JP2005353254A - 2次元ビーム調節用走査ミラーを用いる光記録装置 - Google Patents

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Abstract

【課題】ホログラフィック記録媒質などへのデータ記録の際、1次元信号ビームを走査ミラーにより2次元信号ビームに変換させることで、空間光変調器の製作時に要求される工程過程を大幅に減らす光記録装置を提供する。
【解決手段】ビームを発生し、発生したビームを両方向に分散させて照射する光発生および照射手段と、前記光発生および照射手段から一定角度に入射する参照ビームの照射角を変換させて、相違した角度の参照ビームを記録媒質に照射する参照ビーム照射手段と、前記光発生および照射手段から入射するビームを回折および空間変調させて、1次元信号ビームを発生して照射する1次元信号ビーム発生手段と、前記1次元信号ビーム発生手段から照射される1次元信号ビームを左右両方向に反射させて2次元信号ビームを前記記録媒質に照射する2次元信号ビーム照射手段とを含んでなる。
【選択図】図2a

Description

本発明は1次元回折型光変調器を用いる光記録装置に関する。さらに詳しくは、ホログラフィック記録媒質などへのデータ記録の際、1次元信号ビームを走査ミラーにより2次元信号ビームに変換可能なホログラフィック光記録装置に関するものである。
現在、半導体レーザ、CCD(Charge Coupled Device)、LCD(Liquid Crystal Display)などを応用したホログラフィックデジタルデータ記憶システム(Holographic Digital Data Storage System)が活発に研究/開発されている。ホログラフィックデジタルデータ記憶システムは、大容量の記憶能力と超高速データ伝送速度の利点を持っているため、指紋を記憶し再生するための指紋認識装置、ディスプレイ装置などとして実用化されているだけでなく、その応用分野も次第に拡大されている。
このようなホログラフィックデジタル記憶システムは、対象物体から伝達された物体光と基準光を干渉させた後、この干渉により発生する干渉模様を、干渉模様の強度(amplitude)および位相(phase)によって違って反応する光屈折性クリスタルまたはポリマーのような記憶媒体に記録することにより、2進データからなってページ単位の3次元状のホログラフィックデジタルデータを記憶する。
そして、物体光を遮断し基準光のみを記憶媒体に提供して、記憶された3次元状のデータを再生する。前記ホログラフィックデジタルデータはページ単位で、すなわちディスプレイ画面と同一形態の四角形映像データとして記録されるか再生されることが一般的である。ところで、正確な再生のため、アラインメントが要求されるため、通常ホログラフィックデータページの角部にアラインメントマークが形成されている。しかし、データページのアラインメントマークがCCDにピクセル対ピクセルに像が結ぶとき、アラインメントが正常になされなければ、アラインメントマークによりCCDの傍のピクセルに光がずれるため、アラインメントを正確に測定することができない問題点があった。これを解決するため、アラインメントに関した新たなホログラフィックデータ記憶および再生方法が提案された(例えば、特許文献1参照)。この特許文献1においては、アラインメントに関連したマークをホログラフィックデータページのピクセルのうち、両側の3縦列を太く表示してアラインメントを行っているが、±0.5ピクセル内にアラインメントを測定するホログラフィックデータ記録および再生装置の特性上、正確にピクセル内のアラインメントマークによりアラインメントを測定することができない限界があった。
このような限界を克服するため、データページ内のアラインメントのために挿入するピクセルに対し、フーリエ近似により各ページのエッジの回帰線を求め、ページのピクセルの回帰線の位置および勾配の差によって基準光角度調節用アクチュエータを制御して、データページのアラインメントを自動的に調整するホログラフィックデータ記録および再生装置を図1のように提案した(例えば、特許文献2参照)。
図1は従来のホログラフィックデータ記録および再生装置の構成図である。
同図に示すように、従来のホログラフィックデータ記録および再生装置は、光源100、光分離器102、シャッター104、110、反射鏡106、112、空間光変調器(Spatial Light Modulator)114、アクチュエータ108、記憶媒体116、CCD118、マイクロコンピュータ(以下、単に「マイコン」という)120、サーボ制御部122、およびイメージ補償処理部124を含む。
このような構成を有する従来のホログラフィックデータ記録および再生装置のデータページ自動アラインメント過程について説明する。
まず、従来のホログラフィックデータ記録および再生装置におけるデータ再生に際して、設定された記録角度の基準光のみを記憶媒体116に照射してホログラフィックデジタルデータページを再生してCCD118に伝送する。すると、マイコン120は、CCD118から伝送されたデータページから一つの行または列を選択して、データページの自動アラインメント方法を行う。ついで、マイコン120は選択された行または列のアラインメントマーク区間に対して行または列データ値の連続的な関数に近似化する。
すなわち、マイコン120は、ホログラフィック映像をサブピクセル水準で処理するため、データページの行または列データ値を用いて連続的な関数に近似化する。この際、近似化方法としてはフーリエ近似法を使用するが、フーリエ近似法において注意すべき点は、調波(harmonics)の数がデータ数の半分以下となければならない。
そして、行のピクセルを用いて縦軸のアラインメントマークを測定しようとするときは、角度が90°に近いため、yに対する偏微分を除去しなければならない。その後、マイコン120は近似化された関数に対する2階微分を行って、データページの第1エッジ値または第2エッジ値を求める。データページのエッジを探すためには2階微分を用いるが、近似化された関数を2階微分した値が0となる点、変曲点がエッジである。すなわち、第1エッジ値は近似化された関数が最大であり近似化された関数が0となる値で、左側エッジを示すものである。第2エッジ値は近似化された関数が最小であり近似化された関数が0となる値で、右側エッジを示すものである。
一方、従来のホログラフィックデータ記録および再生装置においては、データページのエッジ値を求めるとき、第1エッジ値および第2エッジ値を共に用いることもでき、あるいはいずれか一つのみを用いることもできる。
マイコン120は、データページから行または列を選択した後、次の行から最終列まで、または次の列から最終列まで各近似化された関数を求め、これを2階微分してそれぞれの第1エッジ値または第2エッジ値を求める。その後、マイコン120は、これら行または列の第1および第2エッジ値の回帰線を、最小自乗法のような方法を用いて求める。仮に、測定しようとするアラインメントマークが左側エッジと右側エッジの中間に位置すると、アラインメントマークは左側エッジと右側エッジの平均を求めるものである。
マイコン120は、回帰線の位置または勾配がデータページの所定位置まで設定距離または勾配を有しない場合、基準光の角度を調節するアクチュエータ108のサーボ制御部122を制御してホログラフィックデータページのアラインメントを自動的に行う。
例えば、測定した回帰線の位置が正常データページの0.5ピクセル距離まで7ピクセルの差が生じると、サーボ制御部122はアクチュエータ108を−7ピクセルだけ移動させて再生するようにする。すると、CCD118で再生されたデータページは0.5ピクセルの範囲で正確に再生される。
一方、回帰線の位置または勾配がデータページの所定位置まで設定距離または勾配を有しない場合、マイコン120は前記データページをイメージ処理部124に伝送し、イメージ処理部124はデジタル信号処理してホログラフィックデータページのイメージを補償処理する。すなわち、イメージ補償処理部124は、測定された回帰線の位置または勾配とデータページの所定位置までの設置位置または勾配間の差だけデータページのイメージを移動させて自動アラインメントを行うこともできる。
しかしながら、前記のような従来のホログラフィック光記録装置の場合、2次元形態の液晶、マイクロミラーアレー、GLVなどを用いて、ホログラフィック記録媒質に記録される情報を2次元形態に空間変調する方式を使用したが、このような方式を使用すると、2次元形態の空間光変調器の製作の際、多くの工程段階が必要となり、回路構成が複雑になる問題点があった。
米国特許第6,064,586号明細書 大韓民国特許出願第2002−30147号明細書
本発明は前記のような問題点を解決するためになされたもので、ホログラフィック記録媒質などへのデータ記録の際、走査ミラーにより信号ビーム形態の変換を調節することにより、1次元信号ビームを容易に2次元信号ビームに変換することができるホログラフィック光記録装置を提供することにその目的がある。
本発明のほかの目的は、ホログラフィック記録媒質などへのデータ記録の際、1次元信号ビームを走査ミラーにより2次元信号ビームに変換することで、空間光変調器の製作時に要求される工程過程を大幅に減らし得る光記録装置を提供することにある。
また、本発明のさらにほかの目的は、ホログラフィック記録媒質などへのデータ記録の際、1次元信号ビームを走査ミラーにより2次元信号ビームに変換することで、製品の製造時に使用される回路素子を最小限減らし、製造費用を節減することができる光記録装置を提供することにある。
前記のような目的を達成するため、本発明は、ビームを発生し、発生したビームを両方向に分散させて照射する光発生および照射手段と、前記光発生および照射手段から一定角度に入射する参照ビームの照射角を変換させて、相違した角度の参照ビームを記録媒質に照射する参照ビーム照射手段と、前記光発生および照射手段から入射するビームを回折および空間変調させて、1次元信号ビームを発生して照射する1次元信号ビーム発生手段と、前記1次元信号ビーム発生手段から照射される1次元信号ビームを左右両方向に反射させて2次元信号ビームを前記記録媒質に照射する2次元信号ビーム照射手段とを含んでなる光記録装置を提供する。
以上のような本発明は、ホログラフィック記録材料などへのデータ記録の際、走査ミラーにより信号ビーム形態の変換を調節することにより次のような効果を有する。
一つ目、ホログラフィック記録媒質へのデータ記録の際、1次元信号ビームを容易に2次元信号ビームに変換することができる。
二つ目、空間光変調器の製作時に要求される工程過程を大幅に減らすことができる。
三つ目、製品の製造時に使用される回路素子を最小限に減らし、製造費用を節減することができる。
以下、添付図面に基づいて本発明の好ましい実施例を詳細に説明する。
図2aは本発明の一実施例による2次元ビーム調節用走査ミラーを用いる光記録装置の構成図である。
同図に示すように、本発明の光記録装置200は、ビームを発生させ、この発生されたビームを両方向に分散させて照射する光発生および照射部210と、光発生および照射部210から一定角度に入射する参照ビームの照射角を変換させて、相違した角度の参照ビームをホログラフィック記録媒質220に照射する参照ビーム照射部230と、光発生および照射部210から入射するビームを回折および空間変調させて1次元信号ビームを発生して照射する1次元信号ビーム発生部240と、1次元信号ビーム発生部240から照射される1次元信号ビームを左右両方向に反射させて、2次元信号ビームをホログラフィック媒質220に照射する2次元信号ビーム照射部250とを含む。
光発生および照射部210は、ビームを発生させるための光源211と、光源211から発生するビームを平行光に変形させるための少なくとも一つの平行光レンズ212と、少なくとも一つの平行光レンズ212を介して平行光に変形されたビームのうち、参照ビームを透過させ、ほかのビームは反射させるビームスプリッタ213と、ビームスプリッタ213を介して透過される参照ビームを参照ビーム照射部230に集束させるための集束レンズ214と、ビームスプリッタ213により反射されるビームを1次元信号ビーム発生部240に照射するシリンダレンズ215とを含む。
光源211は、レーザビームを発生するレーザまたはレーザダイオードLDなどで具現することができる。ここで、光源211のレーザダイオードは比較的低い出力値を有するが、これは、同時に多数のビームを照射するため、単一ピクセルに対しては、露光に必要なレーザダイオードの照射時間を長く許し得るからである。
少なくとも一つの平行光レンズ212は光源211とビームスプリッタ213間に配置される。平行光212を二つ以上採用する場合、多数の平行光レンズ212は一定間隔で配列される。
参照ビーム照射部230は、所定のプログラムの実行により決まった方向に回転して、光発生および照射部210から一定角度に入射する参照ビームを相違した角度に反射させる回転ステージ231と、回転ステージ231により相違した角度に照射される参照ビームを平行光に変換させて照射する平行光レンズ232と、平行光レンズ232を介して相違した角度に照射される参照ビームを透過させ、ホログラフィック記録媒質220により反射されて入射するビームを外部の光検出器260に反射させるビームスプリッタ233と、ビームスプリッタ233を介して透過される相違した角度の参照ビームを集束させてホログラフィック記録媒質220に照射する集束レンズ234とを含む。
1次元信号ビーム発生部240は、光発生および照射部210のシリンダレンズ215を介して照射されるビームを回折および空間変調させて1次元信号ビームを発生する1次元回折型光変調器241と、1次元回折型光変調器241から照射される1次元信号ビームを平行光に変換させて照射する平行光レンズ242と、平行光レンズ242を介して照射される1次元信号ビームを反射させる反射鏡243と、反射鏡243により反射される1次元信号ビームの直径を拡張させるための空間フィルタ244とを含む。
1次元回折型光変調器241は、最小2ピクセルから、最大光学系が許す限り、数百ないし数千ピクセルまで同時に制御することができる。また、回折型光変調器241は、アナログでピクセルを制御することができるので、プリンタおよびディスプレイ製品に適用すると、グレーコントロールが可能である。このときに使用される光学レンズおよび光投射距離を回折型光変調器241が制御することにより、当該スポット(Spot)に対する大きさ(Size)およびスポット間の間隔を制御することができる。
そして、1次元回折型光変調器241により回折および変調されて照射される信号ビームは少なくとも一つ以上の信号アレー(Signal Array)からなる。ここで、一つの信号アレーは走査ミラーとの組合により2次元形態の信号ビームを生成する。このような信号ビームはホログラフィック記録媒質220の特定アドレスに照射される。
2次元信号ビーム照射部250は、1次元信号ビーム発生部240から照射される1次元信号ビームを左右両方向に反射させて2次元信号ビームを照射する走査ミラー251と、走査ミラー251により反射される2次元信号ビームを集束してホログラフィック媒質220に照射する集束レンズ252とを含む。
走査ミラー251は、前もって設定されたプログラムによって左右に振れる電子機器に固定される。したがって、前記電子機器が所定プログラムにしたがって走査ミラー251を左右両方向に振ることにより、走査ミラー251に入射する1次元信号ビームが左右両方向に反射される。このような反射過程ににより、1次元信号ビームが走査ミラー251により2次元信号ビームに変換される。
そして、走査ミラー251は、ポリゴンミラー(Polygon Mirror)またはガルバノ(Galvano Mirror)から具現することができる。
前記走査ミラー251としてポリゴンミラーを使用する場合、前記ポリゴンミラーは、1次元信号ビーム発生部240から照射される1次元信号ビームを等線速度で移動させる特徴がある。この際、集束レンズ252は前記ポリゴンミラーから反射された等角速度の回折2次元信号ビームを主照射方向に偏向させる。
前記走査ミラー251としてガルバノミラーを使用する場合、前記ガルバノミラーは、1次元信号ビーム発生部240から照射される回折1次元信号ビームを非等線速度で移動させる特徴がある。この際、集束レンズ252は前記ガルバノミラーから反射された非等角速度の回折1次元信号ビームを主照射方向に偏向させる。
集束レンズ252は、走査ミラー251を介して照射される2次元信号ビームをホログラフィック記録媒質220の所定アドレズに正確に集束させる。これは、2次元信号ビームをなすデータがホログラフィック記録媒質220の所定アドレスに正確に記録できるようにするためのものである。
図2bは本発明に適用される走査ミラーにより1次元回折ビームを2次元回折ビームへの転換を制御する方式を説明する例示図である。
同図に示すように、1次元回折型光変調器241から1次元信号ビームが発生され、この1次元信号ビームが走査ミラー251により左右両方向に反射されることにより、走査ミラー251から2次元信号ビームがホログラフィック記録媒質220の特定アドレスに照射される。
前記のような構造を有する本発明の光記録装置の動作について詳細に説明する。
光源211がビームを発生すると、平行光レンズ212は光源211から発生されるビームを平行光に変形させてビームスプリッタ213に照射する。この際、ビームスプリッタ213は平行光レンズ212により平行光に変形されたビームのうち、一部のビームを参照ビーム集束レンズ214の方向に透過させ、ほかのビームをシリンダレンズ215の方向に反射させる。
このように、参照ビームが参照ビーム照射部230に照射されると、回転ステージ231は、所定のプログラムの実行により所定の方向に回転することにより、光発生および照射部210から一定角度に入射する参照ビームを相違した角度に反射させる。そして、平行光レンズ232は、回転ステージ231により相違した角度に照射される参照ビームを平行光に変換させてビームスプリッタ233に照射し、ビームスプリッタ233は平行光レンズ232を介して相違した角度に照射される参照ビームを透過させる。集束レンズ234は、ビームスプリッタ233を介して照射される参照ビームを集束させてホログラフィック記録媒質220の所定アドレスに照射する。
そして、1次元回折型光変調器241は、シリンダレンズ215を介して照射されるビームを回折および変調させて1次元信号ビームを発生する。この際、1次元回折型光変調器241は、少なくとも一つ以上の信号アレーからなった1次元信号ビームを発生する。ここで、一つの信号アレーは、走査ミラーとの組合により、2次元形態の信号ビームを生成する。
ついで、平行光レンズ242が、1次元回折型光変調器241から照射される1次元信号ビームを平行光に変換させて反射鏡243に照射する。この1次元信号ビームは、反射鏡243により反射されて空間フィルタ244に照射される。この際、空間フィルタ244は、照射される1次元信号ビームの直径を一定大きさ以上に拡張させて2次元信号ビーム照射部250に照射する。
走査ミラー251は、自分が付着された前記電子機器の左右側への振動により振れ状態を維持しながら、照射される1次元信号ビームを反射させるため、走査ミラー251から2次元信号ビームが照射される。このように、2次元信号ビームが照射されると、集束レンズ252は2次元信号ビームを集束させ、ホログラフィック記録媒質220の所定アドレスに照射する。
このように、2次元信号ビーム照射部250から照射された信号ビームと、参照ビーム照射部230から照射された参照ビームとがホログラフィック記録媒質220の所定アドレスに照射されると、2次元信号ビームをなすデータがアドレスに記録される。この際、2次元信号ビームのデータは参照ビームが照射されるスポットにのみ記録されるが、アドレスに照射される各参照ビームの照射角が同一であると、一つのデータのみが記録され、半面アドレスに照射される各参照ビームの照射角が相違すると、照射角の数に比例する数のデータが記録される。
一方、ホログラフィック記録媒質220に記録されたデータが集束レンズ270に照射されると、集束レンズ270はこのデータを集束して受光素子280に集束させる。
そして、ホログラフィック記録媒質220から反射されるビームが集束レンズ234を介してビームスプリッタ233に照射されると、ビームスプリッタ233はこのビームを集束レンズ290に反射させる。この際、集束レンズ290は照射されるビームを集束させて光検出器260に照射する。
以下、1次元回折型光変調器241から発生する参照ビーム間に位相差が発生し得る原理に対する理解を助けるため、本発明に適用される1次元回折型光変調器の構造および動作について詳細に説明する。
一般に、圧電/電歪回折型光変調器は、レンズから入射した単一ビーム形態の線形光を回折させて、所定の回折係数を有する回折ビームを形成した後、前記回折ビームを感光面に水平方向に走査させるもので、所定形状の薄膜および厚膜の構造を有する多数のアクチュエーティグセル(actuating cell)320を含む。
すなわち、前記圧電/電歪回折型光変調器は、図3に示すように、所定基板310上に形成される下部電極321と、前記下部電極321上に形成された圧電/電歪層322、および前記圧電/電歪層322の上部に形成された上部電極323とを有し、外部から印加される駆動電源により上下に駆動される、縦長が横長より長い厚膜形状のアクチュエーティングセル320を含んでなる。
この際、前記圧電/電歪回折型光変調器は、図4に示すように、走査装置の構造的な特徴を考慮し、横長が縦長より長い厚膜形状のアクチュエーティングセル320を含んで構成することもできる。
また、前記圧電/電歪回折型光変調器は、図5および図6に示すように、前記反射面として動作する上部電極323に入射する入射光の反射効率を極大化するためのマイクロミラー324をさらに含んで構成することもできる。
前記圧電/電歪回折型光変調器は、図7に示すように、中央部にエアスペースを与えるための陥没部が形成されたシリコン基板310上に下部電極321、圧電/電歪層322および上部電極323を有し、外部から印加される駆動電源により左右に駆動される、縦長が横長より長い薄膜形状のアクチュエーティングセル320を含んでなる。
この際、前記圧電/電歪回折型光変調器は、図8に示すように、走査装置の構造的な特徴を考慮し、横長が縦長より長い薄膜形状のアクチュエーティングセル320を含んで構成することもできる。
また、前記圧電/電歪回折型光変調器は、図9および図10に示すように、前記反射面として動作する上部電極323上に入射する入射光の反射効率を極大化するためのマイクロミラー324をさらに含んで構成することができる。
ここで、下部電極321は厚膜構造のアクチュエーティグセル320を構成する所定基板310上に形成され、外部から印加される駆動電圧を圧電/電歪層322に伝達するもので、Pt、Ta/Pt、Ni、Au、Al、RuO2などの電極材料に対するスパッタリングまたは蒸着法により基板310に形成される。
また、下部電極321は、薄膜構造のアクチュエーティングセル320を構成する所定基板310または下部支持層310′上に形成されて、外部から印加される駆動電圧を圧電/電歪層322に伝達する役割もする。
ここで、下部支持層310′は、薄膜構造を有するアクチュエーティングセル320の圧電/電歪層322を支持するため、シリコン基板310上に蒸着されるもので、SiO2、Si34、Si、ZrO2、Al23などの材料からなるが、このような下部支持層310′は必要によって省略可能である。
圧電/電歪層322は、外部から印加される駆動電源によって発生する圧電現象により上下方向または左右方向に長さが変化する所定の圧電/電歪材料、より詳しくはPzT、PNN−PT、ZnO、Pb、Zr、Tiなどの圧電/電歪材料を、湿式法(スクリーンプリンティング、ゾル−ゲルコーティングなど)および乾式法(スパッタリング、蒸発、蒸着など)により、0.01〜20.0μmの範囲に前記下部電極321上に皮着させることにより形成される。
上部電極323は前記圧電/電歪層322の上部に形成されて、レンズから入射する入射光に対する反射および回折を行うもので、より詳しくはPt、Ta/Pt、Ni、Au、Al、RuO2などの電極材料をスパッタリングまたは蒸着法により0.01〜3μmの範囲に形成される。
この際、上部電極323は、外部から入力される光信号に対する反射および回折を行うマイクロミラーとして動作するか、または前記光信号に対する反射および回折をさらに強化させるため、所定の光反射物質であるAl、Au、Ag、Pt、Au/Cuからなるマイクロミラー324をさらに含んで構成することもできる。
ここで、前記圧電/電歪回折型光変調器は、前記アクチュエーティングセル320が所定数で群を成したピクセル330単位として駆動され、前記ピクセル330は所定の感光部材を構成する感光面の一点に対応する。
すなわち、前記圧電/電歪回折型光変調器は、図11aおよび図11bに示すように、所定数のアクチュエーティングセル320を含み、1次元状に配列されたピクセル330の回折現象により形成される回折ビームを感光面に走査させることにより、1次元状の走査、より詳しくは1ラインに対する走査を同時に行う。
ここで、図11aは縦長が横長より長く形成されたピクセルが1次元状に配列された構造を示す図であり、図11bは横長が縦長より長く形成されたピクセルが1次元状に配列された構造を示す図である。
以上、本発明の好ましい実施例を具体的に説明したが、前記実施例は本発明を例示するためのものであるばかりで、本発明を制限するためのものではない。また、本発明の技術分野において通常の知識を有する者であれば、本発明の技術思想の範囲内で多様に実施可能なことが分かる。
従来のホログラフィックデータ記録および再生装置の構成図である。 本発明の一実施例による2次元ビーム調節用走査ミラーを用いる光記録装置の構成図である。 本発明に適用される走査ミラーにより、1次元回折ビームの2次元回折ビームへの変換を制御する方式を説明する例示図である。 本発明に適用される圧電/電歪回折型光変調器を構成する、縦長が横長より長い厚膜形状のアクチュエーティングセルの配列を示す断面図である。 本発明に適用される圧電/電歪回折型光変調器を構成する、横長が縦長より長い厚膜形状のアクチュエーティングセルの配列を示す断面図である。 図3および図4の圧電/電歪回折型光変調器に適用されるマイクロミラーが形成された、縦長が横長より長い厚膜形状のアクチュエーティングセルの配列を示す断面図である。 図3および図4の圧電/電歪回折型光変調器に適用されるマイクロミラーが形成された、横長が縦長より長い厚膜形状のアクチュエーティングセルの配列を示す断面図である。 本発明に適用される圧電/電歪回折型光変調器を構成する、縦長が横長より長い薄膜形状のアクチュエーティングセルの配列を示す断面図である。 本発明に適用される圧電/電歪回折型光変調器を構成する、横長が縦長より長い薄膜形状のアクチュエーティングセルの配列を示す断面図である。 図3および図4の圧電/電歪回折型光変調器に適用されるマイクロミラーが形成された、縦長が横長より長い薄膜形状のアクチュエーティングセルの配列を示す断面図である。 図3および図4の圧電/電歪回折型光変調器に適用されるマイクロミラーが形成された、横長が縦長より長い厚膜形状のアクチュエーティングセルの配列を示す断面図である。 図3および図4の圧電/電歪回折型光変調器による所定数のアクチュエーティングセルを含み、縦長が横長より長い形状を有するピクセルの1次元配列を示す図である。 図3および図4の圧電/電歪回折型光変調器による所定数のアクチュエーティングセルを含み、横長が縦長より長い形状を有するピクセルの1次元配列を示す図である。
符号の説明
200 光記録装置
210 光発生および照射部
211 光源
212 平行光レンズ
213 ビームスプリッタ
214 集束レンズ
215 シリンダレンズ
220 ホログラフィック記録媒質
230 参照ビーム照射部
231 回転ステージ
232 平行光レンズ
233 ビームスプリッタ
234 集束レンズ
240 1次元信号ビーム発生部
241 1次元回折型光変調器
242 平行光レンズ
243 反射鏡
244 空間フィルタ
250 2次元信号ビーム照射部
251 走査ミラー
252 集束レンズ
260 光検出器
270 集束レンズ
280 受光素子
290 集束レンズ
310 基板
310′ 下部支持層
320 アクチュエーティングセル
321 下部電極
322 圧電/電歪層
323 上部電極
324 マイクロミラー
330 ピクセル

Claims (12)

  1. ビームを発生し、発生したビームを両方向に分散させて照射する光発生および照射手段と、
    前記光発生および照射手段から一定角度に入射する参照ビームの照射角を変換させて、相違した角度の参照ビームを記録媒質に照射する参照ビーム照射手段と、
    前記光発生および照射手段から入射するビームを回折および空間変調させて、1次元信号ビームを発生して照射する1次元信号ビーム発生手段と、
    前記1次元信号ビーム発生手段から照射される1次元信号ビームを左右両方向に反射させて2次元信号ビームを前記記録媒質に照射する2次元信号ビーム照射手段とを含んでなることを特徴とする光記録装置。
  2. 前記光発生および照射手段は、
    ビームを発生するための光源と、
    前記光源から発生されるビームを平行光に変形させるための少なくとも一つの平行光レンズと、
    前記少なくとも一つの平行光レンズにより平行光に変形されたビームのうち、参照ビームは透過させ、ほかのビームを反射するビームスプリッタと、
    前記ビームスプリッタを介して透過されるビームを前記参照ビーム照射手段に集束させるための集束レンズと、
    前記ビームスプリッタにより反射されるビームを前記1次元信号ビーム発生手段に照射するシリンダレンズとを含むことを特徴とする請求項1記載の光記録装置。
  3. 前記参照ビーム照射手段は、
    所定のプログラムの実行により、決まった方向に回転して、前記光発生および照射手段から一定角度に入射する参照ビームを相違した角度に反射させる回転ステージと、
    前記回転ステージにより相違した角度に照射される参照ビームを平行光に変換させて照射する平行光レンズと、
    前記平行光レンズを介して相違した角度に照射される参照ビームを透過させるビームスプリッタと、
    前記ビームスプリッタを介して透過される相違した角度の参照ビームを集束させて前記記録媒質に照射する集束レンズとを含むことを特徴とする請求項1記載の光記録装置。
  4. 前記ビームスプリッタは、前記記録媒質から反射されるビームを外部機器に反射させることを特徴とする請求項3記載の光記録装置。
  5. 前記1次元信号ビーム発生手段は、
    前記光発生および照射手段から照射されるビームを回折および空間変調させて1次元信号ビームを発生する1次元回折型光変調器と、
    前記1次元回折型光変調器から照射される1次元信号ビームを平行光に変換させて照射する平行光レンズと、
    前記平行光レンズを介して照射される1次元信号ビームを反射させる反射鏡と、
    前記反射鏡により反射される1次元信号ビームの直径を拡張させるための空間フィルタとを含むことを特徴とする請求項1記載の光記録装置。
  6. 前記1次元回折型光変調器により回折および変調されて照射される1次元信号ビームは少なくとも一つ以上の信号アレーからなることを特徴とする請求項5記載の光記録装置。
  7. 前記2次元信号ビーム照射手段は、
    前記1次元信号ビーム発生手段から照射される1次元信号ビームを左右両方向に反射させて2次元信号ビームを照射する走査ミラーと、
    前記走査ミラーにより反射される2次元信号ビームを集束させて前記記録媒質に照射する集束レンズとを含むことを特徴とする請求項1記載の光記録装置。
  8. 前記走査ミラーは、所定のプログラムにしたがって左右側に振れる外部機器に固定されることを特徴とする請求項7記載の光記録装置。
  9. 前記走査ミラーはポリゴンミラーであることを特徴とする請求項7記載の光記録装置。
  10. 前記1次元信号ビーム発生手段から照射される1次元信号ビームを等線速度で移動させることを特徴とする請求項9記載の光記録装置。
  11. 前記走査ミラーはガルバノミラーであることを特徴とする請求項7記載の光記録装置。
  12. 前記1次元信号ビーム発生手段から照射される1次元信号ビームを非等線速度で移動させることを特徴とする請求項11記載の光記録装置。
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