JP2006049267A - トランジスタパラメータを均一化するためのイオン注入装置及びそれを用いたイオン注入方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 イオンビームソースから送出されたイオンビームをフォーカシングする第1四重極磁極組立体(21)と、第1四重極磁極組立体(21)を通過したイオンビームを、X軸方向及びY軸方向に偏向させるX/Yスキャナ(22)と、X/Yスキャナ(22)を通過したイオンビームを、縦方向及び横方向に圧縮または拡張させる第2四重極磁極組立体(23)と、第2四重極磁極組立体(23)に同期してイオンビームを回転させるビーム平行器(24)とを備え、ビーム平行器(24)を通過したイオンビームが、ウェハにイオン注入される。
【選択図】 図3
Description
22 X/Yスキャナ
23 第2四重極磁極組立体
24 回転式ビーム平行器
25 ウェハ
Claims (12)
- イオンビームソースから送出されたイオンビームをフォーカシングする第1四重極磁極組立体と、
該第1四重極磁極組立体を通過した前記イオンビームを、X軸方向及びY軸方向に偏向させるX/Yスキャナと、
該X/Yスキャナを通過した前記イオンビームを、縦方向に拡張及び横方向に圧縮、または縦方向に圧縮及び横方向に拡張させる第2四重極磁極組立体と、
該第2四重極磁極組立体と同期して前記イオンビームを回転させるビーム平行器とを備え、
該ビーム平行器を通過した前記イオンビームが、ウェハにイオン注入されることを特徴とするイオン注入装置。 - 前記第1四重極磁極組立体及び第2四重極磁極組立体が、それぞれ4つの磁極を有する第1磁極組立体及び第2磁極組立体備えて構成され、
入射される前記イオンビームに対して、前記第1磁極組立体が前段に配置され、前記第2磁極組立体が後端に配置されることを特徴とする請求項1に記載のイオン注入装置。 - 前記第1及び2磁極組立体がそれぞれ、長方形の各頂点に配置される2つのS磁極及び2つのN磁極を備え、
2つの前記S磁極が第1の対角線方向に配置され、
2つの前記N磁極が、前記第1の対角線方向と異なる第2の対角線方向に配置されることを特徴とする請求項2に記載のイオン注入装置。 - 前記第1磁極組立体が、前記イオンビームを縦方向に圧縮させ、横方向に拡張させるように前記S磁極及び前記N磁極が配置され、
前記第2磁極組立体が、前記イオンビームを縦方向に拡張させ、横方向に圧縮させるように前記S磁極及び前記N磁極が配置されることを特徴とする請求項3に記載のイオン注入装置。 - 前記ウェハを搭載する搭載手段を備え、
前記第2四重極磁極組立体に同期して、前記搭載手段が前記ウェハを回転させることを特徴とする請求項1に記載のイオン注入装置。 - 前記ビーム平行器が、前記第2四重極磁極組立体に同期して前記イオンビームを360゜または90゜回転させることを特徴とする請求項1に記載のイオン注入装置。
- 前記ビーム平行器が、十字型ビーム平行器であることを特徴とする請求項1に記載のイオン注入装置。
- 前記X/Yスキャナが、前記第2四重極磁極組立体に同期してX方向及びY方向に選択的にスキャニングンすることを特徴とする請求項1に記載のイオン注入装置。
- 前記X/Yスキャナが、長方形または円筒形状の偏向器に各々配置されたXスキャン用電極及びYスキャン用電極を備えることを特徴とする請求項1に記載のイオン注入装置。
- スキャナを通過したイオンビームを、縦方向に圧縮及び横方向に拡張、並びに縦方向に拡張及び横方向に圧縮させることが可能な四重極磁極組立体を用いて、ウェハの中央部において縦方向のイオンビームと横方向のイオンビームとを重畳させて照射することを特徴とするイオン注入方法。
- 前記四重極磁極組立体が、各々4つの磁極を有する第1磁極組立体及び第2磁極組立体を備えて構成されることを特徴とする請求項10に記載のイオン注入方法。
- 前記第1磁極組立体が、前記イオンビームを縦方向に圧縮させ、横方向に拡張させるように配置されたS磁極及びN磁極を備え、
前記第2磁極組立体が、前記イオンビームを縦方向に拡張させ、横方向に圧縮させるように配置されたS磁極及びN磁極を備えることを特徴とする請求項11に記載のイオン注入方法。
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