JP2005310465A - Manufacturing method of organic el element and organic el element - Google Patents

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一伸 入江
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a manufacturing method of an organic EL element capable of forming an organic layer having the excellent linearity of the end of a pattern on a substrate without causing a transfer defect that a part of an ink layer to be transferred and removed is left on a blanket, in a manufacturing method of an organic EL element using letterpress reversing offset printing. <P>SOLUTION: A relief printing plate having linear or dashed line-like cut-out parts 7 at upper surface ends of its projecting parts 6 for incising an ink layer is used as a relief printing plate 3 for transferring and removing unnecessary parts of the ink layer. <P>COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

Description

本発明は、有機EL素子に関するものであり、特に、有機EL素子の有機層を凸版反転オフセット印刷方式によりパターン状に形成する有機EL素子の製造方法及び有機EL素子に関する。   The present invention relates to an organic EL element, and more particularly, to an organic EL element manufacturing method and an organic EL element in which an organic layer of an organic EL element is formed in a pattern by a letterpress reverse offset printing method.

有機EL素子は、電子注入電極をなす陰極と正孔注入電極をなす陽極との間に蛍光あるいは燐光性有機化合物を含む薄膜の有機層を挟んだ構造を有し、有機層に電子及び正孔を注入して再結合させることにより励起子を生成させ、この励起子が失活する際の光の放出(蛍光・燐光)を利用して表示を行う表示素子である。   An organic EL element has a structure in which a thin organic layer containing a fluorescent or phosphorescent organic compound is sandwiched between a cathode forming an electron injection electrode and an anode forming a hole injection electrode. This is a display element that performs display by utilizing the emission of light (fluorescence / phosphorescence) when excitons are generated by injecting and recombining and exciton is generated.

有機EL素子の発光層に用いられる有機材料は、低分子の材料と高分子の材料とに分類されている。発光層の形成方法は材料によって異なり、低分子材料は主に蒸着法で成膜させる方法が用いられ、高分子材料は溶剤に溶解あるいは分散させて基板上に塗布する方法が行われている。
また、有機EL素子をフルカラー化するために発光層をパターニングする手段としては、低分子系材料を用いる場合は、所望の画素形状に応じたパターンが形成されたマスクを用いて、異なる発光色の発光材料を所望の画素に対応した部分に蒸着し形成する方法が行われている。
この方法は所望の形状に薄膜を均一に形成するには優れた方法であるが、マスクの精度の点から蒸着される基板が大型になると、パターンの形成が困難になるという問題点がある。
Organic materials used for the light emitting layer of the organic EL element are classified into low-molecular materials and high-molecular materials. The method for forming the light emitting layer varies depending on the material. For low molecular weight materials, a method of forming a film mainly by vapor deposition is used, and for high molecular weight materials, a method of dissolving or dispersing in a solvent and applying on a substrate is performed.
In addition, as a means for patterning the light emitting layer in order to make the organic EL element full color, when using a low molecular weight material, a mask having a pattern according to a desired pixel shape is used, and different light emitting colors are used. A method of depositing and forming a light emitting material on a portion corresponding to a desired pixel is performed.
This method is an excellent method for uniformly forming a thin film in a desired shape, but there is a problem that it is difficult to form a pattern when the substrate to be deposited becomes large in terms of mask accuracy.

一方、高分子系材料を用いる場合は、主にインクジェット法によるパターン形成と、印刷によるパターン形成方法が提案されている。例えば、特開平10−12377号公報に開示されているインクジェット法は、インクジェットノズルから溶剤に溶かした発光層材料を基板上に噴出させ、基板上で乾燥させることで所望のパターンを得る方法である。
しかしながら、ノズルから噴出されたインク液滴は球状をしている為、基板上に着弾する際にインクが円形状に広がり、形成したパターンの形状が直線性に欠けたり、着弾精度が悪くパターンの直線性が得られないという問題点がある。
On the other hand, in the case of using a polymer material, a pattern formation mainly by an ink jet method and a pattern formation method by printing have been proposed. For example, the ink jet method disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 10-12377 is a method of obtaining a desired pattern by ejecting a light emitting layer material dissolved in a solvent from an ink jet nozzle onto a substrate and drying it on the substrate. .
However, since the ink droplets ejected from the nozzle are spherical, the ink spreads in a circular shape when landing on the substrate, the shape of the formed pattern lacks linearity, or the landing accuracy is poor. There is a problem that linearity cannot be obtained.

これに対し、例えば、特開2002−305077号公報では、予め基板上にフォトリソグラフィなどを用いて、撥インク性のある材料でバンクを形成し、そこにインク液滴を着弾させることで、バンク形状に応じてインクがはじき、直線性のパターンが得られるという方法が開示されている。
しかし、インクジェット法を用いてパターンを形成する場合、インクジェットノズルが単位時間で描画処理する面積が小さく、パターン形成のスループットが小さいという問題が残る。
On the other hand, for example, in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2002-305077, a bank is previously formed on a substrate with a material having ink repellency by using photolithography, and ink droplets are landed on the bank. A method is disclosed in which ink repels according to the shape and a linear pattern is obtained.
However, when a pattern is formed using the ink jet method, there remains a problem that the area where the ink jet nozzle performs drawing processing per unit time is small, and the pattern formation throughput is low.

インクジェット法を用いず、印刷法によって基板上に高分子材料で発光層のパターンを形成する方法として、例えば、特開2003−17261号公報では凸版反転オフセット印刷法が提案されている。凸版反転オフセット印刷法は、発光層を印刷でパターニングして形成する場合、まず、発光層の材料を溶剤に溶解、あるいは分散したインク(以降単にインクとも呼ぶ)をブランケット上にスリットコータやキャップコータ、ディップコータ等を用いて塗布してインク層を形成し、次に、目的のパターン(ポジ部分)に対し、ネガ版になっている凸版を押し当てて不要な部分(ネガ部分)のインク層を転写除去したのち、ブランケット上に残ったインク層のパターン(ポジ部分)を素子を形成する基板上に転
写するといった印刷法である。
As a method for forming a light emitting layer pattern with a polymer material on a substrate by a printing method without using an ink jet method, for example, Japanese Laid-Open Patent Publication No. 2003-17261 proposes a relief reversal offset printing method. In the letterpress reverse printing method, when the light emitting layer is formed by patterning by printing, first, an ink (hereinafter also referred to simply as ink) in which the material of the light emitting layer is dissolved or dispersed in a solvent is placed on a blanket with a slit coater or cap coater. Apply an ink layer using a dip coater, etc., and then press the negative relief plate against the target pattern (positive part) to remove the unnecessary ink layer (negative part). Is transferred and removed, and then the ink layer pattern (positive portion) remaining on the blanket is transferred onto the substrate on which the element is formed.

このような凸版反転オフセット印刷法による発光層のパターニングは、使用する装置も少なく、材料の利用も効率的で、スループットも良く、コストダウンに繋がるため好ましいものである。しかし、インク層が形成されたブランケットから目的のパターンに対し、ネガ版になっている凸版を押し当てて不要な部分を転写除去する工程においては、図1(a)のように、ブランケット1上のインク層2に凸版3の凸部6が接触し、その部分が引き剥がされる時、図1(b)のように、基板に形成されるインク層のパターン(ブランケットに残る部分)の端部Aと、インク層の凸版に転写除去された部分の端部Bとは、その境界でインクが引き千切られたものであるために、基板に形成されるインク層のパターンの端部Aは直線性が悪いという欠点があった。   Patterning of the light emitting layer by such a relief reversal offset printing method is preferable because it uses few devices, uses materials efficiently, has high throughput, and leads to cost reduction. However, in the process of transferring and removing an unnecessary portion from the blanket on which the ink layer is formed against the target pattern by pressing the relief plate that is a negative plate, as shown in FIG. When the convex portion 6 of the relief plate 3 comes into contact with the ink layer 2 and is peeled off, the end portion of the ink layer pattern (the portion remaining on the blanket) formed on the substrate as shown in FIG. A and the end portion B of the portion of the ink layer that has been transferred and removed from the relief printing plate are those where the ink has been torn off at the boundary, so the end portion A of the pattern of the ink layer formed on the substrate is a straight line There was a drawback of poor nature.

また、ブランケットから凸版へのインク層の転写除去の際に、インクの材料のわずかな物性の違いや、インク層の乾燥条件のわずかな違いによって、ブランケット表面へのインクの密着性や、凸版表面へのインクの密着性、及び半乾燥状態のインク層の膜の強度に差が生じるため、ブランケット上のインク層の、凸版の凸部を圧着した箇所を引き剥がす時に、インク層が凸部の端部でうまく切れ離されず、凸部にインク層が転写除去されないことがある。すなわち、凸版の凸部に転写除去されるべきインク層の部分がブランケット上に残留してしまうといった転写欠陥が発生することがある。このため、インク層の材料の物性や、転写除去時のプロセス条件を厳密に制御しなければならないという問題がある。
特開2002−305077号公報 特開2003−17261号公報
In addition, when transferring the ink layer from the blanket to the relief printing plate, the ink adhesion to the blanket surface or the relief printing surface may vary depending on the slight difference in the physical properties of the ink material and the slight drying conditions of the ink layer. Since the ink adhesion to the ink and the strength of the ink layer film in the semi-dry state are different, when the part of the ink layer on the blanket where the convex part of the relief plate is pressed is peeled off, the ink layer In some cases, the ink layer is not separated well at the end portion and the ink layer is not transferred and removed from the convex portion. That is, there may occur a transfer defect in which a portion of the ink layer to be transferred and removed on the convex portion of the relief plate remains on the blanket. For this reason, there is a problem that the physical properties of the material of the ink layer and the process conditions at the time of transfer removal must be strictly controlled.
JP 2002-305077 A JP 2003-17261 A

本発明は、上記問題点に鑑みてなされたものであり、凸版反転オフセット印刷法で有機層を形成する有機EL素子の製造方法において、基板上のパターンの端部の直線性に優れ、また、転写除去されるべきインク層の部分がブランケット上に残留してしまうといった転写欠陥が無く有機層を形成することが可能な有機EL素子の製造方法を提供することを課題とするものである。
また、上記有機EL素子の製造方法を用いて製造された有機EL素子を提供することを課題とする。
The present invention has been made in view of the above problems, and in the method for manufacturing an organic EL element in which an organic layer is formed by a letterpress reversal offset printing method, the edge of the pattern on the substrate is excellent in linearity. It is an object of the present invention to provide a method for manufacturing an organic EL element capable of forming an organic layer without a transfer defect such that a portion of an ink layer to be transferred and removed remains on a blanket.
It is another object of the present invention to provide an organic EL element manufactured using the method for manufacturing an organic EL element.

本発明は、凸版反転オフセット印刷方式による有機EL素子の製造方法において、インク層の不要部を転写除去する凸版として、その凸部の上面端部にインク層に切り込みを入れるための線状もしくは破線状の切り込み部を有した凸版を用いることを特徴とする有機EL素子の製造方法である。   The present invention relates to a method for producing an organic EL element using a letterpress reverse offset printing method, as a letterpress for transferring and removing an unnecessary portion of an ink layer, a line or a broken line for cutting an ink layer into an upper surface end of the convex part. It is a manufacturing method of the organic EL element characterized by using the relief plate which has a shape-shaped cut | notch part.

また、本発明は、上記発明による有機EL素子の製造方法を用いて製造したことを特徴とする有機EL素子である。   Moreover, this invention is an organic EL element manufactured using the manufacturing method of the organic EL element by the said invention.

本発明は、凸版反転オフセット印刷方式による有機EL素子の製造方法において、インク層の不要部を転写除去する凸版として、その凸部の上面端部にインク層に切り込みを入れるための線状もしくは破線状の切り込み部を有した凸版を用いるので、基板上のパターンの端部の直線性に優れ、また、転写除去されるべきインク層の部分がブランケット上に残留してしまうといった転写欠陥が無く有機層を形成することが可能な有機EL素子の製
造方法となる。
また、本発明は、上記有機EL素子の製造方法を用いて製造した有機EL素子であるので、パターンの端部の直線性に優れ、転写欠陥の無い有機EL素子となる。
The present invention relates to a method for producing an organic EL element using a letterpress reverse offset printing method, as a letterpress for transferring and removing an unnecessary portion of an ink layer, a line or a broken line for cutting an ink layer into an upper surface end of the convex part. Uses a relief plate with a cut-out in the shape of a plate, so it has excellent linearity at the edge of the pattern on the substrate, and there is no transfer defect such that the portion of the ink layer to be transferred and removed remains on the blanket. It becomes the manufacturing method of the organic EL element which can form a layer.
Moreover, since this invention is an organic EL element manufactured using the manufacturing method of the said organic EL element, it is excellent in the linearity of the edge part of a pattern, and becomes an organic EL element without a transfer defect.

以下に、本発明による有機EL素子の製造方法を、その実施形態に基づいて詳細に説明する。
図2(a)は、本発明による有機EL素子の製造方法において用いられる凸版の一例の概略図である。図2(a)に示すように、凸版3は、その凸部6の上面端部にインク層に切り込みを入れるための線状もしくは破線状の切り込み部7を有したものである。
Below, the manufacturing method of the organic EL element by this invention is demonstrated in detail based on the embodiment.
FIG. 2A is a schematic view of an example of a relief printing plate used in the method for producing an organic EL element according to the present invention. As shown in FIG. 2A, the relief plate 3 has a linear or broken cut portion 7 for making a cut in the ink layer at the upper end portion of the convex portion 6.

インク層が形成されたブランケットから、目的のパターン(ポジ部分)に対しネガ版になっている凸版を押し当てて、インク層の不要な部分(ネガ部分)を転写除去する工程においては、図2(b)のように、凸部の上面端部に線状もしくは破線状の切り込み部7を有しているため、インク層が形成されたブランケットに押し当てた際に切り込み部7がインク層2に食い込み、インク層に切れこみを入れる事が出来る。   In the process of transferring and removing an unnecessary part (negative part) of the ink layer by pressing a negative relief plate against the target pattern (positive part) from the blanket on which the ink layer is formed, FIG. As shown in (b), since the upper or lower end of the convex portion has a linear or broken cut portion 7, the cut portion 7 is moved to the ink layer 2 when pressed against the blanket on which the ink layer is formed. You can bite into the ink layer.

従って、ブランケットと凸版を引き離す際に、端部に沿った切れこみがインク層にできているため、この切れこみの形状に応じて図2(c)の様にインク層が切り離される。すなわち、基板上に形成されたインク層のパターンの端部の直線性は良好なものとなる。また、転写除去されるべきインク層の部分がブランケット上に残留してしまうといった転写欠陥は発生しない。   Accordingly, when the blanket and the letterpress are separated, a cut along the edge is formed in the ink layer, and the ink layer is cut as shown in FIG. 2C according to the shape of the cut. That is, the linearity of the end portion of the ink layer pattern formed on the substrate is good. Further, there is no transfer defect such that the portion of the ink layer to be transferred and removed remains on the blanket.

ブランケットの材料は、この方法に用いることが出来るのであれば特に限定されるものではないが、インクの溶剤に対する耐性、膨潤性、形状安定性、インクとの密着性と濡れ性などを考慮するとシリコーンゴムやフッ素化シリコーンゴムなどを用いることが好ましい。   The material of the blanket is not particularly limited as long as it can be used in this method, but it is silicone in consideration of resistance to ink solvent, swelling property, shape stability, adhesion to ink and wettability. It is preferable to use rubber or fluorinated silicone rubber.

凸版の材料は、この方法に用いることが出来るのであれば特に限定はされないが、パターンのピッチ精度、インクに対する濡れ性と密着性を考慮するとガラス板、石英板、金属板、樹脂板などを用いることが可能であり、表面性やパターン精度の点からガラス板あるいは石英板が好ましく用いられる。また、これらの材料の表面にインクとの密着性などを付与する目的で表面処理を行ったり、適切な材料を塗布して密着層を形成しても良い。
また、凸版の凹部を形成する方法は特に限定されないが、フォトリソグラフィでレジストパターンを形成しておき、ドライエッチング、ウェットエッチング、サンドブラストなどの方法で凹部を形成するのが好ましい。凹部の深さは余り浅すぎるとブランケットを押し当てた際に凹部にブランケット表面のインク層が凹部の底面に接触してしまい好ましくない。
The material of the relief plate is not particularly limited as long as it can be used in this method, but a glass plate, a quartz plate, a metal plate, a resin plate, etc. are used in consideration of pattern pitch accuracy, ink wettability and adhesion. In view of surface properties and pattern accuracy, a glass plate or a quartz plate is preferably used. In addition, the surface of these materials may be subjected to surface treatment for the purpose of imparting adhesion with ink or the like, or an appropriate material may be applied to form an adhesion layer.
The method for forming the concave portions of the relief plate is not particularly limited, but it is preferable to form a resist pattern by photolithography and form the concave portions by a method such as dry etching, wet etching or sand blasting. If the depth of the recess is too shallow, the ink layer on the surface of the blanket will come into contact with the bottom surface of the recess when the blanket is pressed.

凸部に切り込み部7を形成する方法は、切り込み部を形成することが出来る方法であれば特に限定されるものではないが、切り込み部の直線性がそのままパターニングするインク層の直線性になるので、切り込み部の形成方法としてはフォトリソグラフィを用いて版の上にレジスト層を形成し、切り込み部を残して凸版部をエッチングする方法が好ましい。
また、エッチングの際には、凸版の基材をそのままエッチングしてもよいし、凸版の基材の上に別の材料を切り込み部の高さ分を成膜して、フォトリソグラフィを用いて所望の切り込み部を残して、この膜をエッチングにより除去することで切り込み部を形成してもよい。また、凸版の溝部を形成する前に切り込み部を作ってもよいし、溝部を形成した後に切り込み部を形成してもよい。
The method of forming the cut portion 7 in the convex portion is not particularly limited as long as it is a method capable of forming the cut portion, but the linearity of the cut portion becomes the linearity of the ink layer to be patterned as it is. As a method for forming the cut portion, a method of forming a resist layer on the plate using photolithography and etching the relief plate portion while leaving the cut portion is preferable.
Further, when etching, the relief printing substrate may be etched as it is, or another material is formed on the relief printing substrate for the height of the cut portion, and desired by using photolithography. The cut portion may be formed by removing the film by etching while leaving the cut portion. In addition, the notch may be formed before forming the relief groove, or the notch may be formed after forming the groove.

切り込み部7の形状としては、インク層の厚みに応じて適切な切りこみをいれることが出来る形状であれば特に限定されるものではないが、切り込み部の断面形状としては、切り込み部の高さが高すぎるとブランケットを凸部に押し当てた際に、切り込み部の先端がインク層を突きぬけて下地のブランケット層を傷つけてしまい好ましくない。また、切り込み部の高さが低すぎるとインク層に十分な切りこみをいれることが出来なくなり、これも好ましくない。
切り込み部の平面形状としては、パターンを直線に切る必要があるため切り込み部の直線性は高い方が好ましいが、転写したインク層に直線的な端部を形成させることが出来るのであれば切り込み部に切り欠きのついた破線状でも良い。破線状の切り込み部にすることにより、切り込み部にかかる力が集中してインク層の切りこみをより少ない押し圧で形成することが出来る。
The shape of the cut portion 7 is not particularly limited as long as it can be cut appropriately according to the thickness of the ink layer, but the cross-sectional shape of the cut portion is the height of the cut portion. If it is too high, when the blanket is pressed against the convex part, the leading edge of the cut portion penetrates the ink layer and damages the underlying blanket layer. If the height of the cut portion is too low, the ink layer cannot be sufficiently cut, which is also not preferable.
As the planar shape of the cut portion, it is preferable that the cut portion has a high linearity because the pattern needs to be cut in a straight line. However, if the transferred ink layer can form a linear end portion, the cut portion is formed. A broken line with a notch may be used. By using the broken line-shaped cut portion, the force applied to the cut portion is concentrated, so that the cut of the ink layer can be formed with less pressing pressure.

インク層の材料は、通常、顔料や樹脂を分散樹脂に混錬したものを溶媒に分散させたものや、分散剤を用いて溶剤に分散させたもの、あるいは染料とバインダー樹脂を溶媒に溶解させたものが用いられるが、必要に応じて密着性や乾燥性、インク層の膜の可撓性等を改善するために添加剤を添加しても良い。   The material of the ink layer is usually obtained by dispersing a pigment or resin kneaded in a dispersion resin in a solvent, dispersing it in a solvent using a dispersant, or dissolving a dye and a binder resin in a solvent. However, if necessary, an additive may be added to improve adhesion, drying property, flexibility of the ink layer film, and the like.

有機EL素子としては、図に示すように、少なくとも基板上に第1電極、発光層を含む有機層と第2電極から構成される。また、コントラストの観点から、基板の外側には、偏光板が設けられていることが好ましく、また、信頼性の観点からは、有機EL素子の第2電極上には、封止膜又は封止基板を設けることが好ましい。   As shown in the figure, the organic EL element includes at least a first electrode, an organic layer including a light emitting layer, and a second electrode on a substrate. Further, from the viewpoint of contrast, it is preferable that a polarizing plate is provided outside the substrate. From the viewpoint of reliability, a sealing film or a sealing layer is formed on the second electrode of the organic EL element. It is preferable to provide a substrate.

基板としては、石英基板、ガラス基板等の無機材料基板や、アクリル基板、ポリエチレンテレフタレート基板、ポリエーテルサルフォン基板、ポリイミド基板等の樹脂基板あるいは、SiO2 やSiNX などでバリア処理が施されたフレキシブルなフィルムなどが好ましく用いられるが、本発明はこれらに限定されるものではない。 The substrate was subjected to a barrier treatment with an inorganic material substrate such as a quartz substrate or a glass substrate, a resin substrate such as an acrylic substrate, a polyethylene terephthalate substrate, a polyether sulfone substrate, or a polyimide substrate, or SiO 2 or SiN x . A flexible film or the like is preferably used, but the present invention is not limited to these.

ここで、有機層は、少なくとも1層の発光層を有する構造で、発光層の単層構造、あるいは、電荷輸送層と発光層の多層構造であっても良い。ここで、電荷輸送層、発光層はそれぞれ多層構造であっても良い。また、必要に応じて発光層と電極の間にバッファー層を設けても良い。   Here, the organic layer has a structure having at least one light emitting layer, and may have a single layer structure of the light emitting layer or a multilayer structure of the charge transport layer and the light emitting layer. Here, each of the charge transport layer and the light emitting layer may have a multilayer structure. Moreover, you may provide a buffer layer between a light emitting layer and an electrode as needed.

また、有機層としては、少なくともそのうちの1層が、凸版反転オフセット印刷法によりパターンが形成されており、通常は異なる色を発光する複数の発光層を画素形状に応じてパターニングする。この際に用いる凸版は、その凸部の上面端部にインク層に切りこみを入れるための線状もしくは破線状の切り込み部を有している。これにより、パターンの端部の直線性に優れ、且つ転写欠陥のない発光層のパターンを得ることができる。   In addition, as an organic layer, at least one of them has a pattern formed by a relief reversal offset printing method, and a plurality of light emitting layers that usually emit different colors are patterned according to the pixel shape. The relief printing plate used at this time has a linear or broken cut portion for cutting the ink layer at the upper end portion of the convex portion. Thereby, the pattern of the light emitting layer which is excellent in the linearity of the edge part of a pattern and has no transfer defect can be obtained.

また、有機層のうち、パターニングを必要としない層は、有機EL用塗液を用いてスピンコート法、バーコート法、または、ディップコート法、スプレーコート法により、または、有機材料を用いて蒸着法などの既知のプロセスにより形成することができる。
また、多層積層膜からなる有機EL素子を作製する場合には、接する膜間での材料の混合を防ぐ為、後に作製する層に使用する溶媒は先に形成した下地の層を溶解させないものが好ましい。
Further, among organic layers, a layer that does not require patterning is deposited by spin coating method, bar coating method, dip coating method, spray coating method using an organic EL coating liquid, or by using an organic material. It can be formed by a known process such as a method.
In the case of producing an organic EL element composed of a multilayer laminated film, the solvent used for the layer to be produced later does not dissolve the underlying layer formed in order to prevent mixing of materials between the films in contact with each other. preferable.

有機層を挟持する第1電極と第2電極としては、有機EL素子において、基板及び第1電極が透明である場合は、有機層からの発光は基板側から放出されるので、発光効率を高める為に第2電極が反射電極若しくは反射層を有することが好ましい。   As the first electrode and the second electrode that sandwich the organic layer, in the organic EL element, when the substrate and the first electrode are transparent, light emission from the organic layer is emitted from the substrate side, so that the light emission efficiency is increased. Therefore, it is preferable that the second electrode has a reflective electrode or a reflective layer.

透明電極としては、ITO、SnO2、ZnO等の透明電極が陽極として使用可能で、
反射電極としては、Al、Ca、Ag等の金属、Mg―Ag、Li―Al等の合金、Ca/Ag、Mg/Ag等の金属同士の積層膜、LiF/Al等の絶縁体と金属との積層膜等が陰極として使用可能であるが、本発明は特にこれらに限定されるものではない。
As a transparent electrode, a transparent electrode such as ITO, SnO 2 or ZnO can be used as an anode,
Reflective electrodes include metals such as Al, Ca and Ag, alloys such as Mg—Ag and Li—Al, laminated films of metals such as Ca / Ag and Mg / Ag, insulators such as LiF / Al and metals However, the present invention is not particularly limited to these.

また、これらの材料を基板上もしくは有機EL層上に成膜するときはスパッタ、EB蒸着、抵抗加熱蒸着等の方法を用いることが可能であるが、本発明は特にこれらに限定されるものではない。   Moreover, when these materials are formed on a substrate or an organic EL layer, it is possible to use a method such as sputtering, EB vapor deposition, resistance heating vapor deposition, etc., but the present invention is not particularly limited to these. Absent.

各画素に対応した第1電極間と第2電極間の接続方法は、有機EL層に対応した第1電極と第2電極が互いに直交するストライプ状の電極になるように構成されても良いし、また、第1電極もしくは第2電極が1個以上の薄膜トランジスタ(TFT)を介して共通の電極(ソースバスライン、ゲートバスライン)に接続していても良い。   The connection method between the first electrode and the second electrode corresponding to each pixel may be configured such that the first electrode and the second electrode corresponding to the organic EL layer become stripe-shaped electrodes orthogonal to each other. The first electrode or the second electrode may be connected to a common electrode (source bus line, gate bus line) via one or more thin film transistors (TFTs).

次に、本発明における凸版反転オフセット印刷法で用いる有機EL素子用塗液について説明する。本発明における有機EL素子用塗液としては、発光層形成用塗液と電荷輸送層形成用塗液に大別できる。ここで、発光層形成用塗液としては、有機EL素子用の公知の高分子発光材料(例えば、ポリ(p−フェニレン)(PPP)、ポリ(p−フェニレンビニレン)(PPV)、ポリ(p−ナフタレンビニレン)(PNV)、ポリ(2−デシルオキシ−1,4−フェニレン)(DO−PPP)、ポリ[2,5−ビス[2−(N,N,N−トリエチルアンモニウム)エトキシ]−1,4−フェニレン−アルト−1,4−フェニレン]ジブロマイド(PPP−NEt3+)、ポリ[2−(2'−エチルヘキシルオキシ)−5−メトキシ−1,4−フェニレンビニレン](MEH−PPV)、ポリ(5−メトキシ−(2−プロパノキシサルフォニド)−1,4−フェニレンビニレン)(MPS−PPV)、ポリ[2,5−ビス(ヘキシルオキシ−1,4−フェニレン)−(1−シアノビニレン)](CN−PPV)、ポリ[2−(2'−エチルヘキシルオキシ)−5−メトキシー1,4−フェニレン−(1−シアノビニレン)](MEH−CN−PPV)及び、ポリ(ジオクチルフルオレン)(PDF)等があるが、本発明は特にこれらに限定されるものではない。)、を、公知の溶媒に溶解もしくは分散させた塗液を用いることができる。溶媒は単一の溶媒でも良いし、複数の溶媒を混合させたものでも良い。また、これらの液に、必要に応じて粘度調整用の添加剤、レベリング剤等を添加しても良い。   Next, the coating liquid for organic EL elements used in the relief reversal offset printing method in the present invention will be described. The organic EL device coating liquid in the present invention can be broadly classified into a light emitting layer forming coating liquid and a charge transport layer forming coating liquid. Here, as the light emitting layer forming coating liquid, known polymer light emitting materials for organic EL elements (for example, poly (p-phenylene) (PPP), poly (p-phenylene vinylene) (PPV), poly (p -Naphthalene vinylene (PNV), poly (2-decyloxy-1,4-phenylene) (DO-PPP), poly [2,5-bis [2- (N, N, N-triethylammonium) ethoxy] -1 , 4-phenylene-alt-1,4-phenylene] dibromide (PPP-NEt3 +), poly [2- (2′-ethylhexyloxy) -5-methoxy-1,4-phenylenevinylene] (MEH-PPV), Poly (5-methoxy- (2-propanoxysulfonide) -1,4-phenylenevinylene) (MPS-PPV), poly [2,5-bis (hexyloxy-1,4-fluoro) Nylene)-(1-cyanovinylene)] (CN-PPV), poly [2- (2′-ethylhexyloxy) -5-methoxy-1,4-phenylene- (1-cyanovinylene)] (MEH-CN-PPV) and , Poly (dioctylfluorene) (PDF) and the like, but the present invention is not particularly limited thereto, and a coating solution in which a known solvent is dissolved or dispersed can be used. The solvent may be a single solvent or a mixture of a plurality of solvents. Moreover, you may add the additive for viscosity adjustment, a leveling agent, etc. to these liquids as needed.

電荷輸送層形成用塗液としては、公知の高分子電荷輸送材料(例えば、ポリアニリン(PANI)、3,4−ポリエチレンジオキシチオフェン(PEDOT)、ポリカルバゾール(PVCz)、ポリ(トリフェニルアミン誘導体)(Poly−TPD)、ポリ(オキサジアゾール誘導体)(Poly−OXZ)等があるが、本発明は特にこれらに限定されるものではない。)、もしくは、有機EL素子用、有機光導電体用の公知の高分子電荷輸送材料の前駆体(例えば、Pre−PPV、Pre−PNV等があるが、本発明は特にこれらに限定されるものではない。)、を公知の溶媒に溶解もしくは分散させた塗液を用いることができるが、また、これらの液に、必要に応じて粘度調整用の添加剤、レベリング剤等を添加しても良い。   As a coating liquid for forming a charge transport layer, known polymer charge transport materials (for example, polyaniline (PANI), 3,4-polyethylenedioxythiophene (PEDOT), polycarbazole (PVCz), poly (triphenylamine derivatives) (Poly-TPD), poly (oxadiazole derivative) (Poly-OXZ), etc., but the present invention is not particularly limited to these.) Or for organic EL elements, for organic photoconductors And a precursor of a known polymer charge transport material (for example, Pre-PPV, Pre-PNV, etc., but the present invention is not particularly limited thereto) is dissolved or dispersed in a known solvent. However, viscosity adjusting additives, leveling agents, and the like may be added to these liquids as necessary.

また、これらの高分子材料を溶解する溶媒としては、例えば、エチレングリコール、プロピレングリコール、トリエチレングリコール、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモエチルエーテル、トリエチレングリコールモノメチルエーテル、トリエチレングリコールモエチルエーテル、エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールジアセテート、ジエチレングリコールジメチルエーテル、メチルセロソルブ、エチルセロソルブ、ブチルセロソルブ、N−ジメチルホルムアミド、N−メチル−2−ピロリドン、シクロヘキサノン、1−プロパノール、イソプロパノール、オクタン、ノナン、デカン、キシレン、エチルベンゼン、ジエチルベンゼン
、トリメチルベンゼン、トリエチルベンゼン、ニトロベンゼン、アニソール等があるが、本発明は特にこれらに限定されるものではない。また、必要に応じて2種類以上の溶媒を混合させて用いてもよい。
Examples of the solvent for dissolving these polymer materials include ethylene glycol, propylene glycol, triethylene glycol, ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol moethyl ether, triethylene glycol monomethyl ether, triethylene glycol moethyl ether, Ethylene glycol monomethyl ether acetate, propylene glycol monomethyl ether, propylene glycol monomethyl ether acetate, propylene glycol diacetate, diethylene glycol dimethyl ether, methyl cellosolve, ethyl cellosolve, butyl cellosolve, N-dimethylformamide, N-methyl-2-pyrrolidone, cyclohexanone, 1- Propanol, isopropanol, octane, nonane Decane, xylene, ethylbenzene, diethylbenzene, trimethylbenzene, triethylbenzene, nitrobenzene, there is anisole, the present invention is not particularly limited thereto. Further, if necessary, two or more kinds of solvents may be mixed and used.

以下に、実施例により具体的に説明する。
(基板の形成)
スパッタ法により成膜した150nmの膜厚を持つITO付きガラス基板を、フォトリソグラフィにより第1電極としてラインアンドスペース100μmのITO透明ストライプ電極を作製し、次に、この基板上に感光性ポリイミド樹脂0.7μmの膜厚で塗布し、フォトリソグラフィでITO電極のパターンのスペース部と、ITO電極の両端10μmを覆うような形状にパターニングし、絶縁層とした。更に、この基板を純水に浸漬させて30分間超音波洗浄を行い、IPA乾燥を行ったあと、UVオゾン処理により基板表面を洗浄した。
Hereinafter, specific examples will be described.
(Substrate formation)
A glass substrate with ITO having a film thickness of 150 nm formed by sputtering is used as a first electrode to produce an ITO transparent stripe electrode with a line and space of 100 μm as a first electrode, and then a photosensitive polyimide resin 0 is formed on this substrate. The film was applied to a thickness of 0.7 μm, and was patterned by photolithography so as to cover the space part of the ITO electrode pattern and 10 μm at both ends of the ITO electrode to form an insulating layer. Further, this substrate was immersed in pure water, subjected to ultrasonic cleaning for 30 minutes, and after IPA drying, the substrate surface was cleaned by UV ozone treatment.

次に、スリットコータを用いてPEDOT/PSSの水/IPA溶液を、上記基板上に塗布し、乾燥膜厚50nmの正孔輸送層を形成した。
(凸版の切り込み部の形成)
有機EL素子の基板サイズとほぼ同じ大きさのガラス基板にポジ型フォトレジストOFPR−800(東京応化工業(株)製)を膜厚1.5μmで塗布し、プリベーク、露光、現像を行い、図3(a)のように、レジストパターン4を形成した後、緩衝フッ酸で深さ1μmまでエッチングして、図3(b)のように、凸部に切り込み部7を形成した。
(凸版の凹部の形成)
さらに、同様にして図3(c)のように、フォトリソグラフィでラインアンドスペース100μmの凹部が露出するようにフォトレジストをパターニングし、レジストパターン4’を形成した。図3(d)のように、緩衝フッ酸で深さ(D)10μmまでエッチングしてラインアンドスペース(L/S)100μmの凸版の凹部を作製した。
(発光材料のインク化)
次に、青色発光層形成用インクとして、ポリ(ジオクチルフルオレン)をo−キシレンとニトロベンゼンの5:5混合溶媒に溶かした塗液を使用し、緑色発光層形成用インクとしてポリ(p−フェニレンビニレン)をメタノールとエチレングリコールの5:5混合溶媒に溶かした塗液を使用し、赤色発光層形成用インクとしてポリ[2−(2'−エチルヘキシルオキシ)−5−メトキシー1,4−フェニレン−(1−シアノビニレン)]をo−キシレンとニトロベンゼンの5:5混合溶媒に溶かした塗液を使用した。
Next, a PEDOT / PSS water / IPA solution was applied onto the substrate using a slit coater to form a hole transport layer having a dry film thickness of 50 nm.
(Formation of notch in relief)
A positive photoresist OFPR-800 (manufactured by Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd.) is applied to a glass substrate approximately the same size as the substrate size of the organic EL element with a film thickness of 1.5 μm, prebaked, exposed and developed. After forming the resist pattern 4 as shown in FIG. 3A, etching was performed to a depth of 1 μm with buffered hydrofluoric acid to form a cut portion 7 in the convex portion as shown in FIG.
(Formation of concave parts on letterpress)
Further, in the same manner, as shown in FIG. 3C, the photoresist was patterned by photolithography so as to expose a recess of 100 μm in line and space, thereby forming a resist pattern 4 ′. As shown in FIG. 3 (d), etching was performed with buffered hydrofluoric acid to a depth (D) of 10 μm to produce a relief of a relief plate having a line and space (L / S) of 100 μm.
(Ink from luminescent materials)
Next, a coating solution in which poly (dioctylfluorene) is dissolved in a 5: 5 mixed solvent of o-xylene and nitrobenzene is used as a blue light emitting layer forming ink, and poly (p-phenylene vinylene) is used as a green light emitting layer forming ink. ) In a 5: 5 mixed solvent of methanol and ethylene glycol, and poly (2- (2′-ethylhexyloxy) -5-methoxy-1,4-phenylene- ( 1-cyanovinylene)] in a 5: 5 mixed solvent of o-xylene and nitrobenzene was used.

次に、厚さ1mmのシリコーンゴムの板を金属胴に巻き、ブランケット胴とした。これを市販の印刷機を改造したものに取り付け、発光層形成用インクをブランケットに塗布するコータとしてスリットコータを取り付け印刷機とした。   Next, a silicone rubber plate having a thickness of 1 mm was wound around a metal cylinder to form a blanket cylinder. This was attached to a remodeled commercial printer, and a slit coater was attached as a coater for applying the light emitting layer forming ink to the blanket.

次に、上記スリットコータより青色発光層形成用インクを乾燥膜厚が100nmになるようにブランケット上に塗布し、そのまま前記凸版のネガにて転写除去した後、ブランケット胴を前記基板に押して当てて基板上を転がし、前記基板の正孔輸送層上に発光層を転写し、パターンを形成した後、1×10-3Torrの減圧下で100℃で1時間加熱乾燥を行った。その後、緑、赤の発光層も同様に乾燥膜厚100nmで塗布、転写を行った後、1×10-3Torrの減圧下で100℃で1時間加熱乾燥を行い、発光層のパターンを形成した。
(陰極形成と封止)
さらに、この基板に陽極のITOのストライプと直行するパターンが形成されたメタルマスクを用いて銀を膜厚が200nmになるように蒸着し陰極とした。最後にガラス製の封止缶を用いてUV硬化型の接着剤を用いて素子を接着封止した。
Next, the blue light emitting layer forming ink is applied onto the blanket from the slit coater so as to have a dry film thickness of 100 nm, and transferred and removed as it is with the negative of the relief plate, and then the blanket cylinder is pressed against the substrate. The substrate was rolled, the light emitting layer was transferred onto the hole transport layer of the substrate, and a pattern was formed, followed by heat drying at 100 ° C. under a reduced pressure of 1 × 10 −3 Torr for 1 hour. Thereafter, the green and red light-emitting layers were similarly applied and transferred with a dry film thickness of 100 nm, and then heat-dried at 100 ° C. for 1 hour under a reduced pressure of 1 × 10 −3 Torr to form a light-emitting layer pattern. did.
(Cathode formation and sealing)
Furthermore, silver was vapor-deposited to a film thickness of 200 nm using a metal mask in which a pattern perpendicular to the ITO ITO stripe of the anode was formed on this substrate to form a cathode. Finally, the element was bonded and sealed using a UV curable adhesive using a glass sealing can.

上記の方法で作成した有機EL素子の陰極と陽極をそれぞれ直流電源に接続し10Vの電圧を印加したところ、各画素欠けもなく、均一な発光が見られた。また、陰極形成、素子化を行っていない基板を顕微鏡で観察したところ、各発光層の画素は直線性よくパターニングされていた。   When the cathode and anode of the organic EL device prepared by the above method were connected to a DC power source and a voltage of 10 V was applied, uniform light emission was observed with no missing pixels. Further, when the substrate on which the cathode was not formed and the device was not observed was observed with a microscope, the pixels of each light emitting layer were patterned with good linearity.

実施例1とほぼ同様の手法を用いて実施例2の有機EL素子を作成した。実施例1との差はネガ版の凸版を作成する際に、切り込み部を形成しなかったことである。この比較例1のサンプルに10Vの電圧を印加したところ、ところどころ画素が欠け、発光しない部分が見られた。また、陰極形成、素子化を行っていない基板を顕微鏡で観察したところ、各発光層の画素のパターンエッジにギザつきが見られ、一部転写されていない部分が見られた。   The organic EL element of Example 2 was created using a technique substantially similar to that of Example 1. The difference from Example 1 is that the cut portion was not formed when the negative relief was produced. When a voltage of 10 V was applied to the sample of Comparative Example 1, some parts were missing and no light was emitted. Further, when the substrate on which the cathode was not formed and the device was not observed was observed with a microscope, the pattern edge of the pixel of each light emitting layer was found to be jagged, and a part not transferred was seen.

凸版反転オフセット印刷法における、パターンの端部の悪い直線性の説明図である。It is explanatory drawing of the bad linearity of the edge part of a pattern in a relief reverse printing method. (a)は、本発明による有機EL素子の製造方法において用いられる凸版の一例の概略図である。(b)は、本発明による有機EL素子の製造方法の説明図である。(c)は、本発明による有機EL素子の製造方法の説明図である。(A) is the schematic of an example of the letterpress used in the manufacturing method of the organic EL element by this invention. (B) is explanatory drawing of the manufacturing method of the organic EL element by this invention. (C) is explanatory drawing of the manufacturing method of the organic EL element by this invention. (a)〜(d)は、実施例の説明図である。(A)-(d) is explanatory drawing of an Example.

符号の説明Explanation of symbols

1・・・ブランケット
2・・・インク層
3・・・凸版
4、4’・・・レジストパターン
5・・・凸版の基材
6・・・凸版の凸部
7・・・切り込み部
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Blanket 2 ... Ink layer 3 ... Letterpress 4, 4 '... Resist pattern 5 ... Substrate base material 6 ... Projection convex part 7 ... Notch part

Claims (2)

凸版反転オフセット印刷方式による有機EL素子の製造方法において、インク層の不要部を転写除去する凸版として、その凸部の上面端部にインク層に切り込みを入れるための線状もしくは破線状の切り込み部を有した凸版を用いることを特徴とする有機EL素子の製造方法。   In a method for manufacturing an organic EL element using a relief reversal offset printing method, as a relief plate for transferring and removing an unnecessary portion of an ink layer, a linear or broken cut portion for making a cut in the ink layer at the upper end of the convex portion The manufacturing method of the organic EL element characterized by using the relief printing plate | board which has. 請求項1記載の有機EL素子の製造方法を用いて製造したことを特徴とする有機EL素子。   An organic EL device manufactured using the method for manufacturing an organic EL device according to claim 1.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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WO2006132128A1 (en) * 2005-06-06 2006-12-14 Sharp Kabushiki Kaisha Coating liquid for hole injection/transport layer, method for producing hole injection/transport layer, organic electroluminescent device and method for manufacturing same
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