JP2005520453A6 - 高周波部品及びその製造方法 - Google Patents

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Abstract

電気部品及びその製造方法が開示される。部品は、中空の管状構造体を含む。構造体は、一連の軸方向に離間したリングと少なくとも一つの外周の収容部材とを含む。収容部材は、電気的に意図された中空の管状構造体の内部構造を形成するリングと相互連結する。電気部品の最終組立を円滑にするために、リング及び収容部材の各々は、リング及び収容部材を共に機械的に固定することを補助する相互結合可能な要素を含む。

Description

本発明は、電気部品に関し、詳しくは、高周波部品及びそれらの組立品に関する。
本出願は、以下の米国仮出願に関連し、それらに基づく優先権を主張する。
2001年6月9日出願の米国特許出願第60/96891号、発明の名称「フィード・ホーン」。
2001年6月9日出願の米国特許出願第_号、発明の名称「傾斜壁のフィード・ホーン」。
2001年6月9日出願の米国特許出願第60/296889号、発明の名称「垂直壁のフィード・ホーン」。
2001年6月13日出願の米国特許出願第60/297928号、発明の名称「リング・ホーン構造体及び方法」。
2001年6月13日出願の米国特許出願第60/298038号、発明の名称「傾斜壁のフィードホーン」。
2001年6月9日出願の米国特許出願第60/296889号、発明の名称「垂直壁のフィード・ホーン」。
2001年6月13日出願の米国特許出願第60/297867号、発明の名称「垂直壁のフィードホーン」。
これらの各々の全体を参照として引用する。
背景技術の部分に含まれている情報は、それが法的に従来技術を構成するか否かに関する任意の承認なく、本発明の技術的背景に関係する。
宇宙航行機及び他の用途のための部品を組立てるために様々な方法が利用されている。例えば、参照文献として以下の米国特許が挙げられる。
Figure 2005520453
フィードホーン、導波管、アダプタ等の電気部品が、宇宙航行機及び他の用途において利用されている。例えば、フィードホーンは、衛星アンテナから反射された高周波(RF)エネルギーを取得し、指向させるために使用される。宇宙空間で使用されるフィードホーンには、同時に達成することが困難な、軽量、構造的剛性、及び熱安定性という異例な組合せが要求される。ある種のフィードホーンは、通常、機械加工された金属からなる。例えば、各種の初期の構造は、アルミニウム又は軽合金等の金属から製造され、結果として重量構造となる。宇宙航行機全体の重量は、任意の打上げ機の最大積載能力によって制約を受けるため、比較的重い構造では、結果として、衛星に積むことができる積載機器及び器具が減少する。従って、重要なことは、より軽量な、より高速な、そしてより安価な次世代の宇宙航行機を製造することである。
衛星は、永久歪なしで、打上げ時に加えられる力に耐えることができなければならないため、フィードホーンは十分な構造的強度及び剛性を有することが望ましい。十分な強度及び剛性を欠いたフィードホーンでは、たとえ軽量であったとしても、打上げ過程を切り抜けることは不可能である。熱安定性は、フィードホーン設計におけるもう一つの重要な要素である。この理由は、宇宙航行機の太陽に照射された側面と影になっている側面との間の熱負荷の差によって生じる温度の窮境にフィードホーンがしばしば晒されるからである。フィードホーンを構成するために使用される材料及び工法は、これらの異なる温度負荷のもとで屈曲又は歪曲しない下地を提供することができる必要がある。重要な調整に対して負の影響を及ぼすのに十分な極小の歪みが発生することがあり、そのことにより科学機器の搭載が実施不可能になり得る。また、多数の搭載設備を複合材料から製造することにより搭載物を更に軽量にする傾向のもとで、搭載設備と宇宙航行機との間のより良い熱整合を実現する必要性が増加している。
従来の金属製フィードホーンは金属の固体ブロックから機械加工される。これらは、複合材料のフィードホーンに比べて重く、薄壁を機械加工することの制限のため、十分に最適化することが困難である。従って、以前に製造された複合材料のフィードホーンは、組立工具を用いて配置された個々の要素部品を、互いに接着剤で接着することで形成される。通常、構成要素は、結合工程中に工具又は取付け具を利用して結合される。結合工程は、ある領域への容易な接近を妨害する工具を使用して遂行されなければならず、結果として、面倒で費用のかかる結合及び製造工程となる。フィードホーンを組立てるために使用される工具は、高価で、かつ工具による仕上げが存在するフィードホーン部分が目障りである場合があり、組立品を一緒に結合することが困難で時間がかかることがある。
クラムウェイド(Krumweide)の米国特許第5803402号では、結合工程において、構成部品を保持するのに必要な工具又は取付け具をほとんど又は全く使用することなく結合される構造要素を使用して宇宙航行機の骨組みを組立てる方法が開示されている。そして、構成部品は堅固な構造にて互いに結合される。
強く、硬く、軽く、そして宇宙空間の厳しさに適合した熱安定性を有する宇宙航行機フィードホーン及び他の電気部品を製造する低コストな方法が必要である。アンテナ等のRF部品の場合のように、通常、この種の部品では公差限度が要求される。例えば、表面構造及び形状における公差限度はこれらの部品において重要なものとなり得る。
以下に、図面を参照して、本発明を詳細に説明する。
図1Aは、平面積層シートを含む半加工材12の平面図を示す。シートは軽量の炭素繊維強化重合体(CFRP)複合材料からなる。半加工材12には、半加工材12から切取られるべき、リング14等の複数のリング、及びリブ25等の複数のリブが形成されている。
図1Aに示す実施形態では、十四個のリングが半加工材12から切取り可能に形成される。実施形態では、リングは、最小から最大に亘る各々異なった直径を有する。リング14等の各リングには、付属体16等の複数のリング付属体が設けられる。図1Aに示す実施形態では、各リングには、設けられたリブの数と一致する六個の付属体が設けられる。
付加的な底リング18も半加工材12に形成される。底リング18には、組立てたフィードホーンの取付けを可能にする複数の取付孔21が設けられる。底リング18には、切欠き23等の複数のリブ取付用の切欠きも設けられる。リブ取付用の切欠き23は、組立中、リブ25等のリブの下端を収容するのに使用される。
図1Aに示す実施形態では、同じ半加工材12から切取られるべきリブ25等の六個のリブも含まれる。リブは互いに同一のサイズ及び形状である。各リブには、以下に更に詳述するように、リング付属体に形成された対応する溝と連結するようになっている溝27等の複数のリブ溝が設けられる。
図1Aに示すような、半加工材12上のリング及びリブの配置は、手動的技術を使用して、又は当業者に公知のコンピュータ支援の設計及びコンピュータ支援の加工技術を使用して、様々な方法で設計可能である。半加工材12の有効面積が効率良く利用されるように、レイアウトが設計される。
図1Bは、表層シート32等の複数の表層シートが切取り可能である第二の半加工材29の平面図を示す。図1Bに示すように、表層シートは互いに実質的に同一なサイズ及び形状を有する。図1Bに示す実施形態では、三つの表層シートが設けられている。表層の各々は、孔34等の複数の中心線孔、及び対向する端部上に設けられた溝36等の複数の端部溝を備える。中心線孔には、図1Aに示した付属体16等のリング付属体が貫通するようになっている。各端部溝は中心線孔の約二分の一のサイズである。従って、二つの表層シートが隣り合って配置された時、二つのシート上の対応する端部溝は、中心線孔と略同じサイズ及び形状である単一の溝を形成する。
実施形態では、図1Bの半加工材29も、宇宙航行機の用途に好適な軽量のCFRP複合材料からなる。実施形態では、フィードホーンの個々の部品の全ては、簡略化された製造工程において、複合材料の平面積層シートから切取ることができる。その結果、湾曲した積層部品を加工するために精密な金型が必要とされる従来の製造技術と比較してコストが大幅に低減される。更に、湾曲した積層部品の代わりに平面積層シートを使用し、高価な複合積層シートの有効表面積を効率良く利用することにより、大幅なコスト節約を達成することができる。
図2A及び2Bは、リブ38及びリング43の部分斜視図を示す。リブ38は、リブ溝41等の複数のリブ溝を備える。リブ溝41はリング43のリング付属体45の溝47と位置合わせされる。リブ溝41は垂直な溝であり、一方、リング付属体溝47は水平な溝である。溝41,47が互いに位置合わせされた後、リブ38はリング43に向かって押圧され、図2Bに明示するように、溝41,47が連結する。リブ38の他の溝は、他のリングの付属体の対応する溝と位置合わせされ、連結される。同様に、他のリブの溝は、リング43の残りの付属体と位置合わせされ、連結される。
図3は組立中の組立品の多様な段階の斜視図を示す。底リング49がリブ56a等の一つ以上のリブを固定すべく設けられる。一実施形態では、先ず、三つのリブが一つ置きに底リング49に固定される。少なくとも幾つかのリブが配置された状態で、図2A及び2Bを参照して上記したようにリブ溝をリング付属体56a等のリング付属体の溝と連結させることにより、リング54等の複数のリングがリブに固定される。一実施形態では、リングは垂直方向に離間した構造で固定される。更に、最小のリングが底リング49に最も近接するようにリングが配列される。
その対応する位置にある各リングを利用して、表層シート58a,58b等の表層シートが取付けられる。図3において、表層シートが組立品に取付けられる前に、中心線孔61等の表層シートの中心線孔は、付属体56b等のリング付属体と位置合わせされる。表層シートの端部にある端部溝は、リブと連結可能なリング付属体の段と隣接して位置合わせされる。図1Bを参照して上記したように、表層シートの中心線孔及び端部溝は、組立品の対応するリング付属体と堅固に嵌合するサイズである。表層シートが配置された状態で、表層シートの中心線孔を貫通して突出した対応するリング付属体溝とリブ溝を連結させることによりリングにリブ52b等のリブが固定され、こうして表層シートが固定される。
図4は、表層シート及びリブの全てが組立品に取付けられた後の、本発明に従う実施形態における組立て済みのフィードホーンの斜視図を示す。本実施形態では、フィードホーンは通常のフラスト円錐(frusto−conical)構造であり、組立品の周囲に、シート58a,58b等の三つの表層シートと、リブ52a,52b等の六つの等しく離間したリブとを備える。
図5は図4のフィードホーンの斜視断面図であり、離間したリングを備える垂直方向にテーパづけられたフィードホーンの内壁と、組立品の複数の階層を取り囲む表層シートにより形成される傾斜した外壁とを示す。フィードホーンの内部構造は電気的に重要である。
図6は、本発明に従う実施形態におけるフィードホーンの部分斜視図であり、表層67等の表層が組立品に取付けられた後の、付属体65等のリング付属体63へのリブの取付けを図示している。表層の端部の端部溝及び中心線孔は、リング付属体が、表層により形成された外壁から突出できるように形成される。実施形態では、リング付属体は溝69等の溝を有し、一方、リブ63は、付属体の溝との堅固な連結に適したサイズ及び形状の溝72等の対応する溝を有する。リブ63が、表層を組立品に堅固に保持させるべくリング付属体に向かって押圧される前に、リブ63の溝は、対応するリング付属体の溝と位置合わせされる。
本実施形態では、単一の切片から作成された各リングが含まれるが、当業者には当然のように、リングが、フィードホーン組立品の完成前に連続的に組立てられる複数の切片から形成されてもよい。
品質管理工程では、要素の全てが正確な位置及び姿勢にあることを保証するために、寸法検査が構造体に対して実施される。組立品の各階層が構成された時、若しくは、組立品の複数の階層を含む要素の全てとリブとが互いに取付けられた時、構造体の接着が行われる。実施形態では、構成部品は、CFRP複合材料用の従来の接着剤を使用して互いに接着され、室温で硬化されてフィードホーン構造体が完成する。切片が互いに嵌合された後、カリフォルニア州、カルバー シティのイー.ブイ.ロバーツ&アソシエイツ(E.v.Roberts&Associates)から入手可能なハイソール(Hysol)956又は9395等の毛細管接着剤(capillary adhesives)を使用して、それらが所定の位置で接着される。あるいは、接着剤が継目の間の接合面の100%を良好に充填するものであってもよい。構成単位が組立てられた後、接着剤を使用した継目の各辺に隅肉が形成され得る。加えて、フィードホーンの内部の伝導性を増加させるために、完成したフィードホーンに、金属塗表層が噴霧又はめっきされる場合がある。この設計及び構成技術により、任務適合性があり、低コストであり、僅かな困難性又は経費で最後の段階での構造変更が可能な構造が提供される。本発明の実施形態が、幅広いサイズ及び構成に適合することは明らかである。
図7Aは半加工材74の平面図を示す。半加工材74は好ましくは軽量のCFRP複合材料からなり、本発明に従う実施形態では、リング76等の複数のリングと、リブ81等の複数のリブとが切取られる。
図7Aに図示した実施形態では、リング76等の十四個のリングが半加工材74から切取られ得る。各リングには、付属体78等の複数のリング付属体が設けられる。図7Aに図示した実施形態では、各リングには、四つの付属体が設けられている。しかし、当然のことながら、任意の実用的な数の付属体を用いてもよい。更に、各リングには、ほぞ穴79等の一連のほぞ穴が設けられる。後述するように、ほぞ穴は、バンドに形成されたほぞに適合するサイズである。実施形態では、リングの各々は、最小から最大まで変化する異なる直径を有する。
加えて、リブ81等の四つのリブも、同じ半加工材74から切取られ得る。各リブには、溝83等の一連の溝が設けられる。概して、リブは互いに同一のサイズ及び形状である。
図7Bは、バンド87等の複数のバンドを構成する第二の半加工材85の平面図を示す。図7Bに示すように、バンドの各々は異なる長さを有し、半加工材85から切取られ得る。各バンドには、ほぞ89等の一連のほぞが設けられる。ほぞは、リングにあるほぞ穴79(図7A)等のほぞ穴と堅固に嵌合するサイズである。
図8は、図7Aの半加工材74等の半加工材から切取られたリング98と、図7Bの半加工材85等の半加工材から切取られた対応するバンド92とを使用することにより構成された、自己固定のリング・バンド組立品の斜視図を示す。図8では、半加工材から切取られた平坦なバンドを曲げ、例えば、環状のバンドを形成するために接着されたダブラ96を使用してバンド92の端部を連結することにより、バンド92が形成される。
別の実施形態では、例えば、バンドが無端環状に前もって形成されている場合、ダブラは必要とされない。また別の実施形態では、例えば、各バンドが、複数のダブラを利用して組立てられる複数の切片を含んでもよい。
実施形態では、バンド92には、リング98への取付けのためのほぞ94等の複数のほぞが設けられる。図8に示すように、リング98は、付属体101等の等しく離間した四つのリング付属体を備え、各々は、強固な構造を形成するために、リブとの結合用の溝を備える。加えて、リング98は、リングの周縁に隣接し、かつバンドのほぞを受承するほぞ穴103等の複数のほぞ穴を備える。
図9は、図8のリング・バンド組立品の一部分の斜視図を示し、自己固定のリング・バンド組立品の構造におけるリング及びバンドの詳細な特徴を図示している。図11A及び11Bを参照して後述されるものと同様に、図9において、リング98のリング付属体101は、リブの対応するリブ溝を受承するための溝を備える。図9において、リング・バンド組立品を形成するために、ほぞ109a,109b等のバンド92上のほぞは、リングの対応するほぞ穴と位置合わせされ、対応するほぞ穴に挿入される。堅固なリング・ラップ組立構造を生成するために、リングのほぞ穴及びラップのほぞは、堅固に嵌合するサイズである。二つの組のほぞ穴が各リングに設けられてもよい。例えば、ほぞ穴107a,107b等の一つの組の上側のほぞ穴が、バンド92等の上側のバンドを受承するために配置されてもよく、そして、ほぞ穴105a,105b等の一つの組の下側のほぞ穴が、より小さな直径である下側のバンドを受承するために配置されてもよい。従って、下側のほぞ穴が、上側のほぞ穴の僅かに内側に配置される必要がある。
図10は、本発明に従う実施形態における、リング及びバンドの二つの階層の組立を説明する斜視図を示す。図10において、第一のリング・バンド組立品は、バンド112の一辺のほぞをリング114の対応するほぞ穴に位置合わせして、挿入することにより形成される。両側にほぞを備えるバンド112は、第二のリング116にも取付け可能である。追加のバンド118が第二のリング116に取付けられる。リング114上の付属体121a等のリング付属体と、リング116上の付属体121b等のリング付属体とは、リブ組付けのために互いに位置合わせされる。リング及びバンドの追加の階層が、マイクロ波又はRFのフィードホーン構造を形成するために、同様の方法で組立てられる。
図11A及び11Bはリブ123及びリング125の部分斜視図を示す。リブ123は、リブ溝127等の複数のリブ溝を備える。リブ溝127は、リング125のリング付属体129の溝132と位置合わせされる。リブ溝127は垂直な溝であり、一方、リング付属体溝132は水平な溝である。溝127,132が互いに位置合わせされた後、図11Bに示されたように、リブ123は、溝123,125を連結させるべく、リング125に向かって押圧される。リブ123の他の溝は、他のリングの付属体の対応する溝と位置合わせされ、連結される。同様に、他のリブの溝は、リング125上の残りの付属体と位置合わせされ、連結される。
図12〜14は、本発明の実施形態に従う、垂直壁のフィードホーン組立品134の斜視図、側断面図及び斜視断面図を示す。組立品134は、強固なフィードホーン構造を形成するために、リング138等のリング及びバンドの複数の階層を一緒に保持するリブ136等の等しく離間した四つのリブを備えた、通常のフラスト・ブリット(frusto−bullet)形状の構造を有する。
図14は、図12及び13の斜視断面図であり、離間したリングを備えるフィードホーンの内壁を示している。フィードホーンの内部構造は電気的に重要である。
図15Aは半加工材141の平面図を示す。半加工材141は、好ましくは軽量のCFRP複合材料からなり、例えば、本発明に従う実施形態における垂直壁のフィードホーンのために、リング143等の複数のリングが切取られ得る。図15Aに図示した実施形態では、リング143等の十五個のリングが半加工材141から切取られ得る。各リングには、ほぞ穴145等の一連のほぞ穴が設けられる。後述するように、ほぞ穴はバンドに形成されたほぞに適合するサイズである。実施形態では、リングの各々は、最小から最大まで変化する、異なる直径を有する。
図15Bは、バンド149等の複数のバンドが構成される第二の半加工材147の平面図を示す。図15Bに示すように、バンドの各々は異なる長さを有し、半加工材147から切取られ得る。各バンドには、ほぞ152等の一連のほぞが設けられる。ほぞは、リングのほぞ穴145(図15A)等のほぞ穴の内に堅固に嵌合するサイズである。
図16は、図15A及び15Bに図示した半加工材から切取られたリング及びバンドを使用したリング・バンド組立品の一部分の斜視図を示す。図16は、自己固定のリング・バンド組立品の構造におけるリング及びバンド154の詳細な特徴を図示している。バンド154は、半加工材147(図15B)等の半加工材から切取られたバンドのうちの一つを用いて形成することができる。環状のバンドを形成するために、ダブラ155が使用されてもよい。図16において、リング・バンド組立品を形成するために、ほぞ156a,156b等の、バンド154上のほぞは、リングの対応するほぞ穴と位置合わせされて、対応するほぞ穴内に挿入される。堅固なリング・ラップ組立構造を生成するために、リングのほぞ穴及びラップのほぞは、堅固に嵌合するサイズである。二つの組のほぞ穴が、各リングに設けられてもよい。例えば、ほぞ穴158a,158b等の一つの組の上側のほぞ穴が、バンド154等の上側のバンドを受承するために配置されてもよく、そして、ほぞ穴161a,161b等の一つの組の下側のほぞ穴が、より小さな直径である下側のバンドを受承するために配置されてもよい。従って、下側のほぞ穴が、上側のほぞ穴の僅かに内側に配置される必要がある。
図17は、本発明に従う実施形態におけるリング及びバンドの二つの階層の組立を説明する斜視図を示す。図17では、第一のバンド・リング組立品は、バンド163の一辺のほぞをリング165の対応するほぞ穴に位置合わせして、挿入することにより形成される。両側にほぞを備えるバンド163は、第二のリング167に取付けることもできる。追加のバンド169が第二のリング167にも取付け可能である。マイクロ波又はRFのフィードホーン構造を形成するために、リング及びバンドの追加の階層を同様の方法で組立てることができる。
図18〜21は、本発明の実施形態に従うフィードホーン組立品172の斜視図、側断面図及び斜視断面図を示す。組立品172は、通常のフラスト・ブリット形状の構造を有し、自己固定の方法で組立てられた、リング174等の一連のリング及びバンド176を含む。
図20及び21は、図18及び19のフィードホーンの斜視断面図を図示し、離間したリングを備えるフィードホーンの内壁を示している。フィードホーンの内部構造は電気的に重要である。
上記した様々な実施形態の構成部品は、任意の好適な材料から製造可能である。例えば、CFRPに加えて、他の好適な材料としては、金属、不変鋼(invar)等の合金、チタン、炭化珪素(SiC)セラミック、コンポーネント・マトリクス複合材料(CMC)等の複合材料が含まれ得る。
上記した様々な実施形態では、通常の円形断面を備えるものとして説明した。しかしながら、リング及び/又はバンドを適切に形作ることにより、所望の断面形状が実現可能であることを注記する。例えば、長方形、卵型、楕円形等の断面を備えるフィードホーンが組立てられてもよい。
特定の断面を備えるフィードホーンの底面を、異なる断面の導波管に接続するために、アダプタが利用されてもよい。例えば、そのようなアダプタを利用して、円形の断面を備えるフィードホーンを、長方形の断面を備える導波管に接続することができる。
本発明の特定の実施形態を開示したが、当然のことながら、添付した特許請求の範囲及びその正確に意図するものの範囲内において、種々の異なる変形及び組合せが可能であり、そのように予想されるであろう。従って、ここに示された的確な要約及び開示を制限する意図はない。
本発明に従う実施形態における、グラファイト繊維強化樹脂積層体の平面シート上の構成部品の半加工材を示す平面図。 グラファイト繊維強化樹脂積層体の追加の平面シート上の外周表層の半加工材を示す平面図。 構成部品の自己固定の特徴を示す斜視図。 構成部品の自己固定の特徴を示す斜視図。 本発明に従う実施形態での構成における中間の工程を示す斜視図。 本発明に従う実施形態における最終段階の組立品を示す斜視図。 本発明に従う実施形態における最終段階の組立品を示す斜視断面図。 本発明に従う実施形態におけるフィードホーンの部分斜視図。 本発明に従う実施形態における、グラファイト繊維強化樹脂積層体の平面シート上のリング及びリブの半加工材を示す平面図。 本発明に従う実施形態における、グラファイト繊維強化樹脂積層体の別の平面シート上のバンドの半加工材を示す平面図。 リング及びバンドの自己固定の特徴を示す斜視図。 本発明の一実施形態の構成における中間の工程を説明する、図8のリング及びバンドの一部を示す斜視図。 自己固定のリング・バンド組立品の二つの階層を示す斜視図。 本発明に従う実施形態における組立品の一つの段を示す斜視図。 本発明に従う実施形態における組立品の一つの段を示す斜視図。 本発明の実施形態に従う、組立て済みの垂直壁のフィードホーンの一側面での斜視図。 図12の組立て済みの垂直壁のフィードホーンの側面図。 図12及び13の組立て済みの垂直壁のフィードホーンの斜視断面図。 本発明に従う実施形態における、グラファイト繊維強化樹脂積層体の平面シート上のリングの半加工材を示す平面図。 本発明に従う実施形態における、グラファイト繊維強化樹脂積層体の別の平面シート上のバンドの半加工材を示す平面図。 本発明の一実施形態の構成における中間の工程を説明する、リング及びバンドの一部分の自己固定の特徴を示す斜視図。 自己固定のリング・バンド組立品の二つの階層を示す斜視図。 本発明の実施形態に従う、組立て済みの垂直壁のフィードホーンの斜視図。 図18の組立て済みの垂直壁のフィードホーンの側面図。 図18及び19の組立て済みの垂直壁のフィードホーンの斜視断面図。 図20に図示された断面図の一部分の詳細図。

Claims (2)

  1. 電気部品であって、
    一連の軸方向に離間したリングを含む中空の管状構造体と、
    電気的に意図された前記中空の管状構造体の内部構造を形成する前記リングと相互連結する少なくとも一つの外周の収容部材とを備え、
    電気部品の最終組立を円滑にするように、前記リング及び前記収容部材の各々は、前記リング及び前記収容部材を共に機械的に固定することを補助する相互結合可能な要素を含む、電気部品。
  2. 電気部品を組立てる方法であって、
    a)組立品を形成するために、相互結合手段を利用して収容部材をリングに取付け、
    b)相互結合手段を利用して、追加のリングを前記組立品に取付け、
    c)相互結合手段を利用して、追加の収容部材を前記組立品に取付け、
    d)所望の組立品の長さが達成されるまで、工程b)及びc)を繰り返すことを備える、方法。
JP2004504262A 2001-06-09 2002-06-07 高周波部品及びその製造方法 Expired - Lifetime JP4160045B2 (ja)

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