JP2006046941A - 表面検査装置 - Google Patents

Abstract

【課題】設置スペースを増大させることなく、効率的に検査対象物の表面状態を検査することができる表面検査装置を提供する。
【解決手段】光源１１、１２およびＣＣＤカメラ３０は、印刷版２１の上方に固設される。また、保持部２２は、印刷版２１を保持しつつ、駆動部２３によって移動方向ＡＲ１に移動可能に設けられている。また、ＣＣＤカメラ３０の本体部３２には、印刷版２１の移動方向ＡＲ１と略垂直な方向に延伸する複数のＣＣＤ（受光部）が設けられている。これにより、ＣＣＤカメラ３０では、光源１１から照射されて印刷版２１で反射された反射光と、光源１２から照射されて印刷版２１で反射された拡散光とを同時に受光することができるため、一度の撮像処理で印刷版２１の表面の凹凸状態の検査と印刷版２１に描画された印刷画像の描画状況とを同時に検査することができる。
【選択図】図１

Description

本発明は、検査対象物の表面状態を検査する表面検査装置に関するもので、特に、検査対象物で正反射された正反射光、および検査対象物で拡散反射された拡散光の受光方法の改良に関する。

従来、検査対象物で反射された正反射光および拡散光（散乱光）をＣＣＤカメラで撮像し、撮像された画像データを画像処理することにより、検査対象物の表面状態を検査する装置が知られている（例えば、特許文献１）。

特開平０６−１３７８４４号公報

しかし、特許文献１の検査装置では、少なくとも、正反射光を検出するためのＣＣＤカメラと、拡散光を検出するためのＣＣＤカメラとを用意する必要があり、検査装置の設置スペースが増大するとともに検査装置の製造コストが増大するという問題が生ずる。

また、特許文献１の検査装置のＣＣＤカメラ１台で正反射光および拡散光を検出しようとすると、撮像処理を２度実行することが必要となり、検査工数が増大するという問題が生ずる。

そこで、本発明では、設置スペースを増大させることなく、効率的に検査対象物の表面状態を検査することができる表面検査装置を提供することを目的とする。

上記課題を解決するため、請求項１の発明は、略平面形状を有する検査対象物の表面状態を検査する検査装置であって、検査対象物に対して光を照射する照射部と、前記照射部から照射されて前記検査対象物で反射された光を検出する単一の光検出部と、前記光検出部によって検出された複数の画像データに基づき、前記検査対象物の表面の凹凸状態と、前記検査対象物に描画された画像の描画状況と、を判定する判定部と、を備え、前記照射部は、前記検査対象物に対して第１の色を有する光を照射する第１の光源と、前記検査対象物に対して第２の色を有する光を照射する第２の光源と、を有し、前記光検出部は、前記第１の光源から照射されて前記検査対象物で正反射された正反射光と、前記第２の光源から照射されて前記検査対象物で拡散反射された拡散光と、を同時に受光する複数の受光部、を有し、前記判定部は、前記複数の画像データから前記第１の色に対応する第１の判定画像データを抽出するとともに、前記第１の判定画像データに基づいて前記凹凸状態を、前記複数の画像データから前記第２の色に対応する第２の判定画像データを抽出するとともに、前記第２の判定画像データに基づいて前記描画状況を、それぞれ判定することを特徴とする。

また、請求項２の発明は、請求項１に記載の表面検査装置において、前記複数の受光部のうち第１の受光部は、実質的に前記検査対象物で正反射された第１の色の光を受光し、前記複数の受光部のうち第２の受光部は、実質的に前記検査対象物で拡散反射された第２の色の光を受光し、前記判定部は、前記第１の判定画像データとして前記第１の受光部で受光された画像データに基づいて前記凹凸状態を判定するとともに、前記第２の判定画像として前記第２の受光部で受光された画像データに基づいて前記描画状況を判定することを特徴とする。

また、請求項３の発明は、請求項１に記載の表面検査装置において、前記複数の受光部のそれぞれは、前記反射光および前記拡散光を受光して検出し、前記判定部は、前記複数の受光部のそれぞれによって検出された画像データから正反射光成分を抽出して第１の判定画像データを生成する第１の生成部と、前記複数の受光部のそれぞれによって検出された画像データから拡散光成分を抽出して第２の判定画像データを生成する第２の生成部と、を含むことを特徴とする。

また、請求項４の発明は、請求項１ないし請求項３のいずれかに記載の表面検査装置において、前記照射部および前記光検出部に対して前記検査対象部を相対的に移動させる移動手段、をさらに備え、前記複数の受光部のそれぞれは、前記移動手段による移動方向に対して略垂直な方向に配列された複数の受光素子を有することを特徴とする。

また、請求項５の発明は、請求項４に記載の表面検査装置において、前記第１の光源から照射された光は、前記移動手段による移動方向に対して略垂直な方向に延伸するスリットを通過して前記検査対象物に到達することを特徴とする。

また、請求項６の発明は、請求項４または請求項５に記載の表面検査装置において、前記検査対象物は、水平姿勢に保持されており、前記移動手段は、前記検査対象物を水平方向に移動させることを特徴とする。

また、請求項７の発明は、請求項４または請求項５に記載の表面検査装置において、前記検査対象物は、略円筒形状を有するドラムに巻装されており、前記照射部および前記光検出部は、前記検査対象物を挟んで前記ドラムの回転軸と逆側に固設けられており、前記移動手段は、前記ドラムを前記回転軸を中心として回転させることにより、前記検査対象物を前記照射部および前記光検出部に対して移動させることを特徴とする。

また、請求項８の発明は、請求項１ないし請求項７のいずれかに記載の表面検査装置において、前記検査対象物は、印刷版であることを特徴とする。

また、請求項９の発明は、略平面形状を有し、光を透過する検査対象物の表面状態を検査する検査装置であって、検査対象物に対して光を照射する照射部と、前記照射部から照射されて前記検査対象物を経由する光を検出する単一の光検出部と、前記光検出部によって検出された複数の画像データに基づき、前記検査対象物の表面の凹凸状態と前記検査対象物に描画された画像の描画状況とを判定する判定部と、を備え、前記照射部は、前記検査対象物に対して第１の色を有する光を照射する第１の光源と、前記検査対象物に対して第２の色を有する光を照射する第２の光源と、を有し、前記光検出部は、前記第１の光源から照射されて前記検査対象物で正反射された正反射光と、前記第２の光源から照射されて前記検査対象物を透過した透過光と、を同時に受光する複数の受光部、を有し、前記判定部は、前記複数の画像データから前記第１の色に対応する第１の判定画像データを抽出するとともに、前記第１の判定画像データに基づいて前記凹凸状態を、前記複数の画像データから前記第２の色に対応する第２の判定画像データを抽出するとともに、前記第２の判定画像データに基づいて前記描画状況を、それぞれ判定することを特徴とする。

請求項１から請求項８に記載の発明によれば、検査対象物で正反射された正反射光と、検査対象物で拡散反射された拡散光とを単一の光検出部によって同時に受光し、複数の画像データを取得することができる。そのため、複数の画像データから抽出した第１および第２の判定画像データに基づいて、検査対象物の表面の凹凸状態と、検査対象物に描画された画像の描画状況とを同時に判定することができる。その結果、複数回の受光動作を必要とせず、単一の光検出部による１回の受光動作によって凹凸状態および描画状況を検査することができ、検査工数を低減することができる。

また、請求項１から請求項８に記載の発明によれば、光検出部を複数設ける必要がないため、装置の製造コストおよび装置の設置スペースを低減することができる。

特に、請求項２に記載の発明によれば、複数の画像データと第１および第２の判定画像データとの対応付け処理を軽減することができる。そのため、この対応付けのための計算コストを低減でき、検査時間を低減することができる。

特に、請求項３に記載の発明によれば、複数の受光部のそれぞれで検出された正反射光成分から第１の判定画像データを、また、複数の受光部のそれぞれで検出された拡散光成分から第２の判定画像データを生成することができる。これにより、複数の受光部のそれぞれで検出される光の検出量が少ない場合であっても、複数の受光部で検出された正反射光成分または拡散光成分のぞれぞれを足し合わせることによって、良好な第１および第２の判定画像データを取得することができる。そのため、照射部から照射される光の光量が少ない場合であっても、検査対象物の凹凸状態および描画状況の検査を精度良く実行することができる。

特に、請求項４に記載の発明によれば、検査対象物を相対的に移動させることにより、検査対象物で正反射された正反射光と、拡散反射された拡散光とを複数の受光部によって同時に検出することができる。そのため、装置の製造コストおよび装置の設置スペースを低減しつつ、１回の受光動作によって凹凸状態および描画状況を検査することができる。

特に、請求項５に記載の発明によれば、第１の光源から照射される光はスリットを通過して検査対象物に到達する。これにより、直線性の良い光を検査対象物で正反射させることができ、複数の受光部で良好な正反射光を受光することができる。そのため、凹凸状態の検査を良好に実行することができる。

特に、請求項６に記載の発明によれば、照射部および光検出部に対して検査対象物を水平方向に移動させることによって、複数の画像データを取得することができる。

特に、請求項７に記載の発明によれば、ドラムに巻装された検査対象物を当該ドラムの回転軸を中心に回転させることによって、複数の画像データを取得することができる。

特に、請求項８に記載の発明によれば、印刷版に描画された画像の描画状況および印刷版の表面の凹凸状態を１回の受光動作によって検査することができる。そのため、装置の製造コストおよび装置の設置スペースを低減しつつ、検査工数を低減することができる。

また、請求項９に記載の発明によれば、検査対象物で正反射された正反射光と、検査対象物を透過した透過光とを単一の光検出部によって同時に受光し、複数の画像データを取得することができる。そのため、複数回の受光動作を必要とせず、単一の光検出部による１回の受光動作によって凹凸状態および描画状況を検査することができ、検査工数を低減することができる。また、光検出部を複数設ける必要がないため、装置の製造コストおよび装置の設置スペースを低減することができる。

以下、図面を参照しつつ本発明の実施の形態について詳細に説明する。

＜１．第１の実施の形態＞
＜１．１．表面検査装置のハードウェア構成＞
図１は、本発明の第１の実施の形態における表面検査装置１の全体構成の一例を示す図である。図２は、本発明の第１の実施の形態のＣＣＤ３５（３５Ｂ、３５Ｒ、３５Ｇ）によって、光源１１からの正反射光、および光源１２からの拡散光を受光する方法を説明するための図である。なお、図１およびそれ以降の図には、それらの方向関係を明確にするためＺ軸方向を鉛直方向とし、ＸＹ平面を水平面とするＸＹＺ直交座標系を付している。

表面検査装置１は、印刷版２１のように、略平面形状を有しており、その表面に所定の画像が描画された物につき、その物の表面の凹凸状態および描画された画像の描画状況の検査を行う装置である。図１に示すように、表面検査装置１は、主として、光の照射部として使用される光源１１、１２と、これら光源１１、１２から照射されて印刷版２１にて反射された光を検出するＣＣＤカメラ３０と、印刷版２１を保持しつつ移動方向ＡＲ１に沿って移動可能とする保持部２２とを備える。

光源１１は、図１に示すように、検査対象物である印刷版２１の上方に配設される照明であり、本実施の形態においては青色光の正反射光光源として使用される。また、光源１１は、図１に示すように、印刷版２１の移動方向ＡＲ１に対して略垂直方向に延伸する。

光源１１と印刷版２１との間には、スリット１６を有する遮蔽板１５が配設される。ここで、スリット１６は、光源１１と略平行であり、かつ、印刷版２１の移動方向ＡＲ１に対して略垂直な方向に延伸する。

これにより、光源１１から照射されて光は、スリット１６によって絞られる。そのため、光源１１、スリット１６およびＣＣＤカメラ３０の位置を調整することによって、ＣＣＤカメラ３０の撮像範囲にのみ光源１１からの照射光を照射するとともに、印刷版２１上で正反射された光をＣＣＤカメラ３０で良好に検出することが可能となる。すなわち、光源１１から照射された光は、光路Ｐ１を有し、印刷版２１上で反射される。そして、印刷版２１で反射された光は、ＣＣＤカメラ３０によって正反射光として受光される。

光源１２は、図１に示すように、印刷版２１の上方に配設される照明であり、本実施の形態においては、赤色光の拡散光光源として使用される。すなわち、光源１２から照射された光は光路Ｐ２を有し、さまざまな方向に拡散して進行し、印刷版２１で反射される。そして、印刷版２１で反射された光は、ＣＣＤカメラ３０によって拡散光として受光される。また、図１に示すように、光源１２は、印刷版２１の移動方向ＡＲ１に対して略垂直な方向に延伸する。

保持部２２は、検査対象部である印刷版２１を水平姿勢にて保持する。また、保持部２２は駆動部２３から駆動力の伝達を受けることにより、矢印ＡＲ１の方向（すなわち、Ｙ軸の正方向または負方向）に移動させる。このように、保持部２２および駆動部２３によって、印刷版２１は、水平方向に進退運動させられる。

ＣＣＤカメラ３０は、光源１１および光源１２のそれぞれから照射され、印刷版２１で反射された正反射光および拡散光を受光する光検出部である。図１および図２に示すように、ＣＣＤカメラ３０は、主として、レンズ３１と、ＣＣＤ３５を有する本体部３２とを備える。

印刷版２１で反射された正反射光Ｐ１および拡散光Ｐ２は、図２に示すように、レンズ３１に入射する。そして、光Ｐ１、Ｐ２は、中間リング３３を通過して、レンズ３１によってＣＣＤ３５上に結像させられる。

ここで、ＣＣＤ３５は、図２に示すように、ＣＣＤ３５Ｂ、３５Ｒ、３５Ｇの３つの受光素子群（受光部）によって構成される。各ＣＣＤ３５Ｂ、３５Ｒ、３５Ｇは、駆動部２３による印刷版２１の移動方向ＡＲ１に対して略垂直な方向（Ｘ軸方向）に、複数の受光素子３６Ｂ、３６Ｒ、３６Ｇを配列して構成される。すなわち、ＣＣＤ３５はＸ軸方向に延伸する３つのラインセンサ３５Ｂ、３５Ｒ、３５Ｇによって構成される。

また、図２に示すように、ＣＣＤ３５Ｂを構成する各受光素子３６Ｂのレンズ３１側の部分には、青色のフィルタ３７Ｂが設けられている。これにより、フィルタ３７Ｂは、フィルタの色に対応した青色光を主として透過することとなる。したがって、各受光素子３６Ｂは、主として青色光を検出する。すなわち、本実施の形態において、ＣＣＤ３５Ｂは、光源１１から照射されて印刷版２１で反射した正反射光を実質的に受光する受光部として使用される。

同様に、ＣＣＤ３５Ｒを構成する各受光素子３６Ｒのレンズ３１側の部分には、赤色のフィルタ３７Ｒが、ＣＣＤ３５Ｇを構成する各受光素子３６Ｇのレンズ３１側の部分には、緑色のフィルタ３７Ｇが、それぞれ設けられている。したがって、ＣＣＤ３５Ｒは、光源１２から照射されて印刷版２１で反射された拡散光を実質的に受光する受光部として使用される。

このように、本実施の形態では、１台のＣＣＤカメラ３０によって撮像部分２１ｂにて反射された正反射光Ｐ１と拡散光とが同時に受光され、正反射光Ｐ１に対応する１ライン分の正反射光に基づく画像データと拡散光Ｐ２に対応する１ライン分の拡散光に基づく画像データとが同時に取得される。

したがって、駆動部２３によって印刷版２１を移動させつつ、画像データを取得することにより、印刷版２１全面にわたる正反射光に基づく画像データおよび拡散光に基づく画像データを同時に取得することができる。すなわち、１度の撮像動作によって、正反射光に基づく画像データと拡散光に基づく画像データとを同時に取得できる。

また、本実施の形態では、１台のＣＣＤカメラ３０によって正反射光に基づく画像データおよび拡散光に基づく画像データを取得でき、複数の撮像装置は必要とされない。したがって、表面検査装置１の設置スペースおよび製造コストを低減できる。

表示部４１は、図１に示すように、信号線５９を介して制御部５０と接続されており、制御部５０からの画像信号に基づいて、所定の文字列やコマンドボタン等の図形を表示する。これにより、表面検査装置１のオペレータ（以下、単に「オペレータ」と呼ぶ）は、表示部４１に表示された内容に基づいて、表面検査装置１に対して所定の動作を実行させることができる。また、表示部４１には後述する表面検査の結果を表示することもできる。そのため、オペレータは検査結果に基づいて、例えば、印刷版２１の表面に付着した異物の除去等の処理を行うことができる。

制御部５０は、図１に示すように、プログラムや変数等を格納するメモリ５１と、メモリ５１に格納されたプログラムに従った制御を実行するＣＰＵ５５とを備えている。また、図１に示すように、制御部５０は、光源１１、１２、ＣＣＤカメラ３０、駆動部２３、および表示部４１と信号線５９を介して電気的に接続されている。したがって、ＣＰＵ５５は、メモリ５１に格納されるプログラムに従って、光源１１、１２からの光の照射処理、ＣＣＤカメラ３０による撮像処理、駆動部２３による印刷版２１の移動処理等に関する制御を所定のタイミングで実行することができる。

＜１．２．表面検査装置の機能構成＞
図３は、表面検査装置１の機能構成を説明するための図である。図３に示すように、ＣＰＵ５５では、主として、補正処理部５６、および判定処理部５７によって表面検査装置１の機能が実現される。また、メモリ５１上には、主として、取得データ格納部５２、判定データ格納部５３、およびパラメータ格納部５４の各格納領域が確保され、表面検査処理で使用されるデータが格納される。

補正処理部５６は、ＣＣＤカメラ３０で撮像された画像データにシェーディング補正等の補正処理を施す。ここで、シェーディング補正では、図示しない白基準板を撮像することによって求められたシェーディングパラメータに基づき、画像データの濃度校正を行う。これにより、レンズ３１の周辺減光、光源１１、１２の照明ムラ、および受光素子３６（３６Ｂ、３６Ｒ、３６Ｇ）ごとの感度ムラ等の影響を抑制して良好な画像データを取得することができる。

なお、白基準板は、正反射光を受光するＣＣＤ３５Ｂおよび拡散光を受光するＣＣＤ３５Ｒごとに２つ用意しても良い。また、ＣＣＤ３５ＢおよびＣＣＤ３５Ｒのいずれか一方のみ白基準板を用意し、他方については、一方のシェーディングパラメータに対して所定の演算処理を施すことにより得られたシェーディングパラメータによってシェーディング補正を実行しても良い。

取得データ格納部５２には、ＣＣＤカメラ３０で撮像され、補正処理部５６でシェーディング補正された画像データが格納される。すなわち、ＣＣＤ３５Ｂで受光されて補正処理部５６で補正された画像データは取得画像データ５２ａとして、ＣＣＤ３５Ｒで受光されて補正処理部５６で補正された画像データは取得画像データ５２ｂとして、それぞれ取得データ格納部５２に格納される。

判定データ格納部５３には、判定処理部５７での判定処理に使用される画像データが格納される。すなわち、正反射光に基づく画像データは判定画像データ５３ａとして、拡散光に基づく画像データとして、それぞれ判定データ格納部５３に格納される。

なお、本実施の形態において、正反射光はＣＣＤ３５Ｂによって、拡散反射光はＣＣＤ３５Ｒによって、それぞれ受光される。したがって、取得画像データ５２ａと判定画像データ５３ａとは同一画像データとなり、取得画像データ５２ｂと判定画像データ５３ｂとは同一画像データとなる。

ここで、判定画像データ５３ａおよび判定画像データ５３ｂについてさらに説明する。図４は、印刷版２１に描画された印刷画像の例を示す図である。本実施の形態で検査対象としている印刷版２１は、画像の描画された部分２１ａについては白っぽく見え、画像の描画されていない部分は青色がかって見える。

図５(a)は、印刷版２１上にゴミやホコリ等の異物２１ｃが付着した状態を示す図である。この場合、印刷版２１の線分Ｌ１上の各地点における高さ（Ｚ軸）方向の凹凸状態を示す形状曲線６１は、図５(b)のようになる。すなわち、画像の描画された部分２１ａ（Ｘ１≦Ｘ≦Ｘ２、Ｘ５≦Ｘ≦Ｘ６）のＺ方向の高さはＺ＝Ｚ１となり、画像の描画されていない部分（０≦Ｘ≦Ｘ１、Ｘ２≦Ｘ≦Ｘ３、Ｘ４≦Ｘ≦Ｘ５、Ｘ６≦Ｘ≦Ｘ７）の高さ（Ｚ＝Ｚ０）より低くなる。また、異物２１ｃの付着した部分（Ｘ３≦Ｘ≦Ｘ４）の高さはＺ＝Ｚ２となり他の部分より高くなる。

また、印刷版２１に異物２１ｃが付着した場合、線分Ｌ１上における判定画像データ（拡散光に基づく画像データ）５３ｂの濃度状態を示す拡散光濃度分布曲線６２は、図６(b)のようになる。すなわち、画像の描画されており、白っぽく見える部分２１ａの濃度値Ｄ１は、他の部分の濃度値Ｄ２と比較して大きくなる。したがって、判定画像データ５３ｂは、印刷版２１に描画された印刷画像の描画状況を判断するために使用される。

一方、線分Ｌ１上における判定画像データ（正反射光に基づく画像データ）５３ａの濃度状態を示す正反射光濃度分布曲線６３は、図７(b)のようになる。すなわち、異物２１ｃが付着した部分の濃度値Ｄ４は、光源１１から照射された光が乱反射されることにより、異物２１ｃが付着していない部分の濃度値Ｄ３と比較して小さくなる。したがって、判定画像データ５３ａは、印刷版２１の表面の凹凸状態を判断して異物２１ｃが付着しているか否かの判断をするために使用される。

さらに、同様に指紋等の油分が付着した部分も、異物２１ｃが付着した部分と同様に、光源１１から照射された光が乱反射されるため、油分が付着した部分の濃度値はＤ４より小さい値となる。したがって、判定画像データ５３ａは、印刷版２１の表面に油分が付着しているか否かの判断をするためにも使用できる。

判定処理部５７では、印刷版２１上の凹凸状態を判断する処理と、印刷版２１に描画された印刷画像の描画状況を判断する処理とが略同時に実行される。印刷版２１上の凹凸状態を判断する処理は、判定データ格納部５３に格納された判定画像データ５３ａに基づいて実行される。

具体的には、まず、２値化処理によって濃度値Ｄが閾値Ｄ５以下となる画素を判定画像データ５３ａから抽出する。例えば、図７(a)の線分Ｌ１上の画像データについては、Ｘ座標が、Ｘ３≦Ｘ≦Ｘ４となる画素が抽出される（図７(b)参照）。そして、抽出された画素につき、隣接する画素群の面積（すなわち、画素数）Ｐが許容値Ｐ０以上の場合、印刷版２１に異物２１ｃが付着していると判断する。

なお、凹凸状態を判断する処理では、判定画像データ５３ａに対してシャープネス処理や階調変換処理のような異物２１ｃの部分を際立たせる画像処理を予め施した後に２値化処理を実行してもよい。また、閾値Ｄ５および面積の許容値Ｐ０は、予め実験等によって求めてもよい。

また、印刷版２１に描画された印刷画像の描画状況を判断する処理は、判定データ格納部５３に格納された判定画像データ５３ｂに基づいて実行される。

具体的には、まず、判定画像データ５３ｂと参照画像データとにより差画像データを作成する。ここで、参照画像データとは、印刷画像が正しく描画された印刷版２１を予めＣＣＤカメラ３０で撮像することによって作成された画像データをいう。また、差画像データとは、判定画像データ５３および参照画像データについて、対応する画素間の濃度差を濃度値とする画像データをいう。

次に、差画像データに２値化処理を施すことにより、濃度値Ｄが閾値Ｄ６以上となる画素を抽出する。これにより、判定画像データ５３ｂのうち参照画像データと異なる部分（画素）が抽出される。そして、抽出された画素につき、隣接する画素群の面積Ｐが許容値Ｐ１以上となる場合、印刷版２１に印刷画像が正しく描画されていないと判断する。

なお、描画状況を判断する処理では、差画像データに対してシャープネス処理や階調変換処理等の画像処理を予め施した後に２値化処理を実行してもよい。また、閾値Ｄ６および面積の許容値Ｐ１は、予め実験等によって求めてもよい。

パラメータ格納部５４には、表面検査処理で使用されるデータであって予め実験等によって求められたもの、すなわち、凹凸状態の判断処理で使用される閾値Ｄ５および許容値Ｐ０が、また、印刷画像の描画状況の判断処理で使用される参照画像データ、閾値Ｄ６、および許容値Ｐ１が、格納される。また、パラメータ格納部５４には、シェーディング補正処理で使用されるシェーディングパラメータも、同様に格納される。

表示処理部５８は、表示部４１の表示制御を行うために使用される画像信号を生成する。また、表示部４１は、信号線５９を介して表示処理部５８と電気的に接続される。したがって、表示部４１は、表示処理部５８からの画像信号に基づいて表示処理を実行することになる。

＜１．３．表面検査装置による検査手順＞
ここでは、本実施の形態の表面検査装置による検査手順について説明する。図８は、本実施の形態の表面検査装置１による印刷版２１の検査手順の一例を示すフローチャートである。ステップＳ１０１では、検査処理に先だって、処理に必要となるパラメータ（シェーディングパラメータ、閾値Ｄ５、Ｄ６、面積の許容値Ｐ０、Ｐ１、および参照画像データ）をパラメータ格納部５４（図３参照）から取得する。

次に、駆動部２３によって保持部２２に保持された印刷版２１を移動させつつ、ＣＣＤカメラ３０によって印刷版２１を撮像する。そして、光源１１から照射されて印刷版２１で反射された正反射光に基づく画像データは取得画像データ５２ａとして、また、光源１２から照射されて印刷版２１で反射された拡散光に基づく画像データは取得画像データ５２ｂとして、それぞれ取得データ格納部５２に格納される（Ｓ１０２）。すなわち、取得画像データ５２ａおよび５２ｂは一度の撮像処理によって同時に取得される。なお、ＣＣＤカメラ３０によって撮像される際、画像データは、補正処理部５６によってシェーディング補正がなされて濃度校正される。

続いて、ステップＳ１０３およびＳ１０４が略同時に実行されることにより、印刷版２１の表面の凹凸状態の検査、および印刷版２１に描画された印刷画像の描画状況の検査が略同時に実行される。

なお、上述のように本実施の形態では、取得画像データ５２ａと判定画像データ５３ａとは同一画像データとなり、取得画像データ５２ｂと判定画像データ５３ｂとは同一画像データとなる。したがって、取得画像データ５２ａ、５２ｂを、それぞれ判定画像データ５３ａ、５３ｂとして判定データ格納部５３にコピーしても良い。また、判定データ格納部５３には実際の画像データはコピーせず、取得画像データ５２ａ、５２ｂと関連付ける情報を判定データ格納部５３に格納してもよい。

このように、本実施の形態では、取得画像データ５２ａ、５２ｂに対して演算処理等のような対応付け処理をすることなく、判定画像データ５３ａ、５３ｂを取得することができるため、計算コストを低減でき、検査時間を低減できる。

そして、ステップＳ１０３およびＳ１０４による検査結果を表示部４１に表示して検査処理を終了する（Ｓ１０５）。すなわち、印刷版２１上に異物が付着していると判断された場合や、印刷画像が正しく描画されていないと判断された場合には、検査結果が「ＮＧ」である旨が表示部４１に表示され、あわせて異物が付着した部分、または／および、印刷画像が正しく描画されていない部分が表示する。一方、異物が発見されず、かつ、印刷画像が正しく描画されていると判断された場合には、検査結果が「ＯＫ」である旨が表示部４１に表示される。

＜１．４．第１の実施の形態の表面検査装置の利点＞
以上のように、第１の実施の形態の表面検査装置１は、駆動部２３によって印刷版２１を移動させつつ、１台のＣＣＤカメラ３０によって印刷版２１を撮像することができる。これにより、光源１１から照射されて印刷版２１で反射された正反射光に基づく画像データと、光源１２から照射されて印刷版２１で反射された拡散光に基づく画像データとを同時に取得することができる。すなわち、複数の撮像装置を必要とせず、複数のＣＣＤ３５（３５Ｂ、３５Ｒ、３５Ｇ）を有する単一のＣＣＤカメラ３０により、両画像データを同時に取得することができる。そのため、表面検査装置１の製造コストおよび設置スペースを低減することができる。

また、正反射光に基づく画像データおよび拡散光に基づく画像データのそれぞれを取得する場合、複数回の撮像動作を必要とせず、一回の撮像動作で両画像データを取得することができる。そのため、検査処理に要する時間を低減することができる。

＜２．第２の実施の形態＞
次に、本発明の第２の実施の形態について説明する。この第２の実施の形態における表面検査装置は、第１の実施の形態の表面検査装置１と比較して、
（１）正反射光および拡散光の受光方法が異なる点と、
（２）判定画像データの取得方法が異なる点と、
を除いては、第１の実施の形態と同様である。そこで、以下ではこの相違点を中心に説明する。なお、以下の説明において、第１の実施の形態の表面検査装置１における構成要素と同様な構成要素については同一符号を付している。これら同一符号の構成要素は、第１の実施の形態において説明済みであるため、本実施形態では説明を省略する。

＜２．１．表面検査装置の機能構成＞
図９は、本実施の形態における表面検査装置１の機能構成を説明するための図である。また、図１０は、本実施の形態のＣＣＤ１３５（１３５Ｃ、１３５Ｍ、１３５Ｙ）によって、光源１１からの正反射光、および光源１２からの拡散光を受光する方法を説明するための図である。

図１０に示すように、ＣＣＤ１３５は、ＣＣＤ１３５Ｃ、１３５Ｍ、１３５Ｙの３つの受光素子群（受光部）によって構成される。各ＣＣＤ１３５Ｍ、１３５Ｍ、１３５Ｙは、駆動部２３による印刷版２１の移動方向ＡＲ１に対して略垂直な方向（Ｘ軸方向）に、複数の受光素子１３６Ｃ、１３６Ｍ、１３６Ｙを配列して構成される。すなわち、ＣＣＤ１３５はＸ軸方向に延伸する３つのラインセンサ１３５Ｃ、１３５Ｍ、１３５Ｙによって構成される。

また、図１０に示すように、ＣＣＤ１３５Ｃを構成する各受光素子１３６Ｃのレンズ３１側の部分には、赤色の補色であるシアンのフィルタ１３７Ｃが設けられる。これにより、フィルタ１３７Ｃは、青色および緑色の光を主として透過することになる。また、ＣＣＤ１３５Ｍを構成する各受光素子１３６Ｍのレンズ３１側の部分には、緑色の補色であるマゼンタのフィルタ１３７Ｍが設けられており、フィルタ１３７Ｍは、赤色および青色の光を主として透過することになる。さらに、ＣＣＤ１３５Ｙを構成する各受光素子１３６Ｙのレンズ３１側の部分には、青色の補色である黄色のフィルタ１３７Ｙが設けられており、フィルタ１３７Ｙは、緑色および赤色の光を主として透過することになる。

したがって、本実施の形態では、光源１１から照射されて印刷版２１で反射された青色の正反射光は、主として、ＣＣＤ１３５Ｃ、１３５Ｍで受光される。また、光源１２から照射されて印刷版２１で反射された赤色の拡散光は、主として、ＣＣＤ１３５Ｍ、１３５Ｙで受光される。

取得データ格納部１５２には、ＣＣＤカメラ３０で撮像され、補正処理部５６でシェーディング補正された画像データが格納される。すなわち、ＣＣＤ１３５Ｃで受光されて補正処理部５６で補正された画像データは取得画像データ１５２ａとして、ＣＣＤ１３５Ｍで受光されて補正処理部５６で補正された画像データは取得画像データ１５２ｂとして、ＣＣＤ１３５Ｙで受光されて補正処理部５６で補正された画像データは取得画像データ１５２ｃとして、それぞれ取得データ格納部１５２に格納される。

判定処理部１５７は、取得データ格納部１５２に格納された取得画像データ１５２ａ〜１５２ｃから判定画像データ１５３ａ、１５３ｂを生成する。また、判定処理部１５７では、第１の実施の形態の判定処理部５７と同様に、生成された判定画像データ１５３ａに基づいて印刷版２１上の凹凸状態を判断する処理と、判定画像データ１５３ｂに基づいて印刷版２１に描画された印刷画像の画像状況を判断する処理とが略同時に実行される。

図１１は、取得画像データ１５２ａおよび判定画像データ１５３ａを表示部４１に表示させた状態の一例を示す図である。なお、図１１では、取得画像データ１５２ａおよび判定画像データ１５３ａの左上座標を原点とし、紙面に向かって右方向をｉ軸正方向と、下方向をｊ軸正方向としている。また、以下では、各画像データ１５２ａ〜１５２ｃ、１５３ａ、１５３ｂについて、ｉ軸方向のデータサイズがｉ０、ｊ軸方向のデータサイズがｊ０であるものとして説明する。

判定処理部１５７の第１生成部１５７ａは、印刷版２１表面の凹凸状態の検査に使用する判定画像データ１５３ａを生成する。また、第２生成部１５７ｂは、印刷版２１に描画された印刷画像の描画状況の検査に使用される判定画像データ１５３ｂを生成する。

ここで、ｉｊ平面上の位置（ｉ，ｊ）における取得画像データ１５２ａ〜１５２ｃ、判定画像データ１５３ａ、１５３ｂの濃度値を、それぞれＣ（ｉ，ｊ）、Ｍ（ｉ，ｊ）、Ｙ（ｉ，ｊ）、Ｂ（ｉ，ｊ）、およびＲ（ｉ，ｊ）とし、変換係数をｋ11、ｋ12、ｋ13、ｋ21、ｋ22、ｋ23とすると、判定画像データ１５３ａ、１５３ｂは、数１、数２によって求められる。

Ｂ(i, j)＝ｋ11×Ｃ(i, j)＋ｋ12×Ｍ(i, j)＋ｋ13×Ｙ(i, j) ・・・ 数１
Ｒ(i, j)＝ｋ21×Ｃ(i, j)＋ｋ22×Ｍ(i, j)＋ｋ23×Ｙ(i, j) ・・・ 数２
このように、本実施の形態では、図１０に示すように、複数のＣＣＤ１３５（１３５Ｃ、１３５Ｍ、１３５Ｙ）によって受光した正反射光Ｐ１および拡散光Ｐ２から、判定画像データ１５３ａ、１５３ｂを生成することができる。これにより、光源１１、１２から照射される光の光量が少ない場合であっても、数１および数２によって各ＣＣＤ１３５で検出された正反射光成分または拡散光成分のそれぞれを足し合わせることによって、良好な判定画像データ１５３ａ、１５３ｂを取得することができる。そのため、印刷版２１の凹凸状態および描画状況の検査を精度良く実行することができる。

＜２．２．表面検査装置による検査手順＞
ここでは、本実施の形態の表面検査装置による検査手順について説明する。図１２は、本実施の形態の表面検査装置１による印刷版２１の検査手順の一例を示すフローチャートである。ステップＳ２０１では、第１の実施の形態の場合と同様に、処理に必要となるパラメータをパラメータ格納部５４（図９参照）から取得する。

次に、駆動部２３によって印刷版２１を移動させつつ、ＣＣＤカメラ３０によって印刷版２１を撮像する。そして、ＣＣＤ１３５Ｃ、１３５Ｍ、１３５Ｙで同時に受光した画像データを、それぞれ取得画像データ１５２ａ〜１５２ｃとして取得データ格納部１５２に格納する（Ｓ２０２）。その際、各画像データ１５２ａ〜１５２ｃは、第１の実施の形態と同様に、補正処理部５６によってシェーディング補正されて濃度校正される。

ステップＳ２０３では、判定処理部１５７の第１生成部１５７ａおよび第２生成部１５７ｂによって判定画像データ１５３ａ、１５３ｂを生成し、判定データ格納部１５３に格納する。続いて、ステップＳ２０４およびＳ２０５が略同時に実行されることにより、印刷版２１の表面の凹凸状態の検査および印刷版２１に描画された印刷画像の描画状況の検査が略同時に実行される。

そして、ステップＳ２０４およびＳ２０５による検査結果を表示部４１に表示して検査処理を終了する（Ｓ２０６）。すなわち、印刷版２１上に異物が付着していると判断された場合や、印刷画像が正しく描画されていないと判断された場合には、検査結果が「ＮＧ」である旨が表示部４１に表示され、あわせて異物が付着した部分、または／および、印刷画像が正しく描画されていない部分が表示する。一方、異物が発見されず、かつ、印刷画像が正しく描画されていると判断された場合には、検査結果が「ＯＫ」である旨が表示部４１に表示される。

＜２．３．第２の実施の形態の表面検査装置の利点＞
以上のように、第２の実施の形態の表面検査装置１は、単一のＣＣＤカメラ３０を使用して一度の撮像で取得した取得画像データ１５２ａ〜１５２ｃから判定画像データ１５３ａ、１５３ｂを生成し、印刷版２１の凹凸状態および印刷画像の描画状況の検査を同時に実行できる。そのため、表面検査装置１の製造コストおよび設置スペースを低減しつつ、検査処理に要する時間を低減することができる。

また、第２の実施の形態では、数１および数２を用いることにより、複数のＣＣＤ１３５（１３５Ｃ、１３５Ｍ、１３５Ｙ）で受光した取得画像データ１５２ａ〜１５２ｃのそれぞれから正反射光成分および拡散光成分を抽出して判定画像データ１５３ａ、１５３ｂを生成することができる。そのため、光源１１、１２から照射される光の光量が少ない場合であっても、良好な判定画像データ１５３ａ、１５３ｂを取得することができ、印刷版２１の凹凸状態および描画状況の検査を精度良く実行することができる。

＜３．第３の実施の形態＞
次に、本発明の第３の実施の形態について説明する。図１３は、第３の実施の形態における表面検査装置３００の全体構成の一例を示す斜視図である。本実施の形態の表面検査装置３００は、第１および第２の実施の形態の表面検査装置１と、比較して
（ａ）フィルム３２１のように光を透過するものを検査対象物としている点と、
（ｂ）光源３１２が、検査対象物であるフィルム３２１を挟んで光源１１およびＣＣＤカメラ３０と逆側に配置される点と、
を除いては、第１および第２の実施の形態の表面検査装置１と同様である。すなわち、光源３１２は、ＣＣＤカメラ３０の光軸の延長上であって、フィルム３２１を挟んで光源１１およびＣＣＤカメラ３０と逆側に配置される。

したがって、表面検査装置３００では、駆動部２３によってフィルム３２１を移動させつつ、ＣＣＤカメラ３０によってフィルム３２１を撮像することにより、（Ａ）フィルム３２１で反射された正反射光に基づく画像データと、（Ｂ）光源３１２から照射されてフィルム３２１を透過した透過光に基づく画像データとを同時に取得することができる。すなわち、表面検査装置３００では、フィルム３２１を経由した正反射光および透過光に基づく画像データを取得できる。

そのため、表面検査装置３００では、フィルム３２１の表面の凹凸状態の検査は当該正反射光に基づく画像データを使用することにより、また、フィルム３２１に描画された画像の描画状況の検査は当該透過光に基づく画像データを使用することにより、それぞれ実行される。その結果、表面検査装置１の製造コストおよび設置スペースを低減しつつ、一回の撮像動作で両画像データを取得して、検査処理に要する時間を低減することができる。

なお、透過光に基づいて描画状況の検査を実行する第３の実施の形態において、光源１１から照射されてフィルム３２１で反射された光は、ＣＣＤカメラ３０の光軸と略同一な方向に進行してレンズ３１に到達するが、これに限定されるものでなく、光源１１から照射された光の光路Ｐ１が光軸付近となれば良い。

＜４．変形例＞
以上、本発明の実施の形態について説明したが、この発明は上記の例に限定されるものではない。

（１）第１ないし第２の実施の形態において、光源１２は、印刷版２１の移動方向ＡＲ１に対して略垂直な方向に延伸する構造を有しているが、これに限定されるものでない。例えば、図１４の表面検査装置１００のように、印刷版２１の上方に配設された略球形の複数の光源１１２を拡散光光源として使用してもよい。また、印刷版２１の移動方向ＡＲ１に対して略垂直な方向に延伸する照明を複数使用してもよい。また、第３の実施の形態においても、印刷版２１の下方に略球形の複数の光源１１２を拡散光光源として使用してもよい。

（２）また、第１および第２の実施の形態では、光源１１、１２およびＣＣＤカメラ３０を固定し、印刷版２１を移動させつつＣＣＤカメラ３０によって撮像処理を実行しているがこれに限定されるものでなく、印刷版２１を固定し、印刷版２１に対して光源１１、１２、およびＣＣＤカメラ３０を移動させつつ撮像処理を実行しても良い。すなわち、光源１１、１２およびＣＣＤカメラ３０に対して印刷版２１を相対的に移動させつつ撮像処理を実行すればよい。

（３）また、第１および第２の実施の形態の表面検査では、検査対象物である印刷版２１を保持部２２によってＸＹ平面内に略水平に保持して駆動部２３によって移動方向ＡＲ１しつつ、ＣＣＤカメラ３０によって撮像処理を実行しているが、これに限定されるものでない。

図１５は、本発明の変形例である表面検査装置２００を説明するための図である。図１５に示すように、印刷版２２１は、ドラム２２２の外周に巻装されて保持される。また、ドラム２２２は回転軸２２２ａを中心に回転可能に設けられている。さらに、正反射光光源として使用される光源２１１と、拡散光光源として使用される光源２１２（２１２ａ〜２１２ｌ）と、ＣＣＤカメラ３０とは、印刷版２２１を挟んで保持部２２２の回転軸２２２ａと逆側に固設されている。

これにより、表面検査装置２００は、第１および第２の実施の形態の表面検査装置１と同様に、光源２１１および光源２１２から照射されて印刷版２２１で反射された反射光および拡散光をＣＣＤカメラ３０で同時に受光することができる。その結果、ドラム３２２を回転させつつ撮像処理を実行すると、印刷版２２１全面にわたって、正反射光および拡散光に基づく画像データを同時に取得できる。そのため、表面検査装置２００の製造コストおよび設置スペースを低減しつつ、検査処理に要する時間を低減することができる。

（４）また、第１および第２の実施の形態の表面検査装置１では、光源１１、１２から照射される光は、いずれも印刷版２１で反射されてＣＣＤカメラ３０で受光されており、また、第３の実施の形態の表面検査装置３００では、光源３１２から照射されて印刷版２１をを透過した透過光がＣＣＤカメラ３０で受光されていたが、これに限定されるものでない。

例えば、図２に示す受光素子３６Ｂ、３６Ｒ、３６Ｇを一組とした受光素子の組みを２次元配列させたＣＣＤによって正反射光および拡散光を受光してもよい。これにより、印刷版２１を移動させることなく、印刷版２１全面にわたって正反射光および拡散光に基づく画像データを取得することができる。

また、第３の実施の形態の表面検査装置３００でも、当該２次元配列させたＣＣＤを使用することにより、印刷版２１を移動させることなく、印刷版２１全面にわたって正反射光および透過光に基づく画像データを取得することができる。

（５）さらに、第２の実施の形態では、光源１１から照射される光は青色光であり、光源１２から照射される光は赤色光であるものとして説明したが、これに限定されるものでない。その場合、光源１１、１２から照射される光の色に応じて数１および数２の変換係数k11、k12、k13、k21、k22、k23の値を選択する。

本発明の第１および第２の実施の形態における表面検査装置の全体構成の一例を示す斜視図である。 本発明の第１の実施の形態のＣＣＤ素子による正反射光および拡散光の受光方法を説明するための図である。 本発明の第１の実施の形態における表面検査装置の制御部の概略構成を示す機能ブロック図である。 印刷版に描画された印刷画像の例を示す図である。 画像が描画された印刷版上の凹凸状態を説明するための図である。 印刷版からの拡散光を受光することによって得られた取得画像データを説明するための図である。 印刷版からの正反射光を検出することによって得られた取得画像データを説明するための図である。 第１の実施の形態における表面検査の処理手順の一例を示すフローチャートである。 本発明の第２の実施の形態における表面検査装置の制御部の概略構成を示す機能ブロック図である。 本発明の第２の実施の形態のＣＣＤ素子による正反射光および拡散光の受光方法を説明するための図である。 ｉｊ座標系における画像データを説明するための図である。 第２の実施の形態における表面検査の処理手順の一例を示すフローチャートである。 本発明の第３の実施の形態における表面検査装置の全体構成の一例を示す斜視図である。 本発明の変形例を説明するための図である。 本発明の変形例を説明するための図である。

符号の説明

１、１００、２００、３００ 表面検査装置
１１、１２、１１２、２１１、２１２（２１２ａ〜２１２ｌ）、３１２ 光源
１６ スリット
２１、２２１ 印刷版
２１ａ 描画画像
２１ｃ 異物
２２、２２２、３２２ 保持部
２３ 駆動部
３０ ＣＣＤカメラ
３６（３６Ｒ、３６Ｇ、３６Ｂ）、１３６（１３６Ｃ、１３６Ｍ、１３６Ｙ） 受光素子
３７（３７Ｒ、３７Ｇ、３７Ｂ）、１３７（１３７Ｃ、１３７Ｍ、１３７） フィルタ
５０ 制御部
５２、１５２ 取得データ格納部
５２ａ、５２ｂ、１５２ａ〜１５２ｃ 取得画像データ
５３ 判定データ格納部
５３ａ、５３ｂ、１５３ａ、１５３ｂ 判定画像データ
５５ ＣＰＵ
５７、１５７ 判定処理部
１５７ａ 第１生成部
１５７ｂ 第２生成部
３２１ フィルム
ＡＲ１ 移動方向
Ｐ１、Ｐ２ 光路

Claims (9)

1. 略平面形状を有する検査対象物の表面状態を検査する検査装置であって、
   (a) 検査対象物に対して光を照射する照射部と、
   (b) 前記照射部から照射されて前記検査対象物で反射された光を検出する単一の光検出部と、
   (c) 前記光検出部によって検出された複数の画像データに基づき、前記検査対象物の表面の凹凸状態と、前記検査対象物に描画された画像の描画状況と、を判定する判定部と、
   を備え、
   前記照射部は、
   (a-1) 前記検査対象物に対して第１の色を有する光を照射する第１の光源と、
   (a-2) 前記検査対象物に対して第２の色を有する光を照射する第２の光源と、
   を有し、
   前記光検出部は、
   (b-1) 前記第１の光源から照射されて前記検査対象物で正反射された正反射光と、前記第２の光源から照射されて前記検査対象物で拡散反射された拡散光と、を同時に受光する複数の受光部、
   を有し、
   前記判定部は、
   (i) 前記複数の画像データから前記第１の色に対応する第１の判定画像データを抽出するとともに、前記第１の判定画像データに基づいて前記凹凸状態を、
   (ii) 前記複数の画像データから前記第２の色に対応する第２の判定画像データを抽出するとともに、前記第２の判定画像データに基づいて前記描画状況を、
   それぞれ判定することを特徴とする表面検査装置。
2. 請求項１に記載の表面検査装置において、
   前記複数の受光部のうち第１の受光部は、実質的に前記検査対象物で正反射された第１の色の光を受光し、
   前記複数の受光部のうち第２の受光部は、実質的に前記検査対象物で拡散反射された第２の色の光を受光し、
   前記判定部は、前記第１の判定画像データとして前記第１の受光部で受光された画像データに基づいて前記凹凸状態を判定するとともに、前記第２の判定画像として前記第２の受光部で受光された画像データに基づいて前記描画状況を判定することを特徴とする表面検査装置。
3. 請求項１に記載の表面検査装置において、
   前記複数の受光部のそれぞれは、前記反射光および前記拡散光を受光して検出し、
   前記判定部は、
   (c-1) 前記複数の受光部のそれぞれによって検出された画像データから正反射光成分を抽出して第１の判定画像データを生成する第１の生成部と、
   (c-2) 前記複数の受光部のそれぞれによって検出された画像データから拡散光成分を抽出して第２の判定画像データを生成する第２の生成部と、
   を含むことを特徴とする表面検査装置。
4. 請求項１ないし請求項３のいずれかに記載の表面検査装置において、
   前記照射部および前記光検出部に対して前記検査対象部を相対的に移動させる移動手段、
   をさらに備え、
   前記複数の受光部のそれぞれは、前記移動手段による移動方向に対して略垂直な方向に配列された複数の受光素子を有することを特徴とする表面検査装置。
5. 請求項４に記載の表面検査装置において、
   前記第１の光源から照射された光は、前記移動手段による移動方向に対して略垂直な方向に延伸するスリットを通過して前記検査対象物に到達することを特徴とする表面検査装置。
6. 請求項４または請求項５に記載の表面検査装置において、
   前記検査対象物は、水平姿勢に保持されており、
   前記移動手段は、前記検査対象物を水平方向に移動させることを特徴とする表面検査装置。
7. 請求項４または請求項５に記載の表面検査装置において、
   前記検査対象物は、略円筒形状を有するドラムに巻装されており、
   前記照射部および前記光検出部は、前記検査対象物を挟んで前記ドラムの回転軸と逆側に固設けられており、
   前記移動手段は、前記ドラムを前記回転軸を中心として回転させることにより、前記検査対象物を前記照射部および前記光検出部に対して移動させることを特徴とする表面検査装置。
8. 請求項１ないし請求項７のいずれかに記載の表面検査装置において、
   前記検査対象物は、印刷版であることを特徴とする表面検査装置。
9. 略平面形状を有し、光を透過する検査対象物の表面状態を検査する検査装置であって、
   (a) 検査対象物に対して光を照射する照射部と、
   (b) 前記照射部から照射されて前記検査対象物を経由する光を検出する単一の光検出部と、
   (c) 前記光検出部によって検出された複数の画像データに基づき、前記検査対象物の表面の凹凸状態と前記検査対象物に描画された画像の描画状況とを判定する判定部と、
   を備え、
   前記照射部は、
   (a-1) 前記検査対象物に対して第１の色を有する光を照射する第１の光源と、
   (a-2) 前記検査対象物に対して第２の色を有する光を照射する第２の光源と、
   を有し、
   前記光検出部は、
   (b-1) 前記第１の光源から照射されて前記検査対象物で正反射された正反射光と、前記第２の光源から照射されて前記検査対象物を透過した透過光と、を同時に受光する複数の受光部、
   を有し、
   前記判定部は、
   (i) 前記複数の画像データから前記第１の色に対応する第１の判定画像データを抽出するとともに、前記第１の判定画像データに基づいて前記凹凸状態を、
   (ii) 前記複数の画像データから前記第２の色に対応する第２の判定画像データを抽出するとともに、前記第２の判定画像データに基づいて前記描画状況を、
   それぞれ判定することを特徴とする表面検査装置。

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