JP2005319355A - 液滴吐出方法、液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】 複数の液滴吐出ヘッドを用いた場合でも、歩留まりの向上、ランニングコストの低減、生産性の向上を図ることのできる液滴吐出方法、液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法を提供すること。
【解決手段】 所定のビットマップに基づいて複数の液滴吐出ヘッドの各ノズルから液滴を吐出してワークに所定のパターンを描画する液滴吐出方法において、複数の液滴吐出ヘッドの各々について寿命を監視し（ステップＳＴ９）、複数の液滴吐出ヘッドの中に寿命に到達したものが発生したときには、別のビットマップを作成し（ステップＳＴ５）、寿命に達した液滴吐出ヘッドを除く使用可能液滴吐出ヘッドによってパターンの描画を行う（ステップＳＴ７）。
【選択図】 図７

Description

本発明は、ヘッドのノズルから液滴を吐出することによりワークに所定のパターンを描画する液滴吐出方法、液滴吐出装置、および電気光学装置の製造方法に関するものである。

液滴吐出ヘッドから液状体を吐出して基板などのワーク上の所定位置に所定量の液状体（液状体）をドット状に配置して所定のパターンを描画する液滴吐出装置が考え出されている。この場合、１つのヘッドユニットに複数の液滴吐出ヘッドを搭載することにより、基板上の大面積に対して液滴を滴下して所要時間の短縮、および滴下位置の微細化（高解像度化）などを図った液滴吐出装置も考え出されている（例えば、特許文献１参照）。
特開２００３−１５９７８６号公報

液滴吐出装置において、複数の液滴吐出ヘッドを用いた場合、液滴吐出ヘッドの各々では、配置位置の違いなどにより使用頻度が異なり、複数の液滴吐出ヘッドの一部のみが寿命に到達し、吐出不良を起こすことがある。しかしながら、従来は、液滴の吐出不良が生じたか否かをワークに対する液滴の着弾位置を観測して判断しているので、複数の液滴吐出ヘッドの一部でも寿命に到達して吐出不良を起こすと、歩留まりが低下してしまうという問題点がある。

また、従来の液滴吐出装置では、１つの液滴吐出ヘッドが吐出不良となった場合、ヘッドユニットにおいて全ての液滴吐出ヘッドを新たなものに交換するという運用が行われているため、ヘッドの交換が頻繁に行われている。それ故、ランニングコストが嵩むとともに、生産性が低いという問題点がある。

以上の問題点に鑑みて、本発明の課題は、複数の液滴吐出ヘッドを用いた場合でも、歩留まりの向上、ランニングコストの低減、生産性の向上を図ることのできる液滴吐出方法、液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法を提供することにある。

上記課題を解消するために、本発明では、所定のビットマップに基づいて複数の液滴吐出ヘッドの各ノズルから液滴を吐出してワークに所定のパターンを描画する液滴吐出方法において、前記複数の液滴吐出ヘッドの各々について寿命を監視し、前記複数の液滴吐出ヘッドの中に寿命に到達したものが発生したときには、別のビットマップに基づいて、前記寿命に達した液滴吐出ヘッドを除く使用可能液滴吐出ヘッドによって前記パターンの描画を行うことを特徴とする。

本発明では、複数の液滴吐出ヘッドを用いているため、配置位置などにより液滴吐出ヘッドの使用頻度が異なり、複数の液滴吐出ヘッドの一部のみが寿命に到達し、吐出不良を起こすことがあるが、複数の液滴吐出ヘッドの各々について寿命を監視し、寿命に到達した液滴吐出ヘッドについては、使用を停止する。従って、寿命に到達した液滴吐出ヘッドでの吐出不良が原因でワークの歩留まりが低下することを防止できる。また、複数の液滴吐出ヘッドの各々について寿命を監視するので、寿命に到達した液滴吐出ヘッドのみを交換することもできる。さらに、本発明では、本発明では、寿命に到達した液滴吐出ヘッドに使用を停止する一方、別のビットマップに基づいて、残りの使用可能液滴吐出ヘッドでパターンの描画を行う。従って、寿命に到達した液滴吐出ヘッドが発生した場合でも、パターンの描画を継続することができるので、ワークの生産性を向上することができる。

本発明において、前記複数の液滴吐出ヘッドの各々について寿命を監視するにあたっては、前記複数の液滴吐出ヘッドの各々について動作履歴を監視し、当該動作履歴の監視結果に基づいて前記液滴吐出ヘッドが寿命に到達したか否かを判断することが好ましい。このように構成すれば、複数の液滴吐出ヘッドの各々に対して実態に対応した寿命の判定を行うことができる。すなわち、液滴吐出ヘッドの動作履歴によれば、液滴吐出ヘッドがどのような使用態様でどれだけ使用されてきたか正確に把握して管理することができ、かかる動作履歴に基づいて液滴吐出ヘッドが受けたダメージ量を算出できる、従って、液滴吐出ヘッドの寿命を一律に設定しておく場合と違って、使用状態が過酷で短期間のうちに寿命に達したものについても確実に検出できる。逆に、使用状態が緩くて寿命に達したものを使用不可としてしまうことも防止できる。

ここで、前記動作履歴は、前記液滴吐出ヘッドにおいて液滴が吐出された回数の積算値であるショット数のデータ、前記液滴吐出ヘッドが使用された時間を積算した使用時間のデータ、前記液滴吐出ヘッドについての駆動電圧又は駆動電流波形を示すデータ、および前記液滴吐出ヘッドに供給される液状体の種類を示すデータのうちの少なくとも１つに基づくデータである。すなわち、ショット数が多くなるほど、液滴吐出ヘッドが受けている機械的ダメージが大きいと判断できる。また、使用時間が長いほど、液滴吐出ヘッドに供給されている液状体の化学変化などが大きくなり、液滴吐出ヘッドにおける化学的又は機械的なダメージが大きいと判断できる。上記ダメージ量は、液滴吐出ヘッドの駆動電圧又は駆動電流波形と液状体の種類とによっても変わってくるので、その駆動電圧又は駆動電流波形と液状体の種類とを考慮して前記寿命を判断することで、吐出不良となる直前の液滴吐出ヘッドを確実に見つけ出すことができる。

本発明において、別のビットマップについては予め形成しておき、メモリに記憶させておいてもよいが、前記複数の液滴吐出ヘッドの中に寿命に到達したものが発生したときに、いずれの液滴吐出ヘッドに寿命が発生したかを示すヘッド情報に基づいて前記別のビットマップを作成し、当該別のビットマップに基づいて、前記使用可能液滴吐出ヘッドを動作させて前記パターンの描画を行ってもよい。

本発明において、前記複数の液滴吐出ヘッドの中に寿命に到達したものが発生したときには、前記使用可能液滴吐出ヘッドの数を確認し、前記使用可能液滴吐出ヘッドの数が所定数以上のときには、当該使用可能液滴吐出ヘッドによって前記パターンを描画し続け、前記使用可能液滴吐出ヘッドの数が所定数を下回るときには、前記パターンの描画を停止して前記複数の液滴吐出ヘッドの全てを交換することが好ましい。このように構成すると、生産性を考慮したタイミングでパターンの描画を中断することができる。

本発明に係る液滴吐出方法は、電気光学装置の製造に利用できる。すなわち、有機ＥＬ装置、液晶表示装置またはプラズマ表示装置などの電気光学装置をなす基板に対して、所定の構成要素を液滴吐出方法で形成するるときに、吐出不良によってその基板が不良製品となることを、事前に回避することができる。それ故、画像の品位が高く、信頼性の高い電気光学装置を低コストで製造することができる。とりわけ、電気光学装置が大画面化すればするほど、大面積の基板を用いることになるので、その歩留まりの向上は、電気光学装置の低コスト化に大きく寄与することになる。

本発明に係る液滴吐出方法を実施するために、本発明では、液滴を吐出可能なノズルを備えた複数の液滴吐出ヘッドと、該複数の液滴吐出ヘッドとワークとを相対移動させる移動手段と、前記複数の液滴吐出ヘッドと前記ワークとの相対移動に連動し、所定のビットマップに基づいて前記複数の液滴吐出ヘッドの各ノズルから液滴を吐出させて前記ワークに所定のパターンを描画するヘッド駆動手段とを有する液滴吐出装置において、前記複数の液滴吐出ヘッドの各々について寿命を監視するヘッド寿命監視手段と、前記複数の液滴吐出ヘッドの中に寿命に到達したものが発生したときには、別のビットマップに基づいて、前記寿命に達した液滴吐出ヘッドを除く使用可能液滴吐出ヘッドによって前記パターンの描画を行わせるヘッド制御手段とを有することを特徴とする。

本発明において、前記ヘッド寿命監視手段は、前記複数の液滴吐出ヘッドの各々について寿命を監視するにあたっては、例えば、前記複数の液滴吐出ヘッドの各々について動作履歴を監視し、当該動作履歴の監視結果に基づいて前記液滴吐出ヘッドが寿命に到達したか否かを判断する。ここで、前記動作履歴は、例えば、前記液滴吐出ヘッドにおいて液滴が吐出された回数の積算値であるショット数のデータ、前記液滴吐出ヘッドが使用された時間を積算した使用時間のデータ、前記液滴吐出ヘッドについての駆動電圧又は駆動電流波形を示すデータ、および前記液滴吐出ヘッドに供給される液状体の種類を示すデータのうちの少なくとも１つに基づくデータである。

本発明において、前記ヘッド制御手段は、前記ビットマップを形成するビットマップ形成手段を有し、前記ヘッド寿命監視手段は、前記複数の液滴吐出ヘッドの中に寿命に到達したものが発生したときには、いずれの液滴吐出ヘッドが寿命に到達したかを示すヘッド情報を前記ビットマップ形成手段に出力し、前記ビットマップ形成手段は、前記ヘッド情報に基づいて、前記使用可能液滴吐出ヘッドによって前記パターンの描画を行うための前記別のビットマップを形成する。

本発明において、前記ヘッド制御手段は、前記複数の液滴吐出ヘッドの中に寿命に到達したものが発生したときには、前記使用可能液滴吐出ヘッドの数を確認し、前記使用可能液滴吐出ヘッドの数が所定数以上のときには、当該使用可能液滴吐出ヘッドによって前記パターンを描画し続けさせ、前記使用可能液滴吐出ヘッドの数が所定数を下回るときには、前記パターンの描画を停止することが好ましい。

図面を参照して、本発明の実施形態に係る液滴吐出方法および液滴吐出装置の一例を説明する。

（液滴吐出装置の全体構成）
本発明の実施形態に係る液滴吐出装置の全体構成について、図１および図２を参照して説明する。図１および図２は、本発明の実施形態に係る液滴吐出装置の全体構成を示す斜視図、およびこの液滴吐出装置の要部を示す部分斜視図である。

図１および図２において、液滴吐出装置１０は、各種の液状体を基板などのワーク上の所望位置に液滴として吐出するものである。液滴吐出装置１０は、液状体を各種ワーク上に液滴として吐出するノズルを備える複数の液滴吐出ヘッド２２と、これらの液滴吐出ヘッド２２を保持する共通のキャリッジ２６とを有している。また、液滴吐出装置１０は、液滴吐出ヘッド２２の位置を制御するヘッド位置制御装置１７と、ワークとしての基板１２の位置を制御する基板位置制御装置１８と、液滴吐出ヘッド２２を基板１２に対して主走査移動させる主走査駆動手段としての主走査駆動装置１９と、液滴吐出ヘッド２２を基板１２に対して副走査移動させる副走査駆動手段としての副走査駆動装置２１と、基板１２を液滴吐出装置１０内の所定の作業位置へ供給する基板供給装置２３と、液滴吐出装置１０の全般の制御を司るコントロール装置２４とを有しており、ヘッド位置制御装置１７、基板位置制御装置１８、主走査駆動装置１９、および副走査駆動装置２１によって、液滴吐出ヘッド２２（キャリッジ２６）と基板１２とを相対移動させる移動手段が構成されている。ヘッド位置制御装置１７、基板位置制御装置１８、主走査駆動装置１９、および副走査駆動装置２１はベース９の上に設置され、それらの各装置は必要に応じてカバー１４によって覆われる。

図２に示すように、ヘッド位置制御装置１７は、液滴吐出ヘッド２２を面内回転させるαモータ４４と、液滴吐出ヘッド２２を副走査方向Ｙと平行な軸線回りに揺動回転させるβモータ４６と、液滴吐出ヘッド２２を主走査方向と平行な軸線回りに揺動回転させるγモータ４７と、そして液滴吐出ヘッド２２を上下方向へ平行移動させるＺモータ４８とを備えている。基板位置制御装置１８は、基板１２を載せるテーブル４９と、そのテーブル４９を矢印θのように面内回転させるθモータ５１とを備えている。主走査駆動装置１９は、主走査方向Ｘへ延びるＸガイドレール５２と、パルス駆動されるリニアモータを内蔵したＸスライダ５３とを備えている。Ｘスライダ５３は、内蔵するリニアモータが作動するときにＸガイドレール５２に沿って主走査方向へ平行移動する。副走査駆動装置２１は、副走査方向Ｙへ延びるＹガイドレール５４と、パルス駆動されるリニアモータを内蔵したＹスライダ５６とを備えている。Ｙスライダ５６は、内蔵するリニアモータが作動するときにＹガイドレール５４に沿って副走査方向Ｙへ平行移動する。

Ｘスライダ５３およびＹスライダ５６内においてパルス駆動されるリニアモータは、該モータに供給するパルス信号によって出力軸の回転角度制御を精細に行うことができ、従って、Ｘスライダ５３に支持された液滴吐出ヘッド２２の主走査方向Ｘ上の位置やテーブル４９の副走査方向Ｙ上の位置などを高精細に制御できる。なお、液滴吐出ヘッド２２やテーブル４９の位置制御は、パルスモータを用いた位置制御に限られず、サーボモータを用いたフィードバック制御や、その他任意の制御方法によって実現することもできる。

再び図１において、基板供給装置２３は、基板１２を収容する基板収容部５７と、基板１２を搬送するロボット５８とを備えている。ロボット５８は、床、地面などといった設置面に置かれる基台５９と、基台５９に対して昇降移動する昇降軸６１と、昇降軸６１を中心として回転する第１アーム６２と、第１アーム６２に対して回転する第２アーム６３と、第２アーム６３の先端下面に設けられた吸着パッド６４とを備えており、吸着パッド６４は、空気吸引などによって基板１２を吸着できる。

主走査駆動装置１９によって駆動されて主走査移動する液滴吐出ヘッド２２の軌跡下であって副走査駆動装置２１の一方の脇位置には、キャッピング装置７６およびクリーニング装置７７が配置され、他方の脇位置には電子天秤７８が配置されている。クリーニング装置７７は、液滴吐出ヘッド２２を洗浄するための装置である。電子天秤７８は、液滴吐出ヘッド２２内の個々のノズルから吐出される液滴８の重量をノズル毎に測定する機器である。キャッピング装置７６は、液滴吐出ヘッド２２が待機状態にあるときにノズルの乾燥を防止するための装置である。

液滴吐出ヘッド２２の近傍には、その液滴吐出ヘッド２２と一体に移動する関係でヘッド用カメラ８１が配置されている。また、ベース９上に設けた支持装置（図示せず）には基板用カメラ８２が配置され、基板用カメラ８２は、基板１２を撮影可能である。

（液滴吐出ヘッドの構成）
図３、図４および図５を参照して、本形態の液滴吐出装置１０に用いた液滴吐出ヘッド２２を説明する。図３および図４はそれぞれ、複数の液滴吐出ヘッド２２を保持するキャリッジ２６などを模式的に示す平面図、および液滴吐出ヘッド２２の構成を示す説明図である。図５（Ａ）、（Ｂ）はそれぞれ、液滴吐出ヘッド２２の内部構造を模式的に示す説明図である。なお、図３（Ａ）には、通常の描画動作を示し、図３（Ｂ）、（Ｃ）には、後述するように、液滴吐出ヘッド２２の一部が寿命に到達したときの描画動作を示してある。

図３（Ａ）に示すように、複数の液滴吐出ヘッド２２は、共通のキャリッジ２６に保持されている。本形態では、複数の液滴吐出ヘッド２２として、キャリッジ２６には３つの液滴吐出ヘッド２２ａ、２２ｂ、２２ｃが保持されているものとして示してあるが、さらに多数の液滴吐出ヘッドが搭載される場合もある。

図４に示すように、複数の液滴吐出ヘッド２２は各々、多数のノズル２７を列状に並べることによって形成されたノズル列２８を備えている。ノズル２７の数は、例えば１８０個であり、ノズル２７の孔径は例えば２８μｍであり、ノズル２７間のノズルピッチは例えば１４１μｍである。なお、液滴吐出ヘッド２２の基板１２に対する主走査方向Ｘおよびそれに直交する副走査方向Ｙは図示の通りである。すなわち、液滴吐出ヘッド２２は、そのノズル列２８が主走査方向Ｘと交差する方向へ延びるように位置設定され、この主走査方向Ｘへ平行移動する間に、液状体である液状体を複数のノズル２７から選択的に吐出することにより、基板１２内の所定位置に液状体を着弾させる。また、液滴吐出ヘッド２２は副走査方向Ｙへ所定距離だけ平行移動することにより、液滴吐出ヘッド２２による主走査位置を所定の間隔でずらせることができる。

図５（Ａ）、（Ｂ）に示すように、液滴吐出ヘッド２２は、例えば、ステンレス製のノズルプレート２９と、それに対向する振動板３１と、それらを互いに接合する複数の仕切部材３２とを有する。ノズルプレート２９と振動板３１との間には、仕切部材３２によって複数の液状体室３３と液溜り３４とが形成される。複数の液状体室３３と液溜り３４とは通路３８を介して互いに連通している。振動板３１の適所には液状体供給孔３６が形成され、この液状体供給孔３６に液状体供給装置３７が接続される。この液状体供給装置３７は吐出されることとなる液状体Ｍを液状体供給孔３６へ供給する。供給された液状体Ｍは液溜り３４に充満し、さらに通路３８を通って液状体室３３に充満する。

ノズルプレート２９には、液状体室３３から液状体Ｍをジェット状（液滴）に噴射するためのノズル２７が設けられている。また、振動板３１の液状体室３３を形成する面の裏面には、この液状体室３３に対応させて液状体加圧体３９が取り付けられている。この液状体加圧体３９は、図５（Ｂ）に示すように、圧電素子４１ならびにこれを挟持する一対の電極４２ａおよび４２ｂを備えている。圧電素子４１は電極４２ａおよび４２ｂへの通電によって矢印Ｃで示す外側へ突出するように撓み変形し、これにより液状体室３３の容積が増大する。すると、増大した容積分に相当する液状体Ｍが液溜り３４から通路３８を通って液状体室３３へ流入する。

次に、圧電素子４１への通電を解除すると、この圧電素子４１と振動板３１とは共に元の形状へ戻る。これにより、液状体室３３も元の容積に戻るため、液状体室３３の内部にある液状体Ｍの圧力が上昇し、ノズル２７から基板１２へ向けて液状体Ｍが液滴８となって噴出する。なお、ノズル２７の周辺部には、液滴８の飛行曲がりやノズル２７の孔詰まりなどを防止するために、例えばＮｉ−テトラフルオロエチレン共析メッキ層からなる撥液状体層４３が設けられる。

（制御系の構成）
図６は、図１に示す液滴吐出装置の制御系を示すブロック図である。なお、図６に示す例では、制御系をコンピュータ本体部側に構成した例を示してあるが、その一部については、液滴吐出装置本体側に構成してもよい。

図１に示すコントロール装置２４は、プロセッサを収容したコンピュータ本体部６６と、入力装置６７としてのキーボードと、表示装置としてのＣＲＴ（Ｃａｔｈｏｄｅ−Ｒａｙ Ｔｕｂｅ）ディスプレイ６８とを有している。上記プロセッサは、図６に示すように、演算などの処理を行うＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ Ｕｎｉｔ／ヘッド制御手段）６９と、各種情報を記憶するメモリすなわち情報記憶媒体７１とを有しており、図１を参照して説明したヘッド位置制御装置１７、基板位置制御装置１８、主走査駆動装置１９、副走査駆動装置２１、および液滴吐出ヘッド２２内の圧電素子４１（図５を参照）を駆動するヘッド駆動回路７２などは、入出力インターフェース７３およびバス７４を介してＣＰＵ６９に接続されている。ヘッド駆動回路７２は、複数の液滴吐出ヘッド２２と基板１２との相対移動に連動し、所定のビットマップに基づいて複数の液滴吐出ヘッド２２の各ノズル２７から液滴を吐出させて基板１２に所定のパターンを描画するヘッド駆動手段を構成している。なお、基板供給装置２３、入力装置６７、ＣＲＴディスプレイ６８、電子天秤７８、クリーニング装置７７およびキャッピング装置７６なども、入出力インターフェース７３およびバス７４を介してＣＰＵ６９に接続されている。

情報記憶媒体７１としてのメモリは、ＲＡＭ（Ｒａｎｄｏｍ Ａｃｃｅｓｓ Ｍｅｍｏｒｙ）、ＲＯＭ（Ｒｅａｄ Ｏｎｌｙ Ｍｅｍｏｒｙ）などといった半導体メモリや、ハードディスク、ＣＤ−ＲＯＭ読取り装置、ディスク型記憶媒体などといった外部記憶装置などを含む概念であり、機能的には、液滴吐出装置１０の動作の制御手順が記述されたプログラムソフトを記憶する記憶領域、液状態の基板１２上における吐出位置（ビットマップ）を座標データとして記憶するためのビットマップ記憶領域（吐出位置データ）７１５、副走査方向Ｙへの基板１２の副走査移動量を記憶するための記憶領域、ＣＰＵ６９のためのワークエリアやテンポラリファイルなどとして機能する領域などの各種記憶領域が設定されている。

ＣＰＵ６９は、情報記憶媒体７１であるメモリ内に記憶されたプログラムソフトに従って、基板１２に表面の所定位置に液状体を吐出するための制御を行うものである。具体的な機能実現部として、クリーニング処理を実現するための演算を行うクリーニング演算部、キャッピング処理を実現するためのキャッピング演算部、電子天秤を用いた重量測定を実現するための演算を行う重量測定演算部、および液滴吐出によって所定のパターンを描画するための演算を行う描画演算部などを備えている。

この描画演算部を詳しく分割すれば、液滴吐出ヘッド２２を描画のための初期位置へセットするための描画開始位置演算部、液滴吐出ヘッド２２を主走査方向Ｘへ所定の速度で走査移動させるための制御を演算する主走査制御演算部、基板１２を副走査方向Ｙへ所定の副走査量だけずらせるための制御を演算する副走査制御演算部、および液滴吐出ヘッドの複数のノズル２７のうちのいずれを作動させて液状体を吐出するかを制御するためビットマップを形成するための演算を行うビットマップ演算部（ノズル吐出制御演算部）６９５などといった各種の機能演算部を有している。

さらに本形態では、情報記憶媒体７１としてのメモリには、複数の液滴吐出ヘッド２２の各々の動作履歴を記憶しておく動作履歴記憶領域７１６が設定されており、この動作履歴記憶領域７１６には、動作履歴として、液滴吐出ヘッド２２により描画対象の基板に液状体塗布が行われる際に生じるデータであって、液滴吐出ヘッド２２において液滴が吐出された回数の積算値であるショット数が記憶される。

また、ＣＰＵ６９には、動作履歴記憶領域７１６に記憶されている液滴吐出ヘッド２２毎の動作履歴に基づいて、複数の液滴吐出ヘッド２２のうち、いずれが寿命に到達したかを監視するヘッド寿命監視部６９６が構成されている。このヘッド寿命監視部６９６は、その液滴吐出ヘッド２２が今後有効に（正常に）液滴を吐出できる回数である残有効ショット数を算出し、この残有効ショット数でヘッド寿命を監視する。すなわち、残有効ショット数は、液滴吐出ヘッド２２の現時点における寿命を示すデータとみることができる。

この残有効ショット数の算出方法例について、次に述べる。実際に液滴吐出装置１０の構成要素となる液滴吐出ヘッド２２と同一に製造した試験用の液滴吐出ヘッド２２について、耐久試験を行う。具体的には試験用の液滴吐出ヘッド２２を用いて、液滴の連続吐出を行い、このときのショット数に対する液状体吐出特性を測定する。液状体吐出特性としては、吐出された液滴の飛行曲がり、液状体重量などが挙げられる。例えば、液滴の飛行曲がりが許容値を超えたとき、又は液状体重量が許容範囲から外れたときのショット数をその液滴吐出ヘッド２２の「有効ショット数」とする。この有効ショット数は、液滴吐出ヘッド２２についての平均寿命とみることができる。そして「有効ショット数」から、実際に製品基板を製造するために液滴吐出装置１０で使用されている液滴吐出ヘッド２２の「ショット数」を、引き算した結果が、前記「残有効ショット数」となる。従って、ショット数（積算値）又は残有効ショット数が所定値（基準値）に達した液滴吐出ヘッド２２については、寿命に到達したと判定することができる。従って、ヘッド寿命監視部６９６は、複数の液滴吐出ヘッド２２のうちのいずれが寿命に達したかを監視することができ、いずれの液滴吐出ヘッド２２が寿命に到達したかを示すヘッド情報を出力したとき、その結果については、ＣＲＴディスプレイ６８に表示することができる。

なお、上記動作履歴データとしては、液滴吐出ヘッド２２が使われている時間の積算時間である使用時間と、該液滴吐出ヘッドについての駆動電圧又は駆動電流波形と、前記液滴吐出ヘッドに供給される液状体の種類を示すデータとを加え、これらのデータも含めてヘッド寿命監視部６９６が寿命を判定するように構成してもよい。ここで、使用時間は、例えば、液滴吐出ヘッド２２にワークが供給されている状態の期間、又は液滴吐出装置１０に液滴吐出ヘッド２２が備え付けられてからの経過時間とする。

さらに、本形態では、ヘッド寿命監視部６９６が複数の液滴吐出ヘッド２２の中に寿命に到達したものが発生したと判定し、かつ、ヘッド寿命監視部６９６がいずれの液滴吐出ヘッド２２が寿命に到達したかを示すヘッド情報を出力したとき、ＣＰＵ６９においては、ビットマップ演算部６９５が、複数の液滴吐出ヘッド２２のうち、寿命に達した液滴吐出ヘッド２２を除く使用可能液滴吐出ヘッド２２によってパターンの描画を行うための別のビットマップを形成し、この別のビットマップが、情報記憶媒体７１としてのメモリのビットマップ記憶領域（吐出位置データ）７１５に記憶されるように構成されている。このような処理は、複数の液滴吐出ヘッド２２の中に新たに寿命に到達したものが発生するたびに行われる。従って、ＣＰＵ６９は、寿命に到達した液滴吐出ヘッドについては使用を停止し、新たに作成された別のビットマップに基づいて、残りの使用可能液滴吐出ヘッド２２でパターンの描画を行う。

（描画動作）
図３、図６および図７などを参照して、本形態の液滴吐出装置１０において、基板１２に所定のパターンを描画する動作を説明する。

図７は、図１に示す液滴吐出装置１０の動作を示すフローチャート図である。図７において、図１に示す液滴吐出装置１０を用いて基板１２にパターンの形成を開始する際には（ステップＳＴ１）、まず、新しい液滴吐出ヘッド２２を新たなキャリッジ２６に組み付けた後（ステップＳＴ２）、このキャリッジ２６を液滴吐出装置１０に搭載する（ステップＳＴ３）。この場合には、ヘッド寿命監視部６９６は、動作履歴記憶領域７１６に記憶されているデータが初期化された状態にあるので、全ての液滴吐出ヘッド２２が使用可能である旨を出力する（ステップＳＴ４）。従って、ビットマップ演算部６９５は、全ての液滴吐出ヘッド２２を用いて基板１２にパターンを形成するためのビットマップを作成し、ビットマップ記憶領域（吐出位置データ）７１５に記憶させる（ステップＳＴ５）。

次に、ＣＰＵ６９は、ビットマップを展開し（ステップＳＴ６）、描画動作を行わせる（ステップＳＴ７）。すなわち、図３（Ａ）に示すように、キャリッジ２６が移動するとともに、各液滴吐出ヘッド２２（液滴吐出ヘッド２２ａ、２２ｂ、２２ｃ）のノズル２７から液状体の液滴が吐出される。その結果、基板１２には、所定のパターンが形成される。このようにして、描画の１サイクルが終わると、動作履歴記憶領域７１６に記憶されている動作履歴が書き換えられる（ステップＳＴ８）。

次に、ヘッド寿命監視部６９６は、動作履歴記憶領域７１６に記憶されている動作履歴に基づいて、複数の液滴吐出ヘッド２２の中に寿命に到達したものがあるか否かを判断する（ステップＳＴ９）。ここで、寿命に到達した液滴吐出ヘッド２２がないときには、ステップＳＴ７に戻って、上記の動作を繰り返す。

これに対して、ステップＳＴ９で、ヘッド寿命監視部６９６が複数の液滴吐出ヘッド２２の中に寿命に到達したものがあると判断したときには、寿命に達した液滴吐出ヘッド２２を除く使用可能液滴吐出ヘッド２２の数が１以上か否かを判断する（ステップＳＴ１０）。その結果、使用可能液滴吐出ヘッド２２の数が１以上である場合には、いずれの液滴吐出ヘッド２２が寿命に到達したかのヘッド情報を出力し（ステップＳＴ１１）、ステップＳＴ５に移る。従って、ビットマップ演算部６９５は、寿命に達した液滴吐出ヘッド２２を除く使用可能液滴吐出ヘッド２２で基板１２にパターンを形成するためのビットマップを作成し、ビットマップ記憶領域（吐出位置データ）７１５に記憶させ（ステップＳＴ５）、再び、描画動作を行う（ステップＳＴ７）。例えば、図３（Ｂ）に示すように、液滴吐出ヘッド２２ａ、２２ｂ、２２ｃのうち、液滴吐出ヘッド２２ｃが寿命に到達した場合には、液滴吐出ヘッド２２ｃの使用を停止し、液滴吐出ヘッド２２ａ、２２ｂのみでパターンを形成した後、図３（Ｃ）に示すように、液滴吐出ヘッド２２ａのみでパターンを形成する。

このような動作を繰り返すうちに、ステップＳＴ１０において、使用可能液滴吐出ヘッド２２の数が１未満であると判断されたときには、ステップＳＴ２で、新しい液滴吐出ヘッド２２を新たなキャリッジ２６に組み付けた後、このキャリッジ２６を液滴吐出装置１０に搭載し（ステップＳＴ３）、以降の動作を繰り返す。

（本形態の効果）
以上説明したように、本形態の液滴吐出装置１０では、複数の液滴吐出ヘッド２２を用いているため、配置位置などにより液滴吐出ヘッド２２の使用頻度が異なり、複数の液滴吐出ヘッド２２の一部のみが寿命に到達し、吐出不良を起こすことがあるが、複数の液滴吐出ヘッド２２の各々について寿命を監視し、寿命に到達した液滴吐出ヘッド２２については、使用を停止する。従って、寿命に到達した液滴吐出ヘッド２２での吐出不良が原因でワークの歩留まりが低下することを防止できる。

しかも本形態では、寿命に到達した液滴吐出ヘッド２２の使用を停止する一方、別のビットマップに基づいて、残りの使用可能液滴吐出ヘッド２２でパターンの描画を行う。従って、寿命に到達した液滴吐出ヘッド２２が発生した場合でも、パターンの描画を継続することができるので、ワークの生産性を向上することができる。

また、複数の液滴吐出ヘッド２２の各々について寿命を監視するので、寿命に到達した液滴吐出ヘッド２２のみを交換することもできる。

さらに本形態では、液滴吐出ヘッド２２の動作履歴に基づいて寿命に到達したか否かを判断する。すなわち、動作履歴により液滴吐出ヘッド２２がどのような使用態様でどれだけ使用されてきたか正確に把握して管理することができる。そして、動作履歴に基づいて液滴吐出ヘッド２２が受けたダメージ量を算出でき、その液滴吐出ヘッドが不良動作しだす時期である製品寿命に近いか否かなどを判断することができる。それ故、本形態の液滴吐出装置１０によれば、液滴吐出ヘッド２２が不良となって吐出位置が外れるなどして製品基板に不良を出す前に、吐出不良となる直前の液滴吐出ヘッド２２を確実に見つけ出し、それに対応することができる。また、各液滴吐出ヘッド２２ａ、２２ｂ、２２ｃを寿命一杯まで有効利用することができるという利点もある。

（その他の実施の形態）
なお、上記形態では、その都度、ビットマップの形成を行う例であったが、予め、複数のビットマップを形成しておき、メモリに記憶させておいてもよい。また、上記形態では、液滴吐出ヘッド２２の数が３であったが、さらに多数の液滴吐出ヘッド２２を設けてもよい。また、上記形態では、使用可能液滴吐出ヘッド２２の数が１以上である場合にパターンの描画を継続する構成であったが、生産性を考慮して最適な数に設定すればよい。

（電気光学装置の製造方法）
次に、本形態の液滴吐出装置１０を用いて製造される電気光学装置の製造方法について、図８から図１０を参照して説明する。本製造方法では、電気光学装置の一つである有機ＥＬ装置を挙げている。この有機ＥＬ装置は、アクティブマトリックス型の表示装置をなすものである。図８から図１０は、ＥＬ表示素子を用いたアクティブマトリックス型の表示装置をなす有機ＥＬ装置の製造工程の手順を示す製造工程断面図である。

（前処理）
まず、図８（Ａ）に示すように、透明の表示基板５０２に対して、必要に応じて、テトラエトキシシラン（ｔｅｔｒａｅｔｈｏｘｙｓｉｌａｎｅ：ＴＥＯＳ）や酸素ガスなどを原料ガスとしてプラズマＣＶＤ（Ｃｈｅｍｉｃａｌ ＶａｐｏｒＤｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）法により、厚さ寸法が約２０００〜５０００オングストロームのシリコン酸化膜である図示しない下地保護膜を形成する。次に、表示基板５０２の温度を約３５０℃に設定し、下地保護膜の表面にプラズマＣＶＤ法により厚さ寸法が約３００〜７００オングストロームの非晶質のシリコン膜である半導体膜５２０ａを形成する。この後、半導体膜５２０ａに対して、レーザアニールまたは固相成長法などの結晶化工程を実施し、半導体膜５２０ａをポリシリコン膜に結晶化する。ここで、レーザアニール法では、例えばエキシマレーザでビームの長寸が約４００ｎｍのラインビームを用い、出力強度が約２００ｍＪ／ｃｍ²である。ラインビームについては、その短寸方向におけるレーザ強度のピーク値の約９０％に相当する部分が各領域毎に重なるようにラインビームが走査される。

そして、図８（Ｂ）に示すように、半導体膜５２０ａをパターニングして島状の半導体膜５２０ｂを形成する。この半導体膜５２０ｂが設けられた表示基板５０２の表面に、ＴＥＯＳや酸素ガスなどを原料ガスとしてプラズマＣＶＤ法により厚さ寸法が約６００〜１５００オングストロームのシリコン酸化膜あるいは窒化膜であるゲート絶縁膜５２１ａを形成する。なお、半導体膜５２０ｂは、カレント薄膜トランジスタ５１０のチャネル領域およびソース・ドレイン領域となるものであるが、異なる断面位置においてはスイッチング薄膜トランジスタ５０９のチャネル領域およびソース・ドレイン領域となる図示しない半導体膜も形成されている。すなわち、図８（Ａ）、（Ｂ）に示す製造工程では二種類のスイッチング薄膜トランジスタ５０９およびカレント薄膜トランジスタ５１０が同時に形成されるが、同じ手順で形成されるため、以下の説明では、カレント薄膜トランジスタ５１０についてのみ説明し、スイッチング薄膜トランジスタ５０９については説明を省略する。

この後に、図８（Ｃ）に示すように、アルミニウム、タンタル、モリブデン、チタン、タングステンなどの金属膜である導電膜をスパッタ法により形成した後にパターニングし、ゲート電極５１０Ａを形成する。この状態で、高温度のリンイオンを打ち込み、半導体膜５２０ｂにゲート電極５１０Ａに対して自己整合的にソース・ドレイン領域５１０ａ、５１０ｂを形成する。なお、不純物が導入されなかった部分がチャネル領域５１０ｃとなる。

次に、図８（Ｄ）に示すように、層間絶縁膜５２２を形成した後、コンタクトホール５２３、５２４を形成し、これらコンタクトホール５２３、５２４内に中継電極５２６、５２７を埋め込み形成する。

さらに、図８（Ｅ）に示すように、層間絶縁膜５２２上に、信号線５０４、共通給電線５０５および走査線（図８中には図示しない）を形成する。このとき、信号線５０４、共通給電線５０５および走査線の各配線は、配線として必要な厚さ寸法にとらわれることなく、十分に厚く形成する。具体的には、各配線を例えば１〜２μｍ程度の厚さ寸法に形成するとよい。ここで、中継電極５２７と各配線とは、同一工程で形成されていてもよい。このとき、中継電極５２６は、後述するＩＴＯ膜により形成される。

そして、各配線の上面を覆うように層間絶縁膜５３０を形成し、中継電極５２６に対応する位置にコンタクトホール５３２を形成する。このコンタクトホール５３２内を埋めるようにＩＴＯ膜を形成し、このＩＴＯ膜をパターニングして、信号線５０４、共通給電線５０５および走査線に囲まれた所定位置に、ソース・ドレイン領域５１０ａに電気的に接続する画素電極５１１を形成する。

ここで、図８（Ｅ）では、信号線５０４および共通給電線５０５に挟まれた部分が、光学材料が選択的に配置される所定位置に相当するものである。そして、その所定位置とその周囲との間には、信号線５０４や共通給電線５０５によって段差５３５が形成される。具体的には、所定位置の方がその周囲よりも低く、凹型の段差５３５が形成される。

（ＥＬ発光材料の吐出）
次に、上述の前処理が実施された表示基板５０２に液滴吐出方式により、機能性液状体であるＥＬ発光材料を吐出する。すなわち、図９（Ａ）に示すように、前処理が実施された表示基板５０２の上面を上方に向けた状態で、発光素子１４０の下層部分に当たる正孔注入層５１３Ａを形成するための機能性液状体としての溶媒に溶かされた溶液状の前駆体である光学材料５４０Ａを、上述した液滴吐出装置１０を用いて吐出し、段差５３５で囲まれた所定位置の領域内に選択的に塗布する。

この吐出により正孔注入層５１３Ａを形成するための光学材料５４０Ａとしては、ポリマー前駆体がポリテトラヒドロチオフェニルフェニレンであるポリフェニレンビニレン、１、１−ビス−（４−Ｎ、Ｎ−ジトリルアミノフェニル）シクロヘキサン、トリス（８−ヒドロキシキノリノール）アルミニウムなどが用いられる。

なお、この吐出の際、流動性を有した液状体の光学材料５４０Ａは、流動性が高いので平面方向に広がろうとするが、塗布された位置を取り囲むように段差５３５が形成されているため、光学材料５４０Ａの１回当たりの吐出量を極端に大量にしなければ、光学材料５４０Ａは段差５３５を越えて所定位置の外側に広がることは防止される。

そして、図９（Ｂ）に示すように、加熱又は光照射などにより液状の光学材料５４０Ａの溶媒を蒸発させ、画素電極５１１上に固形の薄い正孔注入層５１３Ａを形成する。この図９（Ａ）、（Ｂ）を必要回数繰り返し、図９（Ｃ）に示すように、十分な厚さ寸法の正孔注入層５１３Ａを形成する。

次に、図１０（Ａ）に示すように、表示基板５０２の上面を上に向けた状態で、発光素子５１３の上層部分に有機半導体膜５１３Ｂを形成するための機能性液状体としての溶媒に溶かされた溶液状の有機蛍光材料である光学材料５４０Ｂを、上述した各液滴吐出装置１０を用いて吐出し、これを段差５３５で囲まれた所定位置である領域内に選択的に塗布する。なお、この光学材料５４０Ｂについても、上述した光学材料５４０Ａの吐出と同様に、段差５３５を越えて所定位置の外側に広がることは防止される。

この吐出により有機半導体膜５１３Ｂを形成するための光学材料５４０Ｂとしては、シアノポリフェニレンビニレン、ポリフェニレンビニレン、ポリアルキルフェニレン、２、３、６、７−テトラヒドロ−１１−オキソ−１Ｈ・５Ｈ・１１Ｈ（１）ペンゾビラノ［６、７、８−ｉｊ］−キノリジン−１０−カルボン酸、１、１−ビス−（４−Ｎ、Ｎ−ジトリルアミノフェニル）シクロヘキサン、２−１３・４'−ジヒドロキシフェニル）−３、５、７−トリヒドロキシー１―ベンゾピリリウムパークロレート、トリス（８−ヒドロキシキノリノール）アルミニウム、２、３・６・７−テトラヒドロ−９−メチル−１１−オキソ−１Ｈ・５Ｈ・１１Ｈ（１）ベンゾピラノ［６、７、８−ｉｊ］−キノリジン、アロマティックジアミン誘導体（ＴＤＰ）、オキシジアゾールダイマ（ＯＸＤ）、オキシジアゾール誘導体（ＰＢＤ）、ジスチルアリーレン誘導体（ＤＳＡ）、キノリノール系金属錯体、ベリリウムーベンゾキノリノール錯体（Ｂｅｂｑ）、トリフェニルアミン誘導体（ＭＴＤＡＴＡ）、ジスチリル誘導体、ピラゾリンダイマ、ルブレン、キナクリドン、トリアゾール誘導体、ポリフェニレン、ポリアルキルフルオレン、ポリアルキルチオフェン、アゾメチン亜鉛錯体、ポリフイリン亜鉛錯体、ベンゾオキサゾール亜鉛錯体、フェナントロリンユウロピウム錯体などが用いられる。

次に、図１０（Ｂ）に示すように、加熱又は光照射などにより、光学材料５４０Ｂの溶媒を蒸発させ、正孔注入層５１３Ａ上に、固形の薄い有機半導体膜５１３Ｂを形成する。この図１０（Ａ）、（Ｂ）を必要回数繰り返し、図１０（Ｃ）に示すように、十分な厚さ寸法の有機半導体膜５１３Ｂを形成する。正孔注入層５１３Ａおよび有機半導体膜５１３Ｂによって、発光素子５１３が構成される。最後に、図１０（Ｄ）に示すように、表示基板５０２の表面全体、若しくはストライプ状に反射電極５１２を形成し、表示装置５０１を製造する。

このように本実施形態の製造方法によれば、液滴吐出方式を用いているので、有機ＥＬ装置の製造工程において無駄となる材料を低減することができ、低コストで高品質な有機ＥＬ装置を製造することができる。また、本実施形態の製造方法によれば、複数の液滴吐出ヘッド２０ａ、２０ｂ、２０ｃを備えた液滴吐出装置１０を用いて製造するので、大画面の表示装置をなす有機ＥＬ装置（基板）について、より迅速にかつ高解像度に製造することができる。そして、液滴吐出装置１０は各液滴吐出ヘッド２０ａ、２０ｂ、２０ｃについて吐出不良を回避しながら寿命一杯まで有効利用することができるので、かかる大画面の有機ＥＬ装置について、高品質に且つ低コストで製造することができる。

（その他の適用例）
なお、上記形態では、本形態の液滴吐出装置１０を有機ＥＬ装置の製造工程に用いた例であったが、液晶表示装置のカラーフィルタの形成に用いるなど、有機ＥＬ装置に限らず、液晶表示装置やプラズマ表示装置などの電気光学装置を製造する工程で用いてもよい。

（電子機器）
次に、上記実施形態に係る有機ＥＬ装置の製造方法を用いて製造された有機ＥＬ装置を備えた電子機器について説明する。図１１（Ａ）は、携帯電話の一例を示した斜視図である。図１１（Ａ）において、符号１０００は携帯電話本体を示し、符号１００１は上記実施形態の有機ＥＬ装置からなる表示部を示している。図１１（Ｂ）は、腕時計型電子機器の一例を示した斜視図である。図１１（Ｂ）において、符号１１００は時計本体を示し、符号１１０１は上記実施形態の有機ＥＬ装置からなる表示部を示している。図１１（Ｃ）は、ワープロ、パソコンなどの携帯型情報処理装置の一例を示した斜視図である。図１１（Ｃ）において、符号１２００は情報処理装置、符号１２０２はキーボードなどの入力部、符号１２０４は情報処理装置本体、符号１２０６は上記実施形態の有機ＥＬ装置からなる表示部を示している。

図１１（Ａ）〜（Ｃ）に示す電子機器はいずれも、上記実施形態の液滴吐出装置１０を用いて製造されているので、高品質な画像を表示でき不具合が発生しないなど高性能としながら、低価格で提供することができる。

なお、本発明の技術範囲は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能であり、実施形態で挙げた具体的な材料や構成などはほんの一例に過ぎず、適宜変更が可能である。

本発明の実施形態に係る液滴吐出装置の全体構成を示す斜視図である。 図１に示す液滴吐出装置の要部を含む部分斜視図である。 図１に示す液滴吐出装置に用いたヘッドユニットを模式的に示す平面図である。 図１に示す液滴吐出装置に用いた液滴吐出ヘッドの構成を模式的に示す説明図である。 図４に示す液滴吐出ヘッドの内部構造を模式的に示す説明図である。 図１に示す液滴吐出装置の制御系を示すブロック図である。 図１に示す液滴吐出装置の動作を示すフローチャート図である。 有機ＥＬ装置の製造工程の手順を示す断面図である。 有機ＥＬ装置の製造工程の手順を示す断面図である。 有機ＥＬ装置の製造工程の手順を示す断面図である。 有機ＥＬ装置を備えた電子機器を示す斜視図である。

符号の説明

１０ 液滴吐出装置、１２ 基板（ワーク）、２２、２２ａ、２２ｂ、２２ｃ 液滴吐出ヘッド、２６ キャリッジ（ヘッドユニット）、６９ ＣＰＵ（ヘッド制御手段）、７２ ヘッド駆動回路（ヘッド駆動手段）６９６ ヘッド寿命監視部、７１６ 動作履歴記憶領域、６９５ ビットマップ演算部、７１５ ビットマップ記憶領域

Claims (11)

1. 所定のビットマップに基づいて複数の液滴吐出ヘッドの各ノズルから液滴を吐出してワークに所定のパターンを描画する液滴吐出方法において、
   前記複数の液滴吐出ヘッドの各々について寿命を監視し、
   前記複数の液滴吐出ヘッドの中に寿命に到達したものが発生したときには、別のビットマップに基づいて、前記寿命に達した液滴吐出ヘッドを除く使用可能液滴吐出ヘッドによって前記パターンの描画を行うことを特徴とする液滴吐出方法。
2. 請求項１において、前記複数の液滴吐出ヘッドの各々について寿命を監視するにあたっては、前記複数の液滴吐出ヘッドの各々について動作履歴を監視し、当該動作履歴の監視結果に基づいて前記液滴吐出ヘッドが寿命に到達したか否かを判断することを特徴とする液滴吐出方法。
3. 請求項２において、前記動作履歴は、前記液滴吐出ヘッドにおいて液滴が吐出された回数の積算値であるショット数のデータ、前記液滴吐出ヘッドが使用された時間を積算した使用時間のデータ、前記液滴吐出ヘッドについての駆動電圧又は駆動電流波形を示すデータ、および前記液滴吐出ヘッドに供給される液状体の種類を示すデータのうちの少なくとも１つに基づくデータであることを特徴とする液滴吐出方法。
4. 請求項１ないし３のいずれかにおいて、前記複数の液滴吐出ヘッドの中に寿命に到達したものが発生したときには、いずれの液滴吐出ヘッドに寿命が発生したかを示すヘッド情報に基づいて前記別のビットマップを作成し、当該別のビットマップに基づいて、前記使用可能液滴吐出ヘッドを動作させて前記パターンの描画を行うことを特徴とする液滴吐出方法。
5. 請求項１ないし４のいずれかにおいて、前記複数の液滴吐出ヘッドの中に寿命に到達したものが発生したときには、前記使用可能液滴吐出ヘッドの数を確認し、
   前記使用可能液滴吐出ヘッドの数が所定数以上のときには、当該使用可能液滴吐出ヘッドによって前記パターンを描画し続け、前記使用可能液滴吐出ヘッドの数が所定数を下回るときには、前記パターンの描画を停止して前記複数の液滴吐出ヘッドの全てを交換することを特徴とする液滴吐出方法。
6. 液滴を吐出可能なノズルを備えた複数の液滴吐出ヘッドと、
   該複数の液滴吐出ヘッドとワークとを相対移動させる移動手段と、
   前記複数の液滴吐出ヘッドと前記ワークとの相対移動に連動し、所定のビットマップに基づいて前記複数の液滴吐出ヘッドの各ノズルから液滴を吐出させて前記ワークに所定のパターンを描画するヘッド駆動手段とを有する液滴吐出装置において、
   前記複数の液滴吐出ヘッドの各々について寿命を監視するヘッド寿命監視手段と、
   前記複数の液滴吐出ヘッドの中に寿命に到達したものが発生したときには、別のビットマップに基づいて、前記寿命に達した液滴吐出ヘッドを除く使用可能液滴吐出ヘッドによって前記パターンの描画を行わせるヘッド制御手段とを有することを特徴とする液滴吐出装置。
7. 請求項６において、前記ヘッド寿命監視手段は、前記複数の液滴吐出ヘッドの各々について寿命を監視するにあたっては、前記複数の液滴吐出ヘッドの各々について動作履歴を監視し、当該動作履歴の監視結果に基づいて前記液滴吐出ヘッドが寿命に到達したか否かを判断することを特徴とする液滴吐出装置。
8. 請求項７において、前記動作履歴は、前記液滴吐出ヘッドにおいて液滴が吐出された回数の積算値であるショット数のデータ、前記液滴吐出ヘッドが使用された時間を積算した使用時間のデータ、前記液滴吐出ヘッドについての駆動電圧又は駆動電流波形を示すデータ、および前記液滴吐出ヘッドに供給される液状体の種類を示すデータのうちの少なくとも１つに基づくデータであることを特徴とする液滴吐出装置。
9. 請求項６ないし８のいずれかにおいて、前記ヘッド制御手段は、前記ビットマップを形成するビットマップ形成手段を有し、
   前記ヘッド寿命監視手段は、前記複数の液滴吐出ヘッドの中に寿命に到達したものが発生したときには、いずれの液滴吐出ヘッドが寿命に到達したかを示すヘッド情報を前記ビットマップ形成手段に出力し、
   前記ビットマップ形成手段は、前記ヘッド情報に基づいて、前記使用可能液滴吐出ヘッドによって前記パターンの描画を行うための前記別のビットマップを形成することを特徴とする液滴吐出装置。
10. 請求項６ないし９のいずれかにおいて、前記ヘッド制御手段は、前記複数の液滴吐出ヘッドの中に寿命に到達したものが発生したときには、前記使用可能液滴吐出ヘッドの数を確認し、前記使用可能液滴吐出ヘッドの数が所定数以上のときには、当該使用可能液滴吐出ヘッドによって前記パターンを描画し続けさせ、前記使用可能液滴吐出ヘッドの数が所定数を下回るときには、前記パターンの描画を停止することを特徴とする液滴吐出装置。
11. 請求項１ないし５のいずれかに規定する液滴吐出方法を用いて電気光学装置を製造することを特徴とする電気光学装置の製造方法。

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