JP2005305435A - Method for cleaning resist piping in resist coater - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method for cleaning resist piping in a resist coater, which can clean the resist piping in an easy, reliable and safe manner by reducing the internal volume of a resist filter part. <P>SOLUTION: In this method for cleaning the resist piping in the resist coater, a cap 41 having a recess 42 shallower than a housing 12 in a resist filter is mounted on an upper lid 13 having piping. <P>COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

Description

本発明は、半導体製造装置に係り、特に、レジスト塗布装置（以下、レジストコータという）のレジスト配管の洗浄方法に関するものである。   The present invention relates to a semiconductor manufacturing apparatus, and more particularly to a method for cleaning resist piping of a resist coating apparatus (hereinafter referred to as a resist coater).

従来、このような分野の技術としては、例えば、以下に示すようなものがあった。     Conventionally, as the technology in such a field, for example, there are the following.

図４はかかる従来のレジストコータ内のレジスト配管システムの全体構成図、図５はその第１のレジストフィルタの構成図、図６はその第２のレジストフィルタの構成図である。   4 is an overall configuration diagram of a resist piping system in such a conventional resist coater, FIG. 5 is a configuration diagram of the first resist filter, and FIG. 6 is a configuration diagram of the second resist filter.

図４に示すように、レジストコータ内のレジスト配管システムは、加圧されたＮ2 ガスを通すフィルタ１、ガロン瓶２（レジスト瓶、シンナ瓶、空瓶等）、残量センサタンク３、ボールバルブ４、ポンプ５、ドレインタンク６、ニードルバルブ７、レジストフィルタ８、エア弁及びサックバックユニット９、ノズル１０とを有している。 As shown in FIG. 4, the resist piping system in the resist coater includes a filter 1 through which pressurized N 2 gas passes, a gallon bottle 2 (resist bottle, thinner bottle, empty bottle, etc.), a remaining amount sensor tank 3, a ball It has a valve 4, a pump 5, a drain tank 6, a needle valve 7, a resist filter 8, an air valve and suck back unit 9, and a nozzle 10.

このように、レジスト配管システムでは、レジストフィルタ８が設けられており、ポンプ５から排出されるレジストを濾過するようにしている。   Thus, in the resist piping system, the resist filter 8 is provided, and the resist discharged from the pump 5 is filtered.

そのレジストフィルタ８は、第１の例としては、図５に示すように、カートリッジ１１、ハウジング１２、上蓋１３、Ｏリング１４、クランプ（留め具）１５、イン配管１６、アウト配管１７、ドレイン配管１８を有している。   As shown in FIG. 5, the resist filter 8 includes a cartridge 11, a housing 12, an upper lid 13, an O-ring 14, a clamp (fastener) 15, an in-pipe 16, an out-pipe 17, and a drain pipe. 18.

また、そのレジストフィルタ８は、第２の例としては、図６に示すように、イン配管１６Ａが上蓋１３側になく、ハウジング１２の下方に設置されている場合がある。   As a second example, the resist filter 8 may be provided below the housing 12 without the in-pipe 16A on the upper lid 13 side as shown in FIG.

そのレジストフィルタの交換時のレジスト配管の洗浄方法は次の通りである（図４参照）。   The method for cleaning the resist pipe when the resist filter is replaced is as follows (see FIG. 4).

使用済のフィルタ８を取外した後、空のフィルタハウジングを取付け、ガロン瓶２として、レジスト瓶の代わりにシンナ瓶を接続し、これをＮ2 ガスでの加圧によりレジスト配管９Ａに流し込み、ノズル１０から出す。吐出される液の色からレジスト色が消えて、シンナの無色透明になるまでシンナを流し続けてレジスト配管９Ａを洗浄する。洗浄が終了したら、ガロン瓶２として空瓶を接続し、これをＮ2 ガスで加圧して、レジスト配管９Ａ内に残存するシンナをノズル１０から押し出す。
なし After removing the used filter 8, an empty filter housing is attached, and a thinner bottle is connected as a gallon bottle 2 instead of a resist bottle, and this is poured into the resist pipe 9A by pressurization with N 2 gas, and a nozzle Get out of 10. The resist pipe 9A is washed by continuously flowing thinner until the resist color disappears from the color of the discharged liquid and the thinner becomes colorless and transparent. When the cleaning is completed, an empty bottle is connected as the gallon bottle 2, and this is pressurized with N 2 gas, and the thinner remaining in the resist pipe 9A is pushed out from the nozzle 10.
None

しかしながら、上記した従来の装置では、シンナによるレジスト配管洗浄時に次の問題点があった。     However, the above-described conventional apparatus has the following problems when cleaning resist piping with thinner.

フィルタを外した後に空のハウジングを取付けているため、シンナを流し込んだ際に、一定量のシンナがハウジング内に溜まる。従って、
（１）ハウジング内に溜まったシンナの置換が迅速に行われず、洗浄に多量のシンナが必要となる。 Since the empty housing is attached after the filter is removed, a certain amount of thinner accumulates in the housing when the thinner is poured. Therefore,
(1) The thinner accumulated in the housing is not quickly replaced, and a large amount of thinner is required for cleaning.

（２）ハウジング内に溜まったシンナは、洗浄後のＮ2 ガス加圧によっても完全に排除できず、ハウジング内に残り、ハウジング取外し時にこぼれ出る等の作業性の障害となる。 (2) The thinner accumulated in the housing cannot be completely removed even by the N 2 gas pressurization after cleaning, and remains in the housing, resulting in an obstacle to workability such as spilling when the housing is removed.

本発明は、上記問題点を除去し、レジストフィルタ部の内容積を低減して容易にして、確実で、しかも安全なレジスト配管の洗浄が可能なレジスト塗布装置のレジスト配管の洗浄方法を提供することを目的とする。   The present invention provides a method for cleaning a resist pipe of a resist coating apparatus that eliminates the above-described problems, facilitates the reduction of the internal volume of the resist filter portion, and enables reliable and safe cleaning of the resist pipe. For the purpose.

本発明は、上記目的を達成するために、
〔１〕レジスト塗布装置のレジスト配管の洗浄方法において、
配管を有する上蓋に、レジストフィルタのハウジングより浅い凹部を有するキャップを装着して洗浄することを特徴とする。 In order to achieve the above object, the present invention provides
[1] In a method for cleaning resist piping of a resist coating apparatus,
A cap having a concave portion shallower than the housing of the resist filter is attached to the upper lid having the piping, and cleaning is performed.

〔２〕上記〔１〕記載のレジスト塗布装置のレジスト配管の洗浄方法において、前記キャップは、前記ハウジングより内容積を少なくするものであることを特徴とする。   [2] The method for cleaning resist piping of the resist coating apparatus according to [1], wherein the cap has a smaller internal volume than the housing.

〔３〕上記〔１〕または〔２〕に記載のレジスト塗布装置のレジスト配管の洗浄方法において、前記キャップは、前記ハウジングを取り外して、該ハウジングの代わりに前記上蓋に取り付けられることを特徴とする。   [3] In the resist pipe cleaning method of the resist coating apparatus according to [1] or [2], the cap is attached to the upper lid instead of the housing after the housing is removed. .

〔４〕上記〔１〕〜〔３〕のいずれか１項に記載のレジスト塗布装置のレジスト配管の洗浄方法において、前記キャップは、鍔部を有し、該鍔部を前記上蓋にクランプにて留めることを特徴とする。   [4] In the method for cleaning resist piping of the resist coating apparatus according to any one of [1] to [3], the cap has a flange portion, and the flange portion is clamped to the upper lid. It is characterized by fastening.

〔５〕上記〔１〕〜〔４〕のいずれか１項に記載のレジスト塗布装置のレジスト配管の洗浄方法において、前記上蓋と前記鍔部との間にはＯリングを介在させることを特徴とする。   [5] The method for cleaning resist piping of the resist coating apparatus according to any one of [1] to [4] above, wherein an O-ring is interposed between the upper lid and the flange. To do.

〔６〕上記〔１〕または〔２〕に記載のレジスト塗布装置のレジスト配管の洗浄方法において、前記キャップは、前記ハウジングの凹部内に配置させるものであることを特徴とする。   [6] In the method for cleaning resist piping of the resist coating apparatus according to [1] or [2], the cap is disposed in a recess of the housing.

〔７〕上記〔６〕記載のレジスト塗布装置のレジスト配管の洗浄方法において、前記キャップは、凸部を有する台座部を持ち、該凸部は前記ハウジングが有する配管内に配置されることを特徴とする。   [7] In the resist pipe cleaning method of the resist coating apparatus according to [6], the cap has a pedestal part having a convex part, and the convex part is disposed in the pipe of the housing. And

〔８〕上記〔７〕記載のレジスト塗布装置のレジスト配管の洗浄方法において、前記台座部と前記ハウジングとの間はＯリングが装着されることを特徴とする。   [8] The resist pipe cleaning method for a resist coating apparatus according to [7], wherein an O-ring is mounted between the base portion and the housing.

〔９〕上記〔１〕〜〔８〕のいずれか１項に記載のレジスト塗布装置のレジスト配管の洗浄方法において、前記凹部の深さは前記配管の内径のサイズと同等程度であることを特徴とする。   [9] In the method for cleaning a resist pipe of the resist coating apparatus according to any one of [1] to [8] above, the depth of the recess is approximately the same as the size of the inner diameter of the pipe. And

〔１０〕上記〔１〕〜〔５〕、〔９〕のいずれか１項に記載のレジスト塗布装置のレジスト配管の洗浄方法において、前記上蓋の前記配管としてイン配管、及びアウト配管が設けられており、前記キャップの凹部は、洗浄の際にイン配管からアウト配管への流路を構成することを特徴とする。   [10] In the resist pipe cleaning method for a resist coating apparatus according to any one of [1] to [5] and [9] above, an in-pipe and an out-pipe are provided as the pipe of the upper lid. The concave portion of the cap constitutes a flow path from the in-pipe to the out-pipe during cleaning.

〔１１〕上記〔６〕〜〔９〕のいずれか１項に記載のレジスト塗布装置のレジスト配管の洗浄方法において、前記上蓋の前記配管として設けられるアウト配管と、前記ハウジングに設けられるイン配管とを有し、前記キャップの凹部は、洗浄の際にイン配管からアウト配管への流路を構成することを特徴とする。   [11] In the resist pipe cleaning method for a resist coating apparatus according to any one of [6] to [9] above, an out pipe provided as the pipe of the upper lid, and an in pipe provided in the housing The concave portion of the cap forms a flow path from the in-pipe to the out-pipe during cleaning.

本発明によれば、以下のような効果を奏することができる。   According to the present invention, the following effects can be achieved.

〔Ａ〕レジストフィルタのハウジングに代えて、浅い凹部を有するキャップを装着して、内容積を必要かつ十分に小さくすることによって、シンナが流された場合、過剰なシンナがキャップ内に溜まることがない。   [A] In place of the resist filter housing, a cap having a shallow concave portion is attached to reduce the internal volume as necessary and sufficiently, so that when the thinner is flown, excessive thinner may accumulate in the cap. Absent.

従って、シンナはイン配管からアウト配管またはドレイン配管へ連続的に滞留なく流れるようになる。   Accordingly, the thinner flows continuously from the in-pipe to the out-pipe or drain pipe without stagnation.

これによって、シンナの置換は促進され、洗浄に要するシンナの量及び作業時間が削減される。   This facilitates thinner replacement and reduces the amount of thinner and work time required for cleaning.

さらに、洗浄が終了し、Ｎ2 ガス圧送により配管内のシンナを排出した後にも、キャップ内にはシンナの残りはなく、キャップを取外してもシンナがこぼれ出るといった不具合が生じず、作業（安全）性の向上を図ることができる。 Furthermore, even after the cleaning is completed and the thinner in the pipe is discharged by N 2 gas pumping, there is no remaining thinner in the cap, so that even if the cap is removed, the thinner will not spill out. ) Can improve the sex.

〔Ｂ〕ハウジング内にレジスト配管洗浄用治具（アダプタ）を装着したことによって、上記〔Ａ〕と同様に、シンナの滞留スペースをなくすことができ、同等の効果を奏することができる。   [B] Since the resist pipe cleaning jig (adapter) is mounted in the housing, the retention space of the thinner can be eliminated and the same effect can be obtained as in the case of [A].

つまり、イン配管がハウジングの底側に設置してあるために、ハウジング自体を用いざるを得ない場合に、レジスト配管の洗浄時のハウジング内の内容積を低減することができ、シンナの滞留スペースをなくすことができる。   In other words, since the in-pipe is installed on the bottom side of the housing, when the housing itself must be used, the internal volume in the housing when the resist pipe is cleaned can be reduced, and the staying space of the thinner Can be eliminated.

本発明のレジスト塗布装置のレジスト配管の洗浄方法は、配管を有する上蓋に、レジストフィルタのハウジングより浅い凹部を有するキャップを装着して洗浄することを特徴とする。   The resist pipe cleaning method of the resist coating apparatus according to the present invention is characterized in that a cap having a concave portion shallower than the housing of the resist filter is attached to the upper lid having the pipe for cleaning.

以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら詳細に説明する。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

図１は本発明の第１実施例を示すレジスト配管洗浄用治具の断面図である。   FIG. 1 is a sectional view of a resist pipe cleaning jig showing a first embodiment of the present invention.

この実施例では、通常のレジストフィルタを構成するハウジング１２（図５参照）の代わりに、内容積を減少させるために、レジスト配管洗浄用治具として凹部２２の深さが浅いキャップ２１を用いる。材質はテフロン（登録商標）等の耐薬品性のものを使用する。   In this embodiment, in place of the housing 12 (see FIG. 5) constituting a normal resist filter, a cap 21 having a shallow recess 22 is used as a resist pipe cleaning jig in order to reduce the internal volume. Use a material that is chemically resistant, such as Teflon (registered trademark).

このキャップ２１と上蓋１３との接触部２３の形状、寸法は、従来のハウジング１２と全く同等とする。上蓋１３とキャップ２１の鍔部２４はＯリング１４でシールされ、クランプ１５で留める。このＯリング１４及びクランプ１５の構造は従来のもの（図５参照）と同じである。   The shape and size of the contact portion 23 between the cap 21 and the upper lid 13 are exactly the same as those of the conventional housing 12. The upper lid 13 and the flange 24 of the cap 21 are sealed with an O-ring 14 and fastened with a clamp 15. The structure of the O-ring 14 and the clamp 15 is the same as the conventional one (see FIG. 5).

キャップ２１の凹部２２の深さｄ（隙間）は、イン配管１６から入ったシンナがアウト配管１７、ドレイン配管１８の両配管へ流れ出る径路であり、ある程度の幅が必要であるが、広すぎるとシンナの溜まりが増え、置換効率が悪くなるため、例えば、イン配管１６、アウト配管１７、ドレイン配管１８等の配管の内径サイズと同等程度の５ｍｍ前後とする。   The depth d (gap) of the concave portion 22 of the cap 21 is a path through which the thinner entering from the in-pipe 16 flows out to both the out-pipe 17 and the drain pipe 18, and a certain width is required. Since the accumulation of thinner increases and the replacement efficiency deteriorates, for example, the inner diameter of the pipes such as the in-pipe 16, the out-pipe 17 and the drain pipe 18 is set to about 5 mm.

そこで、図４に示したレジスト配管全体を洗浄する場合、レジストフィルタにおいて図５に示したカートリッジ１１及びハウジング１２を取外し、図１に示したキャップ２１の鍔部２４にＯリング１４を装着し、キャップ２１の鍔部２４を上蓋１３にクランプ１５で留めて取付ける。   Therefore, when cleaning the entire resist piping shown in FIG. 4, the cartridge 11 and the housing 12 shown in FIG. 5 are removed from the resist filter, and the O-ring 14 is attached to the flange 24 of the cap 21 shown in FIG. The flange portion 24 of the cap 21 is attached to the upper lid 13 with a clamp 15.

次に、図４に示すガロン瓶２にシンナの入った瓶を接続し、このシンナ瓶内をＮ2 ガスで加圧する。圧送されたシンナは、各部を通過し、レジストフィルタ８を経由してノズル１０から吐出される。 Next, a bottle containing thinner is connected to the gallon bottle 2 shown in FIG. 4, and the inside of the thinner bottle is pressurized with N 2 gas. The pumped thinner passes through each part and is discharged from the nozzle 10 via the resist filter 8.

レジストフィルタ８では、図１に示すイン配管１６からシンナが入り、アウト配管１７から流出する。ドレイン配管１８からは、図４に示すニードルバルブ７を開いた場合にのみシンナが流出する。   In the resist filter 8, thinner enters from the in-pipe 16 shown in FIG. 1 and flows out from the out-pipe 17. The thinner flows out from the drain pipe 18 only when the needle valve 7 shown in FIG. 4 is opened.

洗浄が終了したら、図４に示すガロン瓶２に空瓶を接続し、これをＮ2 ガスで加圧し、配管全体にＮ2 ガスを圧送する。これにより、レジスト配管内に残存するシンナをノズル１０から吐出及びニードルバルブ７を通してドレインタンク６へ排出する。 When the cleaning is completed, an empty bottle is connected to the gallon bottle 2 shown in FIG. 4, this is pressurized with N 2 gas, and N 2 gas is pumped through the entire pipe. Thereby, the thinner remaining in the resist pipe is discharged from the nozzle 10 and discharged to the drain tank 6 through the needle valve 7.

以上のように、第１実施例によれば、キャップ２１によってレジストフィルタ８の内容積を必要かつ十分に小さくしたことによって、シンナを流しても、過剰なシンナがキャップ２１内に溜まることがない。   As described above, according to the first embodiment, the cap 21 reduces the inner volume of the resist filter 8 as necessary and sufficiently, so that excessive thinner does not accumulate in the cap 21 even if thinner is flowed. .

従って、シンナはイン配管１６からアウト配管１７、またはドレイン配管１８へ連続的に滞留なく流れるようになる。   Accordingly, the thinner flows continuously from the in pipe 16 to the out pipe 17 or the drain pipe 18 without stagnation.

これによって、シンナの置換は促進され、洗浄に要するシンナの量及び作業時間が削減されるという効果が得られる。   As a result, the replacement of thinner is promoted, and the amount of thinner required for cleaning and the working time can be reduced.

さらに、洗浄が終了し、Ｎ2 ガス圧送により配管内のシンナを排出した後にも、キャップ内にはシンナの残りはなく、キャップを取外してもシンナがこぼれ出るといった不具合が生じず、作業（安全）性の向上を図ることができる。 Furthermore, even after the cleaning is completed and the thinner in the pipe is discharged by N 2 gas pumping, there is no remaining thinner in the cap, so that even if the cap is removed, the thinner will not spill out. ) Can improve the sex.

次に、本発明の第２実施例について説明する。   Next, a second embodiment of the present invention will be described.

図２は本発明の第２実施例を示すレジスト配管洗浄用治具の断面図、図３はそのレジスト配管洗浄用治具の斜視図である。   FIG. 2 is a sectional view of a resist pipe cleaning jig showing a second embodiment of the present invention, and FIG. 3 is a perspective view of the resist pipe cleaning jig.

レジストフィルタは、図５に示すもの以外に、図６に示すようにイン配管１６Ａが上蓋１３側になく、ハウジング１２の下方に設置されている場合がある。この場合には、この実施例に示すレジスト配管洗浄用治具（アダプタ）４０を使用する。   In addition to the resist filter shown in FIG. 5, the in-pipe 16 </ b> A may not be provided on the upper lid 13 side as shown in FIG. 6 and may be installed below the housing 12. In this case, the resist pipe cleaning jig (adapter) 40 shown in this embodiment is used.

このレジスト配管洗浄用治具（アダプタ）４０は、ハウジング１２内にセットされ、下方に配置される台座部４４とパイプ４３を介して上方に配置される第１実施例で示したキャップ２１と同様の構造のキャップ４１を有する。すなわち、そのキャップ４１は深さが浅い凹部４２を形成し、その深さｄ（隙間）を確保されている。また、パイプ４３の下端は台座部４４から下方に突出し、凸部４５を形成している。   This resist pipe cleaning jig (adapter) 40 is set in the housing 12 and is the same as the cap 21 shown in the first embodiment, which is disposed above via a pedestal 44 disposed below and a pipe 43. It has the cap 41 of the structure. That is, the cap 41 forms a recess 42 having a shallow depth, and the depth d (gap) is secured. In addition, the lower end of the pipe 43 protrudes downward from the pedestal portion 44 to form a convex portion 45.

そこで、レジスト配管洗浄用治具（アダプタ）４０の台座部４４から突出した凸部４５を、ハウジング１２のイン配管１６Ａに差し込み、凸部４５の根元には、Ｏリング４６を装着しシールする。   Therefore, the convex portion 45 protruding from the pedestal portion 44 of the resist pipe cleaning jig (adapter) 40 is inserted into the in-pipe 16A of the housing 12, and an O-ring 46 is attached to the base of the convex portion 45 for sealing.

一方、レジスト配管洗浄用治具（アダプタ）４０の上方には、キャップ４１が配置される。すなわち、そのキャップ４１は深さの浅い凹部４２を形成し、その深さｄ（隙間）を確保し、Ｏリング４７でシールする。このキャップ４１上端の高さはハウジング１２の高さと同一に揃える。   On the other hand, a cap 41 is disposed above the resist pipe cleaning jig (adapter) 40. That is, the cap 41 forms a shallow concave portion 42, secures the depth d (gap), and seals with the O-ring 47. The height of the upper end of the cap 41 is aligned with the height of the housing 12.

このように、台座部４４とキャップ４１とはパイプ４３でつながっており、このパイプ４３の径はイン配管１６Ａと同等とする。   Thus, the base part 44 and the cap 41 are connected by the pipe 43, and the diameter of the pipe 43 is equal to that of the in-pipe 16A.

このように構成したので、レジスト配管の洗浄のために流されたシンナは、ハウジング１２下方のイン配管１６Ａから流入し、レジスト配管洗浄用治具（アダプタ）４０の下方の凸部４５の口からレジスト配管洗浄用治具（アダプタ）４０の内に入る。そして、パイプ４３内を通り上方に上がったシンナは、アウト配管１７及びドレイン配管１８へと流出する。   With this configuration, the thinner flowed for cleaning the resist piping flows from the in-pipe 16A below the housing 12 and from the mouth of the convex portion 45 below the resist pipe cleaning jig (adapter) 40. The resist pipe cleaning jig (adapter) 40 enters. Then, the thinner that has gone up through the pipe 43 flows out to the out pipe 17 and the drain pipe 18.

他の基本的な動作は全て第１実施例と同等である。   All other basic operations are the same as in the first embodiment.

以上のように、第２実施例によれば、ハウジング１２内にレジスト配管洗浄用治具（アダプタ）４０を装着したことによって、第１実施例と同様に、シンナの滞留スペースをなくすことができ、第１実施例と全く同等の効果を奏することができる。   As described above, according to the second embodiment, by attaching the resist pipe cleaning jig (adapter) 40 in the housing 12, the retention space of the thinner can be eliminated as in the first embodiment. The same effects as those of the first embodiment can be obtained.

また、イン配管１６Ａがハウジング１２側に設置してあるために、ハウジング１２自体を用いざるを得ない場合に、ハウジング１２内のスペースを低減することができる。   Further, since the in-pipe 16A is installed on the housing 12 side, the space in the housing 12 can be reduced when the housing 12 itself must be used.

なお、本発明は上記実施例に限定されるものではなく、本発明の趣旨に基づいて種々の変形が可能であり、これらを本発明の範囲から排除するものではない。   In addition, this invention is not limited to the said Example, A various deformation | transformation is possible based on the meaning of this invention, and these are not excluded from the scope of the present invention.

本発明のレジスト塗布装置のレジスト配管の洗浄方法は、半導体デバイスの製造に利用可能である。   The method for cleaning resist piping of the resist coating apparatus of the present invention can be used for manufacturing semiconductor devices.

本発明の第１実施例を示すレジスト配管洗浄用治具の断面図である。It is sectional drawing of the jig | tool for resist piping washing | cleaning which shows 1st Example of this invention. 本発明の第２実施例を示すレジスト配管洗浄用治具の断面図である。It is sectional drawing of the jig | tool for resist piping washing | cleaning which shows 2nd Example of this invention. 本発明の第２実施例を示すレジスト配管洗浄用治具の斜視図である。It is a perspective view of the jig | tool for resist piping washing | cleaning which shows 2nd Example of this invention. 従来のレジストコータ内のレジスト配管システムの全体構成図である。It is a whole block diagram of the resist piping system in the conventional resist coater. 従来のレジストコータ内のレジスト配管システムの第１のレジストフィルタの構成図である。It is a block diagram of the 1st resist filter of the resist piping system in the conventional resist coater. 従来のレジストコータ内のレジスト配管システムの第２のレジストフィルタの構成図である。It is a block diagram of the 2nd resist filter of the resist piping system in the conventional resist coater.

符号の説明Explanation of symbols

２ ガロン瓶
６ ドレインタンク
７ ニードルバルブ
８ レジストフィルタ
１０ ノズル
１１ カートリッジ
１２ ハウジング
１３ 上蓋
１４，４６，４７ Ｏリング
１５ クランプ
１６，１６Ａ イン配管
１７ アウト配管
１８ ドレイン配管
２１，４１ キャップ
２２，４２ 凹部
２３ 接触部
２４ 鍔部
４０ レジスト配管洗浄用治具（アダプタ）
４３ パイプ
４４ 台座部
４５ 凸部 2 Gallon bottle 6 Drain tank 7 Needle valve 8 Resist filter 10 Nozzle 11 Cartridge 12 Housing 13 Upper lid 14, 46, 47 O-ring 15 Clamp 16, 16A In piping 17 Out piping 18 Drain piping 21, 41 Cap 22, 42 Recess 23 Contact Part 24 collar part 40 Resist pipe cleaning jig (adapter)
43 Pipe 44 Base 45 Convex

Claims (11)

レジスト塗布装置のレジスト配管の洗浄方法において、
配管を有する上蓋に、レジストフィルタのハウジングより浅い凹部を有するキャップを装着して洗浄することを特徴とするレジスト塗布装置のレジスト配管の洗浄方法。 In the resist pipe cleaning method of the resist coating apparatus,
A method for cleaning a resist pipe of a resist coating apparatus, wherein a cap having a recess shallower than a housing of a resist filter is attached to an upper lid having a pipe for cleaning. 前記キャップは、前記ハウジングより内容積を少なくするものであることを特徴とする請求項１記載のレジスト塗布装置のレジスト配管の洗浄方法。   2. The method of cleaning a resist pipe of a resist coating apparatus according to claim 1, wherein the cap has a smaller internal volume than the housing. 前記キャップは、前記ハウジングを取り外して、該ハウジングの代わりに前記上蓋に取り付けられることを特徴とする請求項１または２に記載のレジスト塗布装置のレジスト配管の洗浄方法。   The method of cleaning a resist pipe of a resist coating apparatus according to claim 1, wherein the cap is attached to the upper lid instead of the housing after the housing is removed. 前記キャップは、鍔部を有し、該鍔部を前記上蓋にクランプにて留めることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載のレジスト塗布装置のレジスト配管の洗浄方法。   The method of cleaning a resist pipe of a resist coating apparatus according to any one of claims 1 to 3, wherein the cap has a flange portion, and the flange portion is clamped to the upper lid. 前記上蓋と前記鍔部との間にはＯリングを介在させることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載のレジスト塗布装置のレジスト配管の洗浄方法。   The method for cleaning a resist pipe of a resist coating apparatus according to claim 1, wherein an O-ring is interposed between the upper lid and the flange portion. 前記キャップは、前記ハウジングの凹部内に配置させるものであることを特徴とする請求項１または２に記載のレジスト塗布装置のレジスト配管の洗浄方法。   The method for cleaning a resist pipe of a resist coating apparatus according to claim 1, wherein the cap is disposed in a recess of the housing. 前記キャップは、凸部を有する台座部を持ち、該凸部は前記ハウジングが有する配管内に配置されることを特徴とする請求項６記載のレジスト塗布装置のレジスト配管の洗浄方法。   7. The method of cleaning a resist pipe of a resist coating apparatus according to claim 6, wherein the cap has a pedestal part having a convex part, and the convex part is disposed in a pipe of the housing. 前記台座部と前記ハウジングとの間はＯリングが装着されることを特徴とする請求項７記載のレジスト塗布装置のレジスト配管の洗浄方法。   8. The method of cleaning a resist pipe of a resist coating apparatus according to claim 7, wherein an O-ring is mounted between the pedestal portion and the housing. 前記凹部の深さは前記配管の内径のサイズと同等程度であることを特徴とする請求項１〜８のいずれか１項に記載のレジスト塗布装置のレジスト配管の洗浄方法。   The method for cleaning a resist pipe of a resist coating apparatus according to any one of claims 1 to 8, wherein the depth of the concave portion is approximately equal to the size of the inner diameter of the pipe. 前記上蓋の前記配管としてイン配管、及びアウト配管が設けられており、前記キャップの凹部は、洗浄の際にイン配管からアウト配管への流路を構成することを特徴とする請求項１〜５、９のいずれか１項に記載のレジスト塗布装置のレジスト配管の洗浄方法。   6. An in-pipe and an out-pipe are provided as the pipe of the upper lid, and the concave portion of the cap constitutes a flow path from the in-pipe to the out-pipe during cleaning. 10. A method for cleaning resist piping of the resist coating apparatus according to any one of items 9 to 9. 前記上蓋の前記配管として設けられるアウト配管と、前記ハウジングに設けられるイン配管とを有し、前記キャップの凹部は、洗浄の際にイン配管からアウト配管への流路を構成することを特徴とする請求項６〜９のいずれか１項に記載のレジスト塗布装置のレジスト配管の洗浄方法。   It has an out pipe provided as the pipe of the upper lid and an in pipe provided in the housing, and the concave portion of the cap constitutes a flow path from the in pipe to the out pipe during cleaning. The cleaning method of the resist piping of the resist coating apparatus of any one of Claims 6-9.
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