JP2006086456A - Circuit for logical change, and semiconductor device having the circuit - Google Patents

Circuit for logical change, and semiconductor device having the circuit Download PDF

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JP2006086456A JP2004271990A JP2004271990A JP2006086456A JP 2006086456 A JP2006086456 A JP 2006086456A JP 2004271990 A JP2004271990 A JP 2004271990A JP 2004271990 A JP2004271990 A JP 2004271990A JP 2006086456 A JP2006086456 A JP 2006086456A
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a semiconductor device having a circuit for logical changes for reducing power consumption, by suppressing the generation of leak currents and a semiconductor device having the circuit for logic changes. <P>SOLUTION: This circuit for logical change is provided for use in the change of the logic configuration of a logic circuit, and this semiconductor device is provided with the circuit for logic changes. The circuit for logic changes is provided with a logic element for use in the change of the logic configuration, and connection wiring for connecting power source wiring or ground wiring is connected to the logic elements; when the logic element is used, the connection wiring and the power source wiring are connected via a contact; and when the logic element is not used, the connection wiring and the ground wiring are connected via the contact. <P>COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

Description

本発明は、半導体基板に形成した論理素子からなる論理回路の論理構成を変更可能とするために別途設けた論理素子からなる論理変更用回路、及びこの論理変更用回路を有する半導体装置に関するものである。   The present invention relates to a logic change circuit including a logic element separately provided to change a logic configuration of a logic circuit formed of a logic element formed on a semiconductor substrate, and a semiconductor device having the logic change circuit. is there.

従来、半導体基板にNAND素子やNOR素子などの論理素子を所要の位置に形成して論理回路を構成した半導体装置が知られている(例えば、特許文献1参照。)。   2. Description of the Related Art Conventionally, a semiconductor device in which a logic circuit is configured by forming logic elements such as NAND elements and NOR elements on a semiconductor substrate at a required position is known (see, for example, Patent Document 1).

このように半導体基板上に論理回路を構成する場合には、所望の論理回路だけでなく、形成した論理回路の論理構成を変更可能とするために複数のNAND素子などで構成した論理変更用回路を設けている。   When a logic circuit is configured on a semiconductor substrate in this way, not only a desired logic circuit but also a logic changing circuit configured by a plurality of NAND elements or the like so that the logic configuration of the formed logic circuit can be changed. Is provided.

そして、論理回路の論理構成に変更の必要性が生じ、その変更を論理変更用回路のNAND素子などを用いることで可能な場合には、配線パターンの変更によって所望の論理構成となる論理回路を形成して、半導体装置に大きな設計変更が生じることを防止し、製造コストの低減を図っている。   If there is a need to change the logic configuration of the logic circuit and the change is possible by using a NAND element or the like of the logic changing circuit, a logic circuit having a desired logic configuration can be obtained by changing the wiring pattern. Thus, a large design change is prevented from occurring in the semiconductor device, and the manufacturing cost is reduced.

例えば、このような論理変更用回路におけるNAND素子は、図4のレイアウト図に示すように、並列接続した第1pチャネル型トランジスタ110と第2pチャネル型トランジスタ120と、直列接続した第1nチャネル型トランジスタ210と第2nチャネル型トランジスタ220とで構成している。   For example, the NAND element in such a logic change circuit includes a first p-channel transistor 110 and a second p-channel transistor 120 connected in parallel, and a first n-channel transistor connected in series, as shown in the layout diagram of FIG. 210 and a second n-channel transistor 220.

すなわち、第1及び第2pチャネル型トランジスタ110,120のソースはそれぞれ電源配線300に接続するとともに、第1及び第2pチャネル型トランジスタ210,220のドレインは出力配線400に接続し、この出力配線400を図4では第2nチャネル型トランジスタ220のソースに接続し、この第2nチャネル型トランジスタ220のドレインを第1nチャネル型トランジスタ210のソースに接続し、この第1nチャネル型トランジスタ210のドレインをグランド配線500に接続している。   That is, the sources of the first and second p-channel transistors 110 and 120 are connected to the power supply wiring 300, respectively, and the drains of the first and second p-channel transistors 210 and 220 are connected to the output wiring 400. The drain of the second n-channel transistor 220 is connected to the source of the first n-channel transistor 210, and the drain of the first n-channel transistor 210 is connected to the ground wiring 500. ing.

さらに、第1pチャネル型トランジスタ110のゲート及び第1nチャネル型トランジスタ210のゲートには第1素子配線610を接続し、第2pチャネル型トランジスタ210のゲート及び第2nチャネル型トランジスタ220のゲートには第2素子配線620を接続している。   Further, the first element wiring 610 is connected to the gate of the first p-channel transistor 110 and the gate of the first n-channel transistor 210, and the gate of the second p-channel transistor 210 and the gate of the second n-channel transistor 220 are connected to the first n-channel transistor 210. Two-element wiring 620 is connected.

このようなNAND素子において、第1及び第2pチャネル型トランジスタ110,120は電源配線300と常に接続して、第1及び第2pチャネル型トランジスタによって通電を遮断するようにしている。
特開平08−288400号公報
In such a NAND element, the first and second p-channel transistors 110 and 120 are always connected to the power supply wiring 300, and the current is cut off by the first and second p-channel transistors.
Japanese Patent Laid-Open No. 08-288400

しかしながら、昨今、半導体回路の高集積化の要求にともなう微細化技術の向上にともなって上記した各トランジスタが微細化されるにつれて、特に、第1及び第2pチャネル型トランジスタのソースには電源配線が常に接続されていることにより、リーク電流が生じやすいという問題があった。   However, as the above-described transistors are miniaturized as the miniaturization technology is improved in response to the demand for higher integration of semiconductor circuits, in particular, power source wirings are provided at the sources of the first and second p-channel transistors. There is a problem that leakage current tends to occur due to the constant connection.

特に、論理変更用回路では、論理回路における論理構成に問題がなければ使用する必要がないにもかかわらず、リーク電流の発生による電力消費が生じていることとなり、消費電力の低減を阻害するおそれがあった。   In particular, the logic change circuit consumes power due to the occurrence of leakage current even though it does not need to be used if there is no problem in the logic configuration of the logic circuit, which may hinder the reduction of power consumption. was there.

そこで、本発明の論理変更用回路では、論理回路の論理構成変更に用いる論理素子を有する論理変更用回路において、論理素子には、電源配線またはグランド配線を接続可能とする接続配線を設けた。   Therefore, in the logic change circuit according to the present invention, in the logic change circuit having the logic element used for changing the logic configuration of the logic circuit, the logic element is provided with a connection wiring that can connect a power supply wiring or a ground wiring.

さらに、接続配線には、電源配線と上下に重なってコンタクトにより電源配線と接続可能としたコンタクト形成領域と、グランド配線と上下に重なってコンタクトによりグランド配線と接続可能としたコンタクト形成領域とを設けたことにも特徴を有し、論理素子を使用する場合には、接続配線と電源配線とをコンタクトを介して接続し、論理素子を使用しない場合には、接続配線とグランド配線とをコンタクトを介して接続したことにも特徴を有するものである。   In addition, the connection wiring is provided with a contact formation area that can be connected to the power supply wiring by a contact that overlaps the power supply wiring and a contact formation area that can be connected to the ground wiring by a contact that overlaps the ground wiring. When using logic elements, connect the connection wiring and power supply wiring via contacts. When not using logic elements, connect the connection wiring and ground wiring to the contacts. The connection is also characteristic.

また、本発明の半導体装置では、論理回路の論理構成変更に用いる論理変更用回路を有する半導体装置において、論理変更用回路には論理構成の変更に用いる論理素子を設け、この論理素子には、電源配線またはグランド配線を接続可能とする接続配線を設けた。   In the semiconductor device of the present invention, in the semiconductor device having the logic change circuit used for changing the logic configuration of the logic circuit, the logic change circuit is provided with a logic element used for changing the logic configuration. Connection wiring that enables connection of power supply wiring or ground wiring is provided.

さらに、接続配線には、電源配線と上下に重なってコンタクトにより電源配線と接続可能としたコンタクト形成領域と、グランド配線と上下に重なってコンタクトによりグランド配線と接続可能としたコンタクト形成領域とを設けたことにも特徴を有し、論理素子を使用する場合には、接続配線と電源配線とをコンタクトを介して接続し、論理素子を使用しない場合には、接続配線とグランド配線とをコンタクトを介して接続したことにも特徴を有するものである。   In addition, the connection wiring is provided with a contact formation area that can be connected to the power supply wiring by a contact that overlaps the power supply wiring and a contact formation area that can be connected to the ground wiring by a contact that overlaps the ground wiring. When using logic elements, connect the connection wiring and power supply wiring via contacts. When not using logic elements, connect the connection wiring and ground wiring to the contacts. The connection is also characteristic.

請求項1記載の発明によれば、論理回路の論理構成を変更するために用いる論理素子を有する論理変更用回路において、論理素子には、電源配線またはグランド配線を接続可能とする接続配線を設けたことによって、論理素子と電源配線とを非接続状態とすることができ、リーク電流の発生を防止して消費電力の低減を図ることができる。   According to the first aspect of the present invention, in the logic changing circuit having the logic element used for changing the logic configuration of the logic circuit, the logic element is provided with the connection wiring that can connect the power supply wiring or the ground wiring. As a result, the logic element and the power supply wiring can be disconnected, and leakage current can be prevented from being generated, thereby reducing power consumption.

請求項2記載の発明によれば、接続配線には、電源配線と上下に重なってコンタクトにより電源配線と接続可能としたコンタクト形成領域と、グランド配線と上下に重なってコンタクトによりグランド配線と接続可能としたコンタクト形成領域とを設けたことによって、コンタクトを形成するために用いるマスクパターンのコンタクトの形成位置を変更することにより、論理素子と電源配線との接続状態を切り換えることができ、論理構成の変更にともなってパターンの変更が必要となるマスクパターンを削減して、低コスト化を図ることができる。   According to the second aspect of the present invention, the connection wiring can be connected to the power supply wiring by being contacted with the power supply wiring by being vertically connected to the power supply wiring, and can be connected to the ground wiring by being contacted by being vertically overlapped with the ground wiring. By changing the contact formation position of the mask pattern used for forming the contact, the connection state between the logic element and the power supply wiring can be switched. It is possible to reduce the cost by reducing the number of mask patterns that need to be changed along with the change.

請求項3記載の発明によれば、論理素子を使用する場合には、接続配線と電源配線とをコンタクトを介して接続し、論理素子を使用しない場合には、接続配線とグランド配線とをコンタクトを介して接続したことによって、論理素子を使用しない場合には、論理素子にグランド配線が接続されることにより、余計なリーク電流や寄生容量の発生を防止できる。   According to the third aspect of the present invention, when the logic element is used, the connection wiring and the power supply wiring are connected via the contact, and when the logic element is not used, the connection wiring and the ground wiring are contacted. When the logic element is not used, it is possible to prevent generation of extra leakage current and parasitic capacitance by connecting the ground wiring to the logic element.

請求項4記載の発明によれば、論理回路の論理構成変更に用いる論理変更用回路を有する半導体装置において、論理変更用回路には論理構成の変更に用いる論理素子を設け、この論理素子には、電源配線またはグランド配線を接続可能とする接続配線を設けたことによって、請求項1記載の発明と同様に、論理素子と電源配線とを非接続状態とすることができるので、リーク電流の発生を防止して消費電力を低減させた半導体装置を提供可能とすることができる。   According to the fourth aspect of the present invention, in the semiconductor device having the logic changing circuit used for changing the logic configuration of the logic circuit, the logic changing circuit is provided with the logic element used for changing the logic configuration. By providing the connection wiring that can connect the power supply wiring or the ground wiring, the logic element and the power supply wiring can be disconnected from each other in the same manner as in the first aspect of the invention. Thus, a semiconductor device with reduced power consumption can be provided.

請求項5記載の発明によれば、接続配線には、電源配線と上下に重なってコンタクトにより電源配線と接続可能としたコンタクト形成領域と、グランド配線と上下に重なってコンタクトによりグランド配線と接続可能としたコンタクト形成領域とを設けたことによって、請求項2記載の発明と同様に、コンタクトを形成するために用いるマスクパターンのコンタクトの形成位置を変更することにより、論理素子と電源配線との接続状態を切り換えることができ、論理構成の変更にともなってパターンの変更が必要となるマスクパターンを削減できるので、半導体装置の低コスト化を図ることができる。   According to the fifth aspect of the present invention, the connection wiring can be connected to the power supply wiring by being contacted with the power supply wiring in the vertical direction, and can be connected to the ground wiring by being contacted with the ground wiring in the vertical direction. In the same manner as in the second aspect of the present invention, by changing the formation position of the contact of the mask pattern used for forming the contact, the connection between the logic element and the power supply wiring is achieved. The state can be switched, and mask patterns that need to be changed in accordance with the change in the logical configuration can be reduced, so that the cost of the semiconductor device can be reduced.

請求項6記載の発明によれば、論理素子を使用する場合には、接続配線と電源配線とをコンタクトを介して接続し、論理素子を使用しない場合には、接続配線とグランド配線とをコンタクトを介して接続したことによって、請求項3記載の発明と同様に、論理素子を使用しない場合には、論理素子にグランド配線が接続されることにより、余計なリーク電流や寄生容量の発生を防止して、消費電力を低減させた半導体装置を提供可能とすることができる。   According to the sixth aspect of the present invention, when the logic element is used, the connection wiring and the power supply wiring are connected via the contact, and when the logic element is not used, the connection wiring and the ground wiring are contacted. When the logic element is not used, the ground wiring is connected to the logic element to prevent generation of extra leakage current and parasitic capacitance. Thus, a semiconductor device with reduced power consumption can be provided.

本発明の論理変更用回路及びこの論理変更用回路を有する半導体装置は、論理変更用回路に論理回路の論理構成を変更するために用いる論理素子を設けており、この論理素子には、電源配線またはグランド配線を接続可能とする接続配線を設けているものである。   The logic change circuit of the present invention and the semiconductor device having the logic change circuit are provided with a logic element used for changing the logic configuration of the logic circuit in the logic change circuit. Alternatively, connection wiring that enables connection of ground wiring is provided.

すなわち、論理素子は、物理的に電源配線と切断した状態とするために接続配線をもちいており、しかも必要に応じて、この接続配線によって論理素子とグランド配線とを接続できるようにしているものである。   That is, the logic element uses connection wiring to physically disconnect from the power supply wiring, and the logic element and ground wiring can be connected by this connection wiring as necessary. It is.

このように、論理素子は電源配線と物理的に切断されていることによって、リーク電流の発生を抑制でき、消費電力の低減を図ることができる。   In this manner, since the logic element is physically disconnected from the power supply wiring, generation of a leakage current can be suppressed and power consumption can be reduced.

さらに、論理素子を使用する場合には、接続配線と電源配線とをコンタクトを介して接続し、論理素子を使用しない場合には、接続配線とグランド配線とをコンタクトを介して接続するようにした場合には、論理素子を使用しない場合に論理素子にグランド配線を接続しておくことにより、余計なリーク電流や寄生容量の発生を防止できるので、消費電力のさらなる低減を図ることができる。   In addition, when logic elements are used, connection wiring and power supply wiring are connected via contacts, and when logic elements are not used, connection wiring and ground wiring are connected via contacts. In some cases, by connecting a ground wiring to the logic element when the logic element is not used, it is possible to prevent the occurrence of extra leakage current and parasitic capacitance, thereby further reducing power consumption.

しかも、接続配線には、電源配線と上下に重なってコンタクトにより電源配線と接続可能としたコンタクト形成領域と、グランド配線と上下に重なってコンタクトによりグランド配線と接続可能としたコンタクト形成領域とを設けておくことにより、コンタクトを形成するために用いるマスクパターンのコンタクトの形成位置を変更するだけで、容易に論理素子と電源配線との接続状態を切り換えることができる。したがって、論理構成の変更にともなってパターンの変更が必要となるマスクパターンを削減でき、低コスト化を図ることができる。   In addition, the connection wiring is provided with a contact formation area that can be connected to the power supply wiring by a contact that overlaps the power supply wiring and a contact formation area that can be connected to the ground wiring by a contact that overlaps the ground wiring. Accordingly, the connection state between the logic element and the power supply wiring can be easily switched only by changing the contact formation position of the mask pattern used for forming the contact. Therefore, it is possible to reduce the number of mask patterns that need to be changed in accordance with the change in the logical configuration, and to reduce the cost.

以下において、図面に基づいて本発明の実施形態を詳説する。本発明の半導体装置は、図1の模式図に示すように、半導体基板10に既知の半導体回路形成技術を用いて半導体回路を形成しているものであって、半導体基板10の所要の位置には、複数の論理素子が形成されるとともに、それぞれの論理素子を所要の配線で接続することにより所要の論理構成とした論理回路が形成される論理回路領域11を設けている。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. As shown in the schematic diagram of FIG. 1, the semiconductor device of the present invention has a semiconductor circuit formed on a semiconductor substrate 10 using a known semiconductor circuit forming technique. Is provided with a logic circuit region 11 in which a plurality of logic elements are formed and a logic circuit having a required logic configuration is formed by connecting each logic element with a required wiring.

そして、この論理回路領域11の近傍には、論理回路領域11に構築した論理構成の変更を行いたい場合に使用する予備的なNAND素子やNOR素子などの論理素子を設けた論理変更用回路を形成する論理変更用回路領域12を設けている。なお、論理変更用回路領域12に形成される論理素子は、論理回路領域11に形成される論理素子の形成と同時に形成している。   In the vicinity of the logic circuit area 11, a logic change circuit provided with a preliminary logic element such as a NAND element or a NOR element used when the logic configuration constructed in the logic circuit area 11 is to be changed is provided. A logic change circuit region 12 to be formed is provided. The logic elements formed in the logic change circuit region 12 are formed simultaneously with the formation of the logic elements formed in the logic circuit region 11.

このような論理変更用回路領域12に形成される論理変更用回路の論理素子、例えばNAND素子は、以下のように構成している。   The logic elements of the logic changing circuit formed in the logic changing circuit area 12, such as NAND elements, are configured as follows.

図2のレイアウト図に示すように、論理変更用回路領域12におけるNAND素子20は、並列接続した第1pチャネル型トランジスタ31と第2pチャネル型トランジスタ32と、直列接続した第1nチャネル型トランジスタ41と第2nチャネル型トランジスタ42とで構成している。   As shown in the layout diagram of FIG. 2, the NAND element 20 in the logic change circuit region 12 includes a first p-channel transistor 31 and a second p-channel transistor 32 connected in parallel, and a first n-channel transistor 41 connected in series. The second n-channel transistor 42 is used.

すなわち、第1及び第2pチャネル型トランジスタ31,32のドレインは出力配線50に接続し、この出力配線50を図2では第2nチャネル型トランジスタ42のソースに接続し、この第2nチャネル型トランジスタ42のドレインを第1nチャネル型トランジスタ41のソースに接続し、この第1nチャネル型トランジスタ41のドレインをグランド用接続配線60aを介してグランド配線60に接続している。   That is, the drains of the first and second p-channel transistors 31, 32 are connected to the output wiring 50, and this output wiring 50 is connected to the source of the second n-channel transistor 42 in FIG. Are connected to the source of the first n-channel transistor 41, and the drain of the first n-channel transistor 41 is connected to the ground wiring 60 through the ground connection wiring 60a.

さらに、第1pチャネル型トランジスタ31のゲート及び第1nチャネル型トランジスタ41のゲートには第1素子配線71を接続し、第2pチャネル型トランジスタ41のゲート及び第2nチャネル型トランジスタ42のゲートには第2素子配線72を接続している。   Further, the first element wiring 71 is connected to the gate of the first p-channel transistor 31 and the gate of the first n-channel transistor 41, and the gate of the second p-channel transistor 41 and the gate of the second n-channel transistor 42 are connected to the first n-channel transistor 41. Two-element wiring 72 is connected.

特に、本実施形態では、電源配線80と接続する第1及び第2pチャネル型トランジスタ31,32のソースは、それぞれ第1pチャネル型トランジスタ31のソース電極31s及び第2pチャネル型トランジスタ32のソース電極32sの上方に所要の絶縁層(図示せず)を介して設けた第1接続配線91及び第2接続配線92を介して接続するように構成している。   In particular, in the present embodiment, the sources of the first and second p-channel transistors 31, 32 connected to the power supply wiring 80 are the source electrode 31s of the first p-channel transistor 31 and the source electrode 32s of the second p-channel transistor 32, respectively. The first connection wiring 91 and the second connection wiring 92 provided via a required insulating layer (not shown) above are connected.

すなわち、第1接続配線91には、ソース電極31sと上下に重なるように伸延させて第1素子接続用コンタクト形成領域91aを設けるとともに、電源配線80と上下に重なるように伸延させて第1電源配線接続用コンタクト形成領域91bを設けている。   That is, the first connection wiring 91 is provided with a first element connection contact formation region 91a extending vertically so as to overlap the source electrode 31s, and is extended so as to overlap vertically with the power supply wiring 80. A contact formation region 91b for wiring connection is provided.

そして、第1素子接続用コンタクト形成領域91aにはソース電極31sと第1接続配線91とを接続する第1素子用コンタクト31cを設けるとともに、第1電源配線接続用コンタクト形成領域91bには電源配線80と第1接続配線91とを接続する第1電源配線用コンタクト81cを設けることにより、第1接続配線91により第1pチャネル型トランジスタ31と電源配線80とを接続している。   A first element contact 31c for connecting the source electrode 31s and the first connection wiring 91 is provided in the first element connection contact formation area 91a, and a power supply wiring is provided in the first power supply wiring connection contact formation area 91b. By providing a first power supply wiring contact 81 c that connects 80 and the first connection wiring 91, the first p-channel transistor 31 and the power supply wiring 80 are connected by the first connection wiring 91.

また、第2接続配線92には、ソース電極32sと上下に重なるように伸延させて第2素子接続用コンタクト形成領域92aを設けるとともに、電源配線80と上下に重なるように伸延させて第2電源配線接続用コンタクト形成領域92bを設けている。   In addition, the second connection wiring 92 is provided with a second element connection contact formation region 92a extending so as to overlap with the source electrode 32s, and is extended so as to overlap with the power supply wiring 80 so as to overlap the second power supply. A contact formation region 92b for wiring connection is provided.

そして、第2素子接続用コンタクト形成領域92aにはソース電極32sと第2接続配線92とを接続する第2素子用コンタクト32cを設けるとともに、第2電源配線接続用コンタクト形成領域92bには電源配線80と第2接続配線92とを接続する第2電源配線用コンタクト82cを設けることにより、第2接続配線92により第2pチャネル型トランジスタ32と電源配線80とを接続している。   A second element contact 32c for connecting the source electrode 32s and the second connection wiring 92 is provided in the second element connection contact formation area 92a, and a power supply wiring is provided in the second power supply wiring connection contact formation area 92b. By providing a second power supply wiring contact 82 c that connects 80 and the second connection wiring 92, the second p-channel transistor 32 and the power supply wiring 80 are connected by the second connection wiring 92.

なお、図2中、81は、電源配線80と第1接続配線91の第1電源配線接続用コンタクト形成領域91bとの第1電源配線用コンタクト81cによる接続を容易とするために電源配線80から引き出した第1電源引出部であり、82は、電源配線80と第2接続配線92の第2電源配線接続用コンタクト形成領域92bとの第2電源配線用コンタクト82cによる接続を容易とするために電源配線80から引き出した第2電源引出部である。   In FIG. 2, reference numeral 81 denotes a power supply wiring 80 and a first power supply wiring connection contact formation region 91 b of the first connection wiring 91 to facilitate connection by the first power supply wiring contact 81 c. The drawn-out first power supply lead portion 82 is provided to facilitate connection of the power supply wiring 80 and the second power supply wiring connection contact forming region 92b of the second connection wiring 92 by the second power supply wiring contact 82c. This is a second power lead portion drawn from the power wiring 80.

ここで、第1電源配線用コンタクト81c及び第2電源配線用コンタクト82cを形成しない場合には、第1接続配線91と電源配線80、及び第2接続配線92と電源配線80とが非接続となって、第1pチャネル型トランジスタ31及び第2pチャネル型トランジスタ32を電源配線80と非接続とすることができる。   Here, when the first power supply wiring contact 81c and the second power supply wiring contact 82c are not formed, the first connection wiring 91 and the power supply wiring 80, and the second connection wiring 92 and the power supply wiring 80 are not connected. Thus, the first p-channel transistor 31 and the second p-channel transistor 32 can be disconnected from the power supply wiring 80.

このように第1pチャネル型トランジスタ31及び第2pチャネル型トランジスタ32を電源配線80と非接続とすることによってリーク電流が発生することを抑制でき、電力消費を抑制できる。   Thus, by making the first p-channel transistor 31 and the second p-channel transistor 32 disconnected from the power supply wiring 80, it is possible to suppress the occurrence of a leakage current and to suppress power consumption.

すなわち、論理変更用回路の論理素子において使用しない論理素子では、電源配線80との接続に用いる第1電源配線用コンタクト81c及び第2電源配線用コンタクト82cなどの電源配線用コンタクトを形成しないことによって電源配線80と非接続とすることにより、リーク電流が発生することを抑制し、消費電力が増大することを抑制している。   In other words, in the logic element that is not used in the logic element of the logic change circuit, the power supply wiring contacts such as the first power supply wiring contact 81c and the second power supply wiring contact 82c used for connection to the power supply wiring 80 are not formed. By disconnecting from the power supply wiring 80, the occurrence of leakage current is suppressed, and the increase in power consumption is suppressed.

さらに、第1接続配線91には、グランド配線60と上下に重なるように伸延させて第1グランド配線接続用コンタクト形成領域91cを設けるとともに、第2接続配線92には、グランド配線60と上下に重なるように伸延させて第2グランド配線接続用コンタクト形成領域92cを設けている。   Further, the first connection wiring 91 is provided with a first ground wiring connection contact formation region 91c extending so as to overlap the ground wiring 60, and the second connection wiring 92 is provided above and below the ground wiring 60. A second ground wiring connection contact formation region 92c is provided so as to be overlapped.

図1中、61は、グランド配線60と第1接続配線91の第1グランド配線接続用コンタクト形成領域91cとのコンタクトの形成による接続を容易とするためにグランド配線60から引き出した第1グランド引出部であり、62は、グランド配線60と第2接続配線92の第2グランド配線接続用コンタクト形成領域92cとのコンタクトの形成による接続を容易とするためにグランド配線60から引き出した第2グランド引出部である。   In FIG. 1, reference numeral 61 denotes a first ground lead drawn from the ground wiring 60 to facilitate connection by forming a contact between the ground wiring 60 and the first ground wiring connection contact forming region 91 c of the first connection wiring 91. 62 is a second ground lead drawn from the ground wiring 60 for facilitating connection by forming a contact between the ground wiring 60 and the second ground wiring connection contact forming region 92c of the second connection wiring 92. Part.

そして、第1電源配線用コンタクト81c及び第2電源配線用コンタクト82cを設けないことにより、NAND素子20を電源配線80と非接続としている場合には、図3に示すように、第1グランド配線接続用コンタクト形成領域91cにグランド配線60と第1接続配線91とを接続する第1グランド配線用コンタクト61cを設けて、第1接続配線91により第1pチャネル型トランジスタ31とグランド配線60とを接続するとともに、第2グランド配線接続用コンタクト形成領域92cにグランド配線60と第1接続配線91とを接続する第2グランド配線用コンタクト62cを設けて、第2接続配線92により第2pチャネル型トランジスタ32とグランド配線60とを接続している。   If the NAND element 20 is not connected to the power supply line 80 by not providing the first power supply line contact 81c and the second power supply line contact 82c, as shown in FIG. A first ground wiring contact 61c for connecting the ground wiring 60 and the first connection wiring 91 is provided in the connection contact formation region 91c, and the first p-channel transistor 31 and the ground wiring 60 are connected by the first connection wiring 91. At the same time, a second ground wiring contact 62c for connecting the ground wiring 60 and the first connection wiring 91 is provided in the second ground wiring connection contact forming region 92c, and the second p-channel type transistor 32 is provided by the second connection wiring 92. And the ground wiring 60 are connected.

このように、電源配線80と非接続として使用しない論理素子は、第1接続配線91及び第2接続配線92を介してグランド配線60と接続することにより、使用していない論理素子に余計なリーク電流や寄生容量が発生することを抑制できる。   As described above, a logic element that is not used as a non-connection with the power supply wiring 80 is connected to the ground wiring 60 via the first connection wiring 91 and the second connection wiring 92, thereby causing extra leakage to the unused logic elements. Generation of current and parasitic capacitance can be suppressed.

なお、図3のNAND素子20'では、電源配線80に第1電源引出部81及び第2電源引出部82、及びグランド配線60に第1グランド引出部61及び第2グランド引出部62を設けないものである。   In the NAND element 20 ′ of FIG. 3, the first power supply lead 81 and the second power supply lead 82 are not provided on the power supply wiring 80, and the first ground lead 61 and the second ground lead 62 are not provided on the ground wiring 60. Is.

上記したように、NAND素子20,20'の第1接続配線91及び第2接続配線92を介した電源配線80またはグランド配線60との接続は、第1電源配線用コンタクト81c及び第2電源配線用コンタクト82c、または第1グランド配線用コンタクト61c及び第2グランド配線用コンタクト62cにより行うことによって、コンタクト81c,82c,61c,62cを形成するために用いるマスクパターンのコンタクト81c,82c,61c,62cの形成位置を変更することにより、論理素子であるNAND素子20,20'と電源配線80あるいはグランド配線60との接続状態を切り換えることができる。   As described above, the connection of the NAND elements 20, 20 'to the power supply wiring 80 or the ground wiring 60 via the first connection wiring 91 and the second connection wiring 92 is performed by connecting the first power supply wiring contact 81c and the second power supply wiring. Contact 82c, or mask pattern contacts 81c, 82c, 61c, 62c used to form the contacts 81c, 82c, 61c, 62c by the first ground wiring contact 61c and the second ground wiring contact 62c. By changing the formation position, the connection state between the NAND elements 20, 20 ′, which are logic elements, and the power supply wiring 80 or the ground wiring 60 can be switched.

したがって、論理構成の変更にともなってパターンの変更が必要となるマスクパターンをできるだけ少なくすることができ、低コスト化を図ることができる。   Therefore, it is possible to reduce the number of mask patterns that need to be changed as the logical configuration changes, and to reduce the cost.

本発明に係る半導体装置の平面模式図である。1 is a schematic plan view of a semiconductor device according to the present invention. 本発明に係る論理変更用回路のレイアウト図である。FIG. 4 is a layout diagram of a logic change circuit according to the present invention. 他の実施形態の論理変更用回路のレイアウト図である。FIG. 6 is a layout diagram of a logic change circuit according to another embodiment. 従来の論理変更用回路のレイアウト図である。It is a layout diagram of a conventional logic change circuit.

符号の説明Explanation of symbols

20 NAND素子
31 第1pチャネル型トランジスタ
31c 第1素子用コンタクト
32 第2pチャネル型トランジスタ
32c 第2素子用コンタクト
41 第1nチャネル型トランジスタ
42 第2nチャネル型トランジスタ
50 出力配線
60 グランド配線
60a グランド用接続配線
61c 第1グランド配線用コンタクト
62c 第2グランド配線用コンタクト
71 第1素子配線
72 第2素子配線
80 電源配線
81c 第1電源配線用コンタクト
82c 第2電源配線用コンタクト
91 第1接続配線
91a 第1素子接続用コンタクト形成領域
91b 第1電源配線接続用コンタクト形成領域
91c 第1グランド配線接続用コンタクト形成領域
92 第2接続配線
92a 第2素子接続用コンタクト形成領域
92b 第2電源配線接続用コンタクト形成領域
92c 第2グランド配線接続用コンタクト形成領域
20 NAND element
31 First p-channel transistor
31c Contact for first element
32 2nd p-channel transistor
32c Contact for second element
41 1st n-channel transistor
42 2nd n-channel transistor
50 Output wiring
60 Ground wiring
60a Ground connection wiring
61c First ground wiring contact
62c Contact for second ground wiring
71 First element wiring
72 Second element wiring
80 Power supply wiring
81c Contact for first power supply wiring
82c Contact for second power supply wiring
91 First connection wiring
91a Contact formation region for first element connection
91b Contact formation area for connecting the first power supply wiring
91c Contact formation area for first ground wiring connection
92 Second connection wiring
92a Contact formation area for second element connection
92b Second power line connection contact formation area
92c Contact formation area for second ground wiring connection

Claims (6)

論理回路の論理構成変更に用いる論理素子を有する論理変更用回路において、
前記論理素子には、電源配線またはグランド配線を接続可能とする接続配線を設けたことを特徴とする論理変更用回路。
In a logic changing circuit having a logic element used for changing the logic configuration of the logic circuit,
A logic change circuit, wherein the logic element is provided with a connection wiring that can connect a power supply wiring or a ground wiring.
前記接続配線には、前記電源配線と上下に重なってコンタクトにより前記電源配線と接続可能としたコンタクト形成領域と、前記グランド配線と上下に重なってコンタクトにより前記グランド配線と接続可能としたコンタクト形成領域とを設けたことを特徴とする請求項1記載の論理変更用回路。   The connection wiring includes a contact formation region that can be connected to the power supply wiring by a contact that overlaps the power supply wiring and a contact formation region that can be connected to the ground wiring by a contact that overlaps the ground wiring. The logic changing circuit according to claim 1, wherein: 前記論理素子を使用する場合には、前記接続配線と前記電源配線とをコンタクトを介して接続し、
前記論理素子を使用しない場合には、前記接続配線と前記グランド配線とをコンタクトを介して接続したことを特徴とする請求項1または請求項2に記載の論理変更用回路。
When using the logic element, connect the connection wiring and the power supply wiring through a contact,
3. The logic change circuit according to claim 1, wherein when the logic element is not used, the connection wiring and the ground wiring are connected via a contact. 4.
論理回路の論理構成変更に用いる論理変更用回路を有する半導体装置において、
前記論理変更用回路には論理構成の変更に用いる論理素子を設け、
この論理素子には、電源配線またはグランド配線を接続可能とする接続配線を設けたことを特徴とする半導体装置。
In a semiconductor device having a logic change circuit used for changing the logic configuration of a logic circuit,
The logic changing circuit is provided with a logic element used for changing the logic configuration,
A semiconductor device characterized in that the logic element is provided with a connection wiring capable of connecting a power supply wiring or a ground wiring.
前記接続配線には、前記電源配線と上下に重なってコンタクトにより前記電源配線と接続可能としたコンタクト形成領域と、前記グランド配線と上下に重なってコンタクトにより前記グランド配線と接続可能としたコンタクト形成領域とを設けたことを特徴とする請求項4記載の半導体装置。   The connection wiring includes a contact formation region that can be connected to the power supply wiring by a contact that overlaps the power supply wiring and a contact formation region that can be connected to the ground wiring by a contact that overlaps the ground wiring. The semiconductor device according to claim 4, wherein: 前記論理素子を使用する場合には、前記接続配線と前記電源配線とをコンタクトを介して接続し、
前記論理素子を使用しない場合には、前記接続配線と前記グランド配線とをコンタクトを介して接続したことを特徴とする請求項4または請求項5に記載の半導体装置。
When using the logic element, connect the connection wiring and the power supply wiring through a contact,
6. The semiconductor device according to claim 4, wherein when the logic element is not used, the connection wiring and the ground wiring are connected through a contact.
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