JP2981063B2 - Magneto-optical disk and magneto-optical reproducing device - Google Patents

Magneto-optical disk and magneto-optical reproducing device

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JP2981063B2
JP2981063B2 JP4297424A JP29742492A JP2981063B2 JP 2981063 B2 JP2981063 B2 JP 2981063B2 JP 4297424 A JP4297424 A JP 4297424A JP 29742492 A JP29742492 A JP 29742492A JP 2981063 B2 JP2981063 B2 JP 2981063B2
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magneto
recording
optical disk
reproduction
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直泰 池谷
純一郎 中山
淳策 中嶋
善照 村上
明 高橋
賢司 太田
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Consejo Superior de Investigaciones Cientificas CSIC
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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、光磁気再生装置に適用
される光磁気ディスク及び光磁気再生装置に関するもの
である。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a magneto-optical disk and a magneto- optical reproducing apparatus applied to a magneto- optical reproducing apparatus .

【0002】[0002]

【従来の技術】光磁気ディスクは、書き換え可能な光デ
ィスクとして研究開発が進められており、その一部は既
に、コンピューター用の外部メモリーとして実用化がな
されている。
2. Description of the Related Art Magneto-optical disks are being researched and developed as rewritable optical disks, and some of them have already been put into practical use as external memories for computers.

【0003】光磁気ディスクは、記録媒体として垂直磁
化膜を用い、光を利用して記録再生を行うため、面内磁
化膜を用いたフロッピーディスクあるいはハードディス
クに比べて、大記録容量を実現できる。
A magneto-optical disk uses a perpendicular magnetization film as a recording medium and performs recording and reproduction using light. Therefore, a large recording capacity can be realized as compared with a floppy disk or a hard disk using an in-plane magnetization film.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の構成では、光磁気ディスクの記録密度が、記録再生
に使用される光ビームの記録媒体上での大きさに依存す
るため、今まで以上に記憶容量を大きくできないという
問題点を有している。
However, in the above-mentioned conventional configuration, the recording density of the magneto-optical disk depends on the size of the light beam used for recording and reproduction on the recording medium. There is a problem that the storage capacity cannot be increased.

【0005】つまり、記録ビットの大きさ及び記録ビッ
トの間隔が光ビームスポット径に比べて小さくなってく
ると、光ビームスポットの中に、隣接する記録ビットを
含めた複数の記録ビットが入ってくるため、雑音が増加
し、一つ一つの記録ビットを分離して再生することがで
きなくなってしまうという問題点を有している。
In other words, when the size of the recording bit and the interval between the recording bits become smaller than the diameter of the light beam spot, a plurality of recording bits including adjacent recording bits are included in the light beam spot. Therefore, there is a problem that noise increases and it becomes impossible to separate and reproduce each recording bit.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】請求項1の発明に係る光
磁気ディスクは、上記の課題を解決するために、情報を
光磁気記録する記録層と、室温で面内磁化を示す一方、
温度上昇に伴い垂直磁化に移行して、上記記録層の磁化
方向が転写される読み出し層とを有する光磁気ディスク
であって、再生レーザーパワーを最適化するテスト領域
が内外周の一部に設けられているとともに、該テスト領
域において得られた再生レーザーパワーから各半径位置
での再生レーザーパワーを最適化するための最適化情報
が、あらかじめ記録されていることを特徴としている。
According to a first aspect of the present invention, there is provided a magneto-optical disk comprising: a recording layer for magneto-optically recording information; an in-plane magnetization at room temperature;
A magneto-optical disk having a readout layer on which the magnetization direction of the recording layer is transferred by transition to perpendicular magnetization with a rise in temperature, wherein a test area for optimizing a reproduction laser power is provided.
Are provided in a part of the inner and outer circumferences , and optimization information for optimizing the reproducing laser power at each radial position from the reproducing laser power obtained in the test area.
There is characterized that you have been pre-recorded.

【0007】請求項2の発明に係る光磁気ディスクは、
上記の課題を解決するために、情報を光磁気記録する記
録層と、室温で面内磁化を示す一方、温度上昇に伴い垂
直磁化に移行して、上記記録層の磁化方向が転写される
読み出し層とを有する光磁気ディスクであって、記録領
域が半径位置に応じた複数のゾーンに分かれており、各
ゾーン毎に再生レーザーパワーを最適化するテスト領域
が形成されていることを特徴としている。
The magneto-optical disk according to the invention of claim 2 is:
In order to solve the above-mentioned problems, a recording layer for recording information magneto-optically and a read-out in which the magnetization direction of the recording layer is transferred while exhibiting in-plane magnetization at room temperature, transitioning to perpendicular magnetization with increasing temperature, A recording area divided into a plurality of zones corresponding to radial positions, and a test area for optimizing a reproduction laser power is formed for each zone. .

【0008】請求項3の発明に係る光磁気再生装置は、
上記の課題を解決するために、請求項2記載の光磁気デ
ィスクを再生する光磁気再生装置であって、各ゾーン毎
に、前記テスト領域において再生レーザーパワーを最適
化することを特徴としている。
[0008] A magneto-optical reproducing apparatus according to a third aspect of the present invention comprises:
In order to solve the above problem, a magneto-optical device according to claim 2 is provided.
A magneto-optical reproducing apparatus for reproducing disks, wherein each zone is
Optimal reproduction laser power in the test area
Is characterized by

【0009】請求項4の発明に係る光磁気再生装置は、
上記の課題を解決するために、請求項1記載の光磁気デ
ィスクを再生する光磁気再生装置であって、上記最適化
情報と、上記テスト領域において得られた再生レーザー
パワーとに基づいて、光磁気ディスクの半径位置に応じ
て再生レーザーパワーを変化させることを特徴としてい
る。
According to a fourth aspect of the present invention, there is provided a magneto-optical reproducing apparatus.
2. A magneto-optical reproducing apparatus for reproducing a magneto-optical disk according to claim 1 , wherein said optimizing method comprises:
Information and the reproduction laser obtained in the above test area
The reproduction laser power is changed according to the radial position of the magneto-optical disk based on the power.

【0010】[0010]

【作用】請求項1の構成によれば、再生動作時に、読み
出し層に光ビームが照射されると、照射された部位の温
度分布は、ほぼガウス分布になるので、光ビームの径よ
り小さい中心近傍領域のみの温度が上昇する。
According to the first aspect of the present invention, when the light beam is irradiated to the readout layer during the reproducing operation, the temperature distribution of the irradiated portion becomes substantially Gaussian distribution, so that the center is smaller than the diameter of the light beam. The temperature in only the vicinity increases.

【0011】この温度上昇に伴って、温度上昇部位の磁
化は、面内磁化から垂直磁化に移行して、記録層の磁化
の向きに読み出し層の磁化の向きが従う。
As the temperature rises, the magnetization at the temperature rising portion shifts from in-plane magnetization to perpendicular magnetization, and the magnetization of the recording layer
The direction of the magnetization of the readout layer follows the direction of.

【0012】温度上昇部位が面内磁化から垂直磁化に移
行すると、温度上昇部位のみが極カー効果を示すように
なり、該部位からの反射光に基づいて情報が再生され
る。
When the temperature rising portion shifts from in-plane magnetization to perpendicular magnetization, only the temperature rising portion shows the polar Kerr effect, and information is reproduced based on light reflected from the portion.

【0013】そして、光ビームが移動して次の記録ビッ
トを再生するときは、先の再生部位の温度は低下し、垂
直磁化から面内磁化に移行するため、極カー効果を示さ
なくなる。このことは、記録層に記録された磁化が読み
出し層の面内磁化によりマスクされて読み出されないと
いうことを意味している。これにより、雑音の原因とな
り、再生の分解能を低下させる隣接記録ビットからの信
号混入がなくなる。
When the light beam moves and reproduces the next recording bit, the temperature of the preceding reproducing portion decreases and the magnetization shifts from perpendicular magnetization to in-plane magnetization, so that the polar Kerr effect is not exhibited. This means that the magnetization recorded on the recording layer is masked by the in-plane magnetization of the reading layer and cannot be read. As a result, signal mixing from adjacent recording bits which causes noise and lowers the resolution of reproduction is eliminated.

【0014】以上のように、所定温度以上に昇温された
領域のみを再生に関与させるので、従来より小さい記録
ビットの再生を行うことが可能になり、記録密度が著し
く向上する。
As described above, since only the region heated to a predetermined temperature or higher is involved in the reproduction, it is possible to reproduce the recording bits smaller than before, and the recording density is remarkably improved.

【0015】しかも、再生レーザーパワーを最適化する
テスト領域が内外周の一部に設けられているとともに
該テスト領域において得られた再生レーザーパワーから
各半径位置での再生レーザーパワーを最適化するための
最適化情報があらかじめ記録されているので、再生時の
光磁気ディスクの温度分布をより正確に制御することが
可能となり、良好な再生が可能となる光磁気ディスクを
提供できる。
In addition, a test area for optimizing the reproduction laser power is provided in a part of the inner and outer circumferences .
To optimize the reproducing laser power at each radial position from the reproducing laser power obtained in the test area.
Since the optimization information is recorded in advance , it is possible to more accurately control the temperature distribution of the magneto-optical disk during reproduction, and it is possible to provide a magneto-optical disk capable of excellent reproduction.

【0016】請求項2の構成によれば、記録領域が半径
位置に応じた複数のゾーンに分かれており、各ゾーン毎
に再生レーザーパワーを最適化するテスト領域が形成さ
れているので、再生時の光磁気ディスクの温度分布をよ
り正確に制御することが可能となり、良好な再生が可能
となる光磁気ディスクを提供できる。
According to the second aspect of the present invention, the recording area has a radius
It is divided into multiple zones according to the location, and each zone
A test area is formed to optimize the playback laser power
The temperature distribution of the magneto-optical disk during playback.
Control can be performed more accurately, and good reproduction is possible.
Can be provided.

【0017】請求項3の構成によれば、請求項2の光磁
気ディスクを用いて、各ゾーン毎に 、前記テスト領域に
おいて再生レーザーパワーを最適化するので、再生時の
光磁気ディスクの温度分布をより正確に制御することが
可能となり、良好な再生が可能となる光磁気再生装置を
提供できる。
According to the third aspect of the present invention, the magneto-optical device of the second aspect is provided.
Using a magnetic disk, the test area
To optimize the playback laser power during playback.
More precise control of temperature distribution of magneto-optical disk
Magneto-optical reproducing device that enables good reproduction
Can be provided.

【0018】請求項4の構成によれば、再生する光磁気
ディスクの半径位置に応じて、再生レーザーパワーを変
化させるので、再生時の光磁気ディスクの温度分布をよ
り正確に制御することが可能となり、良好な再生が可能
となる光磁気再生装置を提供できる。
According to the fourth aspect of the present invention, a magneto-optical element to be reproduced is provided.
The playback laser power is changed according to the radial position of the disc.
The temperature distribution of the magneto-optical disk during playback.
Control can be performed more accurately, and good reproduction is possible.
The magneto-optical reproducing device can be provided.

【0019】[0019]

【実施例】本発明の第1実施例を図1ないし図23に基
づいて説明すれば、以下の通りである。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS A first embodiment of the present invention will be described below with reference to FIGS.

【0020】本実施例の光磁気ディスクは、図1に示す
ように、基板1(基体)、透明誘電体層2、読み出し層
3、記録層4、透明誘電体層5、反射層6、オーバーコ
ート層7がこの順に積層された構成を有している。
As shown in FIG. 1, the magneto-optical disk of this embodiment has a substrate 1 (base), a transparent dielectric layer 2, a readout layer 3, a recording layer 4, a transparent dielectric layer 5, a reflective layer 6, It has a configuration in which the coat layers 7 are stacked in this order.

【0021】読み出し層3として使用される希土類遷移
金属合金は、図2の磁気状態図に示すように、垂直磁化
を示す組成範囲(図中、Aで示す)は非常に狭い。これ
は、希土類金属と遷移金属のモーメントがつりあう補償
組成(図中、Pで示す)の近辺でしか垂直磁化が現れな
いからである。
The rare earth transition metal alloy used as the readout layer 3 has a very narrow composition range (indicated by A in the figure) showing perpendicular magnetization, as shown in the magnetic phase diagram of FIG. This is because perpendicular magnetization appears only in the vicinity of the compensation composition (indicated by P in the figure) where the moments of the rare earth metal and the transition metal balance.

【0022】希土類金属と遷移金属の磁気モーメント
は、それぞれの温度特性が異なり、高温では遷移金属の
磁気モーメントが希土類金属に比べて大きくなる。この
ため、室温の補償組成よりも希土類金属の含有量を多く
しておき、室温では垂直磁化を示さずに面内磁化を示す
ようにしておく。この場合、光ビームが照射されること
により、照射部位の温度が上昇すると、遷移金属の磁気
モーメントが相対的に大きくなって、希土類金属の磁気
モーメントとつりあうようになり、垂直磁化を示すよう
になる。
The magnetic moments of the rare earth metal and the transition metal have different temperature characteristics. At a high temperature, the magnetic moment of the transition metal becomes larger than that of the rare earth metal. For this reason, the content of the rare earth metal is set to be larger than the compensating composition at room temperature, and at room temperature, in-plane magnetization is exhibited instead of perpendicular magnetization. In this case, when the light beam is irradiated, the temperature of the irradiated portion rises, and the magnetic moment of the transition metal becomes relatively large, comes to balance with the magnetic moment of the rare earth metal, and shows perpendicular magnetization. Become.

【0023】図3ないし図6は、読み出し層3のヒステ
リシス特性の一例を示しており、横軸は、読み出し層3
の膜面に垂直方向に印加される外部磁界(Hex )であ
り、縦軸は、同じく膜面に垂直な方向から光を入射させ
た場合の極カー回転角(θk )である。
FIGS. 3 to 6 show an example of the hysteresis characteristic of the readout layer 3, and the horizontal axis indicates the readout layer 3.
Is the external magnetic field (Hex) applied in the direction perpendicular to the film surface, and the vertical axis is the polar Kerr rotation angle (θk) when light is also incident from the direction perpendicular to the film surface.

【0024】図3は、図2の磁気状態図における組成P
の読み出し層3の、室温から温度T1 までの間のヒステ
リシス特性を示しており、図4ないし図6は、それぞ
れ、温度T1 から温度T2 までのヒステリシス特性、温
度T2 から温度T3 までのヒステリシス特性、及び温度
3 からキュリー温度Tc までのヒステリシス特性を示
している。
FIG. 3 shows the composition P in the magnetic phase diagram of FIG.
Of the readout layer 3 shows the hysteresis characteristic between from room temperature to temperatures T 1, 4 to 6, respectively, the temperature T 3 hysteresis characteristic from temperatures T 1 to temperature T 2, the temperature T 2 hysteresis characteristic up, and shows the hysteresis characteristic from the temperature T 3 to the Curie temperature Tc.

【0025】温度T1 から温度T3 の温度範囲では、外
部磁界に対して極カー回転角の立ち上がりが急峻なヒス
テリシス特性を示すが、それ以外の温度範囲では極カー
回転角はほとんど0である。
In the temperature range from the temperature T 1 to the temperature T 3 , the rise of the polar Kerr rotation angle with respect to the external magnetic field shows a hysteresis characteristic which is steep, but in other temperature ranges, the pole Kerr rotation angle is almost zero. .

【0026】上記の特性を備えた希土類遷移金属を読み
出し層3に使用することで、光磁気ディスクの記録密度
は高くなる。すなわち、光ビームの大きさよりも小さな
記録ビットの再生が可能になる。これについて、以下に
説明する。
By using a rare earth transition metal having the above characteristics for the readout layer 3, the recording density of the magneto-optical disk is increased. That is, it is possible to reproduce a recording bit smaller than the size of the light beam. This will be described below.

【0027】再生動作時に、基板1(図1)の側から集
光レンズ9を介して再生光ビーム8が読み出し層3に照
射される。再生光ビーム8が照射された読み出し層3の
部位は、その中心部近傍が最も温度が上昇し、周辺の部
位の温度よりも高くなる。これは、再生光ビーム8が、
集光レンズ9により回折限界まで絞り込まれているた
め、その光強度分布がガウス分布になり、光磁気ディス
ク上の再生部位の温度分布もほぼガウス分布になるから
である。
At the time of the reproducing operation, the readout layer 3 is irradiated with the reproducing light beam 8 from the side of the substrate 1 (FIG. 1) via the condenser lens 9. The temperature of the portion of the readout layer 3 irradiated with the reproduction light beam 8 rises most in the vicinity of the central portion thereof, and becomes higher than the temperature of the peripheral portion. This is because the reproduction light beam 8
This is because the light intensity distribution becomes a Gaussian distribution and the temperature distribution at the reproducing portion on the magneto-optical disk also becomes almost a Gaussian distribution because the light is narrowed down to the diffraction limit by the condenser lens 9.

【0028】中心近傍の温度がT1 以上に達し、周辺部
位の温度がT1 以下になるように再生光ビーム8の強度
が設定されている場合、T1 以上の温度を有する領域の
みを再生に関与させるので、再生光ビーム8の径よりも
小さな記録ビットの再生が行え、記録密度は著しく向上
することになる。
The temperature near the center is above T 1 is reached, when the intensity of the reproducing light beam 8 so that the temperature of the surrounding site is T 1 or less is set, playback only area having above T 1 temperature Therefore, recording bits smaller than the diameter of the reproducing light beam 8 can be reproduced, and the recording density is significantly improved.

【0029】つまり、T1 以上の温度を有する領域の磁
化は、面内磁化から垂直磁化に移行する(極カー回転角
のヒステリシス特性は図3から図4もしくは図5に移行
する)。この時、読み出し層3及び記録層4の2層間の
交換結合力により、記録層4の磁化の向きが読み出し層
3に転写される。一方、再生光ビーム8の中心近傍に対
応した領域以外の、周辺部位では温度がT1 以下である
ため、面内磁化の状態(図3)が保持される。この結
果、膜面に垂直方向から照射された再生光ビーム8に対
しては、極カー効果を示さない。
That is, the magnetization in the region having a temperature equal to or higher than T 1 shifts from in-plane magnetization to perpendicular magnetization (the hysteresis characteristic of the polar Kerr rotation angle shifts from FIG. 3 to FIG. 4 or FIG. 5). At this time, the magnetization direction of the recording layer 4 is transferred to the reading layer 3 by the exchange coupling force between the two layers of the reading layer 3 and the recording layer 4. On the other hand, other than the area corresponding to the vicinity of the center of the reproducing light beam 8, because the surrounding site is the temperature T 1 or less, in-plane magnetization state (FIG. 3) is held. As a result, the reproduction light beam 8 irradiated to the film surface from the vertical direction does not exhibit the polar Kerr effect.

【0030】このようにして、温度上昇部位が面内磁化
から垂直磁化に移行すると、再生光ビーム8の中心近傍
のみが極カー効果を示すようになり、該部位からの反射
光に基づいて、記録層4に記録された情報が再生され
る。
As described above, when the temperature rising portion shifts from the in-plane magnetization to the perpendicular magnetization, only the vicinity of the center of the reproduction light beam 8 exhibits the polar Kerr effect, and based on the reflected light from the portion, The information recorded on the recording layer 4 is reproduced.

【0031】再生光ビーム8が移動して(実際には光磁
気ディスクが回転して)、次の記録ビットを再生する時
は、先の再生部位の温度はT1 以下に下がり、垂直磁化
から面内磁化に移行する。これに伴い、この温度が低下
した部位は極カー効果を示さなくなる。従って、該温度
の低下した部位からは情報が再生されなくなり、雑音の
原因である隣接記録ビットからの信号混入がなくなる。
[0031] moving the reproducing light beam 8 (actually magneto-optical disk is rotated), when to reproduce the next recording bit, the temperature of the previous reproducing portion drops to T 1 or less, from the perpendicular magnetization Transition to in-plane magnetization. Along with this, the portion where the temperature has decreased no longer exhibits the polar Kerr effect. Therefore, information is not reproduced from the portion where the temperature is lowered, and signal mixing from adjacent recording bits which causes noise is eliminated.

【0032】以上のように、本発明の光磁気ディスクを
用いれば、再生光ビーム8の径よりも小さい記録ビット
の再生が確実に行え、隣接する記録ビットの影響を受け
ないため、記録密度を著しく高めることが可能である。
As described above, when the magneto-optical disk of the present invention is used, recording bits smaller than the diameter of the reproducing light beam 8 can be surely reproduced, and the recording density is not affected by the adjacent recording bits. It can be significantly increased.

【0033】次に、本実施例の光磁気ディスクの具体例
を示す。
Next, a specific example of the magneto-optical disk of this embodiment will be described.

【0034】基板1は、直径86mm、内径15mm、厚さ
1.2mmの円盤状のガラスからなっている。基板1の片
側の表面には、図示していないが、光ビーム案内用の凹
凸状のガイドトラックが、ピッチが1.6μm、グルー
ブ(凹部)の幅が0.8μm、ランド(凸部)の幅が
0.8μmで形成されている。
The substrate 1 is made of a disc-shaped glass having a diameter of 86 mm, an inner diameter of 15 mm, and a thickness of 1.2 mm. Although not shown, an uneven guide track for guiding a light beam is provided on one surface of the substrate 1 at a pitch of 1.6 μm, a groove (recess) width of 0.8 μm, and a land (convex portion). The width is 0.8 μm.

【0035】基板1のガイドトラックが形成されている
側の面に、透明誘電体層2として、A1Nが厚さ80n
mで形成されている。
On the surface of the substrate 1 on which the guide tracks are formed, A1N having a thickness of 80 n is formed as the transparent dielectric layer 2.
m.

【0036】透明誘電体層2上に、係る読み出し層3と
して、希土類遷移金属合金薄膜であるGdFeCoが、
厚さ15nmで形成されている。GdFeCoの組成
は、Gd0.26(Fe0.82Co0.180.74であり、そのキ
ュリー温度は約300℃である。
On the transparent dielectric layer 2, GdFeCo, which is a rare earth transition metal alloy thin film, is used as the readout layer 3.
It is formed with a thickness of 15 nm. The composition of GdFeCo is Gd 0.26 (Fe 0.82 Co 0.18 ) 0.74 , and its Curie temperature is about 300 ° C.

【0037】読み出し層3上に、記録層4として、希土
類遷移金属合金薄膜であるDyFeCoが、厚さ15n
mで形成されている。DyFeCoの組成は、Dy0.23
(Fe0.78Co0.220.77であり、そのキュリー温度は
約200℃である。
On the readout layer 3, as the recording layer 4, a rare-earth transition metal alloy thin film DyFeCo having a thickness of 15 n
m. The composition of DyFeCo is Dy 0.23
(Fe 0.78 Co 0.22 ) 0.77 , and its Curie temperature is about 200 ° C.

【0038】上記の読み出し層3と記録層4の組み合わ
せにより、読み出し層3の磁化の方向は、室温ではほぼ
面内(つまり、読み出し層3の層方向)にあり、100
〜125℃程度の温度で面内方向から垂直方向に移行す
る。
Due to the combination of the readout layer 3 and the recording layer 4, the direction of magnetization of the readout layer 3 is almost in-plane at room temperature (that is, the layer direction of the readout layer 3).
The transition from the in-plane direction to the vertical direction occurs at a temperature of about 125 ° C.

【0039】記録層4上には、透明誘電体層5として、
A1Nが厚さ30nmで形成されている。
On the recording layer 4, as a transparent dielectric layer 5,
A1N is formed with a thickness of 30 nm.

【0040】透明誘電体層5上には、反射層6として、
A1Niが厚さ30nmで形成されている。A1Niに
おけるNiの含有量は、5atm%である。
On the transparent dielectric layer 5, as a reflection layer 6,
A1Ni is formed with a thickness of 30 nm. The content of Ni in A1Ni is 5 atm%.

【0041】反射層6上には、オーバーコート層7とし
て、ポリウレタンアクリレート系の紫外線硬化型樹脂
が、厚さ5μmで形成されている。
On the reflective layer 6, a polyurethane acrylate-based ultraviolet curable resin having a thickness of 5 μm is formed as the overcoat layer 7.

【0042】上記の光磁気ディスクは、以下の手順で製
造された。
The above-described magneto-optical disk was manufactured in the following procedure.

【0043】ガラスの基板1の表面のガイドトラック
は、反応性イオンエッチング法により形成された。
The guide tracks on the surface of the glass substrate 1 were formed by a reactive ion etching method.

【0044】透明誘電体層2、読み出し層3、記録層
4、透明誘電体層5及び反射層6は、いずれもスパッタ
ー法により、同一スパッター装置内で、真空を破らずに
形成された。透明誘電体層2・5のA1Nは、A1ター
ゲットをN2 ガス雰囲気中でスパッターする反応性スパ
ッター法により形成された。読み出し層3及び記録層4
は、FeCo合金ターゲット上にGdあるいはDyのチ
ップを並べた、いわゆる複合ターゲット、若しくはGd
FeCo及びDyFeCoの3元合金ターゲットを用い
て、Arガスでスパッターすることにより形成された。
The transparent dielectric layer 2, the readout layer 3, the recording layer 4, the transparent dielectric layer 5, and the reflective layer 6 were all formed by a sputtering method in the same sputtering apparatus without breaking vacuum. A1N of the transparent dielectric layers 2 and 5 was formed by a reactive sputtering method in which an A1 target was sputtered in an N 2 gas atmosphere. Readout layer 3 and recording layer 4
Is a so-called composite target in which Gd or Dy chips are arranged on a FeCo alloy target, or Gd
It was formed by sputtering with Ar gas using a ternary alloy target of FeCo and DyFeCo.

【0045】反射層6はAlNi合金ターゲットを用い
て、Arガスでスパッターすることにより形成された。
なお、AlNi合金ターゲットの代わりに、Alターゲ
ット上にNi片を配した複合ターゲットを用いてもよ
い。
The reflection layer 6 was formed by sputtering with an Ar gas using an AlNi alloy target.
Note that, instead of the AlNi alloy target, a composite target in which Ni pieces are arranged on an Al target may be used.

【0046】オーバーコート層7は、スピンコーターに
よりポリウレタンアクリレート系の紫外線硬化型樹脂を
塗布した後、紫外線照射装置で紫外線を当て、硬化させ
ることにより形成された。
The overcoat layer 7 was formed by applying a polyurethane acrylate-based UV-curable resin using a spin coater, and then irradiating and curing the UV-ray with an ultraviolet irradiator.

【0047】上記の光磁気ディスクでは、読み出し層3
と記録層4の膜厚の合計は30nmであり、非常に薄い
膜厚に設定されている。このため、基板1側から入射し
た再生光ビーム8は読み出し層3および記録層4を透過
し、反射層6で反射され、再び記録層4および読み出し
層3に入射する。その結果、再生光ビーム8が基板1側
から入射し読み出し層3で反射された光と、反射層6で
反射した光とが干渉し、磁気光学効果のエンハンスメン
トが行われる。すなわち、極カー回転角が大きくなる。
このため、より高精度に情報を再生できると共に、再生
信号品質が向上する。
In the above-described magneto-optical disk, the read layer 3
And the total thickness of the recording layer 4 is 30 nm, which is set to a very small thickness. Therefore, the reproduction light beam 8 incident from the substrate 1 side passes through the readout layer 3 and the recording layer 4, is reflected by the reflection layer 6, and enters the recording layer 4 and the readout layer 3 again. As a result, the light reflected by the readout layer 3 when the reproduction light beam 8 enters from the substrate 1 side and the light reflected by the reflection layer 6 interfere with each other, so that the magneto-optical effect is enhanced. That is, the polar car rotation angle increases.
For this reason, information can be reproduced with higher accuracy, and the reproduction signal quality is improved.

【0048】AlNiは反射率が高いため、読み出し層
3及び記録層4を透過した光を効率良く反射させること
ができる。このため、反射層6の材料として好適であ
る。
Since AlNi has a high reflectance, light transmitted through the readout layer 3 and the recording layer 4 can be efficiently reflected. For this reason, it is suitable as a material for the reflective layer 6.

【0049】また、AlNiは、熱伝導率が比較的低い
ので、記録再生に必要なレーザーパワーを低く設定する
ことができる。換言すれば、光磁気ディスクが高感度に
なる。これにより、光磁気ディスク装置の光源としての
半導体レーザーの寿命を延ばすことができる。
Since AlNi has a relatively low thermal conductivity, the laser power required for recording and reproduction can be set low. In other words, the magneto-optical disk has high sensitivity. As a result, the life of the semiconductor laser as the light source of the magneto-optical disk device can be extended.

【0050】上記の光磁気ディスクを用いて、記録に要
するレーザーパワーを調べた所、反射層6だけを純Alに
代えた光磁気ディスクと比べて、0.5 mW以上低いレー
ザーパワーで記録できることが確認できた。
When the laser power required for recording was examined using the above-described magneto-optical disk, it was confirmed that recording could be performed with a laser power lower by 0.5 mW or more than that of a magneto-optical disk in which only the reflective layer 6 was replaced with pure Al. did it.

【0051】また、再生時の最適レーザーパワーも、反
射層6だけを純Alに代えた光磁気ディスクに比べて低
いことが確認できた。
It was also confirmed that the optimum laser power at the time of reproduction was lower than that of a magneto-optical disk in which only the reflective layer 6 was replaced with pure Al.

【0052】更に、AlNiは、耐湿性に非常に優れて
おり、長期信頼性に優れた光磁気ディスクを提供するこ
とができる。
Further, AlNi is very excellent in moisture resistance, and can provide a magneto-optical disk excellent in long-term reliability.

【0053】以下に、上記の光磁気ディスクの耐湿性テ
スト結果について説明する。
Hereinafter, the results of the moisture resistance test of the magneto-optical disk will be described.

【0054】光磁気ディスクを80℃、90%R.H. の環境条
件下で1000時間放置して、その特性の変化を調べた。比
較のため、反射層6を純Alに代えた以外、上記と同じ
構成の光磁気ディスクについても同様に調べた。
The magneto-optical disk was left for 1000 hours under the environmental conditions of 80 ° C. and 90% RH, and the change in its characteristics was examined. For comparison, a magneto-optical disk having the same configuration as above except that the reflective layer 6 was changed to pure Al was also examined.

【0055】その結果、反射層6に純Alを用いた光磁
気ディスクでは、反射層6のAlに多数のピンホールが
発生した。そして、このピンホールのために、記録再生
実験で測定したノイズが上昇し、初期に比べて、再生信
号品質(C/N) が10dBも劣化した。
As a result, in the magneto-optical disk using pure Al for the reflective layer 6, many pinholes were generated in the Al of the reflective layer 6. Due to this pinhole, the noise measured in the recording / reproduction experiment increased, and the reproduction signal quality (C / N) deteriorated by 10 dB as compared with the initial stage.

【0056】一方、本実施例の光磁気ディスクでは、反
射層6におけるピンホールの発生は数個程度と極めて少
なかった。このため、ノイズ上昇は無く、上記環境条件
下に放置後も、初期と変わらない特性が得られた。
On the other hand, in the magneto-optical disk of this embodiment, the number of pinholes in the reflection layer 6 was extremely small, about several. For this reason, there was no increase in noise, and the same characteristics as those at the initial stage were obtained even after being left under the above environmental conditions.

【0057】AlNiにおけるNiの含有量は、0 〜10
atm%が好適である。Ni含有量があまり多くなり過ぎる
と、反射率がNiの増加につれて低下し、再生信号品質
(C/N) の劣化を招く。Ni量が10atm%までであれ
ば、C/Nの劣化はそれほど顕著では無く、実用的な値
が得られる。また、Ni含有量が、0.5atm% 程度とごく
僅かであっても、Alに比べて記録感度は改善され、ま
た耐湿性は格段に改善される。
The content of Ni in AlNi is from 0 to 10
atm% is preferred. If the Ni content is too high, the reflectivity decreases as the Ni content increases, leading to deterioration of the reproduction signal quality (C / N). If the Ni content is up to 10 atm%, the deterioration of C / N is not so remarkable, and a practical value can be obtained. Further, even if the Ni content is as small as about 0.5 atm%, the recording sensitivity is improved and the moisture resistance is remarkably improved as compared with Al.

【0058】反射層6の材料として、AlTi、AlT
a、AlSiも好適である。
As a material of the reflection layer 6, AlTi, AlT
a and AlSi are also suitable.

【0059】これらの材料も反射率が高い材料であるの
で、読み出し層3及び記録層4を透過した光を効率良く
反射させることができ、再生信号品質の優れた光磁気デ
ィスクを提供することができる。
Since these materials also have high reflectivity, the light transmitted through the readout layer 3 and the recording layer 4 can be reflected efficiently, and a magneto-optical disk having excellent reproduction signal quality can be provided. it can.

【0060】また、これらの材料も熱伝導率が比較的低
いので、記録再生に必要なレーザーパワーを低く設定す
ることができ、光磁気ディスク装置における半導体レー
ザーの寿命を延ばすことができる。
Since these materials also have relatively low thermal conductivity, the laser power required for recording and reproduction can be set low, and the life of the semiconductor laser in the magneto-optical disk device can be extended.

【0061】Tiを1.5atm% 含有したAlTiの反射層
6を有する光磁気ディスク、Taを1.5atm% 含有したA
lTaの反射層6を有する光磁気ディスク、Siを10at
m%含有したAlSiの反射層6を有する光磁気ディスク
についても、上記と同様に、記録および再生に要するレ
ーザーパワーを求めると共に、耐湿性テストを行った
所、上記と同様の結果が得られた。
A magneto-optical disk having a reflective layer 6 of AlTi containing 1.5 atm% of Ti, A containing 1.5 atm% of Ta
Magneto-optical disk having a reflective layer 6 of 1 Ta, 10 at Si
As for the magneto-optical disk having the reflective layer 6 of AlSi containing m%, the laser power required for recording and reproduction was determined in the same manner as described above, and a moisture resistance test was performed. As a result, the same result as above was obtained. .

【0062】AlTiにおけるTiの含有量およびAl
TaにおけるTaの含有量は、0 〜10atm%が好適であ
る。これらの含有量があまり多くなり過ぎると、反射率
がTiあるいはTaの増加につれて低下し、再生信号品
質(C/N) の劣化を招く。含有量が10atm%までであれ
ば、C/Nの劣化はそれほど顕著では無く、実用的な値
が得られる。また、含有量が、0.5atm% 程度とごく僅か
であっても、Alに比べて記録感度は改善され、また耐
湿性は格段に改善される。
Ti content and Al content in AlTi
The content of Ta in Ta is preferably 0 to 10 atm%. If these contents are too large, the reflectivity decreases as Ti or Ta increases, and the reproduction signal quality (C / N) deteriorates. When the content is up to 10 atm%, the deterioration of C / N is not so remarkable, and a practical value can be obtained. Further, even if the content is as small as about 0.5 atm%, the recording sensitivity is improved and the moisture resistance is remarkably improved as compared with Al.

【0063】AlSiにおけるSiの含有量は、0 〜50
atm%が好適である。これらの含有量があまり多くなり過
ぎると、反射率がSiの増加につれて低下し、再生信号
品質(C/N) の劣化を招く。含有量が50atm%までであ
れば、C/Nの劣化はそれほど顕著では無く、実用的な
値が得られる。また、含有量が、0.5atm% 程度とごく僅
かであっても、Alに比べて記録感度は改善され、また
耐湿性は格段に改善される。
The content of Si in AlSi is from 0 to 50.
atm% is preferred. If these contents are too large, the reflectivity decreases as the Si content increases, leading to a deterioration in the reproduction signal quality (C / N). If the content is up to 50 atm%, the deterioration of C / N is not so remarkable, and a practical value can be obtained. Further, even if the content is as small as about 0.5 atm%, the recording sensitivity is improved and the moisture resistance is remarkably improved as compared with Al.

【0064】AlTaを反射層6に用いた場合には、次
の利点がある。
The use of AlTa for the reflective layer 6 has the following advantages.

【0065】AlTaの反射層6は、AlTa合金ター
ゲット、もしくは、Alターゲット上にTa片を配した
複合ターゲットをArガスでスパッターすることにより
形成される。
The reflection layer 6 of AlTa is formed by sputtering an AlTa alloy target or a composite target having a Ta piece disposed on an Al target with Ar gas.

【0066】ところで、AlTa合金ターゲット、もし
くは、Alターゲット上にTa片を配した複合ターゲッ
トをN2 ガス、あるいは、ArガスとN2 ガスの混合ガ
スでスパッターすると、反応性スパッターにより、Al
TaNが形成される。AlTaNは、透明であり、か
つ、屈折率が2前後と大きいので、透明誘電体層2・5
の材料として使用可能である。
[0066] Incidentally, AlTa alloy target or a composite target which arranged Ta pieces on Al target N 2 gas, or, when sputtered in a mixed gas of Ar gas and N 2 gas, by reactive sputtering, Al
TaN is formed. Since AlTaN is transparent and has a large refractive index of about 2, the transparent dielectric layers 2.5
It can be used as a material.

【0067】したがって、透明誘電体層2・5と反射層
6とを同一ターゲットを用いて形成できる。このため、
スパッター装置を小型化でき、光磁気ディスクの製造コ
ストを大幅に下げることができる。
Therefore, the transparent dielectric layers 2 and 5 and the reflection layer 6 can be formed using the same target. For this reason,
The sputter device can be downsized, and the manufacturing cost of the magneto-optical disk can be significantly reduced.

【0068】AlSiを反射層6に用いた場合にも、A
lTaを反射層6に用いた場合と、同様の利点がある。
When AlSi is used for the reflection layer 6, A
There is the same advantage as the case where lTa is used for the reflective layer 6.

【0069】すなわち、AlSiの反射層6は、AlS
i合金ターゲット、もしくは、Alターゲット上にSi
片を配した複合ターゲットをArガスでスパッターする
ことにより形成される。AlSi合金ターゲット、もし
くは、Alターゲット上にSi片を配した複合ターゲッ
トをN2 ガス、あるいは、ArガスとN2 ガスの混合ガ
スでスパッターすると、反応性スパッターにより、Al
SiNが形成される。AlSiNは、透明であり、か
つ、屈折率が2前後と大きいので、透明誘電体層2・5
の材料として使用可能である。
That is, the reflection layer 6 of AlSi is made of AlS
Si alloy target or Al target on Si
It is formed by sputtering a composite target on which pieces are arranged with Ar gas. AlSi alloy target or a composite target which arranged Si pieces on Al target N 2 gas, or, when sputtered in a mixed gas of Ar gas and N 2 gas, by reactive sputtering, Al
SiN is formed. AlSiN is transparent and has a large refractive index of about 2, so that the transparent dielectric layers 2.5
It can be used as a material.

【0070】したがって、透明誘電体層2・5と反射層
6とを同一ターゲットを用いて形成できる。このため、
スパッター装置を小型化でき、光磁気ディスクの製造コ
ストを大幅に下げることができる。
Therefore, the transparent dielectric layers 2 and 5 and the reflection layer 6 can be formed using the same target. For this reason,
The sputter device can be downsized, and the manufacturing cost of the magneto-optical disk can be significantly reduced.

【0071】次に、反射層6の膜厚について説明する。Next, the thickness of the reflection layer 6 will be described.

【0072】反射層6の膜厚があまり薄すぎると、反射
層6を光が透過してしまい、エンハンス効果が低下す
る。このため、膜厚は最低でも20nm程度は必要であ
る。また、膜厚があまり厚すぎると記録、再生等に必要
なレーザパワーが高くなり、光磁気ディスクの記録感度
を低下させてしまう。このため、反射層6の材料の熱伝
導率、比熱に応じて膜厚を設定する必要があるが、通
常、100nm以下が好ましい。従って、反射層6に好適
な膜厚は20〜100nmの範囲である。
If the thickness of the reflective layer 6 is too small, light will pass through the reflective layer 6 and the enhancement effect will be reduced. For this reason, the film thickness must be at least about 20 nm. On the other hand, if the film thickness is too large, the laser power required for recording, reproduction, etc., will increase, and the recording sensitivity of the magneto-optical disk will decrease. For this reason, it is necessary to set the film thickness in accordance with the thermal conductivity and the specific heat of the material of the reflective layer 6, but usually, it is preferably 100 nm or less. Therefore, the preferred film thickness for the reflective layer 6 is in the range of 20 to 100 nm.

【0073】尚、上記のAlNi、AlTi、AlT
a、AlSiは、非常に耐湿性に優れた材料であるの
で、膜厚が30nm程度以下と薄くても、長期信頼性に優
れた光磁気ディスクを提供できる。
The above AlNi, AlTi, AlT
Since a and AlSi are materials having extremely excellent moisture resistance, a magneto-optical disk having excellent long-term reliability can be provided even if the film thickness is as thin as about 30 nm or less.

【0074】本実施例の光磁気ディスクにおいて、磁気
光学効果のエンハンスメントのためには、透明誘導体層
2の膜厚は、70〜100nmが最適であり、この時、透明
誘導体層5の膜厚は15〜50nmが好適である。
In the magneto-optical disk of the present embodiment, for enhancing the magneto-optical effect, the thickness of the transparent dielectric layer 2 is optimally 70 to 100 nm, and at this time, the thickness of the transparent dielectric layer 5 is 15-50 nm is preferred.

【0075】透明誘導体層2の膜厚を上記のように設定
すれば、読み出し層3からの反射光の極カー回転角を光
の干渉効果により増大させることができる。再生時の信
号品質(C/N) をできるだけ大きくさせるには、極カ
ー回転角を大きくさせることが必要であり、このため透
明誘導体層2の膜厚は、極カー回転角が最も大きくなる
ように設定される。この膜厚は、再生光の波長、透明誘
導体層2の屈折率により変化する。上記第一実施例の場
合は、780nmの再生光波長に対して、屈折率2.0 のA
lNを用いているので、透明誘導体層2のAlNの膜厚
を30〜1200nm程度にすると、カー効果エンハンスメン
トの効果が大きくなる。尚、好ましくは、透明誘導体層
2のAlNの膜厚は70〜100nmであり、この範囲であ
れば極カー回転角がほぼ最大になる。
When the thickness of the transparent dielectric layer 2 is set as described above, the polar Kerr rotation angle of the reflected light from the readout layer 3 can be increased by the light interference effect. In order to increase the signal quality (C / N) during reproduction as much as possible, it is necessary to increase the polar Kerr rotation angle. Therefore, the film thickness of the transparent dielectric layer 2 is set so that the polar Kerr rotation angle is maximized. Is set to This film thickness changes depending on the wavelength of the reproduction light and the refractive index of the transparent dielectric layer 2. In the case of the first embodiment, the A of the refractive index is 2.0 with respect to the reproduction light wavelength of 780 nm.
Since 1N is used, when the thickness of AlN of the transparent dielectric layer 2 is set to about 30 to 1200 nm, the effect of the Kerr effect enhancement is increased. Preferably, the AlN film thickness of the transparent dielectric layer 2 is 70 to 100 nm, and within this range, the polar Kerr rotation angle is almost maximum.

【0076】上記の説明は、波長が780nmの再生光に
対するものであったが、例えば波長が半分の400nmの
再生光に対しては、透明誘導体層2の膜厚もほぼ半分に
すれば良い。
Although the above description has been made with respect to reproduction light having a wavelength of 780 nm, for example, with respect to reproduction light having a wavelength of 400 nm, which is half the wavelength, the thickness of the transparent dielectric layer 2 may be reduced to approximately half.

【0077】更に、透明誘導体層2の材料の違いあるい
は製法により透明誘導体層2の屈折率が変わった場合
は、屈折率と膜厚を乗じた値(光路長)が同じになるよ
うに、透明誘導体層2の膜厚を設定すれば良い。
Further, when the refractive index of the transparent dielectric layer 2 is changed due to the difference in the material of the transparent dielectric layer 2 or the manufacturing method, the transparent dielectric layer 2 is made transparent so that the value obtained by multiplying the refractive index and the film thickness (optical path length) becomes the same. The thickness of the dielectric layer 2 may be set.

【0078】すなわち、例えば、透明誘導体層2のAl
Nの屈折率2と膜厚80nmを乗じた、160nmが透明誘
導体層2の光路長となるが、このAlNの屈折率が2か
ら2.5に変わった場合は、160nm/2.5=64nm程度
に膜厚を設定すれば良いことになる。
That is, for example, the Al of the transparent dielectric layer 2
The optical path length of the transparent dielectric layer 2 is 160 nm obtained by multiplying the refractive index 2 of N by the film thickness of 80 nm. When the refractive index of AlN changes from 2 to 2.5, it becomes about 160 nm / 2.5 = 64 nm. What is necessary is just to set the film thickness.

【0079】上記の説明からわかるように、透明誘導体
層2の屈折率は大きいほど、その膜厚は少なくて済む。
また、屈折率が大きいほど、極カー回転角のエンハンス
効果も大きくなる。
As can be seen from the above description, the larger the refractive index of the transparent dielectric layer 2, the smaller the thickness thereof.
Also, the larger the refractive index, the greater the effect of enhancing the polar Kerr rotation angle.

【0080】また、透明誘導体層5の膜厚は、膜厚を厚
くすればするほど、極カー回転角が大きくなるが、反射
率が小さくなる。反射率をあまり小さくし過ぎると、ガ
イドトラックにサーボをかけるための信号が小さくな
り、安定したサーボがかけられなくなってしまう。この
ため、透明誘導体層5の膜厚は15〜50nm程度が適して
いる。
Further, as the thickness of the transparent dielectric layer 5 increases, the polar Kerr rotation angle increases as the thickness increases, but the reflectivity decreases. If the reflectance is too small, the signal for applying servo to the guide track becomes small, and stable servo cannot be applied. Therefore, the thickness of the transparent dielectric layer 5 is preferably about 15 to 50 nm.

【0081】また、透明誘導体層2の屈折率よりも透明
誘導体層5の屈折率を大きくすれば、よりエンハンス効
果を高めることができる。
If the refractive index of the transparent dielectric layer 5 is made larger than that of the transparent dielectric layer 2, the enhancement effect can be further enhanced.

【0082】透明誘導体層2及び5の材料としては、A
lNが好適である。
As the material of the transparent dielectric layers 2 and 5, A
1N is preferred.

【0083】AlNは、スパッター時のスパッターガス
であるArとN2の比率、ガス圧力等を変えることによ
り、その屈折率が変わるが、おおむね1.8 〜2.1 程度と
比較的屈折率が大きな材料であり、磁気光学効果のエン
ハンス効果が大きく、再生信号品質に優れた光磁気ディ
スクを提供できる。
AlN is a material having a relatively large refractive index of about 1.8 to 2.1, although its refractive index is changed by changing the ratio of Ar and N 2 , which are sputter gases at the time of sputtering, and the gas pressure. In addition, a magneto-optical disk having a large enhancement effect of the magneto-optical effect and excellent in reproduction signal quality can be provided.

【0084】また、透明誘導体層2は、上記説明のよう
なカー効果エンハンスメントの役割があるだけでなく、
透明誘導体層5とともに読み出し層3と記録層4の希土
類遷移金属合金からなる磁性材料の酸化を防止する役割
もある。
The transparent dielectric layer 2 not only has the role of the Kerr effect enhancement as described above, but also
In addition to the transparent dielectric layer 5, it also has a role of preventing oxidation of the magnetic material composed of the rare earth transition metal alloy of the readout layer 3 and the recording layer 4.

【0085】希土類遷移金属からなる読み出し層3と記
録層4は、非常に酸化されやすく、特に希土類が酸化さ
れやすい。このため外部からの酸素、水分侵入を極力防
止しなければ、酸化によりその特性が著しく劣化してし
まう。
The readout layer 3 and the recording layer 4 made of a rare earth transition metal are very easily oxidized, and particularly rare earths are easily oxidized. Therefore, unless the intrusion of oxygen and moisture from the outside is prevented as much as possible, the characteristics are significantly deteriorated by oxidation.

【0086】そのため、本実施例においては、読み出し
層3と記録層4の両側をAlNで挟み込む形の構成を取
っている。AlNは、その成分に酸素を含まない窒化物
であり、非常に耐湿性に優れた材料である。
Therefore, in the present embodiment, a configuration is adopted in which both sides of the readout layer 3 and the recording layer 4 are sandwiched by AlN. AlN is a nitride that does not contain oxygen in its component, and is a material having extremely excellent moisture resistance.

【0087】また、AlTaN、AlSiNも透明誘導
体層2または5の材料として好適である。
Further, AlTaN and AlSiN are also suitable as the material of the transparent dielectric layer 2 or 5.

【0088】更に加えて、SiN 、SiAlON、TiN 、TiON、
BN、ZnS 、TiO2、BaTiO3、SrTiO3等も好適である。
In addition, SiN, SiAlON, TiN, TION,
BN, ZnS, TiO 2 , BaTiO 3 , SrTiO 3 and the like are also suitable.

【0089】また、このうち特に、SiN 、TiN 、BN、Zn
S は、その成分に酸素を含まず、耐湿性に優れた光磁気
ディスクを提供することができる。
In particular, SiN, TiN, BN, Zn
S 2 does not contain oxygen in its component and can provide a magneto-optical disk having excellent moisture resistance.

【0090】また、希土類遷移金属合金からなる読み出
し層3及び記録層4は、光をよく吸収するので、これら
を合わせた膜厚が、50nm以上になるとほとんど光が透
過せず、カー効果のエンハンスメントをできなくなる。
従って、これら2層を合わせた膜厚は10〜50nmが好適
である。
The readout layer 3 and the recording layer 4 made of a rare-earth transition metal alloy absorb light well, and when the combined thickness is 50 nm or more, almost no light is transmitted, and the enhancement of the Kerr effect is enhanced. Can not be.
Therefore, the combined film thickness of these two layers is preferably 10 to 50 nm.

【0091】上記の読み出し層3のGdFeCoの組成は、Gd
0.26(Fe0.82Co0.18)0.74に限定されるものではない。読
み出し層3は、室温でほぼ面内磁化を有し、室温以上の
温度で面内磁化から垂直磁化に移行すれば良い。希土類
遷移金属合金においては、希土類と遷移金属の比率を変
えれば、希土類と遷移金属の磁化が釣り合う補償温度が
変わる。GdFeCoはこの補償温度付近で垂直磁化を示す材
料系であることからGdとFeCoの比率を変えて補償温度を
変えてやれば、面内磁化から垂直磁化に移行する温度も
これにつれて変わる。
The composition of GdFeCo in the readout layer 3 is GdFeCo.
It is not limited to 0.26 (Fe 0.82 Co 0.18 ) 0.74 . The readout layer 3 has substantially in-plane magnetization at room temperature, and may shift from in-plane magnetization to perpendicular magnetization at a temperature equal to or higher than room temperature. In the rare earth transition metal alloy, if the ratio of the rare earth and the transition metal is changed, the compensation temperature at which the magnetization of the rare earth and the transition metal is balanced changes. Since GdFeCo is a material system that exhibits perpendicular magnetization near this compensation temperature, if the compensation temperature is changed by changing the ratio of Gd to FeCo, the temperature at which the in-plane magnetization shifts to perpendicular magnetization also changes accordingly.

【0092】図7は、GdX (Fe0.82Co0.18)1-X の系にお
いてX、すなわちGdの組成を変えた場合の補償温度及び
キュリー温度を調べた結果である。
FIG. 7 shows the results of examining the compensation temperature and the Curie temperature when the composition of X, ie, Gd, was changed in the system of Gd X (Fe 0.82 Co 0.18 ) 1 -X .

【0093】補償温度が室温(25℃)以上にある組成
範囲は、同図から明らかなようにXが0.18以上である。
このうち、好ましくは、0.19<X<0.29の範囲である。
この範囲であれば、読み出し層3上に記録層4を積層し
た実使用構成において、面内から垂直方向に磁化の向き
が移動する温度が室温〜200℃程度の範囲となる。こ
の温度があまり高すぎると、再生用のレーザパワーが記
録用のレーザパワーと同じくらい高くなってしまうの
で、記録層4に記録が行われて記録情報が乱される恐れ
がある。
In the composition range where the compensation temperature is equal to or higher than room temperature (25 ° C.), X is 0.18 or higher as is apparent from FIG.
Of these, the range is preferably 0.19 <X <0.29.
Within this range, the temperature at which the direction of magnetization moves from the in-plane to the vertical direction in a practical configuration in which the recording layer 4 is stacked on the readout layer 3 is in the range of room temperature to 200 ° C. If the temperature is too high, the laser power for reproduction becomes as high as the laser power for recording, so that recording may be performed on the recording layer 4 and recorded information may be disturbed.

【0094】次に、上記のGdFeCo系において、FeとCoの
比率を変えた場合、すなわち、 GdXX (Fe1-YCoY )1-X
おいて、Yを変えた場合における、特性(補償温度及び
キュリー温度)の変化について説明する。
Next, in the above-mentioned GdFeCo system, the characteristics (compensation temperature) when the ratio of Fe and Co is changed, that is, when Y is changed in GdX X (Fe 1 -Y Co Y ) 1 -X And Curie temperature) will be described.

【0095】図8は、Coがゼロの場合、すなわち、GdX
Fe1-X の特性を示す図である。同図において、例えば、
Gd組成がX=0.3 の場合、補償温度は約120℃で、キュ
リー温度は約200℃ある。
FIG. 8 shows the case where Co is zero, that is, Gd X
FIG. 3 is a view showing characteristics of Fe 1-X . In the figure, for example,
When the Gd composition is X = 0.3, the compensation temperature is about 120 ° C. and the Curie temperature is about 200 ° C.

【0096】図9は、Feがゼロの場合、すなわち、GdX
Co1-X の特性を示す図である。同図において、例えば、
Gd組成がX=0.3 の場合、補償温度は約220℃で、キュ
リー温度は約400℃ある。
FIG. 9 shows the case where Fe is zero, that is, Gd X
FIG. 3 is a view showing characteristics of Co 1-X . In the figure, for example,
When the Gd composition is X = 0.3, the compensation temperature is about 220 ° C. and the Curie temperature is about 400 ° C.

【0097】以上のことから、Gd組成が同じであって
も、Co量が増えると、補償温度及びキュリー温度が上昇
することがわかる。
From the above, it can be seen that, even if the Gd composition is the same, the compensation temperature and the Curie temperature rise as the Co content increases.

【0098】再生時の極カー回転角ができるだけ大きい
ほうが高いC/Nを得られるので、読み出し層3のキュ
リー温度は、高い方が有利である。ただし、あまりCo量
を増やし過ぎると、面内から垂直に磁化方向が移行する
温度も高くなるので注意が必要である。
The higher the Curie temperature of the readout layer 3 is, the more advantageous the higher the Curie temperature of the readout layer 3 is. However, it should be noted that if the amount of Co is excessively increased, the temperature at which the magnetization direction shifts perpendicularly from the in-plane becomes high.

【0099】これらの点を考慮して、Gdx (Fe1-YCoY )
1-XにおけるYの値は、0.1 <Y<0.5 の範囲が良い。
Considering these points, Gd x (Fe 1 -Y Co Y )
The value of Y in 1-X is preferably in the range of 0.1 <Y <0.5.

【0100】上記の読み出し層3において、面内磁化か
ら垂直磁化に移行する温度等の特性は、当然のことなが
ら、記録層4の組成、膜厚等の影響を受ける。これは、
両層の間に磁気的な交換結合力が働くからである。した
がって、記録層4の材料、組成、膜厚により、読み出し
層3の最適な組成、膜厚が変わる。
In the readout layer 3, the characteristics such as the temperature at which the in-plane magnetization shifts to the perpendicular magnetization are naturally affected by the composition and the thickness of the recording layer 4. this is,
This is because a magnetic exchange coupling force acts between the two layers. Therefore, the optimum composition and thickness of the readout layer 3 change depending on the material, composition and thickness of the recording layer 4.

【0101】以上説明した通り、本発明の光磁気ディス
クの読み出し層3の材料としては、面内磁化から垂直磁
化への急峻であるGdFeCoが最適であるが、以下に述べる
希土類遷移金属合金でも、同様の効果が得られる。
As described above, the material of the readout layer 3 of the magneto-optical disk of the present invention is optimally GdFeCo, which has a steep transition from in-plane magnetization to perpendicular magnetization. Similar effects can be obtained.

【0102】Gdx Fe1-X は、図8に示すような特性を有
しており、0.24<X<0.35の範囲で室温以上に補償温度
を有する。
Gd x Fe 1 -X has characteristics as shown in FIG. 8, and has a compensation temperature above room temperature in the range of 0.24 <X <0.35.

【0103】Gdx Co1-X は、図9に示すような特性を有
しており、0.20<X<0.35の範囲で室温以上に補償温度
を有する。
Gd x Co 1 -X has characteristics as shown in FIG. 9 and has a compensation temperature above room temperature in the range of 0.20 <X <0.35.

【0104】遷移金属としてFeCo合金を用いている場
合、TbX (FeY Co1-Y )1-Xは、0.20<X<0.30(このと
き、Yは任意)の範囲で室温以上で補償温度を有する。
DyX (FeY Co1-Y )1-Xは、0.24<X<0.33(このとき、
Yは任意)の範囲で室温以上で補償温度を有する。HoX
(FeY Co1-Y )1-Xは、0.25<X<0.45(このとき、Yは
任意)の範囲で室温以上で補償温度を有する。
When an FeCo alloy is used as the transition metal, Tb X (Fe Y Co 1-Y ) 1-X can be adjusted at room temperature or higher within a range of 0.20 <X <0.30 (where Y is arbitrary). Having.
Dy X (Fe Y Co 1-Y ) 1-X is 0.24 <X <0.33 (at this time,
(Y is arbitrary) and has a compensation temperature at room temperature or higher. Ho X
(Fe Y Co 1-Y) 1-X is, 0.25 <X <0.45 (this time, Y is optional) has a compensation temperature above room temperature in the range of.

【0105】以上の材料に加えて、光ピックアップの光
源である半導体レーザーの波長が、前述の780nmより
短くなった場合に、その波長での極カー回転角が大きな
材料も、本発明の読み出し層3の材料として好適であ
る。
In addition to the above materials, when the wavelength of the semiconductor laser, which is the light source of the optical pickup, is shorter than the above-mentioned 780 nm, a material having a large polar Kerr rotation angle at that wavelength is also used in the readout layer of the present invention. 3 is suitable as the material.

【0106】既に、説明した通り、光磁気ディスク等の
光ディスクにおいて、その記録密度を制限するのは光ビ
ームの大きさであり、これはレーザー波長と対物レンズ
の開口数により決まるものである。従って、今よりも波
長の短い半導体レーザーが出現すれば、それだけで光磁
気ディスクの記録密度は向上する。現在では、既に670
〜680nmの波長の半導体レーザーがほぼ実用化レベル
にあり、波長400nm以下のSHG レーザーも精力的に研
究が進められている。
As described above, in an optical disk such as a magneto-optical disk, the recording density is limited by the size of the light beam, which is determined by the laser wavelength and the numerical aperture of the objective lens. Therefore, if a semiconductor laser having a shorter wavelength than now appears, the recording density of the magneto-optical disk will be improved by itself. At present, it is already 670
Semiconductor lasers with wavelengths of up to 680 nm are almost at the practical level, and SHG lasers with wavelengths of 400 nm or less are being vigorously studied.

【0107】希土類遷移金属合金の極カー回転角は、波
長依存性を有しており、一般には、波長が短くなると、
極カー回転角は減少してしまう。短波長で極カー回転角
の大きい膜を用いると、信号強度が大きくなり高品質の
再生信号が得られることになる。
The polar Kerr rotation angle of a rare-earth transition metal alloy has wavelength dependence. In general, as the wavelength becomes shorter,
The polar car rotation angle decreases. When a film having a short polarizer and a large polar Kerr rotation angle is used, the signal intensity is increased and a high-quality reproduced signal is obtained.

【0108】上述の読み出し層3の材料にNd,Pt,Pr,Pd
のうち少なくとも1種類の元素を微量添加することで、
読み出し層3として要求される特性をほとんど損なわず
に、短波長での極カー回転角を増加することができ、短
波長レーザーを用いた場合でも高品質な再生信号が得ら
れる光磁気ディスクを提供できる。
Nd, Pt, Pr, Pd are used for the material of the readout layer 3 described above.
By adding a small amount of at least one of the elements,
Provided is a magneto-optical disk capable of increasing the polar Kerr rotation angle at a short wavelength without substantially impairing the characteristics required for the readout layer 3 and obtaining a high-quality reproduction signal even when a short-wavelength laser is used. it can.

【0109】上記元素を添加した読み出し層3として
は、具体的には、例えば、Nd0.05〔Gd0.26(Fe
0.82Co0.180.740.95、Pt0.05〔Gd0.26(Fe
0.82Co0.180.740.95、Pr0.05〔Gd0.26(Fe
0.82Co0.180.740.95、Pd0.05〔Gd0.26(Fe
0.82Co0.180.740.95がある。
As the readout layer 3 to which the above elements are added, specifically, for example, Nd 0.05 [Gd 0.26 (Fe
0.82 Co 0.18 ) 0.74 ] 0.95 , Pt 0.05 [Gd 0.26 (Fe
0.82 Co 0.18 ) 0.74 ] 0.95 , Pr 0.05 [Gd 0.26 (Fe
0.82 Co 0.18 ) 0.74 ] 0.95 , Pd 0.05 [Gd 0.26 (Fe
0.82 Co 0.18 ) 0.74 ] 0.95 .

【0110】更に、上述の読み出し層3の材料に、微量
のCr,V,Nb,Mn,Be,Niのうち少なくとも1種類の元素を添
加することで、読み出し層3自体の耐環境性が向上す
る。すなわち、水分、酸素侵入による読み出し層3の材
料の酸化による特性の劣化を少なくし、長期信頼性に優
れた光磁気ディスクを提供できる。
Further, by adding at least one element of a very small amount of Cr, V, Nb, Mn, Be, and Ni to the above-mentioned material of the readout layer 3, the environmental resistance of the readout layer 3 itself is improved. I do. That is, deterioration of characteristics due to oxidation of the material of the readout layer 3 due to penetration of moisture and oxygen is reduced, and a magneto-optical disk having excellent long-term reliability can be provided.

【0111】上記元素を添加した読み出し層3として
は、具体的には、例えば、Cr0.05〔Gd0.26(Fe
0.82Co0.180.740.95、V0.05〔Gd0.26(Fe
0.82Co0.180.740.95、Nb0.05〔Gd0.26(Fe
0.82Co0.180.740.95、Mn0.05〔Gd0.26(Fe
0.82Co0.180.740.95、Be0.05〔Gd0.26(Fe
0.82Co0.180.740.95、Ni0.05〔Gd0.26(Fe
0.82Co0.180.740.95がある。
As the readout layer 3 to which the above elements are added, specifically, for example, Cr 0.05 [Gd 0.26 (Fe
0.82 Co 0.18 ) 0.74 ] 0.95 , V 0.05 [Gd 0.26 (Fe
0.82 Co 0.18 ) 0.74 ] 0.95 , Nb 0.05 [Gd 0.26 (Fe
0.82 Co 0.18 ) 0.74 ] 0.95 , Mn 0.05 [Gd 0.26 (Fe
0.82 Co 0.18 ) 0.74 ] 0.95 , Be 0.05 [Gd 0.26 (Fe
0.82 Co 0.18 ) 0.74 ] 0.95 , Ni 0.05 [Gd 0.26 (Fe
0.82 Co 0.18 ) 0.74 ] 0.95 .

【0112】記録層4 の材料は、従来の光磁気ディスク
で開発、使用されている材料、すなわち、室温からキュ
リー温度まで垂直磁化を示す材料で、そのキュリー温度
が記録に適した温度範囲、すなわち 150〜250 ℃程度で
あれば良い。上記実施例では、記録層4としてDyFeCoを
採用したが、DyFeCoは、その垂直磁気異方性が小さい材
料であり、そのため、記録の際に必要な外部磁界が低く
ても記録が行える。これは、特に、後述する磁界変調オ
ーバーライト記録方式においては、非常に有利な点とな
り、記録用外部磁界発生装置の小型化、低消費電力化が
可能となる。
The material of the recording layer 4 is a material developed and used in a conventional magneto-optical disk, that is, a material exhibiting perpendicular magnetization from room temperature to the Curie temperature. A temperature of about 150 to 250 ° C. is sufficient. In the above embodiment, DyFeCo is used for the recording layer 4. However, DyFeCo is a material having a small perpendicular magnetic anisotropy. Therefore, recording can be performed even when an external magnetic field required for recording is low. This is a very advantageous point particularly in the magnetic field modulation overwrite recording method described later, and it is possible to reduce the size and power consumption of the recording external magnetic field generator.

【0113】DyFeCo以外では、TbFeCo, GdTbFe, NdDyFe
Co, GdDyFeCo, GdTbFeCoが記録層4に好適である。一例
を挙げれば、TbX (FeY Co1-Y 1-X において、
任意のYに対し、0.10≦X≦0.30を満足してお
れば良い。より具体的には、例えば、Tb0.18(Fe
0.88Co0.120.82がある。
Other than DyFeCo, TbFeCo, GdTbFe, NdDyFe
Co, GdDyFeCo and GdTbFeCo are suitable for the recording layer 4. As an example, in Tb x (Fe Y Co 1-Y ) 1-X ,
It is sufficient that 0.10 ≦ X ≦ 0.30 is satisfied for any Y. More specifically, for example, Tb 0.18 (Fe
0.88 Co 0.12 ) There is 0.82 .

【0114】TbFeCoは、その垂直磁気異方性Ku
が約3〜4×106 erg/ccと大きい材料であり、
高温でのカーループの角形が崩れず、再生信号品質が非
常に高い光磁気ディスクを供給することができる。
TbFeCo has a perpendicular magnetic anisotropy Ku.
Is a material as large as about 3 to 4 × 10 6 erg / cc,
It is possible to supply a magneto-optical disk having a very high reproduction signal quality without breaking the square shape of the car loop at a high temperature.

【0115】また、上記の記録層4の材料に、Cr, V, N
b, Mn, Be, Ni のうち少なくとも1種類の元素を添加す
ると、より長期信頼性を向上させることができる。
Further, the material of the recording layer 4 is Cr, V, N
Addition of at least one of b, Mn, Be, and Ni can further improve long-term reliability.

【0116】基板1の材料としては、上記のガラス以外
に、化学強化されたガラス、これらのガラス基板上に紫
外線硬化型樹脂層を形成した、いわゆる2P層付きガラ
ス基板、ポリカーボネート(PC)、ポリメチルメタク
リレート(PMMA)、アモルファスポリオレフィン
(APO)、ポリスチレン(PS)、ポリ塩化ビフェニ
ール(PVC)、エポキシ等の基板1を使用することが
可能である。
Examples of the material of the substrate 1 include, in addition to the above-mentioned glass, chemically strengthened glass, a glass substrate having a 2P layer formed by forming an ultraviolet-curable resin layer on these glass substrates, polycarbonate (PC), It is possible to use a substrate 1 of methyl methacrylate (PMMA), amorphous polyolefin (APO), polystyrene (PS), polychlorinated biphenyl (PVC), epoxy or the like.

【0117】基板1に化学強化されたガラスを採用した
場合、機械特性(光磁気ディスクの場合、面振れ、偏
心、反り、傾き等)に優れていること、硬度が大きく、
砂や埃により傷が付きにくいこと、化学的に安定なた
め、各種溶剤に溶けないこと、プラスチックに比べ帯電
しにくいので埃や塵が付着しにくいこと、化学的に強化
されているので割れにくいこと、耐湿性、耐酸化性、耐
熱性に優れているので、光磁気ディスクの長期信頼性が
向上すること、光学特性に優れており、高い信号品質が
得られること等が利点として挙げられる。
When chemically strengthened glass is employed for the substrate 1, the substrate 1 is excellent in mechanical properties (in the case of a magneto-optical disk, surface runout, eccentricity, warpage, inclination, etc.), and has high hardness.
It is hard to be damaged by sand and dust, it is chemically stable, it does not dissolve in various solvents, it is hard to charge compared to plastic, so it is difficult for dust and dust to adhere, and it is chemically reinforced and it is hard to break It has excellent moisture resistance, oxidation resistance, and heat resistance, so that the long-term reliability of the magneto-optical disk is improved, the optical characteristics are excellent, and high signal quality can be obtained.

【0118】尚、基板1として、上記のガラス、化学強
化ガラスを用いた場合に、光ビーム案内用のガイドトラ
ック、及びアドレス信号等の情報を得るために予め基板
に形成されるプリピットと呼ばれる凹凸信号を基板上に
形成する方法としては、これらガラス基板表面を反応性
ドライエッチングすることにより形成される。また、2
P層と呼ばれる紫外線硬化型樹脂をガラスの基板1上に
塗布した後、スタンパーと呼ばれる型をこの樹脂層に押
し付け、紫外線を照射して樹脂を硬化させた後、スタン
パーをはがして樹脂層上に上記のガイドトラック、プリ
ピット等を形成する方法がある。
When the above-mentioned glass or chemically strengthened glass is used as the substrate 1, a guide track for guiding a light beam, and irregularities called prepits formed in advance on the substrate in order to obtain information such as address signals and the like. A signal is formed on a substrate by reactive dry etching of the surface of the glass substrate. Also, 2
After applying an ultraviolet curable resin called a P layer on a glass substrate 1, a mold called a stamper is pressed against the resin layer, and the resin is cured by irradiating ultraviolet rays. Then, the stamper is peeled off and the resin layer is removed. There is a method of forming the above-mentioned guide tracks, pre-pits and the like.

【0119】基板1にPCを採用した場合、射出成型が
できるため、同一の基板1を大量に、安価に供給できる
こと、ほかのプラスチックに比べ、吸水率が低いので、
光磁気ディスクの長期信頼性が向上すること、耐熱性、
耐衝撃性に優れていることなどが利点として挙げられ
る。なお、この材料も含め、以下に述べる射出成型が可
能な材料については、ガイドトラック、プリピット等
は、射出成型時にスタンパーを成型金型表面に取り付け
ておけば、成型と同時に基板1の表面に形成される。
When a PC is used as the substrate 1, injection molding can be performed, so that the same substrate 1 can be supplied in large quantities at low cost, and the water absorption is lower than other plastics.
Improvement of long-term reliability of magneto-optical disk , heat resistance,
Advantages include excellent impact resistance. In addition, for the materials which can be injection-molded as described below including this material, guide tracks, pre-pits, etc. are formed on the surface of the substrate 1 at the same time as molding if a stamper is attached to the surface of the molding die at the time of injection molding. Is done.

【0120】基板1にPMMAを採用した場合、射出成
型ができるため、同一の基板1を大量に、安価に供給で
きること、他のプラスチックに比べ、複屈折が小さいの
で、光学特性に優れており、高い信号品質が得られるこ
と、耐久性に優れていること等が利点として挙げられ
る。
When PMMA is used for the substrate 1, injection molding can be performed, so that the same substrate 1 can be supplied in large quantities and at low cost, and the birefringence is smaller than other plastics, so that it has excellent optical characteristics. Advantages include high signal quality and excellent durability.

【0121】基板1にAPOを採用した場合、射出成型
ができるため、同一の基板1を大量に、安価に供給でき
ること、他のプラスチックに比べ、吸水率が低いので、
光磁気ディスクの長期信頼性が向上すること、複屈折が
小さいので、光学特性に優れており、高い信号品質が得
られること、耐熱性、耐衝撃性に優れていること等が利
点として挙げられる。
When APO is used for the substrate 1, injection molding can be performed, so that the same substrate 1 can be supplied in large quantities at low cost, and the water absorption rate is lower than other plastics.
Advantages include improved long-term reliability of the magneto-optical disk , low birefringence, excellent optical characteristics, high signal quality, and excellent heat resistance and impact resistance. .

【0122】基板1にPSを採用した場合、射出成型が
できるため、同一の基板1を大量に、安価に供給できる
こと、他のプラスチックに比べ、吸水率が低いので、
磁気ディスクの長期信頼性が向上すること等が利点とし
て挙げられる。
[0122] When employing the PS to the substrate 1, since it is injection molded, a mass-production of the same substrate 1, can be supplied at low cost, compared with other plastic, because of the low water absorption, light
An advantage is that the long-term reliability of the magnetic disk is improved.

【0123】基板1にPVCを採用した場合、射出成型
ができるため、同一の基板1を大量に、安価に供給でき
ること、他のプラスチックに比べ、吸水率が低いので、
光磁気ディスクの長期信頼性が向上すること、難燃性で
あること等が利点として挙げられる。
When PVC is used for the substrate 1, injection molding can be performed, so that the same substrate 1 can be supplied in large quantities at low cost, and the water absorption is lower than other plastics.
Advantages include improved long-term reliability of the magneto-optical disk and flame retardancy.

【0124】基板1にエポキシを採用した場合、他のプ
ラスチックに比べ、吸水率が低いので、光磁気ディスク
の長期信頼性が向上すること、熱硬化性樹脂であるた
め、耐熱性に非常に優れていること等が利点として挙げ
られる。
When epoxy is used for the substrate 1, the long-term reliability of the magneto-optical disk is improved since the water absorption is lower than that of other plastics. And the like.

【0125】以上のように基板1として、各種材料を使
用することが可能であるが、それらの材料を光磁気ディ
スクの基板1として使用する場合、以下の光学特性、機
械特性を満足していることが望ましい。
As described above, various materials can be used for the substrate 1. When those materials are used for the substrate 1 of a magneto-optical disk, the following optical and mechanical characteristics are satisfied. It is desirable.

【0126】 屈折率 :1.44〜1.62 復屈折 :100nm以下(平行光で測定された往
復複屈折) 透過率 :90%以上 厚さ変動 :±0.1mm チルト :10mrad以下 面振れ加速度:10m/s2 以下 径方向加速度:3m/s2 以下 記録媒体にレーザー光を集光するための光ピックアップ
は、基板1の屈折率に合わせて設計されるため、基板1
の屈折率の変動が大きくなるとレーザー光を十分に集光
することができなくなる。レーザー光の集光状態が変わ
ってくると記録媒体(つまり、読み出し層3と記録層
4)の温度分布が変化することになり、記録再生に影響
を及ぼす。本発明においては、再生時の記録媒体の温度
分布が特に重要となってくるため、使用する基板1の屈
折率を1.44〜1.62の範囲内に抑えることが望ま
しい。
Refractive index: 1.44 to 1.62 Birefringence: 100 nm or less (reciprocal birefringence measured with parallel light) Transmittance: 90% or more Thickness variation: ± 0.1 mm Tilt: 10 mrad or less Surface runout acceleration : 10 m / s 2 or less Radial acceleration: 3 m / s 2 or less An optical pickup for condensing laser light on a recording medium is designed according to the refractive index of the substrate 1.
When the change in the refractive index of the laser beam becomes large, it becomes impossible to sufficiently focus the laser beam. When the laser light focusing state changes, the temperature distribution of the recording medium (that is, the readout layer 3 and the recording layer 4) changes, which affects recording and reproduction. In the present invention, since the temperature distribution of the recording medium at the time of reproduction becomes particularly important, it is desirable to suppress the refractive index of the substrate 1 used within the range of 1.44 to 1.62.

【0127】また、基板1を通してレーザー光を入射さ
せるため、基板1に複屈折が存在すると、レーザー光が
基板1を通過する際、その偏光状態が変わってしまう。
本発明は読み出し層3の磁化状態の変化をカー効果を利
用して偏光状態の変化として再生するため、基板1を通
過する際に偏光状態が変わってしまうと再生することが
できなくなってしまう。そのため、平行光で測定した際
の基板1の往復複屈折は100nm以下であることが望ま
しい。
Further, since the laser beam is made incident through the substrate 1, if the substrate 1 has birefringence, when the laser beam passes through the substrate 1, its polarization state changes.
In the present invention, since the change in the magnetization state of the readout layer 3 is reproduced as a change in the polarization state using the Kerr effect, the reproduction cannot be performed if the polarization state changes when the light passes through the substrate 1. Therefore, it is desirable that the reciprocating birefringence of the substrate 1 when measured with parallel light is 100 nm or less.

【0128】また、基板1の透過率が低くなると、例え
ば記録時において、光ピックアップからの光ビームが基
板1を通過する際、その光量が減少してしまう。そのた
め、記録に必要である光量を記録媒体で得ようとする
と、より高出力なレーザー光源が必要となる。特に本発
明においては、記録媒体が記録層4と読み出し層3の2
層からなっており、従来の単層の(読み出し層3のな
い)記録媒体に比べて、記録媒体を昇温するためには、
より多くの光量を必要とするため、基板1の透過率は9
0%以上であることが望ましい。
If the transmittance of the substrate 1 is low, for example, when a light beam from the optical pickup passes through the substrate 1 during recording, the amount of light decreases. Therefore, in order to obtain the amount of light required for recording on a recording medium, a laser light source with higher output is required. In particular, in the present invention, the recording medium is composed of the recording layer 4 and the readout layer 3.
In order to raise the temperature of the recording medium as compared with the conventional single-layer recording medium (without the readout layer 3),
Since a larger amount of light is required, the transmittance of the substrate 1 is 9
Desirably, it is 0% or more.

【0129】また、記録媒体にレーザー光を集光するた
めの光ピックアップは、基板1の厚さに合わせて設計さ
れるため、基板1の厚さの変動が大きくなるとレーザー
光を十分に集光することができなくなる。レーザー光の
集光状態が変わってくると記録媒体の温度分布が変化す
ることになり、記録再生に悪影響を及ぼす。本発明にお
いては、再生時の記録媒体の温度分布が特に重要となっ
てくるため、使用する基板1の厚さ変動を±0.1mm の範
囲内に抑えることが望ましい。
The optical pickup for condensing the laser light on the recording medium is designed according to the thickness of the substrate 1. Therefore, when the thickness of the substrate 1 fluctuates greatly, the laser light is sufficiently condensed. You can't do that. If the state of focusing of the laser beam changes, the temperature distribution of the recording medium changes, which adversely affects recording and reproduction. In the present invention, since the temperature distribution of the recording medium at the time of reproduction becomes particularly important, it is desirable to suppress the variation in the thickness of the substrate 1 to be used within a range of ± 0.1 mm.

【0130】また、基板1にチルトが存在すると光ピッ
クアップからのレーザー光は、傾いた記録媒体面に集光
されることになり、チルトの状態に応じて集光状態が変
化することになり、基板1の厚さが変動した場合と同様
に、記録再生に悪影響を及ぼす。そのため、本発明にお
いては、基板1のチルトを10mrad以下、もっと好ましく
は5mrad 以下とすることが望ましい。
If the substrate 1 has a tilt, the laser beam from the optical pickup is condensed on the inclined recording medium surface, and the condensing state changes according to the tilt state. As in the case where the thickness of the substrate 1 fluctuates, recording and reproduction are adversely affected. Therefore, in the present invention, the tilt of the substrate 1 is desirably 10 mrad or less, more preferably 5 mrad or less.

【0131】また、基板1が光ピックアップに対して上
下に移動した場合、光ピックアップはその上下動を補償
し記録媒体面にレーザー光を集光すべく動作するが、上
下動が大きくなり過ぎると光ピックアップの補償動作が
不完全なものとなり、記録媒体面でのレーザー光の集光
状態は不完全なものとなる。レーザー光の集光状態が不
完全なものとなると記録媒体の温度分布が変化すること
になり、記録再生に悪影響を及ぼす。本発明において
は、再生時の記録媒体の温度分布が特に重要となってく
るため、使用する基板の回転時の上下動については、そ
の面振れ加速度を10m/s2 以下に抑えることが望ま
しい。
When the substrate 1 moves up and down with respect to the optical pickup, the optical pickup operates to compensate for the up and down movement and focus the laser beam on the recording medium surface. The compensating operation of the optical pickup becomes incomplete, and the focusing state of the laser light on the recording medium surface becomes incomplete. If the laser beam is not completely focused, the temperature distribution of the recording medium changes, which adversely affects recording and reproduction. In the present invention, since the temperature distribution of the recording medium at the time of reproduction becomes particularly important, it is desirable to suppress the surface runout acceleration of the substrate to be used to 10 m / s 2 or less for the vertical movement during rotation.

【0132】また、基板1にはあらかじめ1.0〜1.
6μmピッチで光ビーム案内用のガイドトラックが設け
られているが、ガイドトラックに偏心が存在すると、回
転時にガイドトラックは光ピックアップに対して半径方
向に移動することになる。この時、光ピックアップはそ
の半径方向の移動を補償しガイドトラックと一定の関係
を保つべくレーザー光を集光させるが、ガイドトラック
の半径方向への移動が大きくなり過ぎると光ピックアッ
プの補償動作が不完全なものとなり、ガイドトラックと
一定の関係を保った状態でレーザー光を集光させること
ができなくなる。本発明においては、再生時の記録媒体
の温度分布が特に重要となってくるため、使用する基板
の回転時の半径方向への移動については、その径方向加
速度を3m/s2 以下に抑えることが望ましい。
The substrate 1 has 1.0 to 1.
Although guide tracks for guiding the light beam are provided at a pitch of 6 μm, if the guide tracks are eccentric, the guide tracks move in the radial direction with respect to the optical pickup during rotation. At this time, the optical pickup focuses the laser light to compensate for the movement in the radial direction and maintain a constant relationship with the guide track. However, if the movement of the guide track in the radial direction becomes too large, the compensation operation of the optical pickup is performed. It becomes imperfect, and it becomes impossible to focus the laser beam while maintaining a certain relationship with the guide track. In the present invention, since the temperature distribution of the recording medium during reproduction becomes particularly important, the radial acceleration during rotation of the substrate to be used should be suppressed to 3 m / s 2 or less. Is desirable.

【0133】集光されたレーザー光を光磁気ディスクの
所定の位置に導く方法として、スパイラル状、または、
同心円状のガイドトラックを利用した連続サーボ方式
と、スパイラル状、または、同心円状のピット列を利用
したサンプルサーボ方式が考えられる。
As a method for guiding the condensed laser light to a predetermined position on the magneto-optical disk, a spiral or
A continuous servo system using concentric guide tracks and a sample servo system using spiral or concentric pit rows are conceivable.

【0134】連続サーボ方式の場合、図10に示すよう
に、1.2〜1.6μmピッチで、0.2〜0.6μm
幅のグループが、λ/(8n)程度の深さで形成され、
ランド部分で情報の記録再生が行われるのが一般的であ
る。これはランド仕様の光磁気ディスクと呼ばれる。こ
こで、λはレーザビームの波長であり、nは使用される
基板の屈折率である。
In the case of the continuous servo system, as shown in FIG. 10, the pitch is 1.2 to 1.6 μm and the pitch is 0.2 to 0.6 μm.
Groups of width are formed with a depth of about λ / (8n),
Generally, information is recorded / reproduced in a land portion. This is called a land-specific magneto-optical disk. Here, λ is the wavelength of the laser beam, and n is the refractive index of the substrate used.

【0135】このような、一般的な方式に本発明を適用
することは十分に可能である。本発明においては、隣接
トラックの記録ビットのよるクロストークが大幅に低減
されることにより、例えば、ランド仕様の光磁気ディス
クにおいては、0.5〜1.2μmピッチで、0.1〜
0.4μm幅のグループを形成した場合でも、隣接記録
ビットからのクロストークに影響されることなく、記録
再生を行うことが可能になり、記録密度は大幅に向上す
る。
The present invention can be sufficiently applied to such a general system. In the present invention, since the crosstalk due to the recording bit of the adjacent track is greatly reduced, for example, in a land type magneto-optical disk, the pitch is 0.5 to 1.2 μm and the pitch is 0.1 to 1.2 μm.
Even when a group having a width of 0.4 μm is formed, recording and reproduction can be performed without being affected by crosstalk from adjacent recording bits, and the recording density is greatly improved.

【0136】更に、図11に示すように、0.8〜1.
6μmピッチで、同一幅のグループとランドを形成し、
グループ部分とランド部分の両方で記録再生を行った場
合においても隣接トラックの記録ビットからのクロスト
ークに影響されることなく、グループ部分とランド部分
の両方で記録再生を行うことが可能となり、記録密度は
大幅に向上する。
Further, as shown in FIG.
Form groups and lands of the same width at a pitch of 6 μm,
Even when recording and reproduction are performed in both the group portion and the land portion, recording and reproduction can be performed in both the group portion and the land portion without being affected by crosstalk from recording bits of an adjacent track. Density is greatly increased.

【0137】一方、サンプルサーボ方式の場合は、図1
2に示すように、1.2〜1.6μmピッチでもってウ
ォブルピットが(λ/(4n))程度の深さで形成さ
れ、レーザビームが常にウォブルピットの中心を走査す
るように情報の記録再生が行われるのが一般的である。
On the other hand, in the case of the sample servo system, FIG.
As shown in FIG. 2, wobble pits are formed at a pitch of 1.2 to 1.6 μm and have a depth of about (λ / (4n)), and information is recorded so that the laser beam always scans the center of the wobble pit. Regeneration is generally performed.

【0138】このような一般的な方式に本発明を適用す
ることは十分に可能である。本発明においては、隣接す
る記録ビットからのクロストークが大幅に低減されるこ
とにより、0.5〜1.2μmピッチで、ウォブルピッ
トを形成した場合でも、隣接する記録ビットからのクロ
ストークに影響される事なく、記録再生を行うことが可
能となり、記録密度は大幅に向上する。
The present invention can be sufficiently applied to such a general system. In the present invention, since the crosstalk from the adjacent recording bits is greatly reduced, even if wobble pits are formed at a pitch of 0.5 to 1.2 μm, the crosstalk from the adjacent recording bits is affected. Recording and reproduction can be performed without being performed, and the recording density is greatly improved.

【0139】さらに、図13に示すように、0.8〜
1.6μmピッチで、ウォブルピットを形成し、ウォブ
ルピットが逆極性で存在する位置に情報の記録再生を行
った場合において隣接記録ビットからのクロストークに
影響される事なく記録再生を行うことが可能となり、記
録密度は大幅に向上する。
Further, as shown in FIG.
When wobble pits are formed at a pitch of 1.6 μm and information is recorded and reproduced at a position where the wobble pits have the opposite polarity, recording and reproduction can be performed without being affected by crosstalk from adjacent recording bits. It is possible, and the recording density is greatly improved.

【0140】また、図14に示すように、連続サーボ方
式において、グルーブをウォブリングさせることにより
光磁気ディスクの位置情報を得る場合は、ウォブリング
状態が逆位相となった部分において、隣接グルーブに存
在する記録ビットからのクロストークが大きくなるとい
う問題が存在したが、本発明を適用することによりウォ
ブリング状態が逆位相となった部分においても、隣接グ
ルーブに存在する記録ビットからのクロストークが発生
する事なく、良好な記録再生を行うことが可能となる。
Further, as shown in FIG. 14, when the position information of the magneto-optical disk is obtained by wobbling the groove in the continuous servo system, the wobbling state exists in the adjacent groove at a portion where the phase is reversed. Although there was a problem that the crosstalk from the recording bit became large, the crosstalk from the recording bit existing in the adjacent groove occurs even in a portion where the wobbling state is in the opposite phase by applying the present invention. And good recording and reproduction can be performed.

【0141】本実施例の光磁気ディスクは、また、以下
に説明するような種々の記録再生用光ピックアップにも
好適である。
The magneto-optical disk of this embodiment is also suitable for various recording / reproducing optical pickups as described below.

【0142】例えば、複数の光ピックアップまたは一つ
の光源から複数の光ビームを作り出したマルチビーム方
式の光ピックアップを採用する場合、図15に示すよう
に、複数の光ビームの両端の光ビームがガイドトラック
上を走査するように位置決めし、その間に位置する複数
の光ビームで記録再生を行う方法が一般的であるが、本
発明の光磁気ヘッドディスクを用いることにより、光ビ
ームの間隔を狭くしても隣接記録ビットからのクロスト
ークの影響を受けることなく再生することが可能とな
り、ガイドトラックのピッチを短くすることが可能とな
るか、又は、一対のガイドトラックの間により多くのレ
ーザビームで記録再生することが可能となり、記録密度
は大幅に向上する。
For example, when a multi-beam optical pickup in which a plurality of optical pickups or a single light source produces a plurality of light beams is employed, as shown in FIG. 15, the light beams at both ends of the plurality of light beams are guided. In general, a method of performing positioning on a track and performing recording / reproducing with a plurality of light beams positioned therebetween is used. However, by using the magneto-optical head disk of the present invention, the interval between the light beams is reduced. It is possible to reproduce even without being affected by crosstalk from adjacent recording bits, and it is possible to shorten the pitch of the guide track, or to use more laser beams between a pair of guide tracks. Recording and reproduction can be performed, and the recording density is greatly improved.

【0143】以上の説明では、使用する光ピックアップ
の対物レンズの開口数(N.A.)が一般的な値である
0.4〜0.6を有するとし、また、レーザー光の波長
が670nm〜840nmであるとして、ガイドトラッ
クのピッチ等について議論しているが、N.A.を更に
大きく0.6〜0.95とすることで、レーザー光を更
に小さく絞り込み、本発明の光磁気ディスクを適用する
ことにより、ガイドトラックのピッチ及び幅を更に狭く
することが可能となり、更に高密度な記録再生が可能と
なる。
In the above description, it is assumed that the numerical aperture (NA) of the objective lens of the optical pickup used has a general value of 0.4 to 0.6, and the wavelength of the laser beam is The pitch of the guide track and the like are discussed assuming that the wavelength is 670 nm to 840 nm. A. Is set to be 0.6 to 0.95, the laser beam can be further narrowed down, and the pitch and width of the guide track can be further reduced by applying the magneto-optical disk of the present invention. High-density recording / reproduction becomes possible.

【0144】また、波長480nmのアルゴンレーザー
光やSHG素子を利用した335nm〜600nmの波
長のレーザ光を使用することにより、レーザー光を更に
小さく絞り込み、本発明を適用することにより、ガイド
トラックのピッチ及び幅を更に狭くすることが可能とな
り、更に高密度な記録再生が可能となる。
Further, by using an argon laser beam having a wavelength of 480 nm or a laser beam having a wavelength of 335 nm to 600 nm using an SHG element, the laser beam can be further narrowed down. By applying the present invention, the pitch of the guide track can be reduced. And the width can be further reduced, and higher-density recording and reproduction can be performed.

【0145】a/wに関しては、0.3〜1.0のもの
が使える。ここで、aはレンズの光学的に有効な直径、
wはレンズに入る光束の直径でガウス分布している場合
は中心強度の1/e2 の強度になる半径である。
As for a / w, a value of 0.3 to 1.0 can be used. Where a is the optically effective diameter of the lens,
w is a radius of 1 / e 2 of the central intensity when the light beam entering the lens has a Gaussian distribution.

【0146】次に、本実施例の光磁気ディスクに適用す
る際のディスクフォーマットについて記述する。
Next, a disk format when applied to the magneto-optical disk of this embodiment will be described.

【0147】一般に、光磁気ディスクにおいては、異な
るメーカー間、あるいは、異なる光磁気ディスク間の互
換性を維持するために、それぞれの半径位置での記録、
消去パワーをどのような値あるいは、デューティーに設
定するかを、内外周の一部に(λ/(4n))程度の深
さのプリピット列であらかじめ記録されている。また、
読み取ったそれらの値を元に、実際に記録再生を行える
テスト領域が内外周に設けられている(例えば、IS1008
9 規格を参照)。
In general, in order to maintain compatibility between different manufacturers or different magneto-optical disks, recording and reading at respective radial positions are performed on the magneto-optical disk.
The value or duty to be set for the erasing power is recorded in advance in a part of the inner and outer peripheries in a pre-pit row having a depth of about (λ / (4n)). Also,
Based on those read values, test areas in which recording and reproduction can be actually performed are provided on the inner and outer circumferences (for example, IS1008
9 See standards).

【0148】一方、本実施例では、再生パワーについて
も、特定の再生パワーとするための情報が、内外周の一
部にプリピット列であらかじめ記録されている。
On the other hand, in the present embodiment, as for the reproduction power, information for setting a specific reproduction power is recorded in advance in a part of the inner and outer peripheries in a pre-pit row.

【0149】すなわち、本発明の光磁気ディスクにおい
ては、再生時の記録媒体の温度分布が再生特性に大きな
影響を及ぼすため、再生パワーの設定方法が非常に重要
である。
That is, in the magneto-optical disk of the present invention, since the temperature distribution of the recording medium at the time of reproduction has a great effect on the reproduction characteristics, the method of setting the reproduction power is very important.

【0150】そこで、再生パワーの設定方法として、例
えば、再生パワーについても記録パワーと同様に、内外
周に再生パワーを設定するためのテスト領域を設け、テ
スト領域において得られた再生パワーからそれぞれの半
径位置での再生パワーを最適化するための情報(最適化
情報)を、内外周の一部にピット列で予め記録しておく
方が望ましい。
Therefore, as a method of setting the reproducing power, for example, similarly to the recording power, the reproducing power is provided with test areas for setting the reproducing power on the inner and outer peripheries. Information for optimizing the playback power at the radial position (optimization
It is preferable to record the information in advance in a part of the inner and outer circumferences in a pit row.

【0151】特に光磁気ディスクの回転数が常に一定で
あるCAV方式を用いる光磁気ディスク・ドライブにお
いては、半径位置に応じて光磁気ディスクの線速が変わ
るため、半径位置に応じて再生レーザーパワーを変えた
ほうがより好ましい。したがって、できるだけ多くの半
径方向領域に区切った情報をプリピット列として記録し
ておいたほうが良い。
Particularly, in a magneto-optical disk drive using the CAV method in which the number of rotations of the magneto-optical disk is always constant, the linear velocity of the magneto-optical disk changes according to the radial position. It is more preferable to change. Therefore, it is better to record information divided into as many radial areas as possible as a pre-pit string.

【0152】また、同じく、各半径位置でより最適な再
生レーザーパワーを設定する方法として、記録領域を半
径位置により複数のゾーンに分けて、ゾーンとゾーンの
境界部分にそれぞれのゾーンごとに記録パワー及び再生
パワーをテスト領域において最適化することにより、再
生時の記録媒体の温度分布をより正確に制御することが
可能となり、良好な記録再生が可能となる。
Similarly, as a method of setting a more optimal reproduction laser power at each radial position, the recording area is divided into a plurality of zones according to the radial position, and the recording power is set for each zone at the boundary between the zones. By optimizing the reproduction power in the test area, the temperature distribution of the recording medium during reproduction can be more accurately controlled, and good recording and reproduction can be performed.

【0153】次に、本実施例の光磁気ディスクは、以下
に説明する種々の記録方式に適応するものである点につ
いて説明する。
Next, the point that the magneto-optical disk of the present embodiment is adapted to various recording methods described below will be described.

【0154】まず、オーバーライトができない第1世代
の光磁気ディスクの記録方法について説明する。
First, a recording method for a first generation magneto-optical disk that cannot be overwritten will be described.

【0155】第1世代の光磁気ディスクは、IS10089
規格(ISOの5.25”書き換え型光ディスクについ
て定めた規格)に準拠して、既に多く市販されており、
オーバーライトができないため、すでに情報が記録され
ている所に、新たに情報を記録する場合には、一旦その
部分の消去を行い、次に記録を行うという動作が必要に
なる。そのため、最低2回の光磁気ディスクの回転が必
要になり、データ転送速度が遅いという欠陥がある。
The first generation magneto-optical disk is IS10089
Many products are already commercially available in accordance with the standards (standards defined for the 5.25 "rewritable optical disc of ISO)
Since overwriting cannot be performed, when new information is to be recorded in a place where information has already been recorded, it is necessary to perform an operation of first erasing the portion and then recording. Therefore, at least two rotations of the magneto-optical disk are required, and the data transfer speed is low.

【0156】しかしながら、磁性膜に要求される性能
は、次に説明するオーバーライト可能な光磁気ディスク
に比べて、それほで高くないという利点はある。
However, there is an advantage that the performance required of the magnetic film is not so high as compared with the overwritable magneto-optical disk described below.

【0157】オーバーライトができない欠点を無くすた
めに、例えば複数個の光学ヘッドを配して、回転待ちの
ロスを無くし、データ転送速度を向上させる方法は一部
の装置で採用されている。
In order to eliminate the disadvantage that overwriting cannot be performed, a method of disposing a plurality of optical heads to eliminate a rotation waiting loss and improve a data transfer speed is employed in some devices.

【0158】例えば、2個の光学ヘッドを用いて、先行
する光学ヘッドで既に記録されている情報を消去し、後
から追いかける光学ヘッドで新しい情報を記録する方法
である。再生の際は、どちらか一方の光学ヘッドを用い
て再生する。
For example, there is a method in which two optical heads are used to erase information already recorded by a preceding optical head, and new information is recorded by an optical head following afterwards. At the time of reproduction, reproduction is performed using one of the optical heads.

【0159】また、3個の光学ヘッドを用いて記録する
場合は、先行する光学ヘッドが既に記録されている情報
を消去し、次の光学ヘッドで新しい情報を記録し、残り
の光学ヘッドでベリファイ(新しい情報が正しく記録さ
れているかを確認)する。
In the case of recording using three optical heads, the preceding optical head erases the already recorded information, the next optical head records new information, and the remaining optical heads verify. (Check that the new information is recorded correctly).

【0160】また、複数の光学ヘッドを用いる代わり
に、1個の光学ヘッドをビームスプリッターを用いて複
数のビームを作り出し、これを上記複数の光学ヘッドと
同じように用いても良い。
Instead of using a plurality of optical heads, one optical head may generate a plurality of beams by using a beam splitter, and these may be used in the same manner as the plurality of optical heads.

【0161】これにより、既に記録されている情報の消
去過程を経ることなく、新たな情報の記録が行え、第1
世代の光磁気ディスクを用いての疑似オーバーライトが
実現できる。
As a result, new information can be recorded without going through the process of erasing the already recorded information.
Pseudo overwrite using a next generation magneto-optical disk can be realized.

【0162】本実施例の光磁気ディスクは、既に実験結
果説明の所で示した通り、記録、再生、消去が行える事
が確認できており、本記録方式に適用できる光磁気ディ
スクとなっている。
The magneto-optical disk of the present embodiment has been confirmed to be capable of recording, reproducing, and erasing as already described in the description of the experimental results, and is a magneto-optical disk applicable to the present recording method. .

【0163】次に、磁界変調オーバーライト記録方式に
ついて説明をする。
Next, the magnetic field modulation overwrite recording method will be described.

【0164】磁界変調オーバーライト記録方式とは、光
磁気記録媒体に一定のパワーのレーザーを照射しなが
ら、情報に応じて磁界強度を変調して記録する方法であ
り、図16に基づいて説明すれば、以下の通りである。
The magnetic field modulation overwrite recording method is a method of recording by modulating a magnetic field intensity according to information while irradiating a laser of a constant power to a magneto-optical recording medium, and will be described with reference to FIG. It is as follows.

【0165】図16は、光磁気ディスクに磁界変調オー
バーライトを行う光磁気ディスク装置の一例を示す模式
図であり、記録及び再生時にレーザー光を照射するレー
ザー光源(図示されていない)、及び記録及び再生時に
光磁気ディスクからの反射光を受光する受光素子(図示
されていない)等を内蔵した光学ヘッド11と、光学ヘ
ッド11と機械的、もしくは電気的に連結された浮上型
磁気ヘッド12を備えている。
FIG. 16 is a schematic view showing an example of a magneto-optical disk apparatus for performing magnetic field modulation overwriting on a magneto-optical disk. A laser light source (not shown) for irradiating a laser beam during recording and reproduction, and a recording medium An optical head 11 including a light receiving element (not shown) for receiving reflected light from the magneto-optical disk during reproduction, and a floating magnetic head 12 mechanically or electrically connected to the optical head 11. Have.

【0166】浮上型磁気ヘッド12は浮上スライダー1
2aとMnZnフェライト等からなるコアにコイルが巻
回された磁気ヘッド12bから構成され、浮上型磁気ヘ
ッド12はサスペンション13により光磁気ディスク1
4に押圧され、数μm〜数10μm程度の一定の間隙で
浮上している。
The flying magnetic head 12 is a flying slider 1
2a and a magnetic head 12b in which a coil is wound around a core made of MnZn ferrite or the like.
4 and floats at a constant gap of about several μm to several tens μm.

【0167】この状態で浮上型磁気ヘッド12および光
学ヘッド11を光磁気ディスク14の記録領域内の所望
の半径位置に移動させ、光学ヘッド11から光磁気ディ
スク14の記録層に2〜10mW程度のレーザー光を集
光して照射し、記録層4をキュリー温度(又は保磁力が
ほぼ“0”になる温度)近傍まで昇温させた上で、記録
すべき情報に応じて上向きと下向きとに反転する磁界を
磁気ヘッド12bにより印加する。これにより、既に記
録されている情報の消去過程を経ることなく、オーバー
ライト記録方式で情報の記録を行うことができる。
In this state, the flying magnetic head 12 and the optical head 11 are moved to a desired radial position in the recording area of the magneto-optical disk 14 so that the optical head 11 moves the recording layer of the magneto-optical disk 14 to about 2 to 10 mW. The laser beam is condensed and irradiated to raise the temperature of the recording layer 4 to near the Curie temperature (or a temperature at which the coercive force becomes almost “0”). Then, the recording layer 4 is turned upward and downward according to the information to be recorded. A reversing magnetic field is applied by the magnetic head 12b. Thus, information can be recorded by the overwrite recording method without going through the process of erasing the already recorded information.

【0168】尚、本実施例では、磁界変調オーバーライ
ト時に、レーザーパワーを一定としたが、磁界の極性が
切り替わる時にレーザーパワーを記録されないパワーま
で下げて、記録がなされないようにすると、記録される
記録ビット形状がよりきれいになり、再生信号品質が向
上する。
In this embodiment, the laser power is fixed at the time of magnetic field modulation overwriting. However, when the polarity of the magnetic field is switched, the laser power is reduced to a power at which no recording is performed so that the recording is not performed. The recording bit shape becomes clearer, and the reproduction signal quality is improved.

【0169】磁界変調オーバーライトにおいては、高速
記録を行おうとする場合には、高速で磁界を変調する必
要があるが、磁気ヘッド12bの消費電力、大きさの点
で制約があり、あまり大きな磁界を、発生させることは
困難である。従って、光磁気ディスク14には、比較的
小さな磁界で記録できることが要求される。
In magnetic field modulation overwriting, when high-speed recording is to be performed, it is necessary to modulate the magnetic field at a high speed. However, there are restrictions on the power consumption and size of the magnetic head 12b. Is difficult to generate. Therefore, the magneto-optical disk 14 is required to be able to record with a relatively small magnetic field.

【0170】本実施例の光磁気ディスクにおいては、記
録層4のキュリー温度を150〜250℃と比較的低く
押さえ、記録がなされやすくするとともに、垂直磁気異
方性の小さい材料であるDyFeCoを採用することで、記録
時の磁界をより低く押さえることができ、磁界変調オー
バーライト方式に非常に適した構成となっている。
In the magneto-optical disk of the present embodiment, the Curie temperature of the recording layer 4 is kept relatively low at 150 to 250 ° C. to facilitate recording, and DyFeCo which is a material having small perpendicular magnetic anisotropy is employed. By doing so, the magnetic field at the time of recording can be suppressed lower, and the configuration is very suitable for the magnetic field modulation overwrite method.

【0171】次に、光変調オーバーライト記録方式につ
いて説明する。
Next, the light modulation overwrite recording method will be described.

【0172】光変調オーバーライト記録方式とは、磁界
変調オーバーライト記録方式とは全く逆であり、光磁気
記録媒体に一定の磁界強度を印加し、情報に応じてレー
ザーパワーを変調して記録する方法である。これについ
て、図17ないし図21に基づいて説明すれば、以下の
通りである。
The optical modulation overwrite recording method is completely opposite to the magnetic field modulation overwrite recording method, in which a constant magnetic field intensity is applied to the magneto-optical recording medium, and the laser power is modulated according to the information for recording. Is the way. This will be described below with reference to FIGS. 17 to 21.

【0173】図18は、以下に説明する光変調オーバー
ライト記録方式に適した、読み出し層3及び記録層4の
膜面に垂直方向の保磁力の温度依存性および記録磁場H
W を示している。
FIG. 18 shows the temperature dependence of the coercive force in the direction perpendicular to the film surfaces of the readout layer 3 and the recording layer 4 and the recording magnetic field H suitable for the optical modulation overwrite recording method described below.
W is shown.

【0174】記録は、記録磁場HW を印加しながら、高
低、2レベルに強度変調されたレーザー光を照射するこ
とにより行う。すなわち、図19に示すように、高レベ
ルIのレーザー光が照射されると、読み出し層3及び記
録層4がともにキュリー点TC1、TC2付近またはそれ以
上となる温度TH まで昇温し、低レベルIIのレーザー光
が照射されると、記録層4のみがキュリー点TC2以上と
なる温度TL まで昇温するように設定されている。
[0174] recording is performed while applying a recording magnetic field H W, height, by irradiating the two levels of intensity modulated laser beam. That is, as shown in FIG. 19, when the laser light of the high level I is irradiated, both the readout layer 3 and the recording layer 4 are heated to a temperature T H near or above the Curie points T C1 and T C2. When the low-level II laser light is irradiated, only the recording layer 4 is set to rise to a temperature TL at which the Curie point T C2 or more is reached.

【0175】したがって、低レベルIIのレーザー光が照
射されると、読み出し層3の保磁力H1 は十分小さいの
で、磁化は記録磁場HW の向きに従い、さらに冷却の過
程で記録層4に転写される。すなわち、図17に示すよ
うに、磁化は上向きになる。
[0175] Therefore, when the laser beam of low level II is projected, since the coercive force H 1 of the readout layer 3 is sufficiently small, the magnetization in accordance with the direction of the recording magnetic field H W, further transferred to the recording layer 4 in the cooling process Is done. That is, as shown in FIG. 17, the magnetization is directed upward.

【0176】次に、高レベルIのレーザー光が照射され
ると、補償温度を越えているので、読み出し層3の磁化
の向きは記録磁場HW により、低レベルIIのレーザー光
の場合とは逆向き、すなわち、下向きとなる。冷却の過
程では低レベルIIのレーザー光と同じ温度迄下がるが、
読み出し層3と記録層4の冷却過程が異なる(記録層4
の方が速く冷却される)ため、まず記録層4のみ低レベ
ルIIのレーザー光が照射された温度TL となり読み出し
層3の磁化の向きが記録層4に転写され、下向きとな
る。その後、読み出し層3が低レベルIIののレーザー光
と同じ温度迄下がり、記録磁場HW の向きに従い、上向
きとなる。この時、記録層4の磁化の向きはその保磁力
2 が記録磁場HW より十分大きいので、記録磁場HW
の向きには従わない。
Next, when the high-level I laser beam is irradiated, the temperature exceeds the compensation temperature. Therefore, the magnetization direction of the readout layer 3 depends on the recording magnetic field HW and differs from the case of the low-level II laser beam. In the opposite direction, that is, downward. In the process of cooling, the temperature drops to the same temperature as the low-level II laser light,
The cooling processes of the readout layer 3 and the recording layer 4 are different (recording layer 4
Is cooled faster), so that only the recording layer 4 first reaches the temperature TL at which the low-level II laser beam is irradiated, and the magnetization direction of the readout layer 3 is transferred to the recording layer 4 and becomes downward. Then, down to the same temperature as the laser beam of the readout layer 3 is low II, in accordance with the direction of the recording magnetic field H W, facing upward. At this time, the magnetization direction of the recording layer 4 is the coercive force H 2 is sufficiently larger than the recording magnetic field H W, recording magnetic field H W
Does not follow the direction of

【0177】再生時のレーザー光の強度、図19のレベ
ルIII のレーザー光が照射されると、読み出し層3の温
度はTR (図18)となり、読み出し層3の磁化が面内
磁化から垂直磁化に移行し、記録層4及び読み出し層3
の両層とも垂直磁気異方性を示す。この時、記録磁場H
W は印加されないか、記録層4の保磁力H2 より十分小
さいので、再生時には読み出し層3の磁化の向きは記録
層4との界面に作用する交換力により記録層4の向きと
一致する。
When the laser beam intensity at the time of reproduction is irradiated with the laser beam of level III in FIG. 19, the temperature of the readout layer 3 becomes T R (FIG. 18), and the magnetization of the readout layer 3 changes from the in-plane magnetization to the perpendicular. The transition to magnetization causes the recording layer 4 and the readout layer 3
Both layers exhibit perpendicular magnetic anisotropy. At this time, the recording magnetic field H
Since W is either not applied sufficiently smaller than the coercive force of H 2 recording layer 4, the magnetization direction of the readout layer 3 at the time of reproduction is consistent with the orientation of the recording layer 4 by the exchange force acting on the interface between the recording layer 4.

【0178】これにより、既に記録されている情報の消
去過程を経ることなく、オーバーライト記録方式で情報
の記録を行うことができる。
Thus, information can be recorded by the overwrite recording method without going through the process of erasing already recorded information.

【0179】尚、記録は、記録磁場HW を印加しなが
ら、図20または、図21に示すような変調された2タ
イプのレーザー光を照射して行ってもよい。
The recording may be performed by applying two types of modulated laser beams as shown in FIG. 20 or FIG. 21 while applying the recording magnetic field H W.

【0180】すなわち、タイプIの高レベルのレーザー
光が照射されると、読み出し層3及び記録層4がともに
キュリー点TC1、TC2付近またはそれ以上となる温度T
H まで昇温し、タイプIIの低レベルのレーザー光が照射
されると、記録層4のみがキュリー点TC2以上となる温
度TL まで昇温するように設定されている。このように
すると、特にタイプIの高レベルのレーザー光が照射さ
れた時の読み出し層3と記録層4の冷却過程を大きく相
違させることができる。すなわち、記録層4の方が速く
冷却される。このため、より容易に重ね書きを行うこと
ができる。
That is, when a high-level laser beam of type I is irradiated, the temperature T at which the readout layer 3 and the recording layer 4 are both near or above the Curie points T C1 and T C2 is obtained
When the temperature is raised to H and a low-level type II laser beam is irradiated, only the recording layer 4 is heated to a temperature TL at which the recording layer 4 has a Curie point T C2 or higher. By doing so, the cooling process of the readout layer 3 and the recording layer 4 when the high-level laser light of type I is irradiated can be greatly different. That is, the recording layer 4 is cooled faster. For this reason, overwriting can be performed more easily.

【0181】但し、タイプIの高レベルのレーザー光が
照射された後、しばらく照射されるレーザー光の強度
は、高レベル以下であればよい。
However, after the high-level laser light of type I is irradiated, the intensity of the laser light irradiated for a while may be lower than the high level.

【0182】以上の記録方式によれば、光変調オーバー
ライト時に、一般には必要となる初期化用磁界を印加す
る必要がなくなる利点がある。
According to the recording method described above, there is an advantage that it is not necessary to apply a generally required initialization magnetic field at the time of optical modulation overwriting.

【0183】上記光磁気ディスク(図1)は、一般には
片面タイプと呼ばれる。この光磁気ディスクは、透明誘
電体層2、読み出し層3、記録層4、透明誘電体層5、
反射層6の薄膜部分を総じて記録媒体層と称することに
すると、図22に示すように、基板1、記録媒体層1
9、オーバーコート層7の構造となる。
The magneto-optical disk (FIG. 1) is generally called a single-sided type. This magneto-optical disk has a transparent dielectric layer 2, a readout layer 3, a recording layer 4, a transparent dielectric layer 5,
When the thin film portion of the reflective layer 6 is generally called a recording medium layer, as shown in FIG.
9, the structure of the overcoat layer 7 is obtained.

【0184】これに対して、図23に示すように、基板
1の上に記録媒体層19を形成したものを2枚、記録媒
体層19・19が対向するように接着層10で接着した
光磁気ディスクは、両面タイプと呼ばれている。
On the other hand, as shown in FIG. 23, two optical recording medium layers 19 formed on the substrate 1 are bonded together by the adhesive layer 10 so that the recording medium layers 19 are opposed to each other. The magnetic disk is called a double-sided type.

【0185】尚、接着層10の材料はポリウレタンアク
リレート系接着剤が特に良い。この接着剤は紫外線、熱
及び嫌気性の3タイプの硬化機能が組み合わされたもの
であり、紫外線が透過しない記録媒体層19の影になる
部分の硬化が熱及び嫌気性硬化機能により硬化されると
いう利点を持っており、極めて高い耐湿性を有し、長期
安定性に極めて優れた両面タイプの光磁気ディスクを提
供することができる。
The material of the adhesive layer 10 is particularly preferably a polyurethane acrylate adhesive. This adhesive is a combination of three types of curing functions of ultraviolet light, heat and anaerobic, and the curing of the shadowed portion of the recording medium layer 19 through which ultraviolet light does not pass is cured by the heat and anaerobic curing function. Thus, a double-sided magneto-optical disk having extremely high moisture resistance and extremely excellent long-term stability can be provided.

【0186】片面タイプは、両面タイプと比べて光磁気
ディスクの厚みが半分で済むため、例えば小型化が要求
される記録再生装置に有利である。
The single-sided type requires only half the thickness of the magneto-optical disk as compared with the double-sided type.

【0187】両面タイプは、両面再生が可能なため、例
えば大容量を要求される記録再生装置に有利である。
The double-sided type is capable of performing double-sided reproduction, and is therefore advantageous for a recording / reproducing apparatus requiring a large capacity, for example.

【0188】片面タイプ、両面タイプのいずれを採用す
るかは上記のような光磁気ディスクの厚さ、容量を考慮
する以外に、以下に説明するように、記録方式にも大き
く依存する。
Whether the single-sided type or the double-sided type is employed depends not only on the thickness and capacity of the magneto-optical disk as described above but also on the recording method as described below.

【0189】光磁気ディスクへの情報の記録には、周知
のごとく、光ビームと磁界が用いられる。光磁気ディス
ク装置(図16参照)においては、半導体レーザー等の
光源からの光ビームを集光レンズで基板1を通して記録
媒体層19上に集光させて照射し、これと対峙した位置
に設けられた磁石、電磁石等の磁界発生装置(例えば、
浮上型磁気ヘッド12)により磁界が記録媒体層19に
印加されるようになっている。記録の際には光ビーム強
度を再生時よりも高くすることで、集光された部分の記
録媒体層19の温度が上昇し、その部分の磁性膜の保磁
力が小さくなる。この時に外部から保磁力以上の大きさ
の磁界を印加すると、印加された磁界の方向に磁性膜の
磁化がならい、記録が完了する。
As is well known, a light beam and a magnetic field are used for recording information on a magneto-optical disk. In the magneto-optical disk device (see FIG. 16), a light beam from a light source such as a semiconductor laser is condensed on the recording medium layer 19 through the substrate 1 by the condensing lens, and is radiated. Magnetic field generators such as magnets and electromagnets (for example,
A magnetic field is applied to the recording medium layer 19 by the flying magnetic head 12). By making the light beam intensity higher at the time of recording than at the time of reproduction, the temperature of the recording medium layer 19 at the converged portion increases, and the coercive force of the magnetic film at that portion decreases. At this time, when a magnetic field having a magnitude larger than the coercive force is applied from the outside, the magnetization of the magnetic film is aligned in the direction of the applied magnetic field, and the recording is completed.

【0190】例えば、情報に応じて記録用磁界を変調す
る磁界変調オーバーライト方式では、磁界発生装置(多
くは電磁石)を極力記録媒体層19に近づける必要があ
る。これは、電磁石のコイルの発熱、装置消費電力、大
きさ等の制限により、記録に必要な周波数(一般には数
百kHz〜数十MHz)で変調し、記録に必要な磁界(一般
的には500e〜数百Oe程度)を発生させようとする
と、記録媒体に0.2mm以下程度、多くの場合は50μ
m程度まで近づける必要が生じる。このため、両面タイ
プの光磁気ディスクでは、基板1の厚さが一般に1.2
mm前後であり薄くても0.5mm程度必要なため、光ビー
ムを対峙させて電磁石を配した場合、記録磁界強度が不
足してしまい、記録が行えない。従って、記録変調オー
バーライト方式に適した記録媒体層19を採用した場合
は、片面タイプの光磁気ディスクが多く用いられる。
For example, in a magnetic field modulation overwrite system in which a recording magnetic field is modulated according to information, it is necessary to bring a magnetic field generator (often an electromagnet) as close to the recording medium layer 19 as possible. This is because the frequency required for recording is modulated (generally hundreds of kHz to several tens of MHz) due to the heat generated by the coil of the electromagnet, the power consumption of the device, the size, and the like, and the magnetic field required for recording (generally, (E.g., about 500e to several hundred Oe), the recording medium has a thickness of about 0.2 mm or less, often 50 μm.
m needs to be approached. For this reason, in a double-sided magneto-optical disk, the thickness of the substrate 1 is generally less than 1.2.
Since it is about mm and a thickness of at least about 0.5 mm is required, when an electromagnet is arranged so as to face the light beam, the recording magnetic field intensity is insufficient and recording cannot be performed. Therefore, when the recording medium layer 19 suitable for the recording modulation overwrite method is adopted, a single-sided type magneto-optical disk is often used.

【0191】これに対して、情報に応じて光ビームを変
調する光変調オーバーライト方式では、記録用の磁界が
一方向を向いたまま、あるいは記録用磁界が不要であ
る。よって、発生磁界の強い、例えば永久磁石を用いる
ことができ、磁界変調オーバーライト方式の場合のよう
に記録媒体層19に極力近づけて配置せずとも、記録媒
体層19から数mm程度離して配置できる。従って、片面
タイプだけでなく、両面タイプも採用できる。
On the other hand, in the light modulation overwrite method in which the light beam is modulated according to the information, the recording magnetic field remains in one direction, or the recording magnetic field is unnecessary. Therefore, a permanent magnet having a strong generated magnetic field, for example, a permanent magnet can be used. Even if the magnetic field modulation overwrite method is not used, as close to the recording medium layer 19 as possible, the recording medium layer 19 can be arranged at a distance of several mm from the recording medium layer 19. it can. Therefore, not only a single-sided type but also a double-sided type can be adopted.

【0192】本実施例の光磁気ディスクを片面ディスク
として用いる場合、構造上、以下に説明するようなバリ
エーションが可能である。
When the magneto-optical disk of this embodiment is used as a single-sided disk, the following structural variations are possible.

【0193】第1のバリエーションは、オーバーコート
層7上にハードコート層(図示されていない)を形成し
た光磁気ディスクであり、基板1/記録媒体層19/オ
ーバーコート層7/ハードコート層の構造を有してい
る。ハードコート層として、例えばアクリレート系の紫
外線硬化型ハードコート樹脂膜を、例えばポリウレタン
アクリレート系の紫外線硬化型樹脂からなり膜厚が約6
μmのオーバーコート層7の上に形成する。ハードコー
ト層の膜厚は、例えば3μmである。
The first variation is a magneto-optical disk in which a hard coat layer (not shown) is formed on the overcoat layer 7, and is composed of a substrate 1 / recording medium layer 19 / overcoat layer 7 / hard coat layer. It has a structure. As the hard coat layer, for example, an acrylate-based UV-curable hard coat resin film is formed of, for example, a polyurethane acrylate-based UV-curable resin having a thickness of about 6 μm.
It is formed on the overcoat layer 7 of μm. The thickness of the hard coat layer is, for example, 3 μm.

【0194】オーバーコート層7を形成することで、記
録媒体層19の酸化による特性劣化を防ぎ、長期信頼性
を確保することができる。これに加えて、ハードコート
膜を設けることで、例えば記録用の磁石がディスクに接
触してしまっても、硬度の高い、耐摩耗性にすぐれたハ
ードコート膜の作用で、傷を付きにくくし、また傷が発
生しても、それが記録媒体層19にまで達することを防
ぐことができる。
By forming the overcoat layer 7, deterioration in characteristics due to oxidation of the recording medium layer 19 can be prevented, and long-term reliability can be ensured. In addition, by providing a hard coat film, even if a recording magnet comes into contact with the disc, the hard coat film, which has high hardness and excellent abrasion resistance, makes it hard to be scratched. In addition, even if a flaw occurs, it can be prevented from reaching the recording medium layer 19.

【0195】また、当然のことながら、オーバーコート
層7にハードコート層の機能を付加させてオーバーコー
ト層7だけで済ませても良い。
Naturally, the function of the hard coat layer may be added to the overcoat layer 7 so that only the overcoat layer 7 is sufficient.

【0196】第2のバリエーションは、オーバーコート
層7上にハードコート層を形成すると共に、基板1の記
録媒体層19とは反対側の面にハードコート層(図示さ
れていない)を形成した光磁気ディスクであり、ハード
コート層/基板1/記録媒体層19/オーバーコート層
7/ハードコート層の構造を有している。
A second variation is a light in which a hard coat layer is formed on the overcoat layer 7 and a hard coat layer (not shown) is formed on the surface of the substrate 1 opposite to the recording medium layer 19. It is a magnetic disk and has a structure of hard coat layer / substrate 1 / recording medium layer 19 / overcoat layer 7 / hard coat layer.

【0197】光磁気ディスク用の基板1の材料として、
PCをはじめとするプラスチックが多く用いられるが、
これらの材料はガラスに比べて、非常に柔らかく、爪で
こすっただけでも傷が入ってしまう。この傷は、光ビー
ムで記録再生を行う際にひどい場合には、サーボ飛びを
生じさせ、情報の記録再生が不可能になる場合もある。
As a material of the substrate 1 for a magneto-optical disk,
PC and other plastics are often used,
These materials are much softer than glass and can be scratched by rubbing with your nails. If the scratches are severe when recording and reproducing with a light beam, servo jumps may occur, making it impossible to record and reproduce information.

【0198】本実施例の光磁気ディスクにおいては、光
ビームの中心近傍だけを利用して再生を行うので、基板
1の表面の傷等の欠陥が再生に及ぼす影響が従来の光磁
気ディスクよりも大きくなってしまう。このため、ハー
ドコート層を基板1の記録媒体層19とは反対側の面に
設けることで、傷発生が防ぐことができる本構成は非常
に有効である。
In the magneto-optical disk of this embodiment, reproduction is performed using only the vicinity of the center of the light beam. Therefore, the influence of defects such as scratches on the surface of the substrate 1 on the reproduction is greater than in the conventional magneto-optical disk. It gets bigger. For this reason, by providing the hard coat layer on the surface of the substrate 1 on the side opposite to the recording medium layer 19, this configuration in which the generation of scratches can be prevented is very effective.

【0199】また、両面タイプにおいても、光磁気ディ
スクのそれぞれの基板1・1の表面にハードコート層を
設ければ、同様の効果があることは明らかである。
It is apparent that the same effect can be obtained also in the double-sided type by providing a hard coat layer on the surface of each substrate 1 of the magneto-optical disk.

【0200】第3のバリエーションは、上記第1、第2
のバリエーションのオーバーコート層7上、あるいは、
ハードコート層上に更に、帯電防止コート層(図示され
ていない)、あるいは、帯電防止機能を付加させた層を
形成した光磁気ディスクである。
A third variation is the first and second variations
On the overcoat layer 7 in a variation of
This is a magneto-optical disk in which an antistatic coat layer (not shown) or a layer having an added antistatic function is further formed on the hard coat layer.

【0201】基板1の表面にゴミ、ほこりが付くと、傷
と同様に情報の記録再生が不可能となる場合がある。ま
た、オーバーコート膜6上にほこりが付くと、磁界変調
オーバーライト方式の場合に、磁石を浮上型磁気ヘッド
12(図16)として、オーバーコート膜6上を数μm
のギャップで配置しているような場合には、ゴミ、ほこ
りが浮上型磁気ヘッド12、記録媒体層19の損傷を生
じさせてしまう。
If dust or dust adheres to the surface of the substrate 1, it may not be possible to record and reproduce information as in the case of scratches. Further, when dust is deposited on the overcoat film 6, in the case of the magnetic field modulation overwrite method, the magnet is used as a floating magnetic head 12 (FIG. 16) to cover the overcoat film 6 by several μm.
In such a case, dust and dirt cause damage to the flying magnetic head 12 and the recording medium layer 19.

【0202】本構成のように、基板1側の表面または記
録媒体層19側表面に帯電防止機能を有する層が設けら
れた構成を取れば、空気中のゴミ、ほこり等が基板1の
表面あるいはオーバーコート層7上に付着するのを防止
することができる。
If a layer having an antistatic function is provided on the surface on the substrate 1 side or the surface on the recording medium layer 19 side as in this configuration, dust and dirt in the air can be removed from the surface of the substrate 1 or the surface thereof. Adhesion on the overcoat layer 7 can be prevented.

【0203】本実施例の光磁気ディスクにおいては、光
ビームの中心近傍だけを利用して再生を行うので、基板
1の表面のゴミ、ほこり等の欠陥が再生に及ぼす影響が
従来の光磁気ディスクよりも大きいので、本構成は極め
て有効である。
In the magneto-optical disk of the present embodiment, since reproduction is performed using only the vicinity of the center of the light beam, the influence of defects such as dust and dust on the surface of the substrate 1 on the reproduction is not affected by the conventional magneto-optical disk. This configuration is extremely effective.

【0204】帯電防止層としては、例えば、導電性フィ
ラーを混入したアクリル系ハードコート樹脂を使用する
ことができ、その膜厚は約2〜3μmが適当である。
As the antistatic layer, for example, an acrylic hard coat resin mixed with a conductive filler can be used, and its film thickness is suitably about 2 to 3 μm.

【0205】また、帯電防止層は、プラスチックの基板
1、ガラスの基板1を問わず、表面抵抗率を下げ、ゴ
ミ、ほこり等を付きにくくする目的で設けられる。
The antistatic layer is provided for the purpose of lowering the surface resistivity and making it difficult for dirt, dust and the like to be formed on both the plastic substrate 1 and the glass substrate 1.

【0206】また、当然のことながら、オーバーコート
層7またはハードコート層に帯電防止効果を付加させて
も良い。
It is needless to say that an antistatic effect may be added to the overcoat layer 7 or the hard coat layer.

【0207】また、両面タイプにおいても、光磁気ディ
スクのそれぞれの基板1・1の表面に対して、本構成を
適用できることは明らかである。
It is apparent that this configuration can be applied to the surface of each substrate 1 of the magneto-optical disk also in the double-sided type.

【0208】第4のバリエーションは、オーバーコート
層7上に潤滑層(図示されていない)を形成した光磁気
ディスクであり、基板1/記録媒体層19/オーバーコ
ート層7/潤滑層の構造を有している。潤滑層として
は、例えば、フッ素系樹脂を使用することができ、その
膜厚は約2μmが適当である。
The fourth variation is a magneto-optical disk in which a lubricating layer (not shown) is formed on the overcoat layer 7, and the structure of the substrate 1, the recording medium layer 19, the overcoat layer 7, and the lubricating layer is changed. Have. As the lubricating layer, for example, a fluorine-based resin can be used, and its thickness is suitably about 2 μm.

【0209】潤滑層を設けることで、磁界変調オーバー
ライト方式で浮上型磁気ヘッド12を用いた場合、浮上
型磁気ヘッド12と光磁気ディスクとの間の潤滑性を向
上させることができる。
By providing the lubricating layer, when the floating magnetic head 12 is used in the magnetic field modulation overwrite method, the lubricity between the floating magnetic head 12 and the magneto-optical disk can be improved.

【0210】すなわち、浮上型磁気ヘッド12は記録媒
体層19上に数μmから数十μmのギャップを保ちなが
ら情報の記録を行うために配置されるものであり、浮上
型磁気ヘッド12を記録媒体層19に押し付けるよう働
くサスペンション13による押圧と、光磁気ディスクの
高速回転による空気流により発生して浮上型磁気ヘッド
12を記録媒体層19から離すように働く浮上力をバラ
ンスして、上記ギャップが保たれる。
That is, the floating type magnetic head 12 is disposed on the recording medium layer 19 for recording information while maintaining a gap of several μm to several tens μm. The gap between the pressure by the suspension 13 acting to press against the layer 19 and the levitation force generated by the airflow due to the high-speed rotation of the magneto-optical disk and acting to separate the flying magnetic head 12 from the recording medium layer 19 is balanced. Will be kept.

【0211】このような浮上型磁気ヘッド12を用い
て、光磁気ディスクの回転開始時、所定回転数に達する
までの時間、及び、回転終了時、所定回転数より停止に
至るまでの間、浮上型磁気ヘッド12と光磁気ディスク
とが接するCSS(Contact-Start-Stop)方式を採用す
る場合には、浮上型磁気ヘッド12と光磁気ディスクと
が吸着すると、光磁気ディスクの回転開始時、浮上型磁
気ヘッド12が破損されることがある。しかしながら、
本実施例の光磁気ディスクによれば、オーバーコート層
7上に潤滑膜を設けたので、浮上型磁気ヘッド12と光
磁気ディスクとの間の潤滑性が向上し、吸着による浮上
型磁気ヘッド12の破損を防止できる。
By using such a floating magnetic head 12, the time required to start the rotation of the magneto-optical disk and reach a predetermined number of rotations, and at the end of the rotation until the rotation stops from the predetermined number of rotations and stops. (Contact-Start-Stop) system, in which the magnetic head 12 and the magneto-optical disk are in contact with each other, when the floating magnetic head 12 and the magneto-optical disk are attracted to each other, the magnetic head 12 rises when the magneto-optical disk starts rotating. The type magnetic head 12 may be damaged. However,
According to the magneto-optical disk of this embodiment, since the lubricating film is provided on the overcoat layer 7, the lubricity between the floating magnetic head 12 and the magneto-optical disk is improved, and the floating magnetic head 12 Can be prevented from being damaged.

【0212】当然のことながら、記録媒体層19の劣化
を防ぐ、耐湿保護性能も兼ね備えた材料であれば、オー
バーコート層7と潤滑層を別々に設ける必要はない。
As a matter of course, it is not necessary to separately provide the overcoat layer 7 and the lubricating layer as long as the material prevents the deterioration of the recording medium layer 19 and also has the moisture resistance protection performance.

【0213】第5のバリエーションは、基板1の記録媒
体層19とは反対側の面に透湿防止層(図示されていな
い)と第2のオーバーコート層(図示されていない)と
を積層した光磁気ディスクであり、オーバコート層/透
湿防止層/基板1/記録媒体層19/オーバーコート層
7の構造を有している。
In a fifth variation, a moisture-permeable layer (not shown) and a second overcoat layer (not shown) are laminated on the surface of the substrate 1 opposite to the recording medium layer 19. It is a magneto-optical disk and has a structure of overcoat layer / moisture-permeable preventing layer / substrate 1 / recording medium layer 19 / overcoat layer 7.

【0214】透湿防止層には、例えば、A1N, A1SiN, Si
N, A1TaN, SiO, ZnS, TiO2等の透明誘電体材料を使用で
き、その膜厚は5nm程度が適当である。第2のオーバコ
ート層は、特に基板1としてPC等の吸湿性の高いプラ
スチックを基板1に用いた場合に有効である。
For the moisture permeation preventing layer, for example, A1N, A1SiN, Si
A transparent dielectric material such as N, A1TaN, SiO, ZnS, TiO 2 or the like can be used, and its film thickness is suitably about 5 nm. The second overcoat layer is particularly effective when a highly hygroscopic plastic such as PC is used for the substrate 1.

【0215】透湿防止層は、環境湿度変化に対する光磁
気ディスクの反り変化を低く押さえる効果を有してい
る。これについて、以下に説明する。
The moisture permeation preventing layer has an effect of suppressing a change in warpage of the magneto-optical disk due to a change in environmental humidity. This will be described below.

【0216】基板1の光入射側にこの透湿防止膜がない
場合は、例えば環境湿度が大きく変化した場合に、記録
媒体層19のない側、すなわち基板1の入射光側からの
みプラスチックの基板1に水分が吸湿されたり放湿され
たりする。この吸湿、放湿によりプラスチックの基板1
には局部的な体積変化が生じ、プラスチックの基板1に
反りが生じてしまう。
In the case where the moisture permeation preventing film is not provided on the light incident side of the substrate 1, for example, when the environmental humidity changes greatly, the plastic substrate is formed only from the side where the recording medium layer 19 is not provided, that is, from the incident light side of the substrate 1. First, moisture is absorbed or released. This moisture absorption and release allows the plastic substrate 1
Causes a local change in volume, and the plastic substrate 1 is warped.

【0217】この光磁気ディスクの反りは、情報の再
生、記録等に用いられる光ビームの光軸に対して基板1
が傾いた状態になるため、サーボがずれて信号品質が劣
化したり、ひどい場合にはサーボ飛びが生じたりしてし
まう。
The warpage of the magneto-optical disk is caused by the substrate 1 being moved with respect to the optical axis of the light beam used for reproducing and recording information.
Is tilted, so that the servo deviates and the signal quality deteriorates, or in severe cases, the servo jump occurs.

【0218】また、基板1にチルトが存在すると光学ヘ
ッド11(図16)からのレーザー光は、傾いた記録媒
体層19の面に集光されることになり、チルトの状態に
応じて集光状態が変化することになり、記録再生に悪影
響を及ぼす。
If the substrate 1 has a tilt, the laser light from the optical head 11 (FIG. 16) is condensed on the inclined surface of the recording medium layer 19, and is condensed according to the state of the tilt. The state changes, which adversely affects recording and reproduction.

【0219】更に、基板1が光学ヘッド11に対して上
下に移動した場合、光学ヘッド11はその上下動を補償
し記録媒体層19の面にレーザー光を集光すべく動作す
るが、上下動が大きくなり過ぎると光学ヘッド11の補
償動作が不完全なものとなり、記録媒体層19の面での
レーザー光の集光状態は不完全なものとなる。レーザー
光の集光状態が不完全なものとなると記録媒体層19の
温度分布が変化することになり、記録再生に影響を及ぼ
す。本実施例においては、再生時の記録媒体層19の温
度分布が特に重要となってくるため、極力基板1の反
り、環境による反り変化を押さえることが必要となって
くる。
Further, when the substrate 1 moves up and down with respect to the optical head 11, the optical head 11 operates to compensate for the up and down movement and focus the laser beam on the surface of the recording medium layer 19. Becomes too large, the compensating operation of the optical head 11 becomes incomplete, and the condensing state of the laser beam on the surface of the recording medium layer 19 becomes incomplete. If the laser beam is not completely focused, the temperature distribution of the recording medium layer 19 changes, which affects recording and reproduction. In the present embodiment, since the temperature distribution of the recording medium layer 19 during reproduction becomes particularly important, it is necessary to suppress the warpage of the substrate 1 and the warp change due to the environment as much as possible.

【0220】本構成の光磁気ディスクであれば、透湿防
止層があることにより基板1の表面側における水分の吸
湿、放出がなくなるため、環境変化時の基板1の反りを
大幅に押さえることができ、上記説明の通り、本発明の
光磁気ディスクに特に適した構成となる。
In the case of the magneto-optical disk of this configuration, the presence of the moisture permeation preventing layer eliminates the absorption and release of moisture on the surface side of the substrate 1, so that the warpage of the substrate 1 when the environment changes can be largely suppressed. As described above, the configuration is particularly suitable for the magneto-optical disk of the present invention.

【0221】尚、透湿防止層上の第2のオーバコート層
は、透湿防止層への傷発生の防止、基板1の表面の保護
等の目的で設けられており、その材料は、記録媒体層1
9上のオーバーコート層7と同じでも良い。
The second overcoat layer on the moisture permeation preventing layer is provided for the purpose of preventing scratches on the moisture permeation preventing layer, protecting the surface of the substrate 1, and the like. Medium layer 1
9 may be the same as the overcoat layer 7.

【0222】更に、本構成に加えて前述の、例えば、ハ
ードコート層あるいは帯電防止層を第2のオーバコート
層の代わりに、あるいはその上に設けても良い。
Further, in addition to this structure, for example, the above-mentioned hard coat layer or antistatic layer may be provided instead of or on the second overcoat layer.

【0223】本発明の第2実施例を図24に基づいて説
明すれば、以下の通りである。なお、説明の便宜上、前
記の実施例の図面に示した部材と同一の機能を有する部
材には、同一の符号を付記し、その説明を省略する。
The second embodiment of the present invention will be described below with reference to FIG. For convenience of explanation, members having the same functions as those shown in the drawings of the above-described embodiment are denoted by the same reference numerals, and description thereof will be omitted.

【0224】本実施例の光磁気ディスクは、図24に示
すように、基板1、透明誘電体層2、読み出し層3、記
録層4、放熱層20、オーバーコート層7がこの順に積
層された構成を有している。
In the magneto-optical disk of this embodiment, as shown in FIG. 24, a substrate 1, a transparent dielectric layer 2, a readout layer 3, a recording layer 4, a heat radiation layer 20, and an overcoat layer 7 are laminated in this order. It has a configuration.

【0225】基板1は、直径86mm、内径15mm、厚さ
1.2mmの円盤状のガラスからなっている。基板1の片
側の表面には、図示していないが、光ビーム案内用の凹
凸状のガイドトラックが、ピッチが1.6μm、グルー
ブの幅が0.8μm、ランドの幅が0.8μmで形成さ
れている。
The substrate 1 is made of a disc-shaped glass having a diameter of 86 mm, an inner diameter of 15 mm, and a thickness of 1.2 mm. Although not shown, an uneven guide track for guiding a light beam is formed on one surface of the substrate 1 with a pitch of 1.6 μm, a groove width of 0.8 μm, and a land width of 0.8 μm. Have been.

【0226】基板1のガイドトラックが形成されている
側の面に、透明誘電体層2として、A1Nが厚さ80n
mで形成されている。
On the surface of the substrate 1 on which the guide tracks are formed, A1N having a thickness of 80 n is formed as the transparent dielectric layer 2.
m.

【0227】透明誘電体層2上に、係る読み出し層3と
して、希土類遷移金属合金薄膜であるGdFeCoが、
厚さ50nmで形成されている。GdFeCoの組成
は、Gd0.26(Fe0.82Co0.180.74であり、そのキ
ュリー温度は約300℃である。
On the transparent dielectric layer 2, GdFeCo, which is a rare earth transition metal alloy thin film, is used as the readout layer 3.
It is formed with a thickness of 50 nm. The composition of GdFeCo is Gd 0.26 (Fe 0.82 Co 0.18 ) 0.74 , and its Curie temperature is about 300 ° C.

【0228】読み出し層3上に、記録層4として、希土
類遷移金属合金薄膜であるDyFeCoが、厚さ50n
mで形成されている。DyFeCoの組成は、Dy0.23
(Fe0.78Co0.220.77であり、そのキュリー温度は
約200℃である。
On the readout layer 3, as the recording layer 4, DyFeCo, which is a rare earth transition metal alloy thin film, has a thickness of 50 nm.
m. The composition of DyFeCo is Dy 0.23
(Fe 0.78 Co 0.22 ) 0.77 , and its Curie temperature is about 200 ° C.

【0229】上記の読み出し層3と記録層4の組み合わ
せにより、読み出し層3の磁化の方向は、室温ではほぼ
面内(つまり、読み出し層3の層方向)にあり、100
〜125℃程度の温度で面内方向から垂直方向に移行す
る。
Due to the combination of the readout layer 3 and the recording layer 4, the direction of magnetization of the readout layer 3 is almost in-plane at room temperature (that is, the layer direction of the readout layer 3).
The transition from the in-plane direction to the vertical direction occurs at a temperature of about 125 ° C.

【0230】記録層4上には、放熱層20として、A1
Niが厚さ100nmで形成されている。A1Niにお
けるNiの含有量は、5atm%である。
On the recording layer 4, as a heat radiation layer 20, A1
Ni is formed with a thickness of 100 nm. The content of Ni in A1Ni is 5 atm%.

【0231】放熱層20上には、オーバーコート層7と
して、ポリウレタンアクリレート系の紫外線硬化型樹脂
が、厚さ5μmで形成されている。放熱層20はAlN
i合金ターゲットを用いて、Arガスでスパッターする
ことにより形成された。なお、AlNi合金ターゲット
の代わりに、Alターゲット上にNi片を配した複合タ
ーゲットを用いてもよい。
On the heat radiation layer 20, a polyurethane acrylate ultraviolet curable resin having a thickness of 5 μm is formed as the overcoat layer 7. The heat radiation layer 20 is made of AlN
It was formed by sputtering with an Ar gas using an i-alloy target. Note that, instead of the AlNi alloy target, a composite target in which Ni pieces are arranged on an Al target may be used.

【0232】放熱層20上には、オーバーコート層7と
して、ポリウレタンアクリレート系の紫外線硬化型樹脂
が、厚さ5μmで形成されている。
On the heat radiation layer 20, a polyurethane acrylate-based ultraviolet curable resin having a thickness of 5 μm is formed as the overcoat layer 7.

【0233】基板1、透明誘電体層2、読み出し層3、
記録層4、オーバーコート層7には、前記実施例と同一
の材料を使用できる。
The substrate 1, the transparent dielectric layer 2, the readout layer 3,
The same material as in the above embodiment can be used for the recording layer 4 and the overcoat layer 7.

【0234】記録層4上に放熱層20を設けたので、記
録の際に、記録ビット形状をよりきれいにする効果があ
る。これは、次の理由による。
Since the heat radiating layer 20 is provided on the recording layer 4, there is an effect that the recording bit shape is made clearer during recording. This is for the following reason.

【0235】入射面側から入射された光ビームは、その
ほとんどが読み出し層3及び記録層4に吸収され熱に変
わる。この時、熱は読み出し層3及び記録層4の厚さ方
向に伝導するとともに、層内方向、つまり横方向にも伝
導する。この横方向への熱伝導量が多く、かつ、熱伝導
する速度が遅いと、例えば、より高速に、高い記録密度
で記録を行おうとする場合、次に記録しようとする記録
ビットに対して熱的な悪影響を及ぼす。このため、既定
の長さよりも長い記録ビットになってしまったり、ある
いはガイドトラックに対して横方向に広がった記録ビッ
トが形成されたりする。横方向に記録ビットが広がって
しまうと、クロストーク量の増加につながり、良好な記
録再生が行えなくなる。
Most of the light beam incident from the incident surface side is absorbed by the readout layer 3 and the recording layer 4 and converted into heat. At this time, the heat is conducted in the thickness direction of the readout layer 3 and the recording layer 4 and also conducted in the layer direction, that is, in the lateral direction. If the amount of heat conduction in the lateral direction is large and the speed of heat conduction is low, for example, when recording is to be performed at a higher speed and with a higher recording density, heat is applied to the next recording bit to be recorded. Adverse effects. For this reason, the recording bit becomes longer than a predetermined length, or a recording bit spread in a lateral direction with respect to the guide track is formed. When the recording bits spread in the horizontal direction, the amount of crosstalk increases, and good recording and reproduction cannot be performed.

【0236】本実施例では、熱伝導の高いAlNiから
なる放熱層20を記録層4上に形成しているので、横方
向への熱の広がりを放熱層20側、つまり厚さ方向へ逃
がすことができ、上記のような横方向への熱の広がりを
低減させることができる。したがって、より密度の高
い、より高速な記録条件下で、熱干渉のない記録を行う
ことが可能になる。
In the present embodiment, since the heat radiation layer 20 made of AlNi having high thermal conductivity is formed on the recording layer 4, the heat spread in the lateral direction is released to the heat radiation layer 20 side, that is, in the thickness direction. Thus, the spread of heat in the lateral direction as described above can be reduced. Therefore, it is possible to perform recording without thermal interference under a higher density and higher speed recording condition.

【0237】また、放熱層20を設けると、以下に説明
するように、光変調オーバーライト記録の際にも、有利
となる。
The provision of the heat radiation layer 20 is also advantageous in light modulation overwrite recording as described below.

【0238】放熱層20があることにより、記録の過程
で、光ビーム照射により一旦昇温した領域が冷えると
き、読み出し層3と記録層4のそれぞれの層の温度変化
に、よりはっきりとした差をもたせることができる。こ
の効果は、特に高レベルのレーザー光が照射された時の
読み出し層3と記録層4の冷却過程を大きく相違させる
ことができるため(記録層4の方が速く冷却される)、
より容易に重ね書きを行うことができる。
The presence of the heat radiating layer 20 makes it possible to make a clear difference between the temperature changes of the readout layer 3 and the recording layer 4 when the area once heated by the light beam is cooled in the recording process. Can be provided. This effect is because the cooling process of the readout layer 3 and the recording layer 4 when a high-level laser beam is irradiated can be greatly different (the recording layer 4 is cooled faster).
Overwriting can be performed more easily.

【0239】放熱層20の材料であるAlNiは、読み
出し層3、記録層4に用いられる希土類遷移金属合金膜
よりもその熱伝導率が高く、放熱層20に適した材料で
ある。
AlNi, which is a material of the heat radiation layer 20, has a higher thermal conductivity than the rare earth transition metal alloy film used for the readout layer 3 and the recording layer 4, and is a material suitable for the heat radiation layer 20.

【0240】上記の光磁気ディスクを用いて、記録を行
い、光磁気ディスクの線速を5m/secにして0.7
65μmの長さの記録ビット長の再生信号品質(C/
N)を測定した結果、50dBのC/Nが得られた。放
熱層20を形成していない光磁気ディスクについてもC
/Nを測定した結果、放熱層20によりC/Nが3dB
以上改善されることが分かった。
Using the above-mentioned magneto-optical disk, recording was performed, and the linear velocity of the magneto-optical disk was set to 5 m / sec, and recording was performed for 0.7 minutes.
Reproduction signal quality of a recording bit length of 65 μm (C /
As a result of measuring N), a C / N of 50 dB was obtained. Regarding the magneto-optical disk having no heat radiation layer 20, C
As a result of measuring / N, C / N was 3 dB by the heat dissipation layer 20.
It was found that the above was improved.

【0241】また、本実施例の光磁気ディスクを用い
て、IS10089規格(ISOの5.25”書き換え
型光ディスクについて定めた規格)に準拠した測定方法
で、クロストーク量も測定した。その結果、本実施例の
光磁気ディスクでは、クロストーク量は約−33dBで
あり、放熱層20を形成していない場合と比較して、ク
ロストーク量が3dB以上低減されることが分かった。
Further, the amount of crosstalk was also measured using the magneto-optical disk of the present embodiment by a measurement method based on the IS10089 standard (standard defined for the 5.25 ″ rewritable optical disk of ISO). In the magneto-optical disk of this example, the crosstalk amount was about -33 dB, and it was found that the crosstalk amount was reduced by 3 dB or more compared to the case where the heat dissipation layer 20 was not formed.

【0242】更に、AlNiは、耐湿性に非常に優れてお
り、長期信頼性に優れた光磁気ディスクを提供すること
ができる。
Furthermore, AlNi is very excellent in moisture resistance, and can provide a magneto-optical disk excellent in long-term reliability.

【0243】以下に、上記の光磁気ディスクの耐湿性テ
スト結果について説明する。
Hereinafter, the results of the moisture resistance test of the above-described magneto-optical disk will be described.

【0244】光磁気ディスクを80℃、90%R.H. の環境条
件下で1000時間放置して、その特性の変化を調べた。比
較のため、放熱層20を純Alに代えた以外、上記と同じ
構成の光磁気ディスクについても同様に調べた。
The magneto-optical disk was allowed to stand for 1000 hours under the environmental conditions of 80 ° C. and 90% RH, and changes in its characteristics were examined. For comparison, a magneto-optical disk having the same configuration as above except that the heat radiation layer 20 was replaced with pure Al was also examined.

【0245】その結果、放熱層20を純Alを用いた光磁
気ディスクでは、放熱層20のAlに多数のピンホールが
発生した。これが原因となり、記録層4および読み出し
層3にも多数のピンホールが発生した。一方、本実施例
の光磁気ディスクでは、ピンホールの発生は数個程度と
極めて少なかった。このため、C/Nおよびクロストー
ク量は、上記環境条件下に放置後においても、初期と変
わらない特性が得られた。
As a result, in the magneto-optical disk using the heat radiation layer 20 made of pure Al, a large number of pinholes were generated in Al of the heat radiation layer 20. Due to this, many pinholes were also generated in the recording layer 4 and the readout layer 3. On the other hand, in the magneto-optical disk of this example, the number of pinholes was extremely small, about several. For this reason, the C / N and the amount of crosstalk obtained characteristics which were not different from the initial state even after being left under the above environmental conditions.

【0246】AlNiにおけるNiの含有量は、0 〜10atm%が
好適である。Ni含有量があまり多くなり過ぎると、熱伝
導率が低下し、記録の際に読み出し層3および記録層4
で発生した熱が放熱層20に逃げにくくなる。このた
め、再生信号品質(C/N) の劣化を招く。Ni量が10atm%ま
でであれば、C/N の劣化はそれほど顕著では無く、実用
的な値が得られる。また、Ni含有量が0.5atm% 程度とご
く僅かであっても、Alに比べて、耐湿性は格段に改善さ
れる。
The Ni content in AlNi is preferably from 0 to 10 atm%. If the Ni content is too high, the thermal conductivity decreases, and the readout layer 3 and the recording layer 4
It is difficult for the heat generated in the step to escape to the heat radiation layer 20. Therefore, the reproduction signal quality (C / N) is degraded. If the Ni content is up to 10 atm%, the deterioration of C / N is not so remarkable, and a practical value can be obtained. Further, even when the Ni content is as small as about 0.5 atm%, the moisture resistance is remarkably improved as compared with Al.

【0247】放熱層20の材料として、AlTi、AlTa、Al
Siも好適である。
As a material of the heat radiation layer 20, AlTi, AlTa, Al
Si is also suitable.

【0248】Tiを1.5atm% 含有したAlTiの放熱層20を
有する光磁気ディスク、Taを1.5atm% 含有したAlTaの放
熱層20を有する光磁気ディスク、Siを10atm%含有した
AlSiの放熱層20を有する光磁気ディスクについても、
上記と同様の、動特性測定および耐湿性テストを行った
所、上記と同様の結果が得られた。
A magneto-optical disk having a heat radiation layer 20 of AlTi containing 1.5 atm% of Ti, a magneto-optical disk having a heat radiation layer 20 of AlTa containing 1.5 atm% of Ta, and containing 10 atm% of Si
Regarding the magneto-optical disk having the heat radiation layer 20 of AlSi,
When the dynamic characteristics measurement and the moisture resistance test were performed in the same manner as above, the same results as above were obtained.

【0249】AlTiにおけるTiの含有量およびAlTaにおけ
るTaの含有量は、0 〜10atm%が好適である。これらの含
有量があまり多くなり過ぎると、熱伝導率が低下し、記
録の際に読み出し層3および記録層4で発生した熱が放
熱層20に逃げにくくなる。このため、再生信号品質(C
/N) の劣化を招く。Ti量あるいはTa量が10atm%までであ
れば、C/N の劣化はそれほど顕著では無く、実用的な値
が得られる。また、NiあるいはTa含有量が0.5atm% 程度
とごく僅かであっても、Alに比べて、耐湿性は格段に改
善される。
The content of Ti in AlTi and the content of Ta in AlTa are preferably 0 to 10 atm%. If these contents are too large, the thermal conductivity decreases, and it becomes difficult for the heat generated in the reading layer 3 and the recording layer 4 to escape to the heat radiation layer 20 during recording. Therefore, the reproduction signal quality (C
/ N). When the Ti amount or the Ta amount is up to 10 atm%, the deterioration of C / N is not so remarkable, and a practical value can be obtained. Even if the content of Ni or Ta is as small as about 0.5 atm%, the moisture resistance is remarkably improved as compared with Al.

【0250】AlSiにおけるSiの含有量は、0 〜50atm%が
好適である。これらの含有量があまり多くなり過ぎる
と、熱伝導率が低下し、記録の際に読み出し層3および
記録層4で発生した熱が放熱層20に逃げにくくなる。
このため、再生信号品質(C/N)の劣化を招く。Si量が50a
tm%までであれば、C/N の劣化はそれほど顕著では無
く、実用的な値が得られる。また、Si含有量が0.5atm%
程度とごく僅かであっても、Alに比べて、耐湿性は格段
に改善される。
The content of Si in AlSi is preferably from 0 to 50 atm%. If these contents are too large, the thermal conductivity decreases, and it becomes difficult for the heat generated in the reading layer 3 and the recording layer 4 to escape to the heat radiation layer 20 during recording.
For this reason, the reproduction signal quality (C / N) is degraded. Si amount is 50a
Up to tm%, the deterioration of C / N is not so remarkable, and a practical value can be obtained. Also, the Si content is 0.5atm%
Even to a small extent, the moisture resistance is significantly improved compared to Al.

【0251】AlTaを放熱層20に用いた場合には、次の
利点がある。
The use of AlTa for the heat dissipation layer 20 has the following advantages.

【0252】AlTaの放熱層20は、AlTa合金ターゲッ
ト、もしくは、Alターゲット上にTa片を配した複合ター
ゲットをArガスでスパッターすることにより形成され
る。
The heat radiation layer 20 of AlTa is formed by sputtering an AlTa alloy target or a composite target having a Ta piece disposed on an Al target with Ar gas.

【0253】ところで、AlTa合金ターゲット、もしく
は、Alターゲット上にTa片を配した複合ターゲットをN
2 ガス、あるいは、ArガスとN2 ガスの混合ガスでス
パッターすると、反応性スパッターにより、AlTaN が形
成される。AlTaN は、透明であり、かつ、屈折率が2前
後と大きいので、透明誘電体層2の材料として使用可能
である。
By the way, an AlTa alloy target or a composite target having a Ta piece disposed on an Al target is
When sputtering is performed with two gases or a mixed gas of Ar gas and N 2 gas, AlTaN is formed by reactive sputtering. Since AlTaN is transparent and has a large refractive index of about 2, it can be used as a material for the transparent dielectric layer 2.

【0254】したがって、透明誘電体層2と放熱層20
とを同一ターゲットを用いて形成できる。このため、ス
パッター装置を小型化でき、光磁気ディスクの製造コス
トを大幅に下げることができる。
Therefore, the transparent dielectric layer 2 and the heat radiation layer 20
Can be formed using the same target. Therefore, the size of the sputtering apparatus can be reduced, and the manufacturing cost of the magneto-optical disk can be significantly reduced.

【0255】AlSiを放熱層20に用いた場合にも、AlTa
を放熱層20に用いた場合と、同様の利点がある。
In the case where AlSi is used for the heat dissipation layer 20, the AlTa
Has the same advantage as the case where is used for the heat radiation layer 20.

【0256】すなわち、AlSiの放熱層20は、AlSi合金
ターゲット、もしくは、Alターゲット上にSi片を配した
複合ターゲットをArガスでスパッターすることにより
形成される。AlSi合金ターゲット、もしくは、Alターゲ
ット上にSi片を配した複合ターゲットをN2 ガス、ある
いは、ArガスとN2 ガスの混合ガスでスパッターする
と、反応性スパッターにより、AlSiN が形成される。Al
SiN は、透明であり、かつ、屈折率が2前後と大きいの
で、透明誘電体層2の材料として使用可能である。
That is, the heat radiation layer 20 of AlSi is formed by sputtering an AlSi alloy target or a composite target in which Si pieces are arranged on an Al target with Ar gas. AlSi alloy target or a composite target which arranged Si pieces on Al target N 2 gas or, when sputtered in a mixed gas of Ar gas and N 2 gas, by reactive sputtering, AlSiN is formed. Al
Since SiN is transparent and has a large refractive index of around 2, it can be used as a material for the transparent dielectric layer 2.

【0257】したがって、透明誘電体層2と放熱層20
とを同一ターゲットを用いて形成できる。このため、ス
パッター装置を小型化でき、光磁気ディスクの製造コス
トを大幅に下げることができる。
Therefore, the transparent dielectric layer 2 and the heat radiation layer 20
Can be formed using the same target. Therefore, the size of the sputtering apparatus can be reduced, and the manufacturing cost of the magneto-optical disk can be significantly reduced.

【0258】次に、放熱層20の膜厚について説明す
る。
Next, the thickness of the heat radiation layer 20 will be described.

【0259】放熱層20の膜厚を厚くするほど放熱効果
が高くなり、長期信頼性も向上する。しかしながら、放
熱層20の膜厚をあまり厚くすると、光磁気ディスクの
記録感度を低下させてしまう。放熱層20の材料の熱伝
導率、比熱に応じて膜厚を設定する必要があるが、通
常、5 〜200nm が好ましく、10〜100nm がさらに好まし
い。熱伝導率が比較的高く耐食性に優れた材料であれ
ば、放熱層20の膜厚は10〜100nm で済むので、成膜時
間を短縮できる。
As the thickness of the heat radiation layer 20 increases, the heat radiation effect increases and the long-term reliability improves. However, if the thickness of the heat radiation layer 20 is too large, the recording sensitivity of the magneto-optical disk is reduced. Although it is necessary to set the film thickness in accordance with the thermal conductivity and specific heat of the material of the heat radiation layer 20, it is usually preferably from 5 to 200 nm, more preferably from 10 to 100 nm. If the material has relatively high thermal conductivity and excellent corrosion resistance, the film thickness of the heat radiation layer 20 can be 10 to 100 nm, so that the film formation time can be shortened.

【0260】上記の光磁気ディスクにおいて、記録層4
と放熱層20との間に前記実施例の保護層を形成する
と、次の利点がある。
In the above magneto-optical disk, the recording layer 4
Forming the protective layer of the above embodiment between the heat dissipation layer 20 and the heat radiation layer 20 has the following advantages.

【0261】すなわち、読み出し層3および記録層4の
希土類遷移金属合金は、非常に酸化されやすく、外部か
らの水分侵入により容易に特性が劣化する。そのため、
耐湿性に優れた材料を放熱層20に用いたが、記録層4
と放熱層20との間に保護層をさらに形成すると、より
耐湿性に優れた光磁気ディスクを提供できる。
That is, the rare earth transition metal alloys of the readout layer 3 and the recording layer 4 are very easily oxidized, and their characteristics are easily deteriorated by the invasion of moisture from the outside. for that reason,
Although a material having excellent moisture resistance was used for the heat radiation layer 20, the recording layer 4
When a protective layer is further formed between the magnetic disk and the heat radiation layer 20, a magneto-optical disk having more excellent moisture resistance can be provided.

【0262】保護層の材料としては、透明誘電体層2で
用いられるAlNが適しており、保護層と透明誘電体層
2を同じ材料にすれば、製造上も有利である。
As the material of the protective layer, AlN used for the transparent dielectric layer 2 is suitable. If the protective layer and the transparent dielectric layer 2 are made of the same material, it is advantageous in manufacturing.

【0263】保護層の膜厚は、10〜100nmが良
い。保護層の材料としては、SiN、AlSiN、Ti
N、AlTaN、ZnS、BN等、酸素を含まない窒化
物が好適である。
The protective layer preferably has a thickness of 10 to 100 nm. As the material of the protective layer, SiN, AlSiN, Ti
Oxygen-free nitrides such as N, AlTaN, ZnS, and BN are preferred.

【0264】本実施例の光磁気ディスクのバリエーショ
ンについては、前記実施例と同様であり、その説明を省
略する。
The variation of the magneto-optical disk of this embodiment is the same as that of the above-described embodiment, and the description is omitted.

【0265】上述の第1および第2実施例では、光磁気
記録媒体である光磁気ディスクを挙げて説明したが、光
磁気カード、光磁気テープにも応用できる。なお、光磁
気テープの場合、リジッドな基板1の代わりに、可撓性
のあるテープベース(基体)、例えば、ポリエチレンテ
レフタレートからなるテープベースを用いればよい。
Although the first and second embodiments have been described with reference to a magneto-optical disk as a magneto-optical recording medium , the present invention can be applied to a magneto-optical card and a magneto-optical tape. In the case of a magneto-optical tape, a flexible tape base (substrate), for example, a tape base made of polyethylene terephthalate may be used instead of the rigid substrate 1.

【0266】請求項1の発明に対応する光磁気ディスク
は、情報を光磁気記録する記録層4と、室温で面内磁化
を示す一方、温度上昇に伴い垂直磁化に移行して、上記
記録層4の磁化方向が転写される読み出し層3とを有し
ており、再生レーザーパワーを最適化するテスト領域
内外周の一部に設けられているとともに、該テスト領域
において得られた再生レーザーパワーから各半径位置で
の再生レーザーパワーを最適化するための最適化情報
が、あらかじめ記録されている構成である。
The magneto-optical disk according to the first aspect of the present invention has a recording layer 4 for recording information magneto-optically, and exhibits in-plane magnetization at room temperature, but shifts to perpendicular magnetization as the temperature rises, and And a readout layer 3 to which the magnetization direction of 4 is transferred, and a test area for optimizing the reproduction laser power is provided.
Together provided in a part of the inner and outer circumference, optimization information for optimizing the reproducing laser power at each radial position from the reproducing laser power obtained in the test area
Is a configuration recorded in advance.

【0267】したがって、従来より小さい記録ビットの
再生を行うことが可能になり、記録密度が著しく向上す
る。しかも、再生レーザーパワーを最適化するテスト領
が内外周の一部に設けられているとともに、該テスト
領域において得られた再生レーザーパワーから各半径位
置での再生レーザーパワーを最適化するための最適化
があらかじめ記録されているので、再生時の光磁気デ
ィスクの温度分布をより正確に制御することが可能とな
り、良好な再生が可能となる光磁気ディスクを提供でき
る。
Therefore, it is possible to reproduce recording bits smaller than in the conventional case, and the recording density is remarkably improved. In addition, a test area for optimizing the reproduction laser power is provided in a part of the inner and outer circumferences , and an optimum for optimizing the reproduction laser power at each radial position from the reproduction laser power obtained in the test area. because of information <br/> paper is recorded in advance, it is possible to control the temperature distribution of the magneto-optical disk during reproduction more correctly, can provide a magneto-optical disk that enables a good reproduction.

【0268】請求項2の発明に対応する光磁気ディスク
は、以上のように、情報を光磁気記録する記録層4と、
室温で面内磁化を示す一方、温度上昇に伴い垂直磁化に
移行して、上記記録層4の磁化方向が転写される読み出
し層3とを有しており、記録領域が半径位置に応じた複
数のゾーンに分かれており、各ゾーン毎に再生レーザー
パワーを最適化するテスト領域が形成されている。
The magneto-optical disk according to the second aspect of the present invention has a recording layer 4 for magneto-optically recording information,
A readout layer 3 which shows in-plane magnetization at room temperature, shifts to perpendicular magnetization with an increase in temperature, and transfers the magnetization direction of the recording layer 4, and the recording area is plural in accordance with the radial position. And a test area for optimizing the reproduction laser power is formed for each zone.

【0269】したがって、従来より小さい記録ビットの
再生を行うことが可能になり、記録密度が著しく向上す
る。しかも、記録領域が半径位置に応じた複数のゾーン
に分かれており、各ゾーン毎に再生レーザーパワーを最
適化するテスト領域が形成されているので、再生時の光
磁気ディスクの温度分布をより正確に制御することが可
能となり、良好な再生が可能となる光磁気ディスクを提
供できる。
Therefore, it is possible to reproduce recording bits smaller than before, and the recording density is remarkably improved. Moreover, the recording area has a plurality of zones corresponding to the radial positions.
The reproduction laser power is
The test area to be optimized is
More precise control of magnetic disk temperature distribution
To provide a magneto-optical disk that can perform good reproduction.
Can be provided.

【0270】請求項3の発明に対応する光磁気再生装置
は、以上のように、請求項2に対応する光磁気ディスク
を再生する光磁気再生装置であって、各ゾーン毎に、前
記テスト領域において再生レーザーパワーを最適化す
る。
A magneto-optical reproducing apparatus according to the third aspect of the present invention.
Is a magneto-optical disk according to claim 2 as described above.
A magneto-optical reproducing apparatus for reproducing data in each zone.
Optimizing the playback laser power in the test area
You.

【0271】したがって、請求項2の光磁気ディスクを
用いて、各ゾーン毎に、前記テスト領域において再生レ
ーザーパワーを最適化するので、再生時の光磁気ディス
クの温度分布をより正確に制御することが可能となり、
良好な再生が可能となる光磁気再生装置を提供できる。
Therefore, the magneto-optical disk of claim 2 can be
And the reproduction rate in the test area for each zone.
Optimizes the laser power, so that
Temperature distribution can be controlled more accurately,
It is possible to provide a magneto-optical reproducing device capable of excellent reproduction.

【0272】請求項4の発明に対応する光磁気再生装置
は、以上のように、請求項1に対応する光磁気ディスク
を再生する光磁気再生装置であって、上記最適化情報
と、上記テスト領域において得られた再生レーザーパワ
ーとに基づいて、光磁気ディスクの半径位置に応じて再
生レーザーパワーを変化させる。
[0272] The magneto-optical reproducing device corresponding to the invention of claim 4, as described above, a magneto-optical reproducing apparatus for reproducing the magneto-optical disc corresponding to claim 1, said optimization information
And the reproduction laser power obtained in the test area.
And the reproducing laser power is changed according to the radial position of the magneto-optical disk.

【0273】したがって、再生する光磁気ディスクの半
径位置に応じて、再生レーザーパワーを変化させるの
で、再生時の光磁気ディスクの温度分布をより正確に制
御することが可能となり、良好な再生が可能となる光磁
気再生装置を提供できる。
Accordingly, half of the magneto-optical disk to be reproduced is
Changing the playback laser power according to the diameter position
Control the temperature distribution of the magneto-optical disk during playback more accurately.
Magneto-optical device that can control
An energy regeneration device can be provided.

【0274】[0274]

【発明の効果】請求項1の発明に係る光磁気ディスク
は、以上のように、情報を光磁気記録する記録層と、室
温で面内磁化を示す一方、温度上昇に伴い垂直磁化に移
行して、上記記録層の磁化方向が転写される読み出し層
とを有しているので、従来より小さい記録ビットの再生
を行うことが可能になり、記録密度が著しく向上する。
しかも、再生レーザーパワーを最適化するテスト領域
内外周の一部に設けられているとともに、該テスト領域
において得られた再生レーザーパワーから各半径位置で
の再生レーザーパワーを最適化するための最適化情報
が、あらかじめ記録されているので、再生時の光磁気デ
ィスクの温度分布をより正確に制御することが可能とな
り、良好な再生が可能となる光磁気ディスクを提供でき
るという効果を奏する。
As described above, the magneto-optical disk according to the first aspect of the present invention has a recording layer for magneto-optically recording information and exhibits in-plane magnetization at room temperature, but shifts to perpendicular magnetization as the temperature rises. In addition, since the recording layer has the readout layer to which the magnetization direction of the recording layer is transferred, it is possible to reproduce the recording bit smaller than before, and the recording density is remarkably improved.
Moreover, there is a test area to optimize the reproduction laser power.
Together provided in a part of the inner and outer circumference, optimization information for optimizing the reproducing laser power at each radial position from the reproducing laser power obtained in the test area
There is an effect that pre-recorded have Runode, it becomes possible to more accurately control the temperature distribution of the magneto-optical disk during reproduction, it is possible to provide a magneto-optical disk that enables a good reproduction.

【0275】請求項2の発明に係る光磁気ディスクは、
以上のように、情報を光磁気記録する記録層と、室温で
面内磁化を示す一方、温度上昇に伴い垂直磁化に移行し
て、上記記録層の磁化方向が転写される読み出し層とを
有しているので、従来より小さい記録ビットの再生を行
うことが可能になり、記録密度が著しく向上する。しか
も、記録領域が半径位置に応じた複数のゾーンに分かれ
ており、各ゾーン毎に再生レーザーパワーを最適化する
テスト領域が形成されているので、再生時の光磁気ディ
スクの温度分布をより正確に制御することが可能とな
り、良好な再生が可能となる光磁気ディスクを提供でき
るという効果を奏する。
The magneto-optical disk according to the second aspect of the present invention
As described above, the recording layer that magneto-optically records information and the readout layer that shows in-plane magnetization at room temperature, transitions to perpendicular magnetization as the temperature rises, and transfers the magnetization direction of the recording layer are provided. Therefore, it is possible to reproduce recording bits smaller than before, and the recording density is remarkably improved. In addition, the recording area is divided into a plurality of zones according to the radial position, and a test area for optimizing the reproduction laser power is formed for each zone, so that the temperature distribution of the magneto-optical disk during reproduction can be more accurate. This makes it possible to provide a magneto-optical disk capable of excellent reproduction.

【0276】請求項3の発明に係る光磁気再生装置は、
以上のように、請求項2の光磁気ディスクを用いて、各
ゾーン毎に、前記テスト領域において再生レーザーパワ
ーを最適化するので、再生時の光磁気ディスクの温度分
布をより正確に制御することが可能となり、良好な再生
が可能となる光磁気再生装置を提供できるという効果を
奏する。
The magneto-optical reproducing device according to the third aspect of the present invention
As described above, using the magneto-optical disk of claim 2,
For each zone, the reproduction laser power in the test area
Optimization, the temperature of the magneto-optical disk during
Cloth can be controlled more accurately, and good reproduction
The effect of being able to provide a magneto-optical reproducing device
Play.

【0277】請求項4の発明に係る光磁気再生装置は、
以上のように、請求項1の光磁気ディスクを再生するも
のであって、上記最適化情報と、上記テスト領域におい
て得られた再生レーザーパワーとに基づいて、光磁気デ
ィスクの半径位置に応じて再生レーザーパワーを変化さ
せるので、再生時の光磁気ディスクの温度分布をより正
確に制御することが可能となり、良好な再生が可能とな
る光磁気再生装置を提供できるという効果を奏する。
The magneto-optical reproducing apparatus according to the fourth aspect of the present invention
As described above, the magneto-optical disk of claim 1 is reproduced.
The optimization information and the test area
Since the reproducing laser power is changed according to the radial position of the magneto-optical disk based on the obtained reproducing laser power, the temperature distribution of the magneto-optical disk during reproduction can be more accurately controlled, which is favorable. This provides an effect that a magneto-optical reproducing device capable of performing accurate reproduction can be provided.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の第1実施例を示すものであり、光磁気
ディスクの概略構成及び再生動作を示す説明図である。
FIG. 1, showing a first embodiment of the present invention, is an explanatory diagram showing a schematic configuration of a magneto-optical disk and a reproducing operation.

【図2】図1の光磁気ディスクの読み出し層の磁気特性
を示す磁気状態の説明図である。
FIG. 2 is an explanatory diagram of a magnetic state showing magnetic characteristics of a readout layer of the magneto-optical disk of FIG.

【図3】図2の室温から温度T1において、読み出し層に
印加される外部印加磁界と極カー回転角との関係を示す
説明図である。
In Figure 3 temperatures T 1 from room temperature 2 is an explanatory diagram showing the relationship between the externally applied magnetic field and polar Kerr rotation angle to be applied to the readout layer.

【図4】図2の温度T1から温度T2において、読み出し層
に印加される外部印加磁界と極カー回転角との関係を示
す説明図である。
In Figure 4 temperature T 2 from the temperature T 1 of the 2 is an explanatory diagram showing the relationship between the externally applied magnetic field and polar Kerr rotation angle to be applied to the readout layer.

【図5】図2の温度T2から温度T3において、読み出し層
に印加される外部印加磁界と極カー回転角との関係を示
す説明図である。
In Figure 5 a temperature T 3 from the temperature T 2 in FIG. 2 is an explanatory diagram showing the relationship between the externally applied magnetic field and polar Kerr rotation angle to be applied to the readout layer.

【図6】図2の温度T3キュリー温度Tcにおいて、読み出
し層に印加される外部印加磁界と極カー回転角との関係
を示す説明図である。
FIG. 6 is an explanatory diagram showing a relationship between an externally applied magnetic field applied to a readout layer and a polar Kerr rotation angle at a temperature T 3 Curie temperature Tc in FIG. 2;

【図7】GdX (Fe0.82Co0.18)1-X のキュリー温度(Tc)と
補償温度(Tcomp) の組成依存性を示したグラフである。
FIG. 7 is a graph showing the composition dependence of the Curie temperature (Tc) and the compensation temperature (Tcomp) of Gd X (Fe 0.82 Co 0.18 ) 1-X .

【図8】GdX Fe1-X のキュリー温度(Tc)と補償温度(Tco
mp) の組成依存性を示したグラフである。
FIG. 8: Curie temperature (Tc) and compensation temperature (Tco) of Gd X Fe 1-X
3 is a graph showing the composition dependency of mp).

【図9】GdX Co1-X のキュリー温度(Tc)と補償温度(Tco
mp) の組成依存性を示したグラフである。
FIG. 9 shows Curie temperature (Tc) and compensation temperature (Tco) of Gd X Co 1-X.
3 is a graph showing the composition dependency of mp).

【図10】図1の光磁気ディスクの基板上に形成された
ランド、グループ形状の一例を示す説明図である。
10 is an explanatory diagram showing an example of land and group shapes formed on the substrate of the magneto-optical disk of FIG.

【図11】図1の光磁気ディスクの基板上に形成された
ランド、グループ形状の他の例を示す説明図である。
FIG. 11 is an explanatory view showing another example of the land and group shapes formed on the substrate of the magneto-optical disk of FIG. 1;

【図12】図1の光磁気ディスクの基板上に形成された
ウォブルピットの配置の一例を示す説明図である。
12 is an explanatory diagram showing an example of an arrangement of wobble pits formed on a substrate of the magneto-optical disk of FIG.

【図13】図1の光磁気ディスクの基板上に形成された
ウォブルピットの配置の他の例を示す説明図である。
13 is an explanatory diagram showing another example of the arrangement of wobble pits formed on the substrate of the magneto-optical disk of FIG.

【図14】図1の光磁気ディスクの基板上に形成された
ウォブルリンググルーブの一例を示す説明図である。
FIG. 14 is an explanatory diagram showing an example of a wobble ring groove formed on a substrate of the magneto-optical disk of FIG. 1;

【図15】図1の光磁気ディスクにおける、複数の光ビ
ームを用いた場合の記録再生方法を示す説明図である。
FIG. 15 is an explanatory diagram showing a recording / reproducing method when a plurality of light beams are used in the magneto-optical disk of FIG.

【図16】図1の光磁気ディスクを用いた磁界変調オー
バーライト記録方法を示す説明図である。
FIG. 16 is an explanatory diagram showing a magnetic field modulation overwrite recording method using the magneto-optical disk of FIG. 1;

【図17】図1の光磁気ディスクを用いた光変調オーバ
ーライト記録方法を示すと共に、読み出し層及び記録層
の磁化方法を示す説明図である。
17 is an explanatory diagram showing a light modulation overwrite recording method using the magneto-optical disk of FIG. 1 and showing a method of magnetizing the readout layer and the recording layer.

【図18】図1の光磁気ディスクを用いた光変調オーバ
ーライト記録方法を示すと共に、読み出し層及び記録層
の保持力の温度依存性を示す説明図である。
FIG. 18 is an explanatory diagram showing a light modulation overwrite recording method using the magneto-optical disk of FIG. 1 and showing the temperature dependence of the coercive force of the readout layer and the recording layer.

【図19】図1の光磁気ディスクに対して、光変調オー
バーライト時、および、再生時に照射される光ビームの
強度の一例を表す説明図である。
FIG. 19 is an explanatory diagram showing an example of the intensity of a light beam applied to the magneto-optical disk of FIG. 1 at the time of light modulation overwriting and at the time of reproduction.

【図20】図1の光磁気ディスクに対して、光変調オー
バーライト時、および、再生時に照射される光ビームの
強度の他の例を表す説明図である。
FIG. 20 is an explanatory diagram showing another example of the intensity of the light beam applied to the magneto-optical disk of FIG. 1 at the time of light modulation overwriting and at the time of reproduction.

【図21】図1の光磁気ディスクに対して、光変調オー
バーライト時、および、再生時に照射される光ビームの
強度のその他の例を表す説明図である。
21 is an explanatory diagram showing another example of the intensity of the light beam applied to the magneto-optical disk of FIG. 1 at the time of light modulation overwriting and at the time of reproduction.

【図22】図1の光磁気ディスクの片面タイプを示す説
明図である。
FIG. 22 is an explanatory diagram showing a single-sided type of the magneto-optical disk of FIG. 1;

【図23】図1の光磁気ディスクの両面タイプを示す説
明図である。
FIG. 23 is an explanatory diagram showing a double-sided type of the magneto-optical disk of FIG. 1;

【図24】本発明の第2実施例を示すものであり、光磁
気ディスクの概略の構成図である。
FIG. 24, showing a second embodiment of the present invention, is a schematic configuration diagram of a magneto-optical disk.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 基板(基体) 2 透明誘電体層 3 読み出し層 4 記録層 5 透明誘電体層 6 反射層 7 オーバーコート層 10 接着層 19 記録媒体層 20 放熱層 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Substrate (base) 2 Transparent dielectric layer 3 Readout layer 4 Recording layer 5 Transparent dielectric layer 6 Reflective layer 7 Overcoat layer 10 Adhesive layer 19 Recording medium layer 20 Heat dissipation layer

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 FI G11B 11/10 581 G11B 11/10 581B 586 586C (72)発明者 村上 善照 大阪府大阪市阿倍野区長池町22番22号 シャープ株式会社内 (72)発明者 高橋 明 大阪府大阪市阿倍野区長池町22番22号 シャープ株式会社内 (72)発明者 太田 賢司 大阪府大阪市阿倍野区長池町22番22号 シャープ株式会社内 (56)参考文献 特開 平5−205336(JP,A) 特開 平6−124500(JP,A) 特開 昭60−125937(JP,A) 特開 平2−5221(JP,A) 特開 平6−28675(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.6,DB名) G11B 11/10 506 G11B 11/10 511 G11B 7/00 ──────────────────────────────────────────────────の Continued on the front page (51) Int.Cl. 6 Identification code FI G11B 11/10 581 G11B 11/10 581B 586 586C (72) Inventor Yoshiteru Murakami 22-22 Nagaikecho, Abeno-ku, Osaka-shi, Osaka Sharp Inside (72) Inventor Akira Takahashi 22-22 Nagaikecho, Abeno-ku, Osaka-shi, Osaka Inside Sharp Corporation (72) Inventor Kenji 22-22 Nagaikecho, Abeno-ku, Osaka-shi, Osaka Inside Sharp Corporation (56) JP-A-5-205336 (JP, A) JP-A-6-124500 (JP, A) JP-A-60-125937 (JP, A) JP-A-2-5221 (JP, A) JP-A-6-12521 −28675 (JP, A) (58) Fields investigated (Int. Cl. 6 , DB name) G11B 11/10 506 G11B 11/10 511 G11B 7/00

Claims (4)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】情報を光磁気記録する記録層と、室温で面
内磁化を示す一方、温度上昇に伴い垂直磁化に移行し
て、上記記録層の磁化方向が転写される読み出し層とを
有する光磁気ディスクであって、 再生レーザーパワーを最適化するテスト領域が内外周の
一部に設けられているとともに、 該テスト領域において得られた再生レーザーパワーから
各半径位置での再生レーザーパワーを最適化するための
最適化情報が、あらかじめ記録されていることを特徴と
する光磁気ディスク。
1. A recording layer for magneto-optically recording information, and a readout layer which exhibits in-plane magnetization at room temperature, shifts to perpendicular magnetization with an increase in temperature, and transfers the magnetization direction of the recording layer. a magneto-optical disk, a test area to optimize the reproduction laser power is within the outer periphery of the
A part of which is provided to optimize the reproduction laser power at each radial position from the reproduction laser power obtained in the test area.
Optimization information, the magneto-optical disk, characterized that you have been pre-recorded.
【請求項2】情報を光磁気記録する記録層と、室温で面
内磁化を示す一方、温度上昇に伴い垂直磁化に移行し
て、上記記録層の磁化方向が転写される読み出し層とを
有する光磁気ディスクであって、 記録領域が半径位置に応じた複数のゾーンに分かれてお
り、 各ゾーン毎に再生レーザーパワーを最適化するテスト領
域が形成されていることを特徴とする光磁気ディスク。
2. A recording layer for magneto-optically recording information, and a readout layer which shows in-plane magnetization at room temperature, shifts to perpendicular magnetization with an increase in temperature, and transfers the magnetization direction of the recording layer. A magneto-optical disk, wherein a recording area is divided into a plurality of zones corresponding to radial positions, and a test area for optimizing a reproduction laser power is formed for each zone.
【請求項3】請求項2記載の光磁気ディスクを再生する
光磁気再生装置であって、 各ゾーン毎に、前記テスト領域において再生レーザーパ
ワーを最適化することを特徴とする光磁気再生装置。
3. A magneto-optical reproducing apparatus for reproducing a magneto-optical disk according to claim 2, wherein a reproducing laser power is optimized in said test area for each zone.
【請求項4】請求項1記載の光磁気ディスクを再生する
光磁気再生装置であって、上記最適化情報と、上記テスト領域において得られた再
生レーザーパワーとに基づいて、 光磁気ディスクの半径
位置に応じて再生レーザーパワーを変化させることを特
徴とする光磁気再生装置。
4. A magneto-optical reproducing apparatus for reproducing a magneto-optical disk according to claim 1 , wherein said optimization information and the reproduction information obtained in said test area are reproduced.
A magneto-optical reproducing apparatus characterized in that a reproducing laser power is changed according to a radial position of a magneto-optical disk based on raw laser power .
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