KR100619360B1 - 광변조기를 이용한 다중 광원 스캐닝 장치 - Google Patents

광변조기를 이용한 다중 광원 스캐닝 장치 Download PDF

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KR100619360B1
KR100619360B1 KR1020040029926A KR20040029926A KR100619360B1 KR 100619360 B1 KR100619360 B1 KR 100619360B1 KR 1020040029926 A KR1020040029926 A KR 1020040029926A KR 20040029926 A KR20040029926 A KR 20040029926A KR 100619360 B1 KR100619360 B1 KR 100619360B1
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Abstract

본 발명은 광변조기를 이용한 스캐닝 장치에 관한 것으로서, 다중 광원으로부터 순차적으로 광을 수신하여 회절빔을 생성된 후에 생성된 회절빔을 각각의 광원별로 분리된 감광면의 섹터로 투사하도록 하는 스캐닝 장치에 관한 것이다.
광변조기, 픽셀, 액추에이팅 셀, 단차, 회절, 단일빔, 멀티빔, 다중 광원

Description

광변조기를 이용한 다중 광원 스캐닝 장치{Multi-source scanning equipment using a optical modulator}
도 1은 단일광원과 f-θ렌즈를 사용하는 종래의 레이져 스캐닝 방식을 도시한 도면.
도 2는 이미지 헤드에 구성된 LED 배열에 의하여 형성된 멀티빔에 의하여 레이저 스캐니을 수행하는 종래의 레이저 스캐잉 방식을 도시한 도면.
도 3는 본 발명의 일실시예에 따른 압전/전왜 회절형 광변조기를 이용한 다중 광원 스캐닝 장치를 도시한 도면.
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 압전/전왜 회절형 광변조기를 이용한 다중 광원 스캐닝 장치를 도시한 도면.
도 5는 본 발명의 압전/전왜 회절형 광변조기를 구성하는 세로 방향이 가로 방향 보다 긴 후막 형상의 엑추에이팅 셀의 배열을 도시한 도면.
도 6은 본 발명의 압전/전왜 회절형 광변조기를 구성하는 가로 방향이 세로 방향 보다 긴 후막 형상의 엑추에이팅 셀의 배열을 도시한 도면.
도 7은 본 발명의 압전/전왜 회절형 광변조기를 구성하는 세로 방향이 가로 방향 보다 긴 박막 형상의 엑추에이팅 셀의 배열을 도시한 도면.
도 8은 본 발명의 압전/전왜 회절형 광변조기를 구성하는 가로 방향이 세로 방향 보다 긴 박막 형상의 엑추에이팅 셀의 배열을 도시한 도면.
도 9a는 본 발명에 따른 소정 개수의 액추에이팅 셀을 포함하고, 세로 방향이 가로 방향보다 긴 형상을 갖는 픽셀의 1차원 배열을 도시한 도면.
도 9b는 본 발명에 따른 소정 개수의 액추에이팅 셀을 포함하고, 가로 방향이 세로 방향보다 긴 형상을 갖는 픽셀의 1차원 배열을 도시한 도면.
도 10a는 본 발명에 따른 소정 개수의 액추에이팅 셀을 포함하고, 세로 방향이 가로 방향보다 긴 형상을 갖는 픽셀의 2차원 배열을 도시한 도면.
도 10b는 본 발명에 따른 소정 개수의 액추에이팅 셀을 포함하고, 가로 방향이 세로 방향보다 긴 형상을 갖는 픽셀의 2차원 배열을 도시한 도면.
도 11 및 도 12은 본 발명에 따른 구동전원에 대응하여 동작하는 압전/전왜 회절형 광변조기를 구성하는 액츄에이팅 셀의 동작을 설명하기 위한 도면.
본 발명은 광변조기를 이용한 스캐닝 장치에 관한 것으로서, 보다 구체적으로는, 다중 광원으로부터 순차적으로 광을 수신하여 회절빔을 생성된 후에 생성된 회절빔을 각각의 광원별로 분리된 감광면의 섹터로 투사하도록 하는 스캐닝 장치에 관한 것이다.
광빔 스캐닝 장치는 화상 형성장치, 예를 들면 레이저 프린터, 디스플레이 장치, LED 프린터, 전자 사진 복사기 및 워드 프로세서 등에서, 광빔을 스캐닝하여 광빔을 감광매체에 스폿(spot)시켜 화상 이미지를 결상시키는 장치이다.
이러한 광빔 스캐닝 장치는 화상 형성장치가 소형화, 고속화 및 고해상화되는 방향으로 발전함에 따라 이에 대응하여 소형화, 고속화 및 고해상화의 특성을 가지도록 꾸준히 연구 개발되어 지고 있다.
화상 형성장치의 광빔 스캐닝 장치는 광빔 스캐닝 방식 및 광빔 스캐닝 장치의 구성에 따라 크게 f·θ렌즈를 이용하는 레이저 스캐닝 방식과 이미지 헤드 프린터 방식으로 대별할 수 있다.
도 1은 f·θ렌즈를 이용하는 종래의 레이저 스캐닝 장치를 도시하고 있다.
도시된 바와 같이, 종래의 레이저 스캐닝 장치는 비디오 신호에 따라 광빔을 출사하는 레이저 다이오드(LD)(10)와, LD(10)에서 출력되는 광빔을 평행광으로 변환시키는 콜리메이터 렌즈(11)와, 콜리메이터 렌즈(11)를 통과한 평행광을 스캐닝 방향에 대해 수평방향의 선형광으로 만들어주는 실린더 렌즈(12)와, 실린더 렌즈(12)를 통과한 수평방향의 선형광을 등선속도로 이동시켜 스캐닝하는 폴리곤 미러(13)와, 폴리곤 미러(13)를 등속도로 회전시키는 폴리곤 미러 구동용 모터(14)와, 광축에 대해 일정한 굴절율을 가지며 폴리곤 미러(13)에서 반사된 등각속도의 광을 주조사 방향으로 편향시키고 수차를 보정하여 조사 면상에 초점을 맞추는 f·θ렌즈(15)와, f·θ렌즈(15)를 통한 광빔을 소정의 방향으로 반사시켜 결상면인 감광드럼(17)의 표면에 점상으로 결상시키는 결상용 반사미러(16)와, f·θ렌즈(15)를 통한 레이저 빔을 수평방향으로 반사시켜 주는 수평동기 미러(18)와, 수평동기 미러(18)에 반사된 레이저빔을 수광하여 동기를 맞추는 광센서(19)를 포함하여 구성된다.
상기의 레이져 스캐닝 방식은 레이져 다이오드(10)의 낮은 스위칭 속도 및 폴리곤 미러(13)의 주사 속도 문제로 인하여 고속의 프린팅을 얻기가 힘들다.
즉, 광빔의 주사 속도를 높이려면 더욱 고속의 모터를 사용하여 폴리곤 미러(13)를 회전 시켜야 하나, 이 경우에는 고속의 모터가 고가이고, 또한 고속으로 회전하는 모터는 열, 진동 및 잡음을 유발하여 동작 신뢰도를 떨어뜨리는 등의 문제점이 있으므로 주사속도의 큰 향상을 기대할 수 없다.
광 주사장치의 속도를 향상시키는 또 다른 방법에는 멀티빔 형태의 빔 형성장치를 이용하는 이미지 헤드 프린팅 방식이 있다.
즉, 도 2에 도시된 바와 같이, 이미지 헤드(20)에 인쇄용지를 채울 수 있을 정도로 많은 양의 LED 배열(21)을 구성하여 멀티빔을 형성함으로써, 레이져 스캔방식과 다르게 폴리곤 미러 및 f-θ렌즈의 사용없이 한번에 동시에 한줄씩을 프린트 할 수 있어 프린트 속도를 현저히 향상시킬 수 있었다.
그러나, LED 배열(21)을 형성하기 위하여 다수의 LED를 사용하는 경우 가격 상승의 원인이 되고 또 배열내의 LED들 사이의 광 균일도가 떨어지므로 균일한 이미지를 얻기가 힘든 문제점이 있었다.
이러한 문제점을 해결하기 위하여 국내특허출원번호 2003-77391호에는 외부 로부터 인가되는 구동 전압에 의하여 온/오프 구동되는 엑추에이팅 셀로 구성된 압전/전왜 회절형 광변조기에 의하여 형성되는 다수의 회절빔을 이용한 고속의 스캐닝을 수행하는 압전/전왜 회절형 광변조기를 이용한 스캐닝 장치가 개시되어 있다.
개시된 종래 개선된 기술에 따른 압전/전왜 회절형 광변조기를 이용한 스캐닝 장치는, 소정 광원으로부터 출력된 단일빔을 광로 방향에 대하여 수평주사 시키는 제 1 렌즈수단; 외부로부터 인가되는 구동전원에 의하여 온/오프 구동하는 다수의 액추에이팅 셀로 구성되고, 상기 액추에이팅 셀 상호간의 온/오프 구동에 의한 반사 및 회절 현상에 의하여 상기 단일빔으로부터 다수의 회절빔을 생성하는 압전/전왜 회절형 광변조기; 상기 압전/전왜 회절형 광변조기로부터 입사되는 다수의 회절빔 중에서 소정의 회절계수를 갖는 회절빔에 대한 필터링을 수행하는 슬릿; 및 상기 슬릿에 의하여 선택적으로 필터링 된 소정의 회절계수를 갖는 회절빔을 감광부재의 감광면에 조사하는 제 2 렌즈수단을 포함하여 구성된 것을 특징으로 한다.
그러나, 상기와 같은 종래 개선된 기술에 따른 압전/전왜 회절형 광변조기를 이용한 스캐닝 장치는 압전/전왜 회절형 광변조기가 단일 광원의 광을 이용하여 다수의 회절빔을 생성하여 감광부재의 감광면에 입사함에 따라 압전/전왜 회절형 광변조기를 구성하는 마이크로 미러의 수가 최소 화소수의 2배 이상되어(두개의 미러가 하나의 화소를 구성할 수 있기 때문에)야 하며 이에 따라 다수의 마이크로 미러를 제어하는데 어려움이 있고, 비용이 증가하는 문제가 있다.
본 발명은 상술한 바와 같은 문제를 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 다중 광원으로부터 순차적으로 광을 수신하여 회절빔을 생성된 후에 생성된 회절빔을 각각의 광원별로 분리된 감광면의 섹터로 투사하도록 하는 스캐닝 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명은 다수의 광원중 해당 광원으로부터 출력된 단일빔을 광로 방향에 대하여 수평주사 시키는 다수의 조명 렌즈 수단; 상기 다수의 조명 렌즈 수단으로부터 순차적으로 해당 단일빔을 수신하여 다수의 회절빔을 생성하여 출력하는 광변조기; 상기 광변조기로부터 입사되는 다수의 회절빔 중에서 소정의 회절계수를 갖는 회절빔에 대한 필터링을 수행하는 상기 다수의 조명 렌즈 수단에 각각 대응하여 한쌍을 이루는 다수의 슬릿; 및 상기 다수의 슬릿에 각각 대응하여 한쌍을 이루며, 상기 다수의 슬릿중에서 해당 슬릿에 의하여 선택적으로 필터링 된 소정의 회절계수를 갖는 회절빔을 감광부재의 감광면의 해당 섹터에 조사하는 다수의 이미지 렌즈수단을 포함하여 구성된 것을 특징으로 한다.
이하, 첨부도면을 참조하여 본 발명에 따른 회절형 광변조기를 이용한 다중 광원 스캐닝 장치의 구성을 상세하게 설명한다. 한편, 여기에서는 압전 재료를 사용하는 회절형 광변조기에 대하여 설명하였지만 투과형, 반사형 기타 회절형에도 적용가능하다.
먼저, 도 3 이하의 도면을 참조하여 본 발명에 따른 회절형 광변조기를 이용한 다중 광원 스케닝 장치의 구성을 상세하게 설명한다.
도 3는 본 발명의 일실시예에 따른 압전/전왜 회절형 광변조기를 이용한 다중 광원 스캐닝 장치를 도시한 도면이다.
도면을 참조하면, 본 발명의 일실시예에 따른 압전/전왜 회절형 광변조기를 이용한 다중 광원 스캐닝 장치는, 다수의 광원(100a, 100b, 100c), 다수의 조명 렌즈부(200a, 200b), 압전/전왜 회절형 광변조기(300), 다수의 슬릿(400a, 400b, 400c) 및 다수의 이미지 렌즈부(500a, 500b, 500c)를 포함하여 구성된다.
여기서, 도 3은 소정 개수의 액추에이팅 셀을 포함하고, 1차원 형상으로 배열된 픽셀로 구성된 압전/전왜 회절형 광변조기에 의하여 1차원 형상의 고속 스캐닝을 수행하는 스캐닝 장치의 구성을 도시하고 있다.
또한, 도 4는 소정 개수의 액추에이팅 셀을 포함하고, 2차원 형상으로 배열된 픽셀로 구성된 압전/전왜 회절형 광변조기에 의하여 2차원 형상의 고속 스캐닝을 수행하는 스캐닝 장치의 구성을 도시하고 있다.
다수의 광원(100a, 100b, 100c)의 각각은 소정의 파장을 갖는 레이저 다이오드로 구성된 1개의 발광원으로 구성되며, 상기 다수의 광원(100a, 100b, 100c)으로부터 출사되는 광중 좌우 광원(100a, 100b)으로부터 출사되는 광은 후술하는 조명 렌즈부(200a, 200b)를 통하여 광로 방향에 대하여 수평 방향의 선형광으로 변환된 후, 상기 광로 방향에 대하여 수평으로 위치하는 압전/전왜 회절형 광변조기(300)에 입사된다.
좌측 조명 렌즈부(200a)는 좌측 광원(100a)에서 출력된 단일빔을 광로 방향에 대하여 수평 방향의 선형광으로 변환시켜 후술하는 압전/전왜 회절형 광변조기(300)에 집속시키는 것으로서, 콜리메이션 렌즈(201a)와 실린더 렌즈(202a), 반사렌즈(203a), 집광 렌즈(204a)로 구성된다.
여기서, 콜리메이션 렌즈(201a)는 상기 광원(100a)으로부터 입사되는 구면광을 평행광으로 변환한 후, 이를 상기 실린더 렌즈(202a)로 입사시킨다.
실린더 렌즈(202a)는, 상기 콜리메이션 렌즈(201a)로부터 입사되는 평행광을 광로 방향에 수평으로 위치하는 압전/전왜 회절형 광변조기(300)에 수평으로 입사시키기 위하여, 평형광을 수평방향의 선형광으로 변환시킨 후 반사렌즈(203a)와 집광 렌즈(204a)를 통하여 압전/전왜 회절형 광변조기(300)로 입사시킨다.
압전/전왜 회절형 광변조기(300)는 좌측 조명 렌즈부(200a)로부터 입사된 단일빔 형태의 선형광을 회절시켜 소정의 회절계수를 갖는 회절빔을 형성한 후, 상기 회절빔을 감광부재(600)의 좌측 1/3의 감광면에 수평방향으로 주사시키는 것으로서, 소정 형상의 박막 및 후막 구조를 갖는 다수의 액추에이팅 셀(330)을 포함하여 구성된다.
한편, 우측 조명 렌즈부(200b)는 우측 광원(100b)에서 출력된 단일빔을 광로 방향에 대하여 수평 방향의 선형광으로 변환시켜 후술하는 압전/전왜 회절형 광변조기(300)에 집속시키는 것으로서, 콜리메이션 렌즈(201b)와 실린더 렌즈(202b), 반사렌즈(203b), 집광 렌즈(204b)로 구성된다.
여기서, 콜리메이션 렌즈(201b)는 상기 광원(100b)으로부터 입사되는 구면광 을 평행광으로 변환한 후, 이를 상기 실린더 렌즈(202b)로 입사시킨다.
실린더 렌즈(202b)는, 상기 콜리메이션 렌즈(201b)로부터 입사되는 평행광을 광로 방향에 수평으로 위치하는 압전/전왜 회절형 광변조기(300)에 수평으로 입사시키기 위하여, 평형광을 수평방향의 선형광으로 변환시킨 후 이를 반사렌즈(203b)와 집광 렌즈(204b)를 통하여 압전/전왜 회절형 광변조기(300)로 입사시킨다.
압전/전왜 회절형 광변조기(300)는 우측 조명 렌즈부(200b)로부터 입사된 단일빔 형태의 선형광을 회절시켜 소정의 회절계수를 갖는 회절빔을 형성한 후, 상기 회절빔을 감광부재(600)의 우측 1/3의 감광면에 수평방향으로 주사시키는 것으로서, 소정 형상의 박막 및 후막 구조를 갖는 다수의 액추에이팅 셀(320)을 포함하여 구성된다.
또한, 중앙 광원(100c)에서 출력된 단일빔을 압전/전왜 회절형 광변조기(300)에 조사되며 압전/전왜 회절형 광변조기(300)는 중앙 조명 렌즈부(200c)로부터 입사된 단일빔 형태의 선형광을 회절시켜 소정의 회절계수를 갖는 회절빔을 형성한 후, 상기 회절빔을 감광부재(600)의 중앙 1/3의 감광면에 수평방향으로 주사시키는 것으로서, 소정 형상의 박막 및 후막 구조를 갖는 다수의 액추에이팅 셀(320)을 포함하여 구성된다.
즉, 상기 압전/전왜 회절형 광변조기(300)는, 도 5에 도시된 바와 같이, 소정 기판(310) 상에 형성되는 하부전극(321)과, 상기 하부 전극(321)상에 형성된 압전/전왜층(322) 및 상기 압전/전왜층(322)의 상부에 형성된 상부전극(323)으로 구성되고, 외부로부터 인가되는 구동 전원에 의하여 상하 구동되는 세로 방향의 길이 가 가로 방향의 길이보다 긴 후막 형상의 엑추에이팅 셀(320)을 포함하여 구성된다.
이때, 상기 압전/전왜 회절형 광변조기(300)는, 도 6에 도시된 바와 같이, 스캐닝 장치의 구조적인 특징을 고려하여 가로 방향의 길이가 세로 방향의 길이보다 긴 후막 형상의 엑츄에이팅 셀(320)을 포함하여 구성할 수 도 있다.
또한, 상기 압전/전왜 회절형 광변조기(300)는, 상기 반사면으로 동작하는 상부 전극(323)상에 입사되는 입사광의 반사효율을 극대화 하기 위한 마이크로 미러(미도시)를 더 포함하여 구성할 수 있다.
압전/전왜 회절형 광변조기(300)는, 도 7에 도시된 바와 같이, 중앙 부분에 에어 스페이스를 제공하기 위한 함몰부가 형성되어 있는 실리콘 기판(310)상에 하부전극(321), 압전/전왜층(322) 및 상부전극(323)으로 구성되고, 외부로부터 인가되는 구동 전원에 의하여 좌우 구동되는 세로 방향의 길이가 가로 방향의 길이보다 긴 박막 형상의 엑추에이팅 셀(320)을 포함하여 구성된다.
이때, 상기 압전/전왜 회절형 광변조기(300)는, 도 8에 도시된 바와 같이, 스캐닝 장치의 구조적인 특징을 고려하여 가로 방향의 길이가 세로 방향의 길이보다 긴 박막 형상의 엑츄에이팅 셀(320)을 포함하여 구성될 수 도 있다.
또한, 상기 압전/전왜 회절형 광변조기(300)는, 상기 반사면으로 동작하는 상부 전극(323)상에 입사되는 입사광의 반사효율을 극대화 하기 위한 마이크로 미러(미도시)를 더 포함하여 구성할 수 있다.
여기서, 하부 전극(321)은 후막 구조의 액추에이팅 셀(320)을 구성하는 소정 의 기판(310)상에 형성되어 외부로부터 인가되는 구동전압을 압전/전왜층(322)에 제공하는 것으로서, Pt, Ta/Pt, Ni, Au, Al, RuO2 등의 전극 재료에 대한 스퍼터링 또는 증착방법에 의하여 기판(310)상에 형성시킨다.
또한, 하부 전극(321)은 박막 구조의 액추에이팅 셀(320)을 구성하는 소정의 기판(310) 또는 하부 지지대(310')상에 형성되어 외부로부터 인가되는 구동전압을 압전/전왜층(322)에 제공하는 역할을 또한 수행한다.
여기서, 하부 지지층(310')은 박막 구조를 갖는 액추에이팅 셀(320)의 압전/전왜층(322)을 지지하기 위하여 실리콘 기판(310)상에 증착되어 형성되는 것으로서, SiO2, Si3N4, Si, ZrO2, Al2O3 등의 재료로 구성되고, 이러한 하부 지지대(310')는 필요에 따라 생략할 수 있다.
압전/전왜층(322)은 외부로부터 인가되는 구동 전원에 연동하여 발생하는 압전 현상에 의하여 상·하 방향 또는 좌.우 방향으로 길이가 변화하는 소정의 압전/전왜 재료, 보다 구체적으로는, PzT, PNN-PT, ZnO. Pb, Zr 또는 타이타늄 등의 압전/전왜 재료를 습식(스크린 프린팅, Sol-Gel coting 등) 및 건식 방법(스퍼터링, Evaporation, Vapor Deposition 등)을 통하여 0.01~20.0㎛ 범위로 상기 하부 전극(321)상에 형성된다.
상부 전극(323)은 상기 압전/전왜층(322)의 상부에 형성되어 조명 렌즈(200a, 200b)로부터 입사되는 입사광에 대한 반사 및 회절을 수행하는 것으로서, 보다 구체적으로는 Pt, Ta/Pt, Ni, Au, Al, RuO2 등의 전극재료를 스퍼터링 또 는 증착 방법을 통하여 0.01~3㎛ 범위로 형성된다.
이때, 상부 전극(323)은 외부로부터 입력되는 광신호에 대한 반사 및 회절을 수행하는 마이크로 미러로서 동작하거나, 또는 상기 광신호에 대한 반사 및 회절을 더욱 강화 시키기 위하여 소정의 광반사 물질인 Al, Au, Ag, Pt, Au/Cr로 구성된 마이크로 미러(324)를 더 포함하여 구성될 수 도 있다.
여기서, 상기 압전/전왜 회절형 광변조기(300)는 상기 엑추에이팅 셀(320)이 소정의 갯수로 구룹화 된 픽셀(330) 단위로 구동되고, 상기 픽셀(330)은 소정의 감광부재(600)를 구성하는 감광면의 한 점(DOT)에 대응한다.
즉, 상기 압전/전왜 회절형 광변조기(300)는, 도 9a 및 도 9b에 도시된 바와 같이, 소정 개수의 액추에이팅 셀(320)을 포함하고, 1차원 형상으로 배열된 픽셀(330)의 회절현상에 의거하여 형성되는 회절빔을 감광면에 주사시킴으로써, 1차원 형상의 스캐닝, 보다 구체적으로는 한 줄에 대한 스캐닝을 동시에 수행한다.
여기서, 도 10a는 세로 방향이 가로 방향보다 길게 형성된 픽셀이 1차원 형상으로 배열된 구조를 도시한 도면이고, 도 10b는 가로 방향이 세로 방향보다 길게 형성된 픽셀이 1차원 형상으로 배열된 구조를 도시한 도면이다.
또한, 상기 압전/전왜 회절형 광변조기(300)는, 도 11a 및 도 11b에 도시된 바와 같이, 소정 개수의 액추에이팅 셀(320)을 포함하고, 2차원 형상으로 배열된 픽셀(330)의 회절현상에 의거하여 형성된 2차원 형상의 회절빔을 감광면에 주사시킴으로써, 2차원 형상의 스캐닝, 보다 구체적으로는 다수의 줄에 대한 스캐닝을 동시에 수행한다.
여기서, 도 11a는 세로 방향이 가로 방향보다 길게 형성된 픽셀(330)이 2차원 형상으로 배열된 구조를 도시한 도면이고, 도 11b는 가로 방향이 세로 방향보다 길게 형성된 픽셀(330)이 2차원 형상으로 배열된 구조를 도시한 도면이다.
즉, 상기 압전/전왜 회절형 광변조기(300)를 구성하는 각각의 픽셀(330)은, 도 9 및 도 10에 도시된 바와 같이, 1차원 형상 또는 2차원 형상으로 배열되고, 이에 의하여 1차원 형상 또는 2차원 형상의 스캐닝을 수행하여 한줄 또는 다수의 줄에 대한 스캐닝을 수행한다.
이때, 상기 픽셀(330)을 구성하는 액추에이팅 셀(320)은 4개로 구성된 형상만이 도시되어 있으나, 상기 픽셀(330)을 구성하는 액추에이팅 셀(320)이 4개로 한정되는 것은 아니며 그 이외의 개수로 구성될 수 있다는 점에 유의하여야 한다.
이하, 도 11 및 도 12을 참조하여 압전/전왜 회절형 광변조기의 동작 과정을 설명하면 다음과 같다.
압전/전왜 회절형 광변조기(300)의 각 픽셀(330)을 구성하는 액추에이팅 셀(320)은 외부로부터 인가되는 구동전원의 유무에 의거하여 입사광을 반사시키는 반사체로 사용되거나, 또는 소정의 회절계수를 갖는 회절빔을 생성하는 가변 회절격자로서 동작한다.
즉, 상기 압전/전왜 회절형 광변조기(300)는 소정 개수의 액추에이팅 셀(320)로 구성된 각 픽셀(330)의 회절 현상에 의하여 발생하는 회절빔, 보다 구체적으로는 0차, +1차, -1차 및 고차의 회절계수를 갖는 회절빔을 생성시키는 것이 가능하고, 여기서는 설명의 편의를 위하여 0차 회절빔에 연동하여 동작하는 엑추에 이팅 셀(320)의 구동에 대하여 설명한다.
먼저, 압전/전왜 회절형 광변조기(300)를 구성하는 각 픽셀(330)은 외부로부터 구동전원이 인가되지 않는 상태에서 수평 방향의 단일빔이 입사되는 경우, 도 11a 및 도 12b에 도시된 바와 같이, 상기 픽셀(310)을 구성하는 엑추에이팅 셀 (320) 상호간에 단차가 형성되지 않아 회절현상이 초래되지 않고, 이에 의하여 상기 단일빔을 입사 방향에 대하여 동일한 방향으로 반사시키는 0차 회절빔을 형성한다.
즉, 0차 회절을 기준으로 하여 반사모드에서는 상기 조명 렌즈부(200a, 200b)를 통하여 입사하는 입사광을 반사시켜 후술하는 이미지 렌즈부(500a, 500b, 500c), 보다 구체적으로는 프로젝션 렌즈를 통하여 소정의 감광부재(600)로 진행시키는 온(ON)상태가 된다.
여기서, 도 11a는 압전/전왜 회절형 광변조기(300)의 각 픽셀(330)을 구성하는 후막 형상의 액추에이팅 셀(320)에 의한 0차 회절빔의 형성을 설명하기 위한 도면이고, 도 11b는 박막 형상의 액추에이팅 셀(320)에 의한 0차 회절빔의 형성을 설명하기 위한 도면이다.
그러나, 외부로부터 구동전원이 인가되는 경우, 압전/전왜 회절형 광변조기 (300)를 구성하는 각 픽셀(330)은, 도 12a 및 12b에 도시된 바와 같이, 구동전원에 연동하여 상·하 방향으로 변화하거나 또는 변화하지 않는 액추에이팅 셀(320)의 구성 변화에 의거하여 가변 회절 격자를 형성하고, 이에 의거하여 외부로부터 입사된 단일빔에 대한 회절을 수행하여 소정의 회절계수를 갖는 멀티빔을 형성한다.
여기서, 도 12a는 압전/전왜 회절형 광변조기(300)의 픽셀(330)을 구성하는 후막 형상의 액추에이팅 셀(320)에 의한 ±1차 회절빔의 형성을 설명하기 위한 도면이고, 도 12b는 박막 형상의 액추에이팅 셀(320)에 의한 ±1차 회절빔의 형성을 설명하기 위한 도면이다.
이때, 상기 각 픽셀(330)을 구성하는 인접한 액추에이팅 셀(320)이 입사광의 파장에 대하여 1/4파장 깊이의 단차를 형성하도록 구동전원을 인가하는 경우, 상기 픽셀(330)은 0차 회절이 최소화 되고, +1차 또는 -1차 회절이 극대화 된다.
즉, 인접한 액추에이팅 셀(320) 상호간의 발생하는 단차, 보다 구체적으로는 반사면의 깊이 차이가 입사광의 파장의 1/4파장 깊이의 단차를 형성하는 회절모드에서는 ±1차 및 고차의회절 빔들이 형성되나, 상기 회절빔들은 후술하는 슬릿 (400a, 400b, 400c)에 의하여 차단되어 이미지 렌즈부(500a, 500b, 500c) 쪽으로 진행하지 못하므로 OFF상태가 된다.
이때, 상기 각 픽셀(330)을 구성하는 인접한 액추에이팅 셀(320)이 입사광의 파장에 대하여 0 에서 1/4의 단차를 형성하도록 구동전원을 인가하는 경우, 상기 픽셀(330)은 0차, +1차 및 -1차 회절계수를 갖는 회절빔을 동시에 형성한다.
압전/전왜 회절형 광변조기(300)의 각 픽셀(330)을 구성하는 액추에이팅 셀은(320)은 외부로부터 인가되는 구동전원의 강도에 의거하여 단차의 고저가 제어되고, 이에 의하여 프린팅의 인쇄강도가 조절된다.
즉, 인가되는 구동전원이 고전압일 경우, 상기 액추에이팅 셀(320)을 구성하는 압전/전왜 재료층(322)은 압전현상에 의거하여 상측 또는 하측의 일측 방향으로 크게 신장되고, 이에 의하여 인쇄용지에 프린팅되는 활자의 인쇄강도가 높아진다.
그러나, 인가되는 구동전원이 저전압일 경우, 상기 액추에이팅 셀(320)을 구성하는 압전/전왜 재료층(322)은 압전현상에 의거하여 상측 또는 하측의 일측 방향으로 작게 신장되고, 이에 의하여 인쇄용지에 프린팅되는 활자의 인쇄강도가 낮아진다.
따라서, 상기 압전/전왜 회절형 광변조기(300)는, 각 픽셀(330)을 구성하는 액추에이팅 셀(320)에 인가하는 구동전압을 미세 조정하여 상기 액추에이팅 셀(320)의 고저를 조정함으로써, 소정의 회절계수, 보다 구체적으로는 0차, ±1차 회절계수를 갖는 회절빔의 세기를 아날로그 적으로 조절할 수 있는 트루 그레이 스케일 제어(true gray scale control)를 수행할 수 있다.
여기서, 도 11 및 도 12을 참조하여 설명한 상기 회절형 광변조기는 0차 회절 빔을 신호로 사용한 경우를 설명한 것이나, 필요에 의해서 적절한 렌즈와 슬릿을 사용하여 ±1차회절 빔을 신호로 사용할 수도 있다.
좌측 슬릿(400a)은 좌측 광원(100a)으로부터 출사된 광이 상기 압전/전왜 회절형 광변조기(300)에 의하여 회절되어 형성된 회절빔을 입력받은 후, 상기 입력된 회절빔 중에서 소정의 회절계수, 보다 구체적으로는 0차, +1차 및 -1차 회절계수를 갖는 회절빔 중에서 소정의 회절계수를 갖는 회절빔만을 선택적으로 투과시켜 이를 후술하는 좌측 이미지 렌즈부(500a)로 출사시킨다.
좌측 이미지 렌즈부(500a)는 상기 좌측 슬릿(400a)을 통하여 입사되는 소정의 회절계수를 갖는 회절빔을 감광드럼 등의 소정의 감광부재(600)의 좌측 1/3의 감광면상에 집속시켜 스팟을 형성시키는 역할을 수행하는 것으로서, 보다 구체적으로는 프로젝션 렌즈이다.
우측 슬릿(400b)은 우측 광원(100b)으로부터 출사된 광이 상기 압전/전왜 회절형 광변조기(300)에 의하여 회절되어 형성된 회절빔을 입력받은 후, 상기 입력된 회절빔 중에서 소정의 회절계수, 보다 구체적으로는 0차, +1차 및 -1차 회절계수를 갖는 회절빔 중에서 소정의 회절계수를 갖는 회절빔만을 선택적으로 투과시켜 이를 후술하는 우측 이미지 렌즈부(500b)로 출사시킨다.
우측 이미지 렌즈부(500b)는 상기 우측 슬릿(400b)을 통하여 입사되는 소정의 회절계수를 갖는 회절빔을 감광드럼 등의 소정의 감광부재(600)의 우측 1/3의 감광면상에 집속시켜 스팟을 형성시키는 역할을 수행하는 것으로서, 보다 구체적으로는 프로젝션 렌즈이다.
중앙 슬릿(400c)은 중앙 광원(100c)으로부터 출사된 광이 상기 압전/전왜 회절형 광변조기(300)에 의하여 회절되어 형성된 회절빔을 입력받은 후, 상기 입력된 회절빔 중에서 소정의 회절계수, 보다 구체적으로는 0차, +1차 및 -1차 회절계수를 갖는 회절빔 중에서 소정의 회절계수를 갖는 회절빔만을 선택적으로 투과시켜 이를 후술하는 중앙 이미지 렌즈부(500c)로 출사시킨다.
중앙 이미지 렌즈부(500c)는 상기 중앙 슬릿(400c)을 통하여 입사되는 소정의 회절계수를 갖는 회절빔을 감광드럼 등의 소정의 감광부재(600)의 중앙 1/3의 감광면상에 집속시켜 스팟을 형성시키는 역할을 수행하는 것으로서, 보다 구체적으로는 프로젝션 렌즈이다.
이하, 도 3 및 도 4를 참조하여 본 발명에 따른 압전/전왜 회절형 광변조기를 이용한 스캐닝 장치의 동작 과정을 상세하게 설명한다.
먼저, 좌측 광원(100a), 보다 구체적으로는 단일의 레이져 다이오드(LD)에서 발생된 구형 파형의 단일빔은 광축상에 형성된 콜리메이션 렌즈(201a)와 실린더 렌즈(202a)로 구성된 좌측 조명 렌즈부(200a)로 입사된다.
여기서, 상기 좌측 조명 렌즈부(200a)를 구성하는 콜리메이션 렌즈(201a)로 입사한 구형 파형의 단일빔은 평행광으로 변환된 후 다시 실린더 렌즈(202a)로 입사된다.
이때, 상기 실린더 렌즈(202a)는, 광로상에 수평방향으로 위치하는 압전/전왜 회절형 광변조기(300)에 수평으로 입사시키기 위하여, 상기 콜리메이션 렌즈(201a)로부터 입사되는 평행광을 수평방향의 선형광으로 변환시킨 후, 이를 회절형 광변조기에 집속시킨다.
상술한 바와 같이 상기 조명 렌즈부(200a)를 통하여 수평방향의 선형광으로 변환된 단일빔이 집속되는 경우, 상기 압전/전왜 회절형 광변조기(300)는 인가되는 구동전원의 유무에 의거하여 소정 개수의 액추에이팅 셀(320)로 구성된 각 픽셀(330)을 반사체로 이용하거나, 또는 상기 액추에이팅 셀(320) 상호간에 형성되는 단차에 의거하여 0차, +1차 및 -1차의 회절계수를 갖는 회절빔을 형성하는 가변 회절격자로서 이용한다.
즉, 외부로부터 구동전원이 인가되지 않는 경우, 상기 압전/전왜 회절형 광변조기(300)의 각 픽셀(330)을 구성하는 액추에이팅 셀(320)은 상호 단차를 형성하 지 않고, 이에 의거하여 상기 각 픽셀(330)은 입사되는 단일빔에 대한 0차 회절을 수행하여 형성된 0차 회절계수를 갖는 회절빔을 좌측 슬릿(400a)으로 출사시킨다.
그리고, 외부로부터 구동전원이 인가되는 경우, 상기 압전/전왜 회절형 광변조기(300)의 각 픽셀(330)을 구성하는 액추에이팅 셀(320)은 상호 단차를 형성하고, 이에 의거하여 상기 각 픽셀(330)은 입사되는 단일빔에 대한 회절을 수행하여 형성된 +1차 또는 -1차 회절계수를 갖는 회절빔을 감광부재(600) 방향으로 출사시킨다.
이때, 상기 압전/전왜 회절형 광변조기(300)는, 도 11 및 도 12에 도시된 바와 같이, 1차원 형상 또는 2차원 형상으로 배열된 각 픽셀(330)의 배열 형상에 의거하여 소정의 회절계수를 갖는 1차원 형상의 회절빔 또는 2차원 형상의 회절빔을 형성한다.
또한, 상기 압전/전왜 회절형 광변조기(300)는, 외부로부터 인가되는 구동전원의 강도에 의거하여 각 픽셀(330)을 구성하는 액추에이팅 셀(320) 상호간에 형성되는 단차의 크기를 미세 조정함으로써, 0차, +1차 및 -1차 회절계수를 갖는 회절빔의 세기를 아날로그 적으로 조절할 수 있는 트루 그레이 스케일 제어(true gray scale control)를 수행한다.
즉, 인가되는 구동전원이 고전압일 경우, 상기 액추에이팅 셀(320)을 구성하는 압전/전왜 재료층(322)은 압전현상에 의거하여 상측 또는 하측의 일측 방향으로 크게 신장되고, 이에 의하여 인쇄용지에 프린팅되는 활자의 인쇄강도가 높아진다.
그러나, 인가되는 구동전원이 저전압일 경우, 상기 액추에이팅 셀(320)을 구 성하는 압전/전왜 재료층(322)은 압전현상에 의거하여 상측 또는 하측의 일측 방향으로 작게 신장되고, 이에 의하여 인쇄용지에 프린팅되는 활자의 인쇄강도가 낮아지는 것이다.
상술한 바와 같이 상기 압전/전왜 회절형 광변조기(300)에 의하여 형성된 소정의 회절계수를 갖는 회절빔이 좌측 슬릿(400a)으로 입사되는 경우, 상기 좌측 슬릿(400a)은 기 설정된 회절계수를 갖는 회절빔만을 통과시키고 나머지 회절계수를 갖는 회절빔에 대하여는 필터링은 수행한다.
즉, 상기 좌측 슬릿(400a)은 0차 회절계수를 갖는 회절빔에 대하여는 필터링을 수행하지 않고, +1차, -1차의 회절계수를 갖는 회절빔에 대해서 필터링을 수행한다.
따라서, 상기 좌측 슬릿(400a)은 0차 회절계수를 갖는 회절빔에 대해서는 필터링을 수행하지 않고 통과시킴으로써, 본 발명에 따른 스캐인 장치는 소정의 감광부재를 구성하는 감광면상에 스팟을 형성시키는 온(ON)상태가 된다.
그러나, 상기 좌측 슬릿(400a)은 +1차 또는 -1차 회절계수를 갖는 회절빔에 대해서는 필터링을 수행하여 통과시키지 않음으로써, 본 발명에 따른 스캐닝 장치는 소정의 감광부재를 구성하는 감광면상에 스팟을 형성시키지 않는 오프(OFF) 상태가 된다.
상술한 바와 같이 상기 좌측 슬릿(400a)에 의하여 선택적으로 필터링된 소정의 회절계수를 갖는 회절빔이 프로젝션 렌즈에 입사되는 경우, 상기 좌측 이미지 렌즈부(500a)는 입사된 소정의 회절계수를 갖는 회절빔을 1차원 또는 2차원 형상으 로 감광부재 (600)의 좌측 1/3의 감광면에 집속시키는 스캐닝을 수행함으로써, 감광면에 대하여 한줄 또는 다수의 줄에 대한 스캐닝을 동시에 수행한다.
다음으로, 중앙 광원(100c), 보다 구체적으로는 단일의 레이져 다이오드(LD)에서 발생된 구형 파형의 단일빔은 압전/전왜 회절형 광변조기(300)로 집속되며, 단일빔이 집속되는 경우, 상기 압전/전왜 회절형 광변조기(300)는 인가되는 구동전원의 유무에 의거하여 소정 개수의 액추에이팅 셀(320)로 구성된 각 픽셀(330)을 반사체로 이용하거나, 또는 상기 액추에이팅 셀(320) 상호간에 형성되는 단차에 의거하여 0차, +1차 및 -1차의 회절계수를 갖는 회절빔을 형성하는 가변 회절격자로서 이용한다.
즉, 외부로부터 구동전원이 인가되지 않는 경우, 상기 압전/전왜 회절형 광변조기(300)의 각 픽셀(330)을 구성하는 액추에이팅 셀(320)은 상호 단차를 형성하지 않고, 이에 의거하여 상기 각 픽셀(330)은 입사되는 단일빔에 대한 0차 회절을 수행하여 형성된 0차 회절계수를 갖는 회절빔을 중앙 슬릿(400c)으로 출사시킨다.
그리고, 외부로부터 구동전원이 인가되는 경우, 상기 압전/전왜 회절형 광변조기(300)의 각 픽셀(330)을 구성하는 액추에이팅 셀(320)은 상호 단차를 형성하고, 이에 의거하여 상기 각 픽셀(330)은 입사되는 단일빔에 대한 회절을 수행하여 형성된 +1차 또는 -1차 회절계수를 갖는 회절빔을 감광부재(600) 방향으로 출사시킨다.
상술한 바와 같이 상기 압전/전왜 회절형 광변조기(300)에 의하여 형성된 소정의 회절계수를 갖는 회절빔이 중앙 슬릿(400c)으로 입사되는 경우, 상기 중앙 슬 릿(400c)은 기 설정된 회절계수를 갖는 회절빔만을 통과시키고 나머지 회절계수를 갖는 회절빔에 대하여는 필터링은 수행한다.
즉, 상기 중앙 슬릿(400c)은 0차 회절계수를 갖는 회절빔에 대하여는 필터링을 수행하지 않고, +1차, -1차의 회절계수를 갖는 회절빔에 대해서 필터링을 수행한다.
따라서, 상기 중앙 슬릿(400c)은 0차 회절계수를 갖는 회절빔에 대해서는 필터링을 수행하지 않고 통과시킴으로써, 본 발명에 따른 스캐인 장치는 소정의 감광부재를 구성하는 감광면상에 스팟을 형성시키는 온(ON)상태가 된다.
그러나, 상기 중앙 슬릿(400c)은 +1차 또는 -1차 회절계수를 갖는 회절빔에 대해서는 필터링을 수행하여 통과시키지 않음으로써, 본 발명에 따른 스캐닝 장치는 소정의 감광부재를 구성하는 감광면상에 스팟을 형성시키지 않는 오프(OFF) 상태가 된다.
상술한 바와 같이 상기 중앙 슬릿(400c)에 의하여 선택적으로 필터링된 소정의 회절계수를 갖는 회절빔이 프로젝션 렌즈에 입사되는 경우, 상기 중앙 이미지 렌즈(500c)는 입사된 소정의 회절계수를 갖는 회절빔을 1차원 또는 2차원 형상으로 감광부재 (600)의 중앙 1/3의 감광면에 집속시키는 스캐닝을 수행함으로써, 감광면에 대하여 한줄 또는 다수의 줄에 대한 스캐닝을 동시에 수행한다.
다음으로, 우측 광원(100b), 보다 구체적으로는 단일의 레이져 다이오드(LD)에서 발생된 구형 파형의 단일빔은 광축상에 형성된 콜리메이션 렌즈(201b)와 실린더 렌즈(202b)로 구성된 우측 조명 렌즈(200b)로 입사된다.
여기서, 상기 우측 조명 렌즈(200b)을 구성하는 콜리메이션 렌즈(201b)로 입사한 구형 파형의 단일빔은 평행광으로 변환된 후 다시 실린더 렌즈(202b)로 입사된다.
이때, 상기 실린더 렌즈(202b)는, 광로상에 수평방향으로 위치하는 압전/전왜 회절형 광변조기(300)에 수평으로 입사시키기 위하여, 상기 콜리메이션 렌즈(201b)로부터 입사되는 평행광을 수평방향의 선형광으로 변환시킨 후, 이를 회절형 광변조기에 집속시킨다.
상술한 바와 같이 상기 우측 조명 렌즈부(200b)를 통하여 수평방향의 선형광으로 변환된 단일빔이 집속되는 경우, 상기 압전/전왜 회절형 광변조기(300)는 인가되는 구동전원의 유무에 의거하여 소정 개수의 액추에이팅 셀(320)로 구성된 각 픽셀(330)을 반사체로 이용하거나, 또는 상기 액추에이팅 셀(320) 상호간에 형성되는 단차에 의거하여 0차, +1차 및 -1차의 회절계수를 갖는 회절빔을 형성하는 가변 회절격자로서 이용한다.
즉, 외부로부터 구동전원이 인가되지 않는 경우, 상기 압전/전왜 회절형 광변조기(300)의 각 픽셀(330)을 구성하는 액추에이팅 셀(320)은 상호 단차를 형성하지 않고, 이에 의거하여 상기 각 픽셀(330)은 입사되는 단일빔에 대한 0차 회절을 수행하여 형성된 0차 회절계수를 갖는 회절빔을 우측 슬릿(400b)으로 출사시킨다.
그리고, 외부로부터 구동전원이 인가되는 경우, 상기 압전/전왜 회절형 광변조기(300)의 각 픽셀(330)을 구성하는 액추에이팅 셀(320)은 상호 단차를 형성하고, 이에 의거하여 상기 각 픽셀(330)은 입사되는 단일빔에 대한 회절을 수 행하여 형성된 +1차 또는 -1차 회절계수를 갖는 회절빔을 감광부재(600) 방향으로 출사시킨다.
상술한 바와 같이 상기 압전/전왜 회절형 광변조기(300)에 의하여 형성된 소정의 회절계수를 갖는 회절빔이 우측 슬릿(400b)으로 입사되는 경우, 상기 우측 슬릿(400b)은 기 설정된 회절계수를 갖는 회절빔만을 통과시키고 나머지 회절계수를 갖는 회절빔에 대하여는 필터링은 수행한다.
즉, 상기 우측 슬릿(400b)은 0차 회절계수를 갖는 회절빔에 대하여는 필터링을 수행하지 않고, +1차, -1차의 회절계수를 갖는 회절빔에 대해서 필터링을 수행한다.
따라서, 상기 우측 슬릿(400b)은 0차 회절계수를 갖는 회절빔에 대해서는 필터링을 수행하지 않고 통과시킴으로써, 본 발명에 따른 스캐인 장치는 소정의 감광부재를 구성하는 감광면상에 스팟을 형성시키는 온(ON)상태가 된다.
그러나, 상기 우측 슬릿(400b)은 +1차 또는 -1차 회절계수를 갖는 회절빔에 대해서는 필터링을 수행하여 통과시키지 않음으로써, 본 발명에 따른 스캐닝 장치는 소정의 감광부재를 구성하는 감광면상에 스팟을 형성시키지 않는 오프(OFF) 상태가 된다.
상술한 바와 같이 상기 우측 슬릿(400b)에 의하여 선택적으로 필터링된 소정의 회절계수를 갖는 회절빔이 프로젝션 렌즈에 입사되는 경우, 상기 우측 이미지 렌즈부(500b)는 입사된 소정의 회절계수를 갖는 회절빔을 1차원 또는 2차원 형상으로 감광부재 (600)의 우측 1/3의 감광면에 집속시키는 스캐닝을 수행함으로써, 감 광면에 대하여 한줄 또는 다수의 줄에 대한 스캐닝을 동시에 수행한다.
한편, 여기에서는 레이저 프린터에 대해서만 설명하였지만 그 외에 디스플레이 장치나 광 스토리지 등에도 사용가능하다.
상기와 같은 본 발명에 따르면, 다수의 광원을 사용함으로써 다수의 광변조기의 픽셀을 구비하지 않아도 됨으로 비용상의 부담을 경감할 수 있도록 하는 효과가 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 다수의 광변조기의 픽셀을 구비하지 않아도 됨으로 시스템의 복잡성을 증가시키지 않도록 하는 효과가 있다.
여기서, 상술한 본 발명에서는 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허청구범위에 기재된 본 발명의 기술적사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경할 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.

Claims (13)

  1. 삭제
  2. 해당 광원으로부터 입사되는 구형 파형의 단일빔을 평면 파형의 단일빔으로 변환시키는 콜리메이션 렌즈와 상기 콜리메이션 렌즈로부터 입사되는 평면 파형의 단일빔을 수평방향으로 입사시키기 위하여 상기 평면 파형의 단일빔을 수평방향의 선형광으로 변환시키는 실린더 렌즈를 포함하며 다수의 광원중 해당 광원으로부터 출력된 단일빔을 광로 방향에 대하여 수평주사 시키는 다수의 조명 렌즈 수단;
    상기 다수의 조명 렌즈 수단으로부터 순차적으로 해당 단일빔을 수신하여 다수의 회절빔을 생성하여 출력하는 회절형 광변조기;
    상기 회절형 광변조기로부터 입사되는 다수의 회절빔 중에서 소정의 회절계수를 갖는 회절빔에 대한 필터링을 수행하는 상기 다수의 조명 렌즈 수단에 각각 대응하여 한쌍을 이루는 다수의 슬릿; 및
    상기 다수의 슬릿에 각각 대응하여 한쌍을 이루며, 상기 다수의 슬릿중에서 해당 슬릿에 의하여 선택적으로 필터링 된 소정의 회절계수를 갖는 회절빔을 대상 물체의 해당 섹터에 조사하는 다수의 이미지 렌즈수단
    을 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 광변조기를 이용한 다중 광원 스캐닝 장치.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 광원은, 단일빔을 출력하는 하나의 레이저 다이오드인 것을 특징으로 하는 광변조기를 이용한 다중 광원 스캐닝 장치.
  4. 제 2 항에 있어서, 상기 광변조기는,
    다수의 픽셀이 1차원 형상으로 배열된 구조를 갖고, 상기 픽셀에 의한 1차원 수평주사에 의하여 감광면상에 한줄의 스캐닝을 동시에 수행하는 것을 특징으로 하는 광변조기를 이용한 다중 광원 스캐닝 장치.
  5. 제 2 항에 있어서, 상기 광변조기는,
    다수의 픽셀이 2차원 형상으로 배열된 구조를 갖고, 상기 픽셀에 의한 2차원 수평주사에 의하여 감광면에 다수의 줄에 대한 스캐닝을 동시에 수행하는 것을 특징으로 하는 광변조기를 이용한 다중 광원 스캐닝 장치.
  6. 제 2 항 내지 제 5 항에 있어서,
    상기 광변조기는 투과형 광변조기인 것을 특징으로 하는 광변조기를 이용한 다중 광원 스캐닝 장치.
  7. 제 2 항 내지 제 5 항에 있어서,
    상기 광변조기는 반사형 광변조기인 것을 특징으로 하는 광변조기를 이용한 다중 광원 스캐닝 장치.
  8. 제 2 항 내지 제 5 항에 있어서,
    상기 광변조기는 회절형 광변조기인 것을 특징으로 하는 광변조기를 이용한 다중 광원 스캐닝 장치.
  9. 제 8 항에 있어서, 상기 회절형 광변조기는 박막 구조를 갖는 소정 개수의 엑추에이팅 셀로 구성된 것을 특징으로 하는 광변조기를 이용한 다중 광원 스캐닝 장치.
  10. 제 8항에 있어서,
    상기 회절형 광변조기는 후막 구조를 갖는 소정 개수의 엑추에이팅 셀로 구성된 것을 특징으로 하는 광변조기를 이용한 다중 광원 스캐닝 장치.
  11. 제 2 항 내지 제 5 항에 있어서,
    상기 대상 물체는 감광 부재인 것을 특징으로 하는 진동 광변조기를 이용한 다중 광원 스캐닝 장치.
  12. 제 2 항 내지 제 5 항에 있어서,
    상기 대상 물체는 스크린인 것을 특징으로 하는 진동 광변조기를 이용한 다중 광원 스캐닝 장치.
  13. 제 2 항 내지 제 5 항에 있어서,
    상기 대상 물체는 광스트로지 장치인 것을 특징으로 하는 진동 광변조기를 이용한 다중 광원 스캐닝 장치.
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