JP2006089326A - 炭化珪素膜で被覆された硫化亜鉛ナノケーブルおよびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 硫化亜鉛粉末と一酸化ケイ素粉末の混合粉末を坩堝に装填し、不活性ガス気流中で加熱して硫化亜鉛を昇華させ、所定の温度に保持した断熱材の炭素繊維で被覆されたグラファイト表面に供給して硫化亜鉛ナノワイヤーを形成し、不活性ガスをメタンガスに切り替えて引き続き加熱して、メタンガスの分解によりグラファイト状のカーボンを生成させるとともに、一酸化ケイ素の不均化反応によりシリコンを生成させ、これらを硫化亜鉛ナノワイヤーの表面で反応させて、硫化亜鉛ナノワイヤーの表面を炭化珪素膜で被覆する。
【選択図】 図2
Description
また、中空構造を有する炭化珪素ナノチューブは、カーボンナノチューブと一酸化ケイ素を反応させる方法(非特許文献7、8参照)がある。
さらに、硫化亜鉛ナノワイヤーの表面を珪素で覆った構造物も知られている(非特許文献9参照)。
Z.W.Pan,ほか、Adv.Mater.12巻、1186頁、2000年 G.W.Meng,ほか、J.Mater.Res.13巻、2533頁、1998年 X.T.Zhou,ほか、Appl.Phys.Lett.74巻、3942頁、1999年 H.L.Lai,ほか、Appl.Phys.Lett.76巻、294頁、2000年 Q.Y.Lu,ほか、Appl.Phys.Lett.75巻、507頁、1999年 J.Q.Hu,ほか、J.Phys.Chem.B104巻,5251頁、2000年 J.M.Nhut,ほか、Catalysis Today 76巻、11頁、2002年 X.H.Sun,ほか、J.Am.Chem.Soc.124巻、14464頁、2002年 J.Q.Hu,ほか、Angew.Chem.Int.Ed.43巻、63頁、2004年
硫化亜鉛ナノワイヤーは、好ましくは、径が40ナノメートル(nm)から130ナノメートルの範囲であり、長さが数マイクロメートル(μm)から数十μmの範囲である。炭化珪素膜は、好ましくは、厚さが15nmから50nmの範囲である。
初めに、本発明の製造方法に使用する装置の例を説明する。
図1は、本発明の製造方法に使用する縦型高周波加熱炉の断面模式図である。加熱炉1は、坩堝2と、坩堝2を収容する、断熱材の炭素繊維3で外側が被覆されたグラファイト円筒4と、グラファイト円筒4を収容する、溶融石英等の非導電性の容器5と、容器5の外に配置した高周波加熱用コイル6とからなる。
硫化亜鉛粉末と一酸化ケイ素粉末の混合粉末を窒化ホウ素製の坩堝2に入れ、坩堝2をグラファイト円筒4の中央部に取り付ける。加熱炉1内を減圧にした後、不活性ガスを流しながら、坩堝2の温度を1100〜1200℃に上昇し、この温度に0.5〜1.5時間保持する。この際、断熱材の炭素繊維3の表面は約800℃に保つ。この工程によって、坩堝2中の硫化亜鉛が昇華し、断熱材の炭素繊維3の表面に硫化亜鉛からなるナノワイヤーが成長する。
不活性ガスをメタンガスに切り替え、引き続き坩堝2の温度を1250〜1500℃に上昇し、この温度で0.5〜1.5時間保持する。この工程により、メタンガスの分解によりグラファイト状のカーボンを生成させるとともに、一酸化ケイ素の不均化反応によりシリコンを生成させ、ここで生成したカーボンとシリコンが、断熱材の炭素繊維3の表面に成長した硫化亜鉛ナノワイヤーの表面で反応し、硫化亜鉛ナノワイヤーの表面が炭化珪素で被覆される。加熱炉1を室温に冷却してから、断熱材の炭素繊維3の表面に形成された、炭化珪素で被覆された硫化亜鉛ナノケーブルを取り出す。
亜鉛ナノケーブルを説明する。
シグマ・アルドリッチ社製の硫化亜鉛粉末(純度99.99%)2gと同じくシグマ・アルドリッチ社製の一酸化ケイ素粉末(325メッシュ)1gの混合粉末を窒化ホウ素製の坩堝に入れた。この坩堝を、断熱材の炭素繊維で被覆されたグラファイト円筒の中央部に取り付け、このグラファイト円筒を縦型高周波誘導加熱炉の中央部に取り付けた。加熱炉内を約27Paに減圧した後、アルゴンガスを1.0リットル/分の流量で流しながら、1150℃で1時間加熱した。この後、引き続き、メタンガスを50ミリリットル/分の流量で流しながら、1400℃で1時間加熱した。約800℃に保たれた断熱材の炭素繊維の表面に黒色の粉末が数mg堆積した。
図3から、このナノケーブルは、約130nmの一様な径の暗い芯が、約15nmの一様な厚さの明るい鞘で被覆された構造であることがわかる。
図4から、このナノケーブルは、約40nmの一様な径の暗い芯が、約40nmの一様な厚さの明るい鞘で被覆された構造であることがわかる。
図から、ナノケーブルは、亜鉛、硫黄、珪素、炭素から構成されていることがわかる。なお、銅のシグナルは試料を取り付ける際に用いた銅グリッドに由来するものである。
図6は、ナノチューブの透過電子顕微鏡像を示す図である。図から、塩酸で処理することによって、内部の暗い芯が溶解してなくなり、外部の明るい鞘からなるナノチューブが形成されたことがわかる。
図7は、エネルギー分散型X線分析装置による、ナノチューブの元素分析結果を示す図であり、横軸はX線エネルギー、縦軸はX線強度である。図から、明るい鞘は、炭化珪素であることがわかる。
2 坩堝
3 断熱材の炭素繊維
4 グラファイト円筒
5 容器
6 高周波加熱用コイル
Claims (7)
- 長さ方向に一様な径の硫化亜鉛ナノワイヤーと、このナノワイヤーの表面を被覆する一様な厚さの炭化珪素膜とからなることを特徴とする、炭化珪素膜で被覆された硫化亜鉛ナノケーブル。
- 前記硫化亜鉛ナノワイヤーは、径が40ナノメートルから130ナノメートルの範囲であり、長さが数マイクロメートルから数十マイクロメートルの範囲であることを特徴とする、請求項1に記載の炭化珪素膜で被覆された硫化亜鉛ナノケーブル。
- 前記炭化珪素膜は、厚さが15ナノメートルから50ナノメートルの範囲であることを特徴とする、請求項1に記載の炭化珪素膜で被覆された硫化亜鉛ナノケーブル。
- 硫化亜鉛粉末と一酸化ケイ素粉末の混合粉末を不活性ガス気流中で加熱して硫化亜鉛を昇華させ、この昇華した硫化亜鉛を所定の温度に保持した基板上に供給して硫化亜鉛ナノワイヤーを形成する第1の工程と、
上記不活性ガスをメタンガスに切り替えて引き続き加熱して、上記メタンガスの分解によりグラファイト状のカーボンを生成させるとともに、上記一酸化ケイ素の不均化反応によりシリコンを生成させ、ここで生成したカーボンとシリコンを上記所定の温度に保持した基板上の上記硫化亜鉛ナノワイヤーの表面に供給して反応させ、上記硫化亜鉛ナノワイヤーの表面を炭化珪素膜で被覆する第2の工程とからなることを特徴とする、炭化珪素膜で被覆された硫化亜鉛ナノケーブルの製造方法。 - 前記第1の工程の加熱は、1100℃から1200℃の温度範囲で0.5時間から1.5時間の範囲で行うことを特徴とする、請求項4に記載の炭化珪素膜で被覆された硫化亜鉛ナノケーブルの製造方法。
- 前記第2の工程の加熱は、1250℃から1500℃の温度範囲で0.5時間から1.5時間の範囲で行うことを特徴とする、請求項4に記載の炭化珪素膜で被覆された硫化亜鉛ナノケーブルの製造方法。
- 前記基板の所定の温度は、約800℃であることを特徴とする、請求項4に記載の炭化珪素膜で被覆された硫化亜鉛ナノケーブルの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Applications Claiming Priority (1)
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Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
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JP2006089326A true JP2006089326A (ja) | 2006-04-06 |
JP2006089326A5 JP2006089326A5 (ja) | 2007-11-08 |
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Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4701451B2 (ja) |
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