JP2005324165A

JP2005324165A - Ink bag, inkjet unit and method for manufacturing device

Info

Publication number: JP2005324165A
Application number: JP2004146432A
Authority: JP
Inventors: Hirokazu Yanagihara; 弘和柳原
Original assignee: Seiko Epson Corp
Current assignee: Seiko Epson Corp
Priority date: 2004-05-17
Filing date: 2004-05-17
Publication date: 2005-11-24

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an ink pack easily molded and having excellent corrosion resistance. SOLUTION: In the ink pack 60 structured to seal an ink containing an aromatic organic solvent into a film 65 worked bag like, having a plug body 50 provided with a check valve which is attached to the film 65 integrally as a take-out port for the ink, housed detachably in an inkjet apparatus and for supplying the ink to a discharge head of the inkjet apparatus, the surface of film 65 which is in contact with the ink is formed from a low crystalline polyester produced by copolymerizing one or more kinds of dicarboxylic acids with one or more kinds of diols and the surface of the plug body 50 which is in contact with the ink is formed from a fluorine based elastomer. COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

Description

本発明は、インクジェット装置に着脱可能に収容されて当該インクジェット装置の吐出ヘッドにインクを供給するインクパック、並びにこのインクパックを備えたインクジェット装置、このインクジェット装置を用いたデバイスの製造方法に関するものである。 The present invention relates to an ink pack that is detachably accommodated in an ink jet apparatus and supplies ink to an ejection head of the ink jet apparatus, an ink jet apparatus including the ink pack, and a device manufacturing method using the ink jet apparatus. is there.

近年、自発光型ディスプレイとして、発光層に有機物を用いた有機エレクトロルミネセンス素子（以下、有機ＥＬ素子と称する）の開発が進められている。有機ＥＬ素子は、その発光層に低分子発光材料を用いたものと高分子発光材料を用いたものとに大別することができる。特に高分子発光材料を用いたものでは、高輝度化が可能であり、製造も液相プロセスによって容易に行なうことができることから、このような有機ＥＬデバイスの本命として期待されている。
ここで、高分子発光層を液相プロセスで形成する方法としてはいくつか候補があるが、その中でもインクジェット法は、
（１）基板の大面積化が可能
（２）高解像度化が可能
（３）マスクが不要でＣＡＤデータを直接描画できる
（４）原料のロスが原理的になく、廃棄物の回収も容易
（５）フォトリソグラフィに比べて製造プロセスが短い
（６）少ない設備投資と製造装置の小型化が可能
等の理由から、液相プロセスの中でも有望視されている。
なお、このような有機ＥＬ素子形成用のインクジェット装置は、従来の紙に印字するタイプのインクジェット装置の構成を略そのまま踏襲している。従来のインクジェット装置に関しては、特許文献１を参照されたい。
特開２００３−９４６８８号公報 In recent years, as a self-luminous display, development of an organic electroluminescence element (hereinafter referred to as an organic EL element) using an organic substance in a light emitting layer has been advanced. Organic EL elements can be broadly classified into those using a low-molecular light-emitting material for the light-emitting layer and those using a polymer light-emitting material. In particular, a material using a polymer light-emitting material can be increased in brightness, and can be easily manufactured by a liquid phase process, and thus is expected as a favorite of such an organic EL device.
Here, there are several candidates for the method of forming the polymer light emitting layer by a liquid phase process.
(1) Large area of the substrate is possible (2) High resolution is possible (3) CAD data can be directly drawn without the need for a mask (4) There is no loss of raw material in principle, and waste can be easily recovered ( 5) The manufacturing process is shorter than that of photolithography. (6) It is considered promising among liquid phase processes because it requires less capital investment and enables downsizing of the manufacturing apparatus.
In addition, such an inkjet device for forming an organic EL element substantially follows the configuration of a conventional inkjet device that prints on paper. For a conventional ink jet apparatus, refer to Patent Document 1.
JP 2003-94688 A

前述のように、有機ＥＬ素子形成用のインクジェット装置は、従来の紙に印字するタイプのインクジェット装置と基本的な構造は同じである。しかし、従来のインクジェット装置をそのまま転用すると、得られる有機ＥＬ素子の発光特性が不均一になったり、十分な発光輝度が得られない等の問題があることがわかってきた。この原因は、インクの流路、特に、インクが長期間保存されるインクパックの材質が、有機ＥＬ素子形成用に最適化されていないことにある。つまり、紙に印字するタイプのものでは、インクの溶媒に水系の溶媒が使用されており、これに合わせて、インクパックのインクに接する面（接液面）には、係る溶媒に対して化学的に安定なポリエチレン樹脂等が使用されている。しかし、有機ＥＬ素子の高分子有機発光層を形成するためのインクには、シクロへキシルベンゼン、ジハイドロベンゾフラン、トリメチルベンゼン、テトラメチルベンゼン等の芳香族化合物からなる有機溶媒（芳香族有機溶媒）が使用されるため、このインクに対して従来のインクパックを適用すると、接液面であるポリエチレン樹脂等が腐食され、膨潤等を生じることがある。また従来のインクパックでは、このポリエチレン樹脂等に酸化防止剤，滑剤，安定剤，紫外線防止剤，アンチブロッキング剤等の各種添加材を含ませているため、腐食によってこれらの添加剤がインク中に溶出し、有機ＥＬ素子の特性を劣化させることもある。 As described above, the basic structure of an ink jet device for forming an organic EL element is the same as that of a conventional ink jet device for printing on paper. However, it has been found that if the conventional ink jet device is used as it is, there are problems such as non-uniform emission characteristics of the organic EL element obtained and insufficient emission luminance. This is because the ink flow path, particularly the material of the ink pack in which the ink is stored for a long period of time, is not optimized for forming the organic EL element. That is, in the type that prints on paper, an aqueous solvent is used as the solvent of the ink, and accordingly, the surface of the ink pack that contacts the ink (liquid contact surface) is chemically resistant to the solvent. Stable polyethylene resin or the like is used. However, the ink for forming the polymer organic light-emitting layer of the organic EL element includes an organic solvent (aromatic organic solvent) made of an aromatic compound such as cyclohexylbenzene, dihydrobenzofuran, trimethylbenzene, and tetramethylbenzene. Therefore, when a conventional ink pack is applied to this ink, the polyethylene resin or the like that is in contact with the liquid may be corroded and swelled. In addition, in conventional ink packs, various additives such as antioxidants, lubricants, stabilizers, UV inhibitors and antiblocking agents are included in the polyethylene resin and the like. Elution may deteriorate the characteristics of the organic EL element.

そこでインクパックの接液面に、このような芳香族有機溶媒に対して耐食性の高いフッ素系の樹脂やＰＥＴフィルムを使用することが考えられるが、フッ素系樹脂は硬度が高く柔軟性にも乏しいため、これを袋状に加工するのは難しい。一方、ＰＥＴフィルムは柔軟性に優れるものの、結晶化度が高いため、熱融着して使うことができない。
以上、本発明の課題について有機ＥＬ素子を作製する場合を例に挙げて説明したが、上記の問題は、有機ＥＬ素子だけでなく、芳香族有機溶媒を用いて他のデバイスを製造する場合についても生じうる。
本発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、成形が容易で耐食性に優れたインクパックを提供することを目的とする。 Therefore, it is conceivable to use a fluorine-based resin or PET film having high corrosion resistance against such an aromatic organic solvent on the liquid contact surface of the ink pack, but the fluorine-based resin has high hardness and poor flexibility. Therefore, it is difficult to process this into a bag shape. On the other hand, although PET film is excellent in flexibility, since it has a high degree of crystallinity, it cannot be used by heat fusion.
As mentioned above, although the case where an organic EL element was produced was mentioned as an example about the subject of the present invention, the above-mentioned problem is about the case where not only an organic EL element but other devices are manufactured using an aromatic organic solvent. Can also occur.
The present invention has been made in view of such circumstances, and an object thereof is to provide an ink pack that is easy to mold and excellent in corrosion resistance.

上記の課題を解決するため、本発明のインクパックは、袋状に加工されたフィルムの内部に芳香族有機溶媒を含むインクを密封可能に構成され、前記インクの取り出し口として、逆止弁を有する栓体が前記フィルムに対して一体に取り付けられており、インクジェット装置に着脱可能に収容されて当該インクジェット装置の吐出ヘッドに前記インクを供給するインクパックであって、前記フィルムの前記インクと接する面が、１種類以上のジカルボン酸と１種類以上のジオールとを共重合させてなる低結晶性ポリエステルによって構成され、前記栓体の前記インクに接する面がフッ素系エラストマーによって構成されたことを特徴とする。 In order to solve the above-described problems, the ink pack of the present invention is configured so that ink containing an aromatic organic solvent can be sealed inside a bag-shaped film, and a check valve is provided as the ink outlet. An ink pack that is integrally attached to the film and that is detachably accommodated in the ink jet apparatus and supplies the ink to an ejection head of the ink jet apparatus, and is in contact with the ink of the film The surface is composed of a low crystalline polyester obtained by copolymerizing one or more kinds of dicarboxylic acids and one or more kinds of diols, and the surface of the plug that contacts the ink is composed of a fluorine-based elastomer. And

本発明は、インクパックの材料を工夫して、デバイス製造用のインクに適した構成を実現したものである。ポリエステルは、ジカルボン酸とジオールとの重合物であり、一般にＰＥＴと呼称されるポリエチレンテレフタレートは、テレフタル酸とエチレングリコールとを重合したものである。ＰＥＴは結晶化度が高いために熱融着性に乏しく、熱融着性を付与するためには結晶化度を下げる必要がある。低結晶性ポリエステルは、１種類以上のジカルボン酸と１種類以上のジオールとを共重合させて結晶化度を下げたもの、或いは、この低結晶性ポリエステルを２種類以上混合したものである（ただし、ジカルボン酸単独とジオール単独の組み合わせは除く）。本発明では、このような低結晶性のポリエステル樹脂をインクパックの接液面に使用しているため、通常のＰＥＴに比べて成形が容易で、耐食性に優れたインクパックを提供することができる。また、本発明者が鋭意検討した結果、仮にインクに対して本発明の低結晶性ポリエステルより溶出物が混入したとしても、形成される有機ＥＬ素子の特性に影響を与えることがない、したがって、本発明を適用することにより、有機ＥＬ素子形成用に適したインクパックを提供することができる。 In the present invention, a material suitable for ink for device manufacture is realized by devising the material of the ink pack. Polyester is a polymer of dicarboxylic acid and diol, and polyethylene terephthalate generally called PET is a polymer of terephthalic acid and ethylene glycol. Since PET has a high degree of crystallinity, it has poor heat-fusibility, and in order to impart heat-fusibility, it is necessary to lower the crystallinity. The low crystalline polyester is one obtained by copolymerizing one or more dicarboxylic acids and one or more diols to reduce the crystallinity, or a mixture of two or more of these low crystalline polyesters (however, Excluding the combination of dicarboxylic acid alone and diol alone). In the present invention, since such a low crystalline polyester resin is used for the wetted surface of the ink pack, it is possible to provide an ink pack that is easier to mold than ordinary PET and has excellent corrosion resistance. . Further, as a result of intensive studies by the inventor, even if an eluate is mixed into the ink from the low crystalline polyester of the present invention, it does not affect the characteristics of the formed organic EL element. By applying the present invention, an ink pack suitable for forming an organic EL element can be provided.

また、本発明では栓体の接液面をフッ素系エラストマーによって構成しているので、栓体部分がインクによって腐食されることはない。また、栓体に逆止弁を設けているので、単に栓体をゴム栓とした場合に比べて供給針を太くすることができる。このため、有機ＥＬ素子等の製造に使用される高粘度のインクにも容易に対応することができる。また、このように逆止弁を設けることで、インクパックを何度も再利用することができるといったメリットもある。 In the present invention, since the liquid contact surface of the plug is made of a fluorine-based elastomer, the plug is not corroded by the ink. In addition, since the check valve is provided in the plug, the supply needle can be made thicker than when the plug is simply a rubber plug. For this reason, it can respond easily also to the highly viscous ink used for manufacture of an organic EL element etc. Further, by providing the check valve in this way, there is an advantage that the ink pack can be reused many times.

本発明のインクパックでは、前記フィルムの前記インクと接する面が、１種類以上のジカルボン酸にテレフタル酸を優勢に含む第１の化合物と、１種類以上のジオールにエチレングリコールを優勢に含む第２の化合物とを共重合させてなる低結晶性ポリエステル（ただし、ジカルボン酸単独とジオール単独の組み合わせは除く。なお本明細書では、これをシーラブルＰＥＴと呼ぶ）によって構成されたものを用いることができる。このようなポリエステル樹脂は、芳香族有機溶媒に対する耐食性，熱融着性，柔軟性等の特性がいずれも高く、本発明のインクパックの材料として、より適した材料となる。 In the ink pack of the present invention, the surface of the film in contact with the ink includes a first compound that predominantly contains terephthalic acid in one or more types of dicarboxylic acid, and a second compound that predominantly contains ethylene glycol in one or more types of diols. It is possible to use a polyester composed of a low crystalline polyester obtained by copolymerizing the above compound (except for a combination of dicarboxylic acid alone and diol alone. In this specification, this is called sealable PET). . Such a polyester resin has high properties such as corrosion resistance, heat-fusibility, and flexibility with respect to the aromatic organic solvent, and is a more suitable material for the ink pack of the present invention.

また本発明のインクパックでは、前記フィルムが、ＰＥＴフィルムからなる層と、該ＰＥＴフィルム上に積層された前記低結晶性ポリエステルからなる層とを含む構成とすることができる。このようにフィルムの表面を熱融着性の低結晶ポリエステルフィルムとＰＥＴフィルムとの２層構造とすることで、インクパックへの加工がし易くなる。 In the ink pack of the present invention, the film may include a layer made of a PET film and a layer made of the low crystalline polyester laminated on the PET film. Thus, the film surface has a two-layer structure of a heat-fusable low-crystalline polyester film and a PET film, so that it can be easily processed into an ink pack.

また本発明のインクパックでは、前記フィルムがガスバリア層を備えた構成とすることができる。インクジェット装置では、インクを加圧してインク滴を発生させる関係上、インクに気泡が含まれていると、圧力が低下してインク滴の吐出性能も低下するため、溶存ガスを排除したインクを必要とする。本構成では、フィルムにガスバリア層が形成されているので、外部からのガスの混入がなく、従ってインクジェット装置から吐出されるインクの吐出量を安定させることができる。 In the ink pack of the present invention, the film may have a gas barrier layer. Ink jet devices generate ink droplets by pressurizing the ink. If bubbles are included in the ink, the pressure drops and ink droplet ejection performance also deteriorates, so ink that excludes dissolved gas is required. And In this configuration, since the gas barrier layer is formed on the film, there is no mixing of gas from the outside, and therefore the discharge amount of ink discharged from the ink jet apparatus can be stabilized.

本発明のインクジェット装置は、前述のインクパックを備えたことを特徴とする。本構成によれば、インクの純度を長期間にわたって保持することができる。このため、本発明のインクジェット装置を用いて有機発光層等の機能層を形成することによって、高機能で且つ信頼性に優れたデバイスを製造することができる。 An ink jet apparatus according to the present invention includes the above-described ink pack. According to this configuration, the purity of the ink can be maintained over a long period. For this reason, by forming a functional layer such as an organic light-emitting layer using the inkjet apparatus of the present invention, a device having high functionality and excellent reliability can be manufactured.

本発明のデバイスの製造方法は、芳香族有機溶媒を含むインクを基板上に配置する工程を含むデバイスの製造方法であって、前記インクの配置工程が前述のインクジェット装置を用いて行なわれることを特徴とする。本方法によれば、高機能で且つ信頼性に優れたデバイスを製造することが可能である。 The device manufacturing method of the present invention is a device manufacturing method including a step of disposing an ink containing an aromatic organic solvent on a substrate, wherein the ink disposing step is performed using the above-described ink jet apparatus. Features. According to this method, it is possible to manufacture a device with high functionality and excellent reliability.

以下、図面を参照しながら、本発明の実施の形態ついて説明する。なお、以下の全ての図面においては、図面を見やすくするため、各構成要素の膜厚や寸法の比率などは適宜異ならせてある。
［インクジェット装置］
図１は本発明のインクジェット装置の概略構成を示す斜視図である。このインクジェット装置３０は、ベース３１、基板移動手段３２、ヘッド移動手段３３、インクジェットヘッド（吐出ヘッド）３４、インク（液体材料）供給手段３５等を有して構成されたものである。ベース３１は、その上に前記基板移動手段３２、ヘッド移動手段３３を設置したものである。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. In all the drawings below, the film thicknesses and dimensional ratios of the constituent elements are appropriately changed in order to make the drawings easy to see.
[Inkjet device]
FIG. 1 is a perspective view showing a schematic configuration of an ink jet apparatus according to the present invention. The ink jet apparatus 30 includes a base 31, a substrate moving unit 32, a head moving unit 33, an ink jet head (discharge head) 34, an ink (liquid material) supply unit 35, and the like. The base 31 has the substrate moving means 32 and the head moving means 33 installed thereon.

基板移動手段３２は、ベース３１上に設けられたもので、Ｙ軸方向に沿って配置されたガイドレール３６を有したものである。この基板移動手段３２は、例えばリニアモータにより、スライダ３７をガイドレール３６に沿って移動させるよう構成されたものである。スライダ３７には、θ軸用のモータ（図示せず）が備えられている。このモータは、例えばダイレクトドライブモータからなるものであり、これのロータ（図示せず）はテーブル３９に固定されている。このような構成のもとに、モータに通電するとロータおよびテーブル３９は、θ方向に沿って回転し、テーブル３９をインデックス（回転割り出し）するようになっている。 The substrate moving means 32 is provided on the base 31 and has guide rails 36 arranged along the Y-axis direction. The substrate moving means 32 is configured to move the slider 37 along the guide rail 36 by, for example, a linear motor. The slider 37 is provided with a θ-axis motor (not shown). This motor is composed of, for example, a direct drive motor, and its rotor (not shown) is fixed to the table 39. Under such a configuration, when the motor is energized, the rotor and the table 39 rotate along the θ direction, and the table 39 is indexed (rotational indexing).

テーブル３９は、基板Ｓを位置決めし、保持するものである。すなわち、このテーブル３９は、公知の吸着保持手段（図示せず）を有し、この吸着保持手段を作動させることにより、基板Ｓをテーブル３９の上に吸着保持するようになっている。基板Ｓは、テーブル３９の位置決めピン（図示せず）により、テーブル３９上の所定位置に正確に位置決めされ、保持されるようになっている。テーブル３９には、インクジェットヘッド３４がインクを捨打ちあるいは試し打ちするための捨打ちエリア４１が設けられている。この捨打ちエリア４１は、Ｘ軸方向に延びて形成されたもので、テーブル３９の後端部側に設けられたものである。 The table 39 positions and holds the substrate S. That is, the table 39 has known suction holding means (not shown), and the suction holding means is operated to hold the substrate S on the table 39 by suction. The substrate S is accurately positioned and held at a predetermined position on the table 39 by positioning pins (not shown) of the table 39. The table 39 is provided with a discarding area 41 for the ink jet head 34 to discard or test the ink. The discard area 41 is formed to extend in the X-axis direction, and is provided on the rear end side of the table 39.

ヘッド移動手段３３は、ベース３１の後部側に立てられた一対の架台３３ａ、３３ａと、これら架台３３ａ、３３ａ上に設けられた走行路３３ｂとを備えてなるもので、該走行路３３ｂをＸ軸方向、すなわち前記の基板移動手段３２のＹ軸方向と直交する方向に沿って配置したものである。走行路３３ｂは、架台３３ａ、３３ａ間に渡された保持板３３ｃと、この保持板３３ｃ上に設けられた一対のガイドレール３３ｄ、３３ｄとを有して形成されたもので、ガイドレール３３ｄ、３３ｄの長さ方向にインクジェットヘッド３４を保持させるスライダ４２を移動可能に保持したものである。スライダ４２は、リニアモータ（図示せず）等の作動によってガイドレール３３ｄ、３３ｄ上を走行し、これによりインクジェットヘッド３４をＸ軸方向に移動させるよう構成されたものである。 The head moving means 33 includes a pair of mounts 33a and 33a standing on the rear side of the base 31, and a travel path 33b provided on the mounts 33a and 33a. It is arranged along the axial direction, that is, the direction orthogonal to the Y-axis direction of the substrate moving means 32. The travel path 33b is formed by having a holding plate 33c passed between the gantry 33a and 33a and a pair of guide rails 33d and 33d provided on the holding plate 33c. The slider 42 that holds the inkjet head 34 in the length direction 33d is movably held. The slider 42 is configured to travel on the guide rails 33d and 33d by the operation of a linear motor (not shown) or the like, thereby moving the inkjet head 34 in the X-axis direction.

インクジェットヘッド３４には、揺動位置決め手段としてのモータ４３、４４、４５、４６が接続されている。そして、モータ４３を作動させると、インクジェットヘッド３４はＺ軸に沿って上下動し、Ｚ軸上での位置決めが可能になっている。なお、このＺ軸は、前記のＸ軸、Ｙ軸に対しそれぞれに直交する方向（上下方向）である。また、モータ４４を作動させると、インクジェットヘッド３４は図１中のβ方向に沿って揺動し、位置決め可能になり、モータ４５を作動させると、インクジェットヘッド３４はγ方向に揺動し、位置決め可能になり、モータ４６を作動させると、インクジェットヘッド３４はα方向に揺動し、位置決め可能になる。 Motors 43, 44, 45, 46 as swing positioning means are connected to the inkjet head 34. When the motor 43 is operated, the inkjet head 34 moves up and down along the Z axis, and positioning on the Z axis is possible. The Z axis is a direction (vertical direction) perpendicular to the X axis and Y axis. When the motor 44 is operated, the ink jet head 34 swings along the β direction in FIG. 1 and can be positioned. When the motor 45 is operated, the ink jet head 34 swings in the γ direction and positioning is performed. When the motor 46 is operated, the inkjet head 34 swings in the α direction and can be positioned.

このようにインクジェットヘッド３４は、スライダ４２上において、Ｚ軸方向に直線移動して位置決め可能となり、かつ、α、β、γに沿って揺動し、位置決め可能となっている。したがって、インクジェットヘッド３４のインク吐出面を、テーブル３９側の基板Ｓに対する位置あるいは姿勢を、正確にコントロールすることができるようになっている。
インクジェットヘッド３４は、図２（ａ）に示すように例えばステンレス製のノズルプレート１２と振動板１３とを備え、両者を仕切部材（リザーバプレート）１４を介して接合したものである。ノズルプレート１２と振動板１３との間には、仕切部材１４によって複数の空間１５と液溜まり１６とが形成されている。各空間１５と液溜まり１６の内部はインクで満たされており、各空間１５と液溜まり１６とは供給口１７を介して連通したものとなっている。また、ノズルプレート１２には、空間１５からインクを噴射するためのノズル孔１８が一列に配列された状態で複数形成されている。一方、振動板１３には、液溜まり１６にインクを供給するための孔１９が形成されている。 Thus, the inkjet head 34 can be positioned by linearly moving in the Z-axis direction on the slider 42, and can be positioned by swinging along α, β, and γ. Therefore, the position or posture of the ink ejection surface of the inkjet head 34 with respect to the substrate S on the table 39 side can be accurately controlled.
As shown in FIG. 2A, the inkjet head 34 includes, for example, a stainless steel nozzle plate 12 and a diaphragm 13, and both are joined via a partition member (reservoir plate) 14. A plurality of spaces 15 and a liquid reservoir 16 are formed between the nozzle plate 12 and the diaphragm 13 by the partition member 14. Each space 15 and the liquid reservoir 16 are filled with ink, and each space 15 and the liquid reservoir 16 communicate with each other via a supply port 17. A plurality of nozzle holes 18 for ejecting ink from the space 15 are formed in the nozzle plate 12 in a row. On the other hand, a hole 19 for supplying ink to the liquid reservoir 16 is formed in the vibration plate 13.

また、振動板１３の空間１５に対向する面と反対側の面上には、図２（ｂ）に示すように圧電素子（ピエゾ素子）２０が接合されている。この圧電素子２０は、一対の電極２１の間に位置し、通電するとこれが外側に突出するようにして撓曲するよう構成されたものである。そして、このような構成のもとに圧電素子２０が接合されている振動板１３は、圧電素子２０と一体になって同時に外側へ撓曲するようになっており、これによって空間１５の容積が増大するようになっている。したがって、空間１５内に増大した容積分に相当するインクが、液溜まり１６から供給口１７を介して流入する。また、このような状態から圧電素子２０への通電を解除すると、圧電素子２０と振動板１３はともに元の形状に戻る。したがって、空間１５も元の容積に戻ることから、空間１５内部のインクの圧力が上昇し、ノズル孔１８から基板に向けてインクの液滴２２が吐出される。なお、インクジェットヘッド３４のインクジェット方式としては、前記の圧電素子２０を用いたピエゾジェットタイプ以外の方式のものとしてもよい。 Further, a piezoelectric element (piezo element) 20 is joined to the surface of the diaphragm 13 opposite to the surface facing the space 15 as shown in FIG. The piezoelectric element 20 is positioned between a pair of electrodes 21 and is configured to bend so that when it is energized, it projects outward. The diaphragm 13 to which the piezoelectric element 20 is bonded in such a configuration is bent integrally with the piezoelectric element 20 at the same time so that the volume of the space 15 is increased. It is going to increase. Therefore, ink corresponding to the increased volume in the space 15 flows from the liquid reservoir 16 through the supply port 17. Further, when energization to the piezoelectric element 20 is released from such a state, both the piezoelectric element 20 and the diaphragm 13 return to their original shapes. Accordingly, since the space 15 also returns to its original volume, the pressure of the ink inside the space 15 increases, and the ink droplet 22 is ejected from the nozzle hole 18 toward the substrate. In addition, as an ink jet system of the ink jet head 34, a system other than the piezo jet type using the piezoelectric element 20 may be used.

図１に戻り、インク供給手段３５は、インクジェットヘッド３４にインク滴を供給するインク供給源４７と、このインク供給源４７からインクジェットヘッド３４にインクを送るためのインク供給チューブ４８とからなるものである。すなわちステンレス製等の容器からなるインク供給源４７にインクを一時保管して、そこよりインクをインク供給チューブ４８によりヘッドまで供給する方式を採用している。 Returning to FIG. 1, the ink supply means 35 includes an ink supply source 47 that supplies ink droplets to the inkjet head 34, and an ink supply tube 48 that sends ink from the ink supply source 47 to the inkjet head 34. is there. That is, a system is adopted in which ink is temporarily stored in an ink supply source 47 formed of a container made of stainless steel or the like, and ink is supplied from there to an ink supply tube 48 to the head.

図３は、インク供給源４７の一実施の形態であるインクカートリッジの構成を示す分解斜視図である。図３に示したインクカートリッジ４７は、インクを充填した袋状のインクパック６０と、インクパック６０を収容するケース７０およびその蓋７１と、インクパック６０をケース７０内に固定する板材７２とを備えている。インクパック６０には、インクの取り出し口として、逆止弁を有する栓体５０が一体に設けられており、ケース７０には、この栓体５０に差し込んでインクパック内のインクを導出可能な中空状のインク導入管（図５参照）が取り付けられている。このインク導入管にはインク供給チューブ４８が接続されており、このインク供給チューブ４８は前記インクジェットヘッド３４に接続されている。なお、インクカートリッジ４７は、インクジェット装置３０に装着された図示略のカートリッジホルダ内に収容されている。 FIG. 3 is an exploded perspective view showing a configuration of an ink cartridge which is an embodiment of the ink supply source 47. The ink cartridge 47 shown in FIG. 3 includes a bag-shaped ink pack 60 filled with ink, a case 70 for storing the ink pack 60 and its lid 71, and a plate member 72 for fixing the ink pack 60 in the case 70. I have. The ink pack 60 is integrally provided with a plug body 50 having a check valve as an ink outlet, and the case 70 is a hollow that can be inserted into the plug body 50 to draw out ink in the ink pack. An ink introducing tube (see FIG. 5) is attached. An ink supply tube 48 is connected to the ink introduction tube, and the ink supply tube 48 is connected to the inkjet head 34. The ink cartridge 47 is accommodated in a cartridge holder (not shown) attached to the inkjet device 30.

インクパック６０は、ラミネートフィルム６５を熱融着（ヒートシール）して袋状に加工したものである。例えば本例のインクパック６０は、前記栓体５０が取り付けられた端辺６５ａと、これに直交する二つの端辺６５ｂとの三辺が、先ず熱融着によって接合されて袋状に形成される。そして、前記のようにして袋状に形成されたインクパック６０における残りの一辺における開口を利用して、インクパック６０内にインクが導入され、最後に残りの一辺が熱融着によって接合されて、インクパック６０内にインクが封入された状態とされている。このインクパック６０は、芳香族有機溶媒を含むデバイス製造用のインク（例えば有機ＥＬ素子の有機発光層形成用のインク）を密封するためのものである。このため、インクパック６０を構成するラミネートフィルム６５には、インクの溶媒に対して耐食性の高い材料が使用されている。 The ink pack 60 is obtained by processing a laminated film 65 into a bag shape by heat-sealing (heat sealing). For example, the ink pack 60 of this example is formed into a bag shape by first joining three sides of an end side 65a to which the plug body 50 is attached and two end sides 65b perpendicular to the end side 65a by thermal fusion. The Then, ink is introduced into the ink pack 60 using the opening in the remaining one side of the ink pack 60 formed in the bag shape as described above, and finally the remaining one side is joined by heat fusion. Ink pack 60 is filled with ink. The ink pack 60 is for sealing an ink for manufacturing a device containing an aromatic organic solvent (for example, an ink for forming an organic light emitting layer of an organic EL element). For this reason, a material having high corrosion resistance against the ink solvent is used for the laminate film 65 constituting the ink pack 60.

図４は、本発明のラミネートフィルムの一構成例を示す断面図である。本実施形態のラミネートフィルム６５は、基材であるＰＥＴフィルム６２の一方の面に熱融着層６１を備え、他方の面にガスバリア層としての金属層、例えばアルミニウム層６３と、ナイロン等からなる保護層６４とを備えている。 FIG. 4 is a cross-sectional view showing one structural example of the laminate film of the present invention. The laminate film 65 of the present embodiment is provided with a heat fusion layer 61 on one surface of a PET film 62 as a base material, and a metal layer as a gas barrier layer, for example, an aluminum layer 63 and nylon or the like on the other surface. And a protective layer 64.

熱融着層６１は、低結晶性のポリエステルからなる。この低結晶性ポリエステルは、ポリエステル樹脂の結晶化度を下げて熱融着性を持たせたものである。具体的には、１種類以上のジカルボン酸と１種類以上のジオールとを共重合させたもの、或いは、この低結晶性ポリエステルを２種類以上混合したものである（ただし、ジカルボン酸単独とジオール単独の組み合わせは除く）。このような低結晶ポリエステルの中でも特に、１種類以上のジカルボン酸にテレフタル酸を優勢に含む第１の化合物と、１種類以上のジオールにエチレングリコールを優勢に含む第２の化合物とを共重合させて得られる低結晶性ポリエステル（シーラブルＰＥＴ）は、芳香族有機溶媒に対する耐食性，熱融着性，柔軟性等の特性がいずれも高く、本実施形態のインクパックの材料として、より適した材料となる。なお、本実施形態では、インクが不純物によって汚染されないように、このような不純物の原因となる酸化防止剤，滑剤，安定剤，紫外線防止剤，アンチブロッキング剤等の各種の添加剤を熱融着層６１に含めないようにしている。 The heat sealing layer 61 is made of low crystalline polyester. This low crystallinity polyester is obtained by lowering the crystallinity of the polyester resin to give heat fusion properties. Specifically, it is a copolymer of one or more dicarboxylic acids and one or more diols, or a mixture of two or more of these low crystalline polyesters (however, dicarboxylic acid alone and diol alone). Excluding combinations). Among such low crystalline polyesters, in particular, a first compound predominantly containing terephthalic acid in one or more dicarboxylic acids and a second compound predominantly containing ethylene glycol in one or more diols are copolymerized. The low crystalline polyester (sealable PET) obtained in this way has high properties such as corrosion resistance, heat-fusibility, and flexibility with respect to aromatic organic solvents, and is more suitable as a material for the ink pack of this embodiment. Become. In the present embodiment, various additives such as antioxidants, lubricants, stabilizers, UV inhibitors, and antiblocking agents that cause such impurities are thermally fused so that the ink is not contaminated by the impurities. The layer 61 is not included.

図５および図６は、栓体５０及びインク導入管５７の一構成例を示す断面図と分解斜視図である。なお図５は、インク導入管５７が、インク導出管を構成する前記栓体５０内に差し込まれ、前記インクパック６０からインクが導出可能となった状態を示したものである。また、図６は、前記インク導入管５７が前記栓体５０内に差し込まれる前の状態を示したものである。 5 and 6 are a cross-sectional view and an exploded perspective view showing one configuration example of the plug body 50 and the ink introduction tube 57. FIG. FIG. 5 shows a state in which the ink introduction tube 57 is inserted into the plug 50 constituting the ink discharge tube, and the ink can be discharged from the ink pack 60. FIG. 6 shows a state before the ink introduction tube 57 is inserted into the plug 50.

図５および図６において、インクパック６０側の前記栓体５０内の出口部分には、インク導出口５０ａ１が内部に形成された円環状のゴムパッキン５０ａが嵌め込まれている。また、前記した栓体５０内には、軸線方向に進退して前記インク導出口５０ａ１を開閉し得るようになされた弁体（逆止弁）としての可動体５０ｂが収納されている。この可動体５０ｂのカートリッジホルダ側端面中央部には、前記インク導入管５７の凸部（後述）を案内するためのテーパ面ｂを有し、先端面に向かって広がるように開口するほぼ円錐形状の凹部５０ｂ１が設けられている。 5 and 6, an annular rubber packing 50a having an ink outlet 50a1 formed therein is fitted in an outlet portion in the plug body 50 on the ink pack 60 side. In addition, a movable body 50b serving as a valve body (check valve) configured to be able to open and close the ink outlet port 50a1 by moving back and forth in the axial direction is housed in the plug body 50 described above. The central part of the end surface of the movable body 50b on the cartridge holder side has a tapered surface b for guiding a convex portion (described later) of the ink introduction tube 57, and has a substantially conical shape that opens to expand toward the tip surface. The recess 50b1 is provided.

そして、前記可動体５０ｂは、図５に二点鎖線で示すように、コイル状のばね部材５０ｃの付勢力によって、前記ゴムパッキン５０ａにおけるインク導出口５０ａ１の開口周縁に突設された弁座部ａに着座して前記インク導出口５０ａ１を閉塞する（弁閉状態となる）ように構成されている。また、前記可動体５０ｂは、図５に実線で示すように、前記インク導入管５７の前記栓体５０内への圧入による当接（押圧）によって押圧力を受け、この押圧動作に伴い前記弁座部ａから離間して前記インク導出口５０ａ１を開放する（弁開状態となる）ように構成されている。 As shown by a two-dot chain line in FIG. 5, the movable body 50b is a valve seat portion protruding from the opening peripheral edge of the ink outlet 50a1 in the rubber packing 50a by the biasing force of the coiled spring member 50c. The ink outlet 50a1 is seated on a and closed (valve closed). Further, as shown by a solid line in FIG. 5, the movable body 50b receives a pressing force by contact (pressing) by press-fitting the ink introduction tube 57 into the plug body 50, and the valve is accompanied by the pressing operation. The ink outlet 50a1 is opened away from the seat a (opened).

本実施形態では、この栓体５０においてインクに接触する部材、例えば可動体５０ｂをインクに対して耐食性の高い材料によって形成している。例えば、使用するインクが芳香族有機溶媒を含むインクからなる場合には、可動体５０ｂはフッ素ゴムやフロロシリコーンゴム等のフッ素系エラストマーによって形成される。なお、このような耐食性の高い材料は少なくともインクとの接液面に形成されていればよく、例えば、可動体５０ｂが多層構造を有する場合には、これらのうち最も外側（インクと接触する側）の層が上述の材料によって形成されていればよい。 In the present embodiment, a member that comes into contact with ink in the plug body 50, for example, the movable body 50b is formed of a material having high corrosion resistance to the ink. For example, when the ink to be used is an ink containing an aromatic organic solvent, the movable body 50b is formed of a fluorine-based elastomer such as fluorine rubber or fluorosilicone rubber. Note that such a material having high corrosion resistance may be formed at least on the liquid contact surface with the ink. For example, when the movable body 50b has a multilayer structure, the outermost side (the side in contact with the ink) ) Layer may be formed of the above-described material.

一方、前記インク導入管５７は、前記ゴムパッキン５０ａのインク導出口５０ａ１内に圧入される有底管体からなり、カートリッジホルダ側に配置されている。そして、インク導入管５７は、前記インクカートリッジ４７がカートリッジホルダに装着（接続）された状態において、前記栓体５０に軸線を一致させて連結されている。前記インク導入管５７の先端部には、管壁側方に開口するインク導入口５７ａが設けられている。 On the other hand, the ink introduction tube 57 is formed of a bottomed tube body that is press-fitted into the ink outlet port 50a1 of the rubber packing 50a, and is disposed on the cartridge holder side. The ink introduction tube 57 is connected to the plug body 50 with the axis line aligned in a state where the ink cartridge 47 is mounted (connected) to the cartridge holder. An ink introduction port 57 a that opens to the side of the tube wall is provided at the tip of the ink introduction tube 57.

また、前記インク導入管５７の圧入側端面（管底面）には、前記可動体５０ｂを押圧する凸部５７ｂが一体に設けられている。この凸部５７ｂはインク導出口５０ａ内の空気を管外に排出する機能を有している。前記凸部５７ｂは、図７（Ａ）および図７（Ｂ）に示すように、前記インク導入管５７の底面部に連接する胴部５７ｂ１および前記凹部５０ｂ１に嵌合可能な押圧部５７ｂ２によって形成されている。このうち胴部５７ｂ１はゴムパッキン５０ａ内に圧入可能な円柱状体によって形成され、押圧部５７ｂ２は前記凹部５０ｂ１のテーパ面ｂに適合（密接）するようなテーパ面ｃを有する截頭円錐形状体によって形成されている。 Further, a convex portion 57 b that presses the movable body 50 b is integrally provided on the press-fitting side end surface (tube bottom surface) of the ink introduction tube 57. The convex portion 57b has a function of discharging the air in the ink outlet 50a to the outside of the tube. As shown in FIGS. 7A and 7B, the convex portion 57b is formed by a body portion 57b1 connected to the bottom surface portion of the ink introduction tube 57 and a pressing portion 57b2 that can be fitted into the concave portion 50b1. Has been. The barrel portion 57b1 is formed of a cylindrical body that can be press-fitted into the rubber packing 50a, and the pressing portion 57b2 has a truncated cone shape having a tapered surface c that fits (closely contacts) the tapered surface b of the recess 50b1. Is formed by.

そして、前記凸部５７ｂには、前記インク導入管５７の前記栓体５０への圧入によって前記インク導出口５０ａ１内の空気が排出される状態において、前記インク導出口５０ａ１の内外に連通する二つの空気排出路５７ｃが設けられている。これら両空気排出路５７ｃは、前記胴部５７ｂ１の断面中心点に関して点対称な部位に配置されている。そして、それぞれの空気排出路５７ｃは、前記胴部５７ｂ１の外周面部に管軸線方向に延在する断面ほぼ半円形状の凹溝によって構成されている。これにより、空気排出路５７ｃを単一の直線路として形成加工することができる。このため、凹溝からなる空気排出路５７ｃの形成加工が、二以上の直線路からなる（折曲路となる）孔明け加工と比較して簡単かつ確実に行われる。なお、前記インク導出口５０ａ１内の空気が前記空気排出路５７ｃを経て管外に円滑に排出されるためには、図７（Ｂ）に示すように、空気排出路５７ｃの二箇所に曲面部ｓ，ｔを形成し、これら曲面部ｓ，ｔの半径が次に示すように設定されることが望ましい。 In the state in which the air in the ink outlet 50a1 is discharged by press-fitting the ink introduction pipe 57 into the plug body 50, the convex portion 57b communicates with two inside and outside of the ink outlet 50a1. An air discharge path 57c is provided. These two air discharge passages 57c are disposed at points symmetrical with respect to the cross-sectional center point of the body portion 57b1. Each of the air discharge passages 57c is constituted by a groove having a substantially semicircular cross section extending in the tube axis direction on the outer peripheral surface portion of the body portion 57b1. Thereby, the air discharge path 57c can be formed and processed as a single straight path. For this reason, the formation process of the air discharge path 57c made of a concave groove is easily and reliably performed as compared with the drilling process made of two or more straight paths (becomes a bent path). In order to smoothly discharge the air in the ink outlet 50a1 to the outside of the pipe through the air discharge path 57c, curved surface portions are provided at two locations on the air discharge path 57c as shown in FIG. 7B. Preferably, s and t are formed, and the radius of the curved surface portions s and t is set as follows.

次に、インクカートリッジの接続構造において、インクカートリッジをカートリッジホルダに接続する場合の動作につき、図８（Ａ）乃至図８（Ｄ）を用いて説明する。図８（Ａ）乃至図８（Ｄ）は、インクカートリッジをカートリッジホルダに接続する場合の動作について説明するために示す断面図である。なお、同図（Ａ）は前記インク導入管５７が前記栓体５０内に挿入される前の状態を示し、同図（Ｂ）は前記インク導入管５７の凸部５７ｂが前記インク導出口５０ａ１内の空気の排出を開始する直前の状態を示す。また、同図（Ｃ）は前記インク導入管５７の凸部５７ｂが前記インク導出口５０ａ内の空気の排出を終了した状態を示し、同図（Ｄ）は前記インク導入管５７が前記栓体５０に接続された後の状態を示す。 Next, in the ink cartridge connection structure, the operation when the ink cartridge is connected to the cartridge holder will be described with reference to FIGS. 8A to 8D. FIGS. 8A to 8D are cross-sectional views for explaining the operation when the ink cartridge is connected to the cartridge holder. 2A shows a state before the ink introduction tube 57 is inserted into the plug body 50, and FIG. 2B shows a state where the convex portion 57b of the ink introduction tube 57 is the ink outlet 50a1. The state just before starting the discharge of the inside air is shown. FIG. 4C shows a state in which the convex portion 57b of the ink introduction tube 57 has finished discharging the air from the ink outlet 50a, and FIG. 4D shows the state where the ink introduction tube 57 is connected to the plug. The state after being connected to 50 is shown.

先ず、同図（Ａ）に示すように、栓体（インク導出管）５０の軸線をインク導入管５７の軸線に一致させ、インクカートリッジ４７をカートリッジホルダに対向する位置に配置する。この場合、ばね部材５０ｃによる矢印Ｅ方向の付勢力によって可動体５０ｂがゴムパッキン５０ａの弁座部ａに着座し、インク導出口５０ａ１を閉塞する弁閉状態とされている。このため、インクカートリッジ４７のインクパック６０からインク導入管５７内へのインクの漏出が阻止される。 First, as shown in FIG. 6A, the axis of the plug (ink lead-out tube) 50 is made to coincide with the axis of the ink introduction tube 57, and the ink cartridge 47 is disposed at a position facing the cartridge holder. In this case, the movable body 50b is seated on the valve seat portion a of the rubber packing 50a by the urging force in the direction of arrow E by the spring member 50c, and the valve is closed to close the ink outlet 50a1. For this reason, leakage of ink from the ink pack 60 of the ink cartridge 47 into the ink introduction tube 57 is prevented.

次いで、同図（Ｂ）に示すように、インクカートリッジ４７をインク導入管５７の軸線に沿ってカートリッジホルダ側に移動操作する。この場合、インクカートリッジ４７の移動に伴い、インク導入管５７の凸部５７ｂがゴムパッキン５０ａにおけるインク導出口５０ａ1内の空気排出開始位置に変位する。 Next, as shown in FIG. 4B, the ink cartridge 47 is moved to the cartridge holder side along the axis of the ink introduction tube 57. In this case, with the movement of the ink cartridge 47, the convex portion 57b of the ink introduction tube 57 is displaced to the air discharge start position in the ink outlet 50a1 of the rubber packing 50a.

しかる後、同図（Ｃ）に示すように、インク導入管５７における凸部５７ｂのテーパ面ｃが可動体５０ｂにおける凹部５０ｂ１のテーパ面ｂに密接し、凸部５７ｂが凹部５０ｂ１内に嵌合するまで、カートリッジホルダ側にインクカートリッジ４７を移動操作する。この場合、インクカートリッジ４７の移動に伴い、凸部５７ｂの押圧部５７ｂ２が可動体５０ｂにおける凹部５０ｂ１のテーパ面ｂに案内され、凸部５７ｂがゴムパッキン５０ａにおけるインク導出口５０ａ１内の空気排出開始位置から空気排出終了位置に変位する。このため、凸部５７ｂの胴部５７ｂ１がインク導出口５０ａ1内に圧入するとともに、押圧部５７ｂ２がインク導出口５０ａ１内の空気を凹部５０ｂ１内に押し込み、この押し込まれたインク導出口５０ａ1内の空気が空気排出路５７ｃを経て栓体５０外に排出される。 Thereafter, as shown in FIG. 6C, the tapered surface c of the convex portion 57b of the ink introduction tube 57 is in close contact with the tapered surface b of the concave portion 50b1 of the movable body 50b, and the convex portion 57b is fitted into the concave portion 50b1. Until the ink cartridge 47 is moved, the ink cartridge 47 is moved to the cartridge holder side. In this case, with the movement of the ink cartridge 47, the pressing portion 57b2 of the convex portion 57b is guided to the tapered surface b of the concave portion 50b1 in the movable body 50b, and the convex portion 57b starts to discharge air from the ink outlet 50a1 in the rubber packing 50a. Displace from the position to the air discharge end position. Therefore, the body 57b1 of the convex portion 57b is press-fitted into the ink outlet 50a1, and the pressing portion 57b2 pushes the air in the ink outlet 50a1 into the concave portion 50b1, and the pushed air in the ink outlet 50a1. Is discharged out of the plug 50 through the air discharge path 57c.

そして、同図（Ｄ）に示すように、インクカートリッジ４７がカートリッジホルダに装着（接続）されるまで、インクカートリッジ４７をインク導入管５７の軸線に沿ってカートリッジホルダ側に移動操作する。この場合、インクカートリッジ４７の移動に伴い、インク導入管５７がゴムパッキン５０ａ内に圧入する。また、可動体５０ｂが、栓体５０内をメインタンク９の移動方向と反対方向にばね部材５０ｃの弾撥力に抗して移動する。この際、凹部５０ｂ１のテーパ面ｂを凸部５７ｂのテーパ面ｃに密接させた状態が維持される。このため、インク導入管５７のインク導入口５７ａが栓体５０内に開口し、インク導入管５７と栓体５０とが連通し、同図（Ｄ）に矢印ｅで示す方向にインクパック６０からのインクをインク導入管５７内に流すインク流路が形成される。このようにして、インクカートリッジ４７がカートリッジホルダに接続される。 Then, as shown in FIG. 4D, the ink cartridge 47 is moved to the cartridge holder side along the axis of the ink introduction tube 57 until the ink cartridge 47 is mounted (connected) to the cartridge holder. In this case, as the ink cartridge 47 moves, the ink introduction tube 57 is press-fitted into the rubber packing 50a. In addition, the movable body 50b moves in the stopper 50 in the direction opposite to the moving direction of the main tank 9 against the elastic force of the spring member 50c. At this time, the state in which the tapered surface b of the concave portion 50b1 is in close contact with the tapered surface c of the convex portion 57b is maintained. For this reason, the ink introduction port 57a of the ink introduction tube 57 opens into the plug body 50, the ink introduction tube 57 and the plug body 50 communicate with each other, and the ink pack 60 extends from the ink pack 60 in the direction indicated by the arrow e in FIG. An ink flow path for flowing the ink into the ink introduction tube 57 is formed. In this way, the ink cartridge 47 is connected to the cartridge holder.

なお、本実施形態においては、凸部５７ｂと凹部５０ｂ１とが嵌合すると、凹孔Ｇが可動体５０ｂによって閉塞されるため、凹孔Ｇ内に存在する空気が凹孔Ｇ内に閉じ込められる。このため、凹孔Ｇ内の空気がインクパック６０からインク導入管５７内に導出されるインク中に混入することはない。 In the present embodiment, when the convex portion 57b and the concave portion 50b1 are fitted, the concave hole G is closed by the movable body 50b, so that air existing in the concave hole G is confined in the concave hole G. For this reason, the air in the concave hole G is not mixed in the ink led out from the ink pack 60 into the ink introduction tube 57.

以上説明したように、本実施形態ではインクパック６０の熱融着層６１に低結晶性のポリエステル樹脂を用い、栓体５０の接液面の材料にフッ素系エラストマーを用いているため、成形が容易で且つインクに対する耐食性に優れたインクパックを提供することができる。
また、本実施形態ではＰＥＴフィルム６２の表面にガスバリア層６３を設けているため、インクＬの脱気状態を長期間にわたって維持することができる。特に本実施形態では、インクカートリッジ４７の接続時に栓体（インク導出管）５０およびインク導入管５７内へのインク導出口５０ａ１内の空気の侵入を阻止することができるため、インク経路内におけるインク中に気泡が存在しない。このため、印字障害の発生をより効果的に防止することができる。
また、本実施形態ではインクパックの栓体５０に逆止弁を設けているので、単に栓体をゴム栓とした場合に比べて供給針を太くすることができる。このため、有機ＥＬ素子等の製造に使用される高粘度のインクにも容易に対応することができる。また、このように逆止弁を設けることで、インクパックを何度も再利用することができるといったメリットもある。 As described above, in this embodiment, since the low crystalline polyester resin is used for the heat-sealing layer 61 of the ink pack 60 and the fluorine-based elastomer is used for the material of the liquid contact surface of the plug 50, the molding is performed. An ink pack that is easy and excellent in corrosion resistance to ink can be provided.
In this embodiment, since the gas barrier layer 63 is provided on the surface of the PET film 62, the degassing state of the ink L can be maintained for a long period of time. In particular, in the present embodiment, since the air in the ink outlet 50a1 can be prevented from entering the plug body (ink outlet pipe) 50 and the ink introduction pipe 57 when the ink cartridge 47 is connected, the ink in the ink path can be prevented. There are no air bubbles inside. For this reason, it is possible to more effectively prevent the occurrence of a printing failure.
In this embodiment, since the check valve is provided in the plug body 50 of the ink pack, the supply needle can be made thicker than when the plug body is simply a rubber plug. For this reason, it can respond easily also to the highly viscous ink used for manufacture of an organic EL element etc. Further, by providing the check valve in this way, there is an advantage that the ink pack can be reused many times.

［デバイスの製造方法］
次に、図９，図１０を参照しながら、本発明のインクジェット装置を用いたデバイスの製造方法について説明する。本例では、係るデバイスの一例として有機ＥＬ装置を製造する場合について説明する。なお、図９，図１０では、説明を簡略化するために単一の画素Ｐについてのみ示している。
本方法は、機能材料を含む液体材料を基板上に液滴として配置し、これを乾燥又は焼成して得られた膜パターンを用いてデバイス構造（本例では、有機ＥＬ発光層や正孔注入／輸送層等の積層膜）を形成するものである。この際、本発明では、液滴の配置（吐出）を前述のインクジェット装置を用いて行なっている。 [Device manufacturing method]
Next, a device manufacturing method using the ink jet apparatus of the present invention will be described with reference to FIGS. In this example, a case where an organic EL device is manufactured as an example of such a device will be described. In FIG. 9 and FIG. 10, only a single pixel P is shown for simplicity of explanation.
In this method, a liquid material containing a functional material is disposed as a droplet on a substrate and dried or baked to form a device structure (in this example, an organic EL light emitting layer or a hole injection). / Laminate film such as a transport layer). At this time, in the present invention, the arrangement (discharge) of the droplets is performed using the above-described ink jet apparatus.

以下、具体的な製造手順について説明する。
（駆動回路及び隔壁の形成工程）
本例ではまず、図９（ａ）に示すように、ガラス，石英，樹脂等からなる基板Ｓの上に公知の方法を用いて画素駆動用の回路を形成し、各画素を取り囲む位置に隔壁１５０を形成する。 Hereinafter, a specific manufacturing procedure will be described.
(Formation process of drive circuit and partition wall)
In this example, first, as shown in FIG. 9A, a pixel driving circuit is formed on a substrate S made of glass, quartz, resin, or the like using a known method, and a partition is formed at a position surrounding each pixel. 150 is formed.

駆動回路の形成方法の一例としては、まず、基板Ｓの表面にプラズマＣＶＤ法によりシリコン酸化膜等からなる下地保護膜（図示略）を形成し、この下地保護膜の上にプラズマＣＶＤ法により、厚さ約３０〜７０ｎｍ程度のアモルファスシリコン膜からなる半導体膜を形成する。その後、この半導体膜に対してレーザアニールまたは固相成長法などの結晶化処理を施して半導体膜を結晶化し、ポリシリコン膜とする。次に、このポリシリコン膜をパターニングして島状の半導体膜を形成し、その表面に、ＴＥＯＳや酸素ガスなどを原料としてプラズマＣＶＤ法により厚さ約６０〜１５０ｎｍのシリコン酸化膜または窒化膜からなるゲート絶縁膜２２０を形成する。次に、アルミニウム、タンタル、モリブデン、チタン、タングステンなどの金属膜からなる導電膜をスパッタ法等により成膜し、この導電膜をパターニングしてゲート電極１４３Ａを形成する。その後、前述の半導体膜に高濃度のリンイオンをドープして、ゲート電極１４３Ａに対して自己整合的にソース・ドレイン領域１４３ａ、１４３ｂを形成する。この際、ゲート電極１４３Ａによりマスクされて不純物が導入されなかった部分はチャネル領域１４３ｃとなる。次に、ゲート絶縁膜２２０及びゲート電極１４３Ａの表面に層間絶縁膜２３０を形成し、この層間絶縁膜２３０のソース領域及びドレイン領域に対応する位置にコンタクトホール２３２、２３４を形成し、更に、これらコンタクトホール２３２、２３４内に接続プラグ２３６、２３８を埋設する。次に、層間絶縁膜２３０の上に信号線１３２、走査線１３３をパターン形成する。次に、各配線の上面を覆うように層間絶縁膜２４０を形成し、接続プラグ２３６に対応する位置にコンタクトホールを形成する。そして、スパッタにより、該コンタクトホールの内壁及び層間絶縁膜２４０の表面を覆うようにＩＴＯ等の導電膜を成膜し、パターニングにより画素電極（陽極）１４１を形成する。 As an example of a method for forming the drive circuit, first, a base protective film (not shown) made of a silicon oxide film or the like is formed on the surface of the substrate S by a plasma CVD method. A semiconductor film made of an amorphous silicon film having a thickness of about 30 to 70 nm is formed. Thereafter, the semiconductor film is subjected to crystallization treatment such as laser annealing or solid phase growth to crystallize the semiconductor film to obtain a polysilicon film. Next, the polysilicon film is patterned to form an island-shaped semiconductor film, and a silicon oxide film or nitride film having a thickness of about 60 to 150 nm is formed on the surface by plasma CVD using TEOS, oxygen gas, or the like as a raw material. A gate insulating film 220 is formed. Next, a conductive film made of a metal film such as aluminum, tantalum, molybdenum, titanium, or tungsten is formed by a sputtering method or the like, and the conductive film is patterned to form the gate electrode 143A. Thereafter, the semiconductor film is doped with high-concentration phosphorus ions to form source / drain regions 143a and 143b in a self-aligned manner with respect to the gate electrode 143A. At this time, a portion which is masked by the gate electrode 143A and no impurity is introduced becomes a channel region 143c. Next, an interlayer insulating film 230 is formed on the surfaces of the gate insulating film 220 and the gate electrode 143A, contact holes 232 and 234 are formed at positions corresponding to the source region and the drain region of the interlayer insulating film 230, and these Connection plugs 236 and 238 are embedded in the contact holes 232 and 234. Next, the signal lines 132 and the scanning lines 133 are formed on the interlayer insulating film 230 by patterning. Next, an interlayer insulating film 240 is formed so as to cover the upper surface of each wiring, and a contact hole is formed at a position corresponding to the connection plug 236. Then, a conductive film such as ITO is formed by sputtering so as to cover the inner wall of the contact hole and the surface of the interlayer insulating film 240, and a pixel electrode (anode) 141 is formed by patterning.

上述の工程により画素電極１４１及び画素駆動回路が形成されたら、基板全面に感光性ポリイミド等の有機絶縁材料を１μｍ〜２μｍ程度成膜し、露光，現像により、各画素領域に開口部１１１を形成する。以上により隔壁１５０が形成される。この隔壁１５０は、各画素を仕切るための仕切り部材として機能する他、後述の有機ＥＬ発光層等の形成工程において、基板上に吐出されたインクをはじいて画素領域内に適切に配置させるためのものである。このため、隔壁１５０の表面には、ＣＦ_４、ＳＦ_５、ＣＨＦ_３などのフッ素含有ガスを処理ガスとしたプラズマ処理を施すことが望ましい。 When the pixel electrode 141 and the pixel driving circuit are formed by the above-described steps, an organic insulating material such as photosensitive polyimide is formed on the entire surface of the substrate by about 1 μm to 2 μm, and an opening 111 is formed in each pixel region by exposure and development. To do. Thus, the partition wall 150 is formed. In addition to functioning as a partition member for partitioning each pixel, the partition wall 150 is used to appropriately dispose the ink ejected on the substrate in the pixel region in the formation process of the organic EL light emitting layer and the like described later. Is. For this reason, it is desirable that the surface of the partition wall 150 be subjected to plasma processing using a fluorine-containing gas such as CF ₄ , SF ₅ , or CHF ₃ as a processing gas.

（正孔注入／輸送層の形成工程）
次に、図９（ｂ）に示すように、隔壁１５０に囲まれた領域に、正孔注入／輸送層を形成するための機能材料を含むインク１１４Ａを選択的に吐出する。この工程では、液滴吐出手段として、前述のインクジェット装置を用いる。インク１１４Ａは、極性溶媒中に正孔注入／輸送層の形成材料を溶解させてなるものであり、本例では、係る材料として、例えばポリマー前駆体がポリテトラヒドロチオフェニルフェニレンであるポリフェニレンビニレン、１，１−ビス−（４−Ｎ，Ｎ−ジトリルアミノフェニル）シクロヘキサン、トリス（８−ヒドロキシキノリノール）アルミニウム、バイトロンＰ（商品名；バイエル社製）、ポリスチレンスルフォン酸等を用い、溶媒として、イソプロピルアルコール、Ｎ−メチルピロリドン、１，３−ジメチル−イミダゾリノン等の水系の溶媒を用いている。 (Hole injection / transport layer formation process)
Next, as shown in FIG. 9B, an ink 114A containing a functional material for forming a hole injection / transport layer is selectively ejected into a region surrounded by the partition 150. In this step, the above-described ink jet apparatus is used as the droplet discharge means. The ink 114A is formed by dissolving a material for forming a hole injection / transport layer in a polar solvent. In this example, as the material, for example, polyphenylene vinylene whose polymer precursor is polytetrahydrothiophenylphenylene, 1 , 1-bis- (4-N, N-ditolylaminophenyl) cyclohexane, tris (8-hydroxyquinolinol) aluminum, Vitron P (trade name; manufactured by Bayer), polystyrene sulfonic acid, etc., and isopropyl as a solvent An aqueous solvent such as alcohol, N-methylpyrrolidone, 1,3-dimethyl-imidazolinone is used.

なお、インク１１４Ａは、基板Ｓ上に吐出されると、流動によって水平方向に広がろうとするが、インク吐出領域の周縁部には隔壁１５０が形成されているので、インク１１４Ａは隔壁１５０を越えてその外側に広がることはない。また、隔壁１５０の表面を撥液処理した場合には、インク１１４Ａの着弾位置がずれて、インク１１４Ａが隔壁１５０の上面に掛かったとしても、このインク１１４Ａは隔壁表面ではじかれて開口部１１１内（画素内）に転がり込むため、前述の機能材料が隔壁上面に残ることはない。
次に、図９（ｃ）に示すように、加熱や光照射によりインク１１４Ａの溶媒を蒸発させて、画素電極１４１上に固形の正孔注入／輸送層１４０Ａを形成する。 Note that when the ink 114A is ejected onto the substrate S, the ink 114A tends to spread in the horizontal direction due to the flow. However, since the partition wall 150 is formed at the peripheral portion of the ink ejection region, the ink 114A exceeds the partition wall 150. Does not spread outside. Further, when the surface of the partition wall 150 is subjected to a liquid repellent treatment, even if the landing position of the ink 114A is shifted and the ink 114A is applied to the upper surface of the partition wall 150, the ink 114A is repelled on the partition wall surface and the opening 111 is formed. Since it rolls into the inside (inside the pixel), the above-mentioned functional material does not remain on the upper surface of the partition wall.
Next, as shown in FIG. 9C, the solvent of the ink 114 A is evaporated by heating or light irradiation to form a solid hole injection / transport layer 140 A on the pixel electrode 141.

（有機ＥＬ発光層の形成工程）
このように画素電極１４１上に正孔注入／輸送層１４０Ａが形成されたら、同様の方法を用いて、図１０（ａ）に示すように、正孔注入／輸送層１４０Ａの上に有機ＥＬ発光層１４０Ｂを形成する。ここではインク１１４Ｂとして、溶媒中に有機ＥＬ発光層を形成するための機能材料（発光材料）を溶解させたものを用いる。発光材料としては、蛍光あるいは燐光を発光することが可能な公知の材料を用いることができる。具体的には、（ポリ）フルオレン誘導体（ＰＦ）、（ポリ）パラフェニレンビニレン誘導体（ＰＰＶ）、ポリフェニレン誘導体（ＰＰ）、ポリパラフェニレン誘導体（ＰＰＰ）、ポリビニルカルバゾール（ＰＶＫ）、ポリチオフェン誘導体、ポリジアルキルフルオレン（ＰＤＡＦ）、ポリフルオレンベンゾチアジアゾール（ＰＦＢＴ）、ポリアルキルチオフェン（ＰＡＴ）や、ポリメチルフェニルシラン（ＰＭＰＳ）などのポリシラン系などが好適であり、これらの高分子材料に、ペリレン系色素、クマリン系色素、ローダミン系色素などの高分子系材料や、ルブレン、ペリレン、９，１０−ジフェニルアントラセン、テトラフェニルブタジエン、ナイルレッド、クマリン６、キナクリドン等の低分子材料をドープして用いることもできる。また溶媒には、下層側の正孔注入／輸送層４を再溶解させないように非極性溶媒、例えば、シクロへキシルベンゼン、ジハイドロベンゾフラン、トリメチルベンゼン、テトラメチルベンゼン等の芳香族化合物からなる有機溶媒を用いている。
次に、図１０（ｂ）に示すように、加熱や光照射によりインク１１４Ｂの溶媒を蒸発させて、正孔注入／輸送層１４０Ａの上に固形の有機ＥＬ発光層１４０Ｂを形成する。 (Formation process of organic EL light emitting layer)
When the hole injection / transport layer 140A is formed on the pixel electrode 141 in this way, an organic EL emission is formed on the hole injection / transport layer 140A using the same method as shown in FIG. Layer 140B is formed. Here, the ink 114B is obtained by dissolving a functional material (light emitting material) for forming the organic EL light emitting layer in a solvent. As the light emitting material, a known material capable of emitting fluorescence or phosphorescence can be used. Specifically, (poly) fluorene derivative (PF), (poly) paraphenylene vinylene derivative (PPV), polyphenylene derivative (PP), polyparaphenylene derivative (PPP), polyvinyl carbazole (PVK), polythiophene derivative, polydialkyl Preferred are polysilanes such as fluorene (PDAF), polyfluorene benzothiadiazole (PFBT), polyalkylthiophene (PAT), and polymethylphenylsilane (PMPS). These polymer materials include perylene dyes and coumarins. It is also possible to dope a high molecular weight material such as a dye or rhodamine dye or a low molecular weight material such as rubrene, perylene, 9,10-diphenylanthracene, tetraphenylbutadiene, nile red, coumarin 6, or quinacridone. The solvent may be a non-polar solvent such as cyclohexylbenzene, dihydrobenzofuran, trimethylbenzene, tetramethylbenzene or the like so as not to redissolve the lower hole injection / transport layer 4. A solvent is used.
Next, as shown in FIG. 10B, the solvent of the ink 114B is evaporated by heating or light irradiation to form a solid organic EL light emitting layer 140B on the hole injection / transport layer 140A.

（陰極の形成工程）
以上により正孔層注入／輸送層１４０Ａ及び発光層１４０Ｂを主体とする発光部１４０が形成されたら、図１０（ｃ）に示すように、隔壁１５０及び発光部１４０を含む基板全面にＡｌやＩＴＯ等からなる陰極１５４を形成する。この後、必要に応じて基板の表面にガスバリア層や緩衝層を形成し、封止缶等により基板を封止する。
以上により、有機ＥＬ装置が製造される。 (Cathode formation process)
When the light emitting portion 140 mainly composed of the hole layer injection / transport layer 140A and the light emitting layer 140B is formed as described above, as shown in FIG. 10C, Al or ITO is formed on the entire surface of the substrate including the partition wall 150 and the light emitting portion 140. A cathode 154 made of the like is formed. Thereafter, if necessary, a gas barrier layer or a buffer layer is formed on the surface of the substrate, and the substrate is sealed with a sealing can or the like.
Thus, the organic EL device is manufactured.

本例のデバイスの製造方法では、インクパックのフィルムの材料や栓体の材料を、使用するインクに応じて最適に選択しているため、これらがインクによって腐食されることはない。よって、本方法によれば、信頼性の高いデバイスを製造することができる。
なお本例では、本発明のインクジェット装置を発光部１４０の形成工程にのみ使用したが、本装置の使用は係る部位の形成工程のみに限定されるものではない。例えば電極や配線、或いはカラーフィルタをインクジェット法にて形成する際に本装置を適用することも可能である。 In the device manufacturing method of this example, since the material of the film of the ink pack and the material of the plug are optimally selected according to the ink used, they are not corroded by the ink. Therefore, according to this method, a highly reliable device can be manufactured.
In this example, the ink jet device of the present invention is used only for the formation process of the light emitting portion 140, but the use of the present apparatus is not limited to the formation process of the portion. For example, the present apparatus can be applied when an electrode, a wiring, or a color filter is formed by an inkjet method.

［第１の実施例］
次に、本発明の第１の実施例について説明する。
本実施例では、前述したインクパックに有機発光層形成用のインク（シクロヘキシルベンゼンにポリマー発光材料を溶解したもの）を充填し、２週間保管後のインクパックの腐食状態（インクパックの重量変化）を調べた。また、２週間保管後のインクを使って実際に有機ＥＬ素子を作製し、その特性（初期輝度，消費電力，寿命）を調べた。また本実施例では、比較のために、インクパックの接液面の材料を変えたものを３種類用意し、同様の実験を行なった。実験条件は以下のとおりである。なお実験は、汚染のないインクを使って作製した有機ＥＬ素子（即ち、インクタンクとしてガラス瓶を使用し、この中にインクを長時間保持しない状態ですぐに有機ＥＬ素子を作製した場合）との比較において行なっている。 [First embodiment]
Next, a first embodiment of the present invention will be described.
In this embodiment, the ink for forming the organic light emitting layer (the polymer light emitting material dissolved in cyclohexylbenzene) is filled in the ink pack described above, and the ink pack is corroded after 2 weeks storage (change in weight of the ink pack). I investigated. In addition, an organic EL element was actually produced using the ink stored for two weeks, and its characteristics (initial luminance, power consumption, life) were examined. In this example, for comparison, three types of ink packs with different materials on the liquid contact surface were prepared, and the same experiment was performed. The experimental conditions are as follows. The experiment was conducted with an organic EL element manufactured using non-contaminated ink (that is, when a glass bottle was used as an ink tank and the organic EL element was immediately manufactured without holding ink therein for a long time). This is done in comparison.

（１）有機ＥＬ素子の構成
ITO（陽極）／PEDOT PSS（正孔注入層）／ポリマー（発光層）／Ca／Al（陰極）
（２）インクパックの構成
実施例：（内面）シーラブルPET／PET／Al／ナイロン（外面）
比較例１：（内面）ポリオキシメチレン樹脂（POM）／Al／ナイロン（外面）
比較例２：（内面）エチレンビニルアルコール樹脂（EVOH）／Al／ナイロン（外面）
比較例３：（内面）ポリオエチレン樹脂（PE）／ナイロン（外面）
実験結果を表１に示す。 (1) Configuration of organic EL element
ITO (anode) / PEDOT PSS (hole injection layer) / polymer (light emitting layer) / Ca / Al (cathode)
(2) Ink pack configuration example: (inner surface) Sealable PET / PET / Al / nylon (outer surface)
Comparative example 1: (inner surface) polyoxymethylene resin (POM) / Al / nylon (outer surface)
Comparative example 2: (inner surface) ethylene vinyl alcohol resin (EVOH) / Al / nylon (outer surface)
Comparative Example 3: (Inner surface) Polyethylene resin (PE) / Nylon (Outer surface)
The experimental results are shown in Table 1.

表１に示すように、本発明の構成のインクパックでは、インクの保持による重量変化がなく、耐食性に優れた構造であることがわかる。また、初期輝度，消費電力，素子寿命に関しては、汚染のないインクを用いたものと同様の特性が得られていることから、インクパックからインクへの不純物の溶出がないこともわかる。 As shown in Table 1, it can be seen that the ink pack having the configuration of the present invention has a structure excellent in corrosion resistance with no change in weight due to ink retention. In addition, regarding the initial luminance, power consumption, and element lifetime, the same characteristics as those using the ink without contamination are obtained, so that it can be seen that impurities are not eluted from the ink pack to the ink.

［第２の実施例］
次に、本発明の第２の実施例について説明する。
本実施例では、前述のインクパックに溶媒の異なるインクを充填し、２週間保管後のインクパックの腐食状態（インクパックの重量変化）を調べた。溶媒としては、シクロヘキシルベンゼン，イソプロピルビフェニル，テトラメチルベンゼン，メチルナフタレンの４種類の芳香族有機溶媒を用いた。これらの溶媒は、いずれも有機発光層形成用のインクに使用可能なものである。なお、インクパックの構成については、第１の実施例と同じである。
実験結果を表２に示す。 [Second Embodiment]
Next, a second embodiment of the present invention will be described.
In this example, the ink pack described above was filled with inks having different solvents, and the corrosion state of the ink pack (change in weight of the ink pack) after 2 weeks storage was examined. As the solvent, four types of aromatic organic solvents such as cyclohexylbenzene, isopropylbiphenyl, tetramethylbenzene, and methylnaphthalene were used. Any of these solvents can be used in the ink for forming the organic light emitting layer. The configuration of the ink pack is the same as that in the first embodiment.
The experimental results are shown in Table 2.

表２に示すように、本発明の構成のインクパックでは、いずれのインクに対しても重量変化がなく、溶媒の種類に関係なく高い耐食性を示すことがわかる。 As shown in Table 2, it can be seen that the ink pack having the configuration of the present invention has no change in weight with respect to any ink and exhibits high corrosion resistance regardless of the type of solvent.

［第３の実施例］
次に、本発明の第３の実施例について説明する。
本実施例では、前述したインクパックに有機発光層形成用のインクを充填し、２週間保管後にＧＣ／ＭＳでインク中の不純物を調べた。なお、インクについては、第１の実施例で使用したもの（シクロヘキシルベンゼンにポリマー発光材料を溶解したもの）と同じものである。
実験結果を表３に示す。 [Third embodiment]
Next, a third embodiment of the present invention will be described.
In this example, the ink for forming the organic light emitting layer was filled in the ink pack described above, and the impurities in the ink were examined by GC / MS after storage for 2 weeks. The ink is the same as that used in the first embodiment (a polymer luminescent material dissolved in cyclohexylbenzene).
The experimental results are shown in Table 3.

表３に示すように、比較例のインクパックでは、いずれも有機発光層の発光特性を劣化させるような不純物が溶出している。これに対して、本発明の構成のインクパックでは、溶出物がシーラブルＰＥＴの低分子成分のみであり、発光特性に影響がでることはない。 As shown in Table 3, in the ink packs of the comparative examples, impurities that degrade the light emission characteristics of the organic light emitting layer are eluted. On the other hand, in the ink pack having the configuration of the present invention, the eluate is only a low molecular component of sealable PET, and the light emission characteristics are not affected.

以上、添付図面を参照しながら本発明に係る好適な実施の形態例について説明したが、本発明は係る例に限定されないことは言うまでもない。上述した例において示した各構成部材の諸形状や組み合わせ等は一例であって、本発明の主旨から逸脱しない範囲において設計要求等に基づき種々変更可能である。 The preferred embodiments of the present invention have been described above with reference to the accompanying drawings, but it goes without saying that the present invention is not limited to such examples. Various shapes, combinations, and the like of the constituent members shown in the above-described examples are examples, and various modifications can be made based on design requirements and the like without departing from the gist of the present invention.

本発明の一実施形態に係るインクジェット装置の概略構成を示す斜視図。1 is a perspective view illustrating a schematic configuration of an inkjet apparatus according to an embodiment of the present invention. インクジェットヘッドの構成を示す切り欠き斜視図及び要部断面図。The cut-out perspective view and principal part sectional drawing which show the structure of an inkjet head. インクカートリッジの概略構成を示す分解斜視図。FIG. 3 is an exploded perspective view illustrating a schematic configuration of an ink cartridge. インクパックのフィルムの構成を示す断面図。Sectional drawing which shows the structure of the film of an ink pack. インクパックの栓体の構造を示す断面図。Sectional drawing which shows the structure of the stopper of an ink pack. インクカートリッジの接続構造を示す分解斜視図。FIG. 3 is an exploded perspective view illustrating a connection structure of an ink cartridge. インク導入管の要部構成を示す模式図。FIG. 3 is a schematic diagram illustrating a main configuration of an ink introduction tube. インクカートリッジをカートリッジホルダに接続する場合の動作を説明するための模式図。FIG. 5 is a schematic diagram for explaining an operation when an ink cartridge is connected to a cartridge holder. インクジェット装置を用いたデバイス製造方法を説明するための工程図。Process drawing for demonstrating the device manufacturing method using an inkjet apparatus. 図９に続く工程図。Process drawing following FIG.

Explanation of symbols

３０…インクジェット装置、３４…吐出ヘッド、５０…栓体、５７…可動体（逆止弁）、６０…インクパック、６１…熱融着層（低結晶ポリエステルからなる層）、６２・・・ＰＥＴフィルム、６３・・・ガスバリア層、６５…ラミネートフィルム、Ｌ…インク、Ｓ…基板

DESCRIPTION OF SYMBOLS 30 ... Inkjet apparatus, 34 ... Discharge head, 50 ... Plug body, 57 ... Movable body (check valve), 60 ... Ink pack, 61 ... Thermal fusion layer (layer which consists of low crystalline polyester), 62 ... PET Film, 63 ... Gas barrier layer, 65 ... Laminate film, L ... Ink, S ... Substrate

Claims

The film processed into a bag shape is configured to be able to seal ink containing an aromatic organic solvent, and a stopper having a check valve is integrally attached to the film as an outlet for the ink. An ink pack that is detachably accommodated in the inkjet device and supplies the ink to the ejection head of the inkjet device,
The surface of the film in contact with the ink is composed of a low crystalline polyester obtained by copolymerizing one or more types of dicarboxylic acid and one or more types of diol, and the surface of the plug body that contacts the ink is a fluorine-based elastomer. An ink pack comprising:

The surface of the film that contacts the ink is copolymerized with a first compound that predominantly contains terephthalic acid in one or more dicarboxylic acids and a second compound that predominantly contains ethylene glycol in one or more diols. An ink pack comprising the low crystalline polyester.

The ink pack according to claim 1, wherein the film includes a layer made of a PET film and a layer made of the low crystalline polyester laminated on the PET film.

The ink pack according to claim 1, wherein the film includes a gas barrier layer.

An ink jet apparatus comprising the ink pack according to claim 1.

A device manufacturing method including a step of disposing an ink containing an aromatic organic solvent on a substrate, wherein the ink disposing step is performed using the ink jet apparatus according to claim 5. Production method.