JP2006079661A - Magneto-optical recording medium - Google Patents

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Motonobu Mihara
基伸 三原
Akira Kurita
亮 栗田
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a magneto-optical recording medium suited for obtaining high magnetic wall mobility regarding a reproducing layer in which magnetic wall movement occurs during information reproduction. <P>SOLUTION: The magneto-optical recording medium X is provided with a recording layer 11 as a recording function, a reproducing layer 13 as a reproducing function accompanied by magnetic wall movement, and an intermediate layer 12 disposed between the recording and reproducing layers 11 and 13 to change the exchange coupled state thereof. The reproducing layer 13 is made of a amorphous alloy containing a rare earth element and a transition metal, and the rare earth element contains Gd and Y or La. The content of Y or La in the reproducing layer 13 is 1 to 20 at %. <P>COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

Description

本発明は、情報再生時に磁壁移動ないし磁区拡大を生ずる再生層を有する光磁気記録媒体に関する。   The present invention relates to a magneto-optical recording medium having a reproducing layer that causes domain wall movement or domain expansion during information reproduction.

光学的に情報が読み取られる光メディアの一形態として、光磁気ディスクが知られている。光磁気ディスクは、熱磁気的に記録され且つ磁気光学効果を利用して再生される書き換え可能な光磁気記録媒体である。また、光磁気ディスクは、垂直磁化膜からなる記録層を有し、当該記録層において、磁化方向の変化として所定の信号が記録される。この記録信号は、所定の光学系で読み取られて再生信号として出力される。   A magneto-optical disk is known as one form of optical media from which information is optically read. A magneto-optical disk is a rewritable magneto-optical recording medium that is thermomagnetically recorded and reproduced using the magneto-optical effect. Further, the magneto-optical disk has a recording layer made of a perpendicular magnetization film, and a predetermined signal is recorded in the recording layer as a change in the magnetization direction. This recording signal is read by a predetermined optical system and output as a reproduction signal.

光磁気ディスクの技術分野では、読取り用の光学系における分解能の限界を超えて高密度に記録された信号を実用的に再生するための、磁壁移動ないし磁区拡大を伴う再生方式が開発されている。例えば、DWDD(domain wall displacement detection)や、MAMMOS(magnetic amplifying magneto-optical system)である。これらのような再生方式が採用される磁区拡大系の光磁気ディスクについては、例えば下記の特許文献1〜3に記載されている。   In the technical field of magneto-optical disks, a reproduction system with domain wall movement or domain expansion has been developed to practically reproduce signals recorded at a high density exceeding the resolution limit in a reading optical system. . For example, DWDD (domain wall displacement detection) and MAMMOS (magnetic amplifying magneto-optical system). For example, the following Patent Documents 1 to 3 describe a magnetic domain expansion type magneto-optical disk employing such a reproduction method.

特開平6−290496号公報Japanese Patent Application Laid-Open No. 6-290496 特開2001−56977号公報JP 2001-56777 A 特開2003−132599号公報JP 2003-132599 A

磁区拡大系の光磁気ディスクにおいては、記録層と、再生層と、これらの間の中間層とによる積層構造を含む記録磁性部が、基板上に設けられて記録面を構成する。これら三層は、各々、希土類−遷移金属アモルファス合金よりなる垂直磁化膜であり、非加熱時において隣接二層間に交換相互作用が働くように積層されている。記録層は相対的に大きな磁壁抗磁力を呈し、再生層は相対的に小さな磁壁抗磁力を呈し、中間層は他の二層より低いキュリー温度を有する。また、このような記録磁性部ないし記録面において、渦巻き状に又は同心円状に情報トラック(信号記録を担うトラック)が設けられている。   In a magnetic domain expansion system magneto-optical disk, a recording magnetic part including a laminated structure of a recording layer, a reproducing layer, and an intermediate layer therebetween is provided on a substrate to constitute a recording surface. Each of these three layers is a perpendicular magnetization film made of a rare earth-transition metal amorphous alloy, and is laminated so that exchange interaction works between two adjacent layers when not heated. The recording layer exhibits a relatively large domain wall coercivity, the reproducing layer exhibits a relatively small domain wall coercivity, and the intermediate layer has a lower Curie temperature than the other two layers. In addition, in such a recording magnetic part or recording surface, information tracks (tracks for signal recording) are provided spirally or concentrically.

磁区拡大系光磁気ディスクへの情報記録においては、当該ディスクを回転させた状態で、記録用のレーザビームを情報トラックに対して照射することにより記録層を局所的に順次昇温させつつ、当該昇温箇所に所定の磁界を印加する。このようにして、情報トラック内の記録層には、所定の信号が記録される。具体的には、記録層には、ディスク周方向に沿って連続して交互に磁化が反転し且つ記録信号に応じた所定の長さを各々が有する複数の磁区と、磁区間の境界をなす磁壁とが形成される。中間層のキュリー温度より低い温度条件の下では、記録層と中間層とは交換結合し且つ中間層と再生層とは交換結合し、中間層および再生層には、記録層と同方向に磁化された磁区と、磁区間の磁壁とが形成される。   In information recording on a magnetic domain expansion system magneto-optical disk, while the disk is rotated, the recording layer is irradiated with a recording laser beam to sequentially increase the temperature of the recording layer locally. A predetermined magnetic field is applied to the temperature rising point. In this way, a predetermined signal is recorded on the recording layer in the information track. Specifically, the recording layer forms a boundary between a magnetic section and a plurality of magnetic domains each having a predetermined length corresponding to a recording signal, the magnetization of which is alternately reversed continuously along the disk circumferential direction. A domain wall is formed. Under a temperature condition lower than the Curie temperature of the intermediate layer, the recording layer and the intermediate layer are exchange-coupled and the intermediate layer and the reproduction layer are exchange-coupled, and the intermediate layer and the reproduction layer are magnetized in the same direction as the recording layer. The magnetic domain and the domain wall of the magnetic domain are formed.

磁区拡大系光磁気ディスクからの情報再生においては、当該ディスクを回転させた状態で再生用のレーザビームを情報トラックに対して照射することによって情報トラックを走査する。このとき、照射領域の情報トラック内部には、当該走査方向に、照射領域の中心付近に温度ピークを有する温度勾配が生ずる。照射領域における、中間層のキュリー温度の等温線を、再生層の磁壁が当該走査に伴って低温領域から高温領域へと通過する瞬間に、当該磁壁は再生層内をより高温の側へと移動する。そして、再生層内の当該磁壁移動に伴い、磁壁移動領域の磁化は反転する。この磁化反転を、再生層の表面にて反射した光の偏光面の変化として所定の光学系で検出することにより、磁壁移動が検知される。情報トラックに沿って再生用のレーザビームを照射して磁壁移動を順次検知することにより、光磁気ディスクの記録信号が読み取られることとなる。このような読み取りによると、再生用レーザビームのスポット全体ではなく、ビームスポット内の等温線(中間層のキュリー温度の等温線)により、情報トラック内の再生層ないし記録層の記録パターンが弁別される。したがって、磁区拡大系光磁気ディスクによると、再生用光学系における分解能の限界を超えて記録層に高密度に記録された信号であっても、即ち、記録マーク(信号に応じた長さをトラック延び方向に有して記録層内に形成された信号磁区)の長さがスポット径よりも小さな記録パターンであっても、実用的に再生することが可能なのである。   In the information reproduction from the magnetic domain expansion system magneto-optical disk, the information track is scanned by irradiating the information track with a reproduction laser beam while the disk is rotated. At this time, a temperature gradient having a temperature peak near the center of the irradiation region is generated in the scanning direction in the information track of the irradiation region. In the irradiation region, the domain wall moves to the higher temperature side in the reproducing layer at the moment when the magnetic wall of the reproducing layer passes through the isothermal line of the Curie temperature of the intermediate layer from the low temperature region to the high temperature region with the scanning. To do. As the domain wall moves in the reproducing layer, the magnetization of the domain wall moving region is reversed. The domain wall motion is detected by detecting this magnetization reversal with a predetermined optical system as a change in the polarization plane of the light reflected on the surface of the reproducing layer. By irradiating the reproducing laser beam along the information track and sequentially detecting the domain wall movement, the recording signal of the magneto-optical disk is read. According to such reading, the recording pattern of the reproducing layer or recording layer in the information track is discriminated not by the entire spot of the reproducing laser beam but by the isotherm in the beam spot (the Curie temperature isotherm of the intermediate layer). The Therefore, according to the magnetic domain expansion system magneto-optical disk, even a signal recorded at a high density on the recording layer exceeding the resolution limit in the reproducing optical system, that is, the recording mark (the length corresponding to the signal is tracked). Even a recording pattern in which the length of the signal magnetic domain) formed in the recording layer in the extending direction is smaller than the spot diameter can be reproduced practically.

このような磁区拡大系光磁気ディスクの記録層や中間層の構成材料としては、一般に、希土類元素であるTbと3d遷移金属とのアモルファス合金が採用される。Tbと3d遷移金属とのアモルファス合金によると、磁壁抗磁力が比較的大きく従って記録層や中間層に適した垂直磁化膜を形成しやすいことが知られている。これに対し、再生層の構成材料としては、一般に、希土類元素であるGdと3d遷移金属とのアモルファス合金が採用される。Gdと3d遷移金属とのアモルファス合金によると、磁壁抗磁力が比較的小さく従って再生層に適した垂直磁化膜を形成しやすいことが知られている。磁壁抗磁力が小さいほど、再生層内の磁壁移動は速くなる傾向にある。   As a constituent material of the recording layer and the intermediate layer of such a magnetic domain expansion magneto-optical disk, generally an amorphous alloy of Tb, which is a rare earth element, and a 3d transition metal is employed. It is known that an amorphous alloy of Tb and a 3d transition metal has a relatively large domain wall coercive force, so that it is easy to form a perpendicular magnetization film suitable for a recording layer or an intermediate layer. On the other hand, as a constituent material of the reproducing layer, an amorphous alloy of Gd, which is a rare earth element, and a 3d transition metal is generally used. It is known that an amorphous alloy of Gd and a 3d transition metal has a relatively small domain wall coercive force, so that it is easy to form a perpendicular magnetization film suitable for the reproducing layer. The smaller the domain wall coercive force, the faster the domain wall movement in the reproducing layer.

一方、磁区拡大系光磁気ディスクの技術分野においては、上述のような情報記録によって記録層内に安定に形成され得る最小の記録マーク(磁区)が微小であるほど、従って、記録層から中間層を介して再生層に転写されて当該再生層内に安定に形成され得る最小の磁区が微小であるほど、より高い記録密度を実現できることが知られている。コンピュータシステムにおける情報処理量の増大に伴い、光磁気ディスクを含む記録媒体については、より高い記録密度が要求される。   On the other hand, in the technical field of magnetic domain expansion type magneto-optical disks, the smaller the minimum recording mark (magnetic domain) that can be stably formed in the recording layer by information recording as described above, the more the recording layer to the intermediate layer. It is known that a higher recording density can be realized as the minimum magnetic domain that can be transferred to the reproducing layer via the recording medium and stably formed in the reproducing layer is smaller. As the amount of information processing in a computer system increases, a higher recording density is required for recording media including magneto-optical disks.

従来の光磁気ディスクにおいては、記録層における最小記録マーク長が100nm程度以上に設定される場合には実用的に情報再生が実行されるが、記録層における最小記録マーク長が60nm程度に短く設定される場合、情報再生に際して再生信号の欠落が顕著となる。このような問題の生じる主な理由としては、再生層内での磁壁移動速度が不充分であることが挙げられる。記録層における記録マーク長が小さいほど、情報再生に際してのビームスポット照射領域再生層内での磁壁移動に要求される必要最低速度は高くなるところ、希土類元素であるGdと3d遷移金属とのアモルファス合金よりなる従来の再生層では、記録層の最小記録マーク長が60nm程度に短く設定される場合に、充分な磁壁移動速度が得られないのである。従来の技術によると、このように再生層の磁壁移動性が充分でなく、そのため、実用的に磁区拡大系光磁気ディスクの高記録密度化を図るのが困難である。   In a conventional magneto-optical disk, information reproduction is practically performed when the minimum recording mark length in the recording layer is set to about 100 nm or more, but the minimum recording mark length in the recording layer is set to be as short as about 60 nm. When the information is reproduced, the lack of a reproduction signal becomes significant during information reproduction. The main reason why such a problem occurs is that the domain wall moving speed in the reproducing layer is insufficient. The smaller the recording mark length in the recording layer, the higher the required minimum speed required for the domain wall movement in the beam spot irradiation region reproducing layer for information reproduction. However, an amorphous alloy of Gd, which is a rare earth element, and a 3d transition metal In the conventional reproducing layer, a sufficient domain wall moving speed cannot be obtained when the minimum recording mark length of the recording layer is set to be as short as about 60 nm. According to the conventional technique, the domain wall mobility of the reproducing layer is not sufficient as described above, and it is difficult to practically increase the recording density of the magnetic domain expansion type magneto-optical disk.

本発明は、このような事情の下で考え出されたものであって、情報再生時に磁壁移動が生ずる再生層について高い磁壁移動性を得るのに適した光磁気記録媒体を提供することを、目的とする。   The present invention has been conceived under such circumstances, and provides a magneto-optical recording medium suitable for obtaining high domain wall mobility for a reproducing layer in which domain wall movement occurs during information reproduction. Objective.

本発明により提供される光磁気記録媒体は、記録機能を担う記録層と、磁壁移動を伴う再生機能を担う再生層と、記録層および再生層の間に介在して当該記録層および再生層の交換結合状態を変化させるための中間層とを備える。本発明において、再生層は、希土類元素と遷移金属とを含むアモルファス合金よりなる。希土類元素は、Gdと、YまたはLaとを含み、遷移金属は、好ましくはFeおよび/またはCoを含む。また、再生層におけるYまたはLaの含有率は1〜20at%(アトミックパーセント)である。   The magneto-optical recording medium provided by the present invention includes a recording layer responsible for a recording function, a reproducing layer responsible for a reproducing function accompanied by domain wall movement, and the recording layer and the reproducing layer interposed between the recording layer and the reproducing layer. And an intermediate layer for changing the exchange coupling state. In the present invention, the reproduction layer is made of an amorphous alloy containing a rare earth element and a transition metal. The rare earth element contains Gd and Y or La, and the transition metal preferably contains Fe and / or Co. The content of Y or La in the reproduction layer is 1 to 20 at% (atomic percent).

このような構成によると、再生層について、要求される垂直磁気異方性を確保しつつ磁壁移動性を向上することができる、という知見が得られた。   According to such a configuration, it was found that the domain wall mobility of the reproducing layer can be improved while ensuring the required perpendicular magnetic anisotropy.

垂直磁化膜内での磁壁の移動性に影響を及ぼす因子として、垂直磁化膜を構成する元素の軌道角運動量が挙げられる。この値が小さいほど、垂直磁化膜内で磁壁は移動しやすい(即ち、垂直磁化膜内での磁壁移動の高速化を図るうえで好適である)ところ、本発明における再生層を構成する希土類元素であるGdの軌道角運動量は0であり、同じく本発明における再生層を構成する希土類元素であるYおよびLaの軌道角運動量も0である。また、YおよびLaは、単独では非磁性の性質を示す元素であるが、希土類元素の一部としてYまたはLaを再生層(希土類−遷移金属アモルファス合金よりなる)に含有させても、当該再生層の磁気的特性は、YまたはLaの含有量に比例するようには劣化しない(これは、YおよびLaの有する5d電子が再生層の磁性に寄与するためと考えられる)。したがって、希土類元素としてYまたはLaを比較的多く再生層に含有させても、再生層の磁気的特性は過度には劣化せず、当該再生層について所定の垂直磁気異方性を確保することが可能である。本発明における再生層について垂直磁気異方性を確保しつつ高い磁壁移動性を得ることができるのは、これらの事実を基礎として成り立つものである。   A factor that affects the mobility of the domain wall in the perpendicular magnetization film is the orbital angular momentum of the elements constituting the perpendicular magnetization film. The smaller this value, the easier the domain wall moves in the perpendicular magnetization film (that is, suitable for speeding up the domain wall movement in the perpendicular magnetization film), but the rare earth element constituting the reproducing layer in the present invention. The orbital angular momentum of Gd is 0, and the orbital angular momentum of Y and La, which are the rare earth elements constituting the reproducing layer in the present invention, is also zero. Y and La are elements that exhibit non-magnetic properties by themselves. However, even if Y or La is contained as a part of the rare earth element in the reproduction layer (made of a rare earth-transition metal amorphous alloy), the reproduction is also performed. The magnetic properties of the layer do not deteriorate in proportion to the Y or La content (this is probably because the 5d electrons of Y and La contribute to the magnetism of the reproducing layer). Therefore, even if a relatively large amount of Y or La is contained in the reproducing layer as a rare earth element, the magnetic properties of the reproducing layer are not excessively deteriorated, and a predetermined perpendicular magnetic anisotropy can be secured for the reproducing layer. Is possible. The fact that high domain wall mobility can be obtained while ensuring the perpendicular magnetic anisotropy in the reproducing layer in the present invention is based on these facts.

以上のような本発明によると、情報再生時に磁壁移動が生ずる再生層について高い磁壁移動性を達成するのに適した光磁気記録媒体を得ることができる。このような光磁気記録媒体は、媒体の高記録密度化を図るうえで好適である。   According to the present invention as described above, it is possible to obtain a magneto-optical recording medium suitable for achieving high domain wall mobility for a reproducing layer in which domain wall movement occurs during information reproduction. Such a magneto-optical recording medium is suitable for increasing the recording density of the medium.

好ましくは、再生層の垂直磁気異方性定数Kuは1×104〜5×105erg/cm3である。Kuが1×104erg/cm3未満である場合、Kuが小さ過ぎるために再生層が面内磁化膜になってしまう傾向が高い(即ち、再生層についてKu−2πMs2<0〔Ms:飽和磁化〕となりやすい)。Kuが5×105erg/cm3を超える場合、再生層の磁壁抗磁力が大きくなり過ぎて再生層内で磁壁移動が生じにくくなる。 Preferably, the perpendicular magnetic anisotropy constant Ku of the reproducing layer is 1 × 10 4 to 5 × 10 5 erg / cm 3 . When Ku is less than 1 × 10 4 erg / cm 3 , Ku tends to be an in-plane magnetization film because Ku is too small (that is, Ku−2πMs 2 <0 [Ms: Saturation magnetization] is likely to occur. When Ku exceeds 5 × 10 5 erg / cm 3 , the domain wall coercive force of the reproducing layer becomes too large, and domain wall movement hardly occurs in the reproducing layer.

好ましくは、再生層のキュリー温度は180〜350℃である。当該キュリー温度が180℃未満である場合、再生層のキュリー温度が中間層のキュリー温度(例えば130℃程度)に接近し過ぎるため、磁壁移動に伴う再生信号振幅を確保しにくくなる。当該キュリー温度が350℃を超える場合、再生層の飽和磁化Msが大きくなり過ぎるため、再生層が面内磁化膜になってしまう傾向が高い(即ち、再生層についてKu−2πMs2<0となりやすい)。 Preferably, the Curie temperature of the reproduction layer is 180 to 350 ° C. If the Curie temperature is less than 180 ° C., the Curie temperature of the reproduction layer is too close to the Curie temperature of the intermediate layer (for example, about 130 ° C.), so that it is difficult to ensure the reproduction signal amplitude accompanying the domain wall movement. When the Curie temperature exceeds 350 ° C., the saturation magnetization Ms of the reproduction layer becomes too large, and thus the reproduction layer tends to become an in-plane magnetization film (that is, Ku−2πMs 2 <0 tends to be obtained for the reproduction layer). ).

好ましくは、再生層の厚さは10〜50nmである。当該厚さが10nm未満である場合、再生層が薄過ぎるために再生層の透過率が高くなり(従って反射率が低くなり)、情報再生時におけるカー回転角が小さくなってしまう。当該厚さが50nmを超える場合、再生層が厚すぎるために再生層−記録層間の交換結合力が小さくなり、記録層から再生層に対して信号を適切に転写することが困難となる。   Preferably, the thickness of the reproduction layer is 10 to 50 nm. If the thickness is less than 10 nm, the reproducing layer is too thin, and the transmittance of the reproducing layer becomes high (thus, the reflectance becomes low), and the Kerr rotation angle during information reproduction becomes small. When the thickness exceeds 50 nm, since the reproducing layer is too thick, the exchange coupling force between the reproducing layer and the recording layer becomes small, and it becomes difficult to appropriately transfer a signal from the recording layer to the reproducing layer.

図1は、本発明に係る光磁気ディスクXの部分断面図である。光磁気ディスクXは、基板Sと、記録磁性部10と、プリグルーブ層21と、熱伝導層22と、誘電体層23,24と、保護膜25とを備え、フロントイルミネーション方式の光磁気ディスクとして構成されたものである。また、光磁気ディスクXは、プリグルーブ層21から保護膜25までの構造を基板Sの片側のみ又は両側に有する。   FIG. 1 is a partial sectional view of a magneto-optical disk X according to the present invention. The magneto-optical disk X includes a substrate S, a recording magnetic unit 10, a pre-groove layer 21, a heat conductive layer 22, dielectric layers 23 and 24, and a protective film 25, and includes a front illumination type magneto-optical disk. It is configured as. The magneto-optical disk X has a structure from the pre-groove layer 21 to the protective film 25 on only one side or both sides of the substrate S.

基板Sは、光磁気ディスクXの剛性を確保するための部位であり、例えば、樹脂、シリコン、アルミニウム、またはガラスよりなるディスク基板である。   The substrate S is a part for ensuring the rigidity of the magneto-optical disk X, and is, for example, a disk substrate made of resin, silicon, aluminum, or glass.

記録磁性部10は、記録層11、中間層12、および再生層13よりなる積層構造を有し、再生層13内での磁壁移動ないし磁区拡大を伴う磁区拡大系再生方式(例えばDWDDやMAMMOSなど)に基づいて再生可能に構成されている。   The recording magnetic unit 10 has a laminated structure composed of a recording layer 11, an intermediate layer 12, and a reproducing layer 13, and a magnetic domain expansion system reproducing system (for example, DWDD, MAMMOS, etc.) accompanied by domain wall movement or magnetic domain expansion in the reproducing layer 13 is used. ) Is configured to be reproducible based on.

記録層11は、光磁気ディスクXにおいて記録機能を担う部位であって、希土類元素と遷移金属とを含むアモルファス合金よりなり、且つ、垂直磁気異方性を有して垂直方向に磁化された垂直磁化膜である。垂直方向とは、層を構成する磁性膜の膜面に対して垂直な方向をいう。このような記録層11は、例えば、所定の組成比のTbFeCоやTbDyFeCоなどよりなる。また、記録層11の厚さは例えば40〜100nmである。   The recording layer 11 is a part responsible for the recording function in the magneto-optical disk X, is made of an amorphous alloy containing a rare earth element and a transition metal, and has a perpendicular magnetic anisotropy and is perpendicularly magnetized in the perpendicular direction. It is a magnetized film. The vertical direction means a direction perpendicular to the film surface of the magnetic film constituting the layer. Such a recording layer 11 is made of, for example, TbFeCо or TbDyFeCо having a predetermined composition ratio. The recording layer 11 has a thickness of 40 to 100 nm, for example.

中間層12は、記録層11および再生層13の交換結合状態を変化させるための部位であって、昇温によりそのキュリー温度にて垂直磁化状態から自発磁化消失状態に転移(状態変化)し且つ降温によりキュリー温度にて自発磁化消失状態から垂直磁化状態に転移する希土類−遷移金属アモルファス合金よりなる。本実施形態では、中間層12のキュリー温度は例えば100〜150℃であり、従って、室温において中間層12は垂直磁化膜である。このような中間層12は、例えば、所定の組成比のTbFeやTbFeCоなどよりなる。また、中間層12の厚さは例えば10〜30nmである。   The intermediate layer 12 is a part for changing the exchange coupling state of the recording layer 11 and the reproducing layer 13, and changes from the perpendicular magnetization state to the spontaneous magnetization disappearance state (state change) at the Curie temperature when the temperature rises. It consists of a rare earth-transition metal amorphous alloy that transitions from a spontaneous magnetization disappearance state to a perpendicular magnetization state at the Curie temperature due to a temperature drop. In this embodiment, the Curie temperature of the intermediate layer 12 is, for example, 100 to 150 ° C. Therefore, the intermediate layer 12 is a perpendicular magnetization film at room temperature. Such an intermediate layer 12 is made of, for example, TbFe or TbFeCо having a predetermined composition ratio. Moreover, the thickness of the intermediate layer 12 is, for example, 10 to 30 nm.

再生層13は、磁壁移動ないし磁区拡大を伴う再生機能を担う部位であり、希土類−遷移金属アモルファス合金よりなる垂直磁化膜である。再生層13を構成する希土類元素としては、少なくとも、GdとYまたはLaとが採用され、遷移金属としては例えばFeやCoが採用される。具体的には、再生層13は、GdYFeCo、GdLaFeCo、または、これらに他の希土類元素や遷移金属が添加された組成の希土類−遷移金属アモルファス合金よりなる。このような再生層13におけるYまたはLaの含有率は1〜20at%(アトミックパーセント)である。また、好ましくは、再生層13の垂直磁気異方性定数Kuは1×104〜5×105erg/cm3であり、再生層13のキュリー温度は180〜350℃であり、再生層13の厚さは10〜50nmである。 The reproducing layer 13 is a part that bears a reproducing function accompanied by domain wall movement or domain expansion, and is a perpendicular magnetization film made of a rare earth-transition metal amorphous alloy. As the rare earth element constituting the reproducing layer 13, at least Gd and Y or La are adopted, and as the transition metal, for example, Fe or Co is adopted. Specifically, the reproducing layer 13 is made of GdYFeCo, GdLaFeCo, or a rare earth-transition metal amorphous alloy having a composition in which other rare earth elements or transition metals are added thereto. The content of Y or La in the reproducing layer 13 is 1 to 20 at% (atomic percent). Preferably, the perpendicular magnetic anisotropy constant Ku of the reproducing layer 13 is 1 × 10 4 to 5 × 10 5 erg / cm 3 , the Curie temperature of the reproducing layer 13 is 180 to 350 ° C., and the reproducing layer 13 The thickness is 10 to 50 nm.

プリグルーブ層21は、樹脂材料よりなり、その熱伝導層22との接触面には、プリグルーブ21aが形成されている。プリグルーブ21aは渦巻き状または同心円状のパターン形状を有し、このプリグルーブ21aを基に、光磁気ディスクXにおけるランドグルーブ形状が実現される。プリグルーブ層21を構成する樹脂材料としては、いわゆる2P樹脂を採用する。本発明では、プリグルーブ層21を設けずに、基板S自体にプリグルーブを形成してもよい。その場合、プリグルーブ付き基板Sは、例えば、ポリカーボネートよりなり、射出成形法により作製される。   The pregroove layer 21 is made of a resin material, and a pregroove 21 a is formed on the contact surface with the heat conductive layer 22. The pregroove 21a has a spiral or concentric pattern shape, and a land groove shape in the magneto-optical disk X is realized based on the pregroove 21a. A so-called 2P resin is employed as the resin material constituting the pregroove layer 21. In the present invention, the pregroove may be formed on the substrate S itself without providing the pregroove layer 21. In that case, the substrate S with pregroove is made of polycarbonate, for example, and is manufactured by an injection molding method.

熱伝導層22は、光磁気ディスクXに対して記録用または再生用のレーザが照射されるときに記録磁性部10などにて発生する熱を効率よく基板Sへ伝えるための部位であり、例えば、Ag、Ag合金(AgPdCuSi,AgPdCuなど)、Al合金(AlSi,AlTi,AlCrなど)、Au、またはPtなどの、高熱伝導材料よりなる。熱伝導層22の厚さは、例えば10〜50nmである。   The heat conductive layer 22 is a part for efficiently transferring heat generated in the recording magnetic unit 10 or the like to the substrate S when the magneto-optical disk X is irradiated with a recording or reproducing laser. , Ag, Ag alloy (AgPdCuSi, AgPdCu, etc.), Al alloy (AlSi, AlTi, AlCr, etc.), Au, or Pt. The thickness of the heat conductive layer 22 is, for example, 10 to 50 nm.

誘電体層23,24は、記録磁性部10に対する外部からの磁気的影響等を回避ないし抑制するための部位であり、例えば、SiN、SiO2、YSiO2、ZnSiO2、AlO、またはAlNよりなる。誘電体層23,24の厚さは、例えば30〜100nmである。 The dielectric layers 23 and 24 are portions for avoiding or suppressing an external magnetic influence or the like on the recording magnetic part 10 and are made of, for example, SiN, SiO 2 , YSiO 2 , ZnSiO 2 , AlO, or AlN. . The thickness of the dielectric layers 23 and 24 is, for example, 30 to 100 nm.

保護膜25は、記録磁性部10を特に塵埃などから保護すべく記録磁性部10を覆い、光磁気ディスクXの記録用レーザおよび再生用レーザに対して充分な透過性を有する樹脂よりなる。保護膜25を構成するための樹脂としては、例えば、アクリル樹脂やウレタン樹脂が挙げられる。   The protective film 25 covers the recording magnetic part 10 in order to protect the recording magnetic part 10 from dust and the like, and is made of a resin having sufficient transparency for the recording laser and the reproducing laser of the magneto-optical disk X. Examples of the resin for forming the protective film 25 include an acrylic resin and a urethane resin.

このような構成を有する光磁気ディスクXの製造においては、まず、例えばいわゆる2P法により、基板S上にプリグルーブ層21を形成する。次に、例えばスパッタリング法により、プリグルーブ層21上に、熱伝導層22、誘電体層23、記録層11、中間層12、再生層13、および誘電体層24を順次形成する。その後、例えばスピンコーティング法により、誘電体層24上に保護膜25を形成する。   In manufacturing the magneto-optical disk X having such a configuration, first, the pregroove layer 21 is formed on the substrate S by, for example, a so-called 2P method. Next, the heat conductive layer 22, the dielectric layer 23, the recording layer 11, the intermediate layer 12, the reproducing layer 13, and the dielectric layer 24 are sequentially formed on the pre-groove layer 21, for example, by sputtering. Thereafter, the protective film 25 is formed on the dielectric layer 24 by, eg, spin coating.

光磁気ディスクXへの情報記録においては、光磁気ディスクXを所定の回転速度で回転させた状態で、記録用のレーザビームを保護膜25の側から記録磁性部10に対して照射することにより記録層11を局所的に順次昇温させつつ、当該昇温箇所に所定の磁界を印加する。このようにして、記録磁性部10内の記録層11には、ディスク周方向に沿って所定の信号が記録される。具体的には、記録層11には、ディスク周方向に延びる情報トラック(信号の記録および再生を担うトラック)に沿って連続して交互に磁化が反転し且つ記録信号に応じた所定の長さを各々が有する複数の磁区と、磁区間の境界をなす磁壁とが形成される。中間層12のキュリー温度より低い温度条件の下では、記録層11と中間層12とは交換結合し且つ中間層12と再生層13とは交換結合し、中間層12および再生層13には、記録層11と同方向に磁化された磁区と、磁区間の磁壁とが形成される。   In recording information on the magneto-optical disk X, the recording magnetic part 10 is irradiated from the protective film 25 side with a recording laser beam while the magneto-optical disk X is rotated at a predetermined rotational speed. A predetermined magnetic field is applied to the temperature rise portion while locally raising the temperature of the recording layer 11 sequentially. In this way, a predetermined signal is recorded on the recording layer 11 in the recording magnetic unit 10 along the circumferential direction of the disk. Specifically, the recording layer 11 has a predetermined length corresponding to the recording signal and the magnetization is alternately reversed continuously along the information track extending in the circumferential direction of the disk (the track for recording and reproducing the signal). Are formed, and a domain wall forming a boundary between the magnetic sections is formed. Under a temperature condition lower than the Curie temperature of the intermediate layer 12, the recording layer 11 and the intermediate layer 12 are exchange-coupled, and the intermediate layer 12 and the reproduction layer 13 are exchange-coupled. A magnetic domain magnetized in the same direction as the recording layer 11 and a domain wall of the magnetic section are formed.

図2は、光磁気ディスクXからの情報再生方法を表す。図の簡潔化の観点より、図2では、光磁気ディスクXについて、記録層11、中間層12、および再生層13以外を省略する。光磁気ディスクXの情報再生においては、光磁気ディスクXを回転させた状態で、再生用のレーザビームLを情報トラックに沿って再生層13の側から記録磁性部10に対して照射する。レーザビームLによる照射領域の光磁気ディスクXに対する相対移動方向は矢印Dで表す。レーザビームLの照射により、記録磁性部10内は局所的に昇温し、当該記録磁性部10内には、図2のグラフに示すように、ディスク周方向に温度勾配が生ずる。そして、中間層12には、そのキュリー温度Tc以上に昇温して自発磁化が消失した領域R(斜線ハッチングを付して表す)が生ずる。照射領域における、中間層12のキュリー温度Tcの等温線を、記録層11の所定の磁区11aに対応する再生層13の磁区13aの磁壁Wが照射領域移動に伴って低温領域から高温領域へと通過する瞬間に、当該磁壁Wは再生層13内をより高温側へと移動する。照射領域移動方向Dにおける前方から後方に向けて再生層13内をこのように磁壁Wが移動すると、当該磁壁移動領域の磁化は反転する。この磁化反転を、再生層13の表面にて反射した光の偏光面の変化として所定の光学系で検出することにより、磁壁移動が検知される。情報トラックに沿って再生用のレーザビームを照射して磁壁移動を順次検知することにより、光磁気ディスクXの記録信号が読み取られることとなる。   FIG. 2 shows a method for reproducing information from the magneto-optical disk X. From the viewpoint of simplifying the drawing, in FIG. 2, components other than the recording layer 11, the intermediate layer 12 and the reproducing layer 13 are omitted from the magneto-optical disk X. In reproducing information from the magneto-optical disk X, the recording magnetic unit 10 is irradiated from the reproducing layer 13 side along the information track with the reproducing laser beam L while the magneto-optical disk X is rotated. The direction of relative movement of the area irradiated by the laser beam L with respect to the magneto-optical disk X is represented by an arrow D. By irradiation with the laser beam L, the temperature in the recording magnetic unit 10 is locally increased, and a temperature gradient is generated in the recording magnetic unit 10 in the circumferential direction of the disk as shown in the graph of FIG. In the intermediate layer 12, a region R (shown with hatching) in which the spontaneous magnetization disappears due to the temperature rising above the Curie temperature Tc is generated. The isotherm of the Curie temperature Tc of the intermediate layer 12 in the irradiation region is changed from the low temperature region to the high temperature region as the domain wall W of the magnetic domain 13a of the reproducing layer 13 corresponding to the predetermined magnetic domain 11a of the recording layer 11 moves. At the moment of passing, the domain wall W moves in the reproducing layer 13 to a higher temperature side. When the domain wall W moves in the reproducing layer 13 from the front to the rear in the irradiation region movement direction D, the magnetization of the domain wall movement region is reversed. The domain wall motion is detected by detecting this magnetization reversal with a predetermined optical system as a change in the polarization plane of the light reflected on the surface of the reproducing layer 13. By irradiating the reproducing laser beam along the information track and sequentially detecting the domain wall movement, the recording signal of the magneto-optical disk X is read.

本発明の光磁気ディスクXにおいては、再生層13について、要求される垂直磁気異方性を確保しつつ、上述のような情報再生の際に高い磁壁移動性を得ることができる。光磁気ディスクXの再生層13が、希土類元素としてGdに加えて1〜20at%のYまたはLaを含む希土類−遷移金属アモルファス合金により構成されているからである。このような光磁気ディスクXは、媒体の高記録密度化を図るうえで好適である。   In the magneto-optical disk X of the present invention, it is possible to obtain a high domain wall mobility during information reproduction as described above while ensuring the required perpendicular magnetic anisotropy for the reproducing layer 13. This is because the reproducing layer 13 of the magneto-optical disk X is made of a rare earth-transition metal amorphous alloy containing 1 to 20 at% Y or La in addition to Gd as a rare earth element. Such a magneto-optical disk X is suitable for increasing the recording density of the medium.

垂直磁化膜内での磁壁の移動性に影響を及ぼす因子として、垂直磁化膜を構成する元素の軌道角運動量が挙げられる。この値が小さいほど、垂直磁化膜内で磁壁は移動しやすい(即ち、垂直磁化膜内での磁壁移動の高速化を図るうえで好適である)ところ、再生層13を構成する希土類元素であるGdの軌道角運動量は0であり、同じく再生層13を構成する希土類元素であるYおよびLaの軌道角運動量も0である。また、再生層13は、単独では非磁性の性質を示すYまたはLaを含有するが、再生層13の磁気的特性は、YまたはLaの含有量に比例するようには劣化しない。これは、YおよびLaの有する5d電子が再生層13の磁性に寄与するためと考えられる。したがって、希土類元素としてYまたはLaを比較的多く再生層13に含有させても、再生層13の磁気的特性は過度には劣化せず、再生層13について要求される垂直磁気異方性を確保することが可能なのである。本発明における再生層13について垂直磁気異方性を確保しつつ高い磁壁移動性を得ることができるのは、これらの事実を基礎として成り立つものである。   A factor that affects the mobility of the domain wall in the perpendicular magnetization film is the orbital angular momentum of the elements constituting the perpendicular magnetization film. The smaller this value, the easier the domain wall moves in the perpendicular magnetization film (that is, suitable for speeding up the domain wall movement in the perpendicular magnetization film), but it is a rare earth element constituting the reproducing layer 13. The orbital angular momentum of Gd is 0, and the orbital angular momentums of Y and La, which are also rare earth elements constituting the reproducing layer 13, are also 0. In addition, the reproducing layer 13 contains Y or La that exhibits non-magnetic properties alone, but the magnetic characteristics of the reproducing layer 13 do not deteriorate so as to be proportional to the Y or La content. This is presumably because 5d electrons of Y and La contribute to the magnetic properties of the reproducing layer 13. Therefore, even if a relatively large amount of Y or La is contained in the reproducing layer 13 as a rare earth element, the magnetic characteristics of the reproducing layer 13 are not excessively deteriorated, and the perpendicular magnetic anisotropy required for the reproducing layer 13 is ensured. It is possible to do. Based on these facts, it is possible to obtain high domain wall mobility while ensuring perpendicular magnetic anisotropy for the reproducing layer 13 in the present invention.

本発明の実施例について、比較例とともに以下に記載する。   Examples of the present invention will be described below together with comparative examples.

〔実施例1〕
〈光磁気ディスクの作製〉
図3に示す積層構成を有するフロントイルミネーション方式の光磁気ディスクとして、本実施例の光磁気ディスクを作製した。
[Example 1]
<Production of magneto-optical disk>
A magneto-optical disk of this example was manufactured as a front-illuminated magneto-optical disk having the laminated structure shown in FIG.

本実施例の光磁気ディスクの作製においては、まず、2P法により、ガラス基板(直径120mm,厚さ1.2mm)の上に厚さ10μmのプリグルーブ層を形成した。プリグルーブ層形成材料としては2P法用の樹脂(フォトポリマ)を採用した。また、プリグルーブ層の表面凹凸形状については、トラックピッチ300nmおよびプリグルーブ深さ50nmのランドグルーブ形状とした。   In the production of the magneto-optical disk of this example, a pregroove layer having a thickness of 10 μm was first formed on a glass substrate (diameter 120 mm, thickness 1.2 mm) by the 2P method. As the pregroove layer forming material, a resin for 2P method (photopolymer) was employed. Further, the surface irregularity shape of the pregroove layer was a land groove shape with a track pitch of 300 nm and a pregroove depth of 50 nm.

次に、スパッタリング法によりプリグルーブ層上にAlSiを成膜することによって、厚さ30nmの熱伝導層を形成した。具体的には、AlターゲットおよびSiターゲットを用いて行うコスパッタリングにより、基板上にAlSiを成膜した。本スパッタリングでは、スパッタリングガスとしてArガスを使用し(反応性スパッタリングを除く以下のスパッタリングにおいても同様)、スパッタガス圧力を0.6Paとし、スパッタ電力を300W(Alターゲット)および200W(Siターゲット)とした。   Next, a 30 nm thick thermal conductive layer was formed by depositing AlSi on the pregroove layer by sputtering. Specifically, AlSi was formed on the substrate by co-sputtering using an Al target and an Si target. In this sputtering, Ar gas is used as the sputtering gas (the same applies to the following sputtering except reactive sputtering), the sputtering gas pressure is 0.6 Pa, and the sputtering power is 300 W (Al target) and 200 W (Si target). did.

次に、スパッタリング法により熱伝導層上にSiNを成膜することによって、厚さ15nmの誘電体層を形成した。具体的には、Siターゲットを用い、スパッタガスとしてArガスおよびN2ガスを使用して行う反応性スパッタリングにより、基板上にSiNを成膜した。本スパッタリングでは、ArガスおよびN2ガスの流量比を7:3とし、スパッタガス圧力を0.5Paとし、放電電力を800Wとした。 Next, a dielectric layer having a thickness of 15 nm was formed by depositing SiN on the heat conductive layer by sputtering. Specifically, SiN was formed on the substrate by reactive sputtering performed using an Si target and using Ar gas and N 2 gas as sputtering gas. In this sputtering, the flow ratio of Ar gas and N 2 gas was 7: 3, the sputtering gas pressure was 0.5 Pa, and the discharge power was 800 W.

次に、スパッタリング法により誘電体層上にTb24Fe56Co20を成膜することによって、厚さ60nmの記録層を形成した。具体的には、TbターゲットおよびFeCoターゲットを用いて行うコスパッタリングにより、誘電体層上にTb24Fe56Co20を成膜した。本スパッタリングでは、スパッタガス圧力を1.5Paとし、スパッタ電力を500W(Tbターゲット)および1500W(FeCoターゲット)とした。本記録層のキュリー温度Tcは280℃であった。 Next, a recording layer having a thickness of 60 nm was formed by depositing Tb 24 Fe 56 Co 20 on the dielectric layer by sputtering. Specifically, Tb 24 Fe 56 Co 20 was formed on the dielectric layer by co-sputtering using a Tb target and an FeCo target. In this sputtering, the sputtering gas pressure was 1.5 Pa, and the sputtering power was 500 W (Tb target) and 1500 W (FeCo target). The Curie temperature Tc of the recording layer was 280 ° C.

次に、スパッタリング法により記録層上にTb22Fe78を成膜することによって、厚さ15nmの中間層を形成した。具体的には、TbターゲットおよびFeターゲットを用いて行うコスパッタリングにより、記録層上にTbFeを成膜した。本スパッタリングでは、スパッタガス圧力を1.0Paとし、スパッタ電力を300W(Tbターゲット)および900W(Feターゲット)とした。本中間層のキュリー温度Tcは130℃であった。 Next, an intermediate layer having a thickness of 15 nm was formed by depositing Tb 22 Fe 78 on the recording layer by sputtering. Specifically, TbFe was formed on the recording layer by co-sputtering using a Tb target and an Fe target. In this sputtering, the sputtering gas pressure was 1.0 Pa, and the sputtering power was 300 W (Tb target) and 900 W (Fe target). The Curie temperature Tc of this intermediate layer was 130 ° C.

次に、スパッタリング法により中間層上にGd251Fe69Co5を成膜することによって、厚さ25nmの再生層を形成した。具体的には、Gdターゲット、Yターゲット、およびFeCoターゲットを用いて行うコスパッタリングにより、中間層上にGd251Fe69Co5を成膜した。本スパッタリングでは、スパッタガス圧力を0.4Paとし、スパッタ電力を400W(Gdターゲット)、50W(Yターゲット)、および800W(FeCoターゲット)とした。本再生層のキュリー温度Tcは248℃であった。 Next, a reproducing layer having a thickness of 25 nm was formed by depositing Gd 25 Y 1 Fe 69 Co 5 on the intermediate layer by sputtering. Specifically, Gd 25 Y 1 Fe 69 Co 5 was formed on the intermediate layer by co-sputtering performed using a Gd target, a Y target, and an FeCo target. In this sputtering, the sputtering gas pressure was 0.4 Pa, and the sputtering power was 400 W (Gd target), 50 W (Y target), and 800 W (FeCo target). The regeneration layer had a Curie temperature Tc of 248 ° C.

次に、スパッタリング法により再生層上にSiNを成膜することによって、厚さ60nmの誘電体層(エンハンス層)を形成した。具体的には、Siターゲットを用い、スパッタガスとしてArガスおよびN2ガスを使用して行う反応性スパッタリングにより、再生層上にSiNを成膜した。本スパッタリングでは、ArガスおよびN2ガスの流量比を7:3とし、スパッタガス圧力を0.5WPaとし、スパッタ電力を800Wとした。 Next, a dielectric layer (enhancement layer) having a thickness of 60 nm was formed by depositing SiN on the reproducing layer by sputtering. Specifically, SiN was formed on the reproduction layer by reactive sputtering using an Si target and using Ar gas and N 2 gas as sputtering gas. In this sputtering, the flow ratio of Ar gas and N 2 gas was 7: 3, the sputtering gas pressure was 0.5 WPa, and the sputtering power was 800 W.

次に、誘電体層上に厚さ20μmの保護膜を形成した。具体的には、まず、スピンコート法により、UV硬化性の透明樹脂を誘電体層上に塗布した。次に、紫外線照射により、当該樹脂膜を硬化させた。以上のようにして、本実施例の光磁気ディスクを作製した。本実施例における再生層の構成およびキュリー温度については図6の表に掲げる。   Next, a protective film having a thickness of 20 μm was formed on the dielectric layer. Specifically, first, a UV curable transparent resin was applied on the dielectric layer by spin coating. Next, the resin film was cured by ultraviolet irradiation. As described above, the magneto-optical disk of this example was manufactured. The structure of the reproducing layer and the Curie temperature in this example are listed in the table of FIG.

〈波形抜け率測定〉
本実施例の光磁気ディスクについて、再生信号の波形の抜け率を調べた。具体的には、まず、本実施例の光磁気ディスクの情報トラックに対し、60nmのマーク長の記録マークを長さ60nmのスペースを介して繰り返し記録した。この記録は、所定の装置を使用してレーザパルス磁界変調記録方式により行った。この装置のレーザ集光用対物レンズの開口数NAは0.85であり、レーザ波長は405nmである。また、レーザ走査の周速を3.0m/sとし、記録用レーザパワーを7.0mWとし、記録磁界を600Oeとした。次に、光磁気ディスクを再生して、再生信号の波形の抜け率を測定した。再生信号の波形の抜け率とは、記録した信号の数に対する再生波形の抜け数の割合であり、再生波形の欠落ないし抜けは、再生に際して、所定の磁区の磁壁が適切に移動しないことに起因して生ずる。この再生は、記録と同一の装置を使用して行い、再生用レーザパワーを1.0〜2.0mWの範囲での最適値とし、レーザ走査の周速を3.0m/sとし、再生磁界を0Oeとした。この波形抜け率測定の結果は、図6の表に掲げる。
<Waveform missing rate measurement>
For the magneto-optical disk of this example, the missing rate of the waveform of the reproduction signal was examined. Specifically, first, a recording mark having a mark length of 60 nm was repeatedly recorded on the information track of the magneto-optical disk of this example through a space having a length of 60 nm. This recording was performed by a laser pulse magnetic field modulation recording system using a predetermined apparatus. The numerical aperture NA of the laser focusing objective lens of this apparatus is 0.85, and the laser wavelength is 405 nm. The peripheral speed of laser scanning was 3.0 m / s, the recording laser power was 7.0 mW, and the recording magnetic field was 600 Oe. Next, the magneto-optical disk was reproduced, and the missing rate of the reproduced signal waveform was measured. The reproduction signal waveform missing ratio is the ratio of the number of reproduced waveform missing to the number of recorded signals. The missing or missing reproduction waveform is caused by the fact that the domain wall of a predetermined magnetic domain does not move properly during reproduction. It occurs as a result. This reproduction is performed using the same apparatus as the recording, the reproduction laser power is set to an optimum value in the range of 1.0 to 2.0 mW, the peripheral speed of the laser scanning is set to 3.0 m / s, and the reproduction magnetic field is reproduced. Was set to 0 Oe. The results of this waveform loss rate measurement are listed in the table of FIG.

〔実施例2〜7〕
再生層としてGd251Fe69Co5に代えて厚さ25nmのGd255Fe65Co5(実施例2)、Gd255Fe64Co6(実施例3)、Gd255Fe62Co8(実施例4)、Gd2510Fe60Co5(実施例5)、Gd2515Fe55Co5(実施例6)、またはGd2520Fe50Co5(実施例7)を形成した以外は実施例1と同様にして、実施例2〜7の光磁気ディスクを作製した。各実施例の光磁気ディスクの作製においては、再生層形成工程のスパッタリング条件を適宜調整してGdYFeCoの組成比を調節した。また、このようにして形成した各実施例の光磁気ディスクについて、実施例1と同様にして、再生信号の波形の抜け率を測定した。各実施例における再生層の構成およびキュリー温度、ならびに波形抜け率の測定結果については、図6の表に掲げる。
[Examples 2 to 7]
Instead of Gd 25 Y 1 Fe 69 Co 5 as a reproducing layer, Gd 25 Y 5 Fe 65 Co 5 (Example 2), Gd 25 Y 5 Fe 64 Co 6 (Example 3), Gd 25 Y 5 with a thickness of 25 nm are used. Fe 62 Co 8 (Example 4), Gd 25 Y 10 Fe 60 Co 5 (Example 5), Gd 25 Y 15 Fe 55 Co 5 (Example 6), or Gd 25 Y 20 Fe 50 Co 5 (Example) Magneto-optical disks of Examples 2 to 7 were produced in the same manner as Example 1 except that 7) was formed. In the production of the magneto-optical disk of each example, the composition ratio of GdYFeCo was adjusted by appropriately adjusting the sputtering conditions in the reproducing layer forming step. In addition, with respect to the magneto-optical disk of each example formed in this way, the missing rate of the waveform of the reproduction signal was measured in the same manner as in Example 1. The structure of the reproduction layer, the Curie temperature, and the measurement result of the waveform loss rate in each example are listed in the table of FIG.

〔実施例8〕
再生層としてGd251Fe69Co5に代えてGd25La1Fe69Co5を形成した以外は実施例1と同様にして、本実施例の光磁気ディスクを作製した。本実施例における再生層形成工程においては、具体的には、Gdターゲット、Laターゲット、およびFeCoターゲットを用いて行うコスパッタリングにより、中間層(Tb22Fe78)上に厚さ25nmのGd25La1Fe69Co5を成膜した。本スパッタリングでは、スパッタガス圧力を0.4Paとし、スパッタ電力を400W(Gdターゲット)、50W(Laターゲット)、および800W(FeCoターゲット)とした。また、このようにして形成した本実施例の光磁気ディスクについて、実施例1と同様にして、再生信号の波形の抜け率を測定した。本実施例における再生層の構成およびキュリー温度、ならびに波形抜け率の測定結果については、図6の表に掲げる。
Example 8
A magneto-optical disk of this example was fabricated in the same manner as in Example 1 except that Gd 25 La 1 Fe 69 Co 5 was formed instead of Gd 25 Y 1 Fe 69 Co 5 as the reproducing layer. In the reproduction layer forming step in this example, specifically, Gd 25 La having a thickness of 25 nm is formed on the intermediate layer (Tb 22 Fe 78 ) by co-sputtering using a Gd target, an La target, and an FeCo target. 1 Fe 69 Co 5 was deposited. In this sputtering, the sputtering gas pressure was 0.4 Pa, and the sputtering power was 400 W (Gd target), 50 W (La target), and 800 W (FeCo target). Further, with respect to the magneto-optical disk of the present example formed in this way, the rate of waveform loss of the reproduction signal was measured in the same manner as in Example 1. The configuration of the reproducing layer, the Curie temperature, and the measurement result of the waveform dropout rate in this example are listed in the table of FIG.

〔実施例9〜14〕
再生層としてGd25La1Fe69Co5に代えて厚さ25nmのGd25La5Fe65Co5(実施例9)、Gd25La5Fe63Co7(実施例10)、Gd25La5Fe61Co9(実施例11)、Gd25La10Fe60Co5(実施例12)、Gd25La15Fe55Co5(実施例13)、またはGd25La20Fe50Co5(実施例14)を形成した以外は実施例8と同様にして、実施例9〜14の光磁気ディスクを作製した。各実施例の光磁気ディスクの作製においては、再生層形成工程のスパッタリング条件を適宜調整してGdLaFeCoの組成比を調節した。また、このようにして形成した各実施例の光磁気ディスクについて、実施例1と同様にして、再生信号の波形の抜け率を測定した。各実施例における再生層の構成およびキュリー温度、ならびに波形抜け率の測定の結果については、図6の表に掲げる。
[Examples 9 to 14]
As a reproduction layer, Gd 25 La 5 Fe 65 Co 5 (Example 9), Gd 25 La 5 Fe 63 Co 7 (Example 10), Gd 25 La 5 having a thickness of 25 nm instead of Gd 25 La 1 Fe 69 Co 5 was used. Fe 61 Co 9 (Example 11), Gd 25 La 10 Fe 60 Co 5 (Example 12), Gd 25 La 15 Fe 55 Co 5 (Example 13), or Gd 25 La 20 Fe 50 Co 5 (Example) Magneto-optical disks of Examples 9 to 14 were produced in the same manner as Example 8 except that 14) was formed. In producing the magneto-optical disk of each example, the composition ratio of GdLaFeCo was adjusted by appropriately adjusting the sputtering conditions in the reproducing layer forming step. In addition, with respect to the magneto-optical disk of each example formed in this way, the missing rate of the waveform of the reproduction signal was measured in the same manner as in Example 1. The structure of the reproduction layer, the Curie temperature, and the measurement result of the waveform dropout rate in each example are listed in the table of FIG.

〔比較例1〕
再生層としてGd251Fe69Co5に代えてGd25Fe70Co5を形成した以外は実施例1と同様にして、本比較例の光磁気ディスクを作製した。本比較例における再生層形成工程においては、具体的には、GdターゲットおよびFeCoターゲットを用いて行うコスパッタリングにより、中間層(Tb22Fe78)上に厚さ25nmのGd25Fe70Co5を成膜した。本スパッタリングでは、スパッタガス圧力を0.4Paとし、スパッタ電力を430W(Gdターゲット)および800W(FeCoターゲット)とした。また、このようにして形成した本比較例の光磁気ディスクについて、実施例1と同様にして、再生信号の波形の抜け率を測定した。本比較例における再生層の構成およびキュリー温度、ならびに波形抜け率の測定の結果については、図6の表に掲げる。
[Comparative Example 1]
Except for forming a Gd 25 Fe 70 Co 5 instead of Gd 25 Y 1 Fe 69 Co 5 as the reproduction layer in the same manner as in Example 1 to prepare a magneto-optical disk of this comparative example. In the reproduction layer forming step in this comparative example, specifically, Gd 25 Fe 70 Co 5 having a thickness of 25 nm is formed on the intermediate layer (Tb 22 Fe 78 ) by co-sputtering using a Gd target and an FeCo target. A film was formed. In this sputtering, the sputtering gas pressure was 0.4 Pa, and the sputtering power was 430 W (Gd target) and 800 W (FeCo target). Further, with respect to the magneto-optical disk of this comparative example formed in this way, the missing rate of the waveform of the reproduction signal was measured in the same manner as in Example 1. The configuration of the reproducing layer and the Curie temperature and the measurement result of the waveform dropout rate in this comparative example are listed in the table of FIG.

〔比較例2〕
再生層としてGd251Fe69Co5に代えてGd2530Fe40Co5を形成した以外は実施例1と同様にして、本比較例の光磁気ディスクを作製した。本比較例の光磁気ディスクの作製においては、再生層形成工程のスパッタリング条件を適宜調整してGdYFeCoの組成比を調節した。また、このようにして形成した本比較例の光磁気ディスクについて、実施例1と同様にして、再生信号の波形の抜け率を測定した。本比較例における再生層の構成およびキュリー温度、ならびに波形抜け率の測定の結果については、図6の表に掲げる。
[Comparative Example 2]
A magneto-optical disk of this comparative example was manufactured in the same manner as in Example 1 except that Gd 25 Y 30 Fe 40 Co 5 was formed instead of Gd 25 Y 1 Fe 69 Co 5 as the reproducing layer. In producing the magneto-optical disk of this comparative example, the composition ratio of GdYFeCo was adjusted by appropriately adjusting the sputtering conditions in the reproducing layer forming step. Further, with respect to the magneto-optical disk of this comparative example formed in this way, the missing rate of the waveform of the reproduction signal was measured in the same manner as in Example 1. The configuration of the reproducing layer and the Curie temperature and the measurement result of the waveform dropout rate in this comparative example are listed in the table of FIG.

〔比較例3〕
再生層としてGd25La1Fe69Co5に代えてGd25La30Fe40Co5を形成した以外は実施例8と同様にして、本比較例の光磁気ディスクを作製した。本比較例の光磁気ディスクの作製においては、再生層形成工程のスパッタリング条件を適宜調整してGdLaFeCoの組成比を調節した。また、このようにして形成した本比較例の光磁気ディスクについて、実施例1と同様にして、再生信号の波形の抜け率を測定した。本比較例における再生層の構成およびキュリー温度、ならびに波形抜け率の測定の結果については、図6の表に掲げる。
[Comparative Example 3]
Except for forming a Gd 25 La 30 Fe 40 Co 5 instead of Gd 25 La 1 Fe 69 Co 5 as the reproduction layer in the same manner as in Example 8, to prepare a magneto-optical disk of this comparative example. In the production of the magneto-optical disk of this comparative example, the composition ratio of GdLaFeCo was adjusted by appropriately adjusting the sputtering conditions in the reproducing layer forming step. Further, with respect to the magneto-optical disk of this comparative example formed in this way, the missing rate of the waveform of the reproduction signal was measured in the same manner as in Example 1. The configuration of the reproducing layer and the Curie temperature and the measurement result of the waveform dropout rate in this comparative example are listed in the table of FIG.

〔評価〕
図6の表に示すように、本発明に係る実施例1〜14の光磁気ディスクは、比較例1〜3の光磁気ディスクよりも、再生信号の波形抜け率(記録マーク長60nm)が低い。具体的には、希土類元素としてYやLaを含まない再生層(希土類−遷移金属アモルファス合金よりなる)を有する比較例1の光磁気ディスクや、希土類元素として30at%のYまたはLaを含む再生層を有する比較例2,3の光磁気ディスクでは、再生信号の波形抜け率(記録マーク長60nm)は50%以上であるのに対し、希土類元素として1〜20at%のYまたはLaを含む再生層を有する実施例1〜14の光磁気ディスクでは、再生信号の波形抜け率(記録マーク長60nm)は35%以下に抑えられている。特に、実施例3,4,11の光磁気ディスクでは、波形抜け率は1%未満に抑えられている。実施例1〜14の光磁気ディスクと比較例1〜3の光磁気ディスクとの間で再生波形抜け率についてこのような差が生ずるのは、比較例1〜3の光磁気ディスクよりも、実施例1〜14の光磁気ディスクの方が、再生層内で磁壁が移動しやすく従って再生時に再生層内の磁壁移動が高速であるためと考えられる。
[Evaluation]
As shown in the table of FIG. 6, the magneto-optical disks of Examples 1 to 14 according to the present invention have a lower reproduction signal waveform drop rate (record mark length 60 nm) than the magneto-optical disks of Comparative Examples 1 to 3. . Specifically, the magneto-optical disk of Comparative Example 1 having a reproducing layer (made of a rare earth-transition metal amorphous alloy) containing no Y or La as a rare earth element, or a reproducing layer containing 30 at% Y or La as a rare earth element In the magneto-optical disks of Comparative Examples 2 and 3 having the above, the reproduction signal waveform missing rate (record mark length 60 nm) is 50% or more, while the rare earth element contains 1 to 20 at% Y or La In the magneto-optical disks of Examples 1 to 14 having the above, the waveform missing ratio (record mark length 60 nm) of the reproduction signal is suppressed to 35% or less. In particular, in the magneto-optical disks of Examples 3, 4 and 11, the waveform drop rate is suppressed to less than 1%. The difference between the magneto-optical disks of Examples 1 to 14 and the magneto-optical disks of Comparative Examples 1 to 3 is such that the difference in the reproduction waveform missing rate occurs compared to the magneto-optical disks of Comparative Examples 1 to 3. It is considered that the magneto-optical disks of Examples 1 to 14 are more likely to move the domain wall in the reproducing layer, and thus move the domain wall in the reproducing layer at a higher speed during reproduction.

本発明に係る光磁気ディスクの部分断面図である。1 is a partial cross-sectional view of a magneto-optical disk according to the present invention. 本発明に係る光磁気ディスクの再生方法を表す。1 illustrates a magneto-optical disk reproducing method according to the present invention. 実施例1〜7および比較例2の光磁気ディスクに共通の積層構成を表す。A common laminated structure is shown in the magneto-optical disks of Examples 1 to 7 and Comparative Example 2. 実施例8〜14および比較例3の光磁気ディスクに共通の積層構成を表す。A common laminated structure is shown for the magneto-optical disks of Examples 8 to 14 and Comparative Example 3. 比較例1の光磁気ディスクの積層構成を表す。2 shows a stacked structure of a magneto-optical disk of Comparative Example 1. 実施例1〜14および比較例1〜3の光磁気ディスクについて、再生層の構成およびキュリー温度Tc、ならびに波形抜け率の測定結果を表す。For the magneto-optical disks of Examples 1 to 14 and Comparative Examples 1 to 3, the structure of the reproducing layer, the Curie temperature Tc, and the measurement result of the waveform dropout rate are shown.

符号の説明Explanation of symbols

X 光磁気ディスク
S 基板
10 記録磁性部
11 記録層
12 中間層
13 再生層
21 プリグルーブ層
22 熱伝導層
23,24 誘電体層
25 保護膜
X magneto-optical disk S substrate 10 recording magnetic part 11 recording layer 12 intermediate layer 13 reproducing layer 21 pregroove layer 22 heat conducting layer 23, 24 dielectric layer 25 protective film

Claims (5)

記録機能を担う記録層と、
磁壁移動を伴う再生機能を担う再生層と、
前記記録層および前記再生層の間に介在して当該記録層および再生層の交換結合状態を変化させるための中間層と、を備え、
前記再生層は、希土類元素と遷移金属とを含むアモルファス合金よりなり、
前記希土類元素は、Gdと、YまたはLaとを含み、
前記再生層における前記Yまたは前記Laの含有率は1〜20at%である、光磁気記録媒体。
A recording layer responsible for the recording function;
A playback layer that plays a playback function with domain wall movement,
An intermediate layer interposed between the recording layer and the reproducing layer for changing the exchange coupling state of the recording layer and the reproducing layer,
The regeneration layer is made of an amorphous alloy containing a rare earth element and a transition metal,
The rare earth element includes Gd and Y or La,
The magneto-optical recording medium, wherein the Y or La content in the reproducing layer is 1 to 20 at%.
前記遷移金属はFeおよび/またはCoを含む、請求項1に記載の光磁気記録媒体。   The magneto-optical recording medium according to claim 1, wherein the transition metal includes Fe and / or Co. 前記再生層は、1×104〜5×105erg/cm3の垂直磁気異方性定数を有する、請求項1または2に記載の光磁気記録媒体。 The magneto-optical recording medium according to claim 1, wherein the reproducing layer has a perpendicular magnetic anisotropy constant of 1 × 10 4 to 5 × 10 5 erg / cm 3 . 前記再生層は、180〜350℃のキュリー温度を有する、請求項1から3のいずれか一つに記載の光磁気記録媒体。   4. The magneto-optical recording medium according to claim 1, wherein the reproducing layer has a Curie temperature of 180 to 350 ° C. 5. 前記再生層は、10〜50nmの厚さを有する、請求項1から4のいずれか一つに記載の光磁気記録媒体。   The magneto-optical recording medium according to claim 1, wherein the reproducing layer has a thickness of 10 to 50 nm.
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