JP2005315673A - 微弱磁場の計測装置及び計測方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 磁場或いは磁束に対して周期的な入出力特性を有するセンサと、前記センサからの出力をフィードバックすることにより、動作点を一点にロックして被検体の発する微弱な磁場を検出するセンサ駆動機構と、少なくとも前記センサを移動させる移動機構と、前記移動機構の移動/停止を制御する移動制御部と、前記移動制御部による移動/停止に連動し、前記センサ駆動機構のロック状態とロック解除状態の切り替えを制御する計測動作制御部とを有する微弱磁場の計測装置とする。
【選択図】 図6
Description
SQUIDを用いると、材料の微細な亀裂や損傷等の劣化、並びに構造物内部の傷等を非接触で検査できることが実験室レベルで明らかになっており、最近SQUID磁気センサの非破壊検査分野への利用の期待度が高まっている。
IB max=2I0|cos(πΦ/Φ0)|
つまり、超電導臨界電流は、磁束量子Φ0の整数倍の磁束を感知している時に最も大きく、半整数倍の時にはゼロとなり、リングを貫く外部の磁束によって周期的に変動する。さらに、ある一定値にバイアス電流を固定すると、臨界電流の変化を反映して素子の直流電圧もまた外部の磁束に対して周期的に変化する。実際に、磁束/電圧の変換作用が得られる素子とするためには、磁場感度に関わる超電導リングの寸法やヒステリシスが生じないバイアス電流の大きさ等の諸条件を考慮する必要があり、回路設計上のパラメータは、数値計算などにより解析的に解かれる。一例として、シャント抵抗(ジョセフソン接合のトンネル抵抗が大きいため)R=1Ω、自己インダクタンスL=1nH、及びバイアス電流IB=1μAとすれば、Φ0あたり2μVの電圧が得られる素子が設計できる。
このように、いずれの先行事例をとっても、SQUID磁気センサ自体を移動させて連続測定を行う技術は全く開示されてない。
まず、SQUID磁気センサがあるA地点から次のA´地点に動く場合、たとえ1mm程度でも環境磁気ノイズの影響が大きい事は先に述べた。そこで、センサ自身が自走する連続測定の間、SQUID磁気センサは、図8に示すようにSQUIDロック工程とSQUIDロック解除工程とを連続的に繰り返す。
第1点目では、Btotal n=BINT n、第2点目では、Btotal n+1=BEX n+1+BINT n+1、第3点目では、Btotal n+2=(BEX n+1+BEX n+2)+BINT n+2、第4点目では、Btotal n+3=(BEX n+1+BEX n+2+BEX n+3)+BINT n+3・・・となり、前述のようにBEX n>>BINT nであるから、仮に1〜2点目までの計測は可能であっても、図4に示すようにオフセットが生じ、何点目かではダイナミックレンジを必ず越えてしまう。
図6は、本発明に係る微弱磁場の計測装置の構成を示すブロック図である。
センサ駆動機構2によって、周期的な入出力特性を有するセンサ1を駆動する。駆動は、センサからの出力をフィードバックし、動作点をセンサの周期的な入出力特性の一点に固定するように行なわれる。これにより、フィードバック量として磁場、或いは磁気を検出する。移動機構3は、周期的な入出力特性を有するセンサ1、或いは周期的な入出力特性を有するセンサ1を含む、移動可能な構成要素全体を機械的に移動し、センサ1を被検体に沿って移動させる。移動可能な構成要素は、センサ1とセンサ駆動機構2、センサ1とセンサ駆動機構2と計測動作制御部4などが考えられる。移動制御部5は、この移動機構3の移動と停止を制御し、移動と停止を繰返しながら被検体に対する所定の検査エリアの走査を可能とする。この移動制御部5と計測動作制御部4は連動して動作する。計測動作制御部4は、センサ或いはセンサを含む移動可能な構成要素の移動時には、センサをロック解除状態としセンサを休止モードとし、動作点は固定せず、その時のセンサへの入力に応じた周期的な入出力特性上の点に移る。センサ或いはセンサを含む移動可能な構成要素の停止時には、計測動作制御部4は、センサをロック状態としセンサの動作点を周期的な入出力特性上の一点に固定することで、入出力特性を線形化し、磁場或いは磁気の計測が可能な状態にする。
SQUID磁気センサ(A-1)を動かす機械的な移動、並びにSQUID磁気センサ(A-1)の動作のロック状態とロック解除状態の切り替えをマッチングさせた制御は図8に基づいて行なわれる。検査する領域(例えば1メートル四方)と検査間隔(例えば1mmピッチ)とを、移動動作設定工程で、SQUID磁気センサ(A-1)を移動させるSQUID移動制御部(B-2)に入力する。必要に応じて交流信号印加機構(A-4)により、被検体に電流、電圧、磁気、光、熱などの方法で、交流の信号を印加する。1チャンネルのSQUID磁気センサの場合を例にとれば、まずデータ取得工程でスタート開始地点の第1点目の計測を行う。次に、SQUIDロック解除工程でSQUID磁気センサ(A-1)のロックを一旦解除しロック解除状態とし、一時的にSQUID磁気センサ(A-1)の動作を休止モードとして、移動工程で検査間隔分だけSQUID磁気センサ(A-1)を動かして、移動停止工程でSQUID磁気センサ(A-1)を停止し、第2点目に移動させ、SQUIDロック工程で、SQUID磁気センサ(A-1)をロック状態に戻し、データ取得工程で計測を行う。このように瞬時で行なわれる一連の計測手順を連続して繰り返すことにより、検査範囲全てをSQUID磁気センサ(A-1)自体が走査することによって検査が完了する。計測時にはSQUID磁気センサ(A-1)は停止するため、その移動はディジタル的に不連続であり、測定時間から逆算すると、一点あたり役0.2秒(参考値)費やしている。言うまでもなく、検査範囲の上限や検査ピッチの下限は、SQUID移動機構(B-1)の機械的な性能に依存しており、検査対象に応じた選定が必要となる。
例えば、図7の点線内がSQUID移動機構(B-1)によって自走する部分であるが、各種フィールドで据付が自由な検査装置の場合は、機器のコンパクト化により、検査装置の各構成部全体又は一部を含めて移動することは任意である。当然、SQUIDのチャンネル数を増やした場合には、1個の場合よりも検査スピードの向上や確度の向上が期待できる。
また、交流信号印加機構(A-4)により交流の信号を印加し、それに対応する磁気信号の変化を、磁気計測部(A-3)で同期検波することは、S/Nの向上や計測値の連続性の精度を上げるために有効である。
2 センサ駆動機構
3 移動機構
4 計測動作制御部
5 移動制御部
A−1 SQUID磁気センサ
A−2 SQUID動作制御部
A−3 磁気計測部
A−4 交流信号印加機構
B−1 SQUID移動機構
B−2 SQUID移動制御部
C 計測制御部
Claims (4)
- 磁場或いは磁束に対して周期的な入出力特性を有するセンサと、
前記センサからの出力をフィードバックすることにより、動作点を一点にロックして被検体の発する微弱な磁場を検出するセンサ駆動機構と、
少なくとも前記センサを移動させる移動機構と、
前記移動機構の移動/停止を制御する移動制御部と、
前記移動制御部による移動/停止に連動し、前記センサ駆動機構のロック状態とロック解除状態の切り替えを制御する計測動作制御部と、
を有することを特徴とする微弱磁場の計測装置。 - 検出コイル及び該検出コイルにより検出された磁場に基づく磁束に応じて電気信号を出力するSQUID素子(超電導量子干渉素子)を有し、
前記SQUID素子から出力された電気信号を磁束として当該SQUID素子にフィードバックすることにより前記SQUID素子の周期的な電圧/磁束特性上の一点に動作点をロックして被検体の発する微弱磁場を計測するSQUID磁気センサと、
前記SQUID磁気センサを移動させる移動機構と、
前記移動機構を、移動/停止を繰り返し、前記SQUID磁気センサで前記被検体の磁場計測範囲を走査させる移動制御部と、
前記移動制御部による前記SQUID磁気センサの移動/停止に連動して、前記SQUID磁気センサのロック解除状態とロック状態を繰り返し操作する計測動作制御部と、
前記被検体に交流の信号を印加する交流信号印加機構と、
を有することを特徴とする微弱磁場の計測装置。 - 磁場或いは磁束に対して周期的な入出力特性を有するセンサと、
前記センサからの出力をフィードバックすることにより、動作点を一点にロックして被検体の発する微弱な磁場を検出するセンサ駆動機構とを用い、移動機構で被検体上を走査し計測する際に、
前記センサのロック解除工程と、
ロック解除の状態で測定位置を移動する移動工程と、
目的の測定位置で移動を停止する移動停止工程と、
前記センサをロック状態にするロック工程と、
前記ロック状態で磁場を計測するデータ取得工程と、
を有することを特徴とする微弱磁場の計測方法。 - 検出コイル及び該検出コイルにより検出された磁場に基づく磁束に応じて電気信号を出力するSQUID素子(超電導量子干渉素子)を有し、
前記SQUID素子から出力された電気信号を磁束として当該SQUID素子にフィードバックすることにより前記SQUID素子の周期的な電圧/磁束特性上の一点に動作点をロックして被検体の発する微弱磁場を計測するSQUID磁気センサを用い、
前記SQUID磁気センサは、移動工程と移動停止工程で、移動/停止を繰り返して被検体上の磁場計測範囲を走査し、
その際、移動時はSQUIDロック解除工程により当該SQUID磁気センサをロック解除状態として磁場の計測を休止し、
停止時にはSQUIDロック工程によりSQUID磁気センサをロック状態として、データ取得工程で磁場を計測することを特徴とする微弱磁場の計測方法。
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JP2007132923A (ja) * | 2005-10-11 | 2007-05-31 | Osaka Univ | 非破壊検査装置および非破壊検査装置のコイルの設計方法 |
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