JP2006049169A - 燃料電池の製造方法、燃料電池、及び電子機器 - Google Patents
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Abstract
【課題】 微細な燃料用流路等を容易かつ低コストに、また大量に形成することが可能な燃料電池の製造方法、燃料電池、及び電子機器を提案する。
【解決手段】 有機燃料Mが供給されるアノード基板14及び酸化剤ガスAが供給されるカソード基板15を樹脂材料32により形成する工程と、電解質膜11をアノード基板14及びカソード基板15により狭持してセル10を形成する工程と、を有する燃料電池1の製造方法において、アノード基板14及びカソード基板15の形成工程は、所定のパターンが形成された型30を用いて、樹脂材料32にパターンを転写する転写工程と、パターンが転写された樹脂材料32を固化させる工程と、を有するようにした。
【選択図】 図3
【解決手段】 有機燃料Mが供給されるアノード基板14及び酸化剤ガスAが供給されるカソード基板15を樹脂材料32により形成する工程と、電解質膜11をアノード基板14及びカソード基板15により狭持してセル10を形成する工程と、を有する燃料電池1の製造方法において、アノード基板14及びカソード基板15の形成工程は、所定のパターンが形成された型30を用いて、樹脂材料32にパターンを転写する転写工程と、パターンが転写された樹脂材料32を固化させる工程と、を有するようにした。
【選択図】 図3
Description
本発明は、燃料電池に関し、特に、メタノールなどの有機燃料を供給しながら発電するDMFC方式の燃料電池に関する。
燃料電池としては、従来から固体電解質型、溶融炭酸塩型、リン酸型などが知られているが、近年、電解質膜としてイオン交換樹脂からなる固体高分子膜を用いることによって、比較的低温で運転できる固体高分子型燃料電池(PEFC)が開発されている。このPEFCは、メタノールやメタンなどの燃料ガスを改質器で水素リッチな改質ガスに改質して燃料とするが一般的であるが、更にメタノールを改質せずに直接燃料とするダイレクトメタノール形燃料電池(DMFC:Direct Methanol Fuel Cell)の研究が活発化している。
DMFCは、水素容器や改質器が不用であるため、コンパクトで起動が早く、負荷変動応答性も優れていて、自動車やポータブル電源として理想的とも言える形態である。構造はPEFCとほぼ同様で、電解質膜に電極を貼り合わせた接合体(セル)をつくり、これを積み重ねて必要な電圧を取り出すようになっている。
燃料電池の出力は、電解質膜と燃料及び電極(触媒)の接する所謂三相界面の面積に比例する。このため、MEMS(Micro Electro Mechanical System)技術を用いて、シリコン単結晶ウエハに均一な孔等からなる流路を形成して、電解質膜に燃料等を均一に接触させる技術が検討されている。
Yong Ho Seo, MEMS-based direct methanol fuel cells and their stacks using a common electrolyte sandwiched by reinforced microcolumn electrodes, MEMS 2000 TECHNICAL DIGEST, IEEE, P65-68(2004)
DMFCは、水素容器や改質器が不用であるため、コンパクトで起動が早く、負荷変動応答性も優れていて、自動車やポータブル電源として理想的とも言える形態である。構造はPEFCとほぼ同様で、電解質膜に電極を貼り合わせた接合体(セル)をつくり、これを積み重ねて必要な電圧を取り出すようになっている。
燃料電池の出力は、電解質膜と燃料及び電極(触媒)の接する所謂三相界面の面積に比例する。このため、MEMS(Micro Electro Mechanical System)技術を用いて、シリコン単結晶ウエハに均一な孔等からなる流路を形成して、電解質膜に燃料等を均一に接触させる技術が検討されている。
Yong Ho Seo, MEMS-based direct methanol fuel cells and their stacks using a common electrolyte sandwiched by reinforced microcolumn electrodes, MEMS 2000 TECHNICAL DIGEST, IEEE, P65-68(2004)
しかしながら、上述した技術では、電極が形成されると共に電解質膜を挟持する基板として高価なシリコンウエハが用いられるため、製造コストが上昇してしまうため、供給量が重視される電源分野においては必ずしも適していないという問題がある。
また、射出成型技術を用いて流路を形成する試みをあるが、微細な流路を射出形成技術により形成することは困難である。
また、射出成型技術を用いて流路を形成する試みをあるが、微細な流路を射出形成技術により形成することは困難である。
本発明は、上述した事情に鑑みてなされたもので、微細な燃料用流路等を容易かつ低コストに、また大量に形成することが可能な燃料電池の製造方法、燃料電池、及び電子機器を提案することを目的とする。
本発明に係る燃料電池の製造方法、燃料電池、及び電子機器では、上記課題を解決するために以下の手段を採用した。
第1の発明は、有機燃料が供給されるアノード基板及び酸化剤ガスが供給されるカソード基板を樹脂材料により形成する工程と、電解質膜をアノード基板及びカソード基板により狭持してセルを形成する工程と、を有する燃料電池の製造方法において、アノード基板及びカソード基板の形成工程は、所定のパターンが形成された型を用いて、樹脂材料にパターンを転写する転写工程と、パターンが転写された樹脂材料を固化させる工程と、を有するようにした。
この発明によれば、アノード基板及びカソード基板を型転写技術により製造することができるので、効率よく大量かつ安価な燃料電池を製造することができる。
また、パターンが、有機燃料又は酸化剤ガスが流通する流路と、流路から電解質膜に向けて開口する複数の孔と、を形成するためのパターンであるものでは、アノード基板に有機燃料を供給すると共に、カソード基板に酸化剤ガスを供給することによって発電する燃料電池を効率よく製造することができる。
例えば、型としては、ガラス又はシリコンを用いることができる。
また、パターンが、MEMS技術により形成されるものでは、微細な流路及び複数の孔を高精度に形成することができるので、有機燃料及び酸化剤ガスの流通の円滑化及び安定化を図ることができる。
また、樹脂材料としては、熱硬化型樹脂又は紫外線硬化型樹脂を用いることができるので、容易かつ安価にアノード基板及びカソード基板を製造することができる。
また、アノード基板及びカソード基板の形成工程が、更に、導電性材料及び貴金属触媒を成膜してアノード又はカソードを形成する工程を有することにより、アノード基板及びカソード基板に形成された複数の孔にもアノード又はカソードが形成されるので、安定して高い出力が得られる燃料電池を製造することができる。
第1の発明は、有機燃料が供給されるアノード基板及び酸化剤ガスが供給されるカソード基板を樹脂材料により形成する工程と、電解質膜をアノード基板及びカソード基板により狭持してセルを形成する工程と、を有する燃料電池の製造方法において、アノード基板及びカソード基板の形成工程は、所定のパターンが形成された型を用いて、樹脂材料にパターンを転写する転写工程と、パターンが転写された樹脂材料を固化させる工程と、を有するようにした。
この発明によれば、アノード基板及びカソード基板を型転写技術により製造することができるので、効率よく大量かつ安価な燃料電池を製造することができる。
また、パターンが、有機燃料又は酸化剤ガスが流通する流路と、流路から電解質膜に向けて開口する複数の孔と、を形成するためのパターンであるものでは、アノード基板に有機燃料を供給すると共に、カソード基板に酸化剤ガスを供給することによって発電する燃料電池を効率よく製造することができる。
例えば、型としては、ガラス又はシリコンを用いることができる。
また、パターンが、MEMS技術により形成されるものでは、微細な流路及び複数の孔を高精度に形成することができるので、有機燃料及び酸化剤ガスの流通の円滑化及び安定化を図ることができる。
また、樹脂材料としては、熱硬化型樹脂又は紫外線硬化型樹脂を用いることができるので、容易かつ安価にアノード基板及びカソード基板を製造することができる。
また、アノード基板及びカソード基板の形成工程が、更に、導電性材料及び貴金属触媒を成膜してアノード又はカソードを形成する工程を有することにより、アノード基板及びカソード基板に形成された複数の孔にもアノード又はカソードが形成されるので、安定して高い出力が得られる燃料電池を製造することができる。
第2の発明は、燃料電池が、第1の発明の方法により製造されるようにした。これにより、上記効果をともなった燃料電池を提供することができる。
第3の発明は、電子機器が、第2の発明の燃料電池を備えるようにした。これにより、上記効果をともなった電子機器を提供することができる。
以下、本発明の燃料電池の製造方法、燃料電池、及び電子機器の実施形態について図を参照して説明する。
〔燃料電池〕
図1は本実施の形態にかかる燃料電池1の構成を示す断面図、図2はアノード基板14及びカソード基板15の平面図である。なお、図2のAA断面が図1におけるアノード基板14及びカソード基板15の断面に対応する。
燃料電池1は、図1に示すように、複数の燃料電池セル10を積層させることにより形成される。なお、図1は、3つの燃料電池セル10を積層させた場合である。
燃料電池セル10は、電解質膜11、アノード(燃料極)12、カソード(空気極)13、アノード12及びチャンネル(燃料用流路)14cが形成されたアノード基板14、カソード13及びチャンネル(空気用流路)15cが形成されたカソード基板15とからなる。そして、電解質膜11の一方の面にアノード12が、多方の面にカソード13が配置されるように、電解質膜11をアノード基板14とカソード基板15とで挟持することにより構成される。
なお、アノード基板14にメタノールを供給するためのメタノール供給機構やカソード基板15に空気を供給する空気供給器等も備えるが、図1においては省略している。
そして、アノード基板14に形成されたチャンネル14cにメタノール水溶液が供給されると共にカソード基板15に形成されたチャンネル15cに空気(酸素)が供給されることによって、アノード12でメタノールが水と反応してプロトン(水素イオン)、電子と二酸化炭素を生成し、生成したプロトンが電解質膜11中を移動してカソード13で酸素及び電子と結合して水になる。この時、外部に電流が取り出される。
〔燃料電池〕
図1は本実施の形態にかかる燃料電池1の構成を示す断面図、図2はアノード基板14及びカソード基板15の平面図である。なお、図2のAA断面が図1におけるアノード基板14及びカソード基板15の断面に対応する。
燃料電池1は、図1に示すように、複数の燃料電池セル10を積層させることにより形成される。なお、図1は、3つの燃料電池セル10を積層させた場合である。
燃料電池セル10は、電解質膜11、アノード(燃料極)12、カソード(空気極)13、アノード12及びチャンネル(燃料用流路)14cが形成されたアノード基板14、カソード13及びチャンネル(空気用流路)15cが形成されたカソード基板15とからなる。そして、電解質膜11の一方の面にアノード12が、多方の面にカソード13が配置されるように、電解質膜11をアノード基板14とカソード基板15とで挟持することにより構成される。
なお、アノード基板14にメタノールを供給するためのメタノール供給機構やカソード基板15に空気を供給する空気供給器等も備えるが、図1においては省略している。
そして、アノード基板14に形成されたチャンネル14cにメタノール水溶液が供給されると共にカソード基板15に形成されたチャンネル15cに空気(酸素)が供給されることによって、アノード12でメタノールが水と反応してプロトン(水素イオン)、電子と二酸化炭素を生成し、生成したプロトンが電解質膜11中を移動してカソード13で酸素及び電子と結合して水になる。この時、外部に電流が取り出される。
具体的には、アノード12では、メタノールが水と反応する。
CH3OH+ H2O→CO2+6H++6e− …(1)
アノード12側で発生したプロトン(H+)は、電解質膜11を透過してカソード13に移動して、酸素と反応する。
O2+4H++4e−→2H2O …(2)
CH3OH+ H2O→CO2+6H++6e− …(1)
アノード12側で発生したプロトン(H+)は、電解質膜11を透過してカソード13に移動して、酸素と反応する。
O2+4H++4e−→2H2O …(2)
そして、この時、アノード12及びカソード13に連結された外部回路に電流が取り出される。
なお、電解質膜11は、アノード12側に供給されるメタノール水溶液中の水分によって保湿されるので、そのイオン導伝性は確保される。
そして、燃料電池セル10を、絶縁性を有するプラスチックカバー16を介して複数枚積層することにより、所定の電力を発電可能とする燃料電池を構成することができる。言い換えれば、必要とする電力に応じて燃料電池セル10の積層枚数が決定される。
このように、燃料電池は、常温で液体の燃料を使用でき、また改質器を必要としないため、燃料を供給する部分の装置構成をシンプルにすることができる。
なお、電解質膜11は、アノード12側に供給されるメタノール水溶液中の水分によって保湿されるので、そのイオン導伝性は確保される。
そして、燃料電池セル10を、絶縁性を有するプラスチックカバー16を介して複数枚積層することにより、所定の電力を発電可能とする燃料電池を構成することができる。言い換えれば、必要とする電力に応じて燃料電池セル10の積層枚数が決定される。
このように、燃料電池は、常温で液体の燃料を使用でき、また改質器を必要としないため、燃料を供給する部分の装置構成をシンプルにすることができる。
燃料電池セル10は、上述したように、電解質膜11をアノード12が形成されたアノード基板14とカソード13が形成されたカソード基板15によって挟持して構成されている。
電解質膜11は、パーフルオロスルホン酸系樹脂からなるイオン交換膜であり、電解質としての役割に加え、燃料と空気が混じらないよう分けるセパレーターの役目を果たしている。
アノード12及びカソード13は、いずれも貴金属触媒を担持した銅(Cu)をアノード基板14及びカソード基板15上に成膜させたものである。アノード12の貴金属触媒としては、白金(Pt)−ルテニウム(Ru)、カソード13の貴金属触媒としては、白金が用いられる。
電解質膜11は、パーフルオロスルホン酸系樹脂からなるイオン交換膜であり、電解質としての役割に加え、燃料と空気が混じらないよう分けるセパレーターの役目を果たしている。
アノード12及びカソード13は、いずれも貴金属触媒を担持した銅(Cu)をアノード基板14及びカソード基板15上に成膜させたものである。アノード12の貴金属触媒としては、白金(Pt)−ルテニウム(Ru)、カソード13の貴金属触媒としては、白金が用いられる。
アノード基板14とカソード基板15は、図1及び図2に示すように、略同一形状の板部材であって、樹脂により形成される。
アノード基板14には、燃料用流路としてのチャンネル14cが形成され、同様に、カソード基板15には、空気用流路としてのチャンネル15cが形成されている。また、チャンネル14c,15cから他方の面(電解質膜11との接触面)に達する貫通孔14k,15kがそれぞれ形成されている。
そして、上述したように、アノード基板14及びカソード基板15のチャンネル14c,15cが形成された面には、それぞれアノード12、カソード13が膜状に形成されている。なお、アノード12、カソード13は、それぞれ貫通孔14k,15kにも形成される。これにより、アノード12、カソード13が貫通孔14k,15kの部分で電解質膜11に触れるようになる。
アノード基板14には、燃料用流路としてのチャンネル14cが形成され、同様に、カソード基板15には、空気用流路としてのチャンネル15cが形成されている。また、チャンネル14c,15cから他方の面(電解質膜11との接触面)に達する貫通孔14k,15kがそれぞれ形成されている。
そして、上述したように、アノード基板14及びカソード基板15のチャンネル14c,15cが形成された面には、それぞれアノード12、カソード13が膜状に形成されている。なお、アノード12、カソード13は、それぞれ貫通孔14k,15kにも形成される。これにより、アノード12、カソード13が貫通孔14k,15kの部分で電解質膜11に触れるようになる。
〔燃料電池の製造方法〕
次に、燃料電池セル10の製造方法について図を用いて説明する。
図3は、燃料電池1の製造工程を説明する図である。
アノード基板14及びカソード基板15は、ガラス基板或いはシリコン基板からなる同一の型20によって形成される。このため、アノード基板14及びカソード基板15を成型するための型20をMEMS技術を用いて形成する(図3(a)〜(c)参照)。なお、本実施形態においては、型20の材料としてガラス基板21を用いる。
まず、図3(a)に示すように、ガラス基板21上にクロム(Cr)22を所定位置に蒸着させる。このクロム22の位置は、上述した貫通孔14k,15kの位置に対応する。そして、クロム22をマスクとして、ガラス基板21に対して弗酸水溶液を用いてウェットエッチングを施す。具体的には、ガラス基板21の表面から、例えば約50μm程度の深さまで取り除く。
なお、エッチングの方法としては、ウェットエッチングに限らず、ドライエッチングであってもよい。
次に、燃料電池セル10の製造方法について図を用いて説明する。
図3は、燃料電池1の製造工程を説明する図である。
アノード基板14及びカソード基板15は、ガラス基板或いはシリコン基板からなる同一の型20によって形成される。このため、アノード基板14及びカソード基板15を成型するための型20をMEMS技術を用いて形成する(図3(a)〜(c)参照)。なお、本実施形態においては、型20の材料としてガラス基板21を用いる。
まず、図3(a)に示すように、ガラス基板21上にクロム(Cr)22を所定位置に蒸着させる。このクロム22の位置は、上述した貫通孔14k,15kの位置に対応する。そして、クロム22をマスクとして、ガラス基板21に対して弗酸水溶液を用いてウェットエッチングを施す。具体的には、ガラス基板21の表面から、例えば約50μm程度の深さまで取り除く。
なお、エッチングの方法としては、ウェットエッチングに限らず、ドライエッチングであってもよい。
次に、図3(b)に示すように、クロム22を剥離し、再度クロム23を所定位置に蒸着する。このクロム23の位置は、上述したチャンネル14c,15cの位置に対応する。そして、クロム23をマスクとして、ガラス基板21に対してドライエッチングを施す。具体的には、ガラス基板21の表面から、例えば約100μm程度の深さまで取り除く。
なお、ドライエッチングは、反応性イオンエッチング(RIE:Reactive Ion Etching)であってもよい。また、ウェットエッチングであってもよい。
なお、ドライエッチングは、反応性イオンエッチング(RIE:Reactive Ion Etching)であってもよい。また、ウェットエッチングであってもよい。
次いで、クロム23を剥離し、ジメチルシロキ酸アルコール溶液を表面(転写面)に塗布することにより、転写面を撥水処理する。このようにして、図3(c)に示すように、型20の形成が完了する。
次に、上述した型20を用いて、アノード基板14及びカソード基板15を成型する。
まず、ワックス31を蒸着した平坦な成型台30上に、エポキシ系或いはアクリル系の紫外線硬化樹脂32を塗布する。そして、図3(d)に示すように、紫外線硬化樹脂32に対して、型20の転写面側を押し付ける。これにより、紫外線硬化樹脂32は、型20の転写面20aにより形成された空隙に充填される。
そして、この状態で、紫外線硬化樹脂32に対して紫外線を照射して、硬化させた後に、型20及び成型台30を取り除く。
次いで、ワックス31及び硬化した紫外線硬化樹脂32に対して、弱アルカリ又は弱酸水溶液により、ワックス31と硬化した紫外線硬化樹脂32の表面32aを僅かに取り除く。
このようにして、図3(e)に示すように、チャンネル14c,15c及び貫通孔14k,15kを有するアノード基板14及びカソード基板15を紫外線硬化樹脂32により形成する。
なお、アノード基板14及びカソード基板15の厚みは、型20の転写面20aに形成された空隙の深さに対応するので、上述した例の場合には、約100μm程度となる。
まず、ワックス31を蒸着した平坦な成型台30上に、エポキシ系或いはアクリル系の紫外線硬化樹脂32を塗布する。そして、図3(d)に示すように、紫外線硬化樹脂32に対して、型20の転写面側を押し付ける。これにより、紫外線硬化樹脂32は、型20の転写面20aにより形成された空隙に充填される。
そして、この状態で、紫外線硬化樹脂32に対して紫外線を照射して、硬化させた後に、型20及び成型台30を取り除く。
次いで、ワックス31及び硬化した紫外線硬化樹脂32に対して、弱アルカリ又は弱酸水溶液により、ワックス31と硬化した紫外線硬化樹脂32の表面32aを僅かに取り除く。
このようにして、図3(e)に示すように、チャンネル14c,15c及び貫通孔14k,15kを有するアノード基板14及びカソード基板15を紫外線硬化樹脂32により形成する。
なお、アノード基板14及びカソード基板15の厚みは、型20の転写面20aに形成された空隙の深さに対応するので、上述した例の場合には、約100μm程度となる。
次いで、アノード基板14及びカソード基板15の裏面に、銅(Cu)を蒸着し、更に白金(Pt)やルテニウム(Ru)を蒸着させて、アノード12及びカソード13を形成する。
そして、図3(f)に示すように、アノード基板14とカソード基板15とで電解質膜11を狭持することにより、燃料電池セル10が形成される。
更に、プラスチックカバー16を介して、燃料電池セル10を複数積層させることにより、燃料電池1が製造される。
更に、プラスチックカバー16を介して、燃料電池セル10を複数積層させることにより、燃料電池1が製造される。
〔燃料電池の運転動作〕
上記構成の燃料電池1においては、以下のように運転動作がなされる。
燃料電池セル10において、アノード基板14に形成されたチャンネル14cには、メタノールガスMにCO2が混合された混合ガス(CH3OH+CO2)が供給され、カソード基板15に形成されたチャンネル15cには、加湿された空気A(Air+H2O)が供給される。
上記構成の燃料電池1においては、以下のように運転動作がなされる。
燃料電池セル10において、アノード基板14に形成されたチャンネル14cには、メタノールガスMにCO2が混合された混合ガス(CH3OH+CO2)が供給され、カソード基板15に形成されたチャンネル15cには、加湿された空気A(Air+H2O)が供給される。
アノード12では、チャンネル14cを流通する混合ガスに含まれるメタノールと、水(後述するように、この水はカソード13側から電解質膜11を通過して来る。)とを用いて、上記(1)式で示される反応と同様の電気化学的反応が開始される
この反応で生成するプロトン(H+)は、電解質膜11を通過してカソード13に移動する。
この反応で生成するプロトン(H+)は、電解質膜11を通過してカソード13に移動する。
カソード13では、チャンネル15cを流通する加湿空気中に含まれる酸素(O2)と、アノード12から移動してくるプロトン(H+)とを用いて、上記(2)式で示される反応と同様の電気化学的反応が開始される。
そして、チャンネル14cに供給される混合ガスM中のCO2及びアノード12での反応によって生成されるCO2は、水分及び未反応のCH3OHと共に、チャンネル14cから混合物(CO2+CH3OH+H2O)として外部に排出される。
このようにして、燃料電池1によれば、安定した高い出力の電力を得ることができる。
このようにして、燃料電池1によれば、安定した高い出力の電力を得ることができる。
〔電子機器〕
次に、上述した燃料電池を備えた電子機器の例について説明する。
図4は、電子機器の一例である携帯電話300の斜視図である。上述した燃料電池は、携帯電話300の筐体内部に配置されている。
次に、上述した燃料電池を備えた電子機器の例について説明する。
図4は、電子機器の一例である携帯電話300の斜視図である。上述した燃料電池は、携帯電話300の筐体内部に配置されている。
なお、上述した燃料電池は、携帯電話以外にも種々の電子機器に適用することができる。例えば、液晶プロジェクタ、マルチメディア対応のパーソナルコンピュータ(PC)およびエンジニアリング・ワークステーション(EWS)、ページャ、ワードプロセッサ、テレビ、ビューファインダ型またはモニタ直視型のビデオテープレコーダ、電子手帳、電子卓上計算機、カーナビゲーション装置、POS端末、タッチパネルを備えた装置などの電子機器に適用することが可能である。特に、携帯して使用される電子機器に好適である。
以上、添付図面を参照しながら本発明に係る好適な実施の形態例について説明したが、本発明は係る例に限定されないことは言うまでもない。上述した例において示した各構成部材の諸形状や組み合わせ等は一例であって、本発明の主旨から逸脱しない範囲において設計要求等に基づき種々変更可能である。
1…燃料電池、 10…燃料電池セル、 11…電解質膜、 12…アノード(燃料極)、 13…カソード(空気極)、 14…アノード基板、 14c…チャンネル(流路)、 14k…貫通孔、 15…カソード基板、 15c…チャンネル(流路)、 15k…貫通孔、 20…型、 32…紫外線硬化樹脂(樹脂材料)、 300…携帯電話、 M…メタノールガス(有機燃料)、 A…空気(酸化剤ガス)
Claims (8)
- 有機燃料が供給されるアノード基板及び酸化剤ガスが供給されるカソード基板を樹脂材料により形成する工程と、
電解質膜を前記アノード基板及び前記カソード基板により狭持してセルを形成する工程と、
を有する燃料電池の製造方法において、
前記アノード基板及び前記カソード基板の形成工程は、
所定のパターンが形成された型を用いて、樹脂材料に前記パターンを転写する転写工程と、
前記パターンが転写された樹脂材料を固化させる工程と、
を有することを特徴とする燃料電池の製造方法。 - 前記パターンは、前記有機燃料又は前記酸化剤ガスが流通する流路と、前記流路から前記電解質膜に向けて開口する複数の孔と、を形成するためのパターンであることを特徴とする請求項1に記載の燃料電池の製造方法。
- 前記型は、ガラス又はシリコンからなることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の燃料電池の製造方法。
- 前記パターンは、MEMS技術により形成されることを特徴とする請求項1から請求項3のうちいずれか一項に記載の燃料電池の製造方法。
- 前記樹脂材料は、熱硬化型樹脂又は紫外線硬化型樹脂であることを特徴とする請求項1から請求項4のうちいずれか一項に記載の燃料電池の製造方法。
- 前記アノード基板及び前記カソード基板の形成工程は更に、
導電性材料及び貴金属触媒を成膜してアノード又はカソードを形成する工程を有することを特徴とする請求項1から請求項5のうちいずれか一項に記載の燃料電池の製造方法。 - 請求項1から請求項6のうちいずれか一項に記載の製造方法により製造されたことを特徴とする燃料電池。
- 請求項7に記載の燃料電池を備えたことを特徴とする電子機器。
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JP2004230282A JP2006049169A (ja) | 2004-08-06 | 2004-08-06 | 燃料電池の製造方法、燃料電池、及び電子機器 |
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KR100732654B1 (ko) | 2006-04-26 | 2007-06-28 | 재단법인서울대학교산학협력재단 | 실리콘 분리판의 제조방법 |
WO2019143097A1 (ko) * | 2018-01-19 | 2019-07-25 | 주식회사 엘지화학 | 막 전극 접합체의 제조방법 및 적층체 |
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2004
- 2004-08-06 JP JP2004230282A patent/JP2006049169A/ja not_active Withdrawn
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