JP2005340515A - Spray coating apparatus and spray coating method using the same - Google Patents

Spray coating apparatus and spray coating method using the same Download PDF

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a spray coating apparatus that can apply a uniform-thickness coating film on the surface of a work even if the surface thereof is uneven and that can cope with the changed irregularity of the work. <P>SOLUTION: The spray coating apparatus is provided with a work supporting stand 3 in a coating chamber 1, and it sprays a coating liquid over a work 2 placed on the work supporting stand 3 so as to form a coating film on the surface of the work 2. A coating nozzle 5 is provided in the coating chamber 1 to spray the coating liquid over the work 2, and a plurality of air supply and exhaust ports 25a are provided around the work supporting stand 3. The air supply and exhaust ports 25a are independent and movable, respectively, and they can be freely directed, and furthermore, their supply and exhaust volumes can be adjusted independently. <P>COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

Description

本発明は、シリコン基板などのワークに塗布液を噴霧して塗膜を形成するために用いられるスプレーコート装置及びこれを用いたスプレーコート方法に関する。   The present invention relates to a spray coating apparatus used for spraying a coating liquid onto a workpiece such as a silicon substrate to form a coating film, and a spray coating method using the same.

従来の塗布装置としては、塗布チャンバ内に配置された回転台と、この回転台に着脱自在に固定されたワークの表面に塗布液（液状の塗布材）を滴下する塗布ノズルが備えられたものが知られている（例えば、特許文献１参照）。この塗布装置を用いてワークに塗布液をスピンコートするには、上記回転台に固定されたワークに上記塗布ノズルから塗布液を滴下したのち、上記回転台を高速回転してワークの表面に塗膜を形成している。
しかしこのような塗布装置を用いて表面に凹凸を有するワークにスピンコートを行うと、液状の塗布材ではワークの凹凸形状で塗料の液だれが生じてしまい、均一な塗膜を成膜するのが困難であった。 As a conventional coating apparatus, there is provided a turntable disposed in a coating chamber, and a coating nozzle for dropping a coating liquid (liquid coating material) on the surface of a work detachably fixed to the turntable. Is known (see, for example, Patent Document 1). In order to spin coat the coating liquid onto the workpiece using this coating apparatus, the coating liquid is dropped from the coating nozzle onto the workpiece fixed to the rotary table, and then the rotary table is rotated at a high speed to apply the coating liquid onto the surface of the workpiece. A film is formed.
However, when spin coating is performed on a workpiece having irregularities on the surface using such a coating apparatus, the liquid coating material causes dripping of the paint due to the irregular shape of the workpiece, and a uniform coating film is formed. It was difficult.

そこで凹凸を有するワークに塗布材を塗布する装置として、吹付室内にワークを載置した状態で搬送する搬送機構とワークに塗布液を噴霧するスプレーノズルとを設け、かつこのスプレーノズルの位置をワークの形状に合わせて固定した装置が考えられている（例えば、特許文献２参照）。
しかしこのような塗布装置では、ワークの形状が変わると使用できないという問題があった。 Therefore, as a device for applying the coating material to the workpiece having irregularities, a transport mechanism for transporting the workpiece in a state where the workpiece is placed in the spray chamber and a spray nozzle for spraying the coating liquid on the workpiece are provided, and the position of the spray nozzle is set to the workpiece. An apparatus fixed in conformity with the shape of this is considered (for example, see Patent Document 2).
However, such a coating apparatus has a problem that it cannot be used when the shape of the workpiece changes.

従来の塗布装置のその他の例としては、ワークの凹凸形状に応じてスプレーノズルとワークとの角度や距離を変更できるようにした装置が知られている（例えば、特許文献３参照）。
しかしながらこの装置では、複雑な形状のワークに塗布材を塗布する場合、スプレーノズルの位置制御が複雑になり、微小な凹凸形状に均一に塗布を行うことができなかった。また、塗布チャンバ内でスプレーノズルの角度を変更すると、ノズルから噴射した塗布材がチャンバ内壁で跳ね返ってワークに付着することがあり、均一な塗布が行えないという問題があった。
特開平５−２５９０５０号公報 特開平５−１８４９８７号公報 特開平６−０３９３３９号公報 As another example of a conventional coating apparatus, an apparatus is known in which the angle and distance between the spray nozzle and the workpiece can be changed in accordance with the uneven shape of the workpiece (see, for example, Patent Document 3).
However, in this apparatus, when applying a coating material to a workpiece having a complicated shape, the position control of the spray nozzle becomes complicated, and it has not been possible to uniformly apply to a minute uneven shape. Further, when the angle of the spray nozzle is changed in the coating chamber, there is a problem that the coating material sprayed from the nozzle may bounce off the inner wall of the chamber and adhere to the workpiece, so that uniform coating cannot be performed.
JP-A-5-259050 JP-A-5-184987 Japanese Patent Laid-Open No. 6-039339

本発明は上記事情に鑑みてなされたもので、ワークが表面に凹凸を有するものであっても、ワークの表面に均一な厚みの塗膜を形成でき、しかもワークの凹凸形状が変化しても対応可能なスプレーコート装置を提供することにある。
また、ワークが表面に凹凸を有するものであっても、ワークの表面に均一な厚みの塗膜を形成できるスプレーコート方法の提供を目的とする。 The present invention has been made in view of the above circumstances, and even if the workpiece has irregularities on the surface, a coating film with a uniform thickness can be formed on the surface of the workpiece, and the irregular shape of the workpiece changes. An object of the present invention is to provide a spray coating apparatus that can be used.
Moreover, even if a workpiece | work has an unevenness | corrugation on the surface, it aims at provision of the spray coat method which can form the coating film of uniform thickness on the surface of a workpiece | work.

本発明のスプレーコート装置は、塗布チャンバ内にワーク支持台を有し、該ワーク支持台上に載置されたワークに塗布液を噴霧して前記ワークの表面に塗膜を成膜するスプレーコート装置であって、
前記塗布チャンバ内に前記ワークに塗布液を噴霧する塗布用ノズルが設けられ、前記ワーク支持台の周囲に複数の排気口が設けられ、
前記複数の排気口はそれぞれ独立して、その位置が移動可能で且つ排気口の向く方向が変更可能な構成とされ、それぞれ独立して排気量が調節可能な構成とされたことを特徴とする。 The spray coating apparatus of the present invention has a work support base in a coating chamber, and spray coats a coating liquid onto a work placed on the work support base to form a coating film on the surface of the work. A device,
A coating nozzle for spraying a coating liquid onto the workpiece is provided in the coating chamber, and a plurality of exhaust ports are provided around the workpiece support.
Each of the plurality of exhaust ports is configured such that the position thereof can be moved independently and the direction of the exhaust port can be changed, and the exhaust amount can be independently adjusted. .

また、上記構成の本発明のスプレーコート装置において、前記ワーク支持台の周囲に複数の給気口が設けられ、前記複数の給気口はそれぞれ独立して、その位置が移動可能で且つ給気口の向く方向が変更可能な構成とされ、それぞれ独立して給気量が調節可能な構成とされたことを特徴とする。
また、上記のいずれかの構成の本発明のスプレーコート装置において、前記塗布チャンバ内の雰囲気を減圧する減圧手段が設けられていることが好ましい。 Further, in the spray coating apparatus of the present invention having the above-described configuration, a plurality of air supply ports are provided around the work support base, and the plurality of air supply ports can be moved independently of each other, and the air supply port can be moved. The configuration is such that the direction in which the mouth faces can be changed, and the supply amount can be adjusted independently.
Moreover, in the spray coating apparatus of the present invention having any one of the above-described configurations, it is preferable that a decompression means for decompressing the atmosphere in the coating chamber is provided.

本発明のスプレーコート方法は、上記の塗布チャンバ内にワーク支持台と塗布用ノズルと複数の排気口が設けられた上記構成の本発明のスプレーコート装置を用い、前記塗布用ノズルから前記塗布液を噴霧して前記ワークの表面に塗膜を形成する際に、前記複数の排気口からそれぞれ排出する排気量を個別に調節することを特徴とする。
また、本発明のスプレーコート方法は、上記の塗布チャンバ内にワーク支持台と塗布用ノズルと複数の給気口が設けられたスプレーコート装置を用い、前記塗布用ノズルから前記塗布液を噴霧して前記ワークの表面に塗膜を形成する際に、前記複数の給気口からそれぞれ供給する給気量を制御することを特徴とする。 The spray coating method of the present invention uses the spray coating apparatus of the present invention having the above-described configuration in which a workpiece support base, a coating nozzle, and a plurality of exhaust ports are provided in the coating chamber, and the coating liquid is supplied from the coating nozzle. When the spray is sprayed to form a coating film on the surface of the workpiece, the exhaust amount discharged from each of the plurality of exhaust ports is individually adjusted.
Further, the spray coating method of the present invention uses a spray coating apparatus in which a workpiece support base, a coating nozzle, and a plurality of air supply ports are provided in the coating chamber, and sprays the coating liquid from the coating nozzle. Then, when the coating film is formed on the surface of the workpiece, the amount of air supplied from each of the plurality of air supply ports is controlled.

また、本発明のスプレーコート方法は、上記の塗布チャンバ内にワーク支持台と塗布用ノズルと複数の排気口と複数の給気口が設けられた上記構成の本発明のスプレーコート装置を用い、前記塗布用ノズルから前記塗布液を噴霧して前記ワークの表面に塗膜を形成する際に、前記複数の排気口からそれぞれ排出する排気量を個別に調節するとともに前記複数の給気口からそれぞれ供給する給気量を制御することを特徴とする。   Further, the spray coating method of the present invention uses the spray coating apparatus of the present invention having the above-described configuration in which a work support, a coating nozzle, a plurality of exhaust ports, and a plurality of air supply ports are provided in the coating chamber. When the coating liquid is sprayed from the coating nozzle to form a coating film on the surface of the workpiece, the exhaust amount discharged from each of the plurality of exhaust ports is individually adjusted and the plurality of air supply ports respectively. The supply air amount is controlled.

また、本発明の立体回路基板の製造方法は、上記のいずれかの構成の本発明のスプレーコート方法を用いる立体回路基板の製造方法であって、
前記塗布液としてレジストとその溶剤からなる塗布液を用い、前記ワーク支持台に載置されたワークとして表面に凹凸を有するワークを用いることを特徴とする。
上記の構成の本発明の立体回路基板の製造方法において、前記ワークの表面に塗膜を形成する工程の後に、フォトリソグラフィー技術により配線パターンを形成する工程を備えることを特徴とする。 Moreover, the manufacturing method of the three-dimensional circuit board of the present invention is a method of manufacturing a three-dimensional circuit board using the spray coating method of the present invention having any one of the above-described configurations,
A coating liquid composed of a resist and a solvent thereof is used as the coating liquid, and a work having irregularities on the surface is used as the work placed on the work support.
In the method of manufacturing a three-dimensional circuit board according to the present invention having the above-described configuration, a step of forming a wiring pattern by a photolithography technique is provided after the step of forming a coating film on the surface of the workpiece.

本発明のスプレーコート装置は、前記塗布チャンバ内に前記ワークに塗布液を噴霧する塗布用ノズルが設けられ、前記ワーク支持台の周囲に複数の排気口が設けられ、前記複数の排気口はそれぞれ独立して、その位置が移動可能で且つ排気口の向く方向が変更可能な構成とされ、それぞれ独立して排気量が調節可能な構成とされたものであるので、複数の排気口は全て単独に制御することができ、かつ排気の量も単独に制御することができるため、表面に凹凸を有するような形状が複雑なワークへの塗膜の形成にも対応することができ、ワークの表面に均一な厚みの塗膜を形成することができる。
また、塗布用ノズルから塗布液を噴霧してワークに塗布液をスプレーコートする際に、上記複数の排気口から強制排気して塗布チャンバ内を減圧することで、空気抵抗が減り、ワークへの霧状の塗布液（塗布液ミスト）の付きまわり性を向上できる。
また、ワークの形状に応じて複数の排気口の位置及び排気口の向く方向を塗布液の噴霧前或いは噴霧中に調整し、また、塗布用ノズルから塗布液を噴霧してワークに塗布液をスプレーコートする際には各排気口からの排気量を調整し、塗布液ミストの流れを制御することでワークの表面に厚みが均一な塗膜を形成できる。 In the spray coating apparatus of the present invention, a coating nozzle for spraying a coating liquid onto the workpiece is provided in the coating chamber, a plurality of exhaust ports are provided around the work support base, and the plurality of exhaust ports are respectively Independently, the position can be moved and the direction of the exhaust port can be changed, and the exhaust amount can be adjusted independently. And the amount of exhaust gas can be controlled independently, so that it is possible to cope with the formation of coatings on workpieces with complex shapes that have irregularities on the surface. A coating film having a uniform thickness can be formed.
In addition, when spraying the coating liquid on the workpiece by spraying the coating liquid from the coating nozzle, the air resistance is reduced by forcibly evacuating the plurality of exhaust ports and reducing the pressure in the coating chamber. The throwing power of the mist-like coating liquid (coating liquid mist) can be improved.
In addition, the position of the plurality of exhaust ports and the direction of the exhaust ports are adjusted before or during spraying of the coating liquid according to the shape of the workpiece, and the coating liquid is sprayed from the coating nozzle to spray the coating liquid onto the workpiece. When spray coating is performed, the amount of exhaust from each exhaust port is adjusted, and the flow of the coating liquid mist can be controlled to form a coating film having a uniform thickness on the surface of the workpiece.

また、前記ワーク支持台の周囲に複数の給気口が設けられ、前記複数の給気口はそれぞれ独立して、その位置が移動可能で且つ給気口の向く方向が変更可能な構成とされ、それぞれ独立して給気量が調節可能な構成とされたものにあっては、給気の量も単独に制御することができる。
また、ワークの形状に応じて複数の給気口の位置及び給気口の向く方向を塗布液の噴霧前或いは噴霧中に調整し、また、塗布用ノズルから塗布液を噴霧してワークに塗布液をスプレーコートする際には各給気口からの給気量を調整し、塗布液ミストの流れを制御することでワークの表面に厚みが均一な塗膜を形成できる。 In addition, a plurality of air supply ports are provided around the work support base, and the plurality of air supply ports can be independently moved and their directions can be changed. In the case where the air supply amount is adjustable independently, the amount of air supply can be controlled independently.
In addition, the position of the air supply ports and the direction of the air supply ports are adjusted before or during spraying of the coating liquid according to the shape of the workpiece, and the coating liquid is sprayed from the coating nozzle and applied to the workpiece. When spray-coating the liquid, a coating film having a uniform thickness can be formed on the surface of the workpiece by adjusting the amount of air supplied from each air supply port and controlling the flow of the coating liquid mist.

例えば、表面に凹凸を有し、かつこの凸部の一方の側に斜面を有する形状のワークに塗膜を形成するには、上記ワークの斜面の近傍に配置された給気口から緩く給気を行い、斜面の近傍以外の部分に配置された排気口からは強制排気を行う（特に、ワークの斜面が形成されている側と反対側（他方の側）に配置されている排気口中心に強制的に排気を行う）ことで、塗布用ノズルから噴霧された塗布液ミストの流れをワークの上記斜面が形成された側と反対側に向かう流れとすることができ、この塗布液ミストの流れによって上記斜面への塗布液ミストのつきまわりが良くなり、斜面を有するワークの表面にも厚みが均一の塗布膜を形成することができる。
従って、本発明のスプレーコート装置によれば、ワークが表面に凹凸を有するものであっても、表面に均一な厚みの塗膜を形成でき、しかもワークの凹凸形状が変化しても対応可能である。 For example, in order to form a coating film on a workpiece having irregularities on the surface and a slope on one side of the projection, loosely supply air from an air supply port arranged in the vicinity of the slope of the workpiece. And forced exhaust from the exhaust port located in the area other than the vicinity of the slope (especially in the center of the exhaust port located on the opposite side (the other side) from the side where the workpiece slope is formed. By forcibly evacuating), the flow of the coating liquid mist sprayed from the coating nozzle can be made to flow toward the side opposite to the side on which the slope of the workpiece is formed. As a result, the coating liquid mist can be easily applied to the slope, and a coating film having a uniform thickness can be formed on the surface of the workpiece having the slope.
Therefore, according to the spray coating apparatus of the present invention, even if the workpiece has irregularities on the surface, it is possible to form a coating film with a uniform thickness on the surface, and it is possible to cope with changes in the irregular shape of the workpiece. is there.

また、本発明のスプレーコート方法によれば、上記のいずれかの構成の本発明のスプレーコート装置を用い、前記塗布用ノズルから前記塗布液を噴霧して前記ワークの表面に塗膜を形成する際に、前記複数の排気口からそれぞれ排出する排気量を個別に調節するか、あるいは前記複数の給気口からそれぞれ供給する給気量を制御するか、あるいは前記複数の排気口からそれぞれ排出する排気量を個別に調節するとともに前記複数の給気口からそれぞれ供給する給気量を制御することにより、塗布液ミストの流れを制御することができ、ワークが表面に凹凸を有するものであっても表面に厚みが均一な塗膜を形成できる。   Moreover, according to the spray coating method of the present invention, the coating liquid is sprayed from the coating nozzle to form a coating film on the surface of the workpiece using the spray coating apparatus of the present invention having any one of the above configurations. In this case, the amount of exhaust discharged from each of the plurality of exhaust ports is individually adjusted, the amount of air supplied from each of the plurality of air supply ports is controlled, or each of the plurality of exhaust ports is discharged. The flow of the coating liquid mist can be controlled by individually adjusting the exhaust amount and controlling the amount of air supplied from each of the plurality of air supply ports, and the workpiece has irregularities on the surface. Can form a coating film having a uniform thickness on the surface.

次に図面を用いて本発明の実施の形態を詳細に説明する。
なお、本発明は以下に説明する実施の形態に限定されるものではないことは勿論であるとともに、以下の図面においては各構成部分の縮尺について図面に表記することが容易となるように構成部分毎に縮尺を変えて記載している。
（第１の実施形態）
図１は、第１の実施形態のスプレーコート装置の概略構成を示す図である。
本実施形態のスプレーコート装置は、塗布チャンバ１内に、ワーク２を載置するワーク支持台３と、ワーク支持台３上に載置されたワーク２に溶剤蒸気とともに塗布液を霧状に噴霧する二流体ノズルからなる塗布用ノズル５が設けられ、ワーク支持台３の周囲に複数の給排気手段１１が設けられ、さらにこの塗布チャンバ１にこの塗布チャンバ１内を雰囲気を減圧する減圧手段（図示略）が設けられた概略構成のものである。 Next, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
The present invention is of course not limited to the embodiments described below, and in the following drawings, the constituent parts are shown so that the scale of each constituent part can be easily shown in the drawings. The scale is changed every time.
(First embodiment)
FIG. 1 is a diagram illustrating a schematic configuration of a spray coating apparatus according to the first embodiment.
The spray coating apparatus according to the present embodiment sprays the coating liquid together with solvent vapor onto the work support 3 on which the work 2 is placed in the coating chamber 1 and the work 2 placed on the work support 3 in a mist form. A coating nozzle 5 comprising a two-fluid nozzle is provided, a plurality of air supply / exhaust means 11 are provided around the work support base 3, and a pressure reducing means for reducing the atmosphere in the coating chamber 1 in the coating chamber 1 ( (Not shown).

ワーク支持台３の下面には、モータ（図示略）の回転軸３ａが取り付けられており、上記モータを駆動すると回転軸３ａによりワーク支持台３も回転駆動するようになっている。ワーク支持台３には、ワーク支持台３に載置されたワーク２を加熱するための加熱手段が備えられていてもよい。
このワーク支持台３の上面にワーク２が載置される。ワーク支持台３は、吸引によりワーク２を保持できるようになっている。
ワーク２は、シリコン基板、プリント基板、プラスチック基板、Ｃｕ基板、金属層付き基板、プリント配線基板などの基板や、また、この種の基板で表面に凹凸を有するものや、さらにこの凸部に斜面２ａを有する形状のものが用いられる。 A rotating shaft 3a of a motor (not shown) is attached to the lower surface of the work support base 3. When the motor is driven, the work support base 3 is also rotationally driven by the rotary shaft 3a. The workpiece support 3 may be provided with a heating means for heating the workpiece 2 placed on the workpiece support 3.
The workpiece 2 is placed on the upper surface of the workpiece support 3. The work support 3 can hold the work 2 by suction.
Workpiece 2 is a substrate such as a silicon substrate, a printed circuit board, a plastic substrate, a Cu substrate, a substrate with a metal layer, or a printed wiring board. A shape having 2a is used.

ワーク支持台３の上方に二流体ノズルからなる塗布用ノズル５が配置されている。この塗布用ノズル５に塗布液供給源（図示略）から塗布液４が供給される塗布液供給管５ａが接続され、また、この塗布液供給管５ａに塗布液の流量をコントロールするレギュレータ（図示略）とエアオペレーションバルブ５ｂが設けられている。上記塗布液供給源は、塗布液４が収容された容器が備えられており、この容器内はＮ２加圧系によって加圧されている。
また、塗布用ノズル５に溶剤供給源（図示略）から溶剤蒸気９が供給される溶剤供給管８ａが接続され、また、この溶剤供給管８ａに溶剤蒸気の流量をコントロールするレギュレータ（図示略）とエアオペレーションバルブ８ｂが設けられている。上記溶剤供給源には、溶剤が収容された容器が備えられており、この容器内はＮ２加圧系によって加圧され、溶剤の飽和蒸気圧に保たれており、それにより容器内で溶剤蒸気が発生している。 An application nozzle 5 composed of a two-fluid nozzle is disposed above the work support 3. A coating liquid supply pipe 5a to which the coating liquid 4 is supplied from a coating liquid supply source (not shown) is connected to the coating nozzle 5, and a regulator (not shown) for controlling the flow rate of the coating liquid is connected to the coating liquid supply pipe 5a. And an air operation valve 5b. The coating liquid supply source includes a container in which the coating liquid 4 is accommodated, and the inside of the container is pressurized by an N 2 pressure system.
A solvent supply pipe 8a to which solvent vapor 9 is supplied from a solvent supply source (not shown) is connected to the coating nozzle 5, and a regulator (not shown) for controlling the flow rate of the solvent vapor is connected to the solvent supply pipe 8a. And an air operation valve 8b. The solvent supply source is provided with a container containing a solvent, and the inside of the container is pressurized by an N 2 pressurization system and maintained at the saturated vapor pressure of the solvent, whereby the solvent is contained in the container. Steam is generated.

オペレーションバルブ５ｂを開にすると、上記塗布液供給源の容器内の塗布液が上記レギュレータ、バルブ５ｂを経由して塗布用ノズル５内に注入される。一方、エアオペレーションバルブ８ｂを開にすると、上記溶剤供給源において発生した溶剤蒸気９が上記レギュレータ、エアオペレーションバルブ８ｂを経由して塗布用ノズル５内に注入される。
このように塗布用ノズル５に溶剤蒸気９と塗布液４が供給されると、このノズル５の噴射口から溶剤蒸気とともに霧状の塗布液（塗布液ミスト）４ａがワーク支持台３に向けて噴霧される。 When the operation valve 5b is opened, the coating liquid in the container of the coating liquid supply source is injected into the coating nozzle 5 via the regulator and the valve 5b. On the other hand, when the air operation valve 8b is opened, the solvent vapor 9 generated in the solvent supply source is injected into the coating nozzle 5 via the regulator and the air operation valve 8b.
Thus, when the solvent vapor 9 and the coating liquid 4 are supplied to the coating nozzle 5, a mist-like coating liquid (coating liquid mist) 4 a is directed toward the work support 3 together with the solvent vapor from the nozzle 5. Sprayed.

塗布液４としては、ワーク支持台３上に載置するワーク２及びこのワーク２に施す処理によって異なるが、レジストとレジストシンナー（溶剤）を含んでおり、レジストとしてはネガレジスト、ポジレジスト、ソルダレジストなどが用いられる。
溶剤９としては、塗布液４に含まれている溶剤が用いられ、例えば、キシレン、乳酸エチル、３メチルメトキシプロピオネ―ト（ＭＭＰ）、エチルエトキシプロピオネート（ＥＥＰ）、アセトン、ｎ−ブチルアセテート（ＮＢＡ）、エチルセロソルブアセテート（ＥＣＡ）、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（ＰＧＮＥＡ）などレジストシンナーとして使用される溶剤が用いられる。
塗布用ノズル５から噴射される塗布液の量としては、３０〜２００ｇ／時間程度とされる。 The coating liquid 4 varies depending on the workpiece 2 placed on the workpiece support 3 and the treatment applied to the workpiece 2, but includes a resist and a resist thinner (solvent). The resist includes a negative resist, a positive resist, and a solder. A resist or the like is used.
As the solvent 9, a solvent contained in the coating solution 4 is used. For example, xylene, ethyl lactate, 3 methylmethoxypropionate (MMP), ethylethoxypropionate (EEP), acetone, n-butyl A solvent used as a resist thinner such as acetate (NBA), ethyl cellosolve acetate (ECA), propylene glycol monomethyl ether acetate (PGNEA) is used.
The amount of the coating liquid sprayed from the coating nozzle 5 is about 30 to 200 g / hour.

また、図２に示すようにワーク支持台３の周囲に複数の給排気手段１１が設けられている。
給排気手段１１は、図３に示すように上下に昇降可能な第一ステージ２１上に左右に移動可能な第二ステージ２２が設けられ、第二ステージ２２上に第一ジョイント２３を介して蛇腹状の第一給排気管２４が接続され、さらにこの第一給排気管２４と蛇腹状の第二給排気管２５とが第二ジョイント２６を介して接続されている。第一ステージ２１内と第二ステージ２２内にはそれぞれ給排気用通路（図示略）が形成されており、これら給排気用通路は連通している。
第一給排気管２４と第二ステージ２２の給排気用通路とは第一ジョイント２３を介して連通しており、第一給排気管２４と第二給排気管２５とは第二ジョイント２６を介して連通している。第一ステージ２１の給排気用通路は、給排気ライン（図示略）に接続されている。第二給排気管２５の先端が給排気口２５ａとされている。
これら複数の給排気手段１１は、複数の第二給排気２５が塗布チャンバ１内のワーク支持台３の周囲に配置されることで、複数の給排気口２５ａがワーク支持台３の周囲で開口している。 Further, as shown in FIG. 2, a plurality of air supply / exhaust means 11 are provided around the work support 3.
As shown in FIG. 3, the air supply / exhaust means 11 is provided with a second stage 22 that can be moved left and right on a first stage 21 that can be moved up and down, and a bellows through a first joint 23 on the second stage 22. A first air supply / exhaust pipe 24 is connected, and the first air supply / exhaust pipe 24 and a bellows-like second air supply / exhaust pipe 25 are connected via a second joint 26. An air supply / exhaust passage (not shown) is formed in each of the first stage 21 and the second stage 22, and these air supply / exhaust passages communicate with each other.
The first air supply / exhaust pipe 24 communicates with the air supply / exhaust passage of the second stage 22 via the first joint 23, and the first air supply / exhaust pipe 24 and the second air supply / exhaust pipe 25 connect the second joint 26. Communicated through. The air supply / exhaust passage of the first stage 21 is connected to an air supply / exhaust line (not shown). The tip of the second air supply / exhaust pipe 25 is an air supply / exhaust port 25a.
The plurality of air supply / exhaust means 11 is configured such that the plurality of second air supply / exhaust air 25 is disposed around the work support base 3 in the coating chamber 1, so that the plurality of air supply / exhaust ports 25 a are opened around the work support base 3. doing.

各給排気手段１１は、第一と第二給排気管２４、２５をそれぞれ伸縮することにより給排気口２５ａの高さを変更可能であり、また、第一と第二ジョイント２３、３６をそれぞれ回転することにより給排気口２５ａの向きを変更可能であり、また、第一ステージ２１、第二ステージ２２により給排気口２５ａの位置を変更できるようになっている。
また、各給排気手段１１の給排気量は、上記給排気ラインに備えられたファン（図示略）の回転数又はダンパ（図示略）の開閉により制御することができる。
従って、ワーク支持台３の周囲に配置された複数の排気口２５ａはそれぞれ独立して、その位置が移動可能で且つ給排気口の向く方向が変更可能な構成とされ、それぞれ独立して給排気量が調節可能な構成とされている。
複数の給排気手段１１から排気される排気量の合計は、塗布用ノズル５から供給される空気の量以上とされ、例えば、塗布ノズル５からの空気の供給量が４０リットル／分（４０ＳＬＭ）の場合、排気量の合計は４０リットル／分以上とされる。 Each air supply / exhaust means 11 can change the height of the air supply / exhaust port 25a by expanding and contracting the first and second air supply / exhaust pipes 24, 25, respectively. By rotating, the direction of the air supply / exhaust port 25 a can be changed, and the position of the air supply / exhaust port 25 a can be changed by the first stage 21 and the second stage 22.
The supply / exhaust amount of each supply / exhaust means 11 can be controlled by the rotation speed of a fan (not shown) provided in the supply / exhaust line or opening / closing of a damper (not shown).
Accordingly, the plurality of exhaust ports 25a arranged around the work support 3 are independently configured so that their positions can be moved and the direction of the air supply / exhaust ports can be changed. The amount can be adjusted.
The total exhaust amount exhausted from the plurality of air supply / exhaust means 11 is equal to or greater than the amount of air supplied from the application nozzle 5, for example, the supply amount of air from the application nozzle 5 is 40 liters / minute (40 SLM). In this case, the total displacement is 40 liters / minute or more.

次に、図１乃至図３に示すスプレーコート装置を用いてワーク２の表面に塗膜を形成するスプレーコート方法について説明する。
まず、上記減圧手段により塗布チャンバ１内の雰囲気を減圧する。
ついで、塗布チャンバ１内のワーク支持台３の上面にワーク２を載置し、吸引によりワーク支持台３に保持する。ここでのワーク２としては、図１と図２に示すような表面に凹凸を有し、かつ凸部の一方の側（図面では右側）に斜面２ａを有するものが用いられる。また、ワーク２に溶剤ミストを噴霧する前には、ワーク２の形状に応じてワーク支持台３の周囲の複数の排気口２５ａの位置や高さや向きを予め調整しておく。 Next, a spray coating method for forming a coating film on the surface of the workpiece 2 using the spray coating apparatus shown in FIGS. 1 to 3 will be described.
First, the atmosphere in the coating chamber 1 is decompressed by the decompression means.
Next, the work 2 is placed on the upper surface of the work support 3 in the coating chamber 1 and held on the work support 3 by suction. As the workpiece 2 herein, a workpiece having an uneven surface and a slope 2a on one side (right side in the drawing) as shown in FIGS. 1 and 2 is used. Before spraying the solvent mist on the work 2, the positions, heights, and orientations of the plurality of exhaust ports 25 a around the work support 3 are adjusted in advance according to the shape of the work 2.

ついで、モータを駆動して回転軸３ａを回転することによりワーク支持台３をワーク２とともに回転する。
ついで、オペレーションバルブ５ｂ、８ｂを開にし、塗布ノズル５の噴射口から溶剤蒸気とともに塗布液ミスト４ａを回転するワーク２に向けて噴霧する。これとともに、ワーク２の斜面２の近傍に配置された給排気口２５ａから緩く給気を行い、斜面２ａの近傍以外の部分に配置された給排気口２５ａからは強制排気を行う（特に、ワーク２の斜面２ａが形成されている側と反対側に配置されている給排気口２５ａを中心に強制的に排気を行う）。
このようにすると、図４に示すように塗布用ノズル５から噴霧された塗布液ミスト４ａの流れをワーク２の斜面２ａが形成された側と反対側に向かう流れとすることができ、この塗布液ミスト４ａの流れによって斜面２ａへの塗布液ミスト４ａのつきまわりが良くなり、ワーク２の表面に塗膜を形成する。なお、図４は塗布チャンバ１内で、塗布用ノズル５より下側を示した模式図である。
なお、塗布用ノズル５から塗布液ミスト４ａの噴霧中に複数の給排気口２５ａの位置や高さや向きを調整するようにしてもよい。 Next, the work support 3 is rotated together with the work 2 by driving the motor and rotating the rotating shaft 3a.
Next, the operation valves 5b and 8b are opened, and the coating liquid mist 4a is sprayed from the spray nozzle of the coating nozzle 5 toward the rotating work 2 together with the solvent vapor. At the same time, air is loosely supplied from the air supply / exhaust port 25a disposed in the vicinity of the slope 2 of the workpiece 2, and forced exhaust is performed from the air supply / exhaust port 25a disposed in a portion other than the vicinity of the inclined surface 2a (particularly, the workpiece 2 2 is forcibly exhausted around the air supply / exhaust port 25a disposed on the side opposite to the side where the slope 2a is formed.
In this way, as shown in FIG. 4, the flow of the coating liquid mist 4a sprayed from the coating nozzle 5 can be made to flow toward the side opposite to the side on which the inclined surface 2a of the workpiece 2 is formed. The flow of the liquid mist 4 a improves the contact of the coating liquid mist 4 a to the inclined surface 2 a and forms a coating film on the surface of the workpiece 2. FIG. 4 is a schematic diagram showing the lower side of the coating nozzle 5 in the coating chamber 1.
Note that the position, height, and orientation of the plurality of air supply / exhaust ports 25a may be adjusted during the spraying of the coating liquid mist 4a from the coating nozzle 5.

ついで、オペレーションバルブ５ｂ、８ｂを閉にして塗布用ノズル５からの溶剤蒸気と塗布液ミスト４ａの噴霧を止め、複数の給排気口２５ａからの強制排気をかけて塗布チャンバ１内の溶剤濃度を小さくすることにより上記塗膜の乾燥を促進すると、表面に厚みが均一な塗膜が形成されたワーク２が得られる。   Next, the operation valves 5b and 8b are closed to stop the spraying of the solvent vapor and the coating liquid mist 4a from the coating nozzle 5, and the forced exhaust from the plurality of supply / exhaust ports 25a is applied to reduce the solvent concentration in the coating chamber 1. When drying of the coating film is promoted by reducing the thickness, a workpiece 2 having a coating film with a uniform thickness on the surface is obtained.

本実施形態のスプレーコート装置によれば、上記構成としたことにより、複数の給排気口２５ａは全て単独に制御することができ、かつ給排気の量も単独に制御することができるため、表面に凹凸を有するような形状が複雑なワーク２への塗膜の形成にも対応することができ、ワークの表面に均一な厚みの塗膜を形成することができ、しかもワークの凹凸形状が変化しても対応可能である。   According to the spray coating apparatus of the present embodiment, since the above configuration is adopted, all of the plurality of air supply / exhaust ports 25a can be controlled independently, and the amount of air supply / exhaust can also be controlled independently. It can also handle the formation of coatings on workpieces 2 that have complex shapes such as unevenness, and can form a coating with a uniform thickness on the surface of the workpiece. Even if it is possible.

なお、上記実施形態のスプレーコート装置においては、塗布用ノズル５が二流体ノズルから構成されている場合について説明したが、塗布用ノズルとして塗布液を噴霧するノズル又は超音波霧化ノズルを用いたものであってもよく、また、このような塗布用ノズルと別個に溶剤を噴霧する溶剤用ノズルを設けるようにしたものであってもよい。
また、上記実施形態においてはワーク支持台３の周囲に配置された給排気口２５ａが給気口と排気口を兼ねる場合について説明したが、図５に示すように給排気口２５ａ内に排気口２５ｂと給気口２５ｂを別個に設けたものであってもよい。 In the spray coating apparatus of the above embodiment, the case where the coating nozzle 5 is constituted by a two-fluid nozzle has been described. However, a nozzle for spraying a coating liquid or an ultrasonic atomizing nozzle was used as the coating nozzle. Alternatively, a solvent nozzle for spraying a solvent may be provided separately from such a coating nozzle.
Further, in the above embodiment, the case where the air supply / exhaust port 25a arranged around the work support 3 serves as both the air supply port and the exhaust port has been described. However, as shown in FIG. 25b and air supply port 25b may be provided separately.

また、上記実施形態においてはワーク支持台３の周囲に給気と排気を兼ねる手段が複数設けられた場合について説明したが、ワーク支持台３の周囲に複数の排気口を設けるようにしたものであってもよく、また、ワーク支持台３の周囲に複数の給排気口２５ａを設けるようにしたものであってもよく、ワーク支持台３の周囲に複数の排気口を設け、さらにこれら排気口とは別個に複数の給気口を設けるようにしたものであってもよい。   In the above embodiment, the case where a plurality of means for supplying and exhausting air are provided around the work support 3 has been described. However, a plurality of exhaust ports are provided around the work support 3. Alternatively, a plurality of air supply / exhaust ports 25a may be provided around the work support table 3, and a plurality of air exhaust ports may be provided around the work support table 3, and these exhaust ports may be provided. Alternatively, a plurality of air supply ports may be provided separately.

また、上記実施形態のスプレーコート方法は立体回路基板の製造方法に適用することも可能で、その場合には、塗布液４としてレジストとその溶剤からなる塗布液を用い、ワーク支持台３に載置するワーク２として表面に凹凸や斜面を有するワークが用いられる。
また、この立体回路基板の製造方法においては、ワークの表面に塗膜を形成する工程の後に、フォトリソグラフィー技術により配線パターンを形成する工程が備えられることで立体回路基板が得られる。 The spray coating method of the above embodiment can also be applied to a method for manufacturing a three-dimensional circuit board. In that case, a coating liquid composed of a resist and its solvent is used as the coating liquid 4 and is mounted on the work support 3. As the work 2 to be placed, a work having irregularities and slopes on the surface is used.
Further, in this method of manufacturing a three-dimensional circuit board, a three-dimensional circuit board is obtained by including a step of forming a wiring pattern by a photolithography technique after the step of forming a coating film on the surface of the workpiece.

本発明の第１の実施形態のスプレーコート装置の概略構成を示す図。The figure which shows schematic structure of the spray coat apparatus of the 1st Embodiment of this invention. 図１のスプレーコート装置の塗布チャンバ内に設けられたワーク支持台と複数の給排気口を塗布用ノズル側から見たときの平面図。The top view when the workpiece support stand provided in the application | coating chamber of the spray coating apparatus of FIG. 図１のスプレーコート装置に備えられた給排気手段の概略構成を示す図。The figure which shows schematic structure of the air supply / exhaust means with which the spray coat apparatus of FIG. 1 was equipped. 本発明の実施形態のスプレーコート方法の説明図。Explanatory drawing of the spray-coating method of embodiment of this invention. 図１のスプレーコート装置の塗布チャンバ内に設けられたワーク支持台の周囲に配置される給排気口の他の例を示す図。The figure which shows the other example of the air supply / exhaust port arrange | positioned around the workpiece | work support stand provided in the application | coating chamber of the spray coat apparatus of FIG.

符号の説明Explanation of symbols

１・・・塗布チャンバ、２・・・ワーク、２ａ・・・斜面、３・・・ワーク支持台、４・・・塗布液、４ａ・・・霧状の塗布液（塗布液ミスト）、５・・・塗布用ノズル、５ａ・・・塗布液供給管、５ｂ・・・エアオペレーションバルブ、８ａ・・・溶剤供給管、８ｂ・・・エアオペレーションバルブ、９・・・溶剤蒸気、１１・・・給排気手段、２１・・・第一ステージ、２２・・・第二ステージ、２３・・・第一ジョイント、２４・・・第一給排気管、２５・・・第二給排気管、２６・・・第二ジョイント、２５ａ・・・給排気口、２５ｂ・・・排気口、２５ｃ・・・給気口。   DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Coating chamber, 2 ... Work, 2a ... Slope, 3 ... Work support stand, 4 ... Coating liquid, 4a ... Spray-like coating liquid (coating liquid mist), 5 ... Coating nozzle, 5a ... Coating liquid supply pipe, 5b ... Air operation valve, 8a ... Solvent supply pipe, 8b ... Air operation valve, 9 ... Solvent vapor, 11 ... Supply / exhaust means, 21 ... first stage, 22 ... second stage, 23 ... first joint, 24 ... first supply / exhaust pipe, 25 ... second supply / exhaust pipe, 26 ... 2nd joint, 25a ... Air supply / exhaust port, 25b ... Exhaust port, 25c ... Air supply port.

Claims (8)

塗布チャンバ内にワーク支持台を有し、該ワーク支持台上に載置されたワークに塗布液を噴霧して前記ワークの表面に塗膜を成膜するスプレーコート装置であって、
前記塗布チャンバ内に前記ワークに塗布液を噴霧する塗布用ノズルが設けられ、前記ワーク支持台の周囲に複数の排気口が設けられ、
前記複数の排気口はそれぞれ独立して、その位置が移動可能で且つ排気口の向く方向が変更可能な構成とされ、それぞれ独立して排気量が調節可能な構成とされたことを特徴とするスプレーコート装置。 A spray coating apparatus that has a workpiece support in the coating chamber and sprays a coating liquid onto the workpiece placed on the workpiece support to form a coating film on the surface of the workpiece,
A coating nozzle for spraying a coating liquid onto the workpiece is provided in the coating chamber, and a plurality of exhaust ports are provided around the workpiece support.
Each of the plurality of exhaust ports is configured such that the position thereof can be moved independently and the direction of the exhaust port can be changed, and the exhaust amount can be independently adjusted. Spray coating equipment. 前記ワーク支持台の周囲に複数の給気口が設けられ、前記複数の給気口はそれぞれ独立して、その位置が移動可能で且つ給気口の向く方向が変更可能な構成とされ、それぞれ独立して給気量が調節可能な構成とされたことを特徴とする請求項１記載のスプレーコート装置。   A plurality of air supply ports are provided around the work support base, and the plurality of air supply ports are each independently configured such that the position thereof can be moved and the direction of the air supply ports can be changed, 2. The spray coating apparatus according to claim 1, wherein the air supply amount is independently adjustable. 前記塗布チャンバ内の雰囲気を減圧する減圧手段が設けられたことを特徴とする請求項１に記載のスプレーコート装置。   2. The spray coating apparatus according to claim 1, further comprising a decompression unit that decompresses the atmosphere in the coating chamber. 前記塗布チャンバ内の雰囲気を減圧する減圧手段が設けられたことを特徴とする請求項２に記載のスプレーコート装置。   The spray coating apparatus according to claim 2, further comprising a decompression unit that decompresses the atmosphere in the coating chamber. 請求項１又は３に記載のスプレーコート装置を用い、前記塗布用ノズルから前記塗布液を噴霧して前記ワークの表面に塗膜を形成する際に、前記複数の排気口からそれぞれ排出する排気量を個別に調節することを特徴とするスプレーコート方法。   The amount of exhaust discharged from each of the plurality of exhaust ports when the coating liquid is sprayed from the coating nozzle to form a coating film on the surface of the workpiece using the spray coating apparatus according to claim 1 or 3. A spray coating method characterized by individually adjusting the pressure. 請求項２又は４に記載のスプレーコート装置を用い、前記塗布用ノズルから前記塗布液を噴霧して前記ワークの表面に塗膜を形成する際に、前記複数の給気口からそれぞれ供給する給気量を制御することを特徴とするスプレーコート方法。   The spray coating apparatus according to claim 2 or 4, wherein when the coating liquid is sprayed from the coating nozzle to form a coating film on the surface of the workpiece, a supply supplied from each of the plurality of air supply ports is provided. A spray coating method characterized by controlling air volume. 請求項５又は６のいずれか一項に記載のスプレーコート方法を用いる立体回路基板の製造方法であって、
前記塗布液としてレジストとその溶剤からなる塗布液を用い、前記ワーク支持台に載置されたワークとして表面に凹凸を有するワークを用いることを特徴とする立体回路基板の製造方法。 A method of manufacturing a three-dimensional circuit board using the spray coating method according to any one of claims 5 and 6,
A method for producing a three-dimensional circuit board, wherein a coating liquid comprising a resist and a solvent thereof is used as the coating liquid, and a work having irregularities on the surface is used as the work placed on the work support. 前記ワークの表面に塗膜を形成する工程の後に、フォトリソグラフィー技術により配線パターンを形成する工程を備えることを特徴とする請求項７に記載の立体回路基板の製造方法。   The method for manufacturing a three-dimensional circuit board according to claim 7, further comprising a step of forming a wiring pattern by a photolithography technique after the step of forming a coating film on the surface of the workpiece.
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