JP2006023178A - 3次元計測方法及び装置 - Google Patents
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Cited By (16)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008157797A (ja) * | 2006-12-25 | 2008-07-10 | Matsushita Electric Works Ltd | 3次元計測方法及びそれを用いた3次元形状計測装置 |
| JP2009150773A (ja) * | 2007-12-20 | 2009-07-09 | Nikon Corp | 三次元形状計測装置、三次元形状計測方法およびプログラム |
| EP2090864A1 (en) | 2008-02-13 | 2009-08-19 | Konica Minolta Sensing, Inc. | Three-dimensional processor and method for controlling display ot three-dimensional data in the three-dimensional processor |
| JP2010522872A (ja) * | 2007-03-28 | 2010-07-08 | エス.オー.アイ.テック シリコン オン インシュレーター テクノロジーズ | 基板表面の欠陥検査方法及び装置 |
| CN101893428A (zh) * | 2009-05-21 | 2010-11-24 | 株式会社高永科技 | 形状测量设备和形状测量方法 |
| JP2011089981A (ja) * | 2009-09-24 | 2011-05-06 | Kde Corp | 検査システム及び検査方法 |
| US7973913B2 (en) | 2008-10-15 | 2011-07-05 | Fujifilm Corporation | Distance measurement apparatus and method |
| JP2011133328A (ja) * | 2009-12-24 | 2011-07-07 | Roland Dg Corp | 3次元形状計測方法および3次元形状計測装置 |
| WO2012057284A1 (ja) * | 2010-10-27 | 2012-05-03 | 株式会社ニコン | 三次元形状測定装置、三次元形状測定方法、構造物の製造方法および構造物製造システム |
| JP2012159412A (ja) * | 2011-02-01 | 2012-08-23 | Sony Corp | 3次元測定装置、3次元測定方法及びプログラム |
| JP2012220496A (ja) * | 2011-04-06 | 2012-11-12 | General Electric Co <Ge> | 目視される物体の表面に関する3次元データの品質の指示を表示するための方法およびデバイス |
| US8314849B2 (en) | 2008-03-11 | 2012-11-20 | Nikon Corporation | Shape measuring device |
| CN106705855A (zh) * | 2017-03-10 | 2017-05-24 | 东南大学 | 一种基于自适应光栅投影的高动态性能三维测量方法 |
| JP2019124543A (ja) * | 2018-01-16 | 2019-07-25 | 株式会社サキコーポレーション | 検査装置の高さ情報の取得方法及び検査装置 |
| KR20190104367A (ko) * | 2017-03-07 | 2019-09-09 | 오므론 가부시키가이샤 | 3차원 형상 계측 장치, 3차원 형상 계측 방법 및 프로그램 |
| WO2022059093A1 (ja) * | 2020-09-16 | 2022-03-24 | 日本電気株式会社 | 監視システム、方法、及びプログラムが格納された非一時的なコンピュータ可読媒体 |
-
2004
- 2004-07-07 JP JP2004201181A patent/JP2006023178A/ja active Pending
Cited By (23)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008157797A (ja) * | 2006-12-25 | 2008-07-10 | Matsushita Electric Works Ltd | 3次元計測方法及びそれを用いた3次元形状計測装置 |
| JP2010522872A (ja) * | 2007-03-28 | 2010-07-08 | エス.オー.アイ.テック シリコン オン インシュレーター テクノロジーズ | 基板表面の欠陥検査方法及び装置 |
| JP2009150773A (ja) * | 2007-12-20 | 2009-07-09 | Nikon Corp | 三次元形状計測装置、三次元形状計測方法およびプログラム |
| EP2090864A1 (en) | 2008-02-13 | 2009-08-19 | Konica Minolta Sensing, Inc. | Three-dimensional processor and method for controlling display ot three-dimensional data in the three-dimensional processor |
| US8121814B2 (en) | 2008-02-13 | 2012-02-21 | Konica Minolta Sensing, Inc. | Three-dimensional processor and method for controlling display of three-dimensional data in the three-dimensional processor |
| US8314849B2 (en) | 2008-03-11 | 2012-11-20 | Nikon Corporation | Shape measuring device |
| US7973913B2 (en) | 2008-10-15 | 2011-07-05 | Fujifilm Corporation | Distance measurement apparatus and method |
| CN101893428A (zh) * | 2009-05-21 | 2010-11-24 | 株式会社高永科技 | 形状测量设备和形状测量方法 |
| JP2010271316A (ja) * | 2009-05-21 | 2010-12-02 | Koh Young Technology Inc | 形状測定装置および形状測定方法 |
| US9275292B2 (en) | 2009-05-21 | 2016-03-01 | Koh Young Technology Inc. | Shape measurement apparatus and method |
| JP2011089981A (ja) * | 2009-09-24 | 2011-05-06 | Kde Corp | 検査システム及び検査方法 |
| JP2011133328A (ja) * | 2009-12-24 | 2011-07-07 | Roland Dg Corp | 3次元形状計測方法および3次元形状計測装置 |
| WO2012057284A1 (ja) * | 2010-10-27 | 2012-05-03 | 株式会社ニコン | 三次元形状測定装置、三次元形状測定方法、構造物の製造方法および構造物製造システム |
| JP2012159412A (ja) * | 2011-02-01 | 2012-08-23 | Sony Corp | 3次元測定装置、3次元測定方法及びプログラム |
| JP2012220496A (ja) * | 2011-04-06 | 2012-11-12 | General Electric Co <Ge> | 目視される物体の表面に関する3次元データの品質の指示を表示するための方法およびデバイス |
| KR20190104367A (ko) * | 2017-03-07 | 2019-09-09 | 오므론 가부시키가이샤 | 3차원 형상 계측 장치, 3차원 형상 계측 방법 및 프로그램 |
| KR102149707B1 (ko) * | 2017-03-07 | 2020-08-31 | 오므론 가부시키가이샤 | 3차원 형상 계측 장치, 3차원 형상 계측 방법 및 프로그램 |
| CN106705855A (zh) * | 2017-03-10 | 2017-05-24 | 东南大学 | 一种基于自适应光栅投影的高动态性能三维测量方法 |
| JP2019124543A (ja) * | 2018-01-16 | 2019-07-25 | 株式会社サキコーポレーション | 検査装置の高さ情報の取得方法及び検査装置 |
| JP7156794B2 (ja) | 2018-01-16 | 2022-10-19 | 株式会社サキコーポレーション | 検査装置の高さ情報の取得方法及び検査装置 |
| WO2022059093A1 (ja) * | 2020-09-16 | 2022-03-24 | 日本電気株式会社 | 監視システム、方法、及びプログラムが格納された非一時的なコンピュータ可読媒体 |
| JPWO2022059093A1 (cg-RX-API-DMAC7.html) * | 2020-09-16 | 2022-03-24 | ||
| JP7537502B2 (ja) | 2020-09-16 | 2024-08-21 | 日本電気株式会社 | 監視システム、方法、及びプログラム |
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