JP2006049497A - プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 処理室101内に設けた試料台102およびシャワープレート109の中央部と周縁部とにそれぞれ異なる量のガスおよび冷媒を供給するようにしたするプラズマ処理装置100において、処理室101内のプラズマ発光を受光する受光部125および発光分析器124と、処理室下部内のガスの質量を分析する質量分析器129と、制御部130とを備え、発光分析と質量分析の双方のデータを用いて、処理室内へ供給するガスの流量を制御する流量制御装置120,121と、試料台102へ供給する冷媒の流量を制御する冷媒流量調節器131とを制御する。
【選択図】 図1
Description
。すなわち、本実施例では複数の異なる種類のガス各々が異なる箇所から処理室101内へ供給され、それぞれ独立した供給路を有する構成である。この他、各々の箇所から供給される各系統のガスが複数種類の異なる組合せで構成された混合ガスでも良く、また、同一種類のガスで異なる組成値となる混合ガスであっても良い。
Claims (7)
- 減圧される処理室と、この処理室内に配置されその上に処理対象となる試料が載置される試料台と、前記試料台上方から前記処理室内に処理ガスを供給する供給孔とを有し、前記処理ガスを用いて前記処理室内に形成したプラズマにより前記試料を処理するプラズマ処理装置であって、
前記プラズマの発光を受けて前記プラズマ中の成分を検出する発光分析器と、前記処理室内のガスを導いてこのガス中の成分の質量を検出する質量分析器と、前記発光分析器からの出力と前記質量分析器からの出力とに基づいて前記プラズマ処理装置の運転を調節する制御装置とを備えたプラズマ処理装置。 - 請求項1に記載のプラズマ処理装置であって、前記制御装置が前記処理室への前記処理ガスの供給、前記試料台内に供給される冷媒の温度、前記試料と前記試料台との間に供給される熱伝達用ガスの圧力、前記試料台に備えられた電極に供給される電力のうち少なくとも1つを調節するプラズマ処理装置。
- 減圧される処理室と、この処理室内に配置されその上に処理対象となる試料が載置される試料台と、この試料台上方に配置されたプレート上の前記処理室の中央側と外周側とに設けられ前記処理室内に各々異なる処理ガスを供給する2つの供給孔とを有し、前記処理ガスを用いて前記処理室内に形成したプラズマにより前記試料を処理するプラズマ処理装置であって、
前記プラズマの発光を受けて前記プラズマ中の成分を検出する発光分析器と、前記処理室内のガスを導いてこのガス中の成分の質量を検出する質量分析器と、前記発光分析器からの出力と前記質量分析器からの出力とに基づいて前記2つの供給孔からの処理ガスの供給を調節する制御装置とを備えたプラズマ処理装置。 - 減圧される処理室の内側に配置された試料台上に処理対象の試料を載置して、前記処理室内に処理ガスを供給しこの処理室内にプラズマを形成し前記試料を処理するプラズマ処理方法であって、
前記プラズマの発光を受けてこのプラズマ中の発光する成分を検出した結果と前記処理室内のガスを導いてこのガス中の成分の質量を検出した結果とに基づいて前記試料の処理を調節するプラズマ処理方法。 - 請求項4に記載のプラズマ処理方法であって、前記プラズマ中の発光する成分を検出した結果と前記処理室内のガス中の成分の質量を検出した結果とから前記試料表面での前記プラズマ中の成分の分布を検出して、この結果に基づいて前記試料の処理を調節するプラズマ処理方法。
- 請求項4または5に記載のプラズマ処理方法であって、前記試料の調節は前記処理室に供給される処理ガスの供給、前記試料台内に供給される冷媒の温度、前記試料と前記試料台との間に供給される熱伝達用ガスの圧力、前記試料台に備えられた電極に供給される電力のうち少なくとも1つを調節して行われるプラズマ処理方法。
- 減圧された処理室の内側に配置された試料台上に処理対象の試料を載置して、前記処理室内に前記試料台の上方の中央側および外周側から各々異なる処理ガスを供給しこの処理室内にプラズマを形成し前記試料を処理するプラズマ処理方法であって、
前記プラズマの発光を受けてこのプラズマ中の発光する成分を検出した結果と前記処理室内のガスを導いてこのガス中の成分の質量を検出した結果とから前記試料表面での前記プラズマ中の成分の分布を検出して、この結果に基づいて前記異なる処理ガスの前記処理室への供給を調節して前記試料を処理するプラズマ処理方法。
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