JP2006023178A - 3次元計測方法及び装置 - Google Patents

3次元計測方法及び装置 Download PDF

Info

Publication number
JP2006023178A
JP2006023178A JP2004201181A JP2004201181A JP2006023178A JP 2006023178 A JP2006023178 A JP 2006023178A JP 2004201181 A JP2004201181 A JP 2004201181A JP 2004201181 A JP2004201181 A JP 2004201181A JP 2006023178 A JP2006023178 A JP 2006023178A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
region
phase
value
phase value
pixel
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2004201181A
Other languages
English (en)
Japanese (ja)
Other versions
JP2006023178A5 (cg-RX-API-DMAC7.html
Inventor
Takeshi Ryu
剛 劉
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Olympus Corp
Original Assignee
Olympus Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Olympus Corp filed Critical Olympus Corp
Priority to JP2004201181A priority Critical patent/JP2006023178A/ja
Publication of JP2006023178A publication Critical patent/JP2006023178A/ja
Publication of JP2006023178A5 publication Critical patent/JP2006023178A5/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
JP2004201181A 2004-07-07 2004-07-07 3次元計測方法及び装置 Pending JP2006023178A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2004201181A JP2006023178A (ja) 2004-07-07 2004-07-07 3次元計測方法及び装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2004201181A JP2006023178A (ja) 2004-07-07 2004-07-07 3次元計測方法及び装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2006023178A true JP2006023178A (ja) 2006-01-26
JP2006023178A5 JP2006023178A5 (cg-RX-API-DMAC7.html) 2007-08-02

Family

ID=35796551

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2004201181A Pending JP2006023178A (ja) 2004-07-07 2004-07-07 3次元計測方法及び装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2006023178A (cg-RX-API-DMAC7.html)

Cited By (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008157797A (ja) * 2006-12-25 2008-07-10 Matsushita Electric Works Ltd 3次元計測方法及びそれを用いた3次元形状計測装置
JP2009150773A (ja) * 2007-12-20 2009-07-09 Nikon Corp 三次元形状計測装置、三次元形状計測方法およびプログラム
EP2090864A1 (en) 2008-02-13 2009-08-19 Konica Minolta Sensing, Inc. Three-dimensional processor and method for controlling display ot three-dimensional data in the three-dimensional processor
JP2010522872A (ja) * 2007-03-28 2010-07-08 エス.オー.アイ.テック シリコン オン インシュレーター テクノロジーズ 基板表面の欠陥検査方法及び装置
CN101893428A (zh) * 2009-05-21 2010-11-24 株式会社高永科技 形状测量设备和形状测量方法
JP2011089981A (ja) * 2009-09-24 2011-05-06 Kde Corp 検査システム及び検査方法
US7973913B2 (en) 2008-10-15 2011-07-05 Fujifilm Corporation Distance measurement apparatus and method
JP2011133328A (ja) * 2009-12-24 2011-07-07 Roland Dg Corp 3次元形状計測方法および3次元形状計測装置
WO2012057284A1 (ja) * 2010-10-27 2012-05-03 株式会社ニコン 三次元形状測定装置、三次元形状測定方法、構造物の製造方法および構造物製造システム
JP2012159412A (ja) * 2011-02-01 2012-08-23 Sony Corp 3次元測定装置、3次元測定方法及びプログラム
JP2012220496A (ja) * 2011-04-06 2012-11-12 General Electric Co <Ge> 目視される物体の表面に関する3次元データの品質の指示を表示するための方法およびデバイス
US8314849B2 (en) 2008-03-11 2012-11-20 Nikon Corporation Shape measuring device
CN106705855A (zh) * 2017-03-10 2017-05-24 东南大学 一种基于自适应光栅投影的高动态性能三维测量方法
JP2019124543A (ja) * 2018-01-16 2019-07-25 株式会社サキコーポレーション 検査装置の高さ情報の取得方法及び検査装置
KR20190104367A (ko) * 2017-03-07 2019-09-09 오므론 가부시키가이샤 3차원 형상 계측 장치, 3차원 형상 계측 방법 및 프로그램
WO2022059093A1 (ja) * 2020-09-16 2022-03-24 日本電気株式会社 監視システム、方法、及びプログラムが格納された非一時的なコンピュータ可読媒体

Cited By (23)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008157797A (ja) * 2006-12-25 2008-07-10 Matsushita Electric Works Ltd 3次元計測方法及びそれを用いた3次元形状計測装置
JP2010522872A (ja) * 2007-03-28 2010-07-08 エス.オー.アイ.テック シリコン オン インシュレーター テクノロジーズ 基板表面の欠陥検査方法及び装置
JP2009150773A (ja) * 2007-12-20 2009-07-09 Nikon Corp 三次元形状計測装置、三次元形状計測方法およびプログラム
EP2090864A1 (en) 2008-02-13 2009-08-19 Konica Minolta Sensing, Inc. Three-dimensional processor and method for controlling display ot three-dimensional data in the three-dimensional processor
US8121814B2 (en) 2008-02-13 2012-02-21 Konica Minolta Sensing, Inc. Three-dimensional processor and method for controlling display of three-dimensional data in the three-dimensional processor
US8314849B2 (en) 2008-03-11 2012-11-20 Nikon Corporation Shape measuring device
US7973913B2 (en) 2008-10-15 2011-07-05 Fujifilm Corporation Distance measurement apparatus and method
CN101893428A (zh) * 2009-05-21 2010-11-24 株式会社高永科技 形状测量设备和形状测量方法
JP2010271316A (ja) * 2009-05-21 2010-12-02 Koh Young Technology Inc 形状測定装置および形状測定方法
US9275292B2 (en) 2009-05-21 2016-03-01 Koh Young Technology Inc. Shape measurement apparatus and method
JP2011089981A (ja) * 2009-09-24 2011-05-06 Kde Corp 検査システム及び検査方法
JP2011133328A (ja) * 2009-12-24 2011-07-07 Roland Dg Corp 3次元形状計測方法および3次元形状計測装置
WO2012057284A1 (ja) * 2010-10-27 2012-05-03 株式会社ニコン 三次元形状測定装置、三次元形状測定方法、構造物の製造方法および構造物製造システム
JP2012159412A (ja) * 2011-02-01 2012-08-23 Sony Corp 3次元測定装置、3次元測定方法及びプログラム
JP2012220496A (ja) * 2011-04-06 2012-11-12 General Electric Co <Ge> 目視される物体の表面に関する3次元データの品質の指示を表示するための方法およびデバイス
KR20190104367A (ko) * 2017-03-07 2019-09-09 오므론 가부시키가이샤 3차원 형상 계측 장치, 3차원 형상 계측 방법 및 프로그램
KR102149707B1 (ko) * 2017-03-07 2020-08-31 오므론 가부시키가이샤 3차원 형상 계측 장치, 3차원 형상 계측 방법 및 프로그램
CN106705855A (zh) * 2017-03-10 2017-05-24 东南大学 一种基于自适应光栅投影的高动态性能三维测量方法
JP2019124543A (ja) * 2018-01-16 2019-07-25 株式会社サキコーポレーション 検査装置の高さ情報の取得方法及び検査装置
JP7156794B2 (ja) 2018-01-16 2022-10-19 株式会社サキコーポレーション 検査装置の高さ情報の取得方法及び検査装置
WO2022059093A1 (ja) * 2020-09-16 2022-03-24 日本電気株式会社 監視システム、方法、及びプログラムが格納された非一時的なコンピュータ可読媒体
JPWO2022059093A1 (cg-RX-API-DMAC7.html) * 2020-09-16 2022-03-24
JP7537502B2 (ja) 2020-09-16 2024-08-21 日本電気株式会社 監視システム、方法、及びプログラム

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US11928805B2 (en) Information processing apparatus, information processing method, and storage medium for defect inspection and detection
US8199335B2 (en) Three-dimensional shape measuring apparatus, three-dimensional shape measuring method, three-dimensional shape measuring program, and recording medium
CN102365522B (zh) 三维形状计测装置、方法及程序
JP2006023178A (ja) 3次元計測方法及び装置
JP7642048B2 (ja) 光学撮像システムのオートフォーカス用レンジ弁別化装置
US9521372B2 (en) Pattern measuring apparatus, pattern measuring method, and computer-readable recording medium on which a pattern measuring program is recorded
JP2017146298A (ja) 形状測定システム、形状測定装置及び形状測定方法
TWI447836B (zh) Device and method for inspection of wafer cassette
JP2011047724A (ja) 欠陥検査装置およびその方法
JP2009036589A (ja) 校正用ターゲット、校正支援装置、校正支援方法、および校正支援プログラム
JP4286657B2 (ja) 走査電子顕微鏡を用いたライン・アンド・スペースパターンの測定方法
Iuliani et al. Image splicing detection based on general perspective constraints
JP2012002663A (ja) パターン検査装置およびパターン検査方法
JPWO2003032261A1 (ja) コイン判別装置及びコイン判別方法
JP2007212201A (ja) パターン検査方法及びその装置
JP2009294027A (ja) パターン検査装置及び方法
JP2005345290A (ja) 筋状欠陥検出方法及び装置
JP2005283197A (ja) 画面のスジ欠陥検出方法及び装置
JP6641485B2 (ja) 位置指定装置および位置指定方法
JP2009250937A (ja) パターン検査装置および方法
JP4538421B2 (ja) 荷電粒子線装置
JP5391172B2 (ja) 異物検査装置及びアライメント調整方法
EP3070432B1 (en) Measurement apparatus
JP2004219072A (ja) 画面のスジ欠陥検出方法及び装置
JP2006023133A (ja) 3次元形状測定装置および方法

Legal Events

Date Code Title Description
A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20070614

A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20070614

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20090914

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20090929

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20100209