JP2005321300A - 外観検査手法及び外観検査装置 - Google Patents

Abstract

【課題】 フィンアンドチューブタイプの熱交換器の検査において、良品部でありながら欠陥と同レベルで検出されてしまうフィンR部を、欠陥としての表示から分離する。
【解決手段】 検査対象であるコアの一部分を、チューブ又はフィンの撮像に適した明るさで撮像してそれぞれチューブ又はフィン画像を形成するチューブ及びフィン撮像手順と、チューブ及びフィン画像を画像処理してそれぞれのデータとして記憶する画像処理手順とを具備しており、更にフィンを検査するフィン検査工程と、チューブを検査するチューブ検査工程とを具備する。フィン及びチューブ検査工程はそれぞれ、撮像画像を画像処理して、検査信号として記憶する検査信号形成手順と、撮像画像を画像処理して、マスク信号として記憶するマスク形成手順と、検査信号に対してマスク信号を処理して、検査信号から良品を表す信号成分を除去する良品成分除去手順とを具備する。
【選択図】 図１

Description

本発明は、熱交換器の外観検査方法及びそのための外観検査装置に係り、より特別には車両用ラジエータ等に使用されるフィンアンドチューブタイプの熱交換器の外観検査方法及びそのための外観検査装置に関する。

図６に、車両用ラジエータ等に使用される一般的なフィンアンドチューブタイプの熱交換器１０を図解的に示す。熱交換器１０は熱交換部であるコア１１を具備しており、コア１１は、熱交換媒体となる流体が通る複数のチューブ１２と、それらのチューブ表面に取り付けられて伝熱面積を増大させる多数のフィン１３とを具備する。フィンアンドチューブタイプの熱交換器１０のコア１１は図６に示すように、１本の直線状のチューブ１２とその表面にジャバラ状に取り付けられたフィン１３とを具備する、１列の単位要素構造を、規則的に繰り返して複数つなぐことにより形成される。この１列の単位要素構造において、フィン１３は、平板をＳ字状に折り返し、これを繰り返してジャバラ状に形成されており、折り返し部である複数のフィンＲ部１５を具備する。この様な熱交換器のチューブ１２及びフィン１３の不良品は、かなりの割合が外観検査により検出可能である。この様な外観検査に関して、自動化、省力化、更には精度を上げるための改善が実施されてきており、近年、画像処理の手法を使用した検査方法が導入されている。

従来技術として、繰り返し的パターンを有する検査対象から欠陥検出を有効に行う手法がある（例えば、特許文献１参照）。これは、繰り返し的パターンを有する画像データを2次元フーリエ変換すると、良品部である繰り返し的パターンの成分はある特定周波数に集中することを利用し、この特定周波数領域をマスク処理によって除去した後、逆フーリエ変換をすることで欠陥を検出できる手法である。また、この手法では良品形状にばらつきがある場合でも、2次元フーリエ変換した画像データのパワースペクトルに対し、パワースペクトル強度における適当なしきい値を設けることで、ばらつきを考慮した特定周波数を除去するマスク領域を決定できるという利点がある。

図７に、フィン部に欠陥を有するフィンアンドチューブタイプの熱交換器の従来の外観検査結果を示す。図７（ａ）の四角で囲んだ部分のフィン部分は、拡大図で良く分かるように、折り曲げられるように変形しており、チューブとの接触不良を起こした不良品である。この様な熱交換器を、上記のような従来の画像処理方法により検査した場合の画像を図７（ｂ）に示す。図７（ｂ）においても、フィンの欠陥部分が四角で囲まれて拡大されて表示されている。図７（ｂ）の画像において、欠陥部分は示されているが、フィンＲ部１５も欠陥部と同様に表示されていることが分かる。即ち、従来の外観検査方法では、欠陥ではない部分も欠陥として表示する場合があった。

この理由として以下のことが考えられる。今回検査の対象とする熱交換器コア面は、チューブとフィンの２つの繰り返し的パターンを有するが、図６に示すように、フィンにおける繰返し周期を列方向で見ると規則性が乱れている。このような対象を従来手法で検査する場合、フィン列方向の繰り返し周期が不連続である影響によりフィンR部１５の信号が除去できず、欠陥として表示されてしまうため、欠陥のみを良好に検出できないという問題が生じる。特にチューブ欠陥検査においては、チューブ１２とフィンR部１５が隣接していることからチューブ欠陥とフィンR部を分離した検査は困難であった。

特開平第6-242013号（第１頁）

本発明は上述した事情に鑑みなされたもので、熱交換器コア面の検査対象であるチューブとフィンの２つの繰り返し的パターンの欠陥と、良品部でありながら従来手法で除去できずに欠陥と同レベルで検出されてしまうフィンR部を、欠陥としての表示から分離することが可能な外観検査方法を提供することを目的とする。
本発明は、検出対象とする欠陥がフィンR部のみに発生することが無いことに着目して、チューブ検査においてはフィンR部を含むフィン成分を除去した検査を行い、フィン検査においてはフィンR部を含むチューブ近傍をマスクした検査を行うことで上記問題点を解決するものである。
本発明の別の目的は、ラジエータと類似する熱交換器（コンデンサ、ヒータ等）のコア面検査を自動化できる検査方法及びそのための装置を提供することである。

本発明の請求項１の形態では上述した目的を達成するために、フィンアンドチューブタイプの熱交換器の、フィンとチューブを具備するコアの外観検査方法は、検査対象である前記コアの少なくとも一部分を、前記チューブの撮像に適した明るさで撮像してチューブ画像を形成するチューブ撮像手順と、検査対象である前記コアの少なくとも一部分を、前記フィンの撮像に適した明るさで撮像してフィン画像を形成するフィン撮像手順と、前記撮像手順において撮像した前記チューブ及びフィン画像を画像処理してそれぞれのデータとして記憶する画像処理手順とを具備しており、更に前記フィン画像を使用してフィンの部分を検査するフィン検査工程と、前記チューブ画像を使用してチューブの部分を検査するチューブ検査工程とを具備する。前記フィン検査工程は、前記フィン画像を画像処理して、検査信号として形成し記憶する検査信号形成手順と、前記フィン画像を画像処理して、実質的に良品のフィン画像を表すマスク信号として形成し記憶するマスク形成手順と、前記フィンの欠陥信号を抽出するために、前記検査信号に対して前記マスク信号を処理して、前記検査信号から良品のフィンを表す信号成分を除去する、良品成分除去手順とを具備する。前記チューブ検査工程は、前記チューブ画像を画像処理して、検査信号として形成し記憶する検査信号形成手順と、前記チューブ画像を画像処理して、実質的に良品のチューブ画像を表すマスク信号として形成し記憶するマスク形成手順と、前記チューブの欠陥信号を抽出するために、前記検査信号に対して前記マスク信号を処理して、前記検査信号から良品のチューブを表す信号成分を除去する、良品成分除去手順とを具備することを特徴とする。

この様に構成することにより、チューブとフィンの２つの繰り返し的パターンを有し、フィンに関しては列方向の繰り返し周期が一定でない熱交換器コア面の外観検査において、画像処理による欠陥検出手法を適用するにあたり、被検部の画像を、１枚は明るさを制御してフィン成分を抑制したチューブ検査画像として撮像し、もう１枚はフィン検査可能な明るさで撮像した画像を検査画像とすることで、少なくともチューブの外観検査に関してフィンの列方向の不規則性の影響を受けないフィンとチューブの欠陥検査を可能とした。

本発明の請求項２の形態では、上記請求項１の形態において、前記フィン検査工程は、前記フィン画像から実質的に良品のフィンＲ部を表すＲ部マスク信号を形成し記憶する、Ｒ部マスク形成手順と、前記Ｒ部マスク形成手順において得られたフィンＲ部を表すＲ部マスク信号を含まない前記フィンの欠陥信号を抽出するＲ部成分除去手順とを具備する。前記Ｒ部成分除去手順においては、前記良品成分除去手順において得られた信号に、前記Ｒ部マスク形成手順のＲ部マスク信号を重ねることによりフィンＲ部を表す信号を除去して、フィンＲ部の信号を含まない欠陥信号を得ることを特徴とする。

この様に構成することにより、チューブとフィンの２つの繰り返し的パターンを有し、フィンに関しては列方向の繰り返し周期が一定でない熱交換器コア面の検査において、画像処理による欠陥検出手法を適用するにあたり、被検部の画像を、１枚は明るさを制御してフィン成分を抑制したチューブ検査画像として撮像し、もう１枚はフィン検査可能な明るさの画像を撮像してフィンとチューブの接合部（フィンR部）を含むチューブ近傍をマスク処理をすることで、フィンの列方向の不規則性の影響を受けないチューブとフィンの欠陥検査を可能とした。

本発明の請求項３の形態では、上記請求項１又は２のいずれかの形態において、前記フィン検査工程及びチューブ検査工程はそれぞれ、微弱な欠陥信号を強調するための欠陥部強調処理手順を更に具備することを特徴とする。
本形態によれば、欠陥信号が微弱な場合であっても、明確な外観検査を実施できる。

本発明の請求項４の形態では、上記請求項１から３の形態のいずれか一項において、前記画像処理手順は、撮像画像のフーリエ変換を含んでおり、前記フィン及びチューブ検査工程は、それぞれの前記良品成分除去手順において得られた信号を逆フーリエ変換する逆フーリエ変換手順を含むことを特徴とする。
本形態によれば、画像処理方法をより具体化する。

また、本発明の請求項５の形態では、上記請求項１から４の形態のいずれか一項において、前記マスク形成手順において、前記マスク信号は、前記画像処理手順におけるフーリエ変換から得られたパワースペクトルを２値変換した２値化マスク信号として形成されており、前記良品成分除去手順において、前記２値化マスク信号を、フーリエ変換された前記検査信号に掛け合わせることにより、前記検査信号の内のマスク信号に相当する部分の信号が除去されることを特徴とする。
本形態によれば、良品成分除去手順をより具体化する。

本発明の請求項６の形態では、フィンアンドチューブタイプの熱交換器の、フィンとチューブを具備するコアの外観検査装置は、検査対象である前記コアを撮像する撮像装置と、前記撮像装置に対して適当なパルス幅のトリガ信号を発し、更に前記撮像装置からの画像入力が可能である画像処理装置と、検査画像撮像に充分な光量で点灯し且つ撮像対象に一様に光を照射する照明装置とを具備しており、更に上記請求項１から５のいずれか一項に記載の外観検査方法を実施可能であることを特徴とする。

この様に構成することにより、チューブとフィンの２つの繰り返し的パターンを有し、フィンに関しては列方向の繰り返し周期が一定でない熱交換器コア面の外観検査において、画像処理による欠陥検出手法を適用するにあたり、被検部の画像を、１枚は明るさを制御してフィン成分を抑制したチューブ検査画像として撮像し、もう１枚はフィン検査可能な明るさで撮像した画像を検査画像とすることで、少なくともチューブの外観検査に関してフィンの列方向の不規則性の影響を受けないの欠陥検査を可能とした外観検査装置を提供する。

また、本発明の請求項８の形態では、上記請求項７の形態において、前記撮像装置はCCDカメラであることを特徴とする。
本形態によれば、撮像装置をより具体化する。

本発明の請求項８の形態では、上記請求項請求項６又は７のいずれかにおいて、前記外観検査装置は、検査画像を撮像する適当なタイミングにおいて画像処理装置及び照明装置に対しトリガを発するトリガ発生回路と、被検査体を搬送する搬送装置とを具備する。前記照明装置は、金属光沢面を一様に照射するような反射形状を有する照明ケースを具備する。

本形態によれば、検査可能な画像面積に対し、ワーク面積が広範囲である熱交換器コア面の検査を低コストで実現するためにワーク搬送中に撮像・検査を行うこととし、同一被検部に対し明るさを変えた２つの画像撮像を可能とするために、瞬時にシャッタスピードを切換えた連続撮像可能な画像入力システムを構築し、自動検査を実現した外観検査装置を提供できる。

以下、図面に基づいて本発明の実施の形態の検査装置１及び検査装置１を使用した外観検査方法を詳細に説明する。以下の実施例において、検査対象は自動車のラジエータ等に使用されるフィンアンドチューブタイプの熱交換器１０のコア１１である。図１から５を参照すると、図６に示す熱交換器１０の要素部分と同じ又は同様である図１から５における検査対象であるフィンアンドチューブタイプの熱交換器の要素部分は、同じ参照符号により指定されている。

フィンアンドチューブタイプの熱交換器１０のコア上面を検査するための検査装置１の装置構成を図１に示す。コア下面検査においても同様の構成の検査装置１を使用して、同様の検査装置１の作動により検査を実施する。検査装置１は、画像処理装置２と、CCDカメラ８と、トリガ発生回路３と、照明ケース４と、照明灯具５と、照明電源６と、本実施の形態ではフィンアンドチューブタイプの熱交換器のコア１１であるワークの搬送コンベア７とを具備する。

CCDカメラ８は、外部からのトリガ信号のパルス幅により露光時間を制御可能な電子シャッタ機能を有する。画像処理装置２は、CCDカメラ８に対して適当なパルス幅のトリガ信号を発し、またCCDカメラ８からの画像入力が可能である。トリガ発生回路３は、検査画像を撮像する適当なタイミングにおいて画像処理装置（視覚装置）２及び照明電源６に対しトリガを発する回路である。照明ケース４は、金属光沢面を一様に照射するような反射形状を有する。照明灯具５は、検査画像撮像に充分な光量で点灯する。照明電源６は、照明灯具５の電源であって、外部トリガにより照明灯具５の点灯時間を制御できる機能を有する。

次に、コア上面検査の作動を説明する。検査ワークであるコア１１は、搬送コンベア７により一定速度で検査エリアを通過する。これに同期してトリガ発生回路３は画像処理装置２と照明電源６へトリガ信号を発し、画像処理装置２はフィン検査に適当なパルス幅のトリガをカメラ８へ発し、フィン検査画像（図２）を撮像する。フィン画像入力直後に、回路３は画像処理装置２と照明電源６に再びトリガ信号を発し、画像処理装置２はチューブ検査に適当なパルス幅のトリガをカメラ８へ発し、チューブ検査画像（図３）を撮像する。この作動を、検査画像分ワークが移動するごとに行い、ワーク全体の画像入力が終了した後に、各画像について画像処理装置２にてフィン検査（図４）及びチューブ検査（図５）の画像処理を行い、良否判定を行って検査を終了する。

フィン検査の内容を図４のフローチャートにより具体的に説明する。ステップ１（Ｓ１）において、上記の如くCCDカメラ８により撮像されたフィンの検査画像は画像処理装置２に入力され記憶される。この入力画像をステップ２（Ｓ２）で２次元フーリエ変換してフィンの検査画像を得る。更にＳ２において、例えば入力画像の一部を使用して、良品のフィンのマスク画像データを作成する。これは、入力画像の大部分は良品のフィン部分であることから、検査を通して良品と見なせるフィン部分を選択することが出来る。このように選択された、フィンの良品サンプルであるマスク画像データを使用して、ステップ３（Ｓ３）でパワースペクトル画像を生成し、これを適当な値で２値化することで、ステップ４（Ｓ４）において良品のフィン成分のマスク画像の２値化値が得られる。この良品のフィン成分のマスク画像の２値化は、例えば良品のフィン成分の２次元フーリエ変換値に掛け合わせるとその積が実質的に０となるようなものである。ステップ５（Ｓ５）において、個別の検査画像に前記２値化マスク画像を掛け合わせる。従ってステップ５において、この２値化マスク画像を用いて、ステップ２の２次元フーリエ変換画像の繰り返し的パターンの周波数成分は除去される。即ちＳ５において、良品のフィン成分が除去される。

ステップ６（Ｓ６）において、ステップ５において得られたデータを２次元フーリエ逆変換する。しかし、ここで実際には前述したように、良品であってもフィンＲ部は中央部のフィン部分に比べて規則性が乱れているので、ステップ６の画像には、除去できなかったフィンR部が残っている。従ってステップ７（Ｓ７）において、チューブの近傍のフィンＲ部のマスクで、チューブの近傍をマスクすることによりフィンＲ部の信号を除去する。フィンＲ部のマスクは、ステップ１の検査画像から、チューブ近傍のフィンＲ部を特定することにより容易に作成出来る。この結果得られた画像では欠陥信号が微弱であるため、ステップ８（Ｓ８）で欠陥部を強調する強調処理を施す。ここで、微弱信号を強調する方法は公知である。この結果、ステップ９（Ｓ９）の欠陥検出画像が得られる。

チューブ検査の内容について図５のフローチャートにより説明する。チューブ検査は基本的にフィン検査と同様である。チューブ検査については、画像入力時にフィンR部を含むフィン成分が、明るさを調整することにより抑制されている（図３参照）ので、図５に示すように、図４のフィン検査の処理工程のステップ７のフィンR部を除去するフィンＲ部マスク手順を除いた処理工程でチューブの外観検査を行う。チューブ検査工程は図５に示すように、ステップ２１（Ｓ２１）のチューブ検査画像手順と、２次元ＦＥＴ手順（ステップ２２：Ｓ２２）と、パワースペクトル手順（ステップ２３：Ｓ２３）と、チューブ成分マスク画像手順（ステップ２４：Ｓ２４）と、チューブ良品成分除去手順（ステップ２５：Ｓ２５）と、２次元逆ＦＥＴ手順（ステップ２６：Ｓ２６）と、欠陥部強調処理手順（ステップ２７：Ｓ２７）と、検出結果（ステップ２８：Ｓ２８）とを具備する。従って、チューブ検査工程は、図４のフィン検査の工程からステップ７のフィンＲ部マスク手順が削除されたものとなる。Ｓ２１からＳ２８までの個別の手順の内容は、対応するフィン検査工程の手順と同様であるので、重複を避けて説明は省略する。

次に上記実施の形態の効果及び作用について説明する。
本発明の実施の形態のフィンアンドチューブタイプの熱交換器の外観検査方法及びそのための装置により以下の効果が期待できる。
・チューブとフィンの２つの繰り返し的パターンを有し、フィンに関しては列方向の繰り返し周期が一定でない熱交換器コア面の検査において、画像の２次元フーリエ変換を用いた欠陥検出手法を適用するにあたり、同一被検部の画像を、１枚は明るさを制御してフィン成分を抑制したチューブ検査画像として撮像し、もう１枚はフィン検査可能な明るさの画像を撮像してフィンとチューブの接合部（フィンR部）を含むチューブ近傍をマスク処理をすることで、フィンの列方向の不規則性の影響を受けないチューブとフィンの欠陥検査を可能とした。
・また、検査可能な画像面積に対し、ワーク面積が広範囲である熱交換器コア面の検査を低コストで実現するためにワーク搬送中に撮像・検査を行うこととし、同一被検部に対し明るさを変えた２つの画像撮像を可能とするために、瞬時にシャッタスピードを切換えた連続撮像可能な画像入力システムを構築し、自動検査を実現可能とした。

また、上記において記載したあるいは添付図面に示した実施の形態において、被検査物を撮像するための装置は、CCDカメラとして記載されたが、これ以外の撮像装置であっても良い。
上記の実施の形態において、画像処理装置２、トリガ発生回路３、照明電源６等は別体として記載されたが、一体の装置として形成されても良い。

上記の実施の形態において、本発明による検査の対象は車両用のラジエータとして記載されたが、フィンとチューブを有する熱交換器であればこれ以外のものに対しても本発明は適用可能である。
上記の実施の形態において、フィン画像とチューブ画像は、別個の２つの画像として別々に撮像されたが、それらが１つの画像から画像処理等によりそれぞれ形成されても良い。

本発明の検査方法は、フィンアンドチューブタイプの熱交換器に限らず、規則性のある構造を有する物品、装置であって、良品であるが規則性に乱れが存在しても良い部分を有するもの、即ちこの規則性の乱れが不良品と判断させる可能性があるため、検査を混乱させる部分を有するものを検査対象としても良い。

上記の実施の形態は本発明の一例であり、本発明は、該実施の形態により制限されるものではなく、請求項に記載される事項によってのみ規定されており、上記以外の実施の形態も実施可能である。

図１は、フィンアンドチューブタイプの熱交換器のコア上面を検査するための本発明の実施の形態の検査装置１の構成を図解的に示す。 図２は図１の装置により撮像したフィン検査画像を示す。 図３は図１の装置により撮像したチューブ検査画像を示す。 図４は、本発明の外観検査方法によるフィン検査の内容を具体的に説明するフローチャートである。 図５は、本発明の外観検査方法によるチューブ検査の内容を具体的に説明するフローチャートである。 図６は、車両用ラジエータ等に使用される一般的なフィンアンドチューブタイプの熱交換器を図解的に示す。 図７は、フィン部に欠陥を有するフィンアンドチューブタイプの熱交換器のコアの従来の外観検査例を示しており、（ａ）は欠陥部の拡大図を含む正面図であり、（ｂ）は（ａ）の画像処理により検査した際の画像を示す。

符号の説明

１…検査装置
２…画像処理装置
３…トリガ発生回路
４…照明ケース
５…照明灯具
６…照明電源
７…搬送コンベア
８…CCDカメラ
１０…熱交換器

Claims (8)

1. フィンアンドチューブタイプの熱交換器の、フィンとチューブを具備するコアの外観検査方法において、この外観検査方法は、
   検査対象である前記コアの少なくとも一部分を、前記チューブの撮像に適した明るさで撮像してチューブ画像を形成するチューブ撮像手順と、
   検査対象である前記コアの少なくとも一部分を、前記フィンの撮像に適した明るさで撮像してフィン画像を形成するフィン撮像手順と、
   前記撮像手順において撮像した前記チューブ及びフィン画像を画像処理してそれぞれのデータとして記憶する画像処理手順と、
   を具備しており、更に、
   前記フィン画像を使用してフィンの部分を検査するフィン検査工程と、前記チューブ画像を使用してチューブの部分を検査するチューブ検査工程と、を具備しており、
   前記フィン検査工程は、
   前記フィン画像を画像処理して、検査信号として形成し記憶する検査信号形成手順と、
   前記フィン画像を画像処理して、実質的に良品のフィン画像を表すマスク信号として形成し記憶するマスク形成手順と、
   前記フィンの欠陥信号を抽出するために、前記検査信号に対して前記マスク信号を処理して、前記検査信号から良品のフィンを表す信号成分を除去する、良品成分除去手順と、
   を具備しており、
   前記チューブ検査工程は、
   前記チューブ画像を画像処理して、検査信号として形成し記憶する検査信号形成手順と、
   前記チューブ画像を画像処理して、実質的に良品のチューブ画像を表すマスク信号として形成し記憶するマスク形成手順と、
   前記チューブの欠陥信号を抽出するために、前記検査信号に対して前記マスク信号を処理して、前記検査信号から良品のチューブを表す信号成分を除去する、良品成分除去手順と、
   を具備する、
   ことを特徴とする外観検査方法。
2. 前記フィン検査工程は、
   前記フィン画像から実質的に良品のフィンＲ部を表すＲ部マスク信号を形成し記憶する、Ｒ部マスク形成手順と、
   前記Ｒ部マスク形成手順において得られたフィンＲ部を表すＲ部マスク信号を含まない前記フィンの欠陥信号を抽出するＲ部成分除去手順と、
   を具備しており、
   前記Ｒ部成分除去手順においては、前記良品成分除去手順において得られた信号に、前記Ｒ部マスク形成手順のＲ部マスク信号を重ねることによりフィンＲ部を表す信号を除去して、フィンＲ部の信号を含まない欠陥信号を得る
   ことを特徴とする請求項１に記載の外観検査方法。
3. 前記フィン検査工程及びチューブ検査工程はそれぞれ、微弱な欠陥信号を強調するための欠陥部強調処理手順を更に具備することを特徴とする請求項１又は２のいずれかに記載の外観検査方法。
4. 前記画像処理手順は、撮像画像のフーリエ変換を含んでおり、前記フィン及びチューブ検査工程は、それぞれの前記良品成分除去手順において得られた信号を逆フーリエ変換する逆フーリエ変換手順をそれぞれ更に具備することを特徴とする請求項１から３のいずれか一項に記載の外観検査方法。
5. 前記マスク形成手順において、前記マスク信号は、前記画像処理手順におけるフーリエ変換から得られたパワースペクトルを２値変換した２値化マスク信号として形成されており、
   前記良品成分除去手順において、前記２値化マスク信号を、フーリエ変換された前記検査信号に掛け合わせることにより、前記検査信号のマスク信号に相当する部分の信号が除去される
   ことを特徴とする請求項１から４のいずれか一項に記載の検査方法。
6. フィンアンドチューブタイプの熱交換器の、フィンとチューブを具備するコアの外観検査装置において、この外観検査装置は、
   検査対象である前記コアを撮像する撮像装置と、
   前記撮像装置に対して適当なパルス幅のトリガ信号を発し、更に前記撮像装置からの画像入力が可能である画像処理装置と、
   検査画像撮像に充分な光量で点灯し且つ撮像対象に一様に光を照射する照明装置と、
   を具備しており、
   前記外観検査装置は、請求項１から５のいずれか一項に記載の外観検査方法を実施可能であることを特徴とする外観検査装置。
7. 前記撮像装置はCCDカメラであることを特徴とする請求項６に記載の外観検査装置。
8. 前記外観検査装置は、検査画像を撮像する適当なタイミングにおいて画像処理装置及び照明装置に対しトリガを発するトリガ発生回路と、
   被検査体を搬送する搬送装置と、
   を具備しており、
   前記照明装置は、金属光沢面を一様に照射するような反射形状を有する照明ケースを具備する、
   ことを特徴とする請求項６又は７のいずれかに記載の外観検査装置。