JP2006084396A - 圧電検出装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 それぞれ曲面状の基板1、圧電体層2及び電極層3を有する圧電素子と、前記電極層と接続されたチャージアンプ4と、を備えている圧電検出装置である。
また、前記圧電素子を球弧状としても良い。
前記圧電素子に用いられる圧電体層2は、チタン酸ジルコン酸鉛(PZT )、チタン酸鉛、ニオブ酸リチウム、ニオブ酸タンタル、チタン酸ストロンチウム又はチタン酸バリウムのいずれか1種の材料から採用される。
【選択図】 図5
Description
一般に圧電素子は、圧電体と電極を一体化して機能するようになっており構造が極めて簡単である。
そのため小型化でき且つ生産性も高く、検知機能としての感度も優れたものである。
これまで、圧電式のセンサーとしては、圧電体にチタン酸ジルコン酸鉛(PZT)を代表とする鉛を含んだ複合酸化物系の強誘電体材料が多く用いられている。
特にPZT系の圧電体は圧電特性に優れているため、圧力等の物理量の入力に対する、電荷又は電位差等の出力が大きい。
また、強誘電体材料は歪−電界特性にヒステリシスを示すために精密な測定には不向となっている。
このようなことから、高温特性及び応答の線形性の観点を考慮すると、強誘電体ではない窒化アルミニウム(AlN)や酸化亜鉛(ZnO)等の圧電体が有効である(例えば、特許文献1,2参照)。
その結果、電気的に増幅するとS/N比の低下につながる。
すなわち、本発明は、圧力、力、加速度等の計測に用いられる圧電検出装置において、簡単な構造でありながら機械的信号を電気的信号に変換する際の感度を大きく向上させることができる圧電検出装置(圧力センサー)を提供するものである。
(第1実施形態)
図1は、本発明の第1実施形態に係る圧電検出装置を示している。
なお、各層は便宜的に大きさが異なっているものとして示した。
この第1実施形態の圧電検出装置は、それぞれ曲面状の基板1、圧電体層2及び電極層3を有する圧電素子Aと、基板1及び電極層3と接続されたチャージアンプ4と、を有している。
圧電素子Aは、曲面状に形成された基板1の凸面に沿って圧電体層2が形成され、その圧電体層2に沿って電極層3が順に形成されている。
圧電素子Aは各構成層が曲面状に形成されているため、構成層の一つである圧電体層自体も変形し易くなり後述するように電気出力信号を大きく取ることができる。
基板1としては導電性があれば特に限定されるものではないが、その上に形成される圧電体層2の形成し易さや、目的とする圧力や力の範囲に応じて、あるいは使用環境に応じて適宜選択することができる。
ペロブスカイト系複合酸化物の上記Aサイトとしては通常、Pb,Ba,Ca,Sr,La,Li,Biの中から選択される少なくとも1種の元素を採用することができる。
上記BサイトとしてはTi,Zr,Zn,Ni,Mg,Co,W,Nb,Sb,Ta,Feの中から選択される少なくとも1種の元素を採用することができる。
このような複合酸化物の具体例としては、Pb(Zr,Ti)O3,PbTiO3,BaTiO3,SrTiO3,(PB,La)(Zr,Ti)O3,LiNbO3等が挙げられる。
ウルツ鉱型構造としては具体的には窒化アルミニウム、窒化ガリウム、窒化インジウム、酸化ベリリウム、酸化亜鉛、硫化カドミウム、硫化亜鉛又はヨウ化銀等があり、これらの中から1種選択すれば良い。
圧電体層2の形成方法としては、スパッタリング法、真空蒸着法、レーザーアブレーション法、イオンプレーティング法、CVD法又はMOCVD法等が知られており、その中から好ましいもの適宜選択することができる。
すなわち、厚みが0.05μm未満では圧電センサーとして用いた場合に十分な出力が得られにくく、逆に100μmを超えると柔軟性が乏しくなりクラックや剥離を引き起こす恐れがある。
電極3の形成方法は特に限定されるものではなく、例えば塗布処理、メッキ法、スパッタリング法又は真空蒸着法等の物理蒸着法を用いることができる。
第1実施形態の圧電検出装置は、少なくとも圧電素子とそれに接続されたチャージアンプ4を有している。
具体的には図に示すようにアースされた基板1と電極層3との間の出力をチャージアンプ4を用いて増幅させる構成を備えている。
チャージアンプ4を用いたことにより感度が向上して、必ずしもピックアップ容量やケーブル容量に依存する必要がなくなる利点がある。
そのため圧電体層と電極層との接合割合(すなわち、圧電体層全面積に対する電極層の面積)を、適宜選択することができ、例えはセンサーとしての感度を変えることができる。
この接合割合は、接合強度の観点から30%〜100%とすることが好ましい。
図3に示す圧電素子は、圧電体層と電極層との接合割合が50%のものである。
このように圧電体層と電極層との接合面積が50%の場合は、接合面積が100%の場合に較べて圧電素子としての感度は半減することとなる。
ここで、本発明の圧電素子は、上面から見た場合の形状として、上述したように必ずしも長方形とは限らず、例えば、球形の一部であっても良い。
図4は球形の一部(球弧状)とした形状の圧電素子を示したものであり、いわゆる、お碗を逆にしたような形となっている。
以下、実施例を挙げて説明するが、本発明は、当然、これらの実施例によっても限定されるものではない。
図に示すように、この圧電検出装置は圧電素子(基板、圧電体層及び電極層)とチャージアンプ4とを備える。
圧電素子としては、基板として厚さ0.1mmのステンレス板5、圧電体層として1μmの窒化アルミニウム6、及び電極層として○○μmの銅電極を有するものである(各層は大きさが同じであるが便宜的に異なった大きさで示した)。
また、圧電素子の作製に当たっては、ステンレス板5の表面に窒化アルミニウム6をRFマグネトロンスパッタリング法により形成し、更にその上に銅電極6を真空蒸着により形成した。
実験としては、図に示すように、ロードセル9が取り付けてある加振機8を用いて、上方から圧電素子に正弦的な荷重を負荷した。
また、この加振機8によって加えた負荷された正弦荷重に対応して出力された圧電出力信号をチャージアンプで増幅し、オシロスコープ10でモニターした。
結果は、図に示されるように、負荷された正弦荷重に対応し、正弦的な圧電出力信号が検出された。
ロードセル出力電圧の振幅から荷重を、チャージアンプ出力電圧の振幅から電荷を計算すると、それぞれ0.0171Nおよび414pCであった。
窒化アルミニウムの圧電d定数はd33が約5pC/N、d31が約−2pC/Nといわれている。
なお、圧電d定数とは、圧電体に電界(V/m)を印加した場合に、どれだけ変位するかを表す係数を示し、
本実施例の荷重、電荷から単純に圧電d定数を計算するとd31は約24000pC/Nとなり、一般的にいわれている値に比べ桁違いの大きな値となった。
このことから本発明の圧電検出装置の優れた有用性が分かる。
2 圧電体層
3 電極層
4 チャージアンプ
5 ステンレス板
6 窒化アルミニウム
7 銅電極
8 加振機
9 ロードセル
10 オシロスコープ
G 被取付け面
S 支持部
Claims (7)
- それぞれ曲面状の基板、圧電体層及び電極層を有する圧電素子と、前記電極層と接続されたチャージアンプと、を備えていることを特徴とする圧電検出装置。
- 前記圧電体層と電極層との接合割合が50%〜100%であることを特徴とする請求項1に記載の圧電検出装置。
- 前記圧電素子が球弧状であることを特徴とする請求項1記載の圧電検出装置。
- 前記圧電素子に用いられる圧電体層が複合酸化物を主成分とすることを特徴とする請求項1ないし請求項3のいずれか1項に記載の圧電検出装置。
- 前記複合酸化物は、チタン酸ジルコン酸鉛(PZT )、チタン酸鉛、ニオブ酸リチウム、ニオブ酸タンタル、チタン酸ストロンチウム又はチタン酸バリウムのいずれか1種であることを特徴とする請求項5に記載の圧電検出装置。
- 前記圧電素子に用いられる圧電体層がウルツ鉱型構造の化合物を主成分とすることを特徴とする請求項1ないし請求項3のいずれか1項に記載の圧電検出装置。
- 前記ウルツ鉱型構造の化合物は、窒化アルミニウム、窒化ガリウム、窒化インジウム、酸化ベリリウム、酸化亜鉛、硫化カドミウム、硫化亜鉛又はヨウ化銀のいずれか1種であることを特徴とする請求項6に記載の圧電検出装置。
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