JP2005315615A - Test card - Google Patents
Test card Download PDFInfo
- Publication number
- JP2005315615A JP2005315615A JP2004131100A JP2004131100A JP2005315615A JP 2005315615 A JP2005315615 A JP 2005315615A JP 2004131100 A JP2004131100 A JP 2004131100A JP 2004131100 A JP2004131100 A JP 2004131100A JP 2005315615 A JP2005315615 A JP 2005315615A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- probe
- test card
- circuit board
- fixed
- platform
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Measuring Leads Or Probes (AREA)
Abstract
Description
本発明は、テストカード、特にプローブと測定待ち素子との相対的な位置を調整可能なテストカードに関するものである。 The present invention relates to a test card, and more particularly to a test card capable of adjusting a relative position between a probe and a measurement waiting element.
テストカードは、測定待ち素子の規格例えばピン数(Pin count)、ピッチ(Pitch)、大きさ(Pad size)など、および測定器の台の設定高さ(probe depth)に基づいて製造される。測定待ち素子の電気特性を測定するとき、テストカードのプローブは測定器の台のテスト信号を測定待ち素子に伝送すると共に、測定された電気特性パラメータを測定器の台に返送して電気特性の分析に供する。 The test card is manufactured based on the specifications of the element to be measured, for example, the number of pins (Pin count), the pitch (Pitch), the size (Pad size), and the set height of the measuring instrument base (probe depth). When measuring the electrical characteristics of the element to be measured, the test card probe transmits a test signal from the measuring instrument base to the element to be measured, and returns the measured electric characteristic parameter to the measuring instrument base. Use for analysis.
図1は従来のテストカード10の断面図である。図1に示すように、このテストカード10は回路板12、回路板12上に取り付けられた支持体14、支持体14上に固定された複数本のプローブ16、プローブ16と導線26とを電気的に接続する導電孔20を有してなる。プローブ16の水平位置が使用時間の増加によってずれることを防ぐために、プローブ16はエポキシ樹脂24によって支持体14に固定されている。測定するとき、テストカード10は測定器の台(図1に示していない)の上に設置され、そのプローブ16は測定待ち素子30の信号接点38と電気的に接触することによって電気特性パラメータ測定信号を伝送することができるようになる。
FIG. 1 is a cross-sectional view of a
このような従来のテストカードは以下の短所がある。 Such conventional test cards have the following disadvantages.
1.テストカードは特定の測定待ち素子にしか適用することができない。従来のテストカードは測定待ち素子と測定器の台の規格に合せて製作され、さらにそのプローブがエポキシ樹脂によって回路板上に固定されている。そのため、一旦テストカードが出来上がると、その特定の規格の測定待ち素子にしか適用することができない。測定待ち素子のプローブの配列方式や、ピッチなどが変わると、新しい規格に合ったテストカードを作り直さなければならず、測定コストが大幅に上ってしまうという問題がある。 1. Test cards can only be applied to specific measurement-waiting elements. A conventional test card is manufactured in conformity with the specifications of a measurement waiting element and a measuring instrument base, and its probe is fixed on a circuit board by an epoxy resin. For this reason, once a test card is completed, it can be applied only to a measurement waiting element of the specific standard. If the arrangement of probes for the elements waiting for measurement, the pitch, etc. change, a test card that conforms to the new standard must be recreated, resulting in a significant increase in measurement costs.
2.プローブの位置調整が難しい。従来のテストカードのプローブの位置は、テストカード生産メーカーの技術者が調整してからエポキシ樹脂で回路板上に固定した位置である。このようなテストカードは輸送や使用時に何らかのはずみでプローブの水平位置がずれた場合、使用者はテストカードを生産メーカーに返送して位置の修正をしてもらわなければならず、操作者側により調整することができる柔軟性に欠けるという問題がある。 2. It is difficult to adjust the position of the probe. The position of the probe of the conventional test card is the position fixed on the circuit board with epoxy resin after adjustment by an engineer of the test card manufacturer. If the horizontal position of the probe is misaligned during transportation or use, the user must return the test card to the manufacturer and correct the position. There is a problem of lack of flexibility to adjust.
3.1つのプローブが欠損したらカード全体が使えなくなる。従来のテストカードは、プローブがエポキシ樹脂によりテストカードの基板上の設計通りの位置に固定されている。その中の1本または数本のプローブが欠損すると、カード全体が使えなくなり、新しいテストカードを作るしかない。プローブの交換は、テストカード全体におけるプローブの位置の精度を大きく影響するため、測定結果の精確度に大きな影響を与えてしまうという問題がある。 3. If one probe is missing, the entire card becomes unusable. In the conventional test card, the probe is fixed at the designed position on the test card substrate by epoxy resin. If one or several of the probes are missing, the entire card can no longer be used and a new test card can only be created. Since the replacement of the probe greatly affects the accuracy of the probe position in the entire test card, there is a problem that the accuracy of the measurement result is greatly affected.
4.単一の機能の測定しか対応できず、今後の応用ニーズを満たすことができない。従来のテストカードは、例えば直流電気特性の測定のためのものか交流電気特性の測定のためのものかのように、測定待ち素子の単一の機能しか測定できない。将来の無線周波素子に対応するために、テストカードメーカーは無線周波プローブと直流プローブとを同一のテストカード上で設置することを試みたことがあり、その無線周波プローブと直流プローブをそれまで通りにエポキシ樹脂でテストカード上に固定した。しかし、無線周波プローブ、直流プローブとエポキシ樹脂の材料の特性が異なるため、このテストカードは依然として無線周波プローブ素子の測定に必要な周波数に適合させることができないでいる。それゆえ無線周波素子の電気特性の測定は、相変わらず直流パラメータの測定と無線周波パラメータの測定とか別々に行われており、そのため、測定時間は2〜3倍に増えてしまうという問題がある。 4). Only a single function can be measured, and future application needs cannot be met. A conventional test card can measure only a single function of the element to be measured, such as for measuring DC electrical characteristics or for measuring AC electrical characteristics. In order to accommodate future radio frequency elements, test card manufacturers have attempted to install a radio frequency probe and a DC probe on the same test card. It was fixed on a test card with an epoxy resin. However, due to the different characteristics of the materials of the radio frequency probe, DC probe and epoxy resin, this test card still cannot be adapted to the frequency required for the measurement of the radio frequency probe element. Therefore, the measurement of the electrical characteristics of the radio frequency element is still performed separately for the measurement of the DC parameter and the measurement of the radio frequency parameter, and there is a problem that the measurement time is increased 2 to 3 times.
本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、プローブと測定待ち素子との相対的な距離を調整可能なテストカードを提供することを第1の目的とし、測定待ち素子の高周波電気特性と直流電気特性とを同時に測定することができる多機能のテストカードを提供することを第2の目的とするものである。 The present invention has been made in view of the above circumstances, and it is a first object of the present invention to provide a test card capable of adjusting the relative distance between a probe and a measurement waiting element. The second object of the present invention is to provide a multifunctional test card capable of simultaneously measuring the DC electrical characteristics.
本発明の第1のテストカードは、回路板と、回路板上に固定された固定プラットホームと、固定プラットホーム上に取り付けられた微調整プラットホームと、微調整プラットホーム上に取り付けられたプローブ載置具と、プローブ載置具上に取り付けられた少なくとも1つのプローブとを有してなる。微調整プラットホームは固定部、可動部、および固定部と可動部を連結する駆動機構が含まれる。固定部は固定プラットホーム上に固定されており、プローブ載置具は可動部に取り付けられている。駆動機構によって、プローブと測定待ち素子との相対的な位置を調整することができる。本発明のテストカードの前記回路板上にさらに遮蔽カバーを設けるようにしてもよく、該遮蔽カバーにより前記回路板上に取り付けられた電子部品をカバーし、遮蔽作用ををなすことによって、測定器の台自身から生じるノイズを確実にカットし、測定の精確度を確保することができる。 The first test card of the present invention includes a circuit board, a fixed platform fixed on the circuit board, a fine adjustment platform mounted on the fixed platform, and a probe mounting device mounted on the fine adjustment platform. And at least one probe mounted on the probe mounting tool. The fine adjustment platform includes a fixed portion, a movable portion, and a drive mechanism that connects the fixed portion and the movable portion. The fixed part is fixed on the fixed platform, and the probe mounting tool is attached to the movable part. The relative position between the probe and the measurement waiting element can be adjusted by the drive mechanism. Further, a shielding cover may be provided on the circuit board of the test card of the present invention, and the measuring device is configured to cover the electronic components attached on the circuit board by the shielding cover and to perform a shielding action. The noise generated from the table itself can be cut reliably, and the measurement accuracy can be ensured.
本発明の第2のテストカードは、回路板と、回路板の片方の表面上に固定された固定プラットホームと、プラットホーム上に取り付けられた微調整プラットホームと、微調整プラットホーム上に取り付けられたプローブ載置具と、プローブ載置具上に取り付けられた少なくとも1つの第1のプローブと、回路板の他方の表面上に固定された支持体と、支持体に固定された少なくとも1つの直流プローブとを有してなる。前記直流プローブは、、測定待ち素子を測定するのに用いられる一端と異なる他端が回路板を貫通して、回路板の前記片方の表面まで延び、さらに測定時の振動(Oscillation)現象の発生を防ぐために、フェライトビーズ(Ferrite−Bead)で包まれている。前記第1のプローブとして無線周波プローブを用いることで、該第1のプローブと前記直流プローブとによって、本発明の第2のテストカードにより、測定待ち素子の無線周波電気特性と直流電気特性を同時に測定することができる。 The second test card of the present invention comprises a circuit board, a fixed platform fixed on one surface of the circuit board, a fine adjustment platform mounted on the platform, and a probe mounted on the fine adjustment platform. A mounting tool, at least one first probe mounted on the probe mounting tool, a support fixed on the other surface of the circuit board, and at least one DC probe fixed to the support. Have. In the DC probe, the other end different from one end used to measure the element to be measured passes through the circuit board and extends to the one surface of the circuit board, and further, an oscillation phenomenon occurs during measurement. In order to prevent this, it is wrapped with ferrite beads (Ferrite-Bead). By using a radio frequency probe as the first probe, the first probe and the DC probe, and the second test card of the present invention, the radio frequency electrical characteristic and the DC electrical characteristic of the element waiting for measurement are simultaneously measured. Can be measured.
本発明によるテストカードは、従来のテストカードに比べ、以下の長所がある。 The test card according to the present invention has the following advantages over the conventional test card.
1.無線周波プローブのピンの位置は調整可能である。本発明のテストカードは、その微調整プラットホームによって、使用者が無線周波プローブのピンの位置レベルの微調整を行うことができると共に、測定待ち素子の配列、ピッチ、測定器の台の規格に合せた調整もできるため、測定待ち素子の規格の変化に対応することができる。 1. The position of the pin of the radio frequency probe is adjustable. The test card according to the present invention allows the user to finely adjust the position level of the radio frequency probe pin by using the fine adjustment platform, and to match the arrangement of the elements to be measured, the pitch, and the standard of the measuring instrument. Because adjustments can be made, it is possible to cope with changes in the specifications of the element waiting for measurement.
2.多機能の測定ができるため、産業ニーズにマッチしている。本発明のテストカードは、その無線周波プローブが、精密な微調整プラットホームによって取り付けられていると共に、直流プローブは伝統的な固定方式で取り付けられているため、測定待ち素子の直流電気特性と無線周波電気特性を同時に測定することができる。 2. Because it can measure multiple functions, it matches industrial needs. In the test card of the present invention, the radio frequency probe is mounted by a precise fine adjustment platform, and the DC probe is mounted by a traditional fixing method. Electrical characteristics can be measured simultaneously.
3.テストカードの無線周波プローブは交換可能である。この無線周波プローブは交換可能方式でプローブ載置具に取り付けられているため、欠損して使用できなくなったとき、直接取り外して新しい無線周波プローブと交換できる。また、光通信素子など異なる種類の測定待ち素子の測定ニーズに対応するため、種類の異なるプローブ(例えば、光ファイバプローブ)に交換すれば、異なる測定待ち素子の測定もできる。 3. The test card radio frequency probe is replaceable. Since this radio frequency probe is attached to the probe mounting device in a replaceable manner, it can be directly removed and replaced with a new radio frequency probe when it becomes defective and cannot be used. In addition, in order to meet the measurement needs of different types of measurement-waiting elements such as optical communication elements, different types of measurement-waiting elements can be measured by replacing them with different types of probes (for example, optical fiber probes).
4.プローブの取付方式が安定である。本発明のテストカードは、多点位置合せおよび多点固定方式を採用することにより、微調整プラットホーム、プローブ載置具、および高周波プローブが正確かつ安定に回路板上に取り付けられることができる。 4). The probe mounting method is stable. The test card of the present invention employs the multi-point alignment and multi-point fixing method, so that the fine adjustment platform, the probe mounting tool, and the high-frequency probe can be accurately and stably mounted on the circuit board.
5.外部のノイズを遮断することができる。本発明のテストの回路板に、遮蔽カバーを設けることによって、回路板上の電子部品をカバー内にに内包し、遮蔽効果をなすすることにより、測定器の台や、外部環境から生じるノイズを確実に遮断することができる。 5). External noise can be blocked. By providing a shielding cover on the test circuit board of the present invention, the electronic components on the circuit board are enclosed in the cover, and by making a shielding effect, noise generated from the measuring instrument base and the external environment is reduced. It can be reliably shut off.
6.振動現象の発生を防ぐことができる。テストカードの直流プローブは、フェライトビーズで覆われているため、直流電気特性の測定に使用することができると共に、測定時においては振動現象の発生を防ぐことができる。 6). Generation of vibration phenomenon can be prevented. Since the DC probe of the test card is covered with ferrite beads, it can be used for measuring DC electrical characteristics and can prevent the occurrence of vibration phenomenon during measurement.
図2は本発明のテストカード50の立体正面図である。図2に示すように、テストカード50は、回路板60、回路板60の第1表面61Aに固定された固定プラットホーム70、プラットホーム70に取り付けられた微調整プラットホーム80、微調整プラットホーム80に取り付けられたプローブ載置具90、およびプローブ載置具90に取り付けられた少なくとも1つの無線周波プローブ92を有する。回路板60には開口62が設けられており、無線周波プローブ90はこの開口62を経由して測定待ち素子(図2に示していない)と電気的に接触することができる。
FIG. 2 is a three-dimensional front view of the
固定プラットホーム70には複数個の位置合せ孔72と複数個の固定孔74とが設けられている。位置合せ孔72は、固定プラットホーム70と回路板60との相対的な位置を合わせるのに用いられる。固定器具(例えばスクリューやリベット)は固定孔74によって固定プラットホーム70を回路板60上にしっかり固定することができる。このテストカードは固定プラットホーム70の多点位置合せと固定設計により、微調整プラットホーム80、プローブ、載置具90、および無線周波プローブ92を安定的かつ精確に回路板60上に取り付け、無線周波プローブ92と測定待ち素子との相対的な位置が外力を受けても容易にずれないようにすることができる。
The fixed
微調整プラットホーム80は、固定部82、可動部84、固定部82と可動部84とを連結する駆動機構86を備える。固定部82は固定プラットホーム70に固定されており、プローブ載置具90は可動部84に取り付けられており、無線周波プローブ92と測定待ち素子との相対的な位置は、駆動機構86によって調整することができる。駆動機構86は第1駆動ユニット85Aと第2駆動ユニット85Bとを備え、第1駆動ユニット85Aは無線周波プローブ92の上下位置の調整に用いられ、第2駆動ユニット85Bは無線周波プローブ92の径方向位置の調整に用いられる。図2に示す駆動機構86によって、無線周波プローブの上下位置と径方向位置の調整ができるが、この分野の技術者であれば、駆動機構86はニーズによって一次元駆動、二次元駆動または三次元駆動に設計可能であり、さらに角度調整機能を備えてもよいことが容易に理解するができる。。
The
精密な電気特性測定(特に高周波電気特性)では、外部環境がもたらすノイズを測定システム外に排除する必要がある。本発明のテストカード50は、さらに回路板60の第1表面61Aに、ノイズを防ぐための第1遮蔽カバー64が設けられている。第1遮蔽カバー64はテストカード50の第1表面61Aに取り付けられた部品(例えば、高周波プローブ)をその内部に内包させ、遮蔽効果をなすことによって、測定器の台自身または環境から生じるノイズを確実に遮断し、測定の精確度を確保する。
In precise electrical characteristic measurement (especially high-frequency electrical characteristics), it is necessary to eliminate noise caused by the external environment outside the measurement system. In the
図3は本発明のテストカード50の立体背面図である。図3に示すように、テストカード50はさらに回路板60に取り付けられた第2表面61Bに取り付けられた支持体110および支持体110に固定された少なくとも1つの直流プローブ112を含む。直流プローブ112はエポキシ樹脂114で支持体110上に固定されている。テストカード50の直流プローブ112はフェライトビーズ120で包まれており、そのため直流プローブ112を直流電気特性の測定に使用することができると共に、測定時においては振動現象の発生を防ぐことができる。直流プローブ112の、測定待ち素子を測定するのに用いられる一端と異なる端は回路板50を貫通して、回路板50の第1表面まで延びている。そのため、フェライトビーズ120を直流プローブ112のピンの先端部位にかなり接近させて取り付けることができ、もっと効果的に振動現象の発生を防ぐことができる。無線周波プローブ92と直流プローブ112とにより、テストカード50は測定待ち素子の無線周波電気特性と直流電気特性を同時に測定することができる。
FIG. 3 is a three-dimensional rear view of the
ノイズを防ぐために、テストカード50の回路板60の第2表面61Bには第2遮蔽カバー124を取り付けてもよい。第2遮蔽カバー124は、テストカード50の第2表面61Bに取り付けられた部品(例えば、直流プローブ)をすべてその内部に内包させ、遮蔽効果をなすことによって、測定器の台自身または環境から生じるノイズを確実に遮断し、測定の精確度を確保することができる。
In order to prevent noise, a
本発明は、従来の技術に比べ、以下の長所がある。 The present invention has the following advantages over the prior art.
1.無線周波プローブのピンの位置は調整可能である。本発明は無線周波プローブ92をプローブ載置具90上に取り付け、さらに微調整プラットホーム80によって無線周波プローブ92と測定待ち素子との相対的位置を調整し、使用者に無線周波プローブ92のピンの位置レベルの微調整をするほか、さらに測定待ち素子の配列、ピッチ、測定器の台の規格に合せた調整ができ、そのため本発明のテストカード50は他の規格の測定待ち素子にも応用可能である。
1. The position of the pin of the radio frequency probe is adjustable. In the present invention, the
2.多機能測定でき、産業ニーズにマッチしている。本発明は、無線周波プローブ92と直流プローブ112を個別に固定することにより、無線周波プローブ92がエポキシ樹脂114と直流プローブ112の材料の違いによる電気特性への影響がないよう確保している。無線周波プローブ92は、精密微調整プラットホーム80によって取り付けられ、さらに直流プローブ112は伝統的な固定方式で取り付けられ、材料の違いによる影響を防いでいるため、本発明のテストカード50は、測定待ち素子の直流電気特性と無線周波電気特性を同時に測定でき、測定時間の短縮が図れる。
2. Multifunctional measurement is possible, and it matches the industrial needs. In the present invention, the
3.テストカードの無線周波プローブは交換可能である。無線周波プローブ92は交換可能方式でプローブ載置具90に取り付けられているため、1つのプローブが壊れても壊れたプローブのみを交換するだけでよく、テストカード全体が使用できなくなるのと異なる。また、本発明のテストカード50は、機能の異なるプローブ(例えば、光ファイバプローブ)に交換して、異なる測定待ち素子の測定に応用できる。
3. The test card radio frequency probe is replaceable. Since the
4.安定したプローブの取付方式。無線周波プローブ92を安定してテストカード50の特定位置に取り付けるため、本発明は多点位置合せおよび多点固定方式を採用することにより、微調整プラットホーム80、プローブ載置具90、無線周波プローブ92が正しく、安定して回路板50上に取り付けられ、それによって、プローブのピンの位置が外力の影響で変わらないよう確保する。
4). Stable probe mounting method. In order to stably attach the
5.外部のノイズを遮断する。本発明は、回路板50上に取り付けられた遮蔽カバー64、124が、回路板上の電子素子をその内部に内包させ、遮蔽効果を形成することにより、測定器の台自身が生じさせるノイズを確実に遮断し、測定の精確度を確保する。
5). Block external noise. In the present invention, the shielding covers 64 and 124 attached on the
6.振動現象の発生を防ぐ。テストカードの直流プローブ112は、フェライトビーズ120で包まれており、そのため直流プローブ112を直流電気特性の測定に使用でき、さらに測定時に振動現象が発生するのを防ぐ。直流プローブ120と向き合う、測定待ち素子を測定する他の一端は回路板50を貫通しており、さらに回路板50の第1表面51Aまで延びているため、フェライトビーズ120を直流プローブ112の先端部位にかなり接近させて取り付けることができ、もっと効果的に振動現象が発生するのを防ぐことができる。
6). Prevent the occurrence of vibration phenomenon. The
本発明の技術内容と技術的特徴は上記に開示した通りであるが、この分野の技術者は、本発明の教示と開示を基に、本発明の主旨から逸脱し限り、さまざまな代替および変更を行うことが可能である。従って、本発明の保護範囲は、実施例で開示したものに限るべきではなく、本発明の主旨から逸脱しないさまざまな代替および変更を含むべきである。 Although the technical contents and technical features of the present invention are as disclosed above, those skilled in the art will be able to make various alternatives and modifications based on the teachings and disclosure of the present invention without departing from the spirit of the present invention. Is possible. Accordingly, the scope of protection of the present invention should not be limited to that disclosed in the examples, but should include various alternatives and modifications that do not depart from the spirit of the invention.
10 テストカード
12 回路板
14 支持体
16 プローブ
20 導電孔
22 開口
24 エポキシ樹脂
26 導線
30 測定待ち素子
38 信号接点
50 テストカード
60 回路板
61A 第1表面
61B 第2表面
62 開口
64 第1遮蔽カバー
70 固定プラットホーム
72 位置合せ孔
74 固定孔
80 微調整プラットホーム
82 固定部
84 可動部
85A 第1駆動ユニット
85B 第2駆動ユニット
86 駆動機構
90 プローブ
92 無線周波プローブ
110 支持体
112 直流プローブ
114 エポキシ樹脂
120 フェライトビーズ
124 第2遮蔽カバー
DESCRIPTION OF
Claims (14)
前記回路板上に固定された固定プラットホームと、
前記固定プラットホーム上に取り付けられた微調整プラットホームと、
前記微調整プラットホーム上に取り付けられたプローブ載置具と、
前記プローブ載置具上に取り付けられた少なくとも1つのプローブとを有してなることを特徴とするテストカード。 A circuit board;
A fixed platform fixed on the circuit board;
A fine adjustment platform mounted on the fixed platform;
A probe mount mounted on the fine adjustment platform;
A test card comprising: at least one probe mounted on the probe mounting tool.
前記固定プラットホーム上に固定された固定部と、
前記プローブ載置具を載せるための可動部と、
前記固定部と前記可動部とを連結し、前記プローブと測定待ち素子とのの相対的な位置を調整するための駆動機構とを有してなるものであることを特徴とする請求項1記載のテストカード。 The fine tuning platform is
A fixed portion fixed on the fixed platform;
A movable part for placing the probe placement tool;
The drive mechanism for connecting the said fixed part and the said movable part, and adjusting the relative position of the said probe and a measurement waiting element is characterized by the above-mentioned. Test card.
少なくとも1つの第1のプローブと、
前記回路板上に取り付けられた、前記第1のプローブと測定待ち素子との相対的な位置を調整するための微調整プラットホームと、
前記回路板の、前記微調整プラットホームが設けられた面と異なる面に取り付けられた支持体と、
前記支持体上に固定された少なくとも1つの直流プローブとを有してなることを特徴とするテストカード。 A circuit board;
At least one first probe;
A fine adjustment platform mounted on the circuit board for adjusting the relative position of the first probe and the measurement awaiting element;
A support attached to a surface of the circuit board different from the surface on which the fine adjustment platform is provided;
A test card comprising at least one DC probe fixed on the support.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004131100A JP2005315615A (en) | 2004-04-27 | 2004-04-27 | Test card |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004131100A JP2005315615A (en) | 2004-04-27 | 2004-04-27 | Test card |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005315615A true JP2005315615A (en) | 2005-11-10 |
Family
ID=35443212
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004131100A Pending JP2005315615A (en) | 2004-04-27 | 2004-04-27 | Test card |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2005315615A (en) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009204326A (en) * | 2008-02-26 | 2009-09-10 | Micronics Japan Co Ltd | Electrical connection device |
USRE45841E1 (en) | 1997-03-04 | 2016-01-12 | Lg Display Co., Ltd. | Thin-film transistor and method of making same |
CN114217102B (en) * | 2021-09-29 | 2022-08-09 | 杭州长川科技股份有限公司 | Module testing device |
-
2004
- 2004-04-27 JP JP2004131100A patent/JP2005315615A/en active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
USRE45841E1 (en) | 1997-03-04 | 2016-01-12 | Lg Display Co., Ltd. | Thin-film transistor and method of making same |
JP2009204326A (en) * | 2008-02-26 | 2009-09-10 | Micronics Japan Co Ltd | Electrical connection device |
CN114217102B (en) * | 2021-09-29 | 2022-08-09 | 杭州长川科技股份有限公司 | Module testing device |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7253646B2 (en) | Probe card with tunable stage and at least one replaceable probe | |
US6798223B2 (en) | Test methods, systems, and probes for high-frequency wireless-communications devices | |
JPWO2009025070A1 (en) | Test system and daughter unit | |
JP2011154033A (en) | Board for mounting device to be measured and device interface part | |
KR101061593B1 (en) | Probe card | |
JP2012098219A (en) | Socket for semiconductor device | |
US8169227B2 (en) | Probing apparatus with multiaxial stages for testing semiconductor devices | |
WO2018198859A1 (en) | Inspection jig, and substrate inspecting device | |
KR20140131481A (en) | Test socket providing mechanical stabilization for pogo pin connections | |
JP2005315615A (en) | Test card | |
KR101010534B1 (en) | Probe unit including manupulator and probe-block for visual test | |
EP1921459A1 (en) | Calibration board for electronic component testing apparatus | |
KR20110087539A (en) | Probe card and manufacturing method thereof | |
JPWO2008120575A1 (en) | Contactor mounting method | |
KR100602231B1 (en) | Probe card | |
WO2007080644A1 (en) | Connector housing block, interface member, and electronic part tester | |
CN210072002U (en) | COC chip aging testing equipment | |
JP2022072245A (en) | Socket for measurement | |
KR100714569B1 (en) | Semiconductor ic tester | |
JP2006170700A (en) | Probe calibration jig, probe card with probe calibration jig and semiconductor wafer measurement device | |
JP6297872B2 (en) | Measuring jig for inspecting surface mounted piezoelectric device and inspection method for surface mounted piezoelectric device | |
JP2007243068A (en) | Tool for probe calibration, probe card with tool for calibration, and device measuring instrument | |
JP4898628B2 (en) | Device board to be measured and probe card | |
JP2008205282A (en) | Probe card | |
KR20220031486A (en) | Testing apparatus |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20070619 |
|
A02 | Decision of refusal |
Effective date: 20071113 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 |