JP2006015523A - 成形方法及び成形装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】
より簡便に且つ低コストで、高アスペクト比の微細構造を有する成形物を成形できる成形方法及び成形装置を提供する。
【解決手段】
型の熱膨張率に対して、素材Mの熱膨張率が大きい場合でも、素材Mの裏面を加熱した状態で離型を行えば、素材M側の収縮が抑えられるため、離型時における微細形状のちぎれ等を抑制できる。
【選択図】 図2
より簡便に且つ低コストで、高アスペクト比の微細構造を有する成形物を成形できる成形方法及び成形装置を提供する。
【解決手段】
型の熱膨張率に対して、素材Mの熱膨張率が大きい場合でも、素材Mの裏面を加熱した状態で離型を行えば、素材M側の収縮が抑えられるため、離型時における微細形状のちぎれ等を抑制できる。
【選択図】 図2
Description
本発明は、成形方法及び成形装置に関し、特に高アスペクト比の微細形状を有する光学素子等を成形するのに好適な成形方法及び成形装置に関する。
近年、急速に発展している光ピックアップ装置の分野では、極めて高精度な対物レンズなどの光学素子が用いられている。プラスチックやガラスなどの素材を、金型を用いてそのような光学素子に成形すると、均一な形状の製品を迅速に製造することができるため、かかる金型成形は、そのような用途の光学素子の大量生産に適しているといえる。
更に、近年の光ピックアップ装置は、より短波長の半導体レーザからの光束を用いて、HD DVD(High Definition DVD),BD(Blu-ray Disc)などの記録媒体に対して高密度な情報の記録及び/又は再生を行えるものが開発されており、その光学系の収差特性改善のため、微細構造である回折構造を光学面に設けることが行われている。又、そのような高密度な情報の記録及び/又は再生を行える光ピックアップ装置であっても、従来から大量に供給されたCD、DVDに対しても情報の記録及び/又は再生を確保する必要があり、そのため波長選択性を備えた回折構造を設けることも行われている。又、DVD及びCDなど互換可能に情報の記録及び/又は再生を行える光ピックアップ装置において、光学系を共通化するために位相差を与える波長板が用いられるが、微細構造を有するものも開発されている。
ここで、回折構造は、使用する光源波長にもよるが、例えば段差が最小2μm程度の輪帯構造であり、又、上述したタイプの波長板では、透過する光の波長1/2以下のピッチで並んだラインアンドスペース構造を有するため、通常の射出成形において、溶融した樹脂を型内に射出するのみでは、型に形成された微細構造の段差の奥深くに素材が入り込みにくく、そのため微細構造の転写が精度良くなされないという問題がある。転写不良(素材のダレ)により設計通りの微細構造が形成されないと、その光学特性が劣化してしまい、かかる光学素子を用いた光ピックアップ装置において書き込みエラーなどが生じる恐れがある。このため、素材の選定や、溶融した樹脂の温度や圧力を調整するなど、種々の工夫がなされているが、従来の方法では、ダレを完全になくすのは困難である。
一方、以下の特許文献1には、加熱軟化状態にあるガラス素材をプレスすることによって、表面に微細パターンを有する光学素子を成形する方法が開示されている。
特開2002−220241号公報
ところが、特許文献1に記載の技術では、ガラス素材の表面に、幅約100〜50μm、高さが約20〜10μmという、アスペクト比が0.2程度の微細形状を成形するのが限界である。これは、無機ガラスの常温での弾性率が70GPa程度と高いため、その表面に3000Nという非常に大きな力で加熱した型を押しつけても、微細構造の奥にガラス素材がスムーズに流れ込まず、その結果アスペクト比が0.2程度の微細形状しか成形できなかったのである。従って、例えばアスペクト比が1以上という微細形状を有する成形物は、試作品としては存在するかもしれないが、形状の揃った工業製品としては未だ存在していないといえる。
本発明は、かかる従来技術の問題に鑑みてなされたものであり、より簡便に且つ低コストで、高アスペクト比の微細構造を有する成形物を成形できる成形方法及び成形装置を提供することを目的とする。
第1の本発明の成形方法は、常温での弾性率が1〜4(GPa)である素材を、保持部に取り付けるステップと、微細形状を有する型の温度を、前記素材のガラス転移点温度より高く設定するステップと、前記型を前記素材に向かって押圧して、前記微細形状を前記素材に転写するステップと、前記素材の裏面を加熱した状態で、前記型を前記素材より離型させるステップと、を有することを特徴とする。
上述の問題点に鑑みて、本発明者らは鋭意研究の結果、従来と全く異なる視点から、微細形状を有する成形物を成形できる成形方法を創案した。すなわち、常温での弾性率が1〜4(GPa)であるような樹脂素材の場合、微細形状を有する型を加熱して、その型表面に押しつけると、押しつけた表面が溶融して微細形状に倣い、その結果、例えばアスペクト比が1以上であっても精密に型の微細形状を転写した成形物を得られることを見出したのである。かかる場合、特許文献1に記載されているように3000Nもの型押圧力は不要であり、従来の射出成形機を改良するだけで足り、製造設備が低コスト化され、また短時間で大量な成形物を製造することが可能となる。
ちなみに、常温での弾性率が1〜4(GPa)であるような素材とは、例えばPMMA(弾性率1.5〜3.3GPa)、ポリカーボネイト(弾性率3.1GPa)、ポリオレフィン(弾性率2.5〜3.1GPa)などの弾性率が1〜4の範囲の樹脂を組成成分として含有することが好ましい。ここで、常温とは25℃のことをいう。これらの樹脂は、ガラス転移点が50〜160℃であることが好ましい。弾性率は、JIS−K7161、7162などに従い求めることができる。ガラス転移点温度は、JIS R3102−3:2001に従い求めることができる。
ここで、本発明者らは、新たな問題に直面した。新たな問題とは、上述の成形方法により素材を成形した後に離型しようとすると、転写された素材の微細形状が、型の微細形状と分離せず、素材の微細形状の一部が引きちぎられてしまうという現象が生じることである。本発明者らは、かかる現象の原因を、加熱された型と素材との冷却時において、それらの熱膨張の差に応じて収縮量が異なることから、素材側の微細形状が型の微細形状を強く挟み込むような内部応力が、素材に生じたことによるものではないかと考えた。そこで、本発明者らは、鋭意研究の結果、前記微細形状を前記素材に転写した後に、前記素材の裏面を加熱した(室温より高くした)状態で離型を行えば、前記素材側の収縮が抑えられるため、離型時における微細形状のちぎれ等を抑制できることを導出したのである。尚、「素材の裏面」とは、微細形状が転写形成される面とは反対側の面をいう。
第2の本発明の成形方法は、常温での弾性率が1〜4(GPa)である素材を、保持部に取り付けるステップと、微細形状を有する型の温度を、前記素材のガラス転移点温度より高く設定するステップと、前記型を前記素材に向かって押圧して、前記微細形状を前記素材に転写するステップと、前記素材に引っ張り応力を与えつつ、前記型を前記素材より離型させるステップと、を有することを特徴とする。
更に、本発明者らは、鋭意研究の結果、前記微細形状を前記素材に転写した後に、前記素材に引っ張り応力を与えつつ離型を行えば、前記素材側の収縮が抑えられるため、離型時における微細形状のちぎれ等を抑制できることも、また導出した。
前記素材は光学素子の素材であると好ましいが、インクジェットプリンタのヘッドなどにも適用できる。
前記微細形状は、アスペクト比が1以上であり、所定のピッチで並んだ複数のラインアンドスペースを含むと好ましい。
「アスペクト比」とは、図1(a)、(b)に示すように、微細構造の凹部又は凸部の幅をA、深さ又は高さをBとしたときに、B/Aで表される値をいう。「微細形状」とは、Aの値が10μm以下の形状をいう。素材の厚みは、好ましくは0.1〜20mmであり、より好ましくは1〜5mmである。
第2の本発明の成形装置は、微細形状を有する型と、常温での弾性率が1〜4(GPa)である素材を保持する保持部と、前記型を加熱する第1ヒータと、
前記保持部を加熱する第2ヒータと、前記型と前記保持部とを相対移動させる駆動部と、を有し、前記第1ヒータにより加熱した前記型を前記素材に向かって押圧して、前記微細形状を前記素材に転写した後、前記第2ヒータにより前記素材の裏面を加熱した状態で、前記型を前記素材より離型させるので、前記微細形状を前記素材に転写した後に、前記素材の裏面を加熱した状態で離型を行うことで、前記素材側の収縮が抑えられるため、離型時における微細形状のちぎれ等を抑制できる
前記保持部を加熱する第2ヒータと、前記型と前記保持部とを相対移動させる駆動部と、を有し、前記第1ヒータにより加熱した前記型を前記素材に向かって押圧して、前記微細形状を前記素材に転写した後、前記第2ヒータにより前記素材の裏面を加熱した状態で、前記型を前記素材より離型させるので、前記微細形状を前記素材に転写した後に、前記素材の裏面を加熱した状態で離型を行うことで、前記素材側の収縮が抑えられるため、離型時における微細形状のちぎれ等を抑制できる
第4の本発明の成形装置は、微細形状を有する型と、常温での弾性率が1〜4(GPa)である素材を保持する保持部と、前記型を加熱するヒータと、前記型と前記保持部とを相対移動させる駆動部と、前記素材の裏面に係合して、引っ張り応力を付与する応力手段を有し、前記ヒータにより加熱した前記型を前記素材に向かって押圧して、前記微細形状を前記素材に転写した後、前記応力手段により前記素材に引っ張り応力を与えつつ、前記型を前記素材より離型させるので、前記微細形状を前記素材に転写した後に、前記素材に引っ張り応力を与えつつ離型を行うことで、前記素材側の収縮が抑えられるため、離型時における微細形状のちぎれ等を抑制できる
本発明によれば、より簡便に且つ低コストで、高アスペクト比の微細構造を有する成形物を成形できる成形方法及び成形装置を提供することができる。
以下、本発明の実施の形態につき、図面を参照して説明する。図2は、第1の実施の形態にかかる成形方法を実施できる光学素子の成形装置の断面図である。図2において、SUS304により形成され不図示のフレームに固定された下型1の上方に、SUS304により形成された上型2が相対移動可能に配置されている。保持部である下型1は、素材M(常温での弾性率が1〜4(GPa)であると好ましい)を上面に固定している。
上型2の下面には、シリコン性の型円板2aが固定されており、その下面には、例えば波長板に用いるため電子ビーム描画などによってアスペクト比が1以上の微細形状2bが形成されている。本実施の形態では、PMMA(分子量7万、ガラス転移点温度Tg100℃、縦弾性率3.3GPa)の素材に、パターン面積が1mm×1mmで、高さ350nm、幅200nm、ピッチ200nmのラインアンドスペースの微細形状を転写形成するものとする。
上型2の内部には、第1ヒータ4が設置されている。一方、下型1の内部には、第2ヒータ5が配置されている。上型2と型円板2aとで、請求項にいう型を構成する。尚、図示していないが、上型2を下型1に対して接近・離隔方向に相対移動させる駆動部が設けられている。
図3は、本実施の形態にかかる成形方法を示すフローチャート図である。図4は、本実施の形態にかかる成形方法における各パラメータの制御プロファイルを示す図である。図を参照して、かかる成形方法について説明する。まず、ステップS101で、図2(a)に示すように、型開きした下型1の上面に、素材Mを固定する(素材を保持部に取り付けるステップ)。更に、ステップS102で、ヒータ4を発熱させて、上型2をガラス転移点温度Tg以上に加熱する(型の温度を素材のガラス転移点温度より高く設定するステップ)。
更に、型円板2aの下面がガラス転移点温度Tg以上に加熱された段階(図4の時刻t1)で、図2(b)に示すように、不図示の駆動部を駆動して上型2により素材Mを押圧する(ステップS103)。すると、素材Mの上面は急速にガラス転移点温度以上に加熱され溶融されて(図4の時刻t1)、その表面に型円板2aの微細形状2bを転写する(型を素材に向かって押圧して、微細形状を素材に転写するステップ)。
続いて、ステップS104で、第1ヒータ4の発熱を停止し、上型2を自然冷却(強制冷却でも良い)させ、それにより素材Mの上面温度をガラス転移点温度Tgを下回るように下げる。
これと相前後し(ここでは図4の時刻t3で)、ステップS105において、第2ヒータ5を発熱させ、下型2を加熱する。下型2が加熱されると、それに密着する素材Mの裏面も加熱される。尚、型円板2aの熱膨張率をα2aとし、素材Mの熱膨張率をαMとし、型円板2aの温度をΔT2aだけ低下させた状態で離型を行うとした場合、型円板2aと素材Mとの間の熱膨張差によるズレを回避するためには、素材Mの裏面をΔT=(1−α2a/αM)・ΔT2aだけ温度上昇させればよいが、素材Mの弾性も考慮すると、厳密にこの温度に管理する必要はない。
更に、図4の時刻t4で、ステップS106において、上型2を素材Mから離すように離型する(素材の裏面を加熱した状態で、型を素材より離型させるステップ)。
本実施の形態によれば、型の熱膨張率に対して、素材Mの熱膨張率が大きい場合でも、素材Mの裏面を加熱した状態で離型を行えば、素材M側の収縮が抑えられるため、離型時における微細形状のちぎれ等を抑制できる。
図5(a)、(b)は、第2の実施の形態にかかる成形方法を実施できる光学素子の成形装置の断面図である。図5(c)は、離型時における図5(a)の矢印C部を拡大して示す図である。本実施の形態においては、上述した実施の形態に対して、素材M’及び下型1’の構成のみが異なるため、共通する構成については同じ符号を付すことで説明を省略する。
本実施の形態においては、保持部である下型1’にはヒータが設けられておらず、その上面に円筒部1a’が形成されている。一方、素材M’の裏面外周には、フランジMf’が形成されている。フランジMf’の内周面は、図5(c)に示すように、逆テーパ形状すなわち底部(図5で上側)に向かうにつれて拡径した形状となっている。このような逆テーパ形状は、フランジMf’の内周面を円筒状に成形した後、機械加工で形成したり、或いは成形後に抜き方向と交差する方向に移動する移動型を用いて直接形成できる。一方、円筒部1a’の外周面は、フランジMf’の内周面に応じて逆テーパ形状となっている。常温においては、フランジMf’の端部内径は、円筒部1a’の端部外径より小さくなっている(図5(c)参照)。円筒部1a’が応力手段を構成する。
図6は、本実施の形態にかかる成形方法を示すフローチャート図である。図を参照して、かかる成形方法について説明する。まず、ステップS201で、素材Mをガラス転移点温度を超えないように加熱する(或いは下型1’の冷却を冷却しても良い)と、熱膨張によりフランジMf’の端部内径が、円筒部1a’の端部外径より大きくなるため、フランジMf’を円筒部1a’に嵌合させるようにして、図5(a)に示すように、型開きした下型1に素材Mを固定する(素材を保持部に取り付けるステップ)。素材M’の温度が下がると収縮して、円筒部1a’に嵌合固定される。
更に、ステップS202で、ヒータ4を発熱させて、上型2をガラス転移点温度Tg以上に加熱する(型の温度を素材のガラス転移点温度より高く設定するステップ)。
型円板2aの下面がガラス転移点温度Tg以上に加熱された段階で、図5(b)に示すように、不図示の駆動部を駆動して上型2により素材M’を押圧する(ステップS203)。すると、素材M’の上面は急速にガラス転移点温度以上に加熱され溶融されて、その表面に型円板2aの微細形状2bを転写する(型を素材に向かって押圧して、微細形状を素材に転写するステップ)。
続いて、ステップS204で、第1ヒータ4の発熱を停止し、上型2を自然冷却(強制冷却でも良い)させ、それにより素材M’の上面温度をガラス転移点温度Tgを下回るように下げる。
このとき、フランジMf’の端部内径が、円筒部1a’の端部外径より小さくなっているので、かかる状態から、ステップS205において、上型2を素材Mから離すように離型すると、それにつられて素材M’も下型1’から引き離されるように力を受けるので、フランジMf’は半径方向外向きの力Fを受ける(素材に引っ張り応力を与えつつ、型を素材より離型させるステップ)。このとき、上型2と素材M’との接合力が、素材M’と下型1’との接合力より低ければ、上型2と素材M’とを離型させることができる。
本実施の形態によれば、離型時の力を利用して、フランジMf’に半径方向外向きの力Fを作用させることで、素材M’側の収縮が抑えられるため、離型時における微細形状のちぎれ等を抑制できる。尚、素材M’と下型1’の分離は、素材M’の加熱或いは下型1’の冷却により容易に行える。
尚、応力手段としては、これ以外にも、離型時に円筒部1a’の一部をエアシリンダなどで半径方向外方へ駆動することにより、素材に機械的な引っ張り応力を与える能動的なものも用いることができる。
以上、本発明を実施の形態を参照して説明してきたが、本発明は上記実施の形態に限定して解釈されるべきではなく、適宜変更・改良が可能であることはもちろんである。本発明は、光ピックアップ装置用の光学素子に限らず、種々の光学素子、或いはインクジェットプリンタのヘッドなどの成形にも適用できる。
1、1’ 下型
2 上型
2a 型円板
4 第1ヒータ
5 第2ヒータ
2 上型
2a 型円板
4 第1ヒータ
5 第2ヒータ
Claims (8)
- 常温での弾性率が1〜4(GPa)である素材を、保持部に取り付けるステップと、
微細形状を有する型の温度を、前記素材のガラス転移点温度より高く設定するステップと、
前記型を前記素材に向かって押圧して、前記微細形状を前記素材に転写するステップと、
前記素材の裏面を加熱した状態で、前記型を前記素材より離型させるステップと、を有することを特徴とする成形方法。 - 常温での弾性率が1〜4(GPa)である素材を、保持部に取り付けるステップと、
微細形状を有する型の温度を、前記素材のガラス転移点温度より高く設定するステップと、
前記型を前記素材に向かって押圧して、前記微細形状を前記素材に転写するステップと、
前記素材に引っ張り応力を与えつつ、前記型を前記素材より離型させるステップと、を有することを特徴とする成形方法。 - 前記素材は光学素子の素材であることを特徴とする請求項1又は2に記載の成形方法。
- 前記微細形状は、アスペクト比が1以上であり、所定のピッチで並んだ複数のラインアンドスペースを含むことを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の成形方法。
- 微細形状を有する型と、
常温での弾性率が1〜4(GPa)である素材を保持する保持部と、
前記型を加熱する第1ヒータと、
前記保持部を加熱する第2ヒータと、
前記型と前記保持部とを相対移動させる駆動部と、を有し、
前記第1ヒータにより加熱した前記型を前記素材に向かって押圧して、前記微細形状を前記素材に転写した後、前記第2ヒータにより前記素材の裏面を加熱した状態で、前記型を前記素材より離型させることを特徴とする成形装置。 - 微細形状を有する型と、
常温での弾性率が1〜4(GPa)である素材を保持する保持部と、
前記型を加熱するヒータと、
前記型と前記保持部とを相対移動させる駆動部と、
前記素材の裏面に係合して、引っ張り応力を付与する応力手段を有し、
前記ヒータにより加熱した前記型を前記素材に向かって押圧して、前記微細形状を前記素材に転写した後、前記応力手段により前記素材に引っ張り応力を与えつつ、前記型を前記素材より離型させることを特徴とする成形装置。 - 前記素材は光学素子の素材であることを特徴とする請求項5又は6に記載の成形装置。
- 前記微細形状は、アスペクト比が1以上であり、所定のピッチで並んだ複数のラインアンドスペースを含むことを特徴とする請求項5乃至7のいずれかに記載の成形装置。
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Families Citing this family (5)
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---|---|---|---|---|
DE102006055740B4 (de) * | 2006-11-25 | 2010-08-26 | Leonhard Kurz Gmbh & Co. Kg | Laminierfolie zum Beschichten eines kaltumformbaren Metallsubstrats, Verfahren zur Herstellung eines dreidimensionalen Metallartikels sowie einen dreidimensionalen Metallartikel |
JP2009280410A (ja) * | 2008-04-21 | 2009-12-03 | Konica Minolta Opto Inc | ガラス基板成形用金型、ガラス基板の製造方法、情報記録媒体用ガラス基板の製造方法、情報記録媒体の製造方法、情報記録媒体用ガラス基板及び情報記録媒体 |
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JP6721682B2 (ja) * | 2015-12-03 | 2020-07-15 | コーニンクレッカ フィリップス エヌ ヴェKoninklijke Philips N.V. | 放射線検出器及び撮像装置 |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3229871B2 (ja) * | 1999-07-13 | 2001-11-19 | 松下電器産業株式会社 | 微細形状転写方法および光学部品の製造方法 |
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