JP2006003725A - スペーサ吐出装置 - Google Patents

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Abstract

【課題】 基板に予め形成された基準パターンの基準位置に対するスペーサ粒子の配置を高精度に行おうとするスペーサ吐出装置を提供する。
【解決手段】 インク吐出装置3を基板7に対して相対的に移動しながら該インク吐出装置3の吐出ノズルからスペーサ粒子を吐出するスペーサ吐出装置1であって、前記スペーサ粒子の吐出時の前記基板の移動方向Aにて前記インク吐出装置3の後方に配置され、前記基板上に予め形成されたにブラックマトリクスを撮像する撮像手段4と、該撮像手段4で撮像した前記ブラックマトリクスの画像を用いて該ブラックマトリクスのT字状又は十字状の交差部を基準位置として検出し、該基準位置に対して前記スペーサ粒子を吐出させるように前記インク吐出装置3を制御する制御手段5とを備えたものである。
【選択図】 図1

Description

本発明は、インク吐出装置を基板に対して相対的に移動しながら吐出ノズルからスペーサ粒子を吐出するスペーサ吐出装置に関し、詳しくは、上記基板に予め形成された基準パターンを撮像手段で撮像して該基準パターンに設定された基準位置を検出し、該基準位置に対するスペーサ粒子の吐出を制御することによって、スペーサ粒子の配置を高精度に行おうとするスペーサ吐出装置に係るものである。
従来のこの種のスペーサ吐出装置は、インク吐出装置を用いて、基板上に、1回の吐出で複数個のスペーサ粒子を吐出し、複数個のスペーサ粒子が凝集したスペーサ凝集体を、液晶表示素子の画素を囲むように設けられた遮光膜のT字状又は十字状に交差する部分に配置するものとなっている(例えば、特許文献1参照)。
特開平11−24083号公報
しかし、このような従来のスペーサ吐出装置においては、インク吐出装置と基板とをXY方向に相対的に移動しながら位置合わせしてスペーサ粒子を吐出するものであるが、インク吐出装置の吐出ノズルと遮光膜のT字状又は十字状の交差部との具体的な位置合わせ方法は提案されていない。このような場合、一般には、インク吐出装置に対して所定位置に設けたカメラで、基板に予め設けられたアライメントマークを検出して位置決めした後、インク吐出装置及び基板を所定のピッチでXY方向に相対的に移動しながら所定の間隔でスペーサ粒子を吐出していた。したがって、インク吐出装置の吐出ノズルと遮光膜のT字状又は十字状の交差部との位置決め精度は、インク吐出装置のXY方向への機械的な移動精度に依存し、例えば大型基板において移動距離が長くなった場合には移動誤差が大きくなり、スペーサ粒子を上記遮光膜のT字状又は十字状の交差部に対して精度良く吐出できない問題があった。
そこで、本発明は、このような問題点に対処し、基板に予め形成された基準パターンの基準位置に対するスペーサ粒子の配置を高精度に行おうとするスペーサ吐出装置を提供することを目的とする。
上記目的を達成するために、本発明によるスペーサ吐出装置は、インク吐出装置を基板に対して相対的に移動しながら該インク吐出装置の吐出ノズルからスペーサ粒子を吐出するスペーサ吐出装置であって、前記スペーサ粒子の吐出時の前記基板の移動方向にて前記インク吐出装置の後方に配置され、前記基板上に予め形成された基準パターンを撮像する撮像手段と、該撮像手段で撮像した前記基準パターンの画像を用いて該基準パターンに予め設定された基準位置を検出し、該基準位置に対して前記スペーサ粒子を吐出させるように前記インク吐出装置を制御する制御手段とを備えたものである。
このような構成により、スペーサ粒子の吐出時の基板の移動方向にてインク吐出装置の後方に配置した撮像手段で基板上に予め形成された基準パターンを撮像し、該基準パターンの画像を用いて制御手段で基準パターンに予め設定された基準位置を検出し、制御手段でインク吐出装置を制御して上記基準位置に対してスペーサ粒子を吐出させる。これにより、上記基準位置に対するスペーサ粒子の配置精度を向上する。
また、前記基準パターンは、マトリクス状の領域である。これにより、マトリクス状の領域にスペーサ粒子を吐出して配置する。
前記基準位置は、前記マトリクス状の領域の交差部である。これにより、マトリクス状の領域の交差部にスペーサ粒子を吐出して配置する。
前記撮像手段は、受光素子が一列状に配列されたものである。これにより、受光素子を一列状に配列した撮像手段で一次元の画像データを取得する。
前記制御手段による前記基準位置の検出は、前記撮像手段で取得した前記基準パターンの画像を2値化処理し、該処理したデータと予め設定された前記基準位置に相当する画像データとを比較して、両データが一致した部分を検出して行う。これにより、撮像手段で基準バーターンの画像を取得し、制御手段で上記画像を2値化処理し、制御手段でこの処理したデータと予め設定された基準位置に相当する画像データとを比較し、両データが一致した部分を基準位置として検出する。
請求項1に係る発明によれば、撮像手段で基板上に予め形成された基準パターンを撮像し、該基準パターンの画像を用いて制御手段で基準パターンに予め設定された基準位置を検出し、インク吐出装置により上記基準位置に対してスペーサ粒子を吐出させるようにしたことにより、従来技術におけるようなインク吐出装置のXY方向への機械的な移動精度に影響されず、基準位置に対するスペーサ粒子の配置精度を向上することができる。
また、請求項2に係る発明によれば、基準パターンをマトリクス状の領域としたことにより、例えば液晶表示素子においては、画素位置にスペーサ粒子が配置されることがない。したがって、表示画像にスペーサ粒子が視認されて画像品位を低下させることがない。
さらに、請求項3に係る発明によれば、基準位置をマトリクス状の領域の交差部に設定したことにより、基準位置の検出が容易になる。
また、請求項4に係る発明によれば、受光素子が一列状に配列された撮像手段で基準となる機能パターンの一次元の画像データを取得するようにしたことにより、撮像手段のコストアップを抑制することができる。
そして、請求項5に係る発明によれば、撮像手段で取得した基準となる機能パターンの画像を2値化処理し、該処理データと予め設定した基準位置に相当する画像データとを比較して、両データが一致した部分を基準位置として検出するようにしたことにより、基準位置の検出をリアルタイムで高速に処理することができる。
以下、本発明の実施形態を添付図面に基づいて詳細に説明する。
図1は本発明によるスペーサ吐出装置1の実施形態を示す概念図である。このスペーサ吐出装置1は、インク吐出装置を基板に対して相対的に移動しながら該インク吐出装置の吐出ノズルからスペーサ粒子(以下、単に「スペーサ」と記載する)を吐出するもので、搬送手段2と、インク吐出装置3と、撮像手段4と、制御手段5とを備えてなる。以下、上記基板として液晶表示素子のカラーフィルターを用いた例について説明する。
上記搬送手段2は、基準パターンとしてのマトリクス状の領域、例えばブラックマトリクス6を予め形成したガラス基板(以下、単に「基板」と記載する)7をステージ8に載置して矢印A,B方向に移動させるものであり、上記ステージ8を駆動する例えばモータ等からなる図示省略の駆動手段が後述の制御手段5に制御されて上記基板7を所定の速度で搬送できるようになっている。なお、搬送速度の制御は、図示省略の速度センサーを設けてステージ8の移動速度を検出し、それを制御手段5にフィードバックして行う。また、上記矢印Aはスペーサ吐出時の基板7の搬送方向を示し、上記矢印Bはスペーサ吐出動作が終了して基板7を初期位置に戻すときの搬送方向を示している。
また、上記搬送手段2の上方にはインク吐出装置3が設けられている。このインク吐出装置3は、スペーサを混入した溶媒を上記基板7の所定位置に吐出するものであり、図2に示すように、スペーサを吐出する吐出ノズル9を後述の撮像手段4の受光素子からなるエレメント10と略同じピッチで、その撮像領域と略同じ幅に亘って一列状態に整列配置している。なお、図2において、吐出ノズル9は、ブラックマトリクス6のピクセル6aの配列ピッチpに対してp/k(kは整数)のピッチで形成した場合を示しているが、吐出ノズル9の配列ピッチが上記ピクセル6aの配列ピッチpに対して十分に小さいときには、吐出ノズル9の配列ピッチはp/kの関係を維持しなくてもよい。また、上記インク吐出装置3は、圧電素子により駆動するものや加熱により溶液内に気泡を発生させて駆動するもの等、公知の技術を適用することができる。
さらに、スペーサ吐出時における基板7の移動方向(図2において矢印A方向)にて上記インク吐出装置3の後方には、図2に示すように所定距離Dだけ隔てて撮像手段4が設けられている。この撮像手段4は、上記基板7に予め形成された基準パターン、例えばブラックマトリクス6を撮像するものであり、エレメント10を一列に配列した例えばラインCCDである。なお、図示しないがステージ8の上方又は下方には、上記ブラックマトリクス6を照明して撮像を容易にする照明手段が設けられている。
そして、上記搬送手段2及びインク吐出装置3並びに撮像手段4と接続して制御手段5が設けられている。この制御手段5は、搬送手段2の動作や、撮像手段4で撮像された上記ブラックマトリクス6に予め設定された基準位置、図3に示すように例えばブラックマトリクス6のT字状及び十字状の交差部を検出し、該基準位置に対してスペーサSを吐出させるようにインク吐出装置3を制御するものであり、撮像手段4で撮像された画像を処理して上記基準位置を検出する画像処理部11と、スペーサを上記基準位置に対して吐出させるようにインク吐出装置3を制御するスペーサ吐出コントローラ12と、上記基準位置及びスペーサの吐出タイミング並びに後述のルックアップテーブル(LUT)等を記憶する記憶部13と、搬送手段2を所定方向に所定の速度で移動させるように制御する搬送手段コントローラ14と、装置全体を適切に動作させるように制御する制御部15とを備えている。
図4は、画像処理部11の回路構成を示すブロック図である。図4に示すように、画像処理部11は、例えば三つ並列に接続したリングバッファーメモリ16A,16B,16Cと、該リングバッファーメモリ16A,16B,16C毎にそれぞれ並列に接続した例えば三つのラインバッファーメモリ17A,17B,17Cと、該ラインバッファーメモリ17A,17B,17Cが接続され決まった閾値と比較してグレーレベルのデータを2値化して出力する比較回路18と、上記九つのラインバッファーメモリ17A,17B,17Cの出力データと図1に示す記憶部13から得た上記ブラックマトリクス6に定める第1の基準位置(例えば、一方端のT字状交差部)に相当する画像データの第1のルックアップテーブル(第1のLUT)とを比較して、両データが一致したときに第1の基準位置の検出時刻と該基準位置に対応する撮像手段4のエレメント番号を記憶部13に出力する第1の吐出位置判定回路19Aと、上記九つのラインバッファーメモリ17A,17B,17Cの出力データと、図1に示す記憶部13から得た上記ブラックマトリクス6に定める第2の基準位置(例えば、十字状交差部)に相当する画像データの第2のルックアップテーブル(第2のLUT)とを比較して、両データが一致したときに第2の基準位置の検出時刻と該基準位置に対応する撮像手段4のエレメント番号を記憶部13に出力する第2の吐出位置判定回路19Bと、上記九つのラインバッファーメモリ17A,17B,17Cの出力データと図1に示す記憶部13から得た上記ブラックマトリクス6に定める第3の基準位置(例えば、他方端のT字状交差部)に相当する画像データの第3のルックアップテーブル(第3のLUT)とを比較して、両データが一致したときに第3の基準位置の検出時刻と該基準位置に対応する撮像手段4のエレメント番号を記憶部13に出力する第3の吐出位置判定回路19Cとを備えている。
また、上記第1の吐出位置判定回路19Aには、第1の基準位置に相当する画像データの一致回数をカウントする計数回路20が接続され、さらに該計数回路20にはその出力と予め設定して図1に示す記憶部13に記憶した吐出終了ライン番号とを比較して両数値が一致したときに吐出終了信号を図1に示すスペーサ吐出コントローラ12に出力する比較回路21が接続されている。なお、上記計数回路20は、吐出終了信号によりリセットされるようになっている。
次に、このように構成されたスペーサ吐出装置の動作について、図5のフローチャートを参照して説明する。
ブラックマトリクス6を形成した基板7がステージ8上に設置され、スペーサ吐出装置1が起動されると搬送手段2が駆動を開始し、搬送手段コントローラ14に制御されて上記基板7を図1に示す矢印A方向に所定の速度で搬送する。
同時に、ステップS1において、撮像手段4で上記ブラックマトリクス6の撮像が開始される。撮像手段4で取得した画像データは、図4に示す画像処理部11の三つのリングバッファーメモリ16A,16B,16Cに取り込まれて処理される。そして、最新の三つのデータが各リングバッファーメモリ16A,16B,16Cから出力する。この場合、例えばリングバッファーメモリ16Aから二つ前のデータが出力し、リングバッファーメモリ16Bから一つ前のデータが出力し、リングバッファーメモリ16Cから最新のデータが出力する。さらに、これらの各データはそれぞれ三つのラインバッファーメモリ17A,17B,17Cにより、例えば3×3のCCD画素の画像を同一のクロック(時間軸)に配置する。その結果は、例えば図6(a)に示すような画像として得られる。この画像を数値化すると、同図(b)のように3×3の数値に対応することになる。これらの数値化された画像は、同一クロック上に並んでいるので、比較回路18で閾値と比較されて2値化される。例えば、閾値を“45”とすれば、同図(a)の画像は、同図(c)のように2値化されることになる。
ステップS2においては、上記撮像手段4で撮像した画像を制御手段5で処理してブラックマトリクス6に予め設定した基準位置、即ちT字状及び十字状の交差部が検出される。具体的には、上記基準位置の検出は、第1〜第3の吐出位置判定回路19A,19B,19Cにおいて上記2値化データを図1に示す記憶部13から得た各ルックアップテーブルのデータと比較して行う。
例えば、第1の基準位置が、図3に示すようにブラックマトリクス6の左端のT字状交差部に設定されている場合には、第1の基準位置22Aの画像は図7(a)に斜線で示すものであるから、上記第1のLUT23Aは同図(b)のようになり、第1のLUT23Aの出力データは、“011000011”となる。従って、上記2値化データは、上記第1のLUT23Aのデータ“011000011”と比較され、両データが一致したときに、撮像手段4で取得した画像データが第1の基準位置22Aであると判定され、第1の吐出位置判定回路19Aから第1の基準位置22Aの検出時刻と該基準位置に対応する撮像手段4のエレメント番号を出力して記憶部13に記憶する。ここで、上記検出時刻は、リングバッファーメモリ16Bから出力する一つ前の画像データの取得時刻であり、図8に示す時刻t1である。また、上記エレメント番号は、図7(b)に示す第1のLUT23Aの真中縦一列のデータに対応するエレメント10の番号であり、図8に示す例えば“100”である。
また、第2の基準位置が、図3に示すようにブラックマトリクス6の十字状交差部に設定されている場合には、第2の基準位置22Bの画像は図9(a)に斜線で示すものであるから、上記第2のLUT23Bは、図9(b)に示すものになり、第2のLUT23Bのデータは、“101000101”となる。従って、上記2値化データは、上記第2のLUT23Bのデータ“101000101”と比較され、両データが一致したときに、撮像手段4で取得した画像データが第2の基準位置22Bであると判定され、第2の吐出位置判定回路19Bから第2の基準位置22Bの検出時刻と該基準位置に対応する撮像手段4のエレメント番号を記憶部13に出力して記憶する。ここで、上記検出時刻は、リングバッファーメモリ16Bから出力する一つ前の画像データの取得時刻であり、図10に示す時刻t2である。また、上記エレメント番号は、図9(b)に示す第2のLUT23Bの真中縦一列のデータに対応するエレメント10の番号であり、図10に示す例えば“1100”である。
さらに、第3の基準位置が、図3に示すようにブラックマトリクス6の右端のT字状交差部に設定されている場合には、第3の基準位置22Cの画像は図11(a)に斜線で示すものであるから、上記第3のLUT23Cは、同図(b)に示すものになり、第3のLUT23Cのデータは、“110000110”となる。従って、上記2値化データは、上記第3のLUT23Cのデータ“110000110”と比較され、両データが一致したときに、撮像手段4で取得した画像データが第3の基準位置22Cであると判定され、第3の吐出位置判定回路19Cから第3の基準位置22Cの検出時刻と該基準位置に対応する撮像手段4のエレメント番号を記憶部13に出力して記憶する。ここで、上記検出時刻は、前述と同様にしてリングバッファーメモリ16Bから出力する一つ前の画像データの取得時刻であり、図12に示す時刻tmである。また、上記エレメント番号は、図11(b)に示す第3のLUT23Cの真中縦一列のデータに対応するエレメント10の番号であり、図12に示す例えば“9100”である。
次に、ステップS3において、スペーサ吐出時刻txが計測される。この場合、先ず、搬送手段2の速度センサーで検出した基板7の搬送速度Vと撮像手段4の撮像位置及びインク吐出装置3のノズル位置間の距離Dとに基づいて、基板7が距離Dだけ移動するのに要する時間T(=D/V)が制御部15で演算される。次に、記憶部13から読み出した各検出時刻t1〜tmを基準にしてそれぞれ上記時間Tが計測され、スペーサ吐出時刻tx1〜txmが求められる。なお、図8,10,12は、説明の便宜から基板7が搬送方向(矢印A方向)に対して傾いて設置された状態を示しているが、通常は、基板7は搬送方向に平行となるように正しく設置される場合が多い。この場合、上記各基準位置の検出時刻t1〜tmは、同時刻となるからスペーサ吐出時刻tx1〜txmも同時刻となる。
次に、ステップS4においては、各基準位置の検出時刻から時間Tが経過し上記スペーサ吐出時刻tx1〜txmになると撮像手段4の各エレメント10に対応付けて予め記憶されている吐出ノズル9の番号のうち、上記各基準位置に対応する吐出ノズル番号が記憶部13から読み出され、スペーサ吐出コントローラ12に制御されて上記番号の吐出ノズル9からスペーサが各基準位置に対して吐出される。
具体的には、図8に示すように、時刻tx1には、エレメント番号“100”に対応する吐出ノズル“100”から第1の基準位置22Aに吐出される。また、図10に示すように、時刻tx2には、エレメント番号“1100”に対応する吐出ノズル“1100”からスペーサが第2の基準位置22Bに吐出される。そして、図12に示すように、時刻txmには、エレメント番号“9100”に対応する吐出ノズル“9100”からスペーサが第3の基準位置22Cに吐出される。なお、図8,10,12に破線で示すブラックマトリクス6は、撮像手段4で撮像されたブラックマトリクス6のT時間経過後の位置を示しており、各基準位置が対応する吐出ノズル9の真下に到達した状態を示している。
次に、ステップS5においては、第1の基準位置22Aの検出回数nが計数回路20でカウントされる。さらに、ステップS6に進んで、予め設定して記憶部13に記憶した吐出終了ライン番号Nが記憶部13から比較回路21に読み出され、吐出終了ライン番号Nと上記カウント数nとが比較される。そして、ステップS7において、両数値が一致するか否かが判定される。ここで、“NO”判定となるとステップS1に戻って次の基準位置を検出し、上述と同様にしてスペーサの吐出動作が行われる。一方、“YES”判定となると、比較回路21から吐出終了信号が図1に示すスペーサ吐出コントローラ12に出力して所定時間経過後にスペーサの吐出動作を終了させると共に、搬送手段コントローラ14を制御してステージ8を図1に示す矢印B方向に移動させ、初期位置に戻して停止させる。
なお、図13に示すように基板7のサイズがインク吐出装置3の吐出範囲よりも大きいときには、ステップS7終了後にステージ8を矢印C方向に移動し、上述のステップに従ってスペーサが吐出された領域(同図に斜線で示す領域)に隣接する領域に対して上記ステップS1〜S7を実行し、スペーサを吐出するようにしてもよい。
このように、本発明のスペーサ吐出装置によれば、基板7を所定の速度で移動しながら撮像手段4で基板7に予め形成されたブラックマトリクス6を撮像し、撮像した画像データを処理することによりブラックマトリクス6に予め設定した第1〜第3の基準位置22A〜22Cを検出し、インク吐出装置3を制御して上記第1〜第3の基準位置22A〜22Cに対応する吐出ノズル9からスペーサを吐出させるようにしたことにより、基準位置として定めた例えばブラックマトリクス6のT字状交差部及び十字状交差部に対して精度良くスペーサの吐出を行うことができる。
また、各基準位置を撮像手段4で撮像して検出してから各基準位置に対してスペーサを吐出するようにしているので、基板7がステージ8の移動方向に対して傾いて設置されている場合にも、上記各基準位置に対して精度良くスペーサの吐出を行うことができる。
なお、上記実施形態においては、撮像手段4のエレメント10の配列ピッチとインク吐出装置3の吐出ノズル9の配列ピッチが等しい場合について説明したが、本発明はこれに限られず、例えば、上記吐出ノズル9のノズル径に比して上記エレメント10が小さい場合には、図14に示すように例えば三つのインク吐出装置3A,3B,3Cを用い、各インク吐出装置3の吐出ノズル9を上記エレメント10の配列ピッチ分だけずらして並列に配置して構成してもよい。この場合、インク吐出装置3Aでスペーサを吐出するときは、撮像手段4で基準位置を撮像してからT1(=D1/V)時間経過後に行えばよく、インク吐出装置3Bの場合はT2(=D2/V)時間経過後に、また、インク吐出装置3Cの場合はT3(=D3/V)時間経過後にスペーサ吐出を行えばよい。なお、上記D1〜D3は撮像手段4と各インク吐出装置3A〜3Bとの間の距離である。
図15は、インク吐出装置3の他の構成例を示す説明図であり、インク吐出装置3の吐出ノズル9をブラックマトリクス6のピクセル6aの配列ピッチと等しい間隔で設けたものである。これによれば、図15に示すように、ブラックマトリクス6の基準位置と吐出ノズル9との位置がずれており、上記基準位置に対応する撮像素子のエレメント番号が例えば“1000”であり、上記吐出ノズル9に対応する撮像素子のエレメント番号が例えば“1020”である場合、該エレメント番号のずれ量を制御手段5で検出してそのずれ量、例えば“20”エレメント分だけ基板7を図16に示す矢印C方向に移動して上記ずれを補正する。これにより、図14に示すように、吐出ノズル9と上記基準位置とが一致し、該基準位置に対してスペーサを精度良く吐出することができる。
なお、上記実施形態においては、インク吐出装置3に対してステージ8を移動するものとして説明したが、これに限られず、インク吐出装置3側を移動するか、或はインク吐出装置3及びステージ8の双方を移動してもよい。また、上記基準パターンとしてカラーフィルターのブラックマトリクス6を適用した例について説明したが、これに限られず、透過型液晶表示素子のTFT基板、又は反射型液晶表示素子の画素電極基板の画素を取り巻く領域を基準パターンとして適用してもよい。さらに、上記基板7は、液晶表示素子を構成する基板に限られず、スペーサを介して一対の基板が対向配置されるものであれば、如何なる基板であってもよい。
本発明によるスペーサ吐出装置の実施形態を示す概念図である。 上記スペーサ吐出装置の撮像手段とインク吐出装置の配置を示す説明図である。 ブラックマトリクスに設定した基準位置とスペーサの配置例を示す説明図である。 制御手段における画像処理部の回路構成を示すブロック図である。 上記スペーサ吐出装置の動作を説明するフローチャートである。 リングバッファーメモリの出力を2値化する方法を示す説明図である。 ブラックマトリクスに予め設定された第1の基準位置の画像とそれに対応する第1のルックアップテーブルを示す説明図である。 上記第1の基準位置に対するスペーサの吐出動作を説明する図である。 ブラックマトリクスに予め設定された第2の基準位置の画像とそれに対応する第2のルックアップテーブルを示す説明図である。 上記第2の基準位置に対するスペーサの吐出動作を説明する図である。 ブラックマトリクスに予め設定された第3の基準位置の画像とそれに対応する第3のルックアップテーブルを示す説明図である。 上記第3の基準位置に対するスペーサの吐出動作を説明する図である。 基板サイズがインク吐出装置の吐出範囲よりも大きい場合のスペーサ吐出動作を示す説明図である。 インク吐出装置の吐出ノズル径に比して撮像手段のエレメントが小さい場合のインク吐出装置の一構成例を示す説明図である。 インク吐出装置の他の構成例を示す説明図である。 上記インク吐出装置におけるスペーサ吐出動作を示す説明図である。
符号の説明
1…スペーサ吐出装置
3…インク吐出装置
4…撮像手段
5…制御手段
6…ブラックマトリクス(基準パターン)
7…基板
9…吐出ノズル
10…エレメント(受光素子)
S…スペーサ(スペーサ粒子)

Claims (5)

  1. インク吐出装置を基板に対して相対的に移動しながら該インク吐出装置の吐出ノズルからスペーサ粒子を吐出するスペーサ吐出装置であって、
    前記スペーサ粒子の吐出時の前記基板の移動方向にて前記インク吐出装置の後方に配置され、前記基板上に予め形成された基準パターンを撮像する撮像手段と、
    該撮像手段で撮像した前記基準パターンの画像を用いて該基準パターンに予め設定された基準位置を検出し、該基準位置に対して前記スペーサ粒子を吐出させるように前記インク吐出装置を制御する制御手段と、
    を備えたことを特徴とするスペーサ吐出装置。
  2. 前記基準パターンは、マトリクス状の領域であることを特徴とする請求項1記載のスペーサ吐出装置。
  3. 前記基準位置は、前記マトリクス状の領域の交差部であることを特徴とする請求項2記載のスペーサ吐出装置。
  4. 前記撮像手段は、受光素子が一列状に配列されたものであることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載のスペーサ吐出装置。
  5. 前記制御手段による前記基準位置の検出は、前記撮像手段で取得した前記基準パターンの画像を2値化処理し、該処理したデータと予め設定された前記基準位置に相当する画像データとを比較して、両データが一致した部分を検出して行うことを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載のスペーサ吐出装置。
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