JP6297872B2 - Measuring jig for inspecting surface mounted piezoelectric device and inspection method for surface mounted piezoelectric device - Google Patents

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Description

本発明は、表面実装型圧電装置の電気的特性の検査時に用いられる測定治具及び表面実装型圧電装置の検査方法に関する。   The present invention relates to a measuring jig used when inspecting electrical characteristics of a surface-mount piezoelectric device and a method for inspecting a surface-mount piezoelectric device.

所定の振動周波数で振動し、複数のリード端子が設けられたピン型圧電デバイスが知られている。このようなピン型圧電デバイスは、表面実装するための表面実装端子を備えるベース基板に載置されて表面実装型の表面実装型圧電装置として形成される。また、表面実装型圧電装置は出荷前等に電気的特性の検査が行われる。検査は検査用の測定治具に表面実装型圧電装置を取り付けることにより行われる。   A pin-type piezoelectric device that vibrates at a predetermined vibration frequency and is provided with a plurality of lead terminals is known. Such a pin type piezoelectric device is mounted on a base substrate having surface mounting terminals for surface mounting and formed as a surface mounting type surface mounting type piezoelectric device. In addition, the surface mount type piezoelectric device is inspected for electrical characteristics before shipment. The inspection is performed by attaching a surface mount type piezoelectric device to a measurement jig for inspection.

例えば、特許文献1ではソケットの中にプローブが配置される表面実装型の電子部品を検査するための測定治具が示されている。このような測定治具を用いた検査は、プローブと表面実装端子とが接触するようにソケットに電子部品が載置されることにより行われる。   For example, Patent Document 1 discloses a measurement jig for inspecting a surface-mount type electronic component in which a probe is disposed in a socket. The inspection using such a measuring jig is performed by placing an electronic component on the socket so that the probe and the surface mounting terminal are in contact with each other.

特開2006−337119号公報JP 2006-337119 A

しかし、特許文献1に示される測定治具では表面実装型の表面実装型圧電装置の様々な端子配置に対応するために複数の測定治具を準備する必要があり、検査費用が増大するという問題があった。   However, in the measurement jig shown in Patent Document 1, it is necessary to prepare a plurality of measurement jigs in order to cope with various terminal arrangements of the surface-mount type surface-mount piezoelectric device, and the inspection cost increases. was there.

本発明は、検査費用の増大が抑えられた表面実装型圧電装置を検査するための測定治具及び表面実装型圧電装置の検査方法を提供することを目的とする。   An object of the present invention is to provide a measuring jig for inspecting a surface-mount type piezoelectric device in which an increase in inspection cost is suppressed and a method for inspecting the surface-mount type piezoelectric device.

第1観点の測定治具は、第1主面及び第1主面の反対側の第2主面を有するベース基板と、複数のリード端子を有し複数のリード端子が第2主面に露出するようにベース基板の第1主面に載置されるピン型圧電デバイスとを備える表面実装の表面実装型圧電装置を検査するための測定治具である。また、測定治具は、第3主面及びその反対側の第4主面を有し、表面実装型圧電装置の第2主面を第3主面に面するように載置する載置部と、表面実装型圧電装置を載置部に固定する固定部と、載置部に固定され、表面実装型圧電装置が載置部に載置された場合に複数のリード端子に接触する複数の第1コンタクトプローブと、を有する。   A measuring jig according to a first aspect includes a base substrate having a first main surface and a second main surface opposite to the first main surface, a plurality of lead terminals, and the plurality of lead terminals exposed on the second main surface. Thus, there is provided a measuring jig for inspecting a surface-mounted surface-mounted piezoelectric device including a pin-type piezoelectric device placed on the first main surface of the base substrate. Further, the measuring jig has a third main surface and a fourth main surface opposite to the third main surface, and a mounting portion for mounting the second main surface of the surface mount piezoelectric device so as to face the third main surface. And a fixing unit that fixes the surface-mount type piezoelectric device to the mounting unit, and a plurality of units that are fixed to the mounting unit and that contact the plurality of lead terminals when the surface-mounting type piezoelectric device is mounted on the mounting unit. A first contact probe.

第2観点の測定治具は、第1観点において、第1コンタクトプローブが直線状に伸びた形状で載置部を第4主面から第3主面に貫通している。   In the measurement tool of the second aspect, in the first aspect, the first contact probe extends linearly from the fourth main surface to the third main surface.

第3観点の測定治具は、第1観点又は第2観点において、ベース基板がリード端子に電気的に接続する複数の表面実装端子を第2主面に有する。また測定治具は、載置部に固定され、表面実装型圧電装置が載置部に載置された場合に複数の表面実装端子に接触する複数の第2コンタクトプローブを有する。   In the first aspect or the second aspect, the measurement jig according to the third aspect has a plurality of surface-mount terminals that the base substrate is electrically connected to the lead terminals on the second main surface. The measurement jig includes a plurality of second contact probes that are fixed to the mounting portion and come into contact with the plurality of surface mounting terminals when the surface-mount type piezoelectric device is mounted on the mounting portion.

第4観点の測定治具は、第3観点において、各第2コンタクトプローブが、表面実装端子に接触する接点部が第3面に垂直方向に弾性変形するように接点部から弓状に曲がった軸部を有し、打ち抜かれて形成されたプレートが複数枚重ね合って形成される。   In the measurement jig of the fourth aspect, in the third aspect, each second contact probe is bent in an arc shape from the contact portion so that the contact portion that contacts the surface mounting terminal is elastically deformed in a direction perpendicular to the third surface. A plurality of plates that have a shaft portion and are punched and formed are overlapped.

第5観点の表面実装型圧電装置の検査方法は、第1観点から第4観点の測定治具に複数のリード端子と複数の第1コンタクトプローブとが接触するように表面実装型圧電装置を載置部に載置する載置工程と、表面実装型圧電装置を固定部で固定する固定工程と、第1コンタクトプローブを介して表面実装型圧電装置の電源の供給及び出力信号の検査を行う検査工程と、を有する。   According to a fifth aspect of the surface mounting type piezoelectric device inspection method, the surface mounting type piezoelectric device is mounted so that the plurality of lead terminals and the plurality of first contact probes are in contact with the measurement jig according to the first to fourth aspects. A mounting step of mounting on the mounting portion, a fixing step of fixing the surface-mounted piezoelectric device with the fixing portion, and an inspection for supplying power to the surface-mounted piezoelectric device and inspecting an output signal via the first contact probe And a process.

第6観点の表面実装型圧電装置の検査方法は、第3観点又は第4観点の測定治具に複数の表面実装端子と複数の第2コンタクトプローブとが接触するように表面実装型圧電装置を載置部に載置する載置工程と、表面実装型圧電装置を固定部で固定する固定工程と、第2コンタクトプローブを介して表面実装型圧電装置の電源の供給及び出力信号の検査を行う検査工程と、を有する。   According to a sixth aspect of the surface mounting type piezoelectric device inspection method, the surface mounting type piezoelectric device is arranged so that the plurality of surface mounting terminals and the plurality of second contact probes are in contact with the measurement jig according to the third or fourth aspect. A mounting step of mounting on the mounting portion, a fixing step of fixing the surface mount piezoelectric device with the fixing portion, and supplying power to the surface mount piezoelectric device and inspecting an output signal via the second contact probe And an inspection process.

本発明の表面実装型圧電装置を検査するための測定治具及び表面実装型圧電装置の検査方法によれば、表面実装型圧電装置の検査費用の増大を防ぐことができる。   According to the measuring jig and the method for inspecting a surface-mounted piezoelectric device for inspecting the surface-mounted piezoelectric device of the present invention, it is possible to prevent an increase in the inspection cost of the surface-mounted piezoelectric device.

表面実装型圧電装置110及び測定治具100の斜視図である。1 is a perspective view of a surface mount piezoelectric device 110 and a measurement jig 100. FIG. (a)は、表面実装型圧電装置110の側面図である。 (b)は、表面実装型圧電装置110の下面図である。FIG. 4A is a side view of the surface-mount piezoelectric device 110. FIG. FIG. 2B is a bottom view of the surface mount piezoelectric device 110. FIG. (a)は、測定治具100の平面図である。 (b)は、表面実装型圧電装置110が載置された測定治具100の側面図である。FIG. 4A is a plan view of the measurement jig 100. FIG. FIG. 4B is a side view of the measurement jig 100 on which the surface mount type piezoelectric device 110 is placed. (a)は、測定治具200の側面図である。 (b)は、表面実装型圧電装置110が載置された測定治具200の側面図である。(A) is a side view of the measuring jig 200. FIG. (B) is a side view of the measurement jig 200 on which the surface-mount piezoelectric device 110 is placed. (a)は、第2コンタクトプローブ203の側面図である。 (b)は、第2コンタクトプローブ203の上面図である。 (c)は、測定治具200の概略平面図である。FIG. 4A is a side view of the second contact probe 203. FIG. FIG. 4B is a top view of the second contact probe 203. FIG. (C) is a schematic plan view of the measuring jig 200. 表面実装型圧電装置110の検査方法が示されたフローチャートである。5 is a flowchart showing a method for inspecting the surface mount piezoelectric device 110.

以下、本発明の好適な実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、本発明の範囲は以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの形態に限られるものではない。   DESCRIPTION OF EXEMPLARY EMBODIMENTS Hereinafter, preferred embodiments of the invention will be described in detail with reference to the drawings. It should be noted that the scope of the present invention is not limited to these forms unless otherwise specified in the following description.

(第1実施形態)
<測定治具100の構成>
図1は、表面実装型圧電装置110及び測定治具100の斜視図である。表面実装型圧電装置110は、ベース基板112にピン型圧電デバイス111が載置されることにより形成されている。ベース基板112は矩形形状の平面を有する基板である。以下の説明では、ベース基板112の長辺に平行な軸をX軸、短辺に平行な軸をY軸、X軸及びY軸に直交する軸をZ軸として説明する。また、測定治具100に関しても、測定治具100に表面実装型圧電装置110が載置された場合の表面実装型圧電装置110の座標軸に合わせて説明する。
(First embodiment)
<Configuration of measuring jig 100>
FIG. 1 is a perspective view of the surface-mounted piezoelectric device 110 and the measuring jig 100. The surface mount type piezoelectric device 110 is formed by placing a pin type piezoelectric device 111 on a base substrate 112. The base substrate 112 is a substrate having a rectangular plane. In the following description, an axis parallel to the long side of the base substrate 112 will be described as the X axis, an axis parallel to the short side as the Y axis, and an axis orthogonal to the X axis and the Y axis will be described as the Z axis. The measurement jig 100 will also be described in accordance with the coordinate axes of the surface mount piezoelectric device 110 when the surface mount piezoelectric device 110 is placed on the measurement jig 100.

ピン型圧電デバイス111は、例えば恒温槽付水晶発振器(OCXO)である。恒温槽付水晶発振器(OCXO)は、所定の振動周波数で振動する水晶振動片(不図示)を恒温槽内に配置し、ヒーターで水晶振動片の周囲を所定の温度に保つことで水晶振動片の振動周波数を高い精度で安定化させる水晶発振器である。また、ベース基板112は、+X軸側及び−X軸側の辺に沿って、表面実装端子113が形成されている。表面実装型圧電装置110は、ピン型圧電デバイス111がベース基板112の+Z軸側の面に載置されることにより形成される。表面実装型圧電装置110は、表面実装端子113を介してプリント基板等に表面実装されることにより使用される。   The pin-type piezoelectric device 111 is, for example, a crystal oscillator with a thermostat (OCXO). The crystal oscillator with a thermostat (OCXO) has a crystal resonator element (not shown) that vibrates at a predetermined vibration frequency in a thermostat tank, and a quartz resonator element is maintained at a predetermined temperature with a heater. It is a crystal oscillator that stabilizes the vibration frequency of the high-precision. The base substrate 112 has surface mount terminals 113 formed along the sides on the + X axis side and the −X axis side. The surface-mounted piezoelectric device 110 is formed by placing the pin-type piezoelectric device 111 on the surface of the base substrate 112 on the + Z axis side. The surface mount type piezoelectric device 110 is used by being surface mounted on a printed circuit board or the like via the surface mount terminals 113.

測定治具100は、載置部101と、固定部102と、第1コンタクトプローブ103と、を含んで構成されている。載置部101はX軸方向に長辺が伸びY軸方向に短辺が伸びる矩形形状の平面を有し、+Z軸側の面に表面実装型圧電装置110が載置される。固定部102は載置部101の+Z軸側の面の+X軸側及び−X軸側の両端に配置され、載置部101に載置される表面実装型圧電装置110を固定する。また、載置部101の中央には載置部101をZ軸方向に貫通するように複数の第1コンタクトプローブ103が配置されている。   The measurement jig 100 is configured to include a placement part 101, a fixing part 102, and a first contact probe 103. The mounting portion 101 has a rectangular plane whose long side extends in the X-axis direction and whose short side extends in the Y-axis direction, and the surface-mounted piezoelectric device 110 is mounted on the surface on the + Z-axis side. The fixing portions 102 are disposed at both ends of the + Z-axis side and the −X-axis side of the surface on the + Z-axis side of the mounting portion 101, and fix the surface mount piezoelectric device 110 mounted on the mounting portion 101. A plurality of first contact probes 103 are arranged in the center of the placement portion 101 so as to penetrate the placement portion 101 in the Z-axis direction.

図2(a)は、表面実装型圧電装置110の側面図である。ピン型圧電デバイス111の−Z軸側の面には複数のリード端子114が形成されている。ベース基板112にはベース基板112をZ軸方向に貫通する複数の貫通孔115(図2(b)参照)が形成されており、リード端子114が貫通孔115に差し込まれることによりピン型圧電デバイス111がベース基板112に載置される。ベース基板112の+X軸側及び−X軸側の辺に沿って形成される表面実装端子113は、それぞれベース基板112の+Z軸側の面からベース基板112の側面を介して−Z軸側に引き出されるように形成されている。   FIG. 2A is a side view of the surface mount piezoelectric device 110. A plurality of lead terminals 114 are formed on the surface of the pin-type piezoelectric device 111 on the −Z axis side. A plurality of through holes 115 (see FIG. 2B) penetrating the base substrate 112 in the Z-axis direction are formed in the base substrate 112, and the pin type piezoelectric device is inserted by inserting the lead terminals 114 into the through holes 115. 111 is placed on the base substrate 112. The surface mount terminals 113 formed along the + X-axis side and the −X-axis side of the base substrate 112 are respectively moved from the + Z-axis side surface of the base substrate 112 to the −Z-axis side through the side surface of the base substrate 112. It is formed to be pulled out.

図2(b)は、ベース基板112の下面図である。ベース基板112の中央付近には、複数の貫通孔115が形成されている。貫通孔115の配置としては、例えばY軸方向に並ぶように貫通孔115が配置されて形成される列がX軸方向に並ぶように2本形成される。+X軸側の列は3つの貫通孔115により形成され、−X軸側の列は6つの貫通孔115により形成されている。このような貫通孔115の配置はリード端子114の配置に合わせられている。すなわち、リード端子114は、図2(b)に示される貫通孔115の配置に重なるようにピン型圧電デバイス111の−Z軸側の面に形成されている。   FIG. 2B is a bottom view of the base substrate 112. Near the center of the base substrate 112, a plurality of through holes 115 are formed. As for the arrangement of the through-holes 115, for example, two rows formed by arranging the through-holes 115 so as to be aligned in the Y-axis direction are formed so as to be aligned in the X-axis direction. The column on the + X axis side is formed by three through holes 115, and the column on the −X axis side is formed by six through holes 115. Such an arrangement of the through holes 115 is matched to the arrangement of the lead terminals 114. That is, the lead terminal 114 is formed on the surface of the pin-type piezoelectric device 111 on the −Z-axis side so as to overlap the arrangement of the through hole 115 shown in FIG.

また、ベース基板112の−X軸側の辺には3つの表面実装端子113が形成されており、+X軸側の辺には4つの表面実装端子113が形成されている。以下では説明のために、−X軸側の表面実装端子113を+Y軸側から−Y軸側に向かって表面実装端子113a〜113cとし、+X軸側の表面実装端子113を+Y軸側から−Y軸側に向かって表面実装端子113d〜113gとする。各貫通孔115には電極(不図示)が形成されており、ピン型圧電デバイス114がベース基板112に載置された場合には貫通孔115の電極とリード端子114とが電気的に接続される。また、各表面実装端子113は、各貫通孔115に形成される電極に電気的に接続されている。   Further, three surface mount terminals 113 are formed on the −X axis side of the base substrate 112, and four surface mount terminals 113 are formed on the + X axis side. Hereinafter, for the sake of explanation, the surface mount terminal 113 on the −X axis side is referred to as surface mount terminals 113a to 113c from the + Y axis side toward the −Y axis side, and the surface mount terminal 113 on the + X axis side is − Surface mount terminals 113d to 113g are formed toward the Y-axis side. An electrode (not shown) is formed in each through hole 115, and when the pin type piezoelectric device 114 is placed on the base substrate 112, the electrode of the through hole 115 and the lead terminal 114 are electrically connected. The Each surface mount terminal 113 is electrically connected to an electrode formed in each through hole 115.

表面実装型圧電装置110では、同一のピン型圧電デバイス111が用いられる場合でも、ベース基板112に形成される各表面実装端子113の役割(ピン配置)が異なる場合がある。例えば、表面実装端子113a、113b、113eは、それぞれ制御電圧用端子(VCONT)、基準電圧出力端子(Vref)、不使用端子(N.C.)とされる場合がある。別の例では、表面実装端子113a、113b、113eが、それぞれ不使用端子(N.C.)、電源(VCC)、接地端子(GND)とされる場合がある。このような表面実装端子のピン配置の違いは、表面実装型圧電装置110の使用者の要望に応えるため、表面実装端子113と貫通孔115に形成される電極とを接続する配線を変えていることに起因する。これに対して、ピン型圧電デバイス111のリード端子114のピン配置は統一されている。   In the surface-mounted piezoelectric device 110, even when the same pin-type piezoelectric device 111 is used, the role (pin arrangement) of each surface-mounted terminal 113 formed on the base substrate 112 may be different. For example, the surface mount terminals 113a, 113b, and 113e may be a control voltage terminal (VCONT), a reference voltage output terminal (Vref), and an unused terminal (NC), respectively. In another example, the surface mount terminals 113a, 113b, and 113e may be an unused terminal (NC), a power supply (VCC), and a ground terminal (GND), respectively. Such a difference in the pin arrangement of the surface mount terminals changes the wiring connecting the surface mount terminals 113 and the electrodes formed in the through holes 115 in order to meet the demands of users of the surface mount piezoelectric device 110. Due to that. On the other hand, the pin arrangement of the lead terminals 114 of the pin type piezoelectric device 111 is unified.

図3(a)は、測定治具100の平面図である。載置部101の中央付近には、複数の第1コンタクトプローブ103が配置されている。第1コンタクトプローブ103の配置としては、Y軸方向に並ぶように第1コンタクトプローブ103が配置されて形成される列がX軸方向に2本並んでいる。+X軸側の列は3つの第1コンタクトプローブ103により形成され、−X軸側の列は6つの第1コンタクトプローブ103により形成されている。このような第1コンタクトプローブ103の配置は、載置部101に表面実装型圧電装置110が載置された場合に、リード端子114が第1コンタクトプローブ103に接触する配置となっている。   FIG. 3A is a plan view of the measurement jig 100. A plurality of first contact probes 103 are arranged near the center of the mounting portion 101. As the arrangement of the first contact probes 103, two rows formed by arranging the first contact probes 103 so as to be arranged in the Y-axis direction are arranged in the X-axis direction. The column on the + X axis side is formed by three first contact probes 103, and the column on the −X axis side is formed by six first contact probes 103. Such an arrangement of the first contact probe 103 is an arrangement in which the lead terminal 114 is in contact with the first contact probe 103 when the surface mount type piezoelectric device 110 is placed on the placement portion 101.

載置部101の+Z軸側の面には、載置部101の一部として表面実装型圧電装置110が載置される台座101aが形成される。図3(a)では、台座101aの一部が示されている。表面実装型圧電装置110は台座101aに載置されることにより、表面実装型圧電装置110と載置部101の+Z軸側の面との間に隙間が形成される。台座101aは、この隙間に表面実装型圧電装置110の表面実装端子113及びリード端子114が露出するように形成される。図3(a)では台座101aが載置部101の+X軸側及び−X軸側に形成されているが、台座101aは第1コンタクトプローブ103の+X軸側の列と−X軸側の列との間等の検査の妨げとならない様々な箇所に形成されることができる。   A pedestal 101 a on which the surface mount type piezoelectric device 110 is placed is formed as a part of the placement unit 101 on the surface on the + Z-axis side of the placement unit 101. In FIG. 3A, a part of the pedestal 101a is shown. By mounting the surface-mounted piezoelectric device 110 on the pedestal 101a, a gap is formed between the surface-mounted piezoelectric device 110 and the surface of the mounting portion 101 on the + Z-axis side. The pedestal 101a is formed so that the surface mount terminals 113 and the lead terminals 114 of the surface mount piezoelectric device 110 are exposed in this gap. In FIG. 3A, the pedestal 101a is formed on the + X axis side and the −X axis side of the mounting portion 101, but the pedestal 101a is arranged on the + X axis side row and the −X axis side row of the first contact probe 103. It can be formed at various locations that do not interfere with the inspection, such as between.

図3(b)は、表面実装型圧電装置110が載置された測定治具100の側面図である。図3(b)では、説明のために、第1コンタクトプローブ103を載置部101の手前に表示させている。表面実装型圧電装置110は、載置部101に載置された状態で、固定部102によりベース基板112の+X軸側及び−X軸側の両端が固定される。固定部102は、例えばクリップとして形成される。バネ102aにより固定部102の先端102bがベース基板112に押し付けられることにより、ベース基板112の+X軸側及び−X軸側の両端が載置部101に固定される。   FIG. 3B is a side view of the measuring jig 100 on which the surface mount type piezoelectric device 110 is placed. In FIG. 3B, the first contact probe 103 is displayed in front of the placement unit 101 for explanation. In the state where the surface mount type piezoelectric device 110 is placed on the placement unit 101, both the + X axis side and −X axis side ends of the base substrate 112 are fixed by the fixing unit 102. The fixing part 102 is formed as a clip, for example. When the tip 102b of the fixing portion 102 is pressed against the base substrate 112 by the spring 102a, both the + X axis side and the −X axis side of the base substrate 112 are fixed to the mounting portion 101.

表面実装型圧電装置110のリード端子114は、表面実装型圧電装置110が載置部101に載置された状態で、第1コンタクトプローブ103に接触する。これにより、第1コンタクトプローブ103を介して表面実装型圧電装置110の電気的特性の検査を行うことができる。   The lead terminal 114 of the surface mount type piezoelectric device 110 contacts the first contact probe 103 in a state where the surface mount type piezoelectric device 110 is placed on the placement unit 101. As a result, the electrical characteristics of the surface mount piezoelectric device 110 can be inspected via the first contact probe 103.

第1コンタクトプローブ103は、例えば、リード端子114に接触するヘッド103aと、載置部101に固定される本体103bと、により構成される。ヘッド103aは、リード端子114の長さ、形状などに応じて取り外し及び付け替えが可能となっている。また、図3(b)の右側に示される第1コンタクトプローブ103に点線で示されるように、本体103bの中にはスプリング103cが仕込まれている。これにより、表面実装型圧電装置110が載置部101に載置され固定されてヘッド103aとリード端子114とが接触した場合に、ヘッド103aにはリード端子114を押し返す力が生じ、ヘッド103aとリード端子114との接触を確実にすることができる。   The first contact probe 103 includes, for example, a head 103 a that contacts the lead terminal 114 and a main body 103 b that is fixed to the placement unit 101. The head 103a can be removed and replaced according to the length and shape of the lead terminal 114. Further, as indicated by a dotted line in the first contact probe 103 shown on the right side of FIG. 3B, a spring 103c is charged in the main body 103b. As a result, when the surface-mounted piezoelectric device 110 is placed and fixed on the placement portion 101 and the head 103a and the lead terminal 114 come into contact with each other, a force that pushes back the lead terminal 114 is generated in the head 103a. Contact with the lead terminal 114 can be ensured.

表面実装型圧電装置では、図2(b)で説明されたように、各表面実装端子113のピン配置は様々である。また、各表面実装端子113のピン配置は使用者により異なるため統一化することができない。そのため、表面実装型圧電装置の検査を行うための測定治具を共通化することができず、表面実装型圧電装置ごとに測定治具を用意しなければならなかった。これにより、表面実装型圧電装置の電気的性質の検査に係る費用が大きくなるという問題があった。また、表面実装型圧電装置の表面実装端子113のピン配置が変更になった場合には新たな測定治具を作製しなければならないという手間が生じていた。   In the surface mount type piezoelectric device, as described with reference to FIG. 2B, the pin arrangement of each surface mount terminal 113 is various. Further, the pin arrangement of each surface mount terminal 113 differs depending on the user and cannot be unified. Therefore, a measurement jig for inspecting the surface mount type piezoelectric device cannot be made common, and a measurement jig must be prepared for each surface mount type piezoelectric device. As a result, there has been a problem that the cost associated with the inspection of the electrical properties of the surface-mount piezoelectric device is increased. Further, when the pin arrangement of the surface mounting terminal 113 of the surface mounting type piezoelectric device is changed, there is a trouble that a new measuring jig has to be manufactured.

測定治具100では、表面実装型圧電装置110のリード端子114に直接第1コンタクトプローブ103を接触させて検査を行うことにより、表面実装端子113のピン配置に関係なく検査を行うことができる。また、表面実装型圧電装置110では、リード端子114のピン配置を統一し、ベース基板112の配線を変更することで使用者ごとに異なる表面実装端子113のピン配置に対応することができる。測定治具100では、このような表面実装端子113のピン配置が異なる複数の表面実装型圧電装置に対応することができる。これにより、測定治具100を検査に使用した場合には表面実装型圧電装置に応じた複数の測定治具を用意する必要がないため検査の費用を削減することができる。また、表面実装型圧電装置の表面実装端子113のピン配置が変更になった場合でも新たな測定治具を作製する必要がなく好ましい。   In the measuring jig 100, the inspection can be performed regardless of the pin arrangement of the surface mounting terminal 113 by inspecting the first contact probe 103 directly in contact with the lead terminal 114 of the surface mounting type piezoelectric device 110. Further, in the surface mount type piezoelectric device 110, the pin arrangement of the lead terminals 114 is unified, and the wiring of the base substrate 112 is changed, so that the pin arrangement of the surface mount terminals 113 which varies from user to user can be dealt with. The measuring jig 100 can correspond to a plurality of surface mount piezoelectric devices having different pin arrangements of the surface mount terminals 113. As a result, when the measurement jig 100 is used for inspection, it is not necessary to prepare a plurality of measurement jigs corresponding to the surface-mount type piezoelectric device, so that the inspection cost can be reduced. Further, even when the pin arrangement of the surface mounting terminal 113 of the surface mounting type piezoelectric device is changed, it is preferable that a new measuring jig need not be prepared.

また、従来は市場からの戻り品としての表面実装型圧電装置を検査する場合に、ピン型圧電デバイス111をベース基板112から取り外した後にピン型圧電デバイス111の検査を行う場合があったが、測定治具100を用いる場合にはベース基板112からピン型圧電デバイス111を取り外さずにピン型圧電デバイス111の検査を行うことができるため、市場からの戻り品の検査が容易になる。   Further, conventionally, when inspecting a surface-mounted piezoelectric device as a return product from the market, the pin-type piezoelectric device 111 may be inspected after the pin-type piezoelectric device 111 is detached from the base substrate 112. When the measurement jig 100 is used, the pin type piezoelectric device 111 can be inspected without removing the pin type piezoelectric device 111 from the base substrate 112, so that it is easy to inspect the returned product from the market.

さらに、従来は製造工程の途中でピン型圧電デバイス111の検査を行うため検査工程と製造工程との分離ができなかった。これに対して、測定治具100を用いた検査では表面実装型の表面実装型圧電装置110を組み上げた後に検査を行うことが可能であるため、検査工程と製造工程とを分離することが可能である。これにより、検査工程及び製造工程を互いの制約を受けることなく行えるため好ましい。   Furthermore, conventionally, since the pin-type piezoelectric device 111 is inspected during the manufacturing process, the inspection process and the manufacturing process cannot be separated. On the other hand, in the inspection using the measuring jig 100, since the inspection can be performed after the surface-mounted surface-mounted piezoelectric device 110 is assembled, the inspection process and the manufacturing process can be separated. It is. This is preferable because the inspection process and the manufacturing process can be performed without being restricted by each other.

(第2実施形態)
測定治具では、リード端子に接触する第1コンタクトプローブと共に、表面実装端子に接触する第2コンタクトプローブが形成されても良い。以下に第1コンタクトプローブと共に第2コンタクトプローブが形成された測定治具200について説明する。また、以下の説明では、第1実施形態と同様の部分に関しては第1実施形態と同様の符号を付してその説明を省略する。
(Second Embodiment)
In the measurement jig, a second contact probe that contacts the surface mount terminal may be formed together with the first contact probe that contacts the lead terminal. Hereinafter, the measuring jig 200 in which the second contact probe is formed together with the first contact probe will be described. In the following description, the same parts as those of the first embodiment are denoted by the same reference numerals as those of the first embodiment, and the description thereof is omitted.

<測定治具200の構成>
図4(a)は、測定治具200の側面図である。測定治具200は、測定治具100に、さらに第2コンタクトプローブ203が配置されることにより形成されている。図4(a)では、説明のために、第1コンタクトプローブ103及び第2コンタクトプローブ203を載置部101の手前に示している。第2コンタクトプローブ203は、表面実装型圧電装置110が測定治具200に載置された状態で第2コンタクトプローブ203の先端に形成される接点部203aが表面実装端子113に接触するように形成されている。また、第2コンタクトプローブ203は、第1コンタクトプローブ103と同様に載置部101の−Z軸側の面に第2コンタクトプローブ203の一部が突き出るように形成されている。
<Configuration of measuring jig 200>
FIG. 4A is a side view of the measurement jig 200. The measurement jig 200 is formed by further arranging a second contact probe 203 on the measurement jig 100. In FIG. 4A, the first contact probe 103 and the second contact probe 203 are shown in front of the mounting portion 101 for the sake of explanation. The second contact probe 203 is formed such that a contact portion 203 a formed at the tip of the second contact probe 203 is in contact with the surface mount terminal 113 in a state where the surface mount type piezoelectric device 110 is placed on the measurement jig 200. Has been. Similarly to the first contact probe 103, the second contact probe 203 is formed so that a part of the second contact probe 203 protrudes from the surface on the −Z axis side of the mounting portion 101.

図4(b)は、表面実装型圧電装置110が載置された測定治具200の側面図である。表面実装型圧電装置110は、顧客等の要求によりリード端子114が切断されて絶縁体であるエポキシ樹脂等のアンダーフィル(不図示)で覆われる場合がある。この場合には、リード端子114を介して表面実装型圧電装置110の検査を行うことができない。測定装置200では、このような場合等でも第2コンタクトプローブ203を介して表面実装型圧電装置110の検査を行うことができる。   FIG. 4B is a side view of the measurement jig 200 on which the surface mount piezoelectric device 110 is placed. In some cases, the surface mount type piezoelectric device 110 is covered with an underfill (not shown) such as an epoxy resin as an insulator by cutting the lead terminal 114 according to a request from a customer or the like. In this case, the surface mount piezoelectric device 110 cannot be inspected via the lead terminal 114. In such a case, the measuring apparatus 200 can inspect the surface-mount piezoelectric device 110 via the second contact probe 203.

図4(b)では、表面実装型圧電装置110が測定治具200の載置部101に載置され、第2コンタクトプローブ203の接点部203aが表面実装端子113に接触している状態が示されている。測定治具200では、第2コンタクトプローブ203と表面実装端子113とを接触させることで、第2コンタクトプローブ203を介して表面実装型圧電装置110の電気的特性の検査を行うことができる。また、この第2コンタクトプローブ203を用いる検査では、第1コンタクトプローブ103が測定の妨げとならないように第1コンタクトプローブ103からヘッド103aが取り外されても良い。   FIG. 4B shows a state in which the surface mount type piezoelectric device 110 is mounted on the mounting portion 101 of the measuring jig 200 and the contact portion 203a of the second contact probe 203 is in contact with the surface mount terminal 113. Has been. In the measurement jig 200, the electrical characteristics of the surface mount piezoelectric device 110 can be inspected via the second contact probe 203 by bringing the second contact probe 203 and the surface mount terminal 113 into contact with each other. In the inspection using the second contact probe 203, the head 103a may be detached from the first contact probe 103 so that the first contact probe 103 does not interfere with the measurement.

図5(a)は、第2コンタクトプローブ203の側面図である。第2コンタクトプローブ203は弓状に曲がった軸部203bを有しており、軸部203bの先端に接点部203aが形成される。測定治具200に表面実装型圧電装置110が載置されて接点部203aが表面実装端子113に接触した場合には、接点部203aが−Z軸方向に移動するように軸部203bがしなって弾性変形する。また、この反作用として接点部203aが表面実装端子113に押さえつけられる。これにより、接点部203aと表面実装端子113との接触が確実になる。   FIG. 5A is a side view of the second contact probe 203. The second contact probe 203 has a shaft portion 203b bent in an arcuate shape, and a contact portion 203a is formed at the tip of the shaft portion 203b. When the surface mount type piezoelectric device 110 is placed on the measuring jig 200 and the contact portion 203a contacts the surface mount terminal 113, the shaft portion 203b is bent so that the contact portion 203a moves in the −Z axis direction. And elastically deforms. Further, as a reaction, the contact portion 203a is pressed against the surface mount terminal 113. Thereby, the contact between the contact portion 203a and the surface mounting terminal 113 is ensured.

図5(b)は、第2コンタクトプローブ203の上面図である。第2コンタクトプローブ203は、プレートが折り曲げられたように形成されるプレート式のコンタクトプローブである。第2コンタクトプローブ203は、様々な表面実装端子の形状、大きさに対応させるために、Y軸方向の幅が狭く形成されている。このような第2コンタクトプローブ203は、例えば所定の金型から打ち抜かれることにより形成される。   FIG. 5B is a top view of the second contact probe 203. The second contact probe 203 is a plate-type contact probe formed so that the plate is bent. The second contact probe 203 is formed with a narrow width in the Y-axis direction so as to correspond to various shapes and sizes of surface-mounted terminals. Such a second contact probe 203 is formed, for example, by being punched from a predetermined mold.

図5(c)は、測定治具200の概略平面図である。図5(c)では、説明のために固定部102が省略されて示されている。また、図5(c)では、表面実装型圧電装置110の外形及び表面実装型圧電装置110の−Z軸側の面の表面実装端子113が点線で示されている。測定治具200では、3つの第2コンタクトプローブ203がY軸方向に重なり合うように束になって1つの端子204が形成されている。測定治具200では、1つの端子204が1つの表面実装端子113に対応するように形成されている。   FIG. 5C is a schematic plan view of the measurement jig 200. In FIG. 5C, the fixing portion 102 is omitted for the sake of explanation. Further, in FIG. 5C, the outer shape of the surface-mounted piezoelectric device 110 and the surface-mounted terminal 113 on the surface of the surface-mounted piezoelectric device 110 on the −Z-axis side are indicated by dotted lines. In the measurement jig 200, one terminal 204 is formed in a bundle such that three second contact probes 203 overlap in the Y-axis direction. In the measurement jig 200, one terminal 204 is formed so as to correspond to one surface mount terminal 113.

従来の測定治具にプレート式のコンタクトプローブを配置する場合には、1つのコンタクトプローブが1つの表面実装端子に対応するように形成されていた。しかし、1つのコンタクトプローブは、プレートが薄いため大電流を流すことができず、コンタクトプローブの接触が点接触となる可能性が大きく電源電圧が一定となる状態で電圧を印加することができない場合があった。また、厚いプレートを使用するには、コンタクトプローブを作製するための新たな金型を作る必要があり、検査のための費用が増大するという問題があった。   When a plate-type contact probe is arranged on a conventional measuring jig, one contact probe is formed so as to correspond to one surface mount terminal. However, one contact probe cannot pass a large current due to its thin plate, and the contact probe contact is likely to be a point contact, and the voltage cannot be applied in a state where the power supply voltage is constant. was there. In addition, in order to use a thick plate, it is necessary to make a new mold for producing a contact probe, and there is a problem that the cost for inspection increases.

測定治具200では、複数の第2コンタクトプローブ203を重ね合わせて束ねて使用することにより、1つの表面実装端子に複数の第2コンタクトプローブ203が接触するためコンタクトプローブの接触が1点のみでの接触とならず、大電流にも耐えられるコンタクトプローブとされている。また、測定治具200の端子204では、新たなコンタクトプローブが作製されている訳ではないので検査費用を増大させることがない。   In the measuring jig 200, the plurality of second contact probes 203 are overlapped and bundled and used, so that the plurality of second contact probes 203 come into contact with one surface mount terminal, so that the contact of the contact probe is only one point. It is a contact probe that can withstand a large current. Further, since a new contact probe is not manufactured at the terminal 204 of the measuring jig 200, the inspection cost is not increased.

また、ピン型圧電デバイスをベース基板に取り付けて表面実装型圧電装置とした場合に、端子数の制約がある表面実装型圧電装置はピン型圧電デバイスよりも端子数が少なくなるため、ピン型圧電デバイスには実際に使用できない又は検査できないリード端子が存在する。測定治具100では、表面実装端子を有する表面実装型圧電装置のままでもリード端子を介してピン型圧電デバイスの検査を行えるため、表面実装端子を介しては検査できないリード端子の検査をも行うことが出来る。   In addition, when a pin-type piezoelectric device is attached to a base substrate to form a surface-mount type piezoelectric device, the surface-mount type piezoelectric device with a limited number of terminals has fewer terminals than the pin-type piezoelectric device. There are lead terminals that cannot actually be used or tested in the device. Since the measurement jig 100 can inspect the pin type piezoelectric device through the lead terminal even when the surface mounting type piezoelectric device having the surface mounting terminal is used, the inspection of the lead terminal that cannot be inspected through the surface mounting terminal is also performed. I can do it.

すなわち、測定治具200では、製品で必要な表面実装端子113を測定するための第1コンタクトプローブ103を有すると共に、検査用として第2コンタクトプローブ203を使用することができる。   In other words, the measurement jig 200 has the first contact probe 103 for measuring the surface mount terminals 113 necessary for the product, and the second contact probe 203 can be used for inspection.

(第3実施形態)
以下に、測定治具100又は測定治具200を用いた表面実装型圧電装置110の検査方法について説明する。また、以下の説明では、第1実施形態又は第2実施形態と同様の部分に関して第1実施形態又は第2実施形態と同じ符号を付してその説明を省略する。
(Third embodiment)
Hereinafter, a method for inspecting the surface mount piezoelectric device 110 using the measurement jig 100 or the measurement jig 200 will be described. Moreover, in the following description, the same code | symbol as 1st Embodiment or 2nd Embodiment is attached | subjected regarding the part similar to 1st Embodiment or 2nd Embodiment, and the description is abbreviate | omitted.

<表面実装型圧電装置110の検査方法>
図6は、表面実装型圧電装置110の検査方法が示されたフローチャートである。以下に図6を参照して表面実装型圧電装置110の検査方法を説明する。
<Inspection Method of Surface Mount Type Piezoelectric Device 110>
FIG. 6 is a flowchart showing a method for inspecting the surface-mounted piezoelectric device 110. Hereinafter, an inspection method for the surface-mounted piezoelectric device 110 will be described with reference to FIG.

ステップS101では、使用するコンタクトプローブが選択される。すなわち、ステップS101では表面実装型圧電装置110の表面実装端子113を使用して検査を行うかリード端子114を使用して検査を行うかが選択される。リード端子114を介して検査を行う場合には第1コンタクトプローブ103が選択される。測定治具には測定治具100又は測定治具200のどちらの測定治具が選択されても良い。表面実装端子113を介して検査を行う場合には第2コンタクトプローブ203が選択されるため、測定治具には測定治具200が選択される。使用するコンタクトプローブに第1コンタクトプローブ103が選択される場合にはステップS102に進み、第2コンタクトプローブ203が選択される場合にはステップS202に進む。   In step S101, a contact probe to be used is selected. That is, in step S101, it is selected whether the inspection is performed using the surface mounting terminal 113 of the surface mounting type piezoelectric device 110 or the inspection using the lead terminal 114. When the inspection is performed via the lead terminal 114, the first contact probe 103 is selected. Either the measurement jig 100 or the measurement jig 200 may be selected as the measurement jig. When the inspection is performed via the surface mount terminal 113, the second contact probe 203 is selected, and thus the measurement jig 200 is selected as the measurement jig. When the first contact probe 103 is selected as the contact probe to be used, the process proceeds to step S102, and when the second contact probe 203 is selected, the process proceeds to step S202.

ステップS102では、第1コンタクトプローブ103にリード端子114が接触するように表面実装型圧電装置110が載置部101に載置される。ステップS102は載置工程である。表面実装型圧電装置110を載置部101に載置する場合には、固定部102の先端102b(図3(b)等参照)を+Z軸側に上げておく等して固定部102が載置の妨げとならないようにしておく。   In step S <b> 102, the surface mount piezoelectric device 110 is placed on the placement unit 101 so that the lead terminal 114 contacts the first contact probe 103. Step S102 is a placement process. When the surface mount type piezoelectric device 110 is mounted on the mounting portion 101, the fixing portion 102 is mounted by raising the tip 102b (see FIG. 3B, etc.) of the fixing portion 102 to the + Z axis side. Keep it out of the way.

ステップS103では、表面実装型圧電装置110が固定部102で固定される。ステップS103は固定工程である。固定工程では、ベース基板112の+X軸側及び−X軸側の両端が固定部102の先端102bで抑えられることにより表面実装型圧電装置110が載置部101に固定される(図3(b)参照)。   In step S <b> 103, the surface mount piezoelectric device 110 is fixed by the fixing unit 102. Step S103 is a fixing process. In the fixing step, both the + X-axis side and the −X-axis side of the base substrate 112 are held by the tip 102b of the fixing unit 102, whereby the surface-mount type piezoelectric device 110 is fixed to the mounting unit 101 (FIG. 3B). )reference).

ステップS104では、第1コンタクトプローブ103を介して表面実装型圧電装置110の検査が行われる。ステップS104は検査工程である。検査工程では、載置部101の−Z軸側の面から突き出た第1コンタクトプローブ103を介して表面実装型圧電装置110の電源の供給及び出力信号等の電気的特性が検査される。   In step S <b> 104, the surface-mounted piezoelectric device 110 is inspected via the first contact probe 103. Step S104 is an inspection process. In the inspection process, electrical characteristics such as power supply and output signals of the surface mount piezoelectric device 110 are inspected via the first contact probe 103 protruding from the surface on the −Z-axis side of the mounting portion 101.

一方、ステップS202では、第2コンタクトプローブ203に表面実装端子113が接触するように表面実装型圧電装置110が載置部101に載置される。ステップS202は載置工程である。ステップS202では、表面実装端子113の大きさ及び使用電圧等を考慮して、測定治具200の各端子204に使用される第2コンタクトプローブ203の枚数が調整されて載置部101に配置される(図5(c)参照)。その後、各第2コンタクトプローブ203の接点部203aが表面実装端子113に接触するように表面実装型圧電装置110が載置部101に載置される。また、表面実装型圧電装置110を載置部101に載置する場合には、ステップS102と同様に、固定部102の先端102b(図4(b)等参照)を+Z軸側に上げておく等して固定部102が載置の妨げとならないようにしておく。   On the other hand, in step S <b> 202, the surface mount type piezoelectric device 110 is placed on the placement unit 101 so that the surface mount terminals 113 are in contact with the second contact probe 203. Step S202 is a placement process. In step S <b> 202, the number of second contact probes 203 used for each terminal 204 of the measuring jig 200 is adjusted and placed on the mounting portion 101 in consideration of the size of the surface mounting terminal 113 and the voltage used. (See FIG. 5C). Thereafter, the surface mount piezoelectric device 110 is placed on the placement portion 101 such that the contact portions 203a of the second contact probes 203 come into contact with the surface mount terminals 113. Further, when the surface-mount piezoelectric device 110 is placed on the placement portion 101, the tip 102b (see FIG. 4B, etc.) of the fixed portion 102 is raised to the + Z-axis side as in step S102. For example, the fixing portion 102 is prevented from hindering placement.

ステップS203では、表面実装型圧電装置110が固定部102で固定される。ステップS203は固定工程である。固定工程では、ベース基板112の+X軸側及び−X軸側の両端が固定部102の先端102bで抑えられることにより表面実装型圧電装置110が載置部101に固定される(図4(b)参照)。   In step S <b> 203, the surface mount piezoelectric device 110 is fixed by the fixing unit 102. Step S203 is a fixing step. In the fixing step, both the + X-axis side and the −X-axis side of the base substrate 112 are held down by the tip 102b of the fixing unit 102, whereby the surface mount piezoelectric device 110 is fixed to the mounting unit 101 (FIG. 4B). )reference).

ステップS204では、第2コンタクトプローブ204を介して表面実装型圧電装置110の検査が行われる。ステップS204は検査工程である。検査工程では、載置部101の−Z軸側の面から突き出た第2コンタクトプローブ203を介して表面実装型圧電装置110の電源の供給及び出力信号等の電気的特性が検査される。   In step S204, the surface-mounted piezoelectric device 110 is inspected via the second contact probe 204. Step S204 is an inspection process. In the inspection process, electrical characteristics such as power supply and output signals of the surface-mount piezoelectric device 110 are inspected via the second contact probe 203 protruding from the surface on the −Z-axis side of the mounting portion 101.

以上、本発明の最適な実施形態について詳細に説明したが、当業者に明らかなように、本発明はその技術的範囲内において実施形態に様々な変更及び変形を加えて実施することができる。また、各実施形態の特徴を様々に組み合わせて実施することができる。   The optimal embodiment of the present invention has been described above in detail, but as will be apparent to those skilled in the art, the present invention can be implemented with various modifications and variations within the technical scope thereof. Moreover, the features of each embodiment can be implemented in various combinations.

100、200 … 測定治具
101 … 載置部
101a … 台座
102 … 固定部
102a … バネ
102b … 固定部の先端
103 … 第1コンタクトプローブ
103a … ヘッド
103b … 本体
103c … スプリング
110 … 表面実装型圧電装置
111 … ピン型圧電デバイス
112 … ベース基板
113、113a〜113g … 表面実装端子
114 … リード端子
203 … 第2コンタクトプローブ
203a … 接点部
203b … 軸部
204 … 端子
DESCRIPTION OF SYMBOLS 100, 200 ... Measuring jig 101 ... Mounting part 101a ... Base 102 ... Fixed part 102a ... Spring 102b ... Tip of fixed part 103 ... First contact probe 103a ... Head 103b ... Main body 103c ... Spring 110 ... Surface mount type piezoelectric device DESCRIPTION OF SYMBOLS 111 ... Pin type piezoelectric device 112 ... Base substrate 113, 113a-113g ... Surface mount terminal 114 ... Lead terminal 203 ... Second contact probe 203a ... Contact part 203b ... Shaft part 204 ... Terminal

Claims (3)

第1主面及び前記第1主面の反対側で複数の表面実装端子が形成される第2主面を有するベース基板と、複数の表面実装端子に電気的に接続される複数のリード端子を有し前記複数のリード端子が前記第2主面に露出するように前記ベース基板の前記第1主面に載置されるピン型圧電デバイスと、を備える表面実装の表面実装型圧電装置と、
第3主面及びその反対側の第4主面を有し、前記表面実装型圧電装置の前記第2主面を前記第3主面に面するように載置する載置部と前記表面実装型圧電装置を前記載置部に固定する固定部と前記載置部に固定され前記表面実装型圧電装置が前記載置部に載置された場合に前記複数のリード端子に接触する複数の第1コンタクトプローブ及び前記複数の表面実装端子に接触する複数の第2コンタクトプローブと、を備える測定治具と、
から構成される表面実装型圧電装置の測定システム。
A base substrate having a first main surface and a second main surface on which a plurality of surface mount terminals are formed on the opposite side of the first main surface, and a plurality of lead terminals electrically connected to the plurality of surface mount terminals A surface-mounted surface-mount type piezoelectric device comprising: a pin-type piezoelectric device mounted on the first main surface of the base substrate so that the plurality of lead terminals are exposed on the second main surface ;
The third major surface and a fourth major surface of the opposite side, a mounting portion for mounting said second main surface of the surface mount type piezoelectric device to face the third major surface, said surface a fixing unit for fixing the mount type piezoelectric device to the mounting section, in contact with the plurality of lead terminals when fixed to the mounting section prior Symbol surface mount type piezoelectric device is placed on the placement section A plurality of first contact probes and a plurality of second contact probes that contact the plurality of surface mount terminals ,
Measurement system for surface-mount piezoelectric devices composed of
前記第1コンタクトプローブは、直線状に伸びた形状で前記載置部を前記第4主面から前記第3主面に貫通している請求項1に記載の表面実装型圧電装置の測定システム2. The surface mounting type piezoelectric device measurement system according to claim 1, wherein the first contact probe has a shape extending linearly and penetrates the mounting portion from the fourth main surface to the third main surface. 3. 前記第2コンタクトプローブは、前記表面実装端子に接触する接点部が前記第3面に垂直方向に弾性変形するように前記接点部から弓状に曲がった軸部を有し、打ち抜かれて形成されたプレートが複数枚重ね合って形成される請求項1又は請求項2に記載の表面実装型圧電装置の測定システム

Forming the second contact probe has a shaft portion contact portion in contact with the surface mount terminal is bent arcuately from said contact portion so as to elastically deform in a direction perpendicular to the third main surface, punched and The surface mounting type piezoelectric device measurement system according to claim 1, wherein a plurality of the formed plates are overlapped.

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