JP2006026766A - Side machining device for hard and brittle sheet - Google Patents
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Abstract
Description
この発明は、液晶基板の辺の面取加工などに用いる硬質脆性板の側辺加工装置に関するもので、特に加工後にワーク表面に残存する加工液や切粉の洗浄手段に特徴がある上記装置に関するものである。 TECHNICAL FIELD The present invention relates to a side processing apparatus for a hard brittle plate used for chamfering a side of a liquid crystal substrate, and more particularly to the above-described apparatus characterized by cleaning means for processing liquid and chips remaining on a workpiece surface after processing. Is.
パソコンやテレビ、携帯電話などのディスプレイ装置として用いられる液晶パネルは、大面積のガラス板に複数の表示デバイスをマトリックス状に形成した後、その基板を個々のパネルの寸法に割断することによって製作されている。割断した基板の端面には鋭いエッジが形成されるので、回転砥石でこのエッジの面取加工を行っている。回転砥石によるガラス板の研削加工時には、加工液(一般的には純水)が必要であり、加工時には細かい切粉も発生する。この加工液や切粉は、加工されたガラス板の表面に付着するので、これを洗浄する必要がある。 Liquid crystal panels used as display devices for personal computers, televisions, mobile phones, etc. are manufactured by forming multiple display devices in a matrix on a large-area glass plate and then cleaving the substrate into individual panel dimensions. ing. Since a sharp edge is formed on the end face of the cleaved substrate, the edge is chamfered with a rotating grindstone. When grinding a glass plate with a rotating grindstone, a working fluid (generally pure water) is required, and fine chips are also generated during processing. Since this processing liquid and chips adhere to the surface of the processed glass plate, it is necessary to wash it.
図6は、水流と空気噴流による洗浄装置を設けた従来のガラス基板の面取加工装置の一例を模式的に示した斜視図である。装置は、ワークであるガラス基板2を支持するテーブル1と、回転砥石3とを備えており、テーブル1を砥石3に対してワークの加工側辺2aの延在方向に相対移動させることにより、当該側辺の面取加工を行う。
FIG. 6 is a perspective view schematically showing an example of a conventional glass substrate chamfering apparatus provided with a cleaning device using a water flow and an air jet. The apparatus includes a table 1 that supports a
加工部(砥石3とワーク2との接触部)には、加工液ノズル4で加工液が供給されている。加工液の大部分は、回転する砥石3によって加工部の外側へはじき出されるが、一部はワーク2の表面上に残留し、また加工により生じた切粉の一部も加工液と共にワーク表面に付着する。そこで図の装置では、洗浄装置13でワーク2の上面全体に洗浄水を流し、ワーク2の幅寸法より大きい長さを備えたエアナイフなどと呼ばれる空気ノズル8から空気を膜状に噴出して、ワーク表面の加工液や切粉を除去している。
従来の側辺加工装置では、研削加工時にワーク表面に付着した加工液や切粉を除去するためにワークの表面全体に洗浄水を流して洗浄を行っているため、洗浄水(ディスプレイ用のガラス基板の洗浄には、純水が用いられる)の消耗量が多く、ランニングコスト(加工コスト)が高くなるという問題があった。また、ワーク表面全体に洗浄水をかけて洗浄を行うので、洗浄装置が大型となり、またワーク表面を均一に洗浄する必要があることから、洗浄装置に要求される精度も高くなり、従って洗浄装置の構造が複雑になり、価格も高くなる問題があった。 In conventional side processing equipment, cleaning water is poured over the entire surface of the workpiece in order to remove the machining fluid and chips adhering to the workpiece surface during grinding. There has been a problem that the amount of consumption of pure water is large for cleaning the substrate, and the running cost (processing cost) becomes high. In addition, since the entire surface of the workpiece is cleaned with cleaning water, the cleaning device becomes large and the workpiece surface needs to be cleaned uniformly. Therefore, the accuracy required for the cleaning device is increased. There was a problem that the structure became complicated and the price was high.
この発明は、硬質脆性板の側辺加工装置において、加工後のワーク表面の洗浄を局部的に行うことにより、洗浄装置の構造の単純化と洗浄水の使用量の低減とを図ることによって上記課題を解決したものであり、更に加工液や切粉のワーク中央部への拡散を抑制可能な砥石構造や、当該拡散を積極的に抑制する手段を設けることにより、ワーク表面の洗浄が効果的に行われるようにしたものである。 In the side processing apparatus for a hard and brittle plate, the present invention performs the cleaning of the work surface after processing locally, thereby simplifying the structure of the cleaning apparatus and reducing the amount of cleaning water used. It is a solution to the problem, and by providing a grindstone structure that can suppress the diffusion of machining fluid and chips to the center of the workpiece and a means to actively suppress the diffusion, it is effective to clean the workpiece surface. It is intended to be performed.
すなわち、本願請求項1の発明に係る硬質脆性板の側辺加工装置は、ワーク側辺加工用の工具3と、この工具によるワーク加工部へ加工液を供給する加工液供給装置4と、ワークを載置するテーブル1とを備え、前記工具に対するテーブルの前記ワーク側辺方向の相対送りにより側辺加工を行う硬質脆性板の側辺加工装置において、テーブル1の前記相対送り方向における工具3の下流側に、ワーク側辺部の表面に沿ってその側辺の内側から外側に向かって流れる水流5aを生成する水ノズル5と、この水ノズルの更に下流側に、ワーク側辺部の表面に沿ってその側辺の内側から外側に向かって流れる空気流6aを生成する空気ノズル6とが配置されていることを特徴とするものである。
That is, the side processing apparatus for a hard and brittle plate according to the first aspect of the present invention includes a
また本願請求項2の発明は、上記手段を備えた側辺加工装置において、更に、ワーク2の前記相対送り方向と直交する幅方向内側の工具3と略対向する位置に、ワーク側辺部の表面に沿ってその側辺の内側から外側に向いて流れる空気流を生成する第2の空気ノズル7が配置されていることを特徴とするものである。
Further, the invention of
加工時に加工液や切粉が付着するのはワークの側辺部表面であり、この部分に付着した加工液や切粉が工具3のワーク送り方向直後の下流側を流れる水流5aでワーク2の側辺外側へと流され、更にこれに続く空気流6aで洗浄水もワークの側辺外側へと流されるので、ワーク表面を効率的に洗浄することができ、洗浄に必要な純水の量が少なくて済み、ランニングコストを低減できる。
The machining fluid and chips adhere to the surface of the side of the workpiece during machining, and the machining fluid and chips adhering to this portion flow through the downstream side immediately after the workpiece feed direction of the
特にワークの加工側辺2aの上下に、ワーク2との接触部2bで当該側辺の内側から外側に向かう方向に回転する上下2個の回転砥石3a、3bを備える側辺加工装置では、上記砥石3a、3bの回転に随伴して加工部にワーク側辺の内側から外側に向いて流れる空気流10が生じ、加工液や切粉のワーク中央部への拡散が抑制されて、加工液や切粉がワーク側辺部に留まるので、この発明の水ノズル5及び空気ノズル6により、ワーク表面の効果的な洗浄が可能になる。
In particular, in the side processing apparatus including the upper and lower two rotating
請求項2の発明では、工具3による加工部に第2空気ノズル7からの空気流11により、加工液や切粉のワーク中央部への拡散がより積極的に阻止されるので、本願発明の水ノズル5及び空気ノズル6によるワーク表面の効果的な洗浄が可能である。
In the second aspect of the present invention, the
また、ワーク表面全体を洗浄する従来装置に比べて、洗浄面積が小さくなるので、装置も小型で構造も簡単になり、装置自体もより安価に提供できる効果がある。 In addition, since the cleaning area is smaller than that of a conventional apparatus that cleans the entire workpiece surface, the apparatus is small and simple in structure, and the apparatus itself can be provided at a lower cost.
以下、図面を参照して、この発明の実施形態を説明する。図1ないし図3は、この発明の最も好ましい実施形態の一例を示した図で、図1は要部の斜視図、図2は面取加工中のワーク側辺部をワークの送り方向下流側から見た図、図3は全体の機器配置とノズルからの水流及び空気流の流れの方向を示す平面図、図4は加工液供給部分の砥石と加工液ノズルとの拡大部分断面図、図5は加工液ノズルを砥石側から見た図である。 Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIGS. 1 to 3 are views showing an example of the most preferred embodiment of the present invention. FIG. 1 is a perspective view of a main part, and FIG. 2 is a work side edge part during chamfering processing on the downstream side in the work feed direction. FIG. 3 is a plan view showing the entire device arrangement and the direction of the water flow and air flow from the nozzle, and FIG. 4 is an enlarged partial cross-sectional view of the grindstone of the machining liquid supply portion and the machining liquid nozzle. 5 is the figure which looked at the machining liquid nozzle from the grindstone side.
図において、1はテーブル、2はテーブル1上に真空圧等で吸着保持されたワーク(ガラス基板)、3はワーク側辺2aの面取加工用の砥石ユニット、4は加工液ノズル、5は洗浄水ノズル、6は空気ノズル、7は第2の空気ノズル、8はエアナイフ、9はワーク搬出用のコンベアである。
In the figure, 1 is a table, 2 is a work (glass substrate) sucked and held on the table 1 by vacuum pressure or the like, 3 is a grindstone unit for chamfering the
砥石ユニット3、ノズル4、5、6、エアナイフ8及びコンベア9は、定位置に設けられており、テーブル1及びこれに吸着保持されたワーク2は、加工するワーク側辺2aと平行な図の矢印A方向に移動する。この移動時に砥石ユニット3に設けた上下の回転砥石3a、3bがワーク側辺2aの上下のエッジに略45度の角度で接触して、当該エッジの面取加工を行う。このとき、加工液ノズル4から砥石3a、3bの周面に加工液(純水)が供給される。
The
上下の砥石3a、3bは、ワーク側辺2aのエッジを内側から外側へと研削するように、図2に矢印Bで示す方向に回転しており、この回転に伴う空気流10が図3に示すように、ワーク側辺2aの内側から外側へと流れている。図に示した上下の砥石3a、3bは、それぞれ1本の砥石軸12a、12bに軸方向に間隔を置いて固定された3枚の砥石車からなっており、上下各3枚の砥石車が交互に相手側砥石車の間隔部分に位置している。ワーク2は、その側辺2aをテーブル1から張り出させた状態で支持されており、下側砥石3bとテーブル1とが干渉しないようになっている。
The upper and
第2空気ノズル7は、上下の砥石3a、3bと対向するようにワーク2の側辺部上下に設けられて、上下の砥石3a、3bとワーク側辺2aとの接触部に向けて第2空気流11を噴射している。第2空気流11は、図3に示すように、ワーク側辺2aの内側から外側へ、かつワーク2の送り方向下流側から上流側へと向く斜めの方向に噴射されている。前述した砥石3a、3bの回転により生ずる空気流10の作用により、ワーク側辺2aの加工部に供給される加工液や当該加工部で発生する切粉は、ワーク側辺2aの内側から外側へと搬送されて、当該加工液や切粉がワークの中央部に拡散するのが抑制される。
The
図示装置に設けられている第2空気ノズル7は、ワーク加工部にワークの内側から外側へと流れる空気流11を積極的に付与して加工液や切粉がワーク中央部に拡散するのを防止し、ワーク2への加工液や切粉の付着がワーク側辺部の狭い範囲に留まるようにしている。
The
砥石3のワーク送り方向下流側には、ワーク側辺2aから内側寄りのワーク2の上下に、ワーク2の上下面に沿ってワーク内側から外側へと流れる水流5a及び空気流6aを生成するように噴出口5b、6bをワーク側辺側に向けた水ノズル5と空気ノズル6とがこの順序で配置されている。
On the downstream side in the workpiece feeding direction of the
水ノズル5及び空気ノズル6の配置位置は、ワーク側辺部の加工液や切粉が付着するおそれのある部分全体を水流5aで洗浄可能な位置とし、例えば第2空気ノズル7を設けないときは、加工液や切粉の付着領域が広がるから、水ノズル5の配置位置は、ワークの幅方向(送り方向から見た幅方向)の内側に後退した位置となる。空気ノズル6は、水ノズル5から流出する洗浄水をワーク表面から除去する作用をなすもので、水ノズル5よりワーク送り方向下流側のワーク幅方向内側の位置に配置される。
The arrangement position of the
図の装置では、空気ノズル6の更にワーク送り方向下流側に従来装置と同様なエアナイフ8を配置しているが、これは側辺加工装置からワーク2をコンベア9へと搬出する際に、ワーク表裏面の水の除去を確実に保証するために従来装置に設けていたものをそのまま設けたものである。
In the illustrated apparatus, an
図4及び5は、上記実施形態で用いた砥石3への加工液の供給構造を示したものである。図に示すように、加工液ノズル4には砥石3の周面が遊隙を持って嵌まり込む円弧状の凹所4aが複数枚(図では3枚)の砥石車に対向するように複数箇所設けられており、その凹所の底部に加工液供給用のノズル孔4bが開口している。ノズル孔4bから流出する加工液は、凹所4aの壁面と砥石3の外周面との間に形成される遊隙を通って、砥石3の周面に付着した状態でワークの加工部へと搬送される。砥石3への加工液供給ノズルの構造として、図4、5に例示するような構造を用いることにより、ノズル孔4bから流出する加工液と回転する砥石周面との衝突による加工液の飛散が防止され、加工液がワークの中央部に拡散するのをより有効に防止することができる。
4 and 5 show a structure for supplying a working fluid to the
次に上記構成を備えた実施例装置の作用について説明する。加工しようとするワークの側辺2aに臨んで回転する上下の砥石3a、3bは、ワーク2の側辺2a方向への移動により、側辺2aの面取加工を行って行く。このとき、加工部に供給される加工液及び加工部で発生する切粉は、砥石の回転に伴う空気流10及び第2空気ノズル7から噴出する第2空気流11により、大部分が加工される側辺2aの外側へと送りだされるが、一部はワーク側辺部のワーク表面に付着する。
Next, the operation of the embodiment apparatus having the above configuration will be described. The upper and
水ノズル5及び空気ノズル6も定位置に設けられているため、砥石ユニット3部分を通過したワーク側辺部は、水ノズル5の配置位置に達したときに、水流5aによって洗浄され、更に空気ノズル6の配置位置に達したときに、空気流6aによってワーク表面に付着した洗浄水が除去される。そして、加工済ワークがテーブル1から搬出コンベア9へと搬出される際にエアナイフ8から噴出する膜状の空気流によってワーク2の上下面が空気洗浄される。
Since the
なお、砥石ユニット3は、ワーク2の幅寸法に応じてワーク幅方向に移動させる必要があるが、このとき、水ノズル5、空気ノズル6及び第2空気ノズル7も砥石ユニット3の幅方向の移動量に応じて幅方向に移動する。すなわち、実際の装置では、ワークの幅寸法に合せて位置調整可能な砥石側フレームに砥石ユニット3、水ノズル5、空気ノズル6及び第2空気ノズル7を設けてやればよい。
The
1 テーブル
2 ワーク
3 砥石ユニット(工具)
4 加工液ノズル
5 洗浄水ノズル
6 空気ノズル
7 第2空気ノズル
1 Table 2
4 Processing
Claims (2)
テーブル(1)の前記相対送り方向における工具(3)の下流側に、ワーク側辺部の表面に沿ってその側辺の内側から外側に向かって流れる水流(5a)を生成する水ノズル(5)と、この水ノズルの更に下流側に、ワーク側辺部の表面に沿ってその側辺の内側から外側に向かって流れる空気流(6a)を生成する空気ノズル(6)とが配置されていることを特徴とする、硬質脆性板の側辺加工装置。 A tool for machining the side of the workpiece (3), a machining fluid supply device (4) for supplying a machining fluid to a workpiece machining section by the tool, and a table (1) for placing the workpiece, a table for the tool In the side processing apparatus for a hard brittle plate that performs side processing by relative feeding in the workpiece side direction,
On the downstream side of the tool (3) in the relative feed direction of the table (1), a water nozzle (5a) that generates a water flow (5a) that flows from the inside of the side to the outside along the surface of the side of the workpiece. ) And an air nozzle (6) that generates an air flow (6a) that flows from the inside of the side to the outside along the surface of the side of the workpiece on the further downstream side of the water nozzle. An apparatus for processing a side of a hard brittle plate, characterized in that:
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