JP2005331327A - 面圧センサおよびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】 一定の検出精度を保ち、かつ効率的に安定して製造が可能な面圧センサおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】 シリコン基板11の上面11aに形成されるキャビティー枠体は、多数のダイヤフラム14と、このダイヤフラムを周縁から支持する多数のサイドウォール15とからなる。面圧センサ10はこれらダイヤフラム14と、これを支持するサイドウォール15とをシリコン基板11の上面11aに一定の間隔で多数配列したものである。
【選択図】 図1
【解決手段】 シリコン基板11の上面11aに形成されるキャビティー枠体は、多数のダイヤフラム14と、このダイヤフラムを周縁から支持する多数のサイドウォール15とからなる。面圧センサ10はこれらダイヤフラム14と、これを支持するサイドウォール15とをシリコン基板11の上面11aに一定の間隔で多数配列したものである。
【選択図】 図1
Description
本発明は、基板面上に一定の空間を保って多数形成されたダイヤフラムの湾曲により、対面する各部の圧力、即ち面圧の分布を検出する面圧センサおよびその製造方法に関する。
例えば、特許文献1には、LSIチップ上に多数のセンサ素子群を配列形成し、このセンサ素子群の押圧による静電容量の変化を検出して、凹凸パターンなどが接触した場合の面圧分布を検出する面圧センサが記載されている。こうした、従来の面圧センサは、図11に示すように、絶縁体の上に導電性材料からなる多数の円柱状の支持部と下部電極が形成され、その上に全ての支持部に接触して支えられる上部電極が形成された構造を成している。
特開2000−018908号公報
しかしながら、特許文献1に示す面圧センサでは、一定の精度を保って製造することが困難であり、特に、上部電極を支持する多数の支持部の高さを均一に保つことがエッチング時のバラつき等の問題で難しいという課題があった。支持部の高さを均一に保てないと、下部電極と上部電極との距離が不均一になり、上部電極が撓んだ際にそれぞれのセンサ素子の間で検出精度が異なってしまい、正確に面圧検出ができなくなってしまう。
本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであって、一定の検出精度を保ち、かつ生産効率も高く安定して製造が可能な面圧センサおよびその製造方法を提供する。
上記の目的を達成するために、本発明によれば、シリコン基板と、このシリコン基板上に一定の空間を空けて多数配列された薄板状のダイヤフラムと、この多数のダイヤフラムの外周端面と前記空間とを覆い、前記ダイヤフラムを支持する絶縁体とを備えることを特徴とする面圧センサが提供される。
前記ダイヤフラムは、導電膜であればよい。また、前記シリコンダイヤフラムは、単結晶シリコンで形成されていても良い。前記絶縁体は、シリコン酸化膜あるいはシリコン窒化膜から構成されていれば良い。
本発明によれば、シリコン基板上にSiGe層とSi層とを順に積層し、前記Si層の一部を前記シリコン基板に対して一定の空間を保って絶縁膜によって支持される多数のシリコンダイヤフラムとして形成する面圧センサの製造方法であって、前記シリコン基板上に前記SiGe層と前記Si層とを連続してエピタキシャル成長させる工程と、前記シリコンダイヤフラムを成す領域の外周を囲み、ほぼ対向する位置に前記SiGe層と前記Si層とをエッチングして前記シリコン基板が露出した一対の第1開口部を形成する工程と、前記第1開口部より、前記SiGe層の前記空間を成す領域をエッチングして除去する工程と、第1絶縁膜を前記シリコン基板の全面に形成する工程と、前記外周のうち前記第1開口部で囲まれた以外の外周領域に、前記第1絶縁膜および前記SiGe層と前記Si層とをエッチングして、前記シリコン基板が露出する一対の第2開口部を形成する工程と、第2絶縁膜を前記シリコン基板の全面に形成する工程と、前記第1絶縁膜および第2絶縁膜とをエッチバックして前記外周の全縁に前記シリコンダイヤフラムを支持するサイドウォールを形成する工程とを備えることを特徴とする面圧センサの製造方法が提供される。
本発明の面圧センサは、上部電極であるダイヤフラムが、絶縁体(従来例の支持部)の上に乗るのではなく、絶縁体の側面で支持されている。この形状にしたことにより、個々の支持部を形成後、その上にダイヤフラムを載せる従来の方法とは異なり、基板上に中間支持層とダイヤフラム層を連続して積層後、中間支持層を除去する方法で製作が可能になる。上部、下部の電極間距離とダイヤフラムの厚みは、それぞれ中間支持層、ダイヤフラム層の成膜時の厚みで制御することになり、従来例よりも広い面に渡って均一に形成することができる。その結果、各部分の面圧の検出精度が均一に保たれ、正確な面圧検出ができるセンサとなる。
また、本発明の面圧センサの製造方法は、中間支持層となるSiGe層とダイヤフラムとなるSi層とを順にエピタキシャル成長で積層してから加工する方法なので、膜厚の制御が容易かつ正確であり、量産性に優れた製造方法を提供できる。
以下、本発明の実施の形態について、図面を交えて説明する。図1は、本発明の一例を示す面圧センサの断面図であり、図2は上方から見た平面図である。面圧センサ10は、1枚のシリコン基板11とこのシリコン基板11の上面の一部を覆うキャビティー枠体20とから構成されている。
シリコン基板11の上面11aに形成されるキャビティー枠体20は、例えば厚みが0.5μm程度の多数のダイヤフラム(シリコンダイヤフラム)14と、このダイヤフラムを周縁から支持する多数のサイドウォール(絶縁体)15とからなる。ダイヤフラム14は、単結晶シリコンから形成されていれば良い。また、サイドウォール15は、シリコン酸化膜であればよい。なお、サイドウォール15は、シリコン酸化膜の代わりにシリコン窒化膜を用いることもできる。
図2から明らかなように、面圧センサ10はこれらダイヤフラム14と、これを支持するサイドウォール15とをシリコン基板11の上面11aに一定の間隔で多数配列したものである。
シリコン基板11の上面11aと、それぞれのダイヤフラム14およびサイドウォール15によって一定の静電容量を持つ空間16が区画される。この多数の空間16内は、例えば、真空や一定圧でガスが充填されていればよい。
図1に示すように、キャビティー枠体20を構成するそれぞれのダイヤフラム14と、それぞれ対面するシリコン基板11は、センサ回路18に接続される。センサ回路18は、それぞれのダイヤフラム14とシリコン基板11との距離の変化を容量の変化として検出する。
以上のような構成の面圧センサ10は、固定電極の役割を果たすシリコン基板11と、これに対面して多数配列された可撓性電極の役割を果たすダイヤフラム14と、これらの間に広がる空間16によって、一定の静電容量を持つコンデンサ多数形成される。そして、キャビティー枠体20に圧力が加わると、それぞれのダイヤフラム14はその押圧力の分布に応じて湾曲し、ダイヤフラム14とシリコン基板11との距離が変化する。
キャビティー枠体20に加わる押圧力の分布に応じて、それぞれのダイヤフラム14とシリコン基板11との距離が変化すると、シリコン基板11とそれぞれのダイヤフラム14との間の静電容量が変化する。このそれぞれのシリコン基板11とダイヤフラム14との距離の変化をシリコン基板11とダイヤフラム14に接続されたセンサ回路18で検出することによって、キャビティー枠体20に加わる押圧力の分布を検出することができる。
このような構成の面圧センサ10は、例えば、指紋検出用のセンサなどに好適に用いることができる。こうした面圧センサ10は、従来の圧力センサよりも比較的単純な構造であり、ダイヤフラムの厚みや空間の寸法を均一に保って形成することを容易にする。これにより、圧力の検出精度が一定に保たれ、かつ量産性に優れた面圧センサ10を実現することが可能になる。
次に、上述したような本発明の面圧センサの製造方法を説明する。なお、以下の説明では、シリコン基板上に多数形成されるダイヤフラムとサイドウォールの内の1つについて採り上げているが、他の多数のダイヤフラムとサイドウォールの形成も同時に行われることに留意されたい。まず、図3に示すように、シリコン基板11上にSiGe層31とSi層32とを連続的にエピタキシャル成長させる。続いて、このSiGe層31とSi層32との一部をエッチングにより除去し、シリコン基板11の一部を露出させて、第1開口部35を形成する。図4は、このエッチング後の状態の側面断面図であり、図5は上面から見た平面図である。
次に、図6に示すように、SiGe層31を横方向からエッチングして、空間16を形成する。続いて、図7に示すように、これらシリコン基板11とSi層32とを覆うように、第1絶縁膜33を全面に形成する。この第1絶縁膜33は、例えばシリコン酸化膜で形成されれば良い。
そして、第1絶縁膜33およびSiGe層31とSi層32の一部をエッチングし、第2開口部36を形成する。図8は、このエッチング後に上面から見た平面図である。
更に、第2絶縁膜37を全面に形成する。この第2絶縁膜37は、例えばシリコン酸化膜で形成されれば良い。図9は、この第2絶縁膜37形成後の側面断面図であり、図10は上面から見た平面図である。
この後、第1絶縁膜33および第2絶縁膜37の一部をエッチバックすることによって、第1絶縁膜33および第2絶縁膜37から構成されるサイドウォール15によって支えられた、多数のダイヤフラム14を備えたキャビティー枠体20と、シリコン基板11とからなる面圧センサ10が完成する(図1参照)。
このような、1枚のシリコン基板11上に多数のダイヤフラム14とサイドウォール15を配列した面圧センサの製造方法によって、高感度な面圧センサを簡易な構成でローコストに製造することができる。
なお、別な実施形態として、上述したようなシリコン基板11上にSiGe層31とSi層32とを連続的にエピタキシャル成長させた基板を用いる代わりに、SiO2 層とSi層とが順に積層されたSOI基板を用いて、上述したような手順で面圧センサを形成しても良い。
10 面圧センサ
11 シリコン基板
14 ダイヤフラム(シリコンダイヤフラム)
15 サイドウォール(絶縁体)
16 空間
31 SiGe層
32 Si層
33 第1絶縁膜
35 第1開口部
36 第2開口部
37 第2絶縁膜
11 シリコン基板
14 ダイヤフラム(シリコンダイヤフラム)
15 サイドウォール(絶縁体)
16 空間
31 SiGe層
32 Si層
33 第1絶縁膜
35 第1開口部
36 第2開口部
37 第2絶縁膜
Claims (5)
- シリコン基板と、このシリコン基板上に一定の空間を空けて多数配列された薄板状のダイヤフラムと、この多数のダイヤフラムの外周端面と前記空間とを覆い、前記ダイヤフラムを支持する絶縁体とを備えることを特徴とする面圧センサ。
- 前記ダイヤフラムは、導電膜からなることを特徴とする請求項1に記載の面圧センサ。
- 前記シリコンダイヤフラムは、単結晶シリコンからなることを特徴とする請求項1に記載の面圧センサ。
- 前記絶縁体は、シリコン酸化膜あるいはシリコン窒化膜から構成されることを特徴とする請求項1ないし3のいずれか1項に記載の面圧センサ。
- シリコン基板上にSiGe層とSi層とを順に積層し、前記Si層の一部を前記シリコン基板に対して一定の空間を保って絶縁膜によって支持される多数のシリコンダイヤフラムとして形成する面圧センサの製造方法であって、
前記シリコン基板上に前記SiGe層と前記Si層とを連続してエピタキシャル成長させる工程と、前記シリコンダイヤフラムを成す領域の外周を囲み、ほぼ対向する位置に前記SiGe層と前記Si層とをエッチングして前記シリコン基板が露出した一対の第1開口部を形成する工程と、前記第1開口部より、前記SiGe層の前記空間を成す領域をエッチングして除去する工程と、第1絶縁膜を前記シリコン基板の全面に形成する工程と、前記外周のうち前記第1開口部で囲まれた以外の外周領域に、前記第1絶縁膜および前記SiGe層と前記Si層とをエッチングして、前記シリコン基板が露出する一対の第2開口部を形成する工程と、第2絶縁膜を前記シリコン基板の全面に形成する工程と、前記第1絶縁膜および第2絶縁膜とをエッチバックして前記外周の全縁に前記シリコンダイヤフラムを支持するサイドウォールを形成する工程とを備えることを特徴とする面圧センサの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004149089A JP2005331327A (ja) | 2004-05-19 | 2004-05-19 | 面圧センサおよびその製造方法 |
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JP2005331327A true JP2005331327A (ja) | 2005-12-02 |
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014122914A (ja) * | 2006-10-03 | 2014-07-03 | Kla-Encor Corp | プロセス条件測定機器およびその方法 |
JP2015219044A (ja) * | 2014-05-14 | 2015-12-07 | キヤノン株式会社 | 力覚センサおよび把持装置 |
-
2004
- 2004-05-19 JP JP2004149089A patent/JP2005331327A/ja not_active Withdrawn
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Legal Events
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