JP2005510882A - 高温プロセスに適合するpFET用金属ゲート電極およびその製作方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】Re、Rh、Pt、IrまたはRu金属によるCMOSゲート電極ならびにこのようなゲート電極を含むCMOS構造を製作する方法を提供すること。
【解決手段】これらの金属の仕事関数により、これらの金属は現在のpFET要件に適合している。例えば、これらの金属は、化学的な変化を受けずに適切にパッシベーション処理された界面を生成するのに必要な高水素圧に耐えることができる。SiO2、Al2O3その他の適切な誘電体材料などの誘電体層上におけるこれらの金属の熱安定性により、これらの金属は1000℃までの後処理温度に適合性がある。Reを被着させる際に、原材料としてRe2(CO)10を用いる低温/低圧CVD技術を利用する。
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Description
本発明は、一般に、p型電界効果トランジスタ用の金属ゲート電極およびこのような電極を製作する方法に関し、より詳細には、p型FETの高温プロセスに適合する金属ゲート電極およびこのような電極を製作する方法に関する。
金属ゲートを伴うCMOS(相補型金属酸化膜半導体)集積回路デバイスの製作では、(クヌーセン・セルからの)熱蒸着法および化学気相成長法を含めて金属ゲート用の被着方法が好ましい。というのは、そうすると、ゲート誘電体の損傷および長期的な信頼性の問題が最小限に抑えられるからである。スパッタ法および電子ビーム蒸着法など他の物理気相成長プロセスでは、形成ガスまたは水素アニール処理によって損傷の一部が修復され得るとしても、長期的な信頼性の問題になると考えられるゲート誘電体の損傷が生じる。一般に、化学気相成長法は、より広範囲の様々な金属ゲート統合化方式を用いることができる比較的アスペクト比が大きいダマシン・フィーチャを充填するのに利用することができるという点で熱蒸着法に比べて利点を有する。
当技術分野の他の技術者によって化学気相成長技術を用いたRe金属の被着が試みられてきたが、ハロゲン化物前駆体を用いてRe被膜を被着させると、ハロゲン化物が組み込まれ、かつ成長温度が高いという問題が生じる。前駆体としてRe2(CO)10を用いることによってRe被膜を成長させる他の試みでは、炭素濃度が高い被膜が生じる。
半導体応用でレニウムカルボニルを使用できる可能性があるが、超薄(すなわち、50Å未満の)ゲート誘電体材料などの誘電体材料上にpチャネルReゲートを設けるのに、CVD原材料としてRe2(CO)10を用いた開示はない。
したがって、本発明の目的は、従来の方法の欠点や短所がないReゲート電極を伴うMOS(金属酸化膜半導体)デバイスを製作する方法を提供することである。
本発明の別の目的は、Re、Rh、Pt、IrおよびRuから選択した金属で製作したゲート電極を伴う金属酸化膜半導体デバイスを製作する方法を提供することである。
本発明の別の目的は、pFET要件に適合する仕事関数を有するRe、Rh、Ir、PtまたはRuから製作したゲート電極を含む電界効果トランジスタを製作する方法を提供することである。
本発明の別の目的は、化学的な変化を受けずに適切なパッシベーション処理が施された界面を生成するのに必要な高水素圧に耐えることができる金属から形成したゲート電極を備える電界効果トランジスタを提供することである。
本発明の別の目的は、1000℃までの後処理温度に適合するゲート電極を備える電界効果トランジスタを製作する方法を提供することである。
本発明は、Re、Rh、Pt、IrまたはRu金属を用いることによってCMOSゲート電極を製作する方法を提供する。これらの金属の仕事関数により、これらの金属は現在のpFET要件に適合している。例えば、Reを用いるとき、この金属は、化学的な変化を受けずに適切にパッシベーション処理された界面を生成するのに必要な高水素圧に耐えることができる。SiO2、Al2O3、ZrO2、HfO2および他の様々な誘電体上におけるReの熱安定性により、Reは1000℃までの後処理温度に適合性がある。本発明の方法により、FETを製作し、かつこれらのFETの金属/誘電体界面をパッシベーション処理して、Dit=5×1010/cm2eVよりも良好な界面状態にすることができる。
pFETの金属ゲートにより、ポリシリコンの空乏の問題が回避され、デバイス・ゲート・スタックの実効容量を減少させることができる。金属ゲートを使用することにより、そうでない場合にポリシリコン・ゲートで求められるよりもゲート誘電体を厚くすることができる。同時に、これらの金属ゲート材料の熱安定性により、これらの金属は、標準の後処理技術、すなわち活性化アニールなどに完全に適合する。
本発明の方法におけるRe、Rh、Ir、PtおよびRuを用いた電極の製作は、Reを被着させるときには、原材料としてRe2(CO)10を用いる低温/低圧CVD技術を利用することによって実現される。
好ましい実施形態では、ソースおよびドレイン領域を有する半導体基板と、この半導体基板上の厚さ100Å未満のゲート誘電体層と、このゲート誘電体層の上面上にRe、Rh、Ir、PtおよびRuからなる群から選択した金属で形成したゲートとを含む金属酸化膜半導体デバイスが提供される。
金属酸化膜半導体デバイスでは、このゲート誘電体層の厚さは50Å未満であることが好ましい。このゲート誘電体層は、SiO2、窒化SiO2、Si3N4、酸化金属およびそれらの混合物から選択した材料で形成することもできるし、シリケートおよび窒素添加物を含むAl2O3、HfO2、ZrO2、Y2O3、La2O3およびそれらの混合物から選択した材料で形成することもできる。特定の一実施形態では、この誘電体層をSiO2で形成し、半導体基板をシリコンで形成し得る。この半導体基板は、p型またはn型とし得る。この半導体基板は、シリコン、SiGe、SOI、Ge、GaAsおよび有機半導体からなる群から選択した材料で形成することができる。
本発明は、少なくとも1つのソースおよび1つのドレイン領域を有する半導体基板と、この半導体基板上の厚さ100Å未満のゲート誘電体層と、このゲート誘電体層の上面上にRe、Rh、Ir、PtおよびRuからなる群から選択した金属で形成したゲートとを含む電界効果トランジスタをさらに対象とする。
この電界効果トランジスタでは、好ましくはゲート誘電体層は50Å未満の厚さを有し、SiO2、窒化SiO2、Si3N4、酸化金属およびそれらの混合物からなる群から選択した材料で形成し得る。さらに、この誘電体材料層は、シリケートおよび窒素添加物を含むAl2O3、HfO2、ZrO2、Y2O3、La2O3およびそれらの混合物から形成し得る。この半導体基板は、p型またはn型とすることができ、シリコン、SiGe、SOI、GeおよびGaAsから選択した材料で形成することができる。特定の一実施形態では、このFETの半導体基板はシリコンから形成し、ゲート誘電体層はSiO2から形成する。
さらに、本発明は、半導体デバイス中に金属接点を形成する方法を対象とする。この方法は、あらかじめ処理した半導体基板の活動表面上に厚さ100Å未満の誘電体材料層を被着させる操作ステップと、化学気相成長法によってRe、Rh、Pt、IrおよびRuからなる群から選択した金属の層を被着させる操作ステップと、この金属層をパターン化し誘電体層上に金属電極を形成する操作ステップと、形成ガス(Ar/H2またはN2/H2)中でこれらの金属電極および誘電体層をパッシベーション処理する操作ステップとによって実施することができる。
半導体デバイス中に金属接点を形成する方法は、SiO2、窒化SiO2、Si3N4、酸化金属およびそれらの混合物から選択した材料によって、好ましくは50Å未満の薄い厚さの誘電体層を被着させるステップをさらに含む。さらに、この誘電体材料層は、シリケートおよび窒素添加物を含むAl2O3、HfO2、ZrO2、Y2O3、La2O3またはそれらの混合物などの材料で被着させることができる。この方法は、原材料としてRe2(CO)10を用いる化学気相成長技術によってRe金属層を被着させるステップをさらに含み得る。この方法は、形成ガス中でアニールすることによって金属電極および誘電体材料層をパッシベーション処理するステップをさらに含み得る。この方法は、高圧水素プロセス中で金属電極および誘電体材料層をパッシベーション処理するステップをさらに含み得る。この方法は、半導体基板全体にわたってほぼ均一な厚さで、すなわち、10%未満の厚さの変動で金属層を被着させるステップをさらに含み得る。
本発明の上記その他の目的、特徴および利点は、以下の詳細な説明および添付の図面から明らかである。
本発明は、Re、Rh、Pt、IrまたはRu金属を組み込んだCMOSゲート電極を製作する方法を開示する。これらの金属の仕事関数により、これらの金属は現在のp−FET要件に適合している。以下に示すp−FET用ゲート材料の要件は、被着技術、物理的な特徴づけ、電気的な特徴づけおよび統合化という4つの区分に分かれる。
被着技術
本発明におけるRe電極の製作は、原材料としてRe2(CO)10を用いる低温/低圧CVD技術を利用することによって実現される。具体的には、本発明の方法は、(a)半導体基板上に配置した超薄ゲート誘電体材料などの誘電体材料上に直接Reの均一な層を被着させるステップであって、Re層を形成するのに十分な条件下で、原材料としてRe2(CO)10を用いるCVDによって実施するステップと、(b)Alを被着させ、この構造を選択的に湿式エッチングすることを含む簡単なパターン化プロセスあるいは標準リソグラフィ技術を用いてステップ(a)で形成した構造をパターン化して、この誘電体材料上にテスト・コンデンサまたはpチャネルReゲートを含むMOSトランジスタを形成するステップとを含む。本発明の方法では、誘電体材料上にRe層を被着させるのに化学的な活性化ステップを必要としないことを強調しておく。本発明は、本発明の方法に従って準備した少なくとも1つのpチャネルReゲートを含むFETなどのMOSデバイスも提供する。本発明のデバイスは、既存技術に従って準備した従来型デバイスと同等のゲート漏れ量を示し、これらのデバイスは、金属ゲート仕事関数に関して許容される値を示す。本発明の好ましい実施形態によれば、このRe電極は、
(A)誘電体材料上にRe層を被着させるステップであって、原材料としてRe2(CO)10を用いるCVD(化学気相成長法)によって実施するステップと、
(B)このRe層をパターン化して、誘電体材料上にRe電極を形成するステップと、
(C)従来方式の形成ガス・アニールまたは高圧水素を用いて、Re材料および誘電体材料をパッシベーション処理して、極めて低い界面電荷密度のデバイス構造を生成するステップとを含む方法によって製作する。
本発明におけるRe電極の製作は、原材料としてRe2(CO)10を用いる低温/低圧CVD技術を利用することによって実現される。具体的には、本発明の方法は、(a)半導体基板上に配置した超薄ゲート誘電体材料などの誘電体材料上に直接Reの均一な層を被着させるステップであって、Re層を形成するのに十分な条件下で、原材料としてRe2(CO)10を用いるCVDによって実施するステップと、(b)Alを被着させ、この構造を選択的に湿式エッチングすることを含む簡単なパターン化プロセスあるいは標準リソグラフィ技術を用いてステップ(a)で形成した構造をパターン化して、この誘電体材料上にテスト・コンデンサまたはpチャネルReゲートを含むMOSトランジスタを形成するステップとを含む。本発明の方法では、誘電体材料上にRe層を被着させるのに化学的な活性化ステップを必要としないことを強調しておく。本発明は、本発明の方法に従って準備した少なくとも1つのpチャネルReゲートを含むFETなどのMOSデバイスも提供する。本発明のデバイスは、既存技術に従って準備した従来型デバイスと同等のゲート漏れ量を示し、これらのデバイスは、金属ゲート仕事関数に関して許容される値を示す。本発明の好ましい実施形態によれば、このRe電極は、
(A)誘電体材料上にRe層を被着させるステップであって、原材料としてRe2(CO)10を用いるCVD(化学気相成長法)によって実施するステップと、
(B)このRe層をパターン化して、誘電体材料上にRe電極を形成するステップと、
(C)従来方式の形成ガス・アニールまたは高圧水素を用いて、Re材料および誘電体材料をパッシベーション処理して、極めて低い界面電荷密度のデバイス構造を生成するステップとを含む方法によって製作する。
本発明は、MOSデバイス上に存在する誘電体材料上に直接pチャネルReゲートを製作する方法を提供する。この方法に従って生成したpチャネルReゲートは、MOSデバイス上に見られる超薄ゲート誘電体材料に適合し、その比抵抗値は、100nmの被膜厚さにおける理想的なバルク値の3倍以下である。
本発明の方法によれば、Re層を形成するのに十分な条件下で、原材料としてRe2(CO)10を用いるCVDを利用することによって、半導体基板の上面上にある誘電体材料の表面上にRe層を直接被着させる。次いで、当業者に周知の従来技術を利用して、このRe層を含む構造をパターン化する。
このCVD装置は、グラファイト製サンプル・ホルダ・カートリッジを含むロード・ロック式コールドウォール型のステンレス鋼製反応器を備える。さらに、この反応器は、被着中にサンプルを加熱する窒化ホウ素製のヒータ・アセンブリと、被着中に10−7トールの基底圧を提供する圧力制御用の2つの超高真空ターボ分子ポンプとを含む。ただし、本発明の方法は、加熱方法またはヒータを構成する材料あるいはサンプル・ホルダの性質によって限定されるものではない。
原材料のジレニウムデカカルボニル(Re2(CO)10)を、ステンレス鋼バルブを介して反応チャンバ内に導入し、この反応器内に入れたテスト・ウエハに送る。白色の固体である原材料のRe2(CO)10をガラス・チューブに入れ、被着中、20℃〜70℃の範囲の一定温度に維持する。搬送ガスとしてAr(または任意の不活性ガス)を用いて前駆体を送達し、成長が行われる間、Ar搬送ガス流および基板温度によってチャンバ圧を制御する。
Re2(CO)10のCVDは、約300℃〜約550℃の温度で行う。より好ましくは、CVDによるReの被着は、約350℃〜約450℃の温度で行う。CVD中、反応器(前駆体および搬送ガス)の全圧力は約3×10−2トールである。一般に、このCVDプロセスは約10分〜約5時間行う。前駆体温度をより高くし、搬送ガスの流れをより速くすることによって、被着速度をより大きくすることができる。
上記の条件下で、約2nm〜約200nm、より好ましくは約20nm〜約100nmの厚さを有するRe層を直接誘電体材料上に被着させることに留意されたい。
本発明で用いる超薄誘電体材料は、SiO2、窒化SiO2、Si3N4、酸化金属およびそれらの混合物または組合せを含む。当業者に周知の技術を利用して、本発明で用いる誘電体を成長させ、被着させ、また反応させることができる。本明細書で前に述べたゲート誘電体材料のうち、SiO2、薄く窒化した(窒化物の全含有量が5%以下の)SiO2、Al2O3、HfO2、またはZrO2、Y2O3、La2O3が好ましい。
Re層を被着させた後で、ハード・マスクとしてAlを用いるか、あるいは、当業者に周知の標準リソグラフィ技術を用いて、これらのサンプルをパターン化する。これは、CVDによるRe層の表面上にフォトレジストを配置することと、このフォトレジストを現像することと、エッチング技術によってフォトレジストを含まない区域を取り除くこととを含む。エッチングは、当業者に周知の湿式または乾式技術を用いて実施し得る。湿式エッチングを用いるときには、化学的エッチング液は、H2O2、クロム酸、リン酸、酢酸などからなる群から選択する。本発明で用いる好ましい化学的エッチング液はH2O2である。本発明で乾式化学エッチングを用いるときには、RIE(反応性イオン・エッチング)、IBE(イオン・ビーム・エッチング)またはレーザ・アブレーションによってエッチングを実施することができる。
MOSコンデンサを形成するために、2nm〜20.0nmの範囲の厚さを有する熱成長させた二酸化シリコンの薄膜を用いてテスト試料を製作した。厚さ1nm〜2nmの誘電体を含むデバイス構造ウエハおよび分子線エピタキシによって成長させたAl2O3層に関して追加の実験を行った。約0.1オーム・センチメートル〜約0.2オーム・センチメートルの比抵抗を有するp型またはn型ウエハ上に被膜を成長させた。テスト・ウエハ上一面にRe被膜を被着させた。具体的には、基底圧が約10−7トールのロード・ロック式ステンレス鋼製の反応器内で、Reの被着を行った。ジレニウムデカカルボニルRe2(CO)10を原料ガスとして用い、ステンレス鋼バルブを介して反応器内に入れ、サンプル上に送った。搬送ガスとしてArを用いることによって前駆体の送達速度を制御した。グラファイト製サンプル・ホルダ・カートリッジ上にサンプルを導入し、それを、反応器チャンバ内に配置したヒータ・アセンブリ内に導入した。被着は200℃〜550℃の温度範囲で行った。このシステム中での成長速度は、概ね、前駆体および被着温度に応じて約0.1〜1.5nm/分とした。
物理的な特徴づけ
金属ゲート材料には、統合化方式に応じて、アグロメレーションからの(好ましくは1000℃までの)熱安定性、誘電体との反応(ゲート金属と誘電体の間の中間層の形成)およびアニール雰囲気(FG(形成ガス)またはH(水素))との反応からの熱安定性が求められる。第2の要件は、ゲート接点に対しては1〜2ミリオーム・センチメートル、より好ましくは、ゲート接点かつ局所的な相互接続に用いるには50マイクロオーム・センチメートル未満(シリサイドのものと同様)という低い比抵抗である。レニウムの比抵抗は、SiO2およびAl2O3誘電体上で1000℃のFGアニール処理後、50マイクロオーム・センチメートルよりも小さくなる。
金属ゲート材料には、統合化方式に応じて、アグロメレーションからの(好ましくは1000℃までの)熱安定性、誘電体との反応(ゲート金属と誘電体の間の中間層の形成)およびアニール雰囲気(FG(形成ガス)またはH(水素))との反応からの熱安定性が求められる。第2の要件は、ゲート接点に対しては1〜2ミリオーム・センチメートル、より好ましくは、ゲート接点かつ局所的な相互接続に用いるには50マイクロオーム・センチメートル未満(シリサイドのものと同様)という低い比抵抗である。レニウムの比抵抗は、SiO2およびAl2O3誘電体上で1000℃のFGアニール処理後、50マイクロオーム・センチメートルよりも小さくなる。
シンクロトロン光源を利用する3つの技術を用いて、SiO2およびAl2O3の誘電体と接触する様々なゲート材料の熱安定性を調べた。このような技術には、金属電極が誘電体層またはFGアニール雰囲気と相互作用しているかどうかを決定するのに用いる時間分解X線回折分析、温度の関数として被膜がアグロメレーションまたは熱劣化を受けているかどうかを決定するのに用いる光散乱および抵抗分析が含まれる。FG中で100°から1000℃にサンプルを加熱しながら、これら3つのすべての技術を同時にモニタした。500nm SiO2または300nm Al2O3上の30nmのRe、Rh、PtまたはIrのスタックに関して、アニール処理中に熱劣化または反応がなかったことを確認した。図1〜2および図3〜4に、FG中で1000℃にアニールした50nm CVD Re/500nm SiO2および30nm PVD Re/300nm Al2O3スタックからの結果を示す。図1および図3に、光散乱信号に変化が生じず、アニール処理中に金属表面が滑らかなままであることが示されている。
図1に、横方向長さが異なる2つのスケール(0.5ミクロンおよび5ミクロン)における光散乱分析を示す。図の変化は、被膜中に生じた表面粗さを示し、このために熱劣化が生じる。この場合、変化が見られず、この被膜ではアグロメレーションが生じていないことを示している。図2に、500nm SiO2上の50nm CVD Re被膜を、FG中で3℃/秒で1000℃までアニールした結果を示す。輪郭プロット(回折角と温度の関係であり、スケールはX線強度を示し、上部および下部領域が最低強度、中央領域が最高強度)は、温度の関数としてReの(002)の向きに従う。アニールすると、格子が広がるためにピークがより小さな角度に直線的に移動し、約750℃で強度が増加し、それによって被膜中の結晶粒成長を示していることに留意されたい。誘電体またはアニール雰囲気との反応を示す追加のピークまたは(002)ピークの強度の減少は示されていない。
図3に、横方向長さが異なる2つのスケール(0.5ミクロンおよび5ミクロン)における光散乱分析を示す。図の変化は、被膜中に生じた表面粗さを示し、このために熱劣化が生じる。この場合、変化が見られず、この被膜ではアグロメレーションが生じていないことを示している。図4に、300nm Al2O3上の30nmのPVD Re被膜を、FG中で3℃/秒で1000℃までアニールした結果を示す。輪郭プロット(回折角と温度の関係であり、色スケールはX線強度を示し、上部および下部領域が最低強度、中央領域が最高強度)は、温度の関数としてReの(002)の向きに従う。アニールすると、格子が広がるためにピークがより小さな角度に直線的に移動することに留意されたい。誘電体またはアニール雰囲気との反応を示す追加のピークまたは(002)ピークの強度の減少は示されていない。
ここで用いた時間分解技術では、SiO2またはAl2O3誘電体と接触するRe、Rh、PtおよびIrのゲート材料に関する熱劣化または反応の徴候は示されなかった。時間分解X線回折技術は、厚さが約4〜5nmよりも厚い中間層を形成するゲート金属と誘電体の間の反応にしか感度がない。この界面において相互作用があったかどうかを決定するためのより精密な検査としてX線反射分析を用いた。この技術では、数Å程度の金属−誘電体界面における粗さの変化を検出することができ、それによって相互作用が示される。この技術により、存在する各層の厚さの変化を決定することもできる。このようにして、誘電体層が薄くなる場合、あるいは、中間層が形成される場合には、これが金属と誘電体の間の相互作用を示すことになろう。この技術がもたらす別の結果は、被膜の表面粗さが示されることである。表1にそれらの結果をまとめる。被着させたままだと、CVDによるRe被膜の表面粗さは、PVDに比べて6〜7倍も大きいことに留意されたい。450℃/30分の形成ガス・アニール処理の後で、Re、RhおよびIrのサンプルの界面粗さはわずかしか増加せず、金属と誘電体の間の相互作用がほとんどないことを示している。実際、Pt被膜は、FGアニール処理の後でより滑らかになった。SiO2およびAl2O3上のRe被膜では、FGアニール処理の後で誘電体の厚さに変化がなかった。これらの結果から、この場合も、450℃のFGアニール処理の後で、Re、Rh、PtおよびIrゲート金属材料および誘電体の間で相互作用がないことがわかる。中間層形成の例として、FGアニール処理の後で、極めて反応性の高い材料であるチタンを、SiO2上のゲート金属として用いる場合、中間層がはっきりと確認され、金属と誘電体の間の反応が示される。
図5および図6に、Re、Rh、PtおよびIrのPVDによる30nmの被膜の比抵抗が、様々な熱処理(FG中、3℃/秒で450℃、550℃、750℃および1000℃までアニール)を受けた後で、50マイクロオーム・センチメートル未満に維持されることを示す。図5に500nmのSiO2誘電体上に被着させた被膜、図6に300nmのAl2O3誘電体上に被着させた被膜についての結果を示す。これらの結果から、これらの被膜は熱的に安定であり、標準の高温統合化方式において、ゲート接点としてだけでなく、局所的な相互接続部としても用いることができることが示される。
CVDにより被着させたSiO2上のRe被膜は、X線回折分析によって強い(002)テクスチャを示す。このテクスチャ化された被膜は、厚さ100nm未満の被膜について成長温度とは無関係に観察された。図7に、標準のθ/2θ X線回折の回折図を示す。図では、約40.5° 2θのところで強いRe(002)テクスチャ・ピークが示されている。図8に、カイ・スキャン(ファイバ・プロット)を示す。これは、この被膜の大きくテクスチャ化された性質をさらに示している。
電気的な特徴づけ
ゲート金属pFET接点の場合、シリコンの価電子帯端(Ev)から約0.2eV以内の仕事関数が必要である。Re金属ゲート材料の仕事関数は、4.6eVと5.0eVの間で確定された。この仕事関数に加えて別の重要な問題は界面捕捉電荷であり、これは、被着後に、水素アニール処理によって最小限に抑えることができる。従来方式の処理はFGアニールであるが、400トールの水素を350℃で用いる新しいプロセスにより、優れた結果が得られることが示されている。Reゲート金属では、材料が化学的な変化を受けずに適切にパッシベーション処理された界面を生成するのに必要な高水素圧を用いることによって、Dit(界面捕捉電荷)が3〜4×1010/cm2eV1に低減される。
ゲート金属pFET接点の場合、シリコンの価電子帯端(Ev)から約0.2eV以内の仕事関数が必要である。Re金属ゲート材料の仕事関数は、4.6eVと5.0eVの間で確定された。この仕事関数に加えて別の重要な問題は界面捕捉電荷であり、これは、被着後に、水素アニール処理によって最小限に抑えることができる。従来方式の処理はFGアニールであるが、400トールの水素を350℃で用いる新しいプロセスにより、優れた結果が得られることが示されている。Reゲート金属では、材料が化学的な変化を受けずに適切にパッシベーション処理された界面を生成するのに必要な高水素圧を用いることによって、Dit(界面捕捉電荷)が3〜4×1010/cm2eV1に低減される。
Re被膜の被着後、湿式エッチング用のハード・マスクとして、厚さ60nmの蒸着Alドットを用いてコンデンサをパターン化した。H2O2を用いてレニウム被膜を湿式エッチングした。こうして、約1×10−6〜約1×10−2cm2の範囲の面積でコンデンサ構造を形成した。さらに、デバイス構造ウエハ用の標準のリソグラフィ技術を用いて湿式エッチングによってRe被膜をパターン化した。
高周波および準静的容量−電圧(C−V)技術ならびに電流−電圧(I−V)技術を用いて、Re被膜コンデンサをテストした。図9に、約4.3nmの厚さを有するSiO2誘電体上に形成したReゲート・コンデンサ構造の典型的なC−Vデータを示す。n型シリコン・ウエハ上に形成したコンデンサについてのデータを示す。破線および実線は、400℃で約30分間、Hを10%含む窒素中で実施する金属ゲート被着後の標準FGA(形成ガス・アニール)ステップ前後のC−Vデータを示す。
このC−Vデータの分析から、FGAにかけたサンプルでは界面状態密度が3〜4×1011cm−2eV−1という低い値であることが示される。図9に示すように、被着させたままのサンプルには欠陥状態がいくらか存在するが、これは標準のFGAステップによって取り除くことができる。誘電体の厚さが2〜20nmの他のReコンデンサについてC−Vデータが得られ、仕事関数は5.0eVと求められた。このことは、それ自体で、この金属ゲートのフェルミ・レベルがシリコンの価電子帯端の極めて近くに位置することを示しており、Reがp−FET MOS構造に適切な選択であることを示している。
従来方式のFGAにより、許容可能な範囲の界面状態密度が得られるが、この値は、新たに開発された高圧H2アニール・プロセスを用いることによって改善することができる。このプロセスは、Heランプ・ヒータを用いるロード・ロック式チャンバ内で実施する。パターン化したサンプルをこのチャンバ内に入れ、350℃に維持し、一般に400トールの高圧H2を30分間導入する。このプロセスにより、界面状態密度が、(3〜4)×1010cm−2eV−1に減少する。図10に、酸化物の厚さが約20nmのReコンデンサ構造について、高圧アニール・プロセス後の典型的な高周波および準静的C−Vデータを示す。
図11および図12に、酸化物の厚さが2nmのReを用いたコンデンサ・デバイス構造に関するC−VおよびI−Vデータを示す。破線および実線は、標準のFGAステップ前後のC−VおよびI−Vデータを示す。これらのデータは、Reコンデンサが、2nmという薄いゲート誘電体上で機能し、その漏れ電流が標準のポリシリコン・ベースのコンデンサのものと同じくらい低いことを示している。
図13に、厚さ約6nmのAl2O3誘電体上に形成したReコンデンサ構造に関するC−Vデータを示す。このコンデンサは、n型シリコン・ウエハ上に形成したものである。フラット・バンド電圧は、SiO2上とほぼ同じ約0.48eVであった。これは、誘電体としてAl2O3を用いるpチャネル金属ゲート用の電極材料としてReを用いることができることを示している。図13は、本発明に従って厚さ6nmのAl2O3被膜上に形成したReコンデンサ構造について、FGA後の高周波および準静的容量−電圧のグラフである。
統合化
選択する統合化方式により、ゲート金属/誘電体が持ちこたえなければならない最大温度が決まる。
選択する統合化方式により、ゲート金属/誘電体が持ちこたえなければならない最大温度が決まる。
1.ソースおよびドレインの活性化アニールの前に誘電体およびポリシリコン接点が定位置にある標準のCMOSプロセスでは、このスタックは、1000℃の熱処理に持ちこたえなければならない。上記で説明したように、Re、Rh、Pt、IrおよびRuは、少なくとも数秒間、熱劣化せずにこのような処理に耐えられる。
2.2つの追加の可能な統合化方式は、ソースおよびドレインのシリサイド形成前、ただし活性化アニールの後で、金属/誘電体の組合せを定位置に配置することを含む。この場合、この組合せは、CoSi2を形成するために750℃でのアニール処理に持ちこたえなければならない。
3.最後の統合化方式では、標準のプロセス(すなわち、ポリシリコンのフロー)に従う。スタックを構築した後で、ポリシリコンをエッチング除去し、誘電体を被着させ、その後、ダマシン・フィーチャに金属を充填する(CVDプロセス)。次いで、CMP(化学機械研磨)を用いてこの構造を平坦化する。この方式では、最高プロセス温度は400℃である。
本発明を例示的に説明してきたが、ここで用いた用語は限定的なものではなく、説明の文言の性質をもつものであることを理解されたい。
さらに、好ましい実施形態に関して本発明を説明してきたが、これらの教示は本発明の他の可能な変形形態に容易に適用されることが当業者には理解されよう。
Claims (17)
- ソースおよびドレイン領域を有する半導体基板と、
前記半導体基板上の厚さ100Å未満のゲート誘電体層と、
前記ゲート誘電体層上面上で、Re、Rh、Ir、PtおよびRuからなる群から選択した金属で形成したゲートとを備える、金属酸化膜半導体(MOS)デバイス。 - 前記ゲート誘電体層の厚さが50Å未満である、請求項1に記載の金属酸化膜半導体デバイス。
- SiO2、窒化SiO2、Si3N4、酸化金属およびそれらの混合物からなる群から選択した材料で前記ゲート誘電体層を形成する、請求項1に記載の金属酸化膜半導体デバイス。
- シリケートおよび窒素添加物を含むAl2O3、HfO2、ZrO2、Y2O3、La2O3およびそれらの混合物からなる群から選択した材料で前記ゲート誘電体層を形成する、請求項1に記載の金属酸化膜半導体デバイス。
- 前記誘電体層をSiO2で形成する、請求項1に記載の金属酸化膜半導体デバイス。
- 前記半導体基板が、少なくとも1つのソースおよび1つのドレイン領域を有する、請求項1に記載の金属酸化膜半導体デバイス。
- 前記半導体基板がp型またはn型である、請求項1に記載の金属酸化膜半導体デバイス。
- シリコン、SiGe、SOI、Ge、GaAsおよび有機半導体からなる群から選択した材料で前記半導体基板を形成する、請求項1に記載の金属酸化膜半導体デバイス。
- 前記半導体基板をシリコンで形成する、請求項1に記載の金属酸化膜半導体デバイス。
- 少なくとも1つのソースおよび1つのドレイン領域を有する半導体基板と、
前記半導体基板上の厚さ100Å未満のゲート誘電体層と、
前記ゲート誘電体層上面上で、Re、Rh、Ir、PtおよびRuからなる群から選択した金属で形成したゲートとを備える、電界効果トランジスタ(FET)。 - あらかじめ処理した半導体基板の活動表面上に、厚さ100Å未満の誘電体材料層を被着させるステップと、
化学気相成長法によって、Re、Rh、Pt、IrおよびRuからなる群から選択した金属の層を被着させるステップと、
前記金属層をパターン化して前記誘電体層上に金属電極を形成するステップと、
形成ガス中で前記金属電極および前記誘電体層をパッシベーション処理するステップとを含む、半導体デバイス中に金属接点を形成する方法。 - SiO2、窒化SiO2、Si3N4、酸化金属およびそれらの混合物からなる群から選択した材料によって前記誘電体層を被着させるステップをさらに含む、請求項11に記載の半導体デバイス中に金属接点を形成する方法。
- 50Å未満の厚さで前記誘電体層を被着させるステップをさらに含む、請求項11に記載の半導体デバイス中に金属接点を形成する方法。
- シリケートおよび窒素添加物を含むAl2O3、HfO2、ZrO2、Y2O3、La2O3およびそれらの混合物からなる群から選択した材料によって前記誘電体層を被着させるステップをさらに含む、請求項11に記載の半導体デバイス中に金属接点を形成する方法。
- 前記化学気相成長法によって、原材料としてRe2(CO)10を用いることによってRe金属層を被着させるステップをさらに含む、請求項11に記載の半導体デバイス中に金属接点を形成する方法。
- 形成ガス中でアニールすることによって、前記金属電極および前記誘電体材料層をパッシベーション処理するステップをさらに含む、請求項11に記載の半導体デバイス中に金属接点を形成する方法。
- 前記半導体基板全体にわたって、厚さの変動が10%未満のほぼ均一な厚さで、前記金属層を被着させるステップをさらに含む、請求項11に記載の半導体デバイス中に金属接点を形成する方法。
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