれか一項に記載の電気光学装置の製造方法であって、
前記電気光学物質は、液晶であることを特徴とする電気光学装置の製造方法。
An electro-optical device manufacturing method according to claim 7,
The method of manufacturing an electro-optical device, wherein the electro-optical material is a liquid crystal.
導電粒子を含む接着層と前記接着層の一方の面に設けられた剥離可能な非粘着膜とを有する非粘着膜付き異方性導電膜と、
前記非粘着膜付き異方性導電膜を介して電子部品と電気的に導通接続される、電気光学物質を有する基板および前記電子部品とを有する電気光学装置の製造装置であって、
前記非粘着膜付き異方性導電膜を、前記基板上の前記電子部品の実装領域に貼り付ける貼付部と、
前記貼り付けた前記非粘着膜付き異方性導電膜を、前記電子部品の実装領域に切り込みを入れる切込部と、
前記切り込まれた前記非粘着膜付き異方性導電膜のうち、前記電子部品の実装領域に対応する非粘着膜を剥がす剥離部と、
前記電子部品を、前記剥がしたあとの前記接着層を介して前記基板に電気的に導通接続させる圧着部と
を有することを特徴とする電気光学装置の製造装置。
An anisotropic conductive film with a non-adhesive film having an adhesive layer containing conductive particles and a peelable non-adhesive film provided on one surface of the adhesive layer;
An electro-optical device manufacturing apparatus having an electro-optical material and an electronic component electrically connected to an electronic component through the anisotropic conductive film with a non-adhesive film,
The affixing part that affixes the anisotropic conductive film with the non-adhesive film to the mounting region of the electronic component on the substrate;
The notched portion for cutting the pasted anisotropic conductive film with the non-adhesive film into the mounting region of the electronic component;
Of the cut anisotropic anisotropic conductive film with the non-adhesive film, a peeling portion for peeling the non-adhesive film corresponding to the mounting region of the electronic component,
An electro-optical device manufacturing apparatus, comprising: a pressure-bonding portion that electrically connects the electronic component to the substrate through the adhesive layer after the peeling.
請求項12に記載の電気光学装置の製造装置であって、
前記圧着部は、前記電子部品を前記接着層に仮圧着する仮圧着部と、前記電子部品を前記接着層を介して前記基板と導通可能な状態に圧着する本圧着部と
を有することを特徴とする電気光学装置の製造装置。
The electro-optical device manufacturing apparatus according to claim 12,
The pressure-bonding part includes a temporary pressure-bonding part that temporarily pressure-bonds the electronic component to the adhesive layer, and a main pressure-bonding part that pressure-bonds the electronic component to be conductive with the substrate via the adhesive layer. An electro-optical device manufacturing apparatus.
請求項12又は13に記載の電気光学装置の製造装置であって、
前記電気光学物質は、液晶であることを特徴とする電気光学装置の製造装置。
The electro-optical device manufacturing apparatus according to claim 12 or 13,
An electro-optical device manufacturing apparatus, wherein the electro-optical material is a liquid crystal.
請求項12〜14のいずれか一項に記載の電気光学装置の製造装置を用いた製造方法であって、
貼付部によって、基板の実装領域に非粘着膜付き異方性導電膜を貼り付ける貼付工程と、
切込部によって、前記貼り付けた前記非粘着膜付き異方性導電膜を切り込む切込工程と、
剥離部によって切り込まれた前記異方性導電膜のうち、実装する電子部品に対応する領域の非粘着膜を剥がす剥離工程と、
圧着部によって、剥がしたあとの接着層を介して、前記電子部品と基板とを圧着する圧着工程と
を有することを特徴とする電気光学装置の製造装置を用いた製造方法。
A manufacturing method using the electro-optical device manufacturing apparatus according to any one of claims 12 to 14,
A pasting step of pasting the anisotropic conductive film with a non-adhesive film on the mounting area of the substrate by the pasting part,
A notch process for cutting the pasted anisotropic conductive film with the non-adhesive film by a notch part, and
Of the anisotropic conductive film cut by the peeling portion, a peeling step of peeling a non-adhesive film in a region corresponding to the electronic component to be mounted;
A manufacturing method using an electro-optical device manufacturing apparatus, comprising: a pressure-bonding step of pressure-bonding the electronic component and the substrate through an adhesive layer after being peeled off by a pressure-bonding portion.
JP2004281101A 2004-09-28 2004-09-28 Anisotropic conductive film having nonadhesive film, electro-optic apparatus using anisotropic conductive film having nonadhesive film, method and apparatus for producing electro-optic apparatus, method for producing the same film by using the same production apparatus and electronic equipment Withdrawn JP2006096788A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2004281101A JP2006096788A (en) 2004-09-28 2004-09-28 Anisotropic conductive film having nonadhesive film, electro-optic apparatus using anisotropic conductive film having nonadhesive film, method and apparatus for producing electro-optic apparatus, method for producing the same film by using the same production apparatus and electronic equipment

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2004281101A JP2006096788A (en) 2004-09-28 2004-09-28 Anisotropic conductive film having nonadhesive film, electro-optic apparatus using anisotropic conductive film having nonadhesive film, method and apparatus for producing electro-optic apparatus, method for producing the same film by using the same production apparatus and electronic equipment

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2006096788A true JP2006096788A (en) 2006-04-13

Family

ID=36236918

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2004281101A Withdrawn JP2006096788A (en) 2004-09-28 2004-09-28 Anisotropic conductive film having nonadhesive film, electro-optic apparatus using anisotropic conductive film having nonadhesive film, method and apparatus for producing electro-optic apparatus, method for producing the same film by using the same production apparatus and electronic equipment

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2006096788A (en)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2015174447A1 (en) * 2014-05-15 2015-11-19 デクセリアルズ株式会社 Anisotropic conductive film
WO2023092509A1 (en) * 2021-11-26 2023-06-01 京东方科技集团股份有限公司 Conductive adhesive film and preparation method therefor, and electronic device and manufacturing method therefor

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2015174447A1 (en) * 2014-05-15 2015-11-19 デクセリアルズ株式会社 Anisotropic conductive film
JP2016173982A (en) * 2014-05-15 2016-09-29 デクセリアルズ株式会社 Anisotropic conductive film
WO2023092509A1 (en) * 2021-11-26 2023-06-01 京东方科技集团股份有限公司 Conductive adhesive film and preparation method therefor, and electronic device and manufacturing method therefor

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR102626385B1 (en) Display device and method for manufacturing the same
US5317438A (en) Liquid crystal display device and method of producing the same having an improved connection between a flexible film substrate and a drive circuit substrate
US8362488B2 (en) Flexible backplane and methods for its manufacture
CN104465479B (en) Flexible display substrates motherboard and the preparation method of flexible display substrates
JP2001230511A (en) Connection structure, electro-optic device and electronic apparatus
US11044809B2 (en) Flexible circuit board, display panel, and display module
WO2007063667A1 (en) Circuit member, electrode connecting structure and display device provided with such electrode connecting structure
TW201633638A (en) Method of manufacturing connector, method for connecting electronic component, and connector
CN112967607A (en) Display and preparation method thereof
US11041098B2 (en) Anisotropic conductive film and fabricating method thereof
JP2006096788A (en) Anisotropic conductive film having nonadhesive film, electro-optic apparatus using anisotropic conductive film having nonadhesive film, method and apparatus for producing electro-optic apparatus, method for producing the same film by using the same production apparatus and electronic equipment
JP3835460B2 (en) Electronic component mounting body manufacturing method and electro-optical device
JP2001230001A (en) Connection structure, photoelectric device and electric equipment
KR20050023355A (en) Adhesive material tape, method of connecting, producing, and press-connecting the tape, adhesive material-tape reel, adhering device, adhesive agent-tape cassette, method of press-connecting adhesive agent using the cassette, and anisotropic electroconductive tape
JPH02127620A (en) Electrooptic device and its connecting method
JPH0933940A (en) Mount structure for semiconductor chip for driving display panel
JP2008076930A (en) Display device and manufacturing method therefor
JP2004029576A (en) Method of manufacturing flat display device, and thermocompression bonding device for sticking anisotropic conductive film used for the same
JP5648266B2 (en) Method for manufacturing electrophoretic display device
KR20200080617A (en) Display apparatus and method of manufacturing the same
KR100746781B1 (en) Anisotropic conductive film including cover films of different peel stress
US20060007381A1 (en) Organic electroluminescent display device
JP2003066479A (en) Press-contacting method of tape automatic bonding component to liquid crystal panel
JP2014013828A (en) Manufacturing system of ic card and manufacturing method
JP2006287190A (en) Reproducing apparatus of film wiring board

Legal Events

Date Code Title Description
A300 Withdrawal of application because of no request for examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300

Effective date: 20071204