JP2005303580A - 不揮発nand回路 - Google Patents

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Abstract

【課題】 面積を削減し、消費電力を小さくすることができて、不揮発であるNAND回路を提供すること。
【解決手段】 n型チャネル強誘電体積層ゲートトランジスタ501のドレイン、ソースをそれぞれn型チャネル強誘電体積層ゲートトランジスタ502のソース、二つのp型チャネル強誘電体積層ゲートトランジスタ503・504のドレインとに接続し、入力信号507をn型チャネル強誘電体積層ゲートトランジスタ501とp型チャネル強誘電体積層ゲートトランジスタ503とインバータ505、入力信号508をn型チャネル強誘電体積層ゲートトランジスタ502とp型チャネル強誘電体積層ゲートトランジスタ504とインバータ506、に入力し、509を出力とする。
【選択図】 図5

Description

本発明は、不揮発NAND回路に関する。特に、浮遊電極ゲートトランジスタ(例えば、強誘電体積層ゲートトランジスタを用いた不揮発NAND回路に関する。本発明はまた、不揮発NAND回路を利用した論理回路、非同期回路などに関する。
半導体を用いた論理回路では、入力された信号は単位論理回路によって演算され出力される。単位論理回路とはバッファ、AND、OR、NAND、NOR、EXCLUSIVE ORなどの基本的論理回路と、それらを組み合わせたマルチプレクサやデバイダ、カウンタやオシレータなどである。複数の単位論理回路を用意して組み合わせ、多段に演算を行うことにより、高度に複雑な回路を構成し、高度に複雑な演算を行うことも可能である。それらにおいては一つの単位論理回路からの出力の一部は別の単位回路に入力され、またその単位回路からの出力の一部は更に別の単位回路に入力されて演算が進む。またそれらにおいては一つの単位論理回路からの出力の一部は元の単位回路に帰還されて入力されることもある。その様な高度に複雑な回路には、加算機や乗算機、およびそれらを更に組み合わせた演算装置(ALU:Arithmetic and Logical Unitなどがあり、これらもまた単位論理回路と呼ばれる。
基本的な論理回路と、それらを組み合わせた単位論理回路と、更にそれらを組み合わせた高度に複雑な回路による単位論理回路との、
全てを含めて論理回路と呼ぶ。
以下、図1および図2を参照しながら、一般的な半導体を用いた論理回路について説明する。
図1は一般的な半導体を用いた論理回路のうちの一部を単純化して模式的に表しているものであり、ここでは入力された三つの信号が、複数で多段の論理回路を通って演算され、一つの信号として出力される様子をあらわしている。実際には分岐、集合したり、帰還されたりする場合などもあって、より複雑である。
図1において、101はある単位論理回路をあらわしており、102および103はそれに含まれるより小単位の単位論理回路を表す。それぞれをつなぐ矢印は、信号の流れを表しており、108、109および110は単位論理回路101に入力される入力信号である。また111は論理回路101から出力される出力信号を表している。それぞれの信号は1個の信号で構成されている時もあり、2個以上の複数個である場合もある。また104、105および106、107は電源電圧を引加している間ずっと入力値を保持しつづけ、かつそのまま出力することのできる、フリップフロップ回路を表している。この様に信号を保持する働きを持ったフリップフロップは、バッファと呼ばれることもある。
図1において、単位論理回路102はNAND回路であり、単位論理回路103は2入力1出力の任意の回路である。
図1において、単位論理回路101に入力された信号108および109はNAND回路102に入力され、演算されて次段へと出力される。この時、回路102は通常のNAND回路であり、入力信号108および109は同時に回路102へ入力されなければならない。しかしながら、一般的に、単位論理回路101に入力される信号が常に同時であるとは限らない。そこで通常は入力信号108および109の入力のタイミングがずれて、同時に入力されない場合でも演算が可能となるように、フリップフロップ回路104および105が挿入されている。これにより信号108に対して信号109が、早く単位論理回路101に入力された場合にも、遅く入力された場合にも、早く入力されたいずれかの信号をそれぞれのフリップフロップ回路104・105に保持させておくことができる。次いで遅く入力された信号にあわせて、二つの信号をNAND回路102に入力することにより、演算を行うことができる。なお図1においては、早く入力されてフリップフロップに保持されていた信号を、遅く入力された信号にタイミングを合わせてNAND回路に入力する仕組みについては煩雑になることを避けるために説明を省略した。
次いで、NAND回路102から出力された信号は単位論理回路101に入力されたもう一つの信号である、信号110とともに、もう一つの論理回路103に入力される。この時、論理回路103への2つの入力が同時に行われる必要のある回路であるので、同様にフリップフロップ106および107を挿入する。NAND回路102からの出力と、信号110のうち、論理回路103に早く到達しうる信号を対応するフリップフロップ106・107に保持し、遅く到達する信号に合わせて論理回路103に入力する。
以上の結果、単位論理回路101に入力した三つの信号108、109および110をNAND回路102および論理回路103によって演算し信号111として出力することができる。
次に図2を参照しながら、図1のNAND回路102としてあげた通常のNAND回路について説明する。
図2は、例えば、非特許文献1に示されるような、通常のNAND回路201をあらわしている。202および203はそれぞれNAND回路201の構成要素であるチャネルがn型半導体であるトランジスタであり、204および205はそれぞれNAND回路201の構成要素であるチャネルがp型半導体であるトランジスタである。206および207はそれぞれNAND回路201に入力される信号であり、208はNAND回路201からの出力信号である。入力信号206および207に入力される信号は通常Hとあらわされる信号とLとあらわされる信号の二種類のうちのいずれかである。ここでHとあらわされる信号は、ある値に範囲が定められた正の電圧あり、またLとあらわされる信号は、ある値以下であって、ほぼゼロとみなすことのできる電圧である。
図2において、入力信号206および207が同時に入力された場合、二つの信号はNAND回路201の内部でそれぞれ二つづつに分けられて、202から205の四つのトランジスタのゲートに印加され出力信号208として出力される。入力信号206および207が同時に印加された場合の、入力信号の組み合わせと出力信号の値との関係を表したのが表1である。
Figure 2005303580
図2におけるNAND回路201は入力された信号206、207が各トランジスタを通して変化し、出力208から出力される。しかしながら、信号の保持回路を持たないので、入力信号がありつづける限り出力信号が出力され続けるが、入力信号が無くなると、各トランジスタの電源電圧が印加されている状態にあっても、出力は無くなってしまう。
また図2におけるNAND回路201は二つの入力信号206と207が同時に印加されている間は、その演算結果としての出力信号208を出力するが、二つの入力信号206あるいは207のうちの一つしか入力されない場合、入力されなかった信号をLとして演算された結果しか出力されず、意図した出力を得ることができない。すなわち、図2におけるNAND回路201では、正しい出力を得るためにはいつも、その複数の入力信号のタイミングを合わせることが必要である。
「よくわかるディジタルIC回路の基礎」 松田勲、伊原充博 株式会社技術評論社 P108本文および図5.2
上述した論理回路には、以下の様な問題がある。
まず論理回路101の様な通常の論理回路においては、演算機能を持った単位論理回路102および103の他に、複数の入力信号および個々の単位論理回路からの出力などのタイミングを合わせるためのフリップフロップ104から107の様な信号保持回路、すなわちバッファを持つ必要がある。そのために単位論理回路の総数が、3倍の合計6個となり大きく増加している。これは概念化した単純な例であるが、一般的な場合でも50%以上の単位論理回路の増加があり得る。すなわち、この様な論理回路を応用して大規模な論理回路を構成した場合、その面積は、単純に演算のための論理回路のみの面積に対して、50%以上大きなものとなる。また面積の増加は製造コストの増加に直結するため、製造コストが50%以上大きくなってしまうことになる。
また上記の様な論理回路を応用して大規模な論理回路を構成した場合、素子数の増加は消費電力の増加に直結するため、単純に演算のための消費電力に対して50%以上大きなものになってしまう。また更にはフリップフロップでは、電源電圧を印加しつづけなければ信号を保持することができないため、部分的に電源を切ると言った省電力化手法を行うことが難しく、消費電力の抑制が難しい。
また上記の様な論理回路を応用して大規模な論理回路を構成した場合、演算のための単位論理回路に対して、信号保持のためのフリップフロップの方が微細化時のエラー発生確率が大きいため、微細化の限界がフリップフロップによって決定されてしまって、微細化を進めることが難しい。またこのことにより、大規模な論理回路自体の面積を小さくすることが難しくなり、製造コストを下げることが難しく、また更には消費電力を小さくすることが難しい。
本発明はかかる諸点に鑑みてなされたものであり、その主な目的は、単位論理回路の数が少なく、省面積で製造コストが小さく、微細化が容易で消費電力の少ない論理回路を提供することにある。本発明の他の目的は、そのような論理回路に好適に用いることができる不揮発NAND回路を提供することにある。
本発明の不揮発NAND回路は、ソース、ゲート、ドレインおよびボディの端子を有してかつチャネルの導電性がn型であるフローティングゲートトランジスタと、ソース、ゲート、ドレインおよびボディの端子を有してかつチャネルの導電性がp型であるフローティングゲートトランジスタと、入力および出力の端子を有するインバータとを各々二つずつ備え、前記二つのn型チャネルフローティングゲートトランジスタのうち、第一のトランジスタのソースが第二のn型チャネルフローティングゲートトランジスタのドレインに接続されており、また前記第一のn型チャネルフローティングゲートトランジスタのドレインが前記二つのp型チャネルのフローティングゲートトランジスタの両方のソースに接続されており、また前記第二のn型チャネルフローティングゲートトランジスタのソースが接地されており、また前記二つのp型チャネルフローティングゲートトランジスタのドレインがそれぞれ電源に接続されており、また前記第一のn型チャネルフローティングゲートトランジスタのゲートと、前記二つのp型チャネルフローティングゲートトランジスタのうち、第一のトランジスタと、前記二つのインバータのうちの第一のインバータと、に共通して印加される電位を第一の入力電位とし、また前記第二のn型チャネルフローティングゲートトランジスタのゲートと前記二つのp型チャネルフローティングゲートトランジスタのうちの第二のトランジスタと、前記二つのインバータのうちの第二のインバータと、に共通して印加される電位を第二の入力電位とし、また前記第一のインバータの出力を前記第一のn型チャネルフローティングゲートトランジスタのボディと、前記第一のp型チャネルフローティングゲートトランジスタのボディとに接続し、また前記第二のインバータの出力を前記第二のn型チャネルフローティングゲートトランジスタと前記第二のp型チャネルフローティングゲートトランジスタのボディとに接続し、前記第一のn型チャネルフローティングゲートトランジスタと前記第二のp型チャネルフローティングゲートトランジスタとの接続点の電位を出力とする不揮発NAND回路である。
ある好適な実施形態において、前記フローティングゲートトランジスタは、強誘電体積層ゲートトランジスタである。
本発明の不揮発NAND回路は、ソース、ゲート、ドレインおよびボディの端子を有してかつチャネルの導電性がn型であるフローティングゲートトランジスタと、入力および出力の端子を有するインバータとを各々二つずつ備え、かつ、一端と、電源に接続される他端とを有する抵抗素子を備え、前記二つのn型チャネルフローティングゲートトランジスタのうち、第一のトランジスタのソースが第二のn型チャネルフローティングゲートトランジスタのドレインに接続されており、また前記第一のn型チャネルフローティングゲートトランジスタのドレインが前記抵抗素子の一端に接続されており、また前記第二のn型チャネルフローティングゲートトランジスタのソースが接地されており、また前記第一のn型チャネルフローティングゲートトランジスタのゲートと前記二つのインバータの内の第一のインバータとに共通して印加される電位を第一の入力電位とし、また前記第二のn型チャネルフローティングゲートトランジスタのゲートと前記二つのインバータの内の第一のインバータとに共通して印加される電位を第二の入力電位とし、また前記第一のインバータの出力を前記第一のn型チャネルフローティングゲートトランジスタのボディに接続し、また前記第二のインバータの出力を前記第二のn型チャネルフローティングゲートトランジスタに接続し、前記第一のn型チャネルフローティングゲートトランジスタと前記抵抗素子との接続点の電位を出力とし、また前記抵抗素子の抵抗が、前記二つのn型チャネルフローティングゲートトランジスタのオン抵抗の和よりも1000倍以上大きく、また前記二つのn型チャネルフローティングゲートトランジスタのオフ抵抗の和の1000分の1以下である不揮発NAND回路である。
ある好適な実施形態において、前記フローティングゲートトランジスタは、強誘電体積層ゲートトランジスタである。
本発明の実施形態における論理回路は上記不揮発NAND回路を用いて構成されている。
本発明の実施形態における論理回路は上記不揮発NAND回路を用いて構成されており、それにより、通常のNAND回路を用いて構成されている場合と比べて、信号保持のためのバッファを持つ必要が無いため、全体の素子数が33%以上少なく、それにより面積も小さい。また同様に素子数が少ないことから消費電力も小さく、フリップフロップを使わないことから微細化がしやすい。またNAND回路中に演算結果を保持して任意に読み出すことが可能であるため、これを利用して非同期回路を構成することが出来る。
本願発明者は、従来の論理回路における省面積化と製造コストの削減および消費電力の低減や微細化を図るために、フローティングゲートトランジスタを含むNAND回路を用いて不揮発論理回路を構築できることを思い付き、その検討を行い、本発明に至った。以下、図3から7を参照しながら説明する。
図3は、フローティングゲートトランジスタを含むNAND回路(不揮発NAND回路を表している。図3に示したNAND回路は、n型チャネルのフローティングゲートトランジスタ301および302と、p型チャネルのフローティングゲートトランジスタ303および304と、インバータ305および306から構成されている。第一のn型チャネルフローティングゲートトランジスタ301のドレインには第二のn型チャネルフローティングゲートトランジスタ302のソースが接続されており、この第二のn型チャネルフローティングゲートトランジスタ302のドレインは接地されている。また第一のn型チャネルフローティングゲートトランジスタ301のソースは第二のp型チャネルフローティングゲートトランジスタ304および第二のp型チャネルフローティングゲートトランジスタのドレインに共通して接続されており、第一および第二のp型チャネルフローティングゲートトランジスタ303・304のソースはそれぞれ電源に接続されている。このNAND回路に入力される二つの信号のうちの第一の信号307は第一のn型チャネルトランジスタ301および第一のp型チャネルトランジスタ303のゲートおよびインバータ305に並列に入力されており、またインバータ305から出力された信号は第一のn型チャネルトランジスタ301および第一のp型チャネルトランジスタ303のボディへ入力されている。また第二の信号308は第二のn型チャネルトランジスタ302および第二のp型チャネルトランジスタ304のゲートおよびインバータ306に並列に入力されており、またインバータ306から出力された信号は第一のn型チャネルトランジスタ302および第二のp型チャネルトランジスタ304のボディへ入力されている。第一のn型チャネルトランジスタ301のソースと、第二のp型チャネルトランジスタ304のドレインとの接点の電位が、このNAND回路の出力信号309となる。
ここで、この回路の二つの信号として、それぞれ正の電源電位と接地電位による二値の信号を入力することを考える。なお、この二値の値は、通常、デジタル回路に入力される信号であり、ハイ、ローの二値、あるいはH、Lの二値として表される。
まず、第一の信号307と第二の信号308に正の電源電位が入力された場合を考える。この場合、第一のn型チャネルフローティングゲートトランジスタ301のゲートと第二のn型チャネルフローティングゲートトランジスタ302のゲートおよび、第一のp型チャネルフローティングゲートトランジスタ303と第二のp型チャネルフローティングゲートトランジスタ304のゲートとに正の電位が印加される。一方、第一のインバータ305と第二のインバータ306の出力は共に接地電位となるので、第一のn型チャネルフローティングゲートトランジスタ301と第二のn型チャネルフローティングゲートトランジスタ302および、第一のp型チャネルフローティングゲートトランジスタ303と第二のp型チャネルフローティングゲートトランジスタ304とのボディ(基板も接地電位となる。その結果、それぞれのゲートとボディと間には正の電位勾配が生じる。
この正の電位勾配によって、第一、第二のn型チャネルフローティングゲートトランジスタ301、302および、第一、第二のp型チャネルフローティングゲートトランジスタ303、304との積層ゲートに存在する浮遊ゲート電極に、ある有限の値を取る正の電位が誘起される。その結果、第一、第二のn型チャネルフローティングゲートトランジスタ301、302の閾値が低下して、チャネル抵抗が減少する。一方、第一、第二のp型チャネルフローティングゲートトランジスタ303、304の閾値は上昇して、チャネル抵抗は増加する。すなわち、第一のn型チャネルフローティングゲートトランジスタ301はオン、第二のn型チャネルフローティングゲートトランジスタ302はオン、第一のp型チャネルフローティングゲートトランジスタ303はオフ、第二のp型チャネルフローティングゲートトランジスタ304はオフになる。すると、出力309には接地電位が現れることになる。
一方、第一の信号307に正の電源電位が入力され、第二の信号308に接地電位が入力された場合を考える。この場合、第一のn型チャネルフローティングゲートトランジスタ301のゲートと第一のp型チャネルフローティングゲートトランジスタ303のゲートに正の電源電位が印加され、第二のp型チャネルフローティングゲートトランジスタ304のゲートと第二のn型チャネルフローティングゲートトランジスタ302のゲートとに接地電位が印加される。一方、第一のインバータ305の出力が接地電位となり、第二のインバータ306の出力が電源電位となるので、第一のn型チャネルフローティングゲートトランジスタ301と第一のp型チャネルフローティングゲートトランジスタ303のボディ(基板も接地電位となる。その結果、第一のn型チャネルフローティングゲートトランジスタ301および、第一のp型チャネルフローティングゲートトランジスタ303のゲートとボディと間には正の電位勾配が生じる。また、第二のp型チャネルフローティングゲートトランジスタ304と第二のn型チャネルフローティングゲートトランジスタ302とのボディ(基板は電源電位となる。その結果、第二のp型チャネルフローティングゲートトランジスタ304および、第二のn型チャネルフローティングゲートトランジスタ302のゲートとボディと間には負の電位勾配が生じる。
その結果、第一のn型チャネルフローティングゲートトランジスタ301および、第一のp型チャネルフローティングゲートトランジスタ303の浮遊ゲート電極に、ある有限の値を取る正の電位が誘起され、そして、第一のn型チャネルフローティングゲートトランジスタ301の閾値が低下して、チャネル抵抗が減少する。一方、第一のp型チャネルフローティングゲートトランジスタ303の閾値は上昇して、チャネル抵抗は増加する。また第二のn型チャネルフローティングゲートトランジスタ302および第二のp型チャネルフローティングゲートトランジスタ304にはある有限の値をとる負の電位が誘起され、そして、第二のp型チャネルフローティングゲートトランジスタ304の閾値が低下して、チャネル抵抗が減少する。一方、第二のn型チャネルフローティングゲートトランジスタ302の閾値は上昇して、チャネル抵抗は増加する。すなわち、第一のn型チャネルフローティングゲートトランジスタ301はオン、第二のn型チャネルフローティングゲートトランジスタ302はオフ、第一のp型チャネルフローティングゲートトランジスタ303はオフ、第二のp型チャネルフローティングゲートトランジスタ304はオンになる。それらの関係により、出力309には電源電位が現れることになる。
次に、第一の信号307に接地電位が入力され、第二の信号308に正の電源電位が入力された場合について考えると、同様な手続きによって、すなわち、第一のn型チャネルフローティングゲートトランジスタ301はオフ、第二のn型チャネルフローティングゲートトランジスタ302はオン、第一のp型チャネルフローティングゲートトランジスタ303はオン、第二のp型チャネルフローティングゲートトランジスタ304はオフになり、出力309には電源電位が現れることになる。
次に、第一の信号307、第二の信号308に、共に接地電位が入力された場合について考えると、やはり同様な手続きによって、すなわち、第一のn型チャネルフローティングゲートトランジスタ301はオフ、第二のn型チャネルフローティングゲートトランジスタ302はオフ、第一のp型チャネルフローティングゲートトランジスタ303はオン、第二のp型チャネルフローティングゲートトランジスタ304はオンになり、出力309には電源電位が現れることになる。
以上の様に、図3の構成を用いると、その二つの入力信号に対して、表1に示した従来のNAND回路と全く同じ演算結果を得ることが理解できる。
更に図3の構成では、第一と第二のn型チャネルフローティングゲートトランジスタ301・302、および第一と第二のp型チャネルフローティングゲートトランジスタ303・304がそれぞれ不揮発性を持つことにより、演算結果を回路内に保持しておくことが可能となる。その結果、一旦、回路への電源の供給を遮断しても、再び、第一および第二のp型チャネルフローティングゲートトランジスタのソースに正の電源電圧を印加しさえすればいつでも、それ以前に入力された二つの信号の演算結果を出力として読み出すことが出来る。
次に、図4を参照しながらこの不揮発NAND回路を利用した演算回路について説明する。図4は不揮発NAND回路を含む、ある演算回路を表している。ここで不揮発NAND回路402は図1に示したNAND回路102に対応している。
図4に示した構成において、不揮発演算回路401に入力された二つの信号404と405は、直接不揮発NAND回路402に入力されており、二つの信号のタイミングを合わせるためのバッファであるフリップフロップを、その直前に持たない。また不揮発NAND回路402の出力と、演算回路401に入力された三つ目の信号406は、いずれも直接演算回路403に入力されており、この場合もやはり、二つの信号のタイミングを合わせるためのバッファであるフリップフロップを、その直前に持たない。すなわち、従来のNAND回路を単位演算回路として含む演算回路101では合計6個あった単位演算回路の数が、不揮発NAND回路を含む演算回路401では2個にまで削減されている。
このような構成により、不揮発NAND回路401は従来のNAND回路と比較して、より大きな回路に組み込まれた時にその回路内の単位演算回路をつなぐフリップフロップを省略することが可能となり、その結果、回路の構成を極端に減らすことが出来るということが理解できる。回路の構成を極端に減らした結果、回路面積を縮小して製造コストを削減することが可能となり、かつ消費電力をも削減できる。また回路の設計も簡単になるので、設計時間、設計工数等の設計コストを削減できるとともに、製品を早く製造できるようになる。
更にこのような構成により、不揮発NAND回路401は従来のNAND回路と比較して、回路内に演算結果を保持しておくことが可能となるので、一旦回路の電源供給を遮断した後、再投入後にも不揮発NAND回路402の出力データを再利用することが可能となる。このことによっても、電源供給遮断時用の外部メモリーを設ける必要が無くなるため、回路全体の面積を削減できるとともにコストを削減し、かつ消費電力をも削減できるようになる。また回路の設計も簡単になるので、設計時間、設計工数等の設計コストを削減できるとともに、製品を早く製造できるようになる。
次に図5を参照する。図5に示した回路は、図3に示した不揮発NAND回路におけるn型チャネルのフローティングゲートトランジスタ301、302およびp型チャネルのフローティングゲートトランジスタ303、304をそれぞれ
n型チャネルの強誘電体積層ゲートトランジスタ501、502およびp型チャネルのフローティングゲートトランジスタ503、504に置き換えたものである。
n型チャネルの強誘電体積層ゲートトランジスタ501、502およびp型チャネルの強誘電体積層ゲートトランジスタ503および504はそのゲート部分に強誘電体が積層されたトランジスタで、典型的には電極から基板に向かって、上部電極/強誘電体層/浮遊電極(フローティングゲート/ゲート絶縁膜/Si基板 と積層された、積層ゲート構造を持つ。ゲートに印加する電位によって強誘電体層が分極し、その結果、浮遊電極に正あるいは負の電位が誘起される。この時強誘電体層およびゲート絶縁膜におけるリーク電流が充分小さなものであれば、浮遊電極上に誘起された電位は、ゲートに印加した電位を取り払った後も、充分長時間に渡って保持される。そして再度、第一と第二のp型チャネルの強誘電体積層ゲートトランジスタ503および504のソースに電源を投入した時に、出力509から以前の演算結果を読み出すことができる。
従って、図5の構成を用いることにより、図3で示したと同様な不揮発NAND回路を実現することができる。
また従って、図3で示した不揮発NAND回路に代えて、図5の構成の不揮発NAND回路を用いても、図4の不揮発演算回路を実現することが可能となる。
次に図6を参照する。図6に示した回路は、図3に示した不揮発NAND回路におけるn型チャネルのフローティングゲートトランジスタ301、302をそれぞれn型チャネルの強誘電体積層ゲートトランジスタ601、602に置き換え、一方、第一、第二のp型チャネルフローティングゲートトランジスタ303、304を取り去って、ある抵抗値を持つ抵抗体603の一端を第一のn型チャネル強誘電体積層ゲートトランジスタ501のソースに接続し、他の一端を電源に接続したものである。
図5と同様に、図6の構成においても、n型チャネルの強誘電体積層ゲートトランジスタ601、602はそのゲート部分に強誘電体が積層されたトランジスタで、ゲートに印加する電位によって強誘電体層が分極し、その結果、浮遊電極に正あるいは負の電位が誘起される。この時強誘電体層およびゲート絶縁膜におけるリーク電流が充分小さなものであれば、浮遊電極上に誘起された電位は、ゲートに印加した電位を取り払った後も、長時間に渡って保持される。
図6において、抵抗体603の抵抗値Rrは、強誘電体積層ゲートトランジスタ601および602のそれぞれのオン抵抗Rf(ON1、Rf(ON2の和よりも大きく、またそれぞれのオフ抵抗Rf(OFF1、Rf(OFF2のいずれの値よりも小さい。
今、図6において第一の入力606および第二の入力607にHの入力(例えば正の電源電位が入力された時を考える。この時、第一のインバータ604および第二のインバータ605の出力は接地電位となるので、第一および第二のn型チャネル強誘電体積層ゲートトランジスタ601および602のボディは接地電位となり、両者の強誘電体積層ゲートには正の電位勾配が発生する。その結果、第一および第二のn型チャネル強誘電体積層ゲートトランジスタ601および602の閾値電圧は低下し、オン状態となって、チャネル抵抗は減少する。今、抵抗体603の抵抗値を強誘電体積層ゲートトランジスタ601および602のそれぞれのオン抵抗Rf(ON1、Rf(ON2の和よりも大きくとってあるので、第一のn型チャネル強誘電体積層ゲートトランジスタ601と抵抗体603の接続点の電位は、両者の抵抗値の逆数の比に分割された値となり、ほぼ接地電位となって、出力608からL出力として観測される。
次に、図6において第一の入力606にHの入力(例えば正の電源電位が入力され、第二の入力607にLの入力(例えば接地電位が入力された時を考える。この時、第一のインバータ604の出力は接地電位となるので、第一のn型チャネル強誘電体積層ゲートトランジスタ601のボディは接地電位となり、その強誘電体積層ゲートには正の電位勾配が発生する。一方、第二のインバータ605の出力は電源電位となるので、第二のn型チャネル強誘電体積層ゲートトランジスタ602のボディは電源電位となり、その強誘電体積層ゲートには負の電位勾配が発生する。
その結果、第一のn型チャネル強誘電体積層ゲートトランジスタ601の閾値電圧は低下し、オン状態となって、チャネル抵抗は減少する。一方、第二のn型チャネル強誘電体積層ゲートトランジスタ602の閾値電圧は上昇し、オフ状態となって、チャネル抵抗は増大する。今、抵抗体603の抵抗値を第一の強誘電体積層ゲートトランジスタ601のオン抵抗Rf(ON1よりも大きくとってあるが、一方で、第二の強誘電体積層ゲートトランジスタ602のオフ抵抗Rf(ON2よりも著しく小さく取ってあるので、第一のn型チャネル強誘電体積層ゲートトランジスタ601と抵抗体603の接続点の電位は、第二の強誘電体積層ゲートトランジスタ602と抵抗体603の抵抗値の逆数の比に分割された値となり、ほぼ電源電位となって、出力608からH出力として観測される。
次に、図6において第一の入力606にLの入力(例えば接地電位が入力され、第二の入力607にHの入力(例えば正の電源電位が入力された時を考える。この時、第二のインバータ605の出力は接地電位となるので、第二のn型チャネル強誘電体積層ゲートトランジスタ602のボディは接地電位となり、その強誘電体積層ゲートには正の電位勾配が発生する。一方、第一のインバータ604の出力は電源電位となるので、第一のn型チャネル強誘電体積層ゲートトランジスタ601のボディは電源電位となり、その強誘電体積層ゲートには負の電位勾配が発生する。
その結果、第二のn型チャネル強誘電体積層ゲートトランジスタ602の閾値電圧は低下し、オン状態となって、チャネル抵抗は減少する。一方、第一のn型チャネル強誘電体積層ゲートトランジスタ601の閾値電圧は上昇し、オフ状態となって、チャネル抵抗は増大する。今、抵抗体603の抵抗値を第二の強誘電体積層ゲートトランジスタ602のオン抵抗Rf(ON2よりも大きくとってあるが、一方で、第一の強誘電体積層ゲートトランジスタ601のオフ抵抗Rf(ON1よりも著しく小さく取ってあるので、第二のn型チャネル強誘電体積層ゲートトランジスタ602と抵抗体603の接続点の電位は、第一の強誘電体積層ゲートトランジスタ601と抵抗体603の抵抗値の逆数の比に分割された値となり、ほぼ電源電位となって、出力608からH出力として観測される。
次に、図6において第一および第二の入力606および607にLの入力(例えば接地電位が入力された時を考える。この時、第一のインバータ604および第二のインバータ605の出力は電源電位となるので、第一および第二のn型チャネル強誘電体積層ゲートトランジスタ601および602のボディは電源電位となり、その強誘電体積層ゲートには負の電位勾配が発生する。その結果、第一および第二のn型チャネル強誘電体積層ゲートトランジスタ601および602の閾値電圧は上昇し、オフ状態となって、チャネル抵抗は増大する。今、抵抗体603の抵抗値を第一および第二の強誘電体積層ゲートトランジスタ601および602のオフ抵抗Rf(ON1、Rf(ON2よりも著しく小さく取ってあるので、第一のn型チャネル強誘電体積層ゲートトランジスタ601と抵抗体603の接続点の電位は、第一および第二の強誘電体積層ゲートトランジスタ601および602の抵抗値の和と、抵抗体603の抵抗値の逆数の比に分割された値となり、ほぼ電源電位となって、出力608からH出力として観測される。
以上の、結果、二つの入力に対する出力の値は、表1に示されたNAND回路の演算結果と全く等価であることはがわかる。更に、強誘電体積層ゲートトランジスタ中に、入力値が保持されるので、演算結果を不揮発に保持することが可能となる。すなわち、図6の構成を用いることにより、図3で示したと同様な不揮発NAND回路を実現することができる。
また従って、図4において、図3で示した不揮発NAND回路に代えて、図6の構成の不揮発NAND回路を用いても、図4の不揮発演算回路を実現することが可能となる。
なお、図6においては不揮発トランジスタとして強誘電体積層ゲートトランジスタを用いた例を挙げたが、不揮発性を持つトランジスタであれば何でもよく、図3に挙げたフローティングゲートトランジスタでも良い。
次に図7を参照する。図7は図5で挙げた回路に関してその二つのインバータ305および306をフリップフロップ705、706で置き換えた例を示したものである。インバータをフリップフロップで置き換えることによって、その演算結果には全く変化は生じず、表1と同様である。またその演算の手続きも図3および図5で挙げた演算の手続きと全く同じである。それとは別に、インバータをフリップフロップで置き換えることは、ボディへと出力される値がより早く決定し、安定化する効果を有する。一般的には図3および図5で示されたインバータで充分であるが、条件によって、インバータの値が不安定化する場合、あるいは早く決定しない場合には、図7に示した様にフリップフロップ705、706を用いることが可能である。なお、同様に図6のインバータ605をフリップフロップに換えることも当然考えられる。
本発明によれば、消費電力を小さくできる不揮発NAND回路およびそれ利用した演算回路を提供することができる。
NAND回路を含む従来の演算回路の構成を示す図 従来のNAND回路の構成を示す図 本発明の実施形態に係る、フローティングゲートトランジスタを用いた不揮発NAND回路の構成を示す回路図 本発明の実施形態に係る、不揮発NAND回路を含む演算回路の構成を示す図 本発明の実施形態に係る、強誘電体積層ゲートトランジスタを用いた不揮発NAND回路の構成を示す回路図 本発明の実施形態に係る、抵抗体と強誘電体積層ゲートトランジスタを用いた不揮発NAND回路の構成を示す回路図 本発明の実施形態に係る、強誘電体積層ゲートトランジスタとフリップフロップを用いた不揮発NAND回路の構成を示す回路図
符号の説明
101:単位論理回路
102:より小単位の単位論理回路
103:より小単位の単位論理回路
104:フリップフロップ
105:フリップフロップ
106:フリップフロップ
107:フリップフロップ
108:入力信号
109:入力信号
110:入力信号
111:出力信号
201:従来のNAND回路
202:第一のn型チャネルトランジスタ
203:第二のn型チャネルトランジスタ
204:第一のp型チャネルトランジスタ
205:第二のp型チャネルトランジスタ
206:入力信号
207:入力信号
208:出力信号
301:第一のn型チャネルフローティングゲートトランジスタ
302:第二のn型チャネルフローティングゲートトランジスタ
303:第一のp型チャネルフローティングゲートトランジスタ
304:第二のp型チャネルフローティングゲートトランジスタ
305:第一のインバータ
306:第二のインバータ
307:入力信号
308:入力信号
309:出力信号
401:不揮発NAND回路を含んだ単位論理回路
402:不揮発NAND回路
403:他の単位論理回路
404:入力信号
405:入力信号
406:入力信号
407:出力信号
501:第一のn型チャネル強誘電体積層ゲートトランジスタ
502:第二のn型チャネル強誘電体積層ゲートトランジスタ
503:第一のp型チャネル強誘電体積層ゲートトランジスタ
504:第二のp型チャネル強誘電体積層ゲートトランジスタ
505:第一のインバータ
506:第二のインバータ
507:入力信号
508:入力信号
509:出力信号
601:第一のn型チャネル強誘電体積層ゲートトランジスタ
602:第二のn型チャネル強誘電体積層ゲートトランジスタ
603:抵抗体
604:第一のインバータ
605:第二のインバータ
606:入力信号
607:入力信号
608:出力信号
701:第一のn型チャネル強誘電体積層ゲートトランジスタ
702:第二のn型チャネル強誘電体積層ゲートトランジスタ
703:第一のp型チャネル強誘電体積層ゲートトランジスタ
704:第二のp型チャネル強誘電体積層ゲートトランジスタ
705:第一のフリップフロップ
706:第二のフリップフロップ
707:入力信号
708:入力信号
709:出力信号

Claims (4)

  1. ソース、ゲート、ドレインおよびボディの端子を有してかつチャネルの導電性がn型であるフローティングゲートトランジスタと、
    ソース、ゲート、ドレインおよびボディの端子を有してかつチャネルの導電性がp型であるフローティングゲートトランジスタと、
    入力および出力の端子を有するインバータと
    を各々二つずつ備え、
    前記二つのn型チャネルフローティングゲートトランジスタのうち、第一のn型チャネルフローティングゲートトランジスタのドレインが第二のn型チャネルフローティングゲートトランジスタのソースに接続されており、
    また前記第一のn型チャネルフローティングゲートトランジスタのソースが前記二つのp型チャネルフローティングゲートトランジスタの両方のドレインに接続されており、
    また前記第二のn型チャネルフローティングゲートトランジスタのドレインが接地されており、
    また前記二つのp型チャネルフローティングゲートトランジスタのソースがそれぞれ電源に接続されており、
    また前記第一のn型チャネルフローティングゲートトランジスタのゲートと、前記第一p型チャネルフローティングゲートトランジスタのゲートと、前記二つのインバータのうちの第一のインバータと、
    に共通して印加される電位を第一の入力電位とし、
    また前記第二のn型チャネルフローティングゲートトランジスタのゲートと前記第二のp型チャネルフローティングゲートトランジスタのゲートと、前記二つのインバータのうちの第二のインバータと、
    に共通して印加される電位を第二の入力電位とし、
    また前記第一のインバータの出力を前記第一のn型チャネルフローティングゲートトランジスタのボディと、前記第一のp型チャネルフローティングゲートトランジスタのボディとに接続し、
    また前記第二のインバータの出力を前記第二のn型チャネルフローティングゲートトランジスタと前記第二のp型チャネルフローティングゲートトランジスタのボディとに接続し、
    前記第一のn型チャネルフローティングゲートトランジスタと前記第二のp型チャネルフローティングゲートトランジスタとの接続点の電位を出力とする不揮発NAND回路。
  2. ソース、ゲート、ドレインおよびボディの端子を有してかつチャネルの導電性がn型であるフローティングゲートトランジスタと、
    入力および出力の端子を有するインバータと
    を各々二つずつ備え、
    かつ、一端と、電源に接続される他端とを有する抵抗素子を備え、
    前記二つのn型チャネルフローティングゲートトランジスタのうち、第一のトランジスタのドレインが第二のn型チャネルフローティングゲートトランジスタのソースに接続されており、
    また前記第一のn型チャネルフローティングゲートトランジスタのソースが前記抵抗素子の一端に接続されており、
    また前記抵抗素子の多端が電源に接続されており、
    また前記第二のn型チャネルフローティングゲートトランジスタのドレインが接地されており、
    また前記第一のn型チャネルフローティングゲートトランジスタのゲートと前記二つのインバータの内の第一のインバータとに共通して印加される電位を第一の入力電位とし、
    また前記第二のn型チャネルフローティングゲートトランジスタのゲートと前記二つのインバータの内の第二のインバータとに共通して印加される電位を第二の入力電位とし、
    また前記第一のインバータの出力を前記第一のn型チャネルフローティングゲートトランジスタのボディに接続し、
    また前記第二のインバータの出力を前記第二のn型チャネルフローティングゲートトランジスタに接続し、
    前記第一のn型チャネルフローティングゲートトランジスタと前記抵抗素子との接続点の電位を出力とし、
    また前記抵抗素子の抵抗が、前記二つのn型チャネルフローティングゲートトランジスタのオン抵抗の和よりも1000倍以上大きく、
    また前記二つのn型チャネルフローティングゲートトランジスタのオフ抵抗の和の1000分の1以下である
    不揮発NAND回路。
  3. 請求項1および2において、フローティングゲートトランジスタが強誘電体積層ゲートトランジスタである不揮発NAND回路。
  4. 請求項1および2および3の不揮発NAND回路を構成要素とする演算回路。

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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US8587342B2 (en) 2011-05-20 2013-11-19 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Semiconductor integrated circuit
CN108538828A (zh) * 2017-03-01 2018-09-14 三星电子株式会社 使用单极半导体器件的逻辑门、集成电路和数字电路
KR102303639B1 (ko) * 2020-06-15 2021-09-16 연세대학교 산학협력단 강유전체 소자 기반 다기능 로직 구조

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