JP2006088127A - 静電霧化装置及びこれに用いられる液搬送部の製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】静電霧化装置において、液搬送部の先端の耐薬品性を向上すると共に、液体を安定的に静電霧化させることができるようにする。
【解決手段】静電霧化装置１は、液溜め部２と、液体Ｗを搬送する液搬送部３と、液体Ｗ及び液搬送部３に電圧を印加する液印加電極４と、液搬送部３の先端に対向して配置された対向電極５と、液印加電極４と対向電極５の間に電圧を印加する電圧印加部６を備え、液搬送部３は、液溜め部２から先端付近までの本体部３１と本体部３１に一体化された先端部３２とを有し、本体部３１は毛細管構造を有する多孔質体等で形成され、先端部３２は液体Ｗがその外表面を搬送されるように内部に連通した気孔を有しない緻密体により形成されている。液体Ｗは先端部３２の外表面のみを介して搬送されるので、先端部３２に多孔質体を用いる場合に比べて液体Ｗによる先端部３２の材料劣化を抑制でき、液体Ｗを安定的に静電霧化させることができる。
【選択図】図１

Description

本発明は、静電霧化装置及びこれに用いられる液搬送部の製造方法に関するものである。

従来から、図９に示されるように、液溜め部１０２に溜まった液体Ｗを、セラミック多孔質体により構成された液搬送部１０３により毛細管現象を利用して搬送し、電圧印可部１０６により液印加電極１０４と対向電極１０５と間に高電圧を印加して、液搬送部１０３の先端１３０から液体Ｗを静電霧化させる静電霧化装置１０１が知られている（例えば、特許文献１参照）。

このような静電霧化装置１０１は、活性種を持ったナノサイズのミストを液搬送部１０３の先端１３０から噴霧することによって、例えば、室内の空気や室内壁面等の付着物を脱臭するために使用される。静電霧化装置１０１において、液溜め部１０２に溜められた液体Ｗは、毛細管現象により液搬送部１０３の下端や外周面から吸い込まれ、多孔質構造（例えば、平均気孔径０．６５μｍ、気孔率３０％）を有する液搬送部１０３のなかを略円錐状に形成された先端１３０付近まで搬送されて、液印加電極１０４と対向電極１０５の間に印加された電圧（例えば、５０００Ｖ〜６０００Ｖ）により静電霧化される。

このような多孔質構造を有する液搬送部１０３は、例えば、セラミック粉末のスラリーを押出し成形して所定形状の成形体を作製し、この成形体を緻密化させない温度（例えば、材料としてコージエライトを使用する場合には約１３００℃）で焼成して、得られた多孔質体の先端を略円錐形状に加工することにより製造される。このため、このように製造された液搬送部１０３は、円錐形状に形成された先端１３０付近も多孔質構造を有していた。
特許第３２６０１５０号公報

ところで、静電霧化される液体Ｗとして、例えばＮａＣｌ水溶液を用いた場合、液体Ｗが電気分解されることにより、先端１３０付近の液体ＷのｐＨが３以下になることがある。従来の静電霧化装置１０１においては、液搬送部１０３の先端１３０付近が多孔質構造を有するため、図１０（ａ）に示されるように、先端１３０付近において粒界Ｉが溶解し、液搬送部１０３を形成する粒子が液搬送部１０３からこぼれ落ちる虞があり、耐薬品性の面で問題があった。また、液搬送部１０３の先端１３０が多孔質構造を有するため、液体Ｗは先端１３０において連通した気孔から噴出されることとなるが、平均気孔径が数十μｍ以下の場合、安定した噴出が行われずに液体Ｗが途絶え、図１０（ｂ）に示されるように、液搬送部１０３の粒子の尖端から不要な放電ｄ’が生じることがあった。このため、液体Ｗを静電霧化させる際に、安定したテイラーコーンＴが形成されず、液体Ｗからの放電ｄが安定的に起きないという問題があった。

本発明は、上記課題を解決するためになされたものであり、液搬送部の先端の耐薬品性を向上させて液搬送部の信頼性を高めると共に、液体を静電霧化させる際、液搬送部の先端に安定的にテイラーコーンを形成させることにより、静電霧化を安定させることができる静電霧化装置及びこれに用いられる液搬送部の製造方法を提供することを目的とする。

上記目的を達成するために請求項１の発明は、霧化させる液体を溜める液溜め部と、前記液溜め部から延出され、該液溜め部の外部に液体を搬送する液搬送部と、液体及び前記液搬送部に電圧を印加する液印加電極と、前記液搬送部の先端に対向するように、且つ、液搬送部に触れないように配置された対向電極と、前記液印加電極と前記対向電極との間に電圧を印加する電圧印加部とを備えた静電霧化装置において、前記液搬送部は、前記液溜め部から先端付近までの本体部と、この本体部に一体化された先端部とを有し、前記本体部は、毛細管構造を有する多孔質体、又は液溜め部から液溜め部の外部に位置する先端側まで延設された連通孔若しくはスリットを有する構造体、又はこれらの複合体で形成され、前記先端部は、液体がその外表面を搬送されるように、内部に連通した気孔を有しない緻密体により形成されていることを特徴とする。

請求項２の発明は、請求項１に記載の静電霧化装置において、前記先端部が、耐薬品性及び絶縁性を有するセラミックの緻密体により形成されていることを特徴とする。

請求項３の発明は、請求項１又は請求項２に記載の静電霧化装置において、前記先端部が、その表面において、液搬送方向に延びる複数のヒダを有することを特徴とする。

請求項４の発明は、請求項１乃至請求項３のいずれかに記載の静電霧化装置において、前記先端部の表面に、親水性のコーティングが施されていることを特徴とする。

請求項５の発明は、請求項１に記載の静電霧化装置において、前記先端部が金属アルミニウムにより形成され、且つ、その表面に比表面積１００ｍ^２／ｇ以上のγ−アルミナが形成されていることを特徴とする。

請求項６の発明は、請求項１又は請求項２に記載の静電霧化装置の液搬送部を製造する方法であって、金属又はセラミックの粉末材料を前記液搬送部の形状に成形する成形工程と、前記成形工程により得られた成形体を連通した気孔が残る状態に焼結して、前記液搬送部の本体部を構成する多孔質体を形成する焼結工程と、前記焼結工程により得られた焼結体の先端部分に光ビームを照射することにより、該焼結体の先端部分を、連通した気孔が存在しない状態まで粒成長させ、前記液搬送部の先端部を構成する緻密体を形成する先端部形成工程とを備えることを特徴とする。

請求項１によれば、液搬送部は、液溜め部から先端付近までの本体部と、この本体部に一体化された先端部とを有し、本体部が多孔質体等により形成され、先端部が内部に連通した気孔を有しない緻密体により形成されているので、毛細管現象により本体部を通って先端部付近まで搬送された液体は、先端部において、外表面のみを通って搬送され、静電霧化される。このため、搬送される液体が強酸性又は強アルカリ性であって、この液体が先端部を腐食させるようなことがあっても、先端部は外表面以外のところから溶解することがない。従って、先端部に多孔質体を使用するよりも材料劣化を抑制でき、液搬送部の寿命を高めることができる。

請求項２によれば、先端部が、耐薬品性及び絶縁性を有するセラミックの緻密体により形成されているので、溶解による先端部の劣化をより効果的に抑制することができる。

請求項３によれば、先端部が、その表面において、液搬送方向に延びる複数のヒダを有するので、先端部の外表面の表面張力を増大させることができる。このため、先端部の外表面における液体の搬送量を安定化させることができ、液搬送部の先端に安定的にテイラーコーンを形成させて、液体を安定的に静電霧化させることができる。

請求項４によれば、先端部の表面に、親水性のコーティングが施されているので、先端部の外表面の表面張力を増大させることができる。このため、液体の搬送量を安定化させることができ、液体を安定的に静電霧化させることができる。

請求項５によれば、金属アルミニウムの表面に比表面積１００ｍ^２／ｇ以上のγ−アルミナが形成された先端部を有しているので、先端部の外表面の表面張力を増大させることができる。このため、液体の搬送量を安定化させることができ、液体を安定的に静電霧化させることができる。

請求項６によれば、本体部と先端部を接合するための接合材料を用いることなく、本体部と一体的に先端部を形成させることができるので、より容易に液搬送部を製造することが可能となる。

本発明の第１の実施形態に係る静電霧化装置について、図１乃至図４を参照して説明する。静電霧化装置１は、液体表面の電界が大きくなると表面に働く静電気力によって液体が微粒子化する、いわゆる静電霧化現象を利用して液体を霧化させる装置であり、霧化させる液体Ｗを溜める液溜め部２と、液溜め部２から延出され、この液溜め部２の外部に液体Ｗを搬送する液搬送部３と、液体Ｗ及び液搬送部３に電圧を印加する液印加電極４と、液搬送部３の先端３０に対向するように、且つ、液搬送部３に触れないように配置された対向電極５と、液印加電極４と対向電極５の間に電圧を印加する電圧印加部６とを備えている。

液溜め部２には水等の液体Ｗが収容されており、この液体Ｗと接する位置に、液搬送部３の下部と液印加電極４が配置されている。液搬送部３は、液溜め部２から先端３０付近までの本体部３１と、この本体部３１に一体化された先端部３２とを有している。なお、本実施形態において、液搬送部３の外径は、例えば、１００〜１０００μｍ程度である。図２乃至図４に示されるように、本体部３１は、毛細管構造を有する多孔質体（図２）、液溜め部２から液溜め部２の外部に位置する先端３０側まで延設された連通孔３３（図３）若しくはスリット３４を有する構造体（図４）、又はこれらの複合体で形成される。先端部３２は、液体Ｗがその外表面を搬送されるように、内部に連通した気孔を有しない緻密体により形成されている。先端部３２を形成する材料としては、特に限定されるものではないが、ＳｉＯ_２、ＴｉＯ_２、Ａｌ_２Ｏ_３、ＺｒＯ_２、ＹＳＺ（Yttria Stabilized Zirconia）等のような耐薬品性及び絶縁性を有するセラミックの緻密体を用いることが望ましい。先端部３２として耐薬品性及び絶縁性を有するセラミックの緻密体を用いることにより、溶解による先端部３２の劣化をより効果的に抑制することができる。

このような液搬送部３は、本体部３１と先端部３２を別々に作製した後、これらを接着剤等により接合することにより製造することが可能である。このような製造方法において、本体部３１は、例えば、セラミック粉末をプレス成形や射出成形等により略円柱状に成形し、得られた成形体を、連通した気孔が残る多孔質体が形成される温度で熱処理することにより作製され、先端部３２は、セラミック粉末をプレス成形や射出成形等により略円錐形状に成形し、得られた成形体を、内部に連通した気孔を有しない緻密体が形成される温度（例えば、材料としてＹＳＺを使用する場合、約１４５０℃）で熱処理することにより作製される。

また、セラミック粉末をプレス成形や射出成形等により液搬送部３の形状に成形し（成形工程）、得られた成形体を連通した気孔が残る状態に焼結して、液搬送部３の本体部３１を構成する多孔質体を形成し（焼結工程）、更に、得られた焼結体の先端部分に光ビームを照射することにより、この焼結体の先端部分を、連通した気孔が存在しない状態まで粒成長させて、液搬送部３の先端部３２を構成する緻密体を形成する（先端部形成工程）ことにより液搬送部３を製造してもよい。このような工程によれば、接着剤等の接合材料を用いることなく、本体部３１と一体的に先端部３２を形成させることができるので、より容易に液搬送部３を製造することが可能となる。

液印加電極４は、液搬送部３及び液体Ｗに接するように配置されており、液搬送部３及び液体Ｗに電圧を印加する。対向電極５は、液搬送部３の先端３０から所定間隔（２〜３ｍｍ）だけ隔てて配置され、霧化された液体Ｗが通過する開口部５１が電極の中央に形成されている。電圧印加部６は、液印加電極４と対向電極５との間に所定電圧（２〜１０ｋＶ）を印加する直流電源を有しており、例えば、液印加電極４にマイナス電圧を印加し、対向電極５にプラス電圧を印加する。

液体Ｗを静電霧化させる際、液溜め部２内の液体Ｗは、表面張力による毛細管現象により、多孔質体内の連通した気孔、連通孔３３又はスリット３４を介して流路ｆ１で本体部３１の内部を先端部３２付近まで上昇する。先端部３２付近まで搬送された液体Ｗは、先端部３２において外表面のみを通って流路ｆ２で搬送され、液印加電極４と対向電極５の間に印加された電圧により先端３０付近において静電霧化される。

本実施形態の静電霧化装置１によれば、液搬送部３は、液溜め部２から先端３０付近までの本体部３１と、この本体部３１に一体化された先端部３２とを有し、本体部３１が多孔質体等により形成され、先端部３２が内部に連通した気孔を有しない緻密体により形成されているので、毛細管現象により本体部３１を通って先端部３２付近まで搬送された液体Ｗは、先端部３２において、外表面のみを通って搬送され、静電霧化される。このため、搬送される液体Ｗが強酸性又は強アルカリ性であって、この液体Ｗが先端部３２を腐食させるようなことがあっても、先端部３２は外表面以外のところから溶解することがない。従って、先端部３２に多孔質体を使用するよりも材料劣化を抑制でき、液搬送部３の寿命を高めることができる。

次に、本発明の第２の実施形態に係る静電霧化装置について説明する。本実施形態における静電霧化装置１は、液搬送部３の本体部３１が電気伝導性を有する点で第１の実施形態と異なり、他の構成は第１の実施形態と同様である。

本実施形態において、液搬送部３の本体部３１は、金属等の電気伝導度が１０^−９Ｓ・ｃｍ^−１以上となる材料により形成される。このような本体部３１は、例えば、金属粉末をプレス成形や射出成形等により略円柱状に成形し、得られた成形体を、連通した気孔が残る多孔質体が形成される温度で熱処理することにより作製される。

また、プラスチック等の絶縁性材料を略円柱状に成形し、その表面に電気伝導度が１０^−９Ｓ・ｃｍ^−１以上となる電気伝導性材料をメッキ処理やコーティング処理することにより、本体部３１を形成するようにしてもよい。このようにプラスチック等の絶縁性材料の表面を電気伝導性材料で表面処理することにより、本体部３１全体を電気伝導性材料で形成する場合と比べて、より安価に本体部３１を製造することができる。

本実施形態の静電霧化装置１によれば、液搬送部３の本体部３１が電気伝導性を有するので、図５に示されるように、本体部３１と先端部３２の接合位置まで電子を移動させることが可能となる。このため、液体Ｗの電気分解がこの接合位置付近で起こることとなり、電気分解により液体Ｗが酸性又はアルカリ性になった場合においても、その液量は、先端部３２の外表面にある液体Ｗと、テイラーコーンを形成している液体Ｗを合わせた量となり、本体部３１から供給される電気分解されていない中性付近の液体Ｗにより、先端部３２近傍の液体Ｗが強酸性や強アルカリ性で存在し難くなる。このため、液体Ｗによる先端部３２の溶解を抑制することができ、先端部３２の劣化を防止することができる。

次に、本発明の第３の実施形態に係る静電霧化装置について説明する。本実施形態における静電霧化装置１は、液搬送部３の先端部３２が電気伝導性を有する点で第２の実施形態と異なり、他の構成は第２の実施形態と同様である。

本実施形態において、液搬送部の先端部３２は、例えば、金属等の電気伝導度が１０^−９Ｓ・ｃｍ^−１以上となる材料により形成される。このような先端部３２は、例えば、金属粉末をプレス成形や射出成形等により略円錐形状に成形し、得られた成形体を、内部に連通した気孔を有しない緻密体が形成される温度で熱処理することにより作製される。

本実施形態の静電霧化装置１によれば、本体部３１に加えて先端部３２にも電気伝導性を有する材料を用いたので、第２の実施形態より更に先端部３２近傍の液体Ｗが強酸性や強アルカリ性で存在し難くなる。このため、液体Ｗによる先端部３２の溶解を抑制することができ、先端部３２の劣化を防止することができる。

次に、本発明の第４の実施形態に係る静電霧化装置について説明する。図６に示されるように、本実施形態における静電霧化装置１は、先端部３２が、その表面において、液搬送方向（流路ｆ２の方向）に延びる複数のヒダ３５を有する点で他の実施形態と異なる。

本実施形態において、液搬送部３の先端部３２は、例えば、金属又はセラミック粉末をプレス成形や射出成形等により略円錐形状に成形し、得られた成形体を、内部に連通した気孔を有しない緻密体が形成される温度で熱処理することにより略円錐形状の緻密体を作製し、これに切削加工を施してヒダ３５を形成することにより作製される。また、プレス成形や射出成形等によりヒダ３５が形成された略円錐形状の成形体を作製し、これを熱処理することにより先端部３２を作製するようにしてもよい。

本実施形態の静電霧化装置１によれば、先端部３２が、その表面において、液搬送方向に延びる複数のヒダ３５を有するので、先端部３２の外表面の表面張力を増大させることができる。このため、先端部３２の外表面における液体Ｗの搬送量を安定化させることができ、液搬送部３の先端に安定的にテイラーコーンを形成させて、液体Ｗを安定的に静電霧化させることができる。

次に、本発明の第５の実施形態に係る静電霧化装置について説明する。本実施形態における静電霧化装置１は、先端部３２の表面に、親水性のコーティングが施されている点で他の実施形態と異なる。このような親水性のコーティングは、例えば、先端部３２の外表面に親水性のコーティング剤を塗布することにより形成される。

本実施形態の静電霧化装置１においても、先端部３２の外表面の表面張力を増大させることができるので、上記第４の実施形態と同様に、先端部３２の外表面における液体Ｗの搬送量を安定化させることができ、液搬送部３の先端に安定的にテイラーコーンを形成させて、液体Ｗを安定的に静電霧化させることができる。なお、第４の実施形態に係る静電霧化装置１の先端部３２のヒダ３５表面に親水性のコーティング剤を塗布して、先端部３２の外表面の表面張力を更に増大させるようにしてもよい。

次に、本発明の第６の実施形態に係る静電霧化装置について説明する。本実施形態における静電霧化装置１は、先端部３２が金属アルミニウムにより形成され、且つ、その表面に比表面積１００ｍ^２／ｇ以上のγ−アルミナが形成されている点で他の実施形態と異なる。

本実施形態において、液搬送部３の先端部３２は、例えば、金属アルミニウム粉末をプレス成形や射出成形により略円錐形状に成形し、得られた成形体を、内部に連通した気孔を有しない緻密体が形成される温度で熱処理することにより略円錐形状の緻密体を作製し、これを煮沸することにより金属アルミニウム表面に水酸化アルミニウムを形成させ、更に、常温と３００℃乃至４００℃の間で熱処理を繰り返すことにより、金属アルミニウムの表面にγ−アルミナを析出させることにより製造される。

本実施形態の静電霧化装置１においても、先端部３２の外表面に比表面積１００ｍ^２／ｇ以上のγ−アルミナを形成させることにより、先端部３２の外表面の表面張力を増大させることができるので、上記第４及び第５の実施形態と同様に、先端部３２の外表面における液体Ｗの搬送量を安定化させることができ、先端部３２におけるテイラーコーンの発生をより安定化させて、液体Ｗを安定的に静電霧化させることができる。

次に、本発明の第７の実施形態に係る静電霧化装置について説明する。図７に示されるように、本実施形態における静電霧化装置１は、絶縁性材料により形成された略円錐形状の先端部３２の中心付近に、電気伝導性のピン３６が埋設されている点で他の実施形態と異なる。

ピン３６は、直径０．０１ｍｍ以上、１．０ｍｍ以下の電気伝導性を有する材料により形成されており、本体部３１側から先端３０側まで延びるように先端部３２の中心付近に埋設されている。ピン３６を構成する材料は、電気伝導性を有する材料であれば、特に限定されるものではないが、耐腐食性の高い白金や金が望ましい。先端部３２のピン３６以外の部分は、絶縁性材料により形成されており、液搬送部３の本体部３１は、電気伝導性の材料により形成されている。

本実施形態の静電霧化装置１によれば、絶縁性の先端部３２の中心付近に電気伝導性のピン３６が埋没されているので、先端部３２の中心付近に放電を集中させて、液体Ｗを安定的に静電霧化させることができる。

次に、本発明の第８の実施形態に係る静電霧化装置について説明する。図８に示されるように、本実施形態における静電霧化装置１は、先端部３２の中心付近に突起部３７が形成されている点で他の実施形態と異なる。

突起部３７は略円錐形状を有しており、底面の直径０．０１ｍｍ〜０．１ｍｍ、高さ０．１ｍｍ以下となるように形成されている。このような突起部３７は、例えば、金属又はセラミック粉末をプレス成形又は射出成形等し、緻密体が形成される温度で熱処理することにより先端部３２の先端に一体的に形成させることが可能である。また、略円錐形状の先端部３２を製造した後に、切削加工等することにより先端部３２の中心付近に突起部３７を形成させるようにしてもよい。なお、突起部３７の形状は、略円錐形状に限定されるものではなく、例えば、四角錐等のような多角錐であってもよい。

本実施形態の静電霧化装置１によれば、突起部３７に電荷が集中し、突起部３７の周囲にテイラーコーンＴが１つだけ形成され易くなるので、突起部３７付近に放電ｄを集中させることができ、液体Ｗを安定的に静電霧化させることができる。

なお、本発明は上記の実施例に限定されるものではなく、発明の趣旨を変更しない範囲で種々の変形が可能である。

本発明の第１の実施形態に係る静電霧化装置の全体構成を示す断面図。 同装置の液搬送部の本体部として毛細管構造を有する多孔質体を使用した場合における、垂直方向に分断した先端部付近の断面図。 （ａ）は同本体部として先端部付近まで延設された連通孔を有する構造体を使用した場合における、水平方向に分断した本体部の断面図、（ｂ）は垂直方向に分断した同先端部付近の断面図。 （ａ）は同本体部として先端部付近まで延設されたスリットを有する構造体を使用した場合における、水平方向に分断した本体部の断面図、（ｂ）は垂直方向に分断した同先端部付近の断面図。 第２の実施形態に係る静電霧化装置の液搬送部の先端部付近を垂直方向に分断した断面図。 （ａ）は第４の実施形態に係る静電霧化装置の液搬送部の上面図、（ｂ）は同液搬送部の先端部付近の側面図。 第７の実施形態に係る静電霧化装置の液搬送部の先端部付近を垂直方向に分断した断面図。 第８の実施形態に係る静電霧化装置の液搬送部の先端部付近を垂直方向に分断した断面図。 従来例による静電霧化装置の全体構成を示す断面図。 （ａ）（ｂ）は従来例による静電霧化装置の液搬送部の先端付近を示す図。

符号の説明

１ 静電霧化装置
２ 液溜め部
３ 液搬送部
４ 液印加電極
５ 対向電極
６ 電圧印加部
３０ 先端
３１ 本体部
３２ 先端部
３３ 連通孔
３４ スリット
３５ ヒダ
３６ ピン
３７ 突起部

Claims (6)

1. 霧化させる液体を溜める液溜め部と、前記液溜め部から延出され、該液溜め部の外部に液体を搬送する液搬送部と、液体及び前記液搬送部に電圧を印加する液印加電極と、前記液搬送部の先端に対向するように、且つ、液搬送部に触れないように配置された対向電極と、前記液印加電極と前記対向電極との間に電圧を印加する電圧印加部とを備えた静電霧化装置において、
   前記液搬送部は、前記液溜め部から先端付近までの本体部と、この本体部に一体化された先端部とを有し、
   前記本体部は、毛細管構造を有する多孔質体、又は液溜め部から液溜め部の外部に位置する先端側まで延設された連通孔若しくはスリットを有する構造体、又はこれらの複合体で形成され、前記先端部は、液体がその外表面を搬送されるように、内部に連通した気孔を有しない緻密体により形成されていることを特徴とする静電霧化装置。
2. 前記先端部が、耐薬品性及び絶縁性を有するセラミックの緻密体により形成されていることを特徴とする請求項１に記載の静電霧化装置。
3. 前記先端部が、その表面において、液搬送方向に延びる複数のヒダを有することを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の静電霧化装置。
4. 前記先端部の表面に、親水性のコーティングが施されていることを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれかに記載の静電霧化装置。
5. 前記先端部が金属アルミニウムにより形成され、且つ、その表面に比表面積１００ｍ^２／ｇ以上のγ−アルミナが形成されていることを特徴とする請求項１に記載の静電霧化装置。
6. 請求項１又は請求項２に記載の静電霧化装置の液搬送部を製造する方法であって、
   金属又はセラミックの粉末材料を前記液搬送部の形状に成形する成形工程と、
   前記成形工程により得られた成形体を、連通した気孔が残る状態に焼結して、前記液搬送部の本体部を構成する多孔質体を形成する焼結工程と、
   前記焼結工程により得られた焼結体の先端部分に光ビームを照射することにより、該焼結体の先端部分を、連通した気孔が存在しない状態まで粒成長させ、前記液搬送部の先端部を構成する緻密体を形成する先端部形成工程とを備えることを特徴とする液搬送部の製造方法。

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