JP2005311172A - 半導体製造装置および測定ずれ検出方法 - Google Patents
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Abstract
分子流領域の圧力下で測定ズレ量を検出する、設備費の安価な半導体製造装置を提供。
【解決手段】
真空ポンプ5により減圧可能な真空搬送室3と、真空ポンプ8により減圧可能な処理室7と、真空搬送室3と処理室7との間を遮断あるいは開放するゲートバルブ6と、真空搬送室3内の圧力を計測する搬送室圧力計23と、処理室7内の圧力を計測する処理室圧力計24を備える。圧力比較判定器22は、真空ポンプ8の排気速度と、ゲートバルブ6のコンダクタンスと、ゲートバルブ6が遮断している時の処理室圧力計24の計測値と、ゲートバルブ6が開放している時の搬送室圧力計23の計測値とから、処理室7の圧力の予想値を求める。そして、ゲートバルブ6が開放している時の処理室圧力計24の計測値と予想値との差を測定ズレ量として求め、測定ズレ量が所定の値より大きな場合には処理室圧力計24が異常であると判断する。
【選択図】
図1
Description
Qs=Ss(Psc-Pus) −−−(1)
と表される。
Qy=C(Pho-Psy) −−−(2)
となる。
P=Q/S+Pu −−−(3)
で表される関係がある。したがって、処理室7への気体流量の総量は、Qy+Qsであるので、予想処理室圧力値Psyは、
Psy=(Qy+Qs)/Ss+Pus −−−(4)
と表される。式(4)に式(1)、(2)を代入すると、
Psy=(C(Pho-Psy)+Ss(Psc-Pus))/Ss+Pus −−−(5)
が得られ、式(5)からPsyを求めると、
Psy=(SsPsc+CPho)/(Ss+C) −−−(6)
が得られる。
2、6、9、11 ゲートバルブ
3、3a 真空搬送室
4 搬送アーム
5 搬送室真空ポンプ
7、10、12 処理室
8、13、14 処理室真空ポンプ
20、20a 搬送制御器
21 処理室制御器
22、27、30 圧力比較判定器
23 搬送室圧力計
24、29、32 処理室圧力計
26、28、31 判定規格算出器
33 搬送室圧力計ずれ警報器
40 予備室ゲートバルブ開閉信号
41 圧力信号
42 搬送完了信号
43 ゲートバルブ開閉信号
44 処理室圧力計異常信号
45 処理完了信号
46、48、49 圧力信号
50、51、52 ずれ信号
54、55 ゲートバルブ開閉信号
Claims (11)
- 減圧可能な搬送室と、
減圧可能な処理室と、
前記搬送室と前記処理室との間を遮断あるいは開放するバルブと、
前記搬送室内の圧力を計測する搬送室圧力計と、
前記処理室内の圧力を計測する処理室圧力計と、
前記バルブ遮断時の前記処理室圧力計による第1の計測値と、前記バルブ開放後、所定の時間経過した時の前記搬送室圧力計による第2の計測値とを入力し、前記バルブ開放後、前記所定の時間経過した時の前記処理室圧力計における測定ずれ量を求めるずれ検出器と、
を備えることを特徴とする半導体製造装置。 - 前記ずれ検出器は、前記第1の計測値と、前記第2の計測値とに基づいて、前記所定の時間経過した時の前記処理室の圧力の予想値を求め、前記所定の時間経過した時の前記処理室圧力計による計測値と前記予想値との差を前記測定ずれ量として求めるように構成されることを特徴とする請求項1記載の半導体製造装置。
- 前記ずれ検出器は、前記測定ずれ量が所定の値より大きな場合には前記処理室圧力計が異常である旨の信号を出力することを特徴とする請求項1または2記載の半導体製造装置。
- 前記処理室に備えられる真空ポンプの排気速度と、前記バルブのコンダクタンスと、前記第1の計測値と、前記第2の計測値とから、前記予想値を求めることを特徴とする請求項2記載の半導体製造装置。
- 前記排気速度をSs、前記コンダクタンスをC、前記第1の計測値をPsc、前記第2の計測値をPhoとする場合に、前記予想値Psyを、Psy=(SsPsc+CPho)/(Ss+C)として求めることを特徴とする請求項4記載の半導体製造装置。
- 減圧可能な搬送室と、
減圧可能なn個(nは2以上の自然数)の処理室と、
前記搬送室と前記第i(i=1〜nの整数)の処理室との間を遮断あるいは開放する第iのバルブと、
前記搬送室内の圧力を計測する搬送室圧力計と、
前記第iの処理室内の圧力を計測する第iの処理室圧力計と、
前記第iのバルブ開放前であって全てのバルブが遮断している時の前記第iの処理室圧力計による計測値と、前記第iのバルブ開放後、所定の時間経過した時の前記搬送室圧力計による計測値とを入力し、前記所定の時間経過した時の前記第iの処理室圧力計における第iの測定ずれ量を求める第iの検出器と、
前記第iの検出器から出力される前記第iの測定ずれ量について、ずれが同一方向でi=1〜nのずれの合計値が所定の値より大きな場合には警報を発生させる警報器と、
を備えることを特徴とする半導体製造装置。 - 前記第iの検出器は、前記第iのバルブ開放前であって全てのバルブが遮断している時の前記第iの処理室圧力計による計測値と、前記第iのバルブが開放後、前記所定の時間経過した時の前記搬送室圧力計による計測値とに基づいて、前記所定の時間経過した時の前記第iの処理室の圧力の第iの予想値を求め、前記所定の時間経過した時の前記第iの処理室圧力計による第iの計測値と前記第iの予想値との差を前記第iの測定ずれ量として求めるように構成されることを特徴とする請求項6記載の半導体製造装置。
- 半導体基板を製造する装置における圧力計の測定ずれ検出方法であって、
減圧可能な搬送室と減圧可能な処理室との間をバルブによって遮断するステップと、
前記バルブが遮断している状態で前記処理室内の圧力を計測し、第1の計測値を求めるステップと、
前記搬送室と前記処理室との間を前記バルブによって開放するステップと、
所定の時間待ち合わせるステップと、
前記搬送室内の圧力を計測し、第2の計測値を求めるステップと、
前記第1の計測値と、前記第2の計測値とから前記処理室の圧力の予想値を求めるステップと、
前記バルブが開放している時の前記処理室の圧力の計測値と前記予想値との差を測定ずれ量として求めるステップと、
を含むことを特徴とする測定ずれ検出方法。 - 前記測定ずれ量が所定の値より大きな場合には前記処理室における圧力計が異常であると判断するステップをさらに含むことを特徴とする請求項8記載の測定ずれ検出方法。
- 前記処理室に備えられる真空ポンプの排気速度と、前記バルブのコンダクタンスと、前記第1の計測値と、前記第2の計測値とから、前記予想値を求めることを特徴とする請求項8記載の測定ずれ検出方法。
- 前記排気速度をSs、前記コンダクタンスをC、前記第1の計測値をPsc、前記第2の計測値をPhoとする場合に、前記予想値Psyを、Psy=(SsPsc+CPho)/(Ss+C)として求めることを特徴とする請求項10記載の測定ずれ検出方法。
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---|---|---|---|---|
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Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05251543A (ja) * | 1992-03-05 | 1993-09-28 | Nec Kyushu Ltd | 半導体処理装置 |
JPH11229141A (ja) * | 1998-02-13 | 1999-08-24 | Kokusai Electric Co Ltd | 基板搬送方法 |
JP2001070781A (ja) * | 1999-09-09 | 2001-03-21 | Ebara Corp | 真空処理装置 |
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- 2004-04-23 JP JP2004128185A patent/JP4511236B2/ja not_active Expired - Fee Related
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