JP2006076065A - Liquid drop ejector, method for manufacturing electrooptical device, electrooptical device, and electronic apparatus - Google Patents

Liquid drop ejector, method for manufacturing electrooptical device, electrooptical device, and electronic apparatus Download PDF

Info

Publication number
JP2006076065A
JP2006076065A JP2004260996A JP2004260996A JP2006076065A JP 2006076065 A JP2006076065 A JP 2006076065A JP 2004260996 A JP2004260996 A JP 2004260996A JP 2004260996 A JP2004260996 A JP 2004260996A JP 2006076065 A JP2006076065 A JP 2006076065A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
color
functional
axis
droplet discharge
substrate
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2004260996A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Kenji Kojima
健嗣 小島
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Seiko Epson Corp
Original Assignee
Seiko Epson Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Seiko Epson Corp filed Critical Seiko Epson Corp
Priority to JP2004260996A priority Critical patent/JP2006076065A/en
Publication of JP2006076065A publication Critical patent/JP2006076065A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a liquid drop ejector in which a plurality of functional liquid drop ejection heads for respective colors can be supported precisely in a writing area. <P>SOLUTION: The liquid drop ejector 1 comprises a plurality of carriage units 5 for respective colors mounting a plurality of functional liquid drop ejection heads 4 for respective colors on respective carriages 28, an X-axis table 2 for mounting a substrate W and moving it in the X-axis direction, and a plurality of Y-axis tables 6 for respective colors for moving the carriage units 5 for respective color in the Y-axis direction between respective writing areas 8 and a waiting area 11 for maintaining each carriage unit 5. <P>COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

Description

本発明は、複数の画素領域を有する基板に対し、色別の機能液を導入した色別複数の機能液滴吐出ヘッドを相対的に移動させながら描画を行う液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置、および電子機器に関するものである。   The present invention relates to a droplet discharge device and an electro-optical device that perform drawing while relatively moving a plurality of color-specific functional droplet discharge heads into which color-specific functional liquids are introduced relative to a substrate having a plurality of pixel regions. The present invention relates to a manufacturing method, an electro-optical device, and an electronic apparatus.

従来、インクジェット記録装置として、ラインプリント方式でカラー印刷が可能なものが知られている(例えば、特許文献1参照)。このインクジェット記録装置は、イエロー、マゼンタ、シアン、ブラックにそれぞれ対応するとともに、記録可能範囲に亘って細長に形成された計4個のインクジェットヘッドと、記録紙を送る紙送りローラと、を有している。そして、紙送りローラにより主走査方向へ送られる記録紙に対し、計4個のインクジェットヘッドがインク滴を吐出することで、ラインプリント方式によりカラー印刷がなされるようになっている。   2. Description of the Related Art Conventionally, inkjet recording apparatuses that can perform color printing by a line printing method are known (see, for example, Patent Document 1). This ink jet recording apparatus corresponds to yellow, magenta, cyan, and black, respectively, and has a total of four ink jet heads that are formed in an elongated shape over the recordable range, and a paper feed roller that feeds the recording paper. ing. Then, a total of four inkjet heads eject ink droplets onto the recording paper fed in the main scanning direction by the paper feed roller, so that color printing is performed by the line printing method.

ところで、上記装置に用いられるインクジェット法は、液晶表示装置等のカラーフィルタの製造装置にも応用されることが周知であり、上記の装置構成をそのままカラーフィルタ製造装置、すなわち液滴吐出装置に転用することが考えられる。すなわち、R、G、B3色の機能液(フィルタ材料)にそれぞれ対応する計3個の機能液滴吐出ヘッドおよびこれを搭載するキャリッジを、それぞれ記録(描画)可能範囲である描画エリアに亘って長細に形成し、ラインプリント方式で描画を行う構成が考えられる。
特開平11−142643号公報
By the way, it is well known that the ink jet method used in the above apparatus is also applied to a color filter manufacturing apparatus such as a liquid crystal display device, and the above apparatus configuration is used as it is for a color filter manufacturing apparatus, that is, a droplet discharge apparatus. It is possible to do. That is, a total of three functional liquid droplet ejection heads corresponding to the R, G, and B color functional liquids (filter materials) and a carriage on which the functional liquid droplet ejection heads are mounted extend over a drawing area that is a recordable (drawing) range. A configuration in which a long and thin line is drawn is conceivable.
Japanese Patent Laid-Open No. 11-142463

このような液滴吐出装置にあって、大型の基板を描画対象とするものにおいては、並列に載置された複数の機能液滴吐出ヘッドの重量と、これらを支持するキャリッジの自重とによりキャリッジが撓んで、機能液滴吐出ヘッドと基板間のワークギャップが均一にならなくなってしまう問題がある。そして、キャリッジの剛性を高めるために厚手のキャリッジにすると、キャリッジ重量の増加に起因してこれを支持する機構の強度を高める必要があり、装置全体として重量増加してしまう問題がある。   In such a droplet discharge device, in which a large substrate is to be drawn, the carriage is determined by the weight of a plurality of functional droplet discharge heads placed in parallel and the weight of the carriage supporting them. Has a problem that the work gap between the functional liquid droplet ejection head and the substrate does not become uniform. When a thick carriage is used to increase the rigidity of the carriage, it is necessary to increase the strength of the mechanism that supports the carriage due to an increase in the weight of the carriage, which increases the weight of the entire apparatus.

本発明は、色別複数の機能液滴吐出ヘッドを描画エリアにおいて精度良く支持することができる液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置、および電子機器を提供することを課題とする。   It is an object of the present invention to provide a droplet discharge device, a method for manufacturing an electro-optical device, an electro-optical device, and an electronic apparatus that can accurately support a plurality of functional droplet discharge heads for different colors in a drawing area. To do.

本発明の液滴吐出装置は、複数の画素領域を有する基板に対し、色別の機能液を導入した色別複数の機能液滴吐出ヘッドを相対的に移動させながら、描画エリアにおいて複数の画素領域に配色パターンに基づいて機能液滴を吐出・着弾させて描画処理を行う液滴吐出装置であって、色別複数の機能液滴吐出ヘッドをそれぞれキャリッジに搭載した色別複数のキャリッジユニットと、基板を搭載すると共に基板をX軸方向に移動させるX軸テーブルと、色別の各キャリッジユニットを、それぞれ描画エリアと各キャリッジユニットを保守するための待機エリアとの間でY軸方向に移動させる色別複数のY軸テーブルと、を備えたことを特徴とする。   The droplet discharge device according to the present invention has a plurality of pixels in a drawing area while relatively moving a plurality of color-specific functional droplet discharge heads into which a color-specific functional liquid is introduced with respect to a substrate having a plurality of pixel regions. A droplet discharge device that performs drawing processing by discharging and landing functional droplets on a region based on a color arrangement pattern, and a plurality of color-specific carriage units each having a plurality of color-specific function droplet discharge heads mounted on a carriage, The X-axis table for mounting the substrate and moving the substrate in the X-axis direction, and each carriage unit for each color are moved in the Y-axis direction between the drawing area and the standby area for maintaining each carriage unit. And a plurality of Y-axis tables for each color.

この構成によれば、色別複数の機能液滴吐出ヘッドは、色別に複数のキャリッジユニットにキャリッジを介して搭載され、これら色別複数のキャリッジユニットがそれぞれ色別に複数のY軸テーブルに搭載される。すなわち、各キャリッジユニットは、対応するY軸テーブルにそれぞれ支持されることになり、各Y軸テーブルが支持するキャリッジユニットの重量を軽減することができ、機能液滴吐出ヘッド−基板間のワークギャップ等を精度よく管理することができる。また、各キャリッジユニットの重量を軽減することができるため、慣性の影響を低減することができ、各Y軸テーブルに設ける加速領域および減速領域を小さくすることができる。さらに、各キャリッジユニットの重量が軽減されれば、各キャリッジユニットの着脱を容易に行うことができ、各キャリッジユニットの着脱による複数の機能液滴吐出ヘッドの一括交換を効率的に行うことができる。   According to this configuration, the plurality of functional droplet discharge heads for each color are mounted on the plurality of carriage units for each color via the carriage, and the plurality of carriage units for each color are respectively mounted on the plurality of Y-axis tables for each color. The That is, each carriage unit is supported by the corresponding Y-axis table, so that the weight of the carriage unit supported by each Y-axis table can be reduced, and the work gap between the functional liquid droplet ejection head and the substrate is reduced. Etc. can be managed with high accuracy. Further, since the weight of each carriage unit can be reduced, the influence of inertia can be reduced, and the acceleration region and the deceleration region provided in each Y-axis table can be reduced. Further, if the weight of each carriage unit is reduced, each carriage unit can be easily attached and detached, and a plurality of functional liquid droplet ejection heads can be efficiently exchanged by attaching and detaching each carriage unit. .

この場合、色別の各キャリッジユニットは、それぞれが色別複数の機能液滴吐出ヘッドを搭載した複数の部分ユニットで構成されており、色別の各Y軸テーブルは、複数の部分ユニットをY軸方向に個々に移動可能に構成されていることが、好ましい。   In this case, each carriage unit for each color is composed of a plurality of partial units each equipped with a plurality of functional liquid droplet ejection heads for each color, and each Y-axis table for each color includes a plurality of partial units for Y. It is preferable to be configured to be individually movable in the axial direction.

この構成によれば、基板幅(Y軸方向の長さ)の異なる複数種類の基板に対し、最適な数の部分ユニットを描画エリアに移動させ、これらにより描画を行うことができる。このため、描画に用いない部分ユニットを待機エリアに移動させ保守状態で保持することができる。   According to this configuration, an optimum number of partial units can be moved to the drawing area and drawing can be performed on a plurality of types of substrates having different substrate widths (lengths in the Y-axis direction). For this reason, the partial units not used for drawing can be moved to the standby area and held in the maintenance state.

この場合、色別の各キャリッジユニットは、基板に対しラインプリント方式で描画可能に構成されていることが、好ましい。   In this case, it is preferable that each color-specific carriage unit is configured to be able to draw on the substrate by a line printing method.

この構成によれば、1回の主走査で複数色の機能液による基板全域に対する描画を行うことができ、基板の描画処理にかかるタクトタイムを短縮することができる。   According to this configuration, it is possible to perform drawing on the entire area of the substrate with a plurality of color functional liquids in one main scan, and it is possible to reduce the tact time required for the drawing process of the substrate.

この場合、色別複数のY軸テーブルに対応する複数の待機エリアが、描画エリアを挟んで千鳥状に位置するように、色別複数のY軸テーブルが配設されていることが、好ましい。   In this case, it is preferable that the plurality of color-specific Y-axis tables are arranged so that the plurality of standby areas corresponding to the color-specific Y-axis tables are positioned in a staggered manner with the drawing area interposed therebetween.

この構成によれば、待機エリアが千鳥状に配置されるようにY軸テーブルが配設されるため、待機エリアにおいてY軸テーブル廻りに作業スペースが確保され、キャリッジユニットのメンテナンスを効率的に行うことができる。   According to this configuration, since the Y-axis table is arranged so that the standby areas are arranged in a staggered manner, a work space is secured around the Y-axis table in the standby area, and the carriage unit is efficiently maintained. be able to.

この場合、各待機エリアには、各機能液滴吐出ヘッドを機能維持状態に保管する保管ユニットと、各機能液滴吐出ヘッドのノズル面をワイピングするワイピングユニットと、を有するメンテナンス装置がそれぞれ配設されていることが、好ましい。   In this case, a maintenance device having a storage unit for storing each functional liquid droplet ejection head in a function maintaining state and a wiping unit for wiping the nozzle surface of each functional liquid droplet ejection head is disposed in each standby area. It is preferable that

この構成によれば、待機エリアに移動した各機能液滴吐出ヘッドを、保管ユニットにより機能維持状態に保持すると共に、ワイピングユニットによりその機能回復を図ることができる。また、メンテナンス装置が色別の各Y軸テーブルに対応して設けられ、保管ユニットおよびワイピングユニットにおいて同色の機能液を導入した機能液滴吐出ヘッドのみが取り扱われるため、機能液の混色を確実に防止することができる。   According to this configuration, each functional liquid droplet ejection head that has moved to the standby area can be maintained in a function maintaining state by the storage unit, and its function can be recovered by the wiping unit. In addition, a maintenance device is provided for each Y-axis table for each color, and only the functional liquid droplet ejection head into which the functional liquid of the same color is introduced is handled in the storage unit and the wiping unit. Can be prevented.

本発明の電気光学装置の製造方法は、上記の液滴吐出装置を用い、ワークに機能液滴による成膜部を形成することを特徴とする。   A method for manufacturing an electro-optical device according to the present invention is characterized in that a film-forming portion made of functional droplets is formed on a workpiece using the above-described droplet discharge device.

また、本発明の電気光学装置は、上記の液滴吐出装置を用い、ワークに機能液滴による成膜部を形成したことを特徴とする。   In addition, an electro-optical device according to the present invention is characterized in that the above-described droplet discharge device is used, and a film forming portion using functional droplets is formed on a workpiece.

これらの構成によれば、ワークギャップを適切に管理した液滴吐出装置を用いるため、効率よく電気光学装置を製造することが可能となる。なお、電気光学装置(フラットパネルディスプレイ)としては、カラーフィルタ、液晶表示装置、有機EL装置、PDP装置、電子放出装置等が考えられる。なお、電子放出装置は、いわゆるFED(Field Emission Display)やSED(Surface-conduction Electron-Emitter Display)装置を含む概念である。さらに、電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等を包含する装置が考えられる。   According to these configurations, since the droplet discharge device that appropriately manages the work gap is used, the electro-optical device can be efficiently manufactured. As the electro-optical device (flat panel display), a color filter, a liquid crystal display device, an organic EL device, a PDP device, an electron emission device, and the like are conceivable. The electron emission device is a concept including a so-called FED (Field Emission Display) or SED (Surface-conduction Electron-Emitter Display) device. Further, as the electro-optical device, devices including metal wiring formation, lens formation, resist formation, light diffuser formation, and the like are conceivable.

本発明の電子機器は、上記の電気光学装置の製造方法により製造した電気光学装置または上記の電気光学装置を搭載したことを特徴とする。   An electronic apparatus according to an aspect of the invention includes the electro-optical device manufactured by the above-described electro-optical device manufacturing method or the above-described electro-optical device.

この場合、電子機器としては、いわゆるフラットパネルディスプレイを搭載した携帯電話、パーソナルコンピュータの他、各種の電気製品がこれに該当する。   In this case, the electronic apparatus corresponds to various electric products in addition to a mobile phone and a personal computer equipped with a so-called flat panel display.

以下、添付の図面を参照して、実施形態にかかる液滴吐出装置について説明する。本実施形態の液滴吐出装置は、いわゆるフラットパネルディスプレイの製造ラインに組み込まれ、機能液滴吐出ヘッドを用いた液滴吐出法(インクジェット法)により、R、G、B3色のフィルタ材料(機能液)を吐出して、液晶表示装置や有機EL装置等のカラーフィルタを単一の装置で形成(3色描画)するものである。   Hereinafter, a droplet discharge device according to an embodiment will be described with reference to the accompanying drawings. The droplet discharge device of the present embodiment is incorporated in a so-called flat panel display production line, and R, G, B3 color filter materials (functions) by a droplet discharge method (inkjet method) using a functional droplet discharge head. Liquid) is discharged, and a color filter such as a liquid crystal display device or an organic EL device is formed by a single device (three-color drawing).

図1および図2に示すように、本実施形態の液滴吐出装置1は、描画対象とする基板W(ワーク)を搭載すると共にこれをX軸方向に移動させるX軸テーブル2と、X軸テーブル2を跨いでこれと直交するようにそれぞれ配設した、紙面上側のR色Y軸ユニット3r、紙面中間のG色Y軸ユニット3g、および紙面下側のB色Y軸ユニット3bと、を備え、各色のY軸ユニット3r、3g、3bには、色別の(R色、G色、B色)機能液滴吐出ヘッド4r、4g、4b(図3参照)を有する色別の(R色、G色、B色)キャリッジユニット5r、5g、5bがそれぞれ搭載されている。また、液滴吐出装置1は、装置全体を覆うチャンバ装置と、上記の各構成装置を統括的に制御する制御装置と、を備えている(いずれも図示省略)。   As shown in FIGS. 1 and 2, a droplet discharge device 1 according to the present embodiment includes an X-axis table 2 on which a substrate W (work) to be drawn is mounted and moved in the X-axis direction, and an X-axis. An R color Y-axis unit 3r on the upper side of the paper, a G color Y-axis unit 3g in the middle of the paper, and a B color Y-axis unit 3b on the lower side of the paper, which are arranged so as to cross the table 2 and to be orthogonal thereto, The Y-axis units 3r, 3g, and 3b for each color have color (R, G, and B) functional liquid droplet ejection heads 4r, 4g, and 4b (see FIG. 3). Color, G color, B color) carriage units 5r, 5g, and 5b are mounted. In addition, the droplet discharge device 1 includes a chamber device that covers the entire device and a control device that controls the above-described constituent devices in an integrated manner (all not shown).

R色Y軸ユニット3rは、R色キャリッジユニット5rをY軸方向に移動させるR色Y軸テーブル6rと、R色キャリッジユニット5rのメンテナンスに供するR色メンテナンス装置7rとを有している。同様に、G色Y軸ユニット3gは、G色Y軸テーブル6gと、G色メンテナンス装置7gとを有し、またB色Y軸ユニット3bは、B色Y軸テーブル6bと、B色メンテナンス装置7bとを有している。   The R color Y axis unit 3r includes an R color Y axis table 6r for moving the R color carriage unit 5r in the Y axis direction, and an R color maintenance device 7r for maintenance of the R color carriage unit 5r. Similarly, the G color Y axis unit 3g includes a G color Y axis table 6g and a G color maintenance device 7g, and the B color Y axis unit 3b includes a B color Y axis table 6b and a B color maintenance device. 7b.

同図に示すように、各色のY軸ユニット3r〜bは、X軸テーブル2を中心に左右方向(Y軸方向)に互い違いに、すなわち、R色Y軸ユニット3rおよびB色Y軸ユニット3bに対し、中間のG色Y軸ユニット3gのみ左右逆向きに配設されている。この場合、X軸テーブル2に対し各色のY軸ユニット3r〜bがそれぞれ交差する領域、すなわちX軸テーブル2により基板が移動する領域は描画エリア8となっており、この描画エリア8に臨んだ各色のキャリッジユニット5r〜5bにより、基板Wに描画が行われる。   As shown in the figure, the Y-axis units 3r to 3b for each color are staggered in the left-right direction (Y-axis direction) around the X-axis table 2, that is, the R-color Y-axis unit 3r and the B-color Y-axis unit 3b. On the other hand, only the intermediate G-color Y-axis unit 3g is disposed in the opposite direction. In this case, a region where the Y-axis units 3r to 3b of each color intersect with the X-axis table 2, that is, a region where the substrate moves by the X-axis table 2 is a drawing area 8, which faces this drawing area 8. Drawing is performed on the substrate W by the carriage units 5r to 5b of the respective colors.

また、X軸テーブル2に対し各色のY軸テーブル6r〜bがY軸方向に突出した領域は、それぞれ待機エリア(メンテナンスエリア)11r、11g、11bとなっており、描画エリア8を挟んで千鳥状に配置したこれら3つの待機エリア11r〜bにそれぞれ臨んだ各色のキャリッジユニット5r〜bに対し、上記のR、G、B各色のメンテナンス装置7r〜bにより機能液滴吐出ヘッド4の保守(メンテナンス)が行われる。このように、3つの待機エリア11r〜bを交互(千鳥)に配置することにより、各色のメンテナンス装置7r〜bの周囲に十分な作業スペースが構成され、作業者がメンテナンス装置7r〜bに臨むキャリッジユニット5r〜bに容易にアクセス(メンテナンス)できるようになっている。   In addition, the areas where the Y-axis tables 6r to 6b of the respective colors protrude in the Y-axis direction with respect to the X-axis table 2 are standby areas (maintenance areas) 11r, 11g, and 11b, respectively. Maintenance of the functional liquid droplet ejection head 4 by the R, G, and B color maintenance devices 7r to 7b for the respective color carriage units 5r to 5b facing the three standby areas 11r to 11b arranged in a shape Maintenance) is performed. In this way, by arranging the three standby areas 11r-b alternately (staggered), a sufficient work space is formed around the maintenance devices 7r-b for each color, and the worker faces the maintenance devices 7r-b. The carriage units 5r to 5b can be easily accessed (maintenance).

そして、チャンバ装置によって保たれるドライエアーや不活性ガスの雰囲気において、描画エリア8に基板Wが導入されると、各色のY軸テーブル6r〜bのキャリッジユニット5r〜bがそれぞれ描画エリア8に臨み、基板WをX軸方向に移動(主走査)させながら描画処理が行われる。描画処理の終了後、必要に応じて、各色のキャリッジユニット5r〜bは、それぞれ待機エリア11r〜bに移動して、各色のメンテナンス装置7r〜bにより機能液滴吐出ヘッド4r〜bの機能回復が図られる。なお、液滴吐出装置1には、各機能液滴吐出ヘッド4の位置認識を行うヘッド認識カメラ(図示省略)や、基板Wを位置認識するための一対のワーク認識カメラ(図示省略)等の各種の装置が備えられている。   When the substrate W is introduced into the drawing area 8 in an atmosphere of dry air or inert gas maintained by the chamber apparatus, the carriage units 5r to b of the Y-axis tables 6r to 6b for the respective colors are respectively placed in the drawing area 8. Then, drawing processing is performed while moving the substrate W in the X-axis direction (main scanning). After completion of the drawing process, the carriage units 5r to 5b for each color move to the standby areas 11r to 11b, respectively, and the function recovery of the functional liquid droplet ejection heads 4r to 4b is performed by the maintenance devices 7r to 7b for each color. Is planned. The droplet discharge device 1 includes a head recognition camera (not shown) for recognizing the position of each functional droplet discharge head 4 and a pair of workpiece recognition cameras (not shown) for recognizing the position of the substrate W. Various devices are provided.

以下、X軸テーブル2と、各色のY軸ユニット3r〜bと、についてそれぞれ説明するが、各色のY軸ユニット3r〜bは、G色Y軸ユニット3gのみ逆向きであるものの、いずれも同形態であるため、本実施形態では、R色Y軸ユニット3rについてのみ説明し、G色Y軸ユニット3gおよびB色Y軸ユニット3bの説明については省略する。なお、説明では必要な場合を除き「R色」の語を省略する。   Hereinafter, the X-axis table 2 and the Y-axis units 3r to 3b for each color will be described. The Y-axis units 3r to 3b for each color are opposite to each other only in the G-color Y-axis unit 3g. In this embodiment, only the R color Y axis unit 3r will be described, and description of the G color Y axis unit 3g and the B color Y axis unit 3b will be omitted. In the description, the word “R color” is omitted unless necessary.

X軸テーブル2は、基板Wを吸着載置する吸着テーブル12および吸着テーブル12をZ軸廻りに回転自在に支持するθテーブル(図示省略)からなるセットテーブル14と、セットテーブル14をX軸方向にスライド自在に支持するX軸スライダ15と、X軸方向に延在し、X軸スライダ15のスライドをガイドする一対のX軸ガイドレール16、16と、一対のX軸ガイドレール16、16を支持固定する石定盤17と、X軸スライダ15を駆動するX軸リニアモータ(図示省略)と、セットテーブル14の位置を把握するためのX軸リニアスケール(図示省略)と、を有している。一対のX軸ガイドレール16、16および石定盤17は、R、G、B色Y軸ユニット3r〜bに亘って縦長の略長方形に形成されている。   The X-axis table 2 includes a set table 14 including a suction table 12 for sucking and mounting the substrate W, a θ table (not shown) that rotatably supports the suction table 12 around the Z axis, and the set table 14 in the X-axis direction. An X-axis slider 15 that is slidably supported on the X-axis, a pair of X-axis guide rails 16 and 16 that extend in the X-axis direction and guide the slide of the X-axis slider 15, and a pair of X-axis guide rails 16 and 16 A stone surface plate 17 for supporting and fixing, an X-axis linear motor (not shown) for driving the X-axis slider 15, and an X-axis linear scale (not shown) for grasping the position of the set table 14. Yes. The pair of X-axis guide rails 16 and 16 and the stone surface plate 17 are formed in a substantially rectangular shape extending vertically over the R, G, B color Y-axis units 3r to 3b.

X軸リニアモータが駆動すると、X軸スライダ15はX軸ガイドレール16、16に沿ってX軸方向にスライドし、吸着テーブル12上に載置された基板Wが、R、G、B色Y軸ユニット3r〜bに順次臨むように、主走査方向であるX軸方向に往復動する。なお、セットテーブル14には、そのX軸方向前後に描画の直前にフラッシングを行う一対の描画前フラッシングユニット18が設けられている(図6、図7参照)。   When the X-axis linear motor is driven, the X-axis slider 15 slides in the X-axis direction along the X-axis guide rails 16, 16, and the substrate W placed on the suction table 12 becomes R, G, B color Y It reciprocates in the X-axis direction, which is the main scanning direction, so as to sequentially face the shaft units 3r-b. The set table 14 is provided with a pair of pre-drawing flushing units 18 that perform flushing immediately before and after drawing before and after the X-axis direction (see FIGS. 6 and 7).

R色Y軸ユニット3rは、R色機能液滴吐出ヘッド4rをY軸方向に移動させるY軸テーブル6rと、R色機能液滴吐出ヘッドの保守に供するメンテナンス装置7rと、を有している。Y軸テーブル6rは、X軸テーブル2を挟んで立設された複数組の支持スタンド21rと、複数組の支持スタンド21rに掛渡され、Y軸方向に延在するガイドレールを(図示省略)を有する一対のY軸フレーム22r、22rと、Y軸フレーム22r、22r上を移動可能に構成されるR色キャリッジユニット5rと、を有している。また、R色キャリッジユニット5rは、Y軸フレーム22r、22r上を移動可能な7個(複数)の部分ユニット23rにより構成されている。   The R color Y-axis unit 3r includes a Y-axis table 6r that moves the R-color functional droplet discharge head 4r in the Y-axis direction, and a maintenance device 7r that serves for maintenance of the R-color functional droplet discharge head. . The Y-axis table 6r is provided with a plurality of sets of support stands 21r erected with the X-axis table 2 interposed therebetween, and guide rails (not shown) that extend over the plurality of sets of support stands 21r and extend in the Y-axis direction. A pair of Y-axis frames 22r, 22r and an R-color carriage unit 5r configured to be movable on the Y-axis frames 22r, 22r. The R-color carriage unit 5r includes seven (plural) partial units 23r that can move on the Y-axis frames 22r and 22r.

なお、隣接するR色Y軸テーブル6rの一方のY軸フレーム22rとG色Y軸テーブル6gの一方のY軸フレーム22g、およびG色Y軸テーブル6gの他方のY軸フレーム22rとB色Y軸テーブル6bの一方のY軸フレーム22bは、それぞれ共通部品として一体に形成されている。   One Y-axis frame 22r of the adjacent R color Y-axis table 6r, one Y-axis frame 22g of the G color Y-axis table 6g, and the other Y-axis frame 22r of the G color Y-axis table 6g and the B color Y One Y-axis frame 22b of the axis table 6b is integrally formed as a common component.

各部分ユニット23rは、Y軸フレーム22r、22rにスライド自在に支持されるY軸スライダ(図示省略)と、Y軸スライダを駆動するY軸リニアモータ(図示省略)と、Y軸スライダを介して一対のY軸フレーム22r、22r間に掛け渡されたブリッジプレート24rと、各ブリッジプレート24rに吊設されそれぞれ機能液滴吐出ヘッド4rを搭載するユニット本体25rと、を有している。7個の部分ユニット23rには、最も描画エリア8側に位置する第1部分ユニット23raから順に第7部分ユニット23rgまでが存在している。   Each partial unit 23r includes a Y-axis slider (not shown) that is slidably supported by the Y-axis frames 22r and 22r, a Y-axis linear motor (not shown) that drives the Y-axis slider, and a Y-axis slider. A bridge plate 24r spanned between the pair of Y-axis frames 22r and 22r, and a unit main body 25r suspended from each bridge plate 24r and mounted with the functional liquid droplet ejection head 4r, respectively. The seven partial units 23r include the first partial unit 23ra located closest to the drawing area 8 to the seventh partial unit 23rg.

Y軸フレーム22r、22rは、石材(石定盤)等により構成されると共に、複数組の支持スタンド21rによって強固に支持され、7個の部分ユニット23rを安定的に支持できるようになっている。また、図示省略したが、ブリッジプレート24rは、両側にリブ片を有する断面コ字状の金属材により形成されており、部分ユニット23rの加重によっても撓まない、十分な剛性を有するように形成されている。   The Y-axis frames 22r, 22r are made of stone (stone surface plate) or the like, and are firmly supported by a plurality of sets of support stands 21r, so that the seven partial units 23r can be stably supported. . Although not shown, the bridge plate 24r is made of a metal material having a U-shaped cross section having rib pieces on both sides, and has sufficient rigidity so as not to be bent by the load of the partial unit 23r. Has been.

そして、Y軸リニアモータが駆動すると、Y軸スライダはブリッジプレート24r(およびこれに吊設されるユニット本体25r)と共にY軸フレーム22r上を移動する。この場合、第1から第7部分ユニット23ra〜rgは、その駆動を個々に制御されY軸方向に個々に往復移動できるようになっている。   When the Y-axis linear motor is driven, the Y-axis slider moves on the Y-axis frame 22r together with the bridge plate 24r (and the unit body 25r suspended from the bridge plate 24r). In this case, the first to seventh partial units 23ra to rg are individually controlled in their drive, and can individually reciprocate in the Y-axis direction.

各ユニット本体25rは、ブリッジプレート24rに吊設した垂設フレーム26rと、垂設フレーム26rの下部に組み込んだθ軸回転機構26raと、θ軸回転機構26raの下端に設けられたキャリッジ28rと、キャリッジ28rに搭載した12個の機能液滴吐出ヘッド4rと、ブリッジプレート24rに吊設した機能液供給ユニット31r(図3参照)と、を有している。また、ブリッジプレート24r上には、部分ユニット23r毎に設けられた複数の機能液滴吐出ヘッド4rを駆動する電装ユニット(図示省略)が、設けられている。   Each unit body 25r includes a suspended frame 26r suspended from the bridge plate 24r, a θ-axis rotating mechanism 26ra incorporated in a lower portion of the suspended frame 26r, a carriage 28r provided at the lower end of the θ-axis rotating mechanism 26ra, There are twelve functional liquid droplet ejection heads 4r mounted on the carriage 28r, and a functional liquid supply unit 31r (see FIG. 3) suspended from the bridge plate 24r. On the bridge plate 24r, an electrical unit (not shown) for driving the plurality of functional liquid droplet ejection heads 4r provided for each partial unit 23r is provided.

図3は、各ユニット本体25rに1個ずつ搭載される、計7個のキャリッジ28rおよび計7個の機能液供給ユニット31rを示したものである。同図に示すように、キャリッジ28rは、ステンレス等から成る平行四辺形の厚板状のヘッドプレート32rと、ヘッド保持部材(図示省略)を介してヘッドプレート32rに搭載される12個の色別の機能液滴吐出ヘッド4rと、を有している。各機能液滴吐出ヘッド4rは、その下部をヘッドプレート32rの下方に突出させるようにして搭載されている。   FIG. 3 shows a total of seven carriages 28r and a total of seven functional liquid supply units 31r, one mounted on each unit body 25r. As shown in the figure, the carriage 28r includes a parallelogram thick plate head plate 32r made of stainless steel or the like, and twelve different color mounted on the head plate 32r via a head holding member (not shown). Functional droplet discharge head 4r. Each functional liquid droplet ejection head 4r is mounted such that its lower part protrudes below the head plate 32r.

各ヘッドプレート32rにおいて、12個の色別の機能液滴吐出ヘッド4rは、これらの全ノズル列33r(図4参照)で色別の1の描画ライン(部分描画ライン)を構成すべく、そのノズル列33rが連続するように(実際には、Y軸方向において一部重複している)、平面視階段状にそれぞれ位置ずれして配設されている。また、隣接するヘッドプレート32r間においても、端部に位置する機能液滴吐出ヘッド4r同士は、そのノズル列33rが連続し(この場合も、実際には、一部がY軸方向において重複している)、複数の部分ユニット23r(キャリッジユニット5r)全体としても1の描画ラインが形成されるようになっている。   In each head plate 32r, the twelve color-specific functional liquid droplet ejection heads 4r have their entire nozzle row 33r (see FIG. 4) configured to form one color-specific drawing line (partial drawing line). The nozzle rows 33r are arranged so as to be displaced in a staircase pattern in plan view so that the nozzle rows 33r are continuous (actually partly overlap in the Y-axis direction). Also, between the adjacent head plates 32r, the functional liquid droplet ejection heads 4r located at the end portions of the nozzle rows 33r are continuous (in this case also, some of them actually overlap in the Y-axis direction). However, one drawing line is formed as a whole of the plurality of partial units 23r (carriage unit 5r).

図4に示すように、各機能液滴吐出ヘッド4rは、機能液滴を吐出する多数(例えば180個)のノズル34rをそのノズル面35rに有しており、それら多数のノズル34rが半ピッチずれた2列のノズル列33rを形成している。更に、機能液滴吐出ヘッド4rは、これらのノズル列33rに対応した一対のヘッド内流路36rと、ヘッド内流路36rに面して設けられたキャビティ(ピエゾ圧電素子)(図示省略)と、ヘッド内流路36rに連なる一対の機能液導入口37rと、を有している。初期充填工程においては、ノズル吸引によりこれら各機能液導入口37rから機能液が流入し、ヘッド内流路36rは機能液によって満たされる。そしてキャビティがポンプ作用を発揮し吐出駆動すると、ノズル34rは、ヘッド内流路36rの機能液を吐出する(機能液滴の吐出)。この機能液の吐出により、機能液を消費した機能液滴吐出ヘッド4rは、機能液供給ユニット31rからヘッド内流路36rに新たな機能液の供給を受ける。   As shown in FIG. 4, each functional liquid droplet ejection head 4r has a large number (for example, 180) of nozzles 34r for ejecting functional liquid droplets on its nozzle surface 35r, and the large number of nozzles 34r are half pitch. Two shifted nozzle rows 33r are formed. Furthermore, the functional liquid droplet ejection head 4r includes a pair of in-head flow paths 36r corresponding to these nozzle rows 33r, and cavities (piezoelectric elements) (not shown) provided facing the in-head flow paths 36r. And a pair of functional liquid inlets 37r connected to the in-head flow path 36r. In the initial filling step, the functional liquid flows from the functional liquid introduction ports 37r by nozzle suction, and the in-head flow path 36r is filled with the functional liquid. When the cavity exerts a pump action and is driven to discharge, the nozzle 34r discharges the functional liquid in the in-head flow path 36r (discharge of functional liquid droplets). Due to the discharge of the functional liquid, the functional liquid droplet ejection head 4r that has consumed the functional liquid is supplied with a new functional liquid from the functional liquid supply unit 31r to the in-head flow path 36r.

図3および図5を参照して、機能液供給ユニット31rについて説明する。各機能液供給ユニット31rは、キャリッジ28rに近接し上下2段の収容部を有するタンクキャリッジ29rと、タンクキャリッジ29rに収容されR色機能液を内部に貯留する12個の機能液タンク38rと、各機能液タンク38rおよび各機能液滴吐出ヘッド4rを接続する12本の機能液供給チューブ41r(図5参照)と、12本の機能液供給チューブ41rに介設され、上記したヘッドプレート32rに搭載した12個の圧力調整弁42rと、を有している。タンクキャリッジ29rは、上下の各収容部に6個ずつ、計12個の機能液タンク38rを並列に収容している。なお、G色Y軸ユニット3gの各機能液タンクにはG色機能液が貯留され、B色Y軸ユニット3bの各機能液タンクにはB色機能液が貯留されている。 The functional liquid supply unit 31r will be described with reference to FIGS. Each functional liquid supply unit 31r includes a tank carriage 29r that is close to the carriage 28r and has two upper and lower storage units, twelve functional liquid tanks 38r that are stored in the tank carriage 29r and store R-color functional liquid therein, 12 functional liquid supply tubes 41r (see FIG. 5) for connecting the respective functional liquid tanks 38r and the respective functional liquid droplet ejection heads 4r, and 12 functional liquid supply tubes 41r are provided on the head plate 32r. And 12 pressure regulating valves 42r mounted. The tank carriage 29r accommodates a total of twelve functional liquid tanks 38r in parallel, six in each of the upper and lower accommodating portions. The G color functional liquid is stored in each functional liquid tank of the G color Y axis unit 3g, and the B color functional liquid is stored in each functional liquid tank of the B color Y axis unit 3b.

圧力調整弁42rは、機能液タンク38r−機能液滴吐出ヘッド4r間の水頭圧の差を調整する減圧弁であり、機能液滴吐出ヘッド4rの直前で圧力を調整すべく、ヘッドプレート32r側に搭載されている。本実施形態では、12個の圧力調整弁42rが、12個の機能液滴吐出ヘッド4rの並びに倣って、ヘッドプレート32r上に平面視階段状に配設されている。そして、機能液タンク38rから供給される機能液は、機能液供給チューブ41rを介して機能液滴吐出ヘッド4rにまで供給される。また、圧力調整弁42rにより、機能液滴吐出ヘッド4rには、機能液タンク38r−機能液滴吐出ヘッド4r間の水頭差が調整された機能液が供給され、機能液滴吐出ヘッド4rのノズル34からの液ダレが防止されている。   The pressure adjustment valve 42r is a pressure reducing valve that adjusts the difference in water head pressure between the functional liquid tank 38r and the functional liquid droplet ejection head 4r, and is arranged on the head plate 32r side in order to adjust the pressure immediately before the functional liquid droplet ejection head 4r. It is mounted on. In the present embodiment, twelve pressure regulating valves 42r are arranged in a stepped shape in plan view on the head plate 32r, following the arrangement of the twelve functional liquid droplet ejection heads 4r. The functional liquid supplied from the functional liquid tank 38r is supplied to the functional liquid droplet ejection head 4r via the functional liquid supply tube 41r. In addition, the functional liquid whose hydraulic head difference between the functional liquid tank 38r and the functional liquid droplet ejection head 4r is adjusted is supplied to the functional liquid droplet ejection head 4r by the pressure adjustment valve 42r, and the nozzle of the functional liquid droplet ejection head 4r is supplied. Liquid dripping from 34 is prevented.

そして、描画の際には、基板Wの幅に合わせて複数の部分ユニット23r(キャリッジユニット5r)が描画エリア8に移動し、各機能液滴吐出ヘッド4rにより機能液滴を吐出し描画を行う。描画の終了後、必要に応じて、複数の部分ユニット23rは、待機エリア11rのメンテナンス装置7rに臨み機能維持状態で待機する。また、続けて次の基板Wに描画処理を行う場合には、複数の部分ユニット23rは、タクトタイム短縮の観点から描画エリア8に残ったまま次の描画に供される。なお、描画に使用しない部分ユニット23rは、そのまま待機エリア11rに待機している。   At the time of drawing, a plurality of partial units 23r (carriage unit 5r) move to the drawing area 8 in accordance with the width of the substrate W, and drawing is performed by ejecting functional droplets by the respective functional droplet ejection heads 4r. . After the drawing is completed, the plurality of partial units 23r face the maintenance device 7r in the standby area 11r and wait in a function maintaining state as necessary. Further, when the drawing process is subsequently performed on the next substrate W, the plurality of partial units 23r are used for the next drawing while remaining in the drawing area 8 from the viewpoint of shortening the tact time. Note that the partial unit 23r that is not used for drawing waits in the standby area 11r as it is.

次に、図1および図2を参照して、R色Y軸ユニット3rのメンテナンス装置7rについて説明する。メンテナンス装置7rは、液滴吐出装置1の非稼働時に、各機能液滴吐出ヘッド4rのノズル面35を封止してノズル34rの乾燥を防止すると共に、各機能液滴吐出ヘッド4rのノズル34rから増粘した機能液を吸引除去する保管・吸引ユニット43r(保管ユニット)と、各機能液滴吐出ヘッド4rのノズル面35rに付着する汚れを払拭するワイピングユニット44rと、を有している。また、メンテナンス装置7rは、機能液滴の飛行曲がりを観察する飛行観察ユニット(カメラ)45を有している。そして、これらのユニットは、描画エリア8側から飛行観察ユニット45r、ワイピングユニット44r、保管・吸引ユニット43rの順で、配設されている。   Next, the maintenance device 7r of the R color Y axis unit 3r will be described with reference to FIGS. The maintenance device 7r seals the nozzle surface 35 of each functional droplet discharge head 4r to prevent the nozzle 34r from drying when the droplet discharge device 1 is not in operation, and the nozzle 34r of each functional droplet discharge head 4r. A storage / suction unit 43r (storage unit) that sucks and removes the functional liquid thickened from the liquid and a wiping unit 44r that wipes off dirt adhering to the nozzle surface 35r of each functional liquid droplet ejection head 4r. The maintenance device 7r has a flight observation unit (camera) 45 for observing the flight bending of the functional liquid droplets. These units are arranged in the order of the flight observation unit 45r, the wiping unit 44r, and the storage / suction unit 43r from the drawing area 8 side.

保管・吸引ユニット43r(保管ユニット)は、7個の部分ユニット23rに1対1で対応する7個のサブユニット46rを有している。各サブユニット46rは、各機能液滴吐出ヘッド4rの捨て吐出を受けるフラッシングボックスの機能を兼ねる12個の封止キャップ(図示省略)と、機能液滴吐出ヘッド4rの並びに倣って、これらの封止キャップを階段状に配設したキャップベース47rと、キャップベース47rを昇降させるキャップ昇降機構48rと、各封止キャップに接続し機能液滴吐出ヘッド4rを吸引する吸引ポンプやエジェクタ等の吸引機構(図示省略)と、吸引機構で吸引除去した廃液を回収する廃液タンク(図示省略)と、を有している。   The storage / suction unit 43r (storage unit) includes seven subunits 46r that correspond one-to-one to the seven partial units 23r. Each subunit 46r has twelve sealing caps (not shown) that also function as a flushing box that receives the waste discharged from each functional liquid droplet ejection head 4r, and the functional liquid droplet ejection head 4r. A cap base 47r having stop caps arranged in a step shape, a cap lifting mechanism 48r for moving the cap base 47r up and down, and a suction mechanism such as a suction pump or an ejector connected to each sealing cap and sucking the functional liquid droplet ejection head 4r (Not shown) and a waste liquid tank (not shown) for collecting the waste liquid sucked and removed by the suction mechanism.

描画休止時には、機能液滴吐出ヘッド4r(部分ユニット23r)がメンテナンス位置(待機エリア11r)に移動しており、封止キャップは、機能液滴吐出ヘッド4rから僅かに離れた位置で、機能液滴吐出ヘッド4rのフラッシング(捨て吐出)を受ける。そして、機能液滴吐出ヘッド4r(部分ユニット23r)が稼動待機状態になると、各ノズル34における機能液の乾燥を防止すべく、キャップベース47rが上昇すると共に、各封止キャップが各機能液滴吐出ヘッド4rのノズル面35のキャッピングを行い、各機能液滴吐出ヘッド4の全ノズル34を封止する。続いて、キャッピング状態の機能液滴吐出ヘッド4r(部分ユニット23r)を再稼動する際には、機能液の増粘によるノズル詰りを防止すべく、必要に応じて吸引機構の駆動を行い、ノズル34から増粘した機能液を吸引する。なお、この吸引作業は、機能液を機能液滴吐出ヘッド4rに初期充填する際にも用いられている。   When drawing is paused, the functional liquid droplet ejection head 4r (partial unit 23r) has moved to the maintenance position (standby area 11r), and the sealing cap is located at a position slightly away from the functional liquid droplet ejection head 4r. It receives flushing (discarding discharge) of the droplet discharge head 4r. When the functional liquid droplet ejection head 4r (partial unit 23r) enters an operation standby state, the cap base 47r is raised to prevent the functional liquid from drying at each nozzle 34, and each sealing cap is moved to each functional liquid droplet. The nozzle surface 35 of the ejection head 4r is capped, and all the nozzles 34 of each functional liquid droplet ejection head 4 are sealed. Subsequently, when the functional liquid droplet ejection head 4r (partial unit 23r) in the capped state is restarted, the suction mechanism is driven as necessary to prevent nozzle clogging due to thickening of the functional liquid. The functional fluid thickened from 34 is sucked. This suction operation is also used when the functional liquid is initially filled in the functional liquid droplet ejection head 4r.

同図に示すように、ワイピングユニット44rは、繰出し自在且つ巻取り自在のワイピングシート(図示省略)を備えており、繰り出したワイピングシートを送りながら、且つ部分ユニット23rをY軸方向に移動しつつ、機能液滴吐出ヘッド4rのノズル面35を拭き取り動作する。この拭き取り動作により、機能液滴吐出ヘッド4rのノズル面35rに付着した機能液が取り除かれ、機能液滴吐出時の飛行曲がり等が防止される。   As shown in the figure, the wiping unit 44r is provided with a wiping sheet (not shown) that can be unwound and rolled up, while feeding the wiping sheet that has been unwound and moving the partial unit 23r in the Y-axis direction. The nozzle surface 35 of the functional liquid droplet ejection head 4r is wiped off. By this wiping operation, the functional liquid adhering to the nozzle surface 35r of the functional liquid droplet ejection head 4r is removed, and flight bending or the like during functional liquid droplet ejection is prevented.

描画に先立ち、各部分ユニット23a〜gを待機エリア11r〜bから描画エリア8に導入する際には、封止キャップによるキャッピングを解いて、各サブユニット46rに対して定期フラッシングを行った後、ワイピングユニット44で各部分ユニット23r〜bのワイピングを行う。   Prior to drawing, when each of the partial units 23a to 23g is introduced from the standby areas 11r to 11b into the drawing area 8, the capping by the sealing cap is released, and each subunit 46r is periodically flushed. The wiping unit 44 performs wiping of each of the partial units 23r-b.

保管・吸引ユニット43rおよびワイピングユニット44rは、R色の機能液を導入したR色Y軸テーブル6rの専用のメンテナンス装置7rとして設けられている。このため、上記の保管・吸引ユニット43rによるキャッピングおよびワイピングユニット44rによる拭き取り動作は、R色の機能液を導入した機能液滴吐出ヘッド4rに対してのみに行われ、機能液滴吐出ヘッド4rのノズル34に他色の機能液が付着し混色してしまうことが防止されている。   The storage / suction unit 43r and the wiping unit 44r are provided as a dedicated maintenance device 7r for the R color Y-axis table 6r into which the R color functional liquid is introduced. For this reason, the capping operation by the storage / suction unit 43r and the wiping operation by the wiping unit 44r are performed only for the functional liquid droplet ejection head 4r into which the R color functional liquid is introduced. It is prevented that the functional liquid of another color adheres to the nozzle 34 and is mixed.

次に、図6ないし8、および図10を参照して、本実施形態の液滴吐出装置1を用いた実際の描画処理について、Y軸方向の長さ(基板幅)1100ミリの基板Wにカラーフィルタを製造する場合を例に説明する。本実施形態では、各色のY軸テーブル6r〜bを駆動して、基板WにR、G、Bの機能液をそれぞれ吐出させることにより、一括して3色の描画が行われる。   Next, with reference to FIGS. 6 to 8 and FIG. 10, the actual drawing process using the droplet discharge device 1 of the present embodiment is performed on a substrate W having a length (substrate width) of 1100 mm in the Y-axis direction. A case where a color filter is manufactured will be described as an example. In the present embodiment, the Y-axis tables 6r to 6b for each color are driven, and the R, G, and B functional liquids are discharged onto the substrate W, so that three colors are drawn collectively.

まず、図10を参照しながら、カラーフィルタの構造について簡単に説明する。同図に示すように、カラーフィルタ500は、基板501(W)と、基板501上にX軸方向およびY軸方向にマトリクス状に並んだ多数の画素領域507aと、画素領域507a上に形成されたR・G・B3色の着色層508(508R、508G、508B)と、各画素領域507aを仕切る遮光性のバンク503と、を備えている。本実施形態の描画処理は、バンク503によって各画素領域507a作り込んだ基板501に対し、R、G、Bの機能液を吐出し、所定の配色パターンに基づいて着色層508を形成するものである。なお、カラーフィルタ製造工程の詳細については後述する。   First, the structure of the color filter will be briefly described with reference to FIG. As shown in the figure, the color filter 500 is formed on a substrate 501 (W), a large number of pixel regions 507a arranged in a matrix in the X-axis direction and the Y-axis direction on the substrate 501, and the pixel region 507a. And R, G, and B three color layers 508 (508R, 508G, and 508B), and a light-shielding bank 503 that partitions the pixel regions 507a. In the drawing process of the present embodiment, R, G, and B functional liquids are ejected to the substrate 501 formed in each pixel region 507a by the bank 503, and the colored layer 508 is formed based on a predetermined color arrangement pattern. is there. Details of the color filter manufacturing process will be described later.

また、カラーフィルタ500の配色パターンには、X軸方向に同色の画素領域507aを配列させると共に、Y軸方向においてR・G・Bの3色を繰り返し配列させたストライプ配列と、X軸方向およびY軸方向の両方向において、連続する3つの画素領域507aの着色層508の色が互いに異なるモザイク配列と、複数の画素領域507aが千鳥状に(半ピッチずつずらして)配設されると共に、隣接した3つの画素領域507aの着色層508の色が互いに異なるデルタ配列と、が存在している。本実施形態では、ストライプ配列のカラーフィルタ500を作成する場合について説明する。   Further, the color arrangement pattern of the color filter 500 includes a stripe arrangement in which pixel regions 507a of the same color are arranged in the X-axis direction and three colors R, G, and B are repeatedly arranged in the Y-axis direction, In both directions in the Y-axis direction, a mosaic arrangement in which the colors of the colored layers 508 of the three consecutive pixel regions 507a are different from each other, and a plurality of pixel regions 507a are arranged in a staggered manner (shifted by a half pitch) and adjacent to each other. There are delta arrangements in which the colors of the colored layers 508 of the three pixel regions 507a are different from each other. In the present embodiment, a case where a color filter 500 having a stripe arrangement is created will be described.

カラーフィルタ500が形成される基板Wには、500ミリ、680ミリ、880ミリ、1100ミリ、1500ミリ、1800ミリの基板幅を有する複数種類のものが存在しており、カラーフィルタ500の製造ラインを構成する液滴吐出装置1には、これら基板幅を有する基板Wのうち、いずれかがランダムに導入される。一方、各部分ユニット23は、271ミリ幅(Y軸方向の長さ)で描画可能になっている。このため、液滴吐出装置1は、Y軸方向の長さ(基板幅)が500ミリの基板Wには2個の部分ユニット23を描画に割り当て、680ミリのものには3個、880ミリのものには4個、1100ミリのものには5個、1500ミリのものには6個、1800ミリのものには7個の部分ユニット23を割り当て、これらを描画エリア8に選択的に移動させることにより、ラインプリント方式で描画を行うようにしている。   The substrate W on which the color filter 500 is formed includes a plurality of types having substrate widths of 500 mm, 680 mm, 880 mm, 1100 mm, 1500 mm, and 1800 mm. Any one of the substrates W having these substrate widths is randomly introduced into the droplet discharge device 1 constituting the above. On the other hand, each partial unit 23 can be drawn with a width of 271 mm (length in the Y-axis direction). For this reason, the droplet discharge device 1 assigns two partial units 23 to drawing on the substrate W whose length in the Y-axis direction (substrate width) is 500 mm, and three for the 680 mm, 880 mm. 4 for 1100 mm, 5 for 1500 mm, 6 for 1500 mm, and 7 partial units 23 for 1800 mm, and selectively move these to drawing area 8 By doing so, drawing is performed by the line print method.

図6(a)に示すように、基板幅1100ミリの基板Wを描画エリア8に導入(吸着テーブル12に載置)する場合には、同図(b)に示すように、各色のY軸テーブル6r〜bがそれぞれ第1から第5部分ユニット23a〜eを個々に移動させ描画エリア8に臨ませた状態で、X軸テーブル2はX軸方向送り側(G色Y軸テーブル6g側)へ主走査される。また、各色のY軸テーブル6r〜bの第1から第5部分ユニット23a〜eは、それぞれ描画を開始する前に、描画前フラッシングユニット18に対して描画前フラッシングを行う。   As shown in FIG. 6A, when a substrate W having a substrate width of 1100 mm is introduced into the drawing area 8 (mounted on the suction table 12), as shown in FIG. With the tables 6r-b moving the first to fifth partial units 23a-e individually to face the drawing area 8, the X-axis table 2 is in the X-axis direction feed side (G color Y-axis table 6g side). Main scan is performed. The first to fifth partial units 23a to 23e of the Y-axis tables 6r to 6b for each color perform pre-drawing flushing on the pre-drawing flushing unit 18 before starting drawing.

主走査において、基板WがR色Y軸ユニット3rに臨むとR色機能液による描画が行われ(図6(b)参照)、次に基板WがG色Y軸ユニット3gに臨むとG色機能液による描画が行われ(図7(a)参照)、次に基板WがB色Y軸ユニット3bに臨むとB色機能液による描画が行われる(図7(b)参照)。このようにして、図8(a)に示すように、3色機能液による描画が完了すると、図8(b)に示すように、各色のY軸テーブル6r〜bの第1から第5部分ユニット23a〜eは待機エリア11r〜bにそれぞれ移動し、描画処理が終了する。描画終了後、第1から第5の各部分ユニット23a〜eは、保管・吸引ユニット43rの封止キャップにより各部分ユニット23a〜eのキャッピングが行われる。   In the main scanning, when the substrate W faces the R color Y axis unit 3r, drawing is performed by the R color functional liquid (see FIG. 6B), and then when the substrate W faces the G color Y axis unit 3g, the G color is drawn. Drawing with the functional liquid is performed (see FIG. 7A). Next, when the substrate W faces the B-color Y-axis unit 3b, the drawing with the B-color functional liquid is performed (see FIG. 7B). In this way, as shown in FIG. 8A, when drawing with the three-color functional liquid is completed, as shown in FIG. 8B, the first to fifth portions of the Y-axis tables 6r to 6b for the respective colors. The units 23a to 23e move to the standby areas 11r to 11b, respectively, and the drawing process ends. After the drawing, the first to fifth partial units 23a to 23e are capped by the sealing cap of the storage / suction unit 43r.

本実施形態の液滴吐出装置1によれば、各色のY軸テーブル6は各色のキャリッジユニット5をそれぞれ支持することになり、キャリッジ28、ブリッジプレート24およびY軸フレーム22の撓みを防止して、機能液滴吐出ヘッド4を精度良く支持することができる。これにより、機能液滴吐出ヘッド4−基板W間のワークギャップ等を精度よく管理することができる。また、各キャリッジユニット5の重量を軽減することができるため、慣性の影響を低減することができ、各Y軸テーブル6に設ける加速領域および減速領域を小さくすることができる。更に、1回の主走査(往動)により描画処理を完了することができ、基板Wの描画処理にかかるタクトタイムを短縮することができる。そして、待機エリア11が千鳥状に突出して配置され、待機エリア11においてY軸テーブル6廻りに作業スペースが確保されるため、これに臨んだ部分ユニット23(キャリッジユニット5)のメンテナンス性を向上させることができる。   According to the droplet discharge device 1 of the present embodiment, the Y-axis table 6 for each color supports the carriage unit 5 for each color, thereby preventing the carriage 28, the bridge plate 24, and the Y-axis frame 22 from being bent. The functional droplet discharge head 4 can be accurately supported. Thereby, the work gap etc. between the functional liquid droplet ejection head 4 and the substrate W can be managed with high accuracy. Further, since the weight of each carriage unit 5 can be reduced, the influence of inertia can be reduced, and the acceleration region and the deceleration region provided in each Y-axis table 6 can be reduced. Further, the drawing process can be completed by one main scanning (forward movement), and the tact time required for the drawing process of the substrate W can be shortened. The standby area 11 is arranged so as to protrude in a staggered manner, and a work space is secured around the Y-axis table 6 in the standby area 11, so that the maintainability of the partial unit 23 (carriage unit 5) facing this is improved. be able to.

また、本実施形態の描画処理では、1回の主走査(往動)によって描画が終了し、迅速な描画が実現されている。特に、R色Y軸テーブル6rからG色Y軸テーブル6gにかけての描画、G色Y軸テーブル6gからB色Y軸テーブル6bにかけての描画の一部がそれぞれ並列処理されるため、3色を独立した液滴吐出装置で描画する場合に比して、描画処理にかかるタクトタイムが短縮されている。さらに、基板幅に応じて適切な数の部分ユニット23のみを描画エリア8に移動させ、描画を行うようにしているため、描画に用いない部分ユニット23のノズル乾燥による機能低下が防止されている。   In the drawing process of this embodiment, drawing is completed by one main scan (forward movement), and rapid drawing is realized. In particular, since the drawing from the R color Y axis table 6r to the G color Y axis table 6g and the drawing from the G color Y axis table 6g to the B color Y axis table 6b are respectively processed in parallel, the three colors are independent. The tact time required for the drawing process is shortened as compared with the case where the drawing is performed by the droplet discharge device. Further, since only an appropriate number of partial units 23 are moved to the drawing area 8 according to the substrate width and drawing is performed, deterioration of the function due to nozzle drying of the partial units 23 not used for drawing is prevented. .

なお、本実施形態の描画処理では、基板WがR色Y軸テーブル6rに臨む直前に、描画に用いるR色、G色、B色部分ユニット23a〜eを一括して描画エリア8に導入するようにしているが、基板Wが各Y軸テーブル6r〜bに臨む直前に、それぞれの部分ユニット23a〜eを導入させるようにしてもよい。このようにすれば、部分ユニット23a〜eは、描画の直前までサブユニット46で保管され、ノズル乾燥がより効率的に防止される。   In the drawing process of the present embodiment, the R, G, and B color partial units 23a to 23e used for drawing are collectively introduced into the drawing area 8 immediately before the substrate W faces the R color Y axis table 6r. However, the partial units 23a to 23e may be introduced immediately before the substrate W faces the Y axis tables 6r to 6b. In this way, the partial units 23a to 23e are stored in the subunit 46 until immediately before drawing, and nozzle drying is prevented more efficiently.

また、本実施形態では、1回の主走査(往動)によって描画を終了するようにしているが、複数回の往復動(例えば2往復)により描画を行うようにしても良い。この場合、部分ユニット23を、1回の主走査(往動)終了後に微小量Y軸方向に副走査して、再び主走査を行うようにすれば(計4回の主走査)、各画素領域507aに均一に機能液滴を着弾させることができる。   In the present embodiment, the drawing is finished by one main scanning (forward movement), but the drawing may be performed by a plurality of reciprocating movements (for example, two reciprocations). In this case, if the partial unit 23 is sub-scanned in the Y-axis direction by a minute amount after the end of one main scan (forward movement), and the main scan is performed again (total four main scans), each pixel Functional droplets can be landed uniformly on the region 507a.

次に、本実施形態の液滴吐出装置1を用いて製造される電気光学装置(フラットパネルディスプレイ)として、カラーフィルタ、液晶表示装置、有機EL装置、プラズマディスプレイ(PDP装置)、電子放出装置(FED装置、SED装置)、更にこれら表示装置に形成されてなるアクティブマトリクス基板等を例に、これらの構造およびその製造方法について説明する。なお、アクティブマトリクス基板とは、薄膜トランジスタ、及び薄膜トランジスタに電気的に接続するソース線、データ線が形成された基板を言う。   Next, as an electro-optical device (flat panel display) manufactured using the droplet discharge device 1 of this embodiment, a color filter, a liquid crystal display device, an organic EL device, a plasma display (PDP device), an electron emission device ( FED devices, SED devices), and active matrix substrates formed in these display devices will be described as an example for their structures and manufacturing methods. Note that an active matrix substrate refers to a substrate on which a thin film transistor, a source line electrically connected to the thin film transistor, and a data line are formed.

先ず、液晶表示装置や有機EL装置等に組み込まれるカラーフィルタの製造方法について説明する。図9は、カラーフィルタの製造工程を示すフローチャート、図10は、製造工程順に示した本実施形態のカラーフィルタ500(フィルタ基体500A)の模式断面図である。
まず、ブラックマトリクス形成工程(S101)では、図10(a)に示すように、基板(W)501上にブラックマトリクス502を形成する。ブラックマトリクス502は、金属クロム、金属クロムと酸化クロムの積層体、または樹脂ブラック等により形成される。金属薄膜からなるブラックマトリクス502を形成するには、スパッタ法や蒸着法等を用いることができる。また、樹脂薄膜からなるブラックマトリクス502を形成する場合には、グラビア印刷法、フォトレジスト法、熱転写法等を用いることができる。
First, a method for manufacturing a color filter incorporated in a liquid crystal display device, an organic EL device or the like will be described. FIG. 9 is a flowchart showing the manufacturing process of the color filter, and FIG. 10 is a schematic cross-sectional view of the color filter 500 (filter base body 500A) of this embodiment shown in the order of the manufacturing process.
First, in the black matrix forming step (S101), a black matrix 502 is formed on a substrate (W) 501 as shown in FIG. The black matrix 502 is formed of metal chromium, a laminate of metal chromium and chromium oxide, resin black, or the like. A sputtering method, a vapor deposition method, or the like can be used to form the black matrix 502 made of a metal thin film. Further, when forming the black matrix 502 made of a resin thin film, a gravure printing method, a photoresist method, a thermal transfer method, or the like can be used.

続いて、バンク形成工程(S102)において、ブラックマトリクス502上に重畳する状態でバンク503を形成する。即ち、まず図10(b)に示すように、基板501及びブラックマトリクス502を覆うようにネガ型の透明な感光性樹脂からなるレジスト層504を形成する。そして、その上面をマトリクスパターン形状に形成されたマスクフィルム505で被覆した状態で露光処理を行う。
さらに、図10(c)に示すように、レジスト層504の未露光部分をエッチング処理することによりレジスト層504をパターニングして、バンク503を形成する。なお、樹脂ブラックによりブラックマトリクスを形成する場合は、ブラックマトリクスとバンクとを兼用することが可能となる。
このバンク503とその下のブラックマトリクス502は、各画素領域507aを区画する区画壁部507bとなり、後の着色層形成工程において液滴吐出ヘッド3により着色層(成膜部)508R、508G、508Bを形成する際に機能液滴の着弾領域を規定する。
Subsequently, in a bank formation step (S102), a bank 503 is formed in a state of being superimposed on the black matrix 502. That is, first, as shown in FIG. 10B, a resist layer 504 made of a negative transparent photosensitive resin is formed so as to cover the substrate 501 and the black matrix 502. Then, an exposure process is performed with the upper surface covered with a mask film 505 formed in a matrix pattern shape.
Further, as shown in FIG. 10C, the resist layer 504 is patterned by etching an unexposed portion of the resist layer 504 to form a bank 503. When the black matrix is formed from resin black, it is possible to use both the black matrix and the bank.
The bank 503 and the black matrix 502 therebelow serve as a partition wall portion 507b that partitions each pixel region 507a, and colored layers (film forming portions) 508R, 508G, and 508B are formed by the droplet discharge head 3 in a subsequent colored layer forming step. The landing area of the functional droplet is defined when forming the.

以上のブラックマトリクス形成工程及びバンク形成工程を経ることにより、上記フィルタ基体500Aが得られる。
なお、本実施形態においては、バンク503の材料として、塗膜表面が疎液(疎水)性となる樹脂材料を用いている。そして、基板(ガラス基板)501の表面が親液(親水)性であるので、後述する着色層形成工程においてバンク503(区画壁部507b)に囲まれた各画素領域507a内への液滴の着弾位置精度が向上する。
The filter substrate 500A is obtained through the above black matrix forming step and bank forming step.
In the present embodiment, as the material for the bank 503, a resin material whose surface is lyophobic (hydrophobic) is used. Since the surface of the substrate (glass substrate) 501 is lyophilic (hydrophilic), the droplets into each pixel region 507a surrounded by the bank 503 (partition wall portion 507b) in the colored layer forming step described later. The landing position accuracy is improved.

次に、着色層形成工程(S103)では、図10(d)に示すように、機能液滴吐出ヘッド3によって機能液滴を吐出して区画壁部507bで囲まれた各画素領域507a内に着弾させる。この場合、機能液滴吐出ヘッド3を用いて、R・G・Bの3色の機能液(フィルタ材料)を導入して、機能液滴の吐出を行う。なお、R・G・Bの3色の配列パターンとしては、ストライプ配列、モザイク配列およびデルタ配列等がある。   Next, in the colored layer forming step (S103), as shown in FIG. 10 (d), functional droplets are ejected by the functional droplet ejection head 3, and each pixel region 507a surrounded by the partition wall portion 507b is disposed. Let it land. In this case, the functional liquid droplet ejection head 3 is used to introduce functional liquids (filter materials) of three colors of R, G, and B to eject functional liquid droplets. Note that the three-color arrangement pattern of R, G, and B includes a stripe arrangement, a mosaic arrangement, and a delta arrangement.

その後、乾燥処理(加熱等の処理)を経て機能液を定着させ、3色の着色層508R、508G、508Bを形成する。着色層508R、508G、508Bを形成したならば、保護膜形成工程(S104)に移り、図10(e)に示すように、基板501、区画壁部507b、および着色層508R、508G、508Bの上面を覆うように保護膜509を形成する。
即ち、基板501の着色層508R、508G、508Bが形成されている面全体に保護膜用塗布液が吐出された後、乾燥処理を経て保護膜509が形成される。
そして、保護膜509を形成した後、カラーフィルタ500は、次工程の透明電極となるITO(Indium Tin Oxide)などの膜付け工程に移行する。
Thereafter, the functional liquid is fixed through a drying process (a process such as heating), and three colored layers 508R, 508G, and 508B are formed. When the colored layers 508R, 508G, and 508B are formed, the process proceeds to the protective film forming step (S104), and as shown in FIG. A protective film 509 is formed so as to cover the upper surface.
That is, after the protective film coating liquid is discharged over the entire surface of the substrate 501 where the colored layers 508R, 508G, and 508B are formed, the protective film 509 is formed through a drying process.
Then, after forming the protective film 509, the color filter 500 moves to a film forming process such as ITO (Indium Tin Oxide) which becomes a transparent electrode in the next process.

図11は、上記のカラーフィルタ500を用いた液晶表示装置の一例としてのパッシブマトリックス型液晶装置(液晶装置)の概略構成を示す要部断面図である。この液晶装置520に、液晶駆動用IC、バックライト、支持体などの付帯要素を装着することによって、最終製品としての透過型液晶表示装置が得られる。なお、カラーフィルタ500は図10に示したものと同一であるので、対応する部位には同一の符号を付し、その説明は省略する。   FIG. 11 is a cross-sectional view of a principal part showing a schematic configuration of a passive matrix liquid crystal device (liquid crystal device) as an example of a liquid crystal display device using the color filter 500 described above. By attaching auxiliary elements such as a liquid crystal driving IC, a backlight, and a support to the liquid crystal device 520, a transmissive liquid crystal display device as a final product can be obtained. Since the color filter 500 is the same as that shown in FIG. 10, the corresponding parts are denoted by the same reference numerals, and description thereof is omitted.

この液晶装置520は、カラーフィルタ500、ガラス基板等からなる対向基板521、及び、これらの間に挟持されたSTN(Super Twisted Nematic)液晶組成物からなる液晶層522により概略構成されており、カラーフィルタ500を図中上側(観測者側)に配置している。
なお、図示していないが、対向基板521およびカラーフィルタ500の外面(液晶層522側とは反対側の面)には偏光板がそれぞれ配設され、また対向基板521側に位置する偏光板の外側には、バックライトが配設されている。
The liquid crystal device 520 is roughly composed of a color filter 500, a counter substrate 521 made of a glass substrate, and a liquid crystal layer 522 made of STN (Super Twisted Nematic) liquid crystal composition sandwiched between them, The filter 500 is arranged on the upper side (observer side) in the figure.
Although not shown, polarizing plates are provided on the outer surfaces of the counter substrate 521 and the color filter 500 (surfaces opposite to the liquid crystal layer 522 side), and the polarizing plates located on the counter substrate 521 side are also provided. A backlight is disposed outside.

カラーフィルタ500の保護膜509上(液晶層側)には、図12において左右方向に長尺な短冊状の第1電極523が所定の間隔で複数形成されており、この第1電極523のカラーフィルタ500側とは反対側の面を覆うように第1配向膜524が形成されている。
一方、対向基板521におけるカラーフィルタ500と対向する面には、カラーフィルタ500の第1電極523と直交する方向に長尺な短冊状の第2電極526が所定の間隔で複数形成され、この第2電極526の液晶層522側の面を覆うように第2配向膜527が形成されている。これらの第1電極523および第2電極526は、ITOなどの透明導電材料により形成されている。
On the protective film 509 of the color filter 500 (on the liquid crystal layer side), a plurality of strip-shaped first electrodes 523 elongated in the left-right direction in FIG. 12 are formed at a predetermined interval. The color of the first electrode 523 A first alignment film 524 is formed so as to cover the surface opposite to the filter 500 side.
On the other hand, a plurality of strip-shaped second electrodes 526 elongated in a direction orthogonal to the first electrode 523 of the color filter 500 are formed on the surface of the counter substrate 521 facing the color filter 500 at a predetermined interval. A second alignment film 527 is formed so as to cover the surface of the two electrodes 526 on the liquid crystal layer 522 side. The first electrode 523 and the second electrode 526 are made of a transparent conductive material such as ITO.

液晶層522内に設けられたスペーサ528は、液晶層522の厚さ(セルギャップ)を一定に保持するための部材である。また、シール材529は液晶層522内の液晶組成物が外部へ漏出するのを防止するための部材である。なお、第1電極523の一端部は引き回し配線523aとしてシール材529の外側まで延在している。
そして、第1電極523と第2電極526とが交差する部分が画素であり、この画素となる部分に、カラーフィルタ500の着色層508R、508G、508Bが位置するように構成されている。
The spacer 528 provided in the liquid crystal layer 522 is a member for keeping the thickness (cell gap) of the liquid crystal layer 522 constant. The sealing material 529 is a member for preventing the liquid crystal composition in the liquid crystal layer 522 from leaking to the outside. Note that one end of the first electrode 523 extends to the outside of the sealing material 529 as a lead-out wiring 523a.
A portion where the first electrode 523 and the second electrode 526 intersect with each other is a pixel, and the color layers 508R, 508G, and 508B of the color filter 500 are located in the portion that becomes the pixel.

通常の製造工程では、カラーフィルタ500に、第1電極523のパターニングおよび第1配向膜524の塗布を行ってカラーフィルタ500側の部分を作成すると共に、これとは別に対向基板521に、第2電極526のパターニングおよび第2配向膜527の塗布を行って対向基板521側の部分を作成する。その後、対向基板521側の部分にスペーサ528およびシール材529を作り込み、この状態でカラーフィルタ500側の部分を貼り合わせる。次いで、シール材529の注入口から液晶層522を構成する液晶を注入し、注入口を閉止する。その後、両偏光板およびバックライトを積層する。   In a normal manufacturing process, patterning of the first electrode 523 and application of the first alignment film 524 are performed on the color filter 500 to create a portion on the color filter 500 side. Patterning of the electrode 526 and application of the second alignment film 527 are performed to create a portion on the counter substrate 521 side. Thereafter, a spacer 528 and a sealing material 529 are formed in the portion on the counter substrate 521 side, and the portion on the color filter 500 side is bonded in this state. Next, liquid crystal constituting the liquid crystal layer 522 is injected from the inlet of the sealing material 529, and the inlet is closed. Thereafter, both polarizing plates and the backlight are laminated.

実施形態の液滴吐出装置1は、例えば上記のセルギャップを構成するスペーサ材料(機能液)を塗布すると共に、対向基板521側の部分にカラーフィルタ500側の部分を貼り合わせる前に、シール材529で囲んだ領域に液晶(機能液)を均一に塗布することが可能である。また、上記のシール材529の印刷を、機能液滴吐出ヘッド3で行うことも可能である。さらに、第1・第2両配向膜524,527の塗布を機能液滴吐出ヘッド3で行うことも可能である。   The droplet discharge device 1 according to the embodiment applies, for example, a spacer material (functional liquid) that constitutes the cell gap, and before the portion on the color filter 500 side is bonded to the portion on the counter substrate 521 side, the sealing material Liquid crystal (functional liquid) can be uniformly applied to the region surrounded by 529. Further, the printing of the sealing material 529 can be performed by the functional liquid droplet ejection head 3. Furthermore, the first and second alignment films 524 and 527 can be applied by the functional liquid droplet ejection head 3.

図13は、本実施形態において製造したカラーフィルタ500を用いた液晶装置の第2の例の概略構成を示す要部断面図である。
この液晶装置530が上記液晶装置520と大きく異なる点は、カラーフィルタ500を図中下側(観測者側とは反対側)に配置した点である。
この液晶装置530は、カラーフィルタ500とガラス基板等からなる対向基板531との間にSTN液晶からなる液晶層532が挟持されて概略構成されている。なお、図示していないが、対向基板531およびカラーフィルタ500の外面には偏光板等がそれぞれ配設されている。
FIG. 13 is a cross-sectional view of an essential part showing a schematic configuration of a second example of a liquid crystal device using the color filter 500 manufactured in the present embodiment.
The liquid crystal device 530 is significantly different from the liquid crystal device 520 in that the color filter 500 is arranged on the lower side (the side opposite to the observer side) in the figure.
The liquid crystal device 530 is generally configured by sandwiching a liquid crystal layer 532 made of STN liquid crystal between a color filter 500 and a counter substrate 531 made of a glass substrate or the like. Although not shown, polarizing plates and the like are provided on the outer surfaces of the counter substrate 531 and the color filter 500, respectively.

カラーフィルタ500の保護膜509上(液晶層532側)には、図中奥行き方向に長尺な短冊状の第1電極533が所定の間隔で複数形成されており、この第1電極533の液晶層532側の面を覆うように第1配向膜534が形成されている。
対向基板531のカラーフィルタ500と対向する面上には、カラーフィルタ500側の第1電極533と直交する方向に延在する複数の短冊状の第2電極536が所定の間隔で形成され、この第2電極536の液晶層532側の面を覆うように第2配向膜537が形成されている。
On the protective film 509 of the color filter 500 (on the liquid crystal layer 532 side), a plurality of strip-shaped first electrodes 533 elongated in the depth direction in the figure are formed at predetermined intervals, and the liquid crystal of the first electrodes 533 is formed. A first alignment film 534 is formed so as to cover the surface on the layer 532 side.
A plurality of strip-shaped second electrodes 536 extending in a direction orthogonal to the first electrode 533 on the color filter 500 side are formed on the surface of the counter substrate 531 facing the color filter 500 at a predetermined interval. A second alignment film 537 is formed so as to cover the surface of the second electrode 536 on the liquid crystal layer 532 side.

液晶層532には、この液晶層532の厚さを一定に保持するためのスペーサ538と、液晶層532内の液晶組成物が外部へ漏出するのを防止するためのシール材539が設けられている。
そして、上記した液晶装置520と同様に、第1電極533と第2電極536との交差する部分が画素であり、この画素となる部位に、カラーフィルタ500の着色層508R、508G、508Bが位置するように構成されている。
The liquid crystal layer 532 is provided with a spacer 538 for keeping the thickness of the liquid crystal layer 532 constant and a sealing material 539 for preventing the liquid crystal composition in the liquid crystal layer 532 from leaking to the outside. Yes.
Similarly to the liquid crystal device 520 described above, a portion where the first electrode 533 and the second electrode 536 intersect with each other is a pixel, and the colored layers 508R, 508G, and 508B of the color filter 500 are located at the portion that becomes the pixel. Is configured to do.

図13は、本発明を適用したカラーフィルタ500を用いて液晶装置を構成した第3の例を示したもので、透過型のTFT(Thin Film Transistor)型液晶装置の概略構成を示す分解斜視図である。
この液晶装置550は、カラーフィルタ500を図中上側(観測者側)に配置したものである。
FIG. 13 shows a third example in which a liquid crystal device is configured using a color filter 500 to which the present invention is applied, and is an exploded perspective view showing a schematic configuration of a transmissive TFT (Thin Film Transistor) type liquid crystal device. It is.
In the liquid crystal device 550, the color filter 500 is arranged on the upper side (observer side) in the figure.

この液晶装置550は、カラーフィルタ500と、これに対向するように配置された対向基板551と、これらの間に挟持された図示しない液晶層と、カラーフィルタ500の上面側(観測者側)に配置された偏光板555と、対向基板551の下面側に配設された偏光板(図示せず)とにより概略構成されている。
カラーフィルタ500の保護膜509の表面(対向基板551側の面)には液晶駆動用の電極556が形成されている。この電極556は、ITO等の透明導電材料からなり、後述の画素電極560が形成される領域全体を覆う全面電極となっている。また、この電極556の画素電極560とは反対側の面を覆った状態で配向膜557が設けられている。
The liquid crystal device 550 includes a color filter 500, a counter substrate 551 disposed so as to face the color filter 500, a liquid crystal layer (not shown) sandwiched therebetween, and an upper surface side (observer side) of the color filter 500. The polarizing plate 555 and the polarizing plate (not shown) arranged on the lower surface side of the counter substrate 551 are roughly configured.
A liquid crystal driving electrode 556 is formed on the surface of the protective film 509 of the color filter 500 (the surface on the counter substrate 551 side). The electrode 556 is made of a transparent conductive material such as ITO, and is a full surface electrode that covers the entire region where a pixel electrode 560 described later is formed. An alignment film 557 is provided so as to cover the surface of the electrode 556 opposite to the pixel electrode 560.

対向基板551のカラーフィルタ500と対向する面には絶縁層558が形成されており、この絶縁層558上には、走査線561及び信号線562が互いに直交する状態で形成されている。そして、これらの走査線561と信号線562とに囲まれた領域内には画素電極560が形成されている。なお、実際の液晶装置では、画素電極560上に配向膜が設けられるが、図示を省略している。   An insulating layer 558 is formed on the surface of the counter substrate 551 facing the color filter 500, and the scanning lines 561 and the signal lines 562 are formed on the insulating layer 558 in a state of being orthogonal to each other. A pixel electrode 560 is formed in a region surrounded by the scanning lines 561 and the signal lines 562. In an actual liquid crystal device, an alignment film is provided on the pixel electrode 560, but the illustration is omitted.

また、画素電極560の切欠部と走査線561と信号線562とに囲まれた部分には、ソース電極、ドレイン電極、半導体、およびゲート電極とを具備する薄膜トランジスタ563が組み込まれて構成されている。そして、走査線561と信号線562に対する信号の印加によって薄膜トランジスタ563をオン・オフして画素電極560への通電制御を行うことができるように構成されている。   In addition, a thin film transistor 563 including a source electrode, a drain electrode, a semiconductor, and a gate electrode is incorporated in a portion surrounded by the cutout portion of the pixel electrode 560 and the scanning line 561 and the signal line 562. . The thin film transistor 563 is turned on / off by application of signals to the scanning line 561 and the signal line 562 so that energization control to the pixel electrode 560 can be performed.

なお、上記の各例の液晶装置520,530,550は、透過型の構成としたが、反射層あるいは半透過反射層を設けて、反射型の液晶装置あるいは半透過反射型の液晶装置とすることもできる。   Note that the liquid crystal devices 520, 530, and 550 in the above examples are transmissive, but a reflective liquid crystal device or a transflective liquid crystal device is provided by providing a reflective layer or a transflective layer. You can also

次に、図14は、有機EL装置の表示領域(以下、単に表示装置600と称する)の要部断面図である。   Next, FIG. 14 is a cross-sectional view of a main part of a display region (hereinafter simply referred to as a display device 600) of the organic EL device.

この表示装置600は、基板(W)601上に、回路素子部602、発光素子部603及び陰極604が積層された状態で概略構成されている。
この表示装置600においては、発光素子部603から基板601側に発した光が、回路素子部602及び基板601を透過して観測者側に出射されるとともに、発光素子部603から基板601の反対側に発した光が陰極604により反射された後、回路素子部602及び基板601を透過して観測者側に出射されるようになっている。
The display device 600 is schematically configured with a circuit element portion 602, a light emitting element portion 603, and a cathode 604 stacked on a substrate (W) 601.
In the display device 600, light emitted from the light emitting element portion 603 to the substrate 601 side is transmitted through the circuit element portion 602 and the substrate 601 and emitted to the observer side, and the light emitting element portion 603 is opposite to the substrate 601. After the light emitted to the side is reflected by the cathode 604, the light passes through the circuit element portion 602 and the substrate 601 and is emitted to the observer side.

回路素子部602と基板601との間にはシリコン酸化膜からなる下地保護膜606が形成され、この下地保護膜606上(発光素子部603側)に多結晶シリコンからなる島状の半導体膜607が形成されている。この半導体膜607の左右の領域には、ソース領域607a及びドレイン領域607bが高濃度陽イオン打ち込みによりそれぞれ形成されている。そして陽イオンが打ち込まれない中央部がチャネル領域607cとなっている。   A base protective film 606 made of a silicon oxide film is formed between the circuit element portion 602 and the substrate 601, and an island-shaped semiconductor film 607 made of polycrystalline silicon is formed on the base protective film 606 (on the light emitting element portion 603 side). Is formed. In the left and right regions of the semiconductor film 607, a source region 607a and a drain region 607b are formed by high concentration cation implantation, respectively. A central portion where no positive ions are implanted is a channel region 607c.

また、回路素子部602には、下地保護膜606及び半導体膜607を覆う透明なゲート絶縁膜608が形成され、このゲート絶縁膜608上の半導体膜607のチャネル領域607cに対応する位置には、例えばAl、Mo、Ta、Ti、W等から構成されるゲート電極609が形成されている。このゲート電極609及びゲート絶縁膜608上には、透明な第1層間絶縁膜611aと第2層間絶縁膜611bが形成されている。また、第1、第2層間絶縁膜611a、611bを貫通して、半導体膜607のソース領域607a、ドレイン領域607bにそれぞれ連通するコンタクトホール612a,612bが形成されている。   In the circuit element portion 602, a transparent gate insulating film 608 covering the base protective film 606 and the semiconductor film 607 is formed, and a position corresponding to the channel region 607c of the semiconductor film 607 on the gate insulating film 608 is formed. For example, a gate electrode 609 made of Al, Mo, Ta, Ti, W or the like is formed. On the gate electrode 609 and the gate insulating film 608, a transparent first interlayer insulating film 611a and a second interlayer insulating film 611b are formed. Further, contact holes 612a and 612b are formed through the first and second interlayer insulating films 611a and 611b and communicating with the source region 607a and the drain region 607b of the semiconductor film 607, respectively.

そして、第2層間絶縁膜611b上には、ITO等からなる透明な画素電極613が所定の形状にパターニングされて形成され、この画素電極613は、コンタクトホール612aを通じてソース領域607aに接続されている。
また、第1層間絶縁膜611a上には電源線614が配設されており、この電源線614は、コンタクトホール612bを通じてドレイン領域607bに接続されている。
A transparent pixel electrode 613 made of ITO or the like is patterned and formed in a predetermined shape on the second interlayer insulating film 611b, and the pixel electrode 613 is connected to the source region 607a through the contact hole 612a. .
A power line 614 is disposed on the first interlayer insulating film 611a, and the power line 614 is connected to the drain region 607b through the contact hole 612b.

このように、回路素子部602には、各画素電極613に接続された駆動用の薄膜トランジスタ615がそれぞれ形成されている。   Thus, the driving thin film transistors 615 connected to the pixel electrodes 613 are formed in the circuit element portion 602, respectively.

上記発光素子部603は、複数の画素電極613上の各々に積層された機能層617と、各画素電極613及び機能層617の間に備えられて各機能層617を区画するバンク部618とにより概略構成されている。
これら画素電極613、機能層617、及び、機能層617上に配設された陰極604によって発光素子が構成されている。なお、画素電極613は、平面視略矩形状にパターニングされて形成されており、各画素電極613の間にバンク部618が形成されている。
The light emitting element portion 603 includes a functional layer 617 stacked on each of the plurality of pixel electrodes 613, and a bank portion 618 provided between each pixel electrode 613 and the functional layer 617 to partition each functional layer 617. It is roughly structured.
The pixel electrode 613, the functional layer 617, and the cathode 604 provided on the functional layer 617 constitute a light emitting element. Note that the pixel electrode 613 is formed by patterning in a substantially rectangular shape in plan view, and a bank portion 618 is formed between the pixel electrodes 613.

バンク部618は、例えばSiO、SiO2、TiO2等の無機材料により形成される無機物バンク層618a(第1バンク層)と、この無機物バンク層618a上に積層され、アクリル樹脂、ポリイミド樹脂等の耐熱性、耐溶媒性に優れたレジストにより形成される断面台形状の有機物バンク層618b(第2バンク層)とにより構成されている。このバンク部618の一部は、画素電極613の周縁部上に乗上げた状態で形成されている。
そして、各バンク部618の間には、画素電極613に対して上方に向けて次第に拡開した開口部619が形成されている。
The bank unit 618 is laminated on the inorganic bank layer 618a (first bank layer) 618a formed of an inorganic material such as SiO, SiO 2 , TiO 2, and the like, and is made of an acrylic resin, a polyimide resin, or the like. It is composed of an organic bank layer 618b (second bank layer) having a trapezoidal cross section formed of a resist having excellent heat resistance and solvent resistance. A part of the bank unit 618 is formed on the peripheral edge of the pixel electrode 613.
An opening 619 that gradually expands upward with respect to the pixel electrode 613 is formed between the bank portions 618.

上記機能層617は、開口部619内において画素電極613上に積層状態で形成された正孔注入/輸送層617aと、この正孔注入/輸送層617a上に形成された発光層617bとにより構成されている。なお、この発光層617bに隣接してその他の機能を有する他の機能層を更に形成しても良い。例えば、電子輸送層を形成する事も可能である。
正孔注入/輸送層617aは、画素電極613側から正孔を輸送して発光層617bに注入する機能を有する。この正孔注入/輸送層617aは、正孔注入/輸送層形成材料を含む第1組成物(機能液)を吐出することで形成される。正孔注入/輸送層形成材料としては、公知の材料を用いる。
The functional layer 617 includes a hole injection / transport layer 617a formed in a stacked state on the pixel electrode 613 in the opening 619, and a light emitting layer 617b formed on the hole injection / transport layer 617a. Has been. In addition, you may further form the other functional layer which has another function adjacent to this light emitting layer 617b. For example, it is possible to form an electron transport layer.
The hole injection / transport layer 617a has a function of transporting holes from the pixel electrode 613 side and injecting them into the light emitting layer 617b. The hole injection / transport layer 617a is formed by discharging a first composition (functional liquid) containing a hole injection / transport layer forming material. A known material is used as the hole injection / transport layer forming material.

発光層617bは、赤色(R)、緑色(G)、又は青色(B)の何れかに発光するもので、発光層形成材料(発光材料)を含む第2組成物(機能液)を吐出することで形成される。第2組成物の溶媒(非極性溶媒)としては、正孔注入/輸送層617aに対して不溶な公知の材料を用いることが好ましく、このような非極性溶媒を発光層617bの第2組成物に用いることにより、正孔注入/輸送層617aを再溶解させることなく発光層617bを形成することができる。   The light emitting layer 617b emits light in red (R), green (G), or blue (B), and discharges a second composition (functional liquid) containing a light emitting layer forming material (light emitting material). Is formed. As the solvent (nonpolar solvent) of the second composition, a known material that is insoluble in the hole injection / transport layer 617a is preferably used, and such a nonpolar solvent is used as the second composition of the light emitting layer 617b. By using the light emitting layer 617b, the light emitting layer 617b can be formed without re-dissolving the hole injection / transport layer 617a.

そして、発光層617bでは、正孔注入/輸送層617aから注入された正孔と、陰極604から注入される電子が発光層で再結合して発光するように構成されている。   The light emitting layer 617b is configured such that the holes injected from the hole injection / transport layer 617a and the electrons injected from the cathode 604 are recombined in the light emitting layer to emit light.

陰極604は、発光素子部603の全面を覆う状態で形成されており、画素電極613と対になって機能層617に電流を流す役割を果たす。なお、この陰極604の上部には図示しない封止部材が配置される。   The cathode 604 is formed so as to cover the entire surface of the light emitting element portion 603, and plays a role of flowing current to the functional layer 617 in a pair with the pixel electrode 613. Note that a sealing member (not shown) is disposed on the cathode 604.

次に、上記の表示装置600の製造工程を図15〜図23を参照して説明する。
この表示装置600は、図15に示すように、バンク部形成工程(S111)、表面処理工程(S112)、正孔注入/輸送層形成工程(S113)、発光層形成工程(S114)、及び対向電極形成工程(S115)を経て製造される。なお、製造工程は例示するものに限られるものではなく必要に応じてその他の工程が除かれる場合、また追加される場合もある。
Next, a manufacturing process of the display device 600 will be described with reference to FIGS.
As shown in FIG. 15, the display device 600 includes a bank part forming step (S111), a surface treatment step (S112), a hole injection / transport layer forming step (S113), a light emitting layer forming step (S114), It is manufactured through an electrode formation step (S115). In addition, a manufacturing process is not restricted to what is illustrated, and when other processes are removed as needed, it may be added.

まず、バンク部形成工程(S111)では、図16に示すように、第2層間絶縁膜611b上に無機物バンク層618aを形成する。この無機物バンク層618aは、形成位置に無機物膜を形成した後、この無機物膜をフォトリソグラフィ技術等によりパターニングすることにより形成される。このとき、無機物バンク層618aの一部は画素電極613の周縁部と重なるように形成される。
無機物バンク層618aを形成したならば、図17に示すように、無機物バンク層618a上に有機物バンク層618bを形成する。この有機物バンク層618bも無機物バンク層618aと同様にフォトリソグラフィ技術等によりパターニングして形成される。
このようにしてバンク部618が形成される。また、これに伴い、各バンク部618間には、画素電極613に対して上方に開口した開口部619が形成される。この開口部619は、画素領域を規定する。
First, in the bank part forming step (S111), as shown in FIG. 16, an inorganic bank layer 618a is formed on the second interlayer insulating film 611b. The inorganic bank layer 618a is formed by forming an inorganic film at a formation position and then patterning the inorganic film by a photolithography technique or the like. At this time, a part of the inorganic bank layer 618 a is formed so as to overlap with the peripheral edge of the pixel electrode 613.
When the inorganic bank layer 618a is formed, an organic bank layer 618b is formed on the inorganic bank layer 618a as shown in FIG. The organic bank layer 618b is also formed by patterning using a photolithography technique or the like in the same manner as the inorganic bank layer 618a.
In this way, the bank portion 618 is formed. Accordingly, an opening 619 opening upward with respect to the pixel electrode 613 is formed between the bank portions 618. The opening 619 defines a pixel region.

表面処理工程(S112)では、親液化処理及び撥液化処理が行われる。親液化処理を施す領域は、無機物バンク層618aの第1積層部618aa及び画素電極613の電極面613aであり、これらの領域は、例えば酸素を処理ガスとするプラズマ処理によって親液性に表面処理される。このプラズマ処理は、画素電極613であるITOの洗浄等も兼ねている。
また、撥液化処理は、有機物バンク層618bの壁面618s及び有機物バンク層618bの上面618tに施され、例えば4フッ化メタンを処理ガスとするプラズマ処理によって表面がフッ化処理(撥液性に処理)される。
この表面処理工程を行うことにより、機能液滴吐出ヘッド3を用いて機能層617を形成する際に、機能液滴を画素領域に、より確実に着弾させることができ、また、画素領域に着弾した機能液滴が開口部619から溢れ出るのを防止することが可能となる。
In the surface treatment step (S112), a lyophilic process and a lyophobic process are performed. The regions to be subjected to the lyophilic treatment are the first stacked portion 618aa of the inorganic bank layer 618a and the electrode surface 613a of the pixel electrode 613. These regions are made lyophilic by plasma treatment using, for example, oxygen as a treatment gas. Is done. This plasma treatment also serves to clean the ITO that is the pixel electrode 613.
In addition, the lyophobic treatment is performed on the wall surface 618s of the organic bank layer 618b and the upper surface 618t of the organic bank layer 618b. )
By performing this surface treatment process, when the functional layer 617 is formed using the functional liquid droplet ejection head 3, the functional liquid droplets can be landed more reliably on the pixel area. It is possible to prevent the functional droplets from overflowing from the opening 619.

そして、以上の工程を経ることにより、表示装置基体600Aが得られる。この表示装置基体600Aは、図1に示した液滴吐出装置1の吸着テーブル12に載置され、以下の正孔注入/輸送層形成工程(S113)及び発光層形成工程(S114)が行われる。   Then, the display device base 600A is obtained through the above steps. The display device base 600A is placed on the suction table 12 of the droplet discharge device 1 shown in FIG. 1, and the following hole injection / transport layer forming step (S113) and light emitting layer forming step (S114) are performed. .

図18に示すように、正孔注入/輸送層形成工程(S113)では、機能液滴吐出ヘッド3から正孔注入/輸送層形成材料を含む第1組成物を画素領域である各開口部619内に吐出する。その後、図19に示すように、乾燥処理及び熱処理を行い、第1組成物に含まれる極性溶媒を蒸発させ、画素電極(電極面613a)613上に正孔注入/輸送層617aを形成する。   As shown in FIG. 18, in the hole injection / transport layer forming step (S113), the first composition containing the hole injection / transport layer forming material is transferred from the functional liquid droplet ejection head 3 to each opening 619 that is a pixel region. Discharge inside. After that, as shown in FIG. 19, a drying process and a heat treatment are performed to evaporate the polar solvent contained in the first composition, thereby forming a hole injection / transport layer 617a on the pixel electrode (electrode surface 613a) 613.

次に発光層形成工程(S114)について説明する。この発光層形成工程では、上述したように、正孔注入/輸送層617aの再溶解を防止するために、発光層形成の際に用いる第2組成物の溶媒として、正孔注入/輸送層617aに対して不溶な非極性溶媒を用いる。
しかしその一方で、正孔注入/輸送層617aは、非極性溶媒に対する親和性が低いため、非極性溶媒を含む第2組成物を正孔注入/輸送層617a上に吐出しても、正孔注入/輸送層617aと発光層617bとを密着させることができなくなるか、あるいは発光層617bを均一に塗布できない虞がある。
そこで、非極性溶媒ならびに発光層形成材料に対する正孔注入/輸送層617aの表面の親和性を高めるために、発光層形成の前に表面処理(表面改質処理)を行うことが好ましい。この表面処理は、発光層形成の際に用いる第2組成物の非極性溶媒と同一溶媒またはこれに類する溶媒である表面改質材を、正孔注入/輸送層617a上に塗布し、これを乾燥させることにより行う。
このような処理を施すことで、正孔注入/輸送層617aの表面が非極性溶媒になじみやすくなり、この後の工程で、発光層形成材料を含む第2組成物を正孔注入/輸送層617aに均一に塗布することができる。
Next, the light emitting layer forming step (S114) will be described. In this light emitting layer forming step, as described above, in order to prevent re-dissolution of the hole injection / transport layer 617a, the hole injection / transport layer 617a is used as a solvent for the second composition used in forming the light emitting layer. A non-polar solvent insoluble in.
However, since the hole injection / transport layer 617a has a low affinity for the nonpolar solvent, the hole injection / transport layer 617a has a low affinity even if the second composition containing the nonpolar solvent is discharged onto the hole injection / transport layer 617a. There is a possibility that the injection / transport layer 617a and the light emitting layer 617b cannot be adhered to each other, or the light emitting layer 617b cannot be applied uniformly.
Therefore, in order to increase the surface affinity of the hole injection / transport layer 617a with respect to the nonpolar solvent and the light emitting layer forming material, it is preferable to perform a surface treatment (surface modification treatment) before forming the light emitting layer. In this surface treatment, a surface modifying material which is the same solvent as the non-polar solvent of the second composition used in the formation of the light emitting layer or a similar solvent is applied on the hole injection / transport layer 617a, and this is applied. This is done by drying.
By performing such treatment, the surface of the hole injection / transport layer 617a is easily adapted to the nonpolar solvent. In the subsequent step, the second composition containing the light emitting layer forming material is added to the hole injection / transport layer. It can be uniformly applied to 617a.

そして次に、図20に示すように、各色のうちの何れか(図20の例では青色(B))に対応する発光層形成材料を含有する第2組成物を機能液滴として画素領域(開口部619)内に所定量打ち込む。画素領域内に打ち込まれた第2組成物は、正孔注入/輸送層617a上に広がって開口部619内に満たされる。なお、万一、第2組成物が画素領域から外れてバンク部618の上面618t上に着弾した場合でも、この上面618tは、上述したように撥液処理が施されているので、第2組成物が開口部619内に転がり込み易くなっている。   Then, as shown in FIG. 20, the pixel composition (second liquid composition containing a light emitting layer forming material corresponding to one of the colors (blue (B) in the example of FIG. 20)) is used as a functional droplet. A predetermined amount is driven into the opening 619). The second composition driven into the pixel region spreads on the hole injection / transport layer 617a and fills the opening 619. Even if the second composition deviates from the pixel region and lands on the upper surface 618t of the bank portion 618, the upper composition 618t is subjected to the liquid repellent treatment as described above. Things are easy to roll into the opening 619.

その後、乾燥工程等を行う事により、吐出後の第2組成物を乾燥処理し、第2組成物に含まれる非極性溶媒を蒸発させ、図21に示すように、正孔注入/輸送層617a上に発光層617bが形成される。この図の場合、青色(B)に対応する発光層617bが形成されている。   Thereafter, by performing a drying process or the like, the discharged second composition is dried, the nonpolar solvent contained in the second composition is evaporated, and as shown in FIG. 21, the hole injection / transport layer 617a A light emitting layer 617b is formed thereon. In the case of this figure, a light emitting layer 617b corresponding to blue (B) is formed.

同様に、機能液滴吐出ヘッド3を用い、図22に示すように、上記した青色(B)に対応する発光層617bの場合と同様の工程を順次行い、他の色(赤色(R)及び緑色(G))に対応する発光層617bを形成する。なお、発光層617bの形成順序は、例示した順序に限られるものではなく、どのような順番で形成しても良い。例えば、発光層形成材料に応じて形成する順番を決める事も可能である。また、R・G・Bの3色の配列パターンとしては、ストライプ配列、モザイク配列およびデルタ配列等がある。   Similarly, using the functional liquid droplet ejection head 3, as shown in FIG. 22, the same steps as in the case of the light emitting layer 617b corresponding to the blue (B) described above are sequentially performed, and other colors (red (R) and red (R) and A light emitting layer 617b corresponding to green (G) is formed. Note that the order in which the light-emitting layers 617b are formed is not limited to the illustrated order, and may be formed in any order. For example, the order of formation can be determined according to the light emitting layer forming material. In addition, the arrangement pattern of the three colors R, G, and B includes a stripe arrangement, a mosaic arrangement, a delta arrangement, and the like.

以上のようにして、画素電極613上に機能層617、即ち、正孔注入/輸送層617a及び発光層617bが形成される。そして、対向電極形成工程(S115)に移行する。   As described above, the functional layer 617, that is, the hole injection / transport layer 617a and the light emitting layer 617b are formed on the pixel electrode 613. And it transfers to a counter electrode formation process (S115).

対向電極形成工程(S115)では、図23に示すように、発光層617b及び有機物バンク層618bの全面に陰極604(対向電極)を、例えば蒸着法、スパッタ法、CVD法等によって形成する。この陰極604は、本実施形態においては、例えば、カルシウム層とアルミニウム層とが積層されて構成されている。
この陰極604の上部には、電極としてのAl膜、Ag膜や、その酸化防止のためのSiO2、SiN等の保護層が適宜設けられる。
In the counter electrode forming step (S115), as shown in FIG. 23, a cathode 604 (counter electrode) is formed on the entire surface of the light emitting layer 617b and the organic bank layer 618b by, for example, vapor deposition, sputtering, CVD, or the like. In the present embodiment, the cathode 604 is configured by, for example, laminating a calcium layer and an aluminum layer.
On top of the cathode 604, an Al film, an Ag film as an electrode, and a protective layer such as SiO 2 or SiN for preventing oxidation thereof are appropriately provided.

このようにして陰極604を形成した後、この陰極604の上部を封止部材により封止する封止処理や配線処理等のその他処理等を施すことにより、表示装置600が得られる。   After forming the cathode 604 in this way, the display device 600 is obtained by performing other processes such as a sealing process for sealing the upper part of the cathode 604 with a sealing member and a wiring process.

次に、図24は、プラズマ型表示装置(PDP装置:以下、単に表示装置700と称する)の要部分解斜視図である。なお、同図では表示装置700を、その一部を切り欠いた状態で示してある。
この表示装置700は、互いに対向して配置された第1基板701、第2基板702、及びこれらの間に形成される放電表示部703を含んで概略構成される。放電表示部703は、複数の放電室705により構成されている。これらの複数の放電室705のうち、赤色放電室705R、緑色放電室705G、青色放電室705Bの3つの放電室705が組になって1つの画素を構成するように配置されている。
Next, FIG. 24 is an exploded perspective view of an essential part of a plasma display device (PDP device: hereinafter simply referred to as a display device 700). In the figure, the display device 700 is shown with a part thereof cut away.
The display device 700 is schematically configured to include a first substrate 701 and a second substrate 702 that are disposed to face each other, and a discharge display portion 703 that is formed therebetween. The discharge display unit 703 includes a plurality of discharge chambers 705. Among the plurality of discharge chambers 705, the three discharge chambers 705 of the red discharge chamber 705R, the green discharge chamber 705G, and the blue discharge chamber 705B are arranged to form one pixel.

第1基板701の上面には所定の間隔で縞状にアドレス電極706が形成され、このアドレス電極706と第1基板701の上面とを覆うように誘電体層707が形成されている。誘電体層707上には、各アドレス電極706の間に位置し、且つ各アドレス電極706に沿うように隔壁708が立設されている。この隔壁708は、図示するようにアドレス電極706の幅方向両側に延在するものと、アドレス電極706と直交する方向に延設された図示しないものを含む。
そして、この隔壁708によって仕切られた領域が放電室705となっている。
Address electrodes 706 are formed in stripes at predetermined intervals on the upper surface of the first substrate 701, and a dielectric layer 707 is formed so as to cover the address electrodes 706 and the upper surface of the first substrate 701. On the dielectric layer 707, partition walls 708 are provided so as to be positioned between the address electrodes 706 and along the address electrodes 706. The partition 708 includes one extending on both sides in the width direction of the address electrode 706 as shown, and one not shown extending in the direction orthogonal to the address electrode 706.
A region partitioned by the partition 708 is a discharge chamber 705.

放電室705内には蛍光体709が配置されている。蛍光体709は、赤(R)、緑(G)、青(B)の何れかの色の蛍光を発光するもので、赤色放電室705Rの底部には赤色蛍光体709Rが、緑色放電室705Gの底部には緑色蛍光体709Gが、青色放電室705Bの底部には青色蛍光体709Bが各々配置されている。   A phosphor 709 is disposed in the discharge chamber 705. The phosphor 709 emits red (R), green (G), or blue (B) fluorescence. The red phosphor 709R is disposed at the bottom of the red discharge chamber 705R, and the green discharge chamber 705G. A green phosphor 709G and a blue phosphor 709B are arranged at the bottom and the blue discharge chamber 705B, respectively.

第2基板702の図中下側の面には、上記アドレス電極706と直交する方向に複数の表示電極711が所定の間隔で縞状に形成されている。そして、これらを覆うように誘電体層712、及びMgOなどからなる保護膜713が形成されている。
第1基板701と第2基板702とは、アドレス電極706と表示電極711が互いに直交する状態で対向させて貼り合わされている。なお、上記アドレス電極706と表示電極711は図示しない交流電源に接続されている。
そして、各電極706,711に通電することにより、放電表示部703において蛍光体709が励起発光し、カラー表示が可能となる。
On the lower surface of the second substrate 702 in the drawing, a plurality of display electrodes 711 are formed in stripes at predetermined intervals in a direction orthogonal to the address electrodes 706. A dielectric layer 712 and a protective film 713 made of MgO or the like are formed so as to cover them.
The first substrate 701 and the second substrate 702 are bonded so that the address electrodes 706 and the display electrodes 711 face each other in a state of being orthogonal to each other. The address electrode 706 and the display electrode 711 are connected to an AC power source (not shown).
When the electrodes 706 and 711 are energized, the phosphor 709 emits light in the discharge display portion 703, and color display is possible.

本実施形態においては、上記アドレス電極706、表示電極711、及び蛍光体709を、図1に示した液滴吐出装置1を用いて形成することができる。以下、第1基板701におけるアドレス電極706の形成工程を例示する。
この場合、第1基板701を液滴吐出装置1の吸着テーブル12に載置された状態で以下の工程が行われる。
まず、機能液滴吐出ヘッド3により、導電膜配線形成用材料を含有する液体材料(機能液)を機能液滴としてアドレス電極形成領域に着弾させる。この液体材料は、導電膜配線形成用材料として、金属等の導電性微粒子を分散媒に分散したものである。この導電性微粒子としては、金、銀、銅、パラジウム、又はニッケル等を含有する金属微粒子や、導電性ポリマー等が用いられる。
In the present embodiment, the address electrode 706, the display electrode 711, and the phosphor 709 can be formed using the droplet discharge device 1 shown in FIG. Hereinafter, a process of forming the address electrode 706 on the first substrate 701 will be exemplified.
In this case, the following steps are performed with the first substrate 701 placed on the suction table 12 of the droplet discharge device 1.
First, a liquid material (functional liquid) containing a conductive film wiring forming material is landed on the address electrode formation region as a functional liquid droplet by the functional liquid droplet ejection head 3. This liquid material is obtained by dispersing conductive fine particles such as metal in a dispersion medium as a conductive film wiring forming material. As the conductive fine particles, metal fine particles containing gold, silver, copper, palladium, nickel, or the like, a conductive polymer, or the like is used.

補充対象となる全てのアドレス電極形成領域について液体材料の補充が終了したならば、吐出後の液体材料を乾燥処理し、液体材料に含まれる分散媒を蒸発させることによりアドレス電極706が形成される。   When the replenishment of the liquid material is completed for all the address electrode formation regions to be replenished, the address material 706 is formed by drying the discharged liquid material and evaporating the dispersion medium contained in the liquid material. .

ところで、上記においてはアドレス電極706の形成を例示したが、上記表示電極711及び蛍光体709についても上記各工程を経ることにより形成することができる。
表示電極711の形成の場合、アドレス電極706の場合と同様に、導電膜配線形成用材料を含有する液体材料(機能液)を機能液滴として表示電極形成領域に着弾させる。
また、蛍光体709の形成の場合には、各色(R,G,B)に対応する蛍光材料を含んだ液体材料(機能液)を液滴吐出ヘッド3から液滴として吐出し、対応する色の放電室705内に着弾させる。
By the way, although the formation of the address electrode 706 has been exemplified in the above, the display electrode 711 and the phosphor 709 can also be formed through the above steps.
In the case of forming the display electrode 711, as in the case of the address electrode 706, a liquid material (functional liquid) containing a conductive film wiring forming material is landed on the display electrode formation region as a functional droplet.
In the case of forming the phosphor 709, a liquid material (functional liquid) containing a fluorescent material corresponding to each color (R, G, B) is ejected as droplets from the droplet ejection head 3, and the corresponding color In the discharge chamber 705.

次に、図25は、電子放出装置(FED装置あるいはSED装置ともいう:以下、単に表示装置800と称する)の要部断面図である。なお、同図では表示装置800を、その一部を断面として示してある。
この表示装置800は、互いに対向して配置された第1基板801、第2基板802、及びこれらの間に形成される電界放出表示部803を含んで概略構成される。電界放出表示部803は、マトリクス状に配置した複数の電子放出部805により構成されている。
Next, FIG. 25 is a cross-sectional view of an essential part of an electron emission device (also referred to as an FED device or an SED device: hereinafter simply referred to as a display device 800). In the drawing, a part of the display device 800 is shown as a cross section.
The display device 800 includes a first substrate 801, a second substrate 802, and a field emission display unit 803 formed therebetween, which are disposed to face each other. The field emission display unit 803 includes a plurality of electron emission units 805 arranged in a matrix.

第1基板801の上面には、カソード電極806を構成する第1素子電極806aおよび第2素子電極806bが相互に直交するように形成されている。また、第1素子電極806aおよび第2素子電極806bで仕切られた部分には、ギャップ808を形成した導電性膜807が形成されている。すなわち、第1素子電極806a、第2素子電極806bおよび導電性膜807により複数の電子放出部805が構成されている。導電性膜807は、例えば酸化パラジウム(PdO)等で構成され、またギャップ808は、導電性膜807を成膜した後、フォーミング等で形成される。   On the upper surface of the first substrate 801, a first element electrode 806a and a second element electrode 806b constituting the cathode electrode 806 are formed so as to be orthogonal to each other. In addition, a conductive film 807 having a gap 808 is formed in a portion partitioned by the first element electrode 806a and the second element electrode 806b. That is, the first element electrode 806a, the second element electrode 806b, and the conductive film 807 constitute a plurality of electron emission portions 805. The conductive film 807 is made of, for example, palladium oxide (PdO), and the gap 808 is formed by forming after forming the conductive film 807.

第2基板802の下面には、カソード電極806に対峙するアノード電極809が形成されている。アノード電極809の下面には、格子状のバンク部811が形成され、このバンク部811で囲まれた下向きの各開口部812に、電子放出部805に対応するように蛍光体813が配置されている。蛍光体813は、赤(R)、緑(G)、青(B)の何れかの色の蛍光を発光するもので、各開口部812には、赤色蛍光体813R、緑色蛍光体813Gおよび青色蛍光体813Bが、上記した所定のパターンで配置されている。   An anode electrode 809 that faces the cathode electrode 806 is formed on the lower surface of the second substrate 802. A grid-like bank portion 811 is formed on the lower surface of the anode electrode 809, and a phosphor 813 is disposed in each downward opening 812 surrounded by the bank portion 811 so as to correspond to the electron emission portion 805. Yes. The phosphor 813 emits fluorescence of any one of red (R), green (G), and blue (B), and each opening 812 has a red phosphor 813R, a green phosphor 813G, and a blue color. The phosphors 813B are arranged in the predetermined pattern described above.

そして、このように構成した第1基板801と第2基板802とは、微小な間隙を存して貼り合わされている。この表示装置800では、導電性膜(ギャップ808)807を介して、陰極である第1素子電極806aまたは第2素子電極806bから飛び出す電子を、陽極であるアノード電極809に形成した蛍光体813に当てて励起発光し、カラー表示が可能となる。   The first substrate 801 and the second substrate 802 configured as described above are bonded together with a minute gap. In this display device 800, electrons that jump out of the first element electrode 806 a or the second element electrode 806 b that are cathodes through the conductive film (gap 808) 807 are formed on the phosphor 813 formed on the anode electrode 809 that is an anode. When excited, it emits light and enables color display.

この場合も、他の実施形態と同様に、第1素子電極806a、第2素子電極806b、導電性膜807およびアノード電極809を、液滴吐出装置1を用いて形成することができると共に、各色の蛍光体813R,813G,813Bを、液滴吐出装置1を用いて形成することができる。   Also in this case, as in the other embodiments, the first element electrode 806a, the second element electrode 806b, the conductive film 807, and the anode electrode 809 can be formed using the droplet discharge device 1 and each color. The phosphors 813R, 813G, and 813B can be formed using the droplet discharge device 1.

第1素子電極806a、第2素子電極806bおよび導電性膜807は、図26(a)に示す平面形状を有しており、これらを成膜する場合には、図26(b)に示すように、予め第1素子電極806a、第2素子電極806bおよび導電性膜807を作り込む部分を残して、バンク部BBを形成(フォトリソグラフィ法)する。次に、バンク部BBにより構成された溝部分に、第1素子電極806aおよび第2素子電極806bを形成(液滴吐出装置1によるインクジェット法)し、その溶剤を乾燥させて成膜を行った後、導電性膜807を形成(液滴吐出装置1によるインクジェット法)する。そして、導電性膜807を成膜後、バンク部BBを取り除き(アッシング剥離処理)、上記のフォーミング処理に移行する。なお、上記の有機EL装置の場合と同様に、第1基板801および第2基板802に対する親液化処理や、バンク部811,BBに対する撥液化処理を行うことが、好ましい。   The first element electrode 806a, the second element electrode 806b, and the conductive film 807 have the planar shape shown in FIG. 26A, and when these are formed, as shown in FIG. In addition, the bank portion BB is formed (photolithographic method), leaving portions where the first element electrode 806a, the second element electrode 806b, and the conductive film 807 are previously formed. Next, the first element electrode 806a and the second element electrode 806b were formed in the groove portion constituted by the bank portion BB (inkjet method using the droplet discharge device 1), and the solvent was dried to form a film. After that, a conductive film 807 is formed (an ink jet method using the droplet discharge device 1). Then, after forming the conductive film 807, the bank portion BB is removed (ashing peeling process), and the process proceeds to the above forming process. As in the case of the organic EL device described above, it is preferable to perform a lyophilic process on the first substrate 801 and the second substrate 802 and a lyophobic process on the bank portions 811 and BB.

また、他の電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等の装置が考えられる。上記した液滴吐出装置1を各種の電気光学装置(デバイス)の製造に用いることにより、各種の電気光学装置を効率的に製造することが可能である。   As other electro-optical devices, devices such as metal wiring formation, lens formation, resist formation, and light diffuser formation are conceivable. By using the droplet discharge device 1 described above for manufacturing various electro-optical devices (devices), various electro-optical devices can be efficiently manufactured.

液滴吐出装置の平面図である。It is a top view of a droplet discharge device. 液滴吐出装置の上面斜視図である。It is a top perspective view of a droplet discharge device. 部分ユニットおよびタンクキャリッジの平面図である。It is a top view of a partial unit and a tank carriage. 機能液滴吐出ヘッドの(a)上面斜視図、(b)縦断面図である。2A is a top perspective view of a functional liquid droplet ejection head, and FIG. 機能液供給ユニットの側面図である。It is a side view of a functional liquid supply unit. 描画方法を説明する説明図である。It is explanatory drawing explaining the drawing method. 描画方法を説明する説明図である。It is explanatory drawing explaining the drawing method. 描画方法を説明する説明図である。It is explanatory drawing explaining the drawing method. カラーフィルタ製造工程を説明するフローチャートである。It is a flowchart explaining a color filter manufacturing process. (a)〜(e)は、製造工程順に示したカラーフィルタの模式断面図である。(A)-(e) is a schematic cross section of the color filter shown to the manufacturing process order. 本発明を適用したカラーフィルタを用いた液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。It is principal part sectional drawing which shows schematic structure of the liquid crystal device using the color filter to which this invention is applied. 本発明を適用したカラーフィルタを用いた第2の例の液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。It is principal part sectional drawing which shows schematic structure of the liquid crystal device of the 2nd example using the color filter to which this invention is applied. 本発明を適用したカラーフィルタを用いた第3の例の液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。It is principal part sectional drawing which shows schematic structure of the liquid crystal device of the 3rd example using the color filter to which this invention is applied. 有機EL装置である表示装置の要部断面図である。It is principal part sectional drawing of the display apparatus which is an organic electroluminescent apparatus. 有機EL装置である表示装置の製造工程を説明するフローチャートである。It is a flowchart explaining the manufacturing process of the display apparatus which is an organic electroluminescent apparatus. 無機物バンク層の形成を説明する工程図である。It is process drawing explaining formation of an inorganic bank layer. 有機物バンク層の形成を説明する工程図である。It is process drawing explaining formation of an organic substance bank layer. 正孔注入/輸送層を形成する過程を説明する工程図である。It is process drawing explaining the process in which a positive hole injection / transport layer is formed. 正孔注入/輸送層が形成された状態を説明する工程図である。It is process drawing explaining the state in which the positive hole injection / transport layer was formed. 青色の発光層を形成する過程を説明する工程図である。It is process drawing explaining the process in which a blue light emitting layer is formed. 青色の発光層が形成された状態を説明する工程図である。It is process drawing explaining the state in which the blue light emitting layer was formed. 各色の発光層が形成された状態を説明する工程図である。It is process drawing explaining the state in which the light emitting layer of each color was formed. 陰極の形成を説明する工程図である。It is process drawing explaining formation of a cathode. プラズマ型表示装置(PDP装置)である表示装置の要部分解斜視図である。It is a principal part disassembled perspective view of the display apparatus which is a plasma type display apparatus (PDP apparatus). 電子放出装置(FED装置)である表示装置の要部断面図である。It is principal part sectional drawing of the display apparatus which is an electron emission apparatus (FED apparatus). 表示装置の電子放出部廻りの平面図(a)およびその形成方法を示す平面図(b)である。It is the top view (a) around the electron emission part of a display apparatus, and the top view (b) which shows the formation method.

符号の説明Explanation of symbols

1 液滴吐出装置 2 X軸テーブル
4 機能液滴吐出ヘッド 5 キャリッジユニット
6 Y軸テーブル 7 メンテナンス装置
8 描画エリア 11 待機エリア
23 部分ユニット 28 キャリッジ
43 保管・吸引ユニット 44 ワイピングユニット
W 基板
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Droplet discharge device 2 X-axis table 4 Functional droplet discharge head 5 Carriage unit 6 Y-axis table 7 Maintenance apparatus 8 Drawing area 11 Standby area 23 Partial unit 28 Carriage 43 Storage / suction unit 44 Wiping unit W Substrate

Claims (8)

複数の画素領域を有する基板に対し、
色別の機能液を導入した色別複数の機能液滴吐出ヘッドを相対的に移動させながら、描画エリアにおいて前記複数の画素領域に配色パターンに基づいて機能液滴を吐出・着弾させて描画処理を行う液滴吐出装置であって、
前記色別複数の機能液滴吐出ヘッドをそれぞれキャリッジに搭載した色別複数のキャリッジユニットと、
前記基板を搭載すると共に前記基板をX軸方向に移動させるX軸テーブルと、
前記色別の各キャリッジユニットを、それぞれ前記描画エリアと前記各キャリッジユニットを保守するための待機エリアとの間でY軸方向に移動させる色別複数のY軸テーブルと、を備えたことを特徴とする液滴吐出装置。
For a substrate having a plurality of pixel regions,
Drawing process by ejecting and landing functional droplets on the multiple pixel areas in the drawing area based on the color arrangement pattern while relatively moving the multiple functional liquid droplet ejection heads that introduce functional liquids for each color A droplet discharge device for performing
A plurality of color-specific carriage units each having a plurality of color-specific functional liquid droplet ejection heads mounted on a carriage;
An X-axis table for mounting the substrate and moving the substrate in the X-axis direction;
A plurality of Y-axis tables for each color that move each carriage unit for each color in the Y-axis direction between the drawing area and a standby area for maintaining each carriage unit. A droplet discharge device.
前記色別の各キャリッジユニットは、それぞれが前記色別複数の機能液滴吐出ヘッドを搭載した複数の部分ユニットで構成されており、
前記色別の各Y軸テーブルは、前記複数の部分ユニットをY軸方向に個々に移動可能に構成されていることを特徴とする請求項1に記載の液滴吐出装置。
Each color-specific carriage unit is composed of a plurality of partial units each equipped with a plurality of functional liquid droplet ejection heads for each color,
2. The droplet discharge device according to claim 1, wherein each Y-axis table for each color is configured to be capable of individually moving the plurality of partial units in the Y-axis direction.
前記色別の各キャリッジユニットは、基板に対しラインプリント方式で描画可能に構成されていることを特徴とする請求項1または2に記載の液滴吐出装置。   3. The droplet discharge device according to claim 1, wherein each carriage unit for each color is configured to be capable of drawing on a substrate by a line printing method. 前記色別複数のY軸テーブルに対応する複数の前記待機エリアが、前記描画エリアを挟んで千鳥状に位置するように、前記色別複数のY軸テーブルが配設されていることを特徴とする請求項1ないし3のいずれかに記載の液滴吐出装置。   The plurality of Y-axis tables by color are arranged so that the plurality of standby areas corresponding to the plurality of Y-axis tables by color are staggered across the drawing area. The droplet discharge device according to claim 1. 前記各待機エリアには、前記各機能液滴吐出ヘッドを機能維持状態に保管する保管ユニットと、前記各機能液滴吐出ヘッドのノズル面をワイピングするワイピングユニットと、を有するメンテナンス装置がそれぞれ配設されていることを特徴とする請求項1ないし4のいずれかに記載の液滴吐出装置。   Each standby area is provided with a maintenance device having a storage unit for storing each functional droplet discharge head in a function maintaining state and a wiping unit for wiping the nozzle surface of each functional droplet discharge head. The droplet discharge device according to claim 1, wherein the droplet discharge device is provided. 請求項1ないし5のいずれかに記載の液滴吐出装置を用い、前記ワークに前記機能液滴による成膜部を形成することを特徴とする電気光学装置の製造方法。   6. A method of manufacturing an electro-optical device, wherein the droplet discharge device according to claim 1 is used to form a film forming portion with the functional droplets on the workpiece. 請求項1ないし5のいずれかに記載の液滴吐出装置を用い、前記ワークに前記機能液滴による成膜部を形成したことを特徴とする電気光学装置。   An electro-optical device using the droplet discharge device according to claim 1, wherein a film-forming portion made of the functional droplet is formed on the workpiece. 請求項6に記載の電気光学装置の製造方法により製造した電気光学装置または請求項7に記載の電気光学装置を搭載したことを特徴とする電子機器。   An electronic apparatus comprising the electro-optical device manufactured by the method for manufacturing the electro-optical device according to claim 6 or the electro-optical device according to claim 7.
JP2004260996A 2004-09-08 2004-09-08 Liquid drop ejector, method for manufacturing electrooptical device, electrooptical device, and electronic apparatus Pending JP2006076065A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2004260996A JP2006076065A (en) 2004-09-08 2004-09-08 Liquid drop ejector, method for manufacturing electrooptical device, electrooptical device, and electronic apparatus

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2004260996A JP2006076065A (en) 2004-09-08 2004-09-08 Liquid drop ejector, method for manufacturing electrooptical device, electrooptical device, and electronic apparatus

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2006076065A true JP2006076065A (en) 2006-03-23

Family

ID=36155929

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2004260996A Pending JP2006076065A (en) 2004-09-08 2004-09-08 Liquid drop ejector, method for manufacturing electrooptical device, electrooptical device, and electronic apparatus

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2006076065A (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007090250A (en) * 2005-09-29 2007-04-12 Toppan Printing Co Ltd Apparatus and method for forming image

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007090250A (en) * 2005-09-29 2007-04-12 Toppan Printing Co Ltd Apparatus and method for forming image

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4561795B2 (en) Suction device, droplet discharge device including the same, and method of manufacturing electro-optical device
KR100671814B1 (en) Liquid droplet discharge device, method of manufacturing electro-optical device, electro-optical device and electronic apparatus
JP4258544B2 (en) Droplet ejection apparatus and electro-optic device manufacturing method
JP4501988B2 (en) Functional liquid filling method for functional liquid droplet ejection head, functional liquid supply device, and liquid droplet ejection apparatus
JP5359973B2 (en) Droplet discharge device
JP5671975B2 (en) Drawing method for droplet discharge device
JP2009054428A (en) Suction device, suction system and liquid drop discharge device, and manufacturing method of electro-optical device, and electro-optical device
JP4967741B2 (en) Droplet ejection apparatus and electro-optic device manufacturing method
JP2009006212A (en) Liquid drop discharger, manufacturing method of electro-optic device, and electro-optic device
JP4396732B2 (en) Droplet discharge head arrangement method, head unit, droplet discharge device, and electro-optical device manufacturing method
JP4631357B2 (en) Drawing control method for liquid droplet ejection apparatus, liquid droplet ejection apparatus, and electro-optical device manufacturing method
JP4821104B2 (en) Head unit in liquid droplet ejection apparatus, liquid droplet ejection apparatus including the head unit, and method of manufacturing electro-optical device
JP4293043B2 (en) Drawing method using liquid droplet ejection apparatus, liquid droplet ejection apparatus, and electro-optical device manufacturing method
JP4788548B2 (en) Droplet discharge device
JP2006076065A (en) Liquid drop ejector, method for manufacturing electrooptical device, electrooptical device, and electronic apparatus
JP4631356B2 (en) Drawing control method for liquid droplet ejection apparatus, liquid droplet ejection apparatus, and electro-optical device manufacturing method
JP4631448B2 (en) Drawing method for liquid droplet ejection apparatus, liquid droplet ejection apparatus, and electro-optical device manufacturing method
JP4742768B2 (en) Functional droplet discharge head maintenance device, droplet discharge device including the same, and method of manufacturing electro-optical device
JP2008188807A (en) Flushing unit, liquid droplet delivering apparatus, method for manufacturing electrooptic apparatus, electrooptic apparatus, and electronic instrument
JP2008221184A (en) Liquid droplet discharge apparatus, manufacturing method of electro-optical device, electro-optical device, and electronic apparatus
JP2006192412A (en) Liquid drop discharge device, manufacturing method of elecro-optical device, electro-optical device and electronic equipment
JP4631355B2 (en) Drawing control method for liquid droplet ejection apparatus, liquid droplet ejection apparatus, and electro-optical device manufacturing method
JP4670848B2 (en) Droplet discharge device and method of manufacturing electro-optical device
JP4876993B2 (en) Drawing method for droplet discharge device, droplet discharge device, method for manufacturing electro-optical device, electro-optical device, and electronic apparatus
JP2006078896A (en) Drawing method using droplet ejection apparatus, droplet ejection apparatus, manufacturing method of electrooptical apparatus, electrooptical apparatus and electronic equipment