JP2005525471A5

JP2005525471A5 -

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Publication number: JP2005525471A5
Application number: JP2004505407A
Authority: JP
Filing date: 2003-05-14
Publication date: 2006-02-02

Claims

スパッタ被覆装置内の所定の幾何形状の装着構造内にスパッタリングカソードを装着することが可能であり、複数の異なるターゲット直径、複数の異なるカソードタイプ、または複数の異なるターゲット対基板間隔のいずれかの複数の異なるカソード構成を所定の幾何形状の装着構造内で支持することが可能である、アダプタアセンブリを提供する方法であって、
所定の幾何形状の装着構造内に装着するように構成された外部表面を有し、前記直径の1つのカソードを支持するように構成された内部表面を有し、前記ターゲット対基板間隔のうちの1つでカソードを支持するように構成された厚さ幾何形状を有する、環状のアダプタ本体を提供することと、
前記直径およびタイプのうちの1つのカソードを支持するように構成された環状の電気絶縁体リングを提供することと、
本体の外部表面に取付け可能であり、スパッタリング中被着物から本体の外部表面の部分を保護するために前記本体の部分をカバーするように構成された、スパッタリング中その上に堆積した被着物をアセンブリから除去するために本体から取外し可能である、交換可能な環状のアダプタシールドを提供することと、
濃色空間シールドが、基板に面する本体の部分、およびターゲットに向かって半径方向内向きに面する本体の部分を、前記本体の部分をスパッタリング中被着物から保護するためにカバーするように構成および寸法調整されており、スパッタリング中その上に堆積した被着物をアセンブリから除去するために本体から取外し可能であり、前記濃色空間シールドが、ターゲットと濃色空間シールドの間およびターゲットの絶縁体の間に隙間を形成するように構成された内部表面を有し、該隙間が、アダプタアセンブリまたはその部品を交換または清浄のために取り外すことによって必要とされる遮断なしで、ターゲットの寿命の間ターゲットの使用を容易にするために、それに続くスパッタリング材料の基板上への被着を回避するためにその幅に対して十分大きい深さを有する、基板に面するように構成された本体の側面に取付け可能な交換可能な環状の濃色空間シールドを提供することと、を含む、アダプタアセンブリを提供する方法。
アダプタ本体を提供することが複数のアダプタ本体を提供することを含み、それぞれが所定の幾何形状の装着構造内に装着するように構成されたその外部表面を有し、各本体が異なる前記直径のカソードを支持するように構成されたその内部表面を有する、請求項1に記載の方法。
アダプタ本体を提供することが複数のアダプタ本体を提供することを含み、それぞれが所定の幾何形状の装着構造内に装着するように構成されたその外部表面を有し、それぞれが、異なる前記ターゲット対基板間隔のカソードを支持するように構成され、異なる厚さ幾何形状を有する、請求項1に記載の方法。
アダプタ本体を提供することが複数のアダプタ本体を提供することを含み、それぞれが所定の幾何形状の装着構造内に装着するように構成されたその外部表面を有し、それぞれが、異なる前記直径のカソードを支持するように構成された内部表面および異なる前記ターゲット対基板間隔でカソードを支持するように構成された厚さ幾何形状を有する、請求項1に記載の方法。
電気絶縁体リングを提供することが、複数の間隔のいずれかに対して構成されたアダプタ本体内で前記直径およびタイプのうちの1つのカソードを支持するように構成されたリングを提供することを含む、請求項1に記載の方法。
電気絶縁体リングを提供することが、異なるタイプのカソードアセンブリを支持するようにそれぞれ構成された複数のリングを提供することを含む、請求項1に記載の方法。
電気絶縁体リングを提供することが、異なる直径のカソードアセンブリを支持するようにそれぞれ構成された複数のリングを提供することを含む、請求項1に記載の方法。
交換可能なアダプタシールドを提供することが、複数の異なるターゲット対基板間隔幾何形状の本体ごとに1つの、複数のアダプタシールドを提供することを含む、請求項1に記載の方法。
交換可能なアダプタシールドを提供することが、複数の異なるターゲット直径構成能力の本体ごとに1つの、複数のアダプタシールドを提供することを含む、請求項1に記載の方法。
濃色空間シールドを提供することが、複数の間隔のうちのいずれかのアダプタ本体を保護するために前記タイプおよび直径のうちの1つのカソードの周囲に前記隙間を提供するように構成された濃色空間を提供することを含む、請求項1に記載の方法。
濃色空間シールドを提供することが、タイプの異なるカソードアセンブリの周囲に前記隙間を提供するようにそれぞれ構成された、複数の濃色空間シールドを提供することを含む、請求項1に記載の方法。
濃色空間シールドを提供することが、直径の異なるカソードアセンブリの周囲に前記隙間を提供するようにそれぞれ構成された、複数の濃色空間シールドを提供することを含む、請求項1に記載の方法。
濃色空間シールドを提供することが、異なる処理圧力で前記直径およびタイプの１つのカソードアセンブリの周囲に前記隙間を提供するようにそれぞれ構成された、複数の濃色空間シールドを提供することを含む、請求項1に記載の方法。
濃色空間シールドを提供することが、異なる材料に対してカソードアセンブリの周囲に前記隙間を提供するようにそれぞれ構成された、複数の濃色空間シールドを提供することを含む、請求項1に記載の方法。
アダプタ本体を提供することが、所定の幾何形状の装着構造内に装着するように構成された外部表面をそれぞれ有し、前記直径の異なる組合せのカソードを支持するように構成された内部表面をそれぞれ有し、前記ターゲット対基板間隔の異なるカソードを支持するように構成された厚さ幾何形状をそれぞれ有する複数のアダプタ本体を提供することを含み、
リングを提供することが、複数の間隔のいずれかのアダプタ本体内で前記直径およびタイプの異なる組合せのカソードを支持するようにそれぞれ構成された、複数のリングを提供することを含み、
交換可能なアダプタシールドを提供することが、本体のターゲット対基板間隔幾何形状と本体のターゲット直径構成能力の複数の異なる組合せの複数のアダプタシールドを提供することを含み、
濃色空間シールドを提供することが、所定の処理圧力に関して前記直径およびタイプの異なる1つのカソードの周囲に前記隙間を提供し、そうするために複数のターゲット対基板間隔幾何形状のいずれかのアダプタ本体を保護するように構成された、複数の濃色空間シールドを提供することを含む、請求項1に記載の方法。
電気絶縁リングを提供することが、複数の間隔のいずれかでアダプタ本体内で前記直径およびタイプの異なる組合せのカソードを支持するように構成された複数のリングを提供することを含む、請求項1に記載の方法。
交換可能なアダプタシールドを提供することが、本体のターゲット対基板間隔幾何形状と本体のターゲット直径構成能力の複数の異なる組合せごとに1つの、複数のアダプタシールドを提供することを含む、請求項1に記載の方法。
濃色空間シールドを提供することが、前記直径およびタイプの異なる1つの、および複数の間隔のうちのカソードの周囲にそれぞれ前記隙間を提供するようにそれぞれ構成された複数の濃色空間シールドを提供することを含む、請求項1に記載の方法。
濃色空間シールドを提供することが、標準圧力に対して0.062+/-0.005インチおよび高圧力に対して0.050+/-0.005インチの前記隙間を提供するように構成された濃色空間シールドを提供することを含む、請求項1に記載の方法。
濃色空間シールドを提供することが、少なくとも0.045インチの隙間を提供するように構成された濃色空間シールドを提供することを含む、請求項1に記載の方法。
スパッタ被覆装置内の所定の幾何形状の装着構造内にスパッタリングカソードを装着することが可能であり、複数の異なるカソード、複数の異なるターゲット直径、複数の異なる所定の直径のカソードまたはターゲットタイプ、または複数の異なる所定の直径の所定のターゲットタイプに対するターゲット対基板間隔のうちのいずれかの複数の異なるカソード構成を提供することが可能である、アダプタアセンブリであって、
所定の幾何形状の装着構造内に装着するように構成された外部表面を有し、前記直径の1つのカソードを支持するように構成された内部表面を有し、前記ターゲット対基板間隔のうちの1つのカソードを支持するように構成された厚さ幾何形状を有する環状のアダプタ本体と、
前記直径およびタイプのうちの1つのカソードを支持するように構成された環状の電気絶縁体リングと、
本体の外部表面に取付け可能であり、スパッタリング中被着物から本体の外部表面の部分を保護するために前記本体の部分をカバーするように構成された、スパッタリング中その上に堆積した被着物をアセンブリから除去するために本体から取外し可能である、交換可能な環状のアダプタシールドと、
濃色空間シールドが、基板に面する本体の部分、およびターゲットに向かって半径方向内向きに面する本体の部分を、前記本体の部分をスパッタリング中被着物から保護するためにカバーするように構成および寸法調整されており、濃色空間シールドが、スパッタリング中その上に堆積した被着物をアセンブリから除去するために本体から取外し可能であり、濃色空間シールドが、一方でのターゲットと他方でのシールドおよび絶縁体の間に、ターゲットと濃色空間シールドの間のスパークを防止するのに十分広く、ターゲットと濃色空間シールドまたは絶縁体の間のプラズマの形成を防止するのに十分狭い隙間を形成するように構成された内部表面を有し、該隙間が、アダプタアセンブリまたはその部品を交換または清浄のために取り外すことによって必要とされる遮断なしで、実質上ターゲットの寿命の間ターゲットの使用を容易にするために、それに続くスパッタリング材料の基板上への被着を回避するのに十分、その幅に対して大きい深さを有する、基板に面するように構成された本体の側面に取付け可能な交換可能な環状の濃色空間シールドと、を備えるアダプタアセンブリ。
固定サイズの開口内に装着するように構成された外部表面をそれぞれ有し、前記直径の異なるカソードを支持するように構成された内部表面をそれぞれ有する複数のアダプタ本体をさらに備える、請求項21に記載のアセンブリ。
固定サイズの開口内に装着するように構成された外部表面をそれぞれ有し、前記ターゲット対基板間隔の異なるカソードを支持するように構成された異なる厚さ幾何形状をそれぞれ有する複数のアダプタ本体をさらに備える、請求項21に記載のアセンブリ。
所定の幾何形状の装着構造内に装着するように構成された外部表面をそれぞれ有し、前記直径の異なるカソードを支持するように構成された内部表面をそれぞれ有し、それぞれが前記ターゲット対基板間隔のうちの1つでカソードを支持するように構成された厚さ幾何形状を有する複数のアダプタ本体をさらに備える、請求項21に記載のアセンブリ。
リングが、複数の間隔のいずれかのアダプタ本体内の前記直径およびタイプのうちの1つのカソードを支持するように構成されている、請求項21に記載のアセンブリ。
前記タイプの異なる1つのまたは前記直径の異なる1つのカソードアセンブリを支持するようにそれぞれ構成された、複数のリングをさらに備える、請求項21に記載のアセンブリ。
複数の異なる本体のターゲット対基板間隔幾何形状に対してそれぞれ1つの複数のアダプタシールドをさらに備える、請求項21に記載のアセンブリ。
異なる本体のターゲット直径構成能力に対してそれぞれ1つの複数の交換可能なアダプタシールドをさらに備える、請求項21に記載のアセンブリ。
濃色空間が、前記直径およびタイプのうちの1つのカソードの周囲に前記隙間を提供し、そうするために、複数の間隔のいずれかのアダプタ本体を保護するように構成されている、請求項21に記載のアセンブリ。
タイプまたは直径の異なるカソードアセンブリの周囲に前記隙間を提供するようにそれぞれ構成された、複数の濃色空間シールドをさらに備える、請求項21に記載のアセンブリ。
固定サイズの開口内に装着するように構成された外部表面をそれぞれ有し、前記ターゲット対基板間隔の異なるカソードを支持するように構成された前記直径および厚さ幾何形状の異なる組合せのカソードを支持するように構成された内部表面をそれぞれ有する複数のアダプタ本体と、
タイプの異なるカソードアセンブリを支持するようにそれぞれ構成され、複数の間隔のいずれかのアダプタ本体内の直径およびタイプの異なる組合せのカソードを支持するようにそれぞれ構成された、複数のリングと、
複数の異なる本体のターゲット対基板間隔幾何形状と異なる本体のターゲット直径構成能力の組合せに対してそれぞれ1つの複数のアダプタシールドと、
直径およびタイプの異なるカソードの周囲に前記隙間を提供するようにそれぞれ構成され、そうするために、複数の間隔のいずれかのアダプタ本体を保護するようにそれぞれ構成された複数の濃色空間シールドと、をさらに備える、請求項21に記載のアセンブリ。
タイプの異なるカソードアセンブリを支持するようにそれぞれ構成され、複数の間隔のいずれかのアダプタ本体内で直径およびタイプの異なる組合せのカソードを支持するようにそれぞれ構成された、複数のリングをさらに備える、請求項21に記載のアセンブリ。
交換可能なアダプタシールドを提供することが、本体のターゲット対基板間隔幾何形状と本体のターゲット直径構成能力の複数の異なる組合せのそれぞれに対して1つの、複数のアダプタシールドを提供することをさらに含む、請求項21に記載のアセンブリ。
濃色空間シールドを提供することが、直径およびタイプの異なるカソードの周囲に前記隙間を提供し、そうするために複数の間隔のいずれかのアダプタ本体を保護するようにそれぞれ構成された、複数の濃色空間シールドを提供することをさらに含む、請求項21に記載のアセンブリ。
濃色空間シールドがほぼ円筒形の内側を向いた表面を有し、ターゲットがほぼ円筒形の外側を向いた縁部表面を有する、スパッタ被覆装置のターゲットの周囲で所定の幾何形状の濃色空間シールドを設置すること、または同じまたは異なる幾何形状の既存の濃色空間シールドを交換することと、
その内側を向いた表面をターゲットの外側を向いた縁部表面と平行かつ同心状にし、そこから少なくとも0.045インチおよび多くても0.067インチ離隔して、ターゲットの周囲に濃色空間シールドを固定することと、を含む、
スパッタ被覆装置内のアダプタ本体内でスパッタリングターゲットを支持している絶縁リングを保護する方法。
濃色空間シールドが、その内側を向いた表面をそれから0.050+/-0.005インチ離隔してターゲットの周囲に固定される、請求項35に記載の方法。
濃色空間シールドが、その内側を向いた表面をそれから0.062+/-0.005インチ離隔してターゲットの周囲に固定される、請求項35に記載の方法。
濃色空間シールドの内側を向いた表面が、11.749+/-0.005インチの内径を有する、請求項35に記載の方法。
濃色空間シールドの内側を向いた表面が、11.725+/-0.005インチの内径を有する、請求項35に記載の方法。
濃色空間シールドの内側を向いた表面が、10.124+/-0.005インチの内径を有する、請求項35に記載の方法。
濃色空間シールドの内側を向いた表面が、10.100+/-0.005インチの内径を有する、請求項35に記載の方法。
スパッタ被覆装置内にターゲットを備え、その中にプラズマチャンバを形成するカソードアセンブリを装着することが可能であるアダプタアセンブリを提供する方法であって、
その中に円筒形の空洞を有する環状のアダプタ本体と、スパッタ被覆装置と結合するように構成された外側フランジと、カソードアセンブリと結合するように構成された内側ショルダとを提供することと、
カソードアセンブリを内部ショルダと物理的に結合し、カソードアセンブリを内側ショルダから電気的に絶縁する交換可能な環状の絶縁リングを提供することと、
内部ショルダの下側表面と結合されるように構成され、内部ショルダの下側表面、内部ショルダの内側半径方向表面、および絶縁リングの内側半径方向表面をカバーするように寸法調整および構成された、交換可能な環状の濃色空間シールドを提供することと、を含み、
前記濃色空間シールドは、前記ターゲットと前記濃色空間シールドとの間ならびに前記ターゲットと前記絶縁体との間に隙間を形成するよう構成された内側表面を有し、前記隙間は、前記ターゲットと前記濃色空間シールドとの間のスパークを防止するのに十分なだけ広く、かつ前記ターゲットと前記濃色空間シールドまたは前記絶縁体との間でのプラズマの生成を防止するのに十分なだけ狭く、前記隙間は少なくとも0.045インチである方法。
濃色空間シールドの一部、アダプタ本体の外側半径方向表面、アダプタ本体の対合表面をカバーするように寸法調整および構成され、濃色空間シールドとカソードアセンブリの間に隙間が設けられている、アダプタ本体の対合表面と結合されるように構成された交換可能な環状のアダプタシールドを提供することを含む、請求項42に記載の方法。
カソードアセンブリが、複数の異なるターゲット直径、複数の異なるカソードタイプの、または複数の異なるターゲット対基板間隔での複数の異なるカソード形状を有し、スパッタリングチャンバを有するスパッタ被覆装置にカソードアセンブリを装着する方法において、改良点が、
複数の異なるカソード構成を有するカソードアセンブリを支持するように構成された内部表面を有する、スパッタ被覆装置の装着構造内に装着するように構成された外部表面を有する環状のアダプタ本体を提供すること、
直径およびタイプのうちの1つの少なくとも1つのカソードを支持するように構成された環状の電気絶縁体リングを提供すること、
本体の外部表面に取付け可能であり、スパッタリング中被着物から本体の外部表面の部分を保護するために前記本体の部分をカバーするように構成された、スパッタリング中その上に堆積した被着物をアセンブリから除去するために本体から取外し可能である、交換可能な環状のアダプタシールドを提供すること、および
スパッタリングチャンバに面するように構成された本体の側面に取付け可能な交換可能な環状の濃色空間シールドであって、前記濃色空間シールドが、スパッタリングチャンバに面する本体の部分、およびターゲットに向かって半径方向内向きに面する本体の部分を、前記本体の部分をスパッタリング中被着物から保護するためにカバーするように構成および寸法調整されており、スパッタリング中その上に堆積した被着物をアセンブリから除去するために本体から取外し可能であり、前記濃色空間シールドが、ターゲットと濃色空間シールドの間およびターゲットと絶縁体の間に隙間を形成するように構成された内部表面を有し、隙間が、アダプタアセンブリまたはその部品を交換または清浄のために取り外すことによって必要とされる遮断なしで、ターゲットの寿命の間ターゲットの使用を容易にするために、それに続くスパッタリング材料の絶縁体上への被着を回避するためにその幅に対して十分大きい深さを有する交換可能な濃色空間シールドを提供することを含む方法。
濃色空間シールドの一部、アダプタ本体の外側半径方向表面、アダプタ本体の対合表面をカバーするように寸法調整および構成され、濃色空間シールドとカソードアセンブリの間に隙間が設けられている、アダプタ本体の対合表面と結合されるように構成された交換可能な環状のアダプタシールドを提供することを含む、請求項44に記載の方法。
スパッタリング被覆装置において、
複数の異なるターゲット直径、複数の異なるカソードタイプ、または複数の異なるターゲット対基板間隔のいずれかの複数の異なるカソード構成を有するカソードアセンブリを、スパッタリングチャンバを有するスパッタ被覆装置に装着するためのアダプタアセンブリを備え、前記アダプタアセンブリが、
スパッタ被覆装置の装着構造内に装着するように構成された外部表面を有し、複数の異なるカソード構成を有するカソードアセンブリを支持するように構成された内部表面を有する環状のアダプタ本体と、
アダプタ本体と結合され、前記直径およびタイプのうちの1つの少なくとも1つのカソードを支持するように構成された環状の電気絶縁体リングと、
アダプタ本体の外部表面に結合され、スパッタリング中の被着物から前記本体の部分を保護するように前記本体の外部表面の部分を被覆するように構成され、スパッタリング中にその上に蓄積したアセンブリから被着物を取り除くように前記本体から取外し可能な交換可能環状アダプタシールドと、
スパッタリングチャンバに面するように構成された本体の側面に結合された交換可能な環状の濃色空間シールドであって、スパッタリングチャンバに面する本体の部分、およびターゲットに向かって半径方向内向きに面する本体の部分を、前記本体の部分をスパッタリング中被着物から保護するためにカバーするように構成および寸法調整されており、スパッタリング中その上に堆積した被着物をアセンブリから除去するために本体から取外し可能であり、ターゲットと濃色空間シールドの間およびターゲットと絶縁体の間に、ターゲットと濃色空間シールドの間のスパークを防止するのに十分広く、ターゲットと濃色空間シールドまたは絶縁体の間のプラズマの形成を防止するのに十分狭い隙間を形成するように構成された内部表面を有し、該隙間が、アダプタアセンブリまたはその部品を交換または清浄のために取り外すことによって必要とされる遮断なしで、実質上ターゲットの寿命の間、ターゲットの使用を容易にするために、それに続くスパッタリング材料の絶縁体上への実質的な被着を回避するのに十分その幅に対して大きい深さを有する濃色空間シールドとを備える、改良。
円筒形の要素が、外側フランジと、リング部分と、内側ショルダとを備え、外側フランジが、内部表面と、内部表面と結合された上部表面と、上部表面と結合された外部表面と、外部表面と結合された底部表面とを備え、リング部分が、内側ショルダの上部表面と結合された内部表面と、外側フランジの底部表面と結合された外部表面とを備え、内側ショルダが、リング部分の外部表面と結合された外部表面と、内部表面および外部表面と結合された底部表面と、底部表面と結合された内部表面と、該内部表面とおよびリング部分の内部表面と結合された上部表面とを備える、アダプタ本体。
円筒形の要素が、単一の材料ブロックから製造される請求項47に記載のアダプタ本体。
外側フランジの上部表面が、環状の溝を備える請求項47に記載のアダプタ本体。
環状の溝が、少なくとも1つの曲線状の表面を備える請求項49に記載のアダプタ本体。
外部表面が、少なくとも1つの平坦な表面と少なくとも1つの曲線状の表面を備える請求項47に記載のアダプタ本体。
外側フランジが、複数の通し穴を備える請求項47に記載のアダプタ本体。
外側フランジの底部表面が、環状の溝を備える請求項47に記載のアダプタ本体。
環状の溝が、Ｏリングのための溝である請求項53に記載のアダプタ本体。
内側ショルダの上部表面が、環状の溝を備える請求項47に記載のアダプタ本体。
環状の溝が、Ｏリングのための溝である請求項55に記載のアダプタ本体。
内側ショルダの底部表面が、半径方向パターンの複数の穴を備える請求項47に記載のアダプタ本体。
外側フランジが、少なくとも約14.50インチの外径を備える請求項47に記載のアダプタ本体。
円筒形の要素が、外側フランジの底部表面から内側ショルダの上部表面へ延びる高さを備え、高さが、0.68、1.18および1.48インチから本質的に構成される群から選択された高さに近似的に等しい、請求項47に記載のアダプタ本体。
本体部分と、上部リング部分と、底部リング部分を有する環状のリング要素とを備え、
本体部分が、内部表面と、内部表面と結合された上部表面と、内部表面と結合された底部表面と、外部表面とを有し、
上部リング部分が、本体部分の上部表面と結合された内部表面と、本体部分の外部表面と結合された外部表面と、上部リングの内部表面および外部表面と結合された上部表面とを有し、
底部リング部分が、本体部分の外部表面と結合された外部表面と、外部表面と結合された底部表面と、本体部分の底部表面と結合された内部表面とを有する、絶縁体。
環状のリング要素が、ASTM D3294-97に従って製造されたTEFLON(登録商標)材料からなる請求項60に記載の絶縁体。
材料が、TEFLON(登録商標) PTFEからなる請求項61に記載の絶縁体。
材料が、Dupont社製のTEFLON(登録商標) PTFE等級7AまたはTEFLON(登録商標) PTFE等級8の少なくとも1つからなる、請求項62に記載の絶縁体。
本体の底部表面が環状の溝を備える、請求項60に記載の絶縁体。
環状の溝がＯリングのための溝である、請求項64に記載の絶縁体。
上部リング部分が約11.12インチの外径を備える、請求項60に記載の絶縁体。
上部リング部分が約10.92インチの内径を備える、請求項60に記載の絶縁体。
上部リング部分が、少なくとも約10.932インチの内径と、多くても約11.12インチの外径と、約0.29インチの高さ774とを有し、
本体部分が、少なくとも約10.32インチの内径と、多くとも約11.12インチの外径と、約0.16インチの高さ773とを有し、
底部リングが、少なくとも約10.46インチの内径と、多くても約11.12インチの外径とを有する請求項60に記載の絶縁体。
上部リング部分が、少なくとも約10.932インチの内径と、多くても約11.12インチの外径と、約0.35インチの高さ774とを有し、
本体部分が、少なくとも約10.32インチの内径と、多くても約11.12インチの外径と、約0.17インチの高さ773とを有し、
底部リングが、少なくとも約10.46インチの内径と、多くても約11.12インチの外径とを有する請求項60に記載の絶縁体。
上部リング部分が、少なくとも約12.55インチの内径と、多くても約12.74インチの外径と、約0.25インチの高さとを有し、
本体部分が、少なくとも約11.94インチの内径と、多くても約12.74インチの外径と、約0.125インチの高さとを有し、
底部リングが、少なくとも約11.94インチの内径と、多くても約12.11インチの外径1378とを有する請求項60に記載の絶縁体。
上部リング部分が、少なくとも約12.55インチの内径と、多くても約12.74インチの外径と、約0.185の高さとを有し、
本体部分が、少なくとも約11.94インチの内径と、多くても約12.74インチの外径と、約0.14インチの高さとを有し、
底部リングが、少なくとも約11.94インチの内径と、多くても約12.11インチの直径1378とを有する請求項60に記載の絶縁体。
本体部分と上部リング部分を有する円筒形の要素を備え、
本体部分が、外部表面と、第1の形成された表面によって外部表面と結合された底部表面と、底部表面と結合された内部表面と、外部表面と結合された上部表面とを有し、
上部リング部分が、本体部分の上部表面と結合された外部表面と、外部表面と結合された上部表面と、本体部分の上部表面とおよび内部表面と結合された内部表面とを有する、濃色空間シールド。
円筒形の要素が、単一の材料ブロックから製造される請求項72に記載の濃色空間シールド。
本体部分が複数の通し穴を備える請求項72に記載の濃色空間シールド。
上部リング部分が少なくとも10.4インチの外径を備える請求項72に記載の濃色空間シールド。
上部リング部分が、少なくとも約10.1インチの内径を備える請求項72に記載の濃色空間シールド。
上部リング部分が、11.749+/-0.005インチの内径を備える請求項72に記載の濃色空間シールド。
上部リング部分が、11.725+/-0.005インチの内径を備える請求項72に記載の濃色空間シールド。
上部リング部分が、10.124+/-0.005インチの内径を備える請求項72に記載の濃色空間シールド。
上部リング部分が、10.100+/-0.005インチの内径を備える請求項72に記載の濃色空間シールド。
上部リングが、約10.10インチの内径と、約10.405インチの外径と、約0.505インチの高さとを有し、
本体部分が、約10.10インチの内径と、多くても約12.08インチの外径と、約0.244インチの高さとを有する請求項72に記載の濃色空間シールド。
上部リングが、約10.10インチの内径と、約10.405インチの外径と、約0.505インチの高さとを有し、
本体部分が、約10.10インチの内径と、多くても約12.08インチの外径と、約0.244インチの高さとを有し、本体部分が、約45度角度方向に離隔され、約11.50インチの直径を有する円上に配置された穴を有する請求項72に記載の濃色空間シールド。
上部リングが、約10.12インチの内径と、約10.405インチの外径と、約0.305インチの高さとを有し、
本体部分が、約10.12インチの内径と、多くても約12.08インチの外径と、約0.244インチの高さとを有する請求項72に記載の濃色空間シールド。
上部リングが、約10.12インチの内径と、約10.405インチの外径と、約0.305インチの高さとを有し、
本体部分が、約10.12インチの内径と、多くても約12.08インチの外径と、約0.244インチの高さとを有し、
本体部分が、約45度角度方向に離隔され、約11.50インチの直径を有する円上に配置された穴を有する、請求項72に記載の濃色空間シールド。
上部リングが、約11.72インチの内径と、約12.11インチの外径と、約0.55インチの高さとを有し、
本体部分が、約11.72インチの内径と、多くても約13.00インチの外径と、約0.245インチの高さとを有する請求項72に記載の濃色空間シールド。
上部リングが、約11.72インチの内径と、約12.11インチの外径と、約0.55インチの高さとを有し、
本体部分が、約11.72インチの内径と、多くても約13.00インチの外径と、約0.245インチの高さとを有し、
本体部分が、約45度角度方向に離隔され、約12.50インチの直径を有する円上に配置された穴を有する、請求項72に記載の濃色空間シールド。
上部リングが、約11.74インチの内径と、約12.11インチの外径と、約0.475インチの高さとを有し、
本体部分が、約11.74インチの内径と、多くても約12.99インチの外径と、約0.245インチの高さとを有する請求項72に記載の濃色空間シールド。
曲線状の縁部と曲線状の隅部を有する本体部分と、
約12.563インチの直径の円上で90度の間隔に複数の4つの通し穴と、約12.98インチの外径と、少なくとも約12.2インチの内径とを有する上部リングと、
約12.14インチの外径と、少なくとも約10.85インチの内径とを有する底部リングとを備え、
本体部分が底部リングの外径から上部リングの内径へ延びており、それが約0.53インチ、約1.03インチ、および約1.33インチからなる群から選択された軸方向高さを有する、アダプタシールド。