JP2006026712A - レーザ加工装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】シリンダ90のボア内面91に凹部を形成するためのレーザ加工装置1であって、レーザ光Lを発振するレーザ発振器10と、当該レーザ発振器10から発振されたレーザ光Lを集光する集光レンズ32を有する集光ヘッド30と、を少なくとも備え、レーザ発振器10は、レーザ光の中心部から所定径内の部分のみを透過可能な開口部151が形成されたアパーチャ15を有し、当該レーザ発振器10から発振され集光レンズ32により集光されたレーザ光Lを、当該レーザ光のスポット径が凹部の径と実質的に同一となるようにシリンダ90のボア内面91に照射する。
【選択図】図3
Description
上記目的を達成するために、本発明によれば、筒状体の内壁面に凹部を形成するためのレーザ加工装置であって、レーザ光を発振するレーザ発振手段と、前記レーザ発振手段から発振された前記レーザ光を集光する集光レンズを有する集光手段と、を少なくとも備え、前記レーザ発振手段は、前記レーザ光の中心部から所定径内の部分のみを透過可能な開口部が形成されたアパーチャを有し、前記レーザ発振手段から発振され前記集光レンズにより集光された前記レーザ光を、当該レーザ光のスポット径が前記凹部の径と実質的に同一となるように、前記筒状体の内壁面に照射するレーザ加工装置が提供される。
10…レーザ発振器
11…YAGロッド
12…光共振器
121…全反射鏡
122…出力鏡
13…ダイオード
14…Qスイッチ
15…アパーチャ
151…開口部
20…第1のミラー
30…集光ヘッド
31…エキスパンダ
311…発散レンズ
312…コリメータレンズ
32…集光レンズ
33…第2のミラー
40…移動装置
50…制御装置
90…シリンダ
91…ボア内面
92…凹部
93…盛上部
Claims (7)
- 筒状体の内壁面に凹部を形成するためのレーザ加工装置であって、
レーザ光を発振するレーザ発振手段と、
前記レーザ発振手段から発振された前記レーザ光を集光する集光レンズを有する集光手段と、を少なくとも備え、
前記レーザ発振手段は、前記レーザ光の中心部から所定径内の部分のみを透過可能な開口部が形成されたアパーチャを有し、
前記レーザ発振手段から発振され前記集光レンズにより集光された前記レーザ光を、当該レーザ光のスポット径が前記凹部の径と実質的に同一となるように、前記筒状体の内壁面に照射するレーザ加工装置。 - 前記レーザ光のスポット径は、前記筒状体を構成する材料を蒸発させ得る最低エネルギー密度であるスレッシュホールド未満の部分を含む請求項1記載のレーザ加工装置。
- 前記レーザ発振手段から発振された前記レーザ光を発散光線束とし、さらに当該発散されたレーザ光を平行光線束とした状態で前記集光レンズに導くエキスパンダをさらに備えた請求項1又は2記載のレーザ加工装置。
- 前記レーザ発振手段は、レーザ物質と、前記レーザ物質を間に挟むように配置された一対の反射鏡から成る光共振器と、を少なくとも有し、
前記アパーチャは、前記レーザ物質と前記光共振器の一方の反射鏡との間に設けられている請求項1〜3の何れかに記載のレーザ加工装置。 - 前記レーザ発振手段から発振された前記レーザ光を反射させて前記集光手段に導く第1の反射手段をさらに備えた請求項1〜4の何れかに記載のレーザ加工装置。
- 前記集光手段は、前記集光レンズにより集光されたレーザ光を前記筒状体の内壁面に反射させる第2の反射手段をさらに有する請求項1〜5の何れかに記載のレーザ加工装置。
- 前記集光手段を前記筒状体に対して相対的に移動及び回転させる移動手段をさらに備えた請求項1〜6の何れかに記載のレーザ加工装置。
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2004
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