JP2005338502A - 光導波路の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【効果】本発明によれば、光導波路のコアを形成したりクラッドを形成したりする工程において重水素処理を行ったり脱水処理を行うので極めてOH基含有量の少ない波長多重化通信に適した高品質の光導波路を製造することができる。
【選択図】図1
Description
2・・・コアとなる多孔質ガラス層
3・・・重水素雰囲気
4・・・脱水用混合ガス
5・・・コア層
6・・・コア
7・・・クラッドとなる多孔質ガラス層
8・・・重水素雰囲気
9・・・脱水用混合ガス
10・・クラッド
Claims (10)
- 基板上に屈折率の高いコアとなる多孔質ガラス層を堆積させ、前記コアとなる多孔質ガラス層を重水素雰囲気中で加熱した後、前記コアとなる多孔質ガラス層をガラス化してコア層とし、次いで前記コア層を所定のパターンでエッチングしてコアを形成し、その後前記コアを覆うように前記コアよりも屈折率の低いクラッドとなる多孔質ガラス層を堆積させた後、前記クラッドとなる多孔質ガラス層をガラス化することを特徴とする光導波路の製造方法。
- 基板上に屈折率の高いコアとなる多孔質ガラス層を堆積させ、前記コアとなる多孔質ガラス層をガラス化してコア層とする際に、前記コアとなる多孔質ガラス層のガラス化の前に前記コアとなる多孔質ガラス層に脱水処理を施してからガラス化してコア層とし、次いで前記コア層を所定のパターンでエッチングしてコアを形成し、その後前記コアを覆うように前記コアよりも屈折率の低いクラッドとなる多孔質ガラス層を堆積させた後、前記クラッドとなる多孔質ガラス層をガラス化することを特徴とする光導波路の製造方法。
- 基板上に屈折率の高いコアとなる多孔質ガラス層を堆積させ、前記コアとなる多孔質ガラス層をガラス化してコア層とする際に、前記コアとなる多孔質ガラス層のガラス化と同時に前記コアとなる多孔質ガラス層に脱水処理を施してコア層とし、次いで前記コア層を所定のパターンでエッチングしてコアを形成し、その後前記コアを覆うように前記コアよりも屈折率の低いクラッドとなる多孔質ガラス層を堆積させた後、前記クラッドとなる多孔質ガラス層をガラス化することを特徴とする光導波路の製造方法。
- 前記脱水処理はHeにCl2、F2、O2の中から選択された1種若しくは2種以上のガスを添加した混合ガスにより行うことを特徴とする請求項2または請求項3記載の光導波路の製造方法。
- 基板上に屈折率の高いコアとなる多孔質ガラス層を堆積させ、前記コアとなる多孔質ガラス層をガラス化してコア層とし、次いで前記コア層を所定のパターンでエッチングしてコアを形成し、その後前記コアを覆うように前記コアよりも屈折率の低いクラッドとなる多孔質ガラス層を堆積させた後、前記クラッドとなる多孔質ガラス層をガラス化する際に、前記クラッドとなる多孔質ガラス層を重水素雰囲気中で加熱した後ガラス化することを特徴とする光導波路の製造方法。
- 基板上に屈折率の高いコアとなる多孔質ガラス層を堆積させ、前記コアとなる多孔質ガラス層をガラス化してコア層とし、次いで前記コア層を所定のパターンでエッチングしてコアを形成し、その後前記コアを覆うように前記コアよりも屈折率の低いクラッドとなる多孔質ガラス層を堆積させた後、前記クラッドとなる多孔質ガラス層をガラス化する際に、前記クラッドとなる多孔質ガラス層のガラス化の前に前記クラッドとなる多孔質ガラス層に脱水処理を施してからガラス化することを特徴とする光導波路の製造方法。
- 基板上に屈折率の高いコアとなる多孔質ガラス層を堆積させ、前記コアとなる多孔質ガラス層をガラス化してコア層とし、次いで前記コア層を所定のパターンでエッチングしてコアを形成し、その後前記コアを覆うように前記コアよりも屈折率の低いクラッドとなる多孔質ガラス層を堆積させた後、前記クラッドとなる多孔質ガラス層をガラス化する際に、前記クラッドとなる多孔質ガラス層のガラス化と同時に前記クラッドとなる多孔質ガラス層に脱水処理を施すことを特徴とする光導波路の製造方法。
- 前記脱水処理はHeにCl2、F2、O2の中から選択された1種若しくは2種以上のガスを添加した混合ガスにより行うことを特徴とする請求項6または請求項7記載の光導波路の製造方法。
- 前記重水素雰囲気中での加熱若しくは脱水処理の工程を2工程以上組み合わせて行うことを特徴とする請求項1から請求項8までのいずれかの請求項に記載の光導波路の製造方法。
- 前記基板は石英ガラス、多成分系ガラス、シリコンから選択された1種であることを特徴とする請求項1から請求項9までのいずれかの請求項に記載の光導波路の製造方法。
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2004
- 2004-05-27 JP JP2004158067A patent/JP2005338502A/ja active Pending
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