JP2006095462A - 洗浄装置 - Google Patents

Abstract

【課題】 ゴミ等の有機系の異物を除去するための洗浄部の稼働効率を低下することなく、ラテラルクラックの割れ目に洗浄液を十分浸透させて、ラテラルクラックを除去することにより、パネル基板におけるチッピングの発生を抑制する。
【解決手段】 水よりも表面張力が小さくなるように調整された第１洗浄液８が貯留されており、第１洗浄液８に液晶表示パネル２のパネル基板３を浸漬させることにより、パネル基板３に発生したラテラルクラックの割れ目に第１洗浄液８を浸透させながらパネル基板３を洗浄する第１洗浄部４と、有機系の異物を除去する第２洗浄液１５が貯留されており、パネル基板３を第２洗浄液１５に浸漬させ、パネル基板３に付着した有機系の異物を除去するようにパネル基板３を洗浄する第２洗浄部１３とを有し、第１洗浄部４の大きさが第２洗浄部１３の大きさよりも大きく形成されている。
【選択図】 図１

Description

本発明は、複数のパネル領域を有するマザー基板を切断して構成された表示パネルのパネル基板を洗浄するのに好適な洗浄装置に関する。

従来より、液晶表示パネル等の表示パネルの製造工程において、表示パネルのパネル基板に付着したゴミやチリ、さらには人体基因の汗、フケや油分等、また液晶表示パネルにおいては、一対のパネル基板間に設けられたシール材の外側に付着した液晶等の異物を除去するため、パネル基板やこのパネル基板を用いて製造される表示パネルを洗浄する洗浄装置が用いられている。

従来の洗浄装置は、表示パネルを洗浄液に浸漬させて表示パネルから異物を除去する洗浄部と、洗浄液に浸漬された表示パネルを純水に浸漬させて表示パネルに付着した洗浄液を除去するリンス洗浄部と、表示パネルを仕上げ洗浄するシャワー洗浄部と、表示パネルを乾燥させる乾燥部とを有している。

このような洗浄装置によれば、洗浄部を効率的に稼働させるため、洗浄部において洗浄液に表示パネルを浸漬する浸漬時間は、前述のゴミやチリ或いは液晶等の有機系の異物を表示パネルから除去するのに好適な範囲内において短時間に設定されていた。

ここで、前記表示パネルを製造する工程においては、図４に示すように、複数のパネル領域２８を有するガラス基板からなるマザー基板２９を用い、マザー基板２９における各パネル領域２８の境界部にカッター３１によりスクライブ溝３０を形成し、スクライブ溝３０に沿って応力をかけることによりマザー基板２９をスクライブ切断して、各パネル基板３２を形成することが行われている。このように、マザー基板２９をスクライブ溝３０に沿って切断する際、各パネル基板３２におけるスクライブ切断した切断面においてラテラルクラック３３と呼ばれる割れが発生してしまう場合がある。

このラテラルクラック３３は、表示パネルの製造工程において、図５に示すように、パネル基板３２から跳ねるように分離するチッピング３４の原因となり、このチッピング３４は、パネル基板３２から分離してパネル基板３２に形成された電極（図示せず）の表面に付着してしまうおそれがあった。このようにチッピング３４が電極に付着してしまうと、チッピング除去作業時にチッピング３４により電極が損傷してしまう場合があり、さらには電極が断線してしまうことがある。

しかし、従来の洗浄装置の洗浄部は、前述のように、主に有機系の異物を除去する目的で設けられており、洗浄部における表示パネルの浸漬時間は、表示パネルから前記有機系の異物を除去するのに好適な浸漬時間に設定されている。このため、パネル基板３２に発生してしまったラテラルクラック３３の割れ目に洗浄液を十分に浸透させるのは困難であった。この結果、従来の洗浄装置によって、パネル基板３２におけるチッピング３４の原因となるラテラルクラック３３を除去することは困難であり、ラテラルクラック３３が原因で発生するチッピング３４により、表示パネルの電極に不良が発生してしまう恐れがあるという問題を有していた。

特開２００１−００９３９６号公報

本発明はこれらの点に鑑みてなされたものであり、ゴミ等の異物を除去するための洗浄部の稼働効率を低下することなく、ラテラルクラックの割れ目に洗浄液を十分浸透させて、ラテラルクラックを除去することにより、パネル基板におけるチッピングの発生を抑制することができる洗浄装置を提供することを目的とする。

前記目的を達成するため、本発明に係る洗浄装置の特徴は、水よりも表面張力が小さくなるように調整された第１洗浄液が貯留されており、前記第１洗浄液に表示パネルのパネル基板を浸漬させることにより、前記パネル基板に発生したラテラルクラックの割れ目に前記第１洗浄液を浸透させながら前記パネル基板を洗浄する第１洗浄部と、第２洗浄液が貯留されており、前記第２洗浄液に前記パネル基板を浸漬させることにより、前記パネル基板に付着している異物を除去するように前記パネル基板を洗浄する第２洗浄部とを有し、前記第１洗浄部の大きさが前記第２洗浄部の大きさよりも大きく形成されている点にある。

また、前記第１洗浄液における前記パネル基板の浸漬時間が、前記第２洗浄液における前記パネル基板の浸漬時間の２倍以上であるとよく、さらには、前記第１洗浄液の表面張力が、３００〜４００μＮであるとよい。

ここで、洗浄装置によって洗浄する表示パネルのパネル基板は、表示パネルの形態であってもよく、またはパネル基板のみの形態であってもよい。

この本発明に記載の洗浄装置によれば、主にゴミやチリ、或いは人体基因の汗、フケや油分等を除去するための第２洗浄部の他に、第１洗浄部において表示パネルを第１洗浄液に浸漬させるので、第１洗浄液をラテラルクラックの割れ目に十分浸透させることができる。これにより、ラテラルクラックをパネル基板から分離させることができる。

また、第１洗浄液における表示パネルの浸漬時間を、第２洗浄液における浸漬時間の２倍以上とし、さらには、第１洗浄液の表面張力を３００〜４００μＮに調整することにより、第１洗浄液をラテラルクラックの割れ目により効率的に浸透させることができる。

以上述べたように、本発明に係る洗浄装置によれば、表示パネルの製造工程における洗浄の段階において、パネル基板からラテラルクラックを除去することができるので、表示パネルにおけるチッピングの発生を抑制することができる。この結果、表示パネルの電極の表面にチッピングが付着してしまうこと等により発生する表示パネルの不良の発生率を低下させることができる。

また、主にゴミ等の異物を除去する目的で設けられている第２洗浄部の他に、主にラテラルクラックを除去する目的で設けられた第１洗浄部を有することにより、確実にパネル基板からラテラルクラックを除去することができる。

さらに、ラテラルクラックを除去するために第２洗浄液における浸漬時間を延長する必要がないので、第２洗浄部の稼働率を低下させることなくラテラルクラックを除去することができる。

さらにまた、第１洗浄部と第２洗浄部とにおいて、それぞれの目的に適するような異なる洗浄液を用いることができる。すなわち、第１洗浄液としては、ラテラルクラックの除去に適した洗浄液を、第２洗浄液としては、有機物除去に適した有機系の洗浄液を用いることもできる。

また、第１洗浄部においては、ラテラルクラックだけでなく、ゴミ等の異物も除去することができるので、第２洗浄液の汚染を緩和させることができる。これにより、第２洗浄液の交換頻度を少なくすることができるとともに、第２洗浄液への浸漬時間を短くすることができ、第２洗浄部の稼働率を向上させることができるという効果を有する。

以下、本発明に係る洗浄装置の実施形態を図１および２を参照して説明する。ここで、本実施形態においては、ガラス製のパネル基板を液晶表示パネルの形態で洗浄する場合について、複数枚の液晶表示パネルをキャリア内に設置させて一括洗浄するバッチ式の洗浄装置を用いて説明する。

図１は、本実施形態に係る洗浄装置を示す模式的断面図であり、図１に示すように、洗浄装置１は、主に液晶表示パネル２のパネル基板３に発生したラテラルクラックを除去するための第１洗浄部４を有している。

第１洗浄部４は、複数の液晶表示パネル２が設置されたキャリア６を入れることができる大きさに形成されており、後述する第２洗浄部１３の容積よりも大きく形成されている。第１洗浄部４には、水よりも表面張力が低くなるように調整された第１洗浄液８が貯留されている。

第１洗浄液８は、水の表面張力が５５０〜６００μＮであるのに対し、３００〜４００μＮ程度の表面張力となるように調整されていることが好ましい。本実施形態においては、第１洗浄液８は、水に界面活性剤を添加することにより水よりも表面張力が小さくなるように調整されている。図２は、水に界面活性剤を添加した場合の界面活性剤の濃度と界面活性剤が添加された水の表面張力との関係を示すグラフであり、図２に示すように、第１洗浄液８の表面張力を３００〜４００μＮにするためには、０．００１〜０．１重量％の濃度となるように界面活性剤を添加するとよい。使用する界面活性剤としては、排水等の取扱いの観点からノニオン系界面活性剤が好ましく、ポリオキシアルキレングリコール系や高級アルコール系の界面活性剤を例示することができ、具体的には、ライオン製のレオコールＳＣシリーズやライオノールシリーズ、また花王製のクリンスルーＫＳシリーズや、エマルゲンシリーズ等を適用すればよい。

第１洗浄部４の底部には、第１洗浄液８を、例えば３０〜６０℃程度に加熱するためのヒータ１０が設けられている。また、第１洗浄部４の底部には、パネル基板３に洗浄液分子を衝突させるために、例えば２６〜１００ＫＨｚの超音波を発して第１洗浄液８を振動させる超音波振動子１１が設けられている。さらに、第１洗浄部４には、第１洗浄液８を積極的にパネル基板３に接触させるために第１洗浄部４内において第１洗浄液８を循環させるための図示しない循環装置が設けられている。

そして、第１洗浄部４においては、キャリア６内に設置された複数の液晶表示パネル２が、第１洗浄部４内の第１洗浄液８に所定時間浸漬されるようになっている。

また、洗浄装置１は、第１洗浄部４において第１洗浄液８に浸漬された液晶表示パネル２について、主に前記液晶表示パネル２のパネル基板３に付着したゴミやチリ、液晶、或いは人体粉や油分等の異物を除去するための第２洗浄部１３を有している。

第２洗浄部１３は、前記キャリア６を入れることができる大きさに形成されており、第２洗浄部１３には、界面活性剤が添加された第２洗浄液１５が貯留されている。

第２洗浄液１５には、液晶や油分等の有機系の異物を除去するのに適した有機系の洗浄液が好ましいが、水系の洗浄液であってもよい。

そして、第２洗浄部１３においては、キャリア６内に設置された複数の液晶表示パネル２が、第２洗浄液１５に所定時間浸漬されるようになっている。

ここで、第２洗浄液１５における液晶表示パネル２の浸漬時間は、液晶表示パネル２から前記液晶等の異物を除去するのに好適な範囲内において短い時間に設定することが好ましく、本実施形態におけるバッチ式の洗浄装置１において５分程度に設定されている。また、第１洗浄液８における液晶表示パネル２の浸漬時間は、パネル基板３に形成されたラテラルクラックの割れ目に第１洗浄液８を十分に浸透させるため、第２洗浄液１５における浸漬時間の２倍以上とすることが好ましく、本実施形態においては１０〜３０分程度に設定されている。

さらに、洗浄装置１は、第１洗浄部４においてパネル基板３に付着した第１洗浄液８、および第２洗浄部１３においてパネル基板３に付着した第２洗浄液１５をパネル基板３から除去するためのリンス洗浄部１７を有している。

リンス洗浄部１７は、前記キャリア６を入れることができる大きさに形成されており、リンス洗浄部１７には、パネル基板３をリンス洗浄するための純水からなるリンス液１９が貯留されている。

そして、リンス洗浄部１７においては、キャリア６内に設置された複数の液晶表示パネル２が、リンス洗浄部１７におけるリンス液１９に所定時間浸漬されるようになっており、本実施形態においてリンス液１９への浸漬時間は、５分程度に設定されている。

さらにまた、洗浄装置１は、リンス洗浄部１７においてリンス洗浄されたパネル基板３をシャワー洗浄するためのシャワー洗浄部２１を有している。

シャワー洗浄部２１は、キャリア６内に設置された液晶表示パネル２に対してシャワー水２２を放出することにより、パネル基板３に付着した第１洗浄液８および第２洗浄液１５等を確実に洗い流すようになっている。

また、洗浄装置１は、シャワー洗浄された液晶表示パネル２を乾燥するための乾燥部２４を有しており、乾燥部２４は、キャリア６内に設置された液晶表示パネル２に温風を吹きかけることによって、液晶表示パネル２を乾燥するようになっている。

なお、第２洗浄部１３４やリンス洗浄部１７にも、第１洗浄部４と同様に、ヒータ１０や超音波振動子１１、さらには循環装置を設けてもよい。

次に、本実施形態の作用について説明する。

まず、キャリア６に所定数の液晶表パネルを設置し、第１洗浄部４において、液晶表示パネル２をキャリア６ごと第１洗浄液８に１０〜３０分程度浸漬させる。

ここで、液晶表示パネル２を、第２洗浄部１３以降の洗浄部の稼働率を低下させることなく長時間第１洗浄液８に浸漬させるために、第１洗浄部４内に複数個のキャリア６を収納する。そして、第２洗浄部１３に浸漬されているキャリア６が次の洗浄部に移動したら、第１洗浄液８に浸漬されている時間が長いキャリア６を第２洗浄部１３に移動させるようにする。

第１洗浄液８は、表面張力が水よりも低くなるように調整されており、これにより、第１洗浄液８をパネル基板３のラテラルクラックの割れ目に十分浸透させ、ラテラルクラックをパネル基板３から分離させることができる。また、第１洗浄液８をヒータ１０により加熱するとともに、超音波振動子１１により振動させており、さらには、循環装置により第１洗浄液８を循環させることによって第１洗浄液８は液晶表示パネル２に積極的に接触するようになっているので、より効率的にラテラルクラックをパネル基板３から除去することができる。

続いて、第１洗浄液８から浸漬時間の１番長いキャリア６を取り出し、第２洗浄部１３において、液晶表示パネル２をキャリア６ごと第２洗浄液１５に５分程度浸漬させる。これにより、第２洗浄液１５がパネル基板３と異物との間に浸透し、液晶表示パネル２から異物が除去されるようになっている。

次に、第２洗浄液１５からキャリア６を取り出し、リンス洗浄部１７において、液晶表示パネル２をキャリア６ごとリンス液１９に５分程度浸漬させる。これにより、パネル基板３に付着した第１洗浄液８および第２洗浄液１５を液晶表示パネル２から除去するようになっている。

さらに、リンス液１９からキャリア６を取り出し、シャワー洗浄部２１に配置させ、液晶表示パネル２にシャワー水２２を放出することにより、パネル基板３に付着した第１洗浄液８および第２洗浄液１５等を確実に洗い流す。その後、シャワー洗浄部２１からキャリア６を取り出して、乾燥部２４に配置させ、液晶表示パネル２に温風を吹きかけることにより、液晶表示パネル２を乾燥させる。

本実施形態によれば、ゴミやチリ、或いは液晶や人体基因の汗、フケ、さらには油分等を除去するために第２洗浄部１３において第２洗浄液１５に液晶表示パネル２を浸漬させる他に、第１洗浄部４において液晶表示パネル２を第１洗浄液８に浸漬させるので、第１洗浄液８をラテラルクラックの割れ目に十分浸透させることができる。これにより、ラテラルクラックをパネル基板３から除去することができる。

また、第１洗浄部４にヒータ１０や超音波振動子１１を設け、さらには、第１洗浄液８を第１洗浄部４内において循環させることにより、より確実にラテラルクラックをパネル基板３から分離させることができる。

さらにまた、第１洗浄液８における液晶表示パネル２の浸漬時間を、第２洗浄液１５における浸漬時間の２倍以上とし、さらには、第１洗浄液８の表面張力を３００〜４００μＮに調整することにより、第１洗浄液８をラテラルクラックの割れ目により確実に浸透させることができる。

したがって、液晶表示パネル２の製造工程における洗浄の段階において、パネル基板３からラテラルクラックを除去することができるので、液晶表示パネル２におけるチッピングの発生を抑制することができる。この結果、液晶表示パネル２の電極の表面にチッピングが付着してしまうこと等により発生する液晶表示パネル２の不良の発生率を低下させることができる。

また、主にゴミ等の異物を除去する目的で設けられている第２洗浄部１３の他に、主にラテラルクラックを除去する目的で設けられた第１洗浄部４を有することにより、確実にパネル基板３からラテラルクラックを除去することができる。さらに、ラテラルクラックを除去するために第２洗浄液１５における浸漬時間を延長する必要はないので、第２洗浄部１３の稼働率を低下させることなくラテラルクラックを除去することができる。さらにまた、第１洗浄部４と第２洗浄部１３とにおいて、それぞれの目的に適するような異なる洗浄液を用いることができる。すなわち、第１洗浄液８としては、ラテラルクラックの除去に適した洗浄液を、第２洗浄液１５としては、有機物除去に適した有機系の洗浄液を用いることもできる。また、第１洗浄部４においては、ラテラルクラックだけでなく、ゴミ等の異物も除去することができるので、第２洗浄液１５の汚染を緩和させることができる。これにより、第２洗浄液１５を交換する頻度を少なくすることができるとともに、第２洗浄液１５の洗浄能力の低下が抑えられて、第２洗浄液１５への浸漬時間を短くすることができるので、第２洗浄部１３の稼働率を向上させることができるという効果を有する。

次に、本実施形態における洗浄装置１と、他の洗浄装置を用いて行った液晶表示パネル２の洗浄試験について説明する。

本実施形態における洗浄装置１の実施例としては、界面活性剤が０．０１重量％添加された第１洗浄液８に液晶表示パネル２を２０分間浸漬させた後、第２洗浄部１３、リンス洗浄部１７およびシャワー洗浄部２１において液晶表示パネル２を洗浄し、乾燥部２４において液晶表示パネル２を乾燥させた。

一方、他の洗浄装置の第１比較例としては、液晶表示パネルを第１洗浄液に浸漬させることなく、第２洗浄部、リンス洗浄部およびシャワー洗浄部において液晶表示パネルを洗浄し、乾燥部において液晶表示パネルを乾燥させた。

また、他の洗浄装置の第２比較例としては、界面活性剤が添加されていない純水に液晶表示パネルを２０分間浸漬させた後、第１比較例と同様に液晶表示パネルを洗浄し、乾燥させた。

そして、第１〜３試験において洗浄された各液晶表示パネル２に偏光板を貼り付けた後におけるチッピングの発生率を、前記実施例および前記第１、第２比較例についてそれぞれ計測した。

表１に示すように、前記実施例における洗浄装置１によれば、第１、第２および第３試験において、チッピングの発生率を１％以下に抑えることができたのに対し、前記第１比較例における洗浄装置によれば、第１試験および第２試験において、チッピングの発生率が１０％以上であった。また、第３試験においても、第１比較例および第２比較例における洗浄装置によれば、チッピングの発生率は４％となった。このことから、界面活性剤が添加された第１洗浄液８に液晶表示パネル２を２０分間浸漬させることにより、洗浄工程においてラテラルクラックをパネル基板３から除去することができ、洗浄工程後におけるチッピングの発生率を激減させることができるということが分かった。

次に、本発明に係る洗浄装置１の第２の実施形態について、図３を参照し、複数の液晶表示パネル２を一枚ずつ流れ作業的に搬送しながら洗浄する枚葉式の洗浄装置１を用いて説明する。なお、第１実施形態の洗浄装置１と基本的構成が異ならない部分については、説明を省略する。

図３に示すように、本実施形態の洗浄装置１においては、液晶表示パネル２の搬送方向における最上流側に第１洗浄部４が設けられており、第１洗浄部４における前記搬送方向の最上流側には液晶表示パネル２を第１洗浄部４に投入する投入口（図示せず）、および前記搬送方向の最下流側には液晶表示パネル２を第１洗浄部４から排出する排出口（図示せず）が設けられている。第１洗浄部４は、複数の液晶表示パネル２を収納・浸漬させることができるように、第２洗浄部１３の大きさよりも大きく形成されている。また、第１洗浄部４の内部には、液晶表示パネル２を搬送するための搬送ローラ２６が設けられているとともに、第１洗浄液８が貯留されている。

また、液晶表示パネル２の搬送方向における第１洗浄部４の下流側には、第２洗浄部１３、リンス洗浄部１７、シャワー洗浄部２１および乾燥部２４が順次設けられている。

次に、第２の実施形態の作用について説明する。

液晶表示パネル２は、投入口から第１洗浄部４内に投入され、第１洗浄液８中に浸漬された状態によって搬送ローラ２６により搬送され、排出口から第１洗浄部４の外に排出される。

続いて、液晶表示パネル２は、第２洗浄部１３における前記搬送方向の最上流側に設けられた投入口から第２洗浄部１３内に投入され、第２洗浄液１５に浸漬された状態によって搬送ローラ２６により搬送され、第２洗浄部１３における前記搬送方向の最下流側に設けられた排出口から第２洗浄部１３の外に排出される。

ここで、各洗浄部に設置された搬送ローラ２６の回連速度（搬送速度）は同一であるので、第１洗浄部の大きさ（長さ）を第２洗浄部の大きさ（長さ）の２倍以上とすると、第１洗浄液８に浸漬されている時間も２倍以上となり好ましい。

次に、液晶表示パネル２はリンス洗浄部１７における前記搬送方向の最上流側に設けられた投入口からリンス洗浄部１７内に投入され、リンス液１９に浸漬された状態によって搬送ローラ２６に搬送され、リンス洗浄部１７における前記搬送方向の最下流側に設けられた排出口からリンス洗浄部１７の外に排出される。

さらに、液晶表示パネル２は、シャワー洗浄部２１に搬送され、搬送ローラ２６によって搬送されながらシャワー水２２によってシャワー洗浄された後、乾燥部２４に搬送されて、搬送ローラ２６によって搬送されながら乾燥される。

第２の実施形態においても、第１の実施形態と同様に、主に液晶等を除去するための第２洗浄部１３の他に、第１洗浄部４において液晶表示パネル２を第１洗浄液８に浸漬させるので、第１洗浄液８をラテラルクラックの割れ目に十分浸透させることができ、ラテラルクラックをパネル基板３から分離させることができる。

したがって、液晶表示パネル２の製造工程における洗浄の段階において、パネル基板３からラテラルクラックを分離させることができるので、液晶表示パネル２におけるチッピングの発生を抑制することができる。この結果、液晶表示パネル２の電極の表面にチッピングが付着してしまうこと等により発生する液晶表示パネル２の不良の発生率を低下させることができる。

なお、本発明は前記実施形態に限定されるものではなく、必要に応じて種々変更することが可能である。

例えば、前記実施形態においては、液晶表示パネル２を洗浄する場合について説明したが、これに限定されるものではなく、有機ＥＬ表示パネル等の他の表示パネルを洗浄することもでき、またパネル基板３の形態で洗浄することもできる。

また、第２の実施形態においては、第１洗浄部４において液晶表示パネル２は搬送されながら第１洗浄液８に浸漬されるようになっているが、これに限定されず、単に液晶表示パネル２を第１洗浄液８に所定時間浸漬させながら保持するものであってもよい。

さらにまた、液晶表示パネル２を第１洗浄液８に浸漬させた後、第２洗浄液１５に浸漬させるようになっているが、浸漬順は逆であってもよい。

本発明に係る洗浄装置の一実施形態を示す模式的断面図 第１洗浄液の界面活性剤濃度と表面張力との関係を示すグラフ 本発明に係る洗浄装置の他の実施形態を示す模式的断面図 マザー基板をスクライブ切断する場合を示す模式的側面図 表示パネルにおけるチッピングの発生を示す模式的側面図

符号の説明

１ 洗浄装置
２ 液晶表示パネル
３ パネル基板
４ 第１洗浄部
６ キャリア
８ 第１洗浄液
１０ ヒータ
１１ 超音波振動子
１３ 第２洗浄部
１５ 第２洗浄液
１７ リンス洗浄部
１９ リンス液
２１ シャワー洗浄部
２２ シャワー水
２４ 乾燥部

Claims (3)

1. 水よりも表面張力が小さくなるように調整された第１洗浄液が貯留されており、前記第１洗浄液に表示パネルのパネル基板を浸漬させることにより、前記パネル基板に発生したラテラルクラックの割れ目に前記第１洗浄液を浸透させながら前記パネル基板を洗浄する第１洗浄部と、
   第２洗浄液が貯留されており、前記第２洗浄液に前記パネル基板を浸漬させることにより、前記パネル基板に付着している異物を除去するように前記パネル基板を洗浄する第２洗浄部とを有し、
   前記第１洗浄部の大きさが前記第２洗浄部の大きさよりも大きく形成されていることを特徴とする洗浄装置。
2. 前記第１洗浄液における前記パネル基板の浸漬時間が、前記第２洗浄液における前記パネル基板の浸漬時間の２倍以上である請求項１に記載の洗浄装置。
3. 前記第１洗浄液の表面張力が、３００〜４００μＮである請求項１または２に記載の洗浄装置。