JP2006005013A5 - - Google Patents

Claims (9)

1. 入力された第１の種類の処理内容の情報を管理する第１の管理部と、
   入力された第２の種類の処理内容の情報を管理する第２の管理部と、
   前記第１の管理部および前記第２の管理部により管理された情報に基づき、前記第１の種類の処理内容および前記第２の種類の処理内容のいずれかに対応した処理の実行制御を行う制御部と、を備え、
   前記制御部は、前記第１の管理部により管理された情報に基づき、前記第２の管理部により管理された前記第２の種類の処理内容に対応した処理の実行制御へ移行可能か否かを判断することを特徴とする露光装置。
2. 前記制御部は、前記第１の管理部により管理された処理単位の情報の有無に基づき、前記第２の管理部により管理された前記第２の種類の処理内容に対応した処理の実行制御へ移行可能か否かを判断することを特徴とする請求項１に記載の露光装置。
3. 前記制御部は、前記第１の管理部により管理された処理単位の情報に含まれる、割り込み可能か否かを示す割込可能情報に基づき、前記第２の管理部により管理された前記第２の種類の処理内容に対応した処理の実行制御へ移行可能か否かを判断することを特徴とする請求項１に記載の露光装置。
4. 前記制御部は、前記第２の管理部により管理された情報に基づき、前記第１の管理部により管理された前記第１の種類の処理内容に対応した処理の実行制御へ移行可能か否かを判断することを特徴とする請求項１に記載の露光装置。
5. 前記制御部は、前記第２の管理部により管理された複数の処理単位を関連づける情報に基づき、前記第１の管理部により管理された前記第１の種類の処理内容に対応した処理の実行制御へ移行可能か否かを判断することを特徴とする請求項４に記載の露光装置。
6. 前記第１の種類および前記第２の種類の処理内容の情報の少なくとも一方を受信する受信手段を有することを特徴とする請求項１乃至請求項５のいずれか１項に記載の露光装置。
7. 前記第１の種類の処理内容は、製品ロット処理を含み、前記第２の種類の処理内容は、メンテナンス処理および研究開発用処理の少なくとも一方を含むことを特徴とする請求項１乃至請求項６のいずれか１項に記載の露光装置。
8. 請求項１乃至請求項７のいずれか１項に記載の露光装置を用いて基板を露光する露光工程と、該露光した基板を現像する工程とを含むことを特徴とするデバイス製造方法。
9. 露光装置に適用される制御方法であって、
   入力された第１の種類の処理内容の情報を管理する第１の管理工程と、
   入力された第２の種類の処理内容の情報を管理する第２の管理工程と、
   前記第１の管理工程および前記第２の管理工程により管理された情報に基づき、前記第１の種類の処理内容および前記第２の種類の処理内容のいずれかに対応した処理を実行する処理工程と、
   を備え、
   前記処理工程において、前記第１の管理工程により管理された情報に基づき、前記第２の管理工程により管理された前記第２の種類の処理内容に対応した処理の実行へ移行可能か否かを判断することを特徴とする制御方法。