JP2005333758A - 静電吸引駆動装置 - Google Patents

Abstract

【課題】 可動子を移動方向に案内するガイド手段を設ける必要がなく、また高い静電吸引力を発生することが可能な静電吸引駆動装置を提供する。
【解決手段】 固定子側電極２３と可動子側電極３３とが対向する領域内に充填材４１が設けられている。誘電性を有する充填材４１とした場合、充填材４１が固定子側電極２３と可動子側電極３３に発生する静電吸引力を高めることに寄与する。また前記静電吸引力のうちの幅（Ｘ）方向成分が可動子側電極３３を幅方向に支持するため、ガイド手段を設けなくとも可動子３０の移動（Ｙ）方向の移動を安定させることが可能となる。
【選択図】図２

Description

発明は、可動子が静電力によって固定子上を移動する静電吸引駆動装置に係わり、特に可動子を移動方向に案内するガイド手段を不要にできるとともに高い静電吸引力を発生できるようにした静電吸引駆動装置に関する。

従来の静電吸引駆動装置に関する先行技術文献としては、例えば以下の特許文献１などが存在している。以下には特許文献１に示されている静電吸引駆動装置の概略を説明する。

前記特許文献１に示される静電吸引駆動装置では、第１の固定子２ａと第２の固定子２ｂとが所定の距離を隔てた状態で互いに対向配置され、その間にスライド移動する可動子３が配置されている。前記第１の固定子２ａには所定方向に順次配列された３系統の電極Ａ，Ｂ，Ｃ（第１電極）が設けられ、前記第２の固定子２ｂには一様な１系統の電極Ｄが設けられている。また前記可動子３は、一方の表面に前記第１の固定子２ａの各電極Ａ，Ｂ，Ｃの電極ピッチに対応して設けられた電極部３ａと、他方の表面に前記第２の固定子２ｂに対向して設けられた平坦な電極部３ｄとを有しており、前記両電極部３ａおよび３ｄは同一電位に維持される１系統の電極Ｅ（第３電極）を形成している。

前記第１の固定子２ａに設けられる電極Ａに電圧を印加して、電極Ａの電位を可動子３に設けられる電極Ｅの電位よりも高くすると、電極Ａと電極Ｅとの間で作用する静電力（クーロン力）により、可動子３は第１の固定子２ａ側に吸引される。その際、電極Ａと電極部３ａがぴったり重なり合う状態がもっとも安定であるため、可動子３は電極Ａと電極部３ａとが重なり合うように電極Ａより作用力を受ける。続いて、電圧を印加する電極を第２の固定子２ｂに設けられる電極Ｄに切り換えると、可動子３は第２の固定子２ｂ側に吸引される。さらに、電圧を印加する電極を第１の固定子２ａに設けられる電極Ｂに切り換えると、電極Ａに電圧を印加した際と同様なメカニズムにより、可動子３は電極Ｂと電極部３ａが重なり合うように電極Ｂより作用力を受ける。このような一連の動作、即ち電圧を電圧源６からスイッチング回路５を介して電極Ａ→電極Ｄ→電極Ｂ→電極Ｄ→電極Ｃ→電極Ｄ→電極Ａ・・・と順次繰り返して印加する（第１の固定子２ａに設けられる電極Ａ〜Ｃと第２の固定子２ｂに設けられる電極Ｄとに交互に電圧を印加するとともに、第１の固定子２ａに設けられる電極を前記所定方向に順次切り換える）ことにより、可動子３は微視的には上下振動をしながら、巨視的には第１の固定子に配列された電極の配列方向に駆動されるようになっている。
特開２００１−３４６３８５号公報

しかし、上記特許文献１に記載された発明では、可動子３の表裏両面に対向する位置には、電極Ａ，電極Ｂおよび電極Ｃを有する第１の固定子２ａと電極Ｄを有する第２の固定子２ｂとが互いに所定の距離を隔てた状態で平行となるように配置する必要がある。

このため、前記特許文献１の図１６ないし図１８などに示されるように、前記第１の固定子２ａと第２の固定子２ｂとの間に分割部品２ｃ，２ｄを配置して両側面を形成して固定子２を箱型形状化する必要があり、装置の複雑化と大型化を避けることができないという問題がある。

また上記の静電吸引駆動装置では、移動の際に可動子３の電極部と固定子の電極とが接触する危険性がある。このため前記特許文献１では、その図１４、図１６ないし図１８などに示されるように、第１，第２の固定子２ａ，２ｂまたは可動子３の一方にストッパー１０を設けることにより、移動の際に可動子３の電極部と固定子の電極との接触を回避するようにしている。

しかし、前記ストッパーの高さ寸法を大きくし過ぎると、固定子側の電極と可動子側の電極との間の電極間距離が広がるため、静電吸引力が低下しやすくなるという問題もある。

また上記特許文献１の構成とは異なるが、可動子が固定子上を移動するものでは、可動子を移動方向に案内するガイド手段が設けられるのが一般的である。

しかし、このような構造を採用すると、装置全体が複雑化するとともに大型化するという問題があった。

本発明は上記従来の課題を解決するためのものであり、簡単な構成でかつ装置の小型化できるようにした静電吸引駆動装置を提供することを目的としている。

また本発明は、小型であっても大きな静電吸引力を発生できるようにした静電吸引駆動装置を提供することを目的としている。

さらに本発明は、可動子を移動方向に案内するガイド手段を不要にできるようにした静電吸引駆動装置を提供することを目的としている。

本発明は、固定子側電極が設けられた固定子と、可動子側電極を有するとともに前記固定子に対向しながら移動方向に移動する可動子と、前記固定子側電極に所定の電圧信号を与える信号源とを備え、前記固定子側電極と可動子側電極との対向領域に発生する静電吸引力によって前記可動子が移動させられる静電吸引駆動装置において、前記固定子側電極と可動子側電極との対向領域内に、粒状または粉状の充填材が設けられていることを特徴とするものである。

また本発明は、移動方向に沿って延設された固定子と、前記固定子に対向配置された可動子と、前記固定子に設けられ且つ前記可動子に対向する固定子対向面から前記可動子方向に垂直に突出するとともに前記移動方向に整列された固定子側電極と、前記可動子側に設けられ且つ前記固定子対向面に対向する可動子対向面から前記固定子方向に垂直に突出するとともに前記移動方向に対して整列された可動子側電極と、前記固定子側電極に所定の電圧信号を与える信号源とを備え、前記固定子側電極と可動子側電極とが対向する領域に発生する静電吸引力によって前記可動子が前記移動方向に移動させられる静電吸引駆動装置であって、
個々の固定子側電極と個々の可動子側電極とが前記移動方向と直交する幅方向を向いて互いに対向配置されており、前記対向配置された領域内に、粒状または粉状の充填材が設けられていることを特徴とするものである。

本願発明では、充填材が固定子側電極と可動子側電極の間に入り込んで可動子側電極を移動自在に支持することができるため、可動子を移動方向に案内するガイド手段を不要にできる。よって、装置を小型化および簡単化をすることができる。

上記においては、前記充填材が、非磁性、絶縁性、弾性、または誘電性のうち少なくとも１以上の性質を有するものが好ましい。
特に、充填材が誘電性を有する場合には静電吸引力を高めることができる。

また前記充填材の平均粒径が、前記固定子側電極と可動子側電極とが対向する隙間寸法よりも小さいものが好ましい。

上記手段では、充電材の転動を妨げることがないため、固定子側電極と可動子側電極との間の摩擦抵抗を小さくできる。よって、可動子をスムーズに移動させることが可能となる。

本発明では、充填材が可動子の可動子側電極を支持することができるため、可動子を移動方向に案内するガイド手段を不要にできる。よって、装置の大型化および複雑化を回避することができる。

また本発明では、誘電性を有する充填材を採用することにより、誘電体の誘電率を高めることができるため、電極間に生じる静電吸引力を向上させることができる。よって、可動子を移動させる搬送力を大きくすること、すなわち静電吸引駆動装置として性能を高めることができる。

図１は本発明の実施の形態として静電吸引駆動装置を示す分解斜視図、図２は固定子と可動子とが対向する組み合わせ状態を示しており、図１のＩＩ−ＩＩ線における断面図、図３は固定子側電極と可動子側電極とが対向配置されている状態を示す拡大平面図である。なお、以下においては図示Ｙ１方向が移動方向、Ｘ方向が幅方向、Ｚ方向が高さ方向である。

図１に本発明の実施の形態として示す静電吸引駆動装置１０は、高さ方向の図示Ｚ２側に設けられた固定子２０と、図示Ｚ１側に設けられた可動子３０とを有している。

図１に示すように、前記固定子２０の対向面（固定子対向面）２０ａ上には複数の固定子側電極２３が設けられている。前記固定子側電極２３は、例えば銅などの導電性金属をＺ方向に垂直にメッキ成長させることにより形成されている。そして、このような複数の固定子側電極２３が、前記移動方向および幅方向に沿って前記対向面２０ａ上に等間隔で規則正しく並べられている。図１に示す実施の形態では、Ｘ方向（幅方向）に６列形成された固定子側電極２３が、Ｙ方向（移動方向）にＮ行形成されている。なお、前記固定子側電極２３の並びは、前記のようなＮ行６列に限られるものではなく、これよりも多い配列でもよいし、少ない配列でもよい。

また図１に示す実施の形態では、図示しない手段によりＸ方向に並ぶ固定子側電極２３（６ヶの固定子側電極２３）どうしが電気的に接続されており、これらは同電位からなる一つの電極群を形成している。ただし、移動方向に隣り合う電極群どうし（行どうし）は電気的に絶縁された状態にある。そして、Ｘ方向（幅方向）に接続された６ヶの固定子側電極２３により形成される各電極群が５つの電極群に分けられており、それぞれ一行ごとにＡ相電極群、Ｂ相電極群、Ｃ相電極群、Ｄ相電極群、Ｅ相電極群、Ａ相電極群、Ｂ相電極群、・・・の順番でＹ１方向に向かって並んでいる。

一方、前記可動子３０の移動（Ｙ）の長さ寸法は、前記固定子２０よりも短い寸法で形成されている。前記可動子３０の対向面（可動子対向面）３０ａ上にも複数の可動子側電極３３が設けられている。前記可動子３０は例えば、導電体またはシリコンなどの低抵抗体で形成されており、可動子側電極３３はこのような導電体または低抵抗体で形成された対向面３０ａの表面に、例えば銅などの導電性金属をＺ方向に垂直にメッキ成長させることにより形成されている。したがって、すべての可動子側電極３３は互いに導通し合う状態にある。個々の可動子側電極３３は幅広の電極面を有しており、この電極面を幅方向に向けた状態で、前記移動方向および幅方向に沿って等間隔で規則正しく並べられている。なお、図１に示す実施の形態では、可動子側電極３３が可動子３０の対向面３０ａ上に７行５列で形成されている。

図２に示すように、前記固定子２０と可動子３０とは互いの対向面２０ａ，３０ａどうしを対向させた状態で組み立てられる。図１および図３に示すように、前記固定子側電極２３の幅方向の電極間隔Ｗ１は前記可動子側電極３３の幅方向の厚さ寸法ｔ２よりも広く、同様に前記可動子側電極３３の幅方向の電極間隔Ｗ２は前記固定子側電極２３の幅方向の厚さ寸法ｔ１よりも広く形成されている。よって、固定子２０と可動子３０とを組み立てた状態では、幅方向に隣り合う固定子側電極２３と固定子側電極２３との間に前記可動子側電極３３が挿入されており、前記固定子側電極２３の電極面と可動子側電極３３の電極面とが互いに幅方向に向き合う状態で対向配置される。

さらに、図２に示すように前記固定子側電極２３および可動子側電極３３のＺ方向の高さ寸法Ｈ１，Ｈ２は、前記固定子２０と可動子３０とが対向配置された状態において、前記固定子側電極２３および可動子側電極３３の先端が、前記対向面２０ａおよび対向面３０ａの表面に当接しない程度に設定されている。

図２および図３に示すように、前記固定子側電極２３と可動子側電極３３とが対向し合う領域には充填材４１が設けられている。前記充填材４１の態様は粒状または粉状をしており、非磁性、絶縁性、弾性、または誘電性のうち少なくとも１以上の性質を有している。前記充填材４１を構成する粒は球状であり、その平均粒径は、０よりも大きくかつ前記固定子側電極２３と可動子側電極３３とが対向する隙間寸法ｇ未満、すなわちｇ＝（Ｗ１−ｔ２）／２＝（Ｗ２−ｔ１）／２未満であり、例えば５μｍ未満が好ましい。このように前記充填材４１の平均粒径が前記隙間寸法ｇ未満であると、前記充電材４１の転動が妨げられることが少ないため、固定子側電極２３と可動子側電極３３との間の摩擦抵抗を小さくできる。よって、可動子３０をスムーズに移動させることが可能となる。

このように、前記平均粒径が前記隙間寸法未満である充填材４１を使用し、前記固定子側電極２３と可動子側電極３３との隙間内が十分の量の前記充填材４１で充たされている。

図２および図３に示す状態では、前記固定子側電極２３の電極面と可動子側電極３３の電極面とが互いに平行な状態で対向配置されている。このため、前記固定子側電極２３と可動子側電極３３との間に電位差を与えると、前記固定子側電極２３の電極面と可動子側電極３３の電極面とが対向し合うそれぞれの部分が平板型のコンデンサとして機能し、前記各電極間に静電吸引力を発生させることが可能となっている。

ここで、前記固定子側電極２３の電極面と可動子側電極３３の電極面とが幅方向において対向する対向面積をＳ、電極間の誘電率をε、初期の電極間距離をｄ、電極間の電位差（印加電圧）をＶとし、固定子側電極２３と可動子側電極３３との間に静電力吸引ｆ（ｘ）が働いて、前記可動子側電極３３が変位量ｘだけ幅方向（Ｘ１またはＸ２方向）に移動して前記固定子側電極２３に接近したときに、前記静電吸引力ｆ（ｘ）は以下の数１で示される。

したがって、前記充填材４１が誘電率εの高い誘電性の性質を有する場合には、充填材４１が前記静電吸引力を高めるのに寄与することができる。よって、可動子３０を移動させる搬送力を大きくすることができ、静電吸引駆動装置１０として性能を高めることができる。なお、前記誘電性を有する充填材４１の一例としては、例えば誘電体セラミックなどを用いることができる。

また前記充填材４１が非磁性の性質を有する場合には、外部で発生した磁界が前記固定子側電極２３と前記可動子側電極３３とが対向する領域内に入り込むのを遮断することができる。このため、外部磁界により、静電吸引力ｆ（ｘ）が低下するような影響を排除することができる。前記非磁性を有する充填材４１の一例としては、例えばガラスなどを用いることができる。

また前記充填材４１が絶縁体としての性質を有するものである場合には、前記固定子側電極２３と前記可動子側電極３３との間の絶縁破壊や耐圧の発生を防止し、絶縁機能を高めることができる。前記絶縁性を有する充填材４１の一例としては、例えばテフロン（登録商標）などを用いることができる。

さらに前記充填材４１が弾性を有する場合には、外部衝撃などが加わったときに、前記固定子側電極２３と前記可動子側電極３３とが勢いよく衝突するのを避けることができ、固定子側電極２３または可動子側電極３３の破損を防止すること、すなわち耐衝撃性を向上させることが可能となる。前記弾性を有する充填材４１の一例としては、例えばシリコンゴム、エラスチックポリマーなどを用いることができる。

なお、静電吸引駆動装置１０には、複数の電圧信号の生成を行う信号源（図示せず）が設けられており、各電圧信号は前記Ａ相電極群、Ｂ相電極群、Ｃ相電極群、Ｄ相電極群、Ｅ相電極群にそれぞれ与えられるようになっている。

以下静電吸引駆動装置の動作について説明する。
図４は、固定子側電極と可動子側電極との配置を部分的に示す平面図であり、移動方向（Ｙ方向）に２列に並ぶ固定子側電極２３，２３の間に可動子側電極３３の１列分が対向配置されている様子を示している。また図５は図４に示す各電極群に与えられる電圧信号の一例を示すタイミングチャート図である。なお、以下においては、可動子３０の対向面３０ａに図示Ｙ２側を第１行目としてＹ１方向に向かって順番に並ぶ個々の可動子側電極３３を、それぞれ３３Ａ、３３Ｂ、３３Ｃ、３３Ｄ、３３Ｅ、・・・の符号を付して説明する。

図５に示すものでは、固定子２０の対向面２０ａ上の左端の第１列目にＥ相電極群が形成され、第２行目にＡ相電極群が形成されている。以下同様に第３行目にＢ相電極群が、第４行目にＣ相電極群が、第５行目におよびＤ相電極群が形成され、第６行目に再びにＥ相電極群が形成されるというように、順番に応じた電極群配置となっている。

ここで、Ａ相ないしＥ相の各電極群には、図示しない信号源から例えば図５に示すような電圧信号が与えられる。すなわち、先ずＳＴＥＰ１としてＡ相電極群とＤ相電極群にＨレベルの電圧が同じタイミングで印加される。次のＳＴＥＰ２ではＢ相電極群とＤ相電極群にＨレベルの電圧が同じタイミングで印加され、ＳＴＥＰ３ではＢ相電極群とＥ相電極群にＨレベルの電圧が同じタイミングで印加され、ＳＴＥＰ４ではＣ相電極群とＥ相電極群にＨレベルの電圧が同じタイミングで印加され、ＳＴＥＰ５ではＡ相電極群とＣ相電極群にＨレベルの電圧が同じタイミングで印加される。そして、これらの各ＳＴＥＰは、ＳＴＥＰ１→ＳＴＥＰ２→ＳＴＥＰ３→ＳＴＥＰ４→ＳＴＥＰ５→ＳＴＥＰ１→ＳＴＥＰ２→・・・の順番で繰り返されるようになっている。

前記静電吸引駆動装置１０の初期状態が、例えば図４に示す状態、すなわち可動子側電極３３Ａ（第１行目）、３３Ｃ（第３行目）、３３Ｅ（第５行目）がそれぞれＥ相電極群とＡ相電極群との間に部分的にまたがって対向し、かつ可動子側電極３３Ｂ（第２行目）、３３Ｄ（第４行目）はＣ相電極群のみに対向しているとする。

この状態から、ＳＴＥＰ１としてＡ相電極群とＤ相電極群に所定の電圧が同時に印加されると、第２行目のＡ相電極群と第１行目の可動子側電極３３Ａとは部分的に対向しているため、一方のＡ相電極群に正電荷＋Ｑが発生し、他方の可動子側電極３３Ａに負電荷−Ｑが誘導される。よって、前記Ａ相電極群と可動子側電極３３Ａとの間に静電吸引力（クーロン力）が発生し、前記可動子側電極３３ＡはＡ相電極群を形成する固定子側電極２３に吸引される。ただし、Ａ相電極群を形成する固定子側電極２３，２３は、可動子側電極３３Ａの幅方向の両端に設けられているため、前記静電吸引力のうち幅（Ｘ）方向に作用する成分は互いに相殺される。一方、前記静電吸引力のうち移動（Ｙ）方向の成分は残存するため、前記可動子側電極３３ＡにはＹ１方向の静電吸引力ｆが作用する。また前記静電吸引力のうち高さ（Ｚ）方向に作用する成分は、可動子３０が固定子２０から離れるのを妨げる方向、すなわち互いに引き合う方向に作用する。

この際、可動子側電極３３Ａの移動方向の中心がＡ相電極群を形成する固定子側電極２３の移動方向の中心に一致する状態が最も安定する状態であるため、可動子側電極３３Ａは図５に点線で示す位置まで移動させられる。この関係は、他の可動子側電極３３Ｃおよび３３Ｅについても同様であるため、可動子３０は前記可動子側電極３３Ａ，３３Ｃおよび３３Ｅに作用する移動方向の静電吸引力ｆの合成力によってＹ１方向に移動させられることになる。

なお、ＳＴＥＰ１では可動子側電極３３Ｂおよび３３Ｄに対向するＣ相電極群には電圧は印加されないため、可動子側電極３３Ｂ，３３Ｄと前記Ｃ相電極群との間に静電吸引力（クーロン力）は作用しない。

以下同様に、電圧信号が、図５に示すタイミングチャートのＳＴＥＰ１からＳＴＥＰ５の順番通りに各電極群に与えられることにより、可動子３０をＹ１方向に移動させることができる。

また同様の原理から、例えばＳＴＥＰ５→ＳＴＥＰ４→ＳＴＥＰ３→ＳＴＥＰ２→ＳＴＥＰ１→ＳＴＥＰ５というように、前記一連の動作を前記とは逆の順番に行うと、可動子３０を前記の方向（Ｙ１方向）とは逆方向（Ｙ２方向）に順次移動させることが可能である。

なお、図４に示すように前記固定子側電極２３の長さ寸法をＬ１ａ、互いに隣り合う固定子側電極２３の移動方向の電極間隔をＬ１ｂ、前記可動子側電極３３の長さ寸法をＬ２ａ、互いに隣り合う可動子側電極３３の移動方向の電極間隔をＬ２ｂとし、図５のＳＴＥＰ１からＳＴＥＰ５に従う電圧信号を固定子側電極２３の各相の電極群に与えると、可動子３０を移動方向に並ぶ可動子３０側電極の一区間に相当する距離（Ｌ２ａ＋Ｌ２ｂ）だけＹ１方向に移動させることが可能である。

上記において、可動子３０がＹ方向に移動すると、充填材４１の平均粒径は前記固定子側電極２３と可動子側電極３３との隙間寸法ｇよりも小さいため、前記充填材４１は前記固定子側電極２３と可動子側電極３３との間で転動することができる。このため、前記固定子側電極２３と可動子側電極３３との間の移動方向（Ｙ方向）の摩擦抵抗を小さくできる。

また前記静電吸引力ｆのうち幅（Ｘ）方向に作用する成分は、前記可動子側電極３３を幅方向に作用しながら互いに相殺し合うため、可動子側電極３３が幅方向へ傾倒するのを防止できる。よって、可動子３０は、その対向面３０ａを固定子２０の対向面２０ａに対して平行な状態を維持しつつ移動することが可能となる。しかも前記静電吸引力ｆのうち高さ（Ｚ）方向に作用する成分は、前記可動子側電極３３が固定子側電極２３から離れるのを妨げる方向に作用するため、可動子３０が固定子２０から脱落するのを防止できる。よって、可動子３を安定した姿勢でスムーズに移動させることができる。

このため、本実施の形態に示す静電吸引駆動装置１０では、前記可動子３０が固定子２０上を移動方向に直線的に移動できるようにするガイド手段、例えば前記固定子２０と可動子３０のうち、一方に設けられ前記幅方向の両端に移動方向に沿って直線状に延びる一対の案内溝と、他方に設けられ前記案内溝に入り込んだ状態で前記可動子を移動方向に案内する一対の案内凸部などから構成されるガイド手段を設ける必要がない。このため、特に前記固定子２０と可動子３０の幅方向の寸法を短く（狭く）することが可能となるため、静電吸引駆動装置１０全体の小型化および構成の容易化を図ることができる。

なお、上記実施の形態では、可動子側電極と固定子側電極とが垂直な状態で対向し合う静電吸引駆動装置を示して説明したが、本発明はこれに限られるものではなく、上記背景技術の欄で説明した従来の平面対向型の静電吸引駆動装置に使用することも可能である。すなわち、第１電極と第３電極との間、および第２電極と第３電極との間に充填材４１を設けた構成としたものであってもよい。この場合においても、前記充填材４１は非磁性、絶縁性、弾性、または誘電性のうち少なくとも１以上の性質を有するものが好ましく、上記同様の効果を得ることが可能である。

また上記実施の形態では、固定子側電極を複数の電極群に分け、これらに電圧信号を印加する構成としたものを示したが、本発明は上記の実施の形態に限られるものではなく、可動子側に電極群を形成して電圧信号を印加するようにしてもよい。

さらに、上記においてはＡ相ないしＥ相の５相の電極群として、各電極群に５相の電圧信号を印加するようにしたが、本発明はこれに限られるものではなく、電極群および電圧信号の相数は前記実施の形態以下（ただし、２相以上）であってもよく、またそれ以上であってもよい。

本発明の実施の形態として静電吸引駆動装置を示す分解斜視図、 固定子と可動子とが対向する組み合わせ状態を示しており、図１のＩＩ−ＩＩ線における断面図、 固定子側電極と可動子側電極とが対向配置されている状態を示す拡大平面図、 固定子側電極と可動子側電極との配置を部分的に示す平面図、 図４に示す各電極群に与えられる電圧信号の一例を示すタイミングチャート図、

符号の説明

１０ 静電吸引駆動装置
２０ 固定子
２０ａ 固定子の対向面
２３ 固定子側電極
３０ 可動子
３０ａ 可動子の対向面
３３，３３Ａ，３３Ｂ，３３Ｃ，３３Ｄ，３３Ｅ 可動子側電極
４１ 充填材

Claims (4)

1. 固定子側電極が設けられた固定子と、可動子側電極を有するとともに前記固定子に対向しながら移動方向に移動する可動子と、前記固定子側電極に所定の電圧信号を与える信号源とを備え、前記固定子側電極と可動子側電極との対向領域に発生する静電吸引力によって前記可動子が移動させられる静電吸引駆動装置において、前記固定子側電極と可動子側電極との対向領域内に、粒状または粉状の充填材が設けられていることを特徴とする静電吸引駆動装置。
2. 移動方向に沿って延設された固定子と、前記固定子に対向配置された可動子と、前記固定子に設けられ且つ前記可動子に対向する固定子対向面から前記可動子方向に垂直に突出するとともに前記移動方向に整列された固定子側電極と、前記可動子側に設けられ且つ前記固定子対向面に対向する可動子対向面から前記固定子方向に垂直に突出するとともに前記移動方向に対して整列された可動子側電極と、前記固定子側電極に所定の電圧信号を与える信号源とを備え、前記固定子側電極と可動子側電極とが対向する領域に発生する静電吸引力によって前記可動子が前記移動方向に移動させられる静電吸引駆動装置であって、
   個々の固定子側電極と個々の可動子側電極とが前記移動方向と直交する幅方向を向いて互いに対向配置されており、前記対向配置された領域内に、粒状または粉状の充填材が設けられていることを特徴とする静電吸引駆動装置。
3. 前記充填材が、非磁性、絶縁性、弾性、または誘電性のうち少なくとも１以上の性質を有するもので形成されている請求項１または２記載の静電吸引駆動装置。
4. 前記充填材の平均粒径が、前記固定子側電極と可動子側電極とが対向する隙間寸法よりも小さいものである請求項１ないし３のいずれか記載の静電吸引駆動装置。

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