JP2006085662A - 圧力制御弁 - Google Patents

Abstract

【課題】 ダイヤフラムを備えかつ、安定して弁体による弁口の開閉動作を行うことが可能な圧力制御弁を提供する。
【解決手段】 本発明の圧力制御弁１０によれば、芯だし突部５０Ａと芯だし凹部４４Ｂとによりダイヤフラム４４の円形襞４４Ａの中心に突当部材５０が位置決めされているので、円形襞４４Ａの中心に軸力がかかり、円形襞４４Ａが全周に亘って均等に変形し、ダイヤフラム４４の弾発力が安定する。これにより、弁体３３による弁口３９の開閉動作が安定する。
【選択図】 図２

Description

本発明は、流体の圧力に応じて、弁体が弁口を開閉する圧力制御弁に関する。

従来、この種の圧力制御弁として、流体の圧力に応じて伸縮するベローズを備え、そのベローズの伸縮により弁体を直動させて、弁口を開閉する構成のものが知られている（例えば、特許文献１参照）。
特開２００１−１５３２５６号公報（段落［００２０］、［００２２］、第１図）

しかしながら、ベローズは高価な部品であるので、ベローズに代えて安価な感圧部材を備えた圧力制御弁の開発が求められていた。そこで、感圧部材としてダイヤフラムを備えた圧力制御弁が考えられる。具体的には、ダイヤフラムに突当部材を突き当て、突当部材にかかるダイヤフラムの弾発力を利用して弁体を直動させる構成が挙げられる。

ところで、圧力変化に対するダイヤフラムの変形量を大きくするために、ダイヤフラムに同心円の円形襞を形成することが一般に知られている。この場合、ダイヤフラムの円形襞の中心からずれた位置に前記した突当部材が突き当てられると、ダイヤフラムが突当部材の軸方向に対して斜めになってダイヤフラムの弾発力が不安定になり、その結果、弁体による弁口の開閉動作も不安定になる。従って、ベローズに代わる安価な感圧部材としてダイヤフラムを用いることが困難であった。

本発明は、上記事情に鑑みてなされたもので、ダイヤフラムを備えかつ、安定して弁体による弁口の開閉動作を行うことが可能な圧力制御弁の提供を目的とする。

上記目的を達成するためになされた請求項１の発明に係る圧力制御弁（１０，８９，９０，９１，１００，１０１，１０２）は、弁体（３３，５３，１１０Ａ）が直動可能に組み付けられたボディ（１１，１１Ｗ）と、ボディ（１１，１１Ｗ）に形成された圧力検知部屋（２８）と、一端有底で筒状の感圧用筒部材（４２，４２Ｗ）と、感圧用筒部材（４２，４２Ｗ）の開口端に張られて、圧力検知部屋（２８）内の圧力に応じて弾性変形するダイヤフラム（４４）と、ダイヤフラム（４４）に突き当てられ、ダイヤフラム（４４）の弾性変形に応じて弁体（３３，５３，１１０Ａ）を直動させるための突当部材（５０，５０Ｖ，１１０）と、ボディ（１１，１１Ｗ）に形成されて弁体（３３，５３，１１０Ａ）によって開閉される弁口（３９）とを備えた圧力制御弁（１０，８９，９０，９１，１００，１０１，１０２）において、ダイヤフラム（４４）に形成された円形襞（４４Ａ）と、ダイヤフラム（４４）のうち円形襞（４４Ａ）の中心に設けられた中心当接部（４４Ｄ）と、突当部材（５０，５０Ｖ，１１０）及び中心当接部（４４Ｄ）の一方に形成されて、先細り状になった芯だし突部（５０Ａ）と、突当部材（５０，５０Ｖ，１１０）及び中心当接部（４４Ｄ）の他方に形成されて、芯だし突部（５０Ａ）を受容し、ダイヤフラム（４４）の中心に突当部材（５０，５０Ｖ，１１０）の軸芯を一致させるように案内する芯だし凹部（４４Ｂ，６５Ａ）とを備えたところに特徴を有する。

請求項２の発明は、請求項１に記載の圧力制御弁（１０，８９，９０，９１，１００，１０１，１０２）において、芯だし突部（５０Ａ）の外面及び／又は芯だし凹部（４４Ｂ，６５Ａ）の内面の形状が、略半球面であるところに特徴を有する。

請求項３の発明は、請求項１又は２に記載の圧力制御弁（１０，９０，９１，１００，１０１）において、感圧用筒部材（４２，４２Ｗ）内に内側密着盤（６３）を収容すると共に、その内側密着盤（６３）をダイヤフラム（４４）の内面に密着させ、ダイヤフラム（４４）及び内側密着盤（６３）の相互に密着した部分を陥没させて芯だし凹部（４４Ｂ）としたところに特徴を有する。

請求項４の発明は、請求項１乃至３の何れかに記載の圧力制御弁（８９，１０２）において、ダイヤフラム（４４）の外面のうち突当部材（５０，５０Ｖ，１１０）が突き当てられる部分に外側密着盤（６５）を密着させ、その外側密着盤（６５）に芯だし凹部（６５Ａ）を形成したところに特徴を有する。

請求項５の発明は、請求項４に記載の圧力制御弁（８９，１０２）において、感圧用筒部材（４２，４２Ｗ）に内側密着盤（６３）を収容すると共に、その内側密着盤（６３）をダイヤフラム（４４）の内面に密着させて、内側密着盤（６３）と外側密着盤（６５）との間にダイヤフラム（４４）を挟み、内側密着盤（６３）と外側密着盤（６５）とには、ダイヤフラム（４４）を間に挟んだ状態で凹凸係合した凹凸係合部（６３Ａ，６５Ｂ）が設けられたところに特徴を有する。

請求項６の発明は、請求項１乃至５の何れかに記載の圧力制御弁（１０，８９，９０，９１，１００）において、感圧用筒部材（４２）は、圧力検知部屋（２８）に収容され、ボディ（１１）のうち圧力検知部屋（２８）を囲む壁部に貫通形成されかつ圧力検知部屋（２８）から離れた側に弁口（３９）を備えた軸孔（１６）と、軸孔（１６）に挿通されて、弁口（３９）から突出した一端に弁体（３３，５３）を備えかつ、圧力検知部屋（２８）内に突出した他端に感圧用筒部材（４２）の底壁（４２Ｔ）が固定された連絡軸（３２，５１，６２）と、弁体（３３，５３）を、弁口（３９）の開口縁に向けて付勢する弁体閉塞付勢手段（２２，４６，４６Ｖ）と、軸孔（１６）の中間部分から分岐した分岐孔（１７）と、軸孔（１６）のうち分岐孔（１７）より圧力検知部屋（２８）側の内面と連絡軸（３２，５１，６２）との間の隙間をシールした軸孔シール部材（８０）と、ボディ（１１）のうちダイヤフラム（４４）との対向位置に設けられかつ突当部材（５０，５０Ｖ）の基端部を保持した終端壁（２４，２４Ｖ）とを備え、圧力検知部屋（２８）内の流体圧力（Ｐｓ）が所定の基準圧力より低くなった場合に、弁体（３３，５３）が弁口（３９）を開き、圧力検知部屋（２８）内の流体圧力（Ｐｓ）が所定の基準圧力より高くなった場合に、弁体（３３，５３）が弁口（３９）を閉じるように構成されたところに特徴を有する。

請求項７の発明は、請求項６に記載の圧力制御弁（１０，８９，９０，９１，１００）において、終端壁（２４，２４Ｖ）には、突当部材（５０，５０Ｖ）の基端部（５０Ｂ）を嵌合固定した固定孔（２４Ａ）が形成されたところに特徴を有する。

請求項８の発明は、請求項６又は７に記載の圧力制御弁（１０，８９，９０，９１，１００）において、感圧用筒部材（４２）から連絡軸（３２，５１，６２）と反対側に延びかつ中心部に突当部材（５０，５０Ｖ）が挿通された筒状のプランジャ（４６，４６Ｖ）と、プランジャ（４６，４６Ｖ）に、磁力による軸力を付与可能なソレノイド（２２）とを設け、プランジャ（４６，４６Ｖ）とソレノイド（２２）とから弁体閉塞付勢手段（２２，４６，４６Ｖ）を構成したところに特徴を有する。

請求項９の発明は、請求項８に記載の圧力制御弁（１０，８９，９０，９１）において、連絡軸（３２，５１，６２）及びプランジャ（４６）を含みかつボディ（１１）に対して直動する可動軸部（３０）の側面と、ボディ（１１）の内面との間の隙間を部分的に狭くして可動軸部（３０）の傾動を規制する傾動規制部（１９Ｄ，４６Ｔ）を、可動軸部（３０）の両端部の２箇所に設けたところに特徴を有する。

請求項１０の発明は、請求項８に記載の圧力制御弁（１００）において、連絡軸（３２，５１，６２）及びプランジャ（４６Ｖ）を含みかつボディ（１１）に対して直動する可動軸部（３０）が、中心当接部（４４Ｄ）を支点として傾動することを、軸孔シール部材（８０）によって規制したところに特徴を有する。

請求項１１の発明は、請求項１０に記載の圧力制御弁（１００）において、プランジャ（４６Ｖ）の長さを、ソレノイド（２２）の半分以下にしたところに特徴を有する。

請求項１２の発明は、請求項６乃至１１の何れかに記載の圧力制御弁（１０，８９，９０，９１，１００）において、弁体（３３，５３）が弁口（３９）を閉じた状態における終端壁（２４，２４Ｖ）とダイヤフラム（４４）との距離を調整するための調整手段（３２Ｎ，３３Ｎ，５１Ｎ，５２Ｎ，６０Ｎ，６１Ｎ）を備えたところに特徴を有する。

請求項１３の発明は、請求項１２に記載の圧力制御弁（１０，８９，１００）において、弁体（３３，５３）は、連絡軸（３２）が貫通した筒状をなし、弁体（３３，５３）と連絡軸（３２）との間に、雌雄の螺子部（３２Ｎ，３３Ｎ）を設け、雌雄の螺子部（３２Ｎ，３３Ｎ）により調整手段（３２Ｎ，３３Ｎ）が構成されたところに特徴を有する。

請求項１４の発明は、請求項１２に記載の圧力制御弁（９０）において、感圧用筒部材（４２）と連絡軸（５１）とを別体にして、それら感圧用筒部材（４２）と連絡軸（５１）とに互いに螺合する雌雄の螺子部（５１Ｎ，５２Ｎ）を設け、雌雄の螺子部（５１Ｎ，５２Ｎ）により調整手段（５１Ｎ，５２Ｎ）が構成されたところに特徴を有する。

請求項１５の発明は、請求項１２に記載の圧力制御弁（９１）において、連絡軸（６２）は、感圧用筒部材（４２）から軸孔（１６）内の途中部分まで延びた第１連絡軸構成部（６０）と、弁体（３３，５３）に一体形成されて軸孔（１６）内の途中部分まで延びた第２連絡軸構成部（６１）とからなり、第１及び第２の連絡軸構成部（６０，６１）に互いに螺合する雌雄の螺子部（６０Ｎ，６１Ｎ）を設け、雌雄の螺子部（６０Ｎ，６１Ｎ）により調整手段（６０Ｎ，６１Ｎ）が構成されたところに特徴を有する。

請求項１６の発明は、請求項１２乃至１５の何れかに記載の圧力制御弁（１０，８９，９０，９１，１００）において、ボディ（１１）を分割しかつ、その分割部分に互いに圧入嵌合される嵌合部（１３Ｋ，２５Ｋ）を設け、これら嵌合部（１３Ｋ，２５Ｋ）により調整手段（１３Ｋ，２５Ｋ）が構成されたところに特徴を有する。

請求項１７の発明は、請求項１乃至５に記載の圧力制御弁（１０１，１０２）において、感圧用筒部材（４２Ｗ）は、ボディ（１１Ｗ）に固定されると共に、ダイヤフラム（４４）を挟んで、感圧用筒部材（４２Ｗ）の内部空間と圧力検知部屋（２８）とが区画され、ボディ（１１Ｗ）のうち圧力検知部屋（２８）を挟んで感圧用筒部材（４２Ｗ）と反対側の壁部に貫通形成され、圧力検知部屋（２８）から離れた側に弁口（３９）を有しかつ突当部材（１１０）が直動可能に貫通した軸孔（１６）と、軸孔（１６）の中間部分から分岐した分岐孔（１７）と、軸孔（１６）のうち分岐孔（１７）より圧力検知部屋（２８）側の内面と突当部材（１１０）との間の隙間をシールする軸孔シール部材（８０）とを備え、突当部材（１１０）のうち弁口（３９）から外側に突出した部分に弁体（１１０Ａ）を有しかつその弁体（１１０Ａ）を弁口（３９）側に付勢する弁体閉塞付勢手段（２２，１１１）を設け、圧力検知部屋（２８）内の流体圧力（Ｐｓ）が所定の基準圧力より低くなった場合に、弁体（１１０Ａ）が弁口（３９）を開き、圧力検知部屋（２８）内の流体圧力が所定の基準圧力より高くなった場合に、弁体（１１０Ａ）が弁口（３９）を閉じるように構成されたところに特徴を有する。

請求項１８の発明は、請求項１７に記載の圧力制御弁（１０１，１０２）において、突当部材（１１０）が、中心当接部（４４Ｄ）を支点として傾動することを軸孔シール部材（８０）によって規制したところに特徴を有する。

［請求項１の発明］
請求項１の構成によれば、芯だし突部（５０Ａ）と芯だし凹部（４４Ｂ，６５Ａ）とにより、ダイヤフラム（４４）の円形襞（４４Ａ）の中心に突当部材（５０，５０Ｖ，１１０）が位置決めされるので、円形襞（４４Ａ）の中心に突当部材（５０，５０Ｖ，１１０）からの軸力がかかり、円形襞（４４Ａ）が全周に亘って均等に変形し、ダイヤフラム（４４）の弾発力が安定する。これにより、弁体（３３，５３，１１０Ａ）による弁口（３９）の開閉動作が安定する。

［請求項２の発明］
請求項２の構成では、芯だし突部（５０Ａ）の外面及び／又は芯だし凹部（４４Ｂ，６５Ａ）の内面が共に略半球面であるから応力集中が防がれる。

［請求項３の発明］
請求項３の構成では、内側密着盤（６３）をダイヤフラム（４４）の内面に密着させたことによりダイヤフラム（４４）が補強される。

［請求項４の発明］
請求項４の構成では、ダイヤフラム（４４）の外面に外側密着盤（６５）を密着させたことによりダイヤフラム（４４）が補強される。

［請求項５の発明］
請求項５の構成では、内側密着盤（６３）と外側密着盤（６５）との間にダイヤフラム（４４）を挟み、内側密着盤（６３）と外側密着盤（６５）とに設けた凹凸係合部（６３Ａ，６５Ｂ）を、ダイヤフラム（４４）を間に挟んで凹凸係合したので、外側密着盤（６５）とダイヤフラム（４４）との組み付け精度を向上させることができる。

［請求項６の発明］
請求項６の構成によれば、圧力検知部屋（２８）の内部にダイヤフラム（４４）を備え、そのダイヤフラム（４４）に備えた中心当接部（４４Ｄ）と、ボディ（１１）に設けた終端壁（２４，２４Ｖ）との間で突当部材（５０，５０Ｖ）が突っ張り状態になる。ここで、ダイヤフラム（４４）は、圧力検知部屋（２８）内の流体圧力（Ｐｓ）を受けて弾性変形し、圧力検知部屋（２８）内の流体圧力（Ｐｓ）が低くなるに従って終端壁（２４，２４Ｖ）側に近づくように復元すると共に、突当部材（５０，５０Ｖ）から受ける反力も増加する。そして、圧力検知部屋（２８）内の流体圧力（Ｐｓ）が所定の基準圧力より低くなったときに、ダイヤフラム（４４）が突当部材（５０，５０Ｖ）から受けた反力により弁体（３３，５３）が開放側に移動して弁口（３９）が開放し、分岐孔（１７）から前記弁口（３９）へと流体が流れる。

［請求項７の発明］
請求項７の構成によれば、突当部材（５０，５０Ｖ）の基端部を終端壁（２４，２４Ｖ）の固定孔（２４Ａ）に嵌合することで、突当部材（５０，５０Ｖ）の基端部が保持されて位置決めされる。

［請求項８の発明］
請求項８の構成では、ソレノイド（２２）の励磁状態を変更することで、弁体（３３，５３）を閉じるための付勢力を容易に変更することができる。

［請求項９の発明］
請求項９の構成では、可動軸部（３０）の両端部に設けた傾動規制部（１９Ｄ，４６Ｔ）により可動軸部（３０）の傾きが規制され、可動軸部（３０）が直動する際の摺接抵抗が抑えられ、弁体（３３，５３）による弁口（３９）の開閉動作が安定する。

［請求項１０の発明］
請求項１０の構成によれば、可動軸部（３０）が、中心当接部（４４Ｄ）を支点として傾動した場合に、軸孔シール部材（８０）に以外の部分に当接することが防がれ、可動軸部（３０）が直動した際の摺接抵抗を、可動軸部（３０）とシール部材（８０）との間の摺接抵抗のみに留めることができる。ここで、正規の組み付け状態においても可動軸部（３０）とシール部材（８０）とは摺接するから、正規の組み付け状態と可動軸部（３０）が傾いた状態との間で、摺接抵抗の増加を抑えることができる。

［請求項１１の発明］
請求項１１の構成によれば、プランジャ（４６Ｖ）の長さをソレノイド（２２）の半分以下にしたので、プランジャ（４６Ｖ）の長さがソレノイド（２２）の半分以上である場合と比較して、正規の組み付け状態と可動軸部（３０）が傾いて組み付けられた状態との間で、終端壁（２４Ｖ）とプランジャ（４６Ｖ）との磁気吸引力の変化を抑えることができる。

［請求項１２の発明］
請求項１２の構成によれば、弁体（３３，５３）が閉じた状態における終端壁（２４，２４Ｖ）とダイヤフラム（４４）との距離に組み付け上のばらつきが生じても、調整手段（３２Ｎ，３３Ｎ，５１Ｎ，５２Ｎ，６０Ｎ，６１Ｎ）によってそれら終端壁（２４，２４Ｖ）とダイヤフラム（４４）との間の距離を変更して、突当部材（５０，５０Ｖ）に対するダイヤフラム（４４）の弾発力を調整することができる。これにより、圧力検知部屋（２８）内の流体圧力（Ｐｓ）と弁体（３３，５３）の開閉との対応関係のばらつきを抑えることができる。

［請求項１３，１４，１５の発明］
請求項１３の圧力制御弁（１０，８９，１００）では、弁体（３３）及び連絡軸（３２）の螺子部（３２Ｎ，３３Ｎ）同士の螺合深さを変更することで、終端壁（２４，２４Ｖ）とダイヤフラム（４４）との距離を調整することができる。また、請求項１４の圧力制御弁（９０）では、感圧用筒部材（４２）及び連絡軸（５１）の螺子部（５１Ｎ，５２Ｎ）同士の螺合深さを変更することで、終端壁（２４）とダイヤフラム（４４）との距離を調整することができる。さらに、請求項１５の圧力制御弁（９１）では、第１及び第２の連絡軸構成部（６０，６１）の螺子部（６０Ｎ，６１Ｎ）同士の螺合深さを変更することで、終端壁（２４）とダイヤフラム（４４）との距離を調整することができる。

［請求項１６の発明］
請求項１６の圧力制御弁（１０，８９，９０，９１，１００）では、ボディ（１１）のうち分割部分に備えた嵌合部（１３Ｋ，２５Ｋ）の圧入嵌合深さを変更することで、終端壁（２４，２４Ｖ）とダイヤフラム（４４）との距離を調整することができる。

［請求項１７の発明］
請求項１７の構成によれば、圧力検知部屋（２８）内の流体圧力（Ｐｓ）が低くなるに従ってダイヤフラム（４４）が弁口（３９）側に近づくように復元し、流体圧力（Ｐｓ）が所定の基準値より低くなると、ダイヤフラム（４４）によって突当部材（１１０）が押されて直動し、突当部材（１１０）の一端に備えた弁体（１１０Ａ）が弁口（３９）から離間して、弁口（３９）が開かれ、分岐孔（１７）から弁口（３９）へと流体が流れる。

［請求項１８の発明］
請求項１８の構成によれば、突当部材（１１０）が、中心当接部（４４Ｄ）を支点として傾動した場合に、軸孔シール部材（８０）に以外の部分に当接することが防がれ、突当部材（１１０）が直動した際の摺接抵抗を、突当部材（１１０）とシール部材（８０）との間の摺接抵抗のみに留めることができる。ここで、正規の組み付け状態においても突当部材（１１０）とシール部材（８０）とは摺接するから、正規の組み付け状態と突当部材（１１０）が傾いた状態との間で、摺接抵抗の増加を抑えることができる。

［第１実施形態］
以下、本発明の一実施形態を図１〜図１０に基づいて説明する。本実施形態の圧力制御弁１０は、図１の上下方向に延びた軸状のボディ１１の内部に、可動軸部３０を直動可能に収容してなる。ボディ１１は、軸方向の中間部を堺にして先端ボディ１３と基端ボディ２０とに分割可能となっている。

先端ボディ１３は、基端ボディ２０から離れるに従って外径が段階的に小さくなった円柱構造をなしている。先端ボディ１３の両端面には、凹部１５Ａ，１５Ｂがそれぞれ形成され、それら凹部１５Ａ，１５Ｂの底面間を繋ぐようにして、先端ボディ１３の中心部に軸孔１６が貫通形成されている。そして、軸孔１６のうち基端ボディ２０から離れた側の開口が本発明に係る弁口３９になっている。

先端ボディ１３の軸方向の中間部分には、軸孔１６の中間部分に直交するように分岐孔１７が形成されている。また、先端ボディ１３のうち基端ボディ２０寄りの位置には、凹部１５Ａと直交するように流体導入孔１８が形成されている。なお、先端ボディ１３の外周面には、流体導入孔１８と分岐孔１７との間と、分岐孔１７と凹部１５Ｂの開放口との間に、Ｏリング溝１３Ｍ，１３Ｎが形成されている。

先端ボディ１３のうち弁口３９を備えた側の先端部には、キャップ１９が嵌合装着されている。キャップ１９は、一端有底の円筒状をなしている。また、図４に示すようにキャップ１９の底壁１９Ｃの中心には、ガイド孔１９Ｄ（本発明に係る「傾動規制部」に相当する）が貫通形成され、そのガイド孔１９Ｄの周りに複数の流体通過孔１９Ｂが貫通形成されている。

図１に示すように、基端ボディ２０は、コネクタ２１、ソレノイド２２、端部筒２５、アッシスリーブ２７等を組み付けてなる。コネクタ２１は、ソレノイド２２に給電を行うものであり、コネクタハウジング２１Ａの内部に端子金具２１Ｂを備えた構造になっている。

ソレノイド２２は、ボビン２３に電線を巻回してなり、そのボビン２３の一端部においてコネクタ２１の端子金具２１Ｂが電線に接続されている。また、コネクタ２１に一体形成された外筒部２１Ｇが、ボビン２３の外面を覆うように装着され、コネクタ２１とソレノイド２２とが一体に固定されている。

ソレノイド２２の内側に形成された中空孔のうちコネクタ２１側は、本発明に係る終端壁２４によって閉塞されている。終端壁２４は、磁性体で構成されている。ソレノイド２２のうちコネクタ２１と反対側の端部には、端部筒２５が設けられている。端部筒２５は、一端有底の筒状をなし、その底壁２５Ｔがソレノイド２２の端面に宛がわれている。また、ソレノイド２２の内側にはガイド筒２６が嵌合されている。

端部筒２５のうち底壁２５Ｔと反対側の端部は、本発明に係る「調整手段」としての嵌合部２５Ｋになっている。そして、この嵌合部２５Ｋの内側に、前記した先端ボディ１３の一端に備えた本発明に係る「調整手段」としての嵌合部１３Ｋが圧入されている。また、端部筒２５の開放端の外周面には、Ｏリング溝２５Ｍが形成されている。

前記外筒部２１Ｇの外側には、アッシスリーブ２７が嵌合している。アッシスリーブ２７は、円筒体の一端から内側に係止壁２７Ｋを張り出した構造をなし、他端の開放口から内部に、コネクタ２１、ソレノイド２２、端部筒２５の順番に挿入されている。そして、コネクタ２１の先端部が、アッシスリーブ２７の一端から外側に突出し、コネクタ２１の基端部がアッシスリーブ２７の係止壁２７Ｋに係止している。また、アッシスリーブ２７の他端は、端部筒２５の外周面に形成された係止溝２５Ｎに向けて屈曲変形され、これにより上記したコネクタ２１、ソレノイド２２、端部筒２５、アッシスリーブ２７の各部品が一体になって基端ボディ２０が構成されている。

本実施形態では、例えば、先端ボディ１３に可動軸部３０を組み付けてから、先端ボディ１３と基端ボディ２０とが互いに嵌合固定される。そして、基端ボディ２０の内部空間と、先端ボディ１３の凹部１５Ａの内部空間とが一体となって本発明に係る圧力検知部屋２８が構成される。

先端ボディ１３の軸孔１６には、連絡軸３２が挿通されている。連絡軸３２の先端は、弁口３９から凹部１５Ｂ内に突出し、その突出部分に弁体３３が組み付けられている。具体的には、連絡軸３２は、圧力検知部屋２８側の大径部３２Ａと、圧力検知部屋２８から離れた側の小径部３２Ｂとからなる。そして、小径部３２Ｂと軸孔１６の内面との隙間を介して、分岐孔１７が弁口３９に連通している。また、図２に示すように小径部３２Ｂのうち弁口３９から凹部１５Ｂ内に突出した部分には、本発明に係る「調整手段」としての雄螺子部３２Ｎが形成されている。さらに、小径部３２Ｂの先端には、工具（例えば、ドライバー）を係合可能な工具溝３２Ｍが形成されている。

図２に示すように連絡軸３２の大径部３２Ａの外周面と軸孔１６の内面との間は、シール部材８０（具体的には、例えば、円板形のパッキン）にてシールされている。詳細には、図５に示すように、先端ボディ１３には、軸孔１６のうち圧力検知部屋２８側（図２参照）の開口縁を拡開して軸孔大径部１６Ｄが形成されている。また、軸孔大径部１６Ｄには、軸孔１６の軸方向と直交する奥面１６Ｍが備えられ、その奥面１６Ｍに、本発明に係る「軸孔シール部材」としての中空円板状のシール部材８０が敷設される。また、シール部材８０の内径は、奥面１６Ｍの中心部に開口した軸孔１６の本体部１６Ｈの内径より小さくなっている。さらに、本体部１６Ｈのうち奥面１６Ｍにおける開口縁にはテーパ面１６Ｔが形成されている。

図６に示すように、軸孔大径部１６Ｄには、円筒ブッシュ８１が圧入され、奥面１６Ｍと円筒ブッシュ８１との間にシール部材８０が挟持されている。また、円筒ブッシュ８１の内縁部には、シール部材８０に向けて押圧突起８２が突出形成されている。押圧突起８２は、図５に示すように、円筒ブッシュ８１の内縁部全体を囲む円環状をなし、先端に向かうに従って外径が小さくなっている。この構成により、図６に示すように、シール部材８０の内縁部は押圧突起８２に押されて漏斗状に変形し、テーパ面１６Ｔとの間に若干の隙間を開けて対向した状態になっている。そして、連絡軸３２によってシール部材８０の漏斗状部分が押し広げられて連絡軸３２（詳細には、大径部３２Ａ）の外周面に密着し、分岐孔１７と圧力検知部屋２８（図２参照）との間が気密状態に区画されている。また、分岐孔１７内の流体圧力がシール部材８０にかかっても、そのシール部材８０の漏斗状部分が縮径して連絡軸３２に押し付けられて気密性が増し、分岐孔１７から圧力検知部屋２８（図２参照）の流体の流れを確実に防ぐことができる。

図２に示すように、弁体３３は、連絡軸３２の雄螺子部３２Ｎに螺合装着されている。弁体３３は、全体として筒状をなし、弁体３３の内面には、軸方向の半部に遊嵌部３３Ｙが形成され、残りの半分に、本発明に係る「調整手段」としての雌螺子部３３Ｎが形成されている。そして、連絡軸３２の雄螺子部３２Ｎに、遊嵌部３３Ｙを遊嵌してから、連絡軸３２の先端と弁体３３の雌螺子部３３Ｎとが当接したところで弁体３３を連絡軸３２に対して相対回転し、雌雄の螺子部３２Ｎ，３３Ｎが螺合する。また、弁体３３の内面と連絡軸３２の外面との間の隙間は、例えば、シール用の接着剤にて閉塞されている。

弁体３３の外面には、軸方向の中間部にＥリング３５が装着されている。そして、先端ボディ１３の凹部１５Ｂの奥面とＥリング３５との間に、第１の補助スプリング３６が組み付けられ、Ｅリング３５とキャップ１９の底壁１９Ｃとの間に、第２の補助スプリング３７が組み付けられている。

連絡軸３２のうち弁体３３と反対側の端部には、本発明に係る感圧用筒部材４２が固定されている。感圧用筒部材４２は、一端有底の筒状をなし、その底壁４２Ｔの外面の中心に連絡軸３２の端部が固定されている。感圧用筒部材４２のうち連絡軸３２から離れた端部には、大径部４２Ｄが形成されている。

感圧用筒部材４２の開口縁からは、側方にフランジ４２Ｆが張り出しており、そのフランジ４２Ｆにダイヤフラム４４が重ねられ、さらにそのダイヤフラム４４に固定円板４５が重ねられている。そして、固定円板４５とフランジ４２Ｆとが溶接付けされ、ダイヤフラム４４が感圧用筒部材４２の開口端４２Ｋを密封した状態で張られている。上記溶接は、真空の作業空間で行われる。これにより、ダイヤフラム４４によって閉塞された感圧用筒部材４２の内部は、真空になっている。

ところで、図７に誇張して示したように、ダイヤフラム４４には、同心円状に複数の円形襞４４Ａが形成されている。そして、これら円形襞４４Ａの形状変化を伴ってダイヤフラム４４の中心部が同図の上下方向に変位する。また、ダイヤフラム４４のうち円形襞４４Ａの中心は、感圧用筒部材４２の内側に向かって半球状に膨出した半球状膨出部４４Ｃが形成されている。

図２に示すように感圧用筒部材４２の内部には、内側密着盤６３と底面密着盤６４とが収容されている。内側密着盤６３は、円板の上下面にそれぞれエンボスを備えた構造をなす一方、底面密着盤６４は、円板の上面にのみエンボスを備えた構造になっている。そして、内側密着盤６３がダイヤフラム４４に宛がわれる一方、底面密着盤６４が感圧用筒部材４２の底面に宛がわれ、それら内側密着盤６３と底面密着盤６４の間に内蔵スプリング４３Ｃが圧縮された状態で挟まれている。これにより、内側密着盤６３の上面がダイヤフラム４４の内側に密着して、ダイヤフラム４４の中心部に本発明に係る中心当接部４４Ｄが形成されている。

図７に示すように内側密着盤６３のうちダイヤフラム４４との密着面には、半球状凹部６３Ａが陥没形成されている。そして、この半球状凹部６３Ａの内面に半球状膨出部４４Ｃを重ねて、本発明に係る芯だし凹部４４Ｂが構成されている。

なお、図２に示すように内側密着盤６３の円板部分は、感圧用筒部材４２の大径部４２Ｄの奥面４２Ｐとの間に隙間を開けて対向しており、これにより、内側密着盤６３の感圧用筒部材４２の奥部への移動量を規制してダイヤフラム４４の過度撓み防止を図っている。

固定円板４５は、円環状の板材の内縁部から筒状の支持壁４５Ａを感圧用筒部材４２から離れる側に立ち上げた構造になっている。そして、支持壁４５Ａには、プランジャ４６が固定されている。プランジャ４６は、ソレノイド２２の内側に直動可能に収容された円筒状をなし、その一端部が支持壁４５Ａ内に嵌合固定されている。

プランジャ４６には、感圧用筒部材４２から離れた側の端部に、プランジャ４６全体より外径を僅かに大きくした大径部４６Ｔ（本発明に係る「傾動形成部」に相当する）が設けられている。そして、この大径部４６Ｔが、ガイド筒２６の内面に摺接可能となっている。即ち、感圧用筒部材４２とプランジャ４６と連絡軸３２とを備えてなる可動軸部３０は、その両端部をキャップ１９のガイド孔１９Ｄとガイド筒２６とに案内され、傾動が規制された状態で直動する。

なお、図１及び図２に示すようにプランジャ４６のうち固定円板４５側の端面には、径方向に延びた溝４６Ｍが形成されている。この溝４６Ｍの両端は、プランジャ４６の外面に開放しており、これにより、ダイヤフラム４４の外面にも圧力検知部屋２８内の流体圧力がかかるようになっている。

プランジャ４６の内側には、本発明に係る突当部材５０が挿入されている。突当部材５０は、例えば、断面円形の棒状をなし、その基端部には段付き状に細くなった嵌合固定軸５０Ｂが備えられている。そして、この嵌合固定軸５０Ｂが、前記終端壁２４に形成された固定孔２４Ａに嵌合固定されている。また、突当部材５０の先端面からは、本発明にかかる芯だし突部５０Ａが突出形成されている。芯だし突部５０Ａは、前記した芯だし凹部４４Ｂに対応した半球状になっている。

ところで、圧力制御弁１０を組み付ける過程で、突当部材５０がダイヤフラム４４の中心当接部４４Ｄに突き当てられる。このとき、図８に示すように各部品の寸法誤差のために、突当部材５０とダイヤフラム４４との芯がずれる場合がある。しかしながら、本実施形態の構成によれば、突当部材５０がダイヤフラム４４に押し付けられると、図７に示すように芯だし突部５０Ａの外面と芯だし凹部４４Ｂの内面との案内により、ダイヤフラム４４の円形襞４４Ａの中心に突当部材５０が位置決めされる。

本実施形態の圧力制御弁１０の構成は以上のようであり、次に、圧力制御弁１０の調整作業について説明する。調整作業を行うためには、圧力制御弁１０を図示しない調整装置にセットし、流体導入孔１８を通して圧力検知部屋２８に流体を充填しかつ、分岐孔１７から軸孔１６内に流体を充填し、さらに、弁体３３が弁口３９を閉じた状態にする。そして、ソレノイド２２への励磁電流ｉを変更し、各励磁電流ｉにおいて圧力制御弁１０の弁体３３が開くときの圧力検知部屋２８内の流体圧力Ｐｓを測定する。詳細には、圧力制御弁１０の所要部位の面積、圧力等を表１の代数で表すと、可動軸部３０にかかる力の釣り合いから、式（１）が成立する。

Ｓ２・Ｐｓ＋Ｆｉ＋Ｓ１・Ｐｓ＋（Ｓ３−Ｓ２’）・Ｐｄ＋ｆ３
＝ｆ１＋ｆ２＋Ｓ２'・Ｐｃ・・・・（１）

この式（１）を整理すると、圧力検知部屋２８内の流体圧力Ｐｓは、式（２）に示したように、ソレノイド２２への励磁電流ｉの１次方程式で表される。

Ｐｓ＝Ａｉ＋Ｂ ・・・・・・・・・・・・・・・（２）

この１次方程式は、図１０のグラフＧのように表される。ここで、グラフＧの傾きは、弁体３３の連絡軸３２に対する螺合位置に応じて変化する。そこで、分岐孔１７の流体圧力Ｐｄを一定にしかつソレノイド２２への励磁電流ｉを、例えば、ｉ＝０．２５［Ａ］とｉ＝０．７５［Ａ］とに設定し、各励磁電流ｉにおいて圧力制御弁１０の弁体３３が開くときの圧力検知部屋２８内の流体圧力Ｐｓを測定する。これらの結果から、図１０に示したグラフＧの傾きＡ（即ち、上記式（２）のＡ）を求め、その傾きの値Ａが、所定の設定値（要求値）になるように、弁体３３の連絡軸３２に対する螺合位置を調整する。

次いで、励磁電流ｉを、例えば、ｉ＝０．２５［Ａ］にしたときに、弁体３３が開く圧力検知部屋２８内の流体圧力Ｐｓが所定の設定値（要求値。図１０のＰｓ１）になるように、キャップ１９の先端ボディ１３に対する嵌合位置を変更し、第２の補助スプリング３７の弾発力を調整する。以上により、圧力制御弁１０の調整作業が完了する。

次に、本実施形態の圧力制御弁１０の動作について説明する。
本実施形態の圧力制御弁１０は、例えば、図２に示すようにエアコンの流路７０に取り付けられる。具体的には、エアコンに備えた弁挿入孔（図示せず）に圧力制御弁１０が挿入組み付けされる。弁挿入孔の内面には、流路７０に備えた流体供給路９２と、流体排出路９３と、制御用流路９４の各端部とが開放しており、流体排出路９３が圧力制御弁１０のうちキャップ１９の内部空間に連絡され、流体供給路９２が分岐孔１７に連絡され、制御用流路９４が圧力検知部屋２８に連絡される。

なお、流路７０は、冷媒を循環して流すことが可能な循環流路９９の途中に、エバポレータ９７とコンデンサ９５とコンプレッサ９６とを備えてなり、本発明である圧力制御弁１０は、このコンプレッサ９６内に組み込まれている。また、制御用流路９４は、コンプレッサ９６とエバポレータ９７との間の循環流路９９から分岐し、流体供給路９２は、コンデンサ９５とコンプレッサ９６との間の循環流路９９から分岐している。さらに、流体排出路９３は、オリフィスを介して流路７０に接続されている。

さて、上記のようにエアコンに組み付けられた圧力制御弁１０は、圧力検知部屋２８内の流体圧力Ｐｓが所定の基準圧力より高いときには、終端壁２４とプランジャ４６との吸引力と第２の補助スプリング３７との弾発力とにより弁体３３が弁口３９の縁部に押し付けられ、図２に示すように弁口３９が閉塞された状態になる。

圧力検知部屋２８内の流体圧力Ｐｓが所定の基準圧力より低くなると、図３に示すように、ダイヤフラム４４が感圧用筒部材４２の開放端から隆起し、突当部材５０の軸力が増加して、ダイヤフラム４４を有する可動軸部３０側がボディ１１に対して下方に相対移動する。これにより、弁体３３が弁口３９の縁部から離れ、弁口３９が開放し、流体供給路９２から分岐孔１７及び弁口３９を通して流体排出路９３に流体が流れる。ここで、ダイヤフラム４４と突当部材５０とは、芯だし凹部４４Ｂと芯だし突部５０Ａとにより芯だしされているので、円形襞４４Ａの中心に軸力がかかり、円形襞４４Ａが全周に亘って均等に変形し、ダイヤフラム４４の弾発力が安定する。これにより、弁体３３による弁口３９の開閉動作も安定する。

なお、ダイヤフラム４４側に仮に芯だし凹部４４Ｂを備えずに、ダイヤフラム４４と突当部材５０とが芯ずれ状態で当接していたとすると、図９に示すようにダイヤフラム４４の円形襞４４Ａが全周に亘って均等に変形せず、ダイヤフラム４４の弾発力がばらつく。このため、弁体３３による弁口３９の開閉動作も不安定になる。しかしながら、本実施形態の構成によれば、芯だし凹部４４Ｂと芯だし突部５０Ａとにより、上記した芯ずれを防ぐことができる。

なお、図１０に示すように、ソレノイド２２への励磁電流ｉを大きくすれば、弁体３３が開放する際の圧力検知部屋２８内の流体圧力Ｐｓが低くなる。

このように本実施形態の圧力制御弁１０によれば、芯だし突部５０Ａと芯だし凹部４４Ｂとによりダイヤフラム４４の円形襞４４Ａの中心に突当部材５０が位置決めされているので、円形襞４４Ａの中心に軸力がかかり、円形襞４４Ａが全周に亘って均等に変形し、ダイヤフラム４４の弾発力が安定する。これにより、弁体３３による弁口３９の開閉動作が安定する。しかも、感圧用筒部材４２と連絡軸３２とプランジャ４６とを備えてなる軸状の可動軸部３０の両端部を、ガイド筒２６及びキャップ１９のガイド孔１９Ｄで直動可能に案内したことにより、可動軸部３０の傾きが規制されて、直動する際の摺接抵抗が抑えられかつ安定する。これにより弁体３３による弁口３９の開閉動作が一層安定する。

また、芯だし突部５０Ａの外面及び芯だし凹部４４Ｂの内面が、共に略半球面であるから、応力集中を防ぐことができる。さらに、内側密着盤６３をダイヤフラム４４の内面に密着させたことにより、ダイヤフラム４４の強度アップが図られる。その上、終端壁２４とダイヤフラム４４との間の距離に、組み付け上のばらつきが生じても、連絡軸３２及び弁体３３の雌雄の螺子部３２Ｎ，３３Ｎによってそれら終端壁２４とダイヤフラム４４との間の距離を変更して、突当部材５０に対するダイヤフラム４４の弾発力を調整することができる。これにより、圧力検知部屋２８内の流体圧力Ｐｓと弁体３３の開閉との対応関係のばらつきを抑えることができ、ダイヤフラム４４を用いてもベローズと同様の精度で弁体３３の開閉制御を行うことが可能になる。

［第２実施形態］
本実施形態では、図１１に示すように、ダイヤフラム４４の外面の中心に外側密着盤６５が固定されている点が前記第１実施形態と異なる。以下、第１実施形態と異なる構成に関してのみ説明し、第１実施形態と同一の構成に関しては同一符号を付して重複した説明は省略する。

本実施形態の圧力制御弁８９では、ダイヤフラム４４の外面の中心に、例えば、接着剤にて外側密着盤６５を固着して本発明に係る中心当接部４４Ｄが構成されている。そして、その外側密着盤６５の上面に半球状の芯だし凹部６５Ａが陥没形成され、この芯だし凹部６５Ａに突当部材５０の芯だし突部５０Ａが突き当てられている。また、ダイヤフラム４４は外側密着盤６５と内側密着盤６３とによって挟まれている。さらに、外側密着盤６５の下面には凸係合部６５Ｂが設けられ、この凸係合部６５Ｂが内側密着盤６３の半球状凹部６３Ａに凹凸係合しかつこれら半球状凹部６３Ａと凸係合部６５Ｂとの間にダイヤフラム４４の半球状膨出部４４Ｃが挟まれている。

本実施形態の構成によれば、ダイヤフラム４４の外面に外側密着盤６５を密着させて中心当接部４４Ｄを構成したので、ダイヤフラム４４が補強される。また、内側密着盤６３及び外側密着盤６５に設けた半球状凹部６３Ａ及び凸係合部６５Ｂが、ダイヤフラム４４を間に挟んで凹凸係合しているので、外側密着盤６５とダイヤフラム４４との組み付け精度を向上させることができる。

［第３実施形態］
本実施形態では、図１２に示すように、弁体５３と連絡軸５１とが一体形成されており、感圧用筒部材４２と連絡軸５１とが別部品になっている。そして、感圧用筒部材４２の底壁４２Ｔに形成された本発明に係る「調整手段」としての雌螺子部５２Ｎに、連絡軸５１の一端に形成された本発明に係る「調整手段」としての雄螺子部５１Ｎが螺合している点が前記第１実施形態と異なる。以下、第１実施形態と異なる構成に関してのみ説明し、第１実施形態と同一の構成に関しては同一符号を付して重複した説明は省略する。

感圧用筒部材４２には、底壁４２Ｔの内面の中心から底面突部５２がダイヤフラム４４側に向けて突出形成されている。そして、底面突部５２に内蔵スプリング４３Ｃが嵌合されている。また、底壁４２Ｔの外面（図１２の下面）の中心には雌螺子５２Ｎが形成されている。その雌螺子部５２Ｎは底面突部５２の芯部に沿って延び、底壁４２Ｔの外面にのみ開放し、底面突部５２の先端側は閉塞されている。また、底壁４２Ｔには、雌螺子部５２Ｎを中心にした円形の凹部５２Ｍが陥没形成されている。

連絡軸５１は、弁体５３側から順番に小径部３２Ｂ、大径部３２Ａ、雄螺子部５１Ｎを備えた構造をなしている。雄螺子部５１Ｎは、小径部３２Ｂと略同じ径をなし、大径部３２Ａの両端部はテーパ状になって小径部３２Ｂ及び雄螺子部５１Ｎに連続している。そして、雄螺子部５１Ｎが感圧用筒部材４２の雌螺子部５２Ｎに螺合されている。また、弁体５３のうち連絡軸５１と離れた側の先端には、工具（例えば、ドライバー）を係合可能な工具溝５３Ｍが形成されている。

このように構成された本実施形態の圧力制御弁９０を組み付けるには、例えば、先端ボディ１３と基端ボディ２０とを嵌合する前に、先端ボディ１３の軸孔１６に連絡軸５１を挿通しておく。その状態で、連絡軸５１の雄螺子部５１Ｎに例えば接着剤を塗布し、感圧用筒部材４２の雌螺子部５２Ｎに螺合する。なお、このとき雌螺子部５２Ｎから溢れ出た接着剤は凹部５２Ｍに溜まる。

次いで、先端ボディ１３と基端ボディ２０とを嵌合する。そして、流体導入孔１８から図示しない工具を挿入して感圧用筒部材４２を回り止めし、接着剤が固化する前に雌雄の螺子部５１Ｎ，５２Ｎの螺合深さを変えることで終端壁２４（図１参照）とダイヤフラム４４との間の距離を変更して、突当部材５０に対するダイヤフラム４４の弾発力を調整する。これにより、圧力検知部屋２８内の流体圧力Ｐｓと弁体３３の開閉との対応関係のばらつきを抑えることができ、ダイヤフラム４４を用いてもベローズと同様の精度で弁体３３の開閉制御を行うことが可能になる。

［第４実施形態］
本実施形態は、図１３に示すように、連絡軸６２の構造が第１及び第２の実施形態と異なる。以下、第１及び第２の実施形態と異なる構成に関してのみ説明し、第１及び第２の実施形態と同一の構成に関しては同一符号を付して重複した説明は省略する。

本実施形態の圧力制御弁９１に備えた感圧用筒部材４２からは、軸孔１６内の途中部分まで第１連絡軸構成部６０が延びている。この第１連絡軸構成部６０の先端には、本発明に係る「調整手段」としての雌螺子部６０Ｎが形成されている。また、弁体５３の一端からは軸孔１６内の途中部分まで第２連絡軸構成部６１が延びている。この第２連絡軸構成部６１の先端にも本発明に係る「調整手段」としての雄螺子部６１Ｎが形成されている。

このように構成された本実施形態の圧力制御弁９１を組み付けるには、例えば、先端ボディ１３と基端ボディ２０とを嵌合する前に、第２連絡軸構成部６１の雄螺子部６１Ｎに接着剤を塗布しておき、軸孔１６の両端から第１と第２の連絡軸構成部６０，６１をそれぞれ挿入する。そして、これら雌雄の螺子部６０Ｎ，６１Ｎ同士を軸孔１６内で螺合する。これにより、第１及び第２の連絡軸構成部６０，６１同士が連結されて本発明に係る連絡軸６２となる。なお、このとき雌螺子部６０Ｎから溢れ出た接着剤は、第１連絡軸構成部６０と第２連絡軸構成部６１との段差部に溜まる。

次いで、先端ボディ１３と基端ボディ２０とを嵌合する。そして、流体導入孔１８から図示しない工具を挿入して感圧用筒部材４２を回り止めし、接着剤が固化する前に、雌雄の螺子部６０Ｎ，６１Ｎ同士の螺合深さを変えることで、終端壁２４（図１参照）とダイヤフラム４４との間の距離を変更して、突当部材５０に対するダイヤフラム４４の弾発力を調整する。これにより、圧力検知部屋２８内の流体圧力Ｐｓと弁体３３の開閉との対応関係のばらつきを抑えることができ、ダイヤフラム４４を用いてもベローズと同様の精度で弁体３３の開閉制御を行うことが可能になる。

［第５実施形態］
本実施形態の圧力制御弁１００は、図１４〜図１６に示されており、主として可動軸部３０の構造が第１実施形態と異なる。以下、第１実施形態と異なる構成に関してのみ説明し、第１実施形態と同一の構成に関しては同一符号を付して重複した説明は省略する。

本実施形態の可動軸部３０に備えたプランジャ４６Ｖは、図１４と図１とに対比して示すように、第１実施形態の可動軸部３０に備えたプランジャ４６より短い。具体的には、プランジャ４６Ｖは、例えばソレノイド２２の半分以下の長さになっている。また、プランジャ４６Ｖを短くしたことに伴い、終端壁２４Ｖが第１実施形態の終端壁２４に比べて下方に延長されている。

本実施形態のキャップ１９Ｖの底壁１９Ｃは、連絡軸３２の下端部より下方に離して配置されている。そして、底壁１９Ｃの中心に流体を通過させるための貫通孔１９Ｙが形成されている。また、本実施形態のプランジャ４６Ｖには、前記第１実施形態の大径部４６Ｔは設けられていない。このように本実施形態の圧力制御弁１００は、第１実施形態の異なり、キャップ１９Ｖと連絡軸３２との間、及び、ガイド筒２６とプランジャ４６Ｖとの間で、可動軸部３０の傾動を規制する機構を有しておらず、これらに代えて、本実施形態では、中心当接部４４Ｄによる芯出しと、連絡軸３２とシール部材８０との摺接とにより可動軸部３０の傾動を規制している。

本実施形態の圧力制御弁１００は、上記構成を有することにより、以下の作用効果を奏する。図１５には、例えば、圧力制御弁１００の各構成部品の寸法誤差等により、突当部材５０を含むボディ１１の軸中心に対し、可動軸部３０の軸中心が傾いて組み付けられた状態が強調して示されている。このような場合、正規の組み付け状態（図１４）に対し、可動軸部３０が中心当接部４４Ｄを支点にして傾き、その傾きは、可動軸部３０とシール部材８０との当接によって規制される。これにより、例えば、プランジャ４６がボディ１１の内面（詳細には、ガイド筒２６の内面）に当接したり、連絡軸３２が軸孔１６の内面に当接することが防がれる。そして、可動軸部３０が直動した際の摺接抵抗を、連絡軸３２とシール部材８０との間の摺接抵抗のみに留めることができる。ここで、正規の組み付け状態においても連絡軸３２とシール部材８０とは摺接するから、正規の組み付け状態と可動軸部３０が傾いて組み付けられた状態との間で、摺接抵抗の増加を抑えることができる。

また、本実施形態では、プランジャ４６Ｖを、第１実施形態に比べて短くしたので、正規の組み付け状態と可動軸部３０が傾いて組み付けられた状態との間で、終端壁２４Ｖとプランジャ４６Ｖとの磁気吸引力の変化を抑えることができる。ここで、図１６には、本実施形態の構成において、可動軸部３０が所定角度だけ傾いた状態と、第１実施形態の構成において、可動軸部３０が同じ所定角度だけ傾いた状態とが重ねて示されている。同図の二点鎖線で示したように、第１実施形態の構成において、可動軸部３０が所定角度だけ傾いた場合に、プランジャ４６の上端面４６Ｓ２と終端壁２４の下端面２４Ｓ２との間で、最も接近した部分同士の距離はｔ１１となり、最も離れた部分同士の距離はｔ１２となる。これに対し、同図の実線で示したように、本実施形態の構成において、可動軸部３０が同じ角度だけ傾いた場合に、プランジャ４６Ｖの上端面４６Ｓ１と終端壁２４Ｖの下端面２４Ｓ１との間で、最も接近した部分同士の距離はｔ１１となり、最も離れた部分同士の距離はｔ１２となる。そして、同図からも明らかなように、これら最も接近した部分同士の距離と、最も離れた部分同士の距離との差は、本実施形態の圧力制御弁１００の方が第１実施形態の圧力制御弁１０に比べて小さい。

従って、これら距離に基づいて算出される磁気吸引力に関しても、本実施形態の構成によれば、プランジャ４６Ｖの上端面４６Ｓ１と終端壁２４Ｖの下端面２４Ｓ１との間で、最も接近した部分に作用する磁気吸引力ｆ１と、最も離れた部分に作用する磁気吸引力ｆ２との差が、第１実施形態の構成によるそれら磁気吸引力ｆ１１，ｆ１２の差に比べて小さくなる。即ち、可動軸部３０が傾いたことによる磁気吸引力のアンバランスを防ぎ、正規の組み付け状態と可動軸部３０が傾いて組み付けられた状態との間で、終端壁２４Ｖとプランジャ４６との磁気吸引力の変化を抑えることができる。

［第６実施形態］
本実施形態は、図１７に示されている。以下、第１〜第５の実施形態と異なる構成に関してのみ説明し、第１〜第５の実施形態と同一の構成に関しては同一符号を付して重複した説明は省略する。

本実施形態の圧力制御弁１０１は、図１７の上下方向に延びたボディ１１Ｗの上端部に感圧用筒部材４２Ｗを固定して備えている。なお、本実施形態の感圧用筒部材４２Ｗの底壁には調整孔が貫通形成されており、圧力制御弁１０１の組み付けが完了した後に、感圧用筒部材４２Ｗ内を所定の圧力（例えば、圧力０の真空）に調節して、調整孔が封体４２Ｂにて閉塞される。

本実施形態の圧力制御弁１０１に備えた終端壁２４Ｗには貫通孔２４Ｋが形成され、その貫通孔２４Ｋを介して終端壁２４Ｗの上側空間２８Ａと下側空間２８Ｂとが連通し、これら連通した上側空間２８Ａと下側空間２８Ｂとが本発明に係る圧力検知部屋２８になっている。

本実施形態の突当部材１１０は、ボディ１１Ｗの軸芯部に直動可能に収容されている。突当部材１１０は、例えば、金属棒を軸方向の複数箇所に分けて外径が異なるように切削してなり、弁体１１０Ａ、小径部１１０Ｂ、大径部１１０Ｃ、先端突当部１１０Ｄを、図１７の下側から順番に備えた構造になっている。そして、突当部材１１０のうち弁体１１０Ａと小径部１１０Ｂと大径部１１０Ｃの下端寄り部分とが、前記第１実施形態の連絡軸３２と同様の機能を有する。

また、大径部１１０Ｃの上端寄り部分には、筒状のプランジャ１１１が嵌合固定されている。さらに、先端突当部１１０Ｄが終端壁２４Ｗの貫通孔２４Ｋに挿通され、その先端突当部１１０Ｄの先端に備えた芯だし突部５０Ａが、感圧用筒部材４２Ｗの下面開口に張られたダイヤフラム４４に突き当てられている。

本実施形態の圧力制御弁１０１においても、突当部材１１０とダイヤフラム４４との当接部分に前記第１実施形態で説明した中心当接部４４Ｄを備えられている。これにより、突当部材１１０とダイヤフラム４４との芯だし効果を得ることができる。また、その中心当接部４４Ｄによる芯出しと、連絡軸３２とシール部材８０との摺接とにより可動軸部３０の傾動を規制することができる。

［他の実施形態］
本発明は、前記実施形態に限定されるものではなく、例えば、以下に説明するような実施形態も本発明の技術的範囲に含まれ、さらに、下記以外にも要旨を逸脱しない範囲内で種々変更して実施することができる。

（１）前記第１〜第６の実施形態の圧力制御弁では、突当部材５０，５０Ｖ，１１０に芯だし突部１０Ａが備えられ、ダイヤフラム４４側に芯だし凹部４４Ｂ，６５Ａが備えられていたが、突当部材の先端面を半球面状に陥没させて芯だし凹部を形成し、ダイヤフラムの中心部から先細り状の芯だし突部を突出させてもよい。

（２）前記第１〜第６の実施形態では、ダイヤフラム４４の内側密着盤６３及び／又は外側密着盤６５を密着させた構成であったが、ダイヤフラム４４単体を突当部材５０に当接させた構成にしてもよい。

（３）前記第１〜第５の実施形態の圧力制御弁では、突当部材５０，５０Ｖが終端壁２４，２４Ｖに組み付けられて固定された構成であったが、終端壁に突当部材を一体形成してもよい。

（４）前記第１〜第５の実施形態の圧力制御弁におけるボディ１１のうち分割部分に備えた嵌合部１３Ｋ，２５Ｋの圧入嵌合深さを変更することで、終端壁２４，２４Ｖとダイヤフラム４４との距離を調整してもよい。

（５）図１８に示した圧力制御弁１０２のように、第６実施形態の圧力制御弁１０１のダイヤフラム４４の外面の中心に、前記第２実施形態で説明した外側密着盤６５を固定した構成にしてもよい。

本発明の第１実施形態に係る圧力制御弁の側断面図 圧力制御弁が閉じた状態の側断面図 圧力制御弁が開いた状態の側断面図 キャップの下面図 先端ボディとパッキン板とブッシュの分解側断面図 先端ボディとパッキン板とブッシュを組み付けた状態の側断面図 芯だし突部と芯だし凹部に嵌合した状態を示した断面図 突当部材とダイヤフラムとの芯がずれた状態を示した断面図 芯だし凹部を備えてない場合のダイヤフラムの変形状態を示した断面図 圧力制御弁の圧力検知部屋内の流体圧力とソレノイドの電流との対応グラフ 第２実施形態に係る圧力制御弁の側断面図 第３実施形態に係る圧力制御弁の側断面図 第４実施形態に係る圧力制御弁の側断面図 第５実施形態に係る圧力制御弁の側断面図 圧力制御弁の可動軸部が傾いた状態の側断面図 圧力制御弁の可動軸部が傾いた状態の部分断面図 第６実施形態に係る圧力制御弁の側断面図 圧力制御弁の変形例

符号の説明

１０，８９，９０，９１，１００，１０１，１０２ 圧力制御弁
１１，１１Ｗ ボディ
１３Ｋ，２５Ｋ 嵌合部（調整手段）
１６ 軸孔
１７ 分岐孔
１８ 流体導入孔
１９Ｄ ガイド孔（傾動規制部）
２２ ソレノイド
２４，２４Ｖ，２４Ｗ 終端壁
２４Ａ 固定孔
２５Ｔ 底壁
２６ ガイド筒（傾動規制部）
２８ 圧力検知部屋
３０ 可動軸部
３２，５１，６２ 連絡軸
３２Ｎ，３３Ｎ，５１Ｎ，５２Ｎ，６０Ｎ，６１Ｎ 螺子部（調整手段）
３３，５３，１１０Ａ 弁体
３９ 弁口
４２，４２Ｗ 感圧用筒部材
４２Ｔ 底壁
４４ ダイヤフラム
４４Ａ 円形襞
４４Ｂ，６５Ａ 芯だし凹部
４４Ｃ 半球状膨出部
４４Ｄ 中心当接部
４６，４６Ｖ，１１１ プランジャ
４６Ｔ 大径部（傾動規制部）
５０，５０Ｖ，１１０ 突当部材
５０Ａ 芯だし突部
６３Ａ 半球状凹部（凹凸係合部）
６５Ｂ 凸係合部（凹凸係合部）
８０ シール部材
Ｐｓ 流体圧力

Claims (18)

1. 弁体（３３，５３，１１０Ａ）が直動可能に組み付けられたボディ（１１，１１Ｗ）と、前記ボディ（１１，１１Ｗ）に形成された圧力検知部屋（２８）と、一端有底で筒状の感圧用筒部材（４２，４２Ｗ）と、前記感圧用筒部材（４２，４２Ｗ）の開口端に張られて、前記圧力検知部屋（２８）内の圧力に応じて弾性変形するダイヤフラム（４４）と、前記ダイヤフラム（４４）に突き当てられ、前記ダイヤフラム（４４）の弾性変形に応じて前記弁体（３３，５３，１１０Ａ）を直動させるための突当部材（５０，５０Ｖ，１１０）と、前記ボディ（１１，１１Ｗ）に形成されて前記弁体（３３，５３，１１０Ａ）によって開閉される弁口（３９）とを備えた圧力制御弁（１０，８９，９０，９１，１００，１０１，１０２）において、
   前記ダイヤフラム（４４）に形成された円形襞（４４Ａ）と、
   前記ダイヤフラム（４４）のうち前記円形襞（４４Ａ）の中心に設けられた中心当接部（４４Ｄ）と、
   前記突当部材（５０，５０Ｖ，１１０）及び前記中心当接部（４４Ｄ）の一方に形成されて、先細り状になった芯だし突部（５０Ａ）と、
   前記突当部材（５０，５０Ｖ，１１０）及び前記中心当接部（４４Ｄ）の他方に形成されて、前記芯だし突部（５０Ａ）を受容し、前記ダイヤフラム（４４）の中心に前記突当部材（５０，５０Ｖ，１１０）の軸芯を一致させるように案内する芯だし凹部（４４Ｂ，６５Ａ）とを備えたことを特徴とする圧力制御弁（１０，８９，９０，９１，１００，１０１，１０２）。
2. 前記芯だし突部（５０Ａ）の外面及び／又は前記芯だし凹部（４４Ｂ，６５Ａ）の内面の形状が、略半球面であることを特徴とする請求項１に記載の圧力制御弁（１０，８９，９０，９１，１００，１０１，１０２）。
3. 前記感圧用筒部材（４２，４２Ｗ）内に内側密着盤（６３）を収容すると共に、その内側密着盤（６３）を前記ダイヤフラム（４４）の内面に密着させ、前記ダイヤフラム（４４）及び前記内側密着盤（６３）の相互に密着した部分を陥没させて前記芯だし凹部（４４Ｂ）としたことを特徴とする請求項１又は２に記載の圧力制御弁（１０，９０，９１，１００，１０１）。
4. 前記ダイヤフラム（４４）の外面のうち前記突当部材（５０，５０Ｖ，１１０）が突き当てられる部分に外側密着盤（６５）を密着させ、その外側密着盤（６５）に前記芯だし凹部（６５Ａ）を形成したことを特徴とする請求項１又は２の何れかに記載の圧力制御弁（８９，１０２）。
5. 前記感圧用筒部材（４２，４２Ｗ）に内側密着盤（６３）を収容すると共に、その内側密着盤（６３）を前記ダイヤフラム（４４）の内面に密着させて、前記内側密着盤（６３）と前記外側密着盤（６５）との間に前記ダイヤフラム（４４）を挟み、
   前記内側密着盤（６３）と前記外側密着盤（６５）とには、前記ダイヤフラム（４４）を間に挟んだ状態で凹凸係合した凹凸係合部（６３Ａ，６５Ｂ）が設けられたことを特徴とする請求項４に記載の圧力制御弁（８９，１０２）。
6. 前記感圧用筒部材（４２）は、前記圧力検知部屋（２８）に収容され、
   前記ボディ（１１）のうち前記圧力検知部屋（２８）を囲む壁部に貫通形成されかつ前記圧力検知部屋（２８）から離れた側に前記弁口（３９）を備えた軸孔（１６）と、
   前記軸孔（１６）に挿通されて、前記弁口（３９）から突出した一端に前記弁体（３３，５３）を備えかつ、前記圧力検知部屋（２８）内に突出した他端に前記感圧用筒部材（４２）の底壁（４２Ｔ）が固定された連絡軸（３２，５１，６２）と、
   前記弁体（３３，５３）を、前記弁口（３９）の開口縁に向けて付勢する弁体閉塞付勢手段（２２，４６，４６Ｖ）と、
   前記軸孔（１６）の中間部分から分岐した分岐孔（１７）と、
   前記軸孔（１６）のうち前記分岐孔（１７）より前記圧力検知部屋（２８）側の内面と前記連絡軸（３２，５１，６２）との間の隙間をシールした軸孔シール部材（８０）と、
   前記ボディ（１１）のうち前記ダイヤフラム（４４）との対向位置に設けられかつ前記突当部材（５０，５０Ｖ）の基端部を保持した終端壁（２４，２４Ｖ）とを備え、
   前記圧力検知部屋（２８）内の流体圧力（Ｐｓ）が所定の基準圧力より低くなった場合に、前記弁体（３３，５３）が前記弁口（３９）を開き、前記圧力検知部屋（２８）内の流体圧力（Ｐｓ）が所定の基準圧力より高くなった場合に、前記弁体（３３，５３）が前記弁口（３９）を閉じるように構成されたことを特徴とする請求項１乃至５の何れかに記載の圧力制御弁（１０，８９，９０，９１，１００）。
7. 前記終端壁（２４，２４Ｖ）には、前記突当部材（５０，５０Ｖ）の基端部（５０Ｂ）を嵌合固定した固定孔（２４Ａ）が形成されたことを特徴とする請求項６に記載の圧力制御弁（１０，８９，９０，９１，１００）。
8. 前記感圧用筒部材（４２）から前記連絡軸（３２，５１，６２）と反対側に延びかつ中心部に前記突当部材（５０，５０Ｖ）が挿通された筒状のプランジャ（４６，４６Ｖ）と、
   前記プランジャ（４６，４６Ｖ）に、磁力による軸力を付与可能なソレノイド（２２）とを設け、
   前記プランジャ（４６，４６Ｖ）と前記ソレノイド（２２）とから前記弁体閉塞付勢手段（２２，４６，４６Ｖ）を構成したことを特徴とする請求項６又は７に記載の圧力制御弁（１０，８９，９０，９１，１００）。
9. 前記連絡軸（３２，５１，６２）及び前記プランジャ（４６）を含みかつ前記ボディ（１１）に対して直動する可動軸部（３０）の側面と、前記ボディ（１１）の内面との間の隙間を部分的に狭くして前記可動軸部（３０）の傾動を規制する傾動規制部（１９Ｄ，４６Ｔ）を、前記可動軸部（３０）の両端部の２箇所に設けたことを特徴とする請求項８に記載の圧力制御弁（１０，８９，９０，９１）。
10. 前記連絡軸（３２，５１，６２）及び前記プランジャ（４６Ｖ）を含みかつ前記ボディ（１１）に対して直動する可動軸部（３０）が、前記中心当接部（４４Ｄ）を支点として傾動することを、前記軸孔シール部材（８０）によって規制したことを特徴とする請求項８に記載の圧力制御弁（１００）。
11. 前記プランジャ（４６Ｖ）の長さを、前記ソレノイド（２２）の半分以下にしたことを特徴とする請求項１０に記載の圧力制御弁（１００）。
12. 前記弁体（３３，５３）が前記弁口（３９）を閉じた状態における前記終端壁（２４，２４Ｖ）と前記ダイヤフラム（４４）との距離を調整するための調整手段（３２Ｎ，３３Ｎ，５１Ｎ，５２Ｎ，６０Ｎ，６１Ｎ）を備えたことを特徴とする請求項６乃至１１の何れかに記載の圧力制御弁（１０，８９，９０，９１，１００）。
13. 前記弁体（３３，５３）は、前記連絡軸（３２）が貫通した筒状をなし、前記弁体（３３，５３）と前記連絡軸（３２）との間に、雌雄の螺子部（３２Ｎ，３３Ｎ）を設け、
    前記雌雄の螺子部（３２Ｎ，３３Ｎ）により前記調整手段（３２Ｎ，３３Ｎ）が構成されたことを特徴とする請求項１２に記載の圧力制御弁（１０，８９，１００）。
14. 前記感圧用筒部材（４２）と前記連絡軸（５１）とを別体にして、それら感圧用筒部材（４２）と連絡軸（５１）とに互いに螺合する雌雄の螺子部（５１Ｎ，５２Ｎ）を設け、前記雌雄の螺子部（５１Ｎ，５２Ｎ）により前記調整手段（５１Ｎ，５２Ｎ）が構成されたことを特徴とする請求項１２に記載の圧力制御弁（９０）。
15. 前記連絡軸（６２）は、前記感圧用筒部材（４２）から前記軸孔（１６）内の途中部分まで延びた第１連絡軸構成部（６０）と、前記弁体（３３，５３）に一体形成されて前記軸孔（１６）内の途中部分まで延びた第２連絡軸構成部（６１）とからなり、
    前記第１及び第２の連絡軸構成部（６０，６１）に互いに螺合する雌雄の螺子部（６０Ｎ，６１Ｎ）を設け、
    前記雌雄の螺子部（６０Ｎ，６１Ｎ）により前記調整手段（６０Ｎ，６１Ｎ）が構成されたことを特徴とする請求項１２に記載の圧力制御弁（９１）。
16. 前記ボディ（１１）を分割しかつ、その分割部分に互いに圧入嵌合される嵌合部（１３Ｋ，２５Ｋ）を設け、これら嵌合部（１３Ｋ，２５Ｋ）により前記調整手段（１３Ｋ，２５Ｋ）が構成されたことを特徴とする請求項１２乃至１５の何れかに記載の圧力制御弁（１０，８９，９０，９１，１００）。
17. 前記感圧用筒部材（４２Ｗ）は、前記ボディ（１１Ｗ）に固定されると共に、前記ダイヤフラム（４４）を挟んで、前記感圧用筒部材（４２Ｗ）の内部空間と前記圧力検知部屋（２８）とが区画され、
    前記ボディ（１１Ｗ）のうち前記圧力検知部屋（２８）を挟んで前記感圧用筒部材（４２Ｗ）と反対側の壁部に貫通形成され、前記圧力検知部屋（２８）から離れた側に前記弁口（３９）を有しかつ前記突当部材（１１０）が直動可能に貫通した軸孔（１６）と、
    前記軸孔（１６）の中間部分から分岐した分岐孔（１７）と、
    前記軸孔（１６）のうち前記分岐孔（１７）より前記圧力検知部屋（２８）側の内面と前記突当部材（１１０）との間の隙間をシールする軸孔シール部材（８０）とを備え、
    前記突当部材（１１０）のうち前記弁口（３９）から外側に突出した部分に前記弁体（１１０Ａ）を有しかつその弁体（１１０Ａ）を前記弁口（３９）側に付勢する弁体閉塞付勢手段（２２，１１１）を設け、
    前記圧力検知部屋（２８）内の流体圧力（Ｐｓ）が所定の基準圧力より低くなった場合に、前記弁体（１１０Ａ）が前記弁口（３９）を開き、前記圧力検知部屋（２８）内の流体圧力が所定の基準圧力より高くなった場合に、前記弁体（１１０Ａ）が前記弁口（３９）を閉じるように構成されたことを特徴とする請求項１乃至５に記載の圧力制御弁（１０１，１０２）。
18. 前記突当部材（１１０）が、前記中心当接部（４４Ｄ）を支点として傾動することを前記軸孔シール部材（８０）によって規制したことを特徴とする請求項１７に記載の圧力制御弁（１０１，１０２）。
    

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