JP2006004740A - 成膜方法、表示デバイスの製造方法、表示デバイス、及び電子機器 - Google Patents
成膜方法、表示デバイスの製造方法、表示デバイス、及び電子機器 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2006004740A JP2006004740A JP2004179593A JP2004179593A JP2006004740A JP 2006004740 A JP2006004740 A JP 2006004740A JP 2004179593 A JP2004179593 A JP 2004179593A JP 2004179593 A JP2004179593 A JP 2004179593A JP 2006004740 A JP2006004740 A JP 2006004740A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- display device
- mask
- film
- forming
- light emitting
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 44
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 13
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims abstract description 22
- NBVXSUQYWXRMNV-UHFFFAOYSA-N fluoromethane Chemical compound FC NBVXSUQYWXRMNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 18
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 claims abstract description 9
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 claims abstract description 6
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims description 83
- 239000010408 film Substances 0.000 claims description 47
- 238000002347 injection Methods 0.000 claims description 35
- 239000007924 injection Substances 0.000 claims description 35
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 24
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 22
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 10
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims description 10
- 239000002346 layers by function Substances 0.000 claims description 9
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 8
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 5
- 230000002940 repellent Effects 0.000 claims description 5
- 239000005871 repellent Substances 0.000 claims description 5
- 239000002907 paramagnetic material Substances 0.000 claims description 4
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims description 3
- 238000010030 laminating Methods 0.000 claims description 3
- 239000012528 membrane Substances 0.000 claims 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 9
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 7
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 7
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 7
- 230000005525 hole transport Effects 0.000 description 6
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 5
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 4
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 4
- 239000003302 ferromagnetic material Substances 0.000 description 4
- 239000011368 organic material Substances 0.000 description 4
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 4
- -1 aluminum quinolinol Chemical compound 0.000 description 3
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 3
- 229920002313 fluoropolymer Polymers 0.000 description 3
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 3
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 3
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 3
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 3
- UJOBWOGCFQCDNV-UHFFFAOYSA-N 9H-carbazole Chemical compound C1=CC=C2C3=CC=CC=C3NC2=C1 UJOBWOGCFQCDNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000002019 doping agent Substances 0.000 description 2
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 2
- RBTKNAXYKSUFRK-UHFFFAOYSA-N heliogen blue Chemical compound [Cu].[N-]1C2=C(C=CC=C3)C3=C1N=C([N-]1)C3=CC=CC=C3C1=NC([N-]1)=C(C=CC=C3)C3=C1N=C([N-]1)C3=CC=CC=C3C1=N2 RBTKNAXYKSUFRK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 2
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 2
- PQXKHYXIUOZZFA-UHFFFAOYSA-M lithium fluoride Chemical compound [Li+].[F-] PQXKHYXIUOZZFA-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- 239000011777 magnesium Substances 0.000 description 2
- 230000005389 magnetism Effects 0.000 description 2
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 2
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 description 2
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 2
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 2
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 2
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 2
- TVIVIEFSHFOWTE-UHFFFAOYSA-K tri(quinolin-8-yloxy)alumane Chemical compound [Al+3].C1=CN=C2C([O-])=CC=CC2=C1.C1=CN=C2C([O-])=CC=CC2=C1.C1=CN=C2C([O-])=CC=CC2=C1 TVIVIEFSHFOWTE-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 2
- UJPHWVYNGODIMX-UHFFFAOYSA-N 2-(1,3-benzothiazol-2-yl)phenol zinc Chemical compound [Zn].Oc1ccccc1-c1nc2ccccc2s1 UJPHWVYNGODIMX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OYPRJOBELJOOCE-UHFFFAOYSA-N Calcium Chemical compound [Ca] OYPRJOBELJOOCE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004215 Carbon black (E152) Substances 0.000 description 1
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N Magnesium Chemical compound [Mg] FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920001609 Poly(3,4-ethylenedioxythiophene) Polymers 0.000 description 1
- 239000004695 Polyether sulfone Substances 0.000 description 1
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N Zinc Chemical compound [Zn] HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FFDNCLQDXZUPCF-UHFFFAOYSA-N [V].[Zn] Chemical compound [V].[Zn] FFDNCLQDXZUPCF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052790 beryllium Inorganic materials 0.000 description 1
- ATBAMAFKBVZNFJ-UHFFFAOYSA-N beryllium atom Chemical compound [Be] ATBAMAFKBVZNFJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052791 calcium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011575 calcium Substances 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 229920001940 conductive polymer Polymers 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- XCJYREBRNVKWGJ-UHFFFAOYSA-N copper(II) phthalocyanine Chemical compound [Cu+2].C12=CC=CC=C2C(N=C2[N-]C(C3=CC=CC=C32)=N2)=NC1=NC([C]1C=CC=CC1=1)=NC=1N=C1[C]3C=CC=CC3=C2[N-]1 XCJYREBRNVKWGJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 239000002889 diamagnetic material Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 238000005401 electroluminescence Methods 0.000 description 1
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 230000005294 ferromagnetic effect Effects 0.000 description 1
- 239000000945 filler Substances 0.000 description 1
- 229930195733 hydrocarbon Natural products 0.000 description 1
- 150000002430 hydrocarbons Chemical class 0.000 description 1
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 description 1
- APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N indium atom Chemical compound [In] APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N indium;oxotin Chemical compound [In].[Sn]=O AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000010365 information processing Effects 0.000 description 1
- 238000005468 ion implantation Methods 0.000 description 1
- 238000007733 ion plating Methods 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 229910052749 magnesium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 239000000178 monomer Substances 0.000 description 1
- 239000013110 organic ligand Substances 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 125000002080 perylenyl group Chemical group C1(=CC=C2C=CC=C3C4=CC=CC5=CC=CC(C1=C23)=C45)* 0.000 description 1
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 1
- 238000005268 plasma chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 238000009832 plasma treatment Methods 0.000 description 1
- 239000002798 polar solvent Substances 0.000 description 1
- 229920001643 poly(ether ketone) Polymers 0.000 description 1
- 229920000172 poly(styrenesulfonic acid) Polymers 0.000 description 1
- 229920000058 polyacrylate Polymers 0.000 description 1
- 239000004417 polycarbonate Substances 0.000 description 1
- 229920000515 polycarbonate Polymers 0.000 description 1
- 229920000728 polyester Polymers 0.000 description 1
- 229920006393 polyether sulfone Polymers 0.000 description 1
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 1
- 238000006116 polymerization reaction Methods 0.000 description 1
- 229920000098 polyolefin Polymers 0.000 description 1
- 229940005642 polystyrene sulfonic acid Drugs 0.000 description 1
- 229920000123 polythiophene Polymers 0.000 description 1
- MCJGNVYPOGVAJF-UHFFFAOYSA-N quinolin-8-ol Chemical compound C1=CN=C2C(O)=CC=CC2=C1 MCJGNVYPOGVAJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 1
- YYMBJDOZVAITBP-UHFFFAOYSA-N rubrene Chemical compound C1=CC=CC=C1C(C1=C(C=2C=CC=CC=2)C2=CC=CC=C2C(C=2C=CC=CC=2)=C11)=C(C=CC=C2)C2=C1C1=CC=CC=C1 YYMBJDOZVAITBP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 description 1
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 239000012780 transparent material Substances 0.000 description 1
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011701 zinc Substances 0.000 description 1
- HTPBWAPZAJWXKY-UHFFFAOYSA-L zinc;quinolin-8-olate Chemical compound [Zn+2].C1=CN=C2C([O-])=CC=CC2=C1.C1=CN=C2C([O-])=CC=CC2=C1 HTPBWAPZAJWXKY-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
- Electroluminescent Light Sources (AREA)
Abstract
【課題】 プラズマ成膜法により薄膜を形成する際に、容易に均一に成膜することができる成膜方法等を提供する。
【解決手段】 任意のパターンを有するマスク130を基板10上に配置し、プラズマ化学気相成長法により基板10上にフルオロカーボンを付着させて、薄膜40を形成する成膜方法において、弱磁性体により形成されたマスク130を用いる。
【選択図】 図1
【解決手段】 任意のパターンを有するマスク130を基板10上に配置し、プラズマ化学気相成長法により基板10上にフルオロカーボンを付着させて、薄膜40を形成する成膜方法において、弱磁性体により形成されたマスク130を用いる。
【選択図】 図1
Description
本発明は、成膜方法、表示デバイスの製造方法、表示デバイス、及び電子機器に関し、特に、プラズマ化学気相成長法により薄膜を形成する際に、均一に成膜する技術に関する。
液晶ディスプレイよりさらに薄い表示装置を作れる自発光型ディスプレイとして、有機EL(エレクトロルミネッセンス)素子を用いた有機ELディスプレイが次世代技術として注目されており、発光層材料として低分子量の有機材料を用いた低分子有機EL素子が知られている。
低分子有機EL素子は、基板上に、陽極、正孔注入層、正孔輸送層、発光層、電子注入層、陰極を成膜することにより形成され、正孔注入層形成材料としては、一般に銅フタロシアニン(CuPc)が用いられていた。
そして、銅フタロシアニンに代えて、導電性が高く、整合性に優れ、十分な耐久性を示し、しかも密着性が良好であるフルオロカーボン重合膜を正孔注入層として用いる技術が提案されている。
特開2000−150170号公報
低分子有機EL素子は、基板上に、陽極、正孔注入層、正孔輸送層、発光層、電子注入層、陰極を成膜することにより形成され、正孔注入層形成材料としては、一般に銅フタロシアニン(CuPc)が用いられていた。
そして、銅フタロシアニンに代えて、導電性が高く、整合性に優れ、十分な耐久性を示し、しかも密着性が良好であるフルオロカーボン重合膜を正孔注入層として用いる技術が提案されている。
しかしながら、正孔注入層としてフルオロカーボン重合膜を形成する場合には、プラズマ化学気相成長法により成膜させるが、その成膜工程においてメタルマスク等の強磁性体マスクを使用すると、プラズマの分布にむらが発生し、フルオロカーボン重合膜が均一に成膜されないという問題があった。このため、有機EL素子の表示特性に大きな影響を与え、例えば色むら等が発生していた。
本発明は、上述した事情に鑑みてなされたもので、プラズマ成膜法により薄膜を形成する際に、容易に均一に成膜することができる成膜方法等を提供することを目的とする。
本発明に係る成膜方法、表示デバイスの製造方法、表示デバイス、及び電子機器では、上記課題を解決するために以下の手段を採用した。
第1の発明は、任意のパターンを有するマスクを基板上に配置し、プラズマ化学気相成長法により基板上にフルオロカーボンを付着させて、薄膜を形成する成膜方法において、マスクとして、弱磁性体により形成されたマスクを用いるようにした。この発明によれば、基板上に成膜される薄膜の膜厚を均一化することができる。そして、平坦性、耐久性、導電性に優れた薄膜を成膜することができる。
また、マスクとして、常磁性体により形成されたマスクを用いるものでは、薄膜の膜厚を良好に均一化することができる。
また、マスクがシリコン板からなり、パターンがシリコン板上にレジストパターンを形成した後に異方性エッチング処理を施すことにより形成されるものでは、所定のパターンを容易かつ高精度に形成することができる。
第1の発明は、任意のパターンを有するマスクを基板上に配置し、プラズマ化学気相成長法により基板上にフルオロカーボンを付着させて、薄膜を形成する成膜方法において、マスクとして、弱磁性体により形成されたマスクを用いるようにした。この発明によれば、基板上に成膜される薄膜の膜厚を均一化することができる。そして、平坦性、耐久性、導電性に優れた薄膜を成膜することができる。
また、マスクとして、常磁性体により形成されたマスクを用いるものでは、薄膜の膜厚を良好に均一化することができる。
また、マスクがシリコン板からなり、パターンがシリコン板上にレジストパターンを形成した後に異方性エッチング処理を施すことにより形成されるものでは、所定のパターンを容易かつ高精度に形成することができる。
第2の発明は、複数の機能層が積層されて構成される表示デバイスの製造方法において、フルオロカーボンを所定位置に配置させる撥液層を形成する工程において、第1の発明の成膜方法を用いるようにした。この発明によれば、薄膜が撥液性を有するので、機能層形成材料をはじいて、所定位置に配置させることができる。
また、陽極と陽極との間に発光層が配置される表示デバイスの製造方法において、陽極と発光層との間に配置される電子注入層を形成する工程において、第1の発明の成膜方法を用いるようにした。この発明によれば、電子注入層が平坦になるので、表示デバイスの表示特性を向上させることができる。例えば、色むらを抑えることができる。また、耐久性、導電性に優れるので、駆動電圧が抑えられ、かつ高寿命な表示デバイスを得ることができる。
また、陽極と陽極との間に発光層が配置される表示デバイスの製造方法において、陽極と発光層との間に配置される電子注入層を形成する工程において、第1の発明の成膜方法を用いるようにした。この発明によれば、電子注入層が平坦になるので、表示デバイスの表示特性を向上させることができる。例えば、色むらを抑えることができる。また、耐久性、導電性に優れるので、駆動電圧が抑えられ、かつ高寿命な表示デバイスを得ることができる。
第3の発明は、表示デバイスが、第1の発明の成膜方法により形成された薄膜を所定の機能層形成材料を所定位置に配置させる撥液層として備えるようにした。この発明によれば、薄膜が撥液性を有するので、機能層形成材料をはじいて、所定位置に配置させることができる。
また、表示デバイスが、第1の発明の成膜方法により形成された薄膜を陽極と発光層との間に配置される電子注入層として備えるようにしたものでは、電子注入層が平坦になるので、表示デバイスの表示特性を向上させることができ、色むら等を抑えることができる。また、耐久性、導電性に優れるので、高品質な表示デバイスを得ることができる。
また、表示デバイスが、第1の発明の成膜方法により形成された薄膜を陽極と発光層との間に配置される電子注入層として備えるようにしたものでは、電子注入層が平坦になるので、表示デバイスの表示特性を向上させることができ、色むら等を抑えることができる。また、耐久性、導電性に優れるので、高品質な表示デバイスを得ることができる。
第4の発明は、電子機器が、第2の発明の方法により製造された表示デバイス或いは第3の発明の表示デバイスを、表示部として備えるようにした。この発明によれば、長寿命、低ランニングコストなどの優れた特性を備えた表示部を有するので、高品質な電子機器を得ることができる。
以下、本発明の成膜方法、表示デバイスの製造方法、表示デバイス、及び電子機器の実施形態について図を参照して説明する。
[低分子有機ELデバイス(表示デバイス)]
図1は、低分子有機ELデバイス100の側面断面図である。
低分子有機ELデバイス100は、陽極である画素電極30と陰極80との間にマトリクス状に配置された複数の画素領域を配置して構成されるものであって、画素領域(として、低分子有機材料からなる発光層60R,60G,60Bが用いられることが特徴である。
ガラス材料等からなる基板10の表面には、各画素領域(発光層60R,G,B)を駆動する回路部20が形成される。なお図1では、回路部20の詳細構成の図示を省略している。
その回路部20の表面には、ITO等からなる複数の画素電極30が、各画素領域(発光層60R,G,B)に対応してマトリクス状に形成される。
そして、陽極として機能する画素電極30を覆うように、フルオロカーボン膜からなる正孔注入層40が設けられる。
更に、正孔注入層40の表面に、NPB(N,N−ジ(ナフタリル)−N,N−ジフェニル−ベンジデン)等からなる正孔輸送層50が設けられる。
[低分子有機ELデバイス(表示デバイス)]
図1は、低分子有機ELデバイス100の側面断面図である。
低分子有機ELデバイス100は、陽極である画素電極30と陰極80との間にマトリクス状に配置された複数の画素領域を配置して構成されるものであって、画素領域(として、低分子有機材料からなる発光層60R,60G,60Bが用いられることが特徴である。
ガラス材料等からなる基板10の表面には、各画素領域(発光層60R,G,B)を駆動する回路部20が形成される。なお図1では、回路部20の詳細構成の図示を省略している。
その回路部20の表面には、ITO等からなる複数の画素電極30が、各画素領域(発光層60R,G,B)に対応してマトリクス状に形成される。
そして、陽極として機能する画素電極30を覆うように、フルオロカーボン膜からなる正孔注入層40が設けられる。
更に、正孔注入層40の表面に、NPB(N,N−ジ(ナフタリル)−N,N−ジフェニル−ベンジデン)等からなる正孔輸送層50が設けられる。
そして、正孔輸送層50の表面には、各画素領域に対応する発光層60(発光層60R,G,B)がマトリクス状に形成されている。この発光層60は、分子量が約1000以下の低分子有機材料からなっている。具体的には、Alq3(アルミニウム錯体)等をホスト材料とし、ルブレン等をドーパントとして、発光層60が構成されている。
また、各発光層60を覆うように、フッ化リチウム等からなる電子注入層70が形成され、さらに電子注入層70の表面には、Al等からなる陰極80が形成されている。
なお、基板10の端部に封止基板(不図示)が貼り合わされて、全体が密閉封止されている。
また、各発光層60を覆うように、フッ化リチウム等からなる電子注入層70が形成され、さらに電子注入層70の表面には、Al等からなる陰極80が形成されている。
なお、基板10の端部に封止基板(不図示)が貼り合わされて、全体が密閉封止されている。
そして、上述した画素電極30と陰極80との間に電圧を印加すると、正孔注入層40により発光層60に対して正孔が注入され、電子注入層70により発光層60に対して電子が注入される。そして、発光層60において正孔および電子が再結合し、ドーパントが励起されて発光する。このように低分子有機材料からなる発光層60を備えた低分子有機ELデバイス100は、寿命が長く発光効率に優れるという特徴がある。
また、正孔注入層成材料として、フルオロカーボンを用いることにより、正孔注入層40の平坦性が向上し、低電圧駆動が可能となり、耐久性が高くなる。更に有機EL装置の表示特性への悪影響が少ない、すなわち色むら等が少なくなるという特徴がある。
また、正孔注入層成材料として、フルオロカーボンを用いることにより、正孔注入層40の平坦性が向上し、低電圧駆動が可能となり、耐久性が高くなる。更に有機EL装置の表示特性への悪影響が少ない、すなわち色むら等が少なくなるという特徴がある。
[マスク]
次に、上述した正孔注入層40を基板10の所定位置に形成(成膜)する際に用いられるマスクについて説明する。図2は、正孔注入層40の形成時に用いられるマスク130を示す図である。
マスク130は、図2に示すように、複数の開口からなるパターンを有する。パターン132の形状としては、例えば、2インチ(対角表示領域)ディスプレイに対応するように矩形に形成される。すなわち、マスク130を用いることにより、後述する1枚の基板10の所定位置に複数の正孔注入層40が形成され、正孔注入層40が形成された領域にそれぞれ画素領域等を積層することにより、複数の低分子有機ELデバイス100が形成される。なお、図2に示すように、パターン132が複数の開口を有する場合に限らず、1つの開口のみを有する場合であってもよい。また、矩形に限らず、円形等であってもよい。
マスク形成材料としては、弱磁性体、すなわち磁石に吸着しない材質が用いられる。つまり、鉄、ニッケル等のように磁石に吸着する強磁性体が除かれる。なお、弱磁性体とは、ほとんど磁性を示さない材料であるが、厳密には、金、銀、銅、亜鉛等のように磁気を近づけると微小な反発力が発生する反磁性体と、シリコン、ガラス、アルミニウム、プラスチック等のような常磁性体(非磁性体)がある。
磁石に吸着しない材質であれば、いずれの材料であってもよいが、好ましくは常磁性体、特にシリコンを用いるとよい。任意の形状のパターン132を形成しやすく、入手性、取り扱い性に優れ、またマスク130を形成した場合に、適度な剛性を確保できるという利点があるからである。
シリコン板からなるマスク130の場合には、シリコン板上にレジストパターンを形成し、更に異方性エッチング処理を施すことにより、パターン132を形成する。これにより、シリコン板上に容易かつ高精度にパターン132を形成することができる。
次に、上述した正孔注入層40を基板10の所定位置に形成(成膜)する際に用いられるマスクについて説明する。図2は、正孔注入層40の形成時に用いられるマスク130を示す図である。
マスク130は、図2に示すように、複数の開口からなるパターンを有する。パターン132の形状としては、例えば、2インチ(対角表示領域)ディスプレイに対応するように矩形に形成される。すなわち、マスク130を用いることにより、後述する1枚の基板10の所定位置に複数の正孔注入層40が形成され、正孔注入層40が形成された領域にそれぞれ画素領域等を積層することにより、複数の低分子有機ELデバイス100が形成される。なお、図2に示すように、パターン132が複数の開口を有する場合に限らず、1つの開口のみを有する場合であってもよい。また、矩形に限らず、円形等であってもよい。
マスク形成材料としては、弱磁性体、すなわち磁石に吸着しない材質が用いられる。つまり、鉄、ニッケル等のように磁石に吸着する強磁性体が除かれる。なお、弱磁性体とは、ほとんど磁性を示さない材料であるが、厳密には、金、銀、銅、亜鉛等のように磁気を近づけると微小な反発力が発生する反磁性体と、シリコン、ガラス、アルミニウム、プラスチック等のような常磁性体(非磁性体)がある。
磁石に吸着しない材質であれば、いずれの材料であってもよいが、好ましくは常磁性体、特にシリコンを用いるとよい。任意の形状のパターン132を形成しやすく、入手性、取り扱い性に優れ、またマスク130を形成した場合に、適度な剛性を確保できるという利点があるからである。
シリコン板からなるマスク130の場合には、シリコン板上にレジストパターンを形成し、更に異方性エッチング処理を施すことにより、パターン132を形成する。これにより、シリコン板上に容易かつ高精度にパターン132を形成することができる。
〔プラズマCDV装置〕
次に、正孔注入層40をプラズマ化学気相成長法により成膜させるプラズマCDV装置110について説明する。図3は、プラズマCDV装置110の概略図である。
プラズマCDV装置110は、チャンバー111を有し、チャンバー111の底板にポンプ導管112が接続される。ポンプ導管112は、制御弁113を介してポンプ114に接続される。また、チャンバー111の側面には、気体導管115は連結され、気体源116から例えばCHF3ガスをチャンバー111内に導入する。なお、CHF3ガスの流速は、制御弁117の開度によって調整される。
そして、発電機120から平面電極118に電力が供給され、対向する平面電極119との間にグロー放電を発生させる。そして、平面電極119の上にマスク130と共に載置された基板10上に薄膜を成膜させる。
次に、正孔注入層40をプラズマ化学気相成長法により成膜させるプラズマCDV装置110について説明する。図3は、プラズマCDV装置110の概略図である。
プラズマCDV装置110は、チャンバー111を有し、チャンバー111の底板にポンプ導管112が接続される。ポンプ導管112は、制御弁113を介してポンプ114に接続される。また、チャンバー111の側面には、気体導管115は連結され、気体源116から例えばCHF3ガスをチャンバー111内に導入する。なお、CHF3ガスの流速は、制御弁117の開度によって調整される。
そして、発電機120から平面電極118に電力が供給され、対向する平面電極119との間にグロー放電を発生させる。そして、平面電極119の上にマスク130と共に載置された基板10上に薄膜を成膜させる。
[低分子有機ELデバイスの製造方法]
図4は、低分子有機ELデバイス100の製造工程を示す図である。
まず、表面に回路部20が形成された基板10の上面を覆うように、導電性材料をパターニングすることにより、画素電極30を形成する。
図4は、低分子有機ELデバイス100の製造工程を示す図である。
まず、表面に回路部20が形成された基板10の上面を覆うように、導電性材料をパターニングすることにより、画素電極30を形成する。
続いて、図4(a)に示すように、画素電極30上に正孔注入層40を形成する。
まず、基板10上に上述したマスク130を貼り付ける。貼り付け方法として、例えば、基板10とマスク130との間に、低粘着性シート、又は熱や紫外線を照射することにより剥離可能となるシート等を配置してもよい。
次いで、上述したプラズマCVD装置110の平面電極119上に、基板10をマスク130が平面電極118側に向くように載置する。そして、フルオロカーボンの気体流を装置内に導入すると、電界下で加速された電子によるモノマー分子の電離によってプラズマが発生する。プラズマを発生させて重合を開始させて、気体状フルオロカーボンを重合して導電性ポリマーを形成することができる。
これにより、基板10上におけるマスク130のパターン132部分にフルオロカーボン薄膜が成膜され、正孔注入層40が形成される。
まず、基板10上に上述したマスク130を貼り付ける。貼り付け方法として、例えば、基板10とマスク130との間に、低粘着性シート、又は熱や紫外線を照射することにより剥離可能となるシート等を配置してもよい。
次いで、上述したプラズマCVD装置110の平面電極119上に、基板10をマスク130が平面電極118側に向くように載置する。そして、フルオロカーボンの気体流を装置内に導入すると、電界下で加速された電子によるモノマー分子の電離によってプラズマが発生する。プラズマを発生させて重合を開始させて、気体状フルオロカーボンを重合して導電性ポリマーを形成することができる。
これにより、基板10上におけるマスク130のパターン132部分にフルオロカーボン薄膜が成膜され、正孔注入層40が形成される。
次に、正孔注入層40上に、NPB(N,N−ジ(ナフタリル)−N,N−ジフェニル−ベンジデン)等からなる正孔輸送層50を形成する。
そして、図4(b)〜図4(d)に示すように、発光層60を蒸着方によって形成する。発光材料としては、アルミキノリノール錯体(Alq3)などがある。
発光層60の形成工程は、まず、図4(b)に示すように、メタルマスク140を介して赤色の発光材料をパターニングしながら成膜して赤色の発光層60Rを形成する。そして、図4(c)に示すように、メタルマスク140をずらして、緑色の発光材料をパターニングしながら成膜して緑色の発光層60Gを形成する。更に、図4(d)に示すように、再びメタルマスク140をずらして、青色の発光材料をパターニングしながら成膜して青色の発光層60Bを形成する。
そして、図4(b)〜図4(d)に示すように、発光層60を蒸着方によって形成する。発光材料としては、アルミキノリノール錯体(Alq3)などがある。
発光層60の形成工程は、まず、図4(b)に示すように、メタルマスク140を介して赤色の発光材料をパターニングしながら成膜して赤色の発光層60Rを形成する。そして、図4(c)に示すように、メタルマスク140をずらして、緑色の発光材料をパターニングしながら成膜して緑色の発光層60Gを形成する。更に、図4(d)に示すように、再びメタルマスク140をずらして、青色の発光材料をパターニングしながら成膜して青色の発光層60Bを形成する。
そして、発光層60R上に電子注入層70と陰極80を順に積層させることにより、図1に示すような低分子有機ELデバイス100が形成される。
このようにして、基板10上に、複数の低分子有機ELデバイス100を製造することができる。そして、基板10を切断して、個々の低分子有機ELデバイス100を得ることもできる。なお、最後に、基板10の端部に封止基板(不図示)が貼り合わされて、全体を密閉封止する。
このようにして、基板10上に、複数の低分子有機ELデバイス100を製造することができる。そして、基板10を切断して、個々の低分子有機ELデバイス100を得ることもできる。なお、最後に、基板10の端部に封止基板(不図示)が貼り合わされて、全体を密閉封止する。
以上説明したように、正孔注入層40を成膜する際に、弱磁性体からなるマスク130を用いることにより、強磁性体からなるマスクを用いた場合に比べて、正孔注入層40を均一な膜厚に形成することができる。
図5は、同一条件により成膜させた薄膜の膜厚分布を示す実験結果(等高線図)であって、図5(a)は弱磁性体からなるマスク130を用いた場合、図5(a)は強磁性体からなるマスクを用いた場合(従来例)である。実験では、矩形の薄膜を4箇所、それぞれ膜厚が200nmとなるように成膜させた。
図5(a)に示すように、弱磁性体からなるマスク130を用いた場合には、膜厚が約180nm〜200nmの範囲内となり、膜厚のばらつきは±10%程度となる。一方、図5(b)に示すように、強磁性体からなるマスクを用いた場合には、膜厚が約150nm〜250nmまでばらついており、特に中心部が厚く、外周部が薄くなってしまう。膜厚のばらつきは±25%以上となる。
そして、正孔注入層40として要求される膜厚のばらつきは、所定の膜厚に対して±20%以内であることから、弱磁性体からなるマスク130を用いることにより、十分に均一な膜厚の正孔注入層40を得ることができる。
図5(a)に示すように、弱磁性体からなるマスク130を用いた場合には、膜厚が約180nm〜200nmの範囲内となり、膜厚のばらつきは±10%程度となる。一方、図5(b)に示すように、強磁性体からなるマスクを用いた場合には、膜厚が約150nm〜250nmまでばらついており、特に中心部が厚く、外周部が薄くなってしまう。膜厚のばらつきは±25%以上となる。
そして、正孔注入層40として要求される膜厚のばらつきは、所定の膜厚に対して±20%以内であることから、弱磁性体からなるマスク130を用いることにより、十分に均一な膜厚の正孔注入層40を得ることができる。
[電子機器]
図6は、本発明の電子機器の実施の形態を示す図である。携帯電話(電子機器)200は、低分子有機ELデバイス100からなる表示部201を備えている。他の応用例としては、腕時計型電子機器において表示部として低分子有機ELデバイス100を備える場合や、ワープロ、パソコンなどの携帯型情報処理装置において表示部として低分子有機ELデバイス100を備える場合等がある。
このように、携帯電話200は、低分子有機ELデバイス100を表示部201として備えているので、表示コントラストが高く、品質に優れた表示を実現することができる。
図6は、本発明の電子機器の実施の形態を示す図である。携帯電話(電子機器)200は、低分子有機ELデバイス100からなる表示部201を備えている。他の応用例としては、腕時計型電子機器において表示部として低分子有機ELデバイス100を備える場合や、ワープロ、パソコンなどの携帯型情報処理装置において表示部として低分子有機ELデバイス100を備える場合等がある。
このように、携帯電話200は、低分子有機ELデバイス100を表示部201として備えているので、表示コントラストが高く、品質に優れた表示を実現することができる。
また、上記基板10の材料としては、ガラスの他に、ポリオレフィン、ポリエステル、ポリアクリレート、ポリカーボネート、ポリエーテルサルホン、ポリエーテルケトンなどのプラスチックなどの透明材料が採用可能である。
また、上記電極(陽極)の材料としては、ITO(Indium Tin Oxide)の他に、アルミニウム(Al)、金(Au)、銀(Ag)、マグネシウム(Mg)、ニッケル(Ni)、亜鉛−バナジウム(ZnV)、インジウム(In)、スズ(Sn)などの単体や、これらの化合物或いは混合物や、金属フィラーが含まれる導電性接着剤などが用いられる。電極の形成は、好ましくはスパッタリング、イオンプレーティング、真空蒸着法によって行われる。あるいは、スピンコータ、グラビアコータ、ナイフコータなどによる印刷や、スクリーン印刷、フレキソ印刷などを用いて画素電極を形成してもよい。
また、上記正孔輸送層の形成方法としては、例えば、カルバゾール重合体とTPD:トリフェニル化合物とを共蒸着して10〜1000nm(好ましくは、100〜700nm)の膜厚に形成する。他の形成方法として、例えばインクジェット法により、正孔輸送層材料を含む組成物インクを基体上に吐出した後に、乾燥処理及び熱処理を行って形成してもよい。なお、組成物インクとしては、例えばポリエチレンジオキシチオフェン等のポリチオフェン誘導体と、ポリスチレンスルホン酸等の混合物を、水等の極性溶媒に溶解させたものを用いることができる。
また、上記電子輸送層としては、例えば、金属と有機配位子から形成される金属錯体化合物、好ましくは、Alq3(トリス(8−キノリノレート)アルミニウム錯体)、Znq2(ビス(8−キノリノレート)亜鉛錯体)、Bebq2(ビス(8−キノリノレート)ベリリウム錯体)、Zn−BTZ(2−(o−ヒドロキシフェニル)ベンゾチアゾール亜鉛)、ペリレン誘導体などを10〜1000nm(好ましくは、100〜700nm)の膜厚になるように蒸着して積層したものが用いられる。
また、上記電極(陰極)は、例えば、積層構造からなり、下部の陰極層としては、電子輸送層あるいは発光層に効率的に電子注入を行えるように、上部の陰極層よりも仕事関数の低い金属、例えばカルシウム等が用いられる。また、上部陰極層は、下部陰極層を保護するもので、下部陰極層よりも仕事関数が相対的に大きいもので構成することが好ましく、例えばアルミニウム等が用いられる。これら下部陰極層及び上部陰極層は、例えば蒸着法、スパッタ法、CVD法等で形成することが好ましく、特に蒸着法で形成することが発光層の熱、紫外線、電子線、プラズマによる損傷を防止できる点で好ましい。
フルオロカーボン膜(正孔注入層)の調製は、C3F8、C4F10、CHF3、C2F4及びC4F8からなる群より選ばれた一元気体源を使用する。または、F/C比の高いフルオロカーボンガスの一種(例えば、C2F6、CF4)と重合させるために、F/C比を低下させる水素もしくは炭化水素ガスの一種とを含む二元気体源を使用する。さらに、フルオロカーボンのプラズマにH2 、O2又はN2を添加することにより成膜プロセスを変更し、所望の機械的特性及び物理的特性を達成することもできる。
得られたフルオロカーボン膜をさらに処理してその特性を改良又は変更することができる。例えば、フルオロカーボン膜に、各種周囲条件下でアニール処理を施すこと、或いはイオン注入のような別の輻射線処理又は追加の酸素、窒素もしくは水素プラズマ処理を施すことができる。
得られたフルオロカーボン膜をさらに処理してその特性を改良又は変更することができる。例えば、フルオロカーボン膜に、各種周囲条件下でアニール処理を施すこと、或いはイオン注入のような別の輻射線処理又は追加の酸素、窒素もしくは水素プラズマ処理を施すことができる。
本実施形態においては、フルオロカーボン膜を正孔注入層として用いる場合について説明したが、これに限らない。フルオロカーボン膜が撥液性を有することを利用してもよい。例えば、複数の機能層が積層されて構成される表示デバイスにおいて、所定の機能層を成膜する際に、フルオロカーボン膜からなる撥液膜によって機能層形成材料を所定位置に配置させるようにすることができる。
以上、添付図面を参照しながら本発明に係る好適な実施形態について説明したが、本発明は係る例に限定されないことは言うまでもない。上述した例において示した各構成部材の諸形状や組み合わせ等は一例であって、本発明の主旨から逸脱しない範囲において設計要求等に基づき種々変更可能である。
10…基板、 30…画素電極(陽極)、 40…正孔注入層(薄膜)、 60…発光層、 80…陰極、 100…低分子有機ELデバイス(表示デバイス)、 130…マスク(シリコン板)、 132…パターン、 200…携帯電話(電子機器)、 201…表示部
Claims (8)
- 任意のパターンを有するマスクを基板上に配置し、プラズマ化学気相成長法により前記基板上にフルオロカーボンを付着させて、薄膜を形成する成膜方法において、
前記マスクとして、弱磁性体により形成されたマスクを用いることを特徴とする成膜方法。 - 前記マスクとして、常磁性体により形成されたマスクを用いることを特徴とする請求項1に記載の成膜方法。
- 前記マスクは、シリコンからなり、前記パターンは、前記シリコン上にレジストパターンを形成した後に異方性エッチング処理を施すことにより形成されることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の成膜方法。
- 複数の機能層が積層されて構成される表示デバイスの製造方法において、
フルオロカーボンを所定位置に配置させる撥液層を形成する工程において、請求項1から請求項3のうちいずれか一項に記載の成膜方法が用いられることを特徴とする表示デバイスの製造方法。 - 陽極と陽極との間に発光層が配置される表示デバイスの製造方法において、
前記陽極と前記発光層との間に配置される電子注入層を形成する工程において、請求項1から請求項4のうちいずれか一項に記載の成膜方法が用いられることを特徴とする表示デバイスの製造方法。 - 請求項1から請求項3のうちいずれか一項に記載の成膜方法により形成された薄膜を、所定の機能層形成材料を所定位置に配置させる撥液層として備えることを特徴とする表示デバイス。
- 請求項1から請求項3のうちいずれか一項に記載の成膜方法により形成された薄膜を、陽極と発光層との間に配置される電子注入層として備えることを特徴とする表示デバイス。
- 請求項4又は請求項5に記載の方法により製造された表示デバイス、或いは請求項6又は請求項7に記載の表示デバイスを表示部として備えることを特徴とする電子機器。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004179593A JP2006004740A (ja) | 2004-06-17 | 2004-06-17 | 成膜方法、表示デバイスの製造方法、表示デバイス、及び電子機器 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004179593A JP2006004740A (ja) | 2004-06-17 | 2004-06-17 | 成膜方法、表示デバイスの製造方法、表示デバイス、及び電子機器 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006004740A true JP2006004740A (ja) | 2006-01-05 |
Family
ID=35772957
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004179593A Withdrawn JP2006004740A (ja) | 2004-06-17 | 2004-06-17 | 成膜方法、表示デバイスの製造方法、表示デバイス、及び電子機器 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2006004740A (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100847219B1 (ko) | 2006-03-07 | 2008-07-17 | 주식회사 엘지화학 | 유기발광소자 및 그 제조방법 |
WO2008100139A1 (en) * | 2007-02-13 | 2008-08-21 | Fujifilm Manufacturing Europe B.V. | Substrate plasma treatment using magnetic mask device |
US8323753B2 (en) | 2006-05-30 | 2012-12-04 | Fujifilm Manufacturing Europe B.V. | Method for deposition using pulsed atmospheric pressure glow discharge |
US8445897B2 (en) | 2008-02-08 | 2013-05-21 | Fujifilm Manufacturing Europe B.V. | Method for manufacturing a multi-layer stack structure with improved WVTR barrier property |
US8702999B2 (en) | 2008-02-01 | 2014-04-22 | Fujifilm Manufacturing Europe B.V. | Method and apparatus for plasma surface treatment of a moving substrate |
-
2004
- 2004-06-17 JP JP2004179593A patent/JP2006004740A/ja not_active Withdrawn
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100847219B1 (ko) | 2006-03-07 | 2008-07-17 | 주식회사 엘지화학 | 유기발광소자 및 그 제조방법 |
US9028974B2 (en) | 2006-03-07 | 2015-05-12 | Lg Chem, Ltd. | OLED and fabricating method of the same |
US8323753B2 (en) | 2006-05-30 | 2012-12-04 | Fujifilm Manufacturing Europe B.V. | Method for deposition using pulsed atmospheric pressure glow discharge |
WO2008100139A1 (en) * | 2007-02-13 | 2008-08-21 | Fujifilm Manufacturing Europe B.V. | Substrate plasma treatment using magnetic mask device |
US8338307B2 (en) | 2007-02-13 | 2012-12-25 | Fujifilm Manufacturing Europe B.V. | Substrate plasma treatment using magnetic mask device |
US8702999B2 (en) | 2008-02-01 | 2014-04-22 | Fujifilm Manufacturing Europe B.V. | Method and apparatus for plasma surface treatment of a moving substrate |
US8445897B2 (en) | 2008-02-08 | 2013-05-21 | Fujifilm Manufacturing Europe B.V. | Method for manufacturing a multi-layer stack structure with improved WVTR barrier property |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7462372B2 (en) | Light emitting device, method of manufacturing the same, and thin film forming apparatus | |
JP4648823B2 (ja) | 両面発光型有機電界発光素子及びその製造方法 | |
US7271534B2 (en) | Segmented organic light emitting device | |
US6633124B2 (en) | Process for producing an organic electroluminescent device | |
JP6570707B2 (ja) | 有機エレクトロルミネッセンス照明パネル、その製造方法及び有機エレクトロルミネッセンス照明装置 | |
JP4651916B2 (ja) | 発光装置の作製方法 | |
KR20020019002A (ko) | 유기 이엘장치 및 그 제조방법 | |
KR20030036089A (ko) | 전기 광학 장치 및 그 제조 방법과 전자 기기 | |
JP2006511916A (ja) | 有機エレクトロルミネセンス装置およびその製造方法 | |
JPH10214683A (ja) | 有機エレクトロルミネッセンス素子 | |
US20080268567A1 (en) | Method for fabricating organic light emitting display | |
JP2848386B1 (ja) | 有機エレクトロルミネッセンス素子およびその製造方法 | |
JP2004095503A (ja) | 有機エレクトロルミネッセンス素子 | |
JP2012204202A (ja) | 有機エレクトロルミネッセンスパネル及びその製造方法 | |
JP2006004740A (ja) | 成膜方法、表示デバイスの製造方法、表示デバイス、及び電子機器 | |
JP2000082582A (ja) | 有機elディスプレイの製造方法 | |
JP2006002243A (ja) | マスク、マスクの製造方法、成膜方法、電子デバイス、及び電子機器 | |
JP4997667B2 (ja) | 透明導電性フィルム及びその製造方法、並びにそれを用いたエレクトロルミネッセンス素子 | |
JP4211277B2 (ja) | 有機エレクトロルミネッセンス素子及び面発光光源、並びにディスプレイ、液晶ディスプレイ | |
JP2000123971A (ja) | 有機elの製造方法 | |
JP2000164355A (ja) | 有機el素子とその製造方法 | |
JPH08213171A (ja) | 多色発光装置の製造方法 | |
JP2009283296A (ja) | 有機el表示装置 | |
JP2006244901A (ja) | 自発光素子の製造方法および製造装置 | |
TWI406586B (zh) | Method for manufacturing organic electroluminescent element and organic electroluminescent element |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20070904 |